JP2006306569A - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 回路基板上に実装するチップ部品などの微細なワークを確実に連続搬送することができ、かつ、操作も簡易であるワーク搬送装置を、より低価格で実現する。
【解決手段】 垂直ホイル10の周面部に、ワークを吸着保持するL字状溝に形成された多数の吸着部11を設ける。吸着部11におけるワークを載置する載置面が、垂直ホイル10の最上点である位置P1において水平面に対して15度傾斜するように形成する。、吸着部11へのワークの供給を、断面L字状のガイドによりガイドする。ガイドにおけるワークを載置する載置面が、水平面に対して15度傾斜するように形成する。垂直ホイル10により搬送されたワークを、これを吸着保持する多数の吸気孔22がリム部21上面に開口する水平ホイル20に移載して搬送する。
【選択図】 図1
【解決手段】 垂直ホイル10の周面部に、ワークを吸着保持するL字状溝に形成された多数の吸着部11を設ける。吸着部11におけるワークを載置する載置面が、垂直ホイル10の最上点である位置P1において水平面に対して15度傾斜するように形成する。、吸着部11へのワークの供給を、断面L字状のガイドによりガイドする。ガイドにおけるワークを載置する載置面が、水平面に対して15度傾斜するように形成する。垂直ホイル10により搬送されたワークを、これを吸着保持する多数の吸気孔22がリム部21上面に開口する水平ホイル20に移載して搬送する。
【選択図】 図1
Description
本発明はワーク搬送装置に関する。具体的には、回路基板上に実装するチップ部品などの微細なワークを移動させながら外観検査や特性試験等を行う場合に用いられるワーク搬送装置であって、ワークを確実に連続搬送することができるとともに、操作も簡易であるワーク搬送装置を、より低価格で実現せんとするものである。
従来より用いられているワーク搬送装置の構成例を、図6に示し説明する。ここで、図6は、この従来例の構成を概略的に示す正面図であり、説明を簡単にするため、装置各部を支持する支持部材の図示は、省略している。
図6において、60aおよび60bは、垂直方向に近接して並設された、表面に黒色のメッキを施した金属製の円板状の垂直ホイルである。これらの垂直ホイル60a,60bの構成は同一であり、下方の垂直ホイル60aは図面上で時計方向に、上方の垂直ホイル60bは反時計方向に、図示されてはいないパルス・モータの駆動により、それぞれ所定の同一回転角度で同期して回転する。
この同期して回転する各垂直ホイル60a,60bの周面部には、ワークを吸着して保持するための、V字状溝に形成された多数の吸着部61a,61bが、それぞれ等間隔に歯車状に設けられている。この吸着部61a,61bの底部には、ここでは図示されてはいない吸気孔が開口している。吸着部61a,61bにより吸着保持されるワークのサイズは、例えば、1.6mm×0.8mm×0.8mm、1.0mm×0.5mm×0.5mmである。
そこで、このように構成されたワーク搬送装置により、ワークを搬送させる場合は、まず、下方の垂直ホイル60aの最下点である位置P1において、ワークを垂直ホイル60aに供給する。すなわち、フィーダ(図示せず)により供給されるワーク100が、ガイドにガイドされて垂直ホイル60a最下点の下方の位置まで移動すると、図7(a)に示すように、吸着部61a底部に開口している吸気孔62aを介する吸気により、ガイド70上のワーク100は、吸着部61aのV字状溝に嵌合するようにして吸着保持される。
その後、吸着部61aに吸着保持されたワーク100は、回転する垂直ホイル60aにより、上方に向けて搬送される。そして、図7(b)に示すように、垂直ホイル60aの最上点の位置P2まで達すると、吸気孔62aを介する吸気が解除される。同時に、図7(c)に示すように、上方の垂直ホイル60bの吸着部61b底部に開口する吸気孔62bを介する吸気により、ワーク100は、上方の垂直ホイル60bの吸着部61bに吸着保持されて上方の垂直ホイル60bに移載する。その後は、回転する垂直ホイル60bにより上方に向けて搬送され、所定の位置に達すると、装置より排出される。
以上のようにして上下2つの垂直ホイル60a,60bによりワーク100が搬送される過程において、ワーク100の外観検査であれば、図8(a)に示すワーク100の6面A〜Fについて、傷や汚れなどの有無を検査するために、撮像手段により撮像が行われる。すなわち、ワーク100の4つの面A〜Dについては、図8(b)に示すように、下方の垂直ホイル60aによりワーク100が搬送されている過程において、所定の位置にそれぞれ配置された4つの撮像手段(図示せず)により撮像され、そのうちの2つの面A,Dについては各矢印が示す方向から、他の2つの面B,Cについては紙面に垂直の方向からそれぞれ撮像する。
これに対して、ワーク100の残りの2つの面E,Fについては、図8(c)に示すように、上方の垂直ホイル60bにより搬送されている過程において、所定の位置にそれぞれ配置された2つの撮像手段により、各矢印が示す方向からそれぞれ撮像する。
しかしながら、図6に示した従来例によると、つぎのような解決すべき課題がある。第1に、下方の垂直ホイル60aから上方の垂直ホイル60bに、ワーク100を確実に移載させるためには、図9(a)に示すように、各垂直ホイル60a,60b双方の吸着部61a,61bが、1点鎖線で示す基準位置Sで正対向するようにしなければならない。しかし、そのための駆動系の調整は、各垂直ホイル60a,60bの加工精度の良否と相俟って必ずしも容易ではない。図9(b)に示すように、各吸着部61a,61bの位置調整が不整であると、ずれた各垂直ホイル60a,60b間に、ワーク100が噛み込まれて、傷付いたり破壊されてしまうことになる。
第2に、ワークの形状によっては、図9(c)に示すように、各吸着部61a,61bが正対向しないように調整しなければならない場合もある。しかし、この調整も正対向させる場合と同様に必ずしも容易ではなく、調整が不整であれば、ワーク101は、傷付いたり破壊されてしまう。
第3に、ワーク100が、各吸着部61a,61b間の間隔を変えることによって対処し得るサイズの場合は、各垂直ホイル60a,60bの配設位置を調整し直すことになる。しかし、サイズが異なる毎に、その都度、調整し直さなければならないという煩わしさを伴う。しかも、その調整も必ずしも容易ではない。また、その間は、装置の作動を停止せざるを得ず、良好な作業性が得難いことになる。
第4に、ワーク100のサイズが、各吸着部61a,61b間の間隔を変えることによっては対処できない場合には、サイズが異なる毎に、そのサイズに適合した垂直ホイル60a,60bを用いなければならない。しかし、垂直ホイル60a,60bは、高い加工精度が要求されることもあって、極めて高価格である。したがって、ワーク100の外観検査、特性試験などにおけるコスト増を招いてしまうことになる。
第5に、ワーク100のサイズが大きく、したがって重量が大きい場合は、下方の垂直ホイル60aから上方の垂直ホイル60bに移載する際、ワーク100を確実に吸引することができず、ワーク100を垂直ホイル60bから落下させてしまうことがある。ワーク100を落下させてしまえば、落下したワーク100は、不良品として使用することができないことになる。
第6に、各垂直ホイル60a,60bの表面に黒色のメッキを施していることから、装置の使用を長期間継続すると、次第にメッキが剥離する。しかし、メッキが剥離すると、ワーク100の外観検査の場合、ワーク100を撮像する際の背景が、黒色一色から不規則模様に変化し、ワーク100の外観検査にとって障害要因となってしまう。以上のような解決すべき様々な課題が、図6に示した従来例にはあった。
そこで、上記課題を解決するために、本発明はなされたものである。そのために、本発明では、つぎのような手段を用いるようにした。すなわち、ワークを吸着保持するL字状溝に形成された多数の吸着部が周面部に設けられた垂直ホイルにより、ワークを搬送する。垂直ホイルの吸着部へのワークの供給は、断面L字状のガイドによりガイドする。垂直ホイルにより搬送されたワークを、ワークを吸着保持する多数の吸気孔が周縁部上面に開口する水平ホイルに移載して搬送する。以上のような手段を、本発明では用いるようにした。
本発明によるならば、垂直ホイルと水平ホイルを用いるようにしたので、図6に示した従来例におけるような、2つの垂直ホイルにおける対向する吸着部の煩雑な位置調整が不要であり、操作設定が著しく簡易である。のみならず、ワークが垂直ホイル間に噛み込まれて、損傷したり破壊されたりするようなことがなく、装置としての信頼性を高めることができる。
また、異なるサイズ・形状のワークであっても、それが近似範囲内であれば、単一の垂直ホイルによって対応することができる。すなわち、高い加工精度が要求され高価格である垂直ホイルは、1つのみ用意すれば足りるので、低コスト化を実現することができる。しかも、ワークのサイズ・形状が異なる毎に、その都度、別の垂直ホイルを配設し直す煩わしさを回避できることから、ワークの外観検査や特性試験などの作業性を高めることが可能となる。
さらに、垂直ホイルにおけるワークを吸着保持する吸着部を、V字状溝ではなくL字状溝に形成したので、サイズ・形状の異なるワークであっても、それが近似範囲内であれば、垂直ホイルを交換することなく対応することが可能である。同様に、吸着部にワークをガイドするガイドを、断面凹字状ではなくL字状に形成したことから、サイズ・形状の異なるワークであっても、そのまま対応することができる。しかも、断面凹字状のガイドの場合に生ずる、ワークが回転して角部がガイドの内壁に押圧されることによる損傷や破壊を防止することができる。
そのうえ、水平ホイルは、上面が平坦な周縁部においてワークを吸着することから、垂直ホイルの加工精度に左右されることなく、必要な仕上がり精度を確保し易い。その結果、素材として合成樹脂を用いることも可能であり、安価に作製することができるので、この面からも低コスト化を図ることができる。
しかも、黒色の合成樹脂を用いるならば、長期間にわたって継続使用しても、メッキのように剥離して不規則模様に変化することがない。したがって、ワークの外観検査をする場合は、ワークを撮像する際の背景が黒色一色に維持され、検査者の良否判定を容易なものとすることができる。したがって、ワークの外観検査、特性試験などにおいて本発明がもたらす効果は、従来例に比して極めて大きい。
本発明を実施するための最良の形態を、図1ないし図4に示し説明する。ここで、図1は、本発明によるワーク搬送装置の構成を示す、一部を切り欠いて断面表示した正面図、図2は平面図であり、図3および図4は、それぞれ図1の一部の拡大図である。なお、図1および図2では、説明の簡単のため、装置各部の支持部材の図示は省略している。
図1において、図6に示した従来例の構成と異なるところは、ワークを搬送する手段として、垂直方向に配した垂直ホイル10と、水平方向に配した水平ホイル20とを用いていることである。垂直方向に配した垂直ホイル10は、図6における各垂直ホイル60a,60bと同じく、円板状に形成されており、表面に黒色のメッキを施した金属製である。この垂直ホイル10は、図面上で反時計方向に回転し、図2に示すように、水平ホイル20の直径方向において部分的に水平ホイル20の上方に入り込んで配置されている。
他方、水平ホイル20は、扁平な円缶状に形成され、黒色の合成樹脂製である。この水平ホイル20は、垂直ホイル10と同期して図2上で反時計方向に回転し、垂直方向における配設位置を調整できるようになっている。また、輪周であるリム部21には、その上面に開口する多数の吸気孔22が、等間隔に穿設されている。このリム部21の上面は平坦であって、垂直ホイル10の加工精度に左右されることなく、必要な仕上がり精度を確保し易いことから、上述のように、水平ホイル20の素材として合成樹脂が用いられている。したがって、安価に作製することが可能である。なお、合成樹脂であれば、ワーク100が傷付くのを減少させることができるという利点もある。
図1において、垂直ホイル10の周面部には、ワークを吸着して保持するための多数の吸着部11が設けられている。ワークは、垂直ホイル10の最上点である位置P1において、フィーダ(図示せず)により供給されて吸着部11で吸着保持される。そして、垂直ホイル10の最下点より若干回転上昇した位置P2において、吸着部11による吸着保持が解除されて、水平ホイル20に移載する。
図3(a)は、図1の位置P1における吸着部11を拡大図示している。ここにおける吸着部11は、1点鎖線で示すワーク100を載置する、吸気孔14が開口している載置面12と、ワーク100の1つの面を支持する、載置面12と直交する支持面13とからなるL字状溝に形成されている。ワーク100を載置する載置面12は、図1の位置P1において、水平面に対して15度傾斜している。
また、位置P1には、図3(b)に示すように、フィーダにより供給されるワーク100を吸着部11にガイドする、断面L字状に形成された無振動式のガイド30が、位置P1で吸着部11が停止したときに吸着部11と並列するように近接して配設されている。そして、位置P1で吸着部11が停止した際、ガイド30におけるワーク100を載置する載置面31は、吸着部11の載置面12と同一平面上にあり、ワーク100の1つの面を支持する支持面32は、吸着部11の支持面13と同一平面上にある。したがって、ガイド30の載置面31は、図3(c)に示すように、吸着部11と同じく水平面に対して15度傾斜している。
なお、ガイド30の断面形状は、凹字状ではなくL字状であるので、図3(c)において2点鎖線で示すようなサイズ・形状のワーク101であっても、対応が可能である。すなわち、近似範囲内にあるサイズ・形状のワーク101に対する自由度を有している。このことは、L字状溝に形成された吸着部11にあっても、同じである。また、ガイドの断面形状が凹字状の場合は、ワーク100が回転して角部がガイドの内壁に当接すると、その状態でワーク100が押圧されてしまい、傷付いたり破壊されることがあるが、断面L字状に形成すれば、そのような欠点は解消される。
図4(a)は、ワーク100が垂直ホイル10から水平ホイル20に移載する位置P2(図1)における吸着部11と、水平ホイル20との位置関係を、拡大図示したものである。位置P2では、垂直ホイル10および水平ホイル20の各1ステップ回転毎に、垂直ホイル10の吸着部11が、下方の水平ホイル20のリム部21に穿設された吸気孔22と所定の間隔をおいて対向するようになっている。
すなわち、垂直ホイル10および水平ホイル20の各1ステップ回転毎に、1点鎖線で示すワーク100は、この位置P2で吸着部11による吸着保持が解除され、図4(b)に示すように、リム部21に穿設された吸気孔22を介する吸気により、水平ホイル20に移載する。吸着部11と水平ホイル20のリム部21との間隔は、ワーク100のサイズに応じて、水平ホイル20の垂直方向における配設位置を変えることにより、適宜調整することができる。
以上のように構成された本発明によるワーク搬送装置により、ワーク100を搬送させる場合は、既述したように、まず、垂直ホイル10の最上点である位置P1(図1)において、ワーク100を垂直ホイル10に供給する。すなわち、フィーダにより供給されるワーク100は、ガイド30(図3(b))にガイドされて、吸着部11の載置面12(図3(a))上に移動する。
その際、ガイド30の載置面31は、水平面に対して15度傾斜している。その結果、ワーク100は、その自重によりガイド30の支持面32に押し付けられるので、ガイド30の断面形状が凹字状ではなくL字状に形成されていても、ワーク100がガイド30より落下することはない。したがって、サイズが大きく自重が大きいワーク100ほど、ガイド30より落下することはないことになる。
ガイド30によりガイドされて吸着部11の載置面12上に移動したワーク100は、載置面12に開口する吸気孔14を介する吸気により吸着保持される。その際も、吸着部11の載置面12は、水平面に対して15度傾斜していることから、ワーク100は、その自重により吸着部11の支持面13に押し付けられた状態で吸着保持される。
その後、吸着部11に吸着保持されたワーク100は、回転する垂直ホイル10により、下方に向けて搬送される。そして、図1の位置P2まで到達すると、吸気孔14を介する吸気が解除される。同時に、水平ホイル20のリム部21上面に開口する吸気孔22を介する吸気により、ワーク100は、水平ホイル20のリム部21に吸着保持されて搬送され、所定の位置まで達すると、装置より排出される。
以上のようにして垂直ホイル10および水平ホイル20によりワーク100が搬送される過程において、ワーク100の外観検査を行うのであれば、図5(a)に示すワーク100の6面A〜Fについて、撮像手段による撮像が行われる。すなわち、ワーク100の4つの面A〜C,Eについては、図5(b)に示すように、垂直ホイル10によりワーク100が搬送されている過程において、所定の位置にそれぞれ配置された4つの撮像手段により撮像され、そのうちの2つの面A,Eについては各矢印が示す方向から、他の2つの面B,Cについては紙面に垂直の方向からそれぞれ撮像する。
これに対して、ワーク100の残りの2つの面D,Fについては、図5(c)に示すように、水平ホイル20により搬送されている過程において、所定の位置にそれぞれ配置された2つの撮像手段により、各矢印が示す方向からそれぞれ撮像する。
以上においては、垂直ホイル10の周面部に設けられる吸着部11の、ワーク100を載置する載置面12(図3(a))が、垂直ホイル10の最上点である位置P1において水平面に対して15度傾斜している場合について説明した。しかし、本発明は、これに限定されるものではない。位置P1において水平面に対して5〜30度傾斜している場合に、本発明は適用され得るものである。
また、水平ホイル20の素材として、合成樹脂を用いる場合について説明した。垂直ホイル10は、微細なワーク100を吸着する多数のL字状溝の吸着部11が周面部に設けられるので、合成樹脂を用いては高い仕上がり精度を確保することは困難である。これに対して、水平ホイル20は、ワーク100を吸着するリム部21の上面が平坦であって、必要な精度を確保し易いことから、その素材として合成樹脂を用いて低コスト化を図ったものである。
しかし、本発明は、水平ホイル20の素材として合成樹脂を用いる場合にのみ限られるものではない。金属(例えば、アルミニウム)を用いる場合にも、本発明は適用し得るものである。
さらに、水平ホイル20の形状を扁平な円缶状に形成して、リム部21に吸気孔22を穿設する場合について説明した。しかし、本発明は、これに限定されるものではない。その他にも、例えば、円板状に形成してその周縁部に吸気孔を穿設する場合にも、本発明は適用することができるものである。
10 垂直ホイル
11 吸着部
12 載置面
13 支持面
14 吸気孔
20 水平ホイル
21 リム部
22 吸気孔
30 ガイド
31 載置面
32 支持面
60a,60b 垂直ホイル
61a,61b 吸着部
62a,62b 吸気孔
70 ガイド
100,101 ワーク
A〜F 面
S 基準位置
11 吸着部
12 載置面
13 支持面
14 吸気孔
20 水平ホイル
21 リム部
22 吸気孔
30 ガイド
31 載置面
32 支持面
60a,60b 垂直ホイル
61a,61b 吸着部
62a,62b 吸気孔
70 ガイド
100,101 ワーク
A〜F 面
S 基準位置
Claims (4)
- ワーク(100,101)を吸着保持するためのL字状溝に形成された多数の吸着部(11)が周面部に等間隔に設けられた、前記ワークを搬送するための垂直方向に配設された垂直ホイル(10)と、
前記垂直ホイルにより搬送された前記ワークを移載して搬送するための、前記ワークを吸着保持するための多数の吸気孔(21)が周縁部上面に開口する水平方向に配設された水平ホイル(20)と、
前記垂直ホイルの前記周縁部に設けられた前記多数の吸着部への前記ワークの供給をガイドするための、断面L字状に形成されたガイド(30)とを
具備したワーク搬送装置。 - 前記吸着部における前記ワークを載置する載置面(12)が、前記垂直ホイルの最上点(P1)において水平面に対して5〜30度傾斜し、前記ガイドにおける前記ワークを載置する載置面(31)が前記水平面に対して5〜30度傾斜したものである請求項1記載のワーク搬送装置。
- 前記水平ホイルの素材が合成樹脂である請求項1または2記載のワーク搬送装置。
- 前記合成樹脂が黒色である請求項3記載のワーク搬送装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Family
ID=37473905
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-
2005
- 2005-04-28 JP JP2005130690A patent/JP2006306569A/ja active Pending
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080408 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110121 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A02 | Decision of refusal |
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