JP2007093557A - Clamp device for optical connector plug and microinterferometer device provided therewith - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、顕微干渉計装置(「干渉顕微鏡装置」とも称される)を用いて、フェルールの先端部の形状等を測定解析する際に、フェルールを保持してなる光コネクタプラグを、測定系に対し位置決めして保持する技術に関し、特に、フェルールを保持するプラグ部材が内筒と外筒とからなる場合に好適な光コネクタプラグ用クランプ装置およびこれを具備した顕微干渉計装置に関する。 The present invention relates to an optical connector plug that holds a ferrule when measuring and analyzing the shape and the like of the tip of the ferrule using a microscopic interferometer device (also referred to as “interference microscope device”). In particular, the present invention relates to a clamp device for an optical connector plug suitable for a case where a plug member for holding a ferrule includes an inner cylinder and an outer cylinder, and a microscopic interferometer apparatus including the same.
従来、フェルール先端面における球面偏心量等の測定を顕微干渉計により行なう際に、測定対象となるフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対し位置決めして保持するためのクランプ装置が、本願出願人により提案されている(下記特許文献1、2参照)。 Conventionally, a clamp for positioning and holding an optical connector plug, which holds a ferrule to be measured, with respect to a microscopic interferometer device when measuring the amount of spherical eccentricity, etc. at the tip surface of the ferrule with a microscopic interferometer An apparatus has been proposed by the applicant of the present application (see Patent Documents 1 and 2 below).
一般に、光コネクタプラグには、相手側と接続される際の位置合わせの指標となるキー(またはキー溝)が形成されており、フェルール先端面の球面偏心量等は、このキー位置を基準として測定される。しかし、光コネクタプラグにおいては、フェルールを収容する筒状のプラグ部材とフェルールとの間に、製造公差による所定量のガタ(特に、光コネクタプラグの中心軸周りに、フェルールがプラグ部材に対して相対的に回転する誤差)が許容されているため、プラグ部材側のキー位置に対するフェルールの位置が一意に定まらないという問題がある(下記特許文献3参照)。 In general, an optical connector plug is formed with a key (or key groove) that serves as an index for alignment when connected to the other side, and the spherical eccentricity of the ferrule tip surface is based on this key position. Measured. However, in an optical connector plug, a predetermined amount of play due to manufacturing tolerances between the cylindrical plug member that houses the ferrule and the ferrule (particularly around the central axis of the optical connector plug, the ferrule is connected to the plug member). Since the relative rotation error is allowed, there is a problem that the position of the ferrule with respect to the key position on the plug member side is not uniquely determined (see Patent Document 3 below).
そこで、下記特許文献1に開示されたクランプ装置は、測定時中にフェルールとプラグ部材とが相対的な回転ずれを起こさないように、クランプ装置がフェルールを保持している間、プラグ部材の回転を規制する回転規制部を備えている。また、下記特許文献2に開示されたクランプ装置は、回転規制部とプラグ装置との間にガタがある場合でも、光コネクタプラグを再現性良く保持し得るように、プラグ部材を押圧する押圧部を回転規制部に備えている。 Therefore, the clamping device disclosed in Patent Literature 1 below rotates the plug member while the clamping device holds the ferrule so that the ferrule and the plug member do not cause relative rotational deviation during measurement. A rotation restricting portion for restricting the rotation. In addition, the clamping device disclosed in Patent Document 2 below is a pressing portion that presses the plug member so that the optical connector plug can be held with good reproducibility even when there is a backlash between the rotation restricting portion and the plug device. Is provided in the rotation restricting portion.
しかし、上記特許文献1、2に記載されたクランプ装置は、フェルールの位置決めをするガイド筒内にフェルールを挿入しながら光コネクタプラグを装着していき、最終段階で回転規制部にプラグ部材を係合してプラグ部材の回転を規制するように構成されているため、次のような問題がある。 However, in the clamping devices described in Patent Documents 1 and 2, the optical connector plug is attached while inserting the ferrule into the guide cylinder for positioning the ferrule, and the plug member is engaged with the rotation restricting portion at the final stage. Since it is configured to restrict the rotation of the plug member, there is the following problem.
すなわち、上述のクランプ装置におけるガイド筒は、本来的には、フェルールが中心軸と直角な方向に移動することを規制するためのものであるが、ガイド筒に挿入された状態においては、ガイド筒の内周面にフェルールが接触するため、その摩擦抵抗によりフェルールの中心軸周りの回転も若干規制されることになる。このため、装着の仕方によっては、回転規制部にプラグ部材を係合する際に、ガイド筒内に挿入されたフェルールに対しプラグ部材を中心軸周りに捻る力が作用してしまい、フェルールとプラグ部材とが相対的な回転ずれを起こすことがある。このような不適正な状態で保持された光コネクタプラグは、フェルールとプラグ部材との相対位置が、測定時と使用時とで互いに異なったりするなど再現性が低いため、信頼性の高い測定結果を得られない虞があった。 In other words, the guide tube in the above-described clamping device is originally for restricting the ferrule from moving in a direction perpendicular to the central axis, but in a state where it is inserted into the guide tube, the guide tube Since the ferrule comes into contact with the inner peripheral surface, the rotation around the central axis of the ferrule is slightly restricted by the frictional resistance. For this reason, depending on the mounting method, when the plug member is engaged with the rotation restricting portion, a force that twists the plug member around the central axis acts on the ferrule inserted into the guide tube, and the ferrule and the plug There may be a relative rotational shift with the member. Optical connector plugs held in such an inappropriate state have low reproducibility, such as the relative position of the ferrule and the plug member differing from each other during measurement and during use, so the measurement results are highly reliable. There was a possibility that it could not be obtained.
また、光コネクタプラグには、プラグ部材が内筒と外筒とで構成されるものがあり(上記特許文献3参照)、このような光コネクタプラグにおいては、内筒と外筒との間にも製造公差による所定量のガタが許容されているが、上述のクランプ装置においては、このような構成の光コネクタプラグを、再現性の高い状態で保持することに対して、十分な配慮がなされていなかった。 Some optical connector plugs include a plug member composed of an inner cylinder and an outer cylinder (see Patent Document 3). In such an optical connector plug, there is a gap between the inner cylinder and the outer cylinder. However, a predetermined amount of play due to manufacturing tolerances is allowed, but in the above-described clamping device, sufficient consideration is given to holding the optical connector plug having such a configuration in a highly reproducible state. It wasn't.
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、光コネクタプラグの装着の仕方に左右されることなく、また、プラグ部材が内筒と外筒とで構成される光コネクタプラグであっても、これを、再現性の高い状態で保持することが可能な光コネクタプラグ用クランプ装置、およびこのようなクランプ装置を具備した顕微干渉計装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and is not affected by the manner in which the optical connector plug is mounted, and even if the plug member is an optical connector plug composed of an inner cylinder and an outer cylinder. An object of the present invention is to provide an optical connector plug clamping device capable of holding this in a highly reproducible state and a microscopic interferometer device equipped with such a clamping device.
上記課題を解決するため本発明では、外筒の回転が規制された状態においてフェルール移動を規制するとともに、フェルールの移動が規制された状態において内筒の位置決めをするようにしている。 In order to solve the above problems, in the present invention, the ferrule movement is restricted in a state where the rotation of the outer cylinder is restricted, and the inner cylinder is positioned in a state where the movement of the ferrule is restricted.
すなわち、本発明に係る光コネクタプラグ用クランプ装置は、
外筒と、該外筒内に少なくとも一部が緩挿された状態で該外筒に保持された内筒と、該内筒内に少なくとも一部が緩挿された状態で該内筒に保持されたフェルールとを有してなる光コネクタプラグを、測定系に対し位置決めして保持するクランプ装置であって、
当該クランプ装置に前記光コネクタプラグが装着される際に前記外筒と接触し、該外筒が前記光コネクタプラグの中心軸周りに回転することを規制する外筒回転規制部と、
該外筒回転規制部により前記外筒の回転が規制された状態において前記フェルールと接触し、該フェルールが前記中心軸と直角な方向へ移動することを規制するフェルール移動規制部と、
該フェルール移動規制部により前記フェルールの移動が規制された状態において前記内筒と接触し、該内筒に対し前記中心軸と直角な方向の押圧力を作用せしめることにより、該内筒を位置決めする内筒位置決め部と、を備えてなることを特徴とする。
That is, the clamping device for optical connector plug according to the present invention,
An outer cylinder, an inner cylinder held in the outer cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the outer cylinder, and held in the inner cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the inner cylinder A clamp device for positioning and holding an optical connector plug having a ferrule formed with respect to a measurement system,
An outer cylinder rotation restricting portion that contacts the outer cylinder when the optical connector plug is attached to the clamp device and restricts the outer cylinder from rotating around the central axis of the optical connector plug;
A ferrule movement restricting portion that contacts the ferrule in a state where the rotation of the outer tube is restricted by the outer tube rotation restricting portion, and restricts the ferrule from moving in a direction perpendicular to the central axis;
The inner cylinder is positioned by making contact with the inner cylinder in a state where the movement of the ferrule is regulated by the ferrule movement restricting portion and applying a pressing force in a direction perpendicular to the central axis to the inner cylinder. And an inner cylinder positioning portion.
本発明の光コネクタプラグ用クランプ装置において、内筒位置決め部は、内筒との接触の際に該内筒から受ける力により弾性的に変位する弾性変位部を備え、該弾性変位部が復元しようとする力により押圧力を内筒に作用せしめるように構成することができる。その場合、光コネクタプラグが装着される前の状態において内筒位置決め部と接触し、弾性変位部に予め所定の変位量を付与する弾性変位付与部を備えるようにすることが好ましい。 In the optical connector plug clamping device according to the present invention, the inner cylinder positioning portion includes an elastic displacement portion that is elastically displaced by a force received from the inner cylinder upon contact with the inner cylinder, and the elastic displacement portion is to be restored. The pressing force can be applied to the inner cylinder by the force In that case, it is preferable to provide an elastic displacement imparting portion that comes into contact with the inner cylinder positioning portion in a state before the optical connector plug is attached and applies a predetermined amount of displacement to the elastic displacement portion in advance.
また、本発明に係る顕微干渉計装置は、被検体の位相情報を担持した物体光と参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察する顕微干渉計装置であって、上述した本発明に係る光コネクタプラグ用クランプ装置を具備してなることを特徴とするものである。 A microscopic interferometer apparatus according to the present invention is a microscopic interferometer apparatus for observing interference fringes obtained by causing object light carrying phase information of a subject to interfere with reference light. The optical connector plug clamping device is provided.
本発明による光コネクタプラグ用クランプ装置においては、外筒の回転が規制された状態でフェルールの移動が規制され、その状態で、内筒の位置決めが行なわれる。また、内筒の位置決めは、内筒位置決め部により内筒に対し中心軸と直角な方向の押圧力が作用せしめられることによりなされる。 In the optical connector plug clamping device according to the present invention, the movement of the ferrule is restricted in a state where the rotation of the outer cylinder is restricted, and the inner cylinder is positioned in that state. The inner cylinder is positioned by applying a pressing force in a direction perpendicular to the central axis to the inner cylinder by the inner cylinder positioning portion.
これにより、光コネクタプラグの装着時に外筒を中心軸周りに捻るということが防止され、また、フェルールおよび外筒に対して内筒が、適正な状態で位置決めされる。したがって、光コネクタプラグを再現性の高い状態で保持することが可能となる。 This prevents the outer cylinder from being twisted around the central axis when the optical connector plug is attached, and the inner cylinder is positioned in an appropriate state with respect to the ferrule and the outer cylinder. Therefore, the optical connector plug can be held in a highly reproducible state.
また、本発明による顕微干渉計装置によれば、上述した光コネクタプラグ用クランプ装置により、光コネクタプラグを再現性の高い状態で保持することができるので、高精度で信頼性の高い測定結果を得ることが可能となる。 Further, according to the microscopic interferometer device of the present invention, the optical connector plug can be held in a highly reproducible state by the above-described optical connector plug clamping device, so that a highly accurate and reliable measurement result can be obtained. Can be obtained.
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。まず、測定対象とされるフェルールを保持してなる光コネクタプラグの構成例について、図3および図4を参照しながら説明する。図3は光コネクタプラグの斜視図であり、図4はその断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, a configuration example of an optical connector plug that holds a ferrule to be measured will be described with reference to FIGS. 3 and 4. 3 is a perspective view of the optical connector plug, and FIG. 4 is a sectional view thereof.
<光コネクタプラグの構成>
図4に示す光コネクタプラグ(以下「プラグ」と略称することがある)400は、筒状のプラグ部材410と、該プラグ部材410内に収容された垂直球面研磨型のフェルール420とを備えてなり、プラグ部材410は、外筒402と、該外筒402内に一部が収容、保持された内筒404とから構成されている。一方、フェルール420は、例えばジルコニアセラミックからなるフェルール本体421の外径中心に光ファイバ430の一端部を保持してなり、その先端面422は、不図示の相手側フェルールの先端面と密着し易いように凸球面状に研磨されている。
<Configuration of optical connector plug>
An optical connector plug (hereinafter also abbreviated as “plug”) 400 shown in FIG. 4 includes a
また、図4に示すように、フェルール本体421の後端部には、鍔部423と円筒部424とからなるフェルール保持具425が取り付けられている。フェルール420は、上記円筒部424にコイルバネ426が取り付けられた状態で上記内筒404内に収容され、内筒404の内面に形成された段部414と、外筒402の内面に形成された段部416とにより図中左右方向(プラグ400の中心軸Wの延伸方向)への抜脱がそれぞれ規制されている。また、上記コイルバネ426の弾性によって、フェルール420は前方に向けて定圧付勢されており、その先端面422が不図示の相手側フェルールの先端面に対し押圧されるように構成されている。
As shown in FIG. 4, a
また、フェルール保持具425の鍔部423には、中心軸Wを挟んで互いに対向する位置に、一対のキー溝部427(一方のみ図示)が形成されており、内筒404の内面には、この一対のキー溝部427と係合する一対のキー部(図示略)が形成されている。これら鍔部423側のキー溝部427と、内筒404側のキー部とが係合することにより、フェルール420の内筒404に対する中心軸W周りの回転が規制されるように構成されている。
Further, a pair of key groove portions 427 (only one is shown) is formed on the
また、外筒402の先端上部および先端下部には、中心軸Wを挟んで互いに対向する位置に、一対の孔部412が形成されており、内筒404の外面には、この一対の孔部412と係合する一対の凸部413が形成されている。これら外筒402側の孔部412と、内筒404側の凸部413とが係合することにより、内筒404の外筒402に対する図中左右方向への抜脱がそれぞれ規制されている。
In addition, a pair of
さらに、図3に示すように、外筒402および内筒404は、外筒402内に収容された内筒404の中心軸W周りの回転を規制し得るような形状、大きさに形成されている。また、外筒402の先端側面部には、相手側プラグと係合される際の位置合わせの指標(ガイド)となる凸状のキー部418が設けられている
上述したように、外筒402に対する内筒404の中心軸W周りの回転、および内筒404に対するフェルール420の中心軸W周りの回転は規制されているが、上述した各部材間には、それぞれの製造公差により若干のガタがあり、このためプラグ部材410に対してフェルール420は、中心軸W周りに所定の角度範囲での角度ずれが生じることが許容されている。
Further, as shown in FIG. 3, the
<光コネクタプラグ用クランプ装置の構成>
次に、本発明による光コネクタプラグ用クランプ装置の実施形態について、図1および図2を用いて説明する。図1は本発明の一実施形態に係る光コネクタプラグ用クランプ装置の断面図、図2はその裏面側からの分解斜視図である。なお、図2においては、構成をかなり簡略化して示している。
<Configuration of clamp device for optical connector plug>
Next, an embodiment of a clamp device for an optical connector plug according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical connector plug clamping device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view from the back side thereof. In FIG. 2, the configuration is shown in a considerably simplified manner.
図1、図2に示す光コネクタプラグ用クランプ装置(以下、単に「クランプ装置」と称することがある)300は、上述したプラグ400(図3、図4参照)を、測定系に対し位置決めして保持するものであり、クランプ体310、内筒位置決め部材320、弾性変位付与部材330、および外筒回転規制部材340を備えてなる。
The optical connector plug clamping device 300 (hereinafter sometimes simply referred to as “clamping device”) 300 shown in FIGS. 1 and 2 positions the above-described plug 400 (see FIGS. 3 and 4) with respect to the measurement system. And includes a
上記クランプ体310は、図1に示すように、円環状の縁部311を有する円板状の部材で構成されており、図中上部から図中下部へ向かって延びる切欠部312によって、部分的に分割されている。また、クランプ体310は、クランプ装置300の中心軸Aの延伸方向に突出した円筒状のガイド筒313を備えている。このガイド筒313は、フェルール移動規制部を構成するものであり、その内径は、図3、図4に示すフェルール本体422の外径と略同寸法に構成されている。すなわち、このガイド筒313は、フェルール本体422が挿通された際に、その内周面がフェルール本体422の外周面と接触することにより、フェルール420が上記中心軸Aと直角な方向へ移動することを規制するようになっている。
As shown in FIG. 1, the
また、このクランプ体310には操作レバー314が設けられており、この操作レバー314を操作することにより、上記ガイド筒313内に挿通されたフェルール本体422を、プラグ400およびクランプ装置300の各中心軸W,Aが互いに重なった状態で把持し得るように構成されている。なお、このクランプ体310の基本的な構成および作用は、前掲の特許文献2に開示されたものと同様であるので、より詳細な部分についてはそれを参照されたい。
The
上記内筒位置決め部材320は、図2に示すように、円環状の基部321と、該基部321から上記クランプ体310に向けて突出する左右一対の押圧部322とを備えてなる。この一対の押圧部322は、内筒位置決め部を構成するものであり、クランプ装置300にプラグ400が装着される際に、上記内筒404と接触し、該内筒404に対し上記中心軸Wと直角な方向に作用する押圧力を付与することにより、該内筒404を位置決めするように構成されている。より詳細には、一対の押圧部322は、中心軸Aを挟んで互いに対向する接触部323と弾性変位部324とを備えている。それぞれの接触部323間の距離は、上記内筒404の左右の幅よりも若干短く構成されており、クランプ装置300にプラグ400が装着される際に、各接触部323が上記内筒404の左右両側面に両側から挟むように接触するようになっている。一方、弾性変位部324は、各接触部323が内筒404に接触する際に、内筒404から受ける力により弾性的に変位するようになっており、一対の押圧部322は、この弾性変位部324が復元しようとする力により上記押圧力を内筒404に作用せしめるように構成されている。
As shown in FIG. 2, the inner
上記弾性変位付与部材330は、図2に示すように、円環状の基部331と、該基部331から上記内筒位置決め部材320に向けて突出する上下一対の弾性変位付与片332とを備えてなる。この一対の弾性変位付与片332は、弾性変位付与部を構成するものであり、上記一対の押圧部322と接触することにより、上記弾性変位部324に予め所定の変位量を付与するように構成されている。より詳細には、一対の弾性変位付与片332の各先端部には、一対の押圧部322の各接触部323間に挿入される差込部333が設けられている。差込部333の幅は、各接触部323間の距離よりも若干長く、かつ上記内筒404の左右の幅よりも若干短く構成されており、差込部333が各接触部323間に挿入されることにより、一対の押圧部322を若干押し広げた状態(弾性変位部324に所定の変位量を付与した状態)に維持するようになっている。
As shown in FIG. 2, the elastic
上記外筒回転規制部材340は、図2に示すように、円板状の基部341と、該基部341から突出する円柱状のプラグ装着部342とを備えてなる。これら基部341およびプラグ装着部342には、中心軸A方向に延びる外筒挿通孔343が形成されている。この外筒挿通孔343は、外筒回転規制部を構成するものである。すなわち、この外筒挿通孔343は、図3に示すキー部418と係合する溝部344を備えるとともに、外筒402内に挿入された際に外筒402と接触し、該外筒402の上記中心軸W周りの回転を規制し得るような形状、大きさに形成されている。
As shown in FIG. 2, the outer cylinder
上述した内筒位置決め部材320、弾性変位付与部材330、および外筒回転規制部材340は、図1に示すように、それぞれの基部321,331,341がこの順に互いに重ねられた状態で、クランプ体310の縁部311内に組み込まれ、複数のネジ301(1つのみ例示)によりクランプ体310に固定される。
As shown in FIG. 1, the inner
<光コネクタプラグ用クランプ装置の作用>
以下、上述したクランプ装置300の作用について、図5を用いて説明する。図5は上記光コネクタプラグ用クランプ装置400の作用を示す図であり、同図(a)は外筒402の回転を規制した状態を、同図(b)はフェルール420の移動を規制した状態を、同図(a)は内筒404を位置決めした状態を、それぞれ示している。
<Operation of clamping device for optical connector plug>
Hereinafter, the operation of the above-described
図5(a)に示すようにプラグ400は、クランプ装置300に装着される際、まず、外筒402が外筒回転規制部材340の外筒挿通孔343内に挿入される。このとき、外筒挿通孔343の内面が外筒402の外面と接触し、外筒402が上記中心軸W周りに回転することが規制される。なお、この時点では、フェルール本体421はガイド筒313内に挿入されていない。このため、プラグ400の装着時に外筒402が中心軸W周りに捻られ、フェルール420に対して相対的な回転ずれを起こすことがない。
As shown in FIG. 5A, when the
次に、図5(b)に示すようにプラグ400は、外筒挿通孔343により外筒402の回転が規制された状態で、フェルール本体421がガイド筒313内に挿入される。このとき、ガイド筒313の内周面がフェルール本体421の外周面と接触し、これによりフェルール420が中心軸Aと直角な方向へ移動することが規制される。
Next, as shown in FIG. 5B, in the
次いで、図5(c)に示すようにプラグ400は、ガイド筒313によりフェルール420の移動が規制された状態で、内筒404の先端部が内筒位置決め部材320の各接触部323の間に挿入される。このとき、図2に示す弾性変位部324が、内筒404から受ける力により弾性的に変位し、この弾性変位部324が復元しようとする力により、一対の押圧部322は、内筒404に対し中心軸Wと直角な方向の押圧力を作用せしめて、該内筒404を位置決めする。なお、弾性変位付与部材330により、弾性変位部324には予め所定の変位量が付与されているので、内筒404が上記各接触部323と接触し始めた段階から適正な押圧力を内筒404に作用させ得る。このため、フェルール420および外筒402に対して内筒404を、再現性の高い適正な状態に位置決めすることが可能である。
Next, as shown in FIG. 5C, the
さらに、操作レバー314を操作して、ガイド筒313内に挿通されたフェルール本体422を把持することにより、クランプ装置300へのプラグ400の装着が完了し、これにより、プラグ400およびクランプ装置300の各中心軸W,Aが互いに重なった状態で、プラグ400がクランプ装置300により保持される。
Further, by operating the operating
<顕微干渉計装置の構成>
以下、本発明による顕微干渉計装置の実施形態について、図6を用いて説明する。図6は本発明の一実施形態に係る顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
<Configuration of microscopic interferometer device>
Hereinafter, an embodiment of a microscopic interferometer apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a perspective view showing a part of the microscopic interferometer apparatus according to the embodiment of the present invention in a broken state.
図6に示す顕微干渉計装置1は、底板2、前板3(一部破断して図示)、後板4、隔壁板5およびカバーケース6(一部破断して図示)からなる装置筐体の内部に、電源部7、コントロールボックス8および干渉計本体部10を備えている。これらのうち、干渉計本体部10は、対物レンズユニット11、ピエゾユニット12、ハーフミラー・光源ユニット13、結像レンズユニット14、ミラーボックス15およびCCDカメラユニット16を備えてなる。また、上記前板3には、フォーカス調整ネジ20が設けられており、このフォーカス調整ネジ20のツマミ部22を回転させることにより、干渉計本体部10のフォーカス調整を行なえるようになっている。
A microscopic interferometer apparatus 1 shown in FIG. 6 includes an apparatus housing including a bottom plate 2, a front plate 3 (partially broken away), a rear plate 4, a partition plate 5 and a cover case 6 (partially broken away). Is provided with a power supply unit 7, a
この干渉計本体部10は、対物レンズユニット11の前方の所定位置に保持された微小な被検体(不図示)に、不図示の光源からの光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させて得られる干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の3次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。
The
また、上記前板3には、傾斜調整装置100が配されている。この傾斜調整装置100は、互いに対向配置された一対のL字状の第1および第2の基部材110,120を備え、第1および第2の傾斜調整ネジ140,150を操作することにより、支点部130を中心として、第1の基部材110に対する第2の基部材120の傾きを2軸調整できるようになっている。
In addition, an
この傾斜調整装置100の第2の基部材120には、クランプ保持具200が取り付けられている。クランプ保持具200は、前段部210と後段部220とそれらを繋ぐ連結部230とを有してなり、その前段部210を3個の取付ネジ240により上記第2の基部材120に固定されている。クランプ保持具200の後段部220は、対物レンズユニット11の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部221が形成されており、この保持用凹部221内にクランプ装置300´を保持している。このクランプ装置300´は、上述したクランプ装置300とは態様が異なる従来技術のものである。なお、この顕微干渉計装置1の基本的な構成および作用は、前掲の特許文献2に開示されたものと同様であるので、より詳細な部分についてはそれを参照されたい。
A
図6に示すクランプ装置300´に替えて、上述したクランプ装置300をクランプ保持具200に取り付けることができる。このクランプ装置300を具備した顕微干渉計装置1によれば、クランプ装置300により上述したプラグ400を再現性の高い状態で保持することができるので、高精度で信頼性の高い測定結果を得ることが可能となる。
Instead of the
なお、上記実施形態におけるクランプ装置300および顕微干渉計装置1は、垂直球面研磨型のフェルール420の測定以外にも、斜め球面研磨型のフェルールや斜め平面研磨型のフェルール、あるいは垂直平面研磨型のフェルールの測定にも用いることが可能である。
In addition, the
1 顕微干渉計装置
2 底板
3 前板
4 後板
5 隔壁板
6 カバーケース
7 電源部
8 コントロールボックス
10 干渉計本体部
11 対物レンズユニット
12 ピエゾユニット
13 ハーフミラー・光源ユニット
14 結像レンズユニット
15 ミラーボックス
16 CCDカメラユニット
20 フォーカス調整ネジ
22 ツマミ部
100 傾斜調整装置
110 第1の基部材
120 第2の基部材
130 支点部
140 第1の傾斜調整ネジ
150 第2の傾斜調整ネジ
200 クランプ保持具
210 前段部
220 後段部
221 保持用凹部
230 連結部
240 取付ネジ
300 光コネクタプラグ用クランプ装置(クランプ装置)
300´ 従来のクランプ装置
301 ネジ
310 クランプ体
311 縁部
312 切欠部
313 ガイド筒(フェルール移動規制部)
314 操作レバー
320 内筒位置決め部材
321 基部
322 押圧部(内筒位置決め部)
323 接触部
324 弾性変位部
330 弾性変位付与部材
331 基部
332 弾性変位付与片(弾性変位付与部)
333 差込部
340 外筒回転規制部材
341 基部
342 プラグ装着部
343 外筒挿通孔(外筒回転規制部)
344 溝部
400 光コネクタプラグ(プラグ)
402 外筒
404 内筒
410 プラグ部材
412 孔部
413 凸部
414,416 段部
418 キー部
420 フェルール
421 フェルール本体
422 先端面
423 鍔部
424 円筒部
425 フェルール保持具
426 コイルバネ
427 キー溝部
430 光ファイバ
A (光コネクタプラグの)中心軸
W (クランプ装置の)中心軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microscopic interferometer apparatus 2 Bottom plate 3 Front plate 4 Rear plate 5
300 '
314
323
333
344
402
Claims (4)
当該クランプ装置に前記光コネクタプラグが装着される際に前記外筒と接触し、該外筒が前記光コネクタプラグの中心軸周りに回転することを規制する外筒回転規制部と、
該外筒回転規制部により前記外筒の回転が規制された状態において前記フェルールと接触し、該フェルールが前記中心軸と直角な方向へ移動することを規制するフェルール移動規制部と、
該フェルール移動規制部により前記フェルールの移動が規制された状態において前記内筒と接触し、該内筒に対し前記中心軸と直角な方向の押圧力を作用せしめることにより、該内筒を位置決めする内筒位置決め部と、
を備えてなることを特徴とする光コネクタプラグ用クランプ装置。 An outer cylinder, an inner cylinder held in the outer cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the outer cylinder, and held in the inner cylinder in a state where at least a part is loosely inserted in the inner cylinder A clamp device for positioning and holding an optical connector plug having a ferrule formed with respect to a measurement system,
An outer cylinder rotation restricting portion that contacts the outer cylinder when the optical connector plug is attached to the clamp device and restricts the outer cylinder from rotating around the central axis of the optical connector plug;
A ferrule movement restricting portion that contacts the ferrule in a state where the rotation of the outer tube is restricted by the outer tube rotation restricting portion, and restricts the ferrule from moving in a direction perpendicular to the central axis;
The inner cylinder is positioned by making contact with the inner cylinder in a state where the movement of the ferrule is regulated by the ferrule movement restricting portion and applying a pressing force in a direction perpendicular to the central axis to the inner cylinder. An inner cylinder positioning part;
An optical connector plug clamping device comprising:
請求項1〜3までのいずれか1項に記載された光コネクタプラグ用クランプ装置を具備してなることを特徴とする顕微干渉計装置。
A microscopic interferometer apparatus for observing interference fringes obtained by causing object light carrying phase information of an object to interfere with reference light,
A microscopic interferometer device comprising the optical connector plug clamping device according to any one of claims 1 to 3.
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