JP2010001193A - Method for manufacturing optical fiber preform - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光ファイバ母材の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform.
コアに希土類元素が添加された光ファイバは、光増幅機能を有しており、光ファイバレーザや光増幅器等の用途に使用されている。特に光ファイバレーザは、近年、その重要性が高まってきており、盛んに研究されている。
以下、光ファイバレーザ用の希土類元素添加光ファイバの一例として、イッテルビウム(Yb)添加光ファイバについて説明する。
光ファイバレーザの光増幅用に使用されるYb添加光ファイバとしては、例えば、複数のクラッドを有する光ファイバが挙げられる。これらは通常、マルチクラッドファイバと総称される。マルチクラッドファイバは、コアの外側に複数のクラッドが同心状に配置され、構成されている。そして、クラッドが二層になっているものはダブルクラッドファイバと呼ばれ、クラッドが三層になっているものはトリプルクラッドファイバ(例えば、特許文献1参照)と呼ばれる。図5は、ダブルクラッドファイバの断面と好ましい屈折率プロファイルを例示する図であり、ここに例示するダブルクラッドファイバ5は、コア50の外側に二層のクラッド(第一クラッド51、第二クラッド52)が同心状に配置され、第二クラッド52が保護樹脂層54で被覆されてなるものである。図5中、Δ1はコアと第一クラッドとの比屈折率差を示す。一方、図6は、トリプルクラッドファイバの断面と好ましい屈折率プロファイルを例示する図であり、ここに例示するトリプルクラッドファイバ6は、コア60の外側に三層のクラッド(第一クラッド61、第二クラッド62、第三クラッド63)が同心状に配置され、第三クラッド63が保護樹脂層64で被覆されてなるものである。図6中、Δ1はコアと第二クラッドとの比屈折率差を、Δ2は第一クラッドと第二クラッドとの比屈折率差をそれぞれ示す。
例えば、フォトダークニングと呼ばれるレーザ出力の経時劣化は、トリプルクラッドファイバを使用することで効果的に抑制できる。
An optical fiber in which a rare earth element is added to the core has an optical amplification function, and is used for applications such as an optical fiber laser and an optical amplifier. In particular, the importance of optical fiber lasers has increased in recent years, and has been actively researched.
Hereinafter, an ytterbium (Yb) -doped optical fiber will be described as an example of a rare earth element-doped optical fiber for an optical fiber laser.
Examples of Yb-doped optical fibers used for optical amplification of optical fiber lasers include optical fibers having a plurality of claddings. These are generally collectively referred to as multi-clad fibers. The multi-clad fiber is configured by concentrically arranging a plurality of clads outside the core. And what has a clad two layers is called a double clad fiber, and what a clad has three layers is called a triple clad fiber (for example, refer to patent documents 1). FIG. 5 is a diagram illustrating a cross section of a double clad fiber and a preferable refractive index profile. The double clad fiber 5 illustrated here has two layers of clads (a
For example, deterioration of laser output over time called photodarkening can be effectively suppressed by using a triple clad fiber.
フォトダークニングは、コアにアルミニウム(Al)を添加することで抑制でき、Alの添加量が多いほど、抑制効果が高くなることが知られている(例えば、非特許文献1参照)。一方、Alの添加によりガラスの屈折率は大きくなる。
ところで、ファイバレーザ用光ファイバは、そのビーム品質の観点から、信号光がコアをシングルモード導波するように設計されていることが望ましい。一方、前記光ファイバは、誘導ラマン散乱等の非線形光学効果によるエネルギー変換効率の低下を抑制するために、コアを導波するレーザ光の実効断面積(Aeff)が大きくなるように設計されていることが望ましい。このような理由から、例えば、20〜30μm程度のコア径を有するYb添加マルチクラッドファイバの場合、コアと第一クラッドとの比屈折率差が0.10%程度となるように設計されていることが一般的に望ましい。
It is known that photodarkening can be suppressed by adding aluminum (Al) to the core, and the suppression effect increases as the amount of Al added increases (see Non-Patent
By the way, it is desirable that the optical fiber for a fiber laser is designed so that the signal light is guided through the core in a single mode from the viewpoint of the beam quality. On the other hand, the optical fiber is designed so that the effective cross-sectional area (A eff ) of the laser light guided through the core is increased in order to suppress a decrease in energy conversion efficiency due to nonlinear optical effects such as stimulated Raman scattering. It is desirable. For this reason, for example, in the case of a Yb-doped multi-clad fiber having a core diameter of about 20 to 30 μm, the relative refractive index difference between the core and the first cladding is designed to be about 0.10%. It is generally desirable.
これに対し、ダブルクラッドファイバの場合には、第一クラッドは通常、純粋石英で構成されるので、コアと第一クラッドとの比屈折率差を0.10%程度にするためには、コアに添加できるAlの量が制限されてしまい、フォトダークニングの抑制が困難である。例えば、フッ素(F)やホウ素(B)等、ガラスの屈折率を低下させるドーパントをコアに共添加することで、Alの添加量を増やすことも可能だが、添加するドーパントの種類を増やすことは、製造適性の観点から好ましくない。 On the other hand, in the case of a double clad fiber, since the first clad is usually made of pure quartz, in order to make the relative refractive index difference between the core and the first clad about 0.10%, the core The amount of Al that can be added to is limited, and it is difficult to suppress photodarkening. For example, it is possible to increase the amount of Al added by co-adding a dopant that lowers the refractive index of glass, such as fluorine (F) or boron (B), to the core. From the viewpoint of production suitability, it is not preferable.
一方、トリプルクラッドファイバの場合には、好ましい例として、第一クラッドの屈折率は、コアと第二クラッドとの比屈折率差(Δ1)が0.40%程度となるように、また、第一クラッドと第二クラッドとの比屈折率差(Δ2)が0.30%程度となるように設計される。これにより、コアにFやBを共添加することなく、コアと第一クラッドとの比屈折率差を0.10%程度にすることができ、しかもコアへのAlの添加量を増やすことが可能となる。なお、Δ2は必ずしも0.30%程度となるように設計される必要はなく、フォトダークニングを抑制するのに必要な量のAlをコアに添加できるように設計されていれば良い。
このような理由から、トリプルクラッドファイバは、フォトダークニングによるレーザ出力の経時劣化の抑制と、屈折率プロファイルの制御とを両立し易いのである。
On the other hand, in the case of a triple clad fiber, as a preferred example, the refractive index of the first clad is such that the relative refractive index difference (Δ1) between the core and the second clad is about 0.40%, and The relative refractive index difference (Δ2) between the first clad and the second clad is designed to be about 0.30%. As a result, the relative refractive index difference between the core and the first cladding can be reduced to about 0.10% without co-adding F or B to the core, and the amount of Al added to the core can be increased. It becomes possible. Note that Δ2 does not necessarily have to be designed to be about 0.30%, but may be designed so that an amount of Al necessary for suppressing photodarkening can be added to the core.
For this reason, the triple-clad fiber is easy to achieve both suppression of laser output deterioration with time due to photodarkening and control of the refractive index profile.
コアにYbが添加されたトリプルクラッドファイバの母材は、一般的に、以下のようなMCVD法と液浸法とを併用した方法で製造される。
すなわち、第二クラッドとなる石英管(好ましくは純粋石英管)を使用して、MCVD法により第一クラッドとなるガラス層を堆積させる。この時、該ガラス層には、前記Δ2が0.30%程度となるように、ゲルマニウム(Ge)、リン(P)等を添加する。次いで、コアのデポジションを行う。コアはシリカスート(多孔質体)の状態で(すなわち、焼結しない温度で)デポジションを行い、液浸法によりYb及びAlを添加する。液浸法では、前記Δ1が0.40%程度となるように調製された液浸溶液を使用して、コアスートにYbの化合物及びAlの化合物を含浸させた後、コアスートを乾燥させ、脱水及び焼結を行い、コラップスして、管を中実化する。コラップスでは、例えば、まずガス下流側で管の一部を酸水素バーナで加熱して潰す。その後、管内の圧力を適性に保ちながらバーナを管の中心軸方向に移動させて、管を順次潰していく。このようにして、コアにYb及びAlが添加された光ファイバ母材が得られる。そして、該光ファイバ母材を紡糸した後、第三クラッドとなるポリマ層で被覆することにより、コアにYb及びAlが添加されたトリプルクラッドファイバが得られる。
That is, using a quartz tube (preferably a pure quartz tube) to be the second cladding, a glass layer to be the first cladding is deposited by the MCVD method. At this time, germanium (Ge), phosphorus (P), or the like is added to the glass layer so that the Δ2 is about 0.30%. Next, the core is deposited. The core is deposited in a silica soot (porous body) state (that is, at a temperature at which sintering is not performed), and Yb and Al are added by a liquid immersion method. In the immersion method, an immersion solution prepared so that the Δ1 is about 0.40% is used, the core soot is impregnated with the Yb compound and the Al compound, and then the core soot is dried, dehydrated and dehydrated. Sintering and collapsing to solidify the tube. In collapses, for example, a part of the tube is first heated and crushed with an oxyhydrogen burner on the gas downstream side. Thereafter, the burner is moved in the direction of the central axis of the tube while keeping the pressure in the tube at an appropriate level, and the tube is sequentially crushed. In this way, an optical fiber preform in which Yb and Al are added to the core is obtained. Then, after spinning the optical fiber preform, it is coated with a polymer layer serving as a third cladding, thereby obtaining a triple-clad fiber in which Yb and Al are added to the core.
しかし、上記方法で製造されたトリプルクラッドファイバは、コア中心に好ましくない高屈折率部分が存在するという問題点があった。このようなトリプルクラッドファイバの屈折率プロファイルを、ファイバの断面図と共に図4に例示する。ここに例示するトリプルクラッドファイバ4は、コア40の外側に三層のクラッド(第一クラッド41、第二クラッド42、第三クラッド43)が同心状に配置され、第三クラッド43が保護樹脂層44で被覆されてなるものである。ここで、コア40の屈折率は均一ではなく、中心の屈折率が高くなっている。このようなコア中心に高屈折率部分が存在する光ファイバにおいては、コア中心に電界が集中し、コアを導波するレーザ光の実効断面積(Aeff)を大きくすることと、シングルモード動作させることとを両立できない。また、高屈折率部分の屈折率は、焼結工程、コラップス工程等における加熱の仕方によって大きく変化し易く、屈折率プロファイルの制御が困難であるという問題点があった。
However, the triple clad fiber manufactured by the above method has a problem that an undesirably high refractive index portion exists at the core center. The refractive index profile of such a triple clad fiber is illustrated in FIG. 4 together with a cross-sectional view of the fiber. In the triple
そこで本発明者らは、トリプルクラッドファイバのコア中心に高屈折率部分が生じる原因について考察した。具体的には、コア中心に高屈折率部分が生じた下記二種のトリプルクラッドファイバの母材((a)及び(b))について、その断面をEPMA(Electron Probe Micro Analyzer)で分析した。
(a)コアスートにGe、Al及びYbを添加し、第一ガラス層にGe及びPを添加して作製した母材
(b)コアスートにAl及びYbを添加し、第一ガラス層にGe及びPを添加して作製した母材
その結果、(a)及び(b)のいずれにおいても、母材のコア中心に高濃度のGeが検出された。したがって、コア中心の高屈折率部分は、Geの存在によって生じることが判明した。また、(b)の作製に際してコアスートにGeを添加していないことから、第一ガラス層に添加したGeが、その後の母材作製工程において拡散し、その結果、コア中心にGeが高濃度に残留することが判明した。
Therefore, the present inventors have considered the cause of the high refractive index portion at the core center of the triple clad fiber. Specifically, the cross-sections of the following two types of triple-clad fiber base materials ((a) and (b)) having a high refractive index portion at the core center were analyzed by EPMA (Electron Probe Micro Analyzer).
(A) Base material prepared by adding Ge, Al and Yb to the core soot and adding Ge and P to the first glass layer. (B) Adding Al and Yb to the core soot and adding Ge and P to the first glass layer. As a result, in both (a) and (b), a high concentration of Ge was detected at the core center of the base material. Therefore, it was found that the high refractive index portion at the core center is caused by the presence of Ge. In addition, since Ge is not added to the core soot in the preparation of (b), Ge added to the first glass layer diffuses in the subsequent base material manufacturing process, and as a result, Ge is concentrated at the core center. It was found to remain.
そこで本発明者らは、上記問題点を解決すべく、コアスート及び第一ガラス層のいずれにもGeを添加せずに、下記三種の母材((c)、(d)及び(e))の作製を試みた。
(c)コアスートにAl及びYbを添加し、第一ガラス層にPを添加した母材
(d)コアスートにAl及びYbを添加し、第一ガラス層にAlを添加した母材
(e)コアスートにAl及びYbを添加し、第一ガラス層にAl及びPを添加した母材
しかし、(c)の作製においては、第一クラッドとなる第一ガラス層及び第二クラッドとなる石英管の線膨張係数が大きく異なり、冷却工程においてガラスにひずみが発生し、管が割れるという問題点が生じた。
(d)の作製においては、AlとCl2とを反応させてAlCl3ガスを発生させ、これをキャリアガスで搬送することによりAlを添加したが、AlCl3ガスの蒸気圧が低いため、ガスの搬送に使用する配管を200℃程度に加熱する必要性が生じるだけでなく、Alの添加量を制御することが困難であるという問題点が生じた。さらに、配管を高温に保持する必要性から、コスト上昇が避けられないという問題点も生じた。
(e)の作製においても、上記(c)及び(d)と同じ問題点が生じ、これはAl及びPの割合を変化させても解決できなかった。
以上より、第一ガラス層にGeを添加せずにトリプルクラッドファイバの母材を製造することは、非常に困難であることが確認された。
Therefore, in order to solve the above problems, the present inventors have added the following three types of base materials ((c), (d) and (e)) without adding Ge to any of the core soot and the first glass layer. I tried to make.
(C) Base material in which Al and Yb are added to the core soot and P is added to the first glass layer (d) Base material in which Al and Yb are added to the core soot and Al is added to the first glass layer (e) Core soot A base material in which Al and Yb are added to the first glass layer, and Al and P are added to the first glass layer. However, in the production of (c), the first glass layer serving as the first cladding and the line of the quartz tube serving as the second cladding. The expansion coefficients differed greatly, and the glass was distorted during the cooling process, causing the problem that the tube broke.
In the production of (d), by reacting Al and Cl 2 to generate AlCl 3 gas, it was added Al by conveying it in a carrier gas, because of low vapor pressure of the AlCl 3 gas, gas In addition to the necessity of heating the pipe used for the conveyance to about 200 ° C., there is a problem that it is difficult to control the amount of Al added. Furthermore, the necessity of keeping the pipes at a high temperature has caused a problem that cost increases are inevitable.
Also in the production of (e), the same problems as in the above (c) and (d) occurred, and this could not be solved by changing the ratio of Al and P.
From the above, it was confirmed that it is very difficult to manufacture a base material of a triple clad fiber without adding Ge to the first glass layer.
そこで、第一ガラス層にGeを添加して母材を作製する際、コラップス工程で管を潰しきる直前に、コア中心の高屈折率部分をエッチングして除去することを試みた。しかし、MCVD法と液浸法を併用する製造方法においては、コアの断面積を大きくすることが製法上難しい。そして、エッチングによりコアをさらに小さくすることによりコスト上昇が避けられないという問題点があった。また、エッチング条件のばらつきが大きく、歩留まりが著しく低下する問題点も生じる。 Therefore, when a base material was produced by adding Ge to the first glass layer, an attempt was made to etch away the high refractive index portion at the center of the core immediately before crushing the tube in the collapse process. However, in the manufacturing method using both the MCVD method and the liquid immersion method, it is difficult in terms of manufacturing method to increase the cross-sectional area of the core. Further, there has been a problem that cost increases cannot be avoided by further reducing the core by etching. In addition, there is a problem that the etching conditions vary greatly and the yield is significantly reduced.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、コア中心に高屈折率部分が存在せず、屈折率プロファイルの制御が容易なマルチクラッドファイバ、該マルチクラッドファイバの製造に好適な光ファイバ母材、該光ファイバ母材を安定製造できる製造方法、並びに前記マルチクラッドファイバを備える光ファイバレーザ及び光増幅器を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a multi-clad fiber that does not have a high refractive index portion at the center of the core and can easily control the refractive index profile, and an optical fiber suitable for manufacturing the multi-clad fiber. It is an object of the present invention to provide a base material, a manufacturing method capable of stably manufacturing the optical fiber base material, and an optical fiber laser and an optical amplifier including the multi-clad fiber.
上記課題を解決するため、
請求項1にかかる発明は、石英管の内表面に沿って、ゲルマニウムを含有する第一ガラス層を形成させる第一工程と、前記第一ガラス層の内表面に沿って、ゲルマニウムを含有しない第二ガラス層を形成させる第二工程と、前記第二ガラス層の内側に、シリカスートを形成させる第三工程と、前記シリカスートにドーパントを添加して焼結する第四工程と、
前記第四工程で得られた管をコラップスする第五工程と、を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
請求項2にかかる発明は、前記第二工程終了時における第二ガラス層の厚さが10〜500μmであることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法である。
請求項3にかかる発明は、前記ドーパントに希土類元素が含まれることを特徴とする請求項1又は2に記載の光ファイバ母材の製造方法である。
請求項4にかかる発明は、前記希土類元素がイッテルビウムであることを特徴とする請求項3に記載の光ファイバ母材の製造方法である。
請求項5にかかる発明は、前記希土類元素を液浸法により添加することを特徴とする請求項3又は4に記載の光ファイバ母材の製造方法である。
請求項6にかかる発明は、前記第二ガラス層がアルミニウム及び/又はリンを含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法である。
請求項7にかかる発明は、前記第一ガラス層及び第二ガラス層の屈折率が略同等であることを特徴とする請求項6に記載の光ファイバ母材の製造方法である。
To solve the above problem,
The invention according to
And a fifth step of collapsing the tube obtained in the fourth step.
The invention according to
The invention according to
The invention according to
The invention according to claim 5 is the method for producing an optical fiber preform according to
The invention according to claim 6 is the method for producing an optical fiber preform according to any one of
The invention according to claim 7 is the method for producing an optical fiber preform according to claim 6, wherein the refractive indexes of the first glass layer and the second glass layer are substantially equal.
本発明によれば、コア中心に高屈折率部分が存在せず、屈折率プロファイルの制御が容易なマルチクラッドファイバが得られ、該ファイバを使用することで、光学特性が良好な光ファイバレーザ及び光増幅器が得られる。 According to the present invention, a multi-clad fiber that does not have a high refractive index portion at the center of the core and can easily control the refractive index profile is obtained. An optical amplifier is obtained.
以下、図面を参照しながら、本発明について詳細に説明する。
<光ファイバ母材及びその製造方法>
本発明の光ファイバ母材の製造方法は、
(1)石英管の内表面に沿って、ゲルマニウムを含有する第一ガラス層を形成させる第一工程と、
(2)前記第一ガラス層の内表面に沿って、ゲルマニウムを含有しない第二ガラス層を形成させる第二工程と、
(3)前記第二ガラス層の内側に、シリカスートを形成させる第三工程と、
(4)前記シリカスートにドーパントを添加して焼結する第四工程と、
(5)前記第四工程で得られた管をコラップスする第五工程と、
を含むことを特徴とする。
かかる製造方法で得られる光ファイバ母材は、マルチクラッド構造を有する。そして、前記石英管は第二クラッド、前記第一ガラス層は第一クラッド、前記シリカスートはコアをそれぞれ形成するものである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
<Optical fiber preform and manufacturing method thereof>
The method for producing the optical fiber preform of the present invention includes:
(1) a first step of forming a first glass layer containing germanium along the inner surface of the quartz tube;
(2) a second step of forming a second glass layer not containing germanium along the inner surface of the first glass layer;
(3) a third step of forming silica soot inside the second glass layer;
(4) a fourth step of adding a dopant to the silica soot and sintering;
(5) a fifth step of collapsing the pipe obtained in the fourth step;
It is characterized by including.
An optical fiber preform obtained by such a manufacturing method has a multi-clad structure. The quartz tube forms a second cladding, the first glass layer forms a first cladding, and the silica soot forms a core.
本発明の光ファイバ母材の製造方法は、従来の製造方法とは、前記第二ガラス層を形成する点が異なる。第二ガラス層は、光ファイバ母材の製造過程において、前記第一ガラス層から前記シリカスートへのGeの拡散を抑制するバリア層として機能するものである。これにより、第一ガラス層にGeを添加しても、コアにGeが存在しない光ファイバ母材が得られる。 The manufacturing method of the optical fiber preform of the present invention is different from the conventional manufacturing method in that the second glass layer is formed. The second glass layer functions as a barrier layer that suppresses the diffusion of Ge from the first glass layer to the silica soot in the manufacturing process of the optical fiber preform. Thereby, even if Ge is added to the first glass layer, an optical fiber preform in which Ge does not exist in the core is obtained.
(1)第一工程
第一工程は、公知のMCVD法により行うことができる。ただし、第一ガラス層は、ゲルマニウム(Ge)を含有するものとする。Geは、ガラス層の屈折率を上昇させるドーパントであり、液状の四塩化ゲルマニウム(GeCl4)をバブリングにより気化させて、添加すれば良い。
第一工程は、例えば、以下のように行うことが好ましい。すなわち、石英管を回転させながら、その一方の開口端から中空部へ、四塩化ケイ素(SiCl4)ガス、GeCl4ガス、O2ガス等を流通させる。この時、石英管の外側に酸水素バーナ等の熱源を配置し、該熱源を石英管の中心軸方向に移動させながら石英管を加熱する。これにより、石英管の中空部では温度が上昇し、SiCl4及びGeCl4が酸化されて微粒子状のスートが生成され、石英管の内表面上に堆積され、焼結されて、ガラス微粒子層が形成される。この時の加熱温度は、堆積したガラス微粒子層が焼結されるように設定されていれば良い。
以上により、石英管の内表面に沿って、石英管と略同心状に管状の第一ガラス層が形成される。
(1) First Step The first step can be performed by a known MCVD method. However, the first glass layer contains germanium (Ge). Ge is a dopant that increases the refractive index of the glass layer, and liquid germanium tetrachloride (GeCl 4 ) may be vaporized by bubbling and added.
For example, the first step is preferably performed as follows. That is, while rotating the quartz tube, silicon tetrachloride (SiCl 4 ) gas, GeCl 4 gas, O 2 gas or the like is circulated from one open end to the hollow portion. At this time, a heat source such as an oxyhydrogen burner is disposed outside the quartz tube, and the quartz tube is heated while moving the heat source in the direction of the central axis of the quartz tube. As a result, the temperature rises in the hollow portion of the quartz tube, and SiCl 4 and GeCl 4 are oxidized to produce fine particulate soot, which is deposited on the inner surface of the quartz tube, sintered, and the glass particulate layer is formed. It is formed. The heating temperature at this time may be set so that the deposited glass fine particle layer is sintered.
Thus, a tubular first glass layer is formed substantially concentrically with the quartz tube along the inner surface of the quartz tube.
第一ガラス層は、さらにリン(P)を含有するものが好ましい。Pもガラス層の屈折率を上昇させるが、さらにガラス層の焼結温度も低下させる。第一ガラス層の焼結温度が高過ぎると、第一クラッドのデポジションを複数回行う際に、石英管の径が徐々に小さくなり、デポジションの継続が困難になることがある。そこで、第一ガラス層に適量のPを含有させることが好ましい。 The first glass layer preferably further contains phosphorus (P). P also increases the refractive index of the glass layer, but also lowers the sintering temperature of the glass layer. When the sintering temperature of the first glass layer is too high, the diameter of the quartz tube gradually decreases when the first cladding is deposited a plurality of times, and it may be difficult to continue the deposition. Therefore, it is preferable to contain an appropriate amount of P in the first glass layer.
第一ガラス層のGe、Pの含有量は、第一クラッドと第二クラッドとの比屈折率差(Δ2)が所望の値となるように調整すれば良く、第一ガラス層の屈折率が石英管の屈折率よりも大きくなるように調整することが好ましい。
ただし、Pの含有量が多すぎると、第一ガラス層及び第二ガラス層の線膨張係数が大きく異なり、ガラス管が割れ易くなる。そこで、Pの含有量は、第二ガラス層の線膨張係数を考慮しつつ、デポジションの継続が容易となるように調整すると良い。
The content of Ge and P in the first glass layer may be adjusted so that the relative refractive index difference (Δ2) between the first cladding and the second cladding becomes a desired value. It is preferable to adjust so that it may become larger than the refractive index of a quartz tube.
However, when there is too much content of P, the linear expansion coefficient of a 1st glass layer and a 2nd glass layer will differ greatly, and it will become easy to break a glass tube. Therefore, the content of P is preferably adjusted so as to facilitate the continuation of deposition while taking into consideration the linear expansion coefficient of the second glass layer.
第一ガラス層にPを含有させる方法としては、例えば、第一ガラス層形成時に、液状のオキシ塩化リン(POCl3)をバブリングにより気化させて、POCl3ガスを、上記のSiCl4ガス、GeCl4ガス、O2ガス等と共に、石英管内に流通させれば良い。 As a method for containing P in the first glass layer, for example, liquid phosphorus oxychloride (POCl 3 ) is vaporized by bubbling at the time of forming the first glass layer, and POCl 3 gas is converted into the above-mentioned SiCl 4 gas, GeCl. 4 gas, the O 2 gas or the like, it is sufficient to flow through the quartz tube.
石英管は、その屈折率が第一ガラス層の屈折率よりも小さい材質からなるものが好ましく、純粋石英ガラスからなるものが特に好ましい。
また、石英管の外径は特に限定されず、目的に応じて適宜調整すれば良いが、得られた光ファイバ母材を光ファイバレーザ又は光増幅器等の用途に使用する場合には、通常、10〜50mmであることが好ましく、15〜35mmであることがより好ましい。同様の目的で、石英管の厚さは、1.0〜5.0mmであることが好ましく、1.5〜3.0mmであることがより好ましい。
The quartz tube is preferably made of a material having a refractive index smaller than that of the first glass layer, and is preferably made of pure quartz glass.
In addition, the outer diameter of the quartz tube is not particularly limited, and may be appropriately adjusted according to the purpose, but when the obtained optical fiber preform is used for an application such as an optical fiber laser or an optical amplifier, usually, It is preferably 10 to 50 mm, and more preferably 15 to 35 mm. For the same purpose, the thickness of the quartz tube is preferably 1.0 to 5.0 mm, and more preferably 1.5 to 3.0 mm.
第一ガラス層の厚さも、目的に応じて適宜調整すれば良い。例えば、石英管の外径や厚さが上記の好ましい範囲内である場合には、第一ガラス層の厚さは、通常、0.5〜2.0mmであることが好ましく、0.8〜1.2mmであることがより好ましい。
第一ガラス層の厚さは、原料ガスの流量や加熱温度等を調整することで調整できる。
What is necessary is just to adjust the thickness of a 1st glass layer suitably according to the objective. For example, when the outer diameter or thickness of the quartz tube is within the above-mentioned preferable range, the thickness of the first glass layer is usually preferably 0.5 to 2.0 mm, 0.8 to More preferably, it is 1.2 mm.
The thickness of the first glass layer can be adjusted by adjusting the flow rate of the source gas, the heating temperature, and the like.
(2)第二工程
第二工程もMCVD法で行うことができる。例えば、第一工程で得られたガラス管内の中空部(すなわち、第一ガラス層の径方向内側)に、GeCl4等のGe源ガスを流通させずにSiCl4ガス及びO2ガスを流通させ、加熱することにより、Geを含有しない第二ガラス層を形成させる。この時の加熱温度は、第一ガラス層の内表面上に堆積したガラス微粒子層が焼結されるように設定されていれば良い。
以上により、第一ガラス層の内表面に沿って、石英管及び第一ガラス層と略同心状に管状の第二ガラス層が形成される。
(2) Second step The second step can also be performed by the MCVD method. For example, SiCl 4 gas and O 2 gas are circulated in the hollow portion in the glass tube obtained in the first step (that is, radially inside the first glass layer) without flowing Ge source gas such as GeCl 4. The second glass layer not containing Ge is formed by heating. The heating temperature at this time may be set so that the glass fine particle layer deposited on the inner surface of the first glass layer is sintered.
As described above, the tubular second glass layer is formed substantially concentrically with the quartz tube and the first glass layer along the inner surface of the first glass layer.
第二ガラス層は、純粋石英ガラスからなるものでも良いが、第一ガラス層の屈折率と略同等の屈折率を有することが好ましい。第二ガラス層が純粋石英ガラスからなる場合には、第二ガラス層の屈折率は第一ガラス層の屈折率よりも小さくなる。第二ガラス層の厚さは、後記するように通常は極めて薄く、第二ガラス層の屈折率が最終的に光ファイバの屈折率プロファイルに与える影響は無視できるか又は軽微であり、実用上大きな問題はない。ただし、影響が軽微であっても、このような光ファイバ母材から製造された光ファイバでは、コアと第一クラッドとの境界付近に低屈折率部分が生じ、コア中を導波する光の実効断面積(Aeff)が小さくなる傾向にある。これに対し、第二ガラス層の屈折率を第一ガラス層の屈折率と略同等としておけば、低屈折率部分の発生を抑制でき、Aeffを一層大きくできる光ファイバが得られる。 The second glass layer may be made of pure quartz glass, but preferably has a refractive index substantially equal to the refractive index of the first glass layer. When the second glass layer is made of pure quartz glass, the refractive index of the second glass layer is smaller than the refractive index of the first glass layer. As will be described later, the thickness of the second glass layer is usually extremely thin, and the influence of the refractive index of the second glass layer on the refractive index profile of the optical fiber is negligible or negligible. No problem. However, even if the effect is slight, in an optical fiber manufactured from such an optical fiber preform, a low refractive index portion is generated near the boundary between the core and the first cladding, and the light guided through the core The effective area (A eff ) tends to be small. On the other hand, if the refractive index of the second glass layer is made substantially equal to the refractive index of the first glass layer, the generation of a low refractive index portion can be suppressed, and an optical fiber that can further increase A eff can be obtained.
上記のように第二ガラス層の屈折率を調整するためには、例えば、第二ガラス層にP及び/又はアルミニウム(Al)を適量含有させることが好ましい。
なお、第二ガラス層の厚さは通常、極めて薄い。したがって、Pを含有することにより第二ガラス層が第一ガラス層と線膨張係数が異なっても、ガラスに大きなひずみは発生しにくいので、光ファイバ母材を安定して製造できる。
第二ガラス層にPを含有させる方法は、前記第一ガラス層の場合と同様で良く、第二ガラス層形成時に、ガラス管内にPOCl3ガスを流通させる方法で良い。
In order to adjust the refractive index of the second glass layer as described above, for example, it is preferable to contain an appropriate amount of P and / or aluminum (Al) in the second glass layer.
Note that the thickness of the second glass layer is usually extremely thin. Therefore, even if the second glass layer has a linear expansion coefficient different from that of the first glass layer by containing P, a large strain is hardly generated in the glass, so that the optical fiber preform can be manufactured stably.
The method of containing P in the second glass layer may be the same as in the case of the first glass layer, and may be a method of circulating POCl 3 gas in the glass tube when the second glass layer is formed.
第二ガラス層にAlを含有させる方法としては、第二ガラス層形成時に、AlとCl2とを反応させて三塩化アルミニウム(AlCl3)ガスを発生させ、これをSiCl4ガスやO2ガス等と共にガラス管内に流通させる方法が例示できる。
この時、AlCl3ガスは蒸気圧が低いので、第二ガラス層のAl含有量がばらつき易い。しかし、上記のように、第二ガラス層の屈折率が最終的に光ファイバの屈折率プロファイルに与える影響は無視できるか又は軽微なので、Al含有量がばらついても、実用上問題はない。
As a method for containing Al in the second glass layer, when the second glass layer is formed, Al and Cl 2 are reacted to generate aluminum trichloride (AlCl 3 ) gas, which is then used as SiCl 4 gas or O 2 gas. The method of making it distribute | circulate in a glass tube with these can be illustrated.
At this time, since the AlCl 3 gas has a low vapor pressure, the Al content of the second glass layer tends to vary. However, as described above, since the influence of the refractive index of the second glass layer on the refractive index profile of the optical fiber is negligible or slight, there is no practical problem even if the Al content varies.
第二ガラス層のP、Al等のドーパントの総含有量は、第二ガラス層の屈折率が所望の値となるように調整すれば良いが、通常、Pだけを添加する場合は3.5〜4.5wt%であることが好ましく、Alだけを添加する場合は2.0〜3.0wt%であることが好ましい。PとAlを共添加する場合には、添加濃度を適宜調整し、第二ガラス層の屈折率が所望の値となるようにすれば良い。 The total content of dopants such as P and Al in the second glass layer may be adjusted so that the refractive index of the second glass layer has a desired value. Usually, when only P is added, the content is 3.5. It is preferable that it is -4.5 wt%, and when adding only Al, it is preferable that it is 2.0-3.0 wt%. When P and Al are co-added, the addition concentration may be adjusted as appropriate so that the refractive index of the second glass layer becomes a desired value.
第二ガラス層におけるGeの拡散を抑制するバリア機能の大小は、第二ガラス層の厚さに依存する。さらに、第二ガラス層に求められるバリア機能の程度は、第一工程終了後のガラス管の外径や内径(すなわち、第一ガラス層の内径)により異なる。これは、Geの拡散の程度が、第五工程におけるコラップス時の加熱条件と所要時間に依存し、この加熱時間と所要時間はコラップス前のガラス管のサイズに依存するからである。 The magnitude of the barrier function that suppresses the diffusion of Ge in the second glass layer depends on the thickness of the second glass layer. Furthermore, the degree of the barrier function required for the second glass layer varies depending on the outer diameter and inner diameter of the glass tube after the first step (that is, the inner diameter of the first glass layer). This is because the degree of Ge diffusion depends on the heating conditions and required time during the collapse in the fifth step, and the heating time and required time depend on the size of the glass tube before the collapse.
したがって、第二ガラス層の厚さは、第一工程終了後のガラス管の外径や内径に応じて適宜調整することが好ましい。例えば、第一工程終了後の石英管の外径及び厚さ並びに第一ガラス層の厚さが、上記の好ましい範囲内である場合には、第二ガラス層の厚さは、通常、10〜500μmであることが好ましく、10〜100μmであることがより好ましい。第二ガラス層の厚さが上記範囲の下限よりも薄くなると、第一ガラス層からシリカスートへのGe拡散の抑制効果が低くなることがある。一方、第二ガラス層の厚さが上記範囲の上限よりも厚くなると、第二ガラス層の屈折率が最終的に光ファイバの屈折率プロファイルに与える影響が大きくなる。例えば、第二ガラス層が第一ガラス層よりも小さい屈折率を有する場合、製造された光ファイバにおいて、コアと第一クラッドとの境界付近に幅広い低屈折率部分が生じることがある。さらに、第一ガラス層及び第二ガラス層の線膨張係数が大きく異なる場合には、ガラスに大きなひずみが発生するので、光ファイバ母材の製造工程において、管が割れ易くなる。
石英管の外径及び厚さ並びに第一ガラス層の厚さが、上記の好ましい範囲外である場合には、第二ガラス層の厚さは、上記の好ましい範囲を考慮して、適宜調整すれば良い。
第二ガラス層の厚さは、原料ガスの流量や加熱温度等を調整することで調整できる。
Therefore, the thickness of the second glass layer is preferably adjusted as appropriate according to the outer diameter and inner diameter of the glass tube after the first step. For example, when the outer diameter and thickness of the quartz tube after the end of the first step and the thickness of the first glass layer are within the above preferred range, the thickness of the second glass layer is usually 10 to 10. It is preferable that it is 500 micrometers, and it is more preferable that it is 10-100 micrometers. When the thickness of the second glass layer is thinner than the lower limit of the above range, the effect of suppressing Ge diffusion from the first glass layer to silica soot may be reduced. On the other hand, when the thickness of the second glass layer becomes thicker than the upper limit of the above range, the influence of the refractive index of the second glass layer on the refractive index profile of the optical fiber finally increases. For example, when the second glass layer has a refractive index smaller than that of the first glass layer, a wide low refractive index portion may be generated near the boundary between the core and the first cladding in the manufactured optical fiber. Further, when the linear expansion coefficients of the first glass layer and the second glass layer are greatly different, a large strain is generated in the glass, so that the tube is easily broken in the manufacturing process of the optical fiber preform.
When the outer diameter and thickness of the quartz tube and the thickness of the first glass layer are outside the above preferred ranges, the thickness of the second glass layer should be appropriately adjusted in consideration of the above preferred ranges. It ’s fine.
The thickness of the second glass layer can be adjusted by adjusting the flow rate of the source gas, the heating temperature, and the like.
このように、光ファイバの製造過程において、第二ガラス層を形成させることにより、第一ガラス層からシリカスートへのGeの拡散が抑制される。これにより、コア中心に高屈折率部分が存在せず、コアの屈折率が均一なマルチクラッドファイバが得られる。 Thus, in the optical fiber manufacturing process, the diffusion of Ge from the first glass layer to the silica soot is suppressed by forming the second glass layer. As a result, there can be obtained a multi-clad fiber in which the high refractive index portion does not exist at the center of the core and the core has a uniform refractive index.
(3)第三工程
第三工程もMCVD法で行うことができる。例えば、第二工程で得られたガラス管内の中空部(すなわち、第二ガラス層の径方向内側)に、SiCl4ガス及びO2ガスを流通させ、加熱することにより、シリカスート(コアスート)を形成させる。この時の加熱温度は、シリカスートが多孔質の状態を維持し、焼結されないように設定する。本工程では、シリカスート形成時に、ドーパントの原料ガスは流通させない。
以上により、第二ガラス層の内側に、シリカスートが形成される。この時のガラス管1の断面を図1に例示する。図1中、符号10はシリカスート、符号15は第二ガラス層、符号11は第一ガラス層、符号12は石英管をそれぞれ示す。
(3) Third Step The third step can also be performed by the MCVD method. For example, silica soot (core soot) is formed by circulating SiCl 4 gas and O 2 gas through the hollow part (that is, the radially inner side of the second glass layer) obtained in the second step and heating. Let The heating temperature at this time is set so that the silica soot maintains a porous state and is not sintered. In this step, the dopant source gas is not circulated during the formation of silica soot.
Thus, silica soot is formed inside the second glass layer. The cross section of the
(4)第四工程
第四工程では、まず、第三工程で形成したシリカスートにドーパントを添加する。得られた光ファイバ母材を光ファイバレーザ又は光増幅器等の用途に使用する場合には、添加するドーパントは、少なくとも希土類元素を含むものとする。ここで、希土類元素としては、イッテルビウム(Yb)が好ましい。
ドーパントの添加は、公知の方法で行えば良い。例えば、希土類元素を添加する場合には、液浸法で行うのが好ましい。その理由は、添加時に使用する希土類元素を含む化合物(以下、希土類化合物という)は、通常、蒸気圧が低いからである。そのため、希土類化合物を気化させる場合には、数百℃という高温で加熱する必要があり、生成したガスをシリカスートに搬送する過程でも配管を高温に保持する必要がある。このような方法では、シリカスート中の希土類元素の含有量を安定させるのが困難であり、製造コストも上昇する。
(4) Fourth Step In the fourth step, first, a dopant is added to the silica soot formed in the third step. When the obtained optical fiber preform is used for an application such as an optical fiber laser or an optical amplifier, the dopant to be added contains at least a rare earth element. Here, as the rare earth element, ytterbium (Yb) is preferable.
The dopant may be added by a known method. For example, when a rare earth element is added, it is preferably performed by a liquid immersion method. The reason is that a compound containing a rare earth element used at the time of addition (hereinafter referred to as a rare earth compound) usually has a low vapor pressure. Therefore, when the rare earth compound is vaporized, it is necessary to heat at a high temperature of several hundred degrees Celsius, and it is necessary to keep the piping at a high temperature even in the process of transporting the generated gas to silica soot. In such a method, it is difficult to stabilize the content of the rare earth element in the silica soot, and the production cost also increases.
液浸法は、例えば、以下のように行うことができる。まず、希土類化合物、好ましくは希土類塩化物等を水又はエタノール等に溶解させ、液浸溶液を調製する。次いで、得られた液浸溶液を、第三工程で得られたガラス管の内部に、開口端から導入することで、シリカスートを液浸溶液に浸漬させる。次いで、液浸溶液を管から抜き出し、管を乾燥させ、さらに脱水した後、シリカスートを焼結して透明化させる。 The liquid immersion method can be performed as follows, for example. First, a rare earth compound, preferably a rare earth chloride, is dissolved in water or ethanol to prepare an immersion solution. Next, silica soot is immersed in the immersion solution by introducing the obtained immersion solution into the inside of the glass tube obtained in the third step from the open end. The immersion solution is then withdrawn from the tube, the tube is dried and further dehydrated, and then the silica soot is sintered to make it transparent.
シリカスートには、ドーパントとして、前記希土類元素以外にさらにAlを添加することが好ましい。Alを共添加することで、フォトダークニングが抑制できるなど、光ファイバ母材の光学特性が向上する。Alの添加は、液浸溶液にAlを含む化合物、好ましくは塩化アルミニウム(AlCl3)を前記希土類化合物と共に溶解させ、この液浸溶液を使用することで行えば良い。 In addition to the rare earth element, Al is preferably added as a dopant to the silica soot. By co-adding Al, the optical characteristics of the optical fiber preform are improved, for example, photodarkening can be suppressed. Al may be added by dissolving a compound containing Al, preferably aluminum chloride (AlCl 3 ), together with the rare earth compound in the immersion solution, and using this immersion solution.
シリカスートのドーパント含有量は、液浸溶液中のドーパント濃度を調整することで、調整できる。そして、シリカスートのドーパント含有量は、コアと第二クラッドとの比屈折率差(Δ1)が所望の値となるように調整すれば良く、コアの焼結後の屈折率が、第一ガラス層の屈折率よりも大きくなるように調整することが好ましい。 The dopant content of silica soot can be adjusted by adjusting the dopant concentration in the immersion solution. The dopant content of the silica soot may be adjusted so that the relative refractive index difference (Δ1) between the core and the second cladding becomes a desired value, and the refractive index after sintering of the core is the first glass layer. It is preferable to adjust so that it may become larger than the refractive index of this.
(5)第五工程
第五工程では、第四工程で得られた管をコラップスして中実化する。これにより、コアにドーパントが添加された光ファイバ母材が得られる。コラップスは、公知の方法で行えば良い。
本発明によれば、第一ガラス層がGeを含有する場合でも、第二ガラス層のバリア機能により、コアにGeが拡散せず、コアにGeが存在しない光ファイバ母材が得られる。したがって、コア中心に高屈折率部分が存在せず、コアの屈折率が径方向において均一となる。
(5) Fifth Step In the fifth step, the pipe obtained in the fourth step is collapsed and solidified. Thereby, an optical fiber preform in which a dopant is added to the core is obtained. The collapse may be performed by a known method.
According to the present invention, even when the first glass layer contains Ge, an optical fiber preform in which Ge does not diffuse into the core and Ge does not exist in the core is obtained by the barrier function of the second glass layer. Therefore, there is no high refractive index portion at the center of the core, and the refractive index of the core is uniform in the radial direction.
ここまでは、光ファイバ母材をMCVD法と液浸法とを併用する方法で製造する場合について説明したが、本発明においてはこれに限定されず、VAD法、OVD法又はPCVD法等、その他の公知の方法を適用して製造しても良い。 Up to this point, the case where the optical fiber preform is manufactured by a method using both the MCVD method and the immersion method has been described. However, the present invention is not limited to this, and other methods such as the VAD method, the OVD method, the PCVD method, etc. It may be manufactured by applying a known method.
<マルチクラッドファイバ>
本発明におけるマルチクラッドファイバは、上記本発明の光ファイバ母材を紡糸した後、その外表面をポリマ層で被覆して得られる。
例えば、かかるマルチクラッドファイバは、光ファイバ母材として本発明のものを使用すること以外は、公知の方法を適用することで得られる。
具体的には例えば、第五工程終了後、OVD法などにより必要なだけ外側にクラッドを作製し、得られた光ファイバ母材を紡糸し、得られた光ファイバの外表面をポリマ層で被覆すれば良い。この時、ポリマとして保護樹脂を使用することにより、ダブルクラッドファイバが得られ、ポリマとして第三クラッドを形成するもの、次いで保護樹脂を使用することにより、トリプルクラッドファイバが得られる。ポリマとしては、例えば、熱硬化性樹脂やUV硬化性樹脂が使用でき、これらをポリマ層が所望の厚さとなるように適当量被覆して硬化させれば良い。
<Multi-clad fiber>
The multi-clad fiber in the present invention is obtained by spinning the optical fiber preform of the present invention and then coating the outer surface with a polymer layer.
For example, such a multi-clad fiber can be obtained by applying a known method except that the optical fiber preform of the present invention is used.
Specifically, for example, after completion of the fifth step, a clad is produced on the outer side as much as necessary by the OVD method, the obtained optical fiber preform is spun, and the outer surface of the obtained optical fiber is covered with a polymer layer. Just do it. At this time, a double clad fiber can be obtained by using a protective resin as a polymer, and a triple clad fiber can be obtained by using a polymer that forms a third clad as a polymer and then using a protective resin. As the polymer, for example, a thermosetting resin or a UV curable resin can be used, and these may be coated and cured in an appropriate amount so that the polymer layer has a desired thickness.
トリプルクラッドファイバを製造する場合には、ポリマ層の屈折率は、第二クラッドの屈折率よりも小さくすることが好ましい。
また、マルチクラッドファイバにおいて、保護樹脂層は、コア及びクラッドよりも高い屈折率を有することが好ましい。さらに、第二クラッドの屈折率は第一クラッドの屈折率よりも小さいことが好ましく、第一クラッドの屈折率はコアの屈折率よりも小さいことが好ましい。そして、トリプルクラッドファイバにおいては、Δ1−Δ2は0.1程度となるように設定することが好ましい。例えば、Δ2が0.3程度である場合には、Δ1が0.4程度となるように調整すると良い。
When producing a triple clad fiber, the refractive index of the polymer layer is preferably smaller than the refractive index of the second clad.
In the multi-clad fiber, the protective resin layer preferably has a higher refractive index than the core and the clad. Furthermore, the refractive index of the second cladding is preferably smaller than the refractive index of the first cladding, and the refractive index of the first cladding is preferably smaller than the refractive index of the core. And in a triple clad fiber, it is preferred to set Δ1-Δ2 to be about 0.1. For example, when Δ2 is about 0.3, it may be adjusted so that Δ1 is about 0.4.
<光ファイバレーザ、光増幅器>
本発明における光ファイバレーザ又は光増幅器は、上記マルチクラッドファイバを備えるものである。そして、かかる光ファイバレーザ又は光増幅器は、上記マルチクラッドファイバを使用すること以外は、公知の方法を適用することで得られ、光学特性が良好なものである。
<Optical fiber laser, optical amplifier>
An optical fiber laser or an optical amplifier according to the present invention includes the multi-clad fiber. Such an optical fiber laser or optical amplifier is obtained by applying a known method except that the multi-clad fiber is used, and has good optical characteristics.
本発明によれば、第一ガラス層がGeを含有する場合でも、第二ガラス層のバリア機能により、コアにGeが存在しない光ファイバ母材が得られる。また、かかる光ファイバ母材においては、コアへのドーパント添加量も適宜調整できる。したがって、コア中心に高屈折率部分が存在せず、コアの屈折率が径方向において均一で、しかも屈折率プロファイルの制御が容易なマルチクラッドファイバが得られる。このようなマルチクラッドファイバによれば、フォトダークニングの抑制も容易なので、レーザ出力の経時劣化が抑制される等、光学特性が良好な光ファイバレーザ及び光増幅器が得られる。 According to the present invention, even when the first glass layer contains Ge, an optical fiber preform having no Ge in the core can be obtained by the barrier function of the second glass layer. In such an optical fiber preform, the amount of dopant added to the core can also be adjusted as appropriate. Therefore, there can be obtained a multi-clad fiber in which a high refractive index portion does not exist in the center of the core, the refractive index of the core is uniform in the radial direction, and the refractive index profile can be easily controlled. According to such a multi-clad fiber, since it is easy to suppress photodarkening, an optical fiber laser and an optical amplifier having good optical characteristics such as suppression of deterioration of laser output with time can be obtained.
以下、具体的実施例により、本発明についてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に何ら限定されるものではない。
(実施例1)
内径27.0mm、外径32.0mmの純粋石英ガラス管を使用して、MCVD法により第一ガラス層を形成させた(第一工程)。この時、石英管の中空部にSiCl4ガス、GeCl4ガス、POCl3ガス、O2ガスを流通させ、石英管の外側に設置した酸水素バーナで加熱した。第一工程が終わった時の石英管の外径は29.0mmとなっていた。第一ガラス層の厚さは0.9mmであり、Geの含有量は3.0wt%、Pの含有量は1.0wt%であった。
次いで、第一ガラス層が形成されたガラス管の中空部に、SiCl4ガス、O2ガスを流通させて加熱するMCVD法により、第一ガラス層の内表面に沿って第二ガラス層を形成させた(第二工程)。第二ガラス層の厚さは0.1mmであった。
次いで、第一及び第二ガラス層が形成されたガラス管の中空部に、SiCl4ガス、O2ガスを流通させて加熱するMCVD法により、第二ガラス層の内側にシリカスートを形成させた(第三工程)。
次いで、第三工程で形成したシリカスートに、液浸法によりYb及びAlを添加した。液浸溶液としては、三塩化イッテルビウム(YbCl3)、AlCl3を含有する溶液を使用した。そして、液浸溶液を管から抜き出し、管を乾燥させ、さらに脱水した後、シリカスートを焼結して透明化させた(第四工程)。焼結後のコアにおけるYbの含有量は1.0wt%、Alの含有量は4.0wt%であった。
次いで、得られた管をコラップスして中実化することで、コアにYb及びAlが添加された光ファイバ母材を得た(第五工程)。
次いで、OVD法によりクラッドを堆積させ、適切なクラッド径とした。
さらに、光ファイバ母材を紡糸し、得られた光ファイバの外表面上をポリマ層で被覆し、さらに保護樹脂で被覆することにより、図2に示すような断面を有するトリプルクラッドファイバが得られた。トリプルクラッドファイバ2は、コア20の直径が20μm、第一クラッド21の厚さが80μm、第二クラッド22の厚さが300μm、第三クラッド23の厚さが50μm、保護樹脂層24の厚さが100μmであった。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
Example 1
The first glass layer was formed by the MCVD method using a pure quartz glass tube having an inner diameter of 27.0 mm and an outer diameter of 32.0 mm (first step). At this time, SiCl 4 gas, GeCl 4 gas, POCl 3 gas, and O 2 gas were circulated through the hollow part of the quartz tube and heated with an oxyhydrogen burner installed outside the quartz tube. When the first step was finished, the outer diameter of the quartz tube was 29.0 mm. The thickness of the first glass layer was 0.9 mm, the Ge content was 3.0 wt%, and the P content was 1.0 wt%.
Next, the second glass layer is formed along the inner surface of the first glass layer by the MCVD method in which SiCl 4 gas and O 2 gas are circulated and heated in the hollow portion of the glass tube in which the first glass layer is formed. (Second step). The thickness of the second glass layer was 0.1 mm.
Next, silica soot was formed inside the second glass layer by the MCVD method in which SiCl 4 gas and O 2 gas were circulated and heated in the hollow portion of the glass tube in which the first and second glass layers were formed ( Third step).
Next, Yb and Al were added to the silica soot formed in the third step by a liquid immersion method. As the immersion solution, a solution containing ytterbium trichloride (YbCl 3 ) and AlCl 3 was used. Then, the immersion solution was extracted from the tube, the tube was dried and further dehydrated, and then silica soot was sintered to make it transparent (fourth step). The Yb content in the sintered core was 1.0 wt%, and the Al content was 4.0 wt%.
Next, the obtained tube was collapsed and solidified to obtain an optical fiber preform in which Yb and Al were added to the core (fifth step).
Next, a clad was deposited by the OVD method to obtain an appropriate clad diameter.
Further, by spinning an optical fiber preform, coating the outer surface of the obtained optical fiber with a polymer layer, and further coating with a protective resin, a triple clad fiber having a cross section as shown in FIG. 2 can be obtained. It was. In the triple
さらに得られたトリプルクラッドファイバ2の屈折率プロファイルを図2にあわせて示す。図2に示すように、ファイバのコア中心には高屈折率部分が存在しなかった。一方、コアと第一クラッドとの境界付近には低屈折率部分が存在したが、本光ファイバのAeffは225μm2であり、十分大きく、良好な光学特性を有することが確認できた。
Further, the refractive index profile of the obtained triple
(実施例2)
第二工程で、SiCl4ガス及びO2ガスと共にPOCl3ガスを流通させて、第二ガラス層にさらにPを含有させたこと以外は、実施例1と同様にトリプルクラッドファイバを作製した。第二ガラス層のPの含有量は4.0wt%であった。得られたトリプルクラッドファイバの断面図及び屈折率プロファイルを図3に示す。光ファイバ母材の作製時には、第二ガラス層の厚さが薄いため、管が割れることはなかった。
得られたトリプルクラッドファイバ3は、コア30、第一クラッド31、第二クラッド32、第三クラッド33、保護樹脂層34のサイズが、いずれも実施例1の場合と同様であった。また、図3に示すように、トリプルクラッドファイバ3は、実施例1のファイバとは異なり、コアと第一クラッドとの境界付近には低屈折率部分が存在せず、Aeffは250μm2であり、一層良好な光学特性を有することが確認できた。
(Example 2)
A triple clad fiber was produced in the same manner as in Example 1 except that POCl 3 gas was circulated together with SiCl 4 gas and O 2 gas in the second step, and P was further contained in the second glass layer. The content of P in the second glass layer was 4.0 wt%. FIG. 3 shows a cross-sectional view and a refractive index profile of the obtained triple clad fiber. When the optical fiber preform was manufactured, the tube was not broken because the second glass layer was thin.
In the obtained triple
(実施例3)
第二工程で、SiCl4ガス及びO2ガスと共にAlCl3ガスを流通させて、第二ガラス層にさらにAlを含有させたこと以外は、実施例1と同様にトリプルクラッドファイバを作製した。第二ガラス層のAlの含有量は2.5wt%であった。光ファイバ母材の作製時には、第二ガラス層の厚さが薄いため、管が割れることはなかった。
得られたトリプルクラッドファイバは、コア、第一クラッド、第二クラッド、第三クラッド、保護樹脂層のサイズが、いずれも実施例1の場合と同様であった。そして、実施例2のファイバと同様に、コアと第一クラッドとの境界付近には低屈折率部分が存在せず、Aeffは250μm2であり、実施例2と同様に、一層良好な光学特性を有することが確認できた。
(Example 3)
A triple clad fiber was prepared in the same manner as in Example 1 except that AlCl 3 gas was circulated together with SiCl 4 gas and O 2 gas in the second step, and Al was further contained in the second glass layer. The Al content in the second glass layer was 2.5 wt%. When the optical fiber preform was manufactured, the tube was not broken because the second glass layer was thin.
The obtained triple-clad fiber had the same core, first clad, second clad, third clad, and protective resin layer size as in Example 1. As in the case of the fiber of Example 2, there is no low refractive index portion near the boundary between the core and the first cladding, and A eff is 250 μm 2. It was confirmed that it had characteristics.
(比較例1)
第二工程を行わなかったこと以外は、実施例1と同様にトリプルクラッドファイバを作製した。すなわち、第一ガラス層を形成させ、次いで、第一ガラス層の内側にシリカスートを形成させて、ドーパントの添加、焼結及び管のコラップスを行った。得られたトリプルクラッドファイバの断面図及び屈折率プロファイルを図4に示す。
得られたトリプルクラッドファイバ4は、コア40、第一クラッド41、第二クラッド42、第三クラッド43、保護樹脂層44のサイズが、いずれも実施例1の場合と同様であった。ただし、図4に示すように、トリプルクラッドファイバ4のコア40中心には高屈折率部分が存在した。このファイバ4は、コア40中心に電界が集中し、Aeffが120μm2と小さく、良好な光学特性を有していなかった。
(Comparative Example 1)
A triple clad fiber was produced in the same manner as in Example 1 except that the second step was not performed. That is, a first glass layer was formed, and then silica soot was formed inside the first glass layer, and dopant addition, sintering, and tube collapse were performed. FIG. 4 shows a cross-sectional view and a refractive index profile of the obtained triple clad fiber.
In the obtained triple
(比較例2)
第一工程でGeCl4ガスを流通させない点以外は、実施例1と同様にトリプルクラッドファイバの作製を試みた。すなわち、ドーパント第一ガラス層にGeを含有させず、Pのみを含有させて光ファイバ母材の作製を試みた。この時Δ2は、Pの含有量を調整することで0.3に調整した。
その結果、第四工程でシリカスートにドーパントを添加した後、焼結する際に管が割れ、光ファイバ母材を作製できなかった。これは、Pの含有量のみでΔ2を調整するために、Pの含有量が4.0wt%と多くなり、第一ガラス層の線膨張係数が大きくなり過ぎ、石英管との間で大きなひずみが生じたことが原因であると考えられた。
(Comparative Example 2)
An attempt was made to produce a triple clad fiber in the same manner as in Example 1 except that GeCl 4 gas was not circulated in the first step. That is, an attempt was made to produce an optical fiber preform by containing only P but not Ge in the dopant first glass layer. At this time, Δ2 was adjusted to 0.3 by adjusting the P content.
As a result, after adding the dopant to the silica soot in the fourth step, the tube was cracked during sintering and an optical fiber preform could not be produced. This is because the Δ content is adjusted only by the P content, so the P content increases to 4.0 wt%, the linear expansion coefficient of the first glass layer becomes too large, and a large strain is generated between the quartz tube and the quartz tube. It was thought that this was caused by
(比較例3)
第一工程でGeCl4ガス及びPOCl3ガスを流通させずに、AlCl3ガスを流通させたこと以外は、実施例1と同様にトリプルクラッドファイバを作製した。すなわち、ドーパントとして第一ガラス層にGeを含有させず、Alのみを含有させて光ファイバ母材を作製した。この時Δ2は、Alの含有量を調整することで0.3に調整した。AlCl3ガスは、AlとCl2とを反応させることで発生させたものを使用したが、AlCl3ガスの蒸気圧が低く、ガスの搬送に使用する配管を200℃程度に加熱してガスを流通させた。しかし、第一ガラス層のAl含有量を所望の値に調整することが困難であった。その結果、同様の方法で繰り返し光ファイバ母材を作製したが、第一クラッドの屈折率を制御することが困難であり、製造再現性が悪く、歩留まりが著しく低下した。また、高温加熱が必要なので製造コストが上昇することが確認された。
(Comparative Example 3)
A triple clad fiber was produced in the same manner as in Example 1 except that AlCl 3 gas was circulated without flowing GeCl 4 gas and POCl 3 gas in the first step. That is, the first glass layer was not doped with Ge as a dopant, but only Al was contained to produce an optical fiber preform. At this time, Δ2 was adjusted to 0.3 by adjusting the Al content. The AlCl 3 gas generated by reacting Al and Cl 2 was used, but the vapor pressure of the AlCl 3 gas is low, and the pipe used for transporting the gas is heated to about 200 ° C. to generate the gas. Circulated. However, it has been difficult to adjust the Al content of the first glass layer to a desired value. As a result, an optical fiber preform was repeatedly produced by the same method, but it was difficult to control the refractive index of the first cladding, the production reproducibility was poor, and the yield was remarkably reduced. In addition, it was confirmed that the manufacturing cost increases because high temperature heating is required.
(比較例4)
第一工程でGeCl4ガスを流通させずに、AlCl3ガスを流通させたこと以外は、実施例1と同様にトリプルクラッドファイバの作製を試みた。すなわち、ドーパントとして第一ガラス層にGeを含有させず、P及びAlを含有させたファイバの作製を試みた。この時Δ2は、P及びAlの含有量を調整することで0.3に調整した。
その結果、比較例2の場合と同様に管が割れて、光ファイバ母材を作製できなかった。さらに、比較例3と同様に、第一ガラス層のAl含有量を調整することも困難であった。
(Comparative Example 4)
An attempt was made to produce a triple-clad fiber in the same manner as in Example 1 except that AlCl 3 gas was allowed to flow without flowing GeCl 4 gas in the first step. That is, an attempt was made to fabricate a fiber in which P and Al were not contained as the dopant in the first glass layer. At this time, Δ2 was adjusted to 0.3 by adjusting the contents of P and Al.
As a result, the tube was cracked in the same manner as in Comparative Example 2, and the optical fiber preform could not be produced. Furthermore, as in Comparative Example 3, it was difficult to adjust the Al content of the first glass layer.
(実施例4)
実施例1〜3の方法でトリプルクラッドファイバを作製した。ただし、スキュー光(コアを横切らない励起光)を抑制するため、第二クラッドを、その径方向断面の形状が略正七角形となるように加工した。作製したトリプルクラッドファイバは、コアの直径が20μm、第一クラッドの厚さが80μm、第二クラッドの厚さが300μm、第三クラッドの厚さが50μm、保護樹脂層の厚さが100μmであった。そして、これらトリプルクラッドファイバを使用して、ファイバレーザを作製した。
その結果、Aeffが十分大きくシングルモード動作するファイバレーザが得られた。そして、比較例1の方法で作製したファイバを使用した場合よりも、非線形光学効果によるエネルギー変換効率の低下を抑制できた。
Example 4
Triple clad fibers were prepared by the methods of Examples 1 to 3. However, in order to suppress skew light (excitation light that does not cross the core), the second cladding was processed so that the shape of its radial cross section was a substantially regular heptagon. The produced triple clad fiber has a core diameter of 20 μm, a thickness of the first clad of 80 μm, a thickness of the second clad of 300 μm, a thickness of the third clad of 50 μm, and a thickness of the protective resin layer of 100 μm. It was. And using these triple clad fibers, a fiber laser was produced.
As a result, a fiber laser capable of single mode operation with a sufficiently large A eff was obtained. And compared with the case where the fiber produced with the method of the comparative example 1 was used, the fall of the energy conversion efficiency by a nonlinear optical effect was able to be suppressed.
本発明は、光通信の分野で、光ファイバレーザや光増幅器等に利用可能である。 The present invention is applicable to optical fiber lasers, optical amplifiers, and the like in the field of optical communications.
1・・・ガラス管、10・・・シリカスート、11・・・第一ガラス層、12・・・石英管、15・・・第二ガラス層、2,3,6・・・トリプルクラッドファイバ、20,30,60・・・コア、21,31,61・・・第一クラッド、22,32,62・・・第二クラッド、23,33,63・・・第三クラッド、24,34,64・・・保護樹脂層
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記第一ガラス層の内表面に沿って、ゲルマニウムを含有しない第二ガラス層を形成させる第二工程と、
前記第二ガラス層の内側に、シリカスートを形成させる第三工程と、
前記シリカスートにドーパントを添加して焼結する第四工程と、
前記第四工程で得られた管をコラップスする第五工程と、
を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 A first step of forming a first glass layer containing germanium along the inner surface of the quartz tube;
A second step of forming a second glass layer not containing germanium along the inner surface of the first glass layer;
A third step of forming silica soot inside the second glass layer;
A fourth step of adding a dopant to the silica soot and sintering;
A fifth step of collapsing the tube obtained in the fourth step;
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