JP2005228558A - Display body manufacturing method, display body, and electronic device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は表示体の表示部分を構成する画素の各ドットについて、発光素子等を有効に形成するための方法等に関するものである。特にカソードセパレータを形成して素子等の形成時における各ドットの分離を図って製造される表示体、その表示体を用いた電子機器等に好適なものである。 The present invention relates to a method for effectively forming a light emitting element or the like for each dot of a pixel constituting a display portion of a display body. Particularly, it is suitable for a display body manufactured by forming a cathode separator to separate each dot when forming an element or the like, an electronic device using the display body, and the like.
近年、情報機器の多様化および省スペース化に伴い、表示装置としてはCRTよりも低消費電力で空間占有面積の小さい平面表示装置へのニーズが高まっている。このような平面表示装置としては、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等があるが、特に最近は自己発光型で視認性が高く、応答速度が速くて、直流低電圧駆動が可能な有機EL(電界発光)素子を用いた表示装置への期待が高まっている。 In recent years, with the diversification and space saving of information equipment, there is an increasing need for a flat panel display device that consumes less power and has a smaller space area than a CRT. Examples of such flat display devices include liquid crystal displays and plasma displays. Recently, however, organic EL (electroluminescence) that is self-luminous, has high visibility, has high response speed, and can be driven by low-voltage direct current. There is an increasing expectation for display devices using elements.
表示装置のうち、表示部分となる表示体は、各ドットに合わせて例えば薄膜トランジスタ(以下、「TFT」という)等の駆動制御素子(アクティブエレメント)、個別電極及び有機EL素子が設けられ、さらに全ドット共通の電極となる導電膜が2つの基板間に順次配設されている。ここで、駆動制御素子側が表示面となる、いわゆるボトムエミッション構造の表示体もあるが、開口面積が狭く(開口率が低く)なり、透過率を低下させてしまう。そこで、その問題を解消するために導電膜側が表示面となる、いわゆるトップエミッション構造の表示体が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 Among the display devices, a display body serving as a display portion is provided with a drive control element (active element) such as a thin film transistor (hereinafter referred to as “TFT”), an individual electrode, and an organic EL element in accordance with each dot. A conductive film serving as an electrode common to dots is sequentially disposed between the two substrates. Here, there is a display body having a so-called bottom emission structure in which the drive control element side is the display surface, but the aperture area is narrow (the aperture ratio is low), and the transmittance is reduced. In order to solve this problem, a display body having a so-called top emission structure in which the conductive film side is the display surface has been proposed (for example, see Patent Document 1).
さらにトップエミッション構造の表示体を製造するための方法として、導電膜、有機EL素子及び個別電極を形成した基板と駆動制御素子を形成した基板とを作製し、2つの基板を接合させて表示体を製造する方法も提案されている(例えば特許文献2参照)。 Further, as a method for manufacturing a display body having a top emission structure, a substrate on which a conductive film, an organic EL element and an individual electrode are formed and a substrate on which a drive control element is formed are manufactured, and the two substrates are bonded to each other. There has also been proposed a method for manufacturing (see, for example, Patent Document 2).
上述の表示体の製造方法においては、有機電界発光素子となる発光材料を、各ドットの所定の位置に定着させるための堰となるバンクが形成される。ここで、バンク形成の際及びバンク形成後の工程の中でバンクの濡れ性(親液性)が変動してしまうことがある。濡れ性が悪くなると、バンクによって囲まれた部分に層として形成される有機EL素子とバンクとの付きが悪くなり、バンクに近い部分において素子の層が薄く形成されてしまう。そのため、個別電極と導電膜との間で短絡が起こってしまい、発光特性に影響を与えてしまうこともある。このような短絡を防ぐため、導電膜とバンクとの間に親液性の絶縁膜(例えばSiO2 等)が形成されるが、絶縁膜の形成は開口率を低くしてしまうことになる。また、絶縁膜形成のために工程が増え、コストが高くなってしまう。 In the above-described manufacturing method of the display body, a bank is formed that serves as a weir for fixing a light emitting material to be an organic electroluminescent element at a predetermined position of each dot. Here, the bank wettability (lyophilicity) may vary during the bank formation and in the steps after the bank formation. When the wettability is deteriorated, the adhesion between the organic EL element formed as a layer in the portion surrounded by the bank and the bank is deteriorated, and the element layer is thinly formed in the portion close to the bank. For this reason, a short circuit occurs between the individual electrode and the conductive film, which may affect the light emission characteristics. In order to prevent such a short circuit, a lyophilic insulating film (such as SiO 2 ) is formed between the conductive film and the bank. However, the formation of the insulating film lowers the aperture ratio. Further, the number of processes increases for forming the insulating film, and the cost increases.
そこで、本発明は以上のような問題を解決し、絶縁膜を形成しなくてもバンクの親液性を向上させて短絡を防ぎ、発光特性の向上を図ることができる表示体製造方法等を得ることを目的とする。また、それにより得られた表示体、表示体を用いた電子機器を得ることを目的とする。 Therefore, the present invention solves the above problems, and improves the lyophilicity of the bank without forming an insulating film, prevents a short circuit, and improves the light emission characteristics. The purpose is to obtain. Moreover, it aims at obtaining the electronic device using the display body obtained by that, and a display body.
本発明に係る表示体製造方法は、表示体を構成するドットが形成される基板に、ドットとなる位置を囲む親液性のバンク及びバンク上にドット間を仕切るための撥液性の隔壁を形成する工程と、ドットとなる位置に機能膜となる材料を含む液体を溜めた後に定着させ、機能膜で構成される発光素子を形成する工程と、発光素子に電荷を供給する個別電極を形成する工程とを有している。
本実施の形態においては、ドットとなる位置を囲む親液性のバンク及びバンク上にドット間を仕切るための撥液性の隔壁を形成し、機能膜となる材料を含む液体を塗布等する際に、ドット毎の液体の切れをよくし、液体のバンクへの付きをよくする。したがって、機能膜を間に挟んだ電極間の短絡を防ぎ、発光特性をよくすることできる。また、短絡防止のための絶縁膜を設けないので、開口率の低下を防ぎ、工程及びコストの低減を図ることができる。
The display body manufacturing method according to the present invention includes a lyophilic bank surrounding a position to be a dot on a substrate on which dots constituting the display body are formed, and a liquid repellent partition for partitioning the dots on the bank. A step of forming, a step of forming a light emitting element composed of the functional film by fixing a liquid containing a material that becomes a functional film at a position to be a dot, and a separate electrode for supplying a charge to the light emitting element And a process of performing.
In this embodiment, when a lyophilic bank surrounding a dot position and a liquid-repellent partition wall for partitioning the dots are formed on the bank, and a liquid containing a material to be a functional film is applied. In addition, the liquid for each dot is improved and the liquid is attached to the bank. Therefore, it is possible to prevent a short circuit between the electrodes sandwiching the functional film, and to improve the light emission characteristics. In addition, since an insulating film for preventing a short circuit is not provided, a decrease in the aperture ratio can be prevented, and the process and cost can be reduced.
また、本発明に係る表示体製造方法は、親液性材料でバンクを形成する。
本発明においては、バンクを親液性材料で形成することにより、特別な処理工程を行わなくても液体のバンクへの付きをよくする。したがって、さらに工程及びコストの軽減を図ることができる。
Moreover, the display body manufacturing method which concerns on this invention forms a bank with a lyophilic material.
In the present invention, by forming the bank with a lyophilic material, the liquid can be attached to the bank without any special processing steps. Therefore, the process and cost can be further reduced.
また、本発明に係る表示体製造方法は、撥液性材料で隔壁を形成する。
本発明においては、隔壁を撥液性材料で形成することにより、特別な処理工程を行わなくても液体の切れをよくする。したがって、さらに工程及びコストの軽減を図ることができる。
Moreover, the display body manufacturing method which concerns on this invention forms a partition with a liquid repellent material.
In the present invention, the partition wall is formed of a liquid repellent material, so that the liquid can be cut easily without performing a special processing step. Therefore, the process and cost can be further reduced.
また、本発明に係る表示体製造方法は、バンク及び隔壁を形成した後に、バンクを親液処理し、隔壁を撥液処理する。
本発明においては、バンクを親液処理し、隔壁を撥液処理することによって、より確実にバンクは親液性を有し、隔壁は撥液性を有し、より確実な発光特性の向上を図ることができる。
In the display body manufacturing method according to the present invention, after the bank and the partition are formed, the bank is subjected to a lyophilic process, and the partition is subjected to a liquid repellent process.
In the present invention, the bank is lyophilic and the partition is lyophobic, so that the bank is more lyophilic, the partition is lyophobic, and the light emission characteristics are more reliably improved. Can be planned.
また、本発明に係る表示体製造方法は、バンク形成前に基板に共通電極となる膜を成膜する工程をさらに有する。
本発明においては、共通電極となる膜を成膜することにより、発光素子を挟んで対向する電極と共に発光素子に電化供給を行う。その際に形成される親液性のバンクにより、発光素子のバンクへの付きをよくし、電極間の短絡を図ることができる。
The display body manufacturing method according to the present invention further includes a step of forming a film to be a common electrode on the substrate before forming the bank.
In the present invention, a film to be a common electrode is formed, so that the light emitting element is electrified and supplied together with the electrodes facing each other with the light emitting element interposed therebetween. The lyophilic bank formed at that time can improve the attachment of the light emitting element to the bank and can achieve a short circuit between the electrodes.
また、本発明に係る表示体製造方法は、機能膜となる材料を含む液体を基板全面に塗布して、ドットとなる位置に液体を溜める。
本発明においては、機能膜となる材料を含む液体を基板全面に塗布することにより、製造過程において、隔壁においてドット毎の液体の切れをよくし、バンクにおいて液体の付きをよくする特性を発揮することができる。
In addition, in the display body manufacturing method according to the present invention, a liquid containing a material to be a functional film is applied to the entire surface of the substrate, and the liquid is accumulated at positions where dots are formed.
In the present invention, by applying a liquid containing a material to be a functional film to the entire surface of the substrate, in the manufacturing process, the liquid can be cut for each dot in the partition wall, and the liquid can be attached to the bank. be able to.
また、本発明に係る表示体製造方法は、選択したドットとなる位置に、機能膜となる材料を含む液体を溜める。
本発明においては、選択したドットとなる位置の部分に機能膜となる材料を含む液体を溜めることにより、隔壁においてドット毎の液体の切れをよくしてバンクに溜め、バンクにおいて液体の付きをよくする特性を発揮することができる。
Moreover, the display body manufacturing method which concerns on this invention stores the liquid containing the material used as a functional film in the position used as the selected dot.
In the present invention, the liquid containing the material for the functional film is stored in the portion where the selected dot is to be formed, so that the liquid for each dot in the partition is improved and stored in the bank. It is possible to exhibit the characteristics of
また、本発明に係る表示体製造方法は、電極となる材料を蒸着させて個別電極を形成する。
本発明においては、隔壁によってドット毎に個別電極を蒸着により形成することで、発光素子を挟んで対向する電極と共に発光素子に電化供給を行う。蒸着にすることで発光素子にダメージを与えず、発光素子の発光特性に影響を与えずに電極形成ができる。
Moreover, the display body manufacturing method which concerns on this invention vapor-deposits the material used as an electrode, and forms an individual electrode.
In the present invention, the individual electrodes are formed by vapor deposition for each dot by the partition walls, so that the light emitting elements are electrified and supplied together with the electrodes facing each other with the light emitting elements interposed therebetween. By vapor deposition, the electrode can be formed without damaging the light emitting element and without affecting the light emitting characteristics of the light emitting element.
また、本発明に係る表示体製造方法は、個別電極を形成した後に、個別電極への電荷供給を制御する制御素子と個別電極とを電気的に接続する。
本発明においては、発光素子を含む表示部分と制御素子とをあらかじめ別工程で形成しておいて、最後に電気的に接続することにより表示体を製造する。したがって、バンク及び隔壁を用いた表示体の製造を有効に行うことができ、構成されたドットについては発光特性をよくすることができる。
Moreover, the display body manufacturing method which concerns on this invention electrically connects the control element and individual electrode which control the electric charge supply to an individual electrode, after forming an individual electrode.
In the present invention, the display portion including the light emitting element and the control element are formed in separate steps in advance, and finally the display body is manufactured by electrical connection. Therefore, it is possible to effectively manufacture a display body using banks and partition walls, and to improve the light emission characteristics of the configured dots.
また、本発明に係る表示体は、各ドットを構成する発光素子と、各ドットを囲む親液性を有するバンクと、バンク上にドット間を仕切る撥液性の隔壁と、発光素子に電荷を供給する個別電極とを備えたものである。
本発明においては、親液性のバンク及び撥液性の隔壁により、発光素子を間に挟んだ電極間の短絡を防ぎ、表示制御が行えないドットが形成されることなく、発光特性をよくすることできる。また、短絡防止のための絶縁膜を設けないので、開口率の低下を防ぎ、工程及びコストの低減を図ることができる。
Further, the display body according to the present invention includes a light emitting element that constitutes each dot, a lyophilic bank surrounding each dot, a liquid repellent partition that partitions the dots on the bank, and charges the light emitting element. And an individual electrode to be supplied.
In the present invention, the lyophilic bank and the liquid repellent partition prevent a short circuit between the electrodes sandwiching the light emitting element, and improve the light emission characteristics without forming dots that cannot be displayed. I can. In addition, since an insulating film for preventing a short circuit is not provided, a decrease in the aperture ratio can be prevented, and the process and cost can be reduced.
また、本発明に係る電子機器は、上記の表示体を備え、表示機能を行わせる。
本発明においては、上記の表示体で電子機器の表示を行わせるようにしたので、表示制御が行えないドットが形成されることなく、発光特性のよい表示を行うことができる。
In addition, an electronic apparatus according to the present invention includes the above display body and performs a display function.
In the present invention, since the display of the electronic device is made to display with the above-described display body, it is possible to display with good light emission characteristics without forming dots that cannot be controlled.
実施の形態1.
図1は本発明の第1の実施の形態に係る表示体の一部を表す図である。図1は1ドット分を表している。この表示体は、実際に表示が行われる表示面を有する表示部分と表示部分の表示を行わせるために各ドットへの電荷供給を制御するための素子を有する部分とを、それぞれ作製した後に接合する方法で製造した、有機EL素子4を用いた表示体である。本実施の形態では2次元方向についてマトリクス状にドットを配列して構成した表示体であるものとする。また、電荷供給を制御する方式として、パッシブマトリクス方式とアクティブマトリクス方式とがあるが、ここでは特にアクティブマトリクス方式の表示体について説明する。ただし、これに限定されるものではない。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a view showing a part of a display body according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows one dot. In this display body, a display portion having a display surface on which display is actually performed and a portion having an element for controlling charge supply to each dot in order to display the display portion are formed and bonded together. It is the display body using the
図1において、表示面を有するガラス基板1に、表示面となる面の反対側の面に導電膜2を全面成膜している。導電膜2は各ドットの共通電極となる。表示面側に設けられているので、可視光領域で透明な、例えば、ITO、IZO、GZO、ICO等の導電材料を用いる。本実施の形態では、導電膜2はITOを材料とし、正孔を供給するための陽極として機能するものとする。 In FIG. 1, a conductive film 2 is entirely formed on a glass substrate 1 having a display surface on a surface opposite to a surface to be a display surface. The conductive film 2 serves as a common electrode for each dot. Since it is provided on the display surface side, a conductive material such as ITO, IZO, GZO, or ICO that is transparent in the visible light region is used. In the present embodiment, the conductive film 2 is made of ITO and functions as an anode for supplying holes.
導電膜2上にはバンク3を形成している。バンク3は発光体(ドット)となる有機EL素子4を所定の位置に形成するために設けられている。特に発光材料を含む液体を吐出した後に発光材料を定着させて有機EL素子4を形成する液滴吐出方式を用いる場合、発光材料を含む液体を溜めるための堰となる。バンク3は、例えばポリイミド、アクリル等、フォトリソグラフィ法等で形成できる有機化合物の絶縁材料で構成される。本実施の形態では、発光材料を含む液体に対する親液性(濡れ性)を有しているものとする。
A bank 3 is formed on the conductive film 2. The bank 3 is provided in order to form the
また、バンク3上にはカソードセパレータ5を設ける。カソードセパレータ5は、主にドライ成膜される電極材料のつながりを断ち切る隔壁となり、各ドット毎に個別電極6を形成するための役割を果たす。このつながりの断ち切りを有効に行うため、オーバーハング(バンク3と反対側が広く、断面が台形)の逆テーパ形状に形成する。また、発光材料を含む液体を各バンクに有効に溜めるため、発光材料を含む液体に対する撥液性を有しているものとする。 A cathode separator 5 is provided on the bank 3. The cathode separator 5 mainly serves as a partition that cuts off the connection of the electrode material that is dry-formed, and plays a role for forming the individual electrode 6 for each dot. In order to effectively cut off this connection, it is formed in an inverted taper shape with an overhang (a side opposite to the bank 3 is wide and the cross section is trapezoidal). In addition, in order to effectively store the liquid containing the light emitting material in each bank, it has liquid repellency with respect to the liquid containing the light emitting material.
バンク3により囲まれた部分に発光体となる有機EL素子4を形成する。本実施の形態では、有機EL素子4は、例えばチオフェン系導電性高分子(PEDOT)からなる正孔(ホール)注入輸送層4A及び発光ポリマー(LEP)の発光層4Bで構成する。ただ、各層の材料はこれらに限定されるものではない。導電膜2及び個別電極6からの電荷供給を受けて発光層4Bが自己発光する。発光の輝度は個別電極6からの電荷(本実施の形態の場合は電子)の供給量により調整する。また、有機EL素子4の構成についても、場合によっては発光層4Bと個別電極6との間に電子注入輸送層を形成する場合もある。さらに、正孔(電子)注入層と輸送層とを区別したり、電子注入層、正孔注入層、発光層の3層で構成したり、異なる構成で有機EL素子4が形成されている場合もある。導電膜2が正孔注入層、チオフェン系導電性高分子が正孔輸送層として機能する場合もある。そして、これらの各層を機能膜と呼ぶこともある。
An
個別電極6は、本実施の形態では、例えばAlのような導電性を有する金属材料で形成されているものとするが、蒸着法、スパッタ法等のドライ成膜法で成膜できる導電材料であれば、特に金属材料に限られない。 In the present embodiment, the individual electrode 6 is made of a conductive metal material such as Al, but is made of a conductive material that can be formed by a dry film formation method such as a vapor deposition method or a sputtering method. If there is, it is not restricted to a metal material in particular.
一方、対向基板9上には、例えばTFT等の駆動制御素子7をドット毎に形成する。そして、いわゆるアクティブマトリクス方式による発光制御を行う。各駆動制御素子7は各ドットの有機EL素子4への電荷供給量を制御する。本実施の形態では、対向基板9上への駆動制御素子7の作製は、ガラス基板1上に形成される導電膜2、有機EL素子4等の作製工程とは別の工程で行われるものとする。そのため、作製したガラス基板1と対向基板9とを最終的に接合して表示体を製造するが、その際、駆動制御素子7と個別電極6とを導電性ペースト材8により電気的に接続する。本実施の形態では導電性ペースト材8は異方性の特性を有する材料であるものとする。ここでは導電性ペースト材を用いているが、特にこれに限定するものではなく、例えば、導電性フィルム等を用いて駆動制御素子7と個別電極6とを電気的に接続するようにしてもよい。
On the other hand, on the counter substrate 9, a drive control element 7 such as a TFT is formed for each dot. Then, light emission control by a so-called active matrix method is performed. Each drive control element 7 controls the amount of charge supplied to the
図2はガラス基板1側の作製工程を表す図である。次に本実施の形態における表示体の製造方法について、主にガラス基板1側の作製工程について説明する。ガラス基板1の表示面と反対の面に蒸着法、スパッタ法等のドライ成膜法により、導電材料を全面成膜し、導電膜2を成膜する(図2(a))。 FIG. 2 is a diagram illustrating a manufacturing process on the glass substrate 1 side. Next, the manufacturing process of the display body in the present embodiment will be described mainly for the manufacturing process on the glass substrate 1 side. A conductive material is formed on the entire surface of the glass substrate 1 opposite to the display surface by a dry film formation method such as vapor deposition or sputtering, and a conductive film 2 is formed (FIG. 2A).
導電膜2を成膜した後、バンク3となる膜を全面成膜する(図2(b))。本実施の形態ではバンク3として感光性ポリシラザンを材料として形成するが、より親液性を有する材料を用いてもよい。そして、フォトリソグラフィ法、エッチング法を用いて、囲いとなる部分を取り除きバンク3を形成する(図2(c))。また、例えばO2 プラズマ処理等のような親液処理を形成後のバンク3に対して行い、より親液性を有するようにさせるようにしてもよい。ここで、有機EL素子4の形成の際に、発光材料を含む液体を全面的又は局所的に塗布等するが、この液体は基本的に水性であるため、本実施の形態の親液性とは親水性とほぼ同じと考えてよい。
After the conductive film 2 is formed, a film to be the bank 3 is formed on the entire surface (FIG. 2B). In this embodiment, photosensitive polysilazane is formed as a material for the bank 3, but a more lyophilic material may be used. Then, by using a photolithography method and an etching method, a portion to be enclosed is removed to form a bank 3 (FIG. 2C). Further, for example, lyophilic treatment such as O 2 plasma treatment may be performed on the formed bank 3 to make it more lyophilic. Here, when the
そして、さらにカソードセパレータ5を形成する(図2(d))。カソードセパレータ5まで親液性にすると、全面塗布を行った場合に各ドットの液体の分離がうまくいかない、所望の箇所(囲まれた部分)だけに液体を溜めることができない等の問題が生じる。本実施の形態ではカソードセパレータ5としてアクリル樹脂を材料として形成するが、より撥液性を有する材料を用いてもよい。また、形成後にフッ素(F)系プラズマ処理等のような撥液性処理を行ってもよい。カソードセパレータ5の形成についても、フォトリソグラフィ法及びエッチング法を用いて行う。 Further, a cathode separator 5 is formed (FIG. 2D). If the cathode separator 5 is made lyophilic, problems such as poor separation of the liquid of each dot when applied over the entire surface, and failure to store the liquid only at a desired location (enclosed portion) occur. In the present embodiment, an acrylic resin is formed as a material for the cathode separator 5, but a material having more liquid repellency may be used. Further, after the formation, a liquid repellent treatment such as fluorine (F) plasma treatment may be performed. The cathode separator 5 is also formed using a photolithography method and an etching method.
カソードセパレータ5を形成した後、有機EL素子4を形成する(図2(e))。まず、正孔輸送注入層4Aを形成する。正孔輸送注入層4Bはドット共通の発光材料となるため、スリット、キャップ等によるコーティング等の全面塗布を行うことができる。
After the cathode separator 5 is formed, the
一方、発光層4Bについては、モノクロの表示体を製造する場合、正孔輸送注入層4Aと同様に全面塗布を行うことができる。2種類以上の発光層4Bを形成して発光させる場合には各発光材料を含む液体をそれぞれ全面塗布して形成することが困難であるので、通常、前述した液滴吐出法、ディスペンサ等を利用した方法等の局所的な塗布を行う方法が用いられる。前述した正孔輸送注入層4Bにも局所的な塗布を行ってもよい。 On the other hand, in the case of manufacturing a monochrome display body, the entire surface of the light emitting layer 4B can be applied in the same manner as the hole transport injection layer 4A. When two or more types of light-emitting layers 4B are formed to emit light, it is difficult to form and apply a liquid containing each light-emitting material on the entire surface. A method of performing local application such as the above-described method is used. You may perform local application | coating also to the positive hole transport injection layer 4B mentioned above.
各ドットに個別電極6を形成する(図2(f))。本実施の形態では、個別電極6は電極材料を蒸着させることにより形成する。蒸発した電極材料はカソードセパレータ5により分離され、各ドットの有機EL素子4に成膜される。個別電極6を形成してガラス基板1側の作製は終了する。
Individual electrodes 6 are formed on each dot (FIG. 2 (f)). In the present embodiment, the individual electrode 6 is formed by evaporating an electrode material. The evaporated electrode material is separated by the cathode separator 5 and deposited on the
次に対向基板9側の作製方法の一例について説明する。対向基板9側の作製方法についてはここでは特に詳細に説明しないが、多種多様な作製方法が従来から示されている。そのため、作製方法も本方法に限定されるものではない。また、本実施の形態においては、対向基板9、駆動制御素子7を形成するための材料については、特に透過性材料で構成する必要はないため、耐久性等、その用途に応じて様々な材料から所望の材料を選択幅を広げて選択することができる。 Next, an example of a manufacturing method on the counter substrate 9 side will be described. Although a manufacturing method on the counter substrate 9 side is not described in detail here, various manufacturing methods have been conventionally shown. Therefore, the manufacturing method is not limited to this method. In the present embodiment, the material for forming the counter substrate 9 and the drive control element 7 does not need to be made of a particularly transmissive material, so various materials such as durability can be used depending on the application. The desired material can be selected from a wide range.
まず、対向基板9上に駆動制御素子7を形成するための膜(例えばシリコン)をスパッタ法等により全面成膜する。場合によっては膜を多結晶化させてもよい。そして、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングを行った後に、エッチング法を用いて不要な部分を取り除き、半導体薄膜(図示せず)を形成する。ゲート絶縁膜、ゲート電極(共に図示せず)をドットに合わせて形成した後、半導体薄膜に不純物をドープして、ソース、ドレイン等の領域を形成する。そして、金属膜の成膜、フォトリソグラフィ法によるパターニング及びエッチング法により、配線層、絶縁層及びドット電極層(図示せず)を積層し、ドット毎に駆動制御素子7を形成する。 First, a film (for example, silicon) for forming the drive control element 7 is formed on the entire surface of the counter substrate 9 by sputtering or the like. In some cases, the film may be polycrystallized. Then, after patterning using a photolithography method, unnecessary portions are removed using an etching method to form a semiconductor thin film (not shown). After forming a gate insulating film and a gate electrode (both not shown) in alignment with dots, the semiconductor thin film is doped with impurities to form regions such as a source and a drain. Then, a wiring layer, an insulating layer, and a dot electrode layer (not shown) are stacked by metal film formation, patterning by photolithography, and etching, and the drive control element 7 is formed for each dot.
そして、作製したガラス基板1と対向基板9とを接合する。両料基板の接合の際は位置合わせを精度よく行い、個別電極6と駆動制御素子7のドット電極層(特に図示せず)とがドット毎に電気的に接続されるようにする必要がある。その電気的接続を確実に図るために導電性ペースト材8を用いて圧着する。このようにして両基板を接合した後、例えば酸化等を防ぐため、接合後に不活性ガスを充填して封止を行う。以上の工程を経て表示体が製造される。 And the produced glass substrate 1 and the counter substrate 9 are joined. When joining the two substrates, it is necessary to perform alignment accurately so that the individual electrode 6 and the dot electrode layer (not shown) of the drive control element 7 are electrically connected to each dot. . In order to ensure the electrical connection, the conductive paste material 8 is used for pressure bonding. After bonding the two substrates in this manner, for example, in order to prevent oxidation or the like, sealing is performed by filling with an inert gas after bonding. A display body is manufactured through the above steps.
以上のように第1の実施の形態によれば、バンク3を親液性材料で形成又はO2 プラズマ処理等の親液処理を行い、カソードセパレータ5については撥液性材料で形成又はフッ素系プラズマ処理等の撥液処理を行って形成するようにしたので、絶縁膜を設けなくてもバンク3付近における有機EL素子4の付きがよく、導電膜2と個別電極6との短絡を防ぎ、発光特性をよくすることできる。また、絶縁膜を設けないので、開口率の低下を防ぎ、工程及びコストの低減を図ることができる。また、カソードセパレータ5による有機EL素子4形成時等の各ドット毎の液体の切れをよくすることができる。
As described above, according to the first embodiment, the bank 3 is formed of a lyophilic material or lyophilic treatment such as O 2 plasma treatment is performed, and the cathode separator 5 is formed of a lyophobic material or fluorine-based. Since it is formed by performing a liquid repellent treatment such as a plasma treatment, the
実施の形態2.
上述の実施の形態では、発光体を有機EL素子4で構成しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、無機EL素子等、他の発光素子を用いた場合にも適用することができる。
Embodiment 2. FIG.
In the above-described embodiment, the light emitter is composed of the
実施の形態3.
図3は本発明で作製された表示体を用いた電子機器を表す図である。図3(a)はPDA(Personal Digital Assistant)、図3(b)は携帯電話、図3(c)はデジタルカメラを表す。また、本実施の形態では図示していないが、コンピュータ、ゲーム機等、表示機能を図るために表示体を用いる電子機器に対し、本発明により製造した表示体を利用することができる。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 3 is a diagram illustrating an electronic apparatus using a display body manufactured according to the present invention. 3A shows a PDA (Personal Digital Assistant), FIG. 3B shows a mobile phone, and FIG. 3C shows a digital camera. Although not shown in this embodiment mode, a display body manufactured according to the present invention can be used for an electronic device that uses a display body to achieve a display function, such as a computer or a game machine.
1 ガラス基板、2 導電膜、3 バンク、4 有機EL素子、4A 正孔注入輸送層、4B 発光層、5 カソードセパレータ、6 個別電極、7 駆動制御素子、8 導電性ペースト材、9 対向基板。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate, 2 Conductive film, 3 Bank, 4 Organic EL element, 4A Hole injection transport layer, 4B Light emitting layer, 5 Cathode separator, 6 Individual electrode, 7 Drive control element, 8 Conductive paste material, 9 Opposite substrate.
Claims (11)
前記ドットとなる位置に機能膜となる材料を含む液体を溜めた後に定着させ、機能膜で構成される発光素子を形成する工程と、
前記発光素子に電荷を供給する個別電極を形成する工程と
を有することを特徴とする表示体製造方法。 Forming a lyophilic bank surrounding a position to be the dot on a substrate on which dots constituting the display body are formed, and a liquid-repellent partition wall for partitioning the dots on the bank;
A step of fixing a liquid containing a material to be a functional film at a position to be the dot and fixing the liquid, and forming a light emitting element constituted by the functional film;
Forming a separate electrode for supplying an electric charge to the light emitting element.
個別電極への電荷供給を制御する制御素子と前記個別電極とを
電気的に接続することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の表示体製造方法。 After forming the individual electrodes,
The display element manufacturing method according to claim 1, wherein a control element that controls charge supply to the individual electrode is electrically connected to the individual electrode.
各ドットを囲む親液性を有するバンクと、
該バンク上に前記ドット間を仕切る撥液性の隔壁と、
前記発光素子に電荷を供給する個別電極と
を備えたことを特徴とする表示体。 A light emitting element constituting each dot;
A lyophilic bank surrounding each dot;
A liquid-repellent partition wall separating the dots on the bank;
A display body comprising an individual electrode for supplying electric charges to the light emitting element.
An electronic apparatus comprising the display body according to claim 10 and having a display function.
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JP2004035051A JP2005228558A (en) | 2004-02-12 | 2004-02-12 | Display body manufacturing method, display body, and electronic device |
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JP2005353600A (en) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Lg Electron Inc | Organic EL display and manufacturing method thereof |
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- 2004-02-12 JP JP2004035051A patent/JP2005228558A/en not_active Withdrawn
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