JP2008265153A

JP2008265153A - Screen printer

Info

Publication number: JP2008265153A
Application number: JP2007111624A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Kusuki; 寿幸楠木
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2007-04-20
Filing date: 2007-04-20
Publication date: 2008-11-06

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure a cleaning function over a long period of time by maintaining the durability of a vacuum hose, and to stabilize the printing quality. <P>SOLUTION: This printer 10 is equipped with a cleaner unit 60 for removing smudge of a mask 71 on which a printing pattern is formed. The cleaner unit 60 is equipped with a unit main body, a cleaner head 67, a hollow suction chamber 65, and the vacuum hose 68. In this case, the unit main body is installed relatively movably in the surface direction of the mask 71. The cleaner head 67 is installed on the unit main body, and has a suction port 671 on a contact surface which comes into contact with the mask 71. The hollow suction chamber 65 is installed in a manner to communicate with the cleaner head 67 on the side section of the unit main body, and is made turnable around a shaft in a direction which crosses the moving direction of the unit main body, and also, has a piping connecting section 65a which extends in the direction of crossing to the shaft. The vacuum hose 68 connects the piping connecting section 65a of the suction chamber 65 with a negative pressure source, and has flexibility. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、印刷パターンが形成されたマスクの汚れを除去するためのクリーニング機構を備えたスクリーン印刷機に関する。 The present invention relates to a screen printer provided with a cleaning mechanism for removing dirt on a mask on which a printed pattern is formed.

従来、印刷パターンが形成されたマスクの汚れを除去するためのクリーニング装置が一般に知られている（例えば下記特許文献１）。このクリーニング装置は、負圧源とバキュームホースを介して接続された吸込口を有し、この吸込口からマスクの汚れを吸引して除去するように構成されている。この種のクリーニング装置を備えた印刷機として、下記特許文献２に記載の印刷機が知られている。このクリーニング装置は、基台上に移動可能に設けられたユニット本体を備え、ユニット本体の上部には、マスクとの接触面に吸込口を有する吸気箱が設けられている。その吸気箱内部と連通して設けられた配管接続部は可撓性を有するバキュームホースを通じて負圧源に接続されている。このようなクリーニング装置によると、吸気箱をマスクに接触させた状態でユニット本体をマスクの面方向に沿って移動させることにより、マスクの汚れを吸引して除去することができる。これにより印刷品質を維持できる。
実開平５−６０８４１号公報特開２００２−１９２７０３公報 Conventionally, a cleaning device for removing dirt on a mask on which a printed pattern is formed is generally known (for example, Patent Document 1 below). This cleaning device has a suction port connected to a negative pressure source via a vacuum hose, and is configured to suck and remove the dirt on the mask from this suction port. As a printer provided with this type of cleaning device, a printer described in Patent Document 2 below is known. This cleaning device includes a unit main body that is movably provided on a base, and an air intake box having a suction port on a contact surface with a mask is provided on the upper portion of the unit main body. A pipe connection provided in communication with the inside of the intake box is connected to a negative pressure source through a vacuum hose having flexibility. According to such a cleaning apparatus, the dirt on the mask can be sucked and removed by moving the unit main body along the surface direction of the mask while the intake box is in contact with the mask. Thereby, the print quality can be maintained.
Japanese Utility Model Publication No. 5-60841 JP 2002-192703 A

しかしながら、上記したクリーニング装置では、ユニット本体を移動させることにより、配管接続部に接続されたバキュームホースがユニット本体に追従して小さな半径で大きく湾曲する場合があり、この場合には配管接続部との接続部分に無理な応力がかかることで、バキュームホースの耐久性能を低下させる一因となってしまう。そうすると、バキュームホースに亀裂が入ることによりマスクの汚れの吸引性能を低下させ、印刷品質を低下させてしまう。 However, in the cleaning device described above, by moving the unit body, the vacuum hose connected to the pipe connection portion may be largely curved with a small radius following the unit body. If an excessive stress is applied to the connecting portion, the durability performance of the vacuum hose is reduced. If it does so, the suction performance of the dirt of a mask will fall by a crack entering a vacuum hose, and print quality will fall.

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、バキュームホースの耐久性能を維持することで、長期間に亘ってクリーニング機能を確保し、もって印刷品質の安定化を図ることを目的とする。 The present invention has been completed based on the above circumstances, and maintains the durability of the vacuum hose to ensure a cleaning function for a long period of time, thereby stabilizing the print quality. With the goal.

本発明は、印刷パターンが形成されたマスクの汚れを除去するためのクリーニング機構を備えたスクリーン印刷機において、クリーニング機構は、マスクの面方向に沿って相対移動可能に設けられたユニット本体と、このユニット本体に設けられマスクに接触する接触面に吸込口を有する吸気箱と、ユニット本体の側部に吸気箱に連通して設けられユニット本体の移動方向と交差する方向の軸周りに回動可能とされ、かつ、その軸に対して交差方向に延びる配管接続部を有する中空の継手部材と、この継手部材の配管接続部と負圧源との間を接続して可撓性を有するバキュームホースとを備える構成としたところに特徴を有する。 The present invention relates to a screen printing machine provided with a cleaning mechanism for removing stains on a mask on which a printed pattern is formed.The cleaning mechanism includes a unit main body that is relatively movable along the surface direction of the mask; An intake box provided on the unit body and having a suction port on the contact surface that contacts the mask, and is rotated around an axis in a direction intersecting the moving direction of the unit body provided on the side of the unit body and communicating with the intake box A hollow joint member having a pipe connection portion which is made possible and extends in a direction crossing the axis thereof, and a vacuum having flexibility by connecting between the pipe connection portion of the joint member and a negative pressure source It is characterized by having a configuration including a hose.

このような構成でユニット本体を移動させた場合、これに伴って配管接続部に接続されたバキュームホースがユニット本体に追従して移動するものの、配管接続部がユニット本体の移動方向と交差する方向の軸周りに回動することによって、配管接続部との接続部分にかかる応力を分散させることができる。したがって、バキュームホースの耐久性能を維持することができる。 When the unit main body is moved in such a configuration, the vacuum hose connected to the pipe connecting portion moves along with the unit main body, but the pipe connecting portion intersects the moving direction of the unit main body. The stress applied to the connecting portion with the pipe connecting portion can be dispersed by rotating around the axis of the pipe. Therefore, the durability performance of the vacuum hose can be maintained.

上記したクリーナユニットの実施態様として、以下の構成が好ましい。
ユニット本体の内部には、吸気箱の吸込口を覆う通気性のクリーニングシートを供給する供給ロールと、クリーニングシートの先端側を巻き取る巻取ロールとが設けられている構成としてもよい。このような構成によると、クリーニングシートによってマスクの汚れを拭き取りつつ吸込口に吸引することができる。 As an embodiment of the cleaner unit described above, the following configuration is preferable.
The unit main body may be provided with a supply roll for supplying a breathable cleaning sheet that covers the suction port of the intake box and a take-up roll for winding up the leading end side of the cleaning sheet. According to such a configuration, the cleaning sheet can be sucked into the suction port while wiping off the dirt on the mask.

継手部材は、吸気箱側に連なってユニット本体の移動方向と交差する方向に延びる円筒管と、この円筒管の外周に嵌合する挿通孔を有する継手箱と、この継手箱の側部に突設された配管接続部とを備える構成としてもよい。このような構成によると、バキュームホースを継手箱の配管接続部に接続すると共にこの継手箱を円筒管に対して回動可能に支持することができる。 The joint member includes a cylindrical tube extending in a direction intersecting with the moving direction of the unit main body, connected to the intake box side, a joint box having an insertion hole fitted to the outer periphery of the cylindrical tube, and protruding to the side of the joint box. It is good also as a structure provided with the provided piping connection part. According to such a structure, while connecting a vacuum hose to the piping connection part of a joint box, this joint box can be supported rotatably with respect to a cylindrical tube.

吸気箱は、ユニット本体に対して上下に移動可能に支持されると共に昇降機構により上下に駆動可能とされ、円筒管は吸気箱に固定的に設けられて吸気箱と一体的に昇降し、ユニット本体の側部には、円筒管の上下移動を許容しつつ貫通させる貫通孔が設けられている構成としてもよい。 The intake box is supported so as to be movable up and down with respect to the unit body, and can be driven up and down by an elevating mechanism, and the cylindrical tube is fixedly provided on the intake box and moves up and down integrally with the intake box. It is good also as a structure provided in the side part of the main body with the through-hole penetrated while allowing the cylindrical tube to move up and down.

継手箱の挿通孔の周縁部と円筒管の外周面との間にはシール部材が設けられている構成としてもよい。このような構成によると、シール部材によって継手箱の挿通孔の周縁部と円筒管の外周面との間をシール状態に保つことができる。 A sealing member may be provided between the peripheral edge of the insertion hole of the joint box and the outer peripheral surface of the cylindrical tube. According to such a configuration, the seal member can maintain a sealed state between the peripheral portion of the insertion hole of the joint box and the outer peripheral surface of the cylindrical tube.

本発明によると、バキュームホースの耐久性能を維持することで、長期間に亘ってクリーニング機能を確保し、もって印刷品質の安定化を図ることができる。 According to the present invention, by maintaining the durability performance of the vacuum hose, it is possible to ensure a cleaning function for a long period of time and thereby to stabilize printing quality.

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１について図面を参照しながら説明する。
＜スクリーン印刷機の全体構成＞
本実施形態における印刷機１０は、図１に示すように、基台１１上に図１中紙面を貫通する方向（Ｙ軸方向）に移動可能に設けた基板テーブル３０を備える。基板テーブル３０上にはメインコンベア４０が図面上左右方向（Ｘ軸方向）に延びるように一体的に設けられている。図１及び図２はそれぞれ、基板搬送位置にある基板テーブル３０をＹ軸方向及びＺ軸方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に対して直交する方向）から見た状態を示している。基板搬入時には、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のそれぞれの基板搬送位置にある基板テーブル３０が、Ｘ軸方向における中央部から右方に移動し（図２における図面右側２点波線部）、基板Ｗを受け渡し可能な間隔（例えば５ｍｍ程度）で上流側の不図示のコンベアと連結し、この不図示のコンベアとメインコンベア４０が稼働することで基板Ｗを受け取り可能である。これとは逆に、基板搬出時には、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のそれぞれの基板搬送位置にある基板テーブル３０がＸ軸方向における中央部から左方に移動し（図２における図面左側２点波線部）、基板Ｗを受け渡し可能な間隔（例えば５ｍｍ程度）で下流側の不図示のコンベアと連結し、この不図示のコンベアとメインコンベア４０が稼働することで基板Ｗを搬出可能である。また、基板Ｗをクランプするための基板クランプユニット５０（図２参照）と、後述するマスク７１の下面を清掃するためのクリーナユニット（本発明の「クリーニング機構」の一例）６０（図２及び図３参照）とを備えている。 <Embodiment 1>
Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.
<Overall configuration of screen printer>
As shown in FIG. 1, the printing machine 10 according to this embodiment includes a substrate table 30 provided on a base 11 so as to be movable in a direction (Y-axis direction) penetrating the paper surface in FIG. 1. A main conveyor 40 is integrally provided on the substrate table 30 so as to extend in the left-right direction (X-axis direction) in the drawing. 1 and 2 respectively show a state in which the substrate table 30 at the substrate transfer position is viewed from the Y-axis direction and the Z-axis direction (a direction orthogonal to both the X-axis direction and the Y-axis direction). At the time of substrate loading, the substrate table 30 at the substrate transport position in each of the Y-axis direction and the Z-axis direction moves to the right from the central portion in the X-axis direction (the two-dot dotted line portion on the right side in FIG. 2). The substrate W can be received by connecting to an upstream conveyor (not shown) at an interval (for example, about 5 mm) that can be delivered and operating the conveyor (not shown) and the main conveyor 40. On the other hand, when the substrate is unloaded, the substrate table 30 at the substrate transfer position in each of the Y-axis direction and the Z-axis direction moves to the left from the central portion in the X-axis direction (two dotted lines on the left side of the drawing in FIG. 2). Part), the substrate W is connected to a downstream conveyor (not shown) at an interval (for example, about 5 mm) at which the substrate W can be delivered, and the substrate W can be carried out by operating the conveyor (not shown) and the main conveyor 40. Further, a substrate clamping unit 50 (see FIG. 2) for clamping the substrate W and a cleaner unit (an example of the “cleaning mechanism” of the present invention) 60 for cleaning the lower surface of the mask 71 described later (FIGS. 2 and 2) 3).

＜マスククランプユニットの構成＞
基台１１に連結されるフレーム１２の左右上方には、それぞれ前後方向に延びるフレーム部材１６（図１参照）が設けられ、このフレーム部材１６にマスククランプユニット７０が設けられている。このマスククランプユニット７０は、クリーム半田印刷用のマスク７１をマスク支持部７２により支持し、そのマスク支持部７２とマスククランプ７３との間でマスク７１を構成する枠部材７１ａを挟み付けて保持する構成である。マスク支持部７２は、マスク７１の四隅と対応する位置に設けられている。マスククランプ７３は、各マスク支持部７２と対応してその上方に設けられている。マスククランプ７３の昇降機構としてはエアシリンダが用いられ、このエアシリンダにエアを供給するエア供給路の途中にはクランプ昇降切替弁が設けられている。クランプ昇降切替弁の開閉操作を行う操作スイッチがＯＮにされてクランプ昇降切替弁が開放状態になると、エアシリンダにエアが供給され、ピストンロッドに連結されたマスククランプ７３がマスク７１を構成する枠部材をマスク支持部７２に押圧保持可能である。これにより、マスク７１は、基板テーブル３０の上方において水平配置で張り渡した状態に保持される。 <Configuration of mask clamp unit>
A frame member 16 (see FIG. 1) extending in the front-rear direction is provided above and to the left and right of the frame 12 connected to the base 11, and a mask clamp unit 70 is provided on the frame member 16. This mask clamp unit 70 supports a mask 71 for cream solder printing by a mask support 72 and sandwiches and holds a frame member 71 a constituting the mask 71 between the mask support 72 and the mask clamp 73. It is a configuration. The mask support portions 72 are provided at positions corresponding to the four corners of the mask 71. The mask clamp 73 is provided above and corresponding to each mask support portion 72. An air cylinder is used as an elevating mechanism for the mask clamp 73, and a clamp elevating switching valve is provided in the middle of an air supply path for supplying air to the air cylinder. When an operation switch for opening / closing the clamp raising / lowering switching valve is turned on and the clamp raising / lowering switching valve is opened, air is supplied to the air cylinder, and the mask clamp 73 connected to the piston rod constitutes a frame constituting the mask 71 The member can be pressed and held on the mask support portion 72. As a result, the mask 71 is held in a state of being stretched horizontally above the substrate table 30.

また、マスククランプユニット７０は、マスク７１の有無を検知する位置センサを備えている。マスククランプ７３には位置識別部が設けられ、この位置識別部はマスククランプ７３がマスク７１をクランプした状態では所定高さ範囲内に位置することで、図示しない位置センサによって読み取られ、位置センサからマスククランプ制御部１７０（図９参照）へ検出信号が送出される。一方、位置識別部が所定高さより上方位置、あるいは下方位置のいずれかにあれば位置センサによる読み取りができず、従ってマスクリリース状態（マスク７１が無い状態）と検知される。 The mask clamp unit 70 includes a position sensor that detects the presence or absence of the mask 71. The mask clamp 73 is provided with a position identification unit, and the position identification unit is read by a position sensor (not shown) by being positioned within a predetermined height range when the mask clamp 73 clamps the mask 71. A detection signal is sent to the mask clamp controller 170 (see FIG. 9). On the other hand, if the position identification unit is at a position above or below the predetermined height, reading by the position sensor cannot be performed, and therefore a mask release state (state without the mask 71) is detected.

＜基板搬送装置の構成＞
基板搬送装置を構成する前記基板テーブル３０は、Ｙ軸テーブル３１、Ｘ軸テーブル３２、Ｒ軸テーブル３３、昇降テーブル３８等を段積みしてなる構成である。Ｙ軸テーブル３１は、基台１１上においてＹ軸方向に沿って延びる４本のＹ方向ガイドレール３４によってＹ軸方向にスライド自在に取り付けられている。Ｙ軸テーブル３１と基台１１との間には、Ｙ軸モータの動力によって駆動されるＹ方向ボールねじ機構３４１が設けられている。これにより、基板テーブル３０のＹ軸テーブル３１は、Ｙ方向ボールねじ機構３４１が駆動することにより基台１１に対して、前側すなわち作業者側のＹ軸方向における基板搬送位置（図２及び図３における基板テーブル３０の位置）とＹ軸方向後端の位置との間で往復移動可能である。尚、Ｙ軸方向における基板搬送位置にある基板テーブル３０と待機位置にあるクリーナユニット６０とは互いに近接した配置とされている（図３参照）。 <Configuration of substrate transfer device>
The substrate table 30 constituting the substrate transfer apparatus is configured by stacking a Y-axis table 31, an X-axis table 32, an R-axis table 33, an elevating table 38, and the like. The Y-axis table 31 is mounted on the base 11 so as to be slidable in the Y-axis direction by four Y-direction guide rails 34 extending along the Y-axis direction. A Y-direction ball screw mechanism 341 driven by the power of the Y-axis motor is provided between the Y-axis table 31 and the base 11. As a result, the Y-axis table 31 of the substrate table 30 is driven by the Y-direction ball screw mechanism 341 so that the substrate transport position in the Y-axis direction on the front side, that is, the operator side (see FIGS. 2 and 3). Between the position of the substrate table 30) and the position of the rear end in the Y-axis direction. The substrate table 30 at the substrate transfer position in the Y-axis direction and the cleaner unit 60 at the standby position are arranged close to each other (see FIG. 3).

Ｙ軸テーブル３１上には、Ｘ軸方向に沿って延びる形態をなす一対のＸ方向ガイドレール３５が設けられ、この両Ｘ方向ガイドレール３５上にＸ軸テーブル３２がＸ軸方向にスライド自在に取り付けられている。Ｘ軸テーブル３２とＹ軸テーブル３１との間には、Ｘ軸モータの動力によって駆動されるＸ方向ボールねじ機構（図示せず）が設けられている。これにより、Ｘ軸テーブル３１は、Ｘ方向ボールねじ機構が駆動することによってＹ軸テーブル３１に対してＸ軸方向における所望の位置に移動可能である。 A pair of X-direction guide rails 35 extending along the X-axis direction are provided on the Y-axis table 31, and the X-axis table 32 is slidable in the X-axis direction on both X-direction guide rails 35. It is attached. Between the X-axis table 32 and the Y-axis table 31, an X-direction ball screw mechanism (not shown) driven by the power of the X-axis motor is provided. Thereby, the X-axis table 31 can move to a desired position in the X-axis direction with respect to the Y-axis table 31 by driving the X-direction ball screw mechanism.

Ｘ軸テーブル３２上には、回転ユニット３６を介してＲ軸テーブル３３が設けられている。回転ユニット３６はＲ軸モータを備え、このモータの動力によってＺ軸方向に延びる回動軸を中心として回転自在に設けられている。これにより、Ｒ軸テーブル３３は、回転ユニット３６が駆動することによってＸ軸テーブル３２に対してＺ軸回りにおける所望の角度に回動可能である。 An R-axis table 33 is provided on the X-axis table 32 via a rotation unit 36. The rotation unit 36 includes an R-axis motor, and is provided so as to be rotatable about a rotation axis extending in the Z-axis direction by the power of the motor. As a result, the R-axis table 33 can be rotated to a desired angle around the Z-axis with respect to the X-axis table 32 when the rotation unit 36 is driven.

Ｒ軸テーブル３３の四隅には、ガイドシャフト３７がＺ軸方向に沿ってスライド自在に取り付けられ、このガイドシャフト３７の上端部に昇降テーブル３８が固定されている。また、Ｒ軸テーブル３３と昇降テーブル３８との間には、Ｚ軸モータの動力によって駆動されるボールねじ機構３９が設けられている。これにより、昇降テーブル３８は、ボールねじ機構３９が駆動することによってＲ軸テーブル３３に対して、Ｚ軸方向における所望の位置に移動可能である。尚、Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータ、及びＲ軸モータは共に、サーボ形式のモータである。 Guide shafts 37 are slidably attached along the Z-axis direction at the four corners of the R-axis table 33, and a lifting table 38 is fixed to the upper end portion of the guide shaft 37. A ball screw mechanism 39 driven by the power of the Z-axis motor is provided between the R-axis table 33 and the lifting table 38. Thereby, the elevating table 38 can be moved to a desired position in the Z-axis direction with respect to the R-axis table 33 when the ball screw mechanism 39 is driven. The X-axis motor, Y-axis motor, Z-axis motor, and R-axis motor are all servo-type motors.

基板テーブル３０の昇降テーブル３８上には、Ｘ軸方向に沿って一対のメインコンベア４０が設けられている。メインコンベア４０は、昇降テーブル３８の昇降動作に伴って基板Ｗを搬送可能なＺ軸方向における基板搬送位置とこの基板搬送位置より上方の印刷位置との間で移動可能である。 A pair of main conveyors 40 are provided on the lift table 38 of the substrate table 30 along the X-axis direction. The main conveyor 40 is movable between a substrate transport position in the Z-axis direction where the substrate W can be transported and a printing position above the substrate transport position in accordance with the lifting operation of the lift table 38.

メインコンベア４０は、昇降テーブル３８に取り付けられる。基板クランプユニット５０は、図３に示すように、メインコンベア４０の一対の前後のコンベア４０ｃ，４０ｃのそれぞれ外側においてＸ軸方向に沿って配置された一対の帯板状のクランプ片５１を備えている。これにより、両クランプ片５１は、メインコンベア４０上に搬送された基板Ｗを、基板Ｗの上面と両クランプ片５１の上面とがＺ軸方向で同一高さとする状態で、不図示のシリンダ機構により一方のクランプ片５１がＹ軸方向にスライドしてＹ軸方向両側から保持可能である。 The main conveyor 40 is attached to the lifting table 38. As shown in FIG. 3, the substrate clamp unit 50 includes a pair of strip-shaped clamp pieces 51 arranged along the X-axis direction on the outer sides of the pair of front and rear conveyors 40 c and 40 c of the main conveyor 40. Yes. As a result, the clamp pieces 51 have the cylinder mechanism (not shown) in a state where the upper surface of the substrate W and the upper surfaces of the clamp pieces 51 have the same height in the Z-axis direction. Thus, one clamp piece 51 can slide in the Y-axis direction and be held from both sides in the Y-axis direction.

ボールねじ機構３９により昇降テーブル３８を上昇させることにより、メインコンベア４０、両クランプ片５１及び両クランプ片５１で保持されている基板Ｗを上昇させることにより、基板Ｗをマスク７１下面に重装することができる。昇降テーブル３８には、印刷動作中マスク７１の上方のスキージ８１により負荷される荷重に対抗して基板Ｗを支えるバックアップ装置が設けられている。バックアップ装置は、昇降テーブル３８に対してＺ軸方向に沿ってスライド自在に取り付けられたスライド支柱４３と、このスライド支柱４３の上端部に固定された載置テーブル４１と、昇降テーブル３８と載置テーブル４１との間に設けた昇降装置とを備えている。この昇降装置はバックアップ装置昇降モータを備え、このモータの駆動力により載置テーブル４１をＺ軸方向における所望の位置に昇降可能である。載置テーブル４１上には、バックアッププレート上に複数のバックアップピンが上向きにセットされたバックアップユニットが載置されており、載置テーブル４１が上昇すると、バックアップピンの上端部で基板Ｗが支持された状態となる。この状態で基板Ｗが両クランプ片５１に保持される。 The substrate W is placed on the lower surface of the mask 71 by raising the elevating table 38 by the ball screw mechanism 39 to raise the main conveyor 40, both clamp pieces 51, and the substrate W held by both clamp pieces 51. be able to. The lift table 38 is provided with a backup device that supports the substrate W against a load applied by the squeegee 81 above the mask 71 during the printing operation. The backup device includes a slide column 43 slidably attached to the lifting table 38 along the Z-axis direction, a mounting table 41 fixed to the upper end of the slide column 43, and the lifting table 38. And a lifting device provided between the table 41 and the table 41. This lifting device includes a backup device lifting motor, and the mounting table 41 can be lifted to a desired position in the Z-axis direction by the driving force of this motor. On the mounting table 41, a backup unit in which a plurality of backup pins are set upward on the backup plate is mounted. When the mounting table 41 is raised, the substrate W is supported by the upper end of the backup pin. It becomes the state. In this state, the substrate W is held by both clamp pieces 51.

本実施形態における基板テーブル３０は、図２及び図３に示すように、基板Ｗの幅寸法に応じて両コンベア４０間のコンベア幅を変更可能なコンベア幅調整機構４２を備えている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate table 30 in this embodiment includes a conveyor width adjusting mechanism 42 that can change the conveyor width between both conveyors 40 in accordance with the width dimension of the substrate W.

尚、本実施形態における印刷機１０は、図３に示すように、基板Ｗのフィデューシャルマークを撮像するための基板撮像カメラ１８と、基板Ｗの印刷後の状態を撮像して検査するための検査カメラ１９とを備えている。両カメラ１８，１９は共に、両フレーム部材１６間に梁状に設けた取付部材１７に固定されている。また、昇降テーブル３８上のＹ軸方向前側には、マスク７１下面のフィデューシャルマーク（図示せず）を撮像してマスク７１の位置や種類等を識別するための基板テーブルカメラ４９が設けられている。 As shown in FIG. 3, the printing machine 10 according to the present embodiment captures and inspects the substrate imaging camera 18 for imaging the fiducial mark of the substrate W and the printed state of the substrate W. The inspection camera 19 is provided. Both cameras 18 and 19 are fixed to a mounting member 17 provided in a beam shape between both frame members 16. Further, on the front side in the Y-axis direction on the lifting table 38, a substrate table camera 49 for imaging a fiducial mark (not shown) on the lower surface of the mask 71 and identifying the position and type of the mask 71 is provided. ing.

＜スキージヘッド周りの構成＞
前記各フレーム部材１６には、図１に示すように、Ｙ軸方向に延びる２本のＹ方向ガイドレール８４が並行して設けられ、それらのＹ方向ガイドレール８４，８４に支持されてスキージヘッド支持フレーム８３がＹ軸方向に移動可能に設けられている。このスキージヘッド支持フレーム８３には、マスク７１の上方に位置するようにしてスキージヘッド８０が設けられている。２つのフレーム部材１６のうち図１の左側に位置するフレーム部材１６には、Ｙ方向ガイドレール８４に沿うようにしてボールねじ軸８５が回転自在に設けられている。ボールねじ軸８５の端部には、同ボールねじ軸８５を回転駆動するＹ軸モータ（図示せず）が固定されている。一方、スキージヘッド支持フレーム８３には、上記ボールねじ軸８５と螺合するボールナット８６が固定されている。これにより、スキージヘッド支持フレーム８３は、Ｙ軸モータでボールねじ軸８５を駆動することによってＹ方向ガイドレール８４上をＹ軸方向における所望の位置に移動させることができる。尚、Ｙ軸モータはサーボ形式のモータである。 <Configuration around the squeegee head>
As shown in FIG. 1, each frame member 16 is provided with two Y-direction guide rails 84 extending in the Y-axis direction, and is supported by the Y-direction guide rails 84 and 84 so as to be squeegee heads. A support frame 83 is provided so as to be movable in the Y-axis direction. The squeegee head support frame 83 is provided with a squeegee head 80 so as to be positioned above the mask 71. A ball screw shaft 85 is rotatably provided along the Y-direction guide rail 84 on the frame member 16 located on the left side in FIG. A Y-axis motor (not shown) that rotationally drives the ball screw shaft 85 is fixed to the end of the ball screw shaft 85. On the other hand, a ball nut 86 that is screwed onto the ball screw shaft 85 is fixed to the squeegee head support frame 83. Thereby, the squeegee head support frame 83 can be moved on the Y-direction guide rail 84 to a desired position in the Y-axis direction by driving the ball screw shaft 85 with the Y-axis motor. The Y-axis motor is a servo type motor.

スキージヘッド８０は第１及び第２のスキージ８１と、各スキージ８１を昇降可能とする第１及び第２のエアシリンダ８７とを備えている。各エアシリンダ８７を駆動するための空気圧供給装置からのエア供給路の途中には、図示しない第１及び第２の昇降切替弁が設けられており、後述するスキージユニット制御部１３０からの信号に応じて第１又は第２のスキージ８１が選択的に下降する。 The squeegee head 80 includes first and second squeegees 81 and first and second air cylinders 87 that allow the squeegees 81 to be raised and lowered. In the middle of the air supply path from the air pressure supply device for driving each air cylinder 87, there are provided first and second up / down switching valves (not shown), and a signal from the squeegee unit controller 130 described later is provided. Accordingly, the first or second squeegee 81 is selectively lowered.

尚、詳細な説明は省略するが、スキージヘッド８０は、スキージヘッド支持フレーム８３に設けたボールねじ機構８８及びこのボールねじ機構８８を回転駆動するモータ８９を備えたスキージヘッド昇降機構８２によって上下に駆動され、スキージヘッド昇降機構８２によってスキージヘッド８０が下降されると、スキージ８１がマスク７１を介して基板Ｗに押しつけられて印刷荷重が付与される。また、スキージヘッド昇降機構８２の内部には、マスク７１上面に押圧されたスキージ８１の荷重を検知する荷重センサが組み込まれている。荷重センサによって検知された検知荷重は、スキージユニット制御部１３０（図９参照）に送出され、検知荷重が目標印刷荷重の範囲内となるようにサーボ形式のモータ８９に制御信号を送出する。 Although not described in detail, the squeegee head 80 is moved up and down by a squeegee head elevating mechanism 82 including a ball screw mechanism 88 provided on the squeegee head support frame 83 and a motor 89 that rotationally drives the ball screw mechanism 88. When driven and the squeegee head 80 is lowered by the squeegee head lifting mechanism 82, the squeegee 81 is pressed against the substrate W via the mask 71 and a printing load is applied. In addition, a load sensor that detects the load of the squeegee 81 pressed against the upper surface of the mask 71 is incorporated in the squeegee head lifting mechanism 82. The detected load detected by the load sensor is sent to the squeegee unit controller 130 (see FIG. 9), and a control signal is sent to the servo motor 89 so that the detected load falls within the target printing load range.

＜クリーナユニットの構成＞
それでは、前記クリーナユニット６０の構成について図５ないし図８を参照しながら説明する。クリーナユニット６０はユニット本体を有し、このユニット本体は、図７に示すように、底壁６０１と、この底壁６０１の幅方向両側端部から上方に立ち上がる一対の側壁６０２とを備えている。底壁６０１の下面側には、あり溝状の凹部を有する一対のレール受け部６０３が設けられ、このレール受け部６０３の凹部内にＹ方向ガイドレール３４が嵌合することによりクリーナユニット６０がＹ軸方向に移動可能に案内される。尚、図７における右側のレール受け部６０３の前端側には、クリーナユニット６０が前方へ移動することを規制するストッパ１１１が基台１１上にボルト止めされている。 <Configuration of cleaner unit>
Now, the configuration of the cleaner unit 60 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 7, the cleaner unit 60 has a unit main body, and includes a bottom wall 601 and a pair of side walls 602 that rise upward from both ends in the width direction of the bottom wall 601. . On the lower surface side of the bottom wall 601, a pair of rail receiving portions 603 having a dovetail recess is provided, and the Y-direction guide rail 34 is fitted into the recess of the rail receiving portion 603, whereby the cleaner unit 60 is Guided so as to be movable in the Y-axis direction. A stopper 111 that restricts the cleaner unit 60 from moving forward is bolted to the base 11 on the front end side of the right rail receiving portion 603 in FIG.

底壁６０１の下面側であって両レール受け部６０３の間には、連結用ソレノイド６６が配設されている。連結用ソレノイド６６は上下方向に突没するロッドを備え、基板テーブル３０がＹ軸方向における基板搬送位置にある状態（図３状態）では、ロッドの下端部が基台１１上にボルト止めされた位置決め部材１１２の位置決め孔（図示せず）に嵌合しており、これによってクリーナユニット６０が待機位置に保持される。一方、基板テーブル３０には、ロッドが嵌入する連結孔（図示せず）が設けられている。このため、クリーナユニット６０は、連結用ソレノイド６６のロッドの上端部が基板テーブル３０の連結孔に嵌合することで基板テーブル３０と連結されると共に、ロッドの下端部が上方に移動することで位置決め部材１１２に対する係合が解除される。これにより、クリーナユニット６０は、基板テーブル３０の移動に伴ってＹ方向ガイドレール３４上をＹ軸方向に沿って移動可能である。 A connecting solenoid 66 is disposed between the rail receiving portions 603 on the lower surface side of the bottom wall 601. The connecting solenoid 66 includes a rod protruding and retracted in the vertical direction. When the substrate table 30 is in the substrate transfer position in the Y-axis direction (the state shown in FIG. 3), the lower end of the rod is bolted onto the base 11. The cleaner unit 60 is held in the standby position by being fitted in a positioning hole (not shown) of the positioning member 112. On the other hand, the substrate table 30 is provided with a connecting hole (not shown) into which the rod is fitted. For this reason, the cleaner unit 60 is connected to the substrate table 30 by fitting the upper end of the rod of the connecting solenoid 66 into the connection hole of the substrate table 30, and the lower end of the rod moves upward. The engagement with the positioning member 112 is released. Thereby, the cleaner unit 60 can move along the Y-axis direction on the Y-direction guide rail 34 as the substrate table 30 moves.

両側壁６０２間には、ロール状のコットン紙（本発明の「クリーニングシート」の一例）６１を供給する供給ロール６２と、その供給ロール６２の上方に位置してコットン紙６１を巻き取る巻取ロール６３と、コットン紙６１の搬送経路の途中に配された複数の案内ロール６４とが、互いに平行姿勢でかつ回動可能に設けられている。供給ロール６２から供給されたコットン紙６１は、供給ロール６２の斜め後方に位置する第１の案内ロール６４１、その第１の案内ロール６４１の上方でかつ側壁６０２の上部に位置する第２の案内ロール６４２（図６参照）、その第２の案内ロール６４２の前方に位置する第３の案内ロール６４３、その第３の案内ロール６４３の下方でかつ巻取ロール６３の斜め前方に位置する第４の案内ロール６４４を通して巻取ロール６３に案内される。供給ロール６２の端部には、コットン紙６１にかかる張力を調整するテンションコントローラ（図示せず）が取り付けられ、巻取ロール６３の端部には、巻取ロール６３を回転駆動する巻取モータ（図示せず）が設けられている。これにより、コットン紙６１は巻取モータを駆動することにより所定の張力で各ロール６２〜６４間に架け渡された状態に保持される。 Between both side walls 602, a supply roll 62 for supplying a roll of cotton paper (an example of the “cleaning sheet” of the present invention) 61, and a winding roll that winds up the cotton paper 61 positioned above the supply roll 62. A roll 63 and a plurality of guide rolls 64 arranged in the middle of the conveyance path of the cotton paper 61 are provided in a mutually parallel posture and rotatable. The cotton paper 61 supplied from the supply roll 62 includes a first guide roll 641 positioned obliquely behind the supply roll 62, and a second guide positioned above the first guide roll 641 and above the side wall 602. A roll 642 (see FIG. 6), a third guide roll 643 positioned in front of the second guide roll 642, and a fourth position positioned below the third guide roll 643 and obliquely in front of the take-up roll 63 The guide roll 644 guides the take-up roll 63. A tension controller (not shown) for adjusting the tension applied to the cotton paper 61 is attached to the end of the supply roll 62, and a take-up motor that rotationally drives the take-up roll 63 is attached to the end of the take-up roll 63. (Not shown) is provided. Thus, the cotton paper 61 is held in a state of being spanned between the rolls 62 to 64 with a predetermined tension by driving the winding motor.

両側壁６０２の上部間には、鉛直方向の取付面を有する支持部材６０４が架設され、この支持部材６０４に箱形をなすクリーナヘッド（本発明の「吸気箱」の一例）６７が支持されている。支持部材６０４の取付面の幅方向両側には、クリーナヘッド６７を上下方向に移動可能に案内する案内装置６０５が取り付けられている。さらに支持部材６０４の取付面における両案内装置６０５間には、クリーナヘッド６７を上下方向に駆動するエアシリンダ装置６０６が設けられている。また、クリーナヘッド６７は、図６に示すように、第２及び第３の案内ロール６４２，６４３の間に位置して設けられている。さらに、エアシリンダ装置６０６にエアを供給するエア供給路の途中には、クリーナヘッド昇降切替弁（図示せず）が設けられている。したがって、クリーナヘッド６７は、クリーナヘッド昇降切替弁を所要時期に切替動作することで第２及び第３の案内ロール６４２，６４３間を通過して下端位置と上端位置との間を移動可能である。 A support member 604 having a vertical mounting surface is installed between the upper portions of both side walls 602, and a box-shaped cleaner head (an example of the “intake box” of the present invention) 67 is supported on the support member 604. Yes. Guide devices 605 that guide the cleaner head 67 so as to be movable in the vertical direction are attached to both sides in the width direction of the mounting surface of the support member 604. Further, an air cylinder device 606 for driving the cleaner head 67 in the vertical direction is provided between the guide devices 605 on the mounting surface of the support member 604. Further, as shown in FIG. 6, the cleaner head 67 is provided between the second and third guide rolls 642 and 643. Furthermore, a cleaner head elevation switching valve (not shown) is provided in the middle of the air supply path for supplying air to the air cylinder device 606. Accordingly, the cleaner head 67 can move between the lower end position and the upper end position by passing between the second and third guide rolls 642 and 643 by switching the cleaner head elevation switching valve at a required time. .

クリーナヘッド６７が下端位置にあるときには、クリーナヘッド６７の上面（マスク７１に接触する接触面）が第２及び第３の案内ロール６４２，６４３間に架け渡されたコットン紙６１より下方に位置している。一方、クリーナヘッド６７が上端位置にあるときには、クリーナヘッド６７の上面が第２及び第３の案内ロール６４２，６４３間に架け渡されたコットン紙６１より上方に位置するため、コットン紙６１がクリーナヘッド６７により第２及び第３の案内ロール６４２，６４３より上方に持ち上げられると共にクリーナヘッド６７の上面がコットン紙６１を介してマスク７１下面に接触する。尚、コットン紙６１によって覆われたクリーナヘッド６７の上面には、幅方向に延びるスリット形状をなし、クリーナヘッド６７の内外を連通させる一対の吸込口６７１が並んで設けられている。また、クリーナヘッド６７の内部には、図示はしないがポンプモータを駆動してコットン紙６１に洗浄液を供給する洗浄液供給機構が設けられている。 When the cleaner head 67 is in the lower end position, the upper surface of the cleaner head 67 (the contact surface that contacts the mask 71) is positioned below the cotton paper 61 spanned between the second and third guide rolls 642 and 643. ing. On the other hand, when the cleaner head 67 is at the upper end position, the upper surface of the cleaner head 67 is located above the cotton paper 61 spanned between the second and third guide rolls 642 and 643, so that the cotton paper 61 is the cleaner. The head 67 is lifted above the second and third guide rolls 642 and 643 and the upper surface of the cleaner head 67 contacts the lower surface of the mask 71 through the cotton paper 61. In addition, on the upper surface of the cleaner head 67 covered with the cotton paper 61, a pair of suction ports 671 that form a slit shape extending in the width direction and communicate with the inside and outside of the cleaner head 67 are provided side by side. In addition, a cleaning liquid supply mechanism (not shown) that drives a pump motor to supply the cleaning liquid to the cotton paper 61 is provided inside the cleaner head 67.

クリーナヘッド６７の図７における左端側には、クリーナヘッド６７の内部と連通し、円筒状をなす連通管６７２が一体に設けられている。この連通管６７２は、クリーナヘッド６７の左端部下面から鉛直方向に延びた後、水平方向（図７の左側）に向きを変え、側壁６０２に貫通する貫通孔６０７を通過してクリーナユニット６０の外部に延びる形態をなしている。クリーナヘッド６７が下端位置にあるときには、図５に示すように、連通管６７２のうち水平方向に延びる部分（本発明の「円筒管」に相当する。）と貫通孔６０７の外周面との間に所定のクリアランスＳが設けられている。このクリアランスＳはクリーナヘッド６７が上端位置にあるときに、連通管６７２の外周面と貫通孔６０７の内周面とが干渉しないように設定されている。尚、連通管６７２の水平部分は、クリーナユニット６０が基台１１上のＹ方向ガイドレール３４上に設置された状態では、クリーナユニット６０の移動方向（Ｙ軸方向）と交差する方向（Ｘ軸方向）に延びる形態をなしている。 On the left end side of the cleaner head 67 in FIG. 7, a communication pipe 672 having a cylindrical shape that communicates with the inside of the cleaner head 67 is integrally provided. The communication pipe 672 extends in the vertical direction from the lower surface of the left end portion of the cleaner head 67, then changes its direction in the horizontal direction (left side in FIG. 7), passes through the through-hole 607 that penetrates the side wall 602, and It has a form extending to the outside. When the cleaner head 67 is in the lower end position, as shown in FIG. 5, the portion extending in the horizontal direction (corresponding to the “cylindrical tube” of the present invention) of the communication pipe 672 and the outer peripheral surface of the through hole 607. Is provided with a predetermined clearance S. This clearance S is set so that the outer peripheral surface of the communication pipe 672 and the inner peripheral surface of the through hole 607 do not interfere when the cleaner head 67 is at the upper end position. The horizontal portion of the communication pipe 672 is a direction (X axis) that intersects the movement direction (Y axis direction) of the cleaner unit 60 when the cleaner unit 60 is installed on the Y direction guide rail 34 on the base 11. Direction).

連通管６７２の水平部分の先端側には、箱形の中空に形成された吸引チャンバ６５（本発明の「継手箱」の一例）が連通管６７２の水平部分を回動支持軸として回動可能に取り付けられている。吸引チャンバ６５の内部は、連通管６７２を通じてクリーナヘッド６７の内部と連通している。尚、吸引チャンバ６５の連通管６７２への取付構造については、後に詳述する。吸引チャンバ６５のうち連通管６７２との取付面６５１と隣り合う側面部には、吸引チャンバ６５の内部と連通する配管接続部６５ａが配置されている。この配管接続部６５ａは、連通管６７２の水平部分に対して径方向外側に突出して設けられている。 A suction chamber 65 (an example of the “joint box” of the present invention) formed in a box-like hollow is rotatable at the distal end side of the horizontal portion of the communication tube 672 with the horizontal portion of the communication tube 672 as a rotation support shaft. Is attached. The inside of the suction chamber 65 communicates with the inside of the cleaner head 67 through a communication pipe 672. The structure for attaching the suction chamber 65 to the communication pipe 672 will be described in detail later. A pipe connection portion 65 a that communicates with the inside of the suction chamber 65 is disposed on a side surface portion of the suction chamber 65 adjacent to the attachment surface 651 with the communication pipe 672. The pipe connection portion 65 a is provided so as to protrude radially outward with respect to the horizontal portion of the communication pipe 672.

この配管接続部６５ａには、可撓性を有するバキュームホース６８の一端側が外嵌されホースクランプにより固定されている。このバキュームホース６８は耐溶剤性を有するゴム材からできており、らせん状のワイヤが内蔵されて型成形されることによって製造されている。また、バキュームホース６８は、図３に示すように、待機位置にあるクリーナユニット６０の吸引チャンバ６５から基台１１上に向けてＺ軸方向下側に向かった後に、基台１１の後端部に向けてＹ軸方向後側に延びる形態をなしている。すなわち、バキュームホース６８の他端側は、図２に示すように、基台１１の後端部において、負圧を供給するバキュームモータ（本発明の「負圧源」の一例）に連なるバキューム弁６９と接続されている。これにより、バキューム弁６９が開放状態になると吸込口６７１に負圧が供給されて吸引を行うと共に、バキューム弁６９が閉止されバキュームホース６８の内部が大気圧に開放されると吸込口６７１による吸引が停止される。 One end of a flexible vacuum hose 68 is externally fitted to the pipe connection portion 65a and is fixed by a hose clamp. The vacuum hose 68 is made of a rubber material having a solvent resistance, and is manufactured by being molded with a spiral wire incorporated therein. Further, as shown in FIG. 3, the vacuum hose 68 moves from the suction chamber 65 of the cleaner unit 60 in the standby position toward the lower side in the Z-axis direction toward the upper side of the base 11, and then the rear end of the base 11 Toward the rear side in the Y-axis direction. That is, as shown in FIG. 2, the other end of the vacuum hose 68 is a vacuum valve connected to a vacuum motor (an example of the “negative pressure source” of the present invention) that supplies negative pressure at the rear end of the base 11. 69. As a result, when the vacuum valve 69 is opened, negative pressure is supplied to the suction port 671 to perform suction, and when the vacuum valve 69 is closed and the interior of the vacuum hose 68 is opened to atmospheric pressure, suction is performed by the suction port 671. Is stopped.

次に、吸引チャンバ６５の連通管６７２への取付構造について図８を参照しながら説明する。吸引チャンバ６５の外面において連通管６７２が取り付けられる取付面６５１には、連通管６７２の外径より大きい開口径を有する挿通孔６５２が貫通して形成されている。一方、連通管６７２において挿通孔６５２の内周面と対向する位置にはリング状のゴムリング６７３が外嵌され、さらにゴムリング６７３の外周には円筒状をなすカラー６７４が配されている。吸引チャンバ６５の挿通孔６５２の周縁部には、外側に開いたコの字断面をなすリング状のシールリング６７５が全周に亘って嵌着されている。尚、ゴムリング６７３及びシールリング６７５は、本発明における「シール部材」の一例に相当する。 Next, a structure for attaching the suction chamber 65 to the communication pipe 672 will be described with reference to FIG. An insertion hole 651 having an opening diameter larger than the outer diameter of the communication pipe 672 is formed through the mounting surface 651 to which the communication pipe 672 is attached on the outer surface of the suction chamber 65. On the other hand, a ring-shaped rubber ring 673 is externally fitted at a position facing the inner peripheral surface of the insertion hole 652 in the communication pipe 672, and a cylindrical collar 674 is disposed on the outer periphery of the rubber ring 673. A ring-shaped seal ring 675 having a U-shaped cross section that opens outward is fitted over the entire periphery of the peripheral portion of the insertion hole 652 of the suction chamber 65. The rubber ring 673 and the seal ring 675 correspond to an example of the “seal member” in the present invention.

連通管６７２においてゴムリング６７３の両側の外周面には、開口径の異なる一対の固定ナット６７６を螺合可能とするねじ溝が切られている。外側に取り付けられる固定ナット６７６の開口径は、内側に取り付けられる固定ナット６７６の開口径よりも大きめに設定され、両固定ナット６７６の外径は共に同じ径であると共に吸引チャンバ６５の挿通孔６５２の開口径よりも大きめに設定されている。両固定ナット６７６を吸引チャンバ６５の内部及び外部から締め付けると、シールリング６７５を介して挿通孔６５２の周縁部が両側から挟持されると共に、ゴムリング６７３が連通管６７２、カラー６７４、及び両固定ナット６７６によって四方から挟持される。このため、吸引チャンバ６５の内部と連通管６７２の内部との間がシール状態に保持されると共に、吸引チャンバ６５が連通管６７２に対して回動可能に取り付けられる。 In the communication pipe 672, thread grooves are formed on the outer peripheral surfaces on both sides of the rubber ring 673 so that a pair of fixing nuts 676 having different opening diameters can be screwed together. The opening diameter of the fixing nut 676 attached to the outside is set to be larger than the opening diameter of the fixing nut 676 attached to the inside, and both the outer diameters of both the fixing nuts 676 are the same diameter and the insertion hole 652 of the suction chamber 65. It is set larger than the opening diameter. When both the fixing nuts 676 are tightened from the inside and the outside of the suction chamber 65, the peripheral portion of the insertion hole 652 is sandwiched from both sides via the seal ring 675, and the rubber ring 673 is connected to the communication pipe 672, the collar 674, and the both fixings. It is clamped from four directions by the nut 676. For this reason, the space between the inside of the suction chamber 65 and the inside of the communication pipe 672 is maintained in a sealed state, and the suction chamber 65 is rotatably attached to the communication pipe 672.

＜印刷機の作用説明＞
本実施形態は以上の構成であり、続いてその作用を説明する。
基板テーブル３０はＹ軸方向及びＺ軸方向における基板搬送位置、且つＸ軸方向の基台１１中央部位置にある状態から、Ｘ軸テーブル３２がＸ軸方向右側に移動することでメインコンベア４０がＸ軸方向右側に移動し、上流側の装置から基板Ｗがメインコンベア４０上に搬入される。次に、基板Ｗがメインコンベア４０上のＸ軸方向所定位置において、載置テーブル４１が上昇して、バックアップユニットにより基板Ｗが支持されると基板クランプユニット５０により保持される。その後、基板テーブル３０はＸ軸方向の基台１１中央部位置に戻る。そして、マスク７１下面の清掃が必要であれば、クリーナユニット６０による清掃を実施する。クリーナユニット６０による清掃を実施するか否かの判定は、例えば予め設定された基板Ｗの処理枚数と現在の処理枚数とを比較することにより判定してもよいし、作業者がマスク７１下面の状態を直接確認して作業者からの入力指示により行ってもよい。 <Description of the operation of the printing press>
The present embodiment has the above configuration, and the operation thereof will be described subsequently.
The main conveyor 40 is moved by moving the X-axis table 32 to the right in the X-axis direction from the substrate transport position in the Y-axis direction and the Z-axis direction and the center part of the base 11 in the X-axis direction. The substrate W moves to the right in the X-axis direction, and the substrate W is carried onto the main conveyor 40 from the upstream apparatus. Next, when the substrate W is raised at a predetermined position in the X-axis direction on the main conveyor 40 and the substrate W is supported by the backup unit, it is held by the substrate clamp unit 50. Thereafter, the substrate table 30 returns to the central position of the base 11 in the X-axis direction. If cleaning of the lower surface of the mask 71 is necessary, cleaning by the cleaner unit 60 is performed. The determination as to whether or not to perform cleaning by the cleaner unit 60 may be made, for example, by comparing a preset number of substrates W to be processed with the current number of substrates. The state may be checked directly and input by an operator.

クリーナユニット６０による清掃は、連結用ソレノイド６６を駆動することにより基板テーブル３０とクリーナユニット６０を連結状態とした上で、待機位置にあるクリーナユニット６０を基板テーブル３０と共にＹ軸方向後側の所定位置まで搬送する。次に、クリーナヘッド６７を上昇させてコットン紙６１をマスク７１下面に密着させ、バキューム弁６９を開放状態として吸込口６７１に負圧を供給してマスク７１下面を吸引した状態でクリーナユニット６０を基板テーブル３０と共にＹ軸方向後側に移動させることにマスク７１下面の付着物はコットン紙６１によって拭き取られ、清掃が行われる。このとき、図４に示すように、クリーナユニット６０の後方への移動に伴ってバキュームホース６８が後方に折り返された状態となり、バキュームホース６８の弾発力によってバキュームホース６８に接続された配管接続部６５ａが回動してＹ軸方向やや前方を向いた状態となる。このため、バキュームホース６８に対して無理な応力がかかることが回避される。 Cleaning by the cleaner unit 60 is performed by driving the connecting solenoid 66 to bring the substrate table 30 and the cleaner unit 60 into a connected state, and then setting the cleaner unit 60 in the standby position together with the substrate table 30 on the rear side in the Y-axis direction. Transport to position. Next, the cleaner head 67 is raised to bring the cotton paper 61 into close contact with the lower surface of the mask 71, the vacuum valve 69 is opened, negative pressure is supplied to the suction port 671, and the cleaner unit 60 is sucked into the lower surface of the mask 71. When the substrate table 30 is moved rearward in the Y-axis direction, the deposit on the lower surface of the mask 71 is wiped off by the cotton paper 61 and cleaned. At this time, as shown in FIG. 4, the vacuum hose 68 is folded back as the cleaner unit 60 moves rearward, and the pipe connection is connected to the vacuum hose 68 by the elastic force of the vacuum hose 68. The portion 65a is rotated and turned slightly forward in the Y-axis direction. For this reason, it is avoided that an excessive stress is applied to the vacuum hose 68.

清掃完了後は、バキューム弁６９を閉止状態にすると共にバキュームホース６８内を大気圧に開放することによりマスク７１下面に対する吸引を解除し、クリーナヘッド６７を下降させる。そして、クリーナユニット６０を待機位置に戻す動作が、上記と同様に基板テーブル３０を駆動することによって行われる。このクリーナユニット６０の移動と共にあるいはこれに先立って、不図示の巻取モータを駆動することによってコットン紙６１を巻取ロール６３側に所定量だけ送って、汚れの付着していない面をクリーナユニット６０の上面に露出させる。クリーナユニット６０が待機位置まで戻されると、連結用ソレノイド６６を駆動してロッドの上端部が下方に移動することで基板テーブル３０の連結孔との係合が解除されると共に、ロッドの下端部が位置決め部材１１２の位置決め孔に嵌合してクリーナユニット６０が待機位置に保持される。尚、バキュームホース６８は、クリーナユニット６０の移動に伴ってバキュームホース６８に接続された配管接続部６５ａが基台１１側に回動することで、吸引チャンバ６５から基台１１側に向けて下方に延びた状態に復帰する。 After the cleaning is completed, the vacuum valve 69 is closed and the vacuum hose 68 is opened to the atmospheric pressure to release the suction to the lower surface of the mask 71 and the cleaner head 67 is lowered. Then, the operation of returning the cleaner unit 60 to the standby position is performed by driving the substrate table 30 in the same manner as described above. Along with the movement of the cleaner unit 60 or prior to this, a take-up motor (not shown) is driven to feed the cotton paper 61 to the take-up roll 63 side by a predetermined amount, and the surface on which the dirt is not attached is cleaned. 60 is exposed on the upper surface. When the cleaner unit 60 is returned to the standby position, the connecting solenoid 66 is driven to move the upper end of the rod downward so that the engagement with the connecting hole of the substrate table 30 is released, and the lower end of the rod. Is fitted into the positioning hole of the positioning member 112 and the cleaner unit 60 is held at the standby position. The vacuum hose 68 is moved downward from the suction chamber 65 toward the base 11 by the piping connection portion 65a connected to the vacuum hose 68 being rotated toward the base 11 as the cleaner unit 60 is moved. Return to the extended state.

次に、マスク７１交換したとき、印刷枚数が所定枚数に達する毎等、マスク７１下面のフィデューシャルマークを撮像する必要がある場合には、基板テーブル３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、基板テーブルカメラ４９によりマスク７１下面のフィデューシャルマークを順次撮像する。引き続き、基板テーブル３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、基板撮像カメラ１８により基板Ｗのフィデューシャルマークを順次撮像する。 Next, when the mask 71 is replaced and the fiducial mark on the lower surface of the mask 71 needs to be imaged every time the number of printed sheets reaches a predetermined number, the substrate table 30 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction. The fiducial mark on the lower surface of the mask 71 is sequentially imaged by the substrate table camera 49. Subsequently, the substrate table 30 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the substrate imaging camera 18 sequentially images the fiducial marks on the substrate W.

このようにしてマスク７１及び基板Ｗのフィデューシャルマークの位置情報をそれぞれ取得し、これらの位置情報に基づいてマスク７１下面のフィデューシャルマークと基板Ｗのフィデューシャルマークとを一致させるべく基板テーブル３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸回りに移動させる。これと同時に、昇降テーブル３８が印刷位置に向けて上昇を開始し、マスク７１に対するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸回りの位置合わせが完了した状態で、基板Ｗをマスク７１下面に密着させる。 In this way, the positional information of the fiducial marks on the mask 71 and the substrate W is acquired, respectively, and the fiducial marks on the lower surface of the mask 71 and the fiducial marks on the substrate W are matched based on these positional information. The substrate table 30 is moved around the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis. At the same time, the elevating table 38 starts to rise toward the printing position, and the substrate W is brought into close contact with the lower surface of the mask 71 in a state where the alignment with respect to the mask 71 is completed around the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis. Let

次に、スキージヘッド８０の現在の位置に応じて一方のスキージ８１を選択的に下降させる。マスク７１上面にクリーム半田等のペーストを供給し、印刷荷重、移動速度を制御しつつ、スキージ８１をＹ軸方向片側に移動させることにより、マスク７１の供給孔を通じて基板Ｗ上面の所定の位置にペーストが印刷される。このとき、スキージヘッド支持フレーム８３がＹ軸方向後方へ移動するに伴って、配索ダクト１０６も撓み変形しつつその折り返し部分も後方へ移動する。 Next, one squeegee 81 is selectively lowered according to the current position of the squeegee head 80. A paste such as cream solder is supplied to the upper surface of the mask 71, and the squeegee 81 is moved to one side in the Y-axis direction while controlling the printing load and moving speed. The paste is printed. At this time, as the squeegee head support frame 83 moves rearward in the Y-axis direction, the routing duct 106 also bends and deforms, and the folded portion also moves rearward.

この後、基板テーブル３０をＺ軸方向に基板搬送位置まで下降させると共に、Ｚ軸回り及びＹ軸方向の位置合わせのための僅かな移動分を元に戻して、Ｚ軸回り及びＹ軸方向の基板搬送位置とし、載置テーブル４１を下降し、クランプ片５１による基板Ｗの保持を解除する。そして、印刷済の基板Ｗの枚数が目標印刷枚数に至っていない場合には、基板テーブル３０をＺ軸方向、Ｚ軸回り及びＹ軸方向の基板搬送位置に保ったまま、Ｘ軸方向左側に移動し、下流側の装置へ印刷済基板Ｗを搬出する。この搬出後、基板テーブル３０をＸ軸方向右側に移動して印刷前基板Ｗを上流側の装置から搬入し、基板Ｗをメインコンベア４０上の所定位置に保持し、載置テーブル４１のバックアップユニットにより支持し、基板クランプユニット５０によって保持された状態で、基板テーブル３０をＸ軸方向の基台１１中央部位置に戻す。 Thereafter, the substrate table 30 is lowered in the Z-axis direction to the substrate transfer position, and the slight movement for alignment in the Z-axis direction and the Y-axis direction is returned to the original position. At the substrate transfer position, the mounting table 41 is lowered and the holding of the substrate W by the clamp piece 51 is released. If the number of printed substrates W has not reached the target number of printed sheets, the substrate table 30 is moved to the left in the X-axis direction while keeping the substrate table 30 at the substrate transfer positions in the Z-axis direction, the Z-axis direction, and the Y-axis direction. Then, the printed substrate W is carried out to the downstream apparatus. After this unloading, the substrate table 30 is moved to the right in the X-axis direction, the pre-printing substrate W is loaded from the upstream apparatus, the substrate W is held at a predetermined position on the main conveyor 40, and the backup unit of the mounting table 41 The substrate table 30 is returned to the central position of the base 11 in the X-axis direction while being supported by the substrate clamp unit 50.

以上のように本実施形態によると、以下の効果を奏することができる。
１．配管接続部６５ａが回動することによって、バキュームホース６８にかかる応力を分散させることができるから、バキュームホース６８の耐久性能を維持することができる。したがって、長期間に亘ってクリーニング機能を確保し、もって良好な印刷品質を保つことができる。
２．ゴムリング６７３及びシールリング６７５によって吸引チャンバ６５の挿通孔６５２の周縁部と連通管６７２の外周面との間をシール状態に保つことで、コットン紙６１によってマスク７１下面に付着した汚れを拭き取りつつ吸込口６７１に吸引することができる。 As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
1. By rotating the pipe connection portion 65a, the stress applied to the vacuum hose 68 can be dispersed, so that the durability performance of the vacuum hose 68 can be maintained. Therefore, a cleaning function can be ensured over a long period of time, and good print quality can be maintained.
2. The rubber ring 673 and the seal ring 675 keep the gap between the peripheral portion of the insertion hole 652 of the suction chamber 65 and the outer peripheral surface of the communication tube 672 in a sealed state, thereby wiping off the dirt adhered to the lower surface of the mask 71 by the cotton paper 61. It can be sucked into the suction port 671.

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）本実施形態では配管接続部６５ａを吸引チャンバ６５の取付面６５１に隣り合う側面部に設けているものの、本発明によると、配管接続部６５ａを取付面６５１と反対側の面に設けてもよい。
（２）本実施形態ではコットン紙６１を搬送する機構を備えたクリーナユニット６０を例示しているものの、本発明によると、コットン紙６１を備えていないクリーナユニット６０としてもよい。 <Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.
(1) Although the pipe connection portion 65a is provided on the side surface adjacent to the attachment surface 651 of the suction chamber 65 in this embodiment, the pipe connection portion 65a is provided on the surface opposite to the attachment surface 651 according to the present invention. May be.
(2) Although the cleaner unit 60 provided with the mechanism for conveying the cotton paper 61 is illustrated in the present embodiment, according to the present invention, the cleaner unit 60 that does not include the cotton paper 61 may be used.

（３）本実施形態では連通管６７２を回動支持軸として吸引チャンバ６５が回動可能とされているものの、本発明によると、連通管６７２とは別に回動支持軸を設けてもよい。
（４）本実施形態ではクリーナユニット６０の側壁６０２に設けた貫通孔６０７に連通管６７２が通されているものの、本発明によると、貫通孔６０７である必要はなく、側壁６０２の上端から下方に切り欠かれた切欠部内を連通管６７２を配置してもよい。 (3) In the present embodiment, the suction chamber 65 is rotatable with the communication tube 672 as a rotation support shaft. However, according to the present invention, a rotation support shaft may be provided separately from the communication tube 672.
(4) In this embodiment, although the communication pipe 672 is passed through the through-hole 607 provided in the side wall 602 of the cleaner unit 60, according to the present invention, the through-hole 607 is not necessary, and the lower side from the upper end of the side wall 602. The communication pipe 672 may be disposed in the cutout portion cut out.

（５）本実施形態ではクリーナヘッド６７と吸引チャンバ６５が連通管６７２を通じて一体に設けられているものの、本発明によると、クリーナヘッド６７と吸引チャンバ６５との間は可撓性を有するバキューム管で接続してもよい。
（６）本実施形態ではゴムリング６７３及びシールリング６７５を設けているものの、本発明によると、ゴムリング６７３及びシールリング６７５のいずれか一方のみを設けてもよいし、あるいはゴムリング６７３及びシールリング６７５の双方を設けなくてもよい。 (5) Although the cleaner head 67 and the suction chamber 65 are integrally provided through the communication pipe 672 in the present embodiment, a flexible vacuum pipe is provided between the cleaner head 67 and the suction chamber 65 according to the present invention. You may connect with.
(6) Although the rubber ring 673 and the seal ring 675 are provided in this embodiment, according to the present invention, only one of the rubber ring 673 and the seal ring 675 may be provided, or the rubber ring 673 and the seal ring may be provided. Both of the rings 675 may not be provided.

スクリーン印刷機の正面図Front view of screen printing machine スクリーン印刷機の平面図Top view of screen printing machine クリーナユニットが待機位置にある状態を示す側面図Side view showing the cleaner unit in the standby position クリーナユニットがマスク下面を清掃している状態を示す側面図Side view showing a state where the cleaner unit is cleaning the lower surface of the mask クリーナユニットの斜視図Perspective view of cleaner unit クリーナユニットの平面図Plan view of cleaner unit クリーナユニットの正面図Front view of cleaner unit 吸引チャンバの取付構造を示した断面図Sectional view showing the suction chamber mounting structure スクリーン印刷機のブロック図Block diagram of screen printing machine

Explanation of symbols

１０…印刷機
６０…クリーナユニット
６０１…底壁（ユニット本体）
６０２…側壁（ユニット本体）
６０６…エアシリンダ装置（昇降機構）
６０７…貫通孔
６１…コットン紙（クリーニングシート）
６２…供給ロール
６３…巻取ロール
６５…吸引チャンバ（継手部材）
６５２…挿通孔
６５ａ…配管接続部
６７…クリーナヘッド
６７１…吸込口
６７２…連通管（円筒管）
６７３…ゴムリング（シール部材）
６７５…シールリング（シール部材）
６８…バキュームホース
７１…マスク 10 ... Printer 60 ... Cleaner unit 601 ... Bottom wall (unit body)
602 ... Side wall (unit body)
606 ... Air cylinder device (elevating mechanism)
607 ... through hole 61 ... cotton paper (cleaning sheet)
62 ... Supply roll 63 ... Winding roll 65 ... Suction chamber (joint member)
652 ... Insertion hole 65a ... Pipe connection part 67 ... Cleaner head 671 ... Suction port 672 ... Communication pipe (cylindrical pipe)
673 ... Rubber ring (seal member)
675 ... Seal ring (seal member)
68 ... Vacuum hose 71 ... Mask

Claims

In a screen printing machine provided with a cleaning mechanism for removing dirt on a mask on which a printed pattern is formed,
The cleaning mechanism includes:
A unit body provided to be relatively movable along the surface direction of the mask;
An intake box having a suction port on a contact surface provided in the unit body and contacting the mask;
A pipe connecting portion provided on a side portion of the unit main body so as to communicate with the intake box and capable of rotating around an axis in a direction intersecting the moving direction of the unit main body and extending in a direction intersecting with the axis A hollow joint member having
A screen printing machine comprising: a vacuum hose having flexibility by connecting the pipe connection portion of the joint member and a negative pressure source.

A supply roll for supplying a breathable cleaning sheet that covers the suction port of the intake box and a take-up roll for winding up the front end side of the cleaning sheet are provided inside the unit body. The screen printing machine according to claim 1.

The joint member includes a cylindrical tube extending in a direction intersecting with the moving direction of the unit body, connected to the intake box side, a joint box having an insertion hole fitted to the outer periphery of the cylindrical tube, and a side of the joint box The screen printing machine as described in any one of Claim 1 or Claim 2 provided with the said piping connection part protrudingly provided by the part.

The intake box is supported so as to be movable up and down with respect to the unit main body and can be driven up and down by an elevating mechanism, and the cylindrical tube is fixedly provided on the intake box and integrated with the intake box The screen printing machine according to claim 3, wherein a through hole is provided in the side portion of the unit main body so as to pass through the cylindrical tube while allowing the cylindrical tube to move up and down.

The screen according to any one of claims 3 and 4, wherein a seal member is provided between a peripheral edge portion of the insertion hole of the joint box and an outer peripheral surface of the cylindrical tube. Printer.