JP2007333732A - 表面検査システム及び表面検査システムの検査性能の診断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送される鋼板102の表面に光を照射する光源103と、鋼板102からの反射光を受光して撮像するカメラ104と、鋼板102の表面にレーザー光を照射するレーザーポインタ105とを備える。レーザーポインタ105の点灯時間及び点灯強度の制御パターンを変えることにより、点状、線状、点線状のように照射パターンの形状、輝度を変えることができるので、診断部111において、レーザー光の照射による画像が輝度の適正な点状、線状、点線状であると正しく判定できたとき、表面検査システムの検査性能が正常であると判定する。
【選択図】図1
Description
(1)帯状被検査体(鋼板)に貫通する開口を設けなければならず、そのための設備や作業が必要となるため、コスト的に大きな負担となってしまう。
(2)一般的な製造ラインにおいては多種多様な表面肌の製品が製造されることが多いこと、照明光源は経時的に劣化していくものが多いことから、通常帯状被検査体の平均受光レベルが一定となるよう受光感度が自動的に調整されるのが一般的である。したがって、測定対象の絶対的な信号強度を測定するだけでは装置の感度変化を知ることはできず、また感度が自動調整される前の信号強度を計測したのでは光源の劣化の度合いが大きく影響するため、光源の劣化度が調整可能な許容範囲であっても、異常と認識されてしまう。
(3)特許文献1においては表面検査装置の分解能が明記されていないが、例えば分解能が開口部の寸法より十分小さい場合、その反射光強度は0であり、それ以外の場合は開口部周辺の地肌や、開口部の加工面の粗さ等により反射光強度は変化するため感度を安定的に計測することはできない。
(4)また、特許文献1には前項(3)の問題を解決するため帯状被検査体と反射率の異なる支持材にて帯状被検査体を支持する技術が提案されているが、ここで提案されているような支持材では経年変化あるいは汚れ等により反射率が変わるため、やはり感度を安定的に計測することはできない。また、このような設備を設置することはコスト的にも大きな負担となる。
(1)溶接線(溶接痕)は常に一定の形状とはならない。そのため、溶接痕は正常であるが、表面検査装置が正常に動作していないために溶接痕による規定のパターンが出力されないのか、表面検査装置が正常に動作しているが、溶接痕が異常であるために溶接痕による規定のパターンが出力されないのかを判断することができない。
(1)人工欠陥として、線状疵を設けたり、ポンチ等を用いて点状の欠陥を設けたりする場合には、そのための設備や作業が必要となるため、コスト的に大きな負担となってしまう。
(2)特定の大きさの人工欠陥を設けるため、大きさや形状が様々な疵に対する検査性能を保証することができない。
(3)特定の位置に人工欠陥を設けるため、帯状被検査体の幅方向の任意の位置での検査性能を保証することができない。
また、本発明の表面検査システムの他の特徴は、さらに、前記帯状被検査体の搬送速度に応じて前記スポット照射装置の点灯時間を制御する点灯時間制御手段を備えた点にある。
また、本発明の表面検査システムの他の特徴は、さらに、前記帯状被検査体に照射する前記スポット照射装置の点灯強度を制御する点灯強度制御手段を備えた点にある。
また、本発明の表面検査システムの他の特徴は、さらに、撮像画像に現れるスポット照射による画像形状を判定することによって、当該表面検査システムの検査性能を診断する診断手段を備えた点にある。
また、本発明の表面検査システムの他の特徴は、さらに、前記スポット照射装置によるスポット照射の位置を前記帯状被検査体の幅方向に移動させることができる点にある。
また、本発明の表面検査システムの他の特徴は、さらに、前記スポット照射装置のスポット照射の形状が前記帯状被検査体の搬送方向に対して斜めの直線状である点にある。
また、本発明の表面検査システムの他の特徴は、さらに、前記撮像装置は複数であって、前記帯状被検査体の表面上の同一のスポット照射を撮像し、前記スポット照射装置のスポット照射の形状が前記帯状被検査体の搬送方向に対して斜めの直線状であり、前記診断手段は、前記撮像装置それぞれの撮像画像における、スポット照射の画像の位置の差異から、前記撮像装置の設置状態のずれを検出する点にある。
本発明による表面検査システムの検査性能の診断方法は、搬送される帯状被検査体の表面に光を照射する光源と、前記帯状被検査体からの反射光を受光して撮像する撮像装置とを備えた表面検査システムの検査性能の診断方法であって、前記帯状被検査体の表面に、前記光源の光とは輝度が異なる光をスポット照射し、前記撮像装置により得られる撮像画像に基づいて、前記表面検査システムの検査性能を診断する点に特徴を有する。
(第1の実施形態)
図1に、第1の実施形態に係る表面検査システムの概略構成を示す。本実施形態は、鋼板の連続製造ラインに表面検査システムを設置した例である。鋼板の連続製造ラインでは、連続して処理する各ロット(コイル)の鋼板の先端、後端をそれぞれラインの入側で溶接し、これを高速で搬送しつつ圧延、酸洗、めっき、焼鈍等の処理を行い、ラインの出側で溶接部を切断することによってロット毎にコイル状に巻き取る。鋼板の表面検査は、ライン内で発生する異常を検査するために、製造ラインの出側で行われることになる。
第2の実施形態は、図4に示すように、光源103による鋼板102からの反射光の正反射方向に設置された正反射用カメラ104aと、乱反射方向に設置された乱反射用カメラ104bとを備えた例である。なお、上記第1の実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して説明し、その詳細な説明は省略する。
ずれた長さ50mmの線が撮影される。
S=Δtan(90−θ)
であるから、有限値のカメラのずれ量Sを計算し、撮像画像の分解能や所望の検査精度から設定した管理値と比較する等して、カメラ設置状態が異常と判断することができる。さらには、当該ずれ量Sに基づいて、カメラ設置位置や光軸等の撮像装置の設置状態を修正することができる。
102 鋼板
103 光源
104 カメラ
105 レーザーポインタ
106 画像処理回路
107 特徴量算出部
108 疵判定部
109 表示装置
110 点灯制御部(時間又は強度)
111 診断部
Claims (11)
- 搬送される帯状被検査体の表面に光を照射する光源と、前記帯状被検査体からの反射光を受光して撮像する撮像装置とを備えた表面検査システムであって、
当該表面検査システムの検査性能を診断するときに、前記帯状被検査体の表面に、前記光源の光とは輝度が異なる光をスポット照射するスポット照射装置を備えたことを特徴とする表面検査システム。 - 前記帯状被検査体の搬送速度に応じて前記スポット照射装置の点灯時間を制御する点灯時間制御手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の表面検査システム。
- 前記帯状被検査体に照射する前記スポット照射装置の点灯強度を制御する点灯強度制御手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の表面検査システム。
- 撮像画像に現れるスポット照射による画像形状及び画像輝度のいずれか一方又は両方を判定することによって、当該表面検査システムの検査性能を診断する診断手段を備えたことを特徴とする請求項2又は3に記載の表面検査システム。
- 前記点灯時間制御手段は、前記スポット照射装置の点灯時間を複数のパターンで制御することを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の表面検査システム。
- 前記スポット照射装置によるスポット照射の位置を前記帯状被検査体の幅方向に移動させることができることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の表面検査システム。
- 前記帯状被検査体の幅方向に複数台の撮像装置が配置されており、前記各撮像装置の撮像範囲に同時にスポット照射可能としたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の表面検査システム。
- 前記スポット照射装置のスポット照射の形状が前記帯状被検査体の搬送方向に対して斜めの直線状であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の表面検査システム。
- 前記撮像装置は複数であって、前記帯状被検査体の表面上の同一のスポット照射を撮像し、
前記スポット照射装置のスポット照射の形状が前記帯状被検査体の搬送方向に対して斜めの直線状であり、
前記診断手段は、前記撮像装置それぞれの撮像画像における、スポット照射の画像の位置の差異から、前記撮像装置の設置状態のずれを検出することを特徴とする請求項4に記載の表面検査システム。 - 前記スポット照射装置はレーザーポインタであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の表面検査システム。
- 搬送される帯状被検査体の表面に光を照射する光源と、前記帯状被検査体からの反射光を受光して撮像する撮像装置とを備えた表面検査システムの検査性能の診断方法であって、
前記帯状被検査体の表面に、前記光源の光とは輝度が異なる光をスポット照射し、前記撮像装置により得られる撮像画像に基づいて、前記表面検査システムの検査性能を診断することを特徴とする表面検査システムの検査性能の診断方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102262095A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-11-30 | 株式会社高永科技 | 检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法 |
CN102721702A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-10 | 山东轻工业学院 | 基于嵌入式处理器的分布式纸病检测系统及方法 |
JP2014232061A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | 株式会社プレックス | 布類検査装置 |
JP2017207288A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | Jfeスチール株式会社 | 表面検査装置用校正板及び表面検査装置の校正方法 |
KR101908808B1 (ko) | 2016-12-22 | 2018-12-10 | 주식회사 포스코 | 강판의 형상 결함 검출 장치 및 방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108120399A (zh) * | 2016-11-30 | 2018-06-05 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种扫描式高亮背景特征点标识方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11132967A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-21 | Kawasaki Steel Corp | 表面検査装置の校正方法 |
JP2000199746A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-07-18 | Nkk Corp | 表面欠陥検査装置 |
JP2000205847A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Kawasaki Steel Corp | 表面疵検査方法および装置 |
JP2001165867A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
JP2001174414A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nkk Corp | 基準板,表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置 |
JP2002090306A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-27 | Nkk Corp | 表面検査装置の自己診断方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11132967A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-21 | Kawasaki Steel Corp | 表面検査装置の校正方法 |
JP2000199746A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-07-18 | Nkk Corp | 表面欠陥検査装置 |
JP2000205847A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Kawasaki Steel Corp | 表面疵検査方法および装置 |
JP2001165867A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
JP2001174414A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nkk Corp | 基準板,表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置 |
JP2002090306A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-27 | Nkk Corp | 表面検査装置の自己診断方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102262095A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-11-30 | 株式会社高永科技 | 检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法 |
US9124810B2 (en) | 2010-04-14 | 2015-09-01 | Koh Young Technology Inc. | Method of checking an inspection apparatus and method of establishing a measurement variable of the inspection apparatus |
CN102262095B (zh) * | 2010-04-14 | 2016-06-01 | 株式会社高永科技 | 检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法 |
CN102721702A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-10 | 山东轻工业学院 | 基于嵌入式处理器的分布式纸病检测系统及方法 |
JP2014232061A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | 株式会社プレックス | 布類検査装置 |
JP2017207288A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | Jfeスチール株式会社 | 表面検査装置用校正板及び表面検査装置の校正方法 |
KR101908808B1 (ko) | 2016-12-22 | 2018-12-10 | 주식회사 포스코 | 강판의 형상 결함 검출 장치 및 방법 |
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