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JP2010048602A - Printed board inspection device and printed board inspection method - Google Patents

Printed board inspection device and printed board inspection method Download PDF

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JP2010048602A
JP2010048602A JP2008211689A JP2008211689A JP2010048602A JP 2010048602 A JP2010048602 A JP 2010048602A JP 2008211689 A JP2008211689 A JP 2008211689A JP 2008211689 A JP2008211689 A JP 2008211689A JP 2010048602 A JP2010048602 A JP 2010048602A
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JP
Japan
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circuit board
printed circuit
hole
inspection
defect
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Pending
Application number
JP2008211689A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumitaka Koga
文隆 古賀
Masaru Nakatani
勝 中谷
Shinya Suzuki
真也 鈴木
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SHIRAI ELECTRONICS IND CO Ltd
SHIRAI ELECTRONICS INDUSTRIAL CO Ltd
Fukuoka Prefecture
Original Assignee
SHIRAI ELECTRONICS IND CO Ltd
SHIRAI ELECTRONICS INDUSTRIAL CO Ltd
Fukuoka Prefecture
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed board inspection device and printed board inspection method capable of accurately detecting flaws formed on an inner surface of a through hole. <P>SOLUTION: The printed board inspection device includes: a reflection part 23 disposed on a first face of a through hole 12a of a print board 12; a lighting means 31 for lighting the through hole 12a from a second face of the print board 12; an imaging device 32 for photographing the through hole 12a from the second face of the print board 12; and a defect inspection means 33 for inspecting a defect of the through hole 12 based on image information of the through hole 12a photographed by the imaging device 32. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、プリント基板に形成されたスルーホールの欠陥を検査するプリント基板検査装置及び検査方法に関する。   The present invention relates to a printed circuit board inspection apparatus and inspection method for inspecting defects in through holes formed in a printed circuit board.

この種のプリント基板検査装置としては、例えば、基板の貫通孔の形成方向に対して所定角度から前記貫通孔へ光を照射する照明手段と、前記照明手段の反対側に貫通孔の形成方向に対して所定角度で設置された撮像手段と、画像勝利手段とを備えた外観検査装置を用いてスルーホール等の貫通孔の外観検査を行なう外観検査装置と基板の外観検査方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   As this type of printed circuit board inspection apparatus, for example, illumination means for irradiating light to the through hole from a predetermined angle with respect to the formation direction of the through hole of the substrate, and in the formation direction of the through hole on the opposite side of the illumination means An external appearance inspection apparatus and an external appearance inspection method for a substrate have been proposed which perform an external appearance inspection of a through hole such as a through hole using an external appearance inspection apparatus provided with an imaging means and an image winning means installed at a predetermined angle. (For example, refer to Patent Document 1).

また、プリント基板載置手段と、プリント基板を所定速度検査位置を通過するように搬送する搬送手段と、検査位置に位置するプリント基板に形成されたスルーホール壁面を照射するライン状照射手段と、ライン状照射手段を介して照射されたスルーホールの壁面の像を撮像するようにライン状照射手段とはプリント基板を挟んで反対側に、スルーホールの中心軸方向に対して光軸が所定角度傾斜して配置されたライン状撮像手段を有し、ライン状照射手段から出射した光を拡散する拡散手段を、検査位置におけるライン状照射手段から出射した光のスルーホールの入射側近傍に配置したプリント基板のスルーホール壁面欠陥検査装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2007−177847号公報 特開2007−127486号公報
Also, a printed circuit board placing means, a conveying means for conveying the printed circuit board so as to pass through a predetermined speed inspection position, a line-shaped irradiation means for irradiating a through-hole wall surface formed on the printed circuit board located at the inspection position, The optical axis is at a predetermined angle with respect to the central axis direction of the through hole on the opposite side of the printed circuit board from the line irradiation unit so as to capture an image of the wall surface of the through hole irradiated through the line irradiation unit A diffusing means for diffusing the light emitted from the line irradiating means is arranged in the vicinity of the incident side of the through hole of the light emitted from the line irradiating means at the inspection position. A through hole wall surface defect inspection apparatus for a printed circuit board has been proposed (see, for example, Patent Document 2).
JP 2007-177847 A JP 2007-127486 A

上記特許文献1及び2に記載の従来例にあっては、ともに、プリント基板のスルーホールに対して下面側から所定角度で照明光を入射し、スルーホールを透過した反射光を撮像手段で撮像することにより、スルーホールの欠陥を検査するようにしているので、照明光の入射角を傾け、且つ撮像装置の光軸も照明光の入射角とは異なる角度に傾けることにより、照明光が直接撮像装置に入射されないようにして、照明光で照明されたスルーホール内壁を撮像装置で撮像して撮像データを得るようにしている。   In both of the conventional examples described in Patent Documents 1 and 2, illumination light is incident on the through hole of the printed circuit board from the lower surface side at a predetermined angle, and the reflected light transmitted through the through hole is imaged by the imaging means. In this way, since the through-hole defect is inspected, the illumination light is directly reflected by tilting the incident angle of the illumination light and tilting the optical axis of the imaging device to an angle different from the incident angle of the illumination light. The inner wall of the through hole illuminated with the illumination light is imaged by the imaging device so as not to enter the imaging device, thereby obtaining imaging data.

しかしながら、照明手段及び撮像手段をプリント基板を挟むように配置する場合には、スルーホールの直径が比較的大きい場合には、スルーホール壁面の画像を比較的鮮明に撮像することができるが、スルーホールの直径が小さくなるにつれてスルーホール壁面の鮮明な画像を得ることが困難となるという未解決の課題がある。しかも、スルーホールに形成された欠陥が、導通検査では正常と認識される程度の微細な欠陥が存在する所謂疑似断線状態である場合には、微細な欠陥を画像データから判別することは困難であるという未解決の課題がある。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、スルーホールの内壁面に形成された傷を正確に検出することができるプリント基板検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
However, when the illumination unit and the imaging unit are arranged so as to sandwich the printed circuit board, when the diameter of the through hole is relatively large, an image of the wall surface of the through hole can be captured relatively clearly. There is an unsolved problem that it becomes difficult to obtain a clear image of the wall surface of the through hole as the diameter of the hole decreases. In addition, when the defect formed in the through hole is in a so-called pseudo-disconnection state in which there is a fine defect that is recognized as normal in the continuity inspection, it is difficult to determine the fine defect from the image data. There is an unsolved problem of being.
Therefore, the present invention has been made paying attention to the unsolved problems of the above-described conventional example, and a printed circuit board inspection apparatus and inspection method capable of accurately detecting a flaw formed on the inner wall surface of a through hole. It is intended to provide.

本発明の請求項1に係るプリント基板検査装置は、プリント基板のスルーホールの一方の面側に配置した反射部と、前記プリント基板の他方の面側から前記スルーホールを照明する照明手段と、前記プリント基板の他方の面側から前記スルーホールを撮像する撮像装置と、該撮像装置で撮像した画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査する欠陥検査手段とを備えたことを特徴としている。   The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1 of the present invention is a reflection unit disposed on one surface side of a through hole of the printed circuit board, and an illumination unit that illuminates the through hole from the other surface side of the printed circuit board, An image pickup device for picking up an image of the through hole from the other surface side of the printed circuit board and a defect inspection means for inspecting a through hole defect based on image information picked up by the image pickup device are provided.

また、請求項2に係るプリント基板のスルーホール欠陥検査装置は、請求項1に係る発明において、前記撮像装置がライン型撮像装置で構成され、前記プリント基板と前記撮像装置とを相対移動させる相対移動手段を備えていることを特徴としている。
さらに、請求項3に係るプリント基板検査装置は、請求項1に係る発明において、前記撮像装置がエリア型撮像装置で構成されていることを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a through-hole defect inspection apparatus for a printed circuit board according to the first aspect, wherein the imaging device is a line-type imaging device and relatively moves the printed circuit board and the imaging device relative to each other. It is characterized by having a moving means.
Furthermore, a printed circuit board inspection apparatus according to a third aspect is characterized in that, in the invention according to the first aspect, the imaging device is constituted by an area-type imaging device.

さらにまた、請求項4に係るプリント基板検査装置は、請求項1乃至3の何れか1つに係る発明において、前記プリント基板のスルーホールの裏面側に反射部を密着させる密着保持手段を備えたことを特徴としている。
なおさらに、請求項5に係るプリント基板検査装置は、請求項4に係る発明において、前記反射部を多孔質シートで形成し、前記密着保持手段は、前記プリント基板を前記多孔質シートを介して吸着保持するプリント基板保持テーブルで構成されていることを特徴としている。
Furthermore, the printed circuit board inspection apparatus according to a fourth aspect of the present invention is the invention according to any one of the first to third aspects, further comprising a close-contact holding unit that closely attaches the reflection portion to the back surface side of the through hole of the printed circuit board. It is characterized by that.
Still further, the printed circuit board inspection apparatus according to claim 5 is the invention according to claim 4, wherein the reflection portion is formed of a porous sheet, and the close-contact holding means is configured to pass the printed circuit board through the porous sheet. It is characterized by comprising a printed circuit board holding table for sucking and holding.

また、請求項6に係るプリント基板検査装置は、請求項4に係る発明において、前記密着保持手段は、前記プリント基板を前記反射部を介して載置する載置テーブルと、前記プリント基板の表面側に載置する透明体と、該透明体を前記プリント基板及び反射部を介して前記載置テーブルに圧接する圧接手段とを備えていることを特徴としている。
さらに、請求項7に係るプリント基板検査装置は、請求項4に係る発明において、前記密着保持手段は、前記プリント基板を挟持しながら搬送する上下一対の搬送ローラを有する少なくとも2組の搬送手段を所定間隔を保って配置し、該2組の搬送手段間に前記プリント基板の裏面側に密接する反射部を配設した構成を有することを特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the printed circuit board inspection apparatus according to the fourth aspect, wherein the contact holding means includes a mounting table for mounting the printed circuit board through the reflecting portion, and a surface of the printed circuit board. A transparent body placed on the side, and pressure contact means for pressing the transparent body against the placement table via the printed circuit board and the reflection portion.
Furthermore, the printed circuit board inspection apparatus according to claim 7 is the invention according to claim 4, wherein the contact holding means includes at least two pairs of conveying means having a pair of upper and lower conveying rollers that convey the printed circuit board while sandwiching the printed circuit board. It is characterized by having a configuration in which a reflecting portion is disposed at a predetermined interval and in close contact with the back side of the printed circuit board between the two sets of conveying means.

さらにまた、請求項8に係るプリント基板検査装置は、請求項1乃至7の何れか1つに係る発明において、前記欠陥検査手段は、正規のスルーホールを形成した基準プリント基板のスルーホール画像と、前記撮像装置で撮像したスルーホール画像とを比較することにより、スルーホール欠陥を検査するように構成されていることを特徴としている。
なおさらに、請求項9に係るプリント基板検査装置は、請求項1乃至7の何れか1つに係る発明において、前記欠陥検査手段は、プリント基板に形成されている同形のスルーホール画像情報同士を比較することにより、スルーホール欠陥を検査するように構成されていることを特徴としている。
Furthermore, the printed circuit board inspection apparatus according to claim 8 is the invention according to any one of claims 1 to 7, wherein the defect inspection means includes a through-hole image of a reference printed circuit board in which regular through-holes are formed. The through-hole defect is inspected by comparing with a through-hole image captured by the imaging device.
Still further, in the printed circuit board inspection apparatus according to claim 9, in the invention according to any one of claims 1 to 7, the defect inspecting unit uses the same shape of the through-hole image information formed on the printed circuit board. It is characterized by being configured to inspect through-hole defects by comparison.

また、請求項10に係るプリント基板検査装置は、請求項1乃至9の何れか1つに係る発明において、前記撮像装置は欠陥選別度の高いカラー画像情報を出力するように構成されていることを特徴としている。
さらに、請求項11に係るプリント基板検査装置は、請求項1乃至9の何れか1つに係る発明において、前記撮像装置はグレースケール画像情報を出力するように構成されていることを特徴としている。
A printed circuit board inspection apparatus according to a tenth aspect is the invention according to any one of the first to ninth aspects, wherein the imaging apparatus is configured to output color image information with a high degree of defect selection. It is characterized by.
Furthermore, the printed circuit board inspection apparatus according to claim 11 is characterized in that, in the invention according to any one of claims 1 to 9, the imaging apparatus is configured to output grayscale image information. .

さらにまた、請求項12に係るプリント基板検査方法は、プリント基板のスルーホールの一方の面側に反射部を配置した状態で、前記プリント基板を他方の面側から照明手段で照明し、照明された前記スルーホールを前記プリント基板の他方の面側から撮像装置で撮像する撮像ステップと、撮像したスルーホール画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査する欠陥検査ステップとを備えたことを特徴としている。
なおさらに、請求項13に係るプリント基板検査方法は、請求項12に係る発明において、前記反射部は前記プリント基板のスルーホール裏面側に密着保持されていることを特徴としている。
Furthermore, the printed circuit board inspection method according to claim 12 is illuminated by illuminating the printed circuit board from the other surface side with an illuminating means in a state where the reflection portion is disposed on the one surface side of the through hole of the printed circuit board. In addition, the imaging apparatus includes an imaging step of imaging the through-hole with an imaging device from the other surface side of the printed circuit board, and a defect inspection step of inspecting a through-hole defect based on the captured through-hole image information. .
Still further, a printed circuit board inspection method according to a thirteenth aspect is characterized in that, in the invention according to the twelfth aspect, the reflection portion is held in close contact with the through hole back surface side of the printed circuit board.

また、請求項14に係るプリント基板検査方法は、請求項12又は13に係る発明において、前記撮像装置がライン型撮像装置で構成され、前記プリント基板と前記撮像装置とを相対移動手段で相対移動させながらスルーホールを撮像することを特徴としている。
さらに、請求項15に係るプリント基板検査方法は、請求項12又は13に係る発明において、前記撮像装置がエリア型撮像装置で構成されていることを特徴としている。
A printed circuit board inspection method according to a fourteenth aspect is the invention according to the twelfth or thirteenth aspect, wherein the imaging device is a line-type imaging device, and the printed circuit board and the imaging device are relatively moved by relative movement means. It is characterized by picking up images of through holes.
Furthermore, a printed circuit board inspection method according to a fifteenth aspect is characterized in that, in the invention according to the twelfth or thirteenth aspect, the imaging device is an area-type imaging device.

さらにまた、請求項16に係るプリント基板検査方法は、請求項12乃至15の何れか1つに係る発明において、前記欠陥検査ステップは、正規のスルーホールを形成した基準プリント基板のスルーホール画像と、前記撮像装置で撮像したスルーホール画像とを比較することにより、スルーホール欠陥を検査することを特徴としている。
なおさらに、請求項17に係るプリント基板検査方法は、請求項12乃至16の何れか1つに係る発明において、前記欠陥検査ステップは、プリント基板に形成されている同形のスルーホール画像情報同士を比較することにより、スルーホール欠陥を検査することを特徴としている。
Furthermore, the printed circuit board inspection method according to claim 16 is the invention according to any one of claims 12 to 15, wherein the defect inspection step includes a through-hole image of a reference printed circuit board in which regular through-holes are formed. A through-hole defect is inspected by comparing with a through-hole image captured by the imaging device.
Still further, in the printed circuit board inspection method according to claim 17, in the invention according to any one of claims 12 to 16, the defect inspection step uses the same through-hole image information formed on the printed circuit board. The comparison is characterized by inspecting through-hole defects.

本発明によれば、検査対象となるプリント基板の一方の面側に反射部を配置し、他方の面側にスルーホールを照明する照明手段及び照明されたスルーホールを撮像する撮像装置を配置し、撮像装置で撮像したスルーホールの画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査するので、直接スルーホール欠陥の画像を撮像することなく、スルーホール画像の輝度情報からスルーホール欠陥を正確に検出することができるという効果が得られる。
しかも、単に撮像装置で撮像したスルーホールの画像情報に基づいてスルーホール欠陥の有無を検査するだけでよく、スルーホール欠陥を一々精査する必要がないので、スルーホール欠陥検査を短時間で行なうことができる。
ここで、撮像装置としては、ライン型撮像装置及びエリア型撮像装置の何れでも適用可能であるとともに、画像情報としてはカラー画像情報及び多階調のグレースケール画像情報の何れでも適用可能である。
According to the present invention, the reflecting part is arranged on one surface side of the printed circuit board to be inspected, and the illuminating means for illuminating the through hole and the imaging device for imaging the illuminated through hole are arranged on the other surface side. Because the through-hole defect is inspected based on the image information of the through-hole imaged by the imaging device, the through-hole defect can be accurately detected from the luminance information of the through-hole image without directly capturing the image of the through-hole defect. The effect that can be done.
Moreover, since it is only necessary to inspect the presence or absence of through-hole defects based on the image information of the through-holes imaged by the imaging device, it is not necessary to examine through-hole defects one by one. Can do.
Here, as the image pickup apparatus, any of a line type image pickup apparatus and an area type image pickup apparatus can be applied, and as the image information, any of color image information and multi-gradation gray scale image information can be applied.

以下、本発明の実態の形態について図面に基づいて説明する。
図1は本発明の第1の実施形態に係るプリント基板検査装置を示す外観斜視図である。この図1において、プリント基板検査装置10は、ケース体11の上下方向の中間位置に、プリント基板12を載置して、前後に水平状態で摺動自在な載置テーブル13を有する。また、プリント基板検査装置10は載置テーブル13の上部側の前面板14に設けられた支持アーム15を有し、この支持アーム15の先端に例えば液晶ディスプレイで構成される表示装置16が支持されている。さらに、プリント基板検査装置10は載置テーブル13の下側にプリント基板の形状データ等を入力するための入力装置17が配設されている。
Hereinafter, the actual form of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an external perspective view showing a printed circuit board inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, a printed circuit board inspection apparatus 10 has a mounting table 13 on which a printed circuit board 12 is mounted at an intermediate position in the vertical direction of a case body 11 and is slidable in a horizontal state back and forth. Further, the printed circuit board inspection apparatus 10 has a support arm 15 provided on the front plate 14 on the upper side of the mounting table 13, and a display device 16 configured by, for example, a liquid crystal display is supported at the tip of the support arm 15. ing. Further, the printed circuit board inspection apparatus 10 is provided with an input device 17 for inputting printed circuit board shape data and the like below the mounting table 13.

載置テーブル13は、図2に示すように、上面におけるプリント基板載置領域に断面V字状の吸着溝21が所定間隔を保って複数形成されているとともに、各吸着溝21の底部に所定間隔を保って真空吸着源に接続された吸着孔22が開口されている。さらに載置テーブル13のプリント基板12のプリント基板載置面13aには、反射部としての白色の多孔質シート23が設置され、この多孔質シート23を介してプリント基板12を吸着保持することにより、プリント基板12の反りを矯正するとともに、プリント基板12の一方の面例えば裏面12aに多孔質シート23を密着させる。ここで、吸着溝21の幅は吸着時に多孔質シート23がプリント基板12の底面から離間しない程度の幅及び長さに選定されている。   As shown in FIG. 2, the mounting table 13 includes a plurality of suction grooves 21 having a V-shaped cross section formed at predetermined intervals in the printed circuit board mounting region on the upper surface, and a predetermined amount at the bottom of each suction groove 21. A suction hole 22 connected to the vacuum suction source is opened at an interval. Further, a white porous sheet 23 as a reflecting portion is installed on the printed circuit board placement surface 13 a of the printed circuit board 12 of the placement table 13, and the printed circuit board 12 is sucked and held through the porous sheet 23. The warp of the printed circuit board 12 is corrected, and the porous sheet 23 is brought into close contact with one surface of the printed circuit board 12, for example, the back surface 12a. Here, the width of the suction groove 21 is selected so that the porous sheet 23 is not separated from the bottom surface of the printed circuit board 12 during suction.

そして、載置テーブル13は、図示しない摺動機構によって、図1に示すケース体11の開口部11aによってプリント基板載置面13aを外部に露出しているプリント基板脱着位置とこのプリント基板脱着位置より後方側におけるケース体11内の検査位置との間で摺動可能とされている。
ケース体11内の検査位置には、図2に示すように、載置テーブル13に載置されたプリント基板12の他方の面側すなわち表面側に対向して、載置テーブル13の移動方向に対して直交する垂直面VFに対して反時計方向に所定角度だけ傾斜されたプリント基板12のスルーホール12aに対して斜めに照射光を照射する照度手段としてのライン照明装置31が配設されている。そして、このライン照明装置31に対して垂直面VFを挟んで対向するようにライン照明装置31によって照明されたプリント基板12のスルーホール12aを撮像するライン型カラー撮像装置32が配設されている。
Then, the mounting table 13 is moved by a sliding mechanism (not shown), and the printed board mounting position where the printed board mounting surface 13a is exposed to the outside through the opening 11a of the case body 11 shown in FIG. It is possible to slide between the inspection position in the case body 11 on the rear side.
As shown in FIG. 2, the inspection position in the case body 11 faces the other surface side, that is, the front surface side of the printed circuit board 12 placed on the placement table 13, and moves in the moving direction of the placement table 13. A line illuminating device 31 is provided as illuminance means for irradiating irradiation light obliquely to the through hole 12a of the printed circuit board 12 inclined by a predetermined angle in the counterclockwise direction with respect to the vertical plane VF orthogonal thereto. Yes. A line type color imaging device 32 that images the through hole 12a of the printed circuit board 12 illuminated by the line illumination device 31 is disposed so as to face the line illumination device 31 with the vertical plane VF interposed therebetween. .

そして、ライン型カラー撮像装置32で撮像されたプリント基板12の画像データが図3に示すように画像処理装置33に入力される。この画像処理装置33には、図3に示すように、ライン型カラー撮像装置32の他に、照明装置31、基準画像データメモリ34、外部記憶装置35、載置テーブル往復駆動機構37、表示装置16及び入力装置17が接続されている。   Then, the image data of the printed circuit board 12 captured by the line type color imaging device 32 is input to the image processing device 33 as shown in FIG. As shown in FIG. 3, in addition to the line-type color imaging device 32, the image processing device 33 includes an illumination device 31, a reference image data memory 34, an external storage device 35, a mounting table reciprocating drive mechanism 37, and a display device. 16 and the input device 17 are connected.

基準画像データメモリ34は、基準画像となる良品のプリント基板12の表面をライン型カラー撮像装置32で撮像し、この撮像により得られる基準カラー画像情報の赤色(R)成分の検査対象となるスルーホールの中央位置での濃度値を記憶するメモリである。
外部記憶装置35は、ハードディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、フラッシュメモリ等で構成され、後述するように画像データを大量に記憶可能に構成されている。
The reference image data memory 34 captures the surface of the non-defective printed circuit board 12 to be a reference image with the line-type color image pickup device 32, and is a through target to be inspected for the red (R) component of the reference color image information obtained by this imaging. It is a memory that stores density values at the center of the hole.
The external storage device 35 includes a hard disk, a flexible disk, an optical disk, a flash memory, and the like, and can store a large amount of image data as will be described later.

載置テーブル往復駆動機構37は、載置テーブル13をプリント基板12がプリント基板着脱位置から検査位置に向かう往路については比較的低速で定速移動制御し、検査位置からプリント基板着脱位置に向かう復路については比較的高速で移動制御する。
そして、画像処理装置33では、載置テーブル13によって搬送されるプリント基板12を撮像したライン型カラー撮像装置32で撮像したカラー画像情報に基づいて外部記憶装置35に格納された画像処理プログラムに従ってプリント基板12に形成されたスルーホール12aの欠陥を検査する。
The mounting table reciprocating drive mechanism 37 controls the movement of the mounting table 13 at a constant speed at a relatively low speed on the forward path from the printed circuit board attachment / detachment position to the inspection position, and the return path from the inspection position to the printed circuit board attachment / detachment position. Is controlled at a relatively high speed.
In the image processing device 33, printing is performed according to the image processing program stored in the external storage device 35 based on the color image information captured by the line-type color imaging device 32 that images the printed circuit board 12 conveyed by the mounting table 13. A defect in the through hole 12a formed in the substrate 12 is inspected.

このスルーホール12aの欠陥検出は、上述したように、プリント基板12の一方の面に反射部としての白色の多孔質シート23を密着させた状態で、プリント基板12の他方の面に照明装置31及び撮像装置32を配置して、スルーホール12aをライン型カラー撮像装置32で撮像することにより、このライン型カラー撮像装置32から出力される画像データからスルーホール12aの欠陥の有無を正確に判断することが可能となる。   As described above, the detection of the defect of the through hole 12a is performed with the illumination device 31 on the other surface of the printed circuit board 12 in a state where the white porous sheet 23 as the reflection portion is in close contact with the one surface of the printed circuit board 12. In addition, by arranging the imaging device 32 and imaging the through-hole 12a with the line-type color imaging device 32, the presence or absence of a defect in the through-hole 12a is accurately determined from the image data output from the line-type color imaging device 32. It becomes possible to do.

本発明者等は、種々の実験を行なった結果、プリント基板12の一方の面に白色シート等の反射部を密着させ、このプリント基板12の他方の面側からスルーホール12aを照明装置31で照明するとともに、照明されたスルーホール12aをプリント基板12の他方の面側に配置した撮像装置32で撮像し、その撮像データから欠陥の有無を正確に識別することができることを知見した。   As a result of various experiments, the present inventors brought a reflective portion such as a white sheet into close contact with one surface of the printed circuit board 12, and the through-hole 12 a was connected to the other surface side of the printed circuit board 12 with the illumination device 31. It was discovered that the illuminated through hole 12a was imaged by the imaging device 32 disposed on the other surface side of the printed circuit board 12, and the presence or absence of a defect could be accurately identified from the imaging data.

すなわち、正常なスルーホール12aを有する図4に示すような厚さ1.1mmのプリント基板12を用意し、このプリント基板12の正常な例えば直径0.5mmの150個のスルーホール12aのうち図3で拡大して示す例えば左下部におけるNo.83、No.84、No.95及びNo.120で表されるスルーホール12aの内壁面に、それぞれフェムト秒レーザにより、図4で拡大図示するように、内壁の異なる位置に傷を付加し、残りの中央部のNo.100で表されるスルーホール12aについてはドリルによって穿孔してスルーホールのメッキ部を全て除去して試験用プリント基板を形成した。   That is, a printed circuit board 12 having a thickness of 1.1 mm as shown in FIG. 4 having normal through holes 12a is prepared. Of the 150 normal through holes 12a having a diameter of 0.5 mm, for example, FIG. For example, the No. 83, no. 84, no. 95 and No. As shown in the enlarged view in FIG. The through hole 12a represented by 100 was drilled with a drill, and all the plated portions of the through hole were removed to form a test printed board.

この試験用プリント基板を使用して、その一方の面例えば裏面側に白色シートを密着させ、他方の面例えば表面側を、図2に対応して照明装置及びライン型カラー撮像装置を備えたフラットヘッドスキャナを使用し、試験用プリント基板を図4に示すように横長状態として照明装置及びライン型カラー撮像装置を所定速度で移動させながら試験用プリント基板をライン型カラー撮像装置32で撮像した。このとき、150個のφ0.5mmの全てのスルーホールの中心位置(基板裏面にある反射シートが写っている位置)でのカラー画像情報を抽出し、抽出したカラー画像情報をRGB色空間上での各成分に分け、全てのスルーホール12aに対してプロットした結果を図5に示す。ここで、図5(a)は赤色(R)成分の濃度値を、図5(b)は緑色(G)成分の濃度値を、図5(c)は青色(B)成分の濃度値をそれぞれ表す。   Using this test printed circuit board, a white sheet is adhered to one side, for example, the back side, and the other side, for example, the front side is a flat having an illumination device and a line type color imaging device corresponding to FIG. Using the head scanner, the test printed circuit board was imaged by the line type color image pickup device 32 while moving the illumination device and the line type color image pickup device at a predetermined speed with the test printed circuit board in the horizontally long state as shown in FIG. At this time, color image information at the center position of all 150 through holes of φ0.5 mm (position where the reflection sheet on the back side of the substrate is shown) is extracted, and the extracted color image information is extracted on the RGB color space. FIG. 5 shows the result of the plotting for all the through holes 12a. 5A shows the density value of the red (R) component, FIG. 5B shows the density value of the green (G) component, and FIG. 5C shows the density value of the blue (B) component. Represent each.

この図5から明らかなように、スルーホール12aの内壁面に銅メッキが形成されていることからライン型カラー撮像装置で撮像したカラー画像情報のうち赤色(R)成分については図5(a)に示すように、内壁面に傷が存在しない正常なスルーホール12aについては「○」で示すように、赤色(R)成分の濃度値が90〜120の範囲内に収まっているのに対し、無い壁面に傷が存在するスルーホール12aであるNo.83、No.84、No.95及びNo.120については「●」で示すように、正常なスルーホール12aの赤色(R)成分の最低濃度値90より低い79〜62の範囲内に低下し、さらに内壁面にメッキが存在しないNo.100のスルーホール12aについては赤色R成分の濃度値がさらに低い10程度となった。この結果から、ライン型カラー撮像装置とは反対側に反射シートを配置した状態で、ライン型カラー撮像装置でプリント基板を撮像したカラー情報のうちスルーホール12aの中心位置における赤色(R)成分を抽出することにより、スルーホール12aの内壁面での傷の有無を正確に判別することができることが知見できた。   As is apparent from FIG. 5, since the copper plating is formed on the inner wall surface of the through hole 12a, the red (R) component in the color image information imaged by the line type color imaging device is shown in FIG. As shown in FIG. 4, the normal through hole 12a having no scratch on the inner wall surface has a red (R) component concentration value within the range of 90 to 120, as indicated by “◯”. No. which is a through hole 12a in which there is a scratch on a non-walled surface. 83, no. 84, no. 95 and No. No. 120, as indicated by “●”, falls within the range of 79 to 62 lower than the minimum concentration value 90 of the red (R) component of the normal through-hole 12a, and further, No. 120 having no plating on the inner wall surface. For 100 through holes 12a, the density value of the red R component was about 10 which was even lower. From this result, the red (R) component at the center position of the through hole 12a in the color information obtained by imaging the printed circuit board with the line type color imaging device in the state where the reflection sheet is arranged on the opposite side to the line type color imaging device. It was found that the presence or absence of scratches on the inner wall surface of the through hole 12a can be accurately determined by extracting.

因みに、ライン型カラー撮像装置から出力されるカラー画像情報のうち、青色(B)成分については、図5(b)に示すように、正常なスルーホール12aについて青色(B)成分の濃度値が35〜60の範囲となり、内壁面に傷が存在するNo.84のスルーホール12aの青色(B)成分の濃度値が36、No.95のスルーホール12aの青色(B)成分の濃度値が34、No.83及びNo.100のスルーホール12aの青色(B)成分の濃度値が29、No.120のスルーホール12aの青色(B)成分の濃度値が28となり、青色(B)成分の濃度値が35〜40の範囲で正常なスルーホール12aと内壁面に傷を有するスルーホール12aとの正確な判別が困難となっている。   Incidentally, among the color image information output from the line-type color imaging device, for the blue (B) component, as shown in FIG. 5B, the density value of the blue (B) component is normal for the normal through hole 12a. 35 to 60, and the inner wall surface has scratches. 84, the density value of the blue (B) component of the through hole 12a is 36, 95, the density value of the blue (B) component of the through hole 12a is 34, No. 95. 83 and no. 100, the density value of the blue (B) component of the through hole 12a is 29, no. The density value of the blue (B) component of 120 through holes 12a is 28, and the density value of the blue (B) component is in the range of 35 to 40, and the normal through hole 12a and the through hole 12a having scratches on the inner wall surface Accurate discrimination is difficult.

同様に、ライン型カラー撮像装置から出力されるカラー画像情報のうち、緑色(G)成分については、図5(c)に示すように、正常なスルーホール12aの緑色(G)成分の濃度値が27〜46の範囲内となり、これに対して内壁面に傷を有するNo.84のスルーホール12aにおける緑色(G)成分の濃度値が31、No.95のスルーホール12aの緑色(G)成分の濃度値が28、No.120のスルーホール12aの緑色(G)成分の濃度値が24、No.83及びNo.100のスルーホール12aにおける緑色(G)成分の濃度値が22となっている。この結果から、No.84及びNo.95のスルーホールについては正常なスルーホール12aとの明確な判別が困難となっている。   Similarly, among the color image information output from the line-type color imaging device, the green (G) component is the density value of the green (G) component of the normal through-hole 12a as shown in FIG. No. having a flaw on the inner wall surface. 84, the green (G) component density value in the through hole 12a is 31, 95, the density value of the green (G) component of the through hole 12a is 28, no. The density value of the green (G) component of the 120 through-holes 12a is 24, no. 83 and no. The density value of the green (G) component in 100 through holes 12a is 22. From this result, no. 84 and no. It is difficult to clearly distinguish 95 through holes from normal through holes 12a.

一方、前述した試験用プリント基板12を、図6(a)の横長状態から反時計方向に90度回転させた図6(b)に示す縦長状態、さらに反時計方向に90度回転させた図6(c)に示す横長状態及びさらに反時計方向に90度回転させた図6(d)に示す縦長状態のそれぞれについて、前述したと同様にプリント基板12の下面側に白色シートを密着させてフラットヘッドスキャナのライン型カラー撮像装置で撮像したカラー画像情報のうちのφ0.5mmのスルーホール12aの中心位置における赤色(R)成分の濃度値を測定した結果を図7(a)〜(d)に示す。このうち、図7(a)は前述した図4(a)と同様の図であり、他の図との比較のために再掲した。   On the other hand, the test printed circuit board 12 described above is a vertically long state shown in FIG. 6B rotated 90 degrees counterclockwise from the horizontally long state shown in FIG. 6A, and further rotated 90 degrees counterclockwise. In each of the horizontally long state shown in FIG. 6 (c) and the vertically long state shown in FIG. 6 (d) rotated 90 degrees counterclockwise, a white sheet is adhered to the lower surface side of the printed circuit board 12 in the same manner as described above. 7A to 7D show the results of measuring the density value of the red (R) component at the center position of the φ0.5 mm through hole 12a in the color image information captured by the line type color imaging device of the flat head scanner. ). Of these, FIG. 7 (a) is the same as FIG. 4 (a) described above, and is shown again for comparison with other figures.

この図7から明らかなように、図6(b)のように試験用プリント基板12を図6(a)の横長状態から反時計方向に90度回転させて縦長状態としたときに、図7(b)に示すように、正常なスルーホール12aの赤色(R)成分の濃度値と内壁面に傷を有するNo.84のスルーホール12aの赤色(R)成分の濃度値と一番接近しているが、両者の区別を容易にすることができ、その他の試験用プリント基板12の回転位置でも、図7(c)及び(d)に示すように、正常なスルーホール12aの赤色(R)成分の濃度値と、無い壁面に傷を有するスルーホール12aとの判別を容易に行なうことができる。特に、スルーホール12aの無い壁面にメッキが全く存在しない場合には、赤色(R)成分の濃度値が極端に“0”に近い小さな値となり、確実に欠陥の有無を判別することができる。   As is apparent from FIG. 7, when the test printed circuit board 12 is rotated 90 degrees counterclockwise from the horizontally long state of FIG. 6A to the vertically long state as shown in FIG. 6B, FIG. As shown in FIG. 5B, the density value of the red (R) component of the normal through hole 12a and the No. Although it is closest to the density value of the red (R) component of the 84 through-hole 12a, it can be easily distinguished from each other. ) And (d), it is possible to easily discriminate between the density value of the red (R) component of the normal through hole 12a and the through hole 12a having a flaw on the wall surface that is not present. In particular, when there is no plating on the wall surface without the through hole 12a, the density value of the red (R) component is a small value extremely close to “0”, and it is possible to reliably determine the presence or absence of a defect.

さらに、図7(c)及び(d)において、「▲」で表示されたNo.23のスルーホール12aについて精査したところ、スルーホール12aの内壁面に傷はないが、レジストが内壁面に付着していることが判明した。この場合には、スルーホール欠陥とはならないが、スルーホール12aの内壁面にレジストの付着によって、ライン型カラー撮像装置で撮像したカラー画像情報に含まれる赤色(R)成分の濃度値が正常なスルーホール12aの濃度値と正確に判別可能な程度に低下することが実証された。   Further, in FIGS. 7C and 7D, No. A thorough examination of the 23 through holes 12a revealed that the inner wall surface of the through hole 12a was not scratched, but the resist was adhered to the inner wall surface. In this case, the through-hole defect does not occur, but the density value of the red (R) component contained in the color image information captured by the line-type color imaging device is normal due to the adhesion of the resist to the inner wall surface of the through-hole 12a. It has been demonstrated that the concentration decreases to a level that can be accurately discriminated from the concentration value of the through hole 12a.

この結果、スルーホール12aの内壁面に傷や異物の付着がない場合には、プリント基板12の裏面側に密着された反射シートが存在することにより、プリント基板12の表面側に配置された照明装置からの照射光がスルーホール12a内で乱反射することによって、同じくプリント基板12の表面側に配置したライン型カラー撮像装置で撮像したときに、カラー画像情報の赤色(R)成分の濃度値が高くなる。一方、スルーホール12aの内壁面に傷があったり、光を吸収する異物が付着していたりした場合には、傷や異物によって照射光又は反射光の一部が吸収されて、ライン型カラー撮像装置から出力されるカラー画像情報の赤色(R)成分の濃度値が減少することになる。したがって、ライン型カラー撮像装置でプリント基板12のスルーホール12aを撮像したときのカラー画像情報に含まれる赤色(R)成分の濃度値によってスルーホール12aに傷や銅メッキ不良を正確に検出することができる。   As a result, when there is no scratch or foreign matter attached to the inner wall surface of the through-hole 12a, the illumination sheet disposed on the front surface side of the printed circuit board 12 is present due to the presence of the reflective sheet in close contact with the back surface side of the printed circuit board 12. When the light emitted from the apparatus is irregularly reflected in the through-hole 12a, the density value of the red (R) component of the color image information is obtained when the image is picked up by a line-type color image pickup apparatus that is also arranged on the surface side of the printed circuit board 12. Get higher. On the other hand, when the inner wall surface of the through hole 12a is scratched or a foreign matter that absorbs light is attached, a part of the irradiation light or reflected light is absorbed by the scratch or the foreign matter, and line type color imaging is performed. The density value of the red (R) component of the color image information output from the apparatus will decrease. Therefore, it is possible to accurately detect a flaw or a copper plating defect in the through-hole 12a based on the density value of the red (R) component included in the color image information when the through-hole 12a of the printed circuit board 12 is imaged by the line type color imaging device. Can do.

さらに、上述した試験用プリント基板12の表裏を逆にして、試験用プリント基板12の表面に反射シートを密着させ、図8に示す試験用プリント基板12の裏面をライン型カラー撮像装置で撮像したところ、カラー画像情報に含まれる赤色(R)成分の濃度値は、図9に示すように、前述した図5及び図7と同様に、内壁面が正常なスルーホール12aと内壁面に傷又は内壁面にメッキが存在しない場合とで明確な差異を生じることが判明し、さらにスルーホール12aの内周面にレジストが付着している場合でも正常なスルーホール12aと差別化できた。   Further, the above-described test printed circuit board 12 is turned upside down, and a reflection sheet is brought into close contact with the surface of the test print circuit board 12, and the back surface of the test print circuit board 12 shown in FIG. However, as shown in FIG. 9, the density value of the red (R) component included in the color image information is similar to the above-described FIG. 5 and FIG. It was found that there was a clear difference between the case where no plating was present on the inner wall surface, and even when the resist was attached to the inner peripheral surface of the through hole 12a, it was possible to differentiate from the normal through hole 12a.

さらにまた、上述した試験用プリント基板12の裏面側に反射シートを密着させ、表面側に照明装置及びデジタルカラーカメラを配置し、デジタルカラーカメラで試験用プリント基板12をその表面側から撮像した場合のカラー画像情報に含まれる赤色(R)成分の濃度値は、図10に示すように、前述したフラットヘッドスキャナのライン型カラー撮像装置で撮像した場合と同様に、正常なスルーホールと傷又はメッキ不良の不良スルーホールとを明確に判別することができた。   Furthermore, when a reflective sheet is closely attached to the back side of the test printed circuit board 12 described above, an illumination device and a digital color camera are arranged on the front side, and the test printed circuit board 12 is imaged from the front side with the digital color camera. As shown in FIG. 10, the density value of the red (R) component included in the color image information is the same as in the case of imaging with the above-described flat-type color imaging device of the flat head scanner. It was possible to clearly discriminate from defective through holes with poor plating.

一方、図11に示すように、厚み1.5mmで、直径0.25mmのスルーホール42及び直径1.3mmのスルーホール43を形成した全面銅メッキ状態の未完成基板を試験用基板41として用意し、この試験用基板41のスルーホール42についてはNo.27及びNo.42についてスルーホール内壁に傷を付け、No.65についてはメッキが存在しない状態とし、同様にスルーホール43についてもNo.4についてはスルーホール内壁に傷を付けており、その他は正常なスルーホールとした。   On the other hand, as shown in FIG. 11, an incomplete substrate in a copper plated state with a thickness of 1.5 mm and a through hole 42 having a diameter of 0.25 mm and a through hole 43 having a diameter of 1.3 mm is prepared as a test substrate 41. For the through hole 42 of the test substrate 41, no. 27 and no. No. 42 was scratched on the inner wall of the through hole. No. 65 is a state in which no plating is present, and the through hole 43 is also No. 65. For No. 4, the inner wall of the through hole was scratched, and the others were normal through holes.

この試験用基板41を前述したフラットヘッドスキャナのライン型カラー撮像装置で撮像し、撮像した試験用基板41の画像データのうち全てのスルーホール42の中心位置での色情報を抽出し、RGB色空間上での赤色(R)成分、緑色(G)成分及び青色(B)成分の濃度値を直径0.25mmの全てのスルーホール42についてプロットした結果を図12(a)、(b)及び(c)に示す。   The test substrate 41 is imaged by the above-described line type color imaging device of the flat head scanner, and color information at the center position of all the through holes 42 is extracted from the image data of the imaged test substrate 41 to obtain the RGB color. The results of plotting the density values of the red (R) component, the green (G) component, and the blue (B) component for all the through holes 42 having a diameter of 0.25 mm are shown in FIGS. Shown in (c).

この図12から明らかなように、直径0.25mmのスルーホール42についても、図12(a)に示す赤色(R)成分の濃度値では、スルーホール内壁面に傷がある「●」で示すスルーホール42のNo.27及びNo.42については「○」で示す正常なスルーホール42の濃度値に対して十分に小さい値となり、同様に「●」で示す内壁面に銅メッキが存在しないスルーホール42のNo.65については濃度値が極端に小さくなっており、直径0.25mmのスルーホール42については、内壁面の欠陥の有無を正確に判別することができることが実証された。   As is apparent from FIG. 12, the through hole 42 having a diameter of 0.25 mm is also indicated by “●” in which the inner wall surface of the through hole has a flaw in the concentration value of the red (R) component shown in FIG. Through hole 42 No. 27 and no. No. 42 is a value sufficiently smaller than the density value of the normal through hole 42 indicated by “◯”, and similarly, the No. of the through hole 42 in which no copper plating is present on the inner wall surface indicated by “●”. The density value of 65 was extremely small, and it was proved that the presence or absence of defects on the inner wall surface can be accurately determined for the through hole 42 having a diameter of 0.25 mm.

一方、緑色(G)成分については、図12(b)に示すように、内壁面に傷があるNo.27及びNo.42のスルーホール42については欠陥の有無の判別は困難であるが、内壁面に銅メッキが存在しないNo.65のスルーホール42については緑色(G)成分の濃度値が正常なスルーホール42の濃度値に比較して十分に小さく内壁面に銅メッキが存在するか否かの判別は十分に行なえることが実証された。   On the other hand, for the green (G) component, as shown in FIG. 27 and no. Although it is difficult to determine the presence or absence of defects in the through-hole 42 of No. 42, no. For the 65 through holes 42, the density value of the green (G) component is sufficiently smaller than the normal through hole 42, and it is possible to sufficiently determine whether or not copper plating exists on the inner wall surface. Has been demonstrated.

さらに、青色(B)成分については、図12(c)に示すように、内壁面に傷があるNo.27及びNo.42のスルーホール42及び内壁面に銅メッキが存在しないNo.65の濃度値と、正常なスルーホール42の濃度値との差別化が困難であり、スルーホール42の欠陥の有無を判定することは困難である。
この結果、全面銅メッキの未完成基板を試験用基板41とした場合には、直径0.25mmのスルーホール42については、ライン型カラー撮像装置32で撮像したカラー画像情報のうちの赤色(R)成分を抽出することにより、スルーホール41の内壁面の欠陥の有無を正確に検出することができる。
Furthermore, for the blue (B) component, as shown in FIG. 27 and no. No. 42 in which there is no copper plating on the through hole 42 and the inner wall surface. It is difficult to differentiate between the density value of 65 and the density value of the normal through hole 42, and it is difficult to determine the presence or absence of defects in the through hole 42.
As a result, when the unfinished board with the entire copper plating is used as the test board 41, the red color (R) of the color image information captured by the line-type color imaging device 32 is used for the through hole 42 having a diameter of 0.25 mm. ) By extracting the component, it is possible to accurately detect the presence or absence of a defect on the inner wall surface of the through hole 41.

また、試験用基板41の直径1.3mmのスルーホール43については、前述したフラットヘッドスキャナのライン型カラー撮像装置で撮像したカラー画像情報の各スルーホール43の中心位置におけるRGB空間上の赤色(R)成分、緑色(G)成分及び青色(B)成分の濃度値をプロットすると図13(a)、(b)及び(c)のようになり、赤色(R)成分、緑色(G)成分及び青色(B)成分のそれぞれにおいて、「○」で表す正常なスルーホール43と、「●」で表す内壁面に傷を有するNo.4のスルーホール43とで明らかな濃度値の差があり、スルーホール径が大きい場合には、赤色(R)成分、緑色(G)成分及び青色(B)成分の何れであっても、スルーホール43の欠陥の有無を正確に判別することができることが実証された。   The through hole 43 having a diameter of 1.3 mm on the test substrate 41 is red (in RGB space at the center position of each through hole 43 of the color image information captured by the above-described line type color imaging device of the flat head scanner. When the density values of the R, green (G), and blue (B) components are plotted, the results are as shown in FIGS. 13A, 13B, and 13C, and the red (R) component and the green (G) component. In each of the blue and blue (B) components, a normal through-hole 43 represented by “◯” and a no. When there is a clear difference in density value between the four through-holes 43 and the through-hole diameter is large, any of the red (R), green (G), and blue (B) components It was demonstrated that the presence or absence of defects in the hole 43 can be accurately determined.

このように、プリント基板12の一方の面に白色等の反射シートを照明装置からの照明光が外部に漏出しないように密着させた状態で、プリント基板12の他方の面側に照明装置及びライン型カラー撮像装置又はデジタルカメラのようなエリア型カラー撮像装置を配置して、照明装置で照明したスルーホールを撮像装置で撮像し、撮像したカラー画像情報に基づいてスルーホール12aの内壁面に傷が存在したりメッキの付着不良があったりする不良スルーホール12aを正確に検出することができる。特に、スルーホール12aの内周面の色に対応した色成分を抽出することにより、正確にスルーホール欠陥の有無を判別することができる。   As described above, the lighting device and the line are arranged on the other surface side of the printed circuit board 12 in a state in which a white or other reflective sheet is closely attached to one surface of the printed circuit board 12 so that the illumination light from the illumination device does not leak outside. An area type color image pickup device such as a color image pickup device or a digital camera is arranged, a through hole illuminated by an illumination device is picked up by the image pickup device, and an inner wall surface of the through hole 12a is scratched based on the picked up color image information It is possible to accurately detect the defective through hole 12a in which there is a defect or there is a defective plating adhesion. In particular, by extracting a color component corresponding to the color of the inner peripheral surface of the through hole 12a, it is possible to accurately determine the presence or absence of a through hole defect.

このため、本実施形態では、顕微鏡等を使用した目視により、正常なスルーホールを有する良品のプリント基板12におけるカラー画像情報の赤色(R)成分の濃度値と検査対象となるプリント基板12のカラー画像情報の赤色8(R)成分の濃度値とを比較することにより、濃度値の差異に基づいてスルーホールの欠陥検査を行なう。
このため、画像処理装置33では、先ず、例えば顕微鏡等を使用した目視検査により良品と判断したプリント基板を用意し、このプリント基板を載置テーブル13上に載置しておく。
For this reason, in this embodiment, the density value of the red (R) component of the color image information in the non-defective printed circuit board 12 having normal through holes and the color of the printed circuit board 12 to be inspected by visual observation using a microscope or the like. By comparing the density value of the red 8 (R) component of the image information, a through hole defect inspection is performed based on the difference in density value.
For this reason, the image processing apparatus 33 first prepares a printed circuit board that is determined to be non-defective by visual inspection using, for example, a microscope, and places the printed circuit board on the mounting table 13.

この状態で、照明装置31を点灯させた状態で、図14に示す基準データ収集処理を実行する。この基準データ収集処理は、先ず、ステップS1で、載置テーブル往復駆動機構37に対して、検査位置側に低速での定速移動指令を出力し、次いで、ステップS2に移行して、ライン型カラー撮像装置32に対して、プリント基板12のカラー撮像指令を出力する。   In this state, the reference data collection process shown in FIG. 14 is executed with the lighting device 31 turned on. In this reference data collection process, first, at step S1, a constant speed movement command at a low speed is output to the inspection table side to the mounting table reciprocating drive mechanism 37, and then the process proceeds to step S2 where the line type A color imaging command for the printed circuit board 12 is output to the color imaging device 32.

次いで、ステップS3に移行して、ライン型カラー撮像装置32から出力されるライン毎のカラー画像情報を順次読込み、次いでステップS4に移行して、プリント基板12が検査終了位置に達したか否かを判定し、プリント基板12が検査終了位置に達していない場合には、前記ステップS3に戻り、検査終了位置に達すると、ステップS5に移行して、ライン型カラー撮像装置32に対して撮像停止指令を出力する。   Next, the process proceeds to step S3, and the color image information for each line output from the line type color imaging device 32 is sequentially read, and then the process proceeds to step S4 to determine whether or not the printed circuit board 12 has reached the inspection end position. If the printed circuit board 12 has not reached the inspection end position, the process returns to step S3, and when the inspection end position is reached, the process proceeds to step S5 to stop imaging with respect to the line type color imaging device 32. Outputs a command.

次いで、ステップS6に移行して、ライン型カラー撮像装置32から読込んだカラー画像データについて検査対象となる同一径のスルーホール12aの中心位置に対応する例えば赤色(R)成分の濃度値を抽出し、抽出した濃度値を検査対象となるスルーホールに個別に割り当てた連続番号となる識別番号に対応させて基準画像データメモリ34に格納する。   Subsequently, the process proceeds to step S6, and the density value of, for example, the red (R) component corresponding to the center position of the through hole 12a having the same diameter to be inspected is extracted from the color image data read from the line type color imaging device 32. Then, the extracted density value is stored in the reference image data memory 34 in association with an identification number that is a serial number individually assigned to the through hole to be inspected.

次いで、ステップS7に移行して、載置テーブル往復駆動機構37に対して、プリント基板着脱位置に向かう復路駆動指令を出力し、次いで、ステップS8に移行して、載置テーブル13がプリント基板着脱位置に達したか否かを判定し、プリント基板着脱位置に達していないときにはプリント基板着脱位置に達するまで待機し、プリント基板着脱位置に達したときにはステップS9に移行して、載置テーブル往復駆動機構37に対して停止指令を出力してから処理を終了する。   Next, the process proceeds to step S7, and a return path drive command toward the printed circuit board attachment / detachment position is output to the placement table reciprocating drive mechanism 37. Next, the process proceeds to step S8, where the placement table 13 is attached to / detached from the printed circuit board. It is determined whether or not the position has been reached. If the printed board mounting / removing position has not been reached, the process waits until the printed board mounting / removing position is reached. After outputting a stop command to the mechanism 37, the process is terminated.

次に、検査対象となるプリント基板12を載置テーブル13上に載置し、この状態で、画像処理装置33で図15に示すスルーホール欠陥検査処理を実行する。
このスルーホール欠陥検査処理は、先ず、ステップS11〜S16で、前述した基準データ収集処理と同様の処理を行なって、検査対象となるプリント基板12の検査対象となるスルーホール12aの中心位置に対応する例えば赤色(R)成分の濃度値を抽出し、抽出した濃度値をスルーホールに割り当てられた識別番号に対応させて外部記憶装置35の所定記憶領域に記憶する。
Next, the printed circuit board 12 to be inspected is placed on the placement table 13, and in this state, the image processing device 33 performs the through-hole defect inspection process shown in FIG.
In this through-hole defect inspection process, first, in steps S11 to S16, the same process as the reference data collection process described above is performed to correspond to the center position of the through-hole 12a to be inspected of the printed circuit board 12 to be inspected. For example, the density value of the red (R) component is extracted, and the extracted density value is stored in a predetermined storage area of the external storage device 35 in association with the identification number assigned to the through hole.

次いで、ステップS17に移行して、基準画像データメモリ34に記憶されている基準プリント基板における各スルーホール12aの識別番号に対応する赤色(R)成分の濃度値を読出すとともに、外部記憶装置35の所定記憶領域に記憶されている検査対象となるプリント基板12の各スルーホール12aの識別番号に対応する赤色(R)成分の濃度値を読出す。   Next, the process proceeds to step S17, in which the density value of the red (R) component corresponding to the identification number of each through hole 12a in the reference printed circuit board stored in the reference image data memory 34 is read and the external storage device 35 is read. The density value of the red (R) component corresponding to the identification number of each through hole 12a of the printed circuit board 12 to be inspected stored in the predetermined storage area is read out.

次いで、ステップS18に移行して、識別番号の順位を表す変数nを“1”に設定してからステップS19に移行し、第n番目の識別番号について基準プリント基板の赤色(R)成分の濃度値から検査対象プリント基板の赤色(R)成分の濃度値を減算した偏差ΔRが所定閾値Rth以上であるか否かを判定し、ΔR<Rthであるときには、検査対象となるスルーホール12aに内部欠陥がないものと判断してステップS20に移行する。   Next, the process proceeds to step S18, the variable n representing the rank of the identification number is set to “1”, and then the process proceeds to step S19, where the density of the red (R) component of the reference printed circuit board for the nth identification number. It is determined whether or not the deviation ΔR obtained by subtracting the density value of the red (R) component of the printed circuit board to be inspected from the value is greater than or equal to a predetermined threshold value Rth, and when ΔR <Rth, the through hole 12a to be inspected is internally It is determined that there is no defect, and the process proceeds to step S20.

このステップS20では、外部記憶装置35の所定記憶領域に格納された該当する識別番号に対応して設けられた判定結果記入領域に正常であることを表す例えば“0”のフラグを書込んでからステップS21に移行する。
このステップS21では、全ての識別番号について判定処理を終了したか否かを判定し、判定処理していない識別番号が存在する場合には、ステップS22に移行して、現在の変数nを“1”だけインクリメントした新たな変数n算出してから前記ステップS19に戻る。
In this step S20, for example, a flag of “0” indicating normality is written in the determination result entry area provided corresponding to the corresponding identification number stored in the predetermined storage area of the external storage device 35. The process proceeds to step S21.
In this step S21, it is determined whether or not the determination process has been completed for all the identification numbers. If there is an identification number that has not been subjected to the determination process, the process proceeds to step S22 and the current variable n is set to “1”. After calculating a new variable n incremented by "", the process returns to step S19.

一方、ステップS19の判定結果が、ΔR≧Rthであるときには、該当する識別番号に対応するスルーホール12aに内部欠陥があるものと判断して、ステップS23に移行して、外部記憶装置35の所定記憶領域に格納された該当する識別番号に対応して設けられた判定結果記入領域に異常であることを表す例えば“1”のフラグを書込んでから前記ステップS21に移行する。   On the other hand, when the determination result in step S19 is ΔR ≧ Rth, it is determined that the through hole 12a corresponding to the corresponding identification number has an internal defect, the process proceeds to step S23, and the predetermined value of the external storage device 35 is determined. For example, a flag “1” indicating an abnormality is written in the determination result entry area provided corresponding to the corresponding identification number stored in the storage area, and then the process proceeds to step S21.

また、前記ステップS21の判定結果が、全ての識別番号について判定処理が終了した場合には、ステップS24に移行して、外部記憶装置35の所定記憶領域の識別番号に対応した判定結果記憶領域に“1”のフラグが記憶されているか否かを判定し、“1”のフラグが記憶されていないときには正常なプリント基板であるものと判断して、ステップS25に移行し、正常である旨のガイダンス情報を表示装置16に表示してからスルーホール欠陥検査処理を終了し、ステップS24の判定結果が判定結果記憶領域に“1”のフラグが記憶されているときには欠陥プリント基板であると判断して、ステップS26に移行して、欠陥プリント基板である旨のガイダンス情報と、欠陥スルーホールの識別番号とを表示装置16に表示してからスルーホール欠陥検査処理を終了する。この図15の処理が欠陥検査手段に対応している。   If the determination result of step S21 is determined for all the identification numbers, the process proceeds to step S24, where the determination result storage area corresponding to the identification number of the predetermined storage area of the external storage device 35 is stored. It is determined whether or not the “1” flag is stored. If the “1” flag is not stored, it is determined that the printed circuit board is a normal printed circuit board, and the process proceeds to step S25. After the guidance information is displayed on the display device 16, the through-hole defect inspection process is terminated, and when the determination result of step S24 is a flag “1” stored in the determination result storage area, it is determined that the printed circuit board is defective. Then, the process proceeds to step S26, where the guidance information indicating that the printed circuit board is defective and the identification number of the defective through-hole are displayed on the display device 16, and then the process proceeds to step S26. To end the Horu defect inspection process. The process of FIG. 15 corresponds to the defect inspection means.

次に、上記実施形態の動作を説明する。
先ず、顕微鏡等を使用してスルーホールを精査して、各スルーホールに欠陥のない正常なプリント基板12を基準プリント基板として、その表面を上面側として載置テーブル13の白色の多孔質シート23上における所定位置に載置する。この状態で、真空吸着源を作動させて、吸着溝21で多孔質シート23を基準プリント基板12の裏面側に密着させた状態で基準プリント基板12を吸着保持する。これにより、プリント基板12の反りも矯正される。
Next, the operation of the above embodiment will be described.
First, a through hole is examined using a microscope or the like, and a normal printed circuit board 12 having no defect in each through hole is used as a reference printed circuit board, and the white porous sheet 23 of the mounting table 13 with its surface as the upper surface side. Place in a predetermined position on the top. In this state, the vacuum suction source is operated, and the reference printed board 12 is sucked and held in a state where the porous sheet 23 is brought into close contact with the back surface side of the reference printed board 12 in the suction groove 21. Thereby, the curvature of the printed circuit board 12 is also corrected.

次いで、画像処理装置33で、所定の開始ボタンを押すことにより、図14の基準データ収集処理を開始する。
この基準データ収集処理では、載置テーブル13を検査位置に移動させる往路定速移動指令を載置テーブル往復駆動機構37に出力して、載置テ―ブル13を後方の検査位置に移動させる(ステップS1)。
次いで、ライン型カラー撮像装置32に対してカラー撮像指令を出力することにより(ステップS2)、このライン型カラー撮像装置32で、基準プリント基板12の表面を撮像して、基準プリント基板12のカラー画像情報を出力する。
Next, the reference data collection process of FIG. 14 is started by pressing a predetermined start button on the image processing apparatus 33.
In this reference data collection process, an outward constant speed movement command for moving the mounting table 13 to the inspection position is output to the mounting table reciprocating drive mechanism 37, and the mounting table 13 is moved to the rear inspection position ( Step S1).
Next, by outputting a color imaging command to the line type color imaging device 32 (step S2), the line type color imaging device 32 images the surface of the reference printed circuit board 12, and the color of the reference printed circuit board 12 is obtained. Output image information.

このライン型カラー撮像装置32から出力されるカラー画像情報を順次ライン毎に読込み(ステップS3)、このカラー画像情報の読込みを基準プリント基板12か検査終了位置に達するまで繰り返し(ステップS4)、基準プリント基板が検査終了位置に達すると、ライン型カラー撮像装置32に対して撮像停止指令が出力されて(ステップS5)、このライン型カラー撮像装置32でのプリント基板12の撮像が停止される。   The color image information output from the line-type color imaging device 32 is sequentially read for each line (step S3), and the reading of the color image information is repeated until the reference printed circuit board 12 reaches the inspection end position (step S4). When the printed circuit board reaches the inspection end position, an imaging stop command is output to the line type color imaging device 32 (step S5), and imaging of the printed circuit board 12 by the line type color imaging device 32 is stopped.

その後、読込んだカラー画像情報から検査対象となる予め指定された径のスルーホール12aの全てに対して、スルーホール12aの中心位置に対応する赤色(R)成分の濃度値を抽出して、抽出した赤色(R)成分の濃度値を識別番号に対応させて基準画像データメモリ34に格納する(ステップS6)。
その後、載置テーブル往復駆動機構37に対して復路駆動指令を出力し(ステップS7)、これによって載置テーブル13を前方の基板着脱位置に復帰させ、載置テーブル13が基板着脱位置に復帰すると、載置テーブル往復駆動機構37に対して停止指令を出力してから基準データ収集処理を終了する。
Thereafter, the density value of the red (R) component corresponding to the center position of the through hole 12a is extracted from all the through holes 12a having a predetermined diameter to be inspected from the read color image information, The extracted density value of the red (R) component is stored in the reference image data memory 34 in association with the identification number (step S6).
Thereafter, a return path drive command is output to the mounting table reciprocating drive mechanism 37 (step S7), whereby the mounting table 13 is returned to the front substrate attaching / detaching position, and the mounting table 13 is returned to the substrate attaching / detaching position. Then, after outputting a stop command to the mounting table reciprocating drive mechanism 37, the reference data collecting process is terminated.

このように、基準データ収集処理では、正常なスルーホール12aを有する基準プリント基板12の検査対象となる同一径の全てのスルーホール12aについてカラー画像情報から赤色(R)成分を抽出し、検査対象となるスルーホール12aの中心位置における赤色(R)成分の濃度値を識別番号に対応させて基準画像データメモリ34に格納する。
このようにして基準画像データメモリ34に基準プリント基板の検査対象となるスルーホール12aの中心位置における赤色(R)成分の濃度値が格納されて収集処理が終了すると、検査対象となるプリント基板12をその表面側を上面に向けて載置テーブル13の多孔質シート23上に載置する。この状態で、真空吸着源を作動させて、検査対象プリント基板12を載置テーブル13上にその裏面に多孔質シート23を密着させた状態で吸着保持する。
As described above, in the reference data collection process, the red (R) component is extracted from the color image information for all the through holes 12a having the same diameter to be inspected of the reference printed circuit board 12 having the normal through holes 12a, and the inspection target is obtained. The density value of the red (R) component at the center position of the through hole 12a is stored in the reference image data memory 34 in association with the identification number.
When the density value of the red (R) component at the center position of the through-hole 12a to be inspected for the reference printed circuit board is stored in the reference image data memory 34 in this way and the collection process is completed, the printed circuit board 12 to be inspected. Is placed on the porous sheet 23 of the placing table 13 with its front side facing up. In this state, the vacuum suction source is operated to hold the inspection target printed circuit board 12 on the mounting table 13 with the porous sheet 23 in close contact with the back surface thereof.

その後、所定の開始ボタンを押下することにより、画像処理装置33で、図15に示すスルーホール欠陥検査処理を実行する。
このスルーホール欠陥検査処理では、前述した基準プリント基板12のデータ収集処理と同様の処理を行なって、ライン型カラー撮像装置32で検査対象プリント基板12を撮像して、そのカラー画像情報を画像処理装置33で読込み、このカラー画像情報から検査対象となるスルーホール12aの中心位置の赤色(R)成分の濃度値を抽出し、抽出した赤色(R)成分の濃度値を外部記憶装置35の所定記憶領域に記憶する(ステップS11〜S16)。
Thereafter, by pressing a predetermined start button, the image processing device 33 executes the through-hole defect inspection process shown in FIG.
In this through-hole defect inspection processing, processing similar to the data collection processing of the reference printed circuit board 12 described above is performed, and the printed circuit board 12 to be inspected is imaged by the line-type color image pickup device 32, and the color image information is subjected to image processing. The density value of the red (R) component at the center position of the through hole 12a to be inspected is read from the color image information by the apparatus 33, and the extracted density value of the red (R) component is stored in the external storage device 35 as a predetermined value. Store in the storage area (steps S11 to S16).

その後、基準画像データメモリ34から基準プリント基板12の第1番目の識別番号の赤色(R)成分の濃度値を読込むとともに外部記憶装置35の所定記憶領域から検査対象プリント基板12の第1番目の識別番号の赤色(R)成分の濃度値を読込み、前者から後者を減算して濃度値偏差ΔRを算出し、算出した濃度値偏差ΔRが所定の閾値Rth以上であるか否かを判定する(ステップS19)。
このとき、検査対象プリント基板12の検査対象スルーホール12aが正常であるときには、濃度値偏差ΔRが所定の閾値Rthより小さくなり(ΔR<Rth)、正常と判断されてステップS19からステップS20に移行して、外部記憶装置35の該当する識別番号の判定結果記憶領域に“0”のフラグを書込む。
Thereafter, the density value of the red (R) component of the first identification number of the reference printed circuit board 12 is read from the reference image data memory 34 and the first printed circuit board 12 of the inspection target printed circuit board 12 is read from a predetermined storage area of the external storage device 35. The density value deviation ΔR is calculated by reading the density value of the red (R) component of the identification number and subtracting the latter from the former, and determines whether or not the calculated density value deviation ΔR is equal to or greater than a predetermined threshold Rth ( Step S19).
At this time, when the inspection target through-hole 12a of the inspection target printed circuit board 12 is normal, the density value deviation ΔR becomes smaller than the predetermined threshold value Rth (ΔR <Rth), and it is determined as normal, and the process proceeds from step S19 to step S20. Then, the flag “0” is written in the determination result storage area of the corresponding identification number in the external storage device 35.

一方、検査対象プリント基板12の検査対象スルーホール12aの内壁面に傷があったり、メッキ付着不良があったり、レジスト付着があったりすると、この検査対象スルーホール12aの中心位置における赤色(R)成分の濃度値が正常時に比較して明確に小さくなる。このため、ステップS19の判定を行なうことにより、濃度値偏差ΔRが所定閾値Rthより十分に大きくなり、スルーホール欠陥と判断されてステップS19からステップS23に移行して、外部記憶装置35の該当する識別番号の半径結果記憶領域に“1”のフラグを書込む。   On the other hand, if the inner wall surface of the inspection target through hole 12a of the inspection target printed circuit board 12 is scratched, plating adhesion is defective, or resist is adhered, the red color (R) at the center position of the inspection target through hole 12a. Concentration values of the components are clearly smaller than when normal. For this reason, by performing the determination in step S19, the density value deviation ΔR becomes sufficiently larger than the predetermined threshold value Rth, and it is determined that there is a through-hole defect, and the process proceeds from step S19 to step S23. A flag “1” is written in the radius result storage area of the identification number.

その後、順次識別番号をインクリメントしながら検査対象プリント基板12の検査対象のスルーホール12aの全てについて順次基準プリント基板12の検査対象のスルーホール12aとの赤色(R)成分の濃度値偏差ΔRを算出し、算出した濃度偏差ΔRが所定閾値Rth以下であるか否かを判定することにより、スルーホール12aの内壁面の欠陥の有無を正確に検出することができる。   Thereafter, the density value deviation ΔR of the red (R) component with respect to the inspection target through hole 12a of the reference printed circuit board 12 is sequentially calculated for all the inspection target through holes 12a of the inspection target printed circuit board 12 while sequentially incrementing the identification number. Then, by determining whether or not the calculated concentration deviation ΔR is equal to or less than the predetermined threshold value Rth, it is possible to accurately detect the presence or absence of a defect on the inner wall surface of the through hole 12a.

そして、検査対象スルーホール12aの全てについて欠陥判定処理が終了すると、ステップS21からステップS24に移行して、外部記憶装置35に記憶されている各識別番号のフラグのうち“1”となっているフラグが存在するか否かを判定し、“1”となっているフラグが存在せず、フラグが全て“0”である場合には、正常プリント基板であると判断して、表示装置16に正常である旨のガイダンス情報を表示する(ステップS25)。
一方、外部式おく装置35に記憶されている各識別番号のうち“1”となっているフラグが存在する場合には、スルーホール結果が存在するものと判断されて、表示装置16にスルーホール結果が発生している旨のガイダンス情報を表示するとともに、欠陥スルーホールの識別番号を表示する。
When the defect determination process is completed for all of the inspection target through holes 12a, the process proceeds from step S21 to step S24, and is “1” among the flags of the identification numbers stored in the external storage device 35. It is determined whether or not a flag exists. If there is no flag that is “1” and all the flags are “0”, it is determined that the printed circuit board is normal and the display device 16 is informed. Guidance information indicating normality is displayed (step S25).
On the other hand, if there is a flag “1” among the identification numbers stored in the external device 35, it is determined that a through-hole result exists, and the display device 16 receives the through-hole. Guidance information indicating that a result has occurred is displayed, and an identification number of the defective through hole is displayed.

このように、上記第1の実施形態によると、検査するプリント基板12の一方の面側に白色等の反射シート23を密着させた状態で、他方の面側からスルーホール12aを照明装置31で照明するとともに、他方の面側からライン型カラー撮像装置32でスルーホールを撮像し、撮像したカラー画像情報のうちの例えばスルーホール12aの内壁面の色に近い色成分すなわちスルーホール12の内壁面が銅メッキされている場合には、検査対象となるスルーホール12aの赤色(R)成分の濃度値を抽出する。そして、抽出した赤色(R)成分の濃度値を正常な基準プリント基板のスルーホール12aの赤色(R)成分の濃度値と比較することにより、検査対象のスルーホール12aの欠陥の有無を正確に判別することができる。   As described above, according to the first embodiment, the through hole 12a is connected to the lighting device 31 from the other surface side while the white or other reflective sheet 23 is in close contact with the one surface side of the printed circuit board 12 to be inspected. While illuminating, the line-type color imaging device 32 images the through-hole from the other surface side, and the color component close to the color of the inner wall surface of the through-hole 12a in the captured color image information, that is, the inner wall surface of the through-hole 12 Is plated with copper, the concentration value of the red (R) component of the through hole 12a to be inspected is extracted. Then, by comparing the density value of the extracted red (R) component with the density value of the red (R) component of the through hole 12a of the normal reference printed circuit board, the presence or absence of a defect in the through hole 12a to be inspected can be accurately determined. Can be determined.

しかも、ライン型カラー撮像装置32で撮像した検査対象となるプリント基板12の画像情報から検査対象となるスルーホールの濃度値を抽出するだけでよく、実際にスルーホール12aに生じている欠陥画像を一々精査するものではないとともに、特殊な画像解析などの複雑な画像編集処理等を必要としないので、プリント基板1枚当たりのスルーホール欠陥検査を短時間で行なうことができる。
なお、上記第1の実施形態においては、撮像装置としてライン型カラー撮像装置32を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ライン型グレースケール撮像装置を適用し、その撮像部に赤色透過フィルタを配設して、赤色成分のみを撮像するようにしてもよい。
In addition, it is only necessary to extract the density value of the through hole to be inspected from the image information of the printed circuit board 12 to be inspected, which is imaged by the line type color imaging device 32, and the defect image actually generated in the through hole 12a is extracted. The inspection is not carried out one by one, and complicated image editing processing such as special image analysis is not required, so that through-hole defect inspection per printed circuit board can be performed in a short time.
In the first embodiment, the case where the line-type color image pickup device 32 is applied as the image pickup device has been described. However, the present invention is not limited to this. A red transmission filter may be provided in the part so that only the red component is imaged.

また、上記第1の実施形態おいては、反射部材として多孔質シート23を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図16に示すように、載置テーブル13上の検査対象となるプリント基板12の外側及び多孔質シート23を囲繞し、プリント基板12より僅かに突出する弾性凸部51を配設し、プリント基板12の上面及び弾性凸部51を覆う大きさのシート状透明体52を配設する構成として、シート状透明体52を吸着することにより、プリント基板12の反りを矯正しながら多孔質シート23との密着性を確保する構成とするようにしてもよい。   Moreover, in the said 1st Embodiment, although the case where the porous sheet 23 was applied as a reflection member was demonstrated, it is not limited to this, As shown in FIG. Surrounding the outer side of the printed circuit board 12 to be inspected and the porous sheet 23, an elastic convex part 51 slightly projecting from the printed circuit board 12 is disposed, and the upper surface of the printed circuit board 12 and the elastic convex part 51 are covered. As a configuration in which the sheet-like transparent body 52 is disposed, by adsorbing the sheet-like transparent body 52, the adhesiveness with the porous sheet 23 can be secured while correcting the warp of the printed circuit board 12. Good.

次に、本発明の第2の実施形態を図17について説明する。
この第2の実施形態では、前述したプリント基板12を水平方向として搬送する搬送ラインの途中に、プリント基板検査装置60を設けたものである。
このプリント基板検査装置60では、搬送されるプリント基板12を、水平方向に所定間隔を保って配設された上下一対の搬送ローラ61及び62で搬送し、両搬送ローラ61及び62間に、少なくともプリント基板12の下面側に接触する上面が白色の反射部とされた例えばテトラフルオロエチレン等の合成樹脂材で構成された反射部材63が圧縮コイルバネなどの弾性支持部材64で支持されて配設された構成を有する。そして、反射部材63とはプリント基板12を挟んで反対側に前述した第1の実施形態と同様のライン型照明装置31及びライン型カラー撮像装置32が配置されている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the second embodiment, a printed circuit board inspection device 60 is provided in the middle of the transport line that transports the printed circuit board 12 in the horizontal direction.
In this printed circuit board inspection apparatus 60, the conveyed printed circuit board 12 is transported by a pair of upper and lower transport rollers 61 and 62 disposed at a predetermined interval in the horizontal direction, and at least between the transport rollers 61 and 62, A reflecting member 63 made of a synthetic resin material such as tetrafluoroethylene whose upper surface contacting the lower surface side of the printed circuit board 12 is a white reflecting portion is supported and disposed by an elastic supporting member 64 such as a compression coil spring. Have a configuration. Further, the line type illumination device 31 and the line type color imaging device 32 similar to those of the first embodiment described above are arranged on the opposite side of the printed board 12 from the reflection member 63.

また、弾性支持部材64は、搬送ローラ61及び62間にプリント基板12が存在しない状態で、反射部材63の上面がプリント基板12の上面12より突出することがないように反射部材63を支持し、反射部材63の上面には、プリント基板12の端面に係合して反射部材63を弾性支持部材64に抗して下方に移動させる傾斜係合面63aが形成されている。   The elastic support member 64 supports the reflection member 63 so that the upper surface of the reflection member 63 does not protrude from the upper surface 12 of the printed circuit board 12 when the printed circuit board 12 is not present between the transport rollers 61 and 62. On the upper surface of the reflection member 63, an inclined engagement surface 63a that engages with the end surface of the printed circuit board 12 and moves the reflection member 63 downward against the elastic support member 64 is formed.

この第2の実施形態によると、搬送ローラ61及び62間にプリント基板12が存在しない状態で、反射部材63の上面がプリント基板12の搬送経路に突出しているが、この状態で、搬送ローラ61によってプリント基板12が搬送されると、その端面が反射部材63の傾斜係合面63aに係合することにより、反射部材63が弾性支持部材64に抗して下方に降下し、その上面が弾性支持部材64によってプリント基板12の下面に圧接することになる。このため、プリント基板12の下面と反射部材63の上面とが密着した状態で摺接することになり、プリント基板12に形成されたスルーホール12aが反射部材63の上面の反射部によって閉塞される。   According to the second embodiment, the upper surface of the reflection member 63 protrudes into the conveyance path of the printed circuit board 12 in a state where the printed circuit board 12 does not exist between the conveyance rollers 61 and 62. When the printed circuit board 12 is transported by this, the end surface of the printed circuit board 12 engages with the inclined engaging surface 63a of the reflecting member 63, so that the reflecting member 63 descends against the elastic support member 64, and the upper surface thereof is elastic. The support member 64 is pressed against the lower surface of the printed circuit board 12. For this reason, the lower surface of the printed circuit board 12 and the upper surface of the reflecting member 63 are in sliding contact with each other, and the through hole 12 a formed in the printed circuit board 12 is blocked by the reflecting portion on the upper surface of the reflecting member 63.

したがって、反射部材63に対してプリント基板12を挟んで反対側に配置されたライン型照明装置31によってスルーホール12aの内壁面が照明され、この照明されたスルーホール12aをライン型カラー撮像装置32で撮像することにより、ライン型カラー撮像装置32からプリント基板12のカラー画像情報が出力され、このカラー画像情報が第1の実施形態のように画像処理装置33に供給されることにより、各スルーホール12aの中心位置でのカラー画像情報が抽出され、抽出されたカラー画像情報の例えば赤色(R)成分の濃度値によって前述した第1の実施形態と同様にスルーホール内壁面の欠陥の有無を正確に判別することができる。   Accordingly, the inner wall surface of the through hole 12a is illuminated by the line type illumination device 31 arranged on the opposite side of the printed board 12 with respect to the reflection member 63, and the illuminated through hole 12a is illuminated by the line type color imaging device 32. In this case, the color image information of the printed circuit board 12 is output from the line-type color imaging device 32, and this color image information is supplied to the image processing device 33 as in the first embodiment, so that each through Color image information at the center position of the hole 12a is extracted, and the presence / absence of defects on the inner wall surface of the through hole is determined by the density value of, for example, the red (R) component of the extracted color image information as in the first embodiment. It can be determined accurately.

次に、本発明の第3の実施形態を図18について説明する。
この第3の実施形態においては、前述した第1及び第2の実施形態で、プリント基板12をライン型カラー撮像装置32で撮像したときに、図18(a)に示すように、搬送方向の中央部にライン型カラー撮像装置32が配置され、このライン型カラー撮像装置32の所定視野角範囲でライン状にプリント基板12の上面が撮像される。このとき、ライン型カラー撮像装置32で撮像したスルーホール12aの画像は、ライン型カラー撮像装置32の真下のスルーホール12aについては図18(c)に示すように、円形画像となるが、中央位置から左右両端に向かうに従ってスルーホール12aの画像は短軸が徐々に短くなる図18(d)に示す楕円形画像となる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the third embodiment, when the printed circuit board 12 is imaged by the line type color imaging device 32 in the first and second embodiments described above, as shown in FIG. A line type color image pickup device 32 is arranged in the center, and the upper surface of the printed circuit board 12 is picked up in a line within a predetermined viewing angle range of the line type color image pickup device 32. At this time, the image of the through hole 12a imaged by the line type color image pickup device 32 becomes a circular image as shown in FIG. 18C for the through hole 12a directly below the line type color image pickup device 32. The image of the through-hole 12a becomes an elliptical image shown in FIG. 18 (d) in which the short axis gradually shortens from the position toward the left and right ends.

このため、中央部のスルーホール12aのカラー画像RGB空間上の各成分の濃度値は中央部のスルーホール12aで高い値となり、これから端に行くに従い小さい値となる。
このため、中央部のスルーホール12aと端部側のスルーホール12aの濃度値を比較した場合には、正確な欠陥判断を行なうことができないことになる。
このため、ライン型カラー撮像装置32で撮像したプリント基板12のカラー画像情報を図18(b)に示すように、プリント基板12の搬送方向と直交する方向に所定幅の帯状の単位エリアを設定し、この単位エリア内に存在するスルーホール12a群についてライン型カラー撮像装置32で撮像された基準プリント基板12及び検査対象プリント基板のカラー画像情報におけるスルーホール12aの中心位置のカラー画像情報のRGB空間上でのスルーホール12aの内壁面の色に近い色成分の濃度値同士を比較することにより、スルーホール12aの欠陥の有無をより正確に判別することができる。この場合、単位エリアの幅は狭い程欠陥スルーホールの判別精度が向上するものであるが、狭くし過ぎると検査時間が長くかかることから、要求される欠陥判別精度に応じた幅に設定することが好ましい。
For this reason, the density value of each component in the color image RGB space of the central through hole 12a becomes a high value in the central through hole 12a, and becomes a smaller value from the end toward the end.
For this reason, when the density values of the through hole 12a at the center and the through hole 12a at the end are compared, it is impossible to accurately determine the defect.
For this reason, as shown in FIG. 18B, color image information of the printed circuit board 12 imaged by the line type color imaging device 32 is set to a band-shaped unit area having a predetermined width in a direction orthogonal to the transport direction of the printed circuit board 12. Then, RGB of the color image information at the center position of the through hole 12a in the color image information of the reference printed circuit board 12 and the inspection target printed circuit board imaged by the line type color imaging device 32 with respect to the through hole 12a group existing in the unit area. By comparing the density values of the color components close to the color of the inner wall surface of the through hole 12a in space, it is possible to more accurately determine the presence or absence of a defect in the through hole 12a. In this case, the narrower the unit area, the better the defect through hole discrimination accuracy. However, if the unit area is too narrow, the inspection time will take longer, so the width should be set according to the required defect discrimination accuracy. Is preferred.

なお、上記第3の実施形態においては、基準プリント基板及び検査対象プリント基板のカラー画像情報を単位エリア毎に比較する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、基準プリント基板のカラー撮像情報を用いることなく、検査対象プリント基板毎に単位エリア内の同形のスルーホール12aについてのRGB空間上でのスルーホール12aの内壁面の色に近い色成分の濃度値同士を比較することにより、濃度値が他の濃度値より低い濃度値を有するスルーホール12aを欠陥有りと判断することもできる。   In the third embodiment, the case where the color image information of the reference printed circuit board and the inspection target printed circuit board is compared for each unit area has been described. However, the present invention is not limited to this. By comparing the density values of color components close to the color of the inner wall surface of the through hole 12a in the RGB space for the same shape of the through hole 12a in the unit area for each printed circuit board to be inspected without using imaging information. The through hole 12a having a density value lower than the other density values can also be determined to be defective.

次に、本発明の第4の実施形態を図19及び図20について説明する。
この第4の実施形態においては、プリント基板12をライン型カラー撮像装置32で撮像する場合に代えて所定階調数のライン型グレースケール撮像装置を適用するようにしたものである。
すなわち、第4の実施形態では、図19に示すように、前述した第1の実施形態において、ライン型カラー撮像装置32を所定階調例えば256階調のグレースケール画像情報を出力可能なライン型モノクロ撮像装置70に変更している。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the fourth embodiment, instead of the case where the printed circuit board 12 is imaged by the line type color image pickup device 32, a line type grayscale image pickup device having a predetermined number of gradations is applied.
That is, in the fourth embodiment, as shown in FIG. 19, in the first embodiment described above, the line-type color imaging device 32 is a line type that can output grayscale image information of a predetermined gradation, for example, 256 gradations. The monochrome imaging device 70 is changed.

このようにライン型モノクロ撮像装置70を適用した場合に、前述した第1の実施形態と同様の試験用プリント基板12を使用して、第1の実施形態におけるプリント基板検査装置10の載置テーブル13の多孔質シート23上に載置した状態で、載置テーブル13を検査位置に所定速度で移動させてライン型照明装置31で試験用プリント基板12の上面を照明しながらライン型モノクロ撮像装置70で試験用プリント基板12を撮像し、このライン型モノクロ撮像装置70から出力される例えば8ビットのグレースケール撮像情報を外部記憶装置35の所定記憶領域に格納する。このとき、試験用プリント基板12をライン型モノクロ撮像装置70で底部まで撮像できる載置テーブル13の移動方向と直交する方向の中央位置に載置して撮像した場合の第1のグレースケール画像情報と、ライン型モノクロ撮像装置70で底部は全く撮像できない載置テーブル13の移動方向と直交する方向の右端部位置に載置して撮像した場合の第2のグレースケール撮像情報とをそれぞれを外部記憶装置35の所定記憶領域に格納した。   When the line-type monochrome imaging device 70 is applied as described above, the mounting table of the printed circuit board inspection apparatus 10 according to the first embodiment using the test printed circuit board 12 similar to that of the first embodiment described above. The line-type monochrome image pickup device while illuminating the upper surface of the test printed circuit board 12 with the line-type illumination device 31 by moving the placement table 13 to the inspection position at a predetermined speed while being placed on the 13 porous sheets 23. The test printed circuit board 12 is imaged at 70, and, for example, 8-bit grayscale imaging information output from the line-type monochrome imaging device 70 is stored in a predetermined storage area of the external storage device 35. At this time, the first grayscale image information when the test printed circuit board 12 is mounted and imaged at the center position in the direction orthogonal to the moving direction of the mounting table 13 that can image the bottom with the line type monochrome imaging device 70. And the second gray scale imaging information when the image is placed at the right end position in the direction orthogonal to the moving direction of the mounting table 13 where the bottom portion cannot be imaged at all by the line-type monochrome imaging device 70. The data was stored in a predetermined storage area of the storage device 35.

そして、外部記憶装置35に格納された第1及び第2のグレースケール撮像情報のそれぞれについて、画像編集ソフトを使用して、ぼかし処理を1回行なった後に、ノイズ除去処理を1回行い、さらに最小値フィルタ処理を4回行なう第1の画像処理と、同様に画像編集ソフトを使用して、最大値フィルタ処理を1回行った後に最小値フィルタ処理を4回行なう第2の画像処理とを行なった。ここで、最小値フィルタ処理は、グレースケール撮像情報に含まれるスルーホール領域内で一番暗い画素を抽出し易くするために使用している。   For each of the first and second grayscale imaging information stored in the external storage device 35, after performing blurring processing once using image editing software, noise removal processing is performed once, and First image processing in which the minimum value filtering process is performed four times, and second image processing in which the minimum value filtering process is performed four times after the maximum value filtering process is performed once in the same manner using image editing software. I did it. Here, the minimum value filtering process is used to make it easier to extract the darkest pixel in the through-hole region included in the grayscale imaging information.

そして、第1及び第2のグレースケール撮像情報のそれぞれについて第1の画像処理を行なって、各スルーホール12aの中心位置の輝度を抽出した結果を図19(a)及び(b)に示す。この第1の画像処理では、スルーホール領域内で一番暗い画素のみで比較した場合に撮像時の明るさのバラツキやノイズで虚報が発生する可能性があるので、バラツキを薄める目的でぼかし処理とノイズ除去フィルタ処理を行なっている。   Then, the first image processing is performed on each of the first and second gray scale imaging information, and the result of extracting the luminance at the center position of each through hole 12a is shown in FIGS. In this first image processing, when only the darkest pixel in the through-hole area is compared, there is a possibility that false information may be generated due to variations in brightness or noise during imaging, so blur processing is performed for the purpose of diminishing variations. And noise removal filter processing.

しかしながら、試験用プリント基板12を載置テーブル13の移動方向と直交する方向の中央位置に載置して撮像した第1のグレースケール画像情報を第1の画像処理を行なった場合には図19(a)に示すように、「◆」で表す正常なスルーホール75の明るさと、「□」で表す内壁面に傷を付けた欠陥スルーホール76の明るさとでは一部については明確な差がみられず、正常なスルーホール75と欠陥スルーホール76との判別が困難であるが、試験用プリント基板12を載置テーブル13の移動方向と直交する方向の右端に載置して撮像した第2のグレースケール画像情報を第1の画像処理を行なった場合には図19(b)に示すように、「◆」で表す正常なスルーホール75の明るさと、「□」で表す内壁面に傷を付けた欠陥スルーホール76の明るさとでは明確な差が得られ、正常なスルーホール75と欠陥スルーホール76とを正確に判別することができる。   However, when the first image processing is performed on the first grayscale image information obtained by placing the test printed circuit board 12 at the center position in the direction orthogonal to the moving direction of the placement table 13, the first image processing is performed. As shown in (a), there is a clear difference between the brightness of the normal through hole 75 represented by “♦” and the brightness of the defective through hole 76 having scratched the inner wall surface represented by “□”. Although it is difficult to discriminate between the normal through hole 75 and the defective through hole 76, the test printed circuit board 12 is placed on the right end in the direction orthogonal to the moving direction of the placement table 13 and imaged. When the first gray scale image information of 2 is subjected to the first image processing, as shown in FIG. 19B, the brightness of the normal through hole 75 represented by “♦” and the inner wall surface represented by “□” Scratched defect Clear difference is obtained in the brightness of the hole 76, it is possible to determine the normal through-hole 75 and the defect through hole 76 accurately.

また、第1及び第2のグレースケール撮像情報のそれぞれについて第2の画像処理を行なって、各スルーホール12aの中心位置の輝度を抽出した結果を図19(c)及び(d)に示す。この第2の画像処理では、上述した第1の画像処理で特別に暗くなってしまう画素を斧俗目的で最小値フィルタ処理を行なっている。
このため、試験用プリント基板12を載置テーブル13の移動方向と直交する方向の中央位置に載置して撮像した第1のグレースケール画像情報を第2の画像処理を行なった場合には図19(c)に示すように、「◆」で表す正常なスルーホール75の明るさと、「□」で表す内壁面に傷を付けた欠陥スルーホール76の明るさとで差別化することができ、正常なスルーホール75と欠陥スルーホール76との判別が可能である。
In addition, FIGS. 19C and 19D show the results of performing the second image processing for each of the first and second grayscale imaging information and extracting the luminance at the center position of each through hole 12a. In the second image processing, a minimum value filtering process is performed for the purpose of axial use for pixels that are particularly darkened by the first image processing described above.
Therefore, when the second image processing is performed on the first grayscale image information obtained by placing the test printed circuit board 12 at the center position in the direction orthogonal to the moving direction of the placement table 13, the second image processing is performed. As shown in FIG. 19 (c), it is possible to differentiate between the brightness of the normal through hole 75 represented by “♦” and the brightness of the defective through hole 76 having scratched the inner wall surface represented by “□”. A normal through hole 75 and a defective through hole 76 can be distinguished.

さらに、試験用プリント基板12を載置テーブル13の移動方向と直交する方向の右端に載置して撮像した第2のグレースケール画像情報を第1の画像処理を行なった場合には図19(d)に示すように、「◆」で表す正常なスルーホール75の明るさと、「□」で表す内壁面に傷を付けた欠陥スルーホール76の明るさとでは明確な差が得られ、正常なスルーホール75と欠陥スルーホール76とを正確に判別することができる。   Further, when the first image processing is performed on the second gray scale image information obtained by placing the test printed circuit board 12 on the right end in the direction orthogonal to the moving direction of the placement table 13, the first image processing is performed (see FIG. 19). As shown in d), a clear difference is obtained between the brightness of the normal through-hole 75 represented by “♦” and the brightness of the defective through-hole 76 scratched on the inner wall surface represented by “□”. The through hole 75 and the defective through hole 76 can be accurately discriminated.

なお、上記各実施形態においては、検査対象となるプリント基板12を照明装置31及びライン型撮像装置32,70に対して移動させる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、検査対象となるプリント基板12を固定し、照明装置31及びライン型撮像装置32,70を一緒に移動させるようにしてもよい。
また、上記各実施形態においては、ライン型撮像装置を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、プリント基板12の所定の大きさの面積を撮像するデジタルカラーカメラ等のエリア撮像装置を適用するようにしてもよい。この場合には、1枚のプリント基板を複数のエリアに分割して撮像するので、エリア画像を撮像した撮像情報に基づいて欠陥検査を行なうことになり、撮像範囲が狭いため欠陥検査を容易に行なうことができるとともに、検査結果でスルーホールの欠陥が検出されたときに、欠陥を有するスルーホールを再度撮像して再検査することが可能となり、欠陥検出精度をさらに向上させることができる。
In each of the above-described embodiments, the case where the printed circuit board 12 to be inspected is moved with respect to the illumination device 31 and the line-type imaging devices 32 and 70 has been described. However, the present invention is not limited to this. The printed circuit board 12 to be fixed may be fixed, and the illumination device 31 and the line type imaging devices 32 and 70 may be moved together.
Further, in each of the above embodiments, the case where the line-type imaging device is applied has been described. An imaging device may be applied. In this case, since one printed circuit board is divided into a plurality of areas and imaged, defect inspection is performed based on imaging information obtained by imaging the area image, and defect inspection is easy because the imaging range is narrow. In addition, when a through hole defect is detected in the inspection result, the through hole having the defect can be imaged again and reinspected, and the defect detection accuracy can be further improved.

さらに、上記各実施形態においては、反射部として多孔質シート23や反射部材63を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、白色等の照明光を反射し易いシート等の反射部材を適用することができる。
さらにまた、上記各実施形態においては、図15に示すスルーホール欠陥検査処理を実行する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、基準プリント基板及び測定対象プリント基板のカラー画像情報を比較してスルーホール欠陥を検査可能な構成であれば、任意のスルーホール欠陥検査処理を適用することができる。
Furthermore, in each said embodiment, although the case where the porous sheet 23 and the reflection member 63 were applied as a reflection part was demonstrated, it is not limited to this, A sheet etc. which are easy to reflect illumination lights, such as white A reflective member can be applied.
Furthermore, in each of the above embodiments, the case where the through-hole defect inspection process shown in FIG. 15 is executed has been described. However, the present invention is not limited to this, and the color image information of the reference printed board and the measurement target printed board is obtained. Any through-hole defect inspection process can be applied as long as the structure can inspect through-hole defects by comparison.

また、上記各実施形態においては、照明装置31を点灯したままの状態で、欠陥検査を行なう場合について説明したが、これに限定されるものではなく、検査開始時に照明装置31を点灯し、検査終了時に照明装置31を消灯するようにしてもよい。
さらに、上記各実施形態においては、スルーホール12aの形状が円形である場合について説明したが、これに限定されるものではなく、長穴形状などの特殊形状を有する場合でも、大きさが等しい同一形状のスルーホールについて上記と同様にカラー撮像することにより、欠陥検出を行なうことができる。
Further, in each of the above embodiments, the case where the defect inspection is performed while the lighting device 31 is turned on has been described. However, the present invention is not limited to this, and the lighting device 31 is turned on at the start of the inspection. You may make it turn off the illuminating device 31 at the time of completion | finish.
Further, in each of the above embodiments, the case where the shape of the through hole 12a is circular has been described. However, the present invention is not limited to this, and even when the through hole 12a has a special shape such as a long hole shape, the same size is the same. Defect detection can be performed by performing color imaging on a through-hole in the same manner as described above.

本発明の第1の実施形態に係るプリント基板検査装置を示す外観斜視図である。1 is an external perspective view showing a printed circuit board inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図1の載置テーブル、照明装置及びライン型カラー撮像装置の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the mounting table of FIG. 1, an illuminating device, and a line type color imaging device. 本発明に適用し得る画像処理装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the image processing apparatus which can be applied to this invention. 検査対象となるプリント基板を一部を拡大して示す表面図である。It is a surface view which expands and shows a part of printed circuit board used as inspection object. 図4の検査対象となるプリント基板の検査対象となるスルーホールのカラー撮像情報の赤色(R)成分、緑(G)成分及び青色(B)成分の濃度値を表すグラフである。It is a graph showing the density value of the red (R) component, the green (G) component, and the blue (B) component of the color imaging information of the through hole to be inspected of the printed circuit board to be inspected in FIG. 検査対象となるプリント基板の回転位置を示す表面図である。It is a surface view which shows the rotation position of the printed circuit board used as inspection object. 図6の回転位置におけるカラー撮像情報の検査対象スルーホールの赤色(R)成分の濃度値を表すグラフである。It is a graph showing the density value of the red (R) component of the inspection object through hole of the color imaging information at the rotation position of FIG. 検査対象となるプリント基板の裏面図である。It is a back view of the printed circuit board used as inspection object. 図8のカラー画像情報の検査対象スルーホールの赤色(R)成分の濃度値を表すグラフである。It is a graph showing the density | concentration value of the red (R) component of the inspection object through hole of the color image information of FIG. 図8のデジタルカラーカメラで撮像したカラー画像情報の検査対象スルーホールの赤色(R)成分の濃度値を表すグラフである。It is a graph showing the density | concentration value of the red (R) component of the inspection object through hole of the color image information imaged with the digital color camera of FIG. 未完成プリント基板を示す表面図である。It is a surface view which shows an incomplete printed circuit board. 図11のカラー画像情報の検査対象となる小径スルーホールのカラー撮像情報の赤色(R)成分、緑(G)成分及び青色(B)成分の濃度値を表すグラフである。12 is a graph showing density values of a red (R) component, a green (G) component, and a blue (B) component of color imaging information of a small-diameter through hole that is an inspection target of the color image information in FIG. 11. 図11のカラー画像情報の検査対象となる大径スルーホールのカラー撮像情報の赤色(R)成分、緑(G)成分及び青色(B)成分の濃度値を表すグラフである。12 is a graph showing density values of a red (R) component, a green (G) component, and a blue (B) component of color imaging information of a large-diameter through-hole to be inspected for color image information in FIG. 11. 画像処理装置で実行する基準データ収集処理手順の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the reference | standard data collection process procedure performed with an image processing apparatus. 画像処理装置で実行するスルーホール欠陥検査処理手順の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the through-hole defect inspection process procedure performed with an image processing apparatus. 本発明の第1の実施形態の変形例を示す載置テーブル、照明装置及びライン型カラー撮像装置の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the mounting table, the illuminating device, and the line type color imaging device which show the modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態を示す載置テーブル、照明装置及びライン型カラー撮像装置の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the mounting table which shows the 2nd Embodiment of this invention, an illuminating device, and a line type color imaging device. 本発明の第3の実施形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態を示す載置テーブル、照明装置及びライン型カラー撮像装置の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the mounting table which shows the 4th Embodiment of this invention, an illuminating device, and a line type color imaging device. 第4の実施形態での検査対象プリント基板におけるグレースケール画像情報の検査対象スルーホールでの明るさを示すグラフである。It is a graph which shows the brightness in the inspection object through hole of the gray scale image information in the inspection object printed circuit board in the fourth embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10…プリント基板検査装置、12…プリント基板、12a…スルーホール、13…載置テーブル、16…表示装置、23…多孔質シート、31…ライン照明装置、32…ライン型カラー撮像装置、33…画像処理装置、34…基準画像メモリ、35…外部記憶装置、37…載置テーブル往復駆動機構、70…ライン型モノクロ撮像装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Printed circuit board inspection apparatus, 12 ... Printed circuit board, 12a ... Through-hole, 13 ... Mounting table, 16 ... Display apparatus, 23 ... Porous sheet, 31 ... Line illumination apparatus, 32 ... Line type color imaging device, 33 ... Image processing device 34 ... reference image memory 35 ... external storage device 37 ... mounting table reciprocating drive mechanism 70 ... line type monochrome imaging device

Claims (17)

プリント基板のスルーホールの一方の面側に配置した反射部と、前記プリント基板の他方の面側から前記スルーホールを照明する照明手段と、前記プリント基板の他方の面側から前記スルーホールを撮像する撮像装置と、該撮像装置で撮像した前記スルーホールの画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査する欠陥検査手段とを備えたことを特徴とするプリント基板検査装置。   Reflecting portion arranged on one surface side of through hole of printed circuit board, illumination means for illuminating said through hole from the other surface side of said printed circuit board, and imaging of said through hole from the other surface side of said printed circuit board A printed circuit board inspection apparatus comprising: an imaging device that performs inspection; and a defect inspection unit that inspects through-hole defects based on image information of the through-holes captured by the imaging device. 前記撮像装置がライン型撮像装置で構成され、前記プリント基板と前記撮像装置とを相対移動させる相対移動手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント基板検査装置。   The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging apparatus includes a line-type imaging apparatus, and includes a relative movement unit that relatively moves the printed circuit board and the imaging apparatus. 前記撮像装置がエリア型撮像装置で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のプリント基板検査装置。   The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging apparatus is an area-type imaging apparatus. 前記プリント基板のスルーホールの裏面側に反射部を密着させる密着保持手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のプリント基板検査装置。   4. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, further comprising an adhesion holding unit configured to closely attach a reflection portion to a back surface side of the through hole of the printed circuit board. 5. 前記反射部を多孔質シートで形成し、前記密着保持手段は、前記プリント基板を前記多孔質シートを介して吸着保持するプリント基板保持テーブルで構成されていることを特徴とする請求項4に記載のプリント基板検査装置。   The said reflection part is formed with a porous sheet, The said close_contact | adherence holding means is comprised by the printed circuit board holding table which adsorbs and hold | maintains the said printed circuit board through the said porous sheet. Printed circuit board inspection equipment. 前記密着保持手段は、前記プリント基板を前記反射部を介して載置する載置テーブルと、前記プリント基板の表面側に載置する透明体と、該透明体を前記プリント基板及び反射部を介して前記載置テーブルに圧接する圧接手段とを備えていることを特徴とする請求項4に記載のプリント基板検査装置。   The contact holding means includes a mounting table for mounting the printed circuit board via the reflecting section, a transparent body for mounting on the surface side of the printed circuit board, and the transparent body through the printed circuit board and the reflecting section. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 4, further comprising pressure contact means that press-contacts the mounting table. 前記密着保持手段は、前記プリント基板を挟持しながら搬送する上下一対の搬送ローラを有する少なくとも2組の搬送手段を所定間隔を保って配置し、該2組の搬送手段間に前記プリント基板の裏面側に密接する反射部を配設した構成を有することを特徴とする請求項4に記載のプリント基板検査装置。   The close-contact holding means arranges at least two pairs of conveying means having a pair of upper and lower conveying rollers that convey the printed circuit board while holding the printed circuit board at a predetermined interval, and the back surface of the printed circuit board is located between the two sets of conveying means. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 4, wherein the printed circuit board inspection apparatus has a configuration in which a reflection portion that is in close contact with the side is disposed. 前記欠陥検査手段は、正規のスルーホールを形成した基準プリント基板のスルーホール画像と、前記撮像装置で撮像したスルーホール画像とを比較することにより、スルーホール欠陥を検査するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載のプリント基板検査装置。   The defect inspection means is configured to inspect a through-hole defect by comparing a through-hole image of a reference printed board on which a regular through-hole is formed and a through-hole image captured by the imaging device. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein 前記欠陥検査手段は、プリント基板に形成されている同形のスルーホール画像情報同士を比較することにより、スルーホール欠陥を検査するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載のプリント基板検査装置。   8. The defect inspection means is configured to inspect through-hole defects by comparing pieces of identical through-hole image information formed on a printed circuit board. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1. 前記撮像装置は欠陥選別度の高いカラー画像情報を出力するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載のプリント基板検査装置。   The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging apparatus is configured to output color image information having a high degree of defect selection. 前記撮像装置はグレースケール画像情報を出力するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載のプリント基板検査装置。   The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging apparatus is configured to output grayscale image information. プリント基板のスルーホールの一方の面側に反射部を配置した状態で、前記プリント基板を他方の面側から照明手段で照明し、照明された前記スルーホールを前記プリント基板の他方の面側から撮像装置で撮像する撮像ステップと、撮像したスルーホール画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査する欠陥検査ステップとを備えたことを特徴とするプリント基板検査方法。   In a state where the reflective portion is arranged on one surface side of the through hole of the printed circuit board, the printed circuit board is illuminated with illumination means from the other surface side, and the illuminated through hole is illuminated from the other surface side of the printed circuit board. A printed circuit board inspection method comprising: an imaging step for imaging with an imaging device; and a defect inspection step for inspecting a through-hole defect based on the captured through-hole image information. 前記反射部は前記プリント基板のスルーホール裏面側に密着保持されていることを特徴とする請求項12に記載のプリント基板検査方法。   The printed circuit board inspection method according to claim 12, wherein the reflection portion is held in close contact with a through hole rear surface side of the printed circuit board. 前記撮像装置がライン型撮像装置で構成され、前記プリント基板と前記撮像装置とを相対移動手段で相対移動させながらスルーホールを撮像することを特徴とする請求項12又は13に記載のプリント基板検査方法。   14. The printed circuit board inspection according to claim 12, wherein the image capturing apparatus is configured by a line-type image capturing apparatus, and the through-hole is imaged while the printed circuit board and the image capturing apparatus are relatively moved by a relative moving unit. Method. 前記撮像装置がエリア型撮像装置で構成されていることを特徴とする請求項12又は13に記載のプリント基板検査方法。   The printed circuit board inspection method according to claim 12, wherein the imaging apparatus is an area-type imaging apparatus. 前記欠陥検査ステップは、正規のスルーホールを形成した基準プリント基板のスルーホール画像と、前記撮像装置で撮像したスルーホール画像とを比較することにより、スルーホール欠陥を検査することを特徴とする請求項12乃至15の何れか1項に記載のプリント基板検査方法。   The defect inspection step inspects a through-hole defect by comparing a through-hole image of a reference printed board on which a regular through-hole is formed and a through-hole image captured by the imaging device. Item 16. The printed circuit board inspection method according to any one of Items 12 to 15. 前記欠陥検査ステップは、プリント基板に形成されている同形のスルーホール画像情報同士を比較することにより、スルーホール欠陥を検査することを特徴とする請求項12乃至16の何れか1項に記載のプリント基板検査方法。   The defect inspection step inspects a through-hole defect by comparing pieces of identical through-hole image information formed on a printed circuit board. Printed circuit board inspection method.
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