JP2005283466A - Vibration measuring apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、導波路中を伝搬するコヒーレント光を利用した振動計測装置に関するものである。 The present invention relates to a vibration measuring apparatus using coherent light propagating in a waveguide.
光ファイバに振動等により応力がかかると光ファイバに複屈折状態の変化を生じ、光ファイバ内を通過する光の偏波面の状態が変化することがよく知られている。この原理に基づいた光ファイバセンサ振動計の実用化も行われている。 It is well known that when stress is applied to an optical fiber due to vibration or the like, a change in the birefringence state occurs in the optical fiber, and the state of the polarization plane of light passing through the optical fiber changes. An optical fiber sensor vibrometer based on this principle has been put into practical use.
従来の、偏波面変調を利用した光ファイバセンサ振動計でよく用いられている手法は、変調を受けた光ファイバからの光出力を、直交したふたつの偏波に分け、各々における電界強度の比の変化から、偏波の位相角の変化を計算して変調の強さを求めるようなものである。 The conventional method often used in optical fiber sensor vibrometers using polarization plane modulation is to divide the optical output from the modulated optical fiber into two orthogonal polarizations, and to compare the electric field strength ratio in each. From this change, the change in the phase angle of the polarization is calculated to obtain the modulation strength.
しかしながら、一般的に、光ファイバにおいては、センサ部のみならず、光路の全体で偏波の状態の変化が発生する。このため、光の伝送路全体において、高価な偏波面保存光ファイバを使用する等の対策が必要となる。 However, in general, in an optical fiber, a change in polarization state occurs not only in the sensor unit but also in the entire optical path. For this reason, it is necessary to take measures such as using an expensive polarization-maintaining optical fiber in the entire optical transmission line.
さらには、このような対策を講じても完全な対応は不可能であるため、偏波面が回転して、偏波面の位相角と検出素子の設定方位角が一致することもある。このときは、変調(すなわち測定対象としての振動)の検出ができなくなる可能性がある。 Further, even if such measures are taken, complete correspondence is impossible, and the polarization plane may rotate, and the phase angle of the polarization plane may coincide with the set azimuth angle of the detection element. At this time, there is a possibility that modulation (that is, vibration as a measurement target) cannot be detected.
また、従来の方法では、光を光検出器により直接に電気信号に変換しているため、光ヘテロダイン検出や光ホモダイン検出に比較して検出感度が小さいという欠点も有している。 Further, in the conventional method, since light is directly converted into an electrical signal by a photodetector, there is a disadvantage that detection sensitivity is lower than that of optical heterodyne detection or optical homodyne detection.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、検出感度が高く、出力が安定な、偏波面変調を利用した振動計測装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a vibration measuring apparatus using polarization modulation that has high detection sensitivity and stable output.
本発明に係る振動計測装置は、光源と、導波路と、偏波面回転器と、光検出器とを備えている。前記光源は、コヒーレント光を前記導波路に入射する構成となっている。前記導波路は、前記入射されたコヒーレント光の一部を信号光として伝搬する第1導波部と、前記入射されたコヒーレント光の他の一部を参照光として伝搬する第2導波部とを備えている。さらに、前記導波路は、前記信号光と前記参照光とを前記光検出器に伝搬する構成となっている。前記偏波面回転器は、前記信号光および参照光のうちのいずれかの偏波面を、その楕円率を実質的に変えないで回転させる構成となっている。前記光検出器は、合波された前記信号光と前記参照光とに基づいて、前記信号光の強度および/または位相の変化を検出する構成となっている。 The vibration measuring apparatus according to the present invention includes a light source, a waveguide, a polarization plane rotator, and a photodetector. The light source is configured to inject coherent light into the waveguide. The waveguide includes a first waveguide that propagates part of the incident coherent light as signal light, and a second waveguide that propagates another part of the incident coherent light as reference light. It has. Further, the waveguide is configured to propagate the signal light and the reference light to the photodetector. The polarization plane rotator is configured to rotate any one of the polarization planes of the signal light and the reference light without substantially changing the ellipticity thereof. The photodetector is configured to detect a change in intensity and / or phase of the signal light based on the combined signal light and the reference light.
前記第1導波部は、前記信号光を伝搬するセンサ部を有していてもよい。前記センサ部を、光ファイバにより構成してもよい。 The first waveguide unit may include a sensor unit that propagates the signal light. You may comprise the said sensor part with an optical fiber.
前記光源は、レーザを用いた光源であってもよい。 The light source may be a light source using a laser.
前記偏波面回転器は、測定対象である振動における角周波数より速い角周波数で前記偏波面を回転させるものであってもよい。 The polarization plane rotator may rotate the polarization plane at an angular frequency that is faster than the angular frequency in the vibration to be measured.
前記振動計測装置は、さらに低周波通過フィルタを備えていてもよい。この低周波通過フィルタは、前記光検出器の出力側に接続される。 The vibration measuring device may further include a low frequency pass filter. This low frequency pass filter is connected to the output side of the photodetector.
前記振動計測装置は、さらに位相検波器を備えていてもよい。この位相検波器は、前記光検出器の出力側に接続される。 The vibration measuring device may further include a phase detector. This phase detector is connected to the output side of the photodetector.
本発明の計測装置は、一つのコヒーレント光を信号光と基準光に分け、再度信号光と基準光を合波して光検出器で検波するホモダイン検波方式であるため、従来のような直接検波方式と比較して、S/N比を大幅に改善して検出感度を高めることができるという効果がある。 The measurement device of the present invention is a homodyne detection method in which one coherent light is divided into signal light and reference light, and the signal light and reference light are combined again and detected by a photodetector. Compared with the method, there is an effect that the S / N ratio can be greatly improved and the detection sensitivity can be increased.
また、基準光または信号光の偏波面を、測定信号の周波数に対して高速で回転させることにより、安定な変調出力が得られるという効果も有する。 In addition, there is an effect that a stable modulation output can be obtained by rotating the polarization plane of the reference light or the signal light at a high speed with respect to the frequency of the measurement signal.
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態に係る振動計測装置を、図1を参照して説明する。この装置は、光源1と、導波路2と、偏波面回転器3と、光検出器4とを主要な構成として備えている。
(First embodiment)
Hereinafter, a vibration measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This apparatus includes a
光源1としては、この実施形態では、レーザ装置が用いられている。また、光源1は、導波路2の端部に接続されている。これにより、光源1は、コヒーレント光を導波路2に入射できるようになっている。ここで、コヒーレント光とは、目的とする振動計測に必要な程度に位相が揃った波であればよい。
In this embodiment, a laser device is used as the
導波路2は、導入部21と、分岐部22と、第1導波部23と、第2導波部24と、結合部25と、接続部26とを備えている。
The
導入部21、第1導波部23、第2導波部24および接続部26は、いずれも、光ファイバにより構成されている。使用する光ファイバの種類や構造は特に限定されない。ただし、光ファイバとしてシングルモードのものを用いれば、マルチモードのものの場合よりも、振動計測の精度を向上させることが可能である。
The
導入部21は、光源1に接続されており、コヒーレント光を伝搬するものである。
The
分岐部22は、導入部21に接続されており、伝搬されてきたコヒーレント光を、第1導波部23と第2導波部24とに分岐させるものである。このような分岐部22としては、市販の種々の分波器を用いることができる。
The
第1導波部23は、分岐されたコヒーレント光を、結合部25を介して光検出器4に送るものである。第1導波部23に導入されたコヒーレント光を、この明細書では、信号光と称する。したがって、第1導波部23は、コヒーレント光の一部を信号光として伝搬する構成となっている。
The
第1導波部23に用いられる光ファイバとしては、振動を受けることができるものであることが好ましい。ただし、振動の伝達方法としては、対象物から直接伝達する方法でも、何かの媒介物を介して伝達する方法でも良い。
The optical fiber used for the
第1導波部23は、一般には、振動の発生源または媒介物に固定されるが、振動伝達が可能であれば固定していなくても良いし、固定方法も任意である。
The
この実施形態では、第1導波部23の一部がセンサ部231になっている。つまり、第1導波部23の任意の一部が、センサ部231を構成している。これにより、この実施形態では、信号光を伝搬するセンサ部231が光ファイバにより構成されたものとなっている。センサ部231の延長方向は、直線でも円弧でもよい。
In this embodiment, a part of the
第2導波部24は、第1導波部23と同様に、分岐部22で分岐されたコヒーレント光を、結合部25を介して光検出器4に送るものである。第2導波部24に導入されたコヒーレント光を、この明細書では、参照光と称する。したがって、第2導波部24は、コヒーレント光の他の一部を参照光として伝搬する構成となっている。
Similar to the
結合部25は、第1導波部23と第2導波部24とに接続されており、伝搬されてきた信号光および参照光を合波して光検出器4に送るものである。このような結合部25としては、市販の種々の結合器を用いることができる。
The
接続部26は、結合部25で合波された光を光検出器4に送るものである。
The
偏波面回転器3は、この実施形態では、第2導波部24に取り付けられている。偏波面回転器3は、第2導波部24を通過する参照光の偏波面を、その楕円率を実質的に変えないで回転させる構成となっている。「楕円率を実質的に変えない」とは、楕円率の変化が、目的とする振動計測に支障のない程度であることを意味する。また、参照光の偏波は、円偏波でも楕円偏波でも良いことは当然である。
In this embodiment, the
楕円率を実質的に変えない偏波面回転器3としては、代表的には、ファラデー素子に交流磁界をかけて偏波面を回転させる方式のものがある。ただし、これに限らず、例えば、機械的な方法で行う方式でもよい。要するに、光の周波数に変調を実質的に与えずに偏波面を回転させるものであれば、各種の方式のものが使用できる。
A typical example of the
偏波面回転器3における偏波面の回転角周波数は、理論的には、振動の角周波数よりも速ければ、直接検波が可能である。偏波面の回転角周波数が速いほど、計測できる振動の周波数帯域の上限を上げることができる。ただし、必ずしも速くなくとも、適宜なフィルタや位相検波回路などの手段を用いることにより、振動計測は可能である。
Theoretically, if the rotational angular frequency of the polarization plane in the
光検出器4は、合波された信号光と参照光(つまり混合光)を受け取り、この混合光に基づいて、信号光の強度および位相の変化を検出するものである。詳しい動作原理は、第1実施形態の動作において説明する。光検出器4自体としては、光の強度変化における時間波形(つまり強度変化および位相変化)を検出できれば良いので、市販の種々の検出器(デジタル変換でもアナログ変換でもよい)を利用できる。
The
(第1実施形態の動作)
まず、第1導波路23のセンサ部231を、計測対象に取り付ける。取付方法は、振動がセンサ部231に伝達できればどのような方法でもよい。
(Operation of the first embodiment)
First, the
ついで、光源1からコヒーレント光(レーザ光)を導波路2の導入部21に送り込む。送り込まれたコヒーレント光は、分岐部22により分岐されて、第1導波部23と第2導波部24とに入る。第1導波部23に入った光は信号光として利用され、第2導波部24に入った光は参照光として利用される。したがって、分岐の時点では、信号光と参照光の位相は一致している。
Next, coherent light (laser light) is sent from the
第1導波部23における信号光は、センサ部231での伝搬の途中において、センサ部231に加えられた振動に応じて、その偏波面が変調される。
The polarization plane of the signal light in the
第2導波部24における参照光は、偏波面回転器3により、高速で、偏波面が回転される。
The polarization plane of the reference light in the
第1導波部23を通過した信号光と、第2導波部24を通過した参照光とは、結合部25で合波されて混合光となり、光検出器4に送られる。光検出器4は、混合光に対応する電気信号を出力する。電気信号は、混合光の時間波形に実質的に対応する時間波形を有する。この電気信号は、アナログ値でもデジタル値でもよい。光検出器4においては、振動により信号光が受けた変調を、いわゆるホモダイン検波により、出力としての電気信号における強度信号および位相信号として取り出すことができる。
The signal light that has passed through the
ここで、振動検出の原理を説明する。信号光の電界強度をIs、基準光の電界強度をIr、そして信号光と基準光の位相角の差をApm(t)とすると、光検出器4でのホモダイン検波における検出電流成分iは次のようになる。
Here, the principle of vibration detection will be described. If the electric field intensity of the signal light is Is, the electric field intensity of the reference light is Ir, and the difference in phase angle between the signal light and the reference light is Apm (t), the detected current component i in homodyne detection by the
i=K{Iscos(ωt+A1(t))}
×{Ircos(ωt+A2(t))}
×cos(Apm(t))
=(1/2)K(Is×Ir)
{cos(2ωt+A1(t)+A2(t)
+cos(A1(t)−A2(t))}
×cos(Apm(t)) ----------------(式1)
この式において、Kは光検出器の電流変換係数、ωは光の角周波数、A1(t)は信号光の位相角、そしてA2(t)は基準光の位相角である。
i = K {Iscos (ωt + A1 (t))}
× {Ircos (ωt + A2 (t))}
× cos (Apm (t))
= (1/2) K (Is × Ir)
{Cos (2ωt + A1 (t) + A2 (t)
+ Cos (A1 (t) -A2 (t))}
X cos (Apm (t)) --- (Formula 1)
In this equation, K is the current conversion coefficient of the photodetector, ω is the angular frequency of the light, A1 (t) is the phase angle of the signal light, and A2 (t) is the phase angle of the reference light.
光源1から発するレーザ光の帯域が可視光から近赤外光であるとすれば、光の周波数は数百THzとなる。一方、実際に測定する振動周波数の帯域は、せいぜいMHz以下である。このように、レーザ光の周波数ωは、振動周波数に対して非常に大きいことから、この検出電流の最大値Imaxは次のように書ける。
If the band of the laser light emitted from the
Imax=(1/2)K(Ismax×Irmax)
×{1+cos(A1(t)−A2(t))}
×cos(Apm(t)) -----------------(式2)
この式2においてIsとIrの最大値がそれぞれIsmaxおよびIrmaxである。
Imax = (1/2) K (Ismax × Irmax)
X {1 + cos (A1 (t) -A2 (t))}
× cos (Apm (t)) ----------------- (Formula 2)
In
基準光を測定する振動周波数よりも、偏波面が高速で回転することを考えると、式2は次のようになる。
Considering that the plane of polarization rotates at a higher speed than the vibration frequency for measuring the reference light,
Imax=(1/2)K(Ismax×Irmax)
×{1+cos(A1(t)−A2(t))}-----(式3)
この式3において、Ismaxの大きさは、信号光へ加えられた振動に基づく偏波面変調により、振動の周期(ないし周波数)に対応して変化する。
Imax = (1/2) K (Ismax × Irmax)
X {1 + cos (A1 (t) -A2 (t))} ----- (Formula 3)
In
一方、導波路2への振動により、ドプラー周波数シフト変調と位相変調が発生し、{1+cos(A1(t)−A2(t))}の項の値も、振動の周期に対応して変化する。
On the other hand, Doppler frequency shift modulation and phase modulation occur due to the vibration to the
したがって、式3で表されるImax(つまり光検出器4の出力)の大きさと位相とに基づいて、第1導波部23のセンサ部231に作用した振動の周波数を計測することができる。なお、前記の説明では、電流値の上限に着目したが、下限(Imin)に着目しても同様の計測が可能である。
Therefore, it is possible to measure the frequency of the vibration that has acted on the
本実施形態の計測装置は、一つのコヒーレント光を信号光と基準光に分け、再度信号光と基準光を合波して光検出器4で検波するホモダイン検波方式であるため、従来のような直接検波方式と比較して、S/N比を大幅に改善して検出感度を高めることができるという利点がある。
The measurement apparatus of the present embodiment is a homodyne detection method in which one coherent light is divided into signal light and reference light, and the signal light and reference light are combined again and detected by the
また、基準光または信号光の偏波面を、測定信号の周波数に対して高速で回転させることにより、導波路として偏波面保存ファイバを用いなくとも、偏波面への変調を安定して検波することができるという利点も有する。 In addition, by rotating the polarization plane of the reference light or signal light at a high speed with respect to the frequency of the measurement signal, the modulation to the polarization plane can be detected stably without using a polarization-preserving fiber as a waveguide. There is also an advantage of being able to.
なお、前記した第1実施形態においては、偏波面回転器3を第2導波部24に取り付けたが、第1導波部23に取り付けて、信号光の偏波面を回転させても良い。この場合も、前記と同様の原理によりホモダイン検波を行い、振動を計測することができる。
In the first embodiment described above, the
さらに、前記第1実施形態においては、分岐部22を用いているが、要するに、第1導波部23と第2導波部24に光を分岐できれば、どのような構成であってもよい。例えば、分岐器22を用いずに、空間内でハーフミラーなどの手段を用いて分波させてもよい。この場合は、空間が導波路2の一部を構成していることになる。
Furthermore, in the first embodiment, the branching
同様に、結合部25についても、光を合波できれば、どのような構成であってもよい。さらには、結合部25を用いず、光検出器4自体に信号光と参照光とを導入し、光検出器4で合波を行う構成でも良い。
Similarly, the
また、本実施形態では、導波路2を、光ファイバを主体として構成したが、前記した機能を発揮できるのであれば、空間を伝搬させる構成であっても良い。また、基板中に形成された導波路を用いても良い。
In the present embodiment, the
さらに、前記実施形態では、光検出器4の出力を電気信号としているが、これは取り扱いの便宜のためであって、必須ではない。すなわち、光検出器4の出力は、振動検出が可能であれば、他の物理量(例えば磁気や光)で表されるものであってもよい。
Further, in the above embodiment, the output of the
また、前記実施形態では、第1導波路23の全体を光ファイバにより構成したが、センサ部231のみを光ファイバとし、他の部分は光を空間伝播させる構成としても良い。この場合は、空間伝播部分では、振動による偏波面回転を生じにくいので、センサ部231での振動を高いS/N比で取得できる可能性があるという利点がある。要するに、第1導波路23の任意の一部が光ファイバ等の導波路(振動を伝達できるもの)となっていれば、その一部を利用してセンサ部231とすることができる。他の部分は、導波路でも、空間伝播でも、あるいはこれらの組み合わせであってもよい。
In the above-described embodiment, the entire
(第2実施形態)
つぎに、本発明の第2実施形態に係る振動計測装置を、図2に基づいて説明する。この実施形態では、光検出器4の後段に、低周波通過フィルタ6および増幅器7が配置されている。
(Second Embodiment)
Next, a vibration measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a low-
式1に示されるように、光検出器4の出力iには、高周波成分が含まれる。この成分は、理論的には、Imaxの測定に影響しないが、実際は、ノイズとして悪影響を及ぼすおそれがある。第2実施形態の装置によれば、このような高周波成分を除去できるので、振動計測データに対するノイズの影響を軽減できるという利点がある。低周波通過フィルタ6の出力は増幅器7で増幅される。
As shown in
第2実施形態における他の構成および利点は、第1実施形態と同様なので、詳細についての説明を省略する。 Other configurations and advantages of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, and thus detailed description thereof is omitted.
(第3実施形態)
つぎに、本発明の第3実施形態に係る振動計測装置を、図3に基づいて説明する。この実施形態では、光検出器4の後段に、低周波通過フィルタ5に代えて、位相検波器7が配置されている。
(Third embodiment)
Next, a vibration measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a phase detector 7 is disposed in the subsequent stage of the
式2においてApm(t)は、偏波面回転器3の回転角速度と、振動に起因する偏波面変調により生じた偏波面位相角変化角速度とにより決定される。したがって、位相検波回路7により、偏波面回転器3の回転角速度とApm(t)とを比較検出して、その位相差を電気信号として出力する。この電気信号の大きさは、第1導波部23が受けた振動の周期に対応して変化することになる。これにより、第1導波部23が受けた振動を測定できる。第3実施形態における他の構成および利点は、第1実施形態と同様なので、詳細についての説明を省略する。
In
なお、前記第3実施形態では、低周波通過フィルタ5に代えて、位相検波器7を配置したが、両者を共に(例えば直列接続して)用いる構成であってもよい。 In the third embodiment, the phase detector 7 is disposed in place of the low-frequency pass filter 5, but a configuration in which both are used (for example, connected in series) may be employed.
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得るものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
例えば、前記実施形態では、光源1からの光を二つに分岐したが、三つ以上に分岐しても良い。要するに、振動を受けた光(信号光)と基準光とを合波して振動を検出できればよい。
For example, in the embodiment, the light from the
1 光源
2 導波路
21 導入部
22 分岐部
23 第1導波部
231 センサ部
24 第2導波部
25 結合部
26 接続部
3 偏波面回転器
4 光検出器
5 低周波通過フィルタ
6 増幅器
7 位相検波器
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記光源は、コヒーレント光を前記導波路に入射する構成となっており、
前記導波路は、前記入射されたコヒーレント光の一部を信号光として伝搬する第1導波部と、前記入射されたコヒーレント光の他の一部を参照光として伝搬する第2導波部とを備えており、かつ、前記導波路は、前記信号光と前記参照光とを前記光検出器に伝搬する構成となっており、
前記偏波面回転器は、前記信号光および参照光のうちのいずれかの偏波面を、その楕円率を実質的に変えないで回転させる構成となっており、
前記光検出器は、合波された前記信号光と前記参照光とに基づいて、前記信号光の強度および/または位相の変化を検出する構成となっている
ことを特徴とする振動計測装置。 A light source, a waveguide, a polarization plane rotator, and a photodetector;
The light source is configured to enter coherent light into the waveguide,
The waveguide includes a first waveguide that propagates part of the incident coherent light as signal light, and a second waveguide that propagates another part of the incident coherent light as reference light. And the waveguide is configured to propagate the signal light and the reference light to the photodetector,
The polarization plane rotator is configured to rotate any polarization plane of the signal light and reference light without substantially changing its ellipticity,
The vibration detector is configured to detect a change in intensity and / or phase of the signal light based on the combined signal light and the reference light.
The vibration measuring apparatus according to claim 1, further comprising a phase detector, wherein the phase detector is connected to an output side of the photodetector.
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