JP2007245364A - ノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 高精度なノズルを形成することができるとともに、ノズル間での形状のバラツキが生じないノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに画像形成装置を提供することである。
【解決手段】 光透過性を有する透光プレート１３にネガ型の感光性材料１２を付着させる感光性材料付着工程と、前記感光性材料に対して前記透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、露光の照射方向と垂直な方向における露光がなされない領域である遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させる露光工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。
【選択図】 図１

Description

本発明はノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに画像形成装置に係り、特に、インクジェット方式の画像形成装置の印字ヘッドの吐出面などに用いられるノズルプレートの製造方法に関する。

インクジェット方式の画像形成装置の印字ヘッドは、記録媒体と対向する吐出面を構成するノズルプレートに複数のノズルが形成されている。記録媒体に対してインク滴を吐出する各ノズルの形状は、インク滴の大きさや吐出速度等に影響を与えやすいため、ノズルは高精度に加工されることが要求される。

このようなノズルプレートの製造方法が、特許文献１乃至４に開示されている（以下、従来の第１乃至４の製造方法という）。

図２２は、従来の第１の製造方法の工程を示す図である。図２２に示すように、従来の第１製造方法では、非導電性透明基板１０１の上に形成された導電性膜１０２の表面にネガ型のレジスト層１０３を形成する。そして、孔１０７を有するマスク１０４をレジスト層１０３から一定間隔離して露光を行う。すると、孔１０７の外側では徐々に照射光量が小さくなるので照射領域がテーパ形状になるので、その後の現像処理等によりテーパ形状の硬化物１０６が残留する。これにより、この硬化物１０６の形状を利用して電鋳層１０８によりテーパ形状のノズルを形成するとしている。

図２３は、従来の第２の製造方法の工程を示す図である。図２３に示すように、従来の第２の製造方法では、基板２０１の表面にネガ型レジスト層（２０２、２０３）を形成する。そして、ネガ型レジスト層２０３の上にマスク２０４を介して拡散板２０６を配置し、露光を行う。すると、感光領域は拡散板２０６の拡散角に応じてテーパ形状となるので、その後の現像処理等によりテーパ形状のレジストパターン２０７が残留する。これにより、このレジストパターン２０７の形状を利用して金属膜２０８によりテーパ形状のノズルを形成するとしている。

図２４は、従来の第３の製造方法の工程を示す図である。図２４に示すように、従来の第３の製造方法では、空間光変調器の微小鏡アレイ３０１、アーク燈３０３、レンズ３０２などを使用する。そして、微小鏡アレイ３０１によりウエハ３０４上に投影される光画像を定め、フォトレジストを付着させたウエハ３０４に反射光線３０６を照射させる。これにより、ウエハ３０４に要求する予め設定した画像パターンに基づく照射が可能であるとする。

図２５は、従来の第４の製造方法の工程を示す図である。図２５に示すように、従来の第４の製造方法では、ガラス基板４０１に透明導電膜４０３やニッケルメッキ層４０２を介してホトレジスト層４０４を形成する。そして、ガラス基板４０１を平行紫外線光４０６に対して任意の角度θだけ傾斜させて露光を行う。すると、ガラス基板４０１に対し任意の角度で平行紫外線光４０６が照射されるので、その後の現像処理等によりテーパ形状のホトレジスト層４０４が残留する。これにより、このホトレジスト層４０４の形状を利用してテーパ形状のノズルを形成するとしている。
特開２００４−３３０６３６号公報 特開２００２−１３７３８１号公報 特許３４７２７２３号公報 特開平７−３２９３０４号公報

しかしながら、従来の製造方法には、次のような問題がある。

従来の第１の製造方法では、マスク１０４をレジスト層１０３から一定間隔離して露光を行うことで、照射領域をテーパ形状にするとしている。しかし、単純にマスク１０４をレジスト層１０３から一定間隔離することで光の広がりを制御して高精度なテーパ形状にするのは困難であり、高精度な形状のノズルを形成するのは困難であると考えられる。

従来の第２の製造方法では、拡散板２１４を用い、その拡散角に応じて感光領域をテーパ形状にするとしている。しかし、単純に拡散板２１４を用いて光の拡散角を制御して高精度なテーパ形状にするのは困難であり、高精度な形状のノズルを形成するのは困難であり、また、ノズル間での形状のバラツキも生じ易いと考えられる。

従来の第３の製造方法では、ウエハ３０４上の２次元パターンの形成を課題としたものであり、３次元パターンの形成方法の課題に対しては何ら記載がなく、その達成が不明である。

従来の第４の製造方法では、ガラス基板４０１を傾斜することで任意の角度で平行紫外線光４０６が照射されるとしている。しかし、光の拡散を制御して高精度なテーパ形状にするのは困難であり、高精度な形状のノズルを形成するのは困難であると考えられる。また、広角にするほど光源とガラス基板４０１間隔が広くなるので、平行度の高い光源が必要となり長尺品の露光においては全体装置が大型化してしまうという問題がある。さらに、断面形状も直線に限定されてしまうという問題もある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、高精度なノズルを形成することができるとともに、ノズル間での形状のバラツキが生じないノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに画像形成装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、光透過性を有する透光プレートにネガ型の感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、前記感光性材料に対して前記透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、露光の照射方向と垂直な方向における露光がなされない領域である遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させる露光工程と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、露光工程において、空間変調素子を介して露光するものであって、遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させるので、自由度の高い断面形状を有する広角テーパ形状のノズルを高精度に形成することができる。

また、本発明は、ネガ型の感光性材料に対して透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、遮光領域を順次変化させながら露光の照射時間を順次変化させるものである。そして、遮光領域を最大領域から順次小さくするに従って露光の照射時間を順次短くすることにより、または、遮光領域を最小領域から順次大きくするに従って露光の照射時間を順次長くすることにより、ノズルの断面は透光プレート側に向かうほど小さくなり、ノズルの吐出口は透光プレートと接する部分に形成されることになる。そのため、ノズルの吐出口の開口精度が高く、感光性材料の厚みのバラツキの影響の少ない形状のノズルを形成することができる。

また、空間変調素子で露光の照射パターンや照射時間をノズル毎に制御することにより、ノズル間で形状のバラツキが生じない効果が得られる。

また、精密なマスクは不要であり、条件を合わせるためのマスク部材の製作の手間を省くことができる。また、ストレート部を有する広角のテーパ形状のノズルも容易に形成することができ、高粘度インクの高速高精度吐出が可能となる。

さらに、露光工程において、空間変調素子の露光の照射パターンや照射時間を制御して吐出口付近のノズルの開口角度を大きくすることにより、低抵抗で高粘高速リフィルも可能となる。なお、露光工程では照射時間のほか光源などの照射強度の制御を組合わせてもよい。

「空間変調素子」としては、ミラーアレイなどの反射型の素子の他に、液晶シャッタなどの透過型の素子でもよい。

「ネガ型の感光性材料」としては、厚膜加工用のレジスト（例えば、化薬マイクロケム（株）製のＳＵ−８）などをベースに吸収剤などを配合して光透過率を制御したものが望ましい。

「露光の照射方向について順次変更する」とは、露光の照射方向について階段状に変更すること以外に、露光の照射方向について直線状に変更することも含まれる。

なお、空間変調素子による露光の照射をノズル近傍のみ行いその他の部分はマスクを用いて露光することにすれば、空間変調素子の分解能を高めて高精度なノズル形状を形成することができる。また、光源の利用効率も高まって小型低出力化が可能となりコストを軽減することができる。特に、マトリックス配置型のノズルではノズル開口に比べてノズル間隔が広いので効果的である。

請求項２に記載の発明は、光透過性を有する透光プレートにポジ型の感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、前記感光性材料に対して前記透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、露光の照射方向と垂直な方向における露光がなされない領域である遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させる露光工程と、前記露光工程により露光された前記感光性材料を現像処理する現像工程と、前記現像工程にて残留した前記感光性材料をマスターとして電鋳を行う電鋳工程と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、露光工程において、空間変調素子を介して露光するものであって、遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させるので、自由度の高い断面形状を有する広角テーパ形状のノズルを高精度に形成することができる。

また、本発明は、ポジ型の感光性材料に対して透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、遮光領域を順次変化させながら露光の照射時間を順次変化させるものである。そして、遮光領域を最大領域から順次小さくするに従って露光の照射時間を順次短くすることにより、または、遮光領域を最小領域から順次大きくするに従って露光の照射時間を順次長くすることにより、その後の現像工程にて残留する感光性材料の断面は透光プレート側に向かうほど小さくなる。そこで、この残留する感光性材料をマスターにして電鋳を行うことにより、ノズルの断面は透光プレート側に向かうほど小さくなり、ノズルの吐出口は透光プレートと接する部分に形成されることになる。そのため、ノズルの吐出口の開口精度が高く、感光性材料の厚みのバラツキの影響の少ない形状のノズルを形成することができる。

また、空間変調素子で露光の照射パターンや照射時間をノズル毎に制御することにより、ノズル間で形状のバラツキが生じない効果が得られる。

また、露光工程において、精密なマスクは不要であり、条件を合わせるためのマスク部材の製作の手間を省くことができる。

また、精密なマスクは不要であり、条件を合わせるためのマスク部材の製作の手間を省くことができる。また、ストレート部を有する広角のテーパ形状のノズルも容易に形成することができ、高粘度インクの高速高精度吐出が可能となる。

さらに、本発明によれば、電鋳法を用いて金属を還元析出させることにより金属材料からなるノズルプレートが製造されるので、剛性が高くなるとともに、接液性も良好となるノズルプレートを提供することができる。

「ポジ型の感光性材料」としては、厚膜加工用のレジスト（例えば、東京応化工業（株）のＰＭＥＲなど）をベースに吸収剤などを配合して光透過率を制御したものが望ましい。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法において、露光工程では、前記遮光領域が最大領域から順次縮小されるに従い前記露光の照射時間を順次短縮すること、を特徴とする。

本発明によれば、遮光領域が順次縮小されるので、空間変調素子の露光範囲は外側の位置を維持しつつ内側に順次広がっていくことになる。しかも、露光時間を順次短縮するので、透光プレート側に向かって断面が順次狭まっていく一つの孔としてのノズルを形成することができる。そして、感光性材料の透光プレート側の面の位置でノズルの吐出口が最後に形成されることになるので、ノズルの吐出口を高精度に形成することができる。

また、最初に行う最大領域の遮光領域に基づく照射の際には、露光時間を長くして感光性材料に対して露光を透過させるので、測定器具による照射光量や照射パターンの測定が可能となり、この測定結果をもとに空間変調素子の照射時間や照射パターンの補正が可能となる。

請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、前記遮光領域又は前記露光の照射時間は、前記感光性材料を透過する光の特性に応じて制御すること、を特徴とする。

本発明によれば、感光性材料を実際に照射している光の形状に応じて空間変調素子の照射パターンを制御できるので、ノズル間の形状のバラツキを抑制することができる。制御手法としては、例えば、イメージセンサなどの受光センサを利用して、感光性材料の透過光をノズル毎にモニタリングすることが望ましい。

また、空間変調素子にて照射時間を制御することにより、光源の出力変動や、透光プレートや感光性材料の透過率のバラツキもノズル毎に補正をすることができ、安定したノズルの形状の形成が可能になる。

請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、前記感光性材料に対して前記透光プレートが付着する面の反対側の面に、前記露光領域の最大値よりも小さい値の幅からなる第１溝を形成する第１溝形成工程を有すること、を特徴とする。

本発明によれば、ノズルプレートの透光プレートが付着する面の反対側の面に相手部材を接着剤により接着する場合であっても余分な接着剤は第１溝に流れ込むので、ノズル内に接着剤が流れ込んで接着詰まりが生じることはない。故に、ノズル形状を高精度に保つことが可能となる。また、相手部材との線膨張率の差から生じる製造時や使用時の応力による歪みを第１溝の存在により緩和させることができるので、ノズル形状が安定に保たれる。特に長尺なノズルプレートでは有効である。

請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、前記露光工程では、前記露光工程では、前記遮光領域の最大領域および最小領域における断面の形状が異なること、を特徴とする。

本発明によれば、例えば、遮光領域が最小の時に形成されるノズルの吐出口の断面を円形に、遮光領域が最大の時に形成されるインク流入部の断面を相手部材の形状になるように、遮光領域の断面を形状を異なるものとすることにより、インクがノズル内を流れやすくなることから、気泡排出性やインク流れが安定する。

請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、前記露光工程では、前記遮光領域の外周部に突起状の遮光領域を設け、前記突起状の遮光領域の位相を順次変化させること、を特徴とする。

本発明によれば、ノズルの内面に螺旋状の溝が形成されるので、ノズル内をインクが流れる際にインクに回転力が付与されることから、より一層飛翔曲がりが安定する。

請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、前記透光プレートが付着する面に第２溝を形成する第２溝形成工程を有すること、を特徴とする。

本発明によれば、ノズル面におけるインク滴のワイピング性やトラップ性も向上する。

請求項９に記載の発明は、液滴吐出ヘッドにおいて、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを備えたことを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、画像形成装置において、請求項９に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、高精度なノズルを形成することができるとともに、ノズル間での形状のバラツキが生じないことが可能となる。

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

〔ノズルプレートの製造方法〕
まず、本発明の特徴であるノズルプレートの製造方法を説明する。

図１は、第１の実施形態におけるノズルプレートの製造方法を実現する装置の全体構成図である。図１に示すように、当該装置は、ミラーアレイ３１、ビームエクスパンダー３２、固体ＵＶレーザ３３、マイクロレンズアレイ３４、投影レンズ系３６、レジスト１２付の透明基板１３、受光センサ３７などから構成される。

固体ＵＶレーザ３３から発せられた紫外光をビームエクスパンダー３２にて拡大し、ミラーアレイ３１に反射させる。ミラーアレイ３１に反射した紫外光は、マイクロレンズアレイ３４により各ノズルごとの照射パターンを形成し、投影レンズ系３６にて倍率の調整の後、レジスト１２付の透明基板１３に照射される。

図２は、第１の実施形態におけるノズルプレートの製造工程を示した説明図である。図２に示すように、第１の実施形態におけるノズルプレートの製造工程は、まず、感光性材料付着工程として、透明基板１３にネガ型のレジスト１２を塗布させてプリベークを行う（ステップＳ２１）。なお、ネガ型のレジスト１２としてシート状のものを付着させることとしてもよい。プリベークにより、レジスト１２から溶剤を蒸発させて透明基板１３との密着性を向上させることができる。

次に、露光工程として、ミラーアレイ３１による多重照射を行う（ステップＳ２２）。本発明は、このＳ２２におけるミラーアレイ３１による多重照射に特徴を有するものであり、以下に詳細に説明する。

図３は、ミラーアレイ３１による多重照射についての説明図である。図３（ａ）に示すように、レジスト１２に対して透明基板１３が付着する面側から所定の露光範囲内についてミラーアレイ３１による露光を行う。このとき、ミラーアレイ３１により照射パターンを制御して、露光が照射されない領域（遮光領域）Ａ１を設けておく。すると、レジスト１２内において領域Ａ１以外の露光が照射された部分の領域のみに硬化反応が生じる。そのため、まず、図３（ａ）のハッチングで示す領域ａ１のレジストが硬化する。

次に、図３（ｂ）に示すように、同じく透明基板１３側からミラーアレイ３１による露光を行う。このとき、図３（ａ）と同様に、ミラーアレイ３１により照射パターンを制御して、露光が照射されない領域Ａ２を設けておく。ここで、領域Ａ２は領域Ａ１に比べ狭まるように制御する（図３では、領域Ａ２の幅が領域Ａ１の幅に比べて小さくなっている）。また、露光がレジスト１２の厚さ方向についてレジスト１２内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。すると、レジスト１２内において新たに露光が照射された部分の領域に新たに硬化反応が生じる。そのため、図３（ｂ）の新たにハッチングで示す領域ａ２のレジストが硬化する。

次に、図３（ｃ）に示すように、図３（ｂ）と同様に、露光が照射されない領域（遮光領域）Ａ３を設けて、領域Ａ３が領域Ａ２に比べ幅方向に狭まるように制御し、また、露光がレジスト１２の厚さ方向についてレジスト１２内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。すると、図３（ｃ）の新たにハッチングで示す領域ａ３のレジストが硬化する。

次に、図３（ｄ）に示すように、図３（ｃ）と同様に、露光が照射されない領域（遮光領域）Ａ４を設けて、領域Ａ４が領域Ａ３に比べ幅方向に狭まるように制御し、また、露光がレジスト１２の厚さ方向についてレジスト１２内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。すると、図３（ｄ）の新たにハッチングで示す領域ａ４のレジストが硬化する。

以上のように、ミラーアレイ３１によりレジスト１２内に露光が照射されない領域（ａ１〜ａ４）を連続的に順次幅方向に縮小しながら、透明基板１３側からミラーアレイ３１による露光を行う。すると、図３（ｄ）に示すように透明基板１３側と反対の面から透明基板１３側の面に掛けて、レジスト１２が硬化する領域の境界部分が階段形状に形成される。そして、この階段数を増やせば、レジスト１２が硬化する領域の境界部分をテーパ形状にすることができる。

そのため、自由度の高い断面形状を有する広角テーパ形状のノズル１５を高精度に形成することができる。また、ノズル１５の吐出口となる部分が透明基板１３側に形成されるので、ノズル１５の吐出口の開口精度が高く、レジスト１２の厚みのバラツキの影響が少ない形状を形成することができる。

以上のようなミラーアレイ３１による多重照射によれば、一つの具体例として、レジスト１２の厚みが２０〜３０μｍの場合に、厚み方向に０．１〜１μｍごとに遮光領域を変化させて形成することも可能である。

なお、露光が照射されない領域を、前記とは逆にＡ４、Ａ３、Ａ２、Ａ１の順として露光を行ってもよい。なお、この場合には、例えば、領域Ａ４における照射の際に、領域Ａ３，Ａ２、Ａ１における照射の際に照射される領域の表面にも照射されてしまうため、照射履歴の影響により硬化反応の度合いに差異が生じるおそれがある。

また、透明基板１３側の面におけるミラーアレイ３１による露光がなされない部分（吐出口に相当）と、透明基板１３側の面とは反対側の面におけるミラーアレイ３１による露光がなされない部分（インク流入口に相当）との断面形状は自由に変更することができる。そのため、インク流入口の断面形状を相手側部材（例えば、連通板）の形状に合わせることも出来る。これにより、インク内の気泡の排出性が良くなったり、インクの流れが安定する効果が得られる。

また、ミラーアレイ３１によりノズル内面の一部に螺旋状の溝を設けてもよい。具体的には、前記の領域Ａ１〜Ａ４の条件のもとにおける露光工程において、図４（ａ）〜（ｄ）に示す突起状の断面を有するノズルとなるように照明パターンを制御する。これにより、インクに回転を付与して一層飛翔曲がりが安定する。

ここで、本発明では各ノズル毎に露光の補正を行う。そこで、その補正の手法について説明する。まず、当該補正を行うために、図１に示すように、多重照射光のうちレジスト１２の透過光を検出するため、ミラーアレイ３１に対してレジスト１２付き透明基板１３を挟んで反対側の位置に受光センサ３７を配置する。

図５は、露光を補正する手法についてのフロー図である。図５に示すように、まず、照射測定工程として、レジスト１２付き透明基板１３を配置しない状態で受光センサ３７にて各ノズルに相当する部分の照射光量と照射パターンを測定する（ステップＳ５１）。このとき、測定値が所定の領域を外れている場合には装置の故障として判断する。

次に、レジスト１２付き透明基板１３を所定の位置に配置し（ステップＳ５２）、長辺方向に間欠送りして、露光を行うべき適切な位置に設定する（ステップＳ５３）。そして、露光工程として、図３（ａ）に示す遮光領域Ａ１の設定条件のもとミラーアレイ３１による露光を行う（ステップＳ５４）。

次に、露光補正工程として、Ｓ５４における各ノズルが形成される部分毎の照射光量と照射パターンを受光センサ３７で測定する。そして、この測定結果をもとに、各ノズルが形成される部分毎に露光時間やミラーパターンの補正を行う。（ステップＳ５５）。

次に、遮光領域Ａ２〜Ａ４を設定条件に従い変更しながら、レジスト１２に露光を行う（ステップＳ５６）。そして、レジスト１２付き透明基板１３の全幅について終了したか否かを確認して（ステップＳ５７）、ＹＥＳであれば溝１４を形成するためのマスク露光を行う工程（ステップＳ５８）に移り、ＮＯであればＳ５２に戻りレジスト１２付き透明基板１３を長辺方向に間欠送りして、露光を行うべき適切な位置に移動させて、Ｓ５３〜Ｓ５７の工程へ進む。このような手法による補正を各ノズル１５毎に行うことにより、ノズル１５間で形状のバラツキが生じない効果が得られる。

なお、ミラーアレイ３１による露光の照射をノズル１５近傍のみ行いその他の部分はマスクを用いて露光することにすれば、ミラーアレイ３１の分解能を高めて高精度なノズル形状を形成することができる。また、光源の利用効率も高まって小型低出力化が可能となりコストを軽減することができる。特に、マトリックス配置型のノズルではノズル開口に比べてノズル間隔が広いので効果的である。

以上のように、Ｓ２２においてミラーアレイ３１による多重照射を行う。

次に、露光工程の続きとして、溝１４を形成するためマスク露光を行う（ステップＳ２３）。図６は、溝１４を形成するためのマスク露光についての説明図である。

図６（ａ）に示すように、透明基板１３側にマスク１６ａを設けて一括露光する。この時、露光がレジスト１２の厚さ方向についてレジスト１２内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。具体的には、後述する溝１４の底辺に相当する位置まで露光が照射されるように照射強度や照射時間を調整する。すると、レジスト１２内の図６（ａ）のハッチングで示される領域ａ５が新たに硬化する。なお、光の透過率を補正したマスクを用いてもよい。

次に、図６（ｂ）に示すように、透明基板１３とは反対側にマスク１６ｂを設けて一括露光を行う。このときマスク１６ｂは溝１４に対応する部分に対応する幅のものを用意する。すると、レジスト１２内の図６（ｂ）のハッチングで示される領域ａ６が新たに硬化する。

以上のように、Ｓ２３において溝１４を形成するためのマスク露光を行う。

なお、ノズルの配置予定位置と照射エリアの関係について図７に示す。図７に示すように、ミラーアレイにより露光するエリア（ミラーアレイ露光範囲）はノズル毎に設定されている。そして、マスクを設けて一括に露光するエリア（一括形成エリア）は複数のノズルの配置予定位置を含む。

次に、現像工程として、現像処理およびポストベークを行う（ステップＳ２４）。現像処理を行うことで、Ｓ２２およびＳ２３にて硬化させなかった部分のレジスト１２が除去される。また、ポストベークを行うことにより、レジスト１２から溶剤を蒸発させて密着性を向上させる。そのため、結果として、図８に示すように、透明基板１３側にかけて順次内径が縮まっていく形状のノズル１５を備えたレジスト１２が形成される。

次に、流路基板接着工程として、形成されたレジスト１２に透明基板１３の反対側の面から連通板１７を接着させる（ステップＳ２５）。連通板１７とは、インクをノズル１５に供給するため圧力室とノズルとをつなげる連通孔を有する板である。接着方法としては、エポキシ系接着剤などを使用する。

次に、透明基板剥離工程として、レジスト１２から透明基板１３を剥離させる（ステップＳ２６）。そして、撥水膜形成工程として、透明基板１３が付着されていた面（ノズルの吐出口側の面）に撥液剤２１を付着させる（ステップＳ２７）。撥液剤２１としてはフッ素を含有しているものを使用し、付着させる厚みは１〜３μｍとする。図９に完成したノズルプレート１１ａを示す。

その後、ヘッド接合工程として、この完成したノズルプレート１１ａに印字ヘッドを接合させる（ステップＳ２８）。

以上が第１の実施形態におけるノズルプレートの製造方法である。

続いて、第２の実施形態におけるノズルプレートの製造方法について説明する。第２の実施形態は、ポジ型のレジスト１８を使用する点やＮｉ共析めっきやＮｉ電鋳を行う点が、第１の実施形態と異なる。図１０は、第２の実施形態におけるノズルプレートの製造工程を示した説明図である。図１０に示すように、第２の実施形態におけるノズルプレートの製造工程は、導電層付着工程として透明基板１３に導電層を付着させ（ステップＳ１０１）、その後、感光性材料付着工程としてポジ型のレジスト１８を付着させてプリベークを行い（ステップＳ１０２）、露光工程として、ノズルを形成するためにミラーアレイ３１による多重照射を行う（ステップＳ１０３）。

図１１は、Ｓ１０３のミラーアレイによる多重照射についての説明図である。

図１１（ａ）に示すように、Ｓ１０１においてＩＴＯ（インジウム−錫の酸化膜）などの導電層を付着させ、さらにＳ１０２においてポジ型のレジスト１８を付着させてプリベークを行った透明基板１３を用意する。そして、レジスト１８に対して透明基板１３が付着する面側からミラーアレイ３１による露光を行う。このとき、ミラーアレイ３１によりレジスト１８内に露光が照射されない領域Ｂ１を設けておく。すると、レジスト１８内において露光が照射された部分の領域のみに軟化反応が生じる。そのため、まず、図１１（ａ）のハッチングの無い部分で示す領域ｂ１のレジストが軟化する。

次に、図１１（ｂ）に示すように、同じく透明基板１３側からミラーアレイ３１による露光を行う。このとき、ミラーアレイ３１によりレジスト１８内に露光が照射されない領域Ｂ２を設けておく。ここで、領域Ｂ２は領域Ｂ１に比べて狭まるように制御する（図１１では、領域Ｂ２の幅が領域Ｂ１の幅に比べて小さくなっている）。また、露光がレジスト１８の厚さ方向についてレジスト１２内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。

すると、レジスト１８内において新たに露光が照射された部分の領域に軟化反応が生じる。そのため、図１１（ｂ）の新たにハッチングの無い部分で示す領域ｂ２のレジストが軟化する。

次に、図１１（ｃ）に示すように、図１１（ｂ）と同様に、露光が照射されない領域（遮光領域）Ｂ３を設けて、領域Ｂ３が領域Ｂ２に比べ幅方向に狭まるように制御し、また、露光がレジスト１８の厚さ方向についてレジスト１８内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。すると、図３（ｃ）の新たにハッチングの無い部分で示す領域ｂ３のレジストが軟化する。

次に、図１１（ｄ）に示すように、図１１（ｃ）と同様に、露光が照射されない領域（遮光領域）Ｂ４を設けて、領域Ｂ４が領域Ｂ３に比べ幅方向に狭まるように制御し、また、露光がレジスト１８の厚さ方向についてレジスト１８内の所定の位置までのみ達するように光量を制御する。すると、図１１（ｄ）の新たにハッチングの無い部分で示す領域ｂ４のレジストが軟化する。

以上のように、ミラーアレイ３１によりレジスト１８内に露光が照射されない領域を段階的に幅方向に縮小しながら、透明基板１３側からミラーアレイ３１による露光を行う。

なお、露光を補正する手法やその他の効果については第１の実施形態と共通する。

以上がＳ１０３におけるミラーアレイによる多重照射についての説明である。

次に、露光工程の続きとして、溝を形成するためのマスク露光を行う（ステップＳ１０４）。図１２は、溝１４を形成するためのマスク露光についての説明図である。

図１２（ａ）に示すように、透明基板１３側にマスク１６ｃを設けて一括露光する。この時、露光の光量を制御することにより、露光の奥行き長さを調整する。また、マスク１６ｃは溝１４に対応する部分に対応する幅のものを用意する。具体的には、後述する溝の底辺の位置まで奥行き方向に露光が照射されるように調整する。すると、図１２（ａ）のハッチングの無い部分で示されるレジスト１８の部分が新たに軟化する。

次に、図１２（ｂ）に示すように、透明基板１３とは反対側にマスク１６ｄを設けて一括露光を行う。すると、図１２（ｂ）のハッチングの無い部分で示されるレジスト１８の部分が新たに軟化する。

以上のように、Ｓ６６において溝を形成するためのマスク露光を行う。

次に、現像工程として、現像処理およびポストベークを行う（ステップＳ１０５）。現像処理を行うことで、Ｓ１０３およびＳ１０４にて軟化した部分のレジスト１８が除去される。また、ポストベークを行うことにより、レジスト１８から溶剤を蒸発させて透明基板１３との密着性を向上させる。そのため、結果として、図１３に示すような、透明基板１３側にかけて内径が縮まっていく形状のレジスト１８と後述する溝幅と等しい幅のレジスト１８が残る。

次に、めっき工程として、Ｎｉ共析めっきを行う（ステップＳ１０６）。図１４は、形成されたレジストに対してＮｉ共析めっき１９を行った後の状態を示す図である。めっき材としてはフッ素を含有しているものを使用し、めっきの厚みは１〜３μｍとする。このめっきが撥液膜としての効果を発揮することになる。

次に、電鋳工程として、Ｎｉ電鋳を行う（ステップＳ１０７）。具体的には、残留したレジストにより形成されるレジストパターンの形成される透明基板１３を陰極として、ニッケル（Ｎｉ）をレジストパターンの高さ以下の所定の厚さまで電析して、ノズルプレートを形成する。図１５は、Ｎｉ電鋳を行った後の状態を示す図である。このように、電鋳法を用いてニッケル（Ｎｉ）を還元析出させることによりニッケル（Ｎｉ）からなるノズルプレートが製造され、剛性が高くなるとともに、接液性も良好となる。

なお、図１５の破線円に示す部分にＮｉ電鋳層２０にくぼみ２０ａができる。このくぼみ２０ａは溝として使用するものである。

次に、除去剥離工程として、レジストの除去および透明基材の剥離を行う（ステップＳ１０８）。図１６に完成したノズルプレート１１ｂを示す。

その後、ヘッド接合工程として、この完成したノズルプレート１１ｂに印字ヘッドを接合させる（ステップＳ１０９）。

なお、その他の効果は第１の実施形態と共通する。

以上が第２の実施形態におけるノズルプレートの製造方法である。

〔ヘッドの構造〕
次に、上述した製造方法により製造したノズルプレートの具体的な適用例としてのヘッドの構造について説明する。色別の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号１５０によってヘッドを示すものとする。

図１７(a) はヘッド１５０の構造例を示す平面透視図であり、図１７(b) はその一部の拡大図である。また、図１７(c) はヘッド１５０の他の構造例を示す平面透視図、図１８は１つの液滴吐出素子（１つのノズル１５に対応したインク室ユニット）の立体的構成を示す断面図（図１７(a) 中の１８−１８線に沿う断面図）である。

記録紙１１６上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、ヘッド１５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例のヘッド１５０は、図１７(a),(b) に示したように、インク吐出口であるノズル１５と、各ノズル１５に対応する圧力室１５２等からなる複数のインク室ユニット（液滴吐出素子）１５３を千鳥でマトリクス状に（２次元的に）配置させた構造を有し、これにより、ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。

記録紙１１６の送り方向と略直交する方向に記録紙１１６の全幅に対応する長さにわたり１列以上のノズル列を構成する形態は本例に限定されない。例えば、図１７(a) の構成に代えて、図１７(c) に示すように、複数のノズル１５が２次元に配列された短尺のヘッドモジュール１５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで記録紙１１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。

各ノズル１５に対応して設けられている圧力室１５２は、その平面形状が概略正方形となっており（図１７(a),(b) 参照）、対角線上の両隅部の一方にノズル１５への流出口が設けられ、他方に供給インクの流入口（供給口）１５４が設けられている。なお、圧力室１５２の形状は、本例に限定されず、平面形状が四角形（菱形、長方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。

図１８に示したように、各圧力室１５２は供給口１５４を介して共通流路１５５と連通されている。共通流路１５５はインク供給源たるインクタンク（不図示）と連通しており、インクタンクから供給されるインクは共通流路１５５を介して各圧力室１５２に分配供給される。

圧力室１５２の一部の面（図１８において天面）を構成している加圧板（共通電極と兼用される振動板）１５６には個別電極１５７を備えたアクチュエータ１５８が接合されている。個別電極１５７と共通電極間に駆動電圧を印加することによってアクチュエータ１５８が変形して圧力室１５２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル１５からインクが吐出される。なお、アクチュエータ１５８には、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムなどの圧電体を用いた圧電素子が好適に用いられる。インク吐出後、アクチュエータ１５８の変位が元に戻る際に、共通流路１５５から供給口１５４を通って新しいインクが圧力室１５２に再充填される。

上述した構造を有するインク室ユニット１５３を図１９に示す如く主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して直交しない一定の角度θを有する斜めの列方向とに沿って一定の配列パターンで格子状に多数配列させることにより、本例の高密度ノズルヘッドが実現されている。

すなわち、主走査方向に対してある角度θの方向に沿ってインク室ユニット１５３を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチＰはｄ× cosθとなり、主走査方向については、各ノズル１５が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。

なお、印字可能幅の全幅に対応した長さのノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時には、（１）全ノズルを同時に駆動する、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動する、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動する等が行われ、用紙の幅方向（用紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）を印字するようなノズルの駆動を主走査と定義する。

特に、図１９に示すようなマトリクス状に配置されたノズル１５を駆動する場合は、上記（３）のような主走査が好ましい。すなわち、ノズル１５-11 、１５-12 、１５-13 、１５-14 、１５-15 、１５-16 を１つのブロックとし（他にはノズル１５-21 、…、１５-26 を１つのブロック、ノズル１５-31 、…、１５-36 を１つのブロック、…として）、記録紙１１６の搬送速度に応じてノズル１５-11 、１５-12 、…、１５-16 を順次駆動することで記録紙１１６の幅方向に１ラインを印字する。

一方、上述したフルラインヘッドと用紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。

そして、上述の主走査によって記録される１ライン（或いは帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向といい、上述の副走査を行う方向を副走査方向という。すなわち、本実施形態では、記録紙１１６の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。

本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されない。また、本実施形態では、ピエゾ素子（圧電素子）に代表されるアクチュエータ１５８の変形によってインク滴を飛ばす方式が採用されているが、本発明の実施に際して、インクを吐出させる方式は特に限定されず、ピエゾジェット方式に代えて、ヒータなどの発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式など、各種方式を適用できる。

〔インクジェット記録装置の構成〕
次に、インクジェット記録装置について説明する。

図２０は、本発明に係る画像形成装置の一実施形態を示すインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示すように、このインクジェット記録装置１１０は、黒（Ｋ），シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）の各インクに対応して設けられた複数のインクジェット記録ヘッド（以下、ヘッドという。）１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙを有する印字部１１２と、各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１１４と、被記録媒体たる記録紙１１６を供給する給紙部１１８と、記録紙１１６のカールを除去するデカール処理部１２０と、前記印字部１１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１１６の平面性を保持しながら記録紙１１６を搬送するベルト搬送部１２２と、印字部１１２による印字結果を読み取る印字検出部１２４と、記録済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部１２６とを備えている。

インク貯蔵／装填部１１４は、各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介してヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。

図２０では、給紙部１１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

複数種類の被記録媒体（メディア）を利用可能な構成にした場合、メディアの種類情報を記録したバーコード或いは無線タグなどの情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される被記録媒体の種類（メディア種）を自動的に判別し、メディア種に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部１１８から送り出される記録紙１１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部１２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム１３０で記録紙１１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

ロール紙を使用する装置構成の場合、図２０ように、裁断用のカッター（第１のカッター）１２８が設けられており、該カッター１２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。なお、カット紙を使用する場合には、カッター１２８は不要である。

デカール処理後、カットされた記録紙１１６は、ベルト搬送部１２２へと送られる。ベルト搬送部１２２は、ローラ１３１、１３２間に無端状のベルト１３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。

ベルト１３３は、記録紙１１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引穴（不図示）が形成されている。図２１に示したとおり、ローラ１３１、１３２間に掛け渡されたベルト１３３の内側において印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ１３４が設けられており、この吸着チャンバ１３４をファン１３５で吸引して負圧にすることによって記録紙１１６がベルト１３３上に吸着保持される。なお、吸引吸着方式に代えて、静電吸着方式を採用してもよい。

ベルト１３３が巻かれているローラ１３１、１３２の少なくとも一方にモータの動力が伝達されることにより、ベルト１３３は図２１上の時計回り方向に駆動され、ベルト１３３上に保持された記録紙１１６は図２１の左から右へと搬送される。

縁無しプリント等を印字するとベルト１３３上にもインクが付着するので、ベルト１３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部１３６が設けられている。ベルト清掃部１３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、或いはこれらの組合せなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。

なお、ベルト搬送部１２２に代えて、ローラ・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラ・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面をローラが接触するので画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面を接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。

ベルト搬送部１２２により形成される用紙搬送路上において印字部１１２の上流側には、加熱ファン１４０が設けられている。加熱ファン１４０は、印字前の記録紙１１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１１６を加熱する。印字直前に記録紙１１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

印字部１１２の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙは、当該インクジェット記録装置１１０が対象とする記録紙１１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの被記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型のヘッドとなっている（図２１参照）。

ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙは、記録紙１１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれのヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙが記録紙１１６の搬送方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。

ベルト搬送部１２２により記録紙１１６を搬送しつつ各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙１１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型のヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙１１６と印字部１１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙１１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組合せについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能である。また、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。

図２０に示した印字検出部１２４は、印字部１１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ又はエリアセンサ）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりや着弾位置誤差などの吐出特性をチェックする手段として機能する。

本例の印字検出部１２４には、受光面に複数の受光素子（光電変換素子）が２次元配列されてなるＣＣＤエリアセンサを好適に用いることができる。エリアセンサは、少なくとも各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）の全域を撮像できる撮像範囲を有しているものとする。１つのエリアセンサで所要の撮像範囲を実現してもよいし、複数のエリアセンサを組み合わせて（繋ぎ合わせて）所要の撮像範囲を確保してもよい。或いはまた、エリアセンサを移動機構（不図示）によって支持し、エリアセンサを移動（走査）させることによって所要の撮像範囲を撮像する構成も可能である。

また、エリアセンサに代えてラインセンサを用いることも可能である。この場合、ラインセンサは、少なくとも各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列（光電変換素子列）を有する構成が好ましい。各色のヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙにより印字されたテストパターン又は実技画像が印字検出部１２４により読み取られ、各ヘッドの吐出判定が行われる。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定などで構成される。

印字検出部１２４の後段には後乾燥部１４２が設けられている。後乾燥部１４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。

多孔質のペーパーに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパーの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。

後乾燥部１４２の後段には、加熱・加圧部１４４が設けられている。加熱・加圧部１４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ１４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

こうして生成されたプリント物は排紙部１２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部１２６Ａ、１２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）１４８によってテスト印字の部分を切り離す。また、図２０には示さないが、本画像の排出部１２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。

以上、本発明のノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

第１の実施形態におけるノズルプレートの製造方法を実現する装置の全体構成図である。 第１の実施形態におけるノズルプレートの製造工程を示した説明図である。 ミラーアレイによる多重照射についての説明図である。 螺旋形状を有するノズルの断面図である。 露光を補正する手法を示す図である。 溝を形成するためのマスク露光についての説明図である。 ノズルの配置と照射エリアについての説明図である。 現像処理およびポストベーク後のレジストを示す図である。 第１の実施形態の製造方法により完成したノズルプレートを示す図である。 第２の実施形態におけるノズルプレートの製造工程を示した説明図である。 ミラーアレイによる多重照射についての説明図である。 溝を形成するためのマスク露光についての説明図である。 現像処理およびポストベーク後のレジストを示す図である。 Ｎｉ共析めっきを行った後の状態を示す図である。 Ｎｉ電鋳を行った後の状態を示す図である。 第１の実施形態の製造方法により完成したノズルプレートを示す図である。 ヘッドの構造例を示す平面透視図である。 図１７（ａ）の一部の拡大図である。 ヘッドの他の構造例を示す平面透視図である。 図１７(a) 中の１８−１８線に沿う断面図である。 インク室ユニットの配列を示す図である。 インクジェット記録装置の全体構成図である。 インクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図である。 従来の第１の製造方法の工程を示す図である。 従来の第２の製造方法の工程を示す図である。 従来の第３の製造方法の工程を示す図である。 従来の第４の製造方法の工程を示す図である。

符号の説明

１１ａ、ｂ…ノズルプレート、１２…（ネガ型）レジスト、１３…透明基板、１４…溝、１６ａ、ｂ、ｃ、ｄ…マスク、１５…ノズル、１７…連通板、１８…（ポジ型）レジスト、１９…Ｎｉ共析めっき、２０…Ｎｉ電鋳層、３１…ミラーアレイ、３２…ビームエクスパンダー、３３…固体ＵＶレーザ、３４…マイクロレンズアレイ、３６…投影レンズ系、３７…受光センサ、１１０…インクジェット記録装置、１１２…印字部、１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙ…ヘッド、１１４…インク貯蔵／装填部、１１６…記録紙（被記録媒体）、１２２…ベルト搬送部（搬送手段）、１２４…印字検出部、１５０…ヘッド、１５２…圧力室、１５３…インク室ユニット、１５８…アクチュエータ

Claims (10)

1. 光透過性を有する透光プレートにネガ型の感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、
   前記感光性材料に対して前記透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、露光の照射方向と垂直な方向における露光がなされない領域である遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させる露光工程と、
   を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
2. 光透過性を有する透光プレートにポジ型の感光性材料を付着させる感光性材料付着工程と、
   前記感光性材料に対して前記透光プレート側から空間変調素子を介して露光するものであって、露光の照射方向と垂直な方向における露光がなされない領域である遮光領域を順次変化させるに従って露光の照射時間を順次変化させる露光工程と、
   前記露光工程により露光された前記感光性材料を現像処理する現像工程と、
   前記現像工程にて残留した前記感光性材料をマスターとして電鋳を行う電鋳工程と、
   を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
3. 請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法において、
   露光工程では、前記遮光領域が最大領域から順次縮小されるに従い前記露光の照射時間を順次短縮すること、
   を特徴とするノズルプレートの製造方法。
4. 請求項１乃至３に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、
   前記遮光領域又は前記露光の照射時間は、前記感光性材料を透過する光の特性に応じて制御すること、
   を特徴とするノズルプレートの製造方法。
5. 請求項１乃至４に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、
   前記感光性材料に対して前記透光プレートが付着する面の反対側の面に、前記露光領域の最大値よりも小さい値の幅からなる第１溝を形成する第１溝形成工程を有すること、
   を特徴とするノズルプレートの製造方法。
6. 請求項１乃至５に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、
   前記露光工程では、前記遮光領域の最大領域および最小領域における断面の形状が異なること、
   を特徴とするノズルプレートの製造方法。
7. 請求項１乃至６に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、
   前記露光工程では、前記遮光領域の外周部に突起状の遮光領域を設け、前記突起状の遮光領域の位相を順次変化させること、
   を特徴とするノズルプレートの製造方法。
8. 請求項１乃至７に記載のいずれか１項のノズルプレートの製造方法において、
   前記透光プレートが付着する面側に第２溝を形成する第２溝形成工程を有すること、
   を特徴とするノズルプレートの製造方法。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
10. 請求項９に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。

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