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JP2007104761A - アクチュエータ - Google Patents

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    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/025Inertial sliding motors

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

【課題】被駆動部材の十分な推進力を確実に得ることができ、且つ、駆動方向に小型化することのできるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ10は、圧電素子12と、圧電素子12の端面12Aに取り付けられるとともに被駆動部材16が摩擦係合された駆動軸14と、圧電素子12の端面12Bに取りつけられた錘部材18とを備える。錘部材18の少なくとも一部は、圧電素子12の端面12Bよりも端面12A側に配置される。
【選択図】 図1

Description

本発明はアクチュエータに係り、特にデジタルカメラやカメラ付き携帯電話機等のレンズを駆動するアクチュエータに関する。
デジタルカメラ等のレンズの駆動装置として、圧電素子を用いたアクチュエータが知られている。例えば特許文献1のアクチュエータは、圧電素子、駆動部材、及び、台座で構成される。前記圧電素子の伸縮方向の一方の端面には駆動部材が固着され、この駆動部材に被駆動部材が摩擦係合される。また、圧電素子の伸縮方向の他方の端面には、台座が固着される。この台座は慣性体としての錘りの機能があり、このような構成で前記圧電素子にパルス状の電圧が印加され、圧電素子の伸び方向と縮み方向との動きが台座の慣性作用により駆動部材に伝達される。圧電素子が遅い速度で変形した場合には、被駆動部材が駆動部材とともに移動し、圧電素子が速い速度で変形した場合には、被駆動部材がその質量の慣性によって同じ位置に停まる。したがって、パルス状の電圧の印加を繰り返すことによって、被駆動部材を細かなピッチで間欠的に移動させることができる。
このような構成のアクチュエータは、台座と、圧電素子と、駆動部材との間で共振するという問題を発生する。また、本体との取り付け時に共振の影響が出ないように特許文献1のアクチュエータは、台座を本体にゴム系接着剤で固着することにより、アクチュエータを本体に弾性的に支持している。ところがこのような駆動方式は台座と、圧電素子と、駆動部材との構成のバラツキのコントロールが非常に困難となる。
このような共振を利用すると、駆動部材の移動量が増加するという利点がある。例えば特許文献2には、この共振を利用したアクチュエータが記載されている。このアクチュエータによれば、共振時の圧電素子の変位に合わせてパルス状の電圧を印加することによって、被駆動部材の変位量を大きくしている。
特開2002−142470号公報 特許第3171187号公報
しかしながら、特許文献1、2のアクチュエータは、圧電素子、駆動部材、台座(或いは支持部材)が駆動方向に並んで配置されているため、駆動方向に大きくなり、特に大きな台座を用いた場合にはアクチュエータが大型化するという問題があり、小型化可能なアクチュエータが要望されている。
また、特許文献1、2のアクチュエータは、圧電素子、駆動部材、台座から成るアクチュエータの内部で生じる共振状態を利用しているため、共振による悪影響を受けて、駆動部材が圧電素子の伸縮方向以外にも変位するという問題を生じる。例えば図7(A)、図7(B)に示すように、駆動部材2は、前記共振の影響を受けて、圧電素子の伸縮方向以外に変位するという問題を生じる。このため、圧電素子1の伸縮による駆動力が被駆動部材3に正確に伝わらず、被駆動部材3を圧電素子1の伸縮方向に正確に移動させることが困難となる。特に、被駆動部材3の推進力を大きくするために台座(錘部材)を大きくすると、共振が生じやすくなり、共振を生じにくい構造のアクチュエータが要望されている。
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、被駆動部材の十分な推進力を確実に得ることができ、且つ、駆動方向に小型化することのできるアクチュエータを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は前記目的を達成するために、電気機械変換素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向の一方側に取り付けられるとともに被駆動部材が摩擦係合される駆動摩擦部材と、前記電気機械変換素子の伸縮方向の他方側に取りつけられた錘部材と、から成るアクチュエータにおいて、前記錘部材の少なくとも一部は、前記電気機械変換素子の他方側の端面よりも前記一方側に配置されることを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、錘部材の少なくとも一部が電気機械変換素子の他方側の端面よりも一方側に配置されるので、アクチュエータを駆動方向(すなわち電気機械変換素子の伸縮方向)に小型化することができる。
また、請求項1に記載の発明によれば、アクチュエータを駆動方向に大型化することなく、錘部材を大きくすることができ、被駆動部材の十分な推進力を確保することができる。
請求項2に記載の発明は請求項1に記載の発明において、前記電気機械変換素子の他方側の端面には連結部材が取りつけられ、該連結部材に前記錘部材が取りつけられることを特徴とする。
請求項2に記載の発明によれば、連結部材を介して錘部材が電気機械変換素子の他方側の端面に取りつけられるので、錘部材の配置の自由度が増えて、アクチュエータをさらに小型化することができる。
請求項3に記載の発明は請求項1又は2に記載の発明において、前記錘部材は筒状に形成され、該錘部材の内側に前記電気機械変換素子の少なくとも一部が配置されることを特徴とする。
請求項3に記載の発明によれば、錘部材が筒状に形成されるので、アクチュエータをより小型化することができる。
本発明に係るアクチュエータによれば、錘部材の少なくとも一部を、電気機械変換素子の端面よりも内側に配置したので、アクチュエータを駆動方向に小型化することができる。
以下添付図面に従って本発明に係るアクチュエータの好ましい実施の形態について詳述する。図1は本発明に係るアクチュエータを示す構成図である。
図1に示すように、アクチュエータ10は主として、圧電素子(電気機械変換素子に相当)12、駆動軸(駆動摩擦部材に相当)14、被駆動部材16、及び、錘部材18で構成される。
圧電素子12は矢印方向に積層されて直方体状に形成されており、電圧を印加することによって積層方向に変形(伸縮)するように構成される。したがって、圧電素子12は、長手方向の端面12A、12Bが変位するようになっている。
圧電素子12の端面12A、12Bのうち、一方の端面12Aには、駆動軸14の基端が固着されている。駆動軸14は例えば円柱状に形成されており、その軸が矢印方向(すなわち、圧電素子の伸縮方向)に配置されている。駆動軸14の材質は、黒鉛結晶を強固に複合させた黒鉛結晶複合体、例えばカーボングラファイトが用いられる。なお、駆動軸14の形状は円柱状に限定されるものではなく、角柱状でもよい。
被駆動部材16はレンズ枠(不図示)に連結される部材であり、駆動軸14に所定の摩擦力で係合され、駆動軸14に沿ってスライド自在に支持される。被駆動部材16と駆動軸14との摩擦力は、圧電素子12に緩やかな変化の電圧を印加した際に、その駆動力よりも静摩擦力が大きくなるように、且つ、圧電素子12に急激な変化の電圧を印加した際に、その駆動力よりも静摩擦力が小さくなるように設定される。
錘部材18は、矩形の筒状に形成されており、圧電素子12の断面よりも大きい矩形の孔18が形成されている。この孔18に錘部材18を挿通した状態で、錘部材18の基端側の面18Bが板状の連結部材22に接着剤によって固着され、この連結部材22が圧電素子12の端面12Bに弾性の接着剤20によって固着される。これにより、錘部材18が連結部材22を介して圧電素子12の端面12Bに取り付けられ、錘部材18は圧電素子12の端面12Bよりも端面12A側に配置される。
錘部材18は、圧電素子12の端面12Bに負荷を与えることによって、端面12Bが端面12Aよりも大きく変位することを防止するものであり、駆動軸14よりも重量の大きいものが好ましい。例えば、駆動軸14が8mg、圧電素子12が32mgの場合に、32mgの錘部材18が用いられる。
また、錘部材18は、軟性材料によって形成されている。錘部材18の材質は、圧電素子12及び駆動軸14よりもヤング率の小さい材料のものが用いられる。錘部材18のヤング率としては、1GPa以下が好ましく、300MPa以下がより好ましい。このような錘部材18は、ゴム等の弾性体に比重の大きい金属粉を混ぜ合わせることによって形成され、例えばウレタンゴムやウレタン樹脂にタングステンの粉末を混合することによって製造される。錘部材18の比重は、装置の小型化のためにできるだけ高いことが好ましく、例えば8〜12程度に設定される。
錘部材18は、先端側の面18Cで固定枠24に接着剤によって固定されている。これにより、錘部材18、連結部材22、圧電素子12、及び駆動軸14から成るアクチュエータ10が固定枠24に支持される。固定枠24は、携帯電話等の本体(不図示)に取り付けられる部材であり、二つの貫通孔24A、24Aを備えている。貫通孔24A、24Aは駆動軸14よりも若干大きな径で形成されており、駆動軸14を貫通孔24A、24Aに挿通させることによって、駆動軸14が矢印方向にスライド自在に支持される。
前述した圧電素子12には不図示の駆動パルス供給装置が電気的に接続されており、この駆動パルス供給装置によって、図2(A)、図2(B)に示す波形の電圧が印加される。
図2(A)、図2(B)は圧電素子12に印加するパルス波形の一例を示したものである。図2(A)は、図1の被駆動部材16を矢印の左方向に移動させる際のパルス波形であり、図2(B)は図1の被駆動部材16を矢印の右方向に移動させる際のパルス波形である。
図2(A)の場合、圧電素子12には、時刻α1から時刻α2にかけて緩やかに立ち上がり、時刻α3で急激に立ち下がる略鋸歯状の駆動パルスを印加している。したがって、時刻α1から時刻α2では、圧電素子12が緩やかに伸長する。その際、駆動軸14が緩やかな速度で移動するので、被駆動部材16は駆動軸14とともに移動する。これにより、被駆動部材16を図1の左方向に移動させることができる。時刻α3では、圧電素子12が急激に縮まるので、駆動軸14は図1の右方向に移動する。その際、駆動軸14が急激に移動するので、被駆動部材16は慣性によってその位置に停止したまま、駆動軸14だけが移動する。したがって、図2(A)に示した鋸歯状の駆動パルスを繰り返し印加することによって、図1の被駆動部材16は左方向への移動と停止を繰り返すので、左方向へ移動させることができる。
図2(B)の場合、圧電素子12には、時刻β1で急激に立ち上がり、時刻β2から時刻β3にかけて緩やかに立ち下がる略鋸歯状の駆動パルスを印加している。したがって、時刻β1では圧電素子12が急激に伸長し、駆動軸14は図1の左方向に移動する。その際、駆動軸14が急激に移動するので、被駆動部材16は慣性によってその位置に停止したまま、駆動軸14だけが移動する。時刻β2から時刻β3では、圧電素子12が緩やかに縮まる。その際、駆動軸14が緩やかに変位するので、被駆動部材16は駆動軸14とともに移動する。これにより、被駆動部材16を図1の右方向に移動させることができる。したがって、図2(B)に示した鋸歯状の駆動パルスを繰り返し印加することによって、図1の被駆動部材16は右方向への移動と停止を繰り返すので、右方向へ移動させることができる。
上記の如く構成された実施形態のアクチュエータ10は、錘部材18が、圧電素子12の端面12Bよりも端面12A側に配置されているので、図7に示した従来装置(すなわち、圧電素子1、駆動軸2、台座が駆動方向に並んだ場合)に比べて、駆動方向に小型化することができる。
また、本実施の形態のアクチュエータ10は、錘部材18として軟性材料を用いたので、アクチュエータ10そのもので発生する共振を抑制することができる。すなわち、軟性材料から成る錘部材18を用いた場合には、圧電素子12、駆動軸14、及び、錘部材18から成る系の共振周波数が低くなる。具体的には圧電素子12と駆動軸14とを質量として、錘部材18を弾性体とした等価1自由系の共振周波数fを大幅に下げることができる。共振周波数fが低くなることで、駆動周波数fは、f≧21/2 ・f、となる防振領域に設定しやすくなり、共振の影響が少なくなる。したがって、図7(A)、図7(B)に示すように、錘部材18を硬性材料で構成した場合に発生する、圧電素子12の伸縮方向以外の振れを防止することができる。これにより、駆動軸14が圧電素子12の伸縮方向に変位するので、圧電素子12の伸縮による駆動力が被駆動部材16に正確に伝わり、被駆動部材16を圧電素子12の伸縮方向に正確に駆動制御することができる。また、共振周波数fが低くなることで圧電素子12、駆動軸14、及び、錘部材18の構成のバラツキによる影響が少なくなり、安定した駆動力を得ることができる。
このように軟性の錘部材18を用いることによって、アクチュエータ10の内部での共振が抑制されるので、大きな錘部材18を用いた場合にも共振の影響が少なくなり、被駆動部材16をより正確に移動させることができる。
なお、上述した実施形態は、錘部材18全体を圧電素子12の端面12Bよりも端面12A側に配置したが、これに限定するものではなく、錘部材18の一部のみを端面12Bよりも端面12A側に配置してもよい。
また、上述した実施形態は、錘部材18を先端側の面18Cで固定枠24に固着したが、これに限定するものではなく、図3に示すように錘部材18の外側面18Dで固定枠24に固着するようにしてもよい。この場合、錘部材18の外側面18Dと固定枠24との隙間を弾性の接着剤30によって充填するとよい。
なお、上述した実施形態は、アクチュエータ10を錘部材18側で支持するようにしたが、アクチュエータ10の支持方法はこれに限定するものではなく、例えば、図4に示すように、圧電素子12の端面12A側で支持するようにしてもよい。図4に示すアクチュエータ10は、圧電素子12の端面12Aに支持部材32が固着されている。この支持部材32には孔32Aが形成されており、この孔32Aに駆動軸24が挿通されている。また、支持部材32は、固定枠24の段差部24Bに当接した状態で接着剤により固定されている。
上記の如く支持されたアクチュエータ10は、中空に吊設したのに近い状態で支持される。よって、アクチュエータ10と固定枠24との間で振動が伝わりにくくなり、共振の影響が小さくなるので、被駆動部材16を正確に移動させることができる。
なお、図4の固定枠24の両端部には、保護板26、34が取りつけられている。保護板26は、板状に形成され、駆動軸14の先端面に接触した状態で両面テープ28によって固定枠24に取り付けられる。保護板34は、金属や樹脂等によってコ状に形成され、錘部材18と非接触の状態で取り付けられる。これらの保護板26、34を固定枠24に取り付けることによってアクチュエータ10が補強され、落下等の衝撃を受けた際に損傷することが防止される。保護板26は、駆動軸14に非接触で取りつけてもよい。また、保護板34は、錘部材18に接触した状態で取りつけてもよい。
図5は、アクチュエータ10の別の支持方法を示す構成図である。同図に示すアクチュエータ10は、一対の支持板40、42によって、圧電素子12の伸縮方向に両側から押圧された状態で支持されている。支持板40は、薄い金属板によってコ状に形成されており、錘部材18を押圧した状態で固定枠24に取りつけられている。支持板42は、薄い金属板から成り、駆動軸14の先端面を押圧した状態で、接着剤44によって固定枠24に固着されている。
上記の如く構成されたアクチュエータ10を支持すると、アクチュエータ10は、中に浮いた状態に近い状態で支持されている。このような状態で支持されたアクチュエータ10は、固定枠24との固着部分がないので、アクチュエータ10と固定枠24との間で振動が伝達しにくくなり、アクチュエータ10と固定枠24との間で共振が生じにくくなる。よって、共振による影響が少なくなるように支持されるので、被駆動部材16を正確に移動させることができる。特に錘部材18が軟性材料から成る場合には、上述したようにアクチュエータ10の内部で共振が生じにくいので、上記の如く挟圧して支持することによって、アクチュエータ10を共振のない状態に保つことができる。
また、図6に示すように、アクチュエータ10を支持してもよい。図6のアクチュエータ10は、一対の支持部材36、36によって圧電素子12の側面が両側から押圧された状態で支持されている。支持部材36、36は、金属、樹脂、或いはゴム等から成り、固定枠24に取りつけられている。なお、支持部材36、36の先端と圧電素子12の側面とを弾性の接着剤によって接着してもよい。また、一対の支持部材36、36の代わりに筒状の支持部材を用い、圧電素子12の側面を全周において押圧して支持するようにしてもよい。
上記の如く支持されたアクチュエータ10は、一対の支持部材36、36によって圧電素子12の側面を両側から押圧して支持するようにしたので、アクチュエータ10は、中に浮いたのと近い状態で支持される。よって、アクチュエータ10と固定枠24との間で振動が伝達しにくくなるので、アクチュエータ10は共振の影響が少なくなり、被駆動部材16を正確に移動させることができる。
なお、上述した実施形態では、軟性材料から成る錘部材18を用いたが、これに限定するものではなく、硬性材料から成る錘部材を用いてもよい。この場合にも、上記の如くアクチュエータ10を支持することによって、共振の影響を小さくすることができ、被駆動部材16を正確に移動させることができる。
また、上述した実施形態は、錘部材18を筒状に形成したが、これに限定するものではなく、錘部材18を複数個に分割して取り付けるようにしてもよい。
なお、本発明に係るアクチュエータ10の用途としては、例えばデジタルカメラや携帯電話機等の小型精密機器に適用することができる。特に携帯電話機は、3V以下の低い電圧で駆動する必要があるが、本発明のアクチュエータ10を用いることによって、20kHz程度の高周波で駆動することができ、被駆動部材16を2mm/s以上の高速度で移動させることができる。よって、10mm程度の移動が必要となるズームレンズであっても、迅速に移動させることができる。また、本発明に係るアクチュエータ10の用途としてはフォーカスレンズやズームレンズ等の移動レンズを移動する用途に限定されず、CCDを移動する用途等に用いてもよい。
本発明に係るアクチュエータの実施形態を示す断面図 圧電素子に印加される駆動パルスの波形図 図1と支持方法が異なるアクチュエータを示す断面図 図1と支持方法が異なるアクチュエータを示す断面図 図1と支持方法が異なるアクチュエータを示す断面図 図1と支持方法が異なるアクチュエータを示す断面図 従来のアクチュエータの不具合を説明する説明図
符号の説明
10…アクチュエータ、12…圧電素子、14…駆動軸、16…被駆動部材、18…錘部材、22…連結部材、24…固定枠

Claims (3)

  1. 電気機械変換素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向の一方側に取り付けられるとともに被駆動部材が摩擦係合される駆動摩擦部材と、前記電気機械変換素子の伸縮方向の他方側に取りつけられた錘部材と、から成るアクチュエータにおいて、
    前記錘部材の少なくとも一部は、前記電気機械変換素子の他方側の端面よりも前記一方側に配置されることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 前記電気機械変換素子の他方側の端面には連結部材が取りつけられ、該連結部材に前記錘部材が取りつけられることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
  3. 前記錘部材は筒状に形成され、該錘部材の内側に前記電気機械変換素子の少なくとも一部が配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007116619A1 (ja) * 2006-04-10 2007-10-18 Panasonic Corporation 圧電駆動装置、撮像装置、および携帯端末装置
JP2007282423A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電駆動装置、撮像装置、および携帯端末装置
JP2007300708A (ja) * 2006-04-28 2007-11-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電駆動装置、撮像装置、および携帯端末装置
WO2008084618A1 (ja) * 2007-01-10 2008-07-17 Konica Minolta Opto, Inc. 駆動装置
JP2010246277A (ja) * 2009-04-07 2010-10-28 Shicoh Engineering Co Ltd リニア駆動装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007274777A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujinon Corp 圧電素子及び駆動装置
KR20080093880A (ko) * 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093885A (ko) * 2007-04-18 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080094572A (ko) * 2007-04-19 2008-10-23 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
US7956513B2 (en) * 2007-04-20 2011-06-07 Mitsumi Electric Co., Ltd. Method of driving a driving device
US7759634B2 (en) * 2007-04-24 2010-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy
KR100975137B1 (ko) * 2008-05-02 2010-08-11 한국생산기술연구원 고강성 듀얼 서보 나노스테이지
EP2345157A4 (en) * 2008-08-01 2012-10-31 Epcos Ag PIEZOELECTRIC RESONATOR WITH OPERATING IN THICKERMODE MODE
JP6330129B2 (ja) * 2014-06-23 2018-05-30 新シコー科技株式会社 リニア駆動装置、リニア駆動装置を用いた電子機器及び身体装着品
JP6736371B2 (ja) * 2016-06-17 2020-08-05 キヤノン株式会社 位置調整機構、露光装置及び物品の製造方法
JP6819274B2 (ja) * 2016-12-21 2021-01-27 Tdk株式会社 圧電ユニット
JP6812510B2 (ja) * 2018-08-09 2021-01-13 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及びそれを有する電子機器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002119074A (ja) * 2000-10-04 2002-04-19 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した駆動装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5831159B2 (ja) * 1978-09-29 1983-07-04 松下電工株式会社 超音波振動子装置
JPH09247967A (ja) * 1996-03-06 1997-09-19 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した駆動装置
US5912525A (en) * 1996-03-21 1999-06-15 Nikon Corporation Vibration actuator
JPH10337057A (ja) * 1997-06-02 1998-12-18 Minolta Co Ltd 駆動装置
JP4144171B2 (ja) * 2000-09-14 2008-09-03 コニカミノルタホールディングス株式会社 電気−機械変換素子を用いた駆動装置
JP2002218773A (ja) * 2001-01-22 2002-08-02 Minolta Co Ltd 駆動装置
US6611080B2 (en) * 2001-06-04 2003-08-26 Nanyang Technological University Linear piezoelectric motor with self locking means
JP2003274678A (ja) * 2002-01-10 2003-09-26 Sony Corp 駆動装置
KR100501196B1 (ko) * 2003-07-09 2005-07-18 삼성전기주식회사 렌즈 이송장치
JP4931425B2 (ja) 2005-03-31 2012-05-16 富士フイルム株式会社 駆動装置
JP2007151238A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Fujinon Corp 駆動装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002119074A (ja) * 2000-10-04 2002-04-19 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した駆動装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007116619A1 (ja) * 2006-04-10 2007-10-18 Panasonic Corporation 圧電駆動装置、撮像装置、および携帯端末装置
JP2007282423A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電駆動装置、撮像装置、および携帯端末装置
US7929229B2 (en) 2006-04-10 2011-04-19 Panasonic Corporation Piezoelectric actuator device, image pickup unit and mobile terminal apparatus
JP2007300708A (ja) * 2006-04-28 2007-11-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電駆動装置、撮像装置、および携帯端末装置
WO2008084618A1 (ja) * 2007-01-10 2008-07-17 Konica Minolta Opto, Inc. 駆動装置
JPWO2008084618A1 (ja) * 2007-01-10 2010-04-30 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置
JP5146325B2 (ja) * 2007-01-10 2013-02-20 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 駆動装置
JP2010246277A (ja) * 2009-04-07 2010-10-28 Shicoh Engineering Co Ltd リニア駆動装置

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