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JP2010018482A - Ferrite, and manufacturing method thereof - Google Patents

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JP2010018482A JP2008180447A JP2008180447A JP2010018482A JP 2010018482 A JP2010018482 A JP 2010018482A JP 2008180447 A JP2008180447 A JP 2008180447A JP 2008180447 A JP2008180447 A JP 2008180447A JP 2010018482 A JP2010018482 A JP 2010018482A
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晋 ▲高▼根
Susumu Takane
Hidenobu Umeda
秀信 梅田
Takahiro Sato
高弘 佐藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ferrite capable of maintaining good varistor characteristics when calcining integrally with a varistor, and simultaneously having a high magnetic resonance frequency and a high initial magnetic permeability. <P>SOLUTION: The ferrite includes iron oxide, nickel oxide, zinc oxide, and manganese oxide as principal components. The principal components includes 45-49.5 mol% of iron oxide in terms of Fe<SB>2</SB>O<SB>3</SB>, 20-40 mol% of nickel oxide in terms of NiO, 14-30 mol% of zinc oxide in terms of ZnO, and 0.1-2 mol% of manganese oxide in terms of Mn<SB>2</SB>O<SB>3</SB>. The principal components arbitrarily includes copper oxide where the content of copper oxide in terms of CuO in the principal components is not greater than 2 mol%. The ferrite further includes 3-10 mass% of bismuth oxide in terms of Bi<SB>2</SB>O<SB>3</SB>to the total principal components. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明はフェライト及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a ferrite and a manufacturing method thereof.

コンピュータ機器には、ノイズの発生防止、外部からのノイズの侵入防止のために、回路基板の入出力部や回路内に積層型バリスタ、インダクタ(フェライトチップ)及びコンデンサチップ等が組み込まれている。   In a computer device, a multilayer varistor, an inductor (ferrite chip), a capacitor chip, and the like are incorporated in an input / output portion of a circuit board and a circuit in order to prevent noise generation and intrusion of noise from the outside.

しかし、積層型バリスタ、インダクタ及びコンデンサチップ等の部品を回路基板に設けた場合、これらの部品が基板面積を多く占有してしまい、実装スペースが大きくなってしまう。また、部品点数が増えることによりコストアップしてしまう傾向がある。   However, when components such as a multilayer varistor, an inductor, and a capacitor chip are provided on a circuit board, these components occupy a large area of the board, and a mounting space increases. In addition, the cost tends to increase due to an increase in the number of parts.

このような問題に対応するため、各素子チップを互いに接合させた状態で一体化焼結させた複合部品を作製して回路基板に設置することによって、部品点数を減らすとともに部品をコンパクトにして実装スペースを削減することが試みられている。   In order to deal with such problems, a composite component is manufactured by integrally sintering each element chip while being bonded to each other, and installed on a circuit board, thereby reducing the number of components and making the component compact. Attempts have been made to reduce space.

ところで、インダクタの素地材料として、従来からNi、Cu、Zn等を含有した酸化物磁性材料であるフェライト材料が用いられている。例えば、Ni−Cu−Znフェライトは、優れた磁気特性を備えており、各種電子部品のコア(磁心)材料として、または積層チップインダクタなどのインダクタ部品の材料として広く用いられている。このNi−Cu−Znフェライトに含まれるCu成分は、焼結を促進する効果があることが知られている。   By the way, a ferrite material, which is an oxide magnetic material containing Ni, Cu, Zn or the like, has been conventionally used as a base material for an inductor. For example, Ni—Cu—Zn ferrite has excellent magnetic properties and is widely used as a core (magnetic core) material for various electronic components or as a material for inductor components such as multilayer chip inductors. It is known that the Cu component contained in this Ni—Cu—Zn ferrite has an effect of promoting sintering.

ところが、上述のような複合部品を作製する場合、インダクタの素地材料としてNi−Cu−Znフェライトを用い、このインダクタとバリスタとを一体化焼結すると、インダクタ素地を構成するNi−Cu−Znフェライトに含まれるCu成分がバリスタ素子側に拡散移行してしまうため、バリスタ特性が劣化しまうという問題があった。このため、Cuの含有量が低減されたZnフェライトが提案されている(例えば、特許文献1)。
特開2007−91539号公報
However, in the case of producing the composite parts as described above, Ni—Cu—Zn ferrite is used as the base material of the inductor, and when this inductor and the varistor are integrally sintered, the Ni—Cu—Zn ferrite constituting the inductor base is formed. Since the Cu component contained in the metal diffuses and moves to the varistor element side, there is a problem that the varistor characteristics deteriorate. For this reason, Zn ferrite with reduced Cu content has been proposed (for example, Patent Document 1).
JP 2007-91539 A

しかしながら、上記特許文献1のZnフェライトは非磁性であることから、例えば、インダクタ特性やノイズ抑制効果などを向上させるために、インダクタの素地材料自体に磁性を有することが求められる。このため、磁性を有するとともにバリスタやインダクタを含む複合部品の素地材料に適したフェライトが求められている。   However, since the Zn ferrite of Patent Document 1 is non-magnetic, for example, in order to improve inductor characteristics, noise suppression effects, etc., the inductor base material itself is required to have magnetism. Therefore, there is a demand for a ferrite that has magnetism and is suitable as a base material for composite parts including varistors and inductors.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、バリスタと一体焼成した場合にバリスタ特性を良好に維持することが可能であり、優れた磁性を有するフェライト及び当該フェライトの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a ferrite having excellent magnetism and a method for producing the ferrite capable of maintaining good varistor characteristics when integrally fired with a varistor. With the goal.

本発明では、主成分として酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛及び酸化マンガンを含有するフェライトであって、主成分は、酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%含有し、主成分は任意に酸化銅を含有し、主成分における酸化銅の含有量がCuO換算で2mol%以下であり、主成分全体に対して、酸化ビスマスをBi換算で3〜10質量%含有するフェライトを提供する。 In the present invention, the iron oxide as a main component, nickel oxide, a ferrite containing zinc oxide and manganese oxide, the main component, 45~49.5Mol% iron oxide calculated as Fe 2 O 3, nickel oxide NiO 20~40Mol% in terms of zinc oxide 14~30Mol% calculated as ZnO, and manganese oxide containing 0.1 to 2 mol% in Mn 2 O 3 in terms of the major component contains the optionally oxidized copper, the main component the content of copper oxide in is not more than 2 mol% in terms of CuO relative to the total principal component, provides a ferrite containing 3 to 10 wt% of bismuth oxide in terms of Bi 2 O 3.

このようなフェライトは、バリスタと一体焼成してもESD耐量などのバリスタ特性を良好に維持することができるとともに、高い初透磁率を得ることができる。かかる効果が得られる理由としては、例えば次の要因が挙げられる。本発明のフェライトは、酸化銅の含有量が十分に低減されるとともに、酸化ビスマスを特定量含有している。このため、例えばバリスタと一体焼成した場合に、Cu成分のバリスタ側への拡散を十分に低減してバリスタ特性を良好に維持することができ、また、低温で十分に焼結させて高い焼結密度を有する焼結体とすることができる。このように高い焼結密度を有することに加えて、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛及び酸化マンガンを特定量含有しているため、高い磁気共鳴周波数と高い初透磁率とを両立させることができる。なお、効果が得られる理由は上述の要因に限定されるものではない。   Such a ferrite can maintain good varistor characteristics such as ESD resistance even when fired integrally with a varistor, and can obtain a high initial permeability. The reason why such an effect is obtained is, for example, the following factors. The ferrite of the present invention contains a specific amount of bismuth oxide while the content of copper oxide is sufficiently reduced. For this reason, for example, when integrally fired with a varistor, the diffusion of Cu components to the varistor side can be sufficiently reduced to maintain good varistor characteristics, and high sintering can be achieved by sufficiently sintering at low temperatures. It can be set as the sintered compact which has a density. In addition to having such a high sintered density, since it contains specific amounts of iron oxide, nickel oxide, zinc oxide and manganese oxide, it is possible to achieve both a high magnetic resonance frequency and a high initial permeability. . The reason why the effect is obtained is not limited to the above factors.

本発明のフェライトは、5.0g/cm以上の焼結密度を有することが好ましい。このようなフェライトは一層優れた初透磁率を有する。 The ferrite of the present invention preferably has a sintered density of 5.0 g / cm 3 or more. Such ferrite has a much better initial permeability.

また、本発明では、酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%含有し、酸化銅の含有量がCuO換算で2mol%以下である混合原料を仮焼して仮焼体を得る仮焼工程と、仮焼体に、仮焼体全体に対して酸化ビスマスを3〜10質量%添加して焼成する焼成工程と、を有するフェライトの製造方法を提供する。 Further, in the present invention, iron oxide is 45 to 49.5 mol% in terms of Fe 2 O 3 , nickel oxide is 20 to 40 mol% in terms of NiO, zinc oxide is 14 to 30 mol% in terms of ZnO, and manganese oxide is Mn 2. A calcining step of obtaining a calcined body by calcining a mixed raw material containing 0.1 to 2 mol% in terms of O 3 and having a copper oxide content of 2 mol% or less in terms of CuO, And a firing step of adding 3 to 10% by mass of bismuth oxide to the entire fired body and firing.

本発明の製造方法では、特定量の酸化ビスマスを添加しているため、低温焼成が可能であり、得られる焼結体の比抵抗を高くすることができる。また、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛及び酸化マンガンを特定量含有する仮焼体を用いているため、高い磁気共鳴周波数と高い初透磁率とを両立可能な焼結体を得ることができる。   In the production method of the present invention, since a specific amount of bismuth oxide is added, low temperature firing is possible, and the specific resistance of the obtained sintered body can be increased. Moreover, since the calcined body containing specific amounts of iron oxide, nickel oxide, zinc oxide and manganese oxide is used, a sintered body capable of achieving both a high magnetic resonance frequency and a high initial permeability can be obtained.

本発明の製造方法における焼成工程では、酸化ビスマスを含有するビスマス系ガラスを仮焼体に添加することが好ましい。この場合も、酸化ビスマスと同様に、低温焼成が可能となり、焼結体の密度を高くすることができる。また、主成分の組成を調整すれば、酸化ビスマス単独で添加する場合に比べて、比抵抗を高くすることができる。   In the firing step in the production method of the present invention, it is preferable to add bismuth-based glass containing bismuth oxide to the calcined body. Also in this case, similarly to bismuth oxide, low-temperature firing is possible, and the density of the sintered body can be increased. Further, if the composition of the main component is adjusted, the specific resistance can be increased as compared with the case where bismuth oxide is added alone.

本発明によれば、バリスタと一体焼成した場合にバリスタ特性を良好に維持することが可能であり、優れた磁性を有するフェライト及び当該フェライトの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to maintain good varistor characteristics when integrally fired with a varistor, and it is possible to provide a ferrite having excellent magnetism and a method for producing the ferrite.

以下、場合により図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。   In the following, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as the case may be. In the description of the drawings, the same reference numerals are used for the same or equivalent elements, and duplicate descriptions are omitted.

本実施形態のフェライトは、主成分の必須成分として酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛及び酸化マンガンを含有し、主成分の任意成分として酸化銅を含有する。酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛及び酸化マンガンの含有量は、主成分全体を基準として、酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%含有する。 The ferrite of this embodiment contains iron oxide, nickel oxide, zinc oxide and manganese oxide as essential components of the main component, and contains copper oxide as an optional component of the main component. Iron oxide, the content of nickel oxide, zinc oxide and manganese oxide, based on the total principal component, 45~49.5Mol% iron oxide calculated as Fe 2 O 3, 20~40Mol% nickel oxide in terms of NiO, Zinc oxide is contained in an amount of 14 to 30 mol% in terms of ZnO, and manganese oxide is contained in an amount of 0.1 to 2 mol% in terms of Mn2O3.

また、酸化銅は任意成分であるため、本実施形態のフェライトは酸化銅を全く含有しなくてもよい。フェライトが酸化銅を含有する場合、フェライトの主成分は、酸化銅を、0を超えて2mol%以下の範囲で含有する。   Further, since copper oxide is an optional component, the ferrite of this embodiment may not contain copper oxide at all. When the ferrite contains copper oxide, the main component of the ferrite contains copper oxide in a range of more than 0 and 2 mol% or less.

本実施形態におけるフェライトは、主成分として、任意に酸化銅を含有していてもよい。主成分中の酸化銅の含有量は、焼結密度とバリスタのESD耐量とを高水準で両立させる観点から、CuO換算で1.5mol%以下であることが好ましく、1.0mol%であることがより好ましい。一方、酸化銅の含有量が2mol%を超える場合、Cu成分がバリスタ積層部7に拡散してESD耐量などのバリスタ特性を低下させる。酸化銅の含有量が低いほど、バリスタのESD耐量を一層良好に維持することができる。なお、主成分とはフェライトの主相を構成する成分である。   The ferrite in this embodiment may optionally contain copper oxide as a main component. The content of copper oxide in the main component is preferably 1.5 mol% or less in terms of CuO, and preferably 1.0 mol%, from the viewpoint of achieving both high sintering density and ESD resistance of the varistor. Is more preferable. On the other hand, when the content of copper oxide exceeds 2 mol%, the Cu component diffuses into the varistor laminated portion 7 and deteriorates varistor characteristics such as ESD tolerance. The lower the copper oxide content, the better the ESD resistance of the varistor can be maintained. The main component is a component constituting the main phase of ferrite.

また、フェライトは、上記主成分の他に、副成分として酸化ビスマスを含有する。酸化ビスマスの含有量は、上記主成分全体に対しBi換算で3〜10質量%であり、3〜9質量%であることが好ましく、4〜6質量%であることがより好ましい。当該含有量を3〜10質量%とすることによって、低温(900℃程度)焼結が可能となり、高密度のフェライト焼結体を得ることができる。 Ferrite contains bismuth oxide as a subcomponent in addition to the main component. The content of bismuth oxide is 3 to 10% by mass in terms of Bi 2 O 3 , preferably 3 to 9% by mass, and more preferably 4 to 6% by mass with respect to the entire main component. By setting the content to 3 to 10% by mass, low-temperature (about 900 ° C.) sintering is possible, and a high-density ferrite sintered body can be obtained.

酸化ビスマスの含有量が、上記主成分全体に対しBi換算で3質量%未満の場合、低温焼結が困難となり、十分に高い焼結密度が得られ難くなる傾向がある。一方、該含有量が10質量%を超える場合、焼結時に異常粒成長が発生しやすくなって得られる焼結体の比抵抗が低くなる傾向がある。 When the content of bismuth oxide is less than 3% by mass in terms of Bi 2 O 3 with respect to the entire main component, low-temperature sintering tends to be difficult, and a sufficiently high sintered density tends to be difficult to obtain. On the other hand, when the content exceeds 10% by mass, abnormal grain growth tends to occur during sintering, and the specific resistance of the obtained sintered body tends to be low.

本実施形態のフェライト全体に対する主成分の割合は、80〜97質量%であることが好ましく、85〜97質量%であることがより好ましく、90〜97質量%であることがさらに好ましい。これによって、初透磁率と磁気共鳴周波数とを一層高水準で両立することが可能となる。   The ratio of the main component to the entire ferrite of the present embodiment is preferably 80 to 97% by mass, more preferably 85 to 97% by mass, and further preferably 90 to 97% by mass. As a result, it is possible to make the initial permeability and the magnetic resonance frequency compatible at a higher level.

主成分中の酸化ニッケルの含有量は、NiO換算で25〜35mol%であることがより好ましい。当該含有量が高くなり過ぎると、十分に高い初透磁率μiが得られ難くなる傾向があり、積層チップインダクタの素地に用いた場合に十分なインダクタンスが得られ難くなる傾向がある。一方、当該含有量が低くなり過ぎると、磁気共鳴周波数frが低くなる傾向がある。   The content of nickel oxide in the main component is more preferably 25 to 35 mol% in terms of NiO. If the content is too high, a sufficiently high initial permeability μi tends to be difficult to obtain, and sufficient inductance tends to be difficult to obtain when used as a substrate for a multilayer chip inductor. On the other hand, if the content is too low, the magnetic resonance frequency fr tends to be low.

主成分中の酸化亜鉛の含有量は、ZnO換算で15〜27mol%であることが好ましく、16〜24mol%であることがより好ましい。当該含有量が高くなり過ぎると、磁気共鳴周波数frが低くなる傾向がある。一方、当該含有量が低くなり過ぎると、十分に高い初透磁率μiが得られ難くなる傾向がある。   The content of zinc oxide in the main component is preferably 15 to 27 mol%, more preferably 16 to 24 mol% in terms of ZnO. If the content is too high, the magnetic resonance frequency fr tends to be low. On the other hand, if the content is too low, a sufficiently high initial permeability μi tends to be difficult to obtain.

本実施形態のフェライトは、酸化ニッケルと酸化亜鉛のそれぞれの含有量を振り替えて調整することによって、所望の初透磁率μiと磁気共鳴周波数frとを得ることができる。   The ferrite of this embodiment can obtain desired initial permeability μi and magnetic resonance frequency fr by changing the contents of nickel oxide and zinc oxide.

主成分中の酸化マンガンの含有量は、Mn換算で0.2〜2mol%であることが好ましく、0.5〜2mol%であることがより好ましい。当該含有量が高くなり過ぎると、良好な焼結性が損なわれるとともにフェライト焼結体の比抵抗が小さくなる。また、当該含有量が低くなり過ぎると、フェライト焼結体の比抵抗が小さくなり、積層チップインダクタの製造工程の一部である端子電極のメッキ工程において、メッキが伸びやすくなり、積層チップインダクタの特性に不具合が生じやすくなる傾向がある。 The content of manganese oxide in the main component is preferably 0.2 to 2 mol% in Mn 2 O 3 in terms of, and more preferably 0.5 to 2 mol%. If the content is too high, good sinterability is impaired and the specific resistance of the ferrite sintered body is reduced. Also, if the content is too low, the specific resistance of the ferrite sintered body becomes small, and in the plating process of the terminal electrode, which is a part of the manufacturing process of the multilayer chip inductor, the plating is easily extended, and the multilayer chip inductor There is a tendency for defects to occur easily in the characteristics.

主成分中の酸化鉄の含有量は、Fe換算で46〜49mol%であることが好ましく、46〜48mol%であることがより好ましい。当該含有量が高くなり過ぎると十分な焼結性が得られ難くなり、比抵抗も低くなる傾向がある。一方、当該含有量が低くなり過ぎると、比抵抗が低くなり、高い初透磁率が損なわれる傾向がある。 Iron oxide content in the main component is preferably 46~49Mol% in terms of Fe 2 O 3, and more preferably 46~48mol%. When the content is too high, it becomes difficult to obtain sufficient sinterability and the specific resistance tends to be low. On the other hand, if the content is too low, the specific resistance tends to be low, and high initial permeability tends to be impaired.

本実施形態のフェライトは、焼結されていないフェライト組成物、例えば、粉末やスラリー、凝集物などの形態であってもよく、焼結体(フェライト焼結体)であってもよい。本実施形態のフェライトは、焼結性に優れているため、低温で焼成しても十分に高い焼結密度(焼結体の密度)を有する焼結体を得ることができる。このため、例えば低温で焼結させることが求められるAgを導体とする積層チップインダクタの材料として好適に用いることができる。また、本実施形態の粉末状またはスラリー状のフェライトを用いてバリスタと一体焼成して複合部品とした場合、ESD耐量などのバリスタ特性を良好に維持することができる。本実施形態のフェライト焼結体は、比抵抗が高く、高い磁気共鳴周波数と高い初透磁率とを両立することができる。   The ferrite of the present embodiment may be in the form of an unsintered ferrite composition, for example, a powder, a slurry, or an aggregate, or may be a sintered body (ferrite sintered body). Since the ferrite of this embodiment is excellent in sinterability, a sintered body having a sufficiently high sintered density (sintered body density) can be obtained even when fired at a low temperature. For this reason, for example, it can be suitably used as a material for a multilayer chip inductor using Ag, which is required to be sintered at a low temperature, as a conductor. In addition, when the powdered or slurry-like ferrite of this embodiment is used as a composite part by integrally firing with a varistor, varistor characteristics such as ESD resistance can be maintained well. The ferrite sintered body of the present embodiment has a high specific resistance and can achieve both a high magnetic resonance frequency and a high initial permeability.

次に、フェライト焼結体の製造方法の好適な実施形態について以下に説明する。   Next, a preferred embodiment of a method for producing a ferrite sintered body will be described below.

本実施形態のフェライト焼結体の製造方法は、酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%含有し、酸化銅の含有量がCuO換算で2mol%以下である酸化物混合粉末を調整する準備工程と、上記酸化物混合粉末を仮焼して仮焼体を得る仮焼工程と、得られた仮焼体を粉砕して、酸化ビスマスを、仮焼体全体を基準として3〜10質量%添加する添加工程と、酸化ビスマスと仮焼体の粉砕物とを混合して得られた混合粉末を成形して焼成する焼成工程と、を有する。 In the method for producing a ferrite sintered body according to the present embodiment, iron oxide is 45 to 49.5 mol% in terms of Fe 2 O 3 , nickel oxide is 20 to 40 mol% in terms of NiO, and zinc oxide is 14 to 30 mol% in terms of ZnO. And 0.1 to 2 mol% of manganese oxide in terms of Mn 2 O 3 , and a preparation step for adjusting an oxide mixed powder in which the content of copper oxide is 2 mol% or less in terms of CuO, and the oxide mixed powder A calcining step of calcination of the calcined material, an addition step of pulverizing the obtained calcined product, and adding 3 to 10% by mass of bismuth oxide based on the whole calcined product, and bismuth oxide And a calcination step of forming and baking a mixed powder obtained by mixing the pulverized product of the calcined body and the calcined body.

準備工程では、必須成分である酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛、酸化マンガンの各粉末を用意する。酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%となるように秤量し、例えばボールミルで混合して酸化物混合粉末を調製する。この際、任意成分である酸化銅を2mol%以下の割合で混合してもよい。なお、各酸化物の割合は、酸化物混合粉末中のモル含有割合である。 In the preparation step, essential powders of iron oxide, nickel oxide, zinc oxide, and manganese oxide are prepared. Iron oxide is 45 to 49.5 mol% in terms of Fe 2 O 3 , nickel oxide is 20 to 40 mol% in terms of NiO, zinc oxide is 14 to 30 mol% in terms of ZnO, and manganese oxide is 0.00 in terms of Mn 2 O 3 . An oxide mixed powder is prepared by weighing to 1 to 2 mol% and mixing with, for example, a ball mill. Under the present circumstances, you may mix the copper oxide which is an arbitrary component in the ratio of 2 mol% or less. In addition, the ratio of each oxide is a molar content ratio in the oxide mixed powder.

酸化物混合粉末に有機溶剤と有機バインダとを含む有機ビヒクルを混合して、磁性体スラリーとして混合してもよい。このようにスラリー状、すなわち湿式で混合することによって、酸化物混合粉末を一層均一に混合することができる。   An organic vehicle containing an organic solvent and an organic binder may be mixed with the oxide mixed powder and mixed as a magnetic slurry. Thus, the oxide mixed powder can be mixed more uniformly by mixing in a slurry state, that is, in a wet manner.

仮焼工程では、準備工程で得られた酸化物混合粉末またはこれを含むスラリーを、空気雰囲気中、600〜1000℃、1〜20時間の条件で仮焼する。仮焼温度が低くなり過ぎた場合、または仮焼時間が短くなり過ぎた場合、得られるフェライト焼結体の均一性が損なわれる傾向がある。一方、仮焼温度が高すぎる場合、または仮焼時間が長すぎる場合、得られる仮焼体の凝集が進んで粉砕し難くなる傾向がある。   In the calcination step, the oxide mixed powder obtained in the preparation step or the slurry containing the same is calcined in an air atmosphere at 600 to 1000 ° C. for 1 to 20 hours. When the calcination temperature becomes too low, or when the calcination time becomes too short, the uniformity of the obtained ferrite sintered body tends to be impaired. On the other hand, when the calcining temperature is too high, or when the calcining time is too long, the obtained calcined body tends to aggregate and become difficult to pulverize.

添加工程では、仮焼体をボールミルなどで粉砕して、酸化ビスマス粉末を添加し混合粉末を得る。酸化ビスマスの添加量は、仮焼体全体を基準として3〜9質量%であることが好ましく、3〜6質量%であることが好ましい。該添加量が3質量%未満の場合、フェライト焼結体が緻密化し難くなり、低温で焼成することが困難になる傾向がある。一方、該添加量が9質量%を超えると、得られるフェライト焼結体の比抵抗が低下する傾向がある。   In the addition step, the calcined body is pulverized with a ball mill or the like, and bismuth oxide powder is added to obtain a mixed powder. The addition amount of bismuth oxide is preferably 3 to 9% by mass, and preferably 3 to 6% by mass based on the entire calcined body. When the added amount is less than 3% by mass, the ferrite sintered body becomes difficult to be densified and tends to be difficult to fire at a low temperature. On the other hand, when the added amount exceeds 9% by mass, the specific resistance of the obtained ferrite sintered body tends to decrease.

酸化ビスマス源として、酸化ビスマス粉末の代わりにビスマス系ガラスを用いてもよい。ビスマス系ガラスとしては、一般的に市販されているものを用いることができる。ビスマス系ガラスは、通常、Biのほかに、SiO、B等を含有する。酸化ビスマス源としてビスマス系ガラスを用いた場合も、フェライト焼結体の緻密化が促進され、高い焼結密度を得ることが可能になる。これによって、高い比抵抗と初透磁率とを両立可能なフェライト焼結体を得ることができる。 As the bismuth oxide source, bismuth-based glass may be used instead of the bismuth oxide powder. As the bismuth glass, commercially available glass can be used. Bismuth glass usually contains SiO 2 , B 2 O 3 and the like in addition to Bi 2 O 3 . Even when bismuth-based glass is used as the bismuth oxide source, densification of the ferrite sintered body is promoted, and a high sintered density can be obtained. As a result, a ferrite sintered body that can achieve both high specific resistance and initial permeability can be obtained.

焼成工程では、仮焼体の粉砕物に酸化ビスマスを添加して得られた混合粉末を成形して成形体を作製し、該成形体を焼成して焼結体を得る。成形体は、プレス成形など一般的な方法によって作製することができる。成形体の焼成は、焼成温度800〜940℃、焼成時間1〜10時間の条件で行うことができる。焼成温度が低すぎる場合、または焼成時間が短過ぎる場合、高い焼結密度を有する焼結体が得られ難くなる傾向がある。一方、焼成温度が高すぎる場合、または焼成時間が長すぎる場合、得られるフェライト焼結体の異常粒成長が発生して、機械的強度が損なわれる傾向がある。   In the firing step, a mixed powder obtained by adding bismuth oxide to the pulverized product of the calcined body is formed to produce a formed body, and the formed body is fired to obtain a sintered body. The molded body can be produced by a general method such as press molding. Firing of the molded body can be performed under conditions of a firing temperature of 800 to 940 ° C. and a firing time of 1 to 10 hours. When the firing temperature is too low, or when the firing time is too short, a sintered body having a high sintered density tends to be difficult to obtain. On the other hand, when the firing temperature is too high, or when the firing time is too long, abnormal grain growth of the obtained ferrite sintered body occurs and the mechanical strength tends to be impaired.

このようにして得られるフェライト焼結体の組成は、通常、原料として用いた各酸化物の使用比率に一致する。本実施形態のフェライト焼結体の製造方法によって、焼成工程における焼成温度を900℃付近の低温としても、5.0g/cm以上の高い焼結密度を有する焼結体を得ることができる。このような焼結体は、高い周波数領域において高い初透磁率を有しており、また十分に高い比抵抗を有している。このためインダクタの磁性層として好適に用いることができる。また、バリスタ層のESD耐量を殆ど低下させないことから、インダクタとバリスタとの複合部品の材料として好適に用いられる。 The composition of the ferrite sintered body thus obtained usually corresponds to the usage ratio of each oxide used as a raw material. According to the method for manufacturing a ferrite sintered body of the present embodiment, a sintered body having a high sintered density of 5.0 g / cm 3 or more can be obtained even when the firing temperature in the firing step is a low temperature around 900 ° C. Such a sintered body has a high initial permeability in a high frequency region, and has a sufficiently high specific resistance. Therefore, it can be suitably used as a magnetic layer of an inductor. Further, since the ESD resistance of the varistor layer is hardly lowered, it is suitably used as a material for a composite component of an inductor and a varistor.

次に、本発明のフェライトを用いて作製された、インダクタとバリスタとの複合部品である積層型フィルタについて説明する。   Next, a multilayer filter that is a composite component of an inductor and a varistor manufactured using the ferrite of the present invention will be described.

図1は、本発明のフェライトを用いた積層型フィルタの一例を示す外観斜視図である。積層型フィルタ1は、素体2の長手方向における両端部に、入力端子電極3及び出力端子電極4を有しており、その長手方向における両側面には、一対のグランド端子電極5を有する。   FIG. 1 is an external perspective view showing an example of a multilayer filter using the ferrite of the present invention. The multilayer filter 1 has an input terminal electrode 3 and an output terminal electrode 4 at both ends in the longitudinal direction of the element body 2, and has a pair of ground terminal electrodes 5 on both side surfaces in the longitudinal direction.

図2は、図1に示す積層型フィルタ1の素体2部分を示す分解斜視図である。図2に示すように、素体2は、複数の磁性体層6a〜6iが順次積層された磁性体積層部6と、複数のバリスタ層7a〜7dが順次積層されたバリスタ積層部7とからなる。   FIG. 2 is an exploded perspective view showing an element body 2 portion of the multilayer filter 1 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the element body 2 includes a magnetic laminate 6 in which a plurality of magnetic layers 6 a to 6 i are sequentially laminated, and a varistor laminate 7 in which a plurality of varistor layers 7 a to 7 d are sequentially laminated. Become.

すなわち、積層型フィルタ1は、磁性体層6a〜6iと導体パターン8a〜8h及びビア導体9a〜9gを含む導体部とを有するインダクタ部10とバリスタ層7a〜7d及び電極11,12を有するバリスタ部20とを備えており、磁性体層6a〜6iは本実施形態に係るフェライトを有している。   That is, the multilayer filter 1 includes a varistor having an inductor portion 10 having magnetic layers 6a to 6i, conductor portions 8a to 8h and conductor portions including via conductors 9a to 9g, varistor layers 7a to 7d, and electrodes 11 and 12. The magnetic layers 6a to 6i include the ferrite according to the present embodiment.

磁性体積層部6の磁性体層6b〜6i上のそれぞれには所望形状の導体パターン8a〜8hが形成される。具体的には、磁性体層6d、6f、6h上にはそれぞれ、コイルの略3/4ターン相当の略C字状の導体パターン8c、8e、8gが形成され、磁性体層6c、6e、6g上にはコイルの略3/4ターン相当の略U字状の導体パターン8b、8d、8fが形成される。また、磁性体層6b、6i上には入力端子電極3及び出力端子電極4とそれぞれ接続する引出電極8a、8hが形成される。更に、磁性体層6b〜6hをそれぞれ貫通し、これら磁性体層6b〜6hのそれぞれに接する導体パターン間を電気的に接続するビア導体9a〜9gが形成される。これにより、これら引出電極8a、8hと導体パターン8b〜8gとビア導体9a〜9gとが電気的に接続された略4.5ターンのらせん状のコイル(導体部)が形成され、磁性体積層部6にインダクタ部10が形成される。   Conductor patterns 8a to 8h having desired shapes are formed on the magnetic layers 6b to 6i of the magnetic layered portion 6, respectively. Specifically, substantially C-shaped conductor patterns 8c, 8e, 8g corresponding to approximately 3/4 turns of the coil are formed on the magnetic layers 6d, 6f, 6h, respectively, and the magnetic layers 6c, 6e, On the 6g, substantially U-shaped conductor patterns 8b, 8d and 8f corresponding to approximately 3/4 turns of the coil are formed. On the magnetic layers 6b and 6i, lead electrodes 8a and 8h connected to the input terminal electrode 3 and the output terminal electrode 4 are formed. Furthermore, via conductors 9a to 9g are formed which penetrate through the magnetic layers 6b to 6h, respectively, and electrically connect the conductor patterns in contact with the magnetic layers 6b to 6h. As a result, a spiral coil (conductor portion) having approximately 4.5 turns in which the lead electrodes 8a and 8h, the conductor patterns 8b to 8g, and the via conductors 9a to 9g are electrically connected is formed. An inductor portion 10 is formed in the portion 6.

バリスタ積層部7のバリスタ層7b上には、グランド端子電極5と電気的に接続された略矩形状のグランド電極11が形成されている。また、バリスタ層7c上には、出力端子電極4と電気的に接続された略矩形状のホット電極11が形成されている。ホット電極11とグランド電極12とは、互いに対向しており、積層方向から見たときにバリスタ層7bを介して一部が重なり合っている。このようにして、バリスタ機能を発現するバリスタ部20が形成されている。   A substantially rectangular ground electrode 11 electrically connected to the ground terminal electrode 5 is formed on the varistor layer 7 b of the varistor laminated portion 7. A substantially rectangular hot electrode 11 electrically connected to the output terminal electrode 4 is formed on the varistor layer 7c. The hot electrode 11 and the ground electrode 12 are opposed to each other, and partially overlap with each other through the varistor layer 7b when viewed from the stacking direction. Thus, the varistor part 20 which expresses a varistor function is formed.

上述の積層構造を有する積層型フィルタ1は、バリスタ電圧を越える高い電圧のノイズが入力側に印加された際に、バリスタ効果によって急激に流れた電流がノイズとなって通過するのを阻止することができる。   The multilayer filter 1 having the above-described multilayer structure prevents a current that has flowed suddenly due to the varistor effect from passing as noise when high-voltage noise exceeding the varistor voltage is applied to the input side. Can do.

磁性体層6a〜6iは、本実施形態のフェライト焼結体で構成される。本実施形態のフェライト焼結体は、通常のNi−Cu−Znフェライトよりも、酸化銅の含有量が十分に低減されているため、磁性体積層部6からバリスタ積層部7へのCu成分の拡散を十分に抑制することができる。このため、バリスタをインダクタと複合化しても、ESD耐量などのバリスタ特性を十分良好に維持することができる。   The magnetic layers 6a to 6i are composed of the ferrite sintered body of the present embodiment. Since the ferrite sintered body of the present embodiment has a sufficiently reduced copper oxide content as compared with ordinary Ni—Cu—Zn ferrite, the Cu component from the magnetic body laminated portion 6 to the varistor laminated portion 7 is reduced. Diffusion can be sufficiently suppressed. For this reason, even if the varistor is combined with the inductor, the varistor characteristics such as the ESD resistance can be sufficiently satisfactorily maintained.

バリスタ層7a〜7dは、例えば、ZnOを主成分とするセラミックス材料から構成される。このセラミックス材料中には、添加成分としてPr、Bi、Co、Al等を含んでいてもよい。Prに加えてCoを含むと、優れたバリスタ特性を有するものとなるほか、高い誘電率(ε)を有するものとなる。また、Alを更に含むと低抵抗となる。また、必要に応じて他の添加物、例えば、Cr、Ca、Si、K等の元素が含まれてもよい。   The varistor layers 7a to 7d are made of, for example, a ceramic material mainly composed of ZnO. This ceramic material may contain Pr, Bi, Co, Al or the like as an additive component. When Co is contained in addition to Pr, it has excellent varistor characteristics and also has a high dielectric constant (ε). Further, when Al is further contained, the resistance becomes low. Moreover, other additives, for example, elements such as Cr, Ca, Si, and K may be included as necessary.

ホット電極11及びグランド電極12に用いる導電材料は、バリスタ層7a〜7dを構成するセラミックス材料と同時焼成できる金属材料を用いる。すなわち、バリスタセラミックスの焼成温度は通常800℃〜1400℃程度であるため、その温度で融解しない金属材料を用いる。例えば、Ag、Pdこれらの合金等を好適に使用することができる。   As the conductive material used for the hot electrode 11 and the ground electrode 12, a metal material that can be fired simultaneously with the ceramic material forming the varistor layers 7a to 7d is used. That is, since the firing temperature of the varistor ceramic is usually about 800 ° C. to 1400 ° C., a metal material that does not melt at that temperature is used. For example, Ag, Pd, or an alloy thereof can be preferably used.

次に、上述した積層型フィルタの製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the above-described multilayer filter will be described.

上述のフェライト焼結体の製造方法における準備工程と同様にして、所定の割合で配合された酸化物混合粉末を含有する磁性体スラリーを調製する。ドクターブレード法等によりPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム上に磁性体スラリーを塗布し、例えば厚さ20μm程度の磁性体グリーンシートを形成する。   In the same manner as the preparation step in the method for manufacturing a ferrite sintered body described above, a magnetic slurry containing an oxide mixed powder blended at a predetermined ratio is prepared. A magnetic material slurry is applied on a PET (polyethylene terephthalate) film by a doctor blade method or the like to form, for example, a magnetic material green sheet having a thickness of about 20 μm.

続いて、磁性体グリーンシートの所望の位置、すなわち上述したようなビア導体9a〜9gが形成される予定の位置にスルーホールを形成する。スルーホールはレーザー加工機等により形成することができる。   Subsequently, a through hole is formed at a desired position of the magnetic green sheet, that is, a position where via conductors 9a to 9g as described above are to be formed. The through hole can be formed by a laser processing machine or the like.

続いて、スクリーン印刷法等により磁性体グリーンシート上に導電パターン8a〜8hを形成する。また、磁性体グリーンシートに形成されたスルーホールに導電ペーストを充填してビア導体9a〜9gを形成する。導体パターン8a〜8h及びビア導体9a〜9gの印刷等に用いる導電ペーストは、PdやAg−Pd合金粉末を主成分として含んでいるものを用いることができる。   Subsequently, conductive patterns 8a to 8h are formed on the magnetic green sheet by a screen printing method or the like. In addition, via conductors 9a to 9g are formed by filling a through hole formed in the magnetic green sheet with a conductive paste. As the conductive paste used for printing the conductor patterns 8a to 8h and the via conductors 9a to 9g, a paste containing Pd or Ag—Pd alloy powder as a main component can be used.

続いて、焼成後にバリスタ層7a〜7dを構成するバリスタ原料粉末と、有機溶剤と有機バインダとを含む有機ビヒクルとを混合したバリスタスラリーを調製する。バリスタ原料粉末は、一体焼成した後に所定組成のバリスタとなれば、その形態は特に限定するものではない。主成分であるZnOに添加物として各種金属化合物、例えばPr11、CoO、Cr、CaCO、SiO、KCO及びAlを所定量含む混合粉末を用いることができる。また、所定組成のバリスタセラミックスを予め仮焼きして粉砕したバリスタ粉末を用いてもよい。 Subsequently, a varistor slurry is prepared by mixing the varistor raw material powder constituting the varistor layers 7a to 7d after firing and an organic vehicle containing an organic solvent and an organic binder. The form of the varistor raw material powder is not particularly limited as long as it becomes a varistor having a predetermined composition after being integrally fired. Use a mixed powder containing a predetermined amount of various metal compounds such as Pr 6 O 11 , CoO, Cr 2 O 3 , CaCO 3 , SiO 2 , K 2 CO 3 and Al 2 O 3 as an additive to ZnO as a main component. Can do. Moreover, you may use the varistor powder which preliminarily calcined and ground the varistor ceramic of predetermined composition.

続いて、ドクターブレード法等によりPETフィルム上にバリスタスラリーを塗布し、例えば、厚さ30μm程度のバリスタグリーンシートを形成する。   Subsequently, a varistor slurry is applied on the PET film by a doctor blade method or the like to form, for example, a varistor green sheet having a thickness of about 30 μm.

続いて、スクリーン印刷法等によりバリスタグリーンシート上に導電ペーストを用いてホット電極及びグランド電極を形成する。導電ペーストは、PdやAg−Pd合金粉末を主成分として含んでいるものを用いることができる。   Subsequently, a hot electrode and a ground electrode are formed on the varistor green sheet using a conductive paste by a screen printing method or the like. As the conductive paste, a paste containing Pd or an Ag—Pd alloy powder as a main component can be used.

続いて、所定形状の導体パターン8a〜8h及びビア導体9a〜9gが形成された磁性体グリーンシートと、電極が形成されていない磁性体グリーンシートと、ホット電極11又はグランド電極12が形成されたバリスタグリーンシートと、電極が形成されていないバリスタグリーンシートとを図2に示すように順次積層しプレスした後に所定形状に切断して、積層型フィルタ素子(素体)2のグリーン積層体を得る。その後、グリーン積層体を所定の条件(例えば、大気中で1100℃〜1200℃、2時間)で焼成を行い積層型フィルタ素子2が得られる。得られた積層型フィルタ素子2は、その磁性体積層部6とバリスタ積層部7との界面付近において、バリスタ積層部7へのCu成分の拡散はほとんどないので、良好なバリスタ特性が得られる。   Subsequently, a magnetic green sheet on which conductor patterns 8a to 8h and via conductors 9a to 9g having a predetermined shape were formed, a magnetic green sheet on which no electrode was formed, and a hot electrode 11 or a ground electrode 12 were formed. A varistor green sheet and a varistor green sheet on which no electrode is formed are sequentially laminated and pressed as shown in FIG. 2 and then cut into a predetermined shape to obtain a green laminated body of the multilayer filter element (element body) 2. . Thereafter, the green laminate is baked under predetermined conditions (for example, 1100 ° C. to 1200 ° C. for 2 hours in the air) to obtain the multilayer filter element 2. The obtained multilayer filter element 2 has good varistor characteristics because there is almost no diffusion of the Cu component to the varistor multilayer part 7 in the vicinity of the interface between the magnetic material multilayer part 6 and the varistor multilayer part 7.

続いて、積層型フィルタ素子2の長手方向における端部及び長手方向における両側面中央に導電ペーストを塗布し、所定の条件(例えば、大気中で700℃〜800℃、2時間)で熱処理を行って端子電極を焼き付ける。導電ペーストは、Agを主成分とする粉末を含むものを用いることができる。その後、端子電極表面にめっきを施し、入力端子電極3、出力端子電極4及びグランド端子電極5が形成された積層型フィルタ1を得ることができる。なお、めっきは電解めっきが好ましく、その材料は、例えばNi/Sn、Cu/Ni/Sn、Ni/Pd/Au、Ni/Pd/Ag、Ni/Ag等を用いることができる。   Subsequently, a conductive paste is applied to the end portion in the longitudinal direction of the multilayer filter element 2 and the center of both side surfaces in the longitudinal direction, and heat treatment is performed under predetermined conditions (for example, 700 ° C. to 800 ° C. for 2 hours in the atmosphere). Bake the terminal electrode. As the conductive paste, a paste containing powder containing Ag as a main component can be used. Thereafter, the terminal electrode surface is plated to obtain the multilayer filter 1 in which the input terminal electrode 3, the output terminal electrode 4, and the ground terminal electrode 5 are formed. The plating is preferably electrolytic plating, and for example, Ni / Sn, Cu / Ni / Sn, Ni / Pd / Au, Ni / Pd / Ag, Ni / Ag, or the like can be used.

以上のように、積層型フィルタ1は、磁性体層6a〜6iが特定の組成を有するフェライト焼結体によって構成されているので、磁性体積層部6とバリスタ積層部7と一体焼結しても、バリスタ特性の低下を十分に抑制することができる。   As described above, in the multilayer filter 1, since the magnetic layers 6 a to 6 i are formed of a ferrite sintered body having a specific composition, the magnetic layer stack 6 and the varistor stack 7 are integrally sintered. However, the deterioration of the varistor characteristics can be sufficiently suppressed.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example at all.

(製造例1〜30)
主成分の原料粉末として、市販のFe粉末、ZnO粉末、NiO粉末、Mn粉末及びCuO粉末を、表1または2に示す組成(mol%)となるように秤量した。これらの原料粉末を鋼鉄製のボールミルを用いて40時間湿式混合して酸化物混合粉末を得た。得られた酸化物混合粉末を、700℃、10時間の条件で仮焼した。得られた仮焼体に、Bi粉末を、仮焼体全量を基準として、表1または2に示す割合で添加し、鋼鉄製のボールミルにて36時間混合粉砕して、仮焼粉末を調製した。
(Production Examples 1 to 30)
Commercially available Fe 2 O 3 powder, ZnO powder, NiO powder, Mn 2 O 3 powder and CuO powder were weighed so as to have the composition (mol%) shown in Table 1 or 2 as the main component raw material powder. These raw material powders were wet mixed using a steel ball mill for 40 hours to obtain oxide mixed powders. The obtained oxide mixed powder was calcined at 700 ° C. for 10 hours. Bi 2 O 3 powder is added to the obtained calcined body at a ratio shown in Table 1 or 2 on the basis of the total amount of the calcined body, and mixed and pulverized in a steel ball mill for 36 hours. Was prepared.

次いで、調製した仮焼粉末に、バインダとしてポリビニルアルコール水溶液を添加して造粒し平均粒径70μmの顆粒を得た。こうして得られた顆粒をプレス成形して、成形密度3.10g/cmのトロイダル形状(外径13mm、内径6mm、高さ3mm)の成形体と、ディスク形状(外径:12mm、厚さ2mm)の成形体とをそれぞれ作製した。 Next, an aqueous polyvinyl alcohol solution was added as a binder to the prepared calcined powder and granulated to obtain granules having an average particle size of 70 μm. The granules thus obtained are press-molded to form a toroidal shape (outer diameter 13 mm, inner diameter 6 mm, height 3 mm) with a molding density of 3.10 g / cm 3 and a disk shape (outer diameter: 12 mm, thickness 2 mm). ) Were produced.

これらの成形体をそれぞれ、大気中、焼成温度900℃で2時間焼成して、トロイダル形状及びディスク形状のフェライト焼結体を得た。これらのフェライト焼結体は、それぞれ、表1及び2に示すように、所定組成の主成分と副成分(酸化ビスマス)とを含有する。   Each of these compacts was fired in the atmosphere at a firing temperature of 900 ° C. for 2 hours to obtain a toroidal and disk-shaped ferrite sintered body. As shown in Tables 1 and 2, each of these ferrite sintered bodies contains a main component and a subcomponent (bismuth oxide) having a predetermined composition.

<焼結密度の評価>
トロイダル形状の各フェライト焼結体の質量と、外径、内径、厚さの測定値より求めた焼結体の体積とから、焼結密度を求めた。結果は表1及び2に示す通りであった。
<Evaluation of sintered density>
The sintered density was determined from the mass of each toroidal ferrite sintered body and the volume of the sintered body determined from the measured values of the outer diameter, inner diameter, and thickness. The results were as shown in Tables 1 and 2.

<比抵抗の評価>
ディスク形状の各フェライト焼結体の抵抗Rを、測定電圧を10Vに設定して、高抵抗計(アドバンテスト製、商品名:R8340)を用いて測定した。抵抗Rの測定値から比抵抗ρ(ρ=R×焼結体の円形部分面積/焼結体の厚さ)を算出した。結果は表1及び2に示す通りであった。
<Evaluation of specific resistance>
The resistance R of each disk-shaped ferrite sintered body was measured using a high resistance meter (trade name: R8340, manufactured by Advantest) with the measurement voltage set to 10V. Specific resistance ρ (ρ = R × circular partial area of sintered body / thickness of sintered body) was calculated from the measured value of resistance R. The results were as shown in Tables 1 and 2.

<初透磁率(μi)及び磁気共鳴周波数(fr)の評価>
トロイダル形状の各フェライト焼結体にワイヤを20回巻線した後、LCRメータ(ヒューレットパッカード社製、商品名:HP4192)を用いて、1MHzにおける初透磁率(μi)を測定した。また、同様の装置を用いて同様の方法で、フェライト焼結体の磁気共鳴周波数(fr)を評価した。
<Evaluation of Initial Permeability (μi) and Magnetic Resonance Frequency (fr)>
After winding the wire around each toroidal ferrite sintered body 20 times, the initial permeability (μi) at 1 MHz was measured using an LCR meter (trade name: HP4192, manufactured by Hewlett-Packard Company). Further, the magnetic resonance frequency (fr) of the ferrite sintered body was evaluated by the same method using the same apparatus.

<バリスタのESD耐量評価>
ESD耐量評価用のサンプルを以下の通り調製した。まず、原料粉末として、市販のFe粉末、ZnO粉末、NiO粉末、Mn粉末及びCuO粉末を、表1または2に示す主成分組成(mol%)となるようにそれぞれ秤量した。これら原料粉末と有機ビヒクルとを混合して磁性体スラリーを調製した。また、原料粉末の合計量に対して、表1または2に示す割合で、Bi粉末をスラリーに添加した。
<ESD tolerance evaluation of varistor>
Samples for evaluation of ESD tolerance were prepared as follows. First, commercially available Fe 2 O 3 powder, ZnO powder, NiO powder, Mn 2 O 3 powder and CuO powder were weighed as raw material powders so as to have the main component composition (mol%) shown in Table 1 or 2. . These raw material powders and an organic vehicle were mixed to prepare a magnetic slurry. Further, Bi 2 O 3 powder was added to the slurry at a ratio shown in Table 1 or 2 with respect to the total amount of the raw material powder.

この磁性体スラリーをドクターブレード法によりPETフィルム上に塗布し厚み20μmの磁性体グリーンシートを作製した。その後、磁性体グリーンシート上の所定の位置にレーザー加工機によりスルーホールを形成し、Pdを主成分とする導電ペーストを用いてスクリーン印刷法により所定形状の導体パターンとスルーホール中にビア導体を形成し、インダクタ層形成用グリーンシートを作製した。   This magnetic material slurry was applied onto a PET film by the doctor blade method to prepare a magnetic green sheet having a thickness of 20 μm. Thereafter, a through hole is formed at a predetermined position on the magnetic green sheet by a laser processing machine, and a conductive pattern having a predetermined shape and a via conductor are formed in the through hole by screen printing using a conductive paste mainly composed of Pd. Then, a green sheet for forming an inductor layer was produced.

続いて、所定量のZnO、Pr11、CoO、Cr、CaCO、SiO、KCO及びAlを混合したバリスタ原料粉末と有機ビヒクルとを混合してバリスタスラリーを調製した。 Subsequently, a varistor raw material powder in which a predetermined amount of ZnO, Pr 6 O 11 , CoO, Cr 2 O 3 , CaCO 3 , SiO 2 , K 2 CO 3, and Al 2 O 3 is mixed with an organic vehicle is mixed. A slurry was prepared.

このバリスタスラリーをドクターブレード法により、PETフィルム上に塗布し厚み30μmのバリスタグリーンシートを作製した。その後、バリスタグリーンシート上にPdを主成分とする導電ペーストを用いてスクリーン印刷法により所定のパターンの電極を形成し、バリスタ層形成用グリーンシートを形成した。   This varistor slurry was applied onto a PET film by a doctor blade method to produce a varistor green sheet having a thickness of 30 μm. Thereafter, an electrode having a predetermined pattern was formed on the varistor green sheet by screen printing using a conductive paste containing Pd as a main component to form a varistor layer forming green sheet.

続いて、インダクタ層形成用グリーンシート、バリスタ層形成用グリーンシート、導体パターンが印刷されていない磁性体グリーンシート及び導体パターンが印刷されていないバリスタシートを準備し、図2に示す順序で積層して積層型フィルタ用グリーン積層体を作製した。この積層型フィルタ用グリーン積層体を、焼成後に長さ2.0mm、幅1.2mm、厚み1.0mmの直方体になるように切断して、大気中で900℃、2時間焼成して積層型フィルタ用素体を作製した。その後、積層型フィルタ用素体の端部に銀を主成分とする導電ペーストを塗布し、大気中で700℃〜800℃、1時間焼成して端子電極を焼付けし、更に端子電極にNi/Sn(Ni、Snの順に)電気めっきを施して、ESD耐量試験用のサンプル(積層型フィルタ)を作製した。   Subsequently, a green sheet for forming an inductor layer, a green sheet for forming a varistor layer, a magnetic green sheet on which no conductor pattern is printed, and a varistor sheet on which no conductor pattern is printed are prepared and laminated in the order shown in FIG. Thus, a green laminate for a multilayer filter was produced. This green laminate for a multilayer filter is cut into a rectangular parallelepiped having a length of 2.0 mm, a width of 1.2 mm, and a thickness of 1.0 mm after firing, and then fired in the atmosphere at 900 ° C. for 2 hours to obtain a multilayer type A filter element was produced. Thereafter, a conductive paste containing silver as a main component is applied to the end of the multilayer filter element body, and the terminal electrode is baked by baking at 700 ° C. to 800 ° C. for 1 hour in the air. Sn (Ni, Sn in this order) was electroplated to produce a sample for ESD tolerance test (multilayer filter).

得られたサンプルを用いて次のとおりESD耐量試験を行った。ESD耐量試験では、IEC(International Electrotechnical Commission)の規格IEC61000−4−2に定められている静電気放電イミュニティ試験(レベル4,接触放電,試験電圧:8kV,放電回数:10回)によって測定し、ESD耐量が8kV以上である場合に、ESD耐量が十分であると判断して「A」と判定し、ESD耐量が8kV未満である場合には「B」と判定した。判断基準を8kV以上とした理由は、8kV以上であればIEC61000−4−2のレベル4を満たすからである。   Using the obtained sample, an ESD tolerance test was performed as follows. In the ESD tolerance test, measurement is performed by an electrostatic discharge immunity test (level 4, contact discharge, test voltage: 8 kV, number of discharges: 10 times) defined in IEC (International Electrotechnical Commission) standard IEC61000-4-2. When the withstand voltage was 8 kV or more, it was determined that the ESD resistance was sufficient and determined as “A”, and when the ESD resistance was less than 8 kV, it was determined as “B”. The reason why the criterion is 8 kV or more is that if it is 8 kV or more, the level 4 of IEC61000-4-2 is satisfied.

また、上述の静電気放電イミュニティ試験を行う前と後で、それぞれバリスタ電圧を測定し、その変化幅(ΔV1mA(%)、(試験後の値−試験前の値)/試験前の値×100で算出)を求めた。バリスタ電圧の測定は、ソース−メジャーユニット(KEITHLEY社製、型番:237)を用いて行い、サンプルの外部端子に印加する電圧を徐々に大きくしていって、サンプルに1mAの電流が流れた時点の電圧の値とした。ESD耐量試験の結果は表1及び2に示すとおりであった。   In addition, before and after the above-described electrostatic discharge immunity test, the varistor voltage was measured, and the change width (ΔV1 mA (%), (value after test−value before test) / value before test × 100) Calculated). The varistor voltage is measured using a source-measure unit (manufactured by KEITHLEY, model number: 237), and when the voltage applied to the external terminal of the sample is gradually increased, a current of 1 mA flows through the sample. The voltage value of The results of the ESD tolerance test were as shown in Tables 1 and 2.

(製造例31〜37)
Bi粉末の代わりにビスマス系ガラス(旭硝子株式会社製、商品名:ASF1100B)を用いたこと以外は、上記製造例1〜30と同様にしてフェライト焼結体及び積層型フィルタを作製した。なお、ビスマス系ガラスは、仮焼体全量(原料粉末合計量)に対するビスマス系ガラスの割合が、Bi換算で表3に示す割合となるように添加した。そして、上記製造例1〜30と同様にして、各評価を行った。結果は表3に示す通りであった。
(Production Examples 31-37)
Ferrite sintered bodies and multilayer filters were produced in the same manner as in Production Examples 1 to 30 except that bismuth-based glass (trade name: ASF1100B, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) was used instead of Bi 2 O 3 powder. . The bismuth-based glass was added so that the ratio of the bismuth-based glass to the total amount of the calcined body (total amount of raw material powder) was the ratio shown in Table 3 in terms of Bi 2 O 3 . And each evaluation was performed like the said manufacture examples 1-30. The results were as shown in Table 3.

Figure 2010018482
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表1〜3の結果より、本発明のフェライトは、低温焼成が可能であるため焼結密度を十分に高くすることが可能であり、比抵抗、初透磁率、磁気共鳴周波数の全てを高水準の値にすることができた。また、バリスタと複合化した場合に、バリスタのESD耐量を良好に維持できることが確認できた。   From the results of Tables 1 to 3, the ferrite of the present invention can be sintered at a low temperature, so that the sintered density can be sufficiently increased, and the specific resistance, initial permeability, and magnetic resonance frequency are all at a high level. Could be the value of It was also confirmed that when combined with a varistor, the ESD resistance of the varistor can be maintained well.

本発明のフェライトを用いた積層型フィルタの一例を示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows an example of the laminated filter using the ferrite of this invention. 図1に示す積層型フィルタ1の素体2部分を示す分解斜視図であるFIG. 2 is an exploded perspective view showing an element body 2 portion of the multilayer filter 1 shown in FIG. 1.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層型フィルタ、2…素体(積層型フィルタ素子)、3…入力端子電極、4…出力端子電極、5…グランド端子電極、6a〜6i…磁性体層、7a〜7d…バリスタ層、10…インダクタ部、11…ホット電極(電極)、12…グランド電極(電極)、20…バリスタ部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer filter, 2 ... Element body (multilayer filter element), 3 ... Input terminal electrode, 4 ... Output terminal electrode, 5 ... Ground terminal electrode, 6a-6i ... Magnetic material layer, 7a-7d ... Varistor layer, DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Inductor part, 11 ... Hot electrode (electrode), 12 ... Ground electrode (electrode), 20 ... Varistor part.

Claims (4)

主成分として酸化鉄、酸化ニッケル、酸化亜鉛、及び酸化マンガンを含有するフェライトであって、
前記主成分は、前記酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、前記酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、前記酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び前記酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%含有し、
前記主成分は任意に酸化銅を含有し、前記主成分における前記酸化銅の含有量がCuO換算で2mol%以下であり、
前記主成分全体に対して、酸化ビスマスをBi換算で3〜10質量%含有するフェライト。
A ferrite containing iron oxide, nickel oxide, zinc oxide, and manganese oxide as main components,
The main component, 45~49.5Mol% the iron oxide calculated as Fe 2 O 3, 20~40Mol% the nickel oxide in terms of NiO, 14~30Mol% the zinc oxide in terms of ZnO, and the manganese oxide 0.1 to 2 mol% in terms of Mn 2 O 3 ,
The main component optionally contains copper oxide, the content of the copper oxide in the main component is 2 mol% or less in terms of CuO,
Ferrite containing 3 to 10% by mass of bismuth oxide in terms of Bi 2 O 3 with respect to the entire main component.
5.0g/cm以上の焼結密度を有する請求項1記載のフェライト。 The ferrite according to claim 1, which has a sintered density of 5.0 g / cm 3 or more. 酸化鉄をFe換算で45〜49.5mol%、酸化ニッケルをNiO換算で20〜40mol%、酸化亜鉛をZnO換算で14〜30mol%、及び酸化マンガンをMn換算で0.1〜2mol%含有し、酸化銅の含有量がCuO換算で2mol%以下である混合原料を仮焼して仮焼体を得る仮焼工程と、
前記仮焼体に、前記仮焼体全体に対して酸化ビスマスを3〜10質量%添加して焼成する焼成工程と、を有するフェライトの製造方法。
Iron oxide is 45 to 49.5 mol% in terms of Fe 2 O 3 , nickel oxide is 20 to 40 mol% in terms of NiO, zinc oxide is 14 to 30 mol% in terms of ZnO, and manganese oxide is 0.00 in terms of Mn 2 O 3 . A calcining step of obtaining a calcined body by calcining a mixed raw material containing 1 to 2 mol% and having a copper oxide content of 2 mol% or less in terms of CuO;
And a firing step of adding 3 to 10% by mass of bismuth oxide to the calcined body and firing the calcined body.
前記焼成工程では、前記酸化ビスマスを含有するビスマス系ガラスを前記仮焼体に添加する請求項3記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 3, wherein in the firing step, bismuth-based glass containing the bismuth oxide is added to the calcined body.
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