JP2008045820A - Method of manufacturing plate-like heat pipe - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、「平板式ヒートパイプの製造方法」に関し、特に超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法に関する。 The present invention relates to a “method for manufacturing a flat plate heat pipe”, and more particularly to a method for manufacturing a flat plate heat pipe to which ultrasonic welding is applied.
CPU等の集積回路デバイスの集積密度は絶え間なく向上し、その発熱度も増大し、効果的な冷却ができない場合、デバイスの処理性能に影響する。 The integration density of an integrated circuit device such as a CPU is continually improved, its heat generation is increased, and if effective cooling is not possible, the processing performance of the device is affected.
携帯式電子機器が日増しに軽薄短小の方向に発展する中、直面する冷却の問題は更に重要になり、従来の冷却装置では十分な冷却効果が得られずに徐々にボトルネックとなりつつある。 As portable electronic devices are becoming more and more light and short, the problem of cooling that is confronted becomes more important, and the conventional cooling device is gradually becoming a bottleneck without obtaining a sufficient cooling effect.
従って、平板式ヒートパイプの出現は、時宜を得た携帯式電子機器の良好な冷却装置となっている。 Thus, the advent of flat plate heat pipes has become a good cooling device for timely portable electronic devices.
平板式ヒートパイプの動作原理は、大部分が従来のヒートパイプと同じであり、異なる箇所は従来のヒートパイプは外形が制限され、熱量を一次元方向のみに伝達できることに対し、平板式ヒートパイプは、二次元方式で熱量を伝達するように設計でき、又、平板式ヒートパイプは更に薄く製造でき、外形も従来のヒートパイプのように制限されることなく、従って対象とする冷却デバイスへの適用に弾力性および応用性を大きく向上することができる。 The principle of operation of a flat plate heat pipe is mostly the same as that of a conventional heat pipe. Unlike the conventional heat pipe, the outer shape of the conventional heat pipe is limited and heat can be transferred only in one dimension. Can be designed to transfer heat in a two-dimensional manner, and flat plate heat pipes can be made even thinner, and the outer shape is not limited as in conventional heat pipes, and therefore can be applied to the target cooling device. The elasticity and applicability can be greatly improved.
図1および図2は、従来の平板式ヒートパイプを示す図であり、覆蓋面積が比較的大きい2つの平板11の間を利用して2つの毛細構造体12を挟み、2つの毛細構造体12の間には支持体13を挟んで配置する。
FIG. 1 and FIG. 2 are views showing a conventional flat plate heat pipe. Two
上記構成部材は、一般に高温環境で熱膨張により各部材が変形して隙間が生じ易く、このため冷却効果の低下を引き起こすが、熱処理により上記各構成部材の間に拡散接合を形成して結合することにより各構成部材の間に隙間が生じることを防止し、良好な熱伝導効果を保持することができる。 In general, the above components are easily deformed due to thermal expansion in a high temperature environment, and gaps are likely to be formed. This causes a decrease in cooling effect. Thus, it is possible to prevent a gap from being formed between the constituent members and to maintain a good heat conduction effect.
但し、拡散接合を実行する場合、各構成部材に対して位置決めを行い、各構成部材間の相対位置を調整したうえで治具を利用して各構成部材を固定する必要があり、治具により各構成部材に大きな圧力を加えて各構成部材間に緊密な接触を形成する。最後に8時間から9時間の長時間の熱処理を通して各部材の間に接合を形成する。 However, when performing diffusion bonding, it is necessary to position each component member, adjust the relative position between the component members, and fix each component member using a jig. A large pressure is applied to each component to form intimate contact between the components. Finally, a bond is formed between the members through a long heat treatment of 8 to 9 hours.
位置決めの正確性は、平板式ヒートパイプの冷却性能に影響する。多層構造を採用した毛細構造体の平板式ヒートパイプにおいて、位置決めの問題は明らかに更に重要である。 The accuracy of positioning affects the cooling performance of the flat plate heat pipe. The positioning problem is clearly more important in a flat plate heat pipe with a multilayer structure.
例えば、平板式ヒートパイプの構造において、金属銅網を利用して毛細構造体とし、熱源と接触する箇所(例えばCPUと接触する箇所)に比較的細かい網目の金属銅網を採用して作動液体が熱に触れて気化する速度を向上し、残りの箇所は比較的粗い網目の金属銅網を採用して作動液体の流動性を向上し、平板式ヒートパイプ全体の冷却効果を向上する。この時、製造工程において、比較的細かい網目の金属銅網の位置決めが正確であるか否かは、平板式ヒートパイプの冷却効果に影響する。 For example, in the structure of a flat plate heat pipe, use a metal copper mesh to form a capillary structure, and use a relatively fine mesh metal copper mesh at the point of contact with the heat source (for example, the point of contact with the CPU). The rate of vaporization upon contact with heat is improved, and the remaining part adopts a relatively coarse metallic copper mesh to improve the fluidity of the working liquid and improve the cooling effect of the entire flat plate heat pipe. At this time, in the manufacturing process, whether or not the positioning of the metal copper net having a relatively fine mesh is accurate affects the cooling effect of the flat plate heat pipe.
この他、圧力を施す治具の平面度の影響を受け易く、治具の平面度が適切でない場合、治具により各構成部材の間を圧力接合する接合密度が悪くなり易く、拡散接合を実行した後の接合強度と緊密度が不十分になり、接合箇所の構成部材は熱により変形し隙間が生じ、熱抵抗が増加し冷却効果が低下する。
本発明は、簡単に各構成部材を位置決めして各構成部材間の接合強度および緊密度を向上すると共に、製造工程の時間を低減した、超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention provides a method for manufacturing a flat plate heat pipe using ultrasonic welding, in which each component is easily positioned to improve the bonding strength and tightness between the components, and the manufacturing process time is reduced. The purpose is to provide.
本発明の超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法は、
(A)毛細構造体表面の少なくとも1つの部分を超音波により上平板および前記上平板と形状が対応した下平板のうちいずれか1つ上に溶接し、前記上平板および前記下平板が相互に畳み合うと共に前記毛細構造体は前記平板間に配置する。
(B)前記平板を接合し、前記毛細構造体を前記平板内に密封する。
を含むものである。
The manufacturing method of the flat plate heat pipe to which the ultrasonic welding of the present invention is applied,
(A) At least one portion of the surface of the capillary structure is welded onto one of the upper flat plate and the lower flat plate corresponding in shape to the upper flat plate by ultrasonic waves, and the upper flat plate and the lower flat plate are mutually connected The capillary structures are arranged between the flat plates while being folded.
(B) The flat plates are joined, and the capillary structure is sealed in the flat plate.
Is included.
超音波溶接を応用し毛細構造体を上平板または下平板のいずれか1つに接合し、毛細構造体と平板との間に良好な接合強度と緊密度を具有させ、効果的に熱抵抗を低下させ冷却効果を向上するとともに、接合工程の所要時間を大幅に短縮することができる。 Ultrasonic welding is applied to join the capillary structure to one of the upper or lower flat plate, and it has good bonding strength and tightness between the capillary structure and the flat plate, effectively reducing thermal resistance. The cooling effect can be improved by lowering, and the time required for the joining process can be greatly shortened.
本発明が提供する超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造は、平板式ヒートパイプの構成部材(毛細構造体、支持体、および平板等)間を容易に位置決めするだけではなく、前記構成部材間の接合強度および緊密度を向上し、熱抵抗を効果的に下げ冷却効果を向上すると共に、接合工程にかかる時間を短縮することができる。 The manufacture of a flat plate heat pipe using ultrasonic welding provided by the present invention not only easily positions the components (capillary structure, support, flat plate, etc.) of the flat plate heat pipe, but also has the above-described configuration. It is possible to improve the bonding strength and tightness between the members, effectively reduce the thermal resistance, improve the cooling effect, and shorten the time required for the bonding process.
この他、本発明の超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法は、更に超音波溶接により毛細構造体を前記平板の間であるとともに前記毛細構造体と相互に接触する支持体上に接合し、毛細構造体と支持体との間に良好な接合強度と密度を具有させ、熱抵抗を効果的に下げ冷却効果を向上すると共に、接合工程にかかる時間を短縮することができる。 In addition, the method for manufacturing a flat plate-type heat pipe to which the ultrasonic welding of the present invention is applied further includes the step of ultrasonic welding the capillary structure between the flat plates on the support that is in mutual contact with the capillary structure. It is possible to bond the capillaries and the support with good bonding strength and density, effectively reduce the thermal resistance, improve the cooling effect, and shorten the time required for the bonding process.
本発明の超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法は、更に前記平板周縁に沿って超音波溶接を実施することを含み、前記平板周縁を密封することにより、前記平板との間に良好な接合強度と密度を具有させ、熱抵抗を効果的に下げ冷却効果を向上すると共に、接合工程にかかる時間を短縮することができる。 The manufacturing method of the flat plate-type heat pipe to which the ultrasonic welding of the present invention is applied further includes performing ultrasonic welding along the peripheral edge of the flat plate. It has good bonding strength and density, effectively reduces the thermal resistance, improves the cooling effect, and shortens the time required for the bonding process.
本発明の超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法は、更に超音波溶接を応用し少なくとも2つの子毛細構造体を接合し毛細構造体を生成させることを含むものである。 The manufacturing method of the flat plate-type heat pipe to which the ultrasonic welding of the present invention is applied further includes applying ultrasonic welding to join at least two child capillary structures to generate a capillary structure.
本発明の特徴、構造および達成する効果を更に明確にする為、図を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。 In order to further clarify the features, structure and effects achieved, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明の超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法の好適な実施形態は、以下の工程を含むものである:
先ず、図3を参照すると、工程21において、毛細構造体31を支持体32上に位置決めする。その位置決めの方式はそれぞれ図4および図5に示すものである。
図4が示すものは、片状の毛細構造体31を折り曲げて片状の支持体32を挟み、毛細構造体31および支持体32の上下表面に均一に接触させ、この構造により毛細構造体31の上部311における熱量を側部312を経由して下部313へ分散して伝達し、効率的に冷却効果を向上する。
A preferred embodiment of a method for producing a flat plate heat pipe to which the ultrasonic welding of the present invention is applied includes the following steps:
First, referring to FIG. 3, in
FIG. 4 shows that the piece-like
毛細構造体31の作用は熱量を吸収することに用いられ、前記熱量を毛細構造体31の上部に付着する作動液体に伝達し、前記作動液体に熱量を吸収させて昇華させて気体へと変化させる。本実施形態中、毛細構造体31は熱伝導性の良好な金属銅線が編込まれてなる金属銅網を典型例とする。
The action of the
この他、図5に示すように、更に複数の子毛細構造体311を結合し多層構造の毛細構造体31を構成することができる。2種類の異なる網目の金属銅網を応用してそれぞれ子毛細構造体314,315とし、前記子毛細構造体314,315を結合して毛細構造体31とし、全体の冷却効果を向上させる。その内、比較的網目の細かい金属銅網を用いて熱を受ける箇所(例えば、CPUと接触する箇所)に設置することで、その上に付着する作動液体の気化速度を向上することができ、その他の箇所は比較的網目の粗い金属銅網を用い作動流体の良好な流動性を維持させ、冷却効果を向上する。
In addition, as shown in FIG. 5, a plurality of child
支持体32の作用は、相互に貫通する隙間321を提供することであり、作動液体を隙間321内で自由に流動させることができる。本実実施形態中、支持体32は比較的粗い金属銅線を編みこんでなる金属銅網を代表とし、その網目の大きさは毛細構造体31の金属銅網の網目の大きさより大きいものである。
The action of the
図6が示すように、毛細構造体31を支持体32の両側に沿って折り畳んで支持体32を覆い包み、毛細構造体31の上部311に位置する熱量を左右両側部312に介してそれぞれ下部に分散して伝達させることができ、効率的に冷却効果を向上する。
As shown in FIG. 6, the
毛細構造体31および支持体32の位置決め方式は、上記図4および図6の形式に限らず、毛細構造体31は多層形式として支持体32を覆わせることもできる。毛細構造体31および支持体32の数量は1片に限らず、多数であることもでき、その形状も限定しない。毛細構造体31は支持体32の表面の少なくとも1部分のみ接触することも可能である。
The positioning method of the
続いて、図3が示すように、工程22は、毛細構造体31および支持体32を超音波溶接により接合する。図7および図8が示すようにそれぞれ超音波点溶接および超音波ローラー溶接を利用し、毛細構造体31および支持体32を接合する。
Then, as FIG. 3 shows, the
更に、同様に、超音波点溶接およびローラー溶接を応用して前記2種類の異なる網目の子毛細構造体314,315を接合し毛細構造体を形成することができる。
Further, similarly, by applying ultrasonic spot welding and roller welding, it is possible to join the child
図7が示す点溶接方式は、溶接ヘッド41の下方に上ブラシ42を形成し、前記上ブラシ42および載置台43に設置される下ブラシ44を対応させる。操作時、まず毛細構造体31および支持体32を位置決めして上下ブラシ42,44の間に配置し、上ブラシ42を下方に加圧し、毛細構造体31および支持体32を上下ブラシ42,44の間に緊密に挟ませる。溶接ヘッド41が上ブラシ42を連動することにより、超音波周波数により実質上水平方向に微小震動し、毛細構造体31および支持体32が相互に接触する表面に摩擦作用を受けさせ局部溶接を生じさせて接合を形成する。
In the spot welding method shown in FIG. 7, an
図8が示すローラー溶接方式は、その原理は点溶接とほぼ同一であり、回転可能な上ローラー45が連動するリング状上ブラシ46を形成し、上ブラシ46は回転可能な下ローラー47上のリング状下ブラシ48に対応する。操作時、まず毛細構造体31および支持体32を位置決めして上下ブラシ46,48の間に配置し、上ブラシ46を下方に加圧し、毛細構造体31および支持体32を上下ブラシ46,48の間に緊密に挟ませる。上ローラー45が上ブラシ42を連動して超音波周波数により実質上水平方向に微小震動し、毛細構造体31および支持体32が相互に接触する表面に摩擦作用を受けさせ、局部溶接を発生させて接合を形成する。更に、反対方向に回転する上下ローラー45,47により、毛細構造体31および支持体32を連動して横方向に移動させ、毛細構造体31および支持体32を連続的に接合させる目的を達成する。
The principle of the roller welding method shown in FIG. 8 is almost the same as that of spot welding, and forms a ring-shaped
超音波を利用し点溶接またはローラー溶接のどちらを実行しても、毛細構造体31および支持体32の相互に接触する表面を摩擦し、摩擦により局部溶解が発生する前に、先ずその表面上に形成される酸化物が摩擦により除去され、その表面に元の材質が露出される。従って、酸化物が除去されることにより、局部溶解が形成する接合の接合強度および緊密度は従来の拡散接合に比較して良好であり、更に熱伝導抵抗が低下し冷却効率が向上する。また、超音波溶接が要する時間はわずかに30分間であり、拡散接合が要する8,9時間よりもはるかに少ない時間である。
Whether spot welding or roller welding is performed using ultrasonic waves, the surfaces of the
この他、超音波溶接を利用して予め毛細構造体31および支持体32を接合することは、更に洗浄の効果を有する。
In addition, joining the
一般に平板式ヒートパイプの製造工程中、汚染物がヒートパイプ内を塞ぎ処理性能に影響することを防止する必要があり、従って毛細構造体31および支持体32に対して洗浄を行うが、従来の拡散接合を応用した製造工程においては、毛細構造体31および支持体32をそれぞれ洗浄した後、位置決めを行い、位置決めの捜査過程中、容易に汚染物が付着し、二次汚染引き起こすのである。
In general, during the manufacturing process of the flat plate heat pipe, it is necessary to prevent contaminants from blocking the heat pipe and affecting the processing performance. Therefore, the
本発明は超音波溶接を利用し拡散接合に取って代わり、洗浄する前に、予め毛細構造体31および支持体32を接合して、効果的に二次汚染の問題が発生することを防止する。
The present invention replaces diffusion bonding using ultrasonic welding, and joins the
上記のように、超音波溶接法(点溶接またはローラー溶接)を応用して毛細構造体31を製造および毛細構造体31を支持体32に接合する。以下は、同様に超音波溶接法を応用し、更に平板式ヒートパイプのその他の構成要素を接合させる。
As described above, the
図3および図9が示すように、工程23において、接合後の毛細構造体31および支持体32を、超音波溶接により下平板34上に接合する。毛細構造体31は既に支持体32に接合されているため、直接に下平板34を位置決めして接合を実行することができ、従来の毛細構造体、支持体および下平板の三者をそれぞれ調整する面倒を回避する。
As shown in FIGS. 3 and 9, in
図3および図10が示すように、工程24において、下平板34に対応した形状の上平板33を下平板34上に対応させて位置決めし、超音波点溶接を利用し熱源に対応する箇所(例えば、CPUとの接触箇所)に図10に示すような少なくとも1つの凹部35を形成し、上平板33と毛細構造体31、支持体32および下平板34とを結合し、上記構成要素の相互の間で位置がずれることを防止し、各構成要素間の接合密度を強化し、熱源付近の構成要素が変形して隙間が発生することを効果的に防止し、熱伝導抵抗が増加し冷却効果が低下することを防止する。
As shown in FIGS. 3 and 10, in
図3および図11が示すように、工程25において、超音波ローラー溶接法を利用し、上下平板33,34周縁に沿ってローラー溶接を実行し、上平板33と下平板34を接合し、毛細構造体31および支持体32をその中に密封する。
As shown in FIG. 3 and FIG. 11, in
または、気相成長法を利用して上平板33、または下平板34、または上下平板33,34両者の周縁に金属材質の接合層を形成し、上下平板33,34を密封する。上下平板33,34は、銅、アルミニウム等の金属材質により生成することができ、接合層の金属材質は、錫、銀、銅および上記の組み合わせのいずれかを選択することができる。また、前記金属材質は、錫、鉛および上記の組み合わせのいずれかであることもできる。更に、前記金属材質は、錫、ビスマスおよび上記の組み合わせのいずれかであることもできる。
Alternatively, a metal bonding layer is formed on the periphery of the upper
上記のように、超音波溶接法を応用することにより、毛細構造体31、支持体32おおよび上下平板33,34を接合し、接合強度および緊密度を効果的に向上させ、間接的に冷却効果を向上する。更に、接合工程に要する時間を大幅に短縮し、本発明の目的を確実に達成する。
As described above, by applying the ultrasonic welding method, the
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。 In the present invention, preferred embodiments have been disclosed as described above. However, the present invention is not limited to the present invention, and any person who is familiar with the technology can use various methods within the spirit and scope of the present invention. Variations and moist colors can be added, so the protection scope of the present invention is based on what is specified in the claims.
21〜25 ステップ
31 毛細構造体
311 上部
312 側部
313 下部
314 子毛細構造体
32 支持体
321 隙間
33 上平板
34 下平板
35 凹部
41 溶接ヘッド
42 上ブラシ
43 載置台
44 下ブラシ
45 上ローラー
46 上ブラシ
47 下ローラー
48 下ブラシ
21 毛細構造体を支持体上に位置決めする
22 毛細構造体を超音波により支持体上に溶接する
23 毛細構造体を超音波により下平板上に溶接する
24 上平板を下平板に位置決めする
25 上下平板周縁に密封接合を形成する
21 to 25
Claims (21)
(A)毛細構造体表面の一面を上平板および前記上平板と形状が対応した下平板のうちいずれか1つの上に超音波接合し、該毛細構造体を間に配置収容して前記上平板および前記下平板を相互に重ね、
(B)前記平板を相互に超音波接合し、前記毛細構造体を前記平板の囲む空間内に密封する、
からなることを特徴とする超音波溶接を応用した平板式ヒートパイプの製造方法。 The following steps:
(A) One surface of the capillary structure is ultrasonically bonded to any one of the upper flat plate and the lower flat plate corresponding in shape to the upper flat plate, and the capillary structure is disposed and accommodated between the upper flat plate and the upper flat plate. And the lower flat plates are stacked on top of each other,
(B) The flat plates are ultrasonically bonded to each other, and the capillary structure is sealed in a space surrounded by the flat plates.
The manufacturing method of the flat plate type heat pipe which applied ultrasonic welding characterized by comprising.
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