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JP2007093557A - Clamp device for optical connector plug and microinterferometer device provided therewith - Google Patents

Clamp device for optical connector plug and microinterferometer device provided therewith Download PDF

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JP2007093557A
JP2007093557A JP2005287019A JP2005287019A JP2007093557A JP 2007093557 A JP2007093557 A JP 2007093557A JP 2005287019 A JP2005287019 A JP 2005287019A JP 2005287019 A JP2005287019 A JP 2005287019A JP 2007093557 A JP2007093557 A JP 2007093557A
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富美男 小林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clamp device for optical plug connector, capable of holding an optical connector plug having a plug member consisting of an inner cylinder and an outer cylinder in a highly reproducible state independently from the installation manner thereof. <P>SOLUTION: This device comprises an outer cylinder rotation regulating member 340 which makes contact with the outer cylinder 402 when a plug 400 is installed to regulate the rotation of the outer cylinder 402 around a central axis W; a guide cylinder 313 which makes contact with a ferrule 420 in a state where the rotating of the outer cylinder 420 is regulated to regulate movement of the ferule 420 in a direction right-angled to the central axis W; and an inner cylinder positioning member 420 which makes contact with the inner cylinder 404 in a state where the movement of the ferrule 420 is regulated, and positions the inner cylinder 404 by applying a pressing force right-angled to the central axis W to the inner cylinder 404. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、顕微干渉計装置(「干渉顕微鏡装置」とも称される)を用いて、フェルールの先端部の形状等を測定解析する際に、フェルールを保持してなる光コネクタプラグを、測定系に対し位置決めして保持する技術に関し、特に、フェルールを保持するプラグ部材が内筒と外筒とからなる場合に好適な光コネクタプラグ用クランプ装置およびこれを具備した顕微干渉計装置に関する。   The present invention relates to an optical connector plug that holds a ferrule when measuring and analyzing the shape and the like of the tip of the ferrule using a microscopic interferometer device (also referred to as “interference microscope device”). In particular, the present invention relates to a clamp device for an optical connector plug suitable for a case where a plug member for holding a ferrule includes an inner cylinder and an outer cylinder, and a microscopic interferometer apparatus including the same.

従来、フェルール先端面における球面偏心量等の測定を顕微干渉計により行なう際に、測定対象となるフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対し位置決めして保持するためのクランプ装置が、本願出願人により提案されている(下記特許文献1、2参照)。   Conventionally, a clamp for positioning and holding an optical connector plug, which holds a ferrule to be measured, with respect to a microscopic interferometer device when measuring the amount of spherical eccentricity, etc. at the tip surface of the ferrule with a microscopic interferometer An apparatus has been proposed by the applicant of the present application (see Patent Documents 1 and 2 below).

一般に、光コネクタプラグには、相手側と接続される際の位置合わせの指標となるキー(またはキー溝)が形成されており、フェルール先端面の球面偏心量等は、このキー位置を基準として測定される。しかし、光コネクタプラグにおいては、フェルールを収容する筒状のプラグ部材とフェルールとの間に、製造公差による所定量のガタ(特に、光コネクタプラグの中心軸周りに、フェルールがプラグ部材に対して相対的に回転する誤差)が許容されているため、プラグ部材側のキー位置に対するフェルールの位置が一意に定まらないという問題がある(下記特許文献3参照)。   In general, an optical connector plug is formed with a key (or key groove) that serves as an index for alignment when connected to the other side, and the spherical eccentricity of the ferrule tip surface is based on this key position. Measured. However, in an optical connector plug, a predetermined amount of play due to manufacturing tolerances between the cylindrical plug member that houses the ferrule and the ferrule (particularly around the central axis of the optical connector plug, the ferrule is connected to the plug member). Since the relative rotation error is allowed, there is a problem that the position of the ferrule with respect to the key position on the plug member side is not uniquely determined (see Patent Document 3 below).

そこで、下記特許文献1に開示されたクランプ装置は、測定時中にフェルールとプラグ部材とが相対的な回転ずれを起こさないように、クランプ装置がフェルールを保持している間、プラグ部材の回転を規制する回転規制部を備えている。また、下記特許文献2に開示されたクランプ装置は、回転規制部とプラグ装置との間にガタがある場合でも、光コネクタプラグを再現性良く保持し得るように、プラグ部材を押圧する押圧部を回転規制部に備えている。   Therefore, the clamping device disclosed in Patent Literature 1 below rotates the plug member while the clamping device holds the ferrule so that the ferrule and the plug member do not cause relative rotational deviation during measurement. A rotation restricting portion for restricting the rotation. In addition, the clamping device disclosed in Patent Document 2 below is a pressing portion that presses the plug member so that the optical connector plug can be held with good reproducibility even when there is a backlash between the rotation restricting portion and the plug device. Is provided in the rotation restricting portion.

特開平2004−12931号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-12931 特開平2005−70104号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2005-70104 特開平2005−69697号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2005-69697

しかし、上記特許文献1、2に記載されたクランプ装置は、フェルールの位置決めをするガイド筒内にフェルールを挿入しながら光コネクタプラグを装着していき、最終段階で回転規制部にプラグ部材を係合してプラグ部材の回転を規制するように構成されているため、次のような問題がある。   However, in the clamping devices described in Patent Documents 1 and 2, the optical connector plug is attached while inserting the ferrule into the guide cylinder for positioning the ferrule, and the plug member is engaged with the rotation restricting portion at the final stage. Since it is configured to restrict the rotation of the plug member, there is the following problem.

すなわち、上述のクランプ装置におけるガイド筒は、本来的には、フェルールが中心軸と直角な方向に移動することを規制するためのものであるが、ガイド筒に挿入された状態においては、ガイド筒の内周面にフェルールが接触するため、その摩擦抵抗によりフェルールの中心軸周りの回転も若干規制されることになる。このため、装着の仕方によっては、回転規制部にプラグ部材を係合する際に、ガイド筒内に挿入されたフェルールに対しプラグ部材を中心軸周りに捻る力が作用してしまい、フェルールとプラグ部材とが相対的な回転ずれを起こすことがある。このような不適正な状態で保持された光コネクタプラグは、フェルールとプラグ部材との相対位置が、測定時と使用時とで互いに異なったりするなど再現性が低いため、信頼性の高い測定結果を得られない虞があった。   In other words, the guide tube in the above-described clamping device is originally for restricting the ferrule from moving in a direction perpendicular to the central axis, but in a state where it is inserted into the guide tube, the guide tube Since the ferrule comes into contact with the inner peripheral surface, the rotation around the central axis of the ferrule is slightly restricted by the frictional resistance. For this reason, depending on the mounting method, when the plug member is engaged with the rotation restricting portion, a force that twists the plug member around the central axis acts on the ferrule inserted into the guide tube, and the ferrule and the plug There may be a relative rotational shift with the member. Optical connector plugs held in such an inappropriate state have low reproducibility, such as the relative position of the ferrule and the plug member differing from each other during measurement and during use, so the measurement results are highly reliable. There was a possibility that it could not be obtained.

また、光コネクタプラグには、プラグ部材が内筒と外筒とで構成されるものがあり(上記特許文献3参照)、このような光コネクタプラグにおいては、内筒と外筒との間にも製造公差による所定量のガタが許容されているが、上述のクランプ装置においては、このような構成の光コネクタプラグを、再現性の高い状態で保持することに対して、十分な配慮がなされていなかった。   Some optical connector plugs include a plug member composed of an inner cylinder and an outer cylinder (see Patent Document 3). In such an optical connector plug, there is a gap between the inner cylinder and the outer cylinder. However, a predetermined amount of play due to manufacturing tolerances is allowed, but in the above-described clamping device, sufficient consideration is given to holding the optical connector plug having such a configuration in a highly reproducible state. It wasn't.

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、光コネクタプラグの装着の仕方に左右されることなく、また、プラグ部材が内筒と外筒とで構成される光コネクタプラグであっても、これを、再現性の高い状態で保持することが可能な光コネクタプラグ用クランプ装置、およびこのようなクランプ装置を具備した顕微干渉計装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and is not affected by the manner in which the optical connector plug is mounted, and even if the plug member is an optical connector plug composed of an inner cylinder and an outer cylinder. An object of the present invention is to provide an optical connector plug clamping device capable of holding this in a highly reproducible state and a microscopic interferometer device equipped with such a clamping device.

上記課題を解決するため本発明では、外筒の回転が規制された状態においてフェルール移動を規制するとともに、フェルールの移動が規制された状態において内筒の位置決めをするようにしている。   In order to solve the above problems, in the present invention, the ferrule movement is restricted in a state where the rotation of the outer cylinder is restricted, and the inner cylinder is positioned in a state where the movement of the ferrule is restricted.

すなわち、本発明に係る光コネクタプラグ用クランプ装置は、
外筒と、該外筒内に少なくとも一部が緩挿された状態で該外筒に保持された内筒と、該内筒内に少なくとも一部が緩挿された状態で該内筒に保持されたフェルールとを有してなる光コネクタプラグを、測定系に対し位置決めして保持するクランプ装置であって、
当該クランプ装置に前記光コネクタプラグが装着される際に前記外筒と接触し、該外筒が前記光コネクタプラグの中心軸周りに回転することを規制する外筒回転規制部と、
該外筒回転規制部により前記外筒の回転が規制された状態において前記フェルールと接触し、該フェルールが前記中心軸と直角な方向へ移動することを規制するフェルール移動規制部と、
該フェルール移動規制部により前記フェルールの移動が規制された状態において前記内筒と接触し、該内筒に対し前記中心軸と直角な方向の押圧力を作用せしめることにより、該内筒を位置決めする内筒位置決め部と、を備えてなることを特徴とする。
That is, the clamping device for optical connector plug according to the present invention,
An outer cylinder, an inner cylinder held in the outer cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the outer cylinder, and held in the inner cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the inner cylinder A clamp device for positioning and holding an optical connector plug having a ferrule formed with respect to a measurement system,
An outer cylinder rotation restricting portion that contacts the outer cylinder when the optical connector plug is attached to the clamp device and restricts the outer cylinder from rotating around the central axis of the optical connector plug;
A ferrule movement restricting portion that contacts the ferrule in a state where the rotation of the outer tube is restricted by the outer tube rotation restricting portion, and restricts the ferrule from moving in a direction perpendicular to the central axis;
The inner cylinder is positioned by making contact with the inner cylinder in a state where the movement of the ferrule is regulated by the ferrule movement restricting portion and applying a pressing force in a direction perpendicular to the central axis to the inner cylinder. And an inner cylinder positioning portion.

本発明の光コネクタプラグ用クランプ装置において、内筒位置決め部は、内筒との接触の際に該内筒から受ける力により弾性的に変位する弾性変位部を備え、該弾性変位部が復元しようとする力により押圧力を内筒に作用せしめるように構成することができる。その場合、光コネクタプラグが装着される前の状態において内筒位置決め部と接触し、弾性変位部に予め所定の変位量を付与する弾性変位付与部を備えるようにすることが好ましい。   In the optical connector plug clamping device according to the present invention, the inner cylinder positioning portion includes an elastic displacement portion that is elastically displaced by a force received from the inner cylinder upon contact with the inner cylinder, and the elastic displacement portion is to be restored. The pressing force can be applied to the inner cylinder by the force In that case, it is preferable to provide an elastic displacement imparting portion that comes into contact with the inner cylinder positioning portion in a state before the optical connector plug is attached and applies a predetermined amount of displacement to the elastic displacement portion in advance.

また、本発明に係る顕微干渉計装置は、被検体の位相情報を担持した物体光と参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察する顕微干渉計装置であって、上述した本発明に係る光コネクタプラグ用クランプ装置を具備してなることを特徴とするものである。   A microscopic interferometer apparatus according to the present invention is a microscopic interferometer apparatus for observing interference fringes obtained by causing object light carrying phase information of a subject to interfere with reference light. The optical connector plug clamping device is provided.

本発明による光コネクタプラグ用クランプ装置においては、外筒の回転が規制された状態でフェルールの移動が規制され、その状態で、内筒の位置決めが行なわれる。また、内筒の位置決めは、内筒位置決め部により内筒に対し中心軸と直角な方向の押圧力が作用せしめられることによりなされる。   In the optical connector plug clamping device according to the present invention, the movement of the ferrule is restricted in a state where the rotation of the outer cylinder is restricted, and the inner cylinder is positioned in that state. The inner cylinder is positioned by applying a pressing force in a direction perpendicular to the central axis to the inner cylinder by the inner cylinder positioning portion.

これにより、光コネクタプラグの装着時に外筒を中心軸周りに捻るということが防止され、また、フェルールおよび外筒に対して内筒が、適正な状態で位置決めされる。したがって、光コネクタプラグを再現性の高い状態で保持することが可能となる。   This prevents the outer cylinder from being twisted around the central axis when the optical connector plug is attached, and the inner cylinder is positioned in an appropriate state with respect to the ferrule and the outer cylinder. Therefore, the optical connector plug can be held in a highly reproducible state.

また、本発明による顕微干渉計装置によれば、上述した光コネクタプラグ用クランプ装置により、光コネクタプラグを再現性の高い状態で保持することができるので、高精度で信頼性の高い測定結果を得ることが可能となる。   Further, according to the microscopic interferometer device of the present invention, the optical connector plug can be held in a highly reproducible state by the above-described optical connector plug clamping device, so that a highly accurate and reliable measurement result can be obtained. Can be obtained.

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。まず、測定対象とされるフェルールを保持してなる光コネクタプラグの構成例について、図3および図4を参照しながら説明する。図3は光コネクタプラグの斜視図であり、図4はその断面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, a configuration example of an optical connector plug that holds a ferrule to be measured will be described with reference to FIGS. 3 and 4. 3 is a perspective view of the optical connector plug, and FIG. 4 is a sectional view thereof.

<光コネクタプラグの構成>
図4に示す光コネクタプラグ(以下「プラグ」と略称することがある)400は、筒状のプラグ部材410と、該プラグ部材410内に収容された垂直球面研磨型のフェルール420とを備えてなり、プラグ部材410は、外筒402と、該外筒402内に一部が収容、保持された内筒404とから構成されている。一方、フェルール420は、例えばジルコニアセラミックからなるフェルール本体421の外径中心に光ファイバ430の一端部を保持してなり、その先端面422は、不図示の相手側フェルールの先端面と密着し易いように凸球面状に研磨されている。
<Configuration of optical connector plug>
An optical connector plug (hereinafter also abbreviated as “plug”) 400 shown in FIG. 4 includes a cylindrical plug member 410 and a vertical spherical polishing ferrule 420 housed in the plug member 410. Thus, the plug member 410 includes an outer cylinder 402 and an inner cylinder 404 that is partially accommodated and held in the outer cylinder 402. On the other hand, the ferrule 420 is formed by holding one end portion of the optical fiber 430 at the center of the outer diameter of a ferrule body 421 made of, for example, zirconia ceramic, and its front end surface 422 is easily in close contact with the front end surface of a counterpart ferrule (not shown). Thus, it is polished into a convex spherical shape.

また、図4に示すように、フェルール本体421の後端部には、鍔部423と円筒部424とからなるフェルール保持具425が取り付けられている。フェルール420は、上記円筒部424にコイルバネ426が取り付けられた状態で上記内筒404内に収容され、内筒404の内面に形成された段部414と、外筒402の内面に形成された段部416とにより図中左右方向(プラグ400の中心軸Wの延伸方向)への抜脱がそれぞれ規制されている。また、上記コイルバネ426の弾性によって、フェルール420は前方に向けて定圧付勢されており、その先端面422が不図示の相手側フェルールの先端面に対し押圧されるように構成されている。   As shown in FIG. 4, a ferrule holder 425 including a flange portion 423 and a cylindrical portion 424 is attached to the rear end portion of the ferrule body 421. The ferrule 420 is accommodated in the inner cylinder 404 with the coil spring 426 attached to the cylindrical part 424, and a step part 414 formed on the inner surface of the inner cylinder 404 and a step formed on the inner surface of the outer cylinder 402. With the portion 416, the removal in the left-right direction in the drawing (the extending direction of the central axis W of the plug 400) is restricted. The ferrule 420 is urged by a constant pressure toward the front by the elasticity of the coil spring 426, and the front end surface 422 is pressed against the front end surface of the counterpart ferrule (not shown).

また、フェルール保持具425の鍔部423には、中心軸Wを挟んで互いに対向する位置に、一対のキー溝部427(一方のみ図示)が形成されており、内筒404の内面には、この一対のキー溝部427と係合する一対のキー部(図示略)が形成されている。これら鍔部423側のキー溝部427と、内筒404側のキー部とが係合することにより、フェルール420の内筒404に対する中心軸W周りの回転が規制されるように構成されている。   Further, a pair of key groove portions 427 (only one is shown) is formed on the flange portion 423 of the ferrule holder 425 at positions facing each other across the central axis W. A pair of key portions (not shown) that engage with the pair of key groove portions 427 are formed. The key groove portion 427 on the flange portion 423 side and the key portion on the inner tube 404 side are engaged with each other so that the rotation of the ferrule 420 around the central axis W with respect to the inner tube 404 is restricted.

また、外筒402の先端上部および先端下部には、中心軸Wを挟んで互いに対向する位置に、一対の孔部412が形成されており、内筒404の外面には、この一対の孔部412と係合する一対の凸部413が形成されている。これら外筒402側の孔部412と、内筒404側の凸部413とが係合することにより、内筒404の外筒402に対する図中左右方向への抜脱がそれぞれ規制されている。   In addition, a pair of hole portions 412 are formed at positions facing each other across the central axis W in the upper end portion and the lower end portion of the outer cylinder 402, and the pair of hole portions are formed on the outer surface of the inner cylinder 404. A pair of convex portions 413 that engage with 412 is formed. By the engagement of the hole 412 on the outer cylinder 402 side and the convex part 413 on the inner cylinder 404 side, the removal of the inner cylinder 404 in the left-right direction in the figure with respect to the outer cylinder 402 is restricted.

さらに、図3に示すように、外筒402および内筒404は、外筒402内に収容された内筒404の中心軸W周りの回転を規制し得るような形状、大きさに形成されている。また、外筒402の先端側面部には、相手側プラグと係合される際の位置合わせの指標(ガイド)となる凸状のキー部418が設けられている
上述したように、外筒402に対する内筒404の中心軸W周りの回転、および内筒404に対するフェルール420の中心軸W周りの回転は規制されているが、上述した各部材間には、それぞれの製造公差により若干のガタがあり、このためプラグ部材410に対してフェルール420は、中心軸W周りに所定の角度範囲での角度ずれが生じることが許容されている。
Further, as shown in FIG. 3, the outer cylinder 402 and the inner cylinder 404 are formed in a shape and size that can regulate the rotation around the central axis W of the inner cylinder 404 accommodated in the outer cylinder 402. Yes. In addition, a convex key portion 418 serving as an alignment index (guide) when being engaged with the mating plug is provided on the distal side surface portion of the outer tube 402, as described above. The rotation of the inner cylinder 404 around the central axis W and the rotation of the ferrule 420 around the central axis W with respect to the inner cylinder 404 are restricted, but there is a slight backlash between the above-described members due to their manufacturing tolerances. For this reason, the ferrule 420 is allowed to deviate in the predetermined angle range around the central axis W with respect to the plug member 410.

<光コネクタプラグ用クランプ装置の構成>
次に、本発明による光コネクタプラグ用クランプ装置の実施形態について、図1および図2を用いて説明する。図1は本発明の一実施形態に係る光コネクタプラグ用クランプ装置の断面図、図2はその裏面側からの分解斜視図である。なお、図2においては、構成をかなり簡略化して示している。
<Configuration of clamp device for optical connector plug>
Next, an embodiment of a clamp device for an optical connector plug according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical connector plug clamping device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view from the back side thereof. In FIG. 2, the configuration is shown in a considerably simplified manner.

図1、図2に示す光コネクタプラグ用クランプ装置(以下、単に「クランプ装置」と称することがある)300は、上述したプラグ400(図3、図4参照)を、測定系に対し位置決めして保持するものであり、クランプ体310、内筒位置決め部材320、弾性変位付与部材330、および外筒回転規制部材340を備えてなる。   The optical connector plug clamping device 300 (hereinafter sometimes simply referred to as “clamping device”) 300 shown in FIGS. 1 and 2 positions the above-described plug 400 (see FIGS. 3 and 4) with respect to the measurement system. And includes a clamp body 310, an inner cylinder positioning member 320, an elastic displacement imparting member 330, and an outer cylinder rotation regulating member 340.

上記クランプ体310は、図1に示すように、円環状の縁部311を有する円板状の部材で構成されており、図中上部から図中下部へ向かって延びる切欠部312によって、部分的に分割されている。また、クランプ体310は、クランプ装置300の中心軸Aの延伸方向に突出した円筒状のガイド筒313を備えている。このガイド筒313は、フェルール移動規制部を構成するものであり、その内径は、図3、図4に示すフェルール本体422の外径と略同寸法に構成されている。すなわち、このガイド筒313は、フェルール本体422が挿通された際に、その内周面がフェルール本体422の外周面と接触することにより、フェルール420が上記中心軸Aと直角な方向へ移動することを規制するようになっている。   As shown in FIG. 1, the clamp body 310 is formed of a disk-like member having an annular edge 311, and is partially formed by a notch 312 extending from the upper part in the figure toward the lower part in the figure. It is divided into The clamp body 310 includes a cylindrical guide tube 313 protruding in the extending direction of the central axis A of the clamp device 300. The guide tube 313 constitutes a ferrule movement restricting portion, and the inner diameter thereof is substantially the same as the outer diameter of the ferrule body 422 shown in FIGS. That is, when the ferrule main body 422 is inserted, the guide cylinder 313 has its inner peripheral surface in contact with the outer peripheral surface of the ferrule main body 422 so that the ferrule 420 moves in a direction perpendicular to the central axis A. Is to regulate.

また、このクランプ体310には操作レバー314が設けられており、この操作レバー314を操作することにより、上記ガイド筒313内に挿通されたフェルール本体422を、プラグ400およびクランプ装置300の各中心軸W,Aが互いに重なった状態で把持し得るように構成されている。なお、このクランプ体310の基本的な構成および作用は、前掲の特許文献2に開示されたものと同様であるので、より詳細な部分についてはそれを参照されたい。   The clamp body 310 is provided with an operation lever 314, and by operating the operation lever 314, the ferrule body 422 inserted into the guide tube 313 is connected to each center of the plug 400 and the clamp device 300. The shafts W and A are configured so as to be gripped in a state where they are overlapped with each other. Since the basic configuration and operation of the clamp body 310 are the same as those disclosed in the above-mentioned Patent Document 2, refer to it for more detailed portions.

上記内筒位置決め部材320は、図2に示すように、円環状の基部321と、該基部321から上記クランプ体310に向けて突出する左右一対の押圧部322とを備えてなる。この一対の押圧部322は、内筒位置決め部を構成するものであり、クランプ装置300にプラグ400が装着される際に、上記内筒404と接触し、該内筒404に対し上記中心軸Wと直角な方向に作用する押圧力を付与することにより、該内筒404を位置決めするように構成されている。より詳細には、一対の押圧部322は、中心軸Aを挟んで互いに対向する接触部323と弾性変位部324とを備えている。それぞれの接触部323間の距離は、上記内筒404の左右の幅よりも若干短く構成されており、クランプ装置300にプラグ400が装着される際に、各接触部323が上記内筒404の左右両側面に両側から挟むように接触するようになっている。一方、弾性変位部324は、各接触部323が内筒404に接触する際に、内筒404から受ける力により弾性的に変位するようになっており、一対の押圧部322は、この弾性変位部324が復元しようとする力により上記押圧力を内筒404に作用せしめるように構成されている。   As shown in FIG. 2, the inner cylinder positioning member 320 includes an annular base portion 321 and a pair of left and right pressing portions 322 protruding from the base portion 321 toward the clamp body 310. The pair of pressing portions 322 constitute an inner cylinder positioning portion, and contact the inner cylinder 404 when the plug 400 is attached to the clamp device 300, and the central axis W with respect to the inner cylinder 404. The inner cylinder 404 is positioned by applying a pressing force acting in a direction perpendicular to the inner cylinder 404. More specifically, the pair of pressing portions 322 includes a contact portion 323 and an elastic displacement portion 324 that face each other across the central axis A. The distance between the contact portions 323 is slightly shorter than the left and right widths of the inner cylinder 404, and when the plug 400 is attached to the clamp device 300, each contact portion 323 is connected to the inner cylinder 404. It comes in contact with both left and right side surfaces so as to be sandwiched from both sides. On the other hand, the elastic displacement part 324 is elastically displaced by the force received from the inner cylinder 404 when each contact part 323 comes into contact with the inner cylinder 404, and the pair of pressing parts 322 are provided with this elastic displacement. The pressing force is applied to the inner cylinder 404 by the force that the part 324 tries to restore.

上記弾性変位付与部材330は、図2に示すように、円環状の基部331と、該基部331から上記内筒位置決め部材320に向けて突出する上下一対の弾性変位付与片332とを備えてなる。この一対の弾性変位付与片332は、弾性変位付与部を構成するものであり、上記一対の押圧部322と接触することにより、上記弾性変位部324に予め所定の変位量を付与するように構成されている。より詳細には、一対の弾性変位付与片332の各先端部には、一対の押圧部322の各接触部323間に挿入される差込部333が設けられている。差込部333の幅は、各接触部323間の距離よりも若干長く、かつ上記内筒404の左右の幅よりも若干短く構成されており、差込部333が各接触部323間に挿入されることにより、一対の押圧部322を若干押し広げた状態(弾性変位部324に所定の変位量を付与した状態)に維持するようになっている。   As shown in FIG. 2, the elastic displacement imparting member 330 includes an annular base 331 and a pair of upper and lower elastic displacement imparting pieces 332 protruding from the base 331 toward the inner cylinder positioning member 320. . The pair of elastic displacement imparting pieces 332 constitutes an elastic displacement imparting portion, and is configured to impart a predetermined amount of displacement to the elastic displacement portion 324 in advance by contacting the pair of pressing portions 322. Has been. More specifically, an insertion portion 333 to be inserted between the contact portions 323 of the pair of pressing portions 322 is provided at each distal end portion of the pair of elastic displacement imparting pieces 332. The width of the insertion part 333 is configured to be slightly longer than the distance between the contact parts 323 and slightly shorter than the left and right widths of the inner cylinder 404, and the insertion part 333 is inserted between the contact parts 323. By doing so, the pair of pressing portions 322 are maintained in a slightly expanded state (a state in which a predetermined amount of displacement is applied to the elastic displacement portion 324).

上記外筒回転規制部材340は、図2に示すように、円板状の基部341と、該基部341から突出する円柱状のプラグ装着部342とを備えてなる。これら基部341およびプラグ装着部342には、中心軸A方向に延びる外筒挿通孔343が形成されている。この外筒挿通孔343は、外筒回転規制部を構成するものである。すなわち、この外筒挿通孔343は、図3に示すキー部418と係合する溝部344を備えるとともに、外筒402内に挿入された際に外筒402と接触し、該外筒402の上記中心軸W周りの回転を規制し得るような形状、大きさに形成されている。   As shown in FIG. 2, the outer cylinder rotation restricting member 340 includes a disk-shaped base portion 341 and a columnar plug mounting portion 342 protruding from the base portion 341. The base part 341 and the plug mounting part 342 are formed with outer cylinder insertion holes 343 extending in the direction of the central axis A. The outer cylinder insertion hole 343 constitutes an outer cylinder rotation restricting portion. That is, the outer cylinder insertion hole 343 includes a groove portion 344 that engages with the key portion 418 shown in FIG. 3, and comes into contact with the outer cylinder 402 when inserted into the outer cylinder 402. It is formed in a shape and size that can restrict rotation around the central axis W.

上述した内筒位置決め部材320、弾性変位付与部材330、および外筒回転規制部材340は、図1に示すように、それぞれの基部321,331,341がこの順に互いに重ねられた状態で、クランプ体310の縁部311内に組み込まれ、複数のネジ301(1つのみ例示)によりクランプ体310に固定される。   As shown in FIG. 1, the inner cylinder positioning member 320, the elastic displacement imparting member 330, and the outer cylinder rotation restricting member 340 described above are clamped in a state where the base portions 321, 331, and 341 are overlapped with each other in this order. It is incorporated in the edge 311 of 310 and is fixed to the clamp body 310 by a plurality of screws 301 (only one is illustrated).

<光コネクタプラグ用クランプ装置の作用>
以下、上述したクランプ装置300の作用について、図5を用いて説明する。図5は上記光コネクタプラグ用クランプ装置400の作用を示す図であり、同図(a)は外筒402の回転を規制した状態を、同図(b)はフェルール420の移動を規制した状態を、同図(a)は内筒404を位置決めした状態を、それぞれ示している。
<Operation of clamping device for optical connector plug>
Hereinafter, the operation of the above-described clamping device 300 will be described with reference to FIG. FIGS. 5A and 5B are diagrams showing the operation of the optical connector plug clamping device 400. FIG. 5A shows a state in which the rotation of the outer cylinder 402 is restricted, and FIG. 5B shows a state in which the movement of the ferrule 420 is restricted. The figure (a) has shown the state which positioned the inner cylinder 404, respectively.

図5(a)に示すようにプラグ400は、クランプ装置300に装着される際、まず、外筒402が外筒回転規制部材340の外筒挿通孔343内に挿入される。このとき、外筒挿通孔343の内面が外筒402の外面と接触し、外筒402が上記中心軸W周りに回転することが規制される。なお、この時点では、フェルール本体421はガイド筒313内に挿入されていない。このため、プラグ400の装着時に外筒402が中心軸W周りに捻られ、フェルール420に対して相対的な回転ずれを起こすことがない。   As shown in FIG. 5A, when the plug 400 is attached to the clamp device 300, first, the outer cylinder 402 is inserted into the outer cylinder insertion hole 343 of the outer cylinder rotation restricting member 340. At this time, the inner surface of the outer cylinder insertion hole 343 is in contact with the outer surface of the outer cylinder 402, and the outer cylinder 402 is restricted from rotating around the central axis W. At this time, the ferrule body 421 is not inserted into the guide tube 313. For this reason, the outer cylinder 402 is twisted around the central axis W when the plug 400 is attached, and a relative rotational deviation with respect to the ferrule 420 does not occur.

次に、図5(b)に示すようにプラグ400は、外筒挿通孔343により外筒402の回転が規制された状態で、フェルール本体421がガイド筒313内に挿入される。このとき、ガイド筒313の内周面がフェルール本体421の外周面と接触し、これによりフェルール420が中心軸Aと直角な方向へ移動することが規制される。   Next, as shown in FIG. 5B, in the plug 400, the ferrule body 421 is inserted into the guide cylinder 313 in a state where the rotation of the outer cylinder 402 is restricted by the outer cylinder insertion hole 343. At this time, the inner peripheral surface of the guide tube 313 is in contact with the outer peripheral surface of the ferrule body 421, thereby restricting the ferrule 420 from moving in a direction perpendicular to the central axis A.

次いで、図5(c)に示すようにプラグ400は、ガイド筒313によりフェルール420の移動が規制された状態で、内筒404の先端部が内筒位置決め部材320の各接触部323の間に挿入される。このとき、図2に示す弾性変位部324が、内筒404から受ける力により弾性的に変位し、この弾性変位部324が復元しようとする力により、一対の押圧部322は、内筒404に対し中心軸Wと直角な方向の押圧力を作用せしめて、該内筒404を位置決めする。なお、弾性変位付与部材330により、弾性変位部324には予め所定の変位量が付与されているので、内筒404が上記各接触部323と接触し始めた段階から適正な押圧力を内筒404に作用させ得る。このため、フェルール420および外筒402に対して内筒404を、再現性の高い適正な状態に位置決めすることが可能である。   Next, as shown in FIG. 5C, the plug 400 is in a state where the movement of the ferrule 420 is restricted by the guide cylinder 313, and the tip of the inner cylinder 404 is located between the contact portions 323 of the inner cylinder positioning member 320. Inserted. At this time, the elastic displacement part 324 shown in FIG. 2 is elastically displaced by the force received from the inner cylinder 404, and the pair of pressing parts 322 are moved to the inner cylinder 404 by the force that the elastic displacement part 324 tries to restore. On the other hand, a pressing force in a direction perpendicular to the central axis W is applied to position the inner cylinder 404. In addition, since a predetermined amount of displacement is applied to the elastic displacement portion 324 in advance by the elastic displacement applying member 330, an appropriate pressing force is applied from the stage when the inner tube 404 starts to contact the contact portions 323. 404 can be acted upon. For this reason, it is possible to position the inner cylinder 404 with respect to the ferrule 420 and the outer cylinder 402 in an appropriate state with high reproducibility.

さらに、操作レバー314を操作して、ガイド筒313内に挿通されたフェルール本体422を把持することにより、クランプ装置300へのプラグ400の装着が完了し、これにより、プラグ400およびクランプ装置300の各中心軸W,Aが互いに重なった状態で、プラグ400がクランプ装置300により保持される。   Further, by operating the operating lever 314 to grip the ferrule body 422 inserted into the guide tube 313, the mounting of the plug 400 to the clamping device 300 is completed, whereby the plug 400 and the clamping device 300 are The plug 400 is held by the clamp device 300 in a state where the central axes W and A overlap each other.

<顕微干渉計装置の構成>
以下、本発明による顕微干渉計装置の実施形態について、図6を用いて説明する。図6は本発明の一実施形態に係る顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
<Configuration of microscopic interferometer device>
Hereinafter, an embodiment of a microscopic interferometer apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a perspective view showing a part of the microscopic interferometer apparatus according to the embodiment of the present invention in a broken state.

図6に示す顕微干渉計装置1は、底板2、前板3(一部破断して図示)、後板4、隔壁板5およびカバーケース6(一部破断して図示)からなる装置筐体の内部に、電源部7、コントロールボックス8および干渉計本体部10を備えている。これらのうち、干渉計本体部10は、対物レンズユニット11、ピエゾユニット12、ハーフミラー・光源ユニット13、結像レンズユニット14、ミラーボックス15およびCCDカメラユニット16を備えてなる。また、上記前板3には、フォーカス調整ネジ20が設けられており、このフォーカス調整ネジ20のツマミ部22を回転させることにより、干渉計本体部10のフォーカス調整を行なえるようになっている。   A microscopic interferometer apparatus 1 shown in FIG. 6 includes an apparatus housing including a bottom plate 2, a front plate 3 (partially broken away), a rear plate 4, a partition plate 5 and a cover case 6 (partially broken away). Is provided with a power supply unit 7, a control box 8, and an interferometer body unit 10. Among these, the interferometer body 10 includes an objective lens unit 11, a piezo unit 12, a half mirror / light source unit 13, an imaging lens unit 14, a mirror box 15, and a CCD camera unit 16. The front plate 3 is provided with a focus adjustment screw 20, and the focus adjustment of the interferometer main body 10 can be performed by rotating a knob portion 22 of the focus adjustment screw 20. .

この干渉計本体部10は、対物レンズユニット11の前方の所定位置に保持された微小な被検体(不図示)に、不図示の光源からの光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させて得られる干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の3次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。   The interferometer body 10 irradiates a minute subject (not shown) held at a predetermined position in front of the objective lens unit 11 with light from a light source (not shown) separately from reference light. By measuring and analyzing the shape and change of interference fringes obtained by causing the object light reflected from the object to interfere with the reference light, the surface shape of the subject can be measured three-dimensionally and measured for physical properties.

また、上記前板3には、傾斜調整装置100が配されている。この傾斜調整装置100は、互いに対向配置された一対のL字状の第1および第2の基部材110,120を備え、第1および第2の傾斜調整ネジ140,150を操作することにより、支点部130を中心として、第1の基部材110に対する第2の基部材120の傾きを2軸調整できるようになっている。   In addition, an inclination adjusting device 100 is disposed on the front plate 3. The tilt adjusting device 100 includes a pair of L-shaped first and second base members 110 and 120 arranged to face each other, and by operating the first and second tilt adjusting screws 140 and 150, The tilt of the second base member 120 with respect to the first base member 110 can be adjusted biaxially with the fulcrum portion 130 as the center.

この傾斜調整装置100の第2の基部材120には、クランプ保持具200が取り付けられている。クランプ保持具200は、前段部210と後段部220とそれらを繋ぐ連結部230とを有してなり、その前段部210を3個の取付ネジ240により上記第2の基部材120に固定されている。クランプ保持具200の後段部220は、対物レンズユニット11の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部221が形成されており、この保持用凹部221内にクランプ装置300´を保持している。このクランプ装置300´は、上述したクランプ装置300とは態様が異なる従来技術のものである。なお、この顕微干渉計装置1の基本的な構成および作用は、前掲の特許文献2に開示されたものと同様であるので、より詳細な部分についてはそれを参照されたい。   A clamp holder 200 is attached to the second base member 120 of the tilt adjusting device 100. The clamp holder 200 includes a front step portion 210, a rear step portion 220, and a connecting portion 230 that connects them, and the front step portion 210 is fixed to the second base member 120 by three mounting screws 240. Yes. The rear stage 220 of the clamp holder 200 is located on the front side of the objective lens unit 11, and a holding recess 221 is formed at the center thereof, and the clamp device 300 ′ is held in the holding recess 221. is doing. This clamping device 300 ′ is of a prior art having a different aspect from the above-described clamping device 300. Since the basic configuration and operation of the microscopic interferometer apparatus 1 are the same as those disclosed in the above-mentioned Patent Document 2, refer to it for more detailed portions.

図6に示すクランプ装置300´に替えて、上述したクランプ装置300をクランプ保持具200に取り付けることができる。このクランプ装置300を具備した顕微干渉計装置1によれば、クランプ装置300により上述したプラグ400を再現性の高い状態で保持することができるので、高精度で信頼性の高い測定結果を得ることが可能となる。   Instead of the clamping device 300 ′ shown in FIG. 6, the above-described clamping device 300 can be attached to the clamp holder 200. According to the microscopic interferometer device 1 including the clamp device 300, the above-described plug 400 can be held in a highly reproducible state by the clamp device 300, so that a highly accurate and reliable measurement result can be obtained. Is possible.

なお、上記実施形態におけるクランプ装置300および顕微干渉計装置1は、垂直球面研磨型のフェルール420の測定以外にも、斜め球面研磨型のフェルールや斜め平面研磨型のフェルール、あるいは垂直平面研磨型のフェルールの測定にも用いることが可能である。   In addition, the clamp device 300 and the microscopic interferometer device 1 in the embodiment described above are not limited to the measurement of the vertical spherical polishing type ferrule 420, but are also an inclined spherical polishing type ferrule, an inclined flat surface polishing ferrule, or a vertical flat surface polishing type. It can also be used for measuring ferrules.

光コネクタプラグ用クランプ装置の断面図Cross section of clamp device for optical connector plug 光コネクタプラグ用クランプ装置の裏面側からの分解斜視図The exploded perspective view from the back side of the clamp device for optical connector plugs 光コネクタプラグの斜視図Perspective view of optical connector plug 光コネクタプラグの断面図Cross section of optical connector plug 光コネクタプラグ用クランプ装置の作用を示す図The figure which shows the effect | action of the clamp apparatus for optical connector plugs 顕微干渉計装置の斜視図Perspective view of microscopic interferometer device

符号の説明Explanation of symbols

1 顕微干渉計装置
2 底板
3 前板
4 後板
5 隔壁板
6 カバーケース
7 電源部
8 コントロールボックス
10 干渉計本体部
11 対物レンズユニット
12 ピエゾユニット
13 ハーフミラー・光源ユニット
14 結像レンズユニット
15 ミラーボックス
16 CCDカメラユニット
20 フォーカス調整ネジ
22 ツマミ部
100 傾斜調整装置
110 第1の基部材
120 第2の基部材
130 支点部
140 第1の傾斜調整ネジ
150 第2の傾斜調整ネジ
200 クランプ保持具
210 前段部
220 後段部
221 保持用凹部
230 連結部
240 取付ネジ
300 光コネクタプラグ用クランプ装置(クランプ装置)
300´ 従来のクランプ装置
301 ネジ
310 クランプ体
311 縁部
312 切欠部
313 ガイド筒(フェルール移動規制部)
314 操作レバー
320 内筒位置決め部材
321 基部
322 押圧部(内筒位置決め部)
323 接触部
324 弾性変位部
330 弾性変位付与部材
331 基部
332 弾性変位付与片(弾性変位付与部)
333 差込部
340 外筒回転規制部材
341 基部
342 プラグ装着部
343 外筒挿通孔(外筒回転規制部)
344 溝部
400 光コネクタプラグ(プラグ)
402 外筒
404 内筒
410 プラグ部材
412 孔部
413 凸部
414,416 段部
418 キー部
420 フェルール
421 フェルール本体
422 先端面
423 鍔部
424 円筒部
425 フェルール保持具
426 コイルバネ
427 キー溝部
430 光ファイバ
A (光コネクタプラグの)中心軸
W (クランプ装置の)中心軸

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microscopic interferometer apparatus 2 Bottom plate 3 Front plate 4 Rear plate 5 Bulkhead plate 6 Cover case 7 Power supply unit 8 Control box 10 Interferometer main unit 11 Objective lens unit 12 Piezo unit 13 Half mirror / light source unit 14 Imaging lens unit 15 Mirror Box 16 CCD camera unit 20 Focus adjustment screw 22 Knob part 100 Tilt adjustment device 110 First base member 120 Second base member 130 Support point part 140 First tilt adjustment screw 150 Second tilt adjustment screw 200 Clamp holder 210 Front part 220 Rear part 221 Holding recess 230 Connecting part 240 Mounting screw 300 Clamp device for optical connector plug (clamp device)
300 'Conventional clamping device 301 Screw 310 Clamp body 311 Edge 312 Notch 313 Guide tube (ferrule movement restricting portion)
314 Operation lever 320 Inner cylinder positioning member 321 Base 322 Pressing part (inner cylinder positioning part)
323 Contact portion 324 Elastic displacement portion 330 Elastic displacement imparting member 331 Base portion 332 Elastic displacement imparting piece (elastic displacement imparting portion)
333 Insertion part 340 Outer cylinder rotation restricting member 341 Base part 342 Plug mounting part 343 Outer cylinder insertion hole (outer cylinder rotation restricting part)
344 Groove 400 Optical connector plug (plug)
402 outer cylinder 404 inner cylinder 410 plug member 412 hole portion 413 convex portion 414, 416 step portion 418 key portion 420 ferrule 421 ferrule main body 422 distal end surface 423 flange portion 424 cylindrical portion 425 ferrule holder 426 coil spring 427 key groove portion 430 optical fiber A Central axis (for optical connector plug) W Central axis (for clamp device)

Claims (4)

外筒と、該外筒内に少なくとも一部が緩挿された状態で該外筒に保持された内筒と、該内筒内に少なくとも一部が緩挿された状態で該内筒に保持されたフェルールとを有してなる光コネクタプラグを、測定系に対し位置決めして保持するクランプ装置であって、
当該クランプ装置に前記光コネクタプラグが装着される際に前記外筒と接触し、該外筒が前記光コネクタプラグの中心軸周りに回転することを規制する外筒回転規制部と、
該外筒回転規制部により前記外筒の回転が規制された状態において前記フェルールと接触し、該フェルールが前記中心軸と直角な方向へ移動することを規制するフェルール移動規制部と、
該フェルール移動規制部により前記フェルールの移動が規制された状態において前記内筒と接触し、該内筒に対し前記中心軸と直角な方向の押圧力を作用せしめることにより、該内筒を位置決めする内筒位置決め部と、
を備えてなることを特徴とする光コネクタプラグ用クランプ装置。
An outer cylinder, an inner cylinder held in the outer cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the outer cylinder, and held in the inner cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the inner cylinder A clamp device for positioning and holding an optical connector plug having a ferrule formed with respect to a measurement system,
An outer cylinder rotation restricting portion that contacts the outer cylinder when the optical connector plug is attached to the clamp device and restricts the outer cylinder from rotating around the central axis of the optical connector plug;
A ferrule movement restricting portion that contacts the ferrule in a state where the rotation of the outer tube is restricted by the outer tube rotation restricting portion, and restricts the ferrule from moving in a direction perpendicular to the central axis;
The inner cylinder is positioned by making contact with the inner cylinder in a state where the movement of the ferrule is regulated by the ferrule movement restricting portion and applying a pressing force in a direction perpendicular to the central axis to the inner cylinder. An inner cylinder positioning part;
An optical connector plug clamping device comprising:
前記内筒位置決め部は、前記内筒との接触の際に該内筒から受ける力により弾性的に変位する弾性変位部を備え、該弾性変位部が復元しようとする力により前記押圧力を前記内筒に作用せしめるように構成されている、ことを特徴とする請求項1記載の光コネクタプラグ用クランプ装置。   The inner cylinder positioning part includes an elastic displacement part that is elastically displaced by a force received from the inner cylinder upon contact with the inner cylinder, and the pressing force is applied by the force that the elastic displacement part tries to restore. 2. The clamp device for an optical connector plug according to claim 1, wherein the clamp device is configured to act on the inner cylinder. 前記光コネクタプラグが装着される前の状態において前記内筒位置決め部と接触し、前記弾性変位部に予め所定の変位量を付与する弾性変位付与部、を備えていることを特徴とする請求項2記載の光コネクタプラグ用クランプ装置。   The elastic displacement imparting portion that contacts the inner cylinder positioning portion in a state before the optical connector plug is mounted and imparts a predetermined amount of displacement to the elastic displacement portion in advance. 3. A clamp device for an optical connector plug according to 2. 被検体の位相情報を担持した物体光と参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察する顕微干渉計装置であって、
請求項1〜3までのいずれか1項に記載された光コネクタプラグ用クランプ装置を具備してなることを特徴とする顕微干渉計装置。
A microscopic interferometer apparatus for observing interference fringes obtained by causing object light carrying phase information of an object to interfere with reference light,
A microscopic interferometer device comprising the optical connector plug clamping device according to any one of claims 1 to 3.
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