JP2010058249A - インゴット切断装置及び切断方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ブレードのドレッシングを自動で精度良く行い、生産性を向上することができるインゴット切断装置、及び切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】切断テーブルにインゴットが水平に載置され、前記切断テーブルはインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を有し、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、前記インゴットの切断時に前記インゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うものであることを特徴とするインゴット切断装置。
【選択図】 図１

Description

本発明は、インゴット、特にはチョクラルスキー法（ＣＺ法）等により引き上げられた単結晶シリコンインゴットを切断するインゴット切断装置およびこれを用いた切断方法に関する。

ＣＺ法等によって製造されたシリコンインゴットは円柱状の胴体部にコーン状の端部（トップ部およびテイル部）を有している。シリコンインゴットの加工においては、これらコーン状の端部を切り離し円柱状の胴体部のみとし、胴体部を必要に応じて複数のブロックに切断する。次いで前記ブロックをウェーハとするための加工を行うことになる。
前記コーン状の端部の切断加工や胴体部を複数のブロックに切断加工する場合には、内周刃スライサー、外周刃スライサーなどが多く用いられてきた。近年のウェーハの大口径化に伴ってバンドソーも多く使用されるようになってきた。

ここで、図７にインゴット切断装置をバンドソーとした場合の前記ブロックの切断方法についての概要を示す。
図７に示すように、このインゴット切断装置１０１には切断時にインゴットを支持するための切断テーブル１０５が設置されている。そして、切断前において、インゴット１０４を前記切断テーブル１０５上に水平に配置する。切断テーブル１０５は切断テーブル１０５ａと切断テーブル１０５ｂから構成され、その間にインゴット１０４を切断するためのブレード１０２が前記切断テーブル１０５に接触しないようにするための隙間１０６を有している。

そして、インゴット１０４を切断する位置を前記隙間１０６に合わせるようにインゴット１０４の載置位置を調整する。
また、インゴット切断装置１０１は、薄いブレード台金の端部にダイヤモンドの砥粒を糊着してなるブレード砥粒部で構成されるエンドレスベルト状のブレード（バンドソー）１０２がプーリー１０３、１０３’間に張設されている。

そして、ブレード１０２はプーリー１０３、１０３’の回転により周回駆動され、該ブレード１０２を前記切断テーブル１０５の隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによってインゴット１０４を切断する。

このようにして切断を重ねていくと、ブレード砥粒部に切断粉末が堆積するなどして砥粒が埋もれたり、切断によって砥粒が摩耗したりしてその切断能力が低下してしまう。このような状態で切断を行うと切断抵抗の増加によりブレード１０２が変位してブレード１０２の刃先振れが発生してしまい、切断するウェーハに反りが発生してしまうという問題があった。

このため、ブレードは定期的にドレッシングを行う必要があり、従来では、いわゆるハンドドレッシングと呼ばれる方法でドレッシングが行われている。この方法では作業者が経験に基づいて押し当て力と角度を調整しながらドレッシング部材をブレードに押し当てることによって行われる。しかしながら、作業者個人のスキルに大きく依存するため、ドレッシング精度にバラツキが発生し、安定した品質のウェーハを切断することができなかった。また、このように作業者によりドレッシングを行うことにより工程時間が増加してしまい生産性が低下してしまうという問題もあった。

このような問題に対して、内周刃ブレードのスライシングマシンにドレッシング装置を設け、切断が完了したウェーハを回収した後、そのドレッシング装置で自動的に内周刃ブレードのドレッシングを行うドレッシング装置が開示されている（引用文献１参照）。

また、上記のような従来の切断テーブル１０５上にインゴット１０４を載置してインゴット１０４を切断した場合、切断テーブル１０５ａと１０５ｂとの隙間に段差があると、インゴット１０４の切断終了時に切断面が長手方向で左右に動いたり、上下動してしまい、インゴット１０４の切り終わり部分に欠けが発生してしまうという問題もあった。

特開平１１−４８１４１号公報

本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、ブレードのドレッシングを自動で精度良く行い、生産性を向上することができるインゴット切断装置、及び切断方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明によれば、切断テーブルにインゴットが水平に載置され、前記切断テーブルはインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を有し、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、前記インゴットの切断時に前記インゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うものであることを特徴とするインゴット切断装置を提供する（請求項１）。

このように、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、前記インゴットの切断時に前記インゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うものであれば、インゴット支え部材が切断時の支点となり、切断テーブルの隙間部分の段差による影響を抑えてインゴットの切り終わり部分に欠けが発生するのを防止しつつ、インゴットの切り終わり後に自動的にブレードの砥粒部全体のドレッシングを行うことができる。これにより、ドレッシング精度のバラツキを低減して切断するインゴットの品質を安定して保つことができる。また、ドレッシング時間を大幅に低減することができ生産性を向上することができるとともに、インゴット切断装置自体のコストを増加することなくドレッシングを行うことができるものとすることができる。

このとき、前記インゴット切断装置のブレードはバンドソーとすることができる（請求項２）。
このように、前記インゴット切断装置のブレードがバンドソーであれば、本発明を適用して、近年の大口径のシリコンインゴットを安定した品質で切断することができる。

またこのとき、前記インゴット支え部材の前記インゴットとの接触面の形状が、該インゴットの接触面の形状に沿った形状であることが好ましい（請求項３）。
このように、前記インゴット支え部材の前記インゴットとの接触面の形状が、該インゴットの接触面の形状に沿った形状であれば、ブレードのドレッシングをより精度良く行うことができ、インゴットの切断精度をより向上することができる。

またこのとき、前記切断テーブルを前記ブレードの側面に対して垂直方向に相対的に移動させて、前記ブレードの側面を前記インゴットの切断時に形成された前記インゴット支え部材の溝の内面に当接させることによって、前記ブレードの側面をドレッシングするものであることが好ましい（請求項４）

このように、前記切断テーブルを前記ブレードの側面に対して垂直方向に相対的に移動させて、前記ブレードの側面を前記インゴットの切断時に形成された前記インゴット支え部材の溝の内面に当接させることによって、前記ブレードの側面をドレッシングするものであれば、インゴット支え部材の１つの溝で複数回ブレードの側面をドレッシングし、ブレードの刃先振れも調整することができ、コスト面で有利である。また、１つの溝におけるブレードの側面のドレッシングも自動化することができ、ドレッシングの精度をより安定して行うことができる。

またこのとき、前記インゴットの切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除するエアーノズルを具備することが好ましい（請求項５）。
このように、前記インゴットの切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除するエアーノズルを具備するものであれば、ブレードのドレッシング精度のバラツキをより効果的に向上することができる。

またこのとき、前記インゴット支え部材を下方から上昇させて前記インゴットに密着させるための支え部材上昇機構を具備するものであることができる（請求項６）。
このように、前記インゴット支え部材を下方から上昇させて前記インゴットに密着させるための支え部材上昇機構を具備するものであれば、インゴット支え部材が切断時の支点となり、切断テーブルの隙間部分の段差による影響を抑えてインゴットの切り終わり部分に欠けが発生するのを防止する効果をより確実に奏することができる。

また、本発明は、切断テーブルにインゴットを水平に載置し、前記切断テーブルにインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を設け、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴットの切断方法であって、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分をドレッシング材から成るインゴット支え部材により下方から支持してインゴットを切断し、前記インゴット支え部材の上部を前記ブレードにより切断して溝を形成し前記ブレードをドレッシングすることを特徴とするインゴットの切断方法を提供する（請求項７）。

このように、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分をドレッシング材から成るインゴット支え部材により下方から支持してインゴットを切断し、前記インゴット支え部材の上部を前記ブレードにより切断して溝を形成し前記ブレードをドレッシングすれば、インゴット支え部材を切断時の支点とし、切断テーブルの隙間部分の段差による影響を抑えてインゴットの切り終わり部分に欠けが発生するのを防止しつつ、インゴットの切り終わり後に自動的にブレードの砥粒部全体のドレッシングを行うことができる。これにより、ドレッシング精度のバラツキを低減して切断するインゴットの品質を安定して保つことができる。また、ドレッシング時間を大幅に低減することができ生産性を向上することができる。

このとき、前記インゴットの切断をバンドソーによる切断とすることができる（請求項８）。
このように、前記インゴットの切断がバンドソーによる切断であれば、本発明を適用して、近年の大口径のシリコンインゴットを安定した品質で切断することができる。

またこのとき、前記インゴット支え部材として、該インゴット支え部材の前記インゴットとの接触面の形状が、該インゴットの接触面の形状に沿った形状であるものを用いることが好ましい（請求項９）。
このように、前記インゴット支え部材として、該インゴット支え部材の前記インゴットとの接触面の形状が、該インゴットの接触面の形状に沿った形状であるものを用いれば、ブレードのドレッシングをより精度良く行うことができ、インゴットの切断精度をより向上することができる。

またこのとき、前記切断テーブルを前記ブレードの側面に対して垂直方向に相対的に移動させ、前記ブレードの側面を前記インゴットの切断時に形成された前記インゴット支え部材の溝の内面に当接させることによって、前記ブレードの側面をドレッシングすることが好ましい（請求項１０）。
このように、前記切断テーブルを前記ブレードの側面に対して垂直方向に相対的に移動させ、前記ブレードの側面を前記インゴットの切断時に形成された前記インゴット支え部材の溝の内面に当接させることによって、前記ブレードの側面をドレッシングすれば、インゴット支え部材の１つの溝で複数回ブレードの側面をドレッシングし、ブレードの刃先振れも調整することができ、コスト面で有利である。また、１つの溝におけるブレードの側面のドレッシングも自動化することができ、ドレッシングの精度をより安定して行うことができる。

またこのとき、前記インゴットの切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除することが好ましい（請求項１１）。
このように、前記インゴットの切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除すれば、ブレードのドレッシング精度のバラツキをより効果的に向上することができる。

またこのとき、支え部材上昇機構により前記インゴット支え部材を下方から上昇させて前記インゴットに密着させてインゴットを切断するができる（請求項１２）。
このように、支え部材上昇機構により前記インゴット支え部材を下方から上昇させて前記インゴットに密着させてインゴットを切断すれば、インゴット支え部材が切断時の支点となり、切断テーブルの隙間部分の段差による影響を抑えてインゴットの切り終わり部分に欠けが発生するのを防止する効果をより確実に奏することができる。

本発明では、インゴット切断装置において、少なくとも、インゴットをブレードで切断する位置にてインゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、インゴットの切断時にインゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うので、インゴット支え部材が切断時の支点となり、切断テーブルの隙間部分の段差による影響を抑えてインゴットの切り終わり部分に欠けが発生するのを防止しつつ、インゴットの切り終わり後に自動的にブレードの砥粒部全体のドレッシングを行うことができる。これにより、ドレッシング精度のバラツキを低減して切断するインゴットの品質を安定して保つことができる。また、ドレッシング時間を大幅に低減することができ生産性を向上することができる。

以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
従来、いわゆるハンドドレッシングと呼ばれる方法でブレードのドレッシングが行われている。この方法では作業者が経験に基づいて押し当て力と角度を調整しながらドレッシング部材をブレードに押し当てることによって行われる。しかしながら、作業者個人のスキルに大きく依存するため、ドレッシング精度にバラツキが発生し、安定した品質のウェーハを切断することができなかった。また、作業者によるドレッシングを行うことにより工程時間が増加してしまい生産性が低下してしまうという問題もあった。また、ブレード付近での作業となるため安全面での問題もあった。

そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、ドレッシング材をインゴットの切り終わり部分の下方に配置し、インゴットの切断時にそのドレッシング材の上部を切断して溝を形成しブレードのドレッシングを行えば、ドレッシングを自動化することができ、ドレッシングのバラツキ及び工程時間を低減することができることに想到した。そして、これらを実施するための最良の形態について精査し、本発明を完成させた。

図１に本発明で使用することができるインゴット切断装置の一例の概略図を示す。
図１に示すように、インゴット切断装置１のブレードはバンドソーとなっている。
インゴット切断装置１には切断時にインゴット４を載置するための切断テーブル５が設置されている。切断テーブル５は切断テーブル５ａと切断テーブル５ｂから構成されている。

また、インゴット切断装置１は、薄いブレード台金の端部にダイヤモンドの砥粒を糊着してなるブレード砥粒部１２で構成されるエンドレスベルト状のブレード（バンドソー）２がプーリー３、３’間に張設されている。
そして、切断テーブル５ａと切断テーブル５ｂの間にインゴットを切断するためのブレード２が切断テーブル５に接触しないようにするための隙間６を有している。

図２は切断テーブル５にインゴット４が載置された様子を示す概略側面図である。
図２に示すように、切断テーブル５にインゴット４が水平に載置される。また、インゴット４の下方で切断テーブル５の隙間６の位置にドレッシング材から成るインゴット支え部材７が設置されている。このインゴット支え部材７はインゴット４をブレード２で切断する位置にてインゴット４の切り終わり部分を下方から支持するようになっている。ここで、インゴット支え部材７の材質を、アルミナ系及びＳｉＣ系とすることができる。

図３はインゴット４の切断時において、ブレード２がインゴット４を切断する様子を示した概略説明図である。
図３に示すように、ブレード２を切断テーブル５の隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによってインゴット４を切断していく。その際、インゴット支え部材７によって切り終わり部分を下方から支持するようになっている。

このように、このインゴット支え部材７でインゴット４をブレード２で切断する位置にてインゴット４の切り終わり部分を下方から支持して切断すれば、インゴット支え部材７が切断時の支点となり、切断テーブル５の隙間部分の段差による影響を抑えてインゴット４の切り終わり部分に欠けが発生するのを防止することができる。

そして、ブレード２がインゴット４を切断した後、さらにブレード２を相対的に下方に送り、インゴット支え部材７の上部を切断して溝１１を形成する。この際、ブレード砥粒部１２の先端、及び両側面のドレッシングが自動的に行われる。

このようにしてインゴット切断時にブレード２のドレッシングを自動で行えば、ドレッシング精度のバラツキを低減して切断するインゴット４の品質を安定して保つことができる。また、ドレッシング時間を大幅に低減することができ生産性を向上することができるとともに、インゴット切断装置自体のコストを増加することなくドレッシングを行うことができるものとすることができる。さらに安全面に関しても改善することができる。

このとき、図４に示すように、インゴット支え部材７のインゴット４との接触面の形状が、該インゴット４の接触面の形状に沿った形状であることが好ましい。
このように、インゴット支え部材７のインゴット４との接触面の形状が、該インゴット４の接触面の形状に沿った形状であれば、切断終了時にインゴット４の切断端部に欠けが発生することをより抑制することができるとともに、ブレード２のドレッシングをより精度良く行うことができ、インゴット４の切断精度をより向上することができる。

またこのとき、図５（Ａ）に示すように切断テーブル５を移動させるとインゴット支え部材７もそれに同期して移動する構造とし、切断テーブル５をブレード２の側面に対して垂直方向に相対的に移動させるような移動機構（不図示）を設け、図５（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように、ブレード２の砥粒部１２の側面をインゴット４の切断時に形成されたインゴット支え部材７の溝１１の内面に当接させることによってドレッシングすることもできる。

このように、図５（Ａ）に示すように切断テーブル５を移動させるとインゴット支え部材７もそれに同期して移動する構造とし、切断テーブル５をブレード２の側面に対して垂直方向に相対的に移動させて、ブレード２の側面をインゴット４の切断時に形成されたインゴット支え部材７の溝１１の内面に当接させることによってドレッシングすれば、切断によってインゴット支え部材７に形成された１つの溝１１で複数回に亘ってドレッシングできコスト面で有利である。また、ブレード２の刃先振れも調整することができバンドソー切断時の直進安定性を向上することができる。

この際、ＮＣプログラムにより予め設定した移動量だけ切断テーブル５もしくはブレード２を移動させるようにすることで、ブレード２の側面のドレッシングを自動化することもでき、ドレッシングの精度をより安定して行うことができる。
さらにこのとき、図５（Ａ）に示すように、ブレード２の変位量を過電流センサー１３により測定し、その測定した変位量に従って切断テーブル５とブレード２との相対的に移動させる量を決定しても良い。

またこのとき、図３に示すように、インゴット４の切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除するエアーノズル１４を具備することが好ましい。
このように、インゴット４の切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除するエアーノズル１４を具備するものであれば、ブレード２のドレッシング精度のバラツキをより効果的に向上することができる。

またこのとき、図４、６に示すように、インゴット支え部材７を下方から上昇させてインゴット４に密着させるための支え部材上昇機構８を具備するものであることができる。
ここで、図６に示すように、支え部材上昇機構８を移動部９と固定部１０で構成し、バネあるいは油圧等により移動部９を上方に移動させることによりインゴット支え部材７を上昇させるものとすることもできる。

このように、インゴット支え部材７を下方から上昇させてインゴット４に密着させるための支え部材上昇機構８を具備するものであれば、インゴット支え部材７が切断時の支点となり、切断テーブル５の隙間部分の段差による影響を抑えてインゴット４の切り終わり部分に欠けが発生するのを防止する効果をより確実に奏することができる。

次に、本発明に係るインゴットの切断方法について説明する。
ここでは、図１に示すような本発明に係るインゴット切断装置を用いた場合について説明する。

まず、図２に示すように、ブロックに切断するインゴット４が切断テーブル５に水平に載置される。そして、インゴット４の切断する位置を切断テーブル５の隙間６に合わせるようにインゴット４の載置位置を調整する。この際、ドレッシング材から成るインゴット支え部材７でインゴット４をブレード２で切断する位置にてインゴット４の切り終わり部分を下方から支持するようにする。

その後、ブレード２はプーリー３、３’の回転により周回駆動され、該ブレード２を切断テーブル５の隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによってインゴット４を切断する。この場合、ブレード２を上から下に送り出しても良いし、インゴット４を下から上に送り出すようにしても良い。もちろん両方を行うようにしても良い。

このように、本発明のインゴットの切断方法では、インゴット４をブレード２で切断する位置にてインゴット４の切り終わり部分をドレッシング材から成るインゴット支え部材７により下方から支持するので、少なくとも、インゴット支え部材７が切断時の支点となり、たとえ切断テーブル５の隙間部分に段差がある程度あったとしても、その影響を抑えることができ、インゴット４の切り終わり部分に欠けが発生するのを防止できる。

そして、図３に示すように、ブレード２がインゴット４を切断した後、さらにブレード２を相対的に下方に送り、インゴット支え部材７の上部を切断して溝１１を形成し、ブレード砥粒部の先端、両側面のドレッシングを自動的に行う。
このようにしてインゴット切断時にブレード２のドレッシングを自動で行えば、ドレッシング精度のバラツキを低減して切断するインゴット４の品質を安定して保つことができる。また、ドレッシング時間を大幅に低減することができ生産性を向上することができる。さらに安全面に関しても改善することができる。

本発明のインゴットの切断方法では、図１に例示するようなバンドソーによる切断とすることができる。
このように、インゴットの切断がバンドソーによる切断であれば、本発明を適用して、近年の大口径のシリコンインゴットを安定した品質で切断することができる。

またこのとき、図４に示すように、インゴット支え部材７として、インゴット支え部材７のインゴット４との接触面の形状が、インゴット４の接触面の形状に沿った形状であるものを用いることが好ましい。
このように、インゴット支え部材７として、インゴット支え部材７のインゴット４との接触面の形状が、インゴット４の接触面の形状に沿った形状であるものを用いれば、ブレード２のドレッシングをより精度良く行うことができ、インゴット４の切断精度を向上することができる。

このようにして、インゴット４をブロックに切断し、切断後のブロックを切断テーブル５から搬出する。そして、次に切断するインゴットを切断テーブル５に載置してインゴットを移動させることによって切断位置を調整し、上記のようにしてインゴット支え部材７に溝１１を形成した際と同一の切断位置でインゴット４を切断する。さらに、インゴット４からサンプルを採取する場合、あるいは、インゴット４の残り部分をブロックに分割する場合には、切断位置を切断テーブル５の隙間６に合わせるように再度インゴット４の位置を調整し、前記の手順でインゴット４を切断する。

この切断の際、インゴット４の切断位置に対するインゴット支え部材７の上部の位置を毎回少しづつずらして切断することにより溝１１を新たに形成してドレッシングしても良いが、同一のインゴット支え部材７の溝１１でブレード２のドレッシングを複数回行うこともできる。すなわち、インゴット４を切断した後、さらにブレード２を相対的に下方に送ってインゴット支え部材７の溝１１にブレード２の砥粒部１２が入り込み、ブレード砥粒部１２の中央に対してはブレード２を更に下方に送ることによってドレッシングし、図５（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように、ブレード砥粒部１２の左右側面に対しては、切断テーブル５をブレード２の側面に対して垂直方向に相対的に移動させ、ブレード砥粒部１２の側面をインゴット支え部材７の溝１１の内面に当接させることによってドレッシングすることができる。

このように、切断テーブル５をブレード２の側面に対して垂直方向に相対的に移動させ、ブレード砥粒部１２の側面をインゴット４の切断時に形成されたインゴット支え部材７の溝１１の内面に当接させることによってドレッシングすれば、インゴット支え部材７の１つの溝１１で複数回に亘ってドレッシングできコスト面で有利であるとともに、ブレード２の刃先振れも調整することができブレード２の切断時の直進安定性を向上させることができる。また、１つの溝におけるブレード２の側面のドレッシングも例えばＮＣプログラムにより予め設定した移動量だけ切断テーブル５もしくはブレード２を移動させることによって自動化することができ、ドレッシングの精度をより安定して行うことができる。

このときの切断テーブル５とブレード２の相対的な移動量は、特に限定されることはないが、例えば１０μｍ〜１５０μｍとすることができる。
このようにして、インゴット４を繰返し切断していくことによって、次第にインゴット支え部材７の溝１１は大きくなってくるが、１つの溝１１に対して行うことができるドレッシング回数の上限を予め設定し、溝１１を形成する位置を変えたり、インゴット支え部材７を定期的に交換すれば良い。ここで、例えば切断テーブル５とブレード２の相対的な移動量の設定を１００μｍとした場合はドレッシング回数の上限を１０回とし、５０μｍとした場合は上限を２０回とすることができる。

またこのとき、図３に示すように、インゴット４の切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除することが好ましい。
このように、インゴット４の切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除すれば、ブレード２のドレッシング精度のバラツキをより効果的に向上することができる。

またこのとき、支え部材上昇機構８によりインゴット支え部材７を下方から上昇させてインゴット４に密着させてインゴット４を切断するができる。
このように、支え部材上昇機構８によりインゴット支え部材７を下方から上昇させてインゴット４に密着させてインゴット４を切断すれば、インゴット支え部材７が切断時の支点となり、切断テーブル５の隙間部分の段差による影響を抑えてインゴット４の切り終わり部分に欠けが発生するのを防止する効果をより確実に奏することができる。

以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

（実施例１）
図１に示すような本発明のインゴット切断装置を用いて、本発明のインゴットの切断方法でインゴットをブロックに切断してブレードのドレッシングを行い、そのブロックから複数のウェーハサンプルを切断してウェーハの切断精度を評価した。
ブロック切断時のブレードのドレッシングはインゴット支え部材の上部を切断することによって行った。また、ウェーハサンプルの切断時には、インゴットを切断テーブルに載置する位置を変更して切断位置を調整し、切断テーブルとブレードの相対位置を同一とした。

そして、ウェーハサンプルの切断を繰返し、切断後のブレードの変位量を渦電流センサーで測定し、その変位量が１００μｍ以上となったときに切断したウェーハの切断精度を評価した。ウェーハの切断精度の評価方法は、切断したウェーハの切断面の切り始めから切り終わりまでをピックゲージにより測定することにより行った。
その結果、ピックゲージの測定の最大値は５０μｍであり後述する比較例１の結果である１００μｍに比べ改善されていることが確認できた。

このように、本発明に係るインゴット切断装置及び切断方法は、ドレッシング精度を向上することができることが確認できた。

（実施例２）
図１に示すような本発明のインゴット切断装置を用いて、本発明のインゴットの切断方法でインゴットのブロック切断を繰り返し行い、渦電流センサーによりブレードの変位量を測定した。インゴットのブロック切断は２５０回行った。

そして、測定したブレードの変位量が５０μｍ以上となったとき、次の切断時において、ブレードの砥粒部がインゴット支え部材の溝に入り込んだ後、切断テーブルをブレードの変位と逆方向に５０μｍ移動させてインゴット支え部材の溝の内面にブレードの側面を当接させることによりドレッシングを行い、かつ刃先振れをなくすように調整した。

図８に切断回数に対するブレードの変位量の結果を示す。図８に示すように、後述する比較例２の結果と比べ、各切断によるブレードの変位量のバラツキが低減されていることがわかる。また、ドレッシングを行った回数は２５回であり、比較例の５０回と比較して少ない回数となっている。本発明ではドレッシングはインゴットの切断の延長で行うので、工程時間の増加をほとんど考慮しなくて良い。一方、比較例２では１７時間のドレッシングの工程時間がかかっている。

このように、本発明に係るインゴット切断装置及び切断方法は、ドレッシング時間を大幅に低減することができ生産性を向上することができることが確認できた。また、ブレードの変位量のバラツキが低減して、すなわち、ドレッシング精度のバラツキを低減して切断するインゴットの品質を安定して保つことができることが確認できた。

（比較例１）
図７に示すような従来のバンドソーを用い、作業者によるハンドドレッシング方法を用いた以外、実施例１と同様な条件で複数のウェーハサンプルを切断してウェーハの切断精度を評価した。
その結果、ピックゲージの測定の最大値は１００μｍであり、実施例１の結果と比較してドレッシング精度が悪化していることが確認できた。

（比較例２）
図７に示すような従来のバンドソーを用いて、作業者によるハンドドレッシング方法を用いた以外、実施例２と同様な条件でブロック切断を繰り返し２５０回行い、ブレードの変位量を測定した。

図８に切断回数に対するブレードの変位量の結果を示す。図８に示すように、実施例２の結果と比べ、各切断によるブレードの変位量のバラツキが大きくなっていることがわかる。また、ドレッシングを行った回数は５０回であり、実施例２の２５回と比較して多い回数となっている。また、１回あたりのハンドドレッシングの工程時間は２０分であり、５０回のドレッシングで１７時間の工程時間がかかっていた。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

本発明に係るインゴット切断装置の一例を示す概略図である。 切断テーブルにインゴットが載置された様子を示す概略側面図である。 インゴットの切断時において、ブレードがインゴットを切断する様子を示す概略説明図である。 インゴットとインゴット支え部材の接触面の形状を示す概略図である。 インゴット支え部材の溝の内面でブレードの側面がドレッシングされる様子を示す概略説明図である。（Ａ）切断テーブルが左右に移動し、インゴット支え部材の溝の内面でブレードの側面がドレッシングされる様子。（Ｂ）切断テーブルが右に移動し、インゴット支え部材の溝の内面でブレードの左側面がドレッシングされる様子。（Ｃ）切断テーブルが左に移動し、インゴット支え部材の溝の内面でブレードの右側面がドレッシングされる様子。 本発明に係るインゴット切断装置の支え部材上昇機構の一例を示した概略図である。 従来のインゴット切断装置の一例を示す概略図である。 実施例２、比較例２の結果を示す図である。

符号の説明

１…インゴット切断装置、２…ブレード、３、３’…プーリー、
４…インゴット、５、５ａ、５ｂ…切断テーブル、６…隙間、
７…インゴット支え部材、８…支え部材上昇機構、９…移動部、１０…固定部、
１１…溝、１２…ブレード砥粒部、１３…渦電流センサー、１４…エアーノズル。

Claims (12)

1. 切断テーブルにインゴットが水平に載置され、前記切断テーブルはインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を有し、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、前記インゴットの切断時に前記インゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うものであることを特徴とするインゴット切断装置。
2. 前記インゴット切断装置のブレードはバンドソーであることを特徴とする請求項１に記載のインゴット切断装置。
3. 前記インゴット支え部材の前記インゴットとの接触面の形状が、該インゴットの接触面の形状に沿った形状であるものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインゴット切断装置。
4. 前記切断テーブルを前記ブレードの側面に対して垂直方向に相対的に移動させて、前記ブレードの側面を前記インゴットの切断時に形成された前記インゴット支え部材の溝の内面に当接させることによって、前記ブレードの側面をドレッシングするものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のインゴット切断装置。
5. 前記インゴットの切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除するエアーノズルを具備するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のインゴット切断装置。
6. 前記インゴット支え部材を下方から上昇させて前記インゴットに密着させるための支え部材上昇機構を具備するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインゴット切断装置。
7. 切断テーブルにインゴットを水平に載置し、前記切断テーブルにインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を設け、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴットの切断方法であって、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分をドレッシング材から成るインゴット支え部材により下方から支持してインゴットを切断し、前記インゴット支え部材の上部を前記ブレードにより切断して溝を形成し前記ブレードをドレッシングすることを特徴とするインゴットの切断方法。
8. 前記インゴットの切断はバンドソーによる切断であることを特徴とする請求項７に記載のインゴットの切断方法。
9. 前記インゴット支え部材として、該インゴット支え部材の前記インゴットとの接触面の形状が、該インゴットの接触面の形状に沿った形状であるものを用いることを特徴とする請求項７または請求項８に記載のインゴットの切断方法。
10. 前記切断テーブルを前記ブレードの側面に対して垂直方向に相対的に移動させ、前記ブレードの側面を前記インゴットの切断時に形成された前記インゴット支え部材の溝の内面に当接させることによって、前記ブレードの側面をドレッシングすることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載のインゴットの切断方法。
11. 前記インゴットの切断時に発生する切断屑及びドレス屑にエアーを吹き付けることによって該屑を排除することを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれか１項に記載のインゴットの切断方法。
12. 支え部材上昇機構により前記インゴット支え部材を下方から上昇させて前記インゴットに密着させてインゴットを切断することを特徴とする請求項７乃至請求項１１のいずれか１項に記載のインゴットの切断方法。
    
    
    
    

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