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JP2008251793A - インサート成形物 - Google Patents

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貴紀 壽村
Gonosuke Inamura
豪之助 稲村
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
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Abstract

【課題】半導体装置のインサート成形を用いた成形物にインサートされた外部接続端子と成形物内に配置された電気回路をワイヤボンディングにて電気的接合を行い、かつ絶縁性の注型樹脂で絶縁注型される構造をもつ半導体装置に関し、注型樹脂のクラック防止を行う半導体装置を提供する。
【解決手段】インサート成形を用いた成形材で構成される成形物100にインサートされた外部接続端子120と、成形物100内に配置された電気回路を有し、絶縁性の注型樹脂で絶縁注型されるインサート成形物において、外部接続端子120と電気回路とをワイヤ150を用いたワイヤボンディングにて電気的接合を行う部位であるワイヤボンディングエリアを有し、ワイヤボンディングエリアの表面位置に対して突出した突出部71で囲まれたインサート成形物とする。
【選択図】図1

Description

この発明は、半導体装置のインサート成形を用いた成形物にインサートされた外部接続端子と成形物内に配置された電気回路をワイヤボンディングにて電気的接合を行い、かつ絶縁性の注型樹脂で絶縁注型される構造をもつ半導体装置に関するものである。
図8に従来の技術を表すワイヤボンディング箇所(図6のD断面)の拡大断面図を示す。図8において、エンジニアリングプラスチック(以下エンプラという)で構成された成形物10内に配置された電気回路30と、外部と電気的に接続される為のワイヤボンディングエリア60を有した外部接続端子20をワイヤ50を介して電気接続を行う構造の半導体装置において、ワイヤボンディングエリア60を有した外部接続端子20とワイヤボンディングエリア60周囲のエンプラで構成された成形物10のE部は、インサート成形の構造上、近接してしまう構造となっており、断面構造としては平坦になっている。
特開2006−009687号公報(特許文献1)には、内燃機関用点火装置のイグナイタが開示されており、ワイヤボンディングエリアを有した外部接続端子とワイヤボンディングエリア周囲のエンプラで構成された成形物の断面構造としては平坦になっている。
特開2006−009687号公報
しかし、前記ワイヤボンディングエリア60とワイヤボンディングエリア60周囲のエンプラ成形物10のE部は平坦になっている為、図5のFEM解析の結果、外部接続端子20・エンプラ成形物10・注型樹脂40の3つの材質が接する外部接続端子20のエッジ部の各測定点(丸1〜丸10)はグラフのように応力が高い状態になっており、外部接続端子20のエッジ部に応力が集中することになり、応力差により外部接続端子20と注型樹脂40がクラック(剥離)に至り、ここを基点としてワイヤボンディングエリア60のワイヤ50周辺にまで容易にクラック(剥離)が進行し、最終的にワイヤ50自体に応力が集中しワイヤ50が疲労破壊してしまう。また外部接続端子20・エンプラ成形物10・注型樹脂40の3つの材質の線膨張係数はそれぞれ17.5×10−6、30×10−6、19.22×10−6であり、ヤング率はそれぞれ1.01×105[MPa]、5884[MPa]、11900[MPa]であるので、注型樹脂40で囲まれた突出部の表面は、外部接続端子20で囲まれた突出部の表面よりも、注型樹脂40で囲まれた突出部の表面は応力が高く、クラック(剥離)の基点となりやすい。これを回避する為に、外部接続端子20・エンプラ成形物10と注型樹脂40の間に緩衝層を入れ、応力を低減することができるがコストアップ゜の要因となっていた。
上記課題を解決するために本発明では次の構成とする。すなわち請求項1では、インサート成形を用いた成形材で構成される成形物にインサートされた外部接続端子と、成形物内に配置された電気回路を有し、絶縁性の注型樹脂で絶縁注型されるインサート成形物において、外部接続端子と電気回路とをワイヤを用いたワイヤボンディングにて電気的接合を行う部位であるワイヤボンディングエリアを有し、前記ワイヤボンディングエリアの表面位置に対して突出した突出部で囲まれたことを特徴とするインサート成形物とする。
また請求項2では、前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの2方を囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項3では、前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの3方を囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項4では、前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの4方を囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項5では、前記突出部は、前記突出部の間の距離が前記突出部間に配置された外部接続端子の幅で構成され、前記突出部側面は前記外部接続端子の前記ワイヤボンディングエリア面と垂直に配置されることを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項6では、前記突出部は、前記突出部が前記ワイヤボンディングエリア面と平坦ではなく、段差を有することを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項7では、前記突出部は、角部を有することを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項8では、前記ワイヤボンディングエリアが円形状であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアを円周状に囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項9では、前記ワイヤボンディングエリアが円周状の場合、ワイヤボンディングエリアの外周に沿って、前記外部接続端子上のワイヤボンディングエリアの端部に溝を形成したことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物とする。
また請求項10では、請求項1乃至請求項9のうち、2つ以上を組み合わせたことを特徴とするインサート成形物とする。
上記手段の様に、インサート成形を用いた成形材で構成される成形物にインサートされた外部接続端子と、成形物内に配置された電気回路を有し、絶縁性の注型樹脂で絶縁注型されるインサート成形物において、外部接続端子と電気回路とをワイヤボンディングにて電気的接合を行う部位であるワイヤボンディングエリアを有し、前記ワイヤボンディングエリアは、インサート成形を用いた成形材で構成され前記ワイヤボンディングエリアの表面位置に対して突出した突出部で囲むことで、ワイヤボンディングエリア表面と注型樹脂で囲まれた突出部を離間し、クラック(剥離)の基点となるエンプラ成形物と注型樹脂の界面の様な熱膨張差の高い部分をワイヤボンディングエリアより隔離することができる。これによりクラック(剥離)はワイヤ周辺にまで容易に到達できずワイヤが切断されてしまうことを防止することができる。また、前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの2方を囲むことで、クラック(剥離)はワイヤ周辺にまで容易に到達できずワイヤが切断されてしまうことを防止することができる。好ましくは、前記ワイヤボンディングエリアが方形である時、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの3方を囲むこと、さらには、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの4方を囲むことで、クラック(剥離)はワイヤ周辺にまで容易に到達できずワイヤが切断されてしまうことを防止することができる。
また前記突出部は、前記突出部の間の距離が前記突出部間に配置された外部接続端子の幅で構成され、前記突出部側面は前記外部接続端子の前記ワイヤボンディングエリア面と垂直に配置されることが望ましい。即ち前記突出部形状としては、インサート成形を用いた成形材で構成される成形物にインサートされた外部接続端子の側面位置と突出部の距離が狭い程、また、前記ワイヤボンディングエリアの表面位置に対して突出した突出部の高さは高い程ワイヤボンディングエリアを有する外部接続端子とエンプラ・注型樹脂の界面にかかる応力を軽減できる。これにより、クラック(剥離)はワイヤ周辺にまで容易に到達できずワイヤが切断されてしまうことを防止することができる。
また前記突出部は、前記突出部が前記ワイヤボンディングエリア面と平坦ではなく、段差を有するように形成してもよいし、前記突出部は、角部を有するように形成してもよい。これよりワイヤボンディングエリアを有する外部接続端子とエンプラ・注型樹脂の界面から離れた部位に応力の集中する角部を設置することにより、意図的に角部に応力を集中させ、ワイヤボンディングエリアを有する外部接続端子とエンプラ・注型樹脂の界面にかかる応力を軽減できる。
また前記ワイヤボンディングエリアが円形状であるとき、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアを円周状に囲むように形成するのが好ましい。前記突出部を応力を均一に分散できる円形状で形成することにより、以前の形状ではボンディングワイヤにかかっていた応力が、力を放射状に均一に分散させることができる円形状にすることで、前記ワイヤボンディングエリア形状が方形の場合よりも全方向に均一に応力を緩和することが可能である。
また前記ワイヤボンディングエリアが円形状であるとき、前記ワイヤボンディングエリアの外周に沿って、前記外部接続端子上のワイヤボンディングエリアの端部に溝を形成してもよい。これより外部接続端子と注型樹脂の食いつき性の向上を狙える。更にこの溝形状をワイヤボンディング時の認識に用いることにより、前記外部接続端子に対してワイヤボンド位置精度を向上することで理想的な位置にワイヤボンド接合をすることが可能となり、これらによりワイヤボンド部の耐久信頼性を向上することができる。
また、上記構成の2つ以上を組み合わせてもよい。これにより、注型樹脂がエンプラ成形物と安定的に接着し、また、注型樹脂の熱膨張の影響による応力差に対しても前記ワイヤボンディングエリアを有する外部接続端子とエンプラ・注型樹脂の界面から離れた部位に応力を集中させることで、前記ワイヤボンディングエリアを有する外部接続端子とエンプラ・注型樹脂の界面にクラック(剥離)が生じず、ワイヤが疲労破壊に至らない。
次に本発明の実施例について説明する。図1は本発明の技術を適用した実施例1を表す図6のD−D断面図とワイヤボンディング箇所Aの拡大断面図であり、図2は本発明の技術を適用した実施例2を表す図6のD−D断面図とワイヤボンディング箇所Bの拡大断面図であり、図3は本発明の技術を適用した実施例3を表す図6のD−D断面図とワイヤボンディング箇所Cの拡大断面図であり、図6は本発明の技術を適用した内燃機関用点火装置のイグナイタを表す図であり、図7は本発明の実施例と従来例の測定ポイントと応力のFEM解析結果の相関グラフである。
本発明の実施例1として図1と図6において、内燃機関用イグナイタは、インサート成形を用いた成形材で構成されるエンジニアリングプラスチック(以下エンプラという)成形物100にインサートされた外部接続端子120と、成形物100内に配置された外部接続端子130を有し、絶縁性の注型樹脂140で絶縁注型されるインサート成形物100において、外部接続端子120と外部接続端子130とをワイヤ150を用いたワイヤボンディングにて電気的接合を行う部位であるワイヤボンディングエリア160を有し、前記ワイヤボンディングエリア160の表面位置に対して突出した突出部71で囲まれたインサート成形物100である。
ワイヤボンディングエリア160を有した外部接続端子120とワイヤボンディングエリア160周囲のエンプラで構成された成形物100のA部は、ワイヤボンディングエリア160位置より、エンプラ中央面のみ突出した前記突出部71の断面構造として、前記突出部71は角部を有する凸構造を形成している。このような前記突出部71は、前記突出部71が前記ワイヤボンディングエリア160面と平坦ではなく、段差を有するエンプラ断面構造を形成することで、ワイヤボンディングエリア160表面と注型樹脂140で囲まれた突出部71を離間し、クラック(剥離)の基点となるエンプラ成形物100と注型樹脂140の界面の様な熱膨張差の高い部分をワイヤボンディングエリア160より隔離することができ、FEM解析の結果からも、外部接続端子120・エンプラ成形物100・注型樹脂140の3つの材質が接する外部接続端子120のエッジ部の各測定点(丸1〜丸10)の応力は図5のように緩和されていることが分かる。これらのことから、前記突出部71を角部を有する凸構造で形成することにより、クラック(剥離)はワイヤ150周辺にまで容易に到達できずワイヤ150が切断されてしまうことを防止することができる。
また本発明の実施例2として、図2に示す断面図において、ワイヤボンディングエリア160を有した外部接続端子120とワイヤボンディングエリア160周囲のエンプラで構成された成形物100のB部は、ワイヤボンディングエリア160位置より、エンプラ面全体を突出した断面構造として、前記突出部72は角部を有し、前記突出部72は、前記突出部72の間の距離が前記突出部72間に配置された外部接続端子120の幅であるよう□構造を形成している。このような エンプラ断面構造を形成することで、FEM解析の結果からも、外部接続端子120・エンプラ成形物100・注型樹脂140の3つの材質が接する外部接続端子120のエッジ部の各測定点(丸1〜丸10)の応力は図5のように実施例1よりも更に緩和されており、前記突出部72を角部を有する□構造で形成することにより、更にクラック(剥離)はワイヤ150周辺にまで容易に到達できずワイヤ150が切断されてしまうことを防止することができる。
また本発明の実施例3として、図3に示す断面図において、ワイヤボンディングエリア160を有した外部接続端子120とワイヤボンディングエリア160周囲のエンプラで構成された成形物100のC部は、ワイヤボンディングエリア160位置より、エンプラ面全体を突出した断面構造として、前記突出部73は角部を有し、前記突出部73は、前記突出部73の間の距離が前記突出部73間に配置された外部接続端子120の幅であるよう□構造を形成し、実施例2と比較してさらに、ワイヤボンディングエリア160位置より、エンプラ面全体を高く突出した形状である。このような エンプラ断面構造を形成することで、FEM解析の結果からも、外部接続端子120・エンプラ成形物100・注型樹脂140の3つの材質が接する外部接続端子120のエッジ部の各測定点(丸1〜丸10)の応力は図5のように実施例2よりも更に緩和されており、更にクラック(剥離)はワイヤ150周辺にまで容易に到達できずワイヤ150が切断されてしまうことを防止することができる。
また上記実施例のようにワイヤボンディングエリア160が方形のとき、ワイヤボンディングエリア160周囲は、ワイヤボンディングエリア160周囲の2方を前記突出部で囲むよう成形される。好ましくは、ワイヤボンディングエリア160周囲の3方を前記突出部で囲むよう成形され、さらに好ましくは、ワイヤボンディングエリア160周囲の4方を前記突出部で囲むよう成形されたほうがよい。即ち、前記外部接続端子120の前記ワイヤボンディングエリア160面とは並行では無い面に対して、接する形で前記突出部が囲む様に配置されることが望ましい。このようなエンプラ断面構造を形成することで、ワイヤボンディングエリア160表面と注型樹脂140で囲まれた突出部を離間し、クラック(剥離)の基点となるエンプラ成形物100と注型樹脂140の界面の様な熱膨張差の高い部分をワイヤボンディングエリア160より隔離することができる。
また図4に示す実施例4のような前記ワイヤボンディングエリア160形状が円形状の場合は、前記突出部74は前記ワイヤボンディングエリア160の外周を応力を均一に分散できる円周状に囲むように形成することで、発生する応力を今回の力を放射状に均一に分散させることができ、局部的な応力の集中がなくなる為、前記ワイヤボンディングエリア160に対しても前記突出部74周辺に対しても歪が出ない形状となり、前記ワイヤボンディングエリア160形状が方形の場合よりも全方向に対して均一に応力を緩和することができる。
さらには図5に示す実施例5のように前記ワイヤボンディングエリア160の外周に沿って、前記外部接続端子120上のワイヤボンディングエリア160の端部に溝81を形成することで、外部接続端子120と注型樹脂140の食いつき性が向上し、更にこの溝81形状をワイヤボンディング時の認識に用いることにより、前記外部接続端子120に対してワイヤボンド位置精度を向上することで理想的な位置にワイヤボンド接合をすることが可能となる。これらによりワイヤボンド部の耐久信頼性を向上することができる。
以上、本発明の構成を適用することで、注型樹脂の熱膨張の影響が外部接続端子・エンプラ成形物・注型樹脂の3つの材質が接する外部接続端子のエッジ部を物理的に距離をおくことで、従来、ワイヤボンディングエリアを有する外部接続端子両端にあったクラック(剥離)の基点をワイヤボンディングエリアから離れた位置に配置することにより、クラック(剥離)によるワイヤの疲労破壊を防止できる。
また、本発明は上記実施例に限定されず、本発明の趣旨に基づきワイヤボンディングエリア表面と注型樹脂で囲まれた突出部を離間できる構造であれば、どのような構造でも適用できる。これによりクラックはワイヤ周辺にまで容易に到達できずワイヤが切断されてしまうことを防止することができ、信頼性の高いインサート成形を用いた成形材で構成される成形物を提供できる。
本発明の技術を適用した実施例1を表す図6のD−D断面図とワイヤボンディング箇所Aの拡大断面図である。 本発明の技術を適用した実施例2を表す図6のD−D断面図とワイヤボンディング箇所Bの拡大断面図である。 本発明の技術を適用した実施例3を表す図6のD−D断面図とワイヤボンディング箇所Cの拡大断面図である。 本発明の技術を適用した実施例4を表すワイヤボンディングエリア形状が円形状の場合の図である。 本発明の技術を適用した実施例5を表すワイヤボンディングエリアの外周に沿って、外部接続端子上のワイヤボンディングエリアの端部に溝を形成すした図である。 本発明の技術を適用した内燃機関用点火装置のイグナイタを表す図である。 本発明の実施例と従来例の測定ポイントと応力のFEM解析結果の相関グラフである。 従来の技術を表すワイヤボンディング箇所Eの拡大断面図である。
符号の説明
10、100 成形物(エンジニアリングプラスチック)
20、120 外部接続端子
30、130 電気回路
40、140 注型樹脂
50、150 ワイヤ
60、160 ワイヤボンディングエリア
71、72、73、74 突出部
81 溝

Claims (10)

  1. インサート成形を用いた成形材で構成される成形物にインサートされた外部接続端子と、成形物内に配置された電気回路を有し、絶縁性の注型樹脂で絶縁注型されるインサート成形物において、外部接続端子と電気回路とをワイヤを用いたワイヤボンディングにて電気的接合を行う部位であるワイヤボンディングエリアを有し、前記ワイヤボンディングエリアの表面位置に対して突出した突出部で囲まれたことを特徴とするインサート成形物。
  2. 前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの2方を囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  3. 前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの3方を囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  4. 前記ワイヤボンディングエリアが方形であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアの4方を囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  5. 前記突出部は、前記突出部の間の距離が前記突出部間に配置された外部接続端子の幅で構成され、前記突出部側面は前記外部接続端子の前記ワイヤボンディングエリア面と垂直に配置されることを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  6. 前記突出部は、前記突出部が前記ワイヤボンディングエリア面と平坦ではなく、段差を有することを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  7. 前記突出部は、角部を有することを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  8. 前記ワイヤボンディングエリアが円形状であり、前記突出部は前記ワイヤボンディングエリアを円周状に囲むことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  9. 前記ワイヤボンディングエリアが円周状の場合、ワイヤボンディングエリアの外周に沿って、前記外部接続端子上のワイヤボンディングエリアの端部に溝を形成したことを特徴とする請求項1記載のインサート成形物。
  10. 請求項1乃至請求項9のうち、2つ以上を組み合わせたことを特徴とするインサート成形物。
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