JP2010143110A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】両端のノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることを目的とする。
【解決手段】液体が充填される溝部３５が間隔をあけて並列に複数形成されたアクチュエータプレート３０と、溝部３５の側壁３６に形成された駆動電極３７と、溝部３５が形成されたアクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して貼着されて溝部３５を覆うカバープレート３１と、アクチュエータプレート３０の端面に接着材を介して貼着され、複数の溝部３５にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたノズルプレートと、を備え、駆動電極３７に駆動電圧を印加することで側壁３６を変形させて溝部３５内の圧力を高め、溝部３５内の液体をノズル孔から吐出させるヘッドチップであって、複数の溝部３５のうち、溝部３５の配列方向の両端に位置する溝部３５ａの容積は、配列方向の中央に位置する溝部３５ｂの容積よりも大きい。
【選択図】図６

Description

本発明は、ノズル孔より液体を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録するヘッドチップ、該ヘッドチップを有する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置に関する。

現在、液体噴射装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出して画像や文字等の記録を行うインクジェット方式の記録装置（例えば、プリンタやファックス等）が提供されている。この記録装置は、インクタンクからインク供給管を介してインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）にインクを供給し、該インクジェットヘッドに備えられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録を行っている。

上記したヘッドチップには、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合せるとともに、これらの端面にノズルプレートを貼着させた構成からなる。アクチュエータプレートは、圧電材料で形成されたプレートであり、その表面には、側壁でそれぞれ区切られた複数の溝部が並列に形成されている。この溝部は、インクが流れ込んで溜まる断面視凹形状のチャネルであり、この溝部の延在方向（長手方向）の一端は、アクチュエータプレートの端面において開放されている。溝部の両側の側壁には、それぞれ長手方向に沿って延びた板状の駆動電極がアルミ蒸着等によって形成されており、これらの駆動電極には、インクジェットヘッドに備えられた制御手段によって駆動電圧が印加される。カバープレートは、溝部を覆うプレートであり、上記したアクチュエータプレートの表面（溝部が形成された面）に接着材を介して貼着されている。また、このカバープレートには、複数の溝部にインクを導入させるための導入口が形成されており、インクジェットヘッドに供給されたインクは導入口を通って各溝部にそれぞれ供給される。ノズルプレートは、複数の溝部にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたプレートであり、貼り合わされたアクチュエータプレートとカバープレートとの端面に接着材を介して貼着されている。

上記した構成のヘッドチップでは、アクチュエータプレートに対してカバープレートやノズルプレートを貼着させる接着材の量が少ないと接着不良を起してインク漏れが生じるおそれがあるため、接着材を多少多めに塗布する必要がある。このため、接着材を介してアクチュエータプレートにカバープレートやノズルプレートを貼り付けたとき、余剰な接着材がはみ出て溝部内に流れ込み、この余剰接着材によって溝部の容量が小さくなる。

上記した溝部への余剰接着材の流れ込みの対策として、従来、例えば特許文献１に示されているような、溝部の開口縁に切り欠きを形成したヘッドチップが提案されている。このヘッドチップでは、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合せたときにはみ出た余剰接着材が上記した切り欠きに保持されるため、余剰接着材によって溝部の容量が小さくなることが防止される。
特開２００７−２３００４５号公報

ところで、通常、アクチュエータプレートの両端部分（溝部の配列方向の両端部分）の接着面が中央部分の接着面よりも広くなっているため、両端に近い溝部ほど余剰な接着材が流れ込み易い。しかしながら、上記した従来のヘッドチップでは、複数の溝部が同一形状を成しているため、余剰接着材によって両端部分の溝部の容量が中央部分の溝部に比べて小さくなり、両端部分の溝部によるインク吐出の吐出速度が遅くなるという問題が生じる。
また、上記した従来のヘッドチップでは、溝部の開口縁に切り欠きを形成しているため、隣り合う溝部の間に配置された側壁の上面が小さくなり、カバープレートに対して接着される面積が小さくなり、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性が低下する。また、側壁の上面は応力が集中する箇所であるため、この側壁上面が小さくなると、ヘッドチップの耐久性が低下する。
また、アクチュエータプレートの溝部を形成する際に、上記した切り欠きを形成しなければならず、製造工程が増加し、生産性が低下するという問題がある。
さらに、アクチュエータプレートにノズルプレートを貼着させたときの余剰接着材が溝部に流れ込み、これにより、溝部の容量が小さくなるという問題がある。

本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、アクチュエータプレートに対するカバープレートやノズルプレートの接着性、及びヘッドチップの耐久性並びに生産性をそれぞれ低下させることなく、両端部分に位置するノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度でインク（液体）を吐出させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供することを目的としている。

本発明に係るヘッドチップは、液体が充填される溝部が間隔をあけて並列に複数形成されたアクチュエータプレートと、前記溝部の側壁に形成された駆動電極と、前記溝部が形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記溝部を覆うカバープレートと、前記アクチュエータプレートの端面に接着材を介して貼着され、前記複数の溝部にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたノズルプレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで前記側壁を変形させて前記溝部内の圧力を高め、該溝部内の前記液体を前記ノズル孔から吐出させるヘッドチップであって、前記複数の溝部のうち、該溝部の配列方向の両端に位置する溝部の容積は、前記配列方向の中央に位置する溝部の容積よりも大きいことを特徴としている。
このような特徴により、アクチュエータプレートに接着材を介してカバープレートやノズルプレートを貼着させたとき、両端の溝部には中央の溝部よりも多量の余剰な接着材が流れ込むが、両端の溝部は中央の溝部よりも容積が大きくなっているため、両端の溝部の容量が確保される。すなわち、両端の溝部の容量は余剰な接着材が多量に流れ込むことで中央の溝部の容量と略均等になり、両端の溝部による液体吐出速度の遅れが抑制される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記配列方向の両端に位置する溝部の深さが、前記配列方向の中央に位置する溝部の深さよりも深いことが好ましい。
これにより、溝部の幅が変えられることなく、両端の溝部の容積が中央の溝部の容積よりも大きくなる。このため、例えばブレード等でアクチュエータプレートの溝部を形成する際、両端の溝部は、中央の溝部と同一の工程の中で溝切りプログラムの溝深さの数値を変更するだけで形成することが可能である。つまり、アクチュエータプレートは従来の製作工程と略同一な工程で作成されるので、生産性を低下させることなく、アクチュエータプレートに溝部を形成することができる。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記配列方向の両端に位置する溝部の幅が、前記配列方向の中央に位置する溝部の幅よりも広いことが好ましい。
これにより、溝部の深さが変えられることなく、両端の溝部の容積が中央の溝部の容積よりも大きくなる。このため、両端の溝部の側壁に形成される駆動電極と中央の溝部の側壁に形成される駆動電極とは同一の電極パターンになり、同一工程でそれぞれ形成することが可能である。つまり、溝部の側壁に形成される駆動電極の形状に影響を与えることなく、両端の溝部の容積を中央の溝部の容積よりも大きくすることができる。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数の溝部のうち、配列方向両側の最端の溝部のみが、他の溝部よりも容積が大きいことが好ましい。
これにより、最端の溝部についてだけ他の溝部と異なる加工を施すので、アクチュエータプレートが容易に作成される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数の溝部のうち、配列方向両側の最端から複数の溝部が、他の溝部よりも容積が大きくなっていてもよい。
これにより、複数の溝部の容量がより均一となり、複数の溝部による液体吐出速度のバラツキが低減される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数の溝部の容積が、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次増大されていてもよい。
これにより、両端に近い溝部ほど余剰接着材が流れ込み易いが、溝部の容積が中央から両端に向かって漸次増大されていることで、余剰接着材の流れ込みが多い溝部ほどその容積が大きくなり、複数の溝部の容量がより均一となる。
また、上記したヘッドチップは、前記複数の溝部の深さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次深くなっていることが好ましい。
さらに、上記したヘッドチップは、前記複数の溝部の幅が、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次広くなっていることが好ましい。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記配列方向の両端に位置する溝部の断面形状が、該溝部の延在方向のノズルプレート側に向かうに従い漸次拡大されていることが好ましい。
アクチュエータプレートとノズルプレートとを接着材を介して貼着させると、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間から余剰接着材が流れ込む分、溝部のうちのノズルプレート側の部分ほど、余剰接着材の流れ込み量が多くなる。また、ヘッドチップの駆動性能にとって溝部のノズルプレート側の部分は重要であって、その部分の側壁が適正に変形する必要がある。そこで、上記した構成にすることにより、両端の溝部のうち、ノズルプレート側の部分の容積が拡大されるので、ノズルプレート側から溝部に余剰接着材が流れ込んでもその部分の容量を十分に確保することができ、側壁が適正に変形可能である。

また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記複数の溝部に前記液体を導入させるための導入口が形成された上記ヘッドチップと、前記液体を前記導入口に供給する供給手段と、前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、供給手段によってヘッドチップの導入口に液体が供給され、制御手段によって駆動電極に駆動電圧を印加することでヘッドチップ内の液体がノズル孔から吐出される。このとき、上記したヘッドチップによって両端の溝部による液体吐出速度の遅れが抑制されるので、中央のノズル孔と同じ吐出速度で両端のノズル孔から液体を吐出させることができる。

また、本発明に係る液体噴射装置は、被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された上記液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、搬送手段によって被記録媒体を搬送するとともに、移動手段によって液体噴射ヘッドを往復移動させながらノズル孔から被記録媒体に向けて液体を吐出させることで被記録媒体に画像や文字等が記録される。このとき、中央のノズル孔と同じ吐出速度で両端のノズル孔から液体が吐出されるので、両端のノズル孔から被記録媒体の所定位置に正確に液体が当てることができ、高品質の記録を実現することができる。

本発明に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置によれば、両端部分に位置するノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることができる。

以下、本発明に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置の実施の形態について、図面に基いて説明する。
なお、本実施形態では、液体噴射装置の一例として、非導電性を有する非水性のインク（液体）Ｗを利用して記録を行うインクジェットプリンタ１を例に挙げて説明する。

［第１の実施の形態］
まず、第１の実施の形態について、図１から図６に基いて説明する。
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた矢印Ｌ１方向（搬送方向）に搬送する搬送手段３と、前記搬送方向に直交する矢印Ｌ２方向（走査方向）に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４とを、備えている。

つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを搬送方向に搬送しながら、該搬送方向に直交する走査方向にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録する所謂シャトルタイプのプリンタである。
なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタ及びイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。

これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
このキャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、該基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されており、上記操作方向に沿って配置されたガイドレール７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７に支持された状態で一対のプーリ８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８のうち一方のプーリ８は、モータ１０の出力軸に連結されており、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、走査方向に向けて往復移動できるようになっている。
即ち、これら一対のガイドレール７、一対のプーリ８、搬送ベルト９及びモータ１０は、上記移動手段４として機能する。

また、筐体５には、一対のガイドレール７と同じ走査方向に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６とが間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう前記搬送方向に沿って記録紙Ｐを搬送することができるようになっている。
即ち、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、上記搬送手段３として機能する。

図２に示すように、各インクジェットヘッド２は、図１に示すキャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、該固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、該ヘッドチップ２１の後述するインク導入口３１ａにインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。これら各インクジェットヘッド２は、搬送手段３によって搬送された記録紙Ｐの表面に対して後述するノズル孔３３ａが対向する向きに配置されている。

図３及び図４に示すように、ヘッドチップ２１は、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１、支持プレート３２及びノズルプレート３３で主に構成されており、アクチュエータプレート３０に図示せぬ接着材を介してカバープレート３１が重ね合わされているとともに、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の端面に図示せぬ接着材を介してノズルプレート３３が貼着された構成からなる。

アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートである。このアクチュエータプレート３０のカバープレート３１側の面（表面）には、図３から図６に示すように、矢印Ｌ３方向（延在方向）に延びた溝部３５が矢印Ｌ１方向（配列方向）に一定間隔をあけて並列に複数形成されている。即ち、複数の溝部３５は、側壁３６によってそれぞれ区分けされた状態となっている。これらの溝部３５は、インクＷが充填される断面視凹形状の吐出チャネルであり、後述するカバープレート３１のインク導入口３１ａにそれぞれ連通されている。溝部３５の延在方向の一端（先端）は、アクチュエータプレート３０の先端面（ノズルプレート３３側の端面）において開口されている。一方、溝部３５の延在方向の他端部（基端部）は、アクチュエータプレート３０の途中まで延びており、基端側（ノズルプレート３３側の反対側）に向かうにしたがって漸次深さが浅くなっている。また、アクチュエータプレート３０には、溝部３５の基端からアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）まで延びた浅溝部３８が形成されている。この浅溝部３８は溝部３５の延長線上に形成されており、その一端は溝部３５の内側に向けて開口され、その他端はアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）において開口され、図示しない封止手段によって封止されている。

また、図５及び図６に示すように、複数の溝部３５のうち、溝部３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の両端に位置する溝部３５ａの深さが、配列方向の中央に位置する溝部３５ｂの深さよりも深くなっており、両端の溝部３５ａの容積は、中央の溝部３５ｂの容積よりも大きくなっている。詳しく説明すると、配列方向両側の最端の溝部３５ａのみが、他の溝部３５ｂよりも深くなっており、配列方向両側の最端の溝部３５ａの容積が他の溝部３５ｂの容積よりも大きくなっている。具体的には、アクチュエータプレート３０にカバープレート３１やノズルプレート３３を貼着させたときに最端の溝部３５ａに流れ込む余剰な接着材の流入量と他の溝部３５ｂに流れ込む余剰な接着材の流入量との差を算出し、その差の分だけ最端の溝部３５ａの容積を他の溝部３５ｂの容積よりも大きくしており、例えば両側（最端）の溝部３５ａの容積は中央（他）の溝部３５ｂの容積と比べて１０％程度大きくなっている。なお、両側（最端）の溝部３５ａと中央（他）の溝部３５ｂとは同幅に形成されている。

また、複数の溝部３５の側壁３６には、長さ方向に亘って駆動電極３７が蒸着等により形成されている。そして、溝部３５の両側面に形成された駆動電極３７は、接続電極３９を介して後述するフレキシブル基板２７の引き出し電極２７ａに電気的に接続されるようになっている。
そして、駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、側壁３６を圧電厚み滑り効果により変形させることで溝部３５内の圧力を高め、充填されたインクＷを溝部３５内から吐出させる働きをしている。

図３及び図４に戻って、カバープレート３１は、例えばセラミックス等で形成されたプレートであり、複数の浅溝部３８の基端側部分を露出させた状態で、アクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して重ね合わせて貼着されている。また、カバープレート３１には、ダンパ部材２２からインクＷが供給されてくるインク導入口３１ａ（液体導入口）が形成されている。このインク導入口３１ａは、長方形の開口であり、溝部３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に延在されている。

支持プレート３２は、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持していると共に、ノズルプレート３３を支持している。支持プレート３２には、溝部３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に延在する嵌合孔３２ａが形成されており、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１をこの嵌合孔３２ａ内に嵌め込んだ状態で両プレート３０、３１を支持している。この際、支持プレート３２の先端側の表面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と面一となっている。

ノズルプレート３３は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状のプレートであり、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着材を介して貼着されている。つまり、ノズルプレート３３の一方の面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着される接着面となっており、ノズルプレート３３の他方の面は、図１に示す記録紙Ｐに対向する対向面となっている。なお、ノズルプレート３３の対向面には、インクＷの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。

また、このノズルプレート３３には、溝部３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に所定の間隔を空けて複数のノズル孔３３ａが形成されている。これら複数のノズル孔３３ａは、溝部３５に対向する位置にそれぞれ形成されており、該溝部３５に連通するようになっている。具体的に説明すると、図６に示すように、ノズル孔３３ａの中心は、溝部３５の配列方向の中心に配置されており、該溝部３５のピッチと同間隔で形成されている。
また、各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、ノズル孔３３ａは、接着面側から対向面側に向かうに従い漸次縮径されたテーパ孔であり、接着面側の入口径（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が対向面側の出口径よりも大きくなっている。
なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置等を用いて形成されている。

上記した構成のヘッドチップ２１は、図２に示すように、上述したように固定板２０の上面に固定されている。この固定板２０の上面には、アルミニウム等で形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されていると共に、ヘッドチップ２１のインク導入口３１ａにインクＷを供給する流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器（ダンパ）２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ４０が取り付けられている。
このように構成されているので、供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、該インクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室に一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１のインク導入口３１ａに供給するようになっている。
即ち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂ及びインク連結管２２ｃは、上記供給手段２２として機能する。

なお、供給チューブ４０は、図１に示すように、筐体５内に組み込まれたインクタンク４１に連結されている。これにより、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、４つのインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。

また、図２に示すように、ベースプレート２４には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路等の駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５とヘッドチップ２１の駆動電極３７とは、フレキシブル基板２７を介して電気的に接続されている。
フレキシブル基板２７は、図５に示すように、カバープレート３１の基端側に露出された浅溝部３８の基端側部分に嵌合される複数の引き出し電極２７ａがプリント配線されており、この引き出し電極２７ａが接続電極３９に接触して電気的に接続されることでこの接続電極３９を介して駆動電極３７に接続されている。そして、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。
即ち、駆動回路２５及びフレキシブル基板２７は、上記制御手段２３として機能する。

ここで、上記した構成のヘッドチップ２１の作成について説明する。
まず、圧電材料からなるプレートに複数の溝部３５及び浅溝部３８を並列に切削してアクチュエータプレート３０を作成する。詳しく説明すると、例えば円盤形状の図示せぬブレードによって上記プレートの一端面から他端側（短手方向）に向けて一定深さで溝を切削していき溝部３５を形成し、途中から溝深さを浅くして上記プレートの他端面まで切削して浅溝部３８を形成する。これにより、溝部３５及び浅溝部３８が形成される。続いて、上記プレートとブレードとを長手方向に相対的にずらし、上述した方法と同様にして溝部３５及び浅溝部３８を形成する。以上の動作を繰返し行うことにより、複数の溝部３５及び浅溝部３８を並列に形成する。このとき、配列方向両側の最端の溝部３５ａを形成する際、溝部３５の溝切りプログラムの数値を変更して溝深さを深くする。これにより、両側最端の溝部３５ａが中央の溝部３５ｂよりも深く形成され、両側最端の溝部３５ａの容積は中央の溝部３５ｂの容積よりも大きくなる。

次に、アクチュエータプレート３０に駆動電極３７及び接続電極３９をそれぞれパターン形成する。詳しく説明すると、複数の溝部３５の側壁３６に駆動電極３７を蒸着等で形成するとともに、溝部３５の基端側の底面と浅溝部３８の内面に接続電極３９を蒸着等で形成する。

次に、アクチュエータプレート３０にカバープレート３１を貼着する。詳しく説明すると、アクチュエータプレート３０又はカバープレート３１に接着材を塗布し、その後、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１とを重ね合わせる。これにより、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１とが接着材を介して貼着される。

次に、貼り合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持プレート３２に取り付ける。詳しく説明すると、貼り合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持プレート３２の嵌合孔３２ａの内側に挿入し、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面を支持プレート３２の先端側の表面と面一にして固定する。

次に、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面にノズルプレート３３を貼着する。詳しく説明すると、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面及び支持プレート３２の先端側の表面、又は、ノズルプレート３３の裏面に接着材を塗布し、その後、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面及び支持プレート３２の先端側の表面にノズルプレート３３を重ね合わせる。これにより、ノズルプレート３３がアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面に接着材を介して貼着される。

上述したようにアクチュエータプレート３０に接着材を介してカバープレート３１やノズルプレート３３を貼着させたとき、両側最端の溝部３５ａには中央の溝部３５ｂよりも多量の余剰な接着材が流れ込むが、両側最端の溝部３５ａは中央の溝部３５ｂよりも容積が大きくなっているため、インクＷが充填される両側最端の溝部３５ａの容量が確保される。すなわち、両側最端の溝部３５ａの容量は余剰な接着材が流れ込むことで中央の溝部３５ｂの容量と略均等になり、両側最端の溝部３５ａによる液体吐出速度の遅れが抑制される。

次に、上述したように構成されたインクジェットプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、４つのインクタンク４１にはそれぞれ異なる色のインクＷが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４１内のインクＷが供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂに供給された状態となっている。そのため、所定量のインクＷが、インク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１のインク導入口３１ａに供給され、インク導入口３１ａから溝部３５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、インクジェットプリンタ１を作動させると、一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６が回転して記録紙Ｐを搬送方向（矢印Ｌ１方向）に向けて搬送する。また、これと同時にモータ１０がプーリ８を回転させて搬送ベルト９を動かす。これにより、キャリッジ６がガイドレール７でガイドされながら走査方向（矢印Ｌ２方向）に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド２のヘッドチップ２１より４色のインクＷを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。特に、シャトル方式であるので、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド２の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ６によって往復移動が開始されると、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加する。より詳しくは、インクＷを吐出する溝部３５の両側の２つの側壁３６にそれぞれ設けられている駆動電極３７に駆動電圧を印加し、この２つの側壁３６を、インクＷを吐出させる溝部３５に隣接している溝部３５側へ突出するように変形させる。即ち、吐出する溝部３５があたかも膨らむように変形させる。

この２つの側壁３６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出する溝部３５の容積が増大する。そして、溝部３５の容積が増大したことにより、インクＷがインク導入口３１ａから溝部３５に誘導される。そして、溝部３５の内部に誘導されたインクＷは圧力波となって溝部３５の内部を通過し、この圧力波がノズル３３ａに到達したタイミングで、インクＷを溝部３５に誘導したタイミングで、駆動電極３７に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、側壁３６の変形が元に戻り、一旦増大した溝部３５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出する溝部３５の内部の圧力が増加し、インクＷが加圧される。その結果、インクＷが溝部３５内から吐出される。

なお、ここで述べている駆動電極３７は、それぞれ隣接する溝部３５から選択的にインクＷを吐出させるための電極として、別々に機能するように形成されている。また、インクＷを安定して吐出するために、さらなるインクＷの加圧が必要な場合には、側壁３６を吐出する溝部３５側へ突出するように変形させる。この動作によって、吐出する溝部３５の内部の圧力がさらに増加するので、インクＷをより加圧することができる。但し、この動作は上述したとおり、インクＷを安定して吐出させることを目的とするものであるので、必須な動作ではなく必要に応じて適宜使用すれば良い。
また、本実施形態では、非水性のインクＷを使用しているので、上述した各動作を必要に応じて組み合わせて実行することにより、最適なインクＷの吐出を実現することができる。

吐出されたインクＷは、ノズル孔３３ａを通って外部に吐出される。しかもノズル孔３３ａを通過する際に、インクＷは液滴状、即ちインク滴となって吐出される。その結果、上述したように、記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態のノズル孔３３ａは、断面テーパ状であるので、インク滴を速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。

上記した構成のヘッドチップ２１、及びこのヘッドチップ２１を有するインクジェットヘッド２によれば、両端の溝部３５ａの容量は余剰な接着材が流れ込むことで中央の溝部３５ｂの容量と略均等になり、両端の溝部３５ａによる液体吐出速度の遅れが抑制されるので、複数のノズル孔３３ａから均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができる。したがって、上記したインクジェットヘッド２を備えるインクジェットプリンタ１によれば、両端のノズル孔３３ａから記録紙Ｐの所定位置に正確にインクＷが当てることができ、高品質の記録を実現することができる。

特に、上記したヘッドチップ２１では、両端の溝部３５ａの深さが中央の溝部３５ｂの深さよりも深くすることで、両端の溝部３５ａの容積を中央の溝部３５ｂの容積よりも大きくしているので、アクチュエータプレート３０は従来の製作工程と略同一な工程で作成することが可能であり、生産性を低下させることなく、アクチュエータプレート３０に容積の異なる溝部３５ａ，３５ｂを形成することができる。

また、上記したヘッドチップ２１では、複数の溝部３５のうちの両側最端の溝部３５ａのみが他の溝部３５ｂよりも容積が大きくなっており、両側最端の溝部３５ａを切削するときだけ溝切りプログラムの数値を変更して他の溝部３５ｂよりも深くすればよいので、アクチュエータプレート３０を容易に作成することができ、生産性の低下を更に抑えることができる。

なお、上記した実施の形態では、複数の溝部３５のうちの両側最端の溝部３５ａだけが他の溝部３５ｂよりも深くて容積が大きくなっているが、本発明は、図７に示すように、複数の溝部３５のうち、配列方向両側の最端から複数の溝部３５ａが他の溝部３５ｂよりも深くて容積が大きくなっていてもよい。
通常、両端に近い溝部３５ほど余剰な接着材が流れ込み易いが、上記した構成にすることにより、複数の溝部３５の容量がより均一となり、複数の溝部３５による液体吐出速度のバラツキが低減される。これにより、より均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができ、さらに高品質の記録を実現することができる。

また、本発明は、図８に示すように、複数の溝部３５の深さが配列方向の中央から両端に向かって漸次深くなっており、複数の溝部３５の容積が配列方向の中央から両端に向かって漸次増大されていてもよい。
上述したように両端に近い溝部３５ほど余剰な接着材が流れ込み易いが、上記した構成にすることにより、溝部３５の容積が中央から両端に向かって漸次増大されていることで、余剰接着材の流れ込みが多い溝部３５ほどその容積が大きくなり、複数の溝部３５の容量がより均一となり、複数の溝部３５による液体吐出速度のバラツキが低減される。これにより、より均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができ、さらに高品質の記録を実現することができる。

［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態について図９に基いて説明する。
なお、本実施の形態は、アクチュエータプレート１３０の溝部１３５の構成が第１の実施の形態と異なり、他の構成は第１の実施の形態の構成と同様である。したがって、本実施の形態においては、アクチュエータプレート１３０についてのみ説明し、第１の実施の形態の構成と同様の構成については説明を省略する。

図９に示すように、複数の溝部１３５のうち、溝部１３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の両端に位置する溝部１３５ａの幅が、配列方向の中央に位置する溝部１３５ｂの幅よりも広くなっている。詳しく説明すると、最端の溝部１３５ａに流れ込む余剰な接着材の流入量と他の溝部１３５ｂに流れ込む余剰な接着材の流入量との差の分だけ、両側最端の溝部１３５ａが他の溝部１３５ｂよりも幅広になっている。なお、両側（最端）の溝部１３５ａと中央（他）の溝部１３５ｂとは同じ深さに形成されている。また、最端の溝部１３５ａは、センター合わせで両側に拡幅されており、最端の溝部１３５ａとその隣りの溝部１３５ｂとの中心間距離と、隣り合う他の溝部１３５ｂ同士の中心間距離と、が等しくなっている。

上記した配列方向両側の最端の溝部１３５ａを形成する際には、溝切りするブレードを若干配列方向にずらして２度切りする。これにより、両側最端の溝部１３５ａが中央の溝部１３５ｂよりも幅広に形成される。或いは、中央の溝部１３５ｂを切削するブレードよりも厚いブレードが装着された溝切り装置を別途用意し、この装置によって両側最端の溝部１３５ａを切削する方法であってもよい。

上記したアクチュエータプレート１３０を備えるヘッドチップ２１によれば、溝部１３５の深さが変えられることなく、両端の溝部１３５ａの容積が中央の溝部１３５ｂの容積よりも大きくなる。このため、両端の溝部１３５ａの側壁３６に形成される駆動電極３７と中央の溝部１３５ｂの側壁３６に形成される駆動電極３７とは同一の電極パターンになり、同一工程でそれぞれ形成することが可能である。つまり、溝部１３５の側壁３６に形成される駆動電極３７の形状に影響を与えることなく、両端の溝部１３５ａの容積を中央の溝部１３５ｂの容積よりも大きくすることができる。したがって、生産性の低下を抑えることができる。

なお、上記した実施の形態では、複数の溝部１３５のうちの両側最端の溝部１３５ａだけが他の溝部１３５ｂよりも幅広になっているが、本発明は、図１０に示すように、複数の溝部１３５のうち、配列方向両側の最端から複数の溝部１３５ａが他の溝部１３５ｂよりも幅広になっていてもよい。これにより、上述した図７に示す形態と同様の効果を奏する。
また、本発明は、図１１に示すように、複数の溝部１３５の幅が配列方向の中央から両端に向かって漸次広くなっていてもよい。これにより、上述した図８に示す形態と同様の効果を奏する。
さらに、上記した実施の形態では、複数の溝部１３５の深さは全て同じ深さに形成されているが、本発明は、配列方向の両端の溝部の幅が中央の溝部の幅よりも広くなっているとともに、配列方向の両端の溝部の深さが中央の溝部の深さよりも深くなっていてもよい。この場合、最端の溝部だけが他の溝部よりも深く且つ幅広になっていてもよく、或いは、最端から複数の溝部が他の溝部よりも深く且つ幅広になっていてもよく、或いは、複数の溝部の深さが配列方向の中央から両端に向かって漸次深くなっているとともに複数の溝部の幅が配列方向の中央から両端に向かって漸次広くなっていてもよい。

［第３の実施の形態］
次に、第３の実施の形態について図１２に基いて説明する。
なお、第３の実施の形態は、アクチュエータプレート２３０の溝部２３５の構成だけが第１の実施の形態と異なり、他の構成は第１の実施の形態の構成と同様である。したがって、第１の実施の形態の構成と同様については説明を省略する。

図１２に示すように、複数の溝部２３５のうち、溝部２３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の両端に位置する溝部２３５ａの底面が先端側（溝部２３５の延在方向のノズルプレート３３側）に向かって下向きに傾斜されており、両端の溝部２３５ａの断面形状が先端側に向かうに従い漸次拡大されている。詳しく説明すると、両端の溝部２３５ａの断面形状は、基端部分が図示せぬ他（中央）の溝部の断面形状と略同形状になっており、先端側に向かうに従い溝深さ方向に長くなっている。これにより、両端の溝部２３５ａの容積は他の溝部の容積よりも大きくなっている。

上記した両端の溝部２３５ａを形成する際には、溝切りするブレードを先端側から基端側に移動させるとともに溝深さ方向（矢印Ｌ２方向）の上側に移動させる。これにより、底面が先端側に向かって下向きに傾斜された溝部２３５ａが形成される。

上記したアクチュエータプレート２３０を備えるヘッドチップ２１によれば、両端の溝部２３５ａのうち、先端側部分の容積が拡大されるので、ノズルプレート３３側から溝部２３５ａに余剰接着材が流れ込んでもその部分の容量を十分に確保することができ、側壁３６を適正に変形させることができる。

なお、本発明は、複数の溝部のうちの両側最端の溝部だけが、先端側に向かって断面形状が漸次拡大されていてもよく、或いは、配列方向両側の最端から複数の溝部が、先端側に向かって断面形状が漸次拡大されていてもよい。
また、本発明は、先端側に向かって断面形状が漸次拡大された溝部２３５ａの拡大率（基端側の断面積に対する先端側の断面積）が、配列方向の中央から両端に向かって漸次大きくなっていてもよい。つまり、先端側に向かって断面形状が漸次拡大された溝部２３５ａが並列に複数配設された場合において、配列方向の中央側に配設された溝部２３５ａの底面の傾斜角度よりも、両端側に配設された溝部２３５ａの底面の傾斜角度が大きくなるように、底面の傾斜角度を中央側から両端側に向かって漸次大きくすることも可能である。

さらに、上記した実施の形態では、溝部２３５ａの深さを先端側に向かって漸次深くしているが、本発明は、溝部２３５ａの幅を先端側に向かって漸次広くすることも可能である。さらに、本発明は、溝部２３５ａの深さを先端側に向かって漸次深くするとともに、溝部２３５ａの幅を先端側に向かって漸次広くすることも可能である。

以上、本発明の第１から第３の実施の形態について説明したが、本発明は上記した各実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。 例えば、上記した各実施の形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

また、上記した各実施の形態では、複数のノズル孔３３ａが配列方向に直線状に一列に配列されているが、本発明は、複数のノズル孔３３ａが直線状に配列されてなく、縦方向（矢印Ｌ２方向）にずらして配列されていてもよい。例えば、複数のノズル孔３３ａが斜めに配列されていてもよく、或いは、千鳥状に配列されていてもよい。
また、ノズル孔３３ａの形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。

また、本発明は、ノズル孔３３ａの位置に関して限定されるものではない。例えば、上記した上記した第１の実施の形態では、図６に示すように、両端の溝部３５ａのノズル孔３３ａが、中央の溝部３５ｂの溝深さ方向（矢印Ｌ２方向）の中心位置に形成された中央の溝部３５ｂのノズル孔３３ａと同じ位置に形成されているが、本発明は、両端の溝部３５ａのノズル孔３３ａが、両端の溝部３５ａの溝深さ方向（矢印Ｌ２方向）の中心位置に形成され、両端の溝部３５ａのノズル孔３３ａの位置と中央の溝部３５ｂのノズル孔３３ａの位置とが溝深さ方向（矢印Ｌ２方向）にずれていてもよい。ただし、その場合、両端の溝部３５ａに対しては中央の溝部３５ｂと異なる制御が必要となる。

また、本発明は、駆動電極３７の形成深さに関して限定されるものではない。例えば、上記した上記した第１の実施の形態では、図６に示すように、両端の溝部３５ａの駆動電極３７と中央の溝部３５ｂの駆動電極３７とは、中央の溝部３５ｂの深さの半分程度の深さにそれぞれ形成されており、これにより、両端の溝部３５ａの駆動電極３７と中央の溝部３５ｂの駆動電極３７とを同じ手順で形成することができるというメリットがあるが、本発明は、図８に示す構成と同様に、両端の溝部３５ａの駆動電極３７を、両端の溝部３５ａの深さの半分程度の深さに形成することも可能である。これにより、インクＷの吐出動作に関し、各溝部３５の両端に位置する側壁３６を略半分で屈曲させ駆動することができるため、同じ電圧を与えたとしても駆動効率が良いというメリットがある。すなわち、本発明は、上記したメリットを考慮し、駆動環境やインクの種類などに合わせて、適切に動作するように設計されればよい。

また、上記した実施の形態では、カバープレート３１にインク導入口３１ａが形成されているが、本発明は、アクチュエータプレートにインク導入口が形成されていてもよい。例えば、アクチュエータプレートの裏面（溝部が形成された表面の反対側の面）に配列方向に延びた断面凹状のインク導入口が形成され、このインク導入口の底面に、溝部に連通するスリットが形成された構成であってもよい。

また、上記した実施の形態では、両端の溝部３５ａ，１３５ａ，２３５ａの深さ又は幅を中央の溝部３５ｂ，１３５ｂよりも大きくすることで、両端の溝部３５ａ，１３５ａ，２３５ａの容積を中央の溝部３５ｂ，１３５ｂよりも大きくしているが、本発明は、両端の溝部の長さ（矢印Ｌ３方向の長さ）を中央の溝部の長さよりも長くすることで、両端の溝部の容積を中央の溝部よりも大きくすることも可能である。ただし、その場合、駆動電極に駆動電圧を印加したときの側壁の挙動が両端の溝部と中央の溝部とで異なるので、両端の溝部に対しては中央の溝部と異なる周波数で制御する必要がある。

また、上記した実施の形態では、非水性のインクＷを利用した場合を説明したが、例えば、導電性の水性インク、ソルベントインク、オイルインクやＵＶインク等を用いても構わない。
なお、水性インクを用いる場合には、ヘッドチップは次にように構成すれば良い。
即ち、アクチュエータプレートには、インクが充填される吐出チャネルとして機能する吐出用溝部（本発明の溝部に相当する。）と、インクが充填されないダミーチャネルとして機能するダミー溝部と、が配列方向に交互に形成される。そして、インク導入口の底面には、吐出用溝部に対向する位置にスリットを形成する。これにより、インク導入口からスリットを通って吐出用溝部にだけインクが充填される。そして、ノズルプレートには、吐出用溝部に対向する位置にノズル孔が形成される。
このようにヘッドチップ２１を構成することで、水性のインクであっても、吐出用溝部に設けられた駆動電極と、ダミー溝部に設けられた駆動電極とをインクを介して導通させることなく、電気的に切り離した状態で使い分けることができる。従って、水性のインクを利用して記録を行うことができる。
特に、導電性を有するインクであっても問題なく利用できるので、インクジェットプリンタの付加価値を高めることができる。なお、その他は同様の作用効果を奏することができる。

その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。

本発明の第１の実施の形態を説明するための液体噴射装置の斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するための液体噴射ヘッドの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの分解斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの分解斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの断面図である。 本発明の第１の実施の形態の変形例を説明するためのヘッドチップの断面図である。 本発明の第１の実施の形態の変形例を説明するためのヘッドチップの断面図である。 本発明の第２の実施の形態を説明するためのヘッドチップの断面図である。 本発明の第２の実施の形態の変形例を説明するためのヘッドチップの断面図である。 本発明の第２の実施の形態の変形例を説明するためのヘッドチップの断面図である。 本発明の第３の実施の形態を説明するためのヘッドチップの断面図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２ インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３ 搬送手段
４ 移動手段
２１ ヘッドチップ
２２ 供給手段
２３ 制御手段
３０ アクチュエータプレート
３１ カバープレート
３１ａ インク導入口（導入口）
３３ ノズルプレート
３３ａ ノズル孔
３５、３５ａ、３５ｂ 溝部
３６ 側壁
３７ 駆動電極
１３０ アクチュエータプレート
１３５、１３５ａ、１３５ｂ 溝部
２３０ アクチュエータプレート
２３５、２３５ａ 溝部
Ｐ 記録紙（被記録媒体）
Ｗ インク（液体）

Claims (11)

1. 液体が充填される溝部が間隔をあけて並列に複数形成されたアクチュエータプレートと、
   前記溝部の側壁に形成された駆動電極と、
   前記溝部が形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記溝部を覆うカバープレートと、
   前記アクチュエータプレートの端面に接着材を介して貼着され、前記複数の溝部にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたノズルプレートと、を備え、
   前記駆動電極に駆動電圧を印加することで前記側壁を変形させて前記溝部内の圧力を高め、該溝部内の前記液体を前記ノズル孔から吐出させるヘッドチップであって、
   前記複数の溝部のうち、該溝部の配列方向の両端に位置する溝部の容積は、前記配列方向の中央に位置する溝部の容積よりも大きいことを特徴とするヘッドチップ。
2. 請求項１に記載のヘッドチップにおいて、
   前記配列方向の両端に位置する溝部の深さが、前記配列方向の中央に位置する溝部の深さよりも深いことを特徴とするヘッドチップ。
3. 請求項１または２に記載のヘッドチップにおいて、
   前記配列方向の両端に位置する溝部の幅が、前記配列方向の中央に位置する溝部の幅よりも広いことを特徴とするヘッドチップ。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記複数の溝部のうち、配列方向両側の最端の溝部のみが、他の溝部よりも容積が大きいことを特徴とするヘッドチップ。
5. 請求項１から３のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記複数の溝部のうち、配列方向両側の最端から複数の溝部が、他の溝部よりも容積が大きいことを特徴とするヘッドチップ。
6. 請求項１から３のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記複数の溝部の容積が、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次増大されていることを特徴とするヘッドチップ。
7. 請求項６に記載のヘッドチップにおいて、
   前記複数の溝部の深さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次深くなっていることを特徴とするヘッドチップ。
8. 請求項６または７に記載のヘッドチップにおいて、
   前記複数の溝部の幅が、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次広くなっていることを特徴とするヘッドチップ。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記配列方向の両端に位置する溝部の断面形状が、該溝部の延在方向のノズルプレート側に向かうに従い漸次拡大されていることを特徴とするヘッドチップ。
10. 前記複数の溝部に前記液体を導入させるための導入口が形成された請求項１から９のいずれか一項に記載のヘッドチップと、
    前記液体を前記導入口に供給する供給手段と、
    前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段と、
    を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
11. 被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、
    該搬送手段によって搬送された被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された請求項１０に記載の液体噴射ヘッドと、
    該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、
    を備えることを特徴とする液体噴射装置。

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