JP2007140372A - 液晶用ガラスの両面研削研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
周縁の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研磨加工をする装置は無く、手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。
【解決手段】
本発明は、基板に対向基板を積層した液晶用ガラスＡと、送出側カセット手段１と、加工前仮置き台２と、研削研磨加工手段３と、洗浄手段４と、反転手段５と、加工後仮置き台６と、テープ貼着手段７と、テープ剥離手段８と、収納側カセット手段９と、送出側カセット手段１と加工前仮置き台２と加工後仮置き台６とテープ貼着手段７とテープ剥離手段８と収納側カセット手段９との間で移送をさせる第１の移送手段１０と、加工前仮置き台２と研削研磨加工手段３と洗浄手段４との間で移送をさせる第２の移送手段１１と、反転手段５と加工後仮置き台６との間で移送をさせる第３の移送手段１２を備えた。
【選択図】
図１

Description

本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を備えた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨装置に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスを研削研磨加工する一軸の研削研磨加工用テーブル手段と研削又は研磨装置との研削研磨加工手段と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、該保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段と第２の移送手段と第３の移送手段とを備えた全自動の液晶用ガラスの両面研削研磨装置に関するものである。

従来、この種の周縁の若干巾の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研磨加工をする装置は無く、又、片面毎に研磨加工をする装置においても、液晶用ガラスの片面の周縁の若干巾の回路部用段部に施したプリント印刷を傷つけたり、断線させたりするため保護テープを貼着させるために一旦外に出して貼着させており手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。

例えば、先に開示されている、送出側移送手段で移送させた半導体ウエハを取着するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置へ第１の研磨手段を配設し、第１の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の下方へ第２の研磨手段を配設し、第２の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の近傍に洗浄用移送手段を配設し研磨加工後の半導体ウエハを取外すもの（特許文献１参照）や、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するもの（特許文献２参照）や、本発明は、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置で、板ガラス１と略同寸法の板状体５ｂと、研磨パッド２の板ガラス１との接触面全体に当接する領域に埋設された所定の粗面を有するドレッサー５ａとを具備するドレッシングプレート５を準備して、ドレッシングプレート５を搬送コンベヤー２０に載置して移送し、回転する研磨パッド２に接触させることにより研磨パッド２をドレッシングするもの（特許文献３参照）等が開示されている。
特開２００１−２１７２１４号公報 特開２００４−１５４８９３号公報 特開２００５−１２５４２０号公報

然し乍ら、先に開示された特許文献１のものは、本件出願人が出願人と共に共同開発したもので、全自動２プラテン研磨装置であるが、被加工物は半導体ウエハであり、半導体ウエハには片面の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を有しておらず、従って、保護テープのテープ貼着手段やテープ剥離手段は備えていないもので、その移送動作は大差するものである。

更に、特許文献２に記載のものでは、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するものであり、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇを研磨処理ラインＬ３に移送し、研磨処理ラインＬ３で研磨後に搬出ラインＬ２に移送させるだけのものである。

更には、特許文献３では、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置であるが、板ガラス１を載置して移送させるのは搬送コンベヤー２０であり、片面の研磨は可能なものであるが、両面の研磨には適応しにくいものである。

本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、前述の課題に鑑み、鋭意研鑽の結果、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスと、液晶用ガラスを複数枚収納させた送出側カセット手段と、加工前の液晶用ガラスを仮置きする加工前仮置き台と、液晶用ガラスをチャックするチャック機構を配設した研削研磨加工用テーブルと研削又は研磨装置で研削研磨加工する研削研磨加工手段と、液晶用ガラスを洗浄する洗浄手段と、液晶用ガラスを反転させる反転手段と、加工後の液晶用ガラスを載置させる加工後仮置き台と、液晶用ガラスの回路部用段部に保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、液晶用ガラスの回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、加工後の液晶用ガラスを収納させる収納側カセット手段と、液晶用ガラスを送出側カセット手段と加工前仮置き台と加工後仮置き台とテープ貼着手段とテープ剥離手段と収納側カセット手段との間で移送させる第１の移送手段と、液晶用ガラスを加工前仮置き台と研磨加工手段と洗浄手段との間で移送させる第２の移送手段と、液晶用ガラスを反転手段と加工後仮置き台との間で移送させる第３の移送手段と、を備えたものである。

本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した加工前の液晶用ガラスが収納された送出側カセット手段と、加工前仮置き台と、研削研磨加工手段と、洗浄手段と、反転手段と、テープ貼着手段と、加工後仮置き台とテープ剥離手段と、収納側カセット手段とを備え、夫々の間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段とを備えたことにより、基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を形成した液晶用ガラスを全自動での両面研削研磨加工を可能とするものであり、極めて画期的で実用性の高い発明である。

以下、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の図面を用いて詳細に説明すると、図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の全体の概要説明図である。

本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を備えた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスＡの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨装置に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスＡを研削研磨加工する一軸の研削研磨加工用テーブル手段３ａと研削又は研磨装置との研削研磨加工手段３と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着するテープ貼着手段７と、該保護用テープを剥離させるテープ剥離手段８と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段１０と第２の移送手段１１と第３の移送手段１２とを備えた全自動の液晶用ガラスの両面研削研磨装置に関するものであり、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスＡと、該液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１と、加工前の液晶用ガラスＡを単品毎に仮置きする加工前仮置き台２と、前記液晶用ガラスＡをチャックするチャック機構３ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブル３ａと該チャック機構３ｂの上方に備えた研削又は研磨装置で液晶用ガラスＡに研削研磨加工する研削研磨加工手段３と、加工後の液晶用ガラスＡを洗浄する洗浄手段４と、洗浄後の液晶用ガラスＡを反転させる反転手段５と、加工後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させる加工後仮置き台６と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着するテープ貼着手段７と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるテープ剥離手段８と、加工後の液晶用ガラスＡを複数枚収納させる収納側カセット手段９と、前記液晶用ガラスＡを前記送出側カセット手段１と前記加工前仮置き台２と前記加工後仮置き台６と前記テープ貼着手段７と前記テープ剥離手段８と前記収納側カセット手段９との間で予め設定した移送をさせる第１の移送手段１０と、前記液晶用ガラスＡを前記加工前仮置き台２と前記研削研磨加工手段３と前記洗浄手段４との間で予め設定した移送をさせる第２の移送手段１１と、前記液晶用ガラスＡを前記反転手段５と前記加工後仮置き台６との間で予め設定した移送をさせる第３の移送手段１２と、を備えたことを特徴とするものである。

即ち、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の液晶用ガラスＡは、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板の上に対向基板を積層させたものであり、両面に高品質の平坦精度、平面精度を求められるもので、矩形状の液晶用ガラスＡの基板の少なくとも隣り合う２辺の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて形成しているものでも、二組の液晶用ガラスＡを一体に形成し基板の３辺の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に半分に切断したものでも、四組を一体に形成し基板の全周の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に十字に切断したものでも構わないものであり、図示する実施例では四組の液晶用ガラスＡを一体にしたものである。

そして、送出側カセット手段１は水平方向を複数の桟体で仕切られており、未加工の液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして、つまり、回路部用段部を設けた面を上方にして、複数の桟体の間に単品毎に収納させているものであり、送出側カセット手段１の下方に昇降自在なエレベーター台を設けて後述する第１の移送手段１０と共動させて液晶用ガラスＡを後述する加工前仮置き台２に移送させるものであり、図示する実施例では２セットを配設して夫々送出が終わると交互に取り替えるものである。

次に、加工前仮置き台２は前記送出側カセット手段１と後述する研削研磨加工手段３との間に設けられ、加工前の液晶用ガラスＡを単品毎に仮置きするもので、後述する第１の移送手段１０により送出側カセット手段１から単品毎に移送され載置されるものである。

次いで、研削研磨加工手段３は研削研磨加工用テーブル３ａと研削又は研磨装置とから成り、加工前仮置き台２から後述する第２の移送手段１１により後述するチャック機構３ｂに移送された未加工の液晶用ガラスＡに研削研磨加工を施すものである。

更に、研削研磨加工用テーブル３ａは液晶用ガラスＡを吸着又は水張り等の手段でチャックするチャック機構３ｂを等間隔に図示する実施例では４つ配設しているもので、間欠的に回動停止を繰り返えすものであり、例えば、最初の位置でチャック機構３ｂに後述する第２の移送手段１１で液晶用ガラスＡを載置してチャックし、１／４回動させた位置で研削加工を施し、更に、１／４回動させた位置で粗研磨加工を施し、更に、１／４回動させた位置で仕上研磨加工を施すと共に後述する第２の移送手段１１で洗浄手段４に移送されるものであり、研削研磨加工用テーブル３ａはエンドレスに回動停止を繰り返えすものである。

そして、研削研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂの上方には図示しない研削又は研磨装置を配設しているもので、スピンドル軸の下端にカップホイール砥石や研磨パットや研磨クロス等を設けて、チャック機構３ｂにチャックされた液晶用ガラスＡの上面に予め定められた研削又は研磨加工を施すものである。

更には、洗浄手段４は前記研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工を施した加工後の液晶用ガラスＡを後述する第２移送手段で移送され水や純水によって洗浄するものである。

次いで、反転手段５は前記洗浄手段４で洗浄された後の液晶用ガラスＡを反転させると共に、後述する加工後仮置き台６に移送して載置させるものであり、吸盤又は挟持具等をアームの先端に取り付けてバキューム吸着又は挟持させ縦方向に反転させるものである。

そして、加工後仮置き台６は研削研磨加工後の液晶用ガラスＡを前記反転手段５から後述する第３の移送手段１２により移送され一時的に載置させると共に、後述するテープ貼着手段７により後述する第１の移送手段１０により移送されテープを貼着された液晶用ガラスＡを一時的に載置させるものである。

次に、テープ貼着手段７は液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾を対向基板より膨出させた回路部用段部に保護用テープを貼着するものであり、後述する第１の移送手段１０で加工後仮置き台６から移送され、保護用テープを貼着された液晶用ガラスＡは後述する第１の移送手段１０で加工後仮置き台６に戻されるものである。

次いで、テープ剥離手段８は後述するように２巡目の研削研磨加工を終えた液晶用ガラスＡの基板の周縁の膨出させた若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるもので、洗浄手段４移送された加工後仮置き台６に載置された液晶用ガラスＡを後述する第１の移送手段１０で移送され、剥離後は後述する第１の移送手段１０で収納側カセット手段９に収納されるものである。

更に、収納側カセット手段９は前記送出側カセット手段１と同様な構造であり、水平方向を複数の桟体で仕切られており、加工後の液晶用ガラスＡを複数の桟体の間に単品毎に収納させているもので、下方に昇降自在なエレベーター台を設けて後述する第１の移送手段１０と共動させて液晶用ガラスＡをテープ剥離手段８から移送させるものであり、図示する実施例では２セットを配設して夫々収納が終わると交互に空のものと取り替えるものである。

そして、第１の移送手段１０は送出側カセット手段１と加工前仮置き台２と加工後仮置き台６とテープ貼着手段７とテープ剥離手段８と収納側カセット手段９との間の液晶用ガラスＡを図示しない自動制御装置等で予め設定された移送をさせるもので、送出側カセット手段１と収納側カセット手段９との間にレールを配設して夫々の手段の間を自在にスライドすると共に進退自在なアームの先端に液晶用ガラスＡの把持具を設けて移送するようにしているものである。

次いで、第２の移送手段１１は加工前仮置き台２と研削研磨加工手段３と洗浄手段４との間の液晶用ガラスＡを予め設定された移送をさせるもので、旋回自在且つ伸縮自在のアームの先端に把持具等を備えて液晶用ガラスＡを把持させて移送するものである。

次いで、第３の移送手段１２は反転手段５と加工後仮置き台６との間の液晶用ガラスＡを移送させるもので、実施例ではレールを配設してスライドさせるものである。

そして、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の動作を説明すると、先ず、液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１から一枚宛第１の移送手段１０で加工前仮置き台２に載置され、加工前仮置き台２に載置された液晶用ガラスＡは第２の移送手段１１で研削研磨加工手段３の研削研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂの上に移送されて基板をチャックされるものである。

次に、研削研磨加工手段３の研削研磨加工用テーブル３ａでは、例えば、研削研磨加工用テーブル３ａが１／４回動させた位置で上方から降下させた研削装置で研削加工を施し、更に、１／４回動させた位置で上方から降下させた研磨装置で粗研磨加工を施し、更に、１／４回動させた位置で仕上研磨加工を施すと共に、研削研磨加工後の液晶用ガラスＡはチャック機構３ｂからチャックが解放され第２の移送手段１１で洗浄手段４に移送されるものである。

次いで、液晶用ガラスＡの研削研磨加工された対向基板は洗浄手段４で水や純水等を噴射され洗浄ブラシや洗浄パット等で洗浄されると共に、乾燥され反転手段５で基板を上方に反転されて、第３の移送手段１２で加工後仮置き台６に載置されるものである。

更に、加工後仮置き台６に載置された液晶用ガラスＡは第１の移送手段１０でテープ貼着手段７に移送され回路部用段部に保護用テープを貼着され、再び、加工後仮置き台６に戻されるか、直接加工前仮置き台２に載置され前述と同様に液晶用ガラスＡの基板を研削研磨加工され、洗浄手段４で洗浄され、反転手段５で対向基板を上方に反転されて、加工後仮置き台６に載置されるものである。

更に、加工後仮置き台６に載置された液晶用ガラスＡは第１の移送手段１０でテープ剥離手段８に移送され保護テープを剥離され、第１の移送手段１０で収納側カセット手段９に収納されるものである。

更には、送出側カセット手段１と収納側カセット手段９とは夫々２セットが用意されていて、収納されていた液晶用ガラスＡが空になったり、満杯に収納されたら随時取り替えるものであり、前述の工程を自動的に制御されエンドレスで行うことで液晶用ガラスＡの両面に全自動で研削研磨加工を施せるものである。

本発明は、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板の上に対向基板を積層させた液晶用ガラスの研削研磨加工を全自動で実施可能な両面研削研磨装置を提供するものである。

図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の全体の概要説明図である。

符号の説明

Ａ 液晶用ガラス
１ 送出側カセット手段
２ 加工前仮置き台
３ 研削研磨加工手段
３ａ 研削研磨加工用テーブル
３ｂ チャック機構
４ 洗浄手段
５ 反転手段
６ 加工後仮置き台
７ テープ貼着手段
８ テープ剥離手段
９ 収納側カセット手段
１０ 第１の移送手段
１１ 第２の移送手段
１２ 第３の移送手段

Claims (1)

1. 液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスと、該液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、加工前の液晶用ガラスを単品毎に仮置きする加工前仮置き台と、前記液晶用ガラスをチャックするチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブルと該チャック機構の上方に備えた研削又は研磨装置で液晶用ガラスに研削研磨加工する研削研磨加工手段と、加工後の液晶用ガラスを洗浄する洗浄手段と、洗浄後の液晶用ガラスを反転させる反転手段と、加工後の液晶用ガラスを一時的に載置させる加工後仮置き台と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、加工後の液晶用ガラスを複数枚収納させる収納側カセット手段と、前記液晶用ガラスを前記送出側カセット手段と前記加工前仮置き台と前記加工後仮置き台と前記テープ貼着手段と前記テープ剥離手段と前記収納側カセット手段との間で予め設定した移送をさせる第１の移送手段と、前記液晶用ガラスを前記加工前仮置き台と前記研削研磨加工手段と前記洗浄手段との間で予め設定した移送をさせる第２の移送手段と、前記液晶用ガラスを前記反転手段と前記加工後仮置き台との間で予め設定した移送をさせる第３の移送手段と、を備えたことを特徴とする液晶用ガラスの両面研削研磨装置。

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