JP2008164678A

JP2008164678A - 反射鏡

Info

Publication number: JP2008164678A
Application number: JP2006351064A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Nose; 正章能勢; Toru Tsukamoto; 融塚本; Miyuki Teramoto; みゆき寺本; Setsuo Tokuhiro; 節夫徳弘
Original assignee: Konica Minolta Opto Inc
Current assignee: Konica Minolta Opto Inc
Priority date: 2006-12-27
Filing date: 2006-12-27
Publication date: 2008-07-17
Anticipated expiration: 2026-12-27
Also published as: JP4793259B2; US20080158702A1

Abstract

【課題】高温環境下及び高温高湿環境下でも基板への膜密着性、擦傷性等の機械的強度が良好である反射鏡を提供する。
【解決手段】二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる密着層Ｃを基板Ｓとアルミニウム反射層Ａの間に形成し、アルミニウム反射層Ａ上に二酸化珪素を含む低屈折率層と酸化チタンと酸化ランタンの化合物からなる高屈折率層とを積層した誘電体層Ｄを形成した構成である。
【選択図】図１

Description

本発明は、カメラやプロジェクター等の光学機器の光路中に配置される反射鏡に関し、特にプロジェクター等の高温環境下で使用される機器に好適な反射鏡に関する。

光学機器に使用される反射鏡の反射材料としてアルミニウムが使用されている。しかし、アルミニウムを使用する場合、単層膜では機械的強度、膜密着性、耐湿性等で劣るという問題があり、アルミニウムの反射層上に保護層を有する多層膜を構成し、機械的強度、膜密着性、耐湿性を付与することが知られている。例えば特許文献１では、基板上に酸化クロム等の酸化物下地層を形成し、その上にアルミニウムの反射層を形成し、さらにその反射層上に酸化アルミニウムの保護層を有する構成にして、基板とアルミニウム反射層との膜密着力と耐湿性を向上させている技術が開示されている。
特開平３−２３９２０１号公報（特許請求の範囲）

しかしながら、上述した従来技術では、光源を備えるプロジェクター等の高温になる環境下で光学系の光路に反射鏡を使用すると、基板とアルミニウム反射層との剥離、水分の付着による白濁という不都合があった。本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、本発明は、高温環境下並びに高温高湿環境下でも基板への膜密着性、耐擦傷性等の機械的強度が良好である反射鏡を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、基板と、前記基板上に形成され二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる密着層と、前記密着層上に形成されたアルミニウムからなる反射層と、前記反射層上に二酸化珪素を含む低屈折率層と酸化チタンと酸化ランタンの混合物からなる高屈折率層とを積層した誘電体層と、を有することを特徴としている。この構成によると、基板とアルミニウム反射層との間に二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる密着層を形成すると密着性が高くなり、アルミニウム反射層上に二酸化珪素を含む低屈折率層と酸化チタンと酸化ランタンの混合物からなる高屈折率層を積層すると、高温多湿の環境下で膜密着性と耐擦傷性を備える。

本発明によると、二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる密着層を基板とアルミニウム反射層の間に形成し、アルミニウム反射層上に二酸化珪素を含む低屈折率層と酸化チタンと酸化ランタンの混合物からなる高屈折率層とを積層した誘電体層を形成した反射鏡であるので、高温多湿の環境下でも膜密着性、耐擦傷性を良好することができる。

以下に本発明の実施形態について図面を参照して説明するが、本発明は、この実施形態に限定されない。本発明の実施形態は発明の最も好ましい形態を示すものであり、また発明の用途やここで示す用語等はこれに限定されるものではない。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態を示す反射鏡の構成を示す概略図である。図１における反射鏡は、合成樹脂からなる基板Ｓ上に、二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる密着層Ｃ、アルミニウムからなる反射層Ａ、二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる第１低屈折率層１、酸化チタンと酸化ランタンの化合物からなる第１高屈折率層２とを順次積層した誘電体層Ｄを有する。

基板Ｓは、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂及びノルボルネン樹脂のいずれかの合成樹脂である。

密着層Ｃは、二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物で構成し、基板Ｓとアルミニウム反射層Ａとの密着性を確保している。その混合物に占める酸化アルミニウムのモル比が３〜１０％であると、高温多湿の環境下でも反射層Ａの密着性を確保することができ、そのモル比が３％を下回ると、湿度に対して耐久性が低下しまた反射層Ａが剥離しやすくなり、そのモル比が１０％を超えると、剥離をしやすくまた反射層Ａが水分の付着により白濁する。

反射層Ａは、アルミニウムで構成され、その膜厚としては４０〜２００ｎｍが適当であり、４０ｎｍを下回ると可視光域で十分な反射率を得ることができず、２００ｎｍを超えると膜応力によりピンホールが発生する。より好ましくは、４０〜１００ｎｍである。反射層Ａの好ましい厚さは以下の実施形態に対しても共通である。

誘電体層Ｄは、第１低屈折率層１と第１高屈折率層２の２層で構成され、アルミニウムの反射層Ａの反射率を向上させる。第１低屈折率層１が二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなり、第１高屈折率層２が酸化チタンと酸化ランタンの化合物から形成されることにより、外部からの水分が反射層Ａに到達することを防止することができ、また膜硬さを向上させて表面への傷のつきやすさを抑制することができる。好ましくは、第１低屈折率層１の混合物に占める酸化アルミニウムのモル比が３〜１０％であり、第１高屈折率層２の化合物に占めるランタンとチタンのモル比が１：１でありＬａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）で表される化合物である。なお、第１低屈折率層１は二酸化珪素のみで形成しても良い。

本反射鏡の光学膜厚は、密着層Ｃが０．１６〜４、誘電体層Ｄの第１低屈折率層１が０．１６〜２、第１高屈折率層２が０．１６〜２である。なお、光学膜厚は４ｎｄ／λに対するものであり、ｎは屈折率、ｄは膜厚、λは基準波長５５０ｎｍである。密着層Ｃの光学膜厚が０．１６を下回ると十分な密着性が得られず、また密着層Ｃの膜厚が不均一になり、その上に形成する反射層Ａの平面性が低下し、密着層Ｃが４を超えると膜応力が大きくなって高温の環境下では膜にクラックが発生し、また成膜に長時間を要し生産性が低下する。第１低屈折率層１と第１高屈折率層２の光学膜厚が規定の数値範囲にあると高い反射率を得ることができるとともに、第１低屈折率層１の光学膜厚が０．１６を下回ると膜厚が不均一になり、第１低屈折率層１の光学膜厚が２を超えると高温の環境下で表面にクラックが発生する。第１高屈折率層２の光学膜厚が０．１６を下回ると膜厚が不均一になり、第１高屈折率層２の光学膜厚が２を超えると高温の環境下で表面にクラックが発生する。より好ましい光学膜厚は、密着層Ｃが０．６〜１．４、第１低屈折率層１が０．６〜１．４、第１高屈折率層２が０．６〜１．４である。

本反射鏡の製造方法としては、真空槽内に基板Ｓを用意し、この基板Ｓ上に電子ビーム蒸着により二酸化珪素と酸化アルミニウムを密着層Ｃとして形成する。さらに抵抗加熱蒸着により反射層Ａであるアルミニウムを形成した後、電子ビーム蒸着により二酸化珪素と酸化アルミニウムを第１低屈折率層１として形成し、次に酸化チタンと酸化ランタンの第１高屈折率層２を積層する。成膜方法としては、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着以外でもよく、例えばスパッタリング等を適用してもよい。また、真空槽内にイオン源からイオンを供給するイオンアシスト蒸着、真空槽内をプラズマ雰囲気にして成膜するプラズマプロセスにより成膜しても良い。イオンアシスト蒸着やプラズマプロセスにより、より緻密な膜が形成され、信頼性の向上が見込まれる。

（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態を示す反射鏡の構成を示す概略図である。第１実施形態と異なる誘電体層Ｄについて説明し、以降、第１実施形態と同じ部分の説明を省略する。

誘電体層Ｄは、第１低屈折率層１と第１高屈折率層２で構成される第１実施形態の第１高屈折率層２上に積層した第２低屈折率層３を有し、第２低屈折率層３が最上層である。

第２低屈折率層３は、二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなり、その混合物に占める酸化アルミニウムのモル比が３〜１０％である。光学膜厚が０．１１〜３であり、光学膜厚が０．１１以上であると、溶剤に対する耐久性を向上させ一層表面に傷がつきにくくなり、光学膜厚が３を超えると高温環境下でクラックが発生しやすくなる。なお、第２低屈折率層３は二酸化珪素のみで形成しても良い。より好ましい光学膜厚は、０．１６〜０．５である。なお、密着層Ｃ、第１低屈折率層１及び第１高屈折率層２の光学膜厚は、第１実施形態と同様に、密着層Ｃが０．１６〜４、誘電体層Ｄの第１低屈折率層１が０．１６〜２、第１高屈折率層２が０．１６〜２であり、より好ましい光学膜厚は、密着層Ｃが０．６〜１．４、第１低屈折率層１が０．６〜１．４、第１高屈折率層２が０．６〜１．４である。

（第３実施形態）
図３は、本発明の第３実施形態を示す反射鏡の構成を示す概略図である。第３実施形態は、第１実施形態に対して誘電体層Ｄが異なり、第１低屈折率層１、第１高屈折率層２、第２低屈折率層３及び第２高屈折率層４の４層で構成され、反射層Ａの反射率を一層向上させることができる。各層の光学膜厚は、密着層Ｃが０．１６〜４、第１低屈折率層１が０．１６〜２、第１高屈折率層２が０．１６〜２、第２低屈折率層３が０．１６〜２、第２高屈折率層４が０．１６〜２．５であり、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。より好ましい光学膜厚は、密着層Ｃが０．６〜１．４、第１低屈折率層１が０．６〜１．４、第１高屈折率層２が０．６〜１．４、第２高屈折率層４が０．２３〜１．４である。

（第４実施形態）
図４は、本発明の第４実施形態を示す反射鏡の構成を示す概略図である。第４実施形態は、第３実施形態の膜構成に、さらに二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる第３低屈折率層５を最上層に形成し、第３低屈折率層５の光学膜厚が０．１１〜３である。この構成により、一層表面に傷がつきにくくなるとともに反射率を向上させる。より好ましい第３低屈折率層５の光学膜厚は、０．１６〜０．５である。なお、密着層Ｃ及び誘電体層Ｄの第３低屈折率層５より下層の光学膜厚は、第３実施形態と同様に、第１低屈折率層１が０．１６〜２、第１高屈折率層２が０．１６〜２、第２低屈折率層３が０．１６〜２、第２高屈折率層４が０．１６〜２．５であり、より好ましい光学膜厚は、密着層Ｃが０．６〜１．４、第１低屈折率層１が０．６〜１．４、第１高屈折率層２が０．６〜１．４、第２低屈折率層３が０．６〜１．４、第２高屈折率層４が０．６〜１．４である。

以下、本発明の実施形態をさらに具体化した実施例１〜１１を表１に示し、比較例１〜６を表２に示す。材料のＴｉＯ₂＋Ｌａ₂Ｏ₃は酸化チタンと酸化ランタンの化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）、ＳｉＯ₂＋Ａｌ₂Ｏ₃は二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物、ＡＬはアルミニウム、ＳｉＯ₂は二酸化珪素、ＴｉＯ₂＋Ｔａ₂Ｏ₅は酸化チタンと酸化タンタルの混合物、ＴｉＯ₂は酸化チタンを夫々示す。

実施例１の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）と化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例２の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、及びモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例３の反射鏡は、ポリカーボネート樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、及びモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例４の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９０％の二酸化珪素と１０％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順に二酸化珪素（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、及び二酸化珪素（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例５の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９７％の二酸化珪素と３％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順に二酸化珪素（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、及び二酸化珪素（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例６の反射鏡は、ノルボルネン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、及びモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例７の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順に二酸化珪素（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、及び二酸化珪素（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例８の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、モル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

実施例９〜１１の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムを材料とする反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、モル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、化合物Ｌａ₂Ｔｉ₂Ｏ_x（ｘ＝６．３−６．７）（高屈折率層）、モル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。なお、実施例９〜１１は最上層の低屈折率層の膜厚が異なる。

次に、比較例の構成について説明する。比較例１の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上に二酸化珪素（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムの反射層を形成し、反射層上に、順に二酸化珪素（低屈折率層）、酸化チタンと酸化ランタンの化合物（高屈折率層）、及び二酸化珪素（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

比較例２の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上に酸化アルミニウム（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムの反射層を形成し、反射層上に、順に二酸化珪素（低屈折率層）、酸化チタンと酸化ランタンの混合物（高屈折率層）、及び二酸化珪素（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

比較例３の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムの反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、酸化チタンと酸化タンタルの混合物（高屈折率層）、及び９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

比較例４の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムの反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、酸化チタン（高屈折率層）、及び９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

比較例５の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムの反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、酸化チタン（高屈折率層）、９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、及び酸化チタン（高屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

比較例６の反射鏡は、ポリオレフィン樹脂基板上にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（密着層）を形成し、密着層上にアルミニウムの反射層を形成し、反射層上に、順にモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、酸化チタン（高屈折率層）、９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）、酸化チタン（高屈折率層）、及びモル比において９５％の二酸化珪素と５％の酸化アルミニウムの混合物（低屈折率層）からなる誘電体層を形成した反射鏡である。

次に、以上のように構成された本発明の実施例の分光反射率特性を図５、図６、及び評価結果を表３に示し、比較例の評価結果を表４に示す。

各表の評価項目の試験方法については、外観は目視により傷や白濁の程度を評価し、密着性はセロハンテープを用い指の腹で膜に密着させた後セロハンテープ（ニチバン製Ｌパック）を剥がしたときの膜の基板への密着程度を評価する。耐溶剤性は中性洗剤、アルコール等の溶剤を含ませた布を軽く力を入れて５０回拭き傷の程度を評価する。上記の３項目は常温で膜を評価する。耐環境試験のヒートサイクル試験は−２０℃に２０分間放置し、次に８０℃に２０分間放置する加熱冷却サイクル繰り返し、耐湿性は４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下に、耐熱性は８０℃の雰囲気下にそれぞれ１７０時間放置する。塩水噴霧試験（ＭＩＬ−Ｍ−１３５０８Ｃ）は濃度５％の塩水を３５℃の雰囲気下で２４時間噴霧し、耐候性はフェードメータに２００時間放置し、高温多湿試験は６０℃、９０％ＲＨの雰囲気下に３日間放置する。耐環境性の各試験では、試験後に白濁等外観と密着性を評価する。表３、表４の各評価項目に示す○は良好、△は良好だが一部欠陥あり、×は実用上問題がある。

表３、表４から明らかなように、本発明の実施例では、実施例１、８は耐溶剤性試験で一部傷がついたが実用上問題がなく、他の実施例ではいずれの評価項目についても良好であった。これに対して比較例では、耐溶剤性、耐熱性、塩水噴霧、耐候性、及び高温多湿の各評価項目において、異常があり実用上問題があった。

は、本発明の第１実施形態である反射鏡を示す膜構成図である。は、本発明の第２実施形態である反射鏡を示す膜構成図である。は、本発明の第３実施形態である反射鏡を示す膜構成図である。は、本発明の第４実施形態である反射鏡を示す膜構成図である。は、実施例１〜８の反射鏡の分光反射特性を示すグラフである。は、実施例９〜１１の反射鏡の分光反射特性を示すグラフである。

符号の説明

１、３、５低屈折率層
２、４高屈折率層
Ａ反射層
Ｃ密着層
Ｄ誘電体層
Ｓ基板

Claims

基板と、
前記基板上に形成され二酸化珪素と酸化アルミニウムの混合物からなる密着層と、
前記密着層上に形成されたアルミニウムからなる反射層と、
前記反射層上に二酸化珪素を含む低屈折率層と酸化チタンと酸化ランタンの化合物からなる高屈折率層とを積層した誘電体層と、を有することを特徴とする反射鏡。
前記密着層の混合物に占める酸化アルミニウムの割合がモル比で３〜１０％であることを特徴とする請求項１に記載の反射鏡。
前記基板がポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂及びノルボルネン樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の反射鏡。
前記誘電体層が前記基板側から順に第１低屈折率層と第１高屈折率層からなり、光学膜厚を４ｎｄ／λに対するものとして、ｎは屈折率、ｄは膜厚、λは基準波長５５０ｎｍを表すとき、各層の光学膜厚は、
前記密着層が０．１６〜４、
第１低屈折率層が０．１６〜２、
第１高屈折率層が０．１６〜２
であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の反射鏡。
前記誘電体層が前記基板側から順に第１低屈折率層、第１高屈折率層及び第２低屈折率層からなり、光学膜厚を４ｎｄ／λに対するものとして、ｎは屈折率、ｄは膜厚、λは基準波長５５０ｎｍを表すとき、各層の光学膜厚は、
前記密着層が０．１６〜４、
第１低屈折率層が０．１６〜２、
第１高屈折率層が０．１６〜２、
第２低屈折率層が０．１１〜３
であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の反射鏡。
前記誘電体層が前記基板側から順に第１低屈折率層、第１高屈折率層、第２低屈折率層及び第２高屈折率層からなり、光学膜厚を４ｎｄ／λに対するものとして、ｎは屈折率、ｄは膜厚、λは基準波長５５０ｎｍを表すとき、各層の光学膜厚は、
前記密着層が０．１６〜４、
第１低屈折率層が０．１６〜２、
第１高屈折率層が０．１６〜２、
第２低屈折率層が０．１６〜２、
第２高屈折率層が０．１６〜２．５
であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の反射鏡。
前記誘電体層が前記基板側から順に第１低屈折率層、第１高屈折率層、第２低屈折率層、第２高屈折率層及び第３低屈折率層からなり、光学膜厚を４ｎｄ／λに対するものとして、ｎは屈折率、ｄは膜厚、λは基準波長５５０ｎｍを表すとき、各層の光学膜厚は、
前記密着層が０．１６〜４、
第１低屈折率層が０．１６〜２、
第１高屈折率層が０．１６〜２、
第２低屈折率層が０．１６〜２、
第２高屈折率層が０．１６〜２．５
第３低屈折率層が０．１１〜３
であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の反射鏡。