JP2007183556A - 画素構造の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に走査線、データ線、および走査線とデータ線に電気的に接続した能動素子を形成する。基板上に誘電体層を形成し、それからパターンニングしたフォトレジスト層をその上に形成する。パターンニングしたフォトレジスト層は第一凹部と第一貫通孔を備え、前記第一貫通孔は誘電体層の一部を露出させる。パターンニングしたフォトレジスト層をエッチングマスクとして用いて、誘電体層の一部を除去し、パターンニングした誘電体層を形成する。パターンニングした誘電体層は第二凹部と第二貫通孔を備え、前記第二貫通孔は能動素子の一部を露出させる。パターンニングしたフォトレジスト層を除去し、パターンニングした誘電体層上に反射層を形成する。反射層は第二凹部を被覆し、能動素子と電気的に接続する。
【選択図】図2F
Description
50 第一絶縁層
52 ゲート
54 第二絶縁層
56 チャネル層
57 半導体層
58 オーミック接触層
60 ソース
62 ドレイン
63 コンタクトホール
64 保護層
66a 凹部
68 反射電極
100 画素構造
110 基板
120 走査線
130 データ線
140 能動素子
142 ゲート
144 ゲート絶縁層
146 半導体層
146a チャネル層
146b オーミック接触層
148 ドレイン
150 誘電体層
152 誘電体層
152a 第二貫通孔
152b 第二凹部
160 透明導電層
170 反射層
210 フォトレジスト層
212 第一貫通孔
214 第一凹部
300 画素構造
310 誘電体層
312a 第二貫通孔
312b 第二凹部
320 反射層
320a 開口部
Claims (11)
- 基板を提供し、
基板上に走査線、データ線および能動素子を形成し、前記走査線およびデータ線と能動素子とを電気的に接続し、
基板上に誘電体層を形成して、能動素子とデータ線を被覆し、
パターンニングしたフォトレジスト層を誘電体層上に形成し、前記パターンニングしたフォトレジスト層が第一貫通孔と複数の第一凹部を備え、第一貫通孔が誘電体層の一部を露出させ、
パターンニングしたフォトレジスト層をエッチングマスクとして用いて、誘電体層の一部を除去し、パターンニングした誘電体層を形成し、前記パターンニングした誘電体層が第二貫通孔と複数の第二凹部を備え、第二貫通孔が能動素子の一部を露出させ、
パターンニングしたフォトレジスト層を除去し、
パターンニングした誘電体層上に反射層を形成し、前記反射層が第二凹部を被覆し、能動素子と電気的に接続するステップを有する画素構造の製造方法。 - パターンニングしたフォトレジスト層を形成する処理において、ハーフトーンマスクを用いる請求項1記載の方法。
- 誘電体層の一部を除去するステップが、乾式エッチングまたは湿式エッチングを含む請求項1記載の方法。
- 反射層がさらに第二貫通孔を被覆し、反射層が第二貫通孔を介して、能動素子と電気的に接続される請求項1記載の方法。
- さらに、パターンニングした誘電体層上に透明導電層を形成するステップを含み、透明導電層が第二貫通孔と第二凹部を被覆し、パターンニングしたフォトレジスト層を除去するステップの後であるが、反射層を形成するステップの前に、反射層が透明導電層を介して、能動素子と電気的に接続される請求項1記載の方法。
- 反射層が開口部を備え、前記開口部が透明導電層の一部を露出させる請求項5記載の方法。
- さらに、パターンニングした誘電体層上に透明導電層を形成するステップを有し、パターンニングしたフォトレジスト層を除去するステップの後であるが、反射層を形成するステップの前に、透明導電層が反射層を介して、能動素子と電気的に接続される請求項1記載の方法。
- 反射層が開口部を備え、前記開口部が透明導電層の一部を露出させる請求項7記載の方法。
- さらに、反射層上に透明導電層を形成するステップを有し、透明導電層が第二貫通孔を被覆し、反射層を形成するステップの後、反射層が透明導電層を介して、能動素子と電気的に接続される請求項1記載の方法。
- 反射層が開口部を備え、透明導電層が開口部を被覆する請求項9記載の方法。
- 走査線、データ線および能動素子を形成するステップが、
基板上に走査線、および走査線に接続したゲートを形成し、
基板上にゲート絶縁層を形成して、ゲートを被覆し、
ゲート上のゲート絶縁層上に半導体層を形成し、
データ線、およびデータ線に接続したソース/ドレインを形成し、前記ゲートの両側の半導体層上にソース/ドレインを配置し、第二貫通孔がソース/ドレインの一部を露出させることを含む請求項1記載の方法。
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