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JP2006245114A - Cooling member - Google Patents

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JP2006245114A
JP2006245114A JP2005055977A JP2005055977A JP2006245114A JP 2006245114 A JP2006245114 A JP 2006245114A JP 2005055977 A JP2005055977 A JP 2005055977A JP 2005055977 A JP2005055977 A JP 2005055977A JP 2006245114 A JP2006245114 A JP 2006245114A
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chassis
flow path
heat
cooling
cooling plate
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Application number
JP2005055977A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasusuke Sugiura
庸介 杉浦
Tetsushi Ishikawa
哲史 石川
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cooling member which suppresses a temperature difference between an electronic component mounted inside an electronics module and a cooling medium for cooling the electronic component which is supplied from outside, and has a good maintenability at the time of removing the electronics module. <P>SOLUTION: The cooling member includes a chassis 7 which has a heat radiation surface in contact with and thermally connected to a cooling plate 3, and a mounting surface with a plurality of modules 2 mounted with the pyrogenetic electronic component 8, and which is formed with passages 20 and 21 wherein an actuation liquid which evaporates and condenses between the mounting surface and the heat radiation surface is sealed; and a fixing member which fixes the chassis 7 by bringing the heat radiation surface of the chassis 7 into contact with the cooling plate 3. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、発熱性の電子部品を実装したエレクトロニクスモジュールを冷却する冷却部材に関する。   The present invention relates to a cooling member that cools an electronic module on which an exothermic electronic component is mounted.

従来、冷媒の流れる冷却板に複数のエレクトロニクスモジュール(以下、モジュール)を接触させて、複数のモジュールを効率的に冷却する冷却板が知られている。この冷却板は、冷媒の流れる流路溝を加工した薄肉平板と均一厚さの極めて薄い平板を接合して構成され、冷却板内には薄肉平板で囲まれた矩形断面の流路が構成される。冷却板内を冷媒が流れると内圧が上昇し、内圧上昇により冷却板を構成する平板が膨張して、その表面がモジュールに密着する。これによって、モジュールと冷却板間の空気層を減じ、接触熱抵抗を減じて、モジュール内の電子部品の発生した熱を放熱することができる(例えば特許文献1参照)。   Conventionally, a cooling plate that efficiently cools a plurality of modules by bringing a plurality of electronic modules (hereinafter referred to as modules) into contact with a cooling plate through which a refrigerant flows is known. This cooling plate is formed by joining a thin flat plate with a flow channel through which refrigerant flows and an extremely thin flat plate of uniform thickness, and a rectangular cross-section channel surrounded by the thin flat plate is formed in the cooling plate. The When the refrigerant flows through the cooling plate, the internal pressure rises, and the flat plate constituting the cooling plate expands due to the increase in internal pressure, and the surface adheres closely to the module. Thereby, the air layer between the module and the cooling plate can be reduced, the contact thermal resistance can be reduced, and the heat generated by the electronic components in the module can be dissipated (see, for example, Patent Document 1).

特公平3−22074号公報(第3頁、図3)Japanese Examined Patent Publication No. 3-22074 (page 3, Fig. 3)

従来のモジュールの冷却部材は、内部に冷媒が流れる冷却板の外壁表面と複数のモジュールにおける個々の外壁表面とを接触させていた。点検時にモジュールを電子機器から取り外す場合、モジュールを1個毎に取外す必要があるので、メンテナンス性が劣るという問題があった。   In the conventional cooling member of the module, the outer wall surface of the cooling plate through which the refrigerant flows and the individual outer wall surfaces of the plurality of modules are brought into contact with each other. When removing a module from an electronic device at the time of inspection, it is necessary to remove the modules one by one.

この発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、電子部品を搭載したモジュールを取外す際のメンテナンス性を改善し、電子部品と外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さく抑える冷却部材を得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and improves the maintainability when removing a module on which an electronic component is mounted, so that the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside can be reduced. It aims at obtaining the cooling member which suppresses the temperature difference between them small.

この発明による冷却部材は、内部流路を有する冷却板に当接して熱的に接続される放熱面と、発熱性の電子部品が実装されたモジュールを複数個装着する装着面とを有し、上記装着面と放熱面の間で蒸発凝縮作用を行う作動液が封入された流路の形成されたシャーシと、上記シャーシの放熱面を上記冷却板に当接させて、上記シャーシを固定する固定部材と、を備えたものである。   The cooling member according to the present invention has a heat radiating surface that is in thermal contact with a cooling plate having an internal flow path, and a mounting surface for mounting a plurality of modules on which heat-generating electronic components are mounted, A chassis in which a flow path enclosing a working fluid that performs evaporation and condensation between the mounting surface and the heat radiating surface is formed, and a fixing that fixes the chassis by bringing the heat radiating surface of the chassis into contact with the cooling plate. And a member.

また、内部流路を有する冷却板に当接して熱的に接続される放熱面と、発熱性の電子部品が実装されたモジュールを複数個装着する装着面と、上記放熱面と上記装着面との間に形成された冷媒流路と、冷媒流路に冷媒を吐出するポンプとを有したシャーシと、上記シャーシの放熱面を上記冷却板に当接させて、上記シャーシを固定する固定部材と、を備えても良い。   Also, a heat dissipating surface that is in thermal contact with the cooling plate having an internal flow path, a mounting surface for mounting a plurality of modules on which heat-generating electronic components are mounted, the heat dissipating surface, and the mounting surface A chassis having a refrigerant flow path formed between them, a pump for discharging the refrigerant into the refrigerant flow path, and a fixing member for fixing the chassis by bringing the heat dissipation surface of the chassis into contact with the cooling plate , May be provided.

この発明によれば、電子部品を搭載した複数のモジュールを共通のシャーシに実装し、そのシャーシの内部に電子部品の発生した熱を移送する流路を形成することにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。
また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。
According to the present invention, a plurality of modules having electronic components mounted thereon are mounted on a common chassis, and a plurality of modules are attached and detached simultaneously by forming a flow path for transferring heat generated by the electronic components inside the chassis. And maintainability is improved.
In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

実施の形態1.
図1はこの本発明の実施の形態1において、例えばアクティブフェーズドアレイアンテナなどの電子走査アンテナ装置のように、枠体5に固定されたアンテナ素子1が規則正しく配列された電子機器の斜視図である。図2は図1のA−Aにおける断面図である。
この実施の形態1による冷却部材は、シャーシ7と、熱的なインタフェース12と、熱伝導部材13と、フレーム10、11と、固定具30とを備えて構成される。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a perspective view of an electronic apparatus in which antenna elements 1 fixed to a frame 5 are regularly arranged as in an electronic scanning antenna device such as an active phased array antenna in Embodiment 1 of the present invention. . 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
The cooling member according to the first embodiment includes a chassis 7, a thermal interface 12, a heat conducting member 13, frames 10 and 11, and a fixture 30.

電子走査アンテナでは、アンテナ素子1に対応して、電子部品8を金属製のモジュールケース内部に実装したエレクトロニクスモジュール(以下、モジュール)2が、枠体5の内部に規則的に配置される。モジュール2は内部に発熱性の電子部品8を収容し、実装されている。アンテナ素子1の給電端子は、着脱可能な電気端子を有したコネクタによって、モジュール2の給電端子と電気的に接続される(図示せず)。電子走査アンテナ内部には、内部に冷媒4が流れる流路を有する冷却板3を備えている。冷却板3は枠体5に固定される。冷媒4は冷却板3に沿って図2の符号61の方向に冷媒が流れる。
なお、この実施の形態は熱的なインタフェースに特徴を有するので、コネクタについての説明を省略する。コネクタとしては、例えばピンコネクタやフレキシブル同軸線などを用いてマイクロ波を伝送する通常のコネクタを利用すれば良い。
In the electronic scanning antenna, an electronic module (hereinafter referred to as a module) 2 in which an electronic component 8 is mounted inside a metal module case is regularly arranged inside the frame 5 corresponding to the antenna element 1. The module 2 accommodates and is mounted with a heat-generating electronic component 8 inside. The power feeding terminal of the antenna element 1 is electrically connected to the power feeding terminal of the module 2 by a connector having a detachable electrical terminal (not shown). Inside the electronic scanning antenna, a cooling plate 3 having a flow path through which the refrigerant 4 flows is provided. The cooling plate 3 is fixed to the frame body 5. The refrigerant 4 flows along the cooling plate 3 in the direction of reference numeral 61 in FIG.
Since this embodiment is characterized by a thermal interface, description of the connector is omitted. As the connector, for example, a normal connector that transmits microwaves using a pin connector or a flexible coaxial line may be used.

電子走査アンテナ内部には、フレーム10とフレーム11が配置されて枠体5に固定される。フレーム10、11は互いに離間して配置され、冷却板3の流路に対し垂直方向に立設している。フレーム10の一方の端面は冷却板3に密着して熱的に接合される。フレーム11の他方の端面は冷却板3に接合される。なお、フレーム11は冷却板3と熱的に接続される必要はなく、寧ろ熱的に断絶されている方が良い。   A frame 10 and a frame 11 are arranged inside the electronic scanning antenna and fixed to the frame 5. The frames 10 and 11 are spaced apart from each other and are erected in a direction perpendicular to the flow path of the cooling plate 3. One end face of the frame 10 is in close contact with the cooling plate 3 and thermally joined. The other end surface of the frame 11 is joined to the cooling plate 3. Note that the frame 11 does not need to be thermally connected to the cooling plate 3, but rather should be thermally disconnected.

モジュール1は複数個ごとにシャーシ7の装着面に実装される。シャーシ7は、フレーム10とフレーム11の間に挿入さ、複数個、電子走査アンテナ装置の内部に配置される。シャーシ7はモジュール1の装着面と垂直な側面に、直交する平坦な二面を備えている。シャーシ7は、この二つの面が交わる角部に対し対角線上の角部に、1つの傾斜面を成す固定面31を有している。シャーシ7の直交する二面には、二つの直線部材をL字型に繋いだ形状を成し、銅合金やアルミ合金などから形成される熱伝導部材13が接合されている。なお、熱伝導部材13はシャーシ7と一体的に構成されていても良い。   A plurality of modules 1 are mounted on the mounting surface of the chassis 7. The chassis 7 is inserted between the frame 10 and the frame 11 and a plurality of chassis 7 are arranged inside the electronic scanning antenna device. The chassis 7 includes two orthogonal flat surfaces on a side surface perpendicular to the mounting surface of the module 1. The chassis 7 has a fixed surface 31 forming one inclined surface at a corner on a diagonal line with respect to a corner where these two surfaces intersect. On two orthogonal surfaces of the chassis 7, a heat conductive member 13 formed of a copper alloy, an aluminum alloy, or the like is joined. The heat conducting member 13 may be configured integrally with the chassis 7.

熱伝導部材13は、直交する2つの直線部材から構成される。熱伝導部材13のそれぞれの二面には、熱的なインタフェース12が密接して接合されている。熱的なインタフェース12は、熱伝導率の高い放熱シート(例えば、熱伝導率が5W/(m・K)以上)や接触熱抵抗が向上するように面精度良く(例えば、面精度が十点粗さで0.1μm以下)研磨された金属面で構成される。熱的なインタフェース12は熱伝導部材13と一体的に構成されていても良い。熱的なインタフェース12の一方の放熱面は冷却板3に密着して接合される。また、熱的なインタフェース12の他方の放熱面はフレーム10の一方の端面と他方の端面との間でフレーム10に密着し、その長手方向がフレーム10の長手方向に沿うように配置される。   The heat conducting member 13 is composed of two linear members that are orthogonal to each other. A thermal interface 12 is intimately bonded to each two surfaces of the heat conducting member 13. The thermal interface 12 has a high thermal conductivity (for example, a thermal conductivity of 5 W / (m · K) or more) and high surface accuracy so that the contact thermal resistance is improved (for example, the surface accuracy is 10 points). It is composed of a polished metal surface with a roughness of 0.1 μm or less. The thermal interface 12 may be configured integrally with the heat conducting member 13. One heat radiating surface of the thermal interface 12 is in close contact with and joined to the cooling plate 3. Further, the other heat radiating surface of the thermal interface 12 is in close contact with the frame 10 between one end surface and the other end surface of the frame 10, and the longitudinal direction thereof is arranged along the longitudinal direction of the frame 10.

フレーム11は固定具30を備えている。固定具30はねじ32の貫通するねじ穴を有し、ねじ32を介在してフレーム11の他端面にねじ締結される。固定具30はくさび形状を成しており、固定具30の斜面はシャーシ7の固定面31に当接可能に配置される。フレーム11、固定具30、ねじ32は固定部材を構成する。   The frame 11 includes a fixture 30. The fixture 30 has a screw hole through which the screw 32 passes, and is screwed to the other end surface of the frame 11 with the screw 32 interposed. The fixing tool 30 has a wedge shape, and the inclined surface of the fixing tool 30 is disposed so as to be able to contact the fixing surface 31 of the chassis 7. The frame 11, the fixture 30, and the screw 32 constitute a fixing member.

図3は実施の形態1によるシャーシ7が電子走査アンテナに実装されている部分を示す図である。
シャーシ7の内部には、流路20、流路21が一体的に形成されている。流路の形成は、加工された部品を溶接等で気密封止する方法、または光造形法などにより成形される。シャーシ7の熱的なインターフェース部12は、上述したようにモジュール2の実装される装着面と垂直である。シャーシ7に形成された流路1 20、流路2 21は、一端部がモジュール2の直下の近傍に配置され、他端部が熱的なインターフェース部12の近傍に配置されて、その間を結ぶように設けられている。
なお、モジュール2へ信号を供給する信号線を有する基板を、シャーシ7の下面に配置しても良い。
FIG. 3 is a diagram showing a portion where the chassis 7 according to the first embodiment is mounted on the electronic scanning antenna.
A flow path 20 and a flow path 21 are integrally formed inside the chassis 7. The flow path is formed by a method of hermetically sealing processed parts by welding or the like, or an optical modeling method. The thermal interface portion 12 of the chassis 7 is perpendicular to the mounting surface on which the module 2 is mounted as described above. One end of the flow path 120 and the flow path 21 formed in the chassis 7 is disposed in the vicinity immediately below the module 2, and the other end is disposed in the vicinity of the thermal interface section 12 to connect the two. It is provided as follows.
A substrate having a signal line for supplying a signal to the module 2 may be disposed on the lower surface of the chassis 7.

シャーシ7は、モジュール2の装着面が重力方向と平行になるように、電子走査アンテナ装置の内部に実装される。また、流路20は重力方向と平行に形成され、流路21はモジュール2の近傍と熱的なインターフェース部12近傍を結ぶ線と水平方向とからなる角度が正の値となるように形成される。すなわち、流路20、流路21の熱的なインタフェース12側の一端部は、他端部よりも上方に位置するように配置される。流路20、流路21には、高温部にて蒸発し低温部で凝縮する作動液28が封入されている。   The chassis 7 is mounted inside the electronic scanning antenna device so that the mounting surface of the module 2 is parallel to the direction of gravity. The flow path 20 is formed in parallel with the gravity direction, and the flow path 21 is formed so that the angle between the horizontal direction and the line connecting the vicinity of the module 2 and the thermal interface 12 is a positive value. The That is, one end portion on the thermal interface 12 side of the flow channel 20 and the flow channel 21 is arranged to be positioned above the other end portion. The flow path 20 and the flow path 21 are filled with a working liquid 28 that evaporates at the high temperature portion and condenses at the low temperature portion.

次に、この実施の形態1による冷却部材の放熱動作について説明する。
シャーシ7は、くさび形状の固定具30をフレーム11に嵌合されたねじ32により固定することにより、固定面31にて固定力が生じ、熱的なインターフェ−ス部12においてフレーム11または、冷却板3に接触するように固定される。
すなわち、ねじ32をフレーム11に締め付けることによって、固定具30の固定面は固定面31を付勢する。固定面31は固定具30の固定面に付勢されるとともに、シャーシ7の熱的なインタフェース13はフレーム10及び冷却板からの反力を受けて、熱的なインタフェース13は冷却板3及び、フレーム10に密着的に接合する。また、ねじ32を緩めることによって、固定具30からの拘束力が解放され、シャーシ7はフレーム10、及び冷却板3から分離される。
Next, the heat radiation operation of the cooling member according to the first embodiment will be described.
The chassis 7 has a wedge-shaped fixing tool 30 fixed by screws 32 fitted to the frame 11, whereby a fixing force is generated at the fixing surface 31, and the thermal interface portion 12 has the frame 11 or It is fixed so as to contact the cooling plate 3.
That is, by fastening the screw 32 to the frame 11, the fixing surface of the fixture 30 biases the fixing surface 31. The fixing surface 31 is urged by the fixing surface of the fixture 30, and the thermal interface 13 of the chassis 7 receives a reaction force from the frame 10 and the cooling plate, and the thermal interface 13 includes the cooling plate 3 and Adhere tightly to the frame 10. Further, by loosening the screw 32, the restraining force from the fixture 30 is released, and the chassis 7 is separated from the frame 10 and the cooling plate 3.

モジュール2の内部に実装された電子部品8で生じた熱は、流路20及び流路21における、モジュール2がシャーシ7に実装される位置の近傍で、流路20及び流路21に排熱される。これによって、流路20及び流路21に封入された作動液8が蒸発する。
蒸発した作動液8は、流路1 20及び流路2 21の内部を重力と逆方向にシャーシ7の熱的なインターフェース部12近傍まで移動することにより、熱移送される。流路20及び流路21の熱的なインターフェース部12近傍では、作動液28が凝縮することにより、作動液28から熱伝導部材13を通じて熱的インターフェース部12に対して、熱は移送される。熱的インターフェース部12に移送された熱は、熱的インターフェース部12に接触した冷却板3を経由し冷媒4に移送され、冷媒4の流れと共に外部に排出される。
The heat generated in the electronic component 8 mounted inside the module 2 is exhausted into the flow path 20 and the flow path 21 near the position where the module 2 is mounted on the chassis 7 in the flow path 20 and the flow path 21. It is. As a result, the working fluid 8 enclosed in the flow path 20 and the flow path 21 evaporates.
The evaporated working fluid 8 is transferred by heat by moving in the flow path 120 and flow path 21 to the vicinity of the thermal interface portion 12 of the chassis 7 in the direction opposite to the gravity. In the vicinity of the thermal interface portion 12 of the flow channel 20 and the flow channel 21, the hydraulic fluid 28 condenses, whereby heat is transferred from the hydraulic fluid 28 to the thermal interface portion 12 through the heat conducting member 13. The heat transferred to the thermal interface unit 12 is transferred to the refrigerant 4 through the cooling plate 3 in contact with the thermal interface unit 12 and is discharged to the outside along with the flow of the refrigerant 4.

なお、従来の冷却構造では、モジュール内部に収納された電子部品の熱は、シャーシ内部の熱伝導により冷却板まで移送されるが、シャーシの部材の熱伝導率は必ずしも十分小さくなく、電子部品から冷却板内部の冷媒までの熱移送経路において、シャーシ内部にて高い温度差が生じ、電子部品の温度が許容できない温度に上昇していた。
しかしながら、この実施の形態では、熱的なインタフェース12の熱伝導率を高くし、冷却板への接触熱抵抗を小さくすることによって、モジュール2と冷却板3との間の熱抵抗を小さくしている。
In the conventional cooling structure, the heat of the electronic components housed in the module is transferred to the cooling plate by the heat conduction inside the chassis, but the heat conductivity of the chassis members is not necessarily small enough, In the heat transfer path to the refrigerant inside the cooling plate, a high temperature difference occurs inside the chassis, and the temperature of the electronic component has risen to an unacceptable temperature.
However, in this embodiment, the thermal resistance between the module 2 and the cooling plate 3 is reduced by increasing the thermal conductivity of the thermal interface 12 and decreasing the contact thermal resistance to the cooling plate. Yes.

以上により、この実施の形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するための作動液を封入した流路を構成することにより、モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送するとともに、複数のモジュールを同時に着脱することができ、モジュール取付け取外しの際のメンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted is mounted in one chassis, and a flow path is formed that encloses hydraulic fluid for transferring heat provided in the chassis. As a result, the heat of the electronic components mounted inside the module can be transferred, and a plurality of modules can be attached and detached simultaneously, improving the maintainability when attaching and detaching the modules. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを実装した面と垂直な面を有する熱的なインターフェース部に、電子部品の熱が移送され、その熱的インターフェース部を介してシャーシの外部配置された冷却板内部の冷媒に熱が移送される構造を有することにより、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   In addition, heat of the electronic component is transferred to a thermal interface portion having a surface perpendicular to a surface on which a plurality of modules for mounting the heat-generating electronic components are mounted, and the outside of the chassis is transferred via the thermal interface portion. By having a structure in which heat is transferred to the refrigerant inside the arranged cooling plate, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate arranged outside the chassis can be reduced.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを実装した面と垂直な面であり、かつなす角度がほぼ鉛直である二面の熱的なインターフェース部を有することにより、第1の面に第1の流路から電子部品の熱が移送され、第2の面に第2の流路から熱が移送され、その熱的インターフェース部を介してシャーシの外部配置された冷却板内部の冷媒に熱が移送される構造を有することにより、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   Further, the first surface is provided with a two-sided thermal interface portion that is perpendicular to the surface on which the plurality of modules for mounting the heat-generating electronic components are mounted, and the angle formed is substantially vertical. The heat of the electronic component is transferred from the first flow path to the second surface, the heat is transferred from the second flow path to the second surface, and the refrigerant in the cooling plate disposed outside the chassis via the thermal interface portion. By having a structure in which heat is transferred to the heat exchanger, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate arranged outside the chassis can be reduced.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを実装した面が重力方向と平行に配置され、作動液の流路が、モジュールが実装された位置近傍と熱的なインターフェース部近傍を結ぶ線と水平方向とからなる角度が正の値になるように配置されることにより、蒸発した作動液は重力と逆方向に移動し、凝縮した作動液は重力方向に移動しやすい構造を得るため、効果的に電子部品の熱が移送され、電子部品とシャーシ外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   In addition, the surface on which a plurality of modules on which heat-generating electronic components are mounted is arranged parallel to the direction of gravity, and the flow path of the hydraulic fluid connects the vicinity of the position where the module is mounted and the vicinity of the thermal interface section. By arranging so that the angle between the line and the horizontal direction becomes a positive value, the evaporated hydraulic fluid moves in the direction opposite to gravity, and the condensed hydraulic fluid moves easily in the direction of gravity. The heat of the electronic component is effectively transferred, and the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

さらに、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシをくさび形状の固定具により、電子走査アンテナから容易に着脱できる構造を有することにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ取付け取外しの際のメンテナンス性を向上することができる。   Furthermore, by mounting a plurality of modules on which heat-generating electronic components are mounted in one chassis and having the structure in which the chassis can be easily detached from the electronic scanning antenna with a wedge-shaped fixture, the plurality of modules can be mounted. It is possible to attach and detach at the same time, and it is possible to improve the maintainability when attaching and detaching.

実施の形態2.
図4は、実施の形態2によるシャーシ7が電子走査アンテナ装置に実装されている部分を示す図である。固定具33は、シャーシ7に設けられた回転軸34の軸周りに回転するように軸支されている。固定具33は、フレーム10、11(支柱)に設けられた凸部(嵌合部)に嵌合するための溝を有する。フレーム10、11、固定具33は固定部材を構成する。
シャーシ7に固定されたねじ35を締め込むことによって、固定具33の溝はフレーム10の凸部に対してカムのように作用して、シャーシ7を冷却板3に付勢し、熱的なインタフェース12が冷却板3の側面に当接する。
これによって、冷却板3との間に接触圧が発生するように、フレーム10の凸部が固定具33の溝に嵌合した状態で固定シャーシ7が冷却板3に固定される。他の構造は実施形態1と同様である。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a portion where the chassis 7 according to the second embodiment is mounted on the electronic scanning antenna device. The fixture 33 is pivotally supported so as to rotate around the axis of the rotation shaft 34 provided in the chassis 7. The fixture 33 has a groove for fitting into a convex portion (fitting portion) provided on the frames 10 and 11 (posts). The frames 10 and 11 and the fixture 33 constitute a fixing member.
By tightening the screw 35 fixed to the chassis 7, the groove of the fixture 33 acts like a cam against the convex portion of the frame 10, urging the chassis 7 to the cooling plate 3, and thermal The interface 12 contacts the side surface of the cooling plate 3.
As a result, the fixed chassis 7 is fixed to the cooling plate 3 in a state in which the convex portion of the frame 10 is fitted in the groove of the fixture 33 so that a contact pressure is generated between the cooling plate 3 and the cooling plate 3. Other structures are the same as those of the first embodiment.

以上により、この実施形態では、発熱性の電子部品8を内部に実装する複数のモジュール2を1つのシャーシに実装し、そのシャーシを固定具33で固定する。固定具33は、、シャーシに設けられた回転軸周りに回転し、フレーム凸部と嵌合するための溝を有している。フレーム凸部に嵌合した状態で固定するためのねじを設けて、固定具により電子走査アンテナからシャーシを容易に着脱できる構造を有することにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、取付け取外しの際のメンテナンス性を向上することができる。   As described above, in this embodiment, the plurality of modules 2 for mounting the heat-generating electronic components 8 are mounted in one chassis, and the chassis is fixed by the fixture 33. The fixing tool 33 has a groove for rotating around a rotation axis provided in the chassis and fitting with the frame convex portion. By providing a screw for fixing in a state where it is fitted to the convex part of the frame, and having a structure that allows the chassis to be easily attached and detached from the electronic scanning antenna with a fixture, multiple modules can be attached and detached at the same time. The maintainability during the process can be improved.

実施の形態3.
図5は、実施の形態3によるシャーシ7が電子走査アンテナ装置に実装されている部分を示す図である。固定具38はばね36を保持しており、ねじ32をフレーム10、11の両方に結合することによって、シャーシ7は冷却板3に対して固定される。すなわち、ねじ32を締めこむことによって、シャーシ7に接合された熱的なインタフェース12はばね36の反力によって冷却板3に付勢され、冷却板3との間に接触圧が発生してシャーシ7が固定される。他の構造は、実施の形態1と同様である。
フレーム10、11、ばね36、固定具38は固定部材を構成する。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 5 is a diagram showing a portion where the chassis 7 according to the third embodiment is mounted on the electronic scanning antenna device. The fixture 38 holds the spring 36, and the chassis 7 is fixed to the cooling plate 3 by coupling the screw 32 to both the frames 10 and 11. That is, by tightening the screw 32, the thermal interface 12 joined to the chassis 7 is urged to the cooling plate 3 by the reaction force of the spring 36, and a contact pressure is generated between the cooling plate 3 and the chassis. 7 is fixed. Other structures are the same as those in the first embodiment.
The frames 10 and 11, the spring 36, and the fixture 38 constitute a fixing member.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシを、ばね力を与える固定具により電子走査アンテナから容易に着脱できる構造を有することによって、複数のモジュールを同時に着脱することができ、取付け取外しの際のメンテナンス性を向上することができる。   As described above, this embodiment has a structure in which a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted are mounted in one chassis, and the chassis can be easily attached to and detached from the electronic scanning antenna by a fixture that applies a spring force. As a result, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and the maintainability at the time of attachment / detachment can be improved.

実施の形態4.
図6は、実施の形態4によるシャーシ7が電子走査アンテナ装置に実装されている部分を示す図である。シャーシ7には発熱性の電子部品を内部に実装したモジュール2が実装される。シャーシ7に接合された熱伝導部材13に設けられた、熱的なインターフェース部12は、モジュール2の実装される面と垂直な面に設けられている。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 6 is a diagram showing a portion where the chassis 7 according to the fourth embodiment is mounted on the electronic scanning antenna device. A module 2 having an exothermic electronic component mounted therein is mounted on the chassis 7. The thermal interface portion 12 provided on the heat conducting member 13 joined to the chassis 7 is provided on a surface perpendicular to the surface on which the module 2 is mounted.

シャーシ7には、流路25が一体的に形成されている。流路25には、冷媒29が封入され、冷媒29に流れを生じさせるポンプ26が水密的に接合されている。ポンプ26はダイヤグラム方式または、冷媒に磁性流体を用い磁力により流れを生じさせる方式などにより構成される。シャーシ7に形成された流路25は、モジュール2の近傍と熱的なインターフェース部12の近傍を通り、冷媒29が循環するように閉ループ状に形成されている。流路25は分岐し、複数のモジュール2の近傍を通って、その下流側で合流してポンプ26に接続するように形成されている。その他の構成は、実施の形態1と同様である。   A flow path 25 is integrally formed in the chassis 7. A coolant 29 is sealed in the flow path 25, and a pump 26 that causes the coolant 29 to flow is joined in a watertight manner. The pump 26 is configured by a diagram system or a system in which a magnetic fluid is used as a refrigerant and a flow is generated by a magnetic force. The flow path 25 formed in the chassis 7 is formed in a closed loop shape so that the refrigerant 29 circulates through the vicinity of the module 2 and the vicinity of the thermal interface unit 12. The flow path 25 is branched and formed so as to pass through the vicinity of the plurality of modules 2, join at the downstream side thereof, and be connected to the pump 26. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

シャーシ7は、実施の形態1の図3で説明した固定具30と同様にして、くさび形状の固定具30をフレーム11に嵌合されたねじ32により固定することにより、固定面31にて固定力が生じる。シャーシ7は、熱的なインターフェース部12において、冷却板3に接触するように固定される。シャーシ7の固定は、くさび形状の固定具30を用いる構造の他、実施の形態2で説明した、回転軸と、回転軸周りに回転し外部構造部に嵌合するための溝を有し、外部構造部に嵌合した状態で固定するためのねじを設けた固定具33を用いる構造を用いても良い。また、ばね力を利用した固定具38を用いる構造であっても良い。   The chassis 7 is fixed at the fixing surface 31 by fixing the wedge-shaped fixing tool 30 with the screw 32 fitted to the frame 11 in the same manner as the fixing tool 30 described in FIG. 3 of the first embodiment. Power is generated. The chassis 7 is fixed at the thermal interface portion 12 so as to contact the cooling plate 3. In addition to the structure using the wedge-shaped fixture 30, the chassis 7 has a rotation shaft and a groove that rotates around the rotation axis and fits to the external structure, as described in the second embodiment. You may use the structure using the fixing tool 33 which provided the screw for fixing in the state fitted to the external structure part. Moreover, the structure using the fixing tool 38 using a spring force may be sufficient.

なお、シャーシ7を二つ設けて、モジュール2へ信号を供給する信号線を有する基板を、二つのシャーシ7の間に挟み込むように実装しても良い。   Two chassis 7 may be provided, and a board having a signal line for supplying signals to the module 2 may be mounted so as to be sandwiched between the two chassis 7.

次に、この実施の形態の放熱動作について説明する。
モジュール2の内部に実装された電子部品8で生じた熱は、流路25のモジュール2がシャーシ7に実装される位置の近傍において、熱伝達により冷媒29に伝わり、ポンプ26から吐出される冷媒29の流れに従い、熱的なインターフェース部12の近傍まで移送される。流路25の熱的なインターフェース部12近傍では、熱伝達により冷媒29から熱的なインターフェース部12に熱が伝わり、その熱は冷却板3を経由し、冷媒4に移送され、冷媒4の流れと共に外部に排出される。
Next, the heat radiation operation of this embodiment will be described.
The heat generated in the electronic component 8 mounted inside the module 2 is transferred to the refrigerant 29 by heat transfer near the position where the module 2 in the flow path 25 is mounted on the chassis 7, and is discharged from the pump 26. According to the flow of 29, it is transferred to the vicinity of the thermal interface section 12. In the vicinity of the thermal interface portion 12 of the flow path 25, heat is transferred from the refrigerant 29 to the thermal interface portion 12 by heat transfer, and the heat is transferred to the refrigerant 4 via the cooling plate 3 and the flow of the refrigerant 4. And it is discharged outside.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入して、流れを発生させるポンプを有した閉じた流路を用いる。モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送することにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a pump that generates a flow by mounting a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted in one chassis, enclosing a refrigerant to transfer heat provided in the chassis, and Use a closed flow path. By transferring the heat of the electronic components mounted inside the module, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを実装した面と垂直な面を有する熱的なインターフェース部に、電子部品の熱が移送され、その熱的インターフェース部を介してシャーシの外部配置された冷却板内部の冷媒に熱が移送される構造を有することにより、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   In addition, heat of the electronic component is transferred to a thermal interface portion having a surface perpendicular to a surface on which a plurality of modules for mounting the heat-generating electronic components are mounted, and the outside of the chassis is transferred via the thermal interface portion. By having a structure in which heat is transferred to the refrigerant inside the arranged cooling plate, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate arranged outside the chassis can be reduced.

また、流路を分岐し、複数のモジュールの近傍を通り、その下流側にて合流する閉ループ状にすることにより、複数のモジュールそれぞれの内部に実装された電子部品と、シャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   In addition, by branching the flow path and passing through the vicinity of the plurality of modules and joining them on the downstream side, the electronic components mounted inside each of the plurality of modules and the outside of the chassis are arranged. The temperature difference with the refrigerant inside the cooling plate can be reduced.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを、1つのシャーシに実装し、そのシャーシをくさび形状の固定具により、電子走査アンテナから容易に着脱できる構造を有しても良い。これによって、複数のモジュールを同時に着脱することができメンテナンス性を向上することができる。   In addition, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted may be mounted on one chassis, and the chassis may be easily detached from the electronic scanning antenna with a wedge-shaped fixture. As a result, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability can be improved.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシを、回転軸と回転軸周りに回転しフレーム凸部と嵌合するための溝を有しフレームの凸部に嵌合した状態で固定するためのねじと固定具を設けても良い。このように電子走査アンテナから容易に着脱できる構造を有することにより、複数のモジュールを同時に着脱することができメンテナンス性を向上することができる。   Also, a plurality of modules for mounting the heat-generating electronic components are mounted on one chassis, the chassis is rotated around the rotation axis and a groove for fitting with the frame protrusion, and the frame has You may provide the screw and fixing tool for fixing in the state fitted to the convex part. By having such a structure that can be easily attached to and detached from the electronic scanning antenna, a plurality of modules can be attached and detached simultaneously, and the maintainability can be improved.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシをばね力による固定具により電子走査アンテナから容易に着脱できる構造を有しても良い。これによって、複数のモジュールを同時に着脱することができメンテナンス性を向上することができる。   In addition, a plurality of modules in which the heat-generating electronic components are mounted may be mounted on one chassis, and the chassis may be easily detached from the electronic scanning antenna by a fixing tool using a spring force. As a result, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability can be improved.

実施の形態5.
図7は、実施の形態5によるシャーシ7が、電子走査アンテナ装置に実装されている部分を示す図である。図8は、図7のA−Aにおける断面図である。
Embodiment 5. FIG.
FIG. 7 is a diagram showing a portion where the chassis 7 according to the fifth embodiment is mounted on the electronic scanning antenna device. 8 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.

シャーシ7には、発熱性の電子部品8を内部に実装したモジュール2が実装される。シャーシ7には冷媒29を封入し、ポンプ26が水密的に接続された流路25が形成されている。シャーシ7には熱的なインターフェース部12が、モジュール2の実装される面と平行に設けられている。
シャーシ7は2つ設けられ、2つのシャーシ7の間には冷却板3が挟まれる。シャーシ7に設けられた流路25は、モジュール2の近傍から熱的なインターフェース部12の近傍までを結ぶように配置される。シャーシ7は凹型の2つの固定具38(固定部材)に挟まれて、冷却板3に固定される。シャーシ7の両端部を斜面形状とし、2つの固定具38にも同様の斜面形状を設けることにより、2つの固定具38を互いに接近する方向に付勢して固定することによって、両斜面形状を通じてシャーシ7と冷却板3の間に接触力を生じさせている。
冷却板3はねじ締結などによって枠体5に固定される。また、図示された4つある固定具38の内、アンテナ素子1側の2つの固定具38は、枠体5に固定されていても良い。
その他の構成については、図2で説明した実施の形態1と同様である。
A module 2 having an exothermic electronic component 8 mounted therein is mounted on the chassis 7. The chassis 7 is provided with a flow path 25 in which a refrigerant 29 is sealed and a pump 26 is connected in a watertight manner. A thermal interface section 12 is provided on the chassis 7 in parallel with the surface on which the module 2 is mounted.
Two chassis 7 are provided, and the cooling plate 3 is sandwiched between the two chassis 7. The flow path 25 provided in the chassis 7 is arranged so as to connect from the vicinity of the module 2 to the vicinity of the thermal interface unit 12. The chassis 7 is sandwiched between two concave fixtures 38 (fixing members) and fixed to the cooling plate 3. Both end portions of the chassis 7 are sloped, and the two fixtures 38 are also provided with the same slope shape, whereby the two fixtures 38 are urged and fixed in directions approaching each other, so A contact force is generated between the chassis 7 and the cooling plate 3.
The cooling plate 3 is fixed to the frame 5 by screw fastening or the like. Of the four fixtures 38 shown in the figure, two fixtures 38 on the antenna element 1 side may be fixed to the frame 5.
Other configurations are the same as those of the first embodiment described with reference to FIG.

モジュール2の内部に実装された電子部品8で生じた熱は、流路25のモジュール2がシャーシ7に実装される位置の近傍において、熱伝達により冷媒29に伝わり、冷媒29の流れに従い、熱的なインターフェース部12の近傍まで移送される。流路25の熱的なインターフェース部12近傍では、熱伝達により冷媒29から熱的なインターフェース部12に熱が伝わり、その熱は冷却板3を経由し、冷媒4に移送され、冷媒4の流れと共に外部に排出される。   The heat generated in the electronic component 8 mounted inside the module 2 is transferred to the refrigerant 29 by heat transfer in the vicinity of the position where the module 2 in the flow path 25 is mounted on the chassis 7. To the vicinity of a typical interface unit 12. In the vicinity of the thermal interface portion 12 of the flow path 25, heat is transferred from the refrigerant 29 to the thermal interface portion 12 by heat transfer, and the heat is transferred to the refrigerant 4 via the cooling plate 3 and the flow of the refrigerant 4. And it is discharged outside.

シャーシ7は、冷媒を封入しポンプを接続した流路を設ける構造の他、実施の形態1で説明したような、液体の蒸発及び凝縮の原理による、熱移送を行うための作動液を封入した流路を設けた構造であってもよい。
なお、シャーシ7を二つ設けて、モジュール2へ信号を供給する信号線を有する基板を、二つのシャーシ7の間に挟み込むように実装しても良い。
The chassis 7 encloses a working fluid for heat transfer according to the principle of liquid evaporation and condensation as described in the first embodiment, in addition to a structure in which a flow path in which a refrigerant is enclosed and a pump is connected is provided. A structure provided with a flow path may be used.
Two chassis 7 may be provided, and a board having a signal line for supplying signals to the module 2 may be mounted so as to be sandwiched between the two chassis 7.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入し流れを発生させるポンプを有した閉じた流路により、モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送する。これにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted is mounted in one chassis, and a pump is provided that encloses a refrigerant and generates a flow to transfer heat provided in the chassis. The heat of the electronic component mounted inside the module is transferred by the closed flow path. Thereby, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

また、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するための作動液を封入した流路により、モジュール内部に実装された、電子部品の熱を移送する。これにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   In addition, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted are mounted in one chassis, and an electronic circuit mounted in the module is provided by a flow path enclosing a working fluid for transferring heat provided in the chassis. Transfers part heat. Thereby, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

実施の形態6.
図9は、実施の形態6によるシャーシ7が走査アンテナ装置に実施されている部分を示す図である。
Embodiment 6 FIG.
FIG. 9 is a diagram illustrating a portion where the chassis 7 according to the sixth embodiment is implemented in the scanning antenna device.

シャーシ7には冷媒29を封入し、ポンプ26が水密的に接続された直管状の流路27が形成されている。他の構造は実施の形態5と同様である。ポンプ26はダイヤグラム方式であり、加圧、減圧を生じることにより、流路27内部の冷媒29に繰り返し往復するような振動流れを生じさせる。
その他の構成は、実施の形態5と同様である。
The chassis 7 is formed with a straight flow path 27 in which a refrigerant 29 is sealed and a pump 26 is connected in a watertight manner. Other structures are the same as those of the fifth embodiment. The pump 26 is of a diagram type, and generates an oscillating flow that repeatedly reciprocates in the refrigerant 29 inside the flow path 27 by applying pressure and pressure reduction.
Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.

この実施の形態では、次のように放熱動作する。
モジュール2の内部に実装された電子部品8で生じた熱は、流路25のモジュール2がシャーシ7に実装される位置の近傍において、熱伝達により冷媒29に伝わり、冷媒29の流れに従い、熱的なインターフェース部12の近傍まで移送される。流路25の熱的なインターフェース部12近傍では、熱伝達により冷媒29から熱的なインターフェース部12に熱が伝わる。インターフェース部12に伝達された熱は冷却板3を経由し、冷媒4に移送され、冷媒4の流れと共に外部に排出される。
なお、モジュール2の直下に冷却板3の流路が存在する場合においても、モジュール2の近傍における流路26の内部で、冷媒29が振動流れを生じることにより、モジュール2の内部に実装された電子部品8で生じた熱は、拡散して伝達される効果を生じる。このため、電子部品8で生じた熱は効果的に冷却板3を経由して、冷媒4に移送される。
In this embodiment, the heat dissipation operation is performed as follows.
The heat generated in the electronic component 8 mounted inside the module 2 is transferred to the refrigerant 29 by heat transfer in the vicinity of the position where the module 2 in the flow path 25 is mounted on the chassis 7. To the vicinity of a typical interface unit 12. In the vicinity of the thermal interface unit 12 in the flow path 25, heat is transferred from the refrigerant 29 to the thermal interface unit 12 by heat transfer. The heat transmitted to the interface unit 12 is transferred to the refrigerant 4 via the cooling plate 3 and discharged to the outside along with the flow of the refrigerant 4.
Even when the flow path of the cooling plate 3 exists directly under the module 2, the refrigerant 29 is mounted inside the module 2 by generating an oscillating flow inside the flow path 26 in the vicinity of the module 2. The heat generated in the electronic component 8 has an effect of being diffused and transmitted. For this reason, the heat generated in the electronic component 8 is effectively transferred to the refrigerant 4 via the cooling plate 3.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のエレクトロニクスモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入し流れを発生させるポンプを有した閉じた流路により、エレクトロニクスモジュール内部に実装された電子部品の熱を移送することにより、複数のエレクトロニクスモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a plurality of electronic modules for mounting heat-generating electronic components are mounted in one chassis, and a pump is provided that encloses a refrigerant and generates a flow to transfer heat provided in the chassis. By transferring the heat of the electronic components mounted inside the electronics module through the closed flow path, a plurality of electronics modules can be attached and detached at the same time, and maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

実施の形態7.
図10は、実施の形態7によるシャーシ7が電子走査アンテナ装置に実装されている部分を示す断面図である。
Embodiment 7 FIG.
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a portion where the chassis 7 according to the seventh embodiment is mounted on the electronic scanning antenna device.

シャーシ7には発熱性の電子部品8を内部に実装したモジュール2が実装されている。シャーシ7には、モジュール2を実装した面の直下に第1の流路70を設け、その第1の流路70とモジュール2を実装した面と平行な面に在る熱的なインターフェース部12との間に第2の流路71を設けている。第1の流路70と第2の流路71は相互に接続され、閉ループ状に流路を形成している。その他の構成は実施の形態5と同様である。   A module 2 having a heat generating electronic component 8 mounted therein is mounted on the chassis 7. The chassis 7 is provided with a first flow path 70 immediately below the surface on which the module 2 is mounted, and the thermal interface 12 located on a plane parallel to the first flow path 70 and the surface on which the module 2 is mounted. A second flow path 71 is provided between the two. The first channel 70 and the second channel 71 are connected to each other to form a channel in a closed loop. Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入し流れを発生させるポンプを有した閉じた流路により、モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送する。これにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted is mounted in one chassis, and a pump is provided that encloses a refrigerant and generates a flow to transfer heat provided in the chassis. The heat of the electronic component mounted inside the module is transferred by the closed flow path. Thereby, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

実施の形態8.
図11は、実施の形態8によるモジュール2がシャーシ7に実施されている部分を示す断面図である。
Embodiment 8 FIG.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a portion where the module 2 according to the eighth embodiment is mounted on the chassis 7.

モジュール2もしくは発熱性の電子部品8が、フィン81を有する固定部材80に固定される。固定部材80は、シャーシ7に設けた流路25に水密的に接合されている。フィン81はシャーシ7に設けた流路25の内部の冷媒29に直接接している。これによって、発熱性の電子部品8で発生した熱は、冷媒29の符号61に示す流れ方向に効果的に移送される。その他の構成は、実施形態5と同様である。   The module 2 or the heat generating electronic component 8 is fixed to a fixing member 80 having fins 81. The fixing member 80 is watertightly joined to the flow path 25 provided in the chassis 7. The fins 81 are in direct contact with the refrigerant 29 inside the flow path 25 provided in the chassis 7. Thereby, the heat generated in the heat-generating electronic component 8 is effectively transferred in the flow direction indicated by the reference numeral 61 of the refrigerant 29. Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入し流れを発生させるポンプを有した閉じた流路により、モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送する。これによって、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted is mounted in one chassis, and a pump is provided that encloses a refrigerant and generates a flow to transfer heat provided in the chassis. The heat of the electronic component mounted inside the module is transferred by the closed flow path. As a result, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and the maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

実施の形態9.
図12は、実施の形態9によるモジュール2がシャーシ7に実施されている部分を示す断面図である。
Embodiment 9 FIG.
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a portion where the module 2 according to the ninth embodiment is mounted on the chassis 7.

モジュール2もしくは発熱性の電子部品8は、パッケージ82に固定される。パッケージ82はモジュール2もしくは電子部品8と電気的に接続される基板84に実装される。ヒートシンク83はパッケージ82を覆う空間を有している。ヒートシンク83の底面には熱伝導グリスが充填されている、又はヒートシンク83の底面とパッケージ82の底面との間に挿入された熱伝導ラバー等の、熱的なインタフェースが設けられている。これらの熱的なインタフェースを通じて、ヒートシンク83はパッケージ82の底面と熱的に接続している。基板84はヒートシンク83に固定される。ヒートシンク83は、流路25の近傍でシャーシ7に熱的に接続され、シャーシ7に固定される。
これにより、電子部品8とシャーシ7の間の構成材を簡素化でき、電子部品8からシャーシ7の内部の冷媒に対して、効果的に熱を移送することができる。シャーシ7の下面には冷却板3が熱的に接続されており、電子部品8で発生した熱は冷却板3の冷媒4に移送される。その他の構成は、実施形態5と同様である。
The module 2 or the heat-generating electronic component 8 is fixed to the package 82. The package 82 is mounted on a substrate 84 that is electrically connected to the module 2 or the electronic component 8. The heat sink 83 has a space that covers the package 82. The bottom surface of the heat sink 83 is filled with thermally conductive grease, or a thermal interface such as a thermally conductive rubber inserted between the bottom surface of the heat sink 83 and the bottom surface of the package 82 is provided. Through these thermal interfaces, the heat sink 83 is thermally connected to the bottom surface of the package 82. The substrate 84 is fixed to the heat sink 83. The heat sink 83 is thermally connected to the chassis 7 in the vicinity of the flow path 25 and is fixed to the chassis 7.
Thereby, the constituent material between the electronic component 8 and the chassis 7 can be simplified, and heat can be effectively transferred from the electronic component 8 to the refrigerant inside the chassis 7. The cooling plate 3 is thermally connected to the lower surface of the chassis 7, and the heat generated by the electronic component 8 is transferred to the refrigerant 4 of the cooling plate 3. Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入し流れを発生させるポンプを有した閉じた流路により、モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送する。これによって、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。
また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。
As described above, in this embodiment, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted are mounted in one chassis, and a pump is provided that encloses a refrigerant and generates a flow to transfer heat provided in the chassis. The heat of the electronic component mounted inside the module is transferred by the closed flow path. As a result, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and the maintainability is improved.
In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

実施の形態10.
図13は、実施の形態10によるモジュール2がシャーシ7に実装されている部分を示す断面図である。
Embodiment 10 FIG.
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a portion where the module 2 according to the tenth embodiment is mounted on the chassis 7.

モジュール2もしくは発熱性の電子部品8は、パッケージ82に固定され、そのパッケージ82はモジュール2もしくは電子部品8と電気的に接続される基板84に実装される。シャーシ7には周辺に枠を設け、また基板84に実装されたパッケージ82の高さに応じて窪みが設けられる。基板84は、シャーシ7の枠に対応する部分に、グランドに通じるメタライズ層を有し、シャーシ7の枠と電気的に接触する。シャーシ7の流路25の近傍には窪み部が形成されている。シャーシ7の窪み部とパッケージとは、シャーシ7の窪み部に充填された熱伝導グリス、又はシャーシ7の窪み部とパッケージ82の底面との間に挿入された熱伝導ラバー等によって、熱的に接続する。これより、電子部品8とシャーシ7の間の構成材を簡素化でき、実施の形態9と同様にして、電子部品8から冷却板3内部の冷媒4に効果的に熱を移送することができる。その他の構成は、実施形態9と同様である。   The module 2 or the heat-generating electronic component 8 is fixed to a package 82, and the package 82 is mounted on a substrate 84 that is electrically connected to the module 2 or the electronic component 8. The chassis 7 is provided with a frame around the periphery, and is provided with a recess according to the height of the package 82 mounted on the substrate 84. The substrate 84 has a metallized layer that communicates with the ground at a portion corresponding to the frame of the chassis 7 and is in electrical contact with the frame of the chassis 7. A recess is formed in the vicinity of the flow path 25 of the chassis 7. The hollow portion of the chassis 7 and the package are thermally formed by heat conductive grease filled in the hollow portion of the chassis 7 or a heat conductive rubber inserted between the hollow portion of the chassis 7 and the bottom surface of the package 82. Connecting. Thus, the constituent material between the electronic component 8 and the chassis 7 can be simplified, and heat can be effectively transferred from the electronic component 8 to the refrigerant 4 inside the cooling plate 3 in the same manner as in the ninth embodiment. . Other configurations are the same as those of the ninth embodiment.

以上により、この実施形態では、発熱性電子部品を内部に実装する複数のモジュールを1つのシャーシに実装し、そのシャーシに設けた熱を移送するため冷媒を封入し流れを発生させるポンプを有した閉じた流路によって、モジュール内部に実装された電子部品の熱を移送する。これにより、複数のモジュールを同時に着脱することができ、メンテナンス性が向上する。また、電子部品とシャーシの外部に配置された冷却板内部の冷媒との間の温度差を小さくすることができる。   As described above, in this embodiment, a plurality of modules in which heat-generating electronic components are mounted is mounted in one chassis, and a pump is provided that encloses a refrigerant and generates a flow to transfer heat provided in the chassis. The heat of the electronic component mounted inside the module is transferred by the closed flow path. Thereby, a plurality of modules can be attached and detached at the same time, and maintainability is improved. In addition, the temperature difference between the electronic component and the refrigerant inside the cooling plate disposed outside the chassis can be reduced.

この発明の実施の形態1による電子走査アンテナ装置を示す図である。It is a figure which shows the electronic scanning antenna apparatus by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による電子走査アンテナ装置の一部断面を示す図である。It is a figure which shows the partial cross section of the electronic scanning antenna apparatus by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による冷却構造を示す図である。It is a figure which shows the cooling structure by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2による冷却構造を示す図である。It is a figure which shows the cooling structure by Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態3による冷却構造を示す図である。It is a figure which shows the cooling structure by Embodiment 3 of this invention. この発明の実施の形態4による冷却構造を示す図である。It is a figure which shows the cooling structure by Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態5による冷却構造を示す図である。It is a figure which shows the cooling structure by Embodiment 5 of this invention. この発明の実施の形態5による冷却構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cooling structure by Embodiment 5 of this invention. この発明の実施の形態6による冷却構造を示す図である。It is a figure which shows the cooling structure by Embodiment 6 of this invention. この発明の実施の形態7による冷却構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cooling structure by Embodiment 7 of this invention. この発明の実施の形態8による冷却構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cooling structure by Embodiment 8 of this invention. この発明の実施の形態9による冷却構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cooling structure by Embodiment 9 of this invention. この発明の実施の形態10による冷却構造を示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing a cooling structure according to Embodiment 10 of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 アンテナ素子、2 モジュール、3 冷却板、4 冷媒、5 枠体、7 シャーシ、8 電子部品、9 、10 フレーム、11 フレーム、12 熱的なインターフェース部、13 熱伝導部材、20 流路、21 流路、25 流路3、26 ポンプ、27 流路3、28 作動液、29 冷媒 、30 固定具、31 固定面、32 ねじ、33 固定具、34 回転軸、35 ねじ、36 ばね、37 ねじ、38 固定具、61 流れ方向、70 第1の流路、71 第2の流路、80 固定部材、81 フィン、82 パッケージ、83 ヒートシンク、84 基板、85 窪み、86 枠。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Antenna element 2 Module 3 Cooling plate 4 Refrigerant 5 Frame 7 Chassis 8 Electronic component 9 10 Frame 11 Frame 12 Thermal interface part 13 Heat conduction member 20 Flow path 21 Flow path, 25 Flow path 3, 26 Pump, 27 Flow path 3, 28 Hydraulic fluid, 29 Refrigerant, 30 Fixing tool, 31 Fixing surface, 32 Screw, 33 Fixing tool, 34 Rotating shaft, 35 Screw, 36 Spring, 37 Screw , 38 Fixing tool, 61 Flow direction, 70 First flow path, 71 Second flow path, 80 Fixing member, 81 Fin, 82 Package, 83 Heat sink, 84 Substrate, 85 Depression, 86 Frame.

Claims (20)

内部流路を有する冷却板に当接して熱的に接続される放熱面と、発熱性の電子部品が実装されたモジュールを複数個装着する装着面とを有し、上記装着面と放熱面の間で蒸発凝縮作用を行う作動液が封入された流路の形成されたシャーシと、
上記シャーシの放熱面を上記冷却板に当接させて、上記シャーシを固定する固定部材と、
を備えた冷却部材。
A heat-dissipating surface that is in thermal contact with a cooling plate having an internal flow path, and a mounting surface for mounting a plurality of modules on which heat-generating electronic components are mounted. A chassis formed with a flow path enclosing a working fluid that performs evaporation and condensation between them,
A fixing member for fixing the chassis by bringing the heat dissipation surface of the chassis into contact with the cooling plate;
A cooling member.
上記シャーシの放熱面は上記装着面と垂直に設けられ、
上記シャーシの流路は、一端部が上記放熱面の近傍に配置され、他端部が上記装着面の直下に配置されたことを特徴とする請求項1記載の冷却部材。
The heat dissipation surface of the chassis is provided perpendicular to the mounting surface,
The cooling member according to claim 1, wherein one end of the flow path of the chassis is disposed in the vicinity of the heat radiating surface, and the other end is disposed immediately below the mounting surface.
上記シャーシは互いに垂直な2つの放熱面を有し、
上記放熱面の一方は、上記冷却板内に形成される流路と平行に配置され、
上記シャーシに形成された流路の他端部は上記一方の放熱面に近接して配置されたことを特徴とする請求項2記載の冷却部材。
The chassis has two heat dissipating surfaces perpendicular to each other,
One of the heat radiating surfaces is arranged in parallel with the flow path formed in the cooling plate,
The cooling member according to claim 2, wherein the other end of the flow path formed in the chassis is disposed close to the one heat radiating surface.
上記シャーシの流路は重力と平行方向か、もしくは水平との成す角度が正となり、かつ上記一端部が上記他端部よりも上方に位置することを特徴とする請求項2または請求項3記載の冷却部材。   4. The flow path of the chassis is parallel to gravity or has a positive angle with the horizontal, and the one end is located above the other end. Cooling member. 上記固定部材は、上記シャーシの放熱面を、上記冷却板に対して着脱可能に付勢するくさび形状の固定具を備えたことを特徴とする請求項2記載の冷却部材。   The cooling member according to claim 2, wherein the fixing member includes a wedge-shaped fixing tool that urges the heat radiating surface of the chassis detachably with respect to the cooling plate. 上記固定部材は、上記シャーシの放熱面を上記冷却板に対して着脱可能に付勢する固定具と、嵌合部を有した支柱とを備え、
上記固定具は、上記シャーシに回転可能に軸支されるとともに、上記シャーシの放熱面を上記冷却板に付勢した状態で上記嵌合部と嵌合される溝が形成され、かつ上記固定具を上記シャーシに固定するねじを設けたことを特徴とする請求項2記載の冷却部材。
The fixing member includes a fixture that urges the heat radiating surface of the chassis detachably with respect to the cooling plate, and a support column having a fitting portion.
The fixture is rotatably supported by the chassis, and a groove is formed to be fitted to the fitting portion in a state where the heat radiation surface of the chassis is biased to the cooling plate, and the fixture The cooling member according to claim 2, further comprising a screw for fixing the screw to the chassis.
上記固定部材は、上記シャーシの放熱面を、上記冷却板に対して着脱可能に付勢するばねと、上記ばねを固定する固定具とを備えたことを特徴とする請求項2記載の冷却部材。   The cooling member according to claim 2, wherein the fixing member includes a spring that detachably biases the heat radiating surface of the chassis with respect to the cooling plate, and a fixture that fixes the spring. . 上記放熱面は、上記シャーシの装着面とほぼ平行な面を形成することを特徴とする請求項1記載の冷却部材。   The cooling member according to claim 1, wherein the heat radiating surface forms a surface substantially parallel to a mounting surface of the chassis. 内部流路を有する冷却板に当接して熱的に接続される放熱面と、発熱性の電子部品が実装されたモジュールを複数個装着する装着面と、上記放熱面と上記装着面との間に形成された冷媒流路と、冷媒流路に冷媒を吐出するポンプとを有したシャーシと、
上記シャーシの放熱面を上記冷却板に当接させて、上記シャーシを固定する固定部材と、
を備えた冷却部材。
A heat dissipating surface that is in thermal contact with a cooling plate having an internal flow path, a mounting surface for mounting a plurality of modules on which heat-generating electronic components are mounted, and between the heat dissipating surface and the mounting surface A chassis having a refrigerant flow path formed on and a pump for discharging the refrigerant to the refrigerant flow path,
A fixing member for fixing the chassis by bringing the heat dissipation surface of the chassis into contact with the cooling plate;
A cooling member.
上記シャーシの放熱面は上記装着面と垂直に設けられ、
上記シャーシの流路は、一端部が上記放熱面の近傍に配置され、他端部が上記装着面の直下に配置されたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。
The heat dissipation surface of the chassis is provided perpendicular to the mounting surface,
The cooling member according to claim 9, wherein one end of the flow path of the chassis is disposed in the vicinity of the heat radiating surface, and the other end is disposed immediately below the mounting surface.
上記シャーシの流路は、上記ポンプの下流で複数に分岐するとともに、複数の発熱性の電子部品の近傍を通過して上記ポンプの上流側で合流することを特徴とする請求項9記載の冷却部材。   10. The cooling according to claim 9, wherein the flow path of the chassis branches into a plurality of downstreams of the pump, and passes through the vicinity of the plurality of heat-generating electronic components and merges on the upstream side of the pumps. Element. 上記シャーシの流路は、直管状に形成され、当該流路に接続されたポンプとともに振動流れを生成することを特徴とする請求項9記載の冷却部材。   The cooling member according to claim 9, wherein the flow path of the chassis is formed in a straight tube shape and generates a vibration flow together with a pump connected to the flow path. 上記シャーシの流路は、上記装着面の直下に閉ループを構成する第1、第2の流路を形成し、当該第1の流路は第2の流路と上記装着面との間に配置されたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。   The flow path of the chassis forms first and second flow paths that form a closed loop immediately below the mounting surface, and the first flow path is disposed between the second flow path and the mounting surface. The cooling member according to claim 9, wherein the cooling member is formed. 上記シャーシは、上記装着面の下部にフィンを有する装着基板を備え、
上記装着基板のフィンは、上記流路内に突出して配置されたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。
The chassis includes a mounting board having fins below the mounting surface,
The cooling member according to claim 9, wherein the fin of the mounting substrate is disposed so as to protrude into the flow path.
上記電子部品はパッケージに収納されて基板に装着され、
上記基板は上記シャーシを構成するヒートシンク部材に載置され、
上記ヒートシンク部材は上記流路の近傍で上記シャーシと熱的に接続されるとともに、上記パッケージと上記ヒートシンク部材とが熱的に接続されたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。
The electronic component is housed in a package and mounted on a substrate.
The substrate is placed on a heat sink member constituting the chassis,
10. The cooling member according to claim 9, wherein the heat sink member is thermally connected to the chassis in the vicinity of the flow path, and the package and the heat sink member are thermally connected.
上記電子部品はパッケージに収納されて基板に装着され、
上記基板は上記シャーシに載置され、
上記パッケージは上記流路の近傍で上記シャーシに設けられた窪み部と熱的に接続されたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。
The electronic component is housed in a package and mounted on a substrate.
The substrate is placed on the chassis,
The cooling member according to claim 9, wherein the package is thermally connected to a recess provided in the chassis in the vicinity of the flow path.
上記固定部材は、上記シャーシの放熱面を、上記冷却板に対して着脱可能に付勢するくさび形状の固定具を備えたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。   The cooling member according to claim 9, wherein the fixing member includes a wedge-shaped fixing tool that urges the heat radiating surface of the chassis detachably with respect to the cooling plate. 上記固定部材は、上記シャーシの放熱面を上記冷却板に対して着脱可能に付勢する固定具と、嵌合部を有した支柱とを備え、
上記固定具は、上記シャーシに回転可能に軸支されるとともに、上記シャーシの放熱面を上記冷却板に付勢した状態で上記嵌合部と嵌合される溝が形成され、かつ上記固定具を上記シャーシに固定するねじを設けたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。
The fixing member includes a fixture that urges the heat radiating surface of the chassis detachably with respect to the cooling plate, and a support column having a fitting portion.
The fixture is rotatably supported by the chassis, and a groove is formed to be fitted to the fitting portion in a state where the heat radiation surface of the chassis is biased to the cooling plate, and the fixture The cooling member according to claim 9, further comprising a screw for fixing the screw to the chassis.
上記固定部材は、上記シャーシの放熱面を、上記冷却板に対して着脱可能に付勢するばねと、上記ばねを固定する固定具とを備えたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。   The cooling member according to claim 9, wherein the fixing member includes a spring that detachably biases the heat radiating surface of the chassis with respect to the cooling plate, and a fixture that fixes the spring. . 上記シャーシは、別体の2つの部材から構成され、
当該2つの部材の間に、上記電子部品に対し信号を供給する基板を備えたことを特徴とする請求項9記載の冷却部材。
The chassis is composed of two separate members,
The cooling member according to claim 9, further comprising a substrate for supplying a signal to the electronic component between the two members.
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