JP2007017379A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007017379A JP2007017379A JP2005201468A JP2005201468A JP2007017379A JP 2007017379 A JP2007017379 A JP 2007017379A JP 2005201468 A JP2005201468 A JP 2005201468A JP 2005201468 A JP2005201468 A JP 2005201468A JP 2007017379 A JP2007017379 A JP 2007017379A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- camera
- light source
- surface shape
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 鏡面反射する被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理して鏡面反射部分の表面形状を算出する演算処理装置を具備したことを特徴としている。特に、本発明は被測定対象の鏡面反射領域は黒色、暗褐色等の拡散反射が起こりにくい暗黒色表面又は完全鏡面で拡散反射が起こりにくい表面で構成されている場合に好適である。
【選択図】 図1
Description
請求項1記載の発明は、鏡面反射する被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理して鏡面反射部分の表面形状を算出する演算処理装置を具備したことを特徴としている。
X/D=Z/Z2=Z/(2・Z−H) が得られる。即ち、
X=(Z・D)/(2・Z−H)、又は、 Z=(X・H)/(2・X−H)となる。この関係式を微分すると以下のΔXとΔZの関係式が求まる。即ち、
ΔX/ΔZ=−(D・H)/(2・Z−H)**2、
又は、 ΔZ/ΔX=−(D・H)/(2・X−D)**2 となる。なお、記号「/」は除算を意味し、記号「**」はべき乗を意味する。また、負号「―」はΔXがXと反対向きであることを意味する。
11 蛍光灯(光源体)
13 ディジタルカメラ(撮影カメラ)
14 記録装置
15 処理装置(演算処理装置)
20 段差付き鏡平面
21 上鏡面
22 下鏡面
25 撮影画像
27 発光体(光源体)
30、13a カメラレンズ
31、13b 撮像面
Claims (5)
- 鏡面反射する被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理して鏡面反射部分の表面形状を算出する演算処理装置を具備したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 前記被測定対象の鏡面反射領域は黒色、暗褐色等の拡散反射が起こりにくい暗黒色表面で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は1又は複数の平行な直線状の蛍光灯、又は、円形、正方形又は矩形の環状の蛍光灯で構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は、導光用プラスチィック棒などのように他の光供給源によって発光する発光体であることを特徴とする請求項1又は請求項2の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記カメラは、カメラ中心線が前記被測定対象の鏡面反射面と略垂直になるように配置したこと特徴とする請求項1〜請求項4の何れか1に記載の表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201468A JP2007017379A (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201468A JP2007017379A (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 表面形状測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007017379A true JP2007017379A (ja) | 2007-01-25 |
Family
ID=37754657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005201468A Pending JP2007017379A (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007017379A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57153204A (en) * | 1981-02-18 | 1982-09-21 | Peyer Siegfried | Method of and apparatus for photoelectrically measuring moving fiber material |
JPS59113707A (ja) * | 1982-12-20 | 1984-06-30 | 三菱電機株式会社 | ガス絶縁開閉装置 |
JPS61223540A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Toshiba Corp | 光学式プリント基板検査装置の照明方式 |
JPH03192800A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-22 | Sharp Corp | プリント基板の部品実装認識方法 |
JPH0412255A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-16 | Mitsubishi Kasei Corp | 鏡面検査装置 |
JPH05142153A (ja) * | 1991-11-25 | 1993-06-08 | Mazda Motor Corp | 照射を用いた表面状態検査方法及びその装置 |
JPH06300535A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-28 | Nisshin Steel Co Ltd | 形状検出装置 |
JPH09304033A (ja) * | 1996-05-14 | 1997-11-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 圧延板の光学式形状検出方法及びその装置 |
JP2000337947A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Tokai Carbon Co Ltd | 液面波検出装置 |
-
2005
- 2005-07-11 JP JP2005201468A patent/JP2007017379A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57153204A (en) * | 1981-02-18 | 1982-09-21 | Peyer Siegfried | Method of and apparatus for photoelectrically measuring moving fiber material |
JPS59113707A (ja) * | 1982-12-20 | 1984-06-30 | 三菱電機株式会社 | ガス絶縁開閉装置 |
JPS61223540A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Toshiba Corp | 光学式プリント基板検査装置の照明方式 |
JPH03192800A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-22 | Sharp Corp | プリント基板の部品実装認識方法 |
JPH0412255A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-16 | Mitsubishi Kasei Corp | 鏡面検査装置 |
JPH05142153A (ja) * | 1991-11-25 | 1993-06-08 | Mazda Motor Corp | 照射を用いた表面状態検査方法及びその装置 |
JPH06300535A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-28 | Nisshin Steel Co Ltd | 形状検出装置 |
JPH09304033A (ja) * | 1996-05-14 | 1997-11-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 圧延板の光学式形状検出方法及びその装置 |
JP2000337947A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Tokai Carbon Co Ltd | 液面波検出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9441957B2 (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus | |
US8681211B2 (en) | High speed optical inspection system with adaptive focusing | |
US20120133920A1 (en) | High speed, high resolution, three dimensional printed circuit board inspection system | |
US20140232850A1 (en) | Vision testing device with enhanced image clarity | |
WO2016166807A1 (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
JP2014038049A (ja) | 3次元測定装置、3次元測定方法、プログラム及び基板の製造方法 | |
JP2003172610A (ja) | 3次元色形状検出装置及び3次元スキャナー | |
JP5594923B2 (ja) | 基板面高さ測定方法及びその装置 | |
JP6953446B2 (ja) | ガラス上面の粒子検出方法および装置、並びに、入射光照射方法 | |
CN103247548B (zh) | 一种晶圆缺陷检测装置及方法 | |
JP2015197361A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
TW201915467A (zh) | 檢查裝置及檢查方法 | |
JP2009092485A (ja) | 印刷半田検査装置 | |
JP2006337254A (ja) | 撮像装置、撮像画像距離測定方法、撮像画像距離測定プログラム、及び記録媒体 | |
CN109690408A (zh) | 基板角位置确定方法 | |
JP2013015328A (ja) | 表示パネル検査装置及び表示パネル検査方法 | |
JP2007017379A (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP4218283B2 (ja) | ターゲット投影式3次元形状計測方法および装置 | |
KR20080088946A (ko) | 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법 | |
KR20120086333A (ko) | 적응 초점을 갖는 고속 광학 검사 시스템 | |
JP2006226748A (ja) | 透明体の画像認識装置 | |
JP2022013913A (ja) | 基板用の配線計測システム及びその方法 | |
KR101005076B1 (ko) | 범퍼 검사장치 및 방법 | |
CN112857234A (zh) | 结合物体二维和高度信息的测量方法及其装置 | |
TWI806325B (zh) | 螢光線路量測系統及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20060922 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080708 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110308 |