JP2006238001A - 圧電振動片および圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】 ＣＩ値を抑え、かつ振動特性を悪化させることなく小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された基部５１と、前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法Ｗ１が、前記振動腕の前記基部５１に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部７１と、該縮幅部７１の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部７２と、該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部７３につながる幅変化の変更点Ｐとを有する圧電振動片である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、圧電振動片と、パッケージやケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスの改良に関する。

ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器や圧電ジャイロセンサー等において、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図５は、圧電デバイスに従来より用いられている圧電振動片の一例を示す概略平面図であり、図６は図５のＢ−Ｂ線切断端面図である。

図において、圧電振動片１は、水晶などの圧電材料をエッチングすることにより、図示する外形を形成するもので、パッケージ（図示せず）等に取付けられる矩形の基部２と、基部２から図において右方に延長された一対の振動腕３，４を備えており、これら振動腕の主面（表裏面）に長溝３ａ，４ａを形成するとともに、必要な駆動用の電極を形成したものである（特許文献１参照）。
このような圧電振動片１においては、駆動用の電極を介して駆動電圧が印加されると、各振動腕３，４の先端部を近接・離間するようにして、屈曲振動することにより、所定の周波数の信号が取り出されるようになっている。

ところで、このような圧電振動片１は、これを利用した圧電デバイスが取付けられる上記した種々の製品の小型化にともない、小型に形成することがもとめられており、このため、圧電振動片１もできる限り小型に形成しなければならず、特にその全長ＡＬ１を小さくすることがもとめられる。そして、製品の小型化は不断に進展していることから、圧電振動片１においては、より小型に形成していくことができる構造がもとめられている。

ここで、図示のような音叉型圧電振動片である圧電振動片１の周波数ｆは、振動腕３，４の長さをｌ、腕幅をｗとした場合、ｗ／ｌ×２に比例する。
このことは、一方向に長い圧電振動片１を小型化しようとして、図５における全長ＡＬ１の大きさを小さくしようとする場合、振動腕の長さｌを短くすると、周波数が高くなることを意味する。また、振動腕の幅ｗが小さくなると、周波数は下がる。このことから、従来の周波数を維持して、小型化を図るためには、振動腕の長さをある程度短くしつつ腕幅ｗを小さくしなければならない。

特開２００２−２６１５７５

ところで、圧電振動片１を小型化する上では、これまでの周波数である例えば３２ｋＨｚ（３２．７６８ｋＨｚ）を維持するために、振動腕３，４の長さｌを短くし、腕幅ｗを小さくすることがもとめられるが、小型の圧電振動片１を加工する上では、その特性を維持しながら、特に腕幅ｗを小さく加工しようとすると、以下のような困難がある。

具体的には、振動腕３，４には、図６に示すような長溝３ａ，４ａを加工する必要がある。図６のｔの寸法は、例えば、材料として水晶ウエハなどを利用する場合、加工の条件に拘束されるため変化しないので、これまでのものが例えば１００μｍである場合においては、小型化する場合にも１００μｍである。
これに対して、腕幅ｗは、これまでのものが１００μｍであったものを、小型化により５０μｍ程度とする場合を考える。腕幅１００μｍの際に、溝幅Ｃ１が７０μｍ程度、側壁厚みＳ１，Ｓ１がそれぞれ１５μｍ程度づつあったものが、腕幅ｗを５０μｍ程度とすると、溝幅Ｃ１が４０μｍ程度、側壁厚みＳ１，Ｓ１はそれぞれ５μｍ程度づつとしなければならない。

このような圧電振動片を作った場合には、振動腕３，４の剛性は大きく低下し、駆動電圧の印加による上述の屈曲振動の際には、図６におけるＺ方向の振幅が加わり、振動腕３，４のＸ方向に沿った屈曲振動が、矢印ＳＦ，ＳＦで誇張して示すような屈曲振動になってしまう。
図７は、従来構造のまま圧電振動片を小型化した場合のドライブ特性を示すグラフであり、図の横軸に沿って、駆動パワーのレベルを徐々に増大させると、縦軸の周波数変化がマイナス方向に生じる。このことは、図６のＺ方向振動の成分が多くなって、エネルギーロスの多い振動となってしまうことを示しており、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の増大の原因となる。

また、ＣＩ値を抑制するための効果的な対策としては、図５で説明した長溝３ａ，４ａを長くして、駆動用の電極を形成する面積を増やす方法がある。しかしながら、圧電振動片には、複数の振動モードがあり、通常使用される基本波は、例えば３２．７６８ｋＨｚで、これに対して、圧電振動片１の２次の高調波は、２５０ｋＨｚ付近にある。長溝３ａ，４ａを長くして、基本波のＣＩ値を低くできたとしても、２次の高調波のＣＩ値も低くなることで、高調波のＣＩ値／基本波のＣＩ値であるＣＩ値比が小さくなると、ドライブ特性が悪化する。

すなわち、図８はこのようなＣＩ値比が悪くなった状態を示しており、ＣＩ値比が１よりも小さく、マイナスとなると、圧電振動片１において、基本波で励振させようとする際に、駆動電圧を変化させることにより、そのドライブレベルを変化させると、基本波で正常に振動していた状態に、２次の高調波が作用してパラメトリック励振と呼ばれる異常発振が発生して、励振状態が不安定になる。

本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、ＣＩ値を抑え、かつ振動特性を悪化させることなく小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。

上記目的は、第１の発明にあっては、圧電材料により形成された基部と、前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Ｐとを有する圧電振動片により、達成される。

第１の発明の構成によれば、前記振動腕には、長溝が形成されて、溝内に駆動用電極が設けられることによって、振動腕を構成する圧電材料の電界効率が高められている。一方、長溝が形成されている領域は、その分剛性が低下している。
このため、振動腕に縮幅部を形成することで、振動腕の付け根付近の剛性は、先端側と比較して高くされているので、屈曲振動を安定させＣＩ値を低減し、しかも２次の高調波における振動の際の振動の「節」をより先端側に位置させることができると考えられる。このことにより、長溝を長くして圧電材料の電界効率を上げ、かつ屈曲振動を安定させることで、基本波のＣＩ値を抑制しても、このことが、２次の高調波のＣＩ値の低下を招くことがないようにすることができる。
また、前記ストレート部を設けることで、このストレート部が形成された長さ範囲の剛性は低下せず、さらに、前記変更点Ｐから先の腕幅を拡大している。このことは、振動腕の屈曲振動において、錘として作用する部分を先端側に位置されることができ、２次の高調波における振動の際の振動の「節」をより先端側に位置させることができると考えられるので、基本波のＣＩ値を抑制しながら、２次の高調波のＣＩ値の低下を招くことが一層確実に行えるから、２次の高調波による発振が生じにくい。
かくして、小型化しても、基本波のＣＩ値だけを低く抑えることができ、ドライブ特性が悪化することがない圧電振動片を提供することができる。

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記縮幅部を第１の縮幅部として、さらに前記振動腕の前記基部に対する付け根から、前記第１の縮幅部が始まる箇所までの間で、先端側に向かって急激に縮幅する第２の縮幅部を備えることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、振動腕の付け根付近は、第２の縮幅部により、剛性が一層強化されている。これにより、振動腕の屈曲振動を一層安定させることができ、基本波のＣＩ値の抑制をはかることができる。

第３の発明は、第１または２のいずれかの発明の構成において、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームを備えることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、基部の一端から屈曲振動する振動腕が伸びていて、所定長さの前記基部の他端から、支持用アームが延びている。このため、支持用アームがパッケージなどの基体側に接着などにより接合された場合においては、周囲温度の変化や、落下衝撃などを原因として、その接合箇所に生じた応力変化が、支持用アームの接合箇所から、前記基部の他端までの距離を隔てて、さらには基部の所定長さの距離を隔てて振動腕に影響を与えることはほとんどなく、このため、特に温度特性が良好となる。
しかも、これとは逆に屈曲振動する振動腕からの振動漏れは、基部を隔てた支持用アームに達するまでに基部の所定長さを隔てていることから、ほとんど及ぶことがない。すなわち、基部長さが極端に短いと、屈曲振動の漏れた成分が支持用アーム全体に拡がり、制御が困難となる事態が考えられるが、この発明において、そのようなおそれがない。
そして、このような作用を得ることができる上に、支持用アームは、基部の他端から幅方向に延長され、振動腕の外側で、この振動腕と同じ方向に延びる構成としたから、全体の大きさをコンパクトにすることができる。

また、上記目的は、第４の発明にあっては、パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、圧電材料により形成された基部と、
前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Ｐとを有する圧電デバイスにより、達成される。

図１および図２は、本発明の圧電デバイスの第１の実施形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線切断端面図、図３は図１の圧電振動片３２の振動腕３５，３６を含む部分の部分拡大平面図である。
これらの図において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス３０は、基体であるパッケージ５７内に圧電振動片３２を収容している。
パッケージ５７は、図１および図２に示すように、例えば、矩形の箱状に形成されている。具体的には、パッケージ５７は、第１の基板５５と第２の基板５６とを積層して形成されており、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して図示の形状とした後で、焼結して形成されている。

パッケージ５７は、図２に示すように、第２の基板５６の内側の材料を除去することで、内部空間Ｓのスペースを形成している。この内部空間Ｓが圧電振動片３２を収容するための収容空間である。そして、第１の基板５５に形成した電極部３１，３１の上に、導電性接着剤４３，４３を用いて、圧電振動片３２の支持用アーム６１，６２の後述する引出し電極形成箇所を載置して接合している。
このため、この圧電振動片３２の導電性接着剤４３による固定支持の後においては、圧電振動片３２を構成する材料と、パッケージ５７を構成する材料の線膨張係数の相違などに起因して、基部５１には、残留応力が存在している。

なお、電極部３１，３１はパッケージ裏面の実装端子４１と導電スルーホールなどで接続されている。パッケージ５７は、圧電振動片３２を収容した後で、透明なガラス製の蓋体４０が封止材５８を用いて接合されることにより、気密に封止されている。これにより、蓋体４０を封止した後で、外部からレーザ光を照射して圧電振動片３２の電極などをトリミングして、周波数調整できるようになっている。

圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。この圧電振動片３２は、図１に示すように、基部５１と、この基部５１の一端（図において右端）から、右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３５，３６を備えている。
各振動腕３５，３６の主面の表裏には、好ましくは、それぞれ長さ方向に延びる長溝３３，３４をそれぞれ形成し、図１および図２に示すように、この長溝内に駆動用の電極である励振電極３７，３８が設けられている。

この圧電振動片３２の一対の振動腕３５，３６は、同じ構造であり、図１および図３を参照しながら、振動腕３６を代表させてその特徴を説明する。
振動腕３６は、基部５１に対する付け根付近を起点として、それより先端側に一定長さＬ１で延びる第１の縮幅部７１を有している。この第１の縮幅部７１は、先端に向かって腕幅Ｗ１が徐々に縮幅している部分である。この第１の縮幅部７１は、ほぼ長溝３４の先端付近まで続いており、第１の縮幅部７１の終端から所定距離にわたって、腕幅Ｗ１が変化しない部分であるストレート部７２が、Ｌ２の長さで形成されている。
さらに、ストレート部７２の終端は、幅の変更点Ｐであり、このＰの箇所からさらに先端側はＬ３の長さで、腕幅Ｗ１が次第に拡幅する拡幅部７３が形成されている。
すなわち、この実施形態では、各振動腕３５，３６の先端部である拡幅部７３は、ややテーパ状に次第に拡幅されることにより、重量増加され、錘の役割を果たすようにされている。これにより、振動腕の屈曲振動がされやすくなっている。

また、好ましくは、振動腕３６の基部５１に対する付け根には、第１の縮幅部７１が始まる箇所までの間、すなわち、Ｌ４の距離の範囲で、先端側に向かって急激に縮幅する第２の縮幅部７４を備えている。
これにより、振動腕３６の付け根付近は、第２の縮幅部７４により、剛性が一層強化されている。このため、振動腕の屈曲振動を一層安定させることができ、さらに、基本波のＣＩ値の抑制をはかることができる。

また、圧電振動片３２は、その基部５１の振動腕を形成した一端より、図１において、所定距離ＢＬ（基部長さ）隔てた他端（図において左端）において、基部５１の幅方向に延長され、かつ振動腕３５，３６の両外側の位置で、各振動腕３５，３６の延びる方向（図１において右方向）に、これら振動腕３５，３６と平行に延びている支持用アーム６１，６２を備えている。
このような圧電振動片３２の音叉状の外形と、各振動腕に設ける長溝は、それぞれ例えば水晶ウエハなどの材料をフッ酸溶液などでウエットエッチングしたり、ドライエッチングすることにより精密に形成することができる。

駆動用の電極である励振電極３７，３８は、長溝３３，３４内と、各振動腕の側面とに形成され、各振動腕について長溝内の電極と、側面に設けた電極が対となるようにされている。そして、各励振電極３７，３８は、それぞれ引出し電極３７ａ，３８ａとして、支持用アーム６１，６２に引き回されている。これにより、圧電デバイス３０を実装基板などに実装した場合に、外部からの駆動電圧が、実装端子４１から、電極部３１，３１を介して圧電振動片３２の各支持用アーム６１，６２の引出し電極３７ａ，３８ａに伝えられ、各励振電極３７，３８に伝えられるようになっている。
そして、長溝３３，３４内の励振電極に駆動電圧が印加されることによって、駆動時に、各振動腕の長溝が形成された領域の内部の電界効率を高めることができるようになっている。

また、好ましくは、基部５１には、基部５１の振動腕側の端部から十分離れた位置において、両側縁に、基部５１の幅方向の寸法を部分的に縮幅して形成した凹部もしくは切り込み部を設けることができる。切り込み部の深さは、例えば、それぞれ近接する振動腕３５，３６の外側の側縁と一致する程度まで縮幅されると好ましい。
これにより、振動腕３５，３６が屈曲振動する際に振動漏れが基部５１側に漏れ、支持用アーム６１，６２に伝搬することを抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。

ここで、本実施形態では、上述した支持用アーム６１，６２が延びる箇所、すなわち、基部５１の他端部５３は、振動腕３５，３６の付け根部５２よりも十分離れた距離ＢＬを有するようにされている。
この距離ＢＬは、好ましくは、振動腕３５，３６の付け根付近における腕幅寸法Ｗ１の大きさを超える寸法とされている。
すなわち、音叉型振動片の振動腕３５，３６が屈曲振動する際に、その振動漏れが基部５１に向かって伝えられる範囲は、振動腕３５，３６の腕幅寸法Ｗ１と相関がある。本発明者はこの点に着目し、支持用アーム６１，６２の基端となる箇所を適切な位置にもうけなければならないという知見を持った。

そこで、本実施形態では、支持用アーム６１，６２の基端となる箇所５３について、振動腕の付け根部５２を起点として、振動腕の腕幅寸法Ｗ１の大きさに対応した寸法を超える位置を選択することで、振動腕３５，３６からの振動漏れが、支持用アーム６１，６２側に伝搬することを、より確実に抑制する構造とすることができたものである。したがって、ＣＩ値を抑制して、かつ後述する支持用アームの作用効果を得るためには、他端部５３の位置を振動腕３５，３６の付け根部（すなわち、基部５１の一端部である）５２の箇所から上記ＢＬの距離だけ離すことが好ましい。

かくして、この実施形態では、支持用アーム６１，６２がパッケージ５７側に導電性接着剤４３により接合されているので、周囲温度の変化や、落下衝撃などを原因として、その接合箇所に生じた応力変化が、支持用アーム６１，６２の接合箇所から、基部５１の他端部５３までの屈曲した距離と、さらには、距離ＢＬを超える基部５１の長さ分の距離を隔てて振動腕３５，３６に影響を与えることはほとんどなく、このため、特に温度特性が良好となる。
しかも、これとは逆に屈曲振動する振動腕３５，３６からの振動漏れは、基部５１を隔てた支持用アーム６１，６２に達するまでに距離ＢＬを超える基部５１の所定長さを隔てていることから、ほとんど及ぶことがない。

ここで、基部５１の長さが極端に短いと、屈曲振動の漏れた成分が支持用アーム６１，６２の全体に拡がり、制御が困難となる事態が考えられるが、この実施形態では、そのような事態が十分に回避される。
そして、このような作用を得ることができる上に、支持用アーム６１，６２は、図示したように、基部５１の他端部５３から幅方向に延長され、振動腕３５，３６の外側で、この振動腕と同じ方向に延びる構成としたから、全体の大きさをコンパクトにすることができる。
また、この実施形態では、図１に示すように、支持用アーム６１，６２の先端が、振動腕３５，３６の先端よりも基部５１寄りになるように形成されている。この点においても、圧電振動片３２の大きさをコンパクトにすることができる。

ここで、図３は、振動腕の各部の寸法例を記載しており、各寸法は、振動腕３５，３６において同じであるから、振動腕３６についてだけ説明する。
振動腕３６の長溝３４の溝幅ＭＷは、例えば約３０ないし４０μｍとされている。振動腕３５と振動腕３６の間隔ＢＷが、約８０μｍである。振動腕３６の長溝３４を両側から挟む圧電材料の壁部分の壁厚みに関しては、基部５１の近傍の壁厚みＤＷ１が、例えば１０μｍ程度、長溝３４の先端付近の壁厚みＤＷ２が、例えば５μｍ程度とされている。

図４は、圧電振動片の第２の実施形態を示している。
図４の圧電振動片３２−１において、図１及び図２の第１の実施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
この圧電振動片３２−１は、圧電材料により形成された基部５１と、基部５１と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と、各振動腕３５，３６の長手方向に沿って形成された長溝３３，３４とを有し、さらに、各振動腕３５，３６の幅寸法が、振動腕の基部５１に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する第１の縮幅部７１と、第１の縮幅部７１の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部７２と、該ストレート部７２の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部７３につながる幅変化の変更点Ｐとを有しており、駆動電極の図示は省略されている。
したがって、支持用アーム６１，６２を備えない以外は、第１の実施形態の圧電振動片３２と同じである。
ここで、例えば、第１の縮幅部７１の長さＬ１、ストレート部７２の長さＬ２、拡幅部７３の長さＬ３は、Ｌ１：Ｌ２：Ｌ３が、０．７３８：０．２６２：０．２００（単位はすべて「ｍｍ」）とすることができ、きわめて小さな圧電振動片であることがわかる。

したがって、支持用アームによる作用効果以外の第１の実施形態の作用効果を全て発揮することができる。振動腕３５，３６は互いに同一の構成であるから、振動腕３６についてだけ説明すると、振動腕３６には、長溝３４が形成されて、溝内に駆動用電極が設けられることによって、振動腕３６を構成する圧電材料の電界効率が高められている。一方、長溝３６が形成されている領域は、その分剛性が低下している。
このため、振動腕３６に第１の縮幅部７１を形成することで、振動腕３６の付け根付近の剛性は、先端側と比較して高くされているので、屈曲振動を安定させＣＩ値を低減し、しかも２次の高調波における振動の際の振動の「節」をより先端側に位置させることができると考えられる。このことにより、長溝３６を長くして圧電材料の電界効率を上げ、かつ屈曲振動を安定させることで、基本波のＣＩ値を抑制しても、このことが、２次の高調波のＣＩ値の低下を招くことがないようにすることができる。

本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、箱状のパッケージに圧電振動片を収容したものに限らず、シリンダー状の容器に圧電振動片を収容したもの、圧電振動片をジャイロセンサーとして機能するようにしたもの、さらには、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、圧電振動片を利用したあらゆる圧電デバイスに適用することができる。さらに、圧電振動片３２では、一対の振動腕を形成しているが、これに限らず、振動腕は３本でも、４本以上でもよい。

本発明の圧電デバイスの実施形態を示す概略平面図。 図１のＡ−Ａ線切断端面図。 図１の圧電振動片の振動腕付近の部分拡大平面図。 本発明の圧電デバイスに使用される圧電振動片の第２の実施形態を示す概略平面図。 従来の圧電振動片の概略平面図。 図５のＢ−Ｂ線切断端面図。 図５の圧電デバイスに使用される圧電振動片の温度−周波数特性を示すグラフ。 図５の圧電デバイスに使用される圧電振動片の温度−ＣＩ値特性を示すグラフ。

符号の説明

３０・・・圧電デバイス、３２・・・圧電振動片、３３，３４・・・長溝、３５，３６・・・振動腕、６１，６２・・・支持用アーム

Claims (4)

1. 圧電材料により形成された基部と、
   前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕と、
   前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
   前記長溝に形成した駆動用の電極と
   を備えており、
   前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、
   該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、
   該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Ｐと
   を有することを特徴とする、圧電振動片。
2. 前記縮幅部を第１の縮幅部として、さらに前記振動腕の前記基部に対する付け根から、前記第１の縮幅部が始まる箇所までの間で、先端側に向かって急激に縮幅する第２の縮幅部を備えることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームを備えることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
4. パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
   前記圧電振動片が、
   圧電材料により形成された基部と、
   前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕と、
   前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
   前記長溝に形成した駆動用の電極と
   を備えており、
   前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、
   該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、
   該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Ｐと
   を有することを特徴とする、圧電デバイス。

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