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JP2010514393A - ステアリングミラーの適用のための高帯域リニアアクチュエータ - Google Patents

ステアリングミラーの適用のための高帯域リニアアクチュエータ Download PDF

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JP2010514393A
JP2010514393A JP2009541591A JP2009541591A JP2010514393A JP 2010514393 A JP2010514393 A JP 2010514393A JP 2009541591 A JP2009541591 A JP 2009541591A JP 2009541591 A JP2009541591 A JP 2009541591A JP 2010514393 A JP2010514393 A JP 2010514393A
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Abstract

プリント回路板(PCB)コイルリニアアクチュエータが開示されている。このアクチュエータは、コイル構造部と磁石構造部とを含んでいる。コイル構造部は、電気的に直列に接続された複数のPCBコイルを含んでいる。1列に配置されたPCBコイルと隣接するPCBコイルは、隙間によって分離されている。それぞれのPCBコイルは、ボード部材に配置された小型で複数層のコイル部材を含んでいる。アクチュエータ構造部は、1列に配置された複数の磁石ユニットを含んでおり、隣接する磁石ユニットは、隙間によって分離されている。アクチュエータを組み立てるとPCBコイルが磁石ユニットと交互に並ぶように構成されている。PCBコイルリニアアクチュエータは、従来の溝付ボビンボイスコイルアクチュエータ(VCAs)に代わるものであり、特に高速ステアリングミラー(FSM)で利用できる。PCBコイルリニアアクチュエータは、同等のモータ定数のVCAに勝るいくつかの利点を提供し、向上した性能を含み、軽量で薄型である。
【選択図】図4

Description

本発明は、AFRL/PK8VV DET8空軍研究所により授与された契約FA9453−05−M−0070による政府財政支援のもとに為された。
典型的には、ボイスコイルアクチュエータ(VCA)は、高速ステアリングミラー(FSM)でアクチュエータとして利用されている。
典型的には、VCAは、溝付ボビンの周囲に巻かれたコイルを含む。図1と図2に示されるように、VCA10は、ハウジング部20、ハウジング20部の内部に配置された磁石構造部40およびハウジング部20の内部に配置されたコイル構造部60を含む。このコイル構造部60は、溝付ボビン64の周囲に巻き付けられたコイル部材62を含む。
従来のボイスコイルアクチュエータと比較して改善された性能、軽量および薄型であるアクチュエータを提供することは望ましい。
ここでは、PCBコイルリニアアクチュエータが開示されている。このアクチュエータは、高速ステアリングミラー(FSM)のごとき装置のベース部側に取り付けられるコイル構造部と、FSMのミラー側のごとき装置の可動側に取り付けられる磁石構造部とを含む。場合によっては、コイル構造部をミラー側に取り付け、磁石構造部をベース部側に取り付けることも可能である。
コイル構造部は、直列に連結された複数のPCBコイルを含む。それぞれのPCBコイルは、複数のコイル層を有した小型の楕円形コイル部材を含む。コイル部材は、コイル構造部のベース部に固定されたボード部材の上に配置されている。
アクチュエータは、さらに、そのベース部に固定され、PCBコイルと磁石ユニットがアクチュエータに沿って交互に並ぶようにPCBコイルと1列に配置された複数の磁石ユニットを有した磁石構造部も含む。これら磁石ユニットは、それぞれ反対磁極を有した下方磁石と上方磁石とを含む。それらの磁極軸は、コイル部材の面に対して垂直である。アクチュエータ内で磁性回路を閉じるために磁極片またはシャントが最外側に存在する磁石ユニットの磁石の外側に配置される。
本発明のPCBコイルアクチュエータは、従来のボイスコイルアクチュエータ(VCA)に勝るいくつかの利点を提供する。
・コイル巻不要の高品質製品
・迅速アプリケーション適合を可能にするモジュール設計
・製造時間短縮
・単純機構電気機械インターフェース
・並列/直列巻き組み合わせのPCBコイルへの直接ジャンパ可能
・コイル構造部の搭載ベース部への優れた熱伝導性
・超高衝撃耐久性および超高振動耐久性
・超高周波数性能をもたらす高剛性

本発明は、添付図面を参照に付した以下の発明の詳細な説明により理解されよう。
図1は、従来型ボイスコイルアクチュエータの斜視図である。 図2は、図1で示すボイスコイルアクチュエータのボビンとボイスコイルの斜視図である。 図3は、本発明の1実施例によるPCBコイルリニアアクチュエータの側面断面図である。 図4は、図3で示すPCBコイルリニアアクチュエータのコイル構造部の斜視図である。 図5は、図4で示すコイル構造部のPCBコイルの平面図である。 図6は、図5で示すPCBコイルのコイル部材の積層部を示す切り欠き側面図である。 図7は、図6で示すコイル部材の積層部の電気接続状態を示す概略図である。 図8Aは、図4で示すコイル構造部のコイルベース部の平面図である。 図8Bは、図4で示すコイル構造部のコイルベース部の側面図である。 図8Cは、図4で示すコイル構造部のコイルベース部の端面図である。 図9Aは、図4で示すコイル構造部のコイルクランプの平面図である。 図9Bは、図4で示すコイル構造部のコイルクランプの側面図である。 図10Aは、図4で示すコイル構造部のコイルスタンドオフの平面図である。 図10Bは、図4で示すコイル構造部のコイルスタンドオフの側面図である。 図11は、図3で示すPCBコイルリニアアクチュエータの磁石構造部の斜視図である。 図12Aは、図11で示す磁石構造部の面を示す斜視図である。 図12Bは、図11で示す磁石構造部の面を示す斜視図である。 図13Aは、図11で示す磁石構造部の磁石ベース部の平面図である。 図13Bは、図11で示す磁石構造部の磁石ベース部の側面図である。 図13Cは、図11で示す磁石構造部の磁石ベース部の端面図である。 図14Aは、図11で示す磁石構造部の内側下方磁石クランプの平面図である。 図14Bは、図11で示す磁石構造部の内側下方磁石クランプの側面図である。 図15Aは、図11で示す磁石構造部の内側磁石ホルダの平面図である。 図15Bは、図11で示す磁石構造部の内側磁石ホルダの側面図である。 図16Aは、図11で示す磁石構造部の内側上方磁石クランプの平面図である。 図16Bは、図11で示す磁石構造部の内側上方磁石クランプの側面図である。 図17Aは、図11で示す磁石構造部の外側下方磁石クランプの平面図である。 図17Bは、図11で示す磁石構造部の外側下方磁石クランプの側面図である。 図18Aは、図11で示す磁石構造部の外側磁石ホルダの平面図である。 図18Bは、図11で示す磁石構造部の外側磁石ホルダの側面図である。 図19Aは、図11で示す磁石構造部の外側上方磁石クランプの平面図である。 図19Bは、図11で示す磁石構造部の外側上方磁石クランプの側面図である。 図20Aは、図11で示す磁極片を形成する磁石シャントの平面図である。 図20Bは、図11で示す磁極片を形成する磁石シャントの側面図である。 図21は、PCBコイルリニアアクチュエータの強度反応を示すグラフである。
本発明の1実施例によるPCBコイルリニアアクチュエータは、図1から図21を利用した以下の詳細な解説にて説明されている。このようなアクチュエータは、高速ステアリングミラー(FSM)アプリケーションにおいて特に有効であるが、他の利用形態も想定内である。
図3は、PCBコイルリニアアクチュエータ100を示す。このアクチュエータ100は、コイル構造部110と磁石構造部150とを含んでおり、以下で詳細に解説されている。
図3と図4で示すコイル構造部110は、コイル構造部のベース部120で1列に並べられて配置された複数のPCBコイル112を含む。隙間114が隣接するPCBコイル112間に形成されている。これらPCBコイル112は、電気的に直列に接続されている。図3、図4および図8Aから図8Cにかけて図示するようにコイル構造部のベース部120は、搭載穴122を利用してFSM装置300のベース部302に搭載できる。図3、図8Aおよび図8Cで図示するようにベース部材120は、PCBコイル112の底端を保持するための保持スロット124を含む。コイル構造部110は、さらにコイルスタンドオフ126(図4、図10Aおよび図10Bで図示)を含む。これらは、ベース部材120の両側に沿って2列に固定穴130と132を介してベース部材120に取り付けられており、PCBコイル112の端部を保持するための保持スロット134を含む。1対のコイルクランプ136(図9Aと図9Bで図示)は、ベース部材120の両側に沿って2列に配列され、固定穴130と138および整合ネジ(図示せず)を介してコイルスタンドオフ126aと126bの上端に固定されている。ネジ(図示せず)がコイルスタンドオフ126aと126bをベース部材120に固定するために使用される。コイルクランプは、保持スロット140内でPCBコイル112の上縁部を固定するために配置される。
図5から図7にかけて図示されているように、それぞれのPCBコイル112は、ボード部材または、PCBボード118に搭載される薄型で平坦なコイル部材116を含む。コイル部材116は、ボード部材118の表面上に楕円形状に巻き付けられ、上下に重ねられ、直列に連結された複数のコイル層116aから116hを含む。コイル層116aから116hは、膜層(図示せず)によって互いに絶縁されている。
図7は、コイル層116aから116hの電気接続の詳細を概略的に示す。図7で図示するように個別のコイル層は、直列に接続されており、対コイル間は、架橋されている。この例では、それぞれのコイル部材116は、ボードあたり8巻きを提供するように設計された8枚のコイル層を含む。最上層116aから第5中間層116fまで、第2中間層116bから第6中間層116gまで、等々の相互接続は、ボード部材118を通る導電バイアで提供される。最初の4層である116aから116dでは、層あたり2巻きが存在する。それらは、並列状態で続く4層116eから116hに接続されている。上述の構造を有するPCBコイルは、約0.04インチの厚みである。PCBコイルの1特殊実施例を上述したが、他の実施形態であっても可能である。例えば、異なる層数とコイル巻数、層間の異なる接続形態、および異なる形状およびサイズも可能である。
図3と図11で図示するように、磁石構造部150は、磁石構造部150の内側領域に内側磁石ユニット160を含み、磁石構造部150の端部には、外側磁石ユニット180を含む。これら磁石ユニット160と180は、1列に配置され、磁石構造部のベース部200に固定されており、PCBコイル112を収容するために隣接する磁石ユニット160と180を隙間152にて分離させている。図11と図13Aから図13Cにかけて図示するように、ベース部材200は、FSM装置300のミラー304に搭載穴192により搭載されている。コイル構造部110のベース部材120をFSMミラー304に搭載し、磁石構造部のベース部材200をFSM装置のベース部302に搭載することも可能であり、場合によっては望ましい。
図3と図12で図示するように、それぞれの内側磁石ユニット160は、第1下方磁石162と第2上方磁石164を含む。下方磁石162と上方磁石164は、反対の磁極方向性(“N”と“S”)となるように配置される。それらの磁極軸は、コイル部材116の平面に対して垂直となる。図3および図14Aと図16Bで図示するように内側磁石ユニット160は、内側下方磁石クランプ166(図14Aと図14B)と、内側中央磁石ホルダ168(図15Aと図15B)と、内側上方磁石クランプ170(図16Aと図16B)とをさらに含む。これら内側下方磁石クランプ166と内側上方磁石クランプ170は、実質的に棒状である。内側中央磁石ホルダ168は、本質的には、H形状であり、水平部168aと、水平部168aの両端の垂直部168bとを有している。内側下方磁石クランプ166と内側上方磁石クランプ170は、固定穴166a、168cおよび170aと整合固定具(図示せず)を介して内側中央磁石ホルダ168の垂直部168bのそれぞれ下端と上端に取り付けられている。従って下方磁石162は、内側下方磁石クランプ166と内側中央磁石ホルダ168の間に固定され、上方磁石164は、内側上方磁石クランプ170と内側中央磁石ホルダ168の間に固定されている。内側下方磁石クランプ166は、固定穴166bとベース部200の整合穴(図示せず)に挿入された固定具(図示せず)によって磁石構造部のベース部200に取り付けられている。
図3、図12Aおよび図12Bで図示するように、それぞれの外側磁石ユニット180は、磁極軸がコイル部材116の平面に対して垂直である反対磁性(“N”と“S”)を有するように第1下方磁石162と第2上方磁石164を含む。外側磁石ユニット180は、磁極片またはシャント182(図20Aと図20B)をさらに含む。
図3と図17Aと図19Bで図示するように、外側磁石ユニット160は、外側下方磁石クランプ186(図17Aと図17B)と、外側中央磁石ホルダ188(図18Aと図18B)と、上方磁石クランプ190(図19Aと図19B)とをさらに含む。外側下方磁石クランプ186と外側上方磁石クランプ190は、実質的に棒状である。外側中央磁石ホルダ188は、本質的にH形状であり、水平部188aと、水平部188aの両端の垂直部188bとを有している。外側下方磁石クランプ186と外側上方磁石クランプ190は、固定穴186a、188cおよび190aを介して外側中央磁石ホルダ188の垂直部188bの下端と上端とにそれぞれ取り付けられている。よって下方磁石162は、外側下方磁石クランプ186と外側中央磁石ホルダ188の間に固定され、上方磁石164は、外側上方磁石クランプ190と外側中央磁石ホルダ188の間に固定される。磁極片182は、外側磁石ユニット180の上方磁石162と下方磁石164の外側に配置され、外側下方磁石クランプ186と外側上方磁石クランプ190の間で固定される。外側下方磁石クランプ186は、搭載穴187と194によって磁石構造部のベース部200に取り付けられる。
磁石162と164は、例えば35MGOeネオジミウムボロン鉄(NdBFe)エネルギー製品磁石である。さらに高性能化するため磁石162と164を50MGOeNdBFe永久磁石とすることもできる。高温利用のためには、高エネルギー製品サマリウムコバルト磁石162と164が使用できる。他のタイプの磁石でも同様に利用できる。磁極片は、入手容易な炭素鋼である、例えばC1008で製造することができる。これは、約18000ガウスの飽和磁束密度を有する。しかし、磁極片182をヒパーコ50A(バナジウムパーメンジュールとしても知られる)で製造することでも高性能は達成される。これは、23000ガウスまでの飽和磁束密度を有する。この高磁束密度のために磁束密度比においてC1008よりも小さい比のヒパーコ50Aがアクチュエータの重量を減少させるために必要となろう。
磁石構造部(すなわち磁石構造部のベース部200)のその他の非磁性部材である下方磁石クランプ166と186、中央磁石ホルダ168と188、および上方磁石クランプ170と190並びにコイルベース部材120、コイルスタンドオフ128aと128b、およびコイルクランプ136は、アルミニウムまたは別の適した材料で製造できる。1つの他の可能な材料は、トルロン(ポリイミドアミド、PIA)である。この材質は、強靭であり、高温耐熱性があり、C1008やネオジミウム磁石に匹敵する熱膨張係数を示す。アルミニウムは、トルロンよりも強度が高いが、2倍の重さである。これらおよび他の材料は、重量、構造的剛性および費用のごとき設計考察要因に基づいて使用できる。
図示の実施例では、5体の内側磁石ユニット160と2体の外側磁石ユニット180とを含んだ7体の磁石ユニットを提供することによって全部で14体の磁石を提供している。磁石構造部150は、コイル構造部110を考慮して設計されている。アクチュエータ100が組み立てられたとき(図3)、コイル構造部110と磁石構造部150は、コイル構造部のベース部120と磁石構造部のベース部200とが両側に配置されるようにインターフェースし、PCBコイルは、隣接する磁石ユニット160と180との間の隙間152に挿入され、内側磁石ユニット160は、隣接する内側PCBコイル112間の隙間114に挿入され、外側磁石ユニット180は、外側PCBコイル112の外側に配置される。このようにしてPCBコイル112と磁石ユニット160、180は、アクチュエータ100に沿って交互に並ぶように構成されている。アクチュエータ100は、様々な数のPCBコイルと磁石ユニット160、180を有する類似の形態で規模を拡大または縮小することができる。
操作時に、PCBコイル112に電流が適用されると、コイル112は、磁石構造部160、180によって創出される磁界と互いに影響する磁界を創出することで、適用された電流に比例させてFSM300のミラー側304の動作を提供する。アクチュエータによって適用される力は、以下の式によって求められる。
F(ニュートン)=N・I・L・B
式中、
N=有効巻数、
I=PCBコイルに流入する電流(アンペア)、
L=磁界に垂直な1巻の有効長(メートル)、
B=PCBコイルを通じて垂直に適用される平均磁界磁束密度(テスラ)
本発明のアクチュエータの性能特性と利点は、次の実施例で理解できるであろう。
FSM利用のため、試作品のPCBコイルリニアアクチュエータを評価した。アクチュエータのためのいくつかの重要パラメータは、±0.032インチ(0.8mm)の必要往復運動距離、0.020インチ(0.5mm)のコイル構造部と磁石構造部との間の隙間、および50ニュートン以上の最大力であった。試作品のための別パラメータを以下に示す。
試作品PCBコイルリニアアクチュエータは、6体の0.040インチ厚の8層PCBコイルとボードあたり有効巻数8巻を利用した。PCBコイルを直列に連結して有効巻数48巻とした。各PCBコイルの設置場所は、3.00インチx0.675インチであった。この試作品は、14体のMG NdBFe磁石(2インチ長、約3/8インチ幅)とC1008磁極片をさらに利用した。アクチュエータの非磁性構造部材は、アルミニウムで形成された。従来型のボイスコイルアクチュエータ(VCA)と比較した第1試作品の予測および実際の試験結果を次の表1に示す。
Figure 2010514393
表1に関連して、試験されたアクチュエータは、次の特性を示した。

力定数 ‐2.54ニュートン/アンペア
モータ定数 ‐4.33ニュートン/ワット1/2
巻抵抗 ‐0.343オーム
巻インダクタンス ‐<0.044ミリ‐ヘンリー
名目アクチュエータ長 ‐0.887インチ(22.4nm)
コイル重量(ベース部側)‐67.0g
磁石重量(ミラー側) ‐142.0g
アクチュエータ総重量 ‐209g
電気時間定数(L/R) ‐128μ秒

図20は、アクチュエータの強度反応を示すグラフであり、試作品試験の結果を示している。
比較の結果、典型的実施例のVCAは、以下のパラメータを有している。

力定数 ‐5.8ニュートン/アンペア
モータ定数 ‐2.8ニュートン/ワット1/2
巻抵抗 ‐4.4オーム
巻インダクタンス ‐<1.4ミリ‐ヘンリー
名目アクチュエータ長 ‐1.56インチ(39.62nm)
コイル重量 ‐ 25g
磁石重量 ‐196g
アクチュエータ総重量 ‐221g
電気時間定数(L/R) ‐318μ秒
上記の結果から試作品は、本発明のアクチュエータは、優れた性能を提供し、効率性の臨界的領域内での予測性能以上の実際の性能を示すことを証明した。例えば実際のモータ定数は、4.33ニュートン/ワット1/2と計算されたが、これは、およそ同じアクチュエータ総重量を有する典型的なVCAよりも54%高い。モータ定数は、アクチュエータの全体的効率性を示している。本例のVCAは、さらに多くの有効巻きを有しており、結果として力定数は、高いが効率性が低い。有効巻数を増加させることでさらに高い力定数のPCBコイルアクチュエータを設計することもできるが、この場合の設計は、超低抵抗アクチュエータ(本例のVCAでは、0.343オーム対4.4オーム)用であった。モータ定数は、力定数の1関数であり、その抵抗は、次の通りである。
=K/R1/2
PCBコイルアクチュエータ試作品は、21ニュートンの力を発生させるように設計された。例えば試験された試作品は、21ニュートンの力を発生させるために、VCAが57.68ワットを必要としたのに対して、23.5ワットの力を必要とするだけであった。このように試作品は、同じ力を発生させるためにVCAが必要とした力の41%の力を必要とするだけであった。さらに、試験された試作品は、128μ秒の時間定数を有していたのに対して、VCAの時間定数は、318μ秒であった。試作品の試験時間定数は、現在1kHzループで使用されているものの40%であり、本発明のアクチュエータを2kHzループのクローズに使用できないことは考えられない。
PCBコイルアクチュエータの性能を、バナジウムパーメンジュールや50MGOe磁石等のさらに高性能の材料を使用することで向上させることができる。
前述の実施例は、本発明の最良実施態様を説明するためのものであり、当業者であれば本発明を特定の利用形態に応じて多様に変形させて利用することができる。従って前述の説明は、本発明をここに開示した形態に限定するものではない。また添付の「請求の範囲」は、詳細な説明で明確に定義されていない別実施例も含むものと解釈されるべきである。

Claims (16)

  1. 電磁アクチュエータであって、
    電磁界を発生させるように構成されている少なくとも1体のプリント回路板コイルを含んだコイル構造部と、
    前記電磁界と互いに影響する磁界を発生させるように構成されている少なくとも1体の磁石ユニットを含んだ磁石構造部と、
    を含んでいることを特徴とする電磁アクチュエータ。
  2. 少なくとも1体のプリント回路板コイルは、PCボード上に配置された略平坦なコイル部材を含んでいることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
  3. コイル部材は、重ねられた複数のコイル層を含んでいることを特徴とする請求項2記載の電磁アクチュエータ。
  4. 複数のコイル層は、8枚のコイル層を含んでおり、
    前記8枚のコイル層の最初の4層のそれぞれは、前記8枚のコイル層の続く4層に並列状態で接続された2巻きを有していることを特徴とする請求項3記載の電磁アクチュエータ。
  5. 少なくとも1体のプリント回路板コイルは、互いに電気的に直列に連結された複数のプリント回路板コイルを含んでおり、
    少なくとも1体の磁石ユニットは、複数の磁石ユニットを含んでいることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
  6. 少なくとも1体の磁石は、重ねられた第1磁石と第2磁石とを含んでおり、
    前記第1磁石と前記第2磁石は、少なくとも1体のコイル部材の表面に対して垂直である磁極軸を有しており、
    前記第1磁石と前記第2磁石は、反対の磁極方向性を有していることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
  7. アクチュエータの端部に配置され、本アクチュエータの磁性回路を閉じている非磁極片を含んでいることを特徴とする請求項6記載の電磁アクチュエータ。
  8. 請求項1記載の電磁アクチュエータであって、
    コイル構造部は、
    前記コイル構造部を高速ステアリングミラー装置のミラーとベース部の一方に固定させるように構成された第1ベース部材と、
    少なくとも1体のプリント回路板コイルを前記第1ベース部材に固定させるように構成された少なくとも1体のコイルクランプと、を含んでおり、
    磁石構造部は、
    前記磁石構造部を前記高速ステアリングミラー装置の前記ミラーと前記ベース部の他方に固定させるように構成された第2ベース部材と、
    少なくとも1体の磁石を前記第2ベース部材に固定させるように構成された少なくとも1体の要素と、
    を含んでいることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
  9. 電磁アクチュエータであって、
    電磁界を発生させるように構成された複数のプリント回路板コイルを含んだコイル構造部を含んでおり、
    前記プリント回路板コイルは、隣接する前記プリント回路板コイル間に隙間を提供するように1列に配置されており、
    本アクチュエータは、隣接する磁石ユニット間に隙間を提供するように1列に配置された複数の磁石ユニットを含んだ磁石構造部をさらに含んでおり、それぞれの前記磁石ユニットは、磁界を創出するように構成された少なくとも1体の磁石を含んでおり、
    前記磁石ユニットと前記プリント回路板コイルは、該磁石ユニットの内側磁石ユニットが隣接する前記プリント回路板コイル間の前記隙間に配置されるように、本アクチュエータに沿って交互に並ぶように構成されており、
    前記回路板コイルは、隣接する前記磁石ユニット間の前記隙間に配置されており、
    前記磁石ユニットの外側磁石ユニットは、前記プリント回路板コイルの最外側の該プリント回路板コイルの外側で本アクチュエータの端部に配置されていることを特徴とする電磁アクチュエータ。
  10. 請求項9記載の電磁アクチュエータであって、
    コイル構造部は、
    前記コイル構造部を高速ステアリングミラー装置のミラーとベース部の一方に固定させるように構成された第1ベース部材と、
    プリント回路板コイルを前記第1ベース部材に固定させるように構成されたコイルクランプと、を含んでおり、
    磁石構造部は、
    前記磁石構造部を前記高速ステアリングミラー装置の前記ミラーと前記ベース部の他方に固定させるように構成された第2ベース部材と、
    磁石ユニットを前記第2ベース部材に固定させるように構成された要素と、
    を含んでいることを特徴とする請求項9記載の電磁アクチュエータ。
  11. アクチュエータの端部に配置され、本アクチュエータの磁性回路を閉じている非磁極片を含んでいることを特徴とする請求項9記載の電磁アクチュエータ。
  12. それぞれのプリント回路板コイルは、PCボード上に配置された略平坦なコイル部材を含んでいることを特徴とする請求項9記載の電磁アクチュエータ
  13. コイル部材は、重ねられた複数のコイル層を含んでいることを特徴とする請求項12記載の電磁アクチュエータ。
  14. 複数のコイル層は、8枚のコイル層を含んでおり、
    前記8枚のコイル層の最初の4層のそれぞれは、前記8枚のコイル層の続く4層に並列状態で接続された2巻きを有していることを特徴とする請求項13記載の電磁アクチュエータ。
  15. プリント回路板コイルは、互いに電気的に直列に連結されていることを特徴とする請求項9記載の電磁アクチュエータ。
  16. 少なくとも1体の磁石は、重ねられた第1磁石と第2磁石とを含んでおり、
    前記第1磁石と前記第2磁石は、少なくとも1体のコイル部材の表面に対して垂直である磁極軸を有しており、
    前記第1磁石と前記第2磁石は、反対の磁極方向性を有していることを特徴とする請求項9記載の電磁アクチュエータ。
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