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JP2005310758A - Manufacturing method of light emission device, and electronic device - Google Patents

Manufacturing method of light emission device, and electronic device Download PDF

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JP2005310758A
JP2005310758A JP2005074315A JP2005074315A JP2005310758A JP 2005310758 A JP2005310758 A JP 2005310758A JP 2005074315 A JP2005074315 A JP 2005074315A JP 2005074315 A JP2005074315 A JP 2005074315A JP 2005310758 A JP2005310758 A JP 2005310758A
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JP
Japan
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light
emitting element
layer
light emitting
electrode
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Pending
Application number
JP2005074315A
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Japanese (ja)
Inventor
Tsunenori Suzuki
恒徳 鈴木
Tetsushi Seo
哲史 瀬尾
Ryoji Nomura
亮二 野村
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emission device capable of reducing the increase of power consumption generated by the stabilizing treatment of lowering of brightness caused by the elapse of light emitting period. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the light emission device comprises a process of impressing a reversed voltage on a light emitting element having rectifying function after applying a treatment of stabilizing the lowering of the brightness of the light emitting element. Although there is not any specific restriction on the treatment for stabilizing the lowering of the brightness, for example, a process of impressing forward voltage can be applied. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、発光装置の製造方法に関し、特に発光輝度の低下の安定化処理に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting device, and more particularly, to a stabilization process for a decrease in light emission luminance.

エレクトロルミネッセンス素子(発光素子)からの発光を利用した発光装置は、高視野角、低消費電力の表示用装置として注目されている装置である。   A light-emitting device using light emission from an electroluminescence element (light-emitting element) is a device that has attracted attention as a display device with a high viewing angle and low power consumption.

ところで、発光素子は、一定の電流を流し続けて発光させたとき、発光時間の経過に伴って発光輝度が下がっていく現象を示す。このような発光輝度の低下は、特に経過時間の初期において顕著であり、一定時間が経過した後、徐々に安定になる。   By the way, the light emitting element exhibits a phenomenon in which the light emission luminance decreases as the light emission time elapses when light is emitted while a constant current is applied. Such a decrease in light emission luminance is particularly remarkable at the beginning of the elapsed time, and becomes gradually stable after a certain time has elapsed.

その為、発光装置の製造においては、発光時間の経過に伴う発光輝度の低下を安定化するための処理が行われることがある。例えば、特許文献1では、駆動時の電流密度の5〜1000倍の電流密度でエージングする有機電界発光素子の製造方法について開示されている。   Therefore, in the manufacture of a light emitting device, a process for stabilizing a decrease in light emission luminance with the passage of light emission time may be performed. For example, Patent Document 1 discloses a method for manufacturing an organic electroluminescent element that is aged at a current density that is 5 to 1000 times the current density during driving.

しかし、発光素子は、発光時間の経過に伴って、或る特定の大きさの電流を流すのに必要な電圧が大きくなるという現象も示す。この為、特許文献1に記載の製造方法では、発光装置の消費電力が増加するという問題がある。   However, the light-emitting element also exhibits a phenomenon that a voltage necessary for flowing a current having a specific magnitude increases with the passage of light emission time. For this reason, the manufacturing method described in Patent Document 1 has a problem that the power consumption of the light emitting device increases.

特開平8−185979号公報Japanese Patent Laid-Open No. 8-185979

本発明は、発光時間の経過に伴う発光輝度の低下の安定化処理によって生じる消費電力の増加を低減できる発光装置の製造方法について提供することを課題とする。   It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a light emitting device that can reduce an increase in power consumption caused by a stabilization process of a decrease in light emission luminance with the passage of light emission time.

本発明の発光装置の製造方法の一は、整流作用を示す発光素子に対して、発光輝度の低下を安定化するための処理をした後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴としている。   One of the methods for manufacturing a light-emitting device of the present invention includes a step of applying a reverse voltage to a light-emitting element exhibiting a rectifying effect after a treatment for stabilizing a decrease in light emission luminance. It is said.

発光輝度の低下を安定化するための処理について特に限定はないが、例えば、順方向の電圧を印加する処理が挙げられる。   There is no particular limitation on the process for stabilizing the decrease in light emission luminance. For example, a process of applying a forward voltage can be mentioned.

本発明の発光装置の製造方法の一は、発光素子を作製後、電流が流れやすい方向の電圧を発光素子に印加し、さらに、電流が流れにくい方向の電圧を発光素子に印加する工程を含むことを特徴としている。   One method for manufacturing a light-emitting device of the present invention includes a step of applying a voltage in a direction in which a current easily flows to the light-emitting element after manufacturing the light-emitting element, and further applying a voltage in a direction in which a current does not easily flow to the light-emitting element. It is characterized by that.

本発明の発光装置の製造方法の一は、一対の電極に発光層が挟まれて成り、整流作用を示す発光素子について、発光輝度の低下を安定化するための処理をした後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴としている。   One of the methods for manufacturing a light-emitting device of the present invention is that a light-emitting layer is sandwiched between a pair of electrodes, and a light-emitting element exhibiting a rectifying function is treated in a reverse direction after being treated to stabilize a decrease in light emission luminance. It includes a step of applying a voltage.

発光輝度の低下を安定化するための処理について特に限定はないが、例えば、順方向の電圧を印加する処理が挙げられる。   There is no particular limitation on the process for stabilizing the decrease in light emission luminance. For example, a process of applying a forward voltage can be mentioned.

本発明によって、発光時間の経過に伴う発光輝度の低下が安定化すると共に、安定化処理によって生じる消費電力の増加が低減した発光装置を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain a light emitting device in which a decrease in light emission luminance with the passage of light emission time is stabilized and an increase in power consumption caused by the stabilization process is reduced.

以下、本発明の一態様について図面を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から 逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention can be implemented in many different modes, and those skilled in the art can easily understand that the modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Is done. Therefore, the present invention is not construed as being limited to the description of this embodiment mode.

(実施の形態1)
本形態では、第1の電極102と第2の電極104との間に発光層103を挟んで成る発光素子105を含む発光装置の製造方法について図1(A)の斜視図と、図1(B)の断面図を用いて説明する。なお、図1(B)は、基板101上に作製される複数の発光素子の中の一つの断面図である。発光素子105において、第1の電極102から発光層103に注入された正孔と、第2の電極104から発光層103に注入された電子とは、発光層103において再結合し、励起子を形成する。その励起子が基底状態に戻るときに発光する。つまり、第1の電極102は陽極として機能し、第2の電極104は陰極として機能する。
(Embodiment 1)
In this embodiment mode, a manufacturing method of a light-emitting device including a light-emitting element 105 in which a light-emitting layer 103 is sandwiched between a first electrode 102 and a second electrode 104, and a perspective view of FIG. This will be described with reference to the sectional view of B). Note that FIG. 1B is a cross-sectional view of one of the plurality of light-emitting elements manufactured over the substrate 101. In the light-emitting element 105, holes injected from the first electrode 102 into the light-emitting layer 103 and electrons injected from the second electrode 104 into the light-emitting layer 103 are recombined in the light-emitting layer 103, thereby excitons. Form. Light is emitted when the exciton returns to the ground state. That is, the first electrode 102 functions as an anode, and the second electrode 104 functions as a cathode.

基板101上に、第1の電極102を形成する。第1の電極102は、導電膜を成膜後、その導電膜を、行方向または列方向のいずれか一方向に並列に延びた複数の導電膜が形成されるように加工することによって形成すればよい。ここで、第1の電極102について特に限定はないが、仕事関数の大きい物質を用いて形成することが好ましい。具体的には、インジウム錫酸化物(ITO)、または酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、2〜20%の酸化亜鉛を含む酸化インジウムの他、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)等を用いることができる。なお、第1の電極102の形成方法について特に限定はなく、例えばスパッタ法や蒸着法等を用いて形成することができる。   A first electrode 102 is formed over the substrate 101. The first electrode 102 is formed by forming a conductive film and then processing the conductive film so that a plurality of conductive films extending in parallel in either the row direction or the column direction are formed. That's fine. Here, there is no particular limitation on the first electrode 102, but it is preferable to use a substance having a high work function. Specifically, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon oxide, indium oxide containing 2 to 20% zinc oxide, gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni ), Tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), cobalt (Co), copper (Cu), palladium (Pd), or the like. Note that there is no particular limitation on the method for forming the first electrode 102, and the first electrode 102 can be formed by, for example, a sputtering method or an evaporation method.

次に、第1の電極102上に、発光層103を形成する。発光層103は、以下に示すように、第1の層111、第2の層112、第3の層113、第4の層114、第5の層115を順に積層して形成する。   Next, the light-emitting layer 103 is formed over the first electrode 102. As described below, the light-emitting layer 103 is formed by sequentially stacking a first layer 111, a second layer 112, a third layer 113, a fourth layer 114, and a fifth layer 115.

先ず、第1の電極102上に第1の層111を形成する。ここで、第1の層111について特に限定はないが、第1の電極102から発光層103へ正孔が注入されるのを補助することができる物質を用いて形成することが好ましい。具体的には、フタロシアニン(略称:H2Pc)、銅フタロシアニン(略称:CuPc)のようなフタロシアニン系の化合物の他、モリブデン酸化物(MoOx)、バナジウム酸化物(VOx)、ルテニウム酸化物(RuOx)、タングステン酸化物(WOx)、マンガン酸化物(MnOx)等の金属酸化物を用いて、第1の層111を形成することができる。なお、第1の層111の形成方法について特に限定はなく、例えばスパッタ法や蒸着法等を用いて形成することができる。 First, the first layer 111 is formed over the first electrode 102. Here, there is no particular limitation on the first layer 111, but it is preferable to use a substance that can assist the injection of holes from the first electrode 102 into the light-emitting layer 103. Specifically, in addition to phthalocyanine compounds such as phthalocyanine (abbreviation: H 2 Pc) and copper phthalocyanine (abbreviation: CuPc), molybdenum oxide (MoOx), vanadium oxide (VOx), ruthenium oxide (RuOx) ), Tungsten oxide (WOx), manganese oxide (MnOx), or other metal oxide can be used to form the first layer 111. Note that there is no particular limitation on a method for forming the first layer 111, and the first layer 111 can be formed by, for example, a sputtering method, an evaporation method, or the like.

次に、第1の層111上に第2の層112を形成する。ここで第2の層112について特に限定はないが、正孔を輸送し易い物質を用いて形成することが好ましい。また、正孔を輸送し易く、さらに電子が流れるのを阻止できるような物質を用いて形成することがより好ましい。具体的には、4,4'−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]−ビフェニル(略称:α−NPD)、4,4'−ビス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニル−アミノ]−ビフェニル(略称:TPD)、4,4',4''−トリス(N,N−ジフェニル−アミノ)−トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4',4''−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニル−アミノ]−トリフェニルアミン(略称:MTDATA)等の芳香族アミン系(即ち、ベンゼン環−窒素の結合を有する)の化合物等を用いて、第2の層112を形成することができる。なお、第2の層112の形成方法について特に限定はなく、例えば蒸着法等を用いて形成することができる。   Next, the second layer 112 is formed over the first layer 111. Here, there is no particular limitation on the second layer 112, but it is preferable to use a substance that easily transports holes. It is more preferable to use a substance that can easily transport holes and prevent electrons from flowing. Specifically, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenyl-amino] -biphenyl (abbreviation: α-NPD), 4,4′-bis [N- (3-methylphenyl) ) -N-phenyl-amino] -biphenyl (abbreviation: TPD), 4,4 ′, 4 ″ -tris (N, N-diphenyl-amino) -triphenylamine (abbreviation: TDATA), 4,4 ′, 4 ″ -tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenyl-amino] -triphenylamine (abbreviation: MTDATA) and other aromatic amine-based compounds (that is, having a benzene ring-nitrogen bond) Or the like can be used to form the second layer 112. Note that there is no particular limitation on a method for forming the second layer 112, and the second layer 112 can be formed by, for example, an evaporation method.

次に、第2の層112上に第3の層113を形成する。ここで第3の層113について特に限定はないが、発光性の高い物質(発光物質)を用いて形成することが好ましい。なお、発光物質が層中において分散している方が好ましいときは、発光物質と発光物質よりも、HOMO準位とLUMO準位のエネルギーギャップの高い物質とを、発光物質が分散するように混合して、第3の層113を形成すればよい。なお、発光物質と発光物質よりもエネルギーギャップの高い物質とのいずれか一又は両方は、電子も正孔も輸送し易い物質であることがより好ましい。発光物質の具体例としては、4−ジシアノメチレン−2−メチル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル] −4H−ピラン(略称:DCJT)、4−ジシアノメチレン−2−tert−ブチル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル ]−4H−ピラン(略称:DCJTB)、ペリフランテン、2,5−ジシアノ−1,4−ビス[2−(10−メトキシ−1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]ベンゼン、N,N’−ジメチルキナクリドン(略称:DMQd)、クマリン6、クマリン545T、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq3)、9,9’−ビアントリル、9,10−ジフェニルアントラセン(略称:DPA)や9,10−ビス(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)が挙げられる。また、この他、周期表の第3族に属する元素である白金またはイリジウム等を中心金属とする金属錯体等を用いることができる。 Next, the third layer 113 is formed over the second layer 112. Here, there is no particular limitation on the third layer 113, but it is preferable to form the third layer 113 using a substance having high light-emitting properties (a light-emitting substance). Note that when it is preferable that the light-emitting substance is dispersed in the layer, the light-emitting substance and a substance having a higher energy gap between the HOMO level and the LUMO level than the light-emitting substance are mixed so that the light-emitting substance is dispersed. Then, the third layer 113 may be formed. Note that it is more preferable that one or both of the light-emitting substance and the substance having an energy gap higher than that of the light-emitting substance is a substance that easily transports both electrons and holes. As a specific example of a light-emitting substance, 4-dicyanomethylene-2-methyl-6- [2- (1,1,7,7-tetramethyljulolidin-9-yl) ethenyl] -4H-pyran (abbreviation: DCJT) ), 4-dicyanomethylene-2-tert-butyl-6- [2- (1,1,7,7-tetramethyljulolidin-9-yl) ethenyl] -4H-pyran (abbreviation: DCJTB), periflanthene, 2,5-dicyano-1,4-bis [2- (10-methoxy-1,1,7,7-tetramethyljulolidin-9-yl) ethenyl] benzene, N, N′-dimethylquinacridone (abbreviation: DMQd), coumarin 6, coumarin 545T, tris (8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Alq 3 ), 9,9′-bianthryl, 9,10-diphenylanthracene (abbreviation: DPA) and 9,10-bis (2- Naf Til) anthracene (abbreviation: DNA). In addition, a metal complex having platinum or iridium as an element belonging to Group 3 of the periodic table as a central metal can be used.

次に、第3の層113上に第4の層114を形成する。ここで第4の層114について特に限定はないが、電子を輸送し易い物質を用いて形成することが好ましい。また、電子を輸送し易く、さらに正孔が流れるのを阻止できるような物質を用いて形成することがより好ましい。具体例には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq3)、トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq3)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq2)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)など、キノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体等を用いることができる。なお、第4の層114の形成方法について特に限定はなく、例えば蒸着法等を用いて形成することができる。 Next, the fourth layer 114 is formed over the third layer 113. Here, there is no particular limitation on the fourth layer 114, but it is preferable to form the fourth layer 114 using a substance that easily transports electrons. In addition, it is more preferable to use a substance that can easily transport electrons and prevent holes from flowing. Specific examples include tris (8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Alq 3 ), tris (5-methyl-8-quinolinolato) aluminum (abbreviation: Almq 3 ), bis (10-hydroxybenzo [h] -quinolinato) beryllium. A metal complex having a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton, such as (abbreviation: BeBq 2 ) or bis (2-methyl-8-quinolinolato) -4-phenylphenolato-aluminum (abbreviation: BAlq), can be used. Note that there is no particular limitation on the method of forming the fourth layer 114, and the fourth layer 114 can be formed by, for example, an evaporation method.

次に、第4の層114上に第5の層115を形成する。ここで、第5の層115について特に限定はないが、第2の電極104から発光層103へ電子が注入されるのを補助することができる物質を用いて形成することが好ましい。具体的には、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、フッ化カルシウム(CaF2)等のようなアルカリ金属又はアルカリ土類金属の化合物等を用いることができる。なお、第5の層115の形成方法について特に限定はなく、例えば蒸着法等を用いて形成することができる。 Next, a fifth layer 115 is formed over the fourth layer 114. Here, there is no particular limitation on the fifth layer 115, but it is preferable to form the fifth layer 115 using a substance that can assist injecting electrons from the second electrode 104 to the light-emitting layer 103. Specifically, an alkali metal or alkaline earth metal compound such as lithium fluoride (LiF), cesium fluoride (CsF), calcium fluoride (CaF 2 ), or the like can be used. Note that there is no particular limitation on the formation method of the fifth layer 115, and the fifth layer 115 can be formed by, for example, an evaporation method.

以上のようにして形成された発光層103上に、第2の電極104を形成する。第2の電極104は、導電膜を成膜後、その導電膜を、第1の電極102と交差するように並列に延びた複数の導電膜が形成されるように加工することによって形成すればよい。ここで、第2の電極104について特に限定はないが、仕事関数の小さい物質を用いて形成することが好ましい。具体的には、リチウム(Li)等のアルカリ金属またはマグネシウム等のアルカリ土類金属等を含んだアルミニウム等を用いることができる。また、本形態のように、第2の電極104から発光層103へ電子が注入されるのを補助することができる物質を含んで成る層(第4の層114)を設けることによって、先に述べたITO等のような仕事関数の高い物質を第2の電極104を形成する物質として用いることができる。なお、第2の電極104の形成方法について特に限定はなく、例えば蒸着法等を用いて形成することができる。また、第1の電極102と第2の電極104のいずれか一または両方は、可視光を透過できるように、電極の厚さ及び物質を選択して形成することが好ましい。   The second electrode 104 is formed over the light-emitting layer 103 formed as described above. The second electrode 104 may be formed by forming a conductive film and then processing the conductive film so that a plurality of conductive films extending in parallel so as to intersect the first electrode 102 are formed. Good. Here, there is no particular limitation on the second electrode 104; however, it is preferable to use a substance having a low work function. Specifically, aluminum containing an alkali metal such as lithium (Li) or an alkaline earth metal such as magnesium can be used. In addition, by providing a layer (fourth layer 114) containing a substance that can assist in injecting electrons from the second electrode 104 into the light-emitting layer 103 as in this embodiment mode, A substance having a high work function such as ITO described above can be used as a substance for forming the second electrode 104. Note that there is no particular limitation on a method for forming the second electrode 104, and the second electrode 104 can be formed by, for example, an evaporation method. Further, it is preferable that one or both of the first electrode 102 and the second electrode 104 be formed by selecting a thickness and a material of the electrode so that visible light can be transmitted.

以上のようにして、基板101上に行方向及び列方向に並んだ複数の発光素子105を作製することができる。なお、発光素子105は整流作用を示す素子である。   As described above, the plurality of light-emitting elements 105 arranged in the row direction and the column direction on the substrate 101 can be manufactured. Note that the light-emitting element 105 is an element that exhibits a rectifying action.

次に、基板101上に作製された発光素子105に、一定時間、順方向の電圧を印加して、輝度の低下を安定化するための処理をする。ここで処理時間について特に限定はないが、特定の大きさの電流を流したときに得られる輝度が、処理前に得られる輝度(つまり輝度の初期値)の80〜95%になる迄、処理することが好ましい。具体的には、6×101sec〜6×105secの間、処理することが好ましい。なお、輝度低下を安定化するための処理方法は、ここに示したものには限定されるものでなく、この他の処理方法を用いてもよい。 Next, a process for stabilizing a decrease in luminance is performed by applying a forward voltage to the light-emitting element 105 manufactured over the substrate 101 for a certain period of time. Here, the processing time is not particularly limited, but the processing is performed until the luminance obtained when a current having a specific magnitude flows is 80 to 95% of the luminance obtained before the processing (that is, the initial value of the luminance). It is preferable to do. Specifically, it is preferable to process for 6 × 10 1 sec to 6 × 10 5 sec. Note that the processing method for stabilizing the luminance reduction is not limited to the one shown here, and other processing methods may be used.

次に、基板101上に作製された発光素子105に、一定時間、逆方向の電圧を印加する処理をする。これによって、先の輝度低下を安定化するための処理によって上がった駆動電圧を下げることができる。ここで処理時間について特に限定はないが、逆方向の電圧を印加する処理前に、特定の大きさの電流を流すために必要であった電圧の30〜80%になる迄、処理することが好ましい。具体的には、6×101sec〜6×105secの間、処理することが好ましい。 Next, a process of applying a reverse voltage to the light-emitting element 105 manufactured over the substrate 101 for a certain period of time is performed. As a result, it is possible to reduce the drive voltage that has been raised by the process for stabilizing the previous luminance drop. Here, there is no particular limitation on the processing time, but it is possible to perform processing until it reaches 30 to 80% of the voltage required to flow a specific amount of current before applying the voltage in the reverse direction. preferable. Specifically, it is preferable to process for 6 × 10 1 sec to 6 × 10 5 sec.

以上のようにして、パッシブ型の駆動によって発光素子105の発光・非発光を制御できる発光装置を得ることができる。   As described above, a light-emitting device that can control light emission / non-light emission of the light-emitting element 105 by passive driving can be obtained.

なお、本形態において製造した発光装置は、発光層へ正孔を注入するための電極を先に形成し、発光層へ電子を注入するための電極を後に形成しているが、発光素子を作製する工程は、これに限定されない。例えば、発光層へ電子を注入するための電極を先に形成し、発光層へ正孔を注入するための電極を後に形成してもよい。また、発光層の層構造についても本形態に示したものには限定されない。例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)のように発光性が高く、且つ電子を輸送し易い物質を用いる場合等は、発光素子105のように第3の層113と第4の層114とを別に形成しなくてもよい。また、例えば、ポリスチレンスルフォン酸(PSS)とポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とを混合した高分子材料のように第1の電極102から発光層103へ正孔が注入されるのを補助でき、且つ正孔を輸送し易い物質を用いる場合等は、発光素子105のように第1の層111と第2の層112とを別に形成しなくてもよい。つまり、発光層を形成するために用いる物質の種類等によって、発光層を構成する層の数を適宜調整すればよい。発光層の形成には、低分子または高分子の有機物の他、無機物を用いてもよい。また、発光層を構成する層の厚さについても適宜調整すればよい。 Note that in the light-emitting device manufactured in this embodiment, an electrode for injecting holes into the light-emitting layer is formed first, and an electrode for injecting electrons into the light-emitting layer is formed later. The process to perform is not limited to this. For example, an electrode for injecting electrons into the light emitting layer may be formed first, and an electrode for injecting holes into the light emitting layer may be formed later. Further, the layer structure of the light emitting layer is not limited to that shown in this embodiment mode. For example, in the case of using a substance that has high light-emitting properties and easily transports electrons, such as tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq 3 ), the third layer 113 and the fourth layer are formed as in the light-emitting element 105. 114 may not be formed separately. Further, for example, it can assist injection of holes from the first electrode 102 to the light emitting layer 103 like a polymer material in which polystyrene sulfonic acid (PSS) and polyethylene dioxythiophene (PEDOT) are mixed, and When a substance that easily transports holes is used, the first layer 111 and the second layer 112 are not necessarily formed separately as in the light-emitting element 105. In other words, the number of layers included in the light-emitting layer may be adjusted as appropriate depending on the type of a substance used for forming the light-emitting layer. For the formation of the light emitting layer, an inorganic substance may be used in addition to a low molecular or high molecular organic substance. Moreover, what is necessary is just to adjust suitably also about the thickness of the layer which comprises a light emitting layer.

また、発光素子105が空気中に含まれている水分等によって劣化しないように、以上のようにして製造した発光装置を、封止してもよい。また、発光時間の経過に伴う発光輝度の低下を安定化するための処理、または、その後行う逆方向の電圧を印加する処理を行ってもよい。   In addition, the light-emitting device manufactured as described above may be sealed so that the light-emitting element 105 is not deteriorated by moisture or the like contained in the air. In addition, a process for stabilizing a decrease in light emission luminance with the passage of the light emission time or a process for applying a reverse voltage performed thereafter may be performed.

以上のようにして製造された発光装置は、発光時間の経過に伴う発光輝度の低下が安定化され、さらに安定化処理によって生じる消費電力の増加が低減されたものである。   In the light emitting device manufactured as described above, a decrease in light emission luminance with the passage of light emission time is stabilized, and further, an increase in power consumption caused by the stabilization process is reduced.

(実施の形態2)
本発明の発光装置の製造方法によって、実施の形態1に示したようなパッシブ型の発光装置の他、アクティブマトリクス型の発光装置等も製造することができる。本実施の形態では、本発明を適用してアクティブマトリクス型の発光装置を製造する方法について、図2、3を用いて説明する。
(Embodiment 2)
In addition to the passive light-emitting device shown in Embodiment Mode 1, an active matrix light-emitting device and the like can be manufactured by the method for manufacturing a light-emitting device of the present invention. In this embodiment mode, a method for manufacturing an active matrix light-emitting device by applying the present invention will be described with reference to FIGS.

基板201上に、トランジスタ202、203と、そのトランジスタに信号を伝達するための配線205等を作製する。なお、図2(A)において、トランジスタ202はゲート信号駆動回路部に含まれるトランジスタであり、トランジスタ203は、画素部に含まれるトランジスタである。   Over the substrate 201, the transistors 202 and 203, the wiring 205 for transmitting signals to the transistors, and the like are manufactured. Note that in FIG. 2A, the transistor 202 is a transistor included in the gate signal driver circuit portion, and the transistor 203 is a transistor included in the pixel portion.

次に、第1の電極211と第2の電極213との間に発光層212を挟んで成る発光素子214を作製する。発光素子214の作製方法について、以下に説明する。但し、発光素子214の構成は、下記のものには限定されない。   Next, a light-emitting element 214 in which the light-emitting layer 212 is sandwiched between the first electrode 211 and the second electrode 213 is manufactured. A method for manufacturing the light-emitting element 214 is described below. However, the structure of the light emitting element 214 is not limited to the following.

第1の電極211の一部と、トランジスタ203を覆う絶縁層を通ってトランジスタ203に至る配線205の一部とが接続するように、第1の電極211を形成する。ここで、第1の電極211について特に限定はないが、本形態では、実施の形態1における第2の電極104と同様の仕事関数の小さい物質を用いて第1の電極211を形成する。   The first electrode 211 is formed so that part of the first electrode 211 is connected to part of the wiring 205 that reaches the transistor 203 through the insulating layer covering the transistor 203. Here, there is no particular limitation on the first electrode 211; however, in this embodiment, the first electrode 211 is formed using a material having a low work function similar to that of the second electrode 104 in Embodiment 1.

次に、各々の発光素子を隔壁する、隔壁層210を形成する。隔壁層210は、曲率半径が連続的に変化する形状となるように形成することが好ましい。また、開口部からは第1の電極211が露出するようにする。なお、隔壁層210を形成する物質について特に限定はなく、例えば、アクリル、ポリイミド、シロキサン(シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成され、置換基に少なくとも水素を含む物質)、レジスト等を用いることができる。ここで、アクリル、ポリイミド、レジストは、非感光性または感光性のいずれのものでもよい。   Next, a partition layer 210 that partitions each light emitting element is formed. The partition layer 210 is preferably formed so as to have a shape in which the radius of curvature continuously changes. In addition, the first electrode 211 is exposed from the opening. Note that there is no particular limitation on the substance forming the partition layer 210. For example, a substance having a skeleton structure formed of a bond of acrylic, polyimide, siloxane (silicon (Si) and oxygen (O), and containing at least hydrogen as a substituent. ), A resist or the like can be used. Here, the acrylic, polyimide, and resist may be non-photosensitive or photosensitive.

次に、隔壁層210の開口部から露出した第1の電極211上に、発光層212を形成する。発光層212について特に限定はないが、本形態では、図10に表すように、第1の電極211から発光層212へ電子が注入されるのを補助することができる物質を含んで成る第1の層221と、電子を輸送し易い物質を含んで成る第2の層222と、発光物質を含んで成る第3の層223と、正孔を輸送し易い物質を含んで成る第4の層224と、第2の電極213から発光層212へ正孔が注入されるのを補助することができる物質を含んで成る第5の層225とを、第1の層221から順に積層して発光層212を形成する。   Next, the light emitting layer 212 is formed over the first electrode 211 exposed from the opening of the partition wall layer 210. Although there is no particular limitation on the light-emitting layer 212, in this embodiment mode, as illustrated in FIG. 10, a first substance including a substance that can assist injection of electrons from the first electrode 211 to the light-emitting layer 212 is used. 221, a second layer 222 containing a substance that easily transports electrons, a third layer 223 containing a light-emitting substance, and a fourth layer containing a substance that easily transports holes 224 and a fifth layer 225 including a substance that can assist in injecting holes from the second electrode 213 into the light-emitting layer 212 are stacked in order from the first layer 221 to emit light. Layer 212 is formed.

なお、第1の電極211から発光層212へ電子が注入されるのを補助することができる物質は、実施の形態1で記載した第2の電極104から発光層103へ電子が注入されるのを補助することができる物質と同様である。また、電子を輸送しやすい物質は、実施の形態1で記載した電子を輸送しやすい物質と同様である。また、発光物質は、実施の形態1で記載した発光物質と同様である。また、正孔を輸送しやすい物質は、実施の形態1で記載した正孔を輸送しやすい物質と同様である。また、第2の電極213から発光層212へ正孔が注入されるのを補助することができる物質は、実施の形態1で記載した第1の電極102から発光層103へ正孔が注入されるのを補助することができる物質と同様である。   Note that a substance that can assist the injection of electrons from the first electrode 211 into the light-emitting layer 212 is such that electrons are injected from the second electrode 104 described in Embodiment 1 into the light-emitting layer 103. It is the same as the substance that can assist. The substance that easily transports electrons is the same as the substance that easily transports electrons described in Embodiment 1. The light-emitting substance is similar to the light-emitting substance described in Embodiment 1. The substance that easily transports holes is the same as the substance that easily transports holes described in Embodiment 1. The substance that can assist in injecting holes from the second electrode 213 to the light-emitting layer 212 is such that holes are injected from the first electrode 102 described in Embodiment 1 to the light-emitting layer 103. It is similar to substances that can help.

次に、発光層212上に第2の電極213を形成する。第2の電極213について特に限定はないが、本形態では、実施の形態1における第1の電極102と同様の仕事関数の大きい物質を用いて第2の電極213を形成する。   Next, the second electrode 213 is formed over the light-emitting layer 212. Although there is no particular limitation on the second electrode 213, in this embodiment, the second electrode 213 is formed using a material having a high work function similar to that of the first electrode 102 in Embodiment 1.

次に、基板201と、基板240とをシール材241を用いて、発光素子214が内側に封じ込められるように貼り合わせ、封止する。この時、封じ込められた内部は、窒素等の不活性ガスまたは透湿性が低い樹脂によって充填してもよいし、または真空でもよい。   Next, the substrate 201 and the substrate 240 are bonded to each other with a sealant 241 so that the light-emitting element 214 can be enclosed inside. At this time, the enclosed interior may be filled with an inert gas such as nitrogen or a resin with low moisture permeability, or may be a vacuum.

次に、異方導電性接着剤243を用いて、FPC(Flexible Printed Circuit)242を基板201上に設けられた端子部206に取り付ける。   Next, an FPC (Flexible Printed Circuit) 242 is attached to the terminal portion 206 provided on the substrate 201 using an anisotropic conductive adhesive 243.

なお、駆動回路部は、上記のように必ずしも画素部と同一基板上に設けられている必要はなく、例えば、配線パターンが形成されたFPC上にICチップを実装したもの(TCP)等を利用し、基板外部に設けられていてもよい。   Note that the driver circuit portion does not necessarily have to be provided on the same substrate as the pixel portion as described above. For example, an IC chip mounted on an FPC on which a wiring pattern is formed (TCP) or the like is used. However, it may be provided outside the substrate.

次に、発光素子214の輝度の低下を安定化するための処理をする。なお、本工程は、実施の形態1に記載した工程(順方向の電圧を印加する工程)と同様にして行えばよい。   Next, a process for stabilizing a decrease in luminance of the light emitting element 214 is performed. Note that this step may be performed in the same manner as the step described in Embodiment 1 (step of applying a forward voltage).

次に、発光素子214に特定の大きさの電流を流すために必要な電圧を下げるための処理をする。なお、本工程は、実施の形態1に記載した工程(逆方向の電圧を印加する工程)と同様にして行えばよい。   Next, a process for lowering a voltage necessary for supplying a specific current to the light emitting element 214 is performed. Note that this step may be performed in the same manner as the step described in Embodiment 1 (step of applying a reverse voltage).

以上のようにして製造された発光装置は、発光時間の経過に伴う発光輝度の低下が安定化され、さらに安定化処理によって生じる消費電力の増加を低減されたものである。   In the light emitting device manufactured as described above, a decrease in light emission luminance with the passage of light emission time is stabilized, and an increase in power consumption caused by the stabilization process is reduced.

なお、本形態では、封止後に、輝度の低下を安定化するための処理と、特定の大きさの電流を流すために必要な電圧を下げるための処理とをしているが、これに限らず、例えば封止前において、これらの処理をしてもよい。これらの処理の工程部位は、特に限定されるものではない。   In this embodiment, after sealing, a process for stabilizing a decrease in luminance and a process for lowering a voltage necessary for flowing a current of a specific magnitude are performed. For example, these treatments may be performed before sealing. The process site | part of these processes is not specifically limited.

また、トランジスタ202、203について、特に限定はなく、シングルゲート型、マルチゲート型等のいずれでもよい。また、シングルドレイン型でもLDD(Lightly Doped Drain)型等のいずれでもよい。また、スタガ型、逆スタガ型のいずれでもよい。また、結晶成分を含む半導体層を活性層として含むトランジスタでもよいし、非晶質成分からなる半導体層を活性層として含むトランジスタでもよい。ここで、結晶成分を含む半導体には、セミアモルファス半導体も含まれる。セミアモルファスな半導体とは、次のようなものである。非晶質と結晶構造(単結晶、多結晶を含む)の中間的な構造を有し、自由エネルギー的に安定な第3の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち格子歪みを有する結晶質な領域を含んでいるものである。また少なくとも膜中の一部の領域には、0.5〜20nmの結晶粒を含んでいる。ラマンスペクトルが520cm-1よりも低波数側にシフトしている。X線回折ではSi結晶格子に由来するとされる(111)、(220)の回折ピークが観測される。未結合手(ダングリングボンド)を終端するために水素またはハロゲンを少なくとも1原子%またはそれ以上含ませている。所謂微結晶半導体(マイクロクリスタル半導体)とも言われている。珪化物気体をグロー放電分解(プラズマCVD)して形成する。珪化物気体としては、SiH4、その他にもSi26、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4などを用いることができる。この珪化物気体をH2、又は、H2とHe、Ar、Kr、Neから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈しても良い。希釈率は2〜1000倍の範囲。圧力は概略0.1Pa〜133Paの範囲、電源周波数は1MHz〜120MHz、好ましくは13MHz〜60MHz。基板加熱温度は300℃以下でよく、好ましくは100〜250℃。膜中の不純物元素として、酸素、窒素、炭素などの大気成分の不純物は1×1020/cm3以下とすることが望ましく、特に、酸素濃度は5×1019/cm3以下、好ましくは1×1019/cm3以下とする。なお、セミアモルファスなものを有する半導体を用いたTFT(薄膜トランジスタ)の移動度はおよそ1〜10m2/Vsecとなる。 The transistors 202 and 203 are not particularly limited and may be either a single gate type or a multi-gate type. Further, either a single drain type or an LDD (Lightly Doped Drain) type may be used. Further, either a staggered type or an inverted staggered type may be used. Further, a transistor including a semiconductor layer including a crystalline component as an active layer may be used, or a transistor including a semiconductor layer including an amorphous component as an active layer may be used. Here, the semiconductor containing a crystal component includes a semi-amorphous semiconductor. The semi-amorphous semiconductor is as follows. A semiconductor having an intermediate structure between amorphous and crystalline (including single crystal and polycrystal) and having a third state that is stable in terms of free energy, has a short-range order, and has a lattice distortion. It contains a crystalline region. Further, at least a partial region in the film contains crystal grains of 0.5 to 20 nm. The Raman spectrum is shifted to the lower wavenumber side than 520 cm −1 . In X-ray diffraction, diffraction peaks of (111) and (220) that are derived from the Si crystal lattice are observed. In order to terminate dangling bonds (dangling bonds), hydrogen or halogen is contained at least 1 atomic% or more. It is also called a so-called microcrystalline semiconductor (microcrystal semiconductor). A silicide gas is formed by glow discharge decomposition (plasma CVD). As the silicide gas, SiH 4 , Si 2 H 6 , SiH 2 Cl 2 , SiHCl 3 , SiCl 4 , SiF 4 or the like can be used. This silicide gas may be diluted with H 2 , or H 2 and one or more kinds of rare gas elements selected from He, Ar, Kr, and Ne. The dilution rate is in the range of 2 to 1000 times. The pressure is generally in the range of 0.1 Pa to 133 Pa, and the power supply frequency is 1 MHz to 120 MHz, preferably 13 MHz to 60 MHz. The substrate heating temperature may be 300 ° C. or less, preferably 100 to 250 ° C. As an impurity element in the film, impurities of atmospheric components such as oxygen, nitrogen, and carbon are desirably 1 × 10 20 / cm 3 or less, and in particular, the oxygen concentration is 5 × 10 19 / cm 3 or less, preferably 1 × 10 19 / cm 3 or less Note that the mobility of a TFT (thin film transistor) using a semi-amorphous semiconductor is approximately 1 to 10 m 2 / Vsec.

(実施の形態3)
実施の形態1または実施の形態2のようにして製造された発光装置は、例えば電子機器の表示部として用いることができる。
(Embodiment 3)
The light-emitting device manufactured as in Embodiment 1 or Embodiment 2 can be used as a display portion of an electronic device, for example.

本形態では、電子機器の表示部に組み込まれる発光装置、及びその発光装置の画素部に設けられた回路及びその駆動、本発明を適用して製造された発光装置が組み込まれた電子機器について説明する。   In this embodiment mode, a light-emitting device incorporated in a display portion of an electronic device, a circuit provided in a pixel portion of the light-emitting device and its driving, and an electronic device in which a light-emitting device manufactured by applying the present invention is incorporated are described. To do.

図4は、FPCが装着された発光装置の上面図である。図4の発光装置は、実施の形態2に示したような製造方法によって製造されたものである。   FIG. 4 is a top view of the light emitting device to which the FPC is mounted. The light emitting device of FIG. 4 is manufactured by the manufacturing method as shown in the second embodiment.

図4において、第1の基板1001と第2の基板1021とは対向するように貼り合わせられている。第1の基板1001には画素部1011、第1の走査線を駆動するための駆動回路部1012、第2の走査線を駆動するための駆動回路部1013、ソース信号線を駆動するための駆動回路部1014、接続配線群1015(点線で囲まれている。)が設けられている。駆動回路部1012,1013、1014には、シフトレジスタやバッファ、スイッチ等が設けられている。また接続配線群1015と外部入力端子であるFPC(フレキシブルプリントサーキット)1031とは、異方導電性接着剤によって接続している。また、画素部1011には、発光素子とそれを駆動するための回路とを含んで成る画素が複数配列されている。FPC1031を介してコントローラから駆動回路部1012,1013、1014、電流供給線1016等へビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等の信号が送られる。そして、駆動回路部1012,1013、1014、電流供給線1016から画素部1011に信号が送られる。   In FIG. 4, the first substrate 1001 and the second substrate 1021 are bonded to face each other. The first substrate 1001 includes a pixel portion 1011, a drive circuit portion 1012 for driving the first scan line, a drive circuit portion 1013 for driving the second scan line, and a drive for driving the source signal line. A circuit portion 1014 and a connection wiring group 1015 (enclosed by a dotted line) are provided. The driver circuit portions 1012, 1013, and 1014 are provided with shift registers, buffers, switches, and the like. Further, the connection wiring group 1015 and an FPC (flexible printed circuit) 1031 which is an external input terminal are connected by an anisotropic conductive adhesive. In the pixel portion 1011, a plurality of pixels each including a light emitting element and a circuit for driving the light emitting element are arranged. Signals such as a video signal, a clock signal, a start signal, and a reset signal are sent from the controller to the drive circuit units 1012, 1013, and 1014, the current supply line 1016, and the like via the FPC 1031. Then, signals are sent from the driver circuit portions 1012, 1013, and 1014 and the current supply line 1016 to the pixel portion 1011.

なお、駆動回路部は、上記のように必ずしも画素部1011と同一基板上に設けられている必要はなく、例えば、配線パターンが形成されたFPC上にICチップを実装したもの(TCP)等を利用し、基板外部に設けられていてもよい。   Note that the driver circuit portion is not necessarily provided on the same substrate as the pixel portion 1011 as described above. For example, a driver circuit portion (TCP) mounted on an FPC on which a wiring pattern is formed (TCP) or the like is used. It may be used and provided outside the substrate.

上記のような発光装置において、画素部1011には、発光素子とそれを駆動するための回路とを含んで成る画素が複数配列されている。発光素子を駆動するために画素に含まれている回路について以下に図5を用いて説明する。但し、発光素子を駆動するための回路の構成は、以下に示すものに限定されるものではない。   In the light emitting device as described above, the pixel portion 1011 includes a plurality of pixels each including a light emitting element and a circuit for driving the light emitting element. A circuit included in the pixel for driving the light emitting element is described below with reference to FIG. However, the configuration of the circuit for driving the light emitting element is not limited to the following.

図5(A)に示すように、発光素子301には、各々の発光素子を駆動するための回路が接続されている。当該回路は、それぞれ、映像信号によって発光素子301の発光・非発光を決定する駆動用トランジスタ321と、前記映像信号の入力を制御するスイッチング用トランジスタ322と、前記映像信号に関わらず発光素子301を非発光状態にする消去用トランジスタ323とを有する。ここで、スイッチング用トランジスタ322のソース(又はドレイン)はソース信号線331と接続し、駆動用トランジスタ321のソース及び消去用トランジスタ323のソースはソース信号線331と並列するように延びた電流供給線332と接続し、スイッチング用トランジスタ322のゲートは第1の走査線333と接続し、消去用トランジスタ323のゲートは第1の走査線333と並列に延びた第2の走査線334と接続している。また、駆動用トランジスタ321と発光素子301とは直列に接続している。なお、発光素子301のうち陽極として機能する電極と駆動用トランジスタ321とが接続しているとき、駆動用トランジスタ321はPチャネル型トランジスタとする。また、発光素子301のうち陰極として機能する電極と駆動用トランジスタ321とが接続しているとき、駆動用トランジスタ321はNチャネル型トランジスタとする。   As shown in FIG. 5A, the light emitting element 301 is connected to a circuit for driving each light emitting element. The circuit includes a driving transistor 321 that determines light emission / non-light emission of the light emitting element 301 based on a video signal, a switching transistor 322 that controls input of the video signal, and a light emitting element 301 regardless of the video signal. And an erasing transistor 323 which is brought into a non-light-emitting state. Here, the source (or drain) of the switching transistor 322 is connected to the source signal line 331, and the source of the driving transistor 321 and the source of the erasing transistor 323 are extended in parallel with the source signal line 331. 332, the gate of the switching transistor 322 is connected to the first scanning line 333, and the gate of the erasing transistor 323 is connected to the second scanning line 334 extending in parallel with the first scanning line 333. Yes. Further, the driving transistor 321 and the light emitting element 301 are connected in series. Note that when the electrode functioning as an anode in the light-emitting element 301 is connected to the driving transistor 321, the driving transistor 321 is a P-channel transistor. In addition, when the electrode functioning as a cathode in the light-emitting element 301 is connected to the driving transistor 321, the driving transistor 321 is an N-channel transistor.

発光素子301が発光するときの駆動方法について説明する。書き込み期間において第1の走査線333が選択されると、第1の走査線333にゲートが接続されているスイッチング用トランジスタ322がオンになる。そして、ソース信号線331に入力された映像信号が、スイッチング用トランジスタ322を介して駆動用トランジスタ321のゲートに入力さることによって電流供給線332から発光素子301へ電流が流れ発光する。この時、発光素子301へ流れる電流の大きさによって発光の輝度が決まる。   A driving method when the light emitting element 301 emits light will be described. When the first scan line 333 is selected in the writing period, the switching transistor 322 whose gate is connected to the first scan line 333 is turned on. Then, when a video signal input to the source signal line 331 is input to the gate of the driving transistor 321 through the switching transistor 322, a current flows from the current supply line 332 to the light emitting element 301, and light is emitted. At this time, the luminance of light emission is determined by the magnitude of the current flowing to the light emitting element 301.

図6は、図5(A)に示すような回路を有する発光装置の画素部の上面図である。図6に付した数値は、それぞれ図5(A)と同じものを表す。また、図6では、発光素子301は図示しておらず、発光素子301の電極84を図示している。   FIG. 6 is a top view of a pixel portion of a light emitting device having a circuit as shown in FIG. Numerical values given in FIG. 6 represent the same values as those in FIG. In FIG. 6, the light emitting element 301 is not illustrated, and the electrode 84 of the light emitting element 301 is illustrated.

また、各々の発光素子に接続する回路の構成は、ここで述べたものに限定されず、例えば後述する図5(B)、または図5(C)等と同様の構成であっても構わない。   Further, the structure of a circuit connected to each light-emitting element is not limited to the one described here, and may be the same structure as that illustrated in FIG. 5B or 5C described later, for example. .

次に、図5(B)で表される回路について説明する。図5(B)に示すように、発光素子801には、各々の発光素子を駆動するための回路が接続されている。当該回路は、映像信号によって発光素子801の発光または非発光を決定する駆動用トランジスタ821と、前記映像信号の入力を制御するスイッチング用トランジスタ822と、前記映像信号に関わらず発光素子801を非発光状態にする消去用トランジスタ823と、発光素子801に供給される電流の大きさを制御するための電流制御用トランジスタ824とを有する。ここで、スイッチング用トランジスタ822のソース(又はドレイン)はソース信号線831と接続し、駆動用トランジスタ821のソース及び消去用トランジスタ823のソースはソース信号線831と並列するように延びた電流供給線832と接続し、スイッチング用トランジスタ822のゲートは第1の走査線833と接続し、第1の走査線833と並列に延びた消去用トランジスタ823のゲートは第2の走査線834と接続している。また、駆動用トランジスタ821と発光素子801と間に電流制御用トランジスタ824を挟み、直列に接続している。電流制御用トランジスタ824のゲートは、電源線835に接続している。なお、電流制御用トランジスタ824は、電圧−電流(Vd−Id)特性における飽和領域において電流が流れるように構成、制御されたものであり、これによって、電流制御用トランジスタ824に流れる電流値の大きさを決定することができる。なお、発光素子801のうち陽極として機能する電極と駆動用トランジスタ821とが接続しているとき、駆動用トランジスタ821はPチャネル型トランジスタとする。また、発光素子801のうち陰極として機能する電極と駆動用トランジスタ821とが接続しているとき、駆動用トランジスタ821はNチャネル型トランジスタとする。   Next, the circuit illustrated in FIG. 5B will be described. As shown in FIG. 5B, the light-emitting element 801 is connected to a circuit for driving each light-emitting element. The circuit includes a driving transistor 821 that determines whether the light emitting element 801 emits light or not according to a video signal, a switching transistor 822 that controls input of the video signal, and a light emitting element 801 that does not emit light regardless of the video signal. It has an erasing transistor 823 for making a state and a current control transistor 824 for controlling the magnitude of the current supplied to the light emitting element 801. Here, the source (or drain) of the switching transistor 822 is connected to the source signal line 831, and the source of the driving transistor 821 and the source of the erasing transistor 823 extend in parallel with the source signal line 831. 832, the gate of the switching transistor 822 is connected to the first scanning line 833, and the gate of the erasing transistor 823 extending in parallel with the first scanning line 833 is connected to the second scanning line 834. Yes. In addition, a current control transistor 824 is sandwiched between the driving transistor 821 and the light emitting element 801 and connected in series. The gate of the current control transistor 824 is connected to the power supply line 835. Note that the current control transistor 824 is configured and controlled so that a current flows in a saturation region in the voltage-current (Vd-Id) characteristics, and thus, a current value flowing through the current control transistor 824 is large. Can be determined. Note that when the electrode serving as the anode of the light-emitting element 801 is connected to the driving transistor 821, the driving transistor 821 is a P-channel transistor. In addition, when the electrode functioning as a cathode in the light-emitting element 801 is connected to the driving transistor 821, the driving transistor 821 is an N-channel transistor.

発光素子801が発光するときの駆動方法について説明する。書き込み期間において第1の走査線833が選択されると、第1の走査線833にゲートが接続されているスイッチング用トランジスタ822がオンになる。そして、ソース信号線831に入力された映像信号が、スイッチング用トランジスタ822を介して駆動用トランジスタ821のゲートに入力さる。さらに、駆動用トランジスタ821と、電源線835からの信号を受けてオン状態になった電流制御用トランジスタ824とを介して電流供給線832から発光素子801へ電流が流れ、発光に至る。このとき、発光素子へ流れる電流の大きさは、電流制御用トランジスタ824によって決まる。   A driving method when the light-emitting element 801 emits light will be described. When the first scan line 833 is selected in the writing period, the switching transistor 822 whose gate is connected to the first scan line 833 is turned on. Then, the video signal input to the source signal line 831 is input to the gate of the driving transistor 821 through the switching transistor 822. Further, current flows from the current supply line 832 to the light-emitting element 801 through the driving transistor 821 and the current control transistor 824 that is turned on in response to a signal from the power supply line 835, and thus light emission is performed. At this time, the magnitude of the current flowing to the light emitting element is determined by the current control transistor 824.

図7は、図5(B)に示すような回路を有し、一対の発光素子の電極のうち一方の電極を形成する前の発光装置の画素部の上面図である。図7に付した数値は、それぞれ図6と同じものを表す。また、図7では、発光素子801は図示しておらず、発光素子801の電極94を図示している。   FIG. 7 is a top view of the pixel portion of the light-emitting device having the circuit shown in FIG. 5B and before forming one of the electrodes of the pair of light-emitting elements. The numerical values given in FIG. 7 are the same as those in FIG. In FIG. 7, the light emitting element 801 is not illustrated, and the electrode 94 of the light emitting element 801 is illustrated.

次に、図5(C)で表される回路について説明する。発光素子401には、各々の発光素子を駆動するための回路が接続されている。当該回路は、それぞれ、映像信号によって発光素子401の発光・非発光を決定する駆動用トランジスタ421と、前記映像信号の入力を制御するスイッチング用トランジスタ422とを有する。ここで、スイッチング用トランジスタ422のソース(又はドレイン)はソース信号線431と接続し、駆動用トランジスタ421のソースはソース信号線431と並列するように延びた電流供給線432と接続し、スイッチング用トランジスタ422のゲートは走査線433と接続している。また、駆動用トランジスタ421と発光素子401とは直列に接続している。なお、発光素子401のうち陽極として機能する電極と駆動用トランジスタ421とが接続しているとき、駆動用トランジスタ421はPチャネル型トランジスタとする。また、発光素子401のうち陰極として機能する電極と駆動用トランジスタ421とが接続しているとき、駆動用トランジスタ421はNチャネル型トランジスタとする。   Next, the circuit illustrated in FIG. 5C will be described. A circuit for driving each light emitting element is connected to the light emitting element 401. Each of the circuits includes a driving transistor 421 that determines light emission / non-light emission of the light-emitting element 401 based on a video signal, and a switching transistor 422 that controls input of the video signal. Here, the source (or drain) of the switching transistor 422 is connected to the source signal line 431, and the source of the driving transistor 421 is connected to the current supply line 432 extending in parallel with the source signal line 431. The gate of the transistor 422 is connected to the scan line 433. Further, the driving transistor 421 and the light emitting element 401 are connected in series. Note that when the electrode functioning as an anode in the light-emitting element 401 is connected to the driving transistor 421, the driving transistor 421 is a P-channel transistor. In addition, when the electrode functioning as a cathode in the light-emitting element 401 is connected to the driving transistor 421, the driving transistor 421 is an N-channel transistor.

発光素子401が発光するときの駆動方法について説明する。書き込み期間において走査線433が選択されると、走査線433にゲートが接続されているスイッチング用トランジスタ422がオンになる。そして、ソース信号線431に入力された映像信号が、スイッチング用トランジスタ422を介して駆動用トランジスタ421のゲートに入力さることによって電流供給線432から発光素子401へ電流が流れ発光する。この時、発光素子401へ流れる電流の大きさによって発光の輝度が決まる。   A driving method when the light-emitting element 401 emits light will be described. When the scan line 433 is selected in the writing period, the switching transistor 422 whose gate is connected to the scan line 433 is turned on. Then, when a video signal input to the source signal line 431 is input to the gate of the driving transistor 421 through the switching transistor 422, a current flows from the current supply line 432 to the light emitting element 401, and light is emitted. At this time, the luminance of light emission is determined by the magnitude of the current flowing to the light emitting element 401.

以上に説明した発光装置は、モノカラー表示のものでも良いし、フルカラー表示のものでもよい。
フルカラー表示を行う場合は、例えば、発光波長帯の異なる発光層を画素毎に形成することによって、フルカラー表示を行えるようにすることができる。典型的には、R(赤)、G(緑)、B(青)の各色に対応した発光層を形成する。この場合にも、画素の光放射側にその発光波長帯の光を透過するフィルター(着色層)を設けた構成とすることで、色純度の向上や、画素部の鏡面化(映り込み)の防止を図ることができる。フィルター(着色層)を設けることで、従来必要であるとされていた円偏光板などを省略することが可能となり、発光層から放射される光の損失を無くすことができる。さらに、斜方から画素部(表示画面)を見た場合に起こる色調の変化を一層低減することができる。
The light emitting device described above may be a mono color display or a full color display.
In the case of performing full color display, for example, full color display can be performed by forming a light emitting layer having a different emission wavelength band for each pixel. Typically, a light emitting layer corresponding to each color of R (red), G (green), and B (blue) is formed. In this case as well, by providing a filter (colored layer) that transmits light in the emission wavelength band on the light emission side of the pixel, the color purity is improved and the pixel portion is mirrored (reflected). Prevention can be achieved. By providing the filter (colored layer), it is possible to omit a circularly polarizing plate that has been conventionally required, and it is possible to eliminate the loss of light emitted from the light emitting layer. Furthermore, a change in color tone that occurs when the pixel portion (display screen) is viewed obliquely can be further reduced.

また、上記のように各色に対応した発光層を設けて、カラー表示を行う以外に、発光層は単色又は白色の発光を呈する構成とすることもできる。白色発光材料を用いる場合には、画素の光放射側に特定の波長の光を透過するフィルター(着色層)を設けた構成としてカラー表示を可能にすることができる。   In addition to providing a light emitting layer corresponding to each color and performing color display as described above, the light emitting layer may be configured to emit a single color or white light. In the case of using a white light emitting material, color display can be made possible by providing a filter (colored layer) that transmits light of a specific wavelength on the light emission side of the pixel.

なお、 白色に発光する発光層を形成するには、例えば、Alq3、部分的にナイルレッドをドープしたAlq3、Alq3、p−EtTAZ、TPD(芳香族ジアミン)を蒸着法により順次積層することで白色を得ることができる。また、スピンコートを用いた塗布法により発光層を形成する場合には、塗布した後、真空加熱で焼成することが好ましい。例えば、ポリ(エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)水溶液(PEDOT/PSS)を全面に塗布、焼成し、その後、色素(1,1,4,4−テトラフェニル−1,3−ブタジエン(TPB)、4−ジシアノメチレン−2−メチル−6−(p−ジメチルアミノ−スチリル)−4H−ピラン(DCM1)、ナイルレッド、クマリン6など)ドープしたポリビニルカルバゾール(PVK)溶液を全面に塗布、焼成すればよい。 In order to form a light emitting layer that emits white light, for example, Alq 3, Alq 3 partially doped with Nile red, Alq 3, p-EtTAZ, TPD (aromatic diamine) are sequentially stacked by a vapor deposition method In this way, white can be obtained. Moreover, when forming a light emitting layer by the apply | coating method using spin coating, after apply | coating, it is preferable to bake by vacuum heating. For example, a poly (ethylenedioxythiophene) / poly (styrenesulfonic acid) aqueous solution (PEDOT / PSS) is applied and fired on the entire surface, and then dye (1,1,4,4-tetraphenyl-1,3-butadiene is obtained. (TPB), 4-dicyanomethylene-2-methyl-6- (p-dimethylamino-styryl) -4H-pyran (DCM1), Nile Red, Coumarin 6 etc.) doped polyvinyl carbazole (PVK) solution is applied over the entire surface What is necessary is just to bake.

本発明を適用した発光装置を実装した電子機器の一実施例を図8に示す。   One embodiment of an electronic device mounted with a light emitting device to which the present invention is applied is shown in FIG.

図8(A)は、本発明を適用して作製したノート型のパーソナルコンピュータであり、本体5521、筐体5522、表示部5523、キーボード5524などによって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことでパーソナルコンピュータを完成できる。   FIG. 8A illustrates a laptop personal computer manufactured by applying the present invention, which includes a main body 5521, a housing 5522, a display portion 5523, a keyboard 5524, and the like. A personal computer can be completed by incorporating a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention as a display portion.

図8(B)は、本発明を適用して作製した電話機であり、本体5552には表示部5551と、音声出力部5554、音声入力部5555、操作スイッチ5556、5557、アンテナ5553等によって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことで電話機を完成できる。   FIG. 8B illustrates a telephone manufactured by applying the present invention. The main body 5552 includes a display portion 5551, an audio output portion 5554, an audio input portion 5555, operation switches 5556 and 5557, an antenna 5553, and the like. ing. A telephone can be completed by incorporating a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention as a display portion.

図8(C)は、本発明を適用して作製したテレビ受像機であり、表示部5531、筐体5532、スピーカー5533などによって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことでテレビ受像機を完成できる。   FIG. 8C illustrates a television set manufactured by applying the present invention, which includes a display portion 5531, a housing 5532, a speaker 5533, and the like. A television receiver can be completed by incorporating a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention as a display portion.

以上のように本発明の発光装置は、各種電子機器の表示部として用いるのに非常に適している。   As described above, the light-emitting device of the present invention is very suitable for use as a display portion of various electronic devices.

なお、本形態では、パーソナルコンピュータについて述べているが、この他にカーナビゲイション、或いは照明機器等に本発明の発光素子を有する発光装置を実装しても構わない。   Note that although a personal computer is described in this embodiment mode, a light-emitting device having the light-emitting element of the present invention may be mounted on a car navigation device or a lighting device.

以上のような本発明を適用した電子機器は、良好な表示画像を提供できる。また、本発明を適用した電子機器は、低消費電力で駆動することができる。   The electronic apparatus to which the present invention as described above is applied can provide a good display image. In addition, an electronic device to which the present invention is applied can be driven with low power consumption.

本発明を適用して製造した発光装置の諸特性について測定した結果について説明する。   The measurement results of various characteristics of the light emitting device manufactured by applying the present invention will be described.

先ず、評価に用いた発光素子について説明する。評価に用いた発光素子は、インジウム錫酸化物(ITO)から成る電極の上に100nmの厚さとなるように成膜されたトリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)から成る層を有し、さらにAlq3から成る層の上にアルミニウムから成る電極を有する、整流素子である。 First, the light emitting element used for evaluation will be described. The light emitting element used for the evaluation has a layer made of tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq 3 ) formed to have a thickness of 100 nm on an electrode made of indium tin oxide (ITO), Further, the rectifying device has an electrode made of aluminum on a layer made of Alq 3 .

次に、測定方法について説明する。なお、電圧は、特に説明のない限り、順方向の電圧を表す。また、本実施例では、蛍光分光光度計を用いて発光素子の発光スペクトルを測定している。発光スペクトルを積分して得られた値の変化は、光子数の変化に対応し、さらに光子数の変化は輝度の変化に対応する。従って、発光スペクトルの積分値の変化を調べることによって、間接的に輝度の変化を調べることができる。   Next, a measurement method will be described. The voltage represents a forward voltage unless otherwise specified. In this embodiment, the emission spectrum of the light emitting element is measured using a fluorescence spectrophotometer. A change in the value obtained by integrating the emission spectrum corresponds to a change in the number of photons, and a change in the number of photons corresponds to a change in luminance. Therefore, the change in luminance can be indirectly examined by examining the change in the integrated value of the emission spectrum.

最初に、1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値、及び1mAの電流を流すのに必要な電圧を測定した。   First, an integral value of an emission spectrum obtained when a current of 1 mA was passed, and a voltage required to pass a current of 1 mA were measured.

次に、発光素子に、一定時間(本実施例では1800秒間)、順方向の電圧を印加して1mAの電流を流した。その間、600秒置きに、1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値、及び1mAの電流を流すのに必要な電圧を測定した。   Next, a forward voltage was applied to the light emitting element for a certain period of time (1800 seconds in this example) to pass a current of 1 mA. During this time, the integral value of the emission spectrum obtained when a current of 1 mA was passed and the voltage required to pass a current of 1 mA were measured every 600 seconds.

さらに、発光素子に、一定時間(本実施例では1200秒間)、逆方向の電圧を10Vの大きさで印加した。そして、その間、300秒置きに、1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値、及び1mAの電流を流すのに必要な電圧(順方向の電圧)を測定した。   Further, a reverse voltage of 10 V was applied to the light emitting element for a certain period of time (1200 seconds in this example). In the meantime, the integral value of the emission spectrum obtained when a current of 1 mA was passed and the voltage (forward voltage) necessary to pass a current of 1 mA were measured every 300 seconds.

以上のようにして測定した結果を図9に示す。なお、横軸は測定開始時からの経過時間(秒)を表している。また、縦軸は、1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値の相対値(任意単位)と1mAの電流を流すのに必要な電圧の相対値(任意単位)を表している。なお、相対値は、測定開始時において1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値、および1mAの電流を流すのに必要な電圧を基準として求めた値である。   The results measured as described above are shown in FIG. The horizontal axis represents the elapsed time (seconds) from the start of measurement. The vertical axis represents the relative value (arbitrary unit) of the integral value of the emission spectrum obtained when a current of 1 mA is passed and the relative value (arbitrary unit) of the voltage necessary to pass the current of 1 mA. . The relative value is a value obtained on the basis of an integral value of an emission spectrum obtained when a current of 1 mA is passed at the start of measurement and a voltage necessary to pass a current of 1 mA.

図9の黒丸(●)のプロットから、0秒〜1800秒(順方向の電圧を印加したとき)では、時間の経過に伴って、1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値は低下し、特に0秒〜600秒において急激に低下していることが分かる。そして、600秒経過後、発光スペクトルの積分値の低下は徐々に少なくなってきていることが分かる。また図9の白抜きの三角(△)のプロットから、1mAの電流を流すのに必要な電圧は、時間の経過に伴って、徐々に大きくなっていることが分かる。   From the plot of the black circle (●) in FIG. 9, from 0 to 1800 seconds (when a forward voltage is applied), the integrated value of the emission spectrum obtained when a current of 1 mA is passed over time. It can be seen that the value decreases, particularly rapidly from 0 to 600 seconds. And it turns out that the fall of the integrated value of an emission spectrum is gradually decreasing after 600 second progress. Further, it can be seen from the white triangle (Δ) plot of FIG. 9 that the voltage required to pass a current of 1 mA gradually increases with time.

また、1800秒〜3000秒(逆方向の電圧を印加したとき)では、1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値は、時間が経過しても、殆ど変わらない。一方、1mAの電流を流すのに必要な電圧は、時間の経過に伴って、徐々に小さくなっていることが分かる。   In addition, from 1800 seconds to 3000 seconds (when a voltage in the reverse direction is applied), the integrated value of the emission spectrum obtained when a current of 1 mA is passed is hardly changed over time. On the other hand, it can be seen that the voltage required to pass a current of 1 mA gradually decreases with time.

以上のことから、逆方向の電圧を印加することによって、時間経過に伴った輝度低下の安定性を保った状態で、安定化処理(順方向の電圧の印加)により増加した1mAの電流を流すのに必要な電圧を小さくできることが分かる。   From the above, by applying a reverse voltage, a current of 1 mA increased by a stabilization process (applying a forward voltage) is allowed to flow while maintaining the stability of luminance reduction with time. It can be seen that the voltage required for this can be reduced.

本発明の発光装置の製造方法について説明する図。4A and 4B illustrate a method for manufacturing a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の製造方法について説明する図。4A and 4B illustrate a method for manufacturing a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置の製造方法について説明する図。4A and 4B illustrate a method for manufacturing a light-emitting device of the present invention. 本発明に係る発光装置の上面模式図。1 is a schematic top view of a light emitting device according to the present invention. 本発明に係る発光装置の画素部を駆動するための回路について説明する図。4A and 4B illustrate a circuit for driving a pixel portion of a light-emitting device according to the present invention. 本発明に係る発光装置の画素部の上面図。FIG. 6 is a top view of a pixel portion of a light emitting device according to the present invention. 本発明に係る発光装置の画素部の上面図。FIG. 6 is a top view of a pixel portion of a light emitting device according to the present invention. 本発明を適用した電子機器。Electronic equipment to which the present invention is applied. 1mAの電流を流したときに得られる発光スペクトルの積分値の相対値と1mAの電流を流すのに必要な電圧の相対値とに関する測定結果を示す図。The figure which shows the measurement result regarding the relative value of the integral value of the emission spectrum obtained when the electric current of 1 mA is sent, and the relative value of the voltage required to pass the electric current of 1 mA. 本発明に係る発光装置に含まれる発光素子について説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element included in a light-emitting device according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

94 電極
101 基板
102 第1の電極
103 発光層
104 第2の電極
105 発光素子
111 第1の層
112 第2の層
113 第3の層
114 第4の層
115 第5の層
201 基板
202 トランジスタ
203 トランジスタ
205 配線
206 端子部
210 隔壁層
211 第1の電極
212 発光層
213 第2の電極
240 基板
241 シール材
242 FPC
243 異方導電性接着剤
301 発光素子
322 スイッチング用トランジスタ
323 消去用トランジスタ
331 ソース信号線
332 電流供給線
333 第1の走査線
334 第2の走査線
401 発光素子
421 駆動用トランジスタ
422 スイッチング用トランジスタ
431 ソース信号線
432 電流供給線
433 ゲートは走査線
801 発光素子
821 駆動用トランジスタ
822 スイッチング用トランジスタ
823 消去用トランジスタ
824 電流制御用トランジスタ
831 ソース信号線
832 電流供給線
833 第1の走査線
834 第2の走査線
835 電源線
1001 第1の基板
1011 画素部
1012a
1013 駆動回路部
1014 駆動回路部
1015 接続配線群
1021 第2の基板
1031 FPC
5521 本体
5522 筐体
5523 表示部
5524 キーボード
5551 表示部
5552 本体
5553 アンテナ
5554 音声出力部
5555 音声入力部
5556 操作スイッチ
5557 操作スイッチ
5531 表示部
5532 筐体
5533 スピーカー
94 electrode 101 substrate 102 first electrode 103 light emitting layer 104 second electrode 105 light emitting element 111 first layer 112 second layer 113 third layer 114 fourth layer 115 fifth layer 201 substrate 202 transistor 203 Transistor 205 Wiring 206 Terminal portion 210 Partition layer 211 First electrode 212 Light emitting layer 213 Second electrode 240 Substrate 241 Sealing material 242 FPC
243 anisotropic conductive adhesive 301 light emitting element 322 switching transistor 323 erasing transistor 331 source signal line 332 current supply line 333 first scanning line 334 second scanning line 401 light emitting element 421 driving transistor 422 switching transistor 431 Source signal line 432 Current supply line 433 Gate is scanning line 801 Light emitting element 821 Driving transistor 822 Switching transistor 823 Erase transistor 824 Current control transistor 831 Source signal line 832 Current supply line 833 First scanning line 834 Second scanning line Scan line 835 Power supply line 1001 First substrate 1011 Pixel portion 1012a
1013 Drive circuit portion 1014 Drive circuit portion 1015 Connection wiring group 1021 Second substrate 1031 FPC
5521 Main body 5522 Housing 5523 Display unit 5524 Keyboard 5551 Display unit 5552 Main unit 5553 Antenna 5554 Audio output unit 5555 Audio input unit 5556 Operation switch 5557 Operation switch 5531 Display unit 5532 Housing 5533 Speaker

Claims (9)

整流作用を示す発光素子に、順方向の電圧を印加した後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。   A method for manufacturing a light-emitting device, comprising: applying a reverse voltage to a light-emitting element exhibiting a rectifying action, and then applying a reverse voltage. 整流作用を示す発光素子に、初期輝度の80〜95%の輝度となるように順方向の電圧を印加する処理をした後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。   A light-emitting device comprising a step of applying a forward voltage to a light-emitting element exhibiting a rectifying action so that the luminance is 80 to 95% of the initial luminance, and then applying a reverse voltage. Manufacturing method. 整流作用を示す発光素子に、6×101sec〜6×105secの間、順方向の電圧を印加した後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。 Manufacturing of a light-emitting device including a step of applying a reverse voltage to a light-emitting element exhibiting a rectifying action after applying a forward voltage for 6 × 10 1 to 6 × 10 5 seconds Method. 前記逆方向の電圧を、6×101sec〜6×105secの間、印加することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 4. The method for manufacturing a light emitting device according to claim 1 , wherein the reverse voltage is applied for 6 × 10 1 to 6 × 10 5 seconds. 5 . トランジスタと、前記トランジスタに接続し整流作用を示す発光素子と、を作製し、
前記発光素子に、順方向の電圧を印加した後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。
A transistor and a light emitting element connected to the transistor and exhibiting a rectifying action are manufactured,
A method for manufacturing a light-emitting device, comprising: applying a forward voltage to the light-emitting element, and then applying a reverse voltage.
トランジスタと、前記トランジスタに接続し整流作用を示す発光素子と、を作製し、
前記発光素子に、初期輝度の80〜95%の輝度となるように順方向の電圧を印加する処理をした後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。
A transistor and a light emitting element connected to the transistor and exhibiting a rectifying action are manufactured,
A method of manufacturing a light-emitting device, comprising: applying a reverse voltage to the light-emitting element after applying a forward voltage to a luminance of 80 to 95% of an initial luminance. .
トランジスタと、前記トランジスタに接続し整流作用を示す発光素子と、を作製し、
前記発光素子に、6×101sec〜6×105secの間、順方向の電圧を印加した後、逆方向の電圧を印加する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。
A transistor and a light emitting element connected to the transistor and exhibiting a rectifying action are manufactured,
The manufacturing method of the light-emitting device characterized by including the process of applying the voltage of a reverse direction after applying a forward voltage to the said light emitting element between 6 * 10 < 1 > sec-6 * 10 < 5 > sec.
前記逆方向の電圧を、6×101sec〜6×105secの間、印加することを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 The method for manufacturing a light emitting device according to claim 5, wherein the reverse voltage is applied for 6 × 10 1 to 6 × 10 5 sec. 請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法によって製造された発光装置を含む電子機器。
An electronic device including a light emitting device manufactured by the method for manufacturing a light emitting device according to any one of claims 1 to 8.
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