JP2008087093A - Abnormality detecting device for machine tool - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、工作機械において駆動部分の摩耗などによる劣化を検出する工作機械の異常検出装置に関するものである。 The present invention relates to an abnormality detection device for a machine tool that detects deterioration due to wear or the like of a drive part in a machine tool.
従来から、機器の異常徴候の早期検出のために機器の振動を監視する技術が提案されている。たとえば、回転機器において軸振動を検出するために振動検出器を設け、振動検出器の出力をサンプリングして得られる振幅について、現時点から過去のある定められた時間までの複数個から標準偏差を求め、この標準偏差が規定したしきい値以上になると、異常徴候があると判定する技術が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
ところで、特許文献1に記載された技術は、振幅について求めた標準偏差が閾値以上になると異常と判定するものであるから、機器が定常的に動作している期間には異常の有無を判断することができるが、工作機械のように加減速を伴う機器では、正常動作であっても標準偏差が時間経過に伴って変化するから、特許文献1に記載された技術では異常の有無を検出できない場合がある。
By the way, since the technique described in
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、波形の変化傾向を検出することによって運転中に加減速を伴う場合でも異常の有無の検出を可能とした工作機械の異常検出装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described reasons, and its purpose is to detect abnormalities in machine tools that enable detection of the presence or absence of abnormalities even when acceleration / deceleration is involved during operation by detecting the tendency of waveform changes. It is to provide a detection device.
請求項1の発明は、工作機械の動作を反映した信号を検出する信号検出部と、信号検出部から出力された信号のうち工作機械の運転中における特定期間の信号を対象信号として切り出す信号切出部と、対象信号の波形変化を数値化した評価値を求める評価値演算部と、工作機械の正常運転時における評価値を用いてあらかじめ設定した正常範囲と工作機械の運転時における評価値とを比較し運転時の評価値が正常範囲を逸脱しているときに工作機械の異常と判定する判定部とを備えることを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, there is provided a signal detection unit for detecting a signal reflecting the operation of the machine tool, and a signal cut-out for cutting out a signal of a specific period during operation of the machine tool as a target signal from the signals output from the signal detection unit. An output value, an evaluation value calculation unit for obtaining an evaluation value obtained by quantifying the change in the waveform of the target signal, a normal range set in advance using an evaluation value during normal operation of the machine tool, and an evaluation value during operation of the machine tool And a determination unit that determines that the machine tool is abnormal when the evaluation value during operation deviates from the normal range.
請求項2の発明では、請求項1の発明において、前記信号切出部は前記特定期間において一定の単位期間ごとの代表値を求め、前記評価値演算部は前記特定期間における各単位期間ごとの代表値の時系列データを評価値とし、前記判定部では、工作機械の正常運転時に得られた複数個の評価値を用いて各単位期間ごとの代表値の分布に基づいて各単位期間ごとの正常範囲を設定し、工作機械の運転時における各単位期間ごとに代表値と正常範囲とを比較し規定個数の単位期間において代表値が正常範囲を逸脱しているときに工作機械の異常と判定することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the signal cut-out unit obtains a representative value for each fixed unit period in the specific period, and the evaluation value calculation unit calculates the representative value for each unit period in the specific period. The time series data of representative values is used as an evaluation value, and the determination unit uses a plurality of evaluation values obtained during normal operation of the machine tool based on the distribution of representative values for each unit period. Set the normal range, compare the representative value with the normal range for each unit period when the machine tool is operating, and determine that the machine tool is abnormal when the representative value deviates from the normal range for the specified number of unit periods It is characterized by doing.
請求項3の発明では、請求項1または請求項2の発明において、前記信号切出部は、前記工作機械の動作を指示する外部信号をトリガとして前記特定期間の開始時点を規定していることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the signal cutout section defines a start time of the specific period with an external signal that instructs the operation of the machine tool as a trigger. It is characterized by.
請求項4の発明では、請求項1または請求項2の発明において、前記信号切出部は、一定の単位期間ごとの代表値を求めるとともに、単位期間の終了時点ごとに時間軸における前後の複数個の単位期間における代表値を規定の開始閾値と比較し、時間軸の後退側の第1の規定数の単位期間のうちの少なくとも1個の単位期間における代表値が開始閾値以下、かつ時間軸の前進側の第2の規定数の単位期間の代表値がいずれも開始閾値以上を開始条件として、開始条件を満たした後の複数個の単位期間を前記特定期間とすることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the signal cutout unit obtains a representative value for each fixed unit period, and at the end of the unit period, a plurality of front and rear parts on the time axis are obtained. The representative value in each unit period is compared with a prescribed start threshold, and the representative value in at least one unit period of the first prescribed number of unit periods on the backward side of the time axis is less than or equal to the start threshold, and the time axis Each of the second prescribed number of unit periods on the forward side is set to be a start condition, and a plurality of unit periods after satisfying the start condition are set as the specific period.
請求項5の発明では、請求項1ないし請求項4のいずれかの発明において、前記信号検出部は、前記工作機械の振動を検出する振動センサであることを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to fourth aspects, the signal detection unit is a vibration sensor that detects vibration of the machine tool.
請求項6の発明では、請求項1ないし請求項4のいずれかの発明において、前記工作機械はモータを駆動源とし、前記信号検出部はモータの負荷電流を検出する電流センサであることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the machine tool uses a motor as a drive source, and the signal detection unit is a current sensor that detects a load current of the motor. And
請求項1の発明の構成によれば、工作機械の運転中の特定期間に得られる対象信号の波形変化を数値化した評価値を求め、この評価値を正常範囲と比較することにより工作機械の異常の有無を判断するから、工作機械が定速で運転される場合だけではなく、時間経過に伴って運転速度が変化するように加減速を伴って運転される場合や、工具を取り換えて運転する場合であっても工作機械の異常の有無を判定することができる。
According to the configuration of the invention of
請求項2の発明の構成によれば、特定期間において複数の単位期間ごとの代表値の時系列データを用い、各単位期間ごとに代表値の分布に基づいて正常範囲か否かを評価するから、単位期間ごとの代表値の時間変化により振動波形を評価することができ、比較的少ない計算量で波形変化を評価することができる。
According to the configuration of the invention of
ここに、代表値としては、実効値、包絡線のピーク値、特定周波数のレベルなどを用いることができる。ただし、以下に説明する実施形態では代表値として実効値を用いる例を示す。 Here, the effective value, the peak value of the envelope, the level of the specific frequency, and the like can be used as the representative value. However, in the embodiment described below, an example in which an effective value is used as a representative value is shown.
請求項3の発明の構成によれば、工作機械の動作を指示する外部信号によって特定期間の開始時点を決めるから、工作機械の運転中における特定期間の開始時点を実質的に同じタイミングとすることができ、定速での動作中のように波形変化がほとんど生じない場合だけではなく、特定期間において時間経過に伴って波形が変化する場合でも開始時点を一致させることによって、波形の比較が可能になる。
According to the configuration of the invention of
請求項4の発明の構成によれば、単位期間ごとの代表値の変化傾向に基づいて対象信号を切り出すタイミングを決めているから、工作機械から特定期間の開始時点を示す信号が得られない場合でも特定期間の開始時点を自動的に決定することができる。しかも、一定の規則に従って開始時点を決定しているから、特定期間の開始時点の決定を定式化し客観性を持たせた設定が可能になる。その結果、特定期間において時間経過に伴って波形が変化する場合でも開始時点を一致させることによって、波形の比較が可能になる。 According to the configuration of the invention of claim 4, since the timing for extracting the target signal is determined based on the change tendency of the representative value for each unit period, a signal indicating the start time of the specific period cannot be obtained from the machine tool. But it is possible to automatically determine the starting point of a specific period. Moreover, since the start time is determined according to a certain rule, the determination of the start time of the specific period can be formulated and set with objectivity. As a result, even when the waveform changes over time in the specific period, the waveforms can be compared by matching the start time points.
請求項5の発明の構成によれば、工作機械の振動の監視によって異常の有無を検出することができる。とくに、工作機械が回転部分を有する場合には回転軸の軸ぶれや軸受の摩耗による振動の増加を検出することができる。 According to the configuration of the invention of claim 5, it is possible to detect the presence or absence of abnormality by monitoring the vibration of the machine tool. In particular, when the machine tool has a rotating portion, it is possible to detect an increase in vibration due to shaft runout or bearing wear.
請求項6の発明の構成によれば、工作機械を駆動するモータの負荷電流を監視するから、可動部位の摩耗などによる負荷の増加を検出することができる。また、モータの負荷電流を監視するから、センサを用いることなく工作機械の異常の有無を検出することができる。 According to the configuration of the sixth aspect of the invention, since the load current of the motor that drives the machine tool is monitored, it is possible to detect an increase in load due to wear of the movable part. Further, since the load current of the motor is monitored, it is possible to detect whether there is an abnormality in the machine tool without using a sensor.
以下に説明する工作機械は、図2に示すように、モータを駆動源とする駆動装置Xを備え、駆動装置Xに工具Yを着脱可能に装着する構成であって、ワークに対する駆動装置Xの位置および駆動装置Xの運転速度がプログラムに従って制御されるものとする。この種の工作機械の例としては、単機能の工作機械のほか、マシニングセンタやターニングセンタのように、工具マガジンに保持された複数個の工具から使用する工具をプログラムに従って自動的に選択するものを用いてもよい。以下では、駆動装置Xとしてハウジング11を備えるスピンドルを想定する。
As shown in FIG. 2, the machine tool described below includes a drive device X that uses a motor as a drive source, and is configured to removably attach a tool Y to the drive device X. It is assumed that the position and the operating speed of the driving device X are controlled according to a program. Examples of this type of machine tool include a single-function machine tool, such as a machining center or turning center, which automatically selects a tool to be used from a plurality of tools held in a tool magazine according to a program. It may be used. Hereinafter, a spindle including the
本実施形態で説明する工作機械の異常検出装置は、図1に示すように、駆動装置Xのハウジング11に固着され駆動装置Xの振動を検出する振動センサ1を備え、振動センサ1にはセンサ線12を介して装置本体13が接続される。センサ線12は振動センサ1に付設されており、装置本体13に対してはコネクタなどによって着脱可能に接続される。また、センサ線12を通して対象信号に雑音成分が混入しないように、センサ線12にはシールド線を用いることが望ましい。
As shown in FIG. 1, the abnormality detection device for a machine tool described in the present embodiment includes a
振動センサ1としては加速度ピックアップを用いており、振動センサ1は、図2に示すように、駆動装置Xのハウジング11の外側面に密着させる形で取り付けられる。振動センサ1を駆動装置Xに取り付けるにあたっては、駆動装置Xの動作を妨げず、かつ駆動装置Xの動作によって取付状態の変化しないことが要求される。したがって、接着ないし溶着によって振動センサ1を駆動装置Xのハウジング11に固着する。また、振動センサ1の着脱を可能とするために、振動センサ1を着脱可能に結合する保持具をハウジング11に固着する構成を採用してもよい。
As the
振動センサ1から出力される電気信号は工作機会の動作を反映した信号になるから、振動センサ1が信号検出部として機能する。振動センサ1から出力された信号は、信号切出部2に入力される。
Since the electrical signal output from the
信号切出部2では、駆動装置Xの運転開始の時点、つまり特定期間の開始時点を決定するために、工作機械の動作を指示する信号を用いることができる場合には、当該信号を外部信号としてトリガに用いる。つまり、駆動装置Xの運転開始の信号が与えられた時点を特定期間の開始時点とすればよい。また、この場合には、駆動装置Xの運転停止の信号も与えられると考えられるから、その時点を特定期間の終了時点とすればよい。
When the
一方、外部信号を用いることができない場合には、駆動装置Xの運転前と運転中とでは振動センサ1の出力振幅が大きく変化することを利用し、以下の手順で工作機械の運転中における特定期間の信号を対象信号として切り出す。ここで、駆動装置Xは、工具Yにより加工するワークの投入毎に運転と停止とを繰り返すものとする。
On the other hand, when an external signal cannot be used, the fact that the output amplitude of the
駆動装置Xの運転前には振動センサ1の出力振幅は微小であり、駆動装置Xの運転中には振動センサ1の出力振幅は運転前よりも大きくなる。そこで、特定期間を切り出すのに必要な適宜の時間分解能に応じて単位期間を決定し、信号切出部2において一定の単位期間ごとの振動センサ1の出力を監視する。ここでは、一例として単位期間を10msに設定するものとする。信号切出部2では、各単位期間の境界を着目点とし、着目点に対して時間軸の前後の複数個の単位期間における代表値(ここでは、実効値)を規定の開始閾値と比較する。なお、時間軸の後退側は過去側、時間軸の前進側は未来側を表している。
The output amplitude of the
時間軸の後退側では第1の規定数(たとえば3個)の単位期間について実効値を開始閾値と比較し、時間軸の前進側では第2の規定数(たとえば30個)の単位期間について実効値を開始閾値と比較する。ここで、後退側の単位期間のうちの少なくとも1個の実効値が開始閾値以下(条件A)であって、前進側の単位期間のすべての実効値が開始閾値以上(条件B)であることを開始条件とし、開始条件が満足されたときには、着目点を開始時点の候補とする。開始時点の候補では、着目点の前後同数個(たとえば3個)ずつの単位期間に相当する各時間内でのそれぞれの実効値の差分を求め、時間軸において前進側の次の単位期間の境界を着目点として同様の処理を行う。この処理は、最初に条件A,Bを満たした着目点から一定時間(たとえば、400ms)後まで繰り返して行う。 On the backward side of the time axis, the effective value is compared with the start threshold for the first specified number (for example, 3) unit periods, and on the forward side of the time axis, the effective value is calculated for the second specified number (for example, 30) unit periods. Compare the value to the start threshold. Here, at least one effective value in the backward unit period is equal to or less than the start threshold (condition A), and all effective values in the forward unit period are equal to or greater than the start threshold (condition B). Is a start condition, and when the start condition is satisfied, the point of interest is set as a candidate for the start time. In the starting point candidate, the difference between the effective values within each time corresponding to the same number of unit periods before and after the target point (for example, three) is obtained, and the boundary of the next unit period on the forward side on the time axis is obtained. The same processing is performed using as a point of interest. This process is repeated until a certain time (for example, 400 ms) from the point of interest that first satisfies the conditions A and B.
一方、着目点の前進側の単位期間のうちの1個でも開始閾値未満であるとき、つまり条件Bが満たされない場合には、次の単位期間の終了時点を着目点とし、条件A,Bを満足するか否かを判断する。また、条件Bは満足するが、着目点の後退側の単位期間のいずれもが開始閾値を超えるとき、つまり条件Aが満たされない場合には、着目点から第2の規定数(つまり30個)の単位期間を隔てた時点を着目点とし、この着目点について条件A,Bを満足するか否かを判断する。 On the other hand, when even one of the unit periods on the forward side of the target point is less than the start threshold, that is, when the condition B is not satisfied, the end point of the next unit period is set as the target point, and the conditions A and B are Determine if you are satisfied. In addition, when the condition B is satisfied but any of the unit periods on the backward side of the target point exceeds the start threshold value, that is, when the condition A is not satisfied, the second specified number (that is, 30) from the target point. A point of time separated by the unit period is taken as a point of interest, and it is determined whether conditions A and B are satisfied for this point of interest.
上述のように、最初の着目点から一定時間後までについて、上述の条件A,Bを満たすか否かを判定した後、条件A,Bをともに満たした着目点(開始時点の候補)のうちで、着目点の前後同数個ずつの単位期間に相当する時間内の実効値の差分が最大であった候補を開始時点に用いる。開始時点の決定を簡略化する場合には、最初の候補を開始時点に用いてもよい。 As described above, after determining whether or not the above-described conditions A and B are satisfied for a certain period of time after the first point of interest, among the points of interest (starting point candidates) that satisfy both of the conditions A and B Thus, the candidate having the largest difference in effective value within the time corresponding to the same number of unit periods before and after the target point is used as the start time. If the determination of the start time is simplified, the first candidate may be used as the start time.
一方、特定期間の開始時点を上述のようにして振動センサ1の出力から自動的に決定する場合に、終了時点は開始時点から一定時間後とすることが可能であるが、特定期間の終了時点も振動センサ1の出力から自動的に決定するのが望ましい。終了時点についても開始時点と同様に、単位期間の境界を着目点とし、着目点に対して時間軸の前後の複数個の単位期間における実効値を規定の終了閾値と比較する。ここで、着目点の前後の単位期間の個数は、開始時点とは異なっており、後退側の個数を第3の規定数(たとえば6個)とし、前進側の個数を第4の規定数(たとえば10個)とする。ここに、開始時点を求める際には時間軸の前進側に開始時点の候補を探索したが、終了時点を求める際には時間軸の後退側に開始時点の候補を探索する。
On the other hand, when the start time of the specific period is automatically determined from the output of the
終了時点の検出には、着目点について前進側の第4の規定数の単位期間のうちの少なくとも1個の実効値が終了閾値以下(条件C)であって、後退側の単位期間のすべての実効値が終了閾値以上(条件D)であることを終了条件とし、終了条件が満足されたときには、着目点を終了時点の候補とする。終了時点の候補では、着目点の前後に同数個(たとえば3個)ずつの単位時間に相当する各時間内でのそれぞれの実効値の差分を求めた後、時間軸の後退側で次の単位期間の境界を着目点として同じ処理を行う。この処理は、最初に条件C,Dを満たした着目点から一定時間(たとえば、200ms)前まで繰り返して行う。 For the detection of the end time, at least one effective value of the fourth specified number of unit periods on the forward side with respect to the point of interest is less than or equal to the end threshold (condition C), and all of the unit periods on the reverse side The effective value is equal to or greater than the end threshold (condition D) as an end condition, and when the end condition is satisfied, the point of interest is set as a candidate for the end time. In the end point candidate, after obtaining the difference between the effective values within each time corresponding to the same number of unit times (for example, 3) before and after the target point, the next unit on the backward side of the time axis The same processing is performed with the boundary of the period as the point of interest. This process is repeated until a certain time (for example, 200 ms) from the point of interest that first satisfies the conditions C and D.
条件Dが満足されない場合、つまり着目点から後退側の第3の規定数の単位期間のうち実効値が終了閾値未満のものが1個でもあると、次の着目点において上述の処理を繰り返す。また、条件Dが満たされても条件Cが満たされない場合には、第4の規定数から1を引いた個数(たとえば9個)の単位期間に相当する時間だけ後退側に移動させた時点を着目点とし、条件C,Dを満足するか否かを判断する。 If the condition D is not satisfied, that is, if there is at least one unit period whose effective value is less than the end threshold among the third specified number of unit periods on the backward side from the point of interest, the above processing is repeated at the next point of interest. Further, when the condition C is not satisfied even if the condition D is satisfied, the time point when the movement is made to the backward side by a time corresponding to the number of unit periods obtained by subtracting 1 from the fourth specified number (for example, 9). Whether or not the conditions C and D are satisfied is determined as a point of interest.
上述のように、最初の着目点から一定時間前までについて、上述の条件C,Dを満たすか否かを判定した後、条件C,Dをともに満たした着目点(終了時点の候補)のうちで、着目点の前後同数個ずつの単位期間に相当する時間内の実効値の差分が最大であった終了時点の候補を開始時点に用いる。開始時点の決定を簡略化する場合には、最初の候補を開始時点に用いてもよい。 As described above, after determining whether or not the above conditions C and D are satisfied for a certain period of time from the first point of interest, among the points of interest (candidates for end time) that satisfy both the conditions C and D Thus, the end point candidate where the difference in effective value within the time corresponding to the same number of unit periods before and after the target point is the maximum is used as the start point. If the determination of the start time is simplified, the first candidate may be used as the start time.
以上の説明から明らかなように、信号切出部2において振動センサ1の出力から開始時点と終了時点とを抽出するには、一連の動作が行われる間の振動センサ1の出力を記憶させておく必要がある。したがって、信号切出部2には、振動センサ1の出力を一定時間分(たとえば2000ms)記憶するFIFO(先入れ先出し)のメモリが必要である。
As is clear from the above description, in order to extract the start time point and the end time point from the output of the
上述の動作によって、信号切出部2では振動センサ1の出力から工作機械の運転中に相当する特定期間の対象信号を切り出すことができるから、この対象信号について波形変化を評価する。対象信号の波形変化、つまり時間経過に伴う振幅の変化を評価するために、対象信号は評価値演算部3に与えられる。
With the above-described operation, the
評価値演算部3では、特定期間に含まれる単位期間の実効値を時間の進行方向に並べた時系列データを評価値に用いる。2つの時系列データが一致していれば、両時系列データの元になった対象信号はほぼ一致していると言える。ただし、対象信号にはばらつきがあり、信号切出部2による特定期間の切り出し位置には誤差があるから、評価値が完全に一致することは少ない。時系列データをベクトルとみなせば、工作機械が正常に運転されているときに得られた対象信号と、工作機械の運転中に得られる対象信号とのノルムは両者の一致度を反映する。しかしながら、工作機械が正常に運転されている場合であっても、時系列データは一定ではないから、ノルムを一致度とすることは実用的ではない。
The evaluation
そこで、評価演算部3で求めた評価値を判定部4に入力し、判定部4では工作機械の異常の有無を検査する前処理として、工作機械が正常に運転されているときの評価値を多数個収集し、収集した評価値について各単位期間ごとの実効値の分布に基づいて実効値の正常範囲を設定する。
Therefore, the evaluation value obtained by the
正常範囲を設定するには、各単位期間ごとの実効値の分布を正規分布とみなし、各単位時間ごとに実効値の平均値と分散とを求めることにより分布の形を決定し、平均値に対して分散に適宜の係数を乗じた範囲を正常範囲とすればよい。このように正常範囲を設定しておけば、工作機械の異常の有無ないし異常の徴候を検査するにあたり、運転中に評価値を得るたびに正常範囲と比較することができ、工作機械の異常を迅速に検出することができる。 To set the normal range, the effective value distribution for each unit period is regarded as a normal distribution, the average value and the variance of the effective value are determined for each unit time, and the shape of the distribution is determined. On the other hand, a range obtained by multiplying the variance by an appropriate coefficient may be set as the normal range. If the normal range is set in this way, it can be compared with the normal range every time an evaluation value is obtained during operation in order to check the presence or absence of abnormality of the machine tool or the sign of abnormality. It can be detected quickly.
一方、工作機械の異常の徴候を検出する場合には必ずしも迅速な検出を要しないから、工作機械の運転中において複数回の特定期間について求めた評価値について、各単位期間ごとの実効値の分散を求め、正常時に得た分散に係数を乗じた値を閾値とし、閾値以下の範囲を正常範囲としてもよい。この場合、工作機械の運転時に得られる分散が閾値を超えると、異常の徴候あるいは異常があると判断することができる。 On the other hand, when detecting signs of machine tool abnormalities, rapid detection is not always required, so for the evaluation values obtained for a plurality of specific periods during operation of the machine tool, the variance of the effective value for each unit period A value obtained by multiplying the variance obtained during normality by a coefficient may be used as a threshold, and a range below the threshold may be used as a normal range. In this case, if the variance obtained during operation of the machine tool exceeds a threshold value, it can be determined that there is an abnormality sign or abnormality.
上述のように、工作機械の運転時に得られる評価値が正常範囲を逸脱するときには、判定部4では、工作機械に異常が生じているかあるいは異常の徴候が生じていると判定し、出力部5を通して使用者に異常を報知する。出力部5は表示灯や報知音を発生する装置のほか、ディスプレイ装置を用いて文字による報知を行ってもよい。 As described above, when the evaluation value obtained during operation of the machine tool deviates from the normal range, the determination unit 4 determines that an abnormality has occurred in the machine tool or a sign of abnormality has occurred, and the output unit 5 To inform the user of the abnormality. The output unit 5 may perform notification by characters using a display device in addition to a device that generates an indicator light and a notification sound.
上述の例では、振動センサ1の出力を対象信号に用いているが、駆動装置Xの駆動源がモータであるから、モータの負荷電流を対象信号に用いることが可能であり、モータがサーボ制御されている場合にはモータに設けたエンコーダの出力を対象信号に用いることも可能である。
In the above example, the output of the
1 振動センサ(信号入力部)
2 信号切出部
3 評価値演算部
4 判定部
5 出力部
11 ハウジング
12 センサ線
13 装置本体
X 駆動装置
Y 工具
1 Vibration sensor (signal input part)
2
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