Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2005330018A - 搬送車システム - Google Patents

搬送車システム Download PDF

Info

Publication number
JP2005330018A
JP2005330018A JP2004147332A JP2004147332A JP2005330018A JP 2005330018 A JP2005330018 A JP 2005330018A JP 2004147332 A JP2004147332 A JP 2004147332A JP 2004147332 A JP2004147332 A JP 2004147332A JP 2005330018 A JP2005330018 A JP 2005330018A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor
article
cassette
posture
shielding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004147332A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4093206B2 (ja
Inventor
Kouhan Kishimoto
浩繁 岸本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to JP2004147332A priority Critical patent/JP4093206B2/ja
Publication of JP2005330018A publication Critical patent/JP2005330018A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4093206B2 publication Critical patent/JP4093206B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract


【構成】 走行レール4に設けたブラケット8,9に反射式センサ10を設けて、カセット28の底面下側を監視する。天井走行車12の荷台に遮蔽板20と反射板22とを設け、カセット28に触れると遮蔽板20が揺動し、反射板22をセンサ10に対して遮るようにする。
【効果】 天井走行車上の物品の姿勢を確実に検出できる。
【選択図】 図1

Description

この発明は、天井走行車や有軌道台車、スタッカークレーン、無人搬送車などの搬送車を用いたシステムに関し、特に搬送車上の物品の姿勢の検出に関する。
搬送車上の物品の姿勢を検出するため、センサを設けることが行われている。例えば光学式センサの光軸が物品により遮られるかどうかで、物品の位置を検出することが行われている。発明者はここで、物品の位置をセンサで直接監視すると、物品が透明か不透明か、物品が着色されているかどうか、あるいは物品表面が艶消しされているかどうかなどで、検出結果が影響を受けることを見出した。
この発明の基本的課題は、物品の透明度や着色、艶消しの有無などの影響を受けずに確実に物品の姿勢を検出できるようにすることにある。
請求項2の発明での追加の課題は、センサの設置に要するスペースを最小にして、他の設備との干渉を防止することにある。
請求項3の発明での追加の課題は、センサが物品の移載手段と干渉しないようにし、かつ物品の姿勢が狂うと確実に検出できるようにすることにある。
この発明の搬送車システムは、センサにより搬送車上の物品の姿勢を検出するようにしたシステムにおいて、前記物品との接触により動作する遮蔽部材と該遮蔽部材の動作の有無を検出するセンサとの組み合わせを、前記遮蔽部材を互いに離隔して、複数組設けたことを特徴とする。
好ましくは、前記センサが反射式センサで、該センサから前記遮蔽部材を結ぶ線の延長部に反射板を設ける。
また好ましくは、前記センサを前記物品の移載手段の移載経路外の位置に設けると共に、前記遮蔽部材を少なくとも前記物品の対角線上の2角の付近に配置し、物品の対角線上の2角の付近で物品の姿勢を検出する。
この発明では、物品自体をセンサで検出するのではなく、物品により遮蔽部材が動作したかどうかをセンサで検出するので、物品の透明度や物品表面の状態などの影響を受けずに検出できる。また物品の位置が僅かに変動した場合に、これをセンサで直接検出することは難しいが、物品の位置の変化を遮蔽部材の状態の変化にいわば変換して検出すると、僅かな物品位置の変化を確実に検出できる。これらのため、物品の透明度等の影響を受けずに物品の姿勢を検出でき、さらに遮蔽部材を互いに離隔して複数組設けるので、確実に物品の姿勢を検出できる。
請求項2の発明では、反射式のセンサを設けるので、透過式の場合と異なり、発信部と受信部の2組のセンサ部材を設ける必要が無く、センサの設置が容易で、必要なスペースも少なくできる。このため他の設備との干渉を少なくできる。
請求項3の発明では、センサを移載手段の移載経路の外側に配置するので、センサが移載手段と干渉することがない。また物品の対角線上の2角付近を検出するので、物品の姿勢が狂えば確実に検出できる。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
図1〜図5に、実施例とその動作を示す。図において2は搬送車システムで、4はその走行レールで、6は開口である。また走行レール4にはリニアモータの1次側が設けてある。8,9は反射式センサ10を取り付けるためのブラケットで、例えば走行レール4に設けるが、搬送物品の処理設備のロードポートなどに設けても良く、あるいは搬送車としての天井走行車12自体に設けても良い。天井走行車12は搬送車の例で、他の有軌道台車やスタッカークレーンなどでもよく、また無軌道で走行する無人搬送車などでもよい。天井走行車12には、図示しないリニアモータの2次側を、開口6から走行レール4内に挿入するように設け、例えば無電源で、走行レール4に沿って走行する。
天井走行車12には例えば一対のカセット保持スペース14,14を設け、16はカセットの底部を支持するための荷台で、18,19はカセットの脱落等を防止するためのガードである。20は遮蔽板で、荷台16の底部下側の位置に設け、22は反射板で、同様に荷台16の底部下側に設け、24は遮蔽板20の一部が荷台16に突き出すようにするための開口である。なお開口24を設けて遮蔽板20の一部のみを露出させる代わりに、遮蔽板20の全体を露出させても良い。遮蔽板20はセンサ10から反射板22までの光軸を遮る位置に設け、高さレベルは例えばここでは荷台16の底面下方で、カセットの底面よりも低い位置とする。また反射式センサ10には可視光や赤外光などのセンサを用いるが、これ以外に超音波やマイクロ波などで指向性の強いセンサでも良い。
反射式センサ10に代えて透過式のセンサを設けることも可能で、その場合、例えば反射式センサ10を透過式センサの投光部などに変更し、走行レール4を挟んで遮蔽板20の反対側に他のブラケット25を設け、受光部26を取り付ける。しかしながらこのようにすると、走行レール4に取り付けるブラケットの数が2倍になり、走行レール4の付近に設ける他の設備などとの干渉が増すので、透過式センサよりも反射式センサが好ましい。
実施例では反射式センサ10を走行レール4側に設けたが、天井走行車12自体に設けることも可能である。例えば図1の27は天井走行車12に設けた反射式センサの例で、例えば荷台16よりも低い位置で、遮蔽板20と反射板22を結ぶ線上に設ける。しかしこのようにすると、天井走行車12に電源が必要になる。反射式センサ10は物品の底面を監視するものに限らず、物品の側面などを監視しても良い。例えば前記のガード18の付近に反射式のセンサなどを設けると共に、カセット28と接触して揺動あるいは出没する遮蔽板を設けて、図示しない反射板での反射の有無を検出しても良い。さらにスタッカークレーンなどの場合、反射式センサ10はその昇降台などに設ける。29は信号処理部で、各カセット28に付き、いずれかの反射式センサ10が反射光を受光した際に、カセットの姿勢不良を出力する。
半導体などを搬送するためのカセット28には、その左右方向両側に一対の突条30があり、この突条30を荷台16で支持する。遮蔽板20は図2に示すように、軸32を中心に揺動自在に設けられ、コイルバネ34などで開口24から突き出す位置に付勢する。そして突条30が開口24を覆う位置に現れると、遮蔽板20が図2の実線位置へと揺動し、遮蔽部36で反射板22の反射面38を完全に遮蔽する。実施例では遮蔽板20を揺動させたが、バネなどで上向きに付勢して、突条30で降下させるようにしても良い。図3は、図2とは逆向きに遮蔽板20や反射板22を見た姿を示す。
図4に、移載手段としてのスカラアーム40と反射式センサ10との位置関係を示す。なおスカラアーム40は図示しないロードポートなどに設けられているものとし、天井走行車側に設けても良く、あるいはスライドフォークなどの他の移載手段でも良い。反射式センサ10はカセット28の底面下方に光軸があるので、ブラケット8も反射式センサ10もカセット28自体とは干渉しない。そしてブラケット8を一対の荷台の左右両側に配置することにより、図に鎖線で表示したスカラアーム40の移動経路の外部に配置できる。この結果、ブラケット8も反射式センサ10も、カセット28やスカラアーム40とは干渉しない。ロードポートに対するカセット28の移載位置は、図4の実線で示したものと、1点鎖線で示したものと、2点鎖線で示したものの3通りである。鎖線の場合、一対の荷台上の一方のカセットのみを移載する。そしてこれらの3通りの移載位置のいずれに対しても、一対のブラケット8,9に設けた4個の反射式センサ10により、各カセットに対して対角線上の2角で姿勢を検出できるので、物品の姿勢が狂うと確実に検出できる。このように物品の対角線の2角を検出することにより、1物品当たり2個の最小限のセンサで、物品が前後あるいは左右に位置ずれしていることや向きが狂っていることなどの、水平方向の物品の姿勢の狂いを確実に検出できる。
図5に、カセット28の姿勢変化に対する検出を示す。反射式センサで実際に検出しているのは、開口24の位置にカセット28の突条30があるかどうかである。ここで開口24は突条30の両角部付近にあり、図5の鎖線のようにカセット28の姿勢が僅かでも変化すると、一方の開口が突条30の底面から外れ、姿勢の変化を検出できる。
実施例では反射式センサ10などを図示しないロードポートの付近に設け、カセットの移載のために天井走行車が停止すると、半導体などの処理装置側へカセットを移載する前にその位置を確認する。そして1つのカセットについて何れか一方でも遮蔽板が動作していない場合、カセットの位置が不良であるものとし、移載を中断して点検を受ける。またロードポート側から天井走行車にカセットを移載する場合、移載後に反射式センサを用いてその姿勢を検査し、各カセットについて何れか一方でも遮蔽板が動作していない場合、姿勢不良として移載を再度行う。なお実施例では、カセットの透明度等が検出に影響しないので、透明/不透明などが異なるカセットを混在させることができる。
実施例の搬送車システムの要部平面部 実施例でのカセットによる遮蔽板の動作を示す要部拡大側面図 実施例でカセットにより遮蔽板が動作した状態を示す要部拡大側面図 ロードポート側のスカラアームとセンサとの配置を模式的に示す図 実施例でのカセットの姿勢検出を模式的に示す図
符号の説明
2 搬送車システム
4 走行レール
6 開口
8,9 ブラケット
10 反射式センサ
12 天井走行車
14 カセット保持スペース
16 荷台
18,19 ガード
20 遮蔽板
22 反射板
24 開口
25 ブラケット
26 受光部
27 反射式センサ
28 カセット
29 信号処理部
30 突条
32 軸
34 コイルバネ
36 遮蔽部
38 反射面
40 スカラアーム

Claims (3)

  1. センサにより搬送車上の物品の姿勢を検出するようにしたシステムにおいて、
    前記物品との接触により動作する遮蔽部材と該遮蔽部材の動作の有無を検出するセンサとの組み合わせを、前記遮蔽部材を互いに離隔して、複数組設けたことを特徴とする、搬送車システム。
  2. 前記センサが反射式センサで、該センサから前記遮蔽部材を結ぶ線の延長部に反射板を設けたことを特徴とする、請求項1の搬送車システム。
  3. 前記センサを前記物品の移載手段の移載経路外の位置に設けると共に、前記遮蔽部材を少なくとも前記物品の対角線上の2角の付近に配置し、物品の対角線上の2角の付近で物品の姿勢を検出するようにしたことを特徴とする、請求項1または2の搬送車システム。
JP2004147332A 2004-05-18 2004-05-18 搬送車システム Expired - Fee Related JP4093206B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004147332A JP4093206B2 (ja) 2004-05-18 2004-05-18 搬送車システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004147332A JP4093206B2 (ja) 2004-05-18 2004-05-18 搬送車システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005330018A true JP2005330018A (ja) 2005-12-02
JP4093206B2 JP4093206B2 (ja) 2008-06-04

Family

ID=35484941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004147332A Expired - Fee Related JP4093206B2 (ja) 2004-05-18 2004-05-18 搬送車システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4093206B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007246232A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Hitachi Plant Technologies Ltd 無人搬送機における搬送物の適正載置位置検出装置
JP2008030873A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Meidensha Corp 着座検出装置
JP2020167397A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 平田機工株式会社 ロードポート

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007246232A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Hitachi Plant Technologies Ltd 無人搬送機における搬送物の適正載置位置検出装置
JP2008030873A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Meidensha Corp 着座検出装置
JP2020167397A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 平田機工株式会社 ロードポート

Also Published As

Publication number Publication date
JP4093206B2 (ja) 2008-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7357453B2 (ja) 基板処理システムおよび基板の搬送方法
TWI585562B (zh) Handling system
WO2011083525A1 (ja) 搬送車システム
TW201543601A (zh) 晶圓映射裝置及具備此裝置之裝載埠
JP2000225938A (ja) 天井走行搬送装置
TW200935540A (en) Substrate positional misalignment detection system
TW202109016A (zh) 檢查系統
JP4093206B2 (ja) 搬送車システム
JP2007227781A (ja) 基板の位置ずれ検査機構,処理システム及び基板の位置ずれ検査方法
KR102535709B1 (ko) 검사 시스템
TWI603910B (zh) 基板檢測裝置
JP2007197164A (ja) 垂直搬送装置
JP2004277066A (ja) 搬送台車
JP2001261284A (ja) 天井走行搬送装置
CN115349113A (zh) 行驶车系统
JP4887804B2 (ja) 搬送システム
JP4665592B2 (ja) 天井走行車システム
KR101539316B1 (ko) Oht 제어 센서시스템
JP2000150622A (ja) ホイスト付天井走行搬送装置
WO2022264579A1 (ja) 有軌道台車システム
JP2000114350A (ja) ウェーハの検出装置及び検出方法
JP2023035305A (ja) 搬送システム
JP2007055720A (ja) 物品格納装置
JP2000191107A (ja) 荷物搬入システム
KR100486107B1 (ko) 반사형감지센서를갖는트레이이송장치

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070903

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071011

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071210

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080212

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080225

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140314

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees