JP2005123353A - ブラシおよび洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高い洗浄効果を有し、短時間で被洗浄物の洗浄を行なう。
【解決手段】内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、上記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第１の支持軸と、上記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第２の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が上記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、エポキシ系の接着剤により、上記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するようにした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ブラシおよび洗浄装置に関し、さらに詳細には、半導体基板、液晶素子用ガラス基板、カラーフィルタ基板、特に、Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ（ＬＣＤ）、Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ（ＰＤＰ）ならびにＬＴＰＳ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｐｏｌｙ−ｓｉｌｉｃｏｎ）−ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を含むＦｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ（ＦＰＤ）用のガラス基板のような各種被洗浄物を洗浄する際に用いて好適なブラシおよび洗浄装置に関する。

従来より、被洗浄物たるＦＰＤ用のガラス基板などの各種の基板（以下、単に「基板」と称する。）を洗浄する洗浄装置には、基板の表面に残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などを、基板の表面に当接して物理的に除去することによって洗浄するブラシが配設されている。

こうしたブラシは、例えば、ステンレス鋼により形成された主軸に、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などの樹脂により形成された多くの気泡孔を有するスポンジを捲回して構成されている。このブラシの主軸をモーターなどの駆動装置の駆動力によって軸線回りに回転させることにより、ブラシが回転するようになされている。

そして、従来の洗浄装置においては、水を供給しながら、回転するブラシを基板の表面に接触させてブラッシングすることで、汚染物質などが物理的に除去されて基板が洗浄されるものである。

ここで、上記したような従来の洗浄装置におけるブラシは、主軸にスポンジを捲回するのにゴム系の接着剤が使用されている。このゴム系の接着剤は、各種薬品などの洗浄液に対応しておらず、各種薬品などの洗浄液によって劣化してしまい、ブラシが良好な動作状態を維持することが困難になる恐れがあった。

このため、上記したような従来のブラシを配設した洗浄装置においては、ブラシによる洗浄の際に各種薬品などの洗浄液を供給することができず、水を供給してブラシ洗浄が行なわれるので、洗浄効果が低く、汚染物質などを基板の表面から確実に除去するためには長時間の洗浄を行う必要があるという問題点があった。

本発明は、上記したような従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高い洗浄効果を有し、短時間で被洗浄物の洗浄を行なうことができるブラシおよび洗浄装置を提供しようとするものである。

上記目的を達成するために、本発明のうち請求項１に記載の発明は、内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、上記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第１の支持軸と、上記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第２の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が上記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、エポキシ系の接着剤により、上記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するようにしたものである。

従って、本発明のうち請求項１に記載の発明によれば、接着剤としてエポキシ系の接着剤を用い、このエポキシ系の接着剤がアルカリ洗浄剤のような各種薬品などの洗浄液に対応しているので、ブラシによる洗浄の際に各種薬品などの洗浄液を使用することができるようになり、高い洗浄効果で短時間に被洗浄物の洗浄を行なうことができる。

また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記接着剤は、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤であるようにしたものである。

また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の発明において、上記ブラシを移動して上記ブラシの上記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させる調整手段が、上記ブラシの少なくとも上記第１の支持軸または上記第２の支持軸のいずれか一方に配設されているようにしたものである。

また、本発明のうち請求項４に記載の発明は、中空の内部を有する槽と、上記槽の内部を貫通するように配設され、上記槽の入口から出口へ向けて連続的に被洗浄物を搬送する搬送用ローラーと、上記搬送用ローラーの上下に配設されて上記搬送用ローラーによって搬送される被洗浄物を狭持し、内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、上記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第１の支持軸と、上記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第２の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が上記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤により、上記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するブラシと、上記ブラシを軸線回りに回転させる回転手段と、上記搬送用ローラーの上方に配設されて洗浄液を供給する供給手段と、上記ブラシの少なくとも上記第１の支持軸または上記第２の支持軸のいずれか一方に移動自在に配設されたスライドプレートと、上記スライドプレートに取り付けられ回転量に応じた分だけ移動する上下ネジと、上記上下ネジを駆動力によって回転させる駆動手段とを有し、上記駆動手段の駆動力によって上記上下ネジを回転した回転量に応じて上記スライドプレートを移動させて上記ブラシを移動し、上記ブラシの上記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させるようにしたものである。

本発明は、以上説明したように構成されているので、高い洗浄効果を有し、短時間で被洗浄物の洗浄を行なうことができるようになるという優れた効果を奏する。

以下、添付の図面に基づいて、本発明によるブラシおよび洗浄装置の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。

図１には、本発明によるブラシおよび洗浄装置の実施の形態の一例の一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されており、図２には、図１のＩ矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されており、図３には、図１のＩＩ矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されている。

この洗浄装置１０は、箱体状の基台部１２と、基台部１２の上方に位置する槽１４と、列状に連なって配設されて槽１４の内部１４ａを貫通する搬送用ローラーコンベア１６とを備えているものである。

ここで、列状に連なる搬送用ローラーコンベア１６は、被洗浄物たる基板１００を上面に載置し、当該搬送用ローラーコンベア１６の駆動によって、当該上面に載置した被処理物たる基板１００を順次に搬送するものである。この搬送用ローラーコンベア１６によって搬送される基板１００は、洗浄装置１０の槽１４の槽壁に穿設された搬入側開口部１４ｂから洗浄装置１０の槽１４の内部１４ａに搬入され、搬出側開口部１４ｃを通り抜けて洗浄装置１０の外部に搬出される（図２ならびに図３の基板１００の搬送方向を示す矢印参照）。

なお、この実施の形態においては、被洗浄物たる基板１００として、図２に示す基板の搬送方向に直交する方向における長さＬ１（幅）がおよそ１１００ｍｍで、図２に示す基板の搬送方向における長さＬ２（長さ）がおよそ１２５０ｍｍのサイズを有する基板を用いることとする。

そして、槽１４は、全体がアルミの鋳物により形成されており、高い剛性を有している。こうした槽１４の内部１４ａには、搬送用ローラーコンベア１６とともに、互いに対向して配設されその間に搬送用ローラーコンベア１６によって搬送される基板１００を狭持する２本のブラシ２０−１，２０−２と、搬送用ローラーコンベア１６の上方に配設されたシャワーパイプ２２−１，２２−２と、搬送用ローラーコンベア１６のローラー１６ａ，１６ｂと対向して配設されローラー１６ａ，１６ｂとの間に搬送用ローラーコンベア１６によって搬送される基板１００を狭持する押さえローラー２４−１，２４−２とが備えられている。

なお、ブラシ２０−１，２０−２、シャワーパイプ２２−１，２２−２、押さえローラー２４−１，２４−２ならびに搬送用ローラーコンベア１６のローラー１６ａ，１６ｂはいずれも、その延長方向が被洗浄物たる基板１００の搬送方向と直交する方向に一致するようにして配設されており、延長方向における全長は、基板１００の搬送方向と直交する方向における基板１００の長さより長くなるようにして寸法設定されている。

ここで、図４には、ブラシ２０−１，２０−２の一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されている。ブラシ２０−１，２０−２はいずれも同一の構成を備えており、全体は略棒状体状に形成されている。

より詳細には、ブラシ２０−１，２０−２は、内部３０ａ，４０ａが中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸３０，４０と、フランジ軸３０，４０の一方の端部３０ｂ，４０ｂ側に配設された略円柱状体の支持軸３２，４２と、フランジ軸３０，４０の他方の端部３０ｃ，４０ｃ側に配設された略円柱状体の支持軸３４，４４と、フランジ軸３０，４０に外挿された略円筒状体のスポンジ３６，４６とを有して構成されている。

フランジ軸３０，４０ならびに支持軸３２，３４，４２，４４は、例えば、ステンレス鋼により形成されている。また、フランジ軸３０，４０の太さに比べて支持軸３２，３４，４２，４４の方が細くなるように寸法設定されている。

そして、フランジ軸３０の中心軸と支持軸３２ならびに支持軸３４の中心軸とが一致するようにして、フランジ軸３０の一方の端部３０ｂ側に支持軸３２が配設され、他方の端部３０ｃ側に支持軸３４が配設されている。また、フランジ軸４０の中心軸と支持軸４２ならびに支持軸４４の中心軸とが一致するようにして、フランジ軸４０の一方の端部４０ｂ側に支持軸４２が配設され、他方の端部４０ｃ側に支持軸４４が配設されている。

スポンジ３６，４６は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）により形成されており、多くの気泡孔を有する多孔質である。そして、スポンジ３６，４６の内径側３６ａ，４６ａの直径は、フランジ軸３０，４０の軸線方向と直交する方向における長さと略同一となるように寸法設定されている。また、スポンジ３６，４６の軸線方向に沿った全長Ｌ３（図４参照）は、フランジ軸３０，４０の軸線方向に沿った全長Ｌ４（図４参照）に比べて短くなるように寸法設定されている。

そして、ブラシ２０−１，２０−２は、両端にそれぞれ支持軸３２，３４，４２，４４が固定的に配設されたフランジ軸３０，４０の外周側３０ｄ，４０ｄに、エポキシ系の接着剤を塗布し、当該フランジ軸３０，４０にスポンジ３６，４６を外挿して、スポンジ３６，４６をフランジ軸３０，４０の外周側３０ｄ，４０ｄに固定的に配設して組み立てられるものである。

ここで、スポンジ３６，４６の接着剤として用いたエポキシ系の接着剤には、シリコンパウダーが添加されている。このため、当該エポキシ系の接着剤の粘度が適度に低く維持されて、接着剤の硬化速度が適正に保たれ、ブラシ２０−１，２０−２の組み立て製作が非常に容易になっている。具体的には、接着剤の粘度が高くないので、全長Ｌ４が１０００ｍｍ以上になるフランジ軸に柔らかいスポンジ３６，４６を容易に挿入することができるとともに、接着剤の粘度が極度に低くないので、接着剤がスポンジ３６，４６内に染み込むことがなく、接着剤の硬化とともにスポンジ３６，４６が固まることが防止されてスポンジ３６，４６の形状を維持することができる。

また、スポンジ３６，４６はフランジ軸３０，４０に捲回されるものであって、しかも、スポンジ３６，４６の軸線方向に沿った全長Ｌ３（図４参照）が、フランジ軸３０，４０の軸線方向に沿った全長Ｌ４（図４参照）に比べて短くなるように寸法設定されているので、接着剤がフランジ軸３０，４０の両端にそれぞれ配設された支持軸３２，３４，４２，４４にはみ出すようなことがなく、はみ出した接着剤を清掃するような煩雑な作業も必要なくなり、組み立ては非常に容易である。

そして、ブラシ２０−１，２０−２の支持軸３２，４２にはそれぞれ、ブラシ２０−１，２０−２を軸線回りに回転させるための回転用モーター５０，５２が配設されている。この実施の形態においては、回転用モーター５０の駆動力によりブラシ２０−１はその軸線回りの矢印Ａ方向（図６参照）に、回転用モーター５２の駆動力によりブラシ２０−２はその軸線回りの矢印Ｂ方向（図６参照）に、毎分およそ６００回転での高速回転が可能なように設計されている。

さらに、ブラシ２０−１，２０−２の支持軸３２，４２にはそれぞれ、上下用モーター５４，５６の駆動力によって駆動される上下ネジ６０，６２が取り付けられたスライドプレート６４，６６が配設されている（図５参照）。この上下ネジ６０，６２が上下用モーター５４，５６によって駆動されて回転する回転量に応じて、スライドプレート６４，６６が高さ方向において上下すると、ブラシ２０−１，２０−２の高さ方向における位置が変化する。

より詳細には、上下ネジ６０が所定の方向に回転するのに伴ってスライドプレート６４が上方方向に移動すると、ブラシ２０−１が上方方向（図６に示す矢印Ｃ参照）に移動し、上下ネジ６０が所定の方向とは反対の方向に回転するのに伴ってスライドプレート６４が下方方向に移動すると、ブラシ２０−１が下方方向（図６に示す矢印Ｄ参照）に移動する。また、上下ネジ６２が所定の方向に回転するのに伴ってスライドプレート６６が上方方向に移動すると、ブラシ２０−２が上方方向（図６に示す矢印Ｅ参照）に移動し、上下ネジ６２が所定の方向とは反対の方向に回転するのに伴ってスライドプレート６６が下方方向に移動すると、ブラシ２０−２が下方方向（図６に示す矢印Ｆ参照）に移動する
シャワーパイプ２２−１，２２−２は、搬送用ローラーコンベア１６の上方に配設されており、より詳細には、基板１００の搬送方向に沿ったブラシ２０−１の後方側にシャワーパイプ２２−１が配設され、基板１００の搬送方向に沿ったブラシ２０−２の前方側にシャワーパイプ２２−２が配設されている。

シャワーパイプ２２−１，２２−２には、各種薬品などの洗浄液（液体）を充填したタンク（図示せず）からパイプを介して洗浄液が供給され、当該シャワーパイプ２２−１，２２−２から下方方向に洗浄液が噴射される。なお、この実施の形態においては、洗浄液としてアルカリ洗浄剤を用いていることとする。

一方、押さえローラー２４−１，２４−２は、ブラシ２０−１に隣接して搬送用ローラー１６ａ，１６ｂの上方に配設されており、より詳細には、基板１００の搬送方向に沿ったブラシ２０−１の後方側に押さえローラー２４−１が配設され、基板１００の搬送方向に沿ったブラシ２０−１の前方側に押さえローラー２４−２が配設されている。

そして、押さえローラー２４−１，２４−２は搬送用ローラーコンベア１６と図示しないギアで連結されている。従って、押さえローラー２４−１，２４−２は対向する搬送用ローラーコンベア１６のローラー１６ａ，１６ｂとの間に基板１００を狭持し、基板１００を搬送する際に矢印Ｇ方向に回転するローラー１６ａ，１６ｂとともに矢印Ｈ方向に回転して、ブラシ２０−１，２０−２の回転（図６に示す矢印Ａ方向ならびに矢印Ｂ方向参照）による抵抗に抗して基板１００を搬送するものである。

以上の構成において、本発明による洗浄装置１０を用いて被洗浄物たる基板１００の表面１００ａを洗浄するには、まず、搬送用ローラーコンベア１６によって、基板１００を槽１４の搬入側開口部１４ｂから内部１４ａに自動的に搬入する。

この際、搬送用ローラーコンベア１６の搬送用ローラー１６ａ，１６ｂが矢印Ｇ方向に回転するのとともに、押さえローラー２４−１，２４−２は矢印Ｈ方向に回転し、搬送用ローラー１６ａ，１６ｂと押さえローラー２４−１，２４−２との間に狭持されて、基板１００は搬送方向（図６の矢印参照）に搬送される。

一方、ブラシ２０−１，２０−２は基板１００の搬送方向に逆らうようにして、回転用モーター５０の駆動力によりブラシ２０−１が軸線回りの矢印Ａ方向に回転し、回転用モーター５２の駆動力によりブラシ２０−２が軸線回りの矢印Ｂ方向に回転する。なお、ブラシ２０−１，２０−２が基板１００の搬送方向に逆らうように回転しても、搬送用ローラーコンベア１６と連結されている押さえローラー２４−１，２４−２の回転により、こうしたブラシ２０−１，２０−２の抵抗に抗して基板１００は所定の速度で搬送される。

また、シャワーパイプ２２−１，２２−２は下方方向にアルカリ洗浄剤を噴射し、搬送される基板１００の表面１００ａに供給される。そして、搬送される基板１００の表裏両面を挟み込むようにして、回転しているブラシ２０−１，２０−２が基板１００に当接し、基板１００の表面１００ａに接触するブラシ２０−１により基板１００の表面１００ａのブラシ洗浄が行われる。

この際、基板１００の表面１００ａに残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などは、基板１００の表面１００ａに接触するブラシ２０−１のスポンジ３６によって物理的に除去されるとともに、シャワーパイプ２２−１，２２−２から噴射されて基板１００の表面１００ａに供給された洗浄液たるアルカリ洗浄剤によって溶解される。

さらに、基板１００の表面１００ａに供給された洗浄液は、基板１００の表面１００ａと当該表面１００ａに当接するブラシ２０−１のスポンジ３６との間の潤滑に寄与し、ブラシ２０−１の基板１００の搬送方向に逆らう回転（図６に示す矢印Ａ参照）をスムーズにする。また、基板１００の表面１００ａに供給された洗浄液は、ブラシ２０−１による物理力や洗浄液の溶解力によって基板１００の表面１００ａから取り除かれた処理液やパーティクルなどの汚染物質などの各種異物を、速やかに洗い流して基板１００の表面１００ａから排出する。

ここで、ブラシ２０−１によって基板１００の表面１００ａに残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などを物理的が除去されるときに、基板１００の表面１００ａに当接するブラシ２０−１のスポンジ３６が、ポリビニルアルコールにより形成された多くの気泡孔を有する多孔質なので、弾性変形して基板１００の表面１００ａに密接し易く、しかも、ブラシ２０−１とともにスポンジ３６も基板１００の搬送方向に逆らうように回転しているので、各種異物を効率良く除去できる。

さらに、上下用モーター５４の駆動力によって上下ネジ６０が回転する回転量に応じて、スライドプレート６４を高さ方向において上下させることにより、ブラシ２０−１の高さ方向における位置を変化させることができる。これにより、ブラシ２０−１のスポンジ３６を、基板１００の表面１００ａに所定の圧力で接触させることができるので、ブラシ２０−１が基板１００の表面１００ａから各種異物を物理的に除去する洗浄力を所定のレベルに維持することができる。

具体的には、ブラシ２０−１を上方方向（図６に示す矢印Ｃ参照）に移動させると、スポンジ３６が基板１００の表面１００ａに接触する圧力が減少し、ブラシ２０−１を下方方向（図６に示す矢印Ｄ参照）に移動させれば、スポンジ３６が基板１００の表面１００ａに接触する圧力を増加させることができる。

そして、基板１００の表面１００ａから各種異物が除去されて洗浄が終了すると、搬送用ローラーコンベア１６によって、基板１００は槽１４の搬出側開口部１４ｃから洗浄装置１０の外部に自動的に搬出される。

上記したようにして、本発明によるブラシ２０−１，２０−２および洗浄装置１０においては、スポンジ３６，４６の接着剤としてエポキシ系の接着剤を用いるようにした。このエポキシ系の接着剤は、シャワーパイプ２２−１，２２−２から供給されるアルカリ洗浄剤のような各種薬品などの洗浄液に対応しており、これら各種薬品などの洗浄液によって劣化することがない。このため、本発明によるブラシ２０−１，２０−２が配設された洗浄装置１０においては、ブラシ２０−１，２０−２によるブラシ洗浄の際に、各種薬品などの洗浄液（液体）を使用することができるようになった。

その結果、基板１００の表面１００ａに残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などの各種異物が、ブラシ２０−１のスポンジ３６によって物理的に除去されるのに加えて、洗浄液たるアルカリ洗浄剤によって溶解されるようになり、従来と比較して異物除去性能が向上して、高い洗浄効果で短時間に被洗浄物の洗浄を行なうことができる。

本発明によるブラシ２０−１，２０−２および洗浄装置１０においては、上下用モーター５４の駆動力によってブラシ２０−１のスポンジ３６が基板１００の表面１００ａに接触する圧力を変化させることができる。つまり、ブラシ２０−１を基板１００の表面１００ａに対して押し込む（ラップする）押し込み量を変化させることによって面圧が変化し、深く押し込めば面圧が上昇して洗浄力をアップさせることができる。従って、被洗浄物の汚れ具合や付着している異物の種類などに応じて圧力を調整して洗浄することもできるので、高精度の洗浄が実現される。

また、ブラシ２０−１のスポンジ３６が洗浄液などの液体によって湿潤状態となることで、スポンジ３６の硬さが変化するようなことがあっても、あるいは、スポンジ３６が経時的変化によってその弾性が低下したり磨耗したりしても、ブラシの押し込み量を変化させることができるので、所定の圧力を維持しながら洗浄を継続させることができ、一層高精度の洗浄が実現される。

また、本発明によるブラシ２０−１，２０−２は、フランジ軸３０，４０が内部３０ａ，４０ａが中空の略円柱状体に形成されているので、中空のパイプ形状であって軽量であり、自重たわみが少なく、高回転に対応できるとともに、交換作業も容易である。しかも、槽１４の全体がアルミの鋳物により形成されて機械剛性が向上されており、本発明によるブラシ２０−１，２０−２および洗浄装置１０は、大型の被洗浄物や３００ｒｐｍを超える高速回転に対応可能となっている。

なお、上記した実施の形態は、以下の（１）乃至（５）に説明するように適宜に変形してもよい。

（１）上記した実施の形態においては、搬送用ローラーコンベア１６の上方にのみシャワーパイプ２２−１，２２−２が配設されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、洗浄液を供給するシャワーパイプを搬送用ローラーコンベア１６の下方側にも配設するようにしてもよい。このようにすると、搬送される基板１００の表裏両面を挟み込むようにして回転するブラシ２０−１，２０−２とともに、基板１００の表面１００ａならびに裏面１００ｂそれぞれに供給される洗浄液によって、基板１００の表裏面を同時に洗浄することができる。

なお、上記した実施の形態においては、シャワーパイプ２２−１，２２−２からアルカリ洗浄剤が噴射されるようにしたが、これ以外の各種薬品などの洗浄液や純水を噴射するようにしてもよいことは勿論である。

また、上記したようにして基板１００の裏面１００ｂを洗浄するときには、上下用モーター５６の駆動力によって上下ネジ６２が回転する回転量に応じて、スライドプレート６６を高さ方向において上下させることにより、ブラシ２０−２の高さ方向における位置を変化させて、ブラシ２０−２のスポンジ４６が基板１００の裏面１００ｂに所定の圧力で接触するようにすればよい。

（２）上記した実施の形態においては、スポンジ３６，４６はポリビニルアルコール（ＰＶＡ）により形成されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、各種の多孔質材料やあるいは多孔質材料とは異なる弾性材料などによりスポンジを形成するようにしてもよい。また、スポンジが被洗浄物と接触する外表面に所定のコーティングを施すようにして、さらに洗浄効果を向上させるようにしてもよい。

（３）上記した実施の形態においては、上下用モーター５４，５６の駆動力によって駆動される上下ネジ６０，６２が取り付けられたスライドプレート６４，６６を支持軸３２，４２に配設して、ブラシ２０−１，２０−２を高さ方向において移動自在としたが、これに限られるものではないことは勿論であり、ブラシ２０−１，２０−２の支軸３４，４４側に上下ネジが取り付けられたスライドプレートが配設されるようにしてもよい。

また、上下ネジ６０，６２が取り付けられたスライドプレート６４，６６に代わって、昇降装置をブラシ２０−１，２０−２に接続して、ブラシ２０−１，２０−２の高さ方向における位置が変化するように構成してもよい。

（４）上記した実施の形態において、さらに、槽１４の内部１４ａに、被洗浄物を乾燥するためのエアーナイフや、内部１４ａに飛散する処理液やリンス液などの飛沫（ミスト）や蒸気を外部へ吸引するための排気ダクトなど、洗浄装置に必要な各種構成を付加するようにしてもよい。

（５）上記した実施の形態ならびに上記（１）乃至（４）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。

本発明は、半導体製造工程におけるスクラブ洗浄や、ＦＰＤ用のガラス基板の洗浄工程におけるカラーフィルター基板の研磨後の異物除去や、アクティブマトリクス基板の異物除去、または、半導体ウエハのケミカル・メカニカル・ポリッシング処理に利用することができる。

本発明によるブラシおよび洗浄装置の実施の形態の一例の一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 図１のＩ矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 図１のＩＩ矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 ブラシの一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 図１の一部を拡大するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 本発明によるブラシおよび洗浄装置の動作を説明する説明図である。

符号の説明

１０ 洗浄装置
１２ 基台部
１４ 槽
１６ 搬送用ローラーコンベア
２０−１，２０−２ ブラシ
２２−１，２２−２ シャワーパイプ
２４−１，２４−２ 押さえローラー
３０，４０ フランジ軸
３２，３４，４２，４４ 支持軸
３６，４６ スポンジ

Claims (4)

1. 内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、
   前記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第１の支持軸と、
   前記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第２の支持軸と、
   多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が前記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、エポキシ系の接着剤により、前記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジと
   を有するブラシ。
2. 請求項１に記載のブラシにおいて、
   前記接着剤は、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤である
   ブラシ。
3. 請求項１または請求項２のいずれか１項に記載のブラシにおいて、
   前記ブラシを移動して前記ブラシの前記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させる調整手段が、前記ブラシの少なくとも前記第１の支持軸または前記第２の支持軸のいずれか一方に配設されている
   ブラシ。
4. 中空の内部を有する槽と、
   前記槽の内部を貫通するように配設され、前記槽の入口から出口へ向けて連続的に被洗浄物を搬送する搬送用ローラーと、
   前記搬送用ローラーの上下に配設されて前記搬送用ローラーによって搬送される被洗浄物を狭持し、内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、前記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第１の支持軸と、前記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第２の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が前記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤により、前記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するブラシと、
   前記ブラシを軸線回りに回転させる回転手段と、
   前記搬送用ローラーの上方に配設されて洗浄液を供給する供給手段と、
   前記ブラシの少なくとも前記第１の支持軸または前記第２の支持軸のいずれか一方に移動自在に配設されたスライドプレートと、
   前記スライドプレートに取り付けられ回転量に応じた分だけ移動する上下ネジと、
   前記上下ネジを駆動力によって回転させる駆動手段と
   を有し、
   前記駆動手段の駆動力によって前記上下ネジを回転した回転量に応じて前記スライドプレートを移動させて前記ブラシを移動し、前記ブラシの前記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させる
   ものである洗浄装置。

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