JP2007225303A - Apparatus and method for synchronous detection, and method and apparatus for measuring magnetism - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、同期検波方法および装置、磁気計測方法および装置に関するものであり、特にデジタル信号処理で同期検波を行う同期検波方法および装置、磁気計測方法および装置に関するものである。 The present invention relates to a synchronous detection method and apparatus, a magnetic measurement method and apparatus, and more particularly to a synchronous detection method and apparatus for performing synchronous detection by digital signal processing, and a magnetic measurement method and apparatus.
渦流計測方法、交流漏洩磁束探傷方法、交流磁気抵抗計測方法は、測定対象に外部より交流磁界を与え、その測定対象における応答を計測する計測手法である。ここで、測定対象の応答は、外部より与える交流磁界と同じ周波数の信号として得られるため、外部からの雑音信号の影響を受けずに測定対象の応答を検知するため、同期検波などの手法がとられる。 The eddy current measurement method, the AC leakage magnetic flux flaw detection method, and the AC magnetoresistance measurement method are measurement methods in which an AC magnetic field is applied to the measurement target from the outside and a response in the measurement target is measured. Here, since the response of the measurement target is obtained as a signal having the same frequency as the AC magnetic field applied from the outside, a method such as synchronous detection is used to detect the response of the measurement target without being affected by the noise signal from the outside. Be taken.
この同期検波は、非常に高速で、高精度の信号処理を行う必要があるため、これまでアナログ回路で構成された同期検波回路で行われることが一般的であった。 Since this synchronous detection needs to perform signal processing with very high speed and high accuracy, it has been generally performed by a synchronous detection circuit constituted by an analog circuit so far.
しかし、複数のセンサを同時に使用する必要のある渦流計測や交流漏洩磁束探傷、交流磁気計測方法を行うときなどは、この同期検波回路もセンサ数と同じ数だけ必要となる、ないしはセンサ数に比例して多く必要となるため、回路規模が大きくなる、コストが大きくなるなどの問題が生じていた。そして、デジタル信号によって同期検波を行う技術が特許文献1に開示されている。
特許文献1に開示されているような技術を適用した計測結果を、同期検波前にA/D変換を行い、同期検波をソフトウェア上で処理するという手法が考えられる。この手法を用いると、ソフトウェア上で処理可能であるため、簡易なプログラムにより、たとえばPC上でも同期検波を実現可能となる。 A method of performing A / D conversion on the measurement result to which the technique disclosed in Patent Literature 1 is applied before synchronous detection and processing the synchronous detection on software is conceivable. If this method is used, since it can be processed on software, synchronous detection can be realized on a PC, for example, with a simple program.
しかしながら、この実現のためには、計測した信号をA/D変換でデジタル化する際にサンプリング周波数を十分に高くする必要がある。サンプリング定理によると、計測した信号の最高周波数(渦流計測、交流漏洩磁束探傷、交流磁気計測のような同期検波を行う計測の場合は、外部よりかけた1次信号(励磁信号)の周波数が計測した信号の主な周波数成分として現れることとなる。)の2倍より大きい周波数でサンプリングすることが望まれる。そのため、渦流計測、交流漏洩磁束探傷、交流磁気計測のような同期検波を行う計測において、特に1次信号の周波数が高い場合には、非常に高い周波数でのサンプリングが必要となる。 However, in order to realize this, it is necessary to sufficiently increase the sampling frequency when the measured signal is digitized by A / D conversion. According to the sampling theorem, the maximum frequency of the measured signal (in the case of measurement with synchronous detection such as eddy current measurement, AC leakage magnetic flux flaw detection, AC magnetic measurement, the frequency of the primary signal (excitation signal) applied from the outside is measured. It is desirable to sample at a frequency greater than twice the main frequency component of the signal. Therefore, in measurements that perform synchronous detection such as eddy current measurement, AC leakage magnetic flux flaw detection, and AC magnetic measurement, particularly when the frequency of the primary signal is high, sampling at a very high frequency is required.
また、検出分解能については、2次信号(検出用センサにより検出された検出信号)における測定対象となる信号変化(例えば、欠陥による信号の強度変化)は、1次信号の信号変化と比較すると著しく小さく、広い測定レンジの中で高い分解能のA/D変換が必要となるため高いbit数のA/D変換装置が必要となる。 As for detection resolution, the signal change (for example, signal intensity change due to a defect) in the secondary signal (detection signal detected by the detection sensor) is significantly different from the signal change of the primary signal. Since A / D conversion with high resolution is required in a small and wide measurement range, an A / D converter with a high bit number is required.
本発明者らは、鋼板における欠陥の渦流探傷測定を行い、この実現のために最低限必要なbit数が16bit程度であり、より望ましくは20bit程度以上であることを確認した。このような高いbit数のA/D変換を実現するには、通常ΣΔ変換方式を使用するが、この方式ではサンプル周波数を高くすることが困難である。逆に、サンプリング周波数の高いA/D変換を実現するには、いわゆるフラッシュタイプの変換方式が一般的であるが、各bit毎に変換素子を必要とすることからモジュール数が多くなるためbit数の多いA/D変換に適さない問題があった。このような事情から、高いbit数でかつ高速(数100kHz以上)なA/D変換を実現することは困難である。 The present inventors have conducted eddy current flaw detection measurement of defects in the steel sheet, and confirmed that the minimum number of bits required for this realization is about 16 bits, and more preferably about 20 bits or more. In order to realize such a high bit number A / D conversion, the ΣΔ conversion method is usually used, but it is difficult to increase the sampling frequency in this method. Conversely, in order to realize A / D conversion with a high sampling frequency, a so-called flash type conversion method is generally used. However, since a conversion element is required for each bit, the number of modules increases because the number of modules increases. There is a problem that is not suitable for A / D conversion. Under such circumstances, it is difficult to realize A / D conversion with a high number of bits and high speed (several hundred kHz or more).
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、1次周波数が高い場合にも同期検波前にA/D変換を行い低コストで同期検波を行う同期検波方法および装置、磁気計測方法および装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a synchronous detection method and apparatus for performing synchronous detection at low cost by performing A / D conversion before synchronous detection even when the primary frequency is high, a magnetic measurement method, and An object is to provide an apparatus.
本発明の請求項1に係る発明は、検波となる信号をA/D変換したのち、デジタル信号処理により同期検波を行う同期検波方法において、前記A/D変換する際のサンプリング周波数を、参照信号の周波数の2倍よりも小さく、かつ、同期検波後の信号の最高周波数の2倍以上、としたことを特徴とする同期検波方法である。 The invention according to claim 1 of the present invention is a synchronous detection method for performing synchronous detection by digital signal processing after A / D conversion of a signal to be detected, and a sampling frequency at the time of the A / D conversion is set as a reference signal. The synchronous detection method is characterized in that it is smaller than twice the frequency of the signal and is at least twice the maximum frequency of the signal after synchronous detection.
また本発明の請求項2に係る発明は、請求項1記載の同期検波方法を用いた磁気計測方法であって、前記参照信号を交流励磁信号とし、前記検波対象となる信号を検出信号として、同期検波することを特徴とする磁気計測方法である。 The invention according to claim 2 of the present invention is a magnetic measurement method using the synchronous detection method according to claim 1, wherein the reference signal is an AC excitation signal, and the signal to be detected is a detection signal. This is a magnetic measurement method characterized by performing synchronous detection.
また本発明の請求項3に係る発明は、検波対象となる信号を入力とするA/D変換手段を備え、そのA/D変換手段から出力されるデジタル信号にもとづいて同期検波を行う同期検波装置において、前記A/D変換手段のサンプリング周波数を、参照信号の周波数の2倍よりも小さく、かつ、同期検波後の信号の最高周波数の2倍以上、に設定したことを特徴とする同期検波装置である。 According to a third aspect of the present invention, there is provided A / D conversion means for inputting a signal to be detected, and synchronous detection for performing synchronous detection based on a digital signal output from the A / D conversion means. In the apparatus, the sampling frequency of the A / D conversion means is set to be smaller than twice the frequency of the reference signal and at least twice the maximum frequency of the signal after synchronous detection. Device.
さらに本発明の請求項4に係る発明は、請求項3記載の同期検波装置を備えた磁気計測装置であって、前記参照信号を交流励磁信号とし、前記検波対象となる信号を検出信号としたことを特徴とする磁気計測装置である。 Furthermore, the invention according to claim 4 of the present invention is a magnetic measurement device comprising the synchronous detection device according to claim 3, wherein the reference signal is an AC excitation signal and the signal to be detected is a detection signal. This is a magnetic measuring device.
なお、上記請求項における「同期検波後の信号の最高周波数」とは、ライン速度と検出対象サイズ(例えば、欠陥の大きさ)とから予め計算して求められる強度変化信号の周波数で最高の値である。例えば、検出対象が小さいほど、ライン速度が速いほど、最高周波数は高くなる。 The “maximum frequency of the signal after synchronous detection” in the above claims is the highest value of the frequency of the intensity change signal that is calculated in advance from the line speed and the size of the detection target (for example, the size of the defect). It is. For example, the smaller the detection target, the higher the line speed, the higher the maximum frequency.
本発明は、参照信号である励磁信号の励磁周波数が高い場合にも励磁周波数の2倍より低く、かつ同期検波後の信号の最高周波数の2倍以上の周波数で、A/D変換を同期検波前に行うようにしたので、低コストで同期検波することができ、さらには、渦流計測や交流漏洩磁束探傷、交流磁気抵抗計測などの交流磁気計測も行うことが可能となった。 In the present invention, even when the excitation frequency of the excitation signal as a reference signal is high, the A / D conversion is synchronously detected at a frequency lower than twice the excitation frequency and at least twice the maximum frequency of the signal after synchronous detection. Since it was performed before, it was possible to perform synchronous detection at low cost, and it was also possible to perform AC magnetic measurements such as eddy current measurement, AC leakage magnetic flux flaw detection, and AC magnetoresistance measurement.
以下では、同期検波方法および交流磁気を用いた計測方法の1例として鋼板の渦流探傷およびその同期検波に適用した例を示すものとする。図1は、本発明を実施するための最良の形態としての装置構成例を示す図である。図中、1は鋼板、2は欠陥、3は交流電源、4は励磁コイル、5は検出コイル、6は鉄芯、7は増幅器、8a,8bはA/D変換器、9は信号処理装置、10は同期検波処理部、および11は欠陥判定部をそれぞれ表す。 Hereinafter, as an example of the synchronous detection method and the measurement method using AC magnetism, an example applied to eddy current flaw detection of a steel sheet and the synchronous detection will be shown. FIG. 1 is a diagram showing an apparatus configuration example as the best mode for carrying out the present invention. In the figure, 1 is a steel plate, 2 is a defect, 3 is an AC power supply, 4 is an excitation coil, 5 is a detection coil, 6 is an iron core, 7 is an amplifier, 8a and 8b are A / D converters, and 9 is a signal processing device. , 10 represents a synchronous detection processing unit, and 11 represents a defect determination unit.
鋼板1には、欠陥2が存在している。励磁コイル4には、交流電源3から交流電流(励磁信号)が周波数faで供給される。励磁コイルにおいては、交流電流により交流磁束が発生する。鋼板1には電磁誘導現象により渦電流が発生する。この渦電流により発生する磁束を、やはり電磁誘導現象により検出コイル5で検出している。ここで、欠陥2が鋼板1に存在すると、欠陥2により鋼板1に発生する渦電流に変化が生じる。欠陥が存在することで生じる渦電流の健全部に対する変化を、検出コイル5において検出することで欠陥検出が可能となる。 The steel plate 1 has a defect 2. An alternating current (excitation signal) is supplied to the exciting coil 4 from the alternating current power source 3 at a frequency fa. In the exciting coil, an alternating magnetic flux is generated by an alternating current. An eddy current is generated in the steel plate 1 by an electromagnetic induction phenomenon. The magnetic flux generated by the eddy current is detected by the detection coil 5 by the electromagnetic induction phenomenon. Here, if the defect 2 exists in the steel plate 1, the defect 2 causes a change in the eddy current generated in the steel plate 1. By detecting a change in the healthy portion of the eddy current caused by the presence of the defect in the detection coil 5, the defect can be detected.
ここで、検出コイル5において検出された検出信号は、増幅器7で信号増幅され、A/D変換器8aで交流電源3から励磁コイル4に与えられる励磁信号の周波数faの1/2より小さい周波数fs(fs<(fa/2))で、サンプリングされデジタル信号に変換される。同様に、励磁信号もA/D変換器8bでA/D変換されデジタル信号に変換される。この2つのデジタル信号は、9の信号処理装置に送られ、同期検波処理部10では、検出コイル5において検出された検出信号を2次信号とし、励磁信号を1次信号として同期検波される(位相は外れていてもかまわない)。このようにして、得られた同期検波後の信号には、欠陥が鋼板に存在する場合には、欠陥の大きさに応じた信号が得られる。この信号は、欠陥判定器9に送られ、決められた出力以上の信号を欠陥として判定する。ここで、同期検波後の信号は、同期検波後にLPF(ロー・パス・フィルター)等をいれて不要な高周波成分を除いた信号である。 Here, the detection signal detected by the detection coil 5 is amplified by the amplifier 7 and is less than 1/2 of the frequency fa of the excitation signal given from the AC power supply 3 to the excitation coil 4 by the A / D converter 8a. It is sampled and converted into a digital signal by fs (fs <(fa / 2)). Similarly, the excitation signal is A / D converted by the A / D converter 8b and converted into a digital signal. These two digital signals are sent to the signal processing device 9, and the synchronous detection processing unit 10 performs synchronous detection using the detection signal detected by the detection coil 5 as a secondary signal and the excitation signal as a primary signal ( The phase may be out of phase). Thus, in the obtained signal after synchronous detection, when a defect exists in the steel plate, a signal corresponding to the size of the defect is obtained. This signal is sent to the defect determiner 9, and a signal exceeding a predetermined output is determined as a defect. Here, the signal after the synchronous detection is a signal from which unnecessary high-frequency components are removed by inserting an LPF (low pass filter) after the synchronous detection.
サンプリング定理によると、A/D変換前の検出信号に含まれる最大周波数をfmaxとすると、その周波数の情報を保存するには、サンプリング周波数fsはfs>2×fmaxが必要とされる。上記の例で示した渦流探傷では、(通常は正弦波で与えられる)励磁信号と同じ周波数成分の信号が検出信号で得られる。ここで渦流探傷によって得られる検出信号およびサンプリング周波数の違いを模式的に表したものを、図2に示す。図2(A)では、渦流探傷の励磁信号の周波数fa=3kHzに、欠陥による信号の変化0.125kHzの信号が加わっている。ただし、欠陥は図2の時間軸3msecのところに存在する。通常の渦流探傷では、この信号と元の励磁信号との同期検波をアナログ回路により行い、その結果にフィルタリングを行うことで、欠陥信号の成分のみを強調している。 According to the sampling theorem, if the maximum frequency included in the detection signal before A / D conversion is fmax, the sampling frequency fs needs to be fs> 2 × fmax in order to store the frequency information. In the eddy current flaw detection shown in the above example, a signal having the same frequency component as the excitation signal (usually given as a sine wave) is obtained as a detection signal. FIG. 2 schematically shows the difference between the detection signal obtained by eddy current flaw detection and the sampling frequency. In FIG. 2 (A), a signal change of 0.125 kHz due to a defect is added to the frequency fa = 3 kHz of the excitation signal for eddy current flaw detection. However, the defect exists on the time axis of 3 msec in FIG. In normal eddy current flaw detection, the synchronous detection of this signal and the original excitation signal is performed by an analog circuit, and the result is filtered to emphasize only the defect signal component.
ここでは、この図2の信号を同期検波前にA/D変換し、デジタル信号処理によって同期検波する場合を考える。この場合、サンプリング定理によると、fmaxの2倍より大きいサンプリング周波数が必要となることから、励磁信号の周波数fa=3kHzの2倍以上のサンプリング周波数が必要となる。実際にこの図2の信号に含まれる最大周波数である励磁信号の周波数3kHzのちょうど2倍である6kHzでサンプリングを行ったものが、図2(B)の破線で示したものである。図から分かるように、対象が正弦波である場合は、正弦波の2倍でサンプリングを行うと、同じ位相成分のみをサンプリングするため元の信号を再現できない。図2(C)は、最大周波数の(2倍より大きい)4倍である12kHzでサンプリングを行った例(破線)であるが、ひとつの正弦波状の波に対して4点のサンプリング点を取ることができ、正弦波の信号を再現できている。このように2倍より大きい周波数で元の信号を再現可能である。通常は、最大周波数の4ないしは5倍以上(10倍以上がより望ましい)の周波数でサンプリングを行って、ひとつの正弦波状の波に対して4ないし5点のサンプリング点をとる(10点以上がより望ましい)ことが一般的である。 Here, consider a case where the signal of FIG. 2 is A / D converted before synchronous detection and synchronous detection is performed by digital signal processing. In this case, according to the sampling theorem, a sampling frequency greater than twice fmax is required, so a sampling frequency that is twice or more the excitation signal frequency fa = 3 kHz is required. The one actually sampled at 6 kHz, which is twice the frequency 3 kHz of the excitation signal, which is the maximum frequency included in the signal of FIG. 2, is shown by the broken line in FIG. As can be seen from the figure, when the object is a sine wave, if the sampling is performed twice as much as the sine wave, only the same phase component is sampled and the original signal cannot be reproduced. Fig. 2 (C) shows an example (dashed line) of sampling at 12kHz, which is four times the maximum frequency (greater than twice), but it takes four sampling points for one sinusoidal wave. And a sine wave signal can be reproduced. Thus, the original signal can be reproduced at a frequency larger than twice. Usually, sampling is performed at a frequency of 4 to 5 times the maximum frequency (more preferably 10 times or more), and 4 to 5 sampling points are taken for one sinusoidal wave (10 points or more are required). More preferred).
渦流探傷の場合、励磁信号の周波数である励磁周波数は渦電流の浸透深さによって決定されるが、浸透深さを浅くしたい場合には、励磁周波数を高くする必要が生じる。鋼板などの渦流探傷では、数百kHzの励磁周波数を用いることがある。このような事情により、励磁周波数を高くする場合があるが、先に述べたようにサンプリング周波数を励磁周波数の10倍程度とすると、例えば励磁周波数が数百kHzの場合には、数MHzのサンプリング周波数が必要となり、そのようなA/D変換を実現することは非常に困難となってくる。 In the case of eddy current flaw detection, the excitation frequency, which is the frequency of the excitation signal, is determined by the penetration depth of the eddy current, but if it is desired to reduce the penetration depth, it is necessary to increase the excitation frequency. In eddy current flaw detection such as a steel plate, an excitation frequency of several hundred kHz may be used. For this reason, the excitation frequency may be increased, but if the sampling frequency is set to about 10 times the excitation frequency as described above, for example, when the excitation frequency is several hundred kHz, sampling of several MHz is performed. A frequency is required, and it is very difficult to realize such A / D conversion.
図3は、そのような、数百kHzと高い周波数での励磁を行う渦流探傷の検出信号を模式的に示した図である。高い周波数での励磁は、A/D変換は困難となる一方で、欠陥信号の周波数と比較すると、励磁周波数は、例えば、100倍程度から100000倍程度の非常に高い周波数となっていることがある。例えば図3の例では、励磁信号の周期が数μsec(周波数は数百kHz〜1MHz)に対して、欠陥信号の周期(欠陥により信号強度が変化する時間範囲)は数msec(周波数は数百Hz〜1kHz)であり、1000倍程度の非常に高い周波数の励磁周波数となっている。 FIG. 3 is a diagram schematically showing a detection signal of such eddy current flaw detection that performs excitation at a frequency as high as several hundred kHz. While excitation at a high frequency makes A / D conversion difficult, the excitation frequency is very high, for example, about 100 to 100,000 times compared to the frequency of the defect signal. is there. For example, in the example of FIG. 3, the period of the excitation signal is several μsec (frequency is several hundred kHz to 1 MHz), while the period of the defect signal (time range in which the signal intensity changes due to the defect) is several milliseconds (frequency is several hundreds). Hz to 1 kHz), which is a very high excitation frequency of about 1000 times.
例えば鉄鋼ラインなどでは、測定対象とセンサの相対速度が数m/sec〜40m/sec、欠陥信号の空間的な広がり(欠陥により磁場が乱されて変化する領域であり、必ずしも欠陥サイズと同じではない)が数1mm〜数10mm程度である。この場合の欠陥信号の周波数(以下、欠陥周波数と呼称する)は、数10kHz〜数10Hz程度となる。例えば、欠陥励磁周波数を数100KHz以上とした場合には、この欠陥周波数(数10kHz〜数10Hz程度)に対して励磁周波数が高い値となっている。特に、欠陥信号の周波数が数kHz以下で、励磁周波数が数100kHz以上の場合は、欠陥周波数に対して著しく励磁周波数が高い値となる。このように、欠陥周波数より励磁周波数が(著しく)高い場合(浸透深さを浅くしたい場合)には、欠陥信号の変化は、元となる励磁信号の変化に比べて(著しく)遅くなるので、励磁信号情報が冗長となっている。 For example, in a steel line, the relative speed of the object to be measured and the sensor is several m / sec to 40 m / sec. Spatial spread of the defect signal (a region where the magnetic field is disturbed and changed by the defect, not necessarily the same as the defect size. Not) is about several millimeters to several tens of millimeters. In this case, the frequency of the defect signal (hereinafter referred to as the defect frequency) is about several tens of kHz to several tens of Hz. For example, when the defect excitation frequency is set to several hundreds KHz or more, the excitation frequency is higher than the defect frequency (several tens of kHz to several tens of Hz). In particular, when the frequency of the defect signal is several kHz or less and the excitation frequency is several hundred kHz or more, the excitation frequency is significantly higher than the defect frequency. In this way, when the excitation frequency is (significantly) higher than the defect frequency (when it is desired to reduce the penetration depth), the change in the defect signal is (significantly) slower than the change in the original excitation signal. Excitation signal information is redundant.
また、このような探傷の例では測定対象からの信号(欠陥信号)は、通常周期的でないとという特徴もある。デジタルオシロスコープなどに見られる等価サンプリングの技術は、サンプリング周波数を信号の周波数より遅くすると言う点では、類似点が見られる。しかし、デジタルオシロスコープでは、測定対象の信号に周期性があり、その周期性を利用してサンプリングした信号を再現している。本発明が扱う測定対象の信号には周期性はなく、測定対象の信号が同期検波する信号と比較して遅いことを利用している点がデジタルオシロスコープの技術と異なっている。 In addition, in such an example of flaw detection, a signal (defect signal) from a measurement object is usually not periodic. The equivalent sampling technique found in digital oscilloscopes and the like is similar in that the sampling frequency is slower than the signal frequency. However, in a digital oscilloscope, a signal to be measured has a periodicity, and a sampled signal is reproduced using the periodicity. The signal to be measured handled by the present invention has no periodicity, and is different from the technique of the digital oscilloscope in that it uses the fact that the signal to be measured is slower than the signal to be synchronously detected.
同期検波を行う際には、1次信号である励磁信号と2次信号である検出信号を同期させて信号処理を行うが、このとき、2次信号は、1次信号である励磁信号に、欠陥信号が加わっている状態である。このとき、励磁信号と欠陥信号の周波数が大きく異なるので、そのことを利用し、励磁信号に相当する信号成分のみをエリアシングを起こさせ、欠陥信号に相当する信号成分はエリアシングを起こさないような周波数で2次信号のサンプリングを行えば、2次信号に含まれる欠陥信号成分には影響を与えず、かつ、2次信号に含まれる励磁信号成分を擬似的に下げることができる。これによって、高周波成分は除いた低周波成分とすることができ、2次信号を間引いて信号処理することと同等の効果が得られる。また、この処理により同期検波処理も容易となる。 When performing synchronous detection, signal processing is performed by synchronizing the excitation signal that is the primary signal and the detection signal that is the secondary signal, but at this time, the secondary signal is converted into the excitation signal that is the primary signal, In this state, a defect signal is applied. At this time, since the frequencies of the excitation signal and the defect signal are greatly different, using this fact, only the signal component corresponding to the excitation signal is aliased, and the signal component corresponding to the defect signal is not aliased. If the secondary signal is sampled at a high frequency, the defect signal component included in the secondary signal is not affected, and the excitation signal component included in the secondary signal can be reduced in a pseudo manner. As a result, the low-frequency component excluding the high-frequency component can be obtained, and the same effect as the signal processing by thinning out the secondary signal can be obtained. This process also facilitates the synchronous detection process.
そのため、A/D変換でのサンプリング周波数を励磁周波数の2倍より小さい値でも、適当な値を選べば、検出信号(欠陥信号)の情報を損なうことなくデジタル信号に変換でき、従来と同レベルの渦流探傷を実現できる。ここで、最終的に得たい情報を損なわないようにするには、検出目的、計測目的となる対象が示す信号変化最大周波数の2倍以上のサンプリング周波数が最低限必要であり、より正確に情報を得るには、最大周波数の5倍以上サンプリング周波数が望ましく、さらには10倍以上のサンプリング周波数がより望ましい。 Therefore, even if the sampling frequency in A / D conversion is less than twice the excitation frequency, if you select an appropriate value, it can be converted to a digital signal without damaging the information of the detection signal (defect signal), and the same level as before Eddy current testing can be realized. Here, in order not to impair the information that is finally obtained, a sampling frequency that is at least twice the maximum signal change frequency indicated by the target for detection and measurement is required at a minimum. In order to obtain the above, a sampling frequency of 5 times or more of the maximum frequency is desirable, and a sampling frequency of 10 times or more is more desirable.
図4a,bは、高い周波数(1MHz)の信号(元の正弦波信号)に対して、低いサンプリング速度(900kHz、480kHz)でサンプリングを実施した例である。図4a,bで、元の正弦波信号は実線、サンプリング点を丸、サンプリング点を破線で結んでいる。破線で結んだ曲線がエリアシングにより元の正弦波より低い周波数の正弦波を構成していることが図から分る。 FIGS. 4a and 4b are examples in which sampling is performed at a low sampling rate (900 kHz, 480 kHz) with respect to a high frequency (1 MHz) signal (original sine wave signal). 4A and 4B, the original sine wave signal is connected by a solid line, sampling points are circled, and sampling points are connected by a broken line. It can be seen from the figure that the curve connected by the broken line constitutes a sine wave having a lower frequency than the original sine wave by aliasing.
このように、励磁周波数より低い周波数でサンプリングを行っても、エリアシングによりfb=fa-fs×n(nは正の整数でfbが正で最小となる値,faは励磁周波数,fsはサンプリング周波数)を周波数とする正弦波が得られる。このようにしてデジタル化して得られたデジタル化検出信号を、以下に示す参照信号と同期検波する。参照信号は、励磁信号を検出信号と同じサンプリング周期でA/D変換したデジタル信号、ないしは(正弦波発振器、ファンクションジェネレータ等により作られた)fbと同じ周期の正弦波と同期検波することにより、欠陥情報を損なうことなくこれまでと同様の渦流探傷が可能となっている。また、このとき同期検波する信号の周波数を下げることが可能となっており、同期検波の信号処理も容易となっている。 In this way, even if sampling is performed at a frequency lower than the excitation frequency, fb = fa-fs × n (n is a positive integer and fb is a positive and minimum value due to aliasing, fa is the excitation frequency, and fs is the sampling frequency. A sine wave with a frequency) is obtained. The digitized detection signal obtained by digitization in this way is synchronously detected with the reference signal shown below. The reference signal is a digital signal obtained by A / D converting the excitation signal with the same sampling period as the detection signal, or by synchronous detection with a sine wave with the same period as fb (made by a sine wave oscillator, function generator, etc.) The same eddy current flaw detection as before is possible without impairing the defect information. At this time, the frequency of the signal to be synchronously detected can be lowered, and the signal processing of the synchronous detection is easy.
次に、サンプリング周波数fsの選び方を、以下に式と図を参照しながら説明する。先ず、以下に示す関係式をとるものとする。
fb= fa-(fs×n) (nは正の整数でfbが正で最小となる値)・・・・・(1)
Ta=1/fa Ts=1/fs Tb=1/fb ・・・・・・(2)
また、位相角αを、以下とする。
α=Ts/Tb*360 ・・・・・・(3)
nは、サンプリング時に、次のサンプリング点が元の正弦波でn番目の波上にあるということを意味し、αは、サンプリング周期を、エリアシングにより形成される正弦波(以後の記述において、これをエリアシング波形と呼称することがある)における位相で表現したものに相当している。
Next, how to select the sampling frequency fs will be described with reference to the following equations and figures. First, the following relational expression is assumed.
fb = fa- (fs × n) (n is a positive integer and fb is positive and minimum) …… (1)
Ta = 1 / fa Ts = 1 / fs Tb = 1 / fb (2)
The phase angle α is as follows.
α = Ts / Tb * 360 (3)
n means that at the time of sampling, the next sampling point is on the nth wave in the original sine wave, and α is a sine wave formed by aliasing (in the following description, This is equivalent to what is expressed as a phase in an aliasing waveform).
図5は、サンプリング周波数を変えて位相角αを変えた場合のエリアシングにより形成される正弦波とサンプリングの状態を示す図である。この図によると、サンプリング周波数をかえると、エリアシングにより形成される正弦波の周波数も先にあげた式に従い変化することもあわせて見て取れる。図5(a)のようにサンプリング周波数を変えて0<α≦120となる値を選べば(α=101)、1つの正弦波の波に対して4つ以上のサンプリング点をとることができ、正弦波情報の一部は欠落しているものの、エリアシング波形の周波数(=220kHz)等の情報は得ることができ、周期信号であることも確認可能である。図5(b) のように0<α≦72となる値を選べば(α=72)、1つの正弦波の波に対して5つ以上のサンプリング点をとることができ、正弦波の情報をより多く得ることができる。 FIG. 5 is a diagram illustrating a sampling state and a sine wave formed by aliasing when the sampling frequency is changed and the phase angle α is changed. According to this figure, it can also be seen that when the sampling frequency is changed, the frequency of the sine wave formed by aliasing also changes in accordance with the above formula. If you change the sampling frequency and select a value that satisfies 0 <α ≤ 120 as shown in Fig. 5 (a) (α = 101), you can take four or more sampling points for one sine wave. Although some of the sine wave information is missing, information such as the frequency of the aliasing waveform (= 220 kHz) can be obtained, and it can also be confirmed that it is a periodic signal. As shown in Fig. 5 (b), if you select a value that satisfies 0 <α ≤ 72 (α = 72), you can take 5 or more sampling points for one sine wave. You can get more.
図5(c)のように0<α≦50となる値を選べば(α=50)、より多くのサンプリング点を取ることが可能となり、正弦波情報の大部分を得ることが可能となり、サンプリングにより再現されたエリアシング波形も正弦波であることを見て取れる状態となる。0<α≦36となる値を選べば(α=36)、1つの正弦波の波に対して10以上のサンプリング点をとることができさらに多くの正弦波の情報を得ることができる(図5(d))。 If a value satisfying 0 <α ≦ 50 is selected as shown in FIG. 5 (c) (α = 50), more sampling points can be taken, and most of the sine wave information can be obtained. It can be seen that the aliasing waveform reproduced by sampling is also a sine wave. If a value satisfying 0 <α ≦ 36 is selected (α = 36), 10 or more sampling points can be taken for one sine wave, and more sine wave information can be obtained (Fig. 5 (d)).
正弦波の情報をより正確に表すにはθが小さくなる方がよりよいが、実際には図5で見て取れるように0<α≦120となる値を選ぶことで周期信号であることが確認できることから渦流計測、漏洩磁束探傷が可能となり、0<α≦72となる値をえらぶことで精度良く渦流計測、漏洩磁束探傷が可能となり、0<α≦50となる値を選ぶことで高精度で渦流計測、漏洩磁束探傷が可能となり、0<α≦50となる値を選ぶことで非常に高精度の渦流計測、漏洩磁束探傷が可能となる。αは小さければ小さくなるほうが高精度になるが、その一方でサンプリング点数が多くなる。サンプリング点数が多くなると信号処理量が多くなることから、サンプリング点が7から10程度となるαの値を選ぶことが適当である。 In order to represent sine wave information more accurately, it is better that θ is smaller, but in fact, it can be confirmed that it is a periodic signal by selecting a value that satisfies 0 <α ≦ 120 as seen in FIG. Eddy current measurement and leakage flux flaw detection are possible, and by selecting a value that satisfies 0 <α ≦ 72, eddy current measurement and leakage flux flaw detection can be performed with high accuracy, and by selecting a value that satisfies 0 <α ≦ 50 Eddy current measurement and magnetic flux flaw detection become possible, and by selecting a value satisfying 0 <α ≦ 50, highly accurate eddy current measurement and magnetic flux flaw detection become possible. The smaller α is, the higher the accuracy is, but the more sampling points are required. Since the amount of signal processing increases as the number of sampling points increases, it is appropriate to select a value of α at which the sampling points are about 7 to 10.
図5(e)は、α=45となるサンプリング周波数を選んだものであるが、このようにα=360/m(m=1,2,3・・)となるようなサンプリング周波数を選ぶとエリアシング波形のピーク点をサンプリング点にとることができる。正弦波のピーク点は、最大点(ないしは最小点)かつ傾きが0となる点であり、重要な情報をもつが、α=360/m(m=1,2,3・・)となるようなサンプリング周波数を選ぶことで、ピーク点の情報を得ることが可能となり、渦流計測、漏洩磁束探傷の精度を上げることができる。 In Fig. 5 (e), the sampling frequency at which α = 45 is selected. When the sampling frequency at which α = 360 / m (m = 1,2,3,...) Is selected in this way, The peak point of the aliasing waveform can be taken as the sampling point. The peak point of the sine wave is the maximum point (or the minimum point) and the slope is 0, and it has important information, but α = 360 / m (m = 1, 2, 3, ...) By selecting a suitable sampling frequency, it becomes possible to obtain peak point information and improve the accuracy of eddy current measurement and leakage magnetic flux flaw detection.
また、渦流探傷においては検出信号の励磁信号に対する位相差の情報が重要であるので、以下に説明する。 Further, in eddy current flaw detection, information on the phase difference of the detection signal with respect to the excitation signal is important, and will be described below.
図6は、図4の波形を時間軸方向に拡大したものである。図中のtaを用いるとサンプリング点Xの元の正弦波における位相角はθa=ta/Ta(Taは元の正弦波の周期)となる。また、図中のtbを用いてサンプリング点Xのエリアシング現象により形成される正弦波における位相角θbを表すとθb=tb/Tb(Tbはエリアシング現象により形成される正弦波の周期)となる。このとき、それぞれの波形での位相角は一致しθa=θbとなる。そのため、元の正弦波における位相変化はエリアシングによって形成される正弦波の位相の変化として現れる。よって、サンプリング点数を十分確保し、元の正弦波の情報を正確に残しておけば、励磁周波数より低い周波数でサンプリングを行っても、渦流探傷の検出信号の位相差情報を得ることが可能である。(サンプリング点数が少なすぎると、正弦波の情報が十分残っていないため位相差の情報も十分でなくなる)。 FIG. 6 is an enlarged view of the waveform of FIG. 4 in the time axis direction. When ta in the figure is used, the phase angle of the original sine wave at the sampling point X is θa = ta / Ta (Ta is the period of the original sine wave). In addition, when the phase angle θb in the sine wave formed by the aliasing phenomenon at the sampling point X is expressed using tb in the figure, θb = tb / Tb (Tb is the period of the sine wave formed by the aliasing phenomenon) and Become. At this time, the phase angles in the respective waveforms coincide and θa = θb. Therefore, the phase change in the original sine wave appears as a phase change of the sine wave formed by aliasing. Therefore, if the number of sampling points is sufficiently secured and the original sine wave information is accurately left, even if sampling is performed at a frequency lower than the excitation frequency, the phase difference information of the detection signal of the eddy current flaw detection can be obtained. is there. (If the number of sampling points is too small, there is not enough sine wave information left, and phase difference information is not sufficient).
図7に、位相差をかえたサンプリング例を示す。図7(a)は、デジタル化検出信号(破線で示す)の位相と励磁信号(実線で示す)の位相差が0度の場合であり、図7(b)は、検出信号の位相と励磁信号の位相差が90度の場合である。図7(a)、(b)で実線、破線のそれぞれの正弦波の位相差が90度であることが分かる。よって、励磁信号を検出信号と同じサンプリング周期でサンプリングを行い、その信号を参照信号として検出信号のサンプリングされた波形との同期検波を行うことで、励磁信号と検出信号の位相差と同じ位相差を得ることができる。 FIG. 7 shows an example of sampling with the phase difference changed. Fig. 7 (a) shows the case where the phase difference between the digitized detection signal (shown by the broken line) and the excitation signal (shown by the solid line) is 0 degrees. Fig. 7 (b) shows the phase of the detection signal and the excitation. This is when the signal phase difference is 90 degrees. 7 (a) and 7 (b), it can be seen that the phase difference between the sine waves of the solid line and the broken line is 90 degrees. Therefore, the excitation signal is sampled at the same sampling period as the detection signal, and the same phase difference as the excitation signal and the detection signal is obtained by performing synchronous detection with the sampled waveform of the detection signal using that signal as a reference signal. Can be obtained.
また、上記では励磁信号を検出信号と同じサンプリング周期でサンプリングを行い参照信号を形成したが、検出信号をサンプリングして形成される正弦波と同じ周期の周期波を参照信号として用いれば、励磁信号と検出信号の位相差の相対的な変化を認識することが可能であり、同じ効果が得られる。ここでいう、サンプリングして形成される正弦波と同じ周期の周期波は励磁信号を検出信号と異なるサンプリング周期でサンプリングし、その後、データを間引くなどの信号処理で周波数を変更して得られるものでもかまわないし、デジタル的にソフトウェア上で規定の周期波を発生させてもかまわないし、別に設けた信号発生装置から信号を発生させA/D変換する方法でもかまわない。また、周期波であれば正弦波を用いなくてもかまわない。 In the above, the excitation signal is sampled at the same sampling cycle as that of the detection signal to form the reference signal. However, if a periodic wave having the same cycle as the sine wave formed by sampling the detection signal is used as the reference signal, the excitation signal And the relative change in the phase difference between the detection signals can be recognized, and the same effect can be obtained. The periodic wave with the same period as the sine wave formed by sampling here is obtained by sampling the excitation signal at a different sampling period from the detection signal and then changing the frequency by signal processing such as thinning out the data However, a specified periodic wave may be generated digitally by software, or a method of generating a signal from a separately provided signal generator and performing A / D conversion may be used. In addition, a sine wave need not be used if it is a periodic wave.
また、上記では励磁信号を検出信号と同じサンプリング周期でサンプリングを行い参照信号を形成する場合には、励磁信号のサンプリングと、検出信号のサンプリングにおいて同期させてサンプリングを行うと位相の情報が保存されやすくよりよい。これは、本発明のサンプリング方式において、もともともっていた位相情報を保存することができる例を示している。 Also, in the above, when the excitation signal is sampled at the same sampling cycle as the detection signal to form the reference signal, the phase information is saved if the sampling is performed in synchronization with the excitation signal sampling and the detection signal sampling. Easy and better. This shows an example in which the phase information that was originally in the sampling method of the present invention can be stored.
また、図8は、補間の効果を表す図である。元の正弦波(実線)の信号周波数=1MHz、サンプリング周波数=780kHzの時の波形(破線)と、以下の(4)式により、補間した波形(一点鎖線)である。 FIG. 8 is a diagram showing the effect of interpolation. The waveform of the original sine wave (solid line) when the signal frequency is 1 MHz and the sampling frequency is 780 kHz (broken line) and the waveform interpolated by the following equation (4) (dotted line).
ただし、x(nΔt)はサンプリングして得られた信号を示す。図8の破線にて示したサンプリングは、先に図5(a)で示したものと同じ周波数の波形を同じサンプリング周波数でサンプリングしたものであり、エリアシング波形を見る限り、サンプリング点数としては必ずしも十分ではないが、正弦波であることが見て取れる波形となっている。上式のような補間(同等の他の補間式(最小自乗補間、スプライン補間等)を用いてもかまわない)により、エリアシング波形として正弦波の情報を得ることができ、サンプリング点数を増やしたものと同等の効果が得られる。 Here, x (nΔt) represents a signal obtained by sampling. The sampling indicated by the broken line in FIG. 8 is obtained by sampling a waveform having the same frequency as that shown in FIG. 5 (a) at the same sampling frequency. Although it is not sufficient, it is a waveform that can be seen to be a sine wave. Interpolation like the above equation (equivalent other interpolation equations (least square interpolation, spline interpolation, etc. may be used)) can obtain sine wave information as aliasing waveform and increase the number of sampling points The effect equivalent to that is obtained.
このように、補間することで、補間なしで同期検波を行う場合と比較して同期検波の信号処理における計算量は増えることとなるが、サンプリング(A/D変換)は容易な状態で精度の高い計測が可能となる効果が得られる。これは、サンプリング点数が少なくても補間によって必要な正弦波を再構成することができる例を示している。 In this way, interpolation increases the amount of calculation in signal processing for synchronous detection compared to when synchronous detection is performed without interpolation, but sampling (A / D conversion) is easy and accurate. An effect that enables high measurement is obtained. This shows an example in which a necessary sine wave can be reconstructed by interpolation even if the number of sampling points is small.
なお、この例では同期検波を用いた渦流計測方法の一例である渦流探傷方法について示したが、距離測定などの他の渦流計測方法に用いても同様の効果が得られるし、同期検波において同様の処理をおこなっている交流漏洩磁束探傷方法、交流磁気抵抗計測方法に適用しても同様の効果が得られる。 In this example, the eddy current flaw detection method, which is an example of the eddy current measurement method using synchronous detection, has been described. However, the same effect can be obtained by using other eddy current measurement methods such as distance measurement. The same effect can be obtained even if the method is applied to the AC leakage magnetic flux flaw detection method and the AC magnetoresistance measurement method.
また、渦流探傷方法の中でも、相互誘導型のコイルによる単一コイル方式を用いたものであるが、自己誘導型のコイルを用いたものでもかまわないし、コイル方式も自己比較方式、標準比較方式のいずれの方式を用いてもかまわないのは言うまでもない。 In addition, among the eddy current flaw detection methods, a single coil method using a mutual induction type coil is used, but a self-inductive type coil may be used, and the coil method may be a self-comparison method or a standard comparison method. It goes without saying that either method may be used.
1 鋼板
2 欠陥
3 交流電源
4 励磁コイル
5 検出コイル
6 鉄芯
7 増幅器
8a、8b A/D変換器
9 信号処理装置
10 同期検波処理部
11 欠陥判定部
a 励磁信号
b 参照信号、1次信号
c 検出信号、2次信号、検波対象となる信号
d デジタル化参照信号
e デジタル化検出信号
f 同期検波後の信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Steel plate 2 Defect 3 AC power supply 4 Excitation coil 5 Detection coil 6 Iron core 7 Amplifier 8a, 8b A / D converter 9 Signal processing apparatus 10 Synchronous detection processing part 11 Defect determination part a Excitation signal b Reference signal, Primary signal c Detection signal, secondary signal, signal to be detected d digitized reference signal e digitized detection signal f signal after synchronous detection
Claims (4)
前記A/D変換する際のサンプリング周波数を、参照信号の周波数の2倍よりも小さく、かつ、同期検波後の信号の最高周波数の2倍以上、としたことを特徴とする同期検波方法。 In the synchronous detection method of performing synchronous detection by digital signal processing after A / D converting the signal to be detected,
A synchronous detection method characterized in that a sampling frequency at the time of the A / D conversion is smaller than twice the frequency of the reference signal and at least twice the highest frequency of the signal after synchronous detection.
前記参照信号を交流励磁信号とし、前記検波対象となる信号を検出信号として、
同期検波することを特徴とする磁気計測方法。 A magnetic measurement method using the synchronous detection method according to claim 1,
The reference signal is an AC excitation signal, the detection target signal is a detection signal,
A magnetic measurement method characterized by performing synchronous detection.
前記A/D変換手段のサンプリング周波数を、参照信号の周波数の2倍よりも小さく、かつ、同期検波後の信号の最高周波数の2倍以上、に設定したことを特徴とする同期検波装置。 In a synchronous detection device that includes an A / D conversion unit that receives a signal to be detected, and performs synchronous detection based on a digital signal output from the A / D conversion unit,
A synchronous detection apparatus characterized in that the sampling frequency of the A / D conversion means is set to be smaller than twice the frequency of the reference signal and at least twice the maximum frequency of the signal after synchronous detection.
前記参照信号を交流励磁信号とし、前記検波対象となる信号を検出信号とした
ことを特徴とする磁気計測装置。
A magnetic measurement device comprising the synchronous detection device according to claim 3,
A magnetic measuring device, wherein the reference signal is an AC excitation signal, and the signal to be detected is a detection signal.
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