JP2010166003A - Film laminating device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ロール状フィルムから小片状フィルムを切り取ってシート状電子基板に貼り合わせるフィルム貼り合わせ装置に関する。 The present invention relates to a film laminating apparatus for cutting a small piece film from a roll film and laminating it on a sheet-like electronic substrate.
従来から、例えば、フレキシブルプリント基板を作成する際には、導体パターンが形成された樹脂製のシート状電子基板の導体パターン形成面に絶縁体からなる小片状フィルムを貼り付けて導体パターンを保護している。このような場合に、ロール状フィルムから所定の形状の小片状フィルムを切断して、シート状電子基板に貼り合わせるためのフィルム貼り合わせ装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, for example, when creating a flexible printed circuit board, a small piece film made of an insulator is attached to a conductive pattern forming surface of a resin sheet-like electronic substrate on which a conductive pattern is formed to protect the conductive pattern. is doing. In such a case, a film laminating apparatus is used for cutting a piece-shaped film of a predetermined shape from a roll-shaped film and laminating it on a sheet-like electronic substrate (see, for example, Patent Document 1).
このフィルム貼り合わせ装置(カバーレイフィルム貼り合わせ装置)には、ベースフィルム供給装置、仮圧着装置、積層フィルム回収装置およびカバーレイフィルム裁断・供給装置等の各種の装置が備わっている。そして、カバーレイフィルムをベースフィルムに貼り合わせる際には、ベースフィルム供給装置によって間欠的に繰り出されたベースフィルムに、カバーレイフィルム裁断・供給装置によって所定形状に裁断されて搬送されてくるカバーレイフィルムを仮圧着装置によって仮圧着して積層フィルムを形成している。 The film laminating apparatus (coverlay film laminating apparatus) includes various devices such as a base film supply apparatus, a temporary pressure bonding apparatus, a laminated film collection apparatus, and a coverlay film cutting / supplying apparatus. When the coverlay film is bonded to the base film, the coverlay film that is intermittently fed out by the base film supply device and cut into a predetermined shape by the coverlay film cutting / feeding device is conveyed. The film is temporarily pressed by a temporary pressing apparatus to form a laminated film.
このカバーレイフィルム裁断・供給装置は、カバーレイフィルムを裁断するカバーレイフィルム裁断装置と、移動可能な移動クランパと吸着パッドからなるカバーレイフィルム供給装置とで構成されており、カバーレイフィルム裁断装置によって短冊状に裁断されたカバーレイフィルムを吸着パッドで吸着してベースフィルムの所定位置まで搬送する。また、仮圧着装置は、仮圧着テーブルと、仮圧着テーブルを受ける緩衝機構とを備えており、仮圧着テーブルと緩衝機構との間にベースフィルムとカバーレイフィルムとを配置した状態で仮圧着テーブルを緩衝機構側に移動させることにより、ベースフィルムにカバーレイフィルムを仮圧着する。そして、形成された積層フィルムは積層フィルム回収装置によって回収される。 This cover lay film cutting / supplying device is composed of a cover lay film cutting device for cutting the cover lay film and a cover lay film supplying device comprising a movable clamper and a suction pad. The cover lay film cut into a strip shape is sucked by a suction pad and conveyed to a predetermined position of the base film. The temporary pressure bonding apparatus includes a temporary pressure bonding table and a buffer mechanism that receives the temporary pressure bonding table, and the temporary pressure bonding table with the base film and the coverlay film disposed between the temporary pressure bonding table and the buffer mechanism. The coverlay film is temporarily pressure-bonded to the base film by moving to the buffer mechanism side. And the formed laminated film is collect | recovered by a laminated film collection | recovery apparatus.
しかしながら、前述した従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置では、カバーレイフィルムの裁断、裁断されたカバーレイフィルムの搬送、カバーレイフィルムのベースフィルムへの仮圧着がそれぞれ異なる装置によって行われるため、装置全体が大型になるとともに、処理速度が遅くなっていた。 However, in the above-described conventional coverlay film laminating apparatus, the coverlay film is cut, the cut coverlay film is transported, and the coverlay film is temporarily bonded to the base film by different apparatuses. Became larger and the processing speed was slower.
本発明は、このような問題に対処するためになされたもので、その目的は、小型化および高速処理が可能になるフィルム貼り合わせ装置を提供することである。 The present invention has been made to cope with such problems, and an object of the present invention is to provide a film laminating apparatus capable of downsizing and high-speed processing.
前述した目的を達成するため、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置の構成上の特徴は、フィルム移動機構によって繰り出されるロール状フィルムから小片状フィルムを切断し、ヘッドユニット移動機構によって小片状フィルムを、基板移動機構によって搬送されるシート状電子基板に貼り合わせるフィルム貼り合わせ装置であって、個別に上下移動が可能になった複数の金型を備えヘッドユニット移動機構が備えるレールに沿って移動可能なヘッドユニットと、複数の金型の下面にそれぞれ形成されロール状フィルムに押し付けられることによりロール状フィルムから小片状フィルムを切断する切断部と、複数の金型にそれぞれ設けられ切断部によって切断された小片状フィルムを保持する保持部と、複数の金型にそれぞれ設けられ保持部によって保持されて搬送される小片状フィルムをシート状電子基板に固定する固定部とを備えたことにある。 In order to achieve the above-described object, the structural feature of the film laminating apparatus according to the present invention is that a small piece film is cut from a roll-shaped film fed out by a film moving mechanism, and the small piece film is formed by a head unit moving mechanism. Is a film laminating apparatus for laminating a sheet-like electronic substrate conveyed by a substrate moving mechanism, and includes a plurality of dies that can be individually moved up and down and moved along a rail included in a head unit moving mechanism A possible head unit, a cutting part that is formed on the lower surface of a plurality of molds and pressed against the roll film, and cuts a piece-like film from the roll film, and a cutting part that is provided in each of the plurality of molds. A holding part for holding the cut piece-like film, and a holding part provided for each of a plurality of molds A small piece of film which thus conveyed is held in that a fixing portion for fixing a sheet-like electronic substrate.
本発明に係るフィルム貼り合わせ装置では、ヘッドユニット移動機構にレールとそのレールに沿って移動可能なヘッドユニットとが備わっており、そのヘッドユニットに、個別に上下移動が可能になった複数の金型を含ませるとともに、各金型に、それぞれ切断部と、保持部と、固定部とを設けている。すなわち、切断部、保持部および固定部をそれぞれフィルム貼り合わせ装置を構成する別々の装置に設けるのではなく、これらをすべて金型に設けてその切断部、保持部および固定部が設けられた複数の金型等でヘッドユニットを構成している。これによって、ヘッドユニットが移動する際に、切断部、保持部および固定部の複数組が一緒に移動するようにしている。 In the film laminating apparatus according to the present invention, the head unit moving mechanism includes a rail and a head unit movable along the rail, and the head unit has a plurality of gold plates individually movable up and down. A mold is included, and each die is provided with a cutting portion, a holding portion, and a fixing portion. That is, the cutting unit, the holding unit, and the fixing unit are not provided in separate devices constituting the film laminating apparatus, respectively, but these are all provided in the mold, and the cutting unit, the holding unit, and the fixing unit are provided. The head unit is composed of a mold or the like. Accordingly, when the head unit moves, a plurality of sets of the cutting part, the holding part, and the fixing part are moved together.
したがって、フィルム貼り合わせ装置全体を小型化できるとともに、ヘッドユニットの移動範囲の中で、ロール状フィルムからの小片状フィルムの切断、切断された小片状フィルムの保持、小片状フィルムの搬送および小片状フィルムのシート状電子基板への貼り合わせのすべての処理を行うことができる。また、ヘッドユニットに、それぞれ切断部、保持部および固定部が設けられた複数の金型が備わっており、各金型が個別に上下移動が可能になっている。このため、ロール状フィルムから複数の小片状フィルムを同時または順番に切断して保持することができるとともに、複数の小片状フィルムを同時または順番にシート状電子基板に貼り合わせることができる。 Therefore, the entire film laminating apparatus can be reduced in size, and within the range of movement of the head unit, the small film is cut from the roll film, the cut small film is held, and the small film is conveyed. In addition, all the processes of bonding the small piece film to the sheet-like electronic substrate can be performed. Further, the head unit is provided with a plurality of molds each provided with a cutting part, a holding part and a fixing part, and each mold can be individually moved up and down. For this reason, while being able to cut | disconnect and hold | maintain several piece-like films from a roll-like film simultaneously or in order, a several piece-like film can be bonded together to a sheet-like electronic substrate simultaneously or in order.
複数の小片状フィルムを同時に、切断したり固定したりする場合には、高速処理が可能になるため、効率のよい小片状フィルムのシート状電子基板への貼り合わせが可能になる。また、複数の小片状フィルムを順番に、切断する場合には、ロール状フィルムにおける各小片状フィルムを切断する部分を接近させたり、ロール状フィルムから複数の小片状フィルムを切断する都度、ヘッドユニットの向きを変えたりすることにより、ロール状フィルムの無駄を少なくすることができる。また、複数の小片状フィルムを順番に、貼り合わせる場合には、小片状フィルムをシート状電子基板に貼り合わせる都度、各小片状フィルム(ヘッドユニット)の向きを変えることにより、シート状電子基板における小片状フィルムを貼り合わせる部分の配置が変則的なものであっても各小片状フィルムを精度よくシート状電子基板に貼り合わせることができる。 When a plurality of small pieces of film are cut or fixed at the same time, high-speed processing is possible, so that efficient attachment of the small pieces of film to a sheet-like electronic substrate is possible. In addition, when cutting a plurality of small pieces of film in order, each time a portion of the roll-shaped film that cuts each small piece of film is approached or a plurality of small pieces of film are cut from the roll-shaped film The waste of the roll film can be reduced by changing the direction of the head unit. In addition, when laminating a plurality of small pieces of film in order, each time the small pieces of film are laminated to a sheet-like electronic substrate, the direction of each piece of thin film (head unit) is changed to form a sheet. Even if the arrangement of the portions on the electronic substrate where the small film is bonded is irregular, each small film can be accurately bonded to the sheet-shaped electronic substrate.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置の他の構成上の特徴は、ヘッドユニットにシート状電子基板を検出できる基板用状態検出部を設けるとともに、ヘッドユニットの移動範囲の下方に、保持部が保持する小片状フィルムを検出できる小片状フィルム用状態検出部を設けたことにある。これによると、基板用状態検出部で、シート状電子基板の設置位置やシート状電子基板における小片状フィルムを貼り合わせる部分の位置を検出するとともに、小片状フィルム用状態検出部で、保持部に保持された小片状フィルムの向きを検出し、両検出結果を比較することにより、小片状フィルムをシート状電子基板における正確な位置に貼り合わせることができる。 Another structural feature of the film laminating device according to the present invention is that the head unit is provided with a substrate state detection unit capable of detecting a sheet-like electronic substrate, and a holding unit is provided below the moving range of the head unit. A small piece film state detection unit capable of detecting the small piece film to be held is provided. According to this, the substrate state detection unit detects the installation position of the sheet-like electronic substrate and the position of the portion where the piece-like film is pasted on the sheet-like electronic substrate, and is held by the piece-like film state detection unit. By detecting the direction of the small piece film held by the portion and comparing both detection results, the small piece film can be bonded to an accurate position on the sheet-like electronic substrate.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、ヘッドユニット移動機構によって搬送される小片状フィルムに対して、付加材の追加または不要材の除去を行うか、もしくは小片状フィルムの状態を変化させる状態変更部を設けたことにある。この場合、状態変更部を、小片状フィルムに所定の部材、液体または気体を付加する付加装置、小片状フィルムから不要部、液体、気体または静電気材の除去を行う除去装置、小片状フィルムの姿勢を修正する姿勢修正装置のいずれかで構成することが好ましい。 Still another structural feature of the film laminating apparatus according to the present invention is that additional material is added or unnecessary material is removed from the small piece film conveyed by the head unit moving mechanism, or A state changing unit for changing the state of the small piece film is provided. In this case, the state changing unit includes a predetermined member, an addition device that adds liquid or gas to the small piece film, a removal device that removes unnecessary portions, liquid, gas, or electrostatic material from the small piece film, small piece shape It is preferable to use any posture correcting device that corrects the posture of the film.
これによると、ロール状フィルムから切断された小片状フィルムをシート状電子基板に貼り合わせる前に、小片状フィルムに対して何らかの処理が必要な場合には、この状態変更部によってその処理を行うことができる。状態変更部が所定の部材を付加する付加装置である場合には、例えば、シート状電子基板に貼り合された小片状フィルムまたはその一部をシート状電子基板から剥離する処理が必要な場合に、小片状フィルムの端部等に剥離用の小フィルムを張り付ける処理を行うことができる。この場合、状態変更部としては、剥離用小フィルムの貼り付け装置が用いられる。 According to this, before the piece-like film cut from the roll-like film is bonded to the sheet-like electronic substrate, if any treatment is required for the piece-like film, the state change unit performs the treatment. It can be carried out. When the state changing unit is an additional device that adds a predetermined member, for example, when a process of peeling a small piece film or a part thereof bonded to the sheet-like electronic substrate from the sheet-like electronic substrate is required Moreover, the process which sticks the small film for peeling on the edge part etc. of a small piece-like film can be performed. In this case, a device for attaching a small film for peeling is used as the state changing unit.
状態変更部が液体や気体を付加する付加装置である場合には、小片状フィルムをシート状電子基板に貼り合わせるときの濡れ性を向上させて小片状フィルムのシート状電子基板への適正な貼り合せを可能にすることができる。また、状態変更部が不要部を除去する除去装置である場合には、小片状フィルムの外周部に発生したバリや小片状フィルムに付着した異物等を除去することができる。さらに、状態変更部が液体、気体または静電気材を除去する除去装置である場合には、小片状フィルムに付着する余分な液体や小片状フィルムに含まれる気体や静電気を除去することにより、小片状フィルムのシート状電子基板への適正な貼り合せを可能にすることができる。また、状態変更部が小片状フィルムの姿勢を修正する姿勢修正装置である場合には、保持部に保持された小片状フィルムの姿勢を適正な状態に修正することができる。 When the state changing unit is an additional device that adds liquid or gas, it improves the wettability when the piece-like film is attached to the sheet-like electronic substrate, and makes the piece-like film suitable for the sheet-like electronic substrate. Bonding can be made possible. Further, when the state changing unit is a removing device that removes unnecessary portions, burrs generated on the outer peripheral portion of the small piece film, foreign matters attached to the small piece film, and the like can be removed. Furthermore, when the state changing unit is a removing device that removes liquid, gas, or electrostatic material, by removing excess liquid or gas contained in the small piece film or static electricity contained in the small piece film, Appropriate bonding of the small piece film to the sheet-like electronic substrate can be made possible. When the state changing unit is a posture correcting device that corrects the posture of the small piece film, the posture of the small piece film held by the holding unit can be corrected to an appropriate state.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、フィルム移動機構にロール状フィルムの繰り出された部分を固定するためのフィルム固定部を設けたことにある。これによると、フィルム固定部によってロール状フィルムが固定されるため、切断部でロール状フィルムから小片状フィルムを切断する際の処理を正確かつスムーズに行える。 Still another structural feature of the film laminating apparatus according to the present invention resides in that a film fixing unit for fixing a part where the roll-shaped film is fed is provided in the film moving mechanism. According to this, since a roll-shaped film is fixed by a film fixing part, the process at the time of cut | disconnecting a small piece-like film from a roll-shaped film in a cutting | disconnection part can be performed correctly and smoothly.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、ヘッドユニット移動機構を平行して一対設けたことにある。これによると、複数の金型を備えたヘッドユニットを有するヘッドユニット移動機構が一対設けられているため、さらに高速度の処理が可能になる。 Further, still another structural feature of the film bonding apparatus according to the present invention is that a pair of head unit moving mechanisms are provided in parallel. According to this, since a pair of head unit moving mechanisms having a head unit having a plurality of molds are provided, processing at a higher speed becomes possible.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、切断部をトムソン型の切断刃で構成したことにある。これによると、小片状フィルムの形状を複雑な形状にしても切断部の形状を小片状フィルムの形状に合わせて高精度に形成できるとともに、切断部を安価にできる。 Still another structural feature of the film laminating apparatus according to the present invention is that the cutting portion is constituted by a Thomson-type cutting blade. According to this, even if the shape of the small piece film is complicated, the shape of the cut portion can be formed with high accuracy according to the shape of the small piece film, and the cut portion can be made inexpensive.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、保持部を、吸引装置に接続された吸引部、下面が粘着性を備えた面で構成される粘着部および小片状フィルムの外周部に係合する係合部のいずれかで構成したことにある。保持部を吸引装置に接続された吸引部で構成した場合には、吸引装置の吸引力により小片状フィルムを確実に保持することができ、保持部を粘着部で構成した場合には、簡単な構造で安価につく保持部を得ることができる。また、保持部を小片状フィルムの外周部に係合する係合部で構成した場合には、さらに簡単な構造で安価につく保持部を得ることができる。 Still another structural feature of the film laminating device according to the present invention is that the holding portion includes a suction portion connected to the suction device, and a pressure-sensitive adhesive portion and a small piece each having a lower surface with adhesiveness. It is comprised in either of the engaging parts engaged with the outer peripheral part of a film-like film. When the holding unit is configured by a suction unit connected to the suction device, the piece-like film can be securely held by the suction force of the suction device, and when the holding unit is configured by an adhesive unit, It is possible to obtain a holding portion that is inexpensive and has a simple structure. Further, when the holding portion is constituted by an engaging portion that engages with the outer peripheral portion of the small piece film, a holding portion that can be obtained at a low cost with a simpler structure can be obtained.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、固定部を、固定用ヒータまたは超音波発振器で構成したことにある。固定部を固定用ヒータで構成した場合には、シート状電子基板に載置された小片状フィルムの上面を固定用ヒータで押圧しながら加熱することにより、小片状フィルムの一部を溶融させてシート状電子基板に貼り合わせることができる。また、固定部を超音波発振器で構成した場合には、シート状電子基板に載置された小片状フィルムの上面を超音波発振器で押圧しながら超音波を発振することにより、小片状フィルムをシート状電子基板に高密度に密着させて固定することができる。この場合、ロール状フィルムおよびシート状電子基板としては、加熱や超音波により接合が可能な樹脂材料や金属材料等を用いる。 Still another structural feature of the film laminating apparatus according to the present invention is that the fixing portion is configured by a fixing heater or an ultrasonic oscillator. When the fixing part is composed of a fixing heater, a part of the small piece film is melted by heating while pressing the upper surface of the small piece film placed on the sheet-like electronic substrate with the fixing heater. It can be made to stick together on a sheet-like electronic substrate. In addition, when the fixed portion is constituted by an ultrasonic oscillator, the small piece film is obtained by oscillating ultrasonic waves while pressing the upper surface of the small piece film placed on the sheet-like electronic substrate with the ultrasonic oscillator. Can be fixed to a sheet-like electronic substrate with high density. In this case, as the roll film and the sheet-like electronic substrate, a resin material or a metal material that can be bonded by heating or ultrasonic waves is used.
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置のさらに他の構成上の特徴は、切断部がロール状フィルムから小片状フィルムを切断すると同時に、保持部が小片状フィルムを保持するようにしたことにある。これによると、切断部がロール状フィルムから小片状フィルムを切断する処理と、切断された小片状フィルムを保持部が保持する処理とが同時に行われるため、さらに、処理時間の短縮が可能になる。 In addition, another structural feature of the film laminating apparatus according to the present invention is that the holding part holds the small piece film at the same time that the cutting part cuts the small piece film from the roll film. It is in. According to this, since the process in which the cutting part cuts the piece-like film from the roll film and the process in which the holding part holds the cut piece-like film is performed at the same time, the processing time can be further reduced. become.
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態を図面を用いて説明する。図1は、同実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置10を示している。このフィルム貼り合わせ装置10は、樹脂製のロール状フィルムAから小片状フィルムA1を切断するとともに、その切断した小片状フィルムA1を搬送して樹脂製のシート状電子基板Bの上面に形成された電極パターンの所定部分に貼り合わせるための装置である。フィルム貼り合わせ装置10は、基台(図示せず)と、基板移動機構15と、フィルム移動機構20と、ヘッドユニット移動機構30と、状態変更ユニット40とを備えている。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a
基板移動機構15は、基台の上方でシート状電子基板BをX方向(図1に矢印Xで示した方向で左右方向)に移動させて予め設定された設置部に設置するための装置であり、フィルム移動機構20は、基台の上面に基板移動機構15と平行して配置されロール状フィルムAをX方向に間欠的に移動させて各部分を予め設定された設置部に設置するための装置である。また、ヘッドユニット移動機構30は、基台の上方に配置された一対のヘッドユニット31a,31bをそれぞれロール状フィルムAおよびシート状電子基板Bの上方でY方向(図1に矢印Yで示した方向で前後方向)およびZ方向(図1に矢印Zで示した方向で上下方向)に移動させるための装置である。
The
そして、状態変更ユニット40は、フィルム移動機構20の所定の部分に設置され一対のヘッドユニット31a,31bによって搬送される小片状フィルムA1に対して後述する所定の処理を施すための装置である。基板移動機構15は、基台の上面に配置された一対のXレール16a,16bと、上面にシート状電子基板Bが設置される平面板状の移動テーブル17と、移動テーブル17の下面四隅に設けられ、それぞれXレール16a,16bに係合した状態で摺動することにより移動テーブル17をXレール16a,16bに沿って移動可能にする係合摺動部18a,18b(2個しか図示せず)とを備えている。
And the
また、図示していないが、基板移動機構15には搬送モータを備えた基板駆動装置が備わっており、移動テーブル17は、この基板駆動装置の駆動によりXレール16a,16bに沿って移動する。すなわち、Xレール16a,16bは、基台上で、移動テーブル17の前後方向の長さに合わせて前後方向に一定間隔を保って左右方向に延びており、基板駆動装置は搬送モータの作動により移動テーブル17を移動させて移動テーブル17の上面に設置されるシート状電子基板Bを順次設置部に搬送する。そして、設置部においてシート状電子基板Bへの小片状フィルムA1の固定が終了すると、そのシート状電子基板Bを下流側に搬送する。
Although not shown, the
フィルム移動機構20は、基板移動機構15の後方に基板移動機構15と平行して配置されており、基台の上面に一定間隔を保って配置された一対のXレール21a,21bと、Xレール21a,21bに沿って移動可能な移動テーブルユニット22と、Xレール21a,21bの長手方向の両端側にそれぞれ配置されたロール状フィルム巻き出しユニットおよびロール状フィルム廃棄部巻き取りユニット(ともに図示せず)とを備えている。移動テーブルユニット22は、平面視が長方形の底面部23の上面における幅方向(前後方向)の中央部に上方に突出する台状のフィルム支持部24を形成して本体部分が構成されている。そして、本体部分の左右両端にそれぞれ本発明に係るフィルム固定部としての壁面状のロール状フィルム固定ユニット25,26が形成されている。
The
ロール状フィルム固定ユニット25,26は、左右対称の構造をしており、底面部23の両端面からそれぞれ上方に延びる板状の壁面状固定部25a,26aと、壁面状固定部25a,26aの上面に対して進退するように上下移動する四角棒状の棒状移動部25b,26bとで構成されている。そして、壁面状固定部25a,26aの上面における幅方向(前後方向)の中央に、壁面状固定部25a,26aと棒状移動部25b,26bとの間に隙間を形成するフィルム挿通スリット25c,26cが設けられている。フィルム挿通スリット25c,26cは、幅がフィルム支持部24の幅と同じに設定され、下端部の高さがフィルム支持部24の上面の高さと同じに設定されている。
The roll-shaped
そして、壁面状固定部25a,26aの上端における前後両側部分の高さは、フィルム支持部24の上面の高さよりもやや高くなっており、両高さの差(フィルム挿通スリット25c,26cの高さ)は、ロール状フィルムAの厚みと同じかやや短い長さになっている。また、フィルム支持部24およびフィルム挿通スリット25c,26cの幅は、ロール状フィルムAの幅よりもやや大きく設定されている。このため、ロール状フィルムAを、フィルム挿通スリット25cとフィルム挿通スリット26cとに挿通させた状態で、フィルム支持部24上に設置し、棒状移動部25b,26bをそれぞれ下方に移動させることにより、ロール状フィルムAにおける移動テーブルユニット22の両端に位置する部分をフィルム支持部24上に固定することができる。
The heights of the front and rear side portions at the upper ends of the wall-shaped
また、移動テーブルユニット22には、棒状移動部25b,26bを昇降させるための昇降装置(図示せず)が備わっており、この昇降装置の作動により、棒状移動部25bは壁面状固定部25aに対して、棒状移動部26bは壁面状固定部26aに対してそれぞれ進退する。そして、底面部23の下面四隅には、Xレール21a,21bに係合した状態で摺動することにより移動テーブルユニット22をXレール21a,21bに沿って移動可能にする係合摺動部27a,27b,27c(3個しか図示せず)が設けられている。また、図示していないが、移動テーブルユニット22には搬送モータを備えた駆動装置が備わっており、移動テーブルユニット22は、この駆動装置の駆動によりXレール21a,21bに沿って移動する。
Further, the moving
ロール状フィルム巻き出しユニットは、Xレール21a,21bの上流側(左側)に配置されており、処理前のロール状フィルムAの巻回部の中心を軸回り方向に回転可能に支持する支持軸部と、その支持軸部を回転駆動させる送出し駆動装置とを備えている。そして、送出し駆動装置の駆動により、ロール状フィルムAを間欠的にフィルム支持部24の上面に送り出す。ロール状フィルム廃棄部巻き取りユニットは、Xレール21a,21bの下流側(右側)に配置されており、小片状フィルムA1が切断されて廃棄される処理後のロール状フィルム廃棄部A2を外周面に巻き取っていく巻き取り軸部と、その巻き取り軸部を回転駆動させる巻取り駆動装置とを備えている。そして、巻取り駆動装置の駆動により、巻き取り軸部がロール状フィルム廃棄部A2を順次巻き取っていく。
The roll-shaped film unwinding unit is disposed on the upstream side (left side) of the X rails 21a and 21b, and supports the center of the winding portion of the roll-shaped film A before processing so as to be rotatable around the axis. And a feed driving device that rotationally drives the support shaft portion. And the roll-shaped film A is intermittently sent to the upper surface of the
ヘッドユニット移動機構30は、左右に設けられた一対の移動機構30a,30bで構成されており、それぞれ基台の前後両側に掛け渡された状態でXレール16a,16bおよびXレール21a,21bの上方に一定間隔を保って配置されている。移動機構30a,30bは、ともに基台の上面におけるXレール16a,16bとXレール21a,21bとの外側部分から上方に延びる脚部32a,32bと、脚部32a,32bの上端側部分に掛け渡されてXレール16a,16bとXレール21a,21bとの上方で一定間隔を保った状態で前後方向に延びる棒状の一対のYレール33a,33bとを備えている。
The head
そして、移動機構30aのYレール33a,33bに移動軸部34aを介してヘッドユニット31aが前後方向に移動可能な状態で取り付けられ、移動機構30bのYレール33a,33bに移動軸部34bを介してヘッドユニット31bが前後方向に移動可能な状態で取り付けられている。移動軸部34a,34bには、それぞれY軸モータ(図示せず)を備えたY軸駆動装置が設けられており、ヘッドユニット31aは移動軸部34aとともに、ヘッドユニット31bは移動軸部34bとともに、それぞれY軸駆動装置の駆動により個別に前後方向に移動する。
The
また、ヘッドユニット31a,31bには、それぞれヘッドユニット31a,31bをZ軸方向(上下方向)に移動可能させるヘッドユニット昇降軸35a,35bを備えたZ軸駆動装置およびヘッドユニット31a,31bをR方向(図1に矢印Rで示した方向でZ軸周り方向)に回転させるR方向駆動装置(図示せず)も備わっている。このため、ヘッドユニット31a,31bは、Y軸駆動装置の駆動により前後方向に移動するとともに、Z軸駆動装置の駆動によりヘッドユニット昇降軸35a,35bに沿って上下方向に移動し、さらに、R方向駆動装置の駆動によりZ軸周りに回転する。
The
また、ヘッドユニット31a,31bはそれぞれ4個の別体からなる金型36(図2(2個しか図示していない)参照)を備えており、各金型36は、昇降ガイド部36aを介して厚板状の基台部36bの下面に対してそれぞれ個別に進退可能になっている。すなわち、昇降ガイド部36aには、それぞれ金型昇降駆動部(図示せず)が備わっており、各金型36は、それぞれの金型昇降駆動部の駆動により基台部36bに対して昇降する。また、各金型36の下面には、図2および図3に示したように、本発明に係る切断部としての金型切刃37がそれぞれ取り付けられており、各金型36の内部には、本発明に係る保持部としての吸引用ポート38および本発明に係る固定部としての固定用ヒータ39がそれぞれ設けられている。
Each of the
金型切刃37は、トムソン型の切断刃で構成されており、各金型切刃37はそれぞれ小片状フィルムA1の外周部と同形のL形の枠状に形成されている。そして、図3に示したように、それぞれ2個の金型切刃37を組み合わせて正方形を形成するようにして、4個の金型切刃37が長方形の形に配置されている。また、吸引用ポート38は、金型36を上下に貫通する管状体で構成されており、上端部は吸引装置(図示せず)に接続され、下端部は金型36の下面で開口している。吸引用ポート38は、吸引装置の作動により、図2に示したように、金型切刃37によってロール状フィルムAから切断された小片状フィルムA1を金型切刃37の内部(上部)に吸引保持し、吸引装置の作動が停止することにより小片状フィルムA1を解放する。
The
固定用ヒータ39は、通電により発熱する棒状のヒータで構成されており、ヒータ昇降装置(図示せず)の作動により、金型36内で上下移動し、最下部に位置したときには下端部が金型36の下面から下方に突出する。このため、ヘッドユニット31a,31bは、基板移動機構15によって搬送されるシート状電子基板Bおよびフィルム移動機構20によって搬送されるロール状フィルムAの上方でシート状電子基板Bおよびロール状フィルムAに対して相対的にどの方向にも移動でき、各金型36は、それぞれ個別にヘッドユニット31a,31bの他の部分に対して昇降できる。
The fixing
また、吸引用ポート38は、吸引装置の作動によって生じる吸引力で小片状フィルムA1を吸着してピックアップし、ヘッドユニット31a,31bの移動によってシート状電子基板Bの上方に移動したのちに吸引装置による吸引が解除されることにより小片状フィルムA1解放する。さらに、固定用ヒータ39は、金型36に対して昇降でき、通電により小片状フィルムA1を加熱できる。この加熱により、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定することができる。
Further, the
また、ヘッドユニット31a,31bには、シート状電子基板Bの上面の状態を検出する本発明に係る基板用状態検出部としての基板用状態検出ユニット29が備わっている。基板用状態検出ユニット29は、例えば、CCDカメラで構成することができ、ヘッドユニット31a,31bの側面に固定され、ヘッドユニット31a,31bとともに移動する。この基板用状態検出ユニット29は、シート状電子基板Bの設置位置の確認、シート状電子基板Bの上面おける小片状フィルムA1を固定する部分の位置の確認、およびシート状電子基板Bの上面に貼り合された小片状フィルムA1の配置の確認のためなどに用いられる。
The
状態変更ユニット40は、移動テーブルユニット22の底面部23における基板移動機構15側部分の長手方向の略中央上面に設置されて移動テーブルユニット22とともに移動することができ、状態変更部41と、本発明に係る小片状フィルム用状態検出部としての状態検出部42とを備えている。状態変更部41は、例えば、吸引用ポート38に吸着され、ヘッドユニット31a,31bによって搬送される小片状フィルムA1の一部に剥離用の小フィルムを貼り付ける場合に用いられる剥離用フィルム貼り付け装置で構成することができる。
The
この剥離用フィルム貼り付け装置は、上下に延びる筒状の供給部の下方から上面に向かって順次小フィルムを送り出す機構を備えている。状態検出部42は、例えば、CCDカメラで構成することができ、吸引用ポート38に吸着された小片状フィルムA1の状態の確認のためなどに用いられる。この場合の小片状フィルムA1の状態とは、小片状フィルムA1の向きや吸引用ポート38への吸着状態等である。また、小フィルムは、例えば、小片状フィルムA1が複数層から構成されていて、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに貼り付けたのちに小片状フィルムA1の一部を剥離する場合等に剥離の開始部として利用される。
This peeling film sticking apparatus is equipped with a mechanism that sequentially feeds small films from the bottom to the top of a cylindrical supply section extending vertically. The
フィルム貼り合わせ装置10には、前述した装置の他、CPU、ROMおよびRAMからなる記憶装置、画像処理装置、入力装置およびセンサ等からなる各種の検出装置等、フィルム貼り合わせ装置10を作動するために必要な各種の装置が備わっている。記憶装置には、フィルム貼り合わせ装置10が備える各装置を作動させるための各種のプログラムや、シート状電子基板B、ロール状フィルムAおよび小片状フィルムA1の設置位置や形状に関するデータ等の各種のデータが記憶されている。
The
画像処理装置は、基板用状態検出ユニット29および状態検出部42に接続されており、基板用状態検出ユニット29および状態検出部42の撮影画像を画像処理して、画像データとして記憶装置に記憶させる。入力装置は、記憶装置に記憶されたプログラムを選択するための入力や、各種のデータ等の入力に用いられる。また、検出装置は、搬送モータ等の各種のモータの回転数を検出して、移動テーブル17および移動テーブルユニット22の位置や、ヘッドユニット31a,31bのX、Y、Z、R方向の位置を認識する。そして、CPUは、記憶装置が記憶するプログラムや各種のデータ、入力装置の入力データおよび検出装置の検出値等に基づいて、フィルム貼り合わせ装置10が備える各装置を作動させる。
The image processing apparatus is connected to the substrate
このように構成されたフィルム貼り合わせ装置10を用いて、シート状電子基板Bの表面に小片状フィルムA1を固定する場合の処理は、CPUが、前述した各種のプログラムを実行することによって行われる。この場合、まず、シート状電子基板Bが設置された移動テーブル17をヘッドユニット31a,31bの移動範囲の下方に搬送するとともに、移動テーブルユニット22をヘッドユニット31a,31bの移動範囲の下方に搬送する。ついで、ロール状フィルムAの所定部分(小片状フィルムA1を切断する部分)を移動テーブルユニット22のフィルム支持部24の上面に繰り出す。
The processing in the case of fixing the small film A1 on the surface of the sheet-like electronic substrate B using the
そして、ロール状フィルム固定ユニット25,26でロール状フィルムAにおけるフィルム支持部24の上面両端に位置する部分を固定したのちに、図4に示したように、ヘッドユニット31a,31bの一方(以下、ヘッドユニット31aとして説明する。)をロール状フィルムAにおける小片状フィルムA1を切断する部分の上方に位置させる。つぎに、吸引装置を作動させてロール状フィルムAの上面の空気を吸引用ポート38で吸引しながら図5(a)に示したようにヘッドユニット31aを下降させる。図5(b)は、このときのロール状フィルムAを上方から見た状態を示している。
And after fixing the part located in the upper surface both ends of the
ついで、図6(a)に示したように、金型36の一方を基台部36bや他の金型36に対して下降させて、金型切刃37でロール状フィルムAを切断する。この切断と同時に、ロール状フィルムAから切断された小片状フィルムA1は吸引用ポート38に吸引される。なお、ここでは、説明の便宜上、金型36の個数は2個とする。また、以下、一方の金型36を金型36A、他方の金型36を金型36Bとして説明する。図6(b)は、図6(a)に示した操作によりロール状フィルムAから切断される切断対象部分である小片状フィルムA1を示している。
Next, as shown in FIG. 6A, one of the
つぎに、図7(a)に示したように、金型36Aを上昇させ、金型36Bを下降させる。これによって、切断された小片状フィルムA1は吸引用ポート38の吸引によって金型36Aの金型切刃37の内部上部側に保持された状態で金型36Aとともに上昇し、金型36Bの金型切刃37はロール状フィルムAの他の部分から小片状フィルムA1を切断する。また、図7(b)に示したように、ロール状フィルムAには、小片状フィルムA1が切断され取出されたのちの孔A3と小片状フィルムA1の切断線とが形成される。
Next, as shown in FIG. 7A, the
そして、図8(a)に示したように、金型36Bを上昇させることによって、切断されたもう一方の小片状フィルムA1は金型36Bの吸引用ポート38に吸引されて金型36Bの金型切刃37の内部上部側に保持された状態で、金型36Bとともに上昇する。これによって、図8(b)に示したように、ロール状フィルムAには、小片状フィルムA1が切断され取出されたのちの二つの孔A3が形成される。
Then, as shown in FIG. 8A, by raising the
つぎに、ヘッドユニット31aは、2個の小片状フィルムA1を保持したまま、状態変更ユニット40の上方に移動したのちに下降して、状態変更部41の上面に供給された剥離用の小フィルム(図示せず)に小片状フィルムA1を接触させることにより、小片状フィルムA1に剥離用の小フィルムを貼り付ける。そして、状態検出部42で、吸引用ポート38に吸着された小片状フィルムA1の状態を確認する。ついで、ヘッドユニット31aは、図9(a)に示したように、シート状電子基板Bの上方に移動する。図9(b)は、このときのシート状電子基板Bの上面の状態を示している。
Next, the
つぎに、R方向駆動装置を駆動させることによってヘッドユニット31aを回転させ、金型36Aが保持する小片状フィルムA1の向きを、シート状電子基板Bにおける小片状フィルムA1を貼り合わせる部分の向きに合わせる。シート状電子基板Bにおける小片状フィルムA1を貼り合わせる部分は、電極パターンの上面であり、表面に小片状フィルムA1を固定することによって電極パターンを保護する。また、シート状電子基板Bにおける小片状フィルムA1を貼り合わせる部分は、予め、基板用状態検出ユニット29によって撮像され、画像データとして記憶装置に記憶されており、この画像データと金型36Aの回転方向の位置や小片状フィルムA1の向きとを比較しながら、R方向駆動装置が駆動する。
Next, the
つぎに、図10(a)に示したように、金型36Aが下降して、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bの電極パターンに重ねる。このとき、固定用ヒータ39が下降して、小片状フィルムA1の所定部分を押圧しながら加熱することにより、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定する。この場合、小片状フィルムA1の複数個所、例えば、図10(b)に示したように、2か所の熱圧着点B1で小片状フィルムA1を固定することが好ましい。ついで、図11に示したように、小片状フィルムA1をシート状電子基板B上に残したまま固定用ヒータ39を上昇させるとともに、金型36Aを上昇させる。
Next, as shown in FIG. 10A, the
つぎに、R方向駆動装置を駆動させることによってヘッドユニット31aを回転させ、金型36Bが保持する小片状フィルムA1の向きを、シート状電子基板Bにおける次の小片状フィルムA1を貼り合わせる部分の向きに合わせる。そして、図12(a)に示したように、金型36Bが下降して、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bの電極パターンに重ねる。このとき、固定用ヒータ39が下降して、小片状フィルムA1の所定部分を押圧しながら加熱することにより、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定する。
Next, the
これによって、図12(b)に示したように、2個の小片状フィルムA1がそれぞれ2か所の熱圧着点B1でシート状電子基板Bに固定される。そして、図13に示したように、金型36Bを上昇させるとともに、ヘッドユニット31aを上昇させる。このとき、吸引装置の作動を停止する。このようにして、前述した操作を繰り返すことにより、シート状電子基板Bに全ての小片状フィルムA1が貼り付けられる。そして、シート状電子基板Bへの小片状フィルムA1の貼り付けが終了すると、新たなシート状電子基板Bを移動テーブル17に設置するとともに、ロール状フィルムAの次の部分を移動テーブルユニット22のフィルム支持部24の上面に繰り出し、前述した処理が繰り返される。
As a result, as shown in FIG. 12B, the two small pieces of film A1 are fixed to the sheet-like electronic substrate B at two thermocompression bonding points B1, respectively. And as shown in FIG. 13, while raising the metal mold | die 36B, the
なお、図10(a)に示した処理を行う際に、この処理に代えて図14に示した処理を行うこともできる。すなわち、図10(a)に示した処理では、金型36Aだけを下降させるとともに、金型36Aの固定用ヒータ39を下降させて、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定しているが、図14に示したように、ヘッドユニット31a全体をシート状電子基板Bの上面まで下降させて、金型36Aの固定用ヒータ39を下降させてもよい。同様に、図12(a)に示した処理を行う際に、この処理に代えて図15に示した処理を行うこともできる。
In addition, when performing the process shown to Fig.10 (a), it can replace with this process and the process shown in FIG. 14 can also be performed. That is, in the process shown in FIG. 10A, only the
すなわち、図12(a)に示した処理では、金型36Bだけを下降させるとともに、金型36Bの固定用ヒータ39を下降させて、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定しているが、図15に示したように、ヘッドユニット31a全体をシート状電子基板Bの上面まで下降させて、金型36Bの固定用ヒータ39を下降させてもよい。また、双方の金型36A,36Bで同時にロール状フィルムAから2個の小片状フィルムA1を切断したり、双方の金型36A,36Bで同時に2個の小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定したりすることもできる。
That is, in the process shown in FIG. 12A, only the
このように、本実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置10では、ヘッドユニット移動機構30を構成する移動機構30a,30bがそれぞれ備えるYレール33a,33bに沿って移動可能なヘッドユニット31a,31bに、個別に上下移動が可能になった4個の金型36それぞれ設けている。そして、各金型36に、それぞれ金型切刃37と、吸引用ポート38と、固定用ヒータ39とを設けて、ヘッドユニット31a,31bが移動する際に、4組の金型切刃37、吸引用ポート38および固定用ヒータ39が一緒に移動するようにしている。
As described above, in the
したがって、フィルム貼り合わせ装置10の全体を小型化できるとともに、ヘッドユニット31a,31bの移動範囲の中で、ロール状フィルムAからの小片状フィルムA1の切断、切断された小片状フィルムA1の保持、小片状フィルムA1の搬送、小片状フィルムA1への小フィルムの貼り付け、小片状フィルムA1の保持状態の確認および小片状フィルムA1のシート状電子基板Bへの貼り合わせのすべての処理を行うことができる。また、ヘッドユニット31a,31bに、それぞれ設けられた4個の金型36が個別に上下移動が可能になっているため、ロール状フィルムAから4個の小片状フィルムA1を同時または順番に切断して保持することができるとともに、4個の小片状フィルムA1を同時または順番にシート状電子基板Bに貼り合わせることができる。
Accordingly, the entire
このため、高速処理を行う場合には、4個の小片状フィルムA1を同時に切断して同時に固定し、ロール状フィルムAの無駄を少なくする場合には、ロール状フィルムAにおける各小片状フィルムA1を切断する部分を接近させたり切断の都度ヘッドユニット31a,31bの向きを変えたりすることにより、ロール状フィルムAの無駄を少なくすることができる。また、シート状電子基板Bにおける小片状フィルムA1を貼り合わせる部分の配置が変則的なものである場合には、各小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに貼り合わせる都度、小片状フィルムA1の向きを変えることにより、各小片状フィルムA1を精度よくシート状電子基板Bに貼り合わせることができる。
For this reason, when performing a high-speed process, when cutting and fixing the four small piece films A1 simultaneously, and reducing the waste of the roll-shaped film A, each small piece-like shape in the roll-shaped film A The waste of the roll-shaped film A can be reduced by making the part which cut | disconnects film A1 approach, or changing the direction of
すなわち、個別に上下移動が可能になった4個の金型36に、それぞれ金型切刃37、吸引用ポート38および固定用ヒータ39が設けられているため、ロール状フィルムAから複数の小片状フィルムA1を切断する際に、各金型36の回転方向の角度を調節しながら順番に各小片状フィルムA1を切断できるとともに、各小片状フィルムA1を固定する際に、各金型36の回転方向の角度を調節しながら順番に各小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに固定できる。この結果、ロール状フィルムAの無駄(ロール状フィルム廃棄部A2)を少なくすることができるとともに、シート状電子基板Bにおける小片状フィルムA1を固定する部分の配置が複雑な場合であっても容易に対応できる。
In other words, the four
さらに、基板用状態検出ユニット29と状態検出部42を設けたため、基板用状態検出ユニット29で、シート状電子基板Bの設置位置やシート状電子基板Bにおける小片状フィルムA1を貼り合わせる部分の位置を検出するとともに、状態検出部42で、吸引用ポート38に保持された小片状フィルムA1の向きを検出し、両検出結果を比較することにより、小片状フィルムA1をシート状電子基板Bにおける正確な位置に貼り合わせることができる。また、状態変更部41を設けたため、後工程で、シート状電子基板Bに貼り合された小片状フィルムA1の一部をシート状電子基板Bから剥離する処理が必要な場合に、小片状フィルムA1に剥離用の小フィルムを張り付ける処理を行うことができる。
Further, since the substrate
また、フィルム支持部24に設置されたロール状フィルムAの両側をロール状フィルム固定ユニット25,26で固定するため、金型切刃37でロール状フィルムAから小片状フィルムA1を切断する際の処理を正確かつスムーズに行える。さらに、金型切刃37をトムソン型の切断刃で構成したため、小片状フィルムA1の形状を複雑な形状にしても高精度で対応できるとともに、金型切刃37を安価にできる。また、本実施形態では、金型切刃37がロール状フィルムAから小片状フィルムA1を切断する処理と、切断された小片状フィルムA1を吸引用ポート38が保持する処理とが同時に行われるため、さらに、処理時間の短縮が可能になる。
Further, in order to fix both sides of the roll-shaped film A installed on the
(第2実施形態)
図16は、本発明の第2実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置が備えるヘッドユニット51を示している。このヘッドユニット51では、固定部として、前述した固定用ヒータ39に代えて超音波発振器59が設けられている。この超音波発振器59は、シート状電子基板Bに対して小片状フィルムA1を押圧しながら超音波を発振することにより、シート状電子基板Bに小片状フィルムA1を固定するものである。このヘッドユニット51を備えたフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の部分の構成については、前述したフィルム貼り合わせ装置10と同一である。したがって、同一部分に同一符号を記して説明は省略する。また、本実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置の作用効果についても、前述したフィルム貼り合わせ装置10の作用効果と同様である。
(Second Embodiment)
FIG. 16 shows the
(第3実施形態)
図17は、本発明の第3実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置が備えるヘッドユニット61を示している。このヘッドユニット61では、保持部として、第1実施形態における吸引用ポート38に代えて金型66の下面に取り付けられた本発明に係る粘着部としての粘着保持部材68が用いられている。この粘着保持部材68は金型66の下面における固定用ヒータ69が進退する開口を除いた部分に設けられており、この粘着保持部材68の下面は粘着性を有する面で構成されている。このため、金型66を下降させて粘着保持部材68で小片状フィルムA1を押圧することにより、小片状フィルムA1は粘着保持部材68に粘着して保持される。
(Third embodiment)
FIG. 17 shows a
このヘッドユニット61を備えたフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の部分の構成については、前述した第1実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置10と同一である。したがって、同一部分に同一符号を記して説明は省略する。このヘッドユニット61を用いると、金型66の内部に保持部を設けるための穴部等を設ける必要がなくなるため、金型66および保持部の構造が簡単になり、低コスト化も図れる。この実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の作用効果については、前述したフィルム貼り合わせ装置10の作用効果と同様である。
About the structure of the other part of the film bonding apparatus provided with this
(第4実施形態)
図18は、本発明の第4実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置が備えるヘッドユニット71を示している。このヘッドユニット71では、固定部として、第3実施形態における固定用ヒータ69に代えて超音波発振器79が設けられている。このヘッドユニット71を備えたフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の部分の構成については、前述した第3実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置と同一である。したがって、同一部分に同一符号を記して説明は省略する。また、本実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置の作用効果についても、前述した第3実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置の作用効果と同様である。
(Fourth embodiment)
FIG. 18 shows a
(第5実施形態)
図19(a)は、本発明の第5実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置が備えるヘッドユニット81を示している。このヘッドユニット81では、保持部として、第3実施形態における粘着保持部材68に代えて金型切刃87の内周面に形成された鋸刃状保持部88(図19(b)参照)が用いられている。この鋸刃状保持部88は金型切刃87の内周面に上下に設けられた複数の凹部と凸部とからなる凹凸面で構成されている。このため、金型86を下降させて金型切刃87でロール状フィルムAから小片状フィルムA1を切断すると、小片状フィルムA1の外周部が鋸刃状保持部88の凹部(凸部間)に係合して小片状フィルムA1は金型切刃87に保持される。
(Fifth embodiment)
FIG. 19A shows a
このヘッドユニット81を備えたフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の部分の構成については、前述した第3実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置と同一である。したがって、同一部分に同一符号を記して説明は省略する。このヘッドユニット81を備えたフィルム貼り合わせ装置によると、保持部の構造がさらに簡単になるとともに、ヘッドユニット81の低コスト化が図れる。このヘッドユニット81を備えたフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の作用効果については、前述した第3実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置の作用効果と同様である。
About the structure of the other part of the film bonding apparatus provided with this
(第6実施形態)
図20は、本発明の第6実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置が備えるヘッドユニット91を示している。このヘッドユニット91では、固定部として、第5実施形態における固定用ヒータ69に代えて超音波発振器99が設けられている。このヘッドユニット91を備えたフィルム貼り合わせ装置のそれ以外の部分の構成については、前述した第5実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置と同一である。したがって、同一部分に同一符号を記して説明は省略する。また、ヘッドユニット91を備えたフィルム貼り合わせ装置の作用効果についても、前述した第5実施形態に係るフィルム貼り合わせ装置の作用効果と同様である。
(Sixth embodiment)
FIG. 20 shows a
また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置は、前述した各実施形態に限定するものでなく、適宜変更して実施することができる。例えば、前述した各実施形態では、基板用状態検出ユニット29および状態検出部42をCCDカメラで構成しているが、これに代えてレーザセンサ等の検出装置を用いてもよい。また、前述した実施形態では、吸引装置の作動をロール状フィルムAから小片状フィルムA1を切断する前に開始し、すべての金型切刃37等で小片状フィルムA1を切断したのちに停止させているが、フィルム貼り合わせ装置10が作動している間、吸引装置も作動させておくこともできる。また、各金型36等の吸引用ポート38にそれぞれ別の吸引装置を接続して必要なときに個別に作動させるようにしてもよい。
Moreover, the film bonding apparatus which concerns on this invention is not limited to each embodiment mentioned above, It can implement by changing suitably. For example, in each of the above-described embodiments, the substrate
さらに、前述した実施形態では、状態変更部41を、小片状フィルムA1に剥離用の小フィルムを貼り付けるために用いられる剥離用フィルム貼り付け装置で構成しているが、この状態変更部41は、小片状フィルムA1に液体または気体を付加する付加装置や、小片状フィルムA1から不要部、液体、気体または静電気材の除去を行う除去装置や、ヘッドユニット31a等によって搬送される小片状フィルムA1の姿勢を良好な状態に修正する姿勢修正装置等で構成してもよい。これによると、ロール状フィルムAから切断された小片状フィルムA1をシート状電子基板Bに貼り合わせる前に、小片状フィルムA1に対して何らかの処理が必要な場合には、この状態変更部41によってその必要な処理を行うことができる。
Furthermore, in embodiment mentioned above, although the
また、第5実施形態および第6実施形態では、保持部を金型切刃87の内周面に形成された鋸刃状保持部88で構成し、この鋸刃状保持部88の凹部に小片状フィルムA1の外周部を係合させることにより小片状フィルムA1を保持しているが、この係合に代えて金型切刃87の内周面に発生する摩擦の保持力により小片状フィルムA1を保持することもできる。この場合、鋸刃状保持部88は不要になるか、または、鋸刃状ではなく緩やかな凹凸面で構成することができる。また、本発明に係るフィルム貼り合わせ装置を構成するそれ以外の各部分の構成についても、適宜変更することができる。
In the fifth embodiment and the sixth embodiment, the holding portion is constituted by a saw
10…フィルム貼り合わせ装置、15…基板移動機構、20…フィルム移動機構、25,26…ロール状フィルム固定ユニット、29…基板用状態検出ユニット、30…ヘッドユニット移動機構、30a,30b…移動機構、31a,31b,51,61,71,81,91…ヘッドユニット、33a,33b…Yレール、36,36A,36B,66,86…金型、37,87…金型切刃、38…吸引用ポート、39,69…固定用ヒータ、41…状態変更部、42…状態検出部、59,79,99…超音波発振器、68…粘着保持部材、88…鋸刃状保持部、A…ロール状フィルム、A1…小片状フィルム、B…シート状電子基板。
DESCRIPTION OF
Claims (10)
個別に上下移動が可能になった複数の金型を備え前記ヘッドユニット移動機構が備えるレールに沿って移動可能なヘッドユニットと、
前記複数の金型の下面にそれぞれ形成され前記ロール状フィルムに押し付けられることにより前記ロール状フィルムから前記小片状フィルムを切断する切断部と、
前記複数の金型にそれぞれ設けられ前記切断部によって切断された前記小片状フィルムを保持する保持部と、
前記複数の金型にそれぞれ設けられ前記保持部によって保持されて搬送される前記小片状フィルムを前記シート状電子基板に固定する固定部と
を備えたことを特徴とするフィルム貼り合わせ装置。 A film laminating apparatus that cuts a small piece film from a roll-shaped film fed out by a film moving mechanism, and bonds the small piece film to a sheet-like electronic substrate conveyed by a substrate moving mechanism by a head unit moving mechanism. And
A head unit that includes a plurality of molds that can be individually moved up and down, and that is movable along a rail provided in the head unit moving mechanism;
A cutting part for cutting the piece-like film from the roll-shaped film by being formed on the lower surface of the plurality of molds and being pressed against the roll-shaped film;
A holding part for holding the piece-like film provided in each of the plurality of molds and cut by the cutting part;
A film laminating apparatus comprising: a fixing unit that fixes the piece-like film that is provided on each of the plurality of molds and that is held and conveyed by the holding unit to the sheet-like electronic substrate.
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