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JP2009192413A - Method of measuring diaphragm tension and its device - Google Patents

Method of measuring diaphragm tension and its device Download PDF

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JP2009192413A
JP2009192413A JP2008034506A JP2008034506A JP2009192413A JP 2009192413 A JP2009192413 A JP 2009192413A JP 2008034506 A JP2008034506 A JP 2008034506A JP 2008034506 A JP2008034506 A JP 2008034506A JP 2009192413 A JP2009192413 A JP 2009192413A
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tension
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measuring
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Yutaka Akino
裕 秋野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a diaphragm tension more easily while removing dusts on a diaphragm. <P>SOLUTION: Tension of a diaphragm 10 for an electrostatic microphone disposed to face a fixed pole is measured under a condition stretched over a support ring 11, in which the diaphragm 10 is vibrated by blowing compressed air from an air nozzle 21 to the diaphragm 10 stretched over the support ring 11 to generate a vibrating sound, the vibrating sound is picked up by a measurement microphone 22, an electric signal output from the measurement microphone 22 is input to a spectrum analyzer 23 to wave-analyze, and the tension of the diaphragm 10 is measured based on the frequency of the vibrating sound. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、コンデンサマイクロホンに用いられる振動板の張力測定方法およびその装置に関し、さらに詳しく言えば、圧搾空気によって振動板を振動させることにより振動板の張力を測定する技術に関するものである。   The present invention relates to a method and an apparatus for measuring the tension of a diaphragm used in a condenser microphone. More specifically, the present invention relates to a technique for measuring the tension of a diaphragm by vibrating the diaphragm with compressed air.

コンデンサマイクロホンは、音波を受けて振動する振動板と固定極とを対向的に配置してなる静電型の音響電気変換器を備えているが、一次音圧傾度型(単一指向性)のものにおいては、低域限界と固定極に対する吸着安定度は振動板の張力に依存する。   Condenser microphones are equipped with electrostatic acoustoelectric transducers that have a diaphragm and a fixed pole that vibrate in response to sound waves, but are of primary sound pressure gradient type (unidirectional) In some cases, the lower limit and the adsorption stability with respect to the fixed pole depend on the tension of the diaphragm.

そのため、個々のコンデンサマイクロホンにおいて、低域限界と吸着安定度の性能を揃えるには、振動板の張力のばらつきを少なくする必要がある。   For this reason, it is necessary to reduce the variation in the tension of the diaphragm in order to make the performance of the low frequency limit and the adsorption stability uniform in each condenser microphone.

通常、振動板は大判サイズのマザーフィルムに所定の張力を加え、その上に複数個の支持リングを接着材を介して配置し、接着材の硬化をまってマザーフィルムから振動板付きの各支持リングを切り出すことにより作製される。本明細書において、支持リングに振動板を張設したものを振動板ユニットということがある。   Usually, the diaphragm is applied to a large-sized mother film with a predetermined tension, and a plurality of support rings are placed on it via adhesives. The adhesive is cured and each support with diaphragms is supported from the mother film. It is made by cutting out a ring. In the present specification, a structure in which a diaphragm is stretched on a support ring may be referred to as a diaphragm unit.

例えば、汎用のコンデンサマイクロホン用途の振動板ユニットについては、一般的に個々の張力測定は行われないが、特に音質が重視される例えばスタジオ用コンデンサマイクロホンなどの場合には、高い性能と音質の個差が少ないことが要求される(個差の許容範囲は概ね10%以内に指定される)。   For example, for a diaphragm unit for general-purpose condenser microphones, individual tension measurement is generally not performed. However, in the case of a condenser microphone for studios where sound quality is particularly important, individual units with high performance and sound quality are required. The difference is required to be small (the tolerance of individual difference is generally specified within 10%).

振動板の張力測定方法には、大別して、音波で振動板を振動させてその振幅を測定する方法と、交番磁界により振動板を振動させてそのとき放射される音波のレベルを検出する方法とが知られているが、いずれの方法においても、基本的には振動板を駆動する周波数を調整して、最大の振幅と音の大きさで共振周波数を測定する。   The method of measuring the tension of the diaphragm is roughly divided into a method of measuring the amplitude by vibrating the diaphragm with sound waves, a method of detecting the level of sound waves radiated at that time by vibrating the diaphragm with an alternating magnetic field, and In any of the methods, basically, the frequency for driving the diaphragm is adjusted, and the resonance frequency is measured with the maximum amplitude and sound volume.

この共振周波数を測定するにあたって、通常、上記駆動周波数の調整にはスイープ発振器が用いられ、スイープ発振器を操作しながらオシロスコープなどでレベルを確認し、レベルが最大を示すときの周波数を読み取るようにしている。   When measuring this resonance frequency, a sweep oscillator is usually used to adjust the drive frequency. While operating the sweep oscillator, check the level with an oscilloscope, etc., and read the frequency when the level shows maximum. Yes.

しかしながら、スイープ発振器を操作するとき、周波数を低い方から高い方にスイープすると読み取り値が真値より高めになり、反対に周波数を高い方から低い方にスイープする場合には読み取り値が真値よりも低めになることがある。また、この操作による誤差はスイープする速度にも依存するため、概して測定の信頼性が低いという問題がある。   However, when operating the sweep oscillator, if the frequency is swept from lower to higher, the reading will be higher than the true value, and conversely if the frequency is swept from higher to lower, the reading will be higher than the true value. May be lower. Further, since the error due to this operation depends on the sweep speed, there is a problem that the measurement reliability is generally low.

そこで、本出願人は、特許文献1において、振動板に対して所定の空隙をもって配置される駆動電極と、振動板から放射される音波を収音する測定用マイクロホンと、測定用マイクロホンから出力されるマイク出力信号を増幅して上記駆動電極に与えて振動板を静電的に駆動する電圧増幅器と、マイク出力信号の周波数を計測する周波数カウンターとを備えたループにより、振動板を持続的に発振させ、そのときの発振周波数を周波数カウンターにより計数して振動板の張力を測定することを提案した。   In view of this, the applicant of Patent Document 1 outputs a drive electrode arranged with a predetermined gap with respect to the diaphragm, a measurement microphone that collects sound waves radiated from the diaphragm, and a measurement microphone. A diaphragm having a voltage amplifier that amplifies a microphone output signal to be applied to the drive electrode and electrostatically drives the diaphragm, and a frequency counter that measures the frequency of the microphone output signal, thereby continuously maintaining the diaphragm. It was proposed to oscillate and to measure the tension of the diaphragm by counting the oscillation frequency at that time with a frequency counter.

特開2006−98277号公報JP 2006-98277 A

上記特許文献1に記載の発明によれば、振動板を持続的に発振させ、そのときの発振周波数にて振動板の張力を測定するようにしているため、高い信頼性をもって振動板の張力を測定することができる。   According to the invention described in Patent Document 1, since the diaphragm is continuously oscillated and the tension of the diaphragm is measured at the oscillation frequency at that time, the tension of the diaphragm can be measured with high reliability. Can be measured.

しかしながら、作業上の問題として、測定誤差が生じないように振動板ユニットを測定台に正確にセットする必要があり、これに時間と手間がかかる。また、振動板には固定極と対向する面とは反対側の面に金属蒸着膜が形成されているため、固定極と対向する面側に静電気等でゴミが付着しやすい。ゴミが付着した状態で測定に供されると、測定誤差が生ずることがある。   However, as a work problem, it is necessary to accurately set the diaphragm unit on the measurement table so as not to cause a measurement error, which takes time and labor. Further, since the metal vapor deposition film is formed on the surface opposite to the surface facing the fixed pole on the diaphragm, dust easily adheres to the surface facing the fixed pole due to static electricity or the like. If the measurement is performed with dust attached, a measurement error may occur.

したがって、本発明の課題は、振動板に付着しているゴミを除去しながら、より手軽に振動板の張力を測定できるようにすることにある。   Accordingly, an object of the present invention is to make it possible to more easily measure the tension of the diaphragm while removing dust adhering to the diaphragm.

本発明は、振動板に対して圧搾空気を部分的に吹き付けると、その張力に依存した振動音が発生することに着目してなされたもので、請求項1に記載の発明は、支持リングに張設された状態で固定極と対向的に配置されるコンデンサマイクロホン用の振動板の張力を測定する振動板の張力測定方法において、上記支持リングに張設されている上記振動板に対して、エアーノズルより圧搾空気を吹き付けて上記振動板を振動させて振動音を発生させ、上記振動音を測定用マイクロホンにて収音し、上記測定用マイクロホンから出力される電気信号をスペクトラムアナライザに入力して波形解析し、上記振動音の周波数に基づいて上記振動板の張力を測定することを特徴としている。   The present invention has been made by paying attention to the fact that when the compressed air is partially blown against the diaphragm, a vibration sound depending on the tension is generated. The invention according to claim 1 is applied to the support ring. In the tension measuring method of the diaphragm for measuring the tension of the diaphragm for the condenser microphone disposed opposite to the fixed pole in a stretched state, with respect to the diaphragm stretched on the support ring, The compressed air is blown from the air nozzle to vibrate the diaphragm to generate a vibration sound, the vibration sound is picked up by the measurement microphone, and the electric signal output from the measurement microphone is input to the spectrum analyzer. And analyzing the waveform and measuring the tension of the diaphragm based on the frequency of the vibration sound.

請求項2に記載の発明は、請求項1において、上記圧搾空気を上記振動板の金属蒸着膜が形成されていない面側に吹き付けることを特徴としている。   A second aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect, the compressed air is blown to a surface side of the diaphragm on which the metal vapor deposition film is not formed.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2において、上記エアーノズルから噴出する圧搾空気を上記振動板に対して斜め方向から、かつ、上記振動板の中心から離れた位置に向けて吹き付けることを特徴としている。   Invention of Claim 3 sprays the compressed air which ejects from the said air nozzle in the Claim 1 or 2 toward the position away from the diagonal direction with respect to the said diaphragm, and the center of the said diaphragm. It is characterized by that.

また、請求項4に記載の発明は、支持リングに張設された状態で固定極と対向的に配置されるコンデンサマイクロホン用の振動板の張力を測定する振動板の張力測定装置において、上記支持リングに張設されている上記振動板に対して圧搾空気を吹き付けるエアーノズルと、上記圧搾空気の吹き付けにより上記振動板から発生される振動音を測定する測定用マイクロホンと、上記測定用マイクロホンから出力される電気信号の波形を解析するスペクトラムアナライザとを備えていることを特徴としている。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a diaphragm tension measuring apparatus for measuring the tension of a diaphragm for a condenser microphone disposed opposite to a fixed pole while being stretched on a support ring. An air nozzle that blows compressed air against the diaphragm stretched on a ring, a measurement microphone that measures vibration sound generated from the diaphragm by blowing the compressed air, and an output from the measurement microphone And a spectrum analyzer for analyzing the waveform of the electric signal to be generated.

請求項1に記載の発明によれば、振動板に対してエアーノズルより圧搾空気を吹き付けて、振動板を振動させて振動音を発生させればよく、したがって、測定台等に対する厳密な位置合わせは必要でなく、より手軽に振動板の張力を測定することができる。本発明は、例えば要求される張力の範囲が概ね20%以内に収まっていればよいような汎用機種に最適である。   According to the first aspect of the present invention, the compressed air may be blown from the air nozzle to the diaphragm, and the diaphragm may be vibrated to generate vibration sound. Is not necessary, and the tension of the diaphragm can be measured more easily. The present invention is most suitable for a general-purpose model in which, for example, the required tension range only needs to be within 20%.

請求項2に記載の発明によれば、圧搾空気を振動板の金属蒸着膜が形成されていない面側に吹き付けることにより、振動板に付着しているゴミが除去されるため、振動板の張力をより正確に測定することができる。   According to the second aspect of the present invention, dust attached to the diaphragm is removed by blowing the compressed air to the surface side of the diaphragm where the metal vapor deposition film is not formed. Can be measured more accurately.

請求項3に記載の発明によれば、エアーノズルから噴出する圧搾空気を振動板に対して斜め方向から、かつ、振動板の中心から離れた位置に向けて吹き付けることにより、比較的大きな振動音が得られる。   According to the invention described in claim 3, by blowing the compressed air ejected from the air nozzle in an oblique direction to the diaphragm and toward a position away from the center of the diaphragm, a relatively large vibration noise is generated. Is obtained.

次に、図1により、本発明の実施形態について説明する。図1は本発明の実施形態に係る振動板の張力測定装置を示す模式図である。   Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic diagram showing a diaphragm tension measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

図1に示すように、振動板10は、支持リング11に張設された状態で測定台12上に置かれる。支持リング11には、金属製のワッシャー状リングが用いられている。   As shown in FIG. 1, the diaphragm 10 is placed on the measurement table 12 while being stretched on the support ring 11. A metal washer-like ring is used for the support ring 11.

振動板10は、合成樹脂の薄膜フィルム製で、支持リング11に取り付けられる側の一方の面10bには、図示しない金属蒸着膜が形成されており、その反対側の他方の面10aが図示しない固定極に対するの対向面で、振動板10は、他方の面10aを上として測定台12上に自由に振動できるように載置される。   The diaphragm 10 is made of a synthetic resin thin film, and a metal vapor deposition film (not shown) is formed on one surface 10b on the side attached to the support ring 11, and the other surface 10a on the opposite side is not shown. On the surface facing the fixed pole, the diaphragm 10 is placed on the measuring table 12 so that it can freely vibrate with the other surface 10a up.

本発明は、圧搾空気を振動板10の一部分に吹き付けると、その張力に依存した周波数で振動板10が振動し振動音(音波)を発生することに着目したもので、振動板10の張力の測定系20として、次の構成要素を備える。   The present invention focuses on the fact that when compressed air is blown onto a part of the diaphragm 10, the diaphragm 10 vibrates at a frequency depending on the tension to generate vibration sound (sound wave). The measurement system 20 includes the following components.

振動板10に圧搾空気を吹き付けるエアーノズル21と、振動板10から発生される振動音を収音する測定用マイクロホン22と、測定用マイクロホン22から出力される電気信号を例えばFFTにて波形解析するスペクトラムアナライザ23とを備える。   An air nozzle 21 that blows compressed air on the diaphragm 10, a measurement microphone 22 that collects vibration sound generated from the diaphragm 10, and an electrical signal output from the measurement microphone 22 is subjected to waveform analysis by FFT, for example. And a spectrum analyzer 23.

エアーノズル21は、図示しないエアコンプレッサなどの圧搾空気供給源に接続されるが、エアーノズル21の内径は0.8mm程度であることが好ましい。圧搾空気の空気圧は一定に保つ。   The air nozzle 21 is connected to a compressed air supply source such as an air compressor (not shown). The inner diameter of the air nozzle 21 is preferably about 0.8 mm. The air pressure of the compressed air is kept constant.

振動板10の面10aに圧搾空気を吹き付けるにあたって、図1に示すように、振動板10に対してエアーノズル21を例えば30〜45゜程度傾け、圧搾空気を振動板10に対して斜め方向から、かつ、振動板10の中心から少し離れた位置(好ましくは、中心から半径方向30%程度の位置)に向けて吹き付けることが好ましい。これにより、比較的大きな振動音が得られる。   In blowing compressed air onto the surface 10 a of the diaphragm 10, as shown in FIG. 1, the air nozzle 21 is inclined by about 30 to 45 °, for example, with respect to the diaphragm 10, and the compressed air is inclined with respect to the diaphragm 10 from an oblique direction. In addition, it is preferable to spray toward a position slightly away from the center of the diaphragm 10 (preferably, a position about 30% in the radial direction from the center). Thereby, a comparatively loud vibration sound is obtained.

測定用マイクロホン22は、振動板10の面10b側で振動板10の好ましくは直下に配置される。測定用マイクロホン22は、他のマイクロホンと比べて、周波数応答が平坦であるとともに、使用する音声帯域での位相回転がきわめて小さい無指向性マイクロホンであることが好ましい。   The measurement microphone 22 is preferably disposed directly below the diaphragm 10 on the surface 10 b side of the diaphragm 10. The measurement microphone 22 is preferably an omnidirectional microphone that has a flat frequency response and a very small phase rotation in the voice band to be used as compared to other microphones.

スペクトラムアナライザ23は市販品であってよい。スペクトラムアナライザ23の表示画面23aには、横軸を周波数、縦軸をレベルとして解析波形が表示される。   The spectrum analyzer 23 may be a commercially available product. On the display screen 23a of the spectrum analyzer 23, an analysis waveform is displayed with the horizontal axis representing frequency and the vertical axis representing level.

振動板1の張力を測定するには、エアーノズル21より振動板10に圧搾空気を吹き付けて振動板10を振動させて振動音を発生させる。その振動音を測定用マイクロホン22にて収音して電気信号に変換する。その電気信号をスペクトラムアナライザ23に入力する。   In order to measure the tension of the diaphragm 1, compressed air is blown from the air nozzle 21 to the diaphragm 10 to vibrate the diaphragm 10 to generate vibration sound. The vibration sound is picked up by the measurement microphone 22 and converted into an electric signal. The electric signal is input to the spectrum analyzer 23.

これにより、スペクトラムアナライザ23の表示画面23aに、振動音の周波数が表示される。振動音の周波数は、振動板10の張力に依存するため、その周波数を読むことにより、振動板10の張力を測定することができる。   As a result, the frequency of the vibration sound is displayed on the display screen 23 a of the spectrum analyzer 23. Since the frequency of the vibration sound depends on the tension of the diaphragm 10, the tension of the diaphragm 10 can be measured by reading the frequency.

本発明によれば、振動板10の面10aに付着しているゴミが圧搾空気の吹き付けにより除去されるので、より正確な測定が行える。また、表示画面23aに許容できる周波数範囲の閾値的なウインド23bを設けることにより、良品と不良品とを容易に判別することができる。   According to the present invention, dust attached to the surface 10a of the diaphragm 10 is removed by blowing compressed air, so that more accurate measurement can be performed. In addition, by providing the display window 23a with a threshold window 23b having an allowable frequency range, it is possible to easily determine whether the product is good or defective.

本発明の実施形態に係る振動板の張力測定装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the tension measuring apparatus of the diaphragm which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 振動板
11 支持リング
20 測定系
21 エアノズル
22 測定用マイクロホン
23 スペクトラムアナライザ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Diaphragm 11 Support ring 20 Measurement system 21 Air nozzle 22 Microphone for measurement 23 Spectrum analyzer

Claims (4)

支持リングに張設された状態で固定極と対向的に配置されるコンデンサマイクロホン用の振動板の張力を測定する振動板の張力測定方法において、
上記支持リングに張設されている上記振動板に対して、エアーノズルより圧搾空気を吹き付けて上記振動板を振動させて振動音を発生させ、上記振動音を測定用マイクロホンにて収音し、上記測定用マイクロホンから出力される電気信号をスペクトラムアナライザに入力して波形解析し、上記振動音の周波数に基づいて上記振動板の張力を測定することを特徴とする振動板の張力測定方法。
In the tension measurement method of the diaphragm for measuring the tension of the diaphragm for the condenser microphone arranged opposite to the fixed pole in a state of being stretched on the support ring,
With respect to the diaphragm stretched on the support ring, compressed air is blown from an air nozzle to vibrate the diaphragm to generate a vibration sound, and the vibration sound is collected by a measurement microphone, A method for measuring a tension of a diaphragm, comprising: inputting an electric signal output from the measurement microphone to a spectrum analyzer to analyze a waveform; and measuring a tension of the diaphragm based on a frequency of the vibration sound.
上記圧搾空気を上記振動板の金属蒸着膜が形成されていない面側に吹き付けることを特徴とする請求項1に記載の振動板の張力測定方法。   2. The method of measuring a tension of a diaphragm according to claim 1, wherein the compressed air is blown to a surface of the diaphragm where a metal vapor deposition film is not formed. 上記エアーノズルから噴出する圧搾空気を上記振動板に対して斜め方向から、かつ、上記振動板の中心から離れた位置に向けて吹き付けることを特徴とする請求項1または2に記載の振動板の張力測定方法。   3. The diaphragm according to claim 1, wherein the compressed air ejected from the air nozzle is blown from an oblique direction to the diaphragm and toward a position away from the center of the diaphragm. 4. Tension measurement method. 支持リングに張設された状態で固定極と対向的に配置されるコンデンサマイクロホン用の振動板の張力を測定する振動板の張力測定装置において、
上記支持リングに張設されている上記振動板に対して圧搾空気を吹き付けるエアーノズルと、上記圧搾空気の吹き付けにより上記振動板から発生される振動音を測定する測定用マイクロホンと、上記測定用マイクロホンから出力される電気信号の波形を解析するスペクトラムアナライザとを備えていることを特徴とする振動板の張力測定装置。
In a tension measuring device for a diaphragm that measures the tension of a diaphragm for a condenser microphone arranged opposite to a fixed pole in a state of being stretched on a support ring,
An air nozzle that blows compressed air against the diaphragm stretched on the support ring, a measurement microphone that measures vibration sound generated from the diaphragm by blowing the compressed air, and the measurement microphone A diaphragm tension measuring apparatus comprising: a spectrum analyzer that analyzes a waveform of an electric signal output from the diaphragm.
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