JP2007017379A - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 鏡面反射する被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理して鏡面反射部分の表面形状を算出する演算処理装置を具備したことを特徴としている。特に、本発明は被測定対象の鏡面反射領域は黒色、暗褐色等の拡散反射が起こりにくい暗黒色表面又は完全鏡面で拡散反射が起こりにくい表面で構成されている場合に好適である。
【選択図】 図1
Description
請求項1記載の発明は、鏡面反射する被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理して鏡面反射部分の表面形状を算出する演算処理装置を具備したことを特徴としている。
X/D=Z/Z2=Z/(2・Z−H) が得られる。即ち、
X=(Z・D)/(2・Z−H)、又は、 Z=(X・H)/(2・X−H)となる。この関係式を微分すると以下のΔXとΔZの関係式が求まる。即ち、
ΔX/ΔZ=−(D・H)/(2・Z−H)**2、
又は、 ΔZ/ΔX=−(D・H)/(2・X−D)**2 となる。なお、記号「/」は除算を意味し、記号「**」はべき乗を意味する。また、負号「―」はΔXがXと反対向きであることを意味する。
11 蛍光灯(光源体)
13 ディジタルカメラ(撮影カメラ)
14 記録装置
15 処理装置(演算処理装置)
20 段差付き鏡平面
21 上鏡面
22 下鏡面
25 撮影画像
27 発光体(光源体)
30、13a カメラレンズ
31、13b 撮像面
Claims (5)
- 鏡面反射する被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理して鏡面反射部分の表面形状を算出する演算処理装置を具備したことを特徴とする表面形状測定装置。
- 前記被測定対象の鏡面反射領域は黒色、暗褐色等の拡散反射が起こりにくい暗黒色表面で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は1又は複数の平行な直線状の蛍光灯、又は、円形、正方形又は矩形の環状の蛍光灯で構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は、導光用プラスチィック棒などのように他の光供給源によって発光する発光体であることを特徴とする請求項1又は請求項2の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記カメラは、カメラ中心線が前記被測定対象の鏡面反射面と略垂直になるように配置したこと特徴とする請求項1〜請求項4の何れか1に記載の表面形状測定装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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- 2005-07-11 JP JP2005201468A patent/JP2007017379A/ja active Pending
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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