JP2010149028A - Coating method and coating machine - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、塗布対象物にインクを塗布する複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象物に対して相対的に移動させて、塗布対象物にインクを塗布する塗布方法および塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating method and a coating apparatus that apply ink to a coating object by moving an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles that apply ink to the coating object relative to the coating object.
最近の情報端末の画像表示技術の進展は目覚ましく、大画面の画像表示機器(ディスプレイ)や、或いは小型の画面であっても非常に高い精細度の画像表示機器が実用化され、製造されている。このような状況の中で、低コストで高品位な画像表示を可能とする画像表示機器に対する要求が強くなってきている。このような要求に応える画像表示機器のキーデバイスとしてカラーフィルタがあり、このカラーフィルタの製造方法及び製造装置にも様々な工夫が取り入れられている。 Recent progress in image display technology for information terminals has been remarkable, and large-screen image display devices (displays) or image display devices with very high definition even for small screens have been put into practical use and manufactured. . Under such circumstances, there is an increasing demand for an image display device that enables high-quality image display at low cost. There is a color filter as a key device of an image display device that meets such a requirement, and various devices have been incorporated into a manufacturing method and a manufacturing apparatus of the color filter.
このようなカラーフィルタの製造方法および製造装置において開発された従来技術の一つに、遮光機能を果たす種々の材料によって基板等にマトリクス状の遮光部を形成し、この遮光部のマス目にコーティング技術を利用してインクを塗布する技術がある。しかし、このような製造方法及び製造装置では、RGB3色の着色工程がそれぞれ独立しており、それぞれの着色工程で、遮光などのための非常に高い精度が要求される遮蔽部材(マスク)を必要とした。 One of the conventional techniques developed in such a color filter manufacturing method and manufacturing apparatus is to form a matrix-shaped light-shielding portion on a substrate or the like with various materials having a light-shielding function, and coat the cells of this light-shielding portion. There is a technique for applying ink using this technique. However, in such a manufacturing method and manufacturing apparatus, the RGB three-color coloring processes are independent of each other, and each coloring process requires a shielding member (mask) that requires very high accuracy for light shielding. It was.
このようなカラーフィルタの製造技術は、工数的にも、使用する装置及び部材の点でも、製造コストが高くつくという問題を抱えていた。そこで最近では、このような技術に代わって、インクジェットヘッドを装備した塗布装置を用いて、マトリクス状に遮光部が形成された基板等上にインクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクを吐出・塗布してカラーフィルタを製造する方法が提案されている。 Such a color filter manufacturing technique has a problem that the manufacturing cost is high both in terms of man-hours and in terms of equipment and members to be used. Therefore, recently, instead of such a technique, using an application device equipped with an inkjet head, ink is ejected and applied from an inkjet nozzle of the inkjet head onto a substrate or the like on which a light-shielding portion is formed in a matrix. A method for manufacturing a filter has been proposed.
このような塗布装置において、インクジェットノズルを用いた塗布動作を一旦中断して待機している状態、またはノズルから一定時間間隔の間欠吐出による捨て打ち(以後、フラッシングという)しながら待機している状態では、以下のような問題が発生する。まず、雰囲気の乾燥空気によりインクジェットノズル先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクは乾燥しやすい。乾燥によってノズル先端部のインクの粘度が上昇(増粘)し、万一インクがインクジェットノズル先端部で乾燥により固着や増粘が発生すると、このインクジェットノズルからはインクが吐出されず、いわゆるドット抜けやノズル欠と言われる問題が引き起こされる。 In such a coating apparatus, a state in which the coating operation using the ink jet nozzle is temporarily interrupted and is in a standby state, or a state in which the nozzle is abandoned by intermittent discharge at regular time intervals (hereinafter referred to as flushing). Then, the following problems occur. First, ink held by the action of negative pressure inside the inkjet nozzle at the tip of the inkjet nozzle by the dry air in the atmosphere is easy to dry. The viscosity of the ink at the tip of the nozzle increases (thickens) due to drying, and if ink sticks or thickens due to drying at the tip of the inkjet nozzle, ink is not ejected from this inkjet nozzle, so-called dot missing And the problem of missing nozzles is caused.
そこで、このインクジェットヘッドのインクジェットノズルにおけるインクの乾燥ならびに目詰まりを防止するため、インクジェットヘッドを使用しないときには、キャップを用いてインクジェットノズルの先端面を封止する構造を有する塗布装置が提案されている(特許文献1、特許文献2を参照)。
Therefore, in order to prevent the ink from drying and clogging in the ink jet nozzle of the ink jet head, there has been proposed a coating apparatus having a structure in which the tip surface of the ink jet nozzle is sealed with a cap when the ink jet head is not used. (See
特許文献1に開示された塗布装置では、インクジェットノズルの先端面を、溶解液が貯留されたキャップ部材で封止することにより、先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。
In the coating apparatus disclosed in
また、特許文献2に開示された塗布装置では、インクジェットノズルの先端面を、溶解液が貯留されたキャップ部材で封止するとともに、キャップ部材内部の圧力を上げてインクジェットノズル内に溶解液が充満するように構成することにより、先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。そして、インクジェットノズル内に充満した溶解液によりインクジェットノズル内に残留する気泡を追い出し、排除している。
従来の特許文献1および2に開示された塗布装置では、いずれも溶解液が貯留されたキャップ部材を用いてインクジェットノズルの先端面を封止することにより、封止された環境の下でインクジェットヘッドの内部が湿潤な状態が維持され、インクジェットノズル内部のインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。
In the conventional coating apparatuses disclosed in
しかしながら、このようなキャップ部材を用いる塗布装置では、必然的にキャップ部材やキャップ部材に溶解液を供給する付帯設備が必要となり、また、キャップ部材を塗布作業領域の外部エリアに設置した場合、インクジェットノズルを用いた塗布動作を一旦中断するたびにキャップ部材の設置場所にインクジェットノズルを移動させねばならず、タクトタイムの中でこのような動作を組み込むことになり、作業効率を低下させることになる。 However, a coating apparatus using such a cap member inevitably requires an auxiliary facility for supplying a solution to the cap member or the cap member. In addition, when the cap member is installed in an external area of the coating work area, the inkjet apparatus Each time the coating operation using the nozzle is interrupted, the ink jet nozzle must be moved to the place where the cap member is installed, and this operation is incorporated in the takt time, which reduces work efficiency. .
本発明は、上記のような問題に鑑みて為されたものであり、インクジェットノズルを用いた塗布動作を中断して待機するに際、インクジェットノズル先端部に保持されているインクの乾燥が起こりにくい塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and when the application operation using the inkjet nozzle is interrupted and waits, the ink held at the tip of the inkjet nozzle is unlikely to dry. An object is to provide a coating method and a coating apparatus.
本発明の塗布方法は、複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する方法であって、前記インクジェットノズルに供給する前記インクに第1の負圧をかけて塗布する工程と、前記インクに前記負圧より大気圧に近い第2の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有するものである。 The application method of the present invention is a method of applying ink to the application object by relatively moving an ink jet head having a plurality of ink jet nozzles and the application object, and applying the ink to the ink jet nozzle. And applying a first negative pressure, and applying a second negative pressure closer to the atmospheric pressure than the negative pressure to wait for application.
すなわち、本発明は、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布方法であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給する工程と、
前記インクに第1の負圧をかけて前記塗布対象物に塗布する工程と、
前記インクに前記第1の負圧より大気圧に近い第2の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有する塗布方法を提供する。
That is, the present invention
An application method in which an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and an application target are moved relatively to apply ink to the application target,
Supplying ink to the inkjet nozzle;
Applying a first negative pressure to the ink to be applied to the application object;
And applying a second negative pressure closer to the atmospheric pressure than the first negative pressure to the ink and waiting for the application.
また本発明は、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布装置であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給するサブタンクと、
前記サブタンクにインクを供給するインク供給手段と、
前記サブタンク内の圧力を測定する圧力センサーと、
前記サブタンク内の圧力を減圧する減圧手段と、
制御部を有し、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドにインクを吐出させる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を上げる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を下げる指示命令とを有し、
前記塗布対象物にインクを塗布する場合には前記サブタンク内の圧力を第1の負圧にし、塗布の待機の場合には第2の負圧に調整する塗布装置を提供するものである。
The present invention also provides
An application device that applies ink to the application object by relatively moving an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and the application object,
A sub tank for supplying ink to the inkjet nozzle;
Ink supply means for supplying ink to the sub tank;
A pressure sensor for measuring the pressure in the sub tank;
Pressure reducing means for reducing the pressure in the sub tank;
Having a control unit,
The controller is
An instruction command to cause the inkjet head to eject ink;
An instruction command to increase the pressure in the sub-tank;
An instruction command to lower the pressure in the sub-tank,
The present invention provides a coating apparatus that adjusts the pressure in the sub-tank to a first negative pressure when applying ink to the object to be applied, and to a second negative pressure when waiting for application.
本発明の塗布方法および塗布装置によれば、インクジェットノズル内のインクは、塗布の待機状態の際に、負圧状態ではあるが、塗布時の負圧よりも大気圧に近い負圧状態に置かれている。そのため、インクジェットノズル内に形成されるメニスカスは、インクジェットノズルの口端から大気の引き込み量が小さくなり、それに伴い大気に接する表面積が減少する。従って、気液界面からの溶剤の蒸発量が減少し、インクの乾燥を長引かせることができるという効果を奏する。 According to the coating method and the coating apparatus of the present invention, the ink in the inkjet nozzle is placed in a negative pressure state that is closer to the atmospheric pressure than the negative pressure during coating, although it is in a negative pressure state during the coating standby state. It is. For this reason, the meniscus formed in the ink jet nozzle has a small amount of air drawn from the mouth end of the ink jet nozzle, and accordingly, the surface area in contact with the air is reduced. Therefore, the evaporation amount of the solvent from the gas-liquid interface is reduced, and there is an effect that the drying of the ink can be prolonged.
本発明のようなバッチ式の塗布装置の場合は、塗布対象物(例えば基板)の交換にはある程度の時間がかかる。その間、塗布装置としては動作しているものの、インクジェットヘッドは一定時間間隔の間欠吐出による捨て打ち(フラッシング)をしながらの待機状態、または、何もしないで待機している状態におかれている。本発明は、これらの待機時間において、インクの乾燥を抑制することができ、次の塗布工程の際にインクジェットノズルの詰まり、すなわち、塗布のドット抜けの発生率を下げることができる。 In the case of a batch-type coating apparatus such as the present invention, it takes a certain amount of time to replace a coating object (for example, a substrate). In the meantime, while operating as a coating apparatus, the ink jet head is in a standby state while being thrown away (flushing) by intermittent discharge at regular time intervals, or in a standby state without doing anything. . The present invention can suppress drying of the ink during these standby times, and can reduce the occurrence rate of clogging of the ink jet nozzle, that is, the missing dot of the coating in the next coating process.
本発明に係る塗布装置の最良の実施形態について、図面を参照して、以下において詳細に説明する。なお、以下において、塗布装置の具体例として、インクを塗布対象物としてのガラス基板に塗布するカラーフィルタ製造装置を例に挙げて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The best embodiment of a coating apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the following, as a specific example of the coating apparatus, a color filter manufacturing apparatus that applies ink to a glass substrate as an application target will be described as an example.
図1は、本発明の一実施形態に係る塗布装置1としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台20上に吸着テーブル3(保持ステージ)、塗布ガントリー4、カメラガントリー6が支承されている。保持ステージである吸着テーブル3は、ガラス基板2を吸着保持するものであり、このガラス基板2を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Z軸周りに回転駆動される。
FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a color filter manufacturing apparatus as a
また、塗布ガントリー4は、インクジェットヘッドバー5を保持するものであり、ガラス基板2の所定位置にインクを塗布するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって主走査方向(X方向)に駆動される。また、インクジェットヘッドバー5は塗布ガントリー4の図示しないガイド機構によって副走査方向(Y方向)に駆動される。
The application gantry 4 holds the
カメラガントリー6は、ガラス基板2のアラインメントのためのアラインメントカメラ7、8を保持するとともに、ガラス基板2に供給されたインクを検出するための計測手段であるスキャンカメラ9を保持しており、アラインメント、インクの検出のため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってX方向に駆動される。また、アラインメントカメラ7、8及びスキャンカメラ9は、図示しない駆動機構、ガイド機構によってY方向に駆動される。アラインメントカメラ7、8は、ガラス基板2のマーク(図示せず)を検出するものであり、アラインメントカメラ7、8によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル3を回転させ、および/またはY方向に移動させることにより、ガラス基板2に対するアラインメントを実行することができる。
The
ここで、X軸、Y軸は、吸着テーブル3により吸着保持されたガラス基板2の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する軸であり、Z軸は、X軸とY軸により規定された平面と直交する軸である。
Here, the X axis and the Y axis are orthogonal axes set so as to define a plane parallel to the upper surface of the
インクジェットヘッドバー5は、各色調のインクを吐出する複数のインクジェットノズル13を有するインクジェットヘッド12を整列配置して構成されるものである。インクジェットヘッドバー5は、塗布ガントリー4に保持された状態で、主走査方向(X方向)、副走査方向(Y方向)およびZ方向に駆動され、複数のインクジェットノズル13から各色調のインクを吐出し、ガラス基板2の所定位置に塗布する。
The ink
図2は、本発明の塗布装置のインク供給および塗布動作の制御に関しての構成を示す。本発明の塗布装置には、図1で示した塗布装置の構成に加え、図2のインク供給および塗布動作の制御が加わる。 FIG. 2 shows a configuration relating to control of ink supply and coating operation of the coating apparatus of the present invention. In addition to the configuration of the coating apparatus shown in FIG. 1, the coating apparatus of the present invention is added with the control of the ink supply and coating operation of FIG.
本発明の塗布装置のインク供給および塗布動作の制御系は、塗布ガントリー4に取り付けられたインクジェットヘッド12にインクを供給するサブタンク62と、サブタンク62にインクを供給するインク供給系と、サブタンク62の圧力を調整する圧力調整系と、塗布ガントリー4の位置情報を得るための位置センサー102と、全体を制御する制御部100を含む。サブタンクには、圧力および量センサー105(以後単に「センサー105」と呼ぶ。)を有する。センサー105はサブタンク内の圧力とインク量を知る。
The ink supply and application operation control system of the application apparatus of the present invention includes a
インク供給系は、サブタンク62へ供給するインク量を調整する電磁弁114と、電磁弁114を介して供給するインクを蓄積するメインタンク60と、メインタンク60への圧力を加えるための加圧ポンプ74と、加圧ポンプ74によって加えられる高圧エアと大気圧のいずれかを選択する切換弁116を含む。メインタンク60には圧力センサー107を有する。
The ink supply system includes an
また、圧力調整系は、加圧ポンプ72と、加圧ポンプ72と大気圧を選択する切換弁112と、減圧ポンプ70と、減圧ポンプ70と切換弁112を切り替える切換弁110とを含む。
The pressure adjustment system includes a pressurizing pump 72, a switching
また、制御部100は、インクジェットヘッド12、位置センサー102、切換弁110、112、116、センサー105、圧力センサー107、タイマ106と接続されている。
The
制御部100は、インクジェットヘッド12に対してインク吐出指示Cikを送る。この信号によってインクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクが吐出される。また、制御部100は、位置センサー102からインクジェットヘッドの位置情報Dxyを得る。この位置情報Dxyに基づいてインクを吐出させる。
The
また、制御部100は、センサー105よりサブタンク内の圧力情報Dpsとインク量Dqsを得る。サブタンク62内のインク量が少ない場合は、インク供給系よりインクをサブタンクに供給する。
Further, the
インク供給系では、加圧ポンプ74と切換弁116によって、メインタンク60内を加圧状態にできる。具体的には、制御部100が、切換弁116に切換弁の駆動指示指令Cssを送信し、メインタンク60内の圧力が所定の圧力になるまで高圧エアをメインタンク60に導入する。メインタンク内の圧力は圧力センサー107からの圧力情報Dpmによって知る。
In the ink supply system, the inside of the
次にサブタンク内へインクを注入するために電磁弁114を開く。電磁弁114は、制御部100からの電磁弁駆動指示Cvmによって行われる。
Next, the
本発明の塗布装置は、サブタンク内の圧力を調整するために、圧力調整系を有する。圧力調整系には、陰圧源である減圧ポンプ70と、圧力源である加圧ポンプ72と、これらを切り替える切換弁112と110を有する。制御部100は、サブタンク内を減圧させる場合は、弁操作指示Cvsを切換弁110に送り、サブタンク内からエアを抜く。また、サブタンク内を加圧したい場合は、切換弁110と112に対してそれぞれ弁操作指示CvsとCvaを送る。
The coating apparatus of the present invention has a pressure adjustment system in order to adjust the pressure in the sub tank. The pressure adjustment system includes a
切換弁112および116において、符号79は、大気導入口である。切換弁112および116を大気導入口79にすることによって、メインタンクおよびサブタンク内の圧力は大気圧に戻り、所定以上の圧力になることを回避する。
In the switching
加圧ポンプ74によって圧縮されたエアは、切換弁116を開くことでメインタンク60に導入される。メインタンク60内は大気に対して正圧となる。この時のメインタンク内の圧力は圧力センサー107によって検知され圧力情報Dpmとして制御部100に送られる。制御部100は、切換弁116を操作指示Cssによって開閉し、メインタンク60内を所定の圧力に保つことができる。
The air compressed by the pressurizing
電磁弁114が操作指示Cvmによって開かれると、メインタンク60内のインクがサブタンク62内に注入される。このとき、減圧ポンプ70が接続された切換弁110を操作指示Cvsで開き、サブタンク62内を大気圧に対して負圧にすれば、よりスムースにインクの導入が可能である。
When the
制御部100は、サブタンク62内のインクの量を、センサー105のインク量情報Dqsによって知る。そこでサブタンク62内のインク量が適正な量になったら、電磁弁114を閉じる。
The
次にインクジェットヘッドを用いた塗布について説明する。図3にはインクジェットヘッドノズル13の断面を示す。図3(a)を参照して、通常インクジェットヘッドで塗布を行う際には、インクジェットノズル13中のインクには若干の負圧をかけて、インクと大気の気液界面にメニスカス63を作る。微小なノズルから液滴状にしたインクを飛ばすためである。
Next, application using an inkjet head will be described. FIG. 3 shows a cross section of the
再度図2を参照する。そのため、サブタンク62内は大気圧に対して所定の負圧状態に保つ必要がある。制御部100は、センサー105からの圧力情報Dpsをモニタしながら、圧力が所定値より高い場合は、切換弁110を減圧ポンプ側に接続しサブタンク内の圧力を減圧する。また、サブタンク内の圧力が低すぎる場合は、切換弁110を切換弁112側にしたうえで、大気圧口79若しくは加圧ポンプ72を選択し、サブタンク内の圧力を上昇させる。
Refer to FIG. 2 again. Therefore, it is necessary to keep the inside of the
再度図3を参照して、塗布状態のインクジェットノズルでは、インクと大気の気液界面に所定のメニスカスを作る必要がある。しかし、このメニスカスは大気圧より負圧になっているので、インクジェットノズル口からの引き込み量65が大きく、気液界面の表面積が大きい。従って、このままの状態で放置されると、インク中の溶媒が蒸発し、ノズルが詰まるといった不良状態が発生する。
Referring to FIG. 3 again, in the applied inkjet nozzle, it is necessary to create a predetermined meniscus at the gas-liquid interface between the ink and the atmosphere. However, since this meniscus is at a negative pressure from the atmospheric pressure, the pull-in
そこで、塗布を待機する状態になった場合は、フラッシングを行なっていても、サブタンク内を大気圧に近い第2の負圧にする。これによりインクジェットノズル内のインクの気液界面のメニスカスの引き込み量66が小さくなり、気液界面の表面積が減少し、インク中の溶媒の蒸発を低減することができる。すなわち、より乾きにくくなる。従って、ノズル詰まりといった不良状態の発生を低減することができる。 Therefore, when the application is put into a standby state, the second negative pressure close to the atmospheric pressure is set in the sub tank even if flushing is performed. As a result, the amount of meniscus drawing 66 at the gas-liquid interface of the ink jet nozzle is reduced, the surface area of the gas-liquid interface is reduced, and evaporation of the solvent in the ink can be reduced. That is, it becomes more difficult to dry. Therefore, it is possible to reduce the occurrence of a defective state such as nozzle clogging.
ここで、サブタンク内の圧力は大気圧に対して負圧状態には保たれる。すなわち、大気状態で塗布の待機を行うわけではない。ノズル内が大気圧になると、インクの自重によりインクジェットノズルからインクが垂れ落ちる場合もあり、待機状態のサブタンク内のインクにかかる圧力は塗布時に設定される負圧の40〜90%程度の圧力が好ましく、より好ましくは60〜80%の圧力が好ましい。 Here, the pressure in the sub-tank is maintained in a negative pressure state with respect to the atmospheric pressure. That is, the application is not waited for in the atmospheric state. When the pressure in the nozzle reaches atmospheric pressure, the ink may droop from the inkjet nozzle due to its own weight, and the pressure applied to the ink in the sub-tank in the standby state is about 40 to 90% of the negative pressure set at the time of application. Preferably, a pressure of 60 to 80% is more preferable.
図4には、このように動作する本発明の塗布装置の塗布処理のフローを示す。本発明の塗布装置がスタートすると(S100)、塗布前準備(S102)を行う。塗布前準備とは、メインタンクからインクをサブタンクに注入したり、メインタンク、サブタンク内の圧力を所定の圧力に調整する作業である。 FIG. 4 shows a flow of coating processing of the coating apparatus of the present invention that operates in this way. When the coating apparatus of the present invention is started (S100), preparation before coating (S102) is performed. Preparation before application is an operation of injecting ink from the main tank into the sub tank or adjusting the pressure in the main tank or the sub tank to a predetermined pressure.
塗布前作業が終了するとヘッド待機状態に入る(S104)。ヘッド待機状態は、インクジェットヘッドの待機状態に関する処理判断を行う状態であり、塗布装置全体はヘッド待機状態とは関係なく進む。なお、ヘッド待機状態中の処理については、図5を用いて後に説明する。 When the pre-application operation is completed, the head standby state is entered (S104). The head standby state is a state in which processing determination relating to the standby state of the inkjet head is performed, and the entire coating apparatus proceeds regardless of the head standby state. The processing in the head standby state will be described later with reference to FIG.
次に塗布対象物をステージにセットする(S106)。この処理は特に限定されることはなく、塗布装置自体が行ってもよいし、人の手で行ってもよいし、他のロボットなどが行ってもよい。塗布対象物がステージにセットされたら、ヘッド準備状態に入る(S108)。 Next, the application object is set on the stage (S106). This process is not particularly limited, and may be performed by the coating apparatus itself, by a human hand, or by another robot. When the application object is set on the stage, the head preparation state is entered (S108).
ヘッド準備状態(S108)は、インクジェットヘッドが塗布できる状態になったら、塗布を開始してもよいという状態である。この状態になると、制御部100にインクジェットヘッド始動のコマンドが入力される。
The head preparation state (S108) is a state in which application may be started when the ink jet head is ready for application. In this state, an ink jet head start command is input to the
このコマンドは、塗布装置自体が塗布対象物の状態を検知して発してもよいし、人の手によってスイッチなどが押されることで制御部100に入力されてもよい。
This command may be issued when the coating apparatus itself detects the state of the object to be coated, or may be input to the
インクジェットヘッド開始のコマンドが入力されると、制御部100はインクジェットヘッドを塗布可能な状態にし、塗布処理を開始する(S110)。塗布処理は、あらかじめ決められた手順に従って塗布対象物にインクを塗布してゆく。ここでは塗布終了判断(112)によって塗布処理が終了したか否かを判断するとしたが、決められた処理が終了すれば塗布終了としてもよい。
When an inkjet head start command is input, the
次に塗布装置自体を終了するか否かを判断する(S116)。これは塗布対象物の有無で決めてもよいし、あらかじめ塗布回数を決めておき、その回数が終了したかで判断してもよい。また人によって終了か否かを判断してもよい。終了でなければ(S114のN分岐)、ヘッド待機状態(S104)に戻る。 Next, it is determined whether or not the coating apparatus itself is terminated (S116). This may be determined based on the presence / absence of an object to be applied, or may be determined based on whether the number of times of application has been determined in advance. Further, it may be determined by a person whether or not the process is ended. If not finished (N branch of S114), the process returns to the head standby state (S104).
図5には、ヘッド待機状態(S104)の処理の一例を示す。インクジェットヘッドが待機状態になったら(S200)、まず時計から現在時刻を記録する(S202)。待機時間を積算するためである。これは制御部100が図5の時計106から時刻情報を取得することで実現できる。
FIG. 5 shows an example of processing in the head standby state (S104). When the inkjet head enters a standby state (S200), the current time is first recorded from the clock (S202). This is because the waiting time is integrated. This can be realized by the
次にインクジェットヘッドが所定位置に設置されたか否かを判断する(S204)。インクジェットヘッドは塗布ガントリー4に配設されており、塗布ガントリーのXおよびY方向の動きによって可動範囲内の任意の位置に移動できる。そこで、あらかじめインクジェットヘッドの待機場所が塗布装置に設けられている場合がある。ステップS204の判断は、そのような位置にインクジェットヘッドが配置されたら、直ちにステップS210以下の処理を行うことを意味する。なお、インクジェットヘッドが所定の位置に来たか否かについては、位置センサー102からの位置情報Dxyに基づいて制御部100が判断する。
Next, it is determined whether or not the ink jet head is installed at a predetermined position (S204). The ink-jet head is disposed in the coating gantry 4 and can be moved to any position within the movable range by movement of the coating gantry in the X and Y directions. Therefore, there is a case where a standby area for the inkjet head is provided in advance in the coating apparatus. The determination in step S204 means that if the ink jet head is placed at such a position, the processing in step S210 and subsequent steps is immediately performed. Note that the
ステップS210は、サブタンク内の圧力を上昇させる処理である。このときの圧力上昇により塗布時の圧力(負圧)よりは大気圧に近い第2の負圧に設定する。具体的には、サブタンクの圧力をセンサー105からの圧力情報Dpsによって知り、切換弁110と切換弁112を操作指示CvsおよびCvaで切り替えてサブタンク105内の圧力を所定の圧力に設定する。
Step S210 is a process of increasing the pressure in the sub tank. Due to the pressure increase at this time, the second negative pressure is set closer to the atmospheric pressure than the pressure during application (negative pressure). Specifically, the pressure in the
サブタンク105内の圧力が所定の値になったら、フラッシング開始しコマンド待ちに入るか、または何もせずにコマンド待ちに入る。(S212)。ここでコマンドとは、インクジェットヘッド始動のコマンドである。このコマンドが入力されたら(S212のY分岐)、サブタンク内の圧力を塗布時の圧力まで下げ(S214)、メインルーチンに戻る(S216)。
When the pressure in the
また、待機状態の圧力上昇(S210)は、インクジェットヘッドが所定の位置に移動するだけでなく、他の要因(イベント)によって状態を変化させてもよい。ステップS206はそのようなイベントの例示の1つである。ここでは所定時間が経過したか否かの判断を行う。もし、このステップS104から始める待機処理に入って、所定時間が経過すれば、インクジェットヘッドの位置に関わらず、サブタンクの圧力上昇処理(S210)に移ってもよい(S206のY分岐)。 Further, the pressure increase (S210) in the standby state may be changed not only by the ink jet head moving to a predetermined position but also by other factors (events). Step S206 is one example of such an event. Here, it is determined whether or not a predetermined time has elapsed. If a predetermined time elapses after entering the standby process starting from step S104, the process may proceed to the sub tank pressure increase process (S210) regardless of the position of the inkjet head (Y branch of S206).
所定時間の経過がない場合は(S206のN分岐)、コマンド待ちを判断し(S208)、コマンドがまだ受けていない場合は(S208のN分岐)ステップS204に戻る。コマンドを受けた場合は(S208のY分岐)サブタンク内の圧力を下げて、処理をメインルーチンに戻す(S216)。 If the predetermined time has not elapsed (N branch of S206), it is determined whether to wait for a command (S208). If no command has been received (N branch of S208), the process returns to step S204. If a command is received (Y branch of S208), the pressure in the sub-tank is lowered and the process returns to the main routine (S216).
以上の処理により、インクジェットヘッドが所定の場所に移動されるか、塗布の待機中に所定の時間が経過したかによって、サブタンク内の圧力は大気圧より負圧ではあるが、塗布時の負圧より大気圧に近い負圧状態に設定しなおされる。これによってインクジェットノズルの詰まりの発生率を低下させることができる。 Depending on whether the inkjet head has been moved to a predetermined location or a predetermined time has elapsed while waiting for application by the above processing, the pressure in the sub-tank is more negative than atmospheric pressure, but negative pressure during application The negative pressure state closer to the atmospheric pressure is reset. As a result, the occurrence rate of clogging of the inkjet nozzles can be reduced.
実際のインクジェットヘッドを用いて、サブタンク内の圧力によるインクジェットヘッドの目詰まりの程度を確認した。用いたインクジェットヘッドは、幅34mmにインクジェットノズルが256個設けられたものを用いた。インクジェットヘッドには上記の実施の形態で説明したサブタンクおよび制御部などが結合されている。 Using an actual ink jet head, the degree of clogging of the ink jet head due to the pressure in the sub tank was confirmed. The ink jet head used was a head provided with 256 ink jet nozzles having a width of 34 mm. The sub-tank, the control unit, and the like described in the above embodiment are coupled to the inkjet head.
確認は以下のようにして行った。 The confirmation was performed as follows.
まず、インクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクを多量に出させ、面に残ったインク液滴を溶剤に浸した布でふき取った。サブタンクからインクジェットヘッドまでの配管をインクで満たすためである。 First, a large amount of ink was ejected from the inkjet nozzles of the inkjet head, and ink droplets remaining on the surface were wiped off with a cloth dipped in a solvent. This is because the piping from the sub tank to the inkjet head is filled with ink.
次に、サブタンク内を塗布時の圧力まで負圧にした。この圧力は大気圧に対して−1.4kPaである。そして、1分間全インクジェットノズルからインクを吐出させた。 Next, the inside of the sub tank was set to a negative pressure up to the pressure at the time of application. This pressure is -1.4 kPa with respect to atmospheric pressure. And ink was discharged from all the inkjet nozzles for 1 minute.
次に、インクの吐出を止めてから、サブタンク内を所定の圧力にした。この圧力が待機時の圧力である。そして、所定時間経過後に再度全てのインクジェットヘッドからインクを吐出させ、256個のインクジェットノズルのうち、1ノズルでもインクが吐出しない状態が発生するまでの時間(ノズル欠発生時間)を調べた。 Next, after the ink discharge was stopped, the inside of the sub tank was brought to a predetermined pressure. This pressure is the standby pressure. Then, after a predetermined time had elapsed, ink was again ejected from all the inkjet heads, and the time until no ink was ejected from any of the 256 inkjet nozzles (nozzle missing occurrence time) was examined.
図6に待機時の圧力(横軸)とノズル欠発生時間(縦軸)の関係を示す。塗布時の圧力(−1.4kPa)では、ノズル欠発生時間は180秒であったのが、その約40%の圧力(−0.6Pa)では、290秒になった。これは、290秒の間、塗布を待機していても、次の塗布の際にすべてのインクジェットノズルからインクが吐出されることを示している。 FIG. 6 shows the relationship between the standby pressure (horizontal axis) and the missing nozzle occurrence time (vertical axis). At the time of application (-1.4 kPa), the nozzle missing occurrence time was 180 seconds, but at about 40% of the pressure (-0.6 Pa), it was 290 seconds. This indicates that ink is ejected from all of the inkjet nozzles during the next application even if the application is on standby for 290 seconds.
1 塗布装置
2 ガラス基板(塗布対象物)
3 吸着テーブル(保持ステージ)
4 塗布ガントリー
5 インクジェットヘッドバー
6 カメラガントリー
7,8 アラインメントカメラ
9 スキャンカメラ(計測手段)
10 インクジェットヘッドユニット
11 インクジェットヘッドモジュール
12 インクジェットヘッド
13 インクジェットノズル
15 吐出位置制御部
16 吐出圧制御部
17 圧力制御部
20 機台
60 メインタンク
62 サブタンク
70 減圧ポンプ
72、74 加圧ポンプ
100 制御部
102 位置センサー
105 圧力およびインク量センサー
110 切換弁
112 切換弁
116 切換弁
1
3 Suction table (holding stage)
4
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inkjet head unit 11
Claims (6)
前記インクジェットノズルにインクを供給する工程と、
前記インクに第1の負圧をかけて前記塗布対象物に塗布する工程と、
前記第1の負圧より大気圧に近い第2の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有する塗布方法。 An application method in which an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and an application target are moved relatively to apply ink to the application target,
Supplying ink to the inkjet nozzle;
Applying a first negative pressure to the ink to be applied to the application object;
Applying the second negative pressure closer to the atmospheric pressure than the first negative pressure and waiting for the application.
前記インクジェットノズルにインクを供給するサブタンクと、
前記サブタンクにインクを供給するインク供給手段と、
前記サブタンク内の圧力を測定する圧力センサーと、
前記サブタンク内の圧力を減圧する減圧手段と、
制御部を有し、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドにインクを吐出させる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を上げる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を下げる指示命令とを有し、
前記塗布対象物にインクを塗布する場合には前記サブタンク内の圧力を第1の負圧にし、塗布の待機の場合には第2の負圧に調整する塗布装置。 An application device that applies ink to the application object by relatively moving an inkjet head having a plurality of inkjet nozzles and the application object,
A sub tank for supplying ink to the inkjet nozzle;
Ink supply means for supplying ink to the sub tank;
A pressure sensor for measuring the pressure in the sub tank;
Pressure reducing means for reducing the pressure in the sub tank;
Having a control unit,
The controller is
An instruction command to cause the inkjet head to eject ink;
An instruction command to increase the pressure in the sub-tank;
An instruction command to lower the pressure in the sub-tank,
An application device that adjusts the pressure in the sub-tank to a first negative pressure when applying ink to the application object, and to a second negative pressure when waiting for application.
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