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JP2005235678A - Transparent conductive laminate and touch panel - Google Patents

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JP2005235678A
JP2005235678A JP2004046099A JP2004046099A JP2005235678A JP 2005235678 A JP2005235678 A JP 2005235678A JP 2004046099 A JP2004046099 A JP 2004046099A JP 2004046099 A JP2004046099 A JP 2004046099A JP 2005235678 A JP2005235678 A JP 2005235678A
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英男 菅原
Tomoisa Noguchi
知功 野口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent conductive laminate which fully satisfies pen input durability when used as an input pen for a touch panel as a result of further improvement on durability. <P>SOLUTION: In the transparent conductive laminate, substrate of a thickness of 2 to 120 μm, a first transparent dielectric thin film, a transparent metal thin film or a metal oxide thin film, a second transparent dielectric thin film, and a transparent conductive thin film are laminated on a face of one side of a transparent film in this order, and transparent substrates are pasted together on the face of the other side of the film substrate, by interposing transparent bonding agent layers. Refractive indices satisfies a relationship of n<SB>3</SB><n<SB>2</SB>≤n<SB>1</SB><n<SB>4</SB>, when the refractive index of the film substrate is expressed as n<SB>1</SB>, that of the first dielectric body thin film is expressed as n<SB>2</SB>, that of the second dielectric body thin film is expressed as n<SB>3</SB>, and that of the conductive thin film is expressed as n<SB>4</SB>. The transparent metal thin film or the metal oxide thin film is of a thickness of 1 to 5 nm. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのフィルム基材を有する透明導電性積層体およびそれを用いたタッチパネルに関するものである。
The present invention relates to a transparent conductive laminate having a film substrate such as a polyethylene terephthalate film and a touch panel using the same.

可視光線領域で透明でかつ導電性を有する薄膜は、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイなどの新しいディスプレイ方式やタッチパネルなどの透明電極のほか、透明物品の帯電防止や電磁波遮断などのために用いられている。

従来、このような透明導電性薄膜としては、ガラス上に酸化インジウム薄膜を形成したいわゆる導電性ガラスがよく知られているが、基材がガラスであるために可撓性、加工性に劣り、用途によっては使用できない場合がある。
Transparent and conductive thin films in the visible light range are used for new display methods such as liquid crystal displays and electroluminescence displays, transparent electrodes for touch panels, etc., as well as for preventing static charges and blocking electromagnetic waves in transparent articles. .

Conventionally, as such a transparent conductive thin film, so-called conductive glass in which an indium oxide thin film is formed on glass is well known, but because the base material is glass, flexibility and workability are inferior, Some applications cannot be used.

このため、近年では、可撓性、加工性に加えて、耐衝撃性にすぐれ、軽量であるなどの利点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムをはじめとする各種のプラスチックフィルムを基材とした透明導電性薄膜が使用されている。

しかし、このようなフィルム基材を用いた透明導電性薄膜は、薄膜表面の光線反射率が大きいため、透明性に劣る問題があり、また導電性薄膜の耐擦傷性や耐屈曲性に劣り、使用中に傷がついて電気抵抗が増大したり断線を生じる問題があった。
For this reason, in recent years, transparent conductive thin films based on various plastic films including polyethylene terephthalate film have advantages such as excellent impact resistance and light weight in addition to flexibility and workability. Is used.

However, the transparent conductive thin film using such a film substrate has a problem of poor transparency due to the large light reflectance on the surface of the thin film, and also has poor scratch resistance and flex resistance of the conductive thin film, There was a problem that the electrical resistance increased or the wire was broken due to scratches during use.

また、とくにタッチパネル用の導電性薄膜においては、スペーサを介して対向させた一対の薄膜同志がその一方のパネル板側からのペンによる押圧打点で強く接触するものであるため、これに抗しうる良好な耐久性、つまりペン入力耐久性を有していることが望まれる。しかし、上記したような従来の透明導電性薄膜はこのペン入力耐久性に劣り、そのぶん、タッチパネルとしての寿命が短くなる問題があった。
In particular, in the case of a conductive thin film for a touch panel, a pair of thin films opposed to each other through a spacer are in strong contact with each other at a press hitting point with a pen from one panel plate side. It is desired to have good durability, that is, pen input durability. However, the conventional transparent conductive thin film as described above is inferior in pen input durability, and there is a problem that the life as a touch panel is shortened.

そこで、フィルム基材を用いた透明導電性薄膜の上記問題を改良する試みがなされている。本件出願人も、厚さが2〜120μmの透明なフィルム基材の一方の面に、透明な第1の誘電体薄膜、透明な第2の誘電体薄膜、および透明な導電性薄膜をこの順に積層し、上記フィルム基材の他方の面に、透明な粘着剤層を介して透明基体を貼り合わせてなる透明導電性積層体を提案している(特許文献1,2参照)。
特開平2002−316378号公報(第2〜4頁) 特開平2002−326301号公報(第2〜5頁)
Thus, attempts have been made to improve the above-described problems of transparent conductive thin films using a film substrate. The applicant also applies a transparent first dielectric thin film, a transparent second dielectric thin film, and a transparent conductive thin film in this order on one surface of a transparent film substrate having a thickness of 2 to 120 μm. A transparent conductive laminate is proposed in which a transparent substrate is laminated on the other surface of the film substrate via a transparent adhesive layer (see Patent Documents 1 and 2).
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-316378 (pages 2 to 4) Japanese Patent Laid-Open No. 2002-326301 (pages 2 to 5)

上記の透明導電性積層体は、一方の面に導電性薄膜を有するフィルム基材の他方の面に透明基体を貼り合わせる一方、導電性薄膜とフィルム基材との間に第1および第2の誘電体薄膜を設け、これらの薄膜とフィルム基材および導電性薄膜の各光の屈折率が適切な関係を有するように選択して、透明性を向上させ、また導電性薄膜の耐擦傷性、耐屈曲性およびタッチパネル用としてのペン入力耐久性を向上させたものである。
In the above transparent conductive laminate, a transparent substrate is bonded to the other surface of a film substrate having a conductive thin film on one surface, while the first and second layers are interposed between the conductive thin film and the film substrate. Dielectric thin films are provided, and these thin films are selected so that the refractive index of each light of the film base material and the conductive thin film has an appropriate relationship to improve transparency, and the scratch resistance of the conductive thin film, It improves the bending resistance and pen input durability for touch panels.

しかるに、本件出願人の引き続く研究により、上記の透明導電性積層体でも、ペン入力耐久性の点でなお不十分な場合があることがわかった。

本発明は、上記の事情に照らし、既提案の透明導電性積層体をさらに改良し、耐久性のさらなる改善によりタッチパネル用としてのペン入力耐久性を高度に満足する透明導電性積層体とこれを用いたタッチパネルを提供することを目的とする。
However, subsequent studies by the present applicant have found that the above transparent conductive laminate may still be insufficient in terms of pen input durability.

In light of the above circumstances, the present invention further improves the previously proposed transparent conductive laminate, and further improves the durability, and further improves the pen input durability for touch panels and the transparent conductive laminate. An object is to provide a touch panel used.

本発明者らは、上記目的を達成するため、鋭意検討した結果、既提案の透明導電性積層体において、フィルム基材上に導電性薄膜の下地として設ける第1の誘電体薄膜と第2の誘電体薄膜との間にさらに透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜を設けるようにすると、この薄膜の厚さや各薄膜の光の屈折率が適切な関係を有するように選択することで、既提案の場合と同様に透明性などの諸特性を満足するとともに、これらの薄膜上に設けられる導電性薄膜の耐久性がより一段と改善されて、タッチパネル用としてのペン入力耐久性を高度に満足させうることを知り、本発明を完成するに至った。
As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that in the previously proposed transparent conductive laminate, the first dielectric thin film provided as the base of the conductive thin film on the film substrate and the second dielectric thin film When a transparent metal thin film or metal oxide thin film is further provided between the dielectric thin film, the thickness of the thin film and the light refractive index of each thin film are selected so as to have an appropriate relationship. As well as satisfying various characteristics such as transparency, the durability of the conductive thin film provided on these thin films has been further improved, and the pen input durability for touch panels can be highly satisfied. As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、厚さが2〜120μmの透明なフィルム基材の一方の面に、透明な第1の誘電体薄膜、透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜、透明な第2の誘電体薄膜および透明な導電性薄膜をこの順に積層し、上記フィルム基材の他方の面に、透明な粘着剤層を介して透明基体を貼り合わせてなることを特徴とする透明導電性積層体に係るものである。

とくに、本発明は、フィルム基材の光の屈折率をn1 、第1の誘電体薄膜の光の屈折率をn2 、第2の誘電体薄膜の光の屈折率をn3 、導電性薄膜の光の屈折率をn4 としたとき、それらの屈折率がn3 <n2 ≦n1 <n4 の関係を満たす上記構成の透明導電性積層体、透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜の厚さが1〜5nmである上記構成の透明導電性積層体、第1および第2の誘電体薄膜が、有機物、無機物または有機物と無機物との混合物である上記構成の透明導電性積層体を、提供できるものである。

また、本発明は、導電性薄膜を有する一対のパネル板を、導電性薄膜同志が対向するようにスペーサを介して対向配置してなるタッチパネルにおいて、パネル板の少なくとも一方が、上記した各構成の透明導電性積層体からなることを特徴とするタッチパネルを提供できるものである。
That is, the present invention provides a transparent first dielectric thin film, a transparent metal thin film or metal oxide thin film, a transparent second dielectric on one surface of a transparent film substrate having a thickness of 2 to 120 μm. A thin film and a transparent conductive thin film are laminated in this order, and a transparent substrate is bonded to the other surface of the film base material via a transparent adhesive layer. Is.

In particular, the present invention has a refractive index of light of the film substrate n 1 , a refractive index of light of the first dielectric thin film n 2 , a refractive index of light of the second dielectric thin film n 3 , and conductivity. When the refractive index of the light of the thin film is n 4 , the transparent conductive laminate, the transparent metal thin film, or the metal oxide having the above structure satisfying the relationship of n 3 <n 2 ≦ n 1 <n 4 The transparent conductive laminate having the above-described configuration having a thin film thickness of 1 to 5 nm, and the transparent conductive laminate having the above-described configuration in which the first and second dielectric thin films are an organic substance, an inorganic substance, or a mixture of an organic substance and an inorganic substance. Can be provided.

Further, the present invention provides a touch panel in which a pair of panel plates having conductive thin films are arranged to face each other through spacers so that the conductive thin films are opposed to each other, and at least one of the panel plates has the above-described configuration. A touch panel comprising a transparent conductive laminate can be provided.

このように、本発明は、フィルム基材と導電性薄膜との間に透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜を設けたことにより、この薄膜の厚さや各薄膜の屈折率が適切な関係を有するように選択することで、透明性などの諸特性を満足し、しかも導電性薄膜の耐久性がより一段と改善された、タッチパネル用としてのペン入力耐久性を高度に満足する透明導電性積層体と、これを用いたタッチパネルを提供できるものである。
Thus, in the present invention, by providing a transparent metal thin film or metal oxide thin film between the film substrate and the conductive thin film, the thickness of the thin film and the refractive index of each thin film have an appropriate relationship. The transparent conductive laminate satisfying various characteristics such as transparency, and further improving the durability of the conductive thin film, and highly satisfying the pen input durability for touch panels. A touch panel using this can be provided.

本発明におけるフィルム基材は、その材質にとくに限定はなく、適宜なものを使用することができる。具体的にば、ポリエステル系樹脂、アセテート系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂などが挙げられる。これらの中でも、とくに好ましいものは、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリオレフイン系樹脂などである。
The material for the film substrate in the present invention is not particularly limited, and an appropriate material can be used. Specifically, polyester resin, acetate resin, polyethersulfone resin, polycarbonate resin, polyamide resin, polyimide resin, polyolefin resin, acrylic resin, polyvinyl chloride resin, polystyrene resin, polyolefin Resin, polyvinyl alcohol resin, polyarylate resin, polyphenylene sulfide resin, polyvinylidene chloride resin, (meth) acrylic resin, and the like. Among these, polyester resins, polycarbonate resins, polyolefin resins and the like are particularly preferable.

これらのフィルム基材の厚さは、2〜120μmの範囲にあることが必要であり、とくに好ましくは6〜100μmの範囲にあるのがよい。厚さが2μm未満では、フィルム基材としての機械的強度が不足し、この基材をロール状にして誘電体薄膜や導電性薄膜などの薄膜さらには粘着剤層を連続的に形成する操作が難しくなる。また、厚さが120μmを超えると、後述する粘着剤層のクッション効果に基づく導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネル用としてのペン入力耐久性の向上をはかれなくなる。
The thickness of these film base materials needs to be in the range of 2 to 120 μm, and particularly preferably in the range of 6 to 100 μm. If the thickness is less than 2 μm, the mechanical strength as a film substrate is insufficient, and the operation of continuously forming a thin film such as a dielectric thin film or a conductive thin film or a pressure-sensitive adhesive layer in the form of a roll is possible. It becomes difficult. On the other hand, if the thickness exceeds 120 μm, the scratch resistance of the conductive thin film based on the cushioning effect of the pressure-sensitive adhesive layer, which will be described later, and the pen input durability for the touch panel cannot be improved.

このようなフィルム基材は、その表面にあらかじめスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や、下塗り処理を施して、この上に設けられる誘電体薄膜のフィルム基材に対する密着性を向上させるようにしてもよい。また、誘電体薄膜を設ける前に、必要に応じて、溶剤洗浄や超音波洗浄などにより除塵、清浄化を行うようにしてもよい。
Such a film substrate is preliminarily subjected to etching treatment such as sputtering, corona discharge, flame, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, chemical conversion, oxidation, and undercoating treatment on the surface, and a dielectric thin film provided on the surface. You may make it improve the adhesiveness with respect to a film base material. Further, before providing the dielectric thin film, dust may be removed and cleaned by solvent cleaning, ultrasonic cleaning, or the like, if necessary.

本発明においては、このようなフィルム基材の一方の面に透明な導電性薄膜を設ける前に、その下地として、透明な第1の誘電体薄膜、透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜、および透明な第2の誘電体薄膜を、この順に積層する。このように下地薄膜を積層することにより、透明性および導電性薄膜の耐擦傷性や耐屈曲性が向上するとともに、タッチパネル用としてのペン入力耐久性の向上に好結果が得られる。
In the present invention, before providing a transparent conductive thin film on one surface of such a film substrate, a transparent first dielectric thin film, a transparent metal thin film or a metal oxide thin film, A transparent second dielectric thin film is laminated in this order. By laminating the base thin film in this way, the transparency and the scratch resistance and the bending resistance of the conductive thin film are improved, and good results are obtained in improving pen input durability for touch panels.

第1の誘電体薄膜および第2の誘電体薄膜は、いずれも、有機物、無機物または有機物と無機物との混合物であるのが好ましい。

このような誘電体薄膜の材料には、NaF(1.3)、Na3 A1F6 (1.35)、LiF(1.36)、MgF2 (1.38)、CaF2 (1.4)、BaF2 (1.3)BaF2 (1.3)、SiO2 (1.46)、LaF3 (1.55)、CeF3 (1.63)、A12 3 (1.63)などの無機物〔( )内の数値は光の屈折率を示す〕や、光の屈折率が1.4〜1.6程度のアクリル樹脂、ウレタン樹脂、シロキサン系ポリマーなどの有機物や、上記無機物と上記有機物の混合物が挙げられる。
Each of the first dielectric thin film and the second dielectric thin film is preferably an organic substance, an inorganic substance, or a mixture of an organic substance and an inorganic substance.

Such dielectric thin film materials include NaF (1.3), Na 3 A1F 6 (1.35), LiF (1.36), MgF 2 (1.38), CaF 2 (1.4). BaF 2 (1.3) BaF 2 (1.3), SiO 2 (1.46), LaF 3 (1.55), CeF 3 (1.63), A1 2 O 3 (1.63), etc. Inorganic materials (numbers in parentheses indicate the refractive index of light), organic materials such as acrylic resin, urethane resin, and siloxane polymer having a refractive index of light of about 1.4 to 1.6, and the inorganic material and the above A mixture of organic substances can be mentioned.

第1の誘電体薄膜および第2の誘電体薄膜は、上記の材料を用いて、真空蒸着法、スパックリング法、イオンプレーティング法、塗工法などにより形成できる。

第1の誘電体薄膜は、厚さが通常10nm以上、好ましくは10〜3,000nmであるのがよい。厚さが10nm未満では連続被膜になりにくく、厚くなりすぎると、耐屈曲性に問題を生じすい。第2の誘電体薄膜は、厚さが通常10nm以上、好ましくは10〜300nm、より好ましくは20〜120nmであるのがよい。厚さが10nm未満では連続被膜となりにくく、透明性や耐擦傷性の向上をあまり期待できない。厚くなりすぎると、透明性の向上を期待できず、またクラックを生じやすい。
The first dielectric thin film and the second dielectric thin film can be formed using the above materials by a vacuum deposition method, a spuck ring method, an ion plating method, a coating method, or the like.

The first dielectric thin film has a thickness of usually 10 nm or more, preferably 10 to 3,000 nm. If the thickness is less than 10 nm, it is difficult to form a continuous film, and if it is too thick, there is a problem in bending resistance. The thickness of the second dielectric thin film is usually 10 nm or more, preferably 10 to 300 nm, more preferably 20 to 120 nm. If the thickness is less than 10 nm, it is difficult to form a continuous film, and improvement in transparency and scratch resistance cannot be expected so much. If it is too thick, improvement in transparency cannot be expected, and cracks are likely to occur.

金属薄膜または金属酸化物薄膜は、上記の第1の誘電体薄膜と第2の誘電体薄膜との間に設けられて、上記両薄膜の密着性の向上などに寄与し、結果として、最表面に設けられる導電性薄膜のペン入力耐久性の向上に大きく貢献するものである。

このような金属薄膜または金属酸化物薄膜の材料には、インジウム、スズ、カドミウム、亜鉛、チタン、アンチモン、アルミニウム、タングステン、モリブデン、クロム、タンタル、ニッケル、白金、金、銀、銅、パラジウムなどの中から選ばれる1種または2種以上の金属または合金あるいはこれらの酸化物が挙げられる。
The metal thin film or the metal oxide thin film is provided between the first dielectric thin film and the second dielectric thin film, and contributes to improving the adhesion between the two thin films. This greatly contributes to the improvement of pen input durability of the conductive thin film provided on the substrate.

Such metal thin film or metal oxide thin film materials include indium, tin, cadmium, zinc, titanium, antimony, aluminum, tungsten, molybdenum, chromium, tantalum, nickel, platinum, gold, silver, copper, palladium, etc. One kind or two or more kinds of metals or alloys selected from the above or oxides thereof may be mentioned.

金属薄膜または金属酸化物薄膜は、上記の材料を用いて、真空蒸着法、スパックリング法、イオンプレーティング法などにより形成できる。

金属薄膜または金属酸化物薄膜は、厚さが1〜5nmであるのが好ましく、とくに好ましくは2〜4nmであるのがよい。この薄膜は、連続薄膜であっても不連続薄膜であってもよい。薄膜の厚さが薄くなると、均一に膜を形成することが難しくなり、膜が形成されない部分、つまり島状に点在する形態で形成されることもあるが、とくに問題はない。薄膜の厚さが厚くなりすぎると、透明性が悪くなったり、屈曲性が悪くなり、またクラックが発生して耐久性がかえって損なわれる。
The metal thin film or the metal oxide thin film can be formed using the above materials by a vacuum deposition method, a spuck ring method, an ion plating method, or the like.

The metal thin film or metal oxide thin film preferably has a thickness of 1 to 5 nm, particularly preferably 2 to 4 nm. This thin film may be a continuous thin film or a discontinuous thin film. When the thickness of the thin film is reduced, it becomes difficult to form the film uniformly, and there are cases where the film is not formed, that is, it is formed in the form of islands, but there is no particular problem. When the thickness of the thin film becomes too thick, the transparency is deteriorated, the flexibility is deteriorated, and cracks are generated to deteriorate the durability.

本発明においては、このようにフイルム基材の一方の面に、下地薄膜を積層したのち、この上に透明な導電性薄膜を設ける。

導電性薄膜は、前記した下地薄膜の場合と同様の方法により、形成できる。用いる薄膜材料もとくに制限されるものではなく、たとえば、酸化スズを含有する酸化インジウム、アンチモンを含有する酸化スズなどが好ましく用いられる。

導電性薄膜は、厚さが通常10nm以上、好適には10〜300nmであるのがよい。厚さが10nmより薄いと、表面電気抵抗が103 Ω/□以下となる良好な導電性を有する連続被膜となりにくく、厚すぎると、透明性の低下などをきたしやすい。
In the present invention, after laminating the base thin film on one surface of the film base in this way, a transparent conductive thin film is provided thereon.

The conductive thin film can be formed by the same method as that for the base thin film. The thin film material to be used is not particularly limited, and for example, indium oxide containing tin oxide, tin oxide containing antimony, and the like are preferably used.

The thickness of the conductive thin film is usually 10 nm or more, preferably 10 to 300 nm. If the thickness is less than 10 nm, it is difficult to form a continuous film having good electrical conductivity with a surface electrical resistance of 10 3 Ω / □ or less, and if it is too thick, the transparency tends to decrease.

本発明において、フィルム基材の光の屈折率は通常1.4〜1.7程度で、導電性薄膜の光の屈折率は通常約2程度である。

フィルム基材の光の屈折率をn1 、第1の誘電体薄膜の光の屈折率をn2 、第2の誘電体薄膜の光の屈折率をn3 、導電性薄膜の光の屈折率をn4 としたとき、それらの屈折率がn3 <n2 ≦n1 <n4 の関係を満たすのが望ましい。
In the present invention, the refractive index of light of the film substrate is usually about 1.4 to 1.7, and the refractive index of light of the conductive thin film is usually about 2.

The refractive index of light of the film substrate is n 1 , the refractive index of light of the first dielectric thin film is n 2 , the refractive index of light of the second dielectric thin film is n 3 , and the refractive index of light of the conductive thin film. the when the n 4, it is desirable their refractive index satisfies a relationship n 3 <n 2 ≦ n 1 <n 4.

第1の誘電体薄膜および第2の誘電体薄膜は、上記のような光の屈折率の関係を満足するように、すなわち、第1の誘電体薄膜の光の屈折率n2 が第2の誘電体薄膜の光の屈折率n3 より大きく、かつフィルム基材の光の屈折率n1 に比べて同等以下となるように、前記した材料の中から、適宜の材料が選択されるのが望ましい。
The first dielectric thin film and the second dielectric thin film satisfy the above-described relationship of the refractive index of light, that is, the refractive index n 2 of the first dielectric thin film has a second refractive index n 2 . An appropriate material is selected from the above materials so that it is larger than the refractive index n 3 of the light of the dielectric thin film and equal to or less than the refractive index n 1 of the light of the film substrate. desirable.

本発明では、このように一方の面に下地薄膜を介して透明な導電性薄膜を設けたフィルム基材の他方の面に、透明な粘着剤層を介して透明基体を貼り合わせる。

この貼り合わせは、透明基体の方に上記の粘着剤層を設けておき、これにフィルム基材を貼り合わせるようにしてもよいし、逆にフィルム基材の方に上記の粘着剤層を設けておき、これに透明基体を貼り合わてもよい。後者の方法では、粘着剤層の形成をフィルム基材をロール状にして連続的に行うことができ、生産性の面でより有利である。
In the present invention, the transparent substrate is bonded to the other surface of the film base material provided with the transparent conductive thin film on one surface via the base thin film via the transparent adhesive layer.

For this bonding, the above-mentioned pressure-sensitive adhesive layer may be provided on the transparent substrate, and the film base material may be bonded to this, or conversely, the above-mentioned pressure-sensitive adhesive layer is provided on the film base material. In addition, a transparent substrate may be bonded to this. In the latter method, the pressure-sensitive adhesive layer can be continuously formed with the film substrate as a roll, which is more advantageous in terms of productivity.

粘着剤層は、透明性を有するものであればよく、たとえば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤などが用いられる。粘着剤層は、透明基体の接着後そのクッション効果により、フィルム基材の一方の面に設けられた導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネル用としてのペン入力耐久性を向上させる機能を有する。この機能をより良く発揮させるため、粘着剤層の弾性係数を1×105 〜1×107 dyn/cm2 の範囲、厚さを1μm以上、通常5〜100μmの範囲に設定するのが望ましい。
The pressure-sensitive adhesive layer only needs to have transparency, and for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive, a silicone pressure-sensitive adhesive, a rubber pressure-sensitive adhesive, or the like is used. The pressure-sensitive adhesive layer has a function of improving the scratch resistance of the conductive thin film provided on one surface of the film substrate and the pen input durability for a touch panel by the cushion effect after the transparent substrate is bonded. In order to perform this function better, it is desirable to set the elastic modulus of the pressure-sensitive adhesive layer in the range of 1 × 10 5 to 1 × 10 7 dyn / cm 2 and the thickness in the range of 1 μm or more, usually 5 to 100 μm. .

粘着剤層の弾性係数が1×105 dyn/cm2 未満となると、粘着剤層は非弾性となるため、加圧により容易に変形してフィルム基材ひいては導電性薄膜に凹凸を生じさせ、また加工切断面からの粘着剤のはみ出しなどが生じやすく、さらに導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネルとしてのペン入力耐久性の向上効果が低減する。また、1×107 dyn/cm2 を超えると、粘着剤層が硬くなり、そのクッション効果を期待できなくなり、導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネルとしてのペン入力耐久性を向上できない。
When the elastic modulus of the pressure-sensitive adhesive layer is less than 1 × 10 5 dyn / cm 2 , the pressure-sensitive adhesive layer becomes inelastic, so that it is easily deformed by pressurization, causing unevenness in the film substrate and thus the conductive thin film, In addition, the adhesive tends to protrude from the cut surface, and the effect of improving the scratch resistance of the conductive thin film and the pen input durability as a touch panel is reduced. On the other hand, if it exceeds 1 × 10 7 dyn / cm 2 , the pressure-sensitive adhesive layer becomes hard and the cushion effect cannot be expected, and the scratch resistance of the conductive thin film and the pen input durability as a touch panel cannot be improved.

粘着剤層の厚さが1μm未満となると、そのクッション効果を期待できなくなるため、導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネルとしてのペン入力耐久性の向上を望めない。また、粘着剤層を厚くしすぎると、透明性を損なったり、粘着剤層の形成や透明基体の貼り合わせ作業性さらにコストの面で好結果が得られにくい。
When the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is less than 1 μm, the cushioning effect cannot be expected, so that it is not possible to improve the scratch resistance of the conductive thin film and the pen input durability as a touch panel. On the other hand, if the pressure-sensitive adhesive layer is too thick, the transparency is impaired, and it is difficult to obtain good results in terms of the formation of the pressure-sensitive adhesive layer, the bonding workability of the transparent substrate, and the cost.

このような粘着剤層を介して貼り合わされる透明基体は、フィルム基材に対して良好な機械的強度を付与し、とくにカールなどの発生防止に寄与するものであり、これを貼り合わせたのちでも可撓性であることが要求される場合は、通常6〜300μm程度のプラスチックフィルムが用いられ、可撓性がとくに要求されない場合は、通常0.05〜10mm程度のガラス板やフィルム状ないし板状のプラスチックが用いられる。プラスチックの材質としては、前記したフィルム基材と同様のものが挙げられる。
A transparent substrate bonded through such an adhesive layer gives good mechanical strength to the film substrate and contributes particularly to the prevention of curling and the like. However, when it is required to be flexible, a plastic film of about 6 to 300 μm is usually used. When flexibility is not particularly required, a glass plate or film of about 0.05 to 10 mm is usually used. A plate-like plastic is used. Examples of the plastic material include the same materials as those described above.

なお、必要により、上記した透明基体の外表面(粘着剤層とは反対側の面)に、視認性の向上を目的とした防眩処理層や反射防止層を設けたり、外表面の保護を目的としたハードコート層を設けるようにしてもよい。後者のハードコート層としては、たとえば、メラニン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂などの硬化型樹脂からなる硬化被膜が好ましく用いられる。
If necessary, an antiglare treatment layer or an antireflection layer for the purpose of improving visibility may be provided on the outer surface of the transparent substrate (the surface opposite to the pressure-sensitive adhesive layer), or the outer surface may be protected. A target hard coat layer may be provided. As the latter hard coat layer, for example, a cured film made of a curable resin such as a melanin resin, a urethane resin, an alkyd resin, an acrylic resin, or a silicon resin is preferably used.

図1は、本発明の透明導電性積層体の一例を示したものであり、透明なフィルム基材1の一方の面に透明な第1の誘電体薄膜2、透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜3、第2の誘電体薄膜4、透明な導電性薄膜5が、この順に積層されており、他方の面には透明な粘着剤層6を介して透明基体7が貼り合わされている。

また、図2は、本発明の透明導電性積層体の他の例を示したものであり、透明基体の外表面にハードコート層8を設けるようにしたものであり、その他の構成要素は図1と全く同様であり、同一番号を付してその説明を省略する。
FIG. 1 shows an example of a transparent conductive laminate according to the present invention, in which a transparent first dielectric thin film 2, a transparent metal thin film or a metal oxide is formed on one surface of a transparent film substrate 1. A thin film 3, a second dielectric thin film 4, and a transparent conductive thin film 5 are laminated in this order, and a transparent substrate 7 is bonded to the other surface via a transparent adhesive layer 6.

FIG. 2 shows another example of the transparent conductive laminate of the present invention, in which a hard coat layer 8 is provided on the outer surface of the transparent substrate. The same reference numerals are assigned and the description thereof is omitted.

図3は、本発明の透明導電性積層体を用いたタッチパネルの例を示したものである。
すなわち、導電性薄膜5a、5bを有する一対のパネル板P1、P2を、互いに直交するように設けた導電性薄膜5a、5b同志が対向するように、スペーサ9を介して対向配置してなるタッチパネルにおいて、一方のパネル板P1として、上記した図2に示す透明導電性積層体を使用したものである。
FIG. 3 shows an example of a touch panel using the transparent conductive laminate of the present invention.
That is, a touch panel in which a pair of panel plates P1 and P2 having conductive thin films 5a and 5b are arranged to face each other via the spacer 9 so that the conductive thin films 5a and 5b provided so as to be orthogonal to each other face each other. 1 uses the transparent conductive laminate shown in FIG. 2 as one panel plate P1.

このタッチパネルにおいては、パネル板P1側より、入力ペン10にてスペーサ9の弾性力に抗して押圧打点したとき、導電性薄膜5a、5b同志が接触して、電気回路のON状態となり、上記押圧を解除すると、元のOFF状態に戻る、透明スイッチ構体として機能する。その際、パネル板P1が上記の透明導電性積層体からなるため、導電性薄膜の耐擦傷性や耐屈曲性などにすぐれ、しかも高度のペン入力耐久性を備えていることから、長期にわたり上記機能を安定に維持させることができる。
In this touch panel, when the input pen 10 is pressed against the elastic force of the spacer 9 from the panel plate P1 side, the conductive thin films 5a and 5b come into contact with each other, and the electric circuit is turned on. When the pressure is released, the transparent switch structure returns to the original OFF state. At that time, since the panel plate P1 is composed of the above-described transparent conductive laminate, the conductive thin film has excellent scratch resistance and bending resistance, and has high pen input durability. The function can be maintained stably.

なお、上記の図3において、パネル板P1は、図1に示す透明導電性積層体であってもよい。また、パネル板P2は、プラスチックフィルムやガラス板などからなる透明基体11に導電性薄膜5bを設けたものであるが、上記のパネル板P1と同様の図1または図2に示す透明導電性積層体を使用してもよい。
In addition, in said FIG. 3, the panel board P1 may be a transparent conductive laminated body shown in FIG. The panel plate P2 is formed by providing a conductive thin film 5b on a transparent substrate 11 made of a plastic film, a glass plate or the like. The transparent conductive laminate shown in FIG. 1 or FIG. 2 is the same as the panel plate P1. The body may be used.

以下に、本発明の実施例を、比較例と対比して記載し、より具体的に説明する。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味するものとする。
Hereinafter, examples of the present invention will be described in comparison with comparative examples, and will be described more specifically. In the following, “parts” means parts by weight.

厚さが25μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム)からなる透明なフィルム基材(光の屈折率n1 =1.66)の一方の面に、メラミン樹脂:アルキド樹脂:有機シラン縮合物の重量比2:2:1の熱硬化型樹脂からなる硬化被膜(光の屈折率n2 =1.54)を厚さ180nmに形成して、透明な第1の誘電体薄膜とした。

つぎに、この第1の誘電体薄膜上に、パラジウムをターゲットとして、スパッタリング法により、厚さ3nmのパラジウム薄膜を積層し、透明な金属薄膜とした。ついで、この金属薄膜上に、SiO2 (光の屈折率n3 =1.46)を電子ビーム加熱法により、(1〜2)×10-4Torrの真空度で真空蒸着して、厚さが40nmの透明な第2の誘電体薄膜(SiO2 薄膜)とした。
Weight ratio of melamine resin: alkyd resin: organosilane condensate on one surface of a transparent film substrate (light refractive index n 1 = 1.66) made of polyethylene terephthalate film (PET film) having a thickness of 25 μm A cured film made of a 2: 2: 1 thermosetting resin (light refractive index n 2 = 1.54) was formed to a thickness of 180 nm to form a transparent first dielectric thin film.

Next, a palladium thin film having a thickness of 3 nm was laminated on the first dielectric thin film by sputtering using palladium as a target to obtain a transparent metal thin film. Next, SiO 2 (refractive index of light n 3 = 1.46) is vacuum-deposited on the metal thin film by an electron beam heating method at a vacuum degree of (1-2) × 10 −4 Torr. Was a transparent second dielectric thin film (SiO 2 thin film) having a thickness of 40 nm.

このようにフィルム基材上に下地薄膜を積層したのち、この上(第2の誘電体薄膜上)に、さらにアルゴンガス80%と酸素ガス20%とからなる4×103 Torrの雰囲気中で、インジウムースズ合金を用いた反応性スパッタリング法により、厚さが20nmの酸化インジウムと酸化スズとの複合酸化物(光の屈折率n4 =2.00)からなる透明な導電性薄膜(ITO薄膜)を形成した。
After laminating the base thin film on the film substrate in this way, on this (on the second dielectric thin film), in an atmosphere of 4 × 10 3 Torr further comprising 80% argon gas and 20% oxygen gas. A transparent conductive thin film (ITO thin film) made of a composite oxide of indium oxide and tin oxide (light refractive index n 4 = 2.00) having a thickness of 20 nm by a reactive sputtering method using an indium-tins alloy Formed.

つぎに、上記PETフィルムの他方の面に、弾性係数が1×106 dyn/cm2 に調整された透明なアクリル系粘着剤層(アクリル酸ブチル:アクリル酸:酢酸ビニルの重量比100:2:5の単量体混合物の共重合体100部に、イソシアネート系架橋剤を1部配合してなるアクリル系粘着剤)を、約20μmの厚さに形成し、さらにこの上に、厚さが125μmのPETフィルムからなる透明基体を貼り合わせることにより、図1に示す構造の透明導電性積層体を作製した。
Next, on the other surface of the PET film, a transparent acrylic pressure-sensitive adhesive layer having an elastic modulus adjusted to 1 × 10 6 dyn / cm 2 (weight ratio of butyl acrylate: acrylic acid: vinyl acetate 100: 2 : Acrylic pressure-sensitive adhesive prepared by blending 1 part of an isocyanate-based crosslinking agent into 100 parts of a copolymer of 5 monomer mixture, and having a thickness of about 20 μm. A transparent conductive laminate having the structure shown in FIG. 1 was prepared by laminating a transparent substrate made of a 125 μm PET film.

この透明導電性積層体を一方のパネル板とし、他方のパネル板として、ガラス坂上に厚さが30nmのITO薄膜を上記同様の方法で形成したものを用い、この両パネル板を、ITO薄膜同志が対向するように、厚さが20μmのスペーサを介して両パネル板のギャップが150μmとなるように対向配置させ、スイッチ構体としてのタッチパネルを作製した。なお、両パネル板の各ITO薄膜は、上記の対向配置に先立って、あらかじめ互いに直交するように形成した。
This transparent conductive laminate is used as one panel plate, and as the other panel plate, an ITO thin film having a thickness of 30 nm is formed on a glass slope by the same method as described above. So that the gap between the two panel plates is 150 μm through a spacer having a thickness of 20 μm, and a touch panel as a switch structure was manufactured. In addition, each ITO thin film of both panel boards was previously formed so that it might mutually orthogonally cross prior to said opposing arrangement | positioning.

比較例1
金属薄膜であるパラジウム薄膜を積層しなかった以外は、実施例1と同様にして、透明導電性積層体とこれを用いたタッチパネルを作製した。
Comparative Example 1
A transparent conductive laminate and a touch panel using the same were produced in the same manner as in Example 1 except that the palladium thin film that was a metal thin film was not laminated.

上記の実施例1および比較例1の各透明導電性積層体について、ITO薄膜の耐擦傷性を調べたところ、実施例1の透明導電性積層体は、比較例1の透明導電性積層体に比べて、同等ないしそれ以上の性能を示すものであることが確認された。
When the scratch resistance of the ITO thin film was examined for each of the transparent conductive laminates of Example 1 and Comparative Example 1, the transparent conductive laminate of Example 1 was changed to the transparent conductive laminate of Comparative Example 1. In comparison, it was confirmed that the performance is equivalent or better.

つぎに、上記の実施例1および比較例1の各タッチパネルについて、下記の方法にて、ペン入力耐久性試験を行い、耐久性試験後のリニアリティー(Rd)を測定した。この結果は、表1に示されるとおりであった。

<ペン入力耐久性試験>
タッチパネルの透明導電積層体からなるパネル板側から、ポリアセタールからなるペン(ペン先R0.8mm)を用いて、荷重500gで30万回の摺動を行った。摺動後、以下のようにリニアリティーを測定し、ペン入力耐久性を評価した。
Next, with respect to each touch panel of Example 1 and Comparative Example 1, the pen input durability test was performed by the following method, and the linearity (Rd) after the durability test was measured. The results were as shown in Table 1.

<Pen input durability test>
From the panel board side which consists of a transparent conductive laminated body of a touch panel, 300,000 times of sliding was performed by the load of 500 g using the pen (pen tip R0.8mm) which consists of polyacetal. After sliding, linearity was measured as follows, and pen input durability was evaluated.

<リニアリティーの測定方法>
透明導電積層体に5Vの電圧を印加し、透明導電積層体における、電圧を印加する端子A(測定開始位置)および端子B(測定終了位置)の間の出力電圧を測定した。

リニアリティーは、測定開始位置Aの出力電圧をEA、測定終了位置Bの出力電圧をEB、各測定点Xの出力電圧をEX、理論値をEXXとすると、以下の計算から得られる。
EXX(理論値)=(A−X間の距離)×(EB−EA)/(B−A間の距離)
+EA

リニアリティー(%)=[(EXX−EX)/(EB−EA)]×100
<Measuring method of linearity>
A voltage of 5 V was applied to the transparent conductive laminate, and the output voltage between terminal A (measurement start position) and terminal B (measurement end position) to which voltage was applied in the transparent conductive laminate was measured.

The linearity can be obtained from the following calculation, assuming that the output voltage at the measurement start position A is EA, the output voltage at the measurement end position B is EB, the output voltage at each measurement point X is EX, and the theoretical value is EXX.
EXX (theoretical value) = (distance between A and X) × (EB−EA) / (distance between B and A)
+ EA

Linearity (%) = [(EXX−EX) / (EB−EA)] × 100

なお、リニアリティー測定の概略は、図4に示すとおりである。

タッチパネルを用いる画像表示装置では、ペンで押さえられることにより上部パネルと下部パネルの接触部分の抵抗値から画面上に表示されるペンの位置が決定されている。上部および下部パネル表面の出力電圧分布が理論線(理想線)のようになっているものとして抵抗値は決められる。すると、電圧値が、図4の実測値のように理論線からずれると、実際のペン位置と抵抗値によって決まる画面上のペン位置がうまく同調しなくなる。理論線からのずれがリニアリティーであり、その値が大きいほど、実際のペン位置と画面上のペンの位置のずれが大きくなる。

なお、下記の表1の値は、実施例および比較例におけるリニアリティーの最大値を示したものである。
The outline of the linearity measurement is as shown in FIG.

In an image display device using a touch panel, the position of the pen displayed on the screen is determined from the resistance value of the contact portion between the upper panel and the lower panel by being pressed with the pen. The resistance value is determined on the assumption that the output voltage distribution on the upper and lower panel surfaces is a theoretical line (ideal line). Then, when the voltage value deviates from the theoretical line as shown in the actual measurement value of FIG. 4, the pen position on the screen determined by the actual pen position and the resistance value is not well synchronized. The deviation from the theoretical line is linearity, and the larger the value, the greater the deviation between the actual pen position and the pen position on the screen.

In addition, the value of the following Table 1 shows the maximum value of the linearity in an Example and a comparative example.

表1
┌────┬─────────────────────┐
│ │ ペン入力耐久性試験 │
│ │ 〔リニアリティー(Rd)〕 (%) │
├────┼─────────────────────┤
│実施例1│ 0.02 │
├────┼─────────────────────┤
│比較例1│ 0.13 │
└────┴─────────────────────┘
Table 1
┌────┬─────────────────────┐
│ │ Pen input durability test │
│ │ [Linearity (Rd)] (%) │
├────┼─────────────────────┤
│Example 1│ 0.02 │
├────┼─────────────────────┤
│Comparative example 1│ 0.13 │
└────┴─────────────────────┘

上記の表1の結果から明らかなように、本発明の実施例1のタッチパネルは、比較例1のタッチパネルに比べて、耐久性試験後のリニアリティー(Rd)が小さくなっており、一段と改良されたペン入力耐久性を有していることがわかる。
As is clear from the results of Table 1 above, the touch panel of Example 1 of the present invention has a further improved linearity (Rd) after the durability test as compared with the touch panel of Comparative Example 1. It turns out that it has pen input durability.

本発明の透明導電性積層体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the transparent conductive laminated body of this invention. 本発明の透明導電性積層体の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the transparent conductive laminated body of this invention. 本発明の透明導電性積層体を用いたタッチパネルを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the touch panel using the transparent conductive laminated body of this invention. リニアリティー測定の概略を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of a linearity measurement.

符号の説明Explanation of symbols

1 透明なフィルム基材
2 透明な第1の誘電体薄膜
3 透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜
4 透明な第1の誘電体薄膜
5(5a) 透明な導電性薄膜
6 透明な粘着剤層
7 透明基体
8 ハードコート層
P1 パネル板 P2 パネル板 9 スペーサ
10 入力ペン
5b 導電性薄膜
11 透明基体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent film base material 2 Transparent 1st dielectric thin film 3 Transparent metal thin film or metal oxide thin film 4 Transparent 1st dielectric thin film 5 (5a) Transparent conductive thin film 6 Transparent adhesive layer 7 Transparent base 8 Hard coat layer P1 Panel board P2 Panel board 9 Spacer 10 Input pen 5b Conductive thin film 11 Transparent base

Claims (5)

厚さが2〜120μmの透明なフィルム基材の一方の面に、透明な第1の誘電体薄膜、透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜、透明な第2の誘電体薄膜および透明な導電性薄膜をこの順に積層し、上記フィルム基材の他方の面に、透明な粘着剤層を介して透明基体を貼り合わせてなることを特徴とする透明導電性積層体。
A transparent first dielectric thin film, a transparent metal thin film or metal oxide thin film, a transparent second dielectric thin film and a transparent conductive material are provided on one side of a transparent film substrate having a thickness of 2 to 120 μm. A transparent conductive laminate, wherein thin films are laminated in this order, and a transparent substrate is bonded to the other surface of the film substrate via a transparent adhesive layer.
フィルム基材の光の屈折率をn1 、第1の誘電体薄膜の光の屈折率をn2 、第2の誘電体薄膜の光の屈折率をn3 、導電性薄膜の光の屈折率をn4 としたとき、それらの屈折率がn3 <n2 ≦n1 <n4 の関係を満たす請求項1に記載の透明導電性積層体。
The refractive index of light of the film substrate is n 1 , the refractive index of light of the first dielectric thin film is n 2 , the refractive index of light of the second dielectric thin film is n 3 , and the refractive index of light of the conductive thin film. the when the n 4, the transparent conductive multilayer body according to claim 1 in which their refractive index satisfies a relationship n 3 <n 2 ≦ n 1 <n 4.
透明な金属薄膜または金属酸化物薄膜は、厚さが1〜5nmである請求項1または2に記載の透明導電性積層体。
The transparent conductive laminate according to claim 1 or 2, wherein the transparent metal thin film or metal oxide thin film has a thickness of 1 to 5 nm.
第1および第2の誘電体薄膜は、有機物、無機物または有機物と無機物との混合物である請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電性積層体。
The transparent conductive laminate according to claim 1, wherein the first and second dielectric thin films are an organic substance, an inorganic substance, or a mixture of an organic substance and an inorganic substance.
導電性薄膜を有する一対のパネル板を、導電性薄膜同志が対向するようにスペーサを介して対向配置してなるタッチパネルにおいて、パネル板の少なくとも一方が、請求項1〜4のいずれかに記載の透明導電性積層体からなることを特徴とするタッチパネル。
The touch panel which arrange | positions a pair of panel board which has an electroconductive thin film through a spacer so that electroconductive thin films may oppose, At least one of a panel board is in any one of Claims 1-4. A touch panel comprising a transparent conductive laminate.
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