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JP2005169730A - Inkjet head wiping device and inkjet head wiping device for oriented film forming device - Google Patents

Inkjet head wiping device and inkjet head wiping device for oriented film forming device Download PDF

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JP2005169730A
JP2005169730A JP2003410707A JP2003410707A JP2005169730A JP 2005169730 A JP2005169730 A JP 2005169730A JP 2003410707 A JP2003410707 A JP 2003410707A JP 2003410707 A JP2003410707 A JP 2003410707A JP 2005169730 A JP2005169730 A JP 2005169730A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To first ensure that a positional relationship between a cleaning mobile unit and an inkjet head is not unfairly severe; the undermining of durability due to the contact between both components, generation of a foreign substance such as wear dust; and printing failure and the defective formation of an oriented film are avoided, and that such a trouble that the density of a liquid material deteriorates on account of the infiltration of a cleaning solution into the interior passing through a liquid material injection aperture of the inkjet head, is averted and a cleaning ability by virtue of negative pressure suction is further enhanced. <P>SOLUTION: In the inkjet head wiping device, the cleaning mobile unit 4 which has a vacuum nozzle 5 for generating a suction force under a negative pressure in or around a liquid material injection aperture 3 and can relatively move to the inkjet head 1 is structured so that all the constituent elements of the unit 4 are completely separated from the inkjet head 1 and kept in a non-contact state. In addition, the cleaning mobile unit 4 has a gas injection nozzle 9 for supplying a gas by injection installed in and around the liquid material injection aperture 3 in addition to the vacuum nozzle 5. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクジェットヘッドのワイピング装置に係り、より詳しくは、当該インクジェットヘッドの液状材料噴出口やその周辺への異物の付着を可及的に抑制し、或いは当該部位に付着した液状材料や異物を適切に吸い取り除去するための技術に関する。   The present invention relates to a wiping device for an inkjet head, and more specifically, suppresses adhesion of a foreign substance to a liquid material jet outlet of the inkjet head and its surroundings as much as possible, or a liquid material or a foreign substance attached to the part. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

近年においては、紙等のプリント媒体にインクによる印刷を行なう場合、液晶表示器等の基板(透明基板)上に配向膜の形成やUVインクの塗布を行なう場合、或いは有機EL表示器の基板上にカラーフィルタを塗布する場合には、インクジェットヘッドを用いた所謂インクジェット法が広く採用されるに至っている。この種のインクジェットヘッドには、一端面にインクや膜材料を噴出させるための液状材料噴出口が開口しており、この液状材料噴出口から、紙等のプリント媒体にインクが噴出供給され、或いは表示器の透明基板等に液状の膜材料が噴出供給される。   In recent years, when printing on paper or other print media with ink, when forming an alignment film or applying UV ink on a substrate (transparent substrate) such as a liquid crystal display, or on the substrate of an organic EL display In the case of applying a color filter, a so-called ink jet method using an ink jet head has been widely adopted. In this type of ink jet head, a liquid material ejection port for ejecting ink or a film material is opened on one end surface, and ink is ejected and supplied from the liquid material ejection port to a print medium such as paper, or A liquid film material is ejected and supplied to a transparent substrate or the like of the display.

ところで、この種のインクジェットヘッドにおいては、極めて開口面積の小さな液状材料噴出口からインクや膜材料が噴出されることから、その液状材料自体或いはその液状材料中の例えば顔料等が固化するなどして液状材料噴出口及びその周辺に付着すると共に、外気中のゴミ等の異物も液状材料噴出口及びその周辺に付着するという事態を招く。そして、これが原因となって、液状材料の噴出不良が生じ、プリント媒体への印刷や配向膜の形成に支障を来たすことになる。   By the way, in this type of ink jet head, ink or film material is ejected from a liquid material ejection port having a very small opening area, so that the liquid material itself or, for example, a pigment or the like in the liquid material is solidified. In addition to adhering to the liquid material jet outlet and its surroundings, foreign matter such as dust in the outside air also adheres to the liquid material jet outlet and its surroundings. Due to this, the ejection failure of the liquid material occurs, which hinders the printing on the print medium and the formation of the alignment film.

そこで、この種のインクジェットヘッドには、これらの問題が生じる前に、適当な時間間隔で、インクジェットヘッドの液状材料噴出機能を良好な状態に復帰させる目的をもって、液状材料噴出口及び/又はその周辺を洗浄する洗浄移動ユニットが配備される。そして、この洗浄移動ユニットとしては、液状材料噴出口及び/又はその周辺に付着している固化材料や異物を負圧による吸引力によって吸い取り除去するための負圧吸引手段を備えたものが公知となっている。   Therefore, in this type of ink jet head, before these problems occur, the liquid material jet outlet and / or its surroundings are used for the purpose of returning the liquid material jet function of the ink jet head to a good state at an appropriate time interval. A cleaning mobile unit is provided for cleaning the. And as this washing | cleaning movement unit, what is equipped with the negative pressure suction means for sucking and removing the solidification material and foreign material adhering to the liquid material jet nozzle and / or its periphery with the suction force by a negative pressure is known. It has become.

その一例として、下記の特許文献1によれば、インクジェットヘッド(プリントヘッド)の材料噴出口が開口する一端面に、洗浄移動ユニットの真空フードを直接接触させ、材料噴出口のみならずその内部に対しても真空フードを通じて負圧吸引を行なう技術が開示されている。また、下記の特許文献2及び特許文献3によれば、洗浄移動ユニットに真空ノズルを設けると共に、インクジェットヘッドの材料噴出口が開口する一端面に対して真空ノズル自体を非接触とした構成が開示されている。
特開2000−190514号公報 特開平6−126972号公報 特開平8−118668号公報
As an example, according to the following Patent Document 1, the vacuum hood of the cleaning and moving unit is brought into direct contact with one end surface where the material ejection port of the ink jet head (print head) opens, and not only the material ejection port but also the inside thereof. On the other hand, a technique for performing negative pressure suction through a vacuum hood is disclosed. Further, according to Patent Document 2 and Patent Document 3 below, a configuration is disclosed in which a vacuum nozzle is provided in the cleaning movement unit, and the vacuum nozzle itself is not in contact with one end surface where the material ejection port of the inkjet head opens. Has been.
JP 2000-190514 A JP-A-6-126972 JP-A-8-118668

上記の特許文献1に開示された技術によれば、洗浄移動ユニットの真空フードがインクジェットヘッドに接触することに起因して、その接触部分に傷が付くため、長期使用が困難となって耐久性の低下を招く。しかも、この両者の接触によって摩耗粉塵或いは摩滅粉塵等の異物が発生し、この異物がインクジェットヘッドの液状噴出口やその周辺に付着することにより、液状材料の噴出不良を招くと共に、印刷や配向膜形成、更には負圧吸引に支障を来たすことになる。   According to the technique disclosed in the above-mentioned Patent Document 1, the contact portion is scratched due to the vacuum hood of the cleaning and moving unit coming into contact with the inkjet head. Cause a decline. In addition, foreign matter such as abrasion dust or abrasion dust is generated due to the contact between the two, and this foreign matter adheres to the liquid jet outlet of the ink jet head and the periphery thereof, leading to poor ejection of the liquid material and printing or alignment film. It will interfere with formation and even negative pressure suction.

また、上記の特許文献2に開示された技術によれば、真空ノズルはインクジェットヘッドに対して非接触に維持されているものの、この真空ノズルを支持する支持部材は、バネによりインクジェットヘッド側に押圧付勢されて該インクジェットヘッドのレッジ面に接触している。したがって、この技術によるにしても、洗浄移動ユニットの支持部材がインクジェットヘッドに接触することから、その接触部分に傷が付くことによる耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等を招くという問題が生じる。   Further, according to the technique disclosed in Patent Document 2, the vacuum nozzle is maintained in a non-contact manner with respect to the inkjet head, but the support member that supports the vacuum nozzle is pressed against the inkjet head side by a spring. It is biased and is in contact with the ledge surface of the inkjet head. Therefore, even with this technique, the support member of the cleaning and moving unit comes into contact with the ink jet head, resulting in a decrease in durability due to scratching on the contact portion, generation of foreign matter such as wear dust, and the result. This causes problems such as poor ejection of the liquid material, poor printing, poor alignment film formation, and negative suction failure.

更に、上記の特許文献3に開示された技術によれば、洗浄移動ユニットに設けられた真空ノズルは、インクジェットヘッドに対して非接触とされているものの、洗浄移動ユニットに設けられた超音波液状ワイパ装置の洗浄ノズルは、その先端に形成される洗浄液の液柱(同文献ではメニスカス)を介してインクジェットヘッドのノズル面に接触しており、印加電圧による励振がその液柱を通じてインクジェットヘッドのノズル面に転送される構成である。このような構成であると、洗浄ノズルとインクジェットヘッドとの間に、適切な液柱を形成する必要があるため、この両者の位置関係は厳格でなければならず、その位置決め精度を極めて高精度とする必要がある。このため、構造が複雑になると共に、各構成要素の組み付け精度も高精度とする必要性が生じ、組立作業が面倒且つ煩雑になるばかりでなく、コスト面においても不利となる。   Furthermore, according to the technique disclosed in the above-mentioned Patent Document 3, the vacuum nozzle provided in the cleaning movement unit is not in contact with the inkjet head, but the ultrasonic liquid provided in the cleaning movement unit. The cleaning nozzle of the wiper device is in contact with the nozzle surface of the inkjet head via a cleaning liquid column (meniscus in the same document) formed at the tip, and excitation by the applied voltage is applied to the nozzle of the inkjet head through the liquid column. It is the structure transferred to the surface. In such a configuration, since it is necessary to form an appropriate liquid column between the cleaning nozzle and the inkjet head, the positional relationship between the two must be strict, and the positioning accuracy is extremely high. It is necessary to. For this reason, the structure becomes complicated, and it is necessary to make the assembly accuracy of each component high. This not only makes the assembly operation cumbersome and complicated, but also disadvantages in terms of cost.

しかも、上記のように洗浄液を用いる手法によれば、インクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入し、液状材料中に洗浄液が混入するという事態を招くため、液状材料の濃度が低下して、正常な印刷や配向膜形成を行なう上で大きな妨げとなる。   In addition, according to the method using the cleaning liquid as described above, the cleaning liquid enters the liquid material jet port of the ink jet head and the cleaning liquid is mixed into the liquid material, so that the concentration of the liquid material decreases. Thus, it is a great obstacle to normal printing and alignment film formation.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとの位置関係が不当に厳格な制約を受けないようにした上で、両者の接触に起因する耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等を回避することを第1の技術的課題とする。また、ワイピング装置の使用時に、インクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して液状材料中に洗浄液が混入することにより液状材料の濃度が低下するという不具合を回避した上で、負圧吸引による洗浄能力をより高めることを第2の技術的課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and the positional relationship between the cleaning and moving unit and the inkjet head is not unduly severely restricted, and the durability is reduced due to contact between the two. The first technical problem is to avoid the generation of foreign matters such as wear dust, printing defects, alignment film formation defects, and negative pressure suction defects. In addition, when using the wiping device, it is possible to avoid a problem that the concentration of the liquid material is reduced due to the cleaning liquid entering the liquid material jet port of the inkjet head and mixing the cleaning liquid into the liquid material. A second technical problem is to further increase the cleaning ability by pressure suction.

上記技術的課題を解決するための第1の手段は、インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び/又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、前記液状材料噴出口及び/又はその周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドから完全に分離して非接触に維持されるように構成したことを特徴とするものである。   A first means for solving the above technical problem is an inkjet head wiping apparatus for cleaning a liquid material jet outlet and / or the periphery thereof of an ink jet head, wherein a negative pressure is applied to the liquid material jet outlet and / or the periphery thereof. The cleaning and moving unit having a vacuum nozzle that generates suction force and movable relative to the inkjet head is configured so that all the components thereof are completely separated from the inkjet head and are kept in non-contact. It is characterized by.

この場合、洗浄移動ユニットの「全ての構成要素」とは、洗浄移動ユニットを構成している各部品のみならず、洗浄液の液柱をも含む。したがって、洗浄移動ユニットの全ての構成要素がインクジェットヘッドから完全に分離して非接触に維持されるとういうことは、洗浄移動ユニットの何れかの部品とインクジェットヘッドとが接触している場合を排除するのみならず、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとが例えば洗浄液の液柱を介して接触している場合をも排除するものである。   In this case, “all components” of the cleaning movement unit includes not only each component constituting the cleaning movement unit but also a liquid column of the cleaning liquid. Therefore, the fact that all the components of the cleaning and moving unit are completely separated from the inkjet head and kept in non-contact excludes the case where any component of the cleaning and moving unit is in contact with the inkjet head. In addition, the case where the cleaning moving unit and the ink jet head are in contact with each other through, for example, the liquid column of the cleaning liquid is also excluded.

このような構成によれば、洗浄移動ユニットを構成している各部品がインクジェットヘッドに接触しなくなることから、これらが接触することによる傷の発生及びこれに起因する耐久性低下等の不具合が生じなくなると共に、インクジェットヘッドの液状噴出口やその周辺への摩耗粉塵等の異物の付着、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、並びに印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等の不具合も生じなくなる。加えて、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとが洗浄液の液柱を介して接触するという事態も生じないことから、この両者の位置関係を厳格にする必要がなく、位置決めに要する構造が簡素化されると共に、組立作業を容易に行なえるようになり、製造コストの低廉化が図られる。   According to such a configuration, each component constituting the cleaning and moving unit does not come into contact with the ink-jet head, so that problems such as generation of scratches due to contact with the ink-jet head and deterioration in durability due to this occur. At the same time, foreign matter such as abrasion dust adheres to the liquid jet outlet of the ink jet head and its surroundings, liquid material ejection failure due to this, printing failure, alignment film formation failure, and negative pressure suction failure, etc. There will be no defects. In addition, since the cleaning moving unit and the inkjet head do not come into contact with each other through the liquid column of the cleaning liquid, it is not necessary to make the positional relationship between the two strict and the structure required for positioning is simplified. At the same time, the assembly work can be easily performed, and the manufacturing cost can be reduced.

なお、前記真空ノズルによる吸引力は、前記液状材料噴出口を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定されていることが好ましい。   In addition, it is preferable that the suction force by the vacuum nozzle is set to a strength that does not affect the internal pressure of the liquid material therein through the liquid material ejection port.

また、上記技術的課題を解決するための第2の手段は、インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び/又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、前記液状材料噴出口及び/又はその周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルと前記液状材料噴出口及び/又はその周辺に気体を噴射供給する気体噴射ノズルとを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを備えたことを特徴とするものである。ここで、上記の「気体」としては、例えば、空気、窒素、アルゴン等が使用される。   Further, a second means for solving the above technical problem is an inkjet head wiping apparatus for cleaning the liquid material jet outlet and / or the periphery thereof of the ink jet head. A cleaning movement unit having a vacuum nozzle for generating a suction force by pressure and a gas injection nozzle for supplying gas to and / or around the liquid material injection port and capable of moving relative to the inkjet head is provided. It is characterized by. Here, as the “gas”, for example, air, nitrogen, argon, or the like is used.

このような構成によれば、インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び/又はその周辺を洗浄する際には、気体噴射ノズルから洗浄部位に気体を噴射させることにより、その洗浄部位に付着している液状材料の固化物やゴミ等の異物を剥離させつつ、真空ノズルによりその洗浄部位からそれらの異物等が吸引される。したがって、真空ノズルの吸引力のみによって洗浄部位から異物等を吸引する場合に比して、より一層確実に洗浄部位を清浄な状態とすることが可能となる。加えて、真空ノズルにより吸引される気体の全量または略全量を、気体噴射ノズルから噴射された気体とすることができるため、周辺の汚れた空気やゴミ等を真空ノズルが吸引するという不具合が回避される。しかも、従来のように洗浄液を用いた場合に生じる不具合、すなわちインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して、液状材料中に洗浄液が混入することにより、液状材料の濃度が低下するという不具合が、効果的に回避される。   According to such a configuration, when cleaning the liquid material ejection port of the inkjet head and / or the periphery thereof, the liquid adhering to the cleaning site is ejected from the gas jet nozzle to the cleaning site. While the foreign matter such as the solidified material or dust is peeled off, the foreign matter is sucked from the cleaning portion by the vacuum nozzle. Therefore, it is possible to make the cleaning site more clean as compared with the case where foreign matters are sucked from the cleaning site only by the suction force of the vacuum nozzle. In addition, since all or almost all of the gas sucked by the vacuum nozzle can be made to be jetted from the gas jet nozzle, the problem of the vacuum nozzle sucking around dirty air, dust, etc. is avoided. Is done. In addition, there is a problem that occurs when using a cleaning liquid as in the past, that is, the cleaning liquid enters the liquid material jet port of the inkjet head and the cleaning liquid is mixed into the liquid material, so that the concentration of the liquid material decreases. The trouble of doing is effectively avoided.

この第2の手段においても、前記真空ノズルと気体噴射ノズルとを有する洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成することが好ましい。   Also in the second means, it is preferable that the cleaning and moving unit having the vacuum nozzle and the gas jet nozzle is configured such that all the components are maintained in non-contact with the inkjet head.

このようにすれば、上記第1の手段による作用効果と、第2の手段による作用効果との双方を享受することができる。   If it does in this way, both the operation effect by the above-mentioned 1st means and the operation effect by the 2nd means can be enjoyed.

また、この第2の手段においては、前記気体噴射ノズルの気体噴射口を、前記インクジェットヘッドの液状材料噴出口に対面する位置から偏倚した位置に配置させるように構成することが好ましい。   Moreover, in this 2nd means, it is preferable to comprise so that the gas injection port of the said gas injection nozzle may be arrange | positioned in the position deviated from the position facing the liquid material injection port of the said inkjet head.

このようにすれば、気体噴射ノズルの気体噴射口が、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に対面しなくなることから、気体噴射ノズルの気体噴射口から噴射された気体が、直接的にインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に浸入して、液状材料を押圧するという事態が生じなくなる。これにより、インクジェットヘッドの内部の液状材料が不当な押圧力或いは吹き付け力を受けることによる液状材料内圧の不当な変化或いは液状材料の外部への飛散等の不具合が回避される。   In this way, the gas ejection port of the gas ejection nozzle does not face the liquid material ejection port of the inkjet head, so that the gas ejected from the gas ejection port of the gas ejection nozzle is directly in the liquid state of the inkjet head. The situation of entering the inside through the material ejection port and pressing the liquid material does not occur. Thereby, problems such as an undue change in the internal pressure of the liquid material due to the liquid material inside the ink jet head receiving an inappropriate pressing force or spraying force or scattering of the liquid material to the outside can be avoided.

以上の構成を備えたインクジェットヘッドワイピング装置を、基板上に配向膜を形成するためのインクジェットヘッドに設けることにより、配向膜形成装置を構成することができる。   By providing the inkjet head wiping apparatus having the above configuration in the inkjet head for forming the alignment film on the substrate, the alignment film forming apparatus can be configured.

すなわち、以上の構成を備えたインクジェットヘッドワイピング装置は、用紙に印字等を行なうインクジェット式プリンタや、有機EL表示器の基板(透明基板)上にカラーフィルタを塗布する装置等に使用することも可能であるが、液晶表示器の基板(透明基板)上に配向膜を形成する配向膜形成装置に使用することが好適である。この場合に使用される液状材料は、例えば、粘度が5〜16cpとされ、また表面張力が30〜40dyn/cmとされる。   In other words, the ink jet head wiping device having the above configuration can be used for an ink jet printer that performs printing on paper, a device that applies a color filter on a substrate (transparent substrate) of an organic EL display, and the like. However, it is suitable for use in an alignment film forming apparatus for forming an alignment film on a substrate (transparent substrate) of a liquid crystal display. The liquid material used in this case has, for example, a viscosity of 5 to 16 cp and a surface tension of 30 to 40 dyn / cm.

以上のように本発明に係るインクジェットヘッドワイピング装置によれば、真空ノズルを有する洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドから完全に分離して非接触に維持されるように構成したから、洗浄移動ユニットを構成している各部品の何れかがインクジェットヘッドに接触することによる傷の発生及びこれに起因する耐久性低下等の不具合が生じなくなると共に、インクジェットヘッドの液状噴出口やその周辺への摩耗粉塵等の異物の付着、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、並びに印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等の不具合も生じなくなる。加えて、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとが洗浄液の液柱を介して接触するという事態も生じないことから、この両者の位置関係を厳格にする必要がなく、位置決めに要する構造が簡素化されると共に、組立作業を容易に行なえるようになり、製造コストの低廉化が図られる。   As described above, according to the inkjet head wiping apparatus according to the present invention, the cleaning moving unit having the vacuum nozzle is configured such that all the components are completely separated from the inkjet head and maintained in a non-contact state. In addition, any of the parts constituting the cleaning and moving unit does not cause defects such as scratches caused by contact with the inkjet head and deterioration due to this, and the liquid jet outlet of the inkjet head and its surroundings. There is no occurrence of defects such as adhesion of foreign matter such as abrasion dust, liquid material ejection failure, printing failure, alignment film formation failure, and negative pressure suction failure. In addition, since the cleaning moving unit and the inkjet head do not come into contact with each other through the liquid column of the cleaning liquid, it is not necessary to make the positional relationship between the two strict and the structure required for positioning is simplified. At the same time, the assembly work can be easily performed, and the manufacturing cost can be reduced.

また、本発明に係るインクジェットヘッドワイピング装置によれば、真空ノズルと気体噴射ノズルとを有する洗浄移動ユニットを備えたことから、真空ノズルの吸引力のみによって洗浄部位から異物等を吸引する場合に比して、より一層確実に洗浄部位を清浄な状態にできると共に、真空ノズルにより吸引される気体の全量または略全量を、気体噴射ノズルから噴射された気体とすることができるため、周辺の汚れた空気やゴミ等を真空ノズルが吸引するという不具合が回避される。しかも、従来のように洗浄液を用いた場合に生じる不具合、すなわちインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して、液状材料中に洗浄液が混入することにより、液状材料の濃度が低下するという不具合が効果的に回避される。   In addition, according to the inkjet head wiping apparatus according to the present invention, since the cleaning movement unit having the vacuum nozzle and the gas injection nozzle is provided, it is compared with the case where foreign matters are sucked from the cleaning portion only by the suction force of the vacuum nozzle. As a result, the cleaning part can be more surely cleaned, and the entire amount or almost the entire amount of the gas sucked by the vacuum nozzle can be made the gas injected from the gas injection nozzle. The problem that the vacuum nozzle sucks air, dust or the like is avoided. In addition, there is a problem that occurs when using a cleaning liquid as in the past, that is, the cleaning liquid enters the liquid material jet port of the inkjet head and the cleaning liquid is mixed into the liquid material, so that the concentration of the liquid material decreases. The trouble of doing is effectively avoided.

そして、真空ノズルと気体噴射ノズルとを有する洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成すれば、上記2つの発明によるそれぞれの効果を一挙に享受することができる。   And if the washing | cleaning movement unit which has a vacuum nozzle and a gas injection nozzle is comprised so that all the components may be maintained in non-contact with an inkjet head, it will enjoy each effect by said 2 invention at once. be able to.

また、気体噴射ノズルの気体噴射口を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に対面する位置から偏倚した位置に配置させるように構成すれば、気体噴射ノズルの気体噴射口から噴射された気体が、直接的にインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に浸入して、液状材料を押圧するという事態が生じなくなるため、インクジェットヘッドの内部の液状材料が不当な押圧力或いは吹き付け力を受けることによる液状材料内圧の不当な変化或いは液状材料の外部への飛散等の不具合が回避される。   Further, if the gas injection port of the gas injection nozzle is arranged at a position deviated from the position facing the liquid material injection port of the inkjet head, the gas injected from the gas injection port of the gas injection nozzle is directly Since the liquid material inside the ink jet head receives an improper pressing force or spraying force because the liquid material inside the ink jet head does not enter the inside through the liquid material jet port of the ink jet head and presses the liquid material is not generated. Problems such as an inappropriate change in internal pressure or scattering of liquid material to the outside are avoided.

そして、既述のインクジェットヘッドワイピング装置を、基板上に配向膜を形成するためのインクジェットヘッドに設けることにより、配向膜形成装置を構成すれば、例えば液晶表示器具の透明基板上に、良質の配向膜を形成することが可能となる。   If the alignment film forming apparatus is configured by providing the inkjet head wiping apparatus described above in an inkjet head for forming an alignment film on a substrate, for example, a high-quality alignment is provided on a transparent substrate of a liquid crystal display device. A film can be formed.

以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図1(a)は、本発明の第1実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図1(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus.

図1(a)、(b)に示すように、この第1実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置は、インクジェットヘッド(プリントヘッド)1の一端面つまりノズル面2に所定のピッチで縦方向(図1(a)の左右方向)に複数配列された噴出ノズルの液状材料噴出口3及び/又はその周辺を洗浄する洗浄移動ユニット4を備えている。なお、図1(a)、(b)では、便宜上、各液状材料噴出口3(噴出ノズル)をインクジェットヘッド1の一端面2から突出させているが、これらの液状材料噴出口3は、この実施形態では、インクジェットヘッド1の一端面2に開口しており、この一端面2からは突出していない(以下の第2〜第5実施形態についても同様)。但し、本発明は、これらの液状材料噴出口3がインクジェットヘッド1の一端面2から突出してなるものを排除するものではない。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the inkjet head wiping device according to the first embodiment is longitudinally arranged at a predetermined pitch on one end surface of the inkjet head (print head) 1, that is, the nozzle surface 2. A cleaning movement unit 4 is provided for cleaning the liquid material ejection ports 3 and / or the periphery of the ejection nozzles arranged in a plurality in the horizontal direction 1 (a). In FIGS. 1A and 1B, for convenience, each liquid material ejection port 3 (ejection nozzle) is protruded from one end surface 2 of the inkjet head 1. However, these liquid material ejection ports 3 are In the embodiment, it opens to one end surface 2 of the inkjet head 1 and does not protrude from the one end surface 2 (the same applies to the following second to fifth embodiments). However, the present invention does not exclude the case where these liquid material ejection ports 3 protrude from the one end surface 2 of the inkjet head 1.

前記洗浄移動ユニット4は、真空ノズル5を有すると共に、矢印Xで示す縦方向すなわち液状材料噴出口3の配列方向に対して移動するように構成されている。そして、この洗浄移動ユニット4の真空ノズル5を含む全ての構成要素は、その使用時に、インクジェットヘッド1から完全に分離して非接触に維持されるように構成されている。この場合、インクジェットヘッド1の一端面2と洗浄移動ユニット4との離間寸法Sは、0.2mm〜1.0mmの範囲内、好ましくは0.3mm〜0.7mmの範囲内、この実施形態では、概ね0.5mmに設定されている(以下の第2実施形態から第5実施形態についても同様)。また、真空ノズル5は、吸引通路6を介して図外の負圧源に連通されており、この真空ノズル5の内部及び吸引通路6の内部では、矢印A1、A2で示す方向に吸引エアが流れるように構成されている。   The washing / moving unit 4 has a vacuum nozzle 5 and is configured to move in the vertical direction indicated by the arrow X, that is, in the arrangement direction of the liquid material ejection ports 3. All the components including the vacuum nozzle 5 of the cleaning and moving unit 4 are configured to be completely separated from the inkjet head 1 and maintained in a non-contact state when used. In this case, the separation dimension S between the one end surface 2 of the inkjet head 1 and the cleaning movement unit 4 is in the range of 0.2 mm to 1.0 mm, preferably in the range of 0.3 mm to 0.7 mm. Is generally set to 0.5 mm (the same applies to the second to fifth embodiments below). The vacuum nozzle 5 is communicated with a negative pressure source (not shown) via a suction passage 6. Inside the vacuum nozzle 5 and the suction passage 6, suction air is supplied in the directions indicated by arrows A 1 and A 2. It is configured to flow.

前記真空ノズル5の吸引口7は、縦方向に短尺であり、且つ、横方向すなわちインクジェットヘッド1の一端面2に対向する面内で縦方向と直交する横方向(図1(b)の左右方向)に長尺なスリット状に形成されている。すなわち、この実施形態では、真空ノズル5の吸引口7における縦方向寸法については、0.2mm〜1.0mmの範囲内、好ましくは0.3mm〜0.7mmの範囲内、この実施形態では、概ね0.5mmに設定されており(第2実施形態から第5実施形態についても、吸引口7の短尺側寸法は、この場合と同様)、横方向については、インクジェットヘッド1の一端面2の横方向寸法と同一又は略同一とされている。したがって、この真空ノズル5を矢印Xで示す縦方向に移動させることのみをもって、インクジェットヘッド1の一端面2の全領域に対する洗浄作業を行なうことが可能に構成されている。   The suction port 7 of the vacuum nozzle 5 is short in the vertical direction, and in the horizontal direction, that is, the horizontal direction perpendicular to the vertical direction in the plane facing the one end surface 2 of the inkjet head 1 (left and right in FIG. 1B). In the direction). That is, in this embodiment, the longitudinal dimension of the suction port 7 of the vacuum nozzle 5 is in the range of 0.2 mm to 1.0 mm, preferably in the range of 0.3 mm to 0.7 mm. In this embodiment, The length of the suction port 7 is the same as that in this case in the second to fifth embodiments as well, and the lateral direction of the one end surface 2 of the inkjet head 1 is set to 0.5 mm. It is the same or substantially the same as the lateral dimension. Therefore, the cleaning operation can be performed on the entire region of the one end surface 2 of the inkjet head 1 only by moving the vacuum nozzle 5 in the vertical direction indicated by the arrow X.

更に、この実施形態では、真空ノズル5の吸引口7の横方向中間位置に、インクジェットヘッド1の各液状材料噴出口3と吸引口7とが直接対面しないようにするための邪魔部8が形成されている。すなわち、洗浄移動ユニット4の縦方向Xに対する移動時においては、真空ノズル5の邪魔部8とインクジェットヘッド1の液状材料噴出口3とが対面した状態に維持されるように構成されている。したがって、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3に対しては、真空ノズル5の吸引口7から直接的に負圧による吸引力が作用しない構成とされており、これにより真空ノズル5による吸引力が、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、及びこれに起因して液状材料の噴出ノズルの内部に空気が混入することを回避できるように配慮がなされている。なお、真空ノズル5による吸引力を、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定しておけば、上記の邪魔部8を設けなくてもよい。   Furthermore, in this embodiment, a baffle portion 8 is formed at the intermediate position in the lateral direction of the suction port 7 of the vacuum nozzle 5 so that the liquid material jet ports 3 of the inkjet head 1 do not directly face each other. Has been. That is, when the cleaning moving unit 4 moves in the vertical direction X, the baffle 8 of the vacuum nozzle 5 and the liquid material jet 3 of the inkjet head 1 are maintained facing each other. Therefore, a suction force by a negative pressure does not directly act on the liquid material ejection port 3 of the ink jet head 1 from the suction port 7 of the vacuum nozzle 5, so that the suction force by the vacuum nozzle 5 is reduced. Consideration has been made so as to avoid unduly affecting the internal pressure of the liquid material inside the liquid material jet nozzle 3 and preventing air from entering the liquid material jet nozzle due to this. Yes. In addition, if the suction force by the vacuum nozzle 5 is set to a strength that does not affect the internal pressure of the liquid material inside the liquid material ejection port 3, the baffle 8 is not provided. Also good.

以上のように、この第1実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド1の一端面2つまり液状材料噴出口3及びその周辺に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット4の真空ノズル5から作用する負圧によって真空ノズル5内に吸引され、洗浄作業が行われる。そして、この洗浄移動ユニット4が、このような動作を行ないつつ、矢印Xで示す縦方向に移動していくことにより、インクジェットヘッド1の一端面(ノズル面)2の全域又は略全域の洗浄が行われる。   As described above, according to the configuration of the first embodiment, the one end surface 2 of the ink jet head 1, that is, the liquid material ejection port 3 and the foreign material such as solidified material of the film material adhering to the periphery thereof, dust, and the like are washed away. The negative pressure acting from the vacuum nozzle 5 of the moving unit 4 is sucked into the vacuum nozzle 5 to perform a cleaning operation. Then, the cleaning moving unit 4 performs such an operation while moving in the vertical direction indicated by the arrow X, thereby cleaning the entire area or substantially the entire area of the one end surface (nozzle surface) 2 of the inkjet head 1. Done.

そして、洗浄移動ユニット4を構成している各部の全てはインクジェットヘッド1に対して完全非接触とされていることから、これらが接触することによる傷の発生及びこれに起因する耐久性の低下等が生じなくなる。しかも、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3やその周辺への摩耗粉塵等の異物の付着、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、印刷不良又は配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等も生じなくなる。加えて、洗浄移動ユニット4とインクジェットヘッド1とが洗浄液の液柱を介して接触するという事態も生じないことから、この両者の位置関係を厳格にする必要がなく、位置決めに要する構造が簡素化されると共に、組立作業を容易に行なえるようになる。   And since all the parts constituting the cleaning and moving unit 4 are completely non-contact with the ink-jet head 1, the occurrence of scratches due to the contact of these parts and the decrease in durability due to this, etc. Will not occur. In addition, foreign material such as abrasion dust adheres to the liquid material ejection port 3 of the ink jet head 1 and its surroundings, and ejection of the liquid material due to this, poor printing, poor alignment film formation, negative pressure suction failure, etc. No longer occurs. In addition, since the situation that the cleaning moving unit 4 and the inkjet head 1 are in contact with each other via the liquid column of the cleaning liquid does not occur, the positional relationship between the two does not need to be strict and the structure required for positioning is simplified. As a result, the assembly work can be easily performed.

図2(a)は、本発明の第2実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図2(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。なお、図2(a)、(b)に基づくこの第2実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第1実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。   FIG. 2A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. In the description of the inkjet head wiping device according to the second embodiment based on FIGS. 2 (a) and 2 (b), the same reference numerals are used for the same constituent elements as those in the first embodiment, and the details thereof are used. The detailed explanation is omitted.

図2(a)、(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置は、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3が形成された一端面2に対して、完全非接触で縦方向に移動可能な洗浄移動ユニット4が、真空ノズル5に加えて、空気や窒素等の気体をインクジェットヘッド1の一端面2に噴射供給するための気体噴射ノズル9を有している。そして、インクジェットヘッド1の一端面2における気体噴射ノズル9による気体噴射領域と真空ノズル5による吸引領域とは略一致しており、詳しくは、気体噴射領域は吸引領域の全てを包含している。   As shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), this inkjet head wiping device can move vertically without contact with one end surface 2 of the inkjet head 1 on which the liquid material ejection port 3 is formed. The cleaning and moving unit 4 has a gas injection nozzle 9 for supplying a gas such as air or nitrogen to the one end face 2 of the inkjet head 1 in addition to the vacuum nozzle 5. The gas injection region by the gas injection nozzle 9 and the suction region by the vacuum nozzle 5 on the one end surface 2 of the ink jet head 1 substantially coincide with each other. Specifically, the gas injection region includes the entire suction region.

真空ノズル5の吸引口7は、縦方向に短尺で且つ横方向に長尺なスリット状に形成されると共に、気体噴射ノズル9の気体噴射口10も同様に、縦方向に短尺で且つ横方向に長尺なスリット状に形成され、且つ、単一の吸引口7を中心してその縦方向両側に2つの気体噴射口10が形成されている。この2つの気体噴射口10は、吸引口7から隔離されていると共に、吸引口7の邪魔部8と同様に、それぞれの気体噴射口10の横方向中間位置には、インクジェットヘッド1の各液状材料噴出口3と気体噴射口10とが直接対面しないようにするための邪魔部8が形成されている。すなわち、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3に対して、気体噴射口10から直接的に気体が噴射供給されない構成とされており、これにより気体噴射口10から噴射供給された気体が、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、或いは液状材料を飛散させること等を回避できるように配慮がなされている。   The suction port 7 of the vacuum nozzle 5 is formed in a slit shape that is short in the vertical direction and long in the horizontal direction, and the gas injection port 10 of the gas injection nozzle 9 is similarly short in the vertical direction and horizontal. In addition, two gas injection ports 10 are formed on both sides in the longitudinal direction around a single suction port 7. These two gas ejection ports 10 are isolated from the suction port 7 and, like the baffle 8 of the suction port 7, each liquid ejection port 10 has a liquid state at the intermediate position in the horizontal direction. A baffle portion 8 is formed to prevent the material ejection port 3 and the gas ejection port 10 from directly facing each other. That is, the gas is not directly supplied from the gas injection port 10 to the liquid material injection port 3 of the ink jet head 1, so that the gas supplied from the gas injection port 10 is the liquid material. Consideration is made so as to avoid unduly affecting the internal pressure of the liquid material inside the jet outlet 3 or scattering the liquid material.

この場合、2つの気体噴射口10を先端に有する気体噴射ノズル9は、1本の送給通路11を介して図外の気体圧源に通じていると共に、気体噴射ノズル9における2つの気体噴射口10に通じる噴射通路は、インクジェットヘッド1側に移行するにしたがって漸次相接近するようにそれぞれが傾斜している。そして、気体噴射ノズル9の内部及び送給通路11の内部では、矢印B1、B2で示す方向に気体が流れるように構成されている。なお、送給通路11から気体噴射口10に至る気体流通経路と、吸引口7から吸引通路6に至る吸引エア流通経路とは、完全に隔離された状態にある。また、各気体噴射口10の縦方向寸法は、吸引口7の縦方向寸法よりも長尺とされているのに対して、各気体噴射口10の横方向寸法と、吸引口7の横方向寸法とは、同一又は略同一とされている。   In this case, the gas injection nozzle 9 having two gas injection ports 10 at its tip communicates with a gas pressure source (not shown) through one supply passage 11 and two gas injections in the gas injection nozzle 9. Each of the ejection passages leading to the mouth 10 is inclined so as to gradually approach the phase as it moves to the inkjet head 1 side. And inside the gas injection nozzle 9 and the inside of the supply channel | path 11, it is comprised so that gas may flow in the direction shown by arrow B1, B2. Note that the gas flow path from the supply passage 11 to the gas injection port 10 and the suction air flow path from the suction port 7 to the suction passage 6 are completely isolated. In addition, the vertical dimension of each gas injection port 10 is longer than the vertical dimension of the suction port 7, whereas the horizontal dimension of each gas injection port 10 and the horizontal direction of the suction port 7. The dimensions are the same or substantially the same.

以上のように、この第2実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド1の一端面2つまり液状材料噴出口3及びその周辺に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット4の気体噴射ノズル9から噴射される気体によって、それらの異物等の剥離が促進されつつ、真空ノズル5から作用する負圧によって、それらの異物等が真空ノズル5内に吸引される。そして、この洗浄移動ユニット4が、このような動作を行ないつつ、矢印Xで示す縦方向に移動していくことにより、インクジェットヘッド1の一端面(ノズル面)2の全域又は略全域の洗浄が行われる。この場合、真空ノズル5内には、気体噴射ノズル9から噴射された気体のみ又は略その気体のみと異物等とが吸引され得ることになるので、周辺の汚れた空気やゴミ等が真空ノズル5内に吸引されることを防止することができる。なお、その他の作用効果は、上述の第1実施形態と同様である。   As described above, according to the configuration of the second embodiment, one end surface 2 of the inkjet head 1, that is, the liquid material ejection port 3 and the foreign matter such as solidified material of the film material adhering to the periphery thereof, dust, and the like are washed away. While the exfoliation of these foreign matters is promoted by the gas injected from the gas injection nozzle 9 of the moving unit 4, the foreign matters are sucked into the vacuum nozzle 5 by the negative pressure acting from the vacuum nozzle 5. Then, the cleaning moving unit 4 performs the above operation while moving in the vertical direction indicated by the arrow X, thereby cleaning the entire area or substantially the entire area of the one end surface (nozzle surface) 2 of the inkjet head 1. Done. In this case, only the gas ejected from the gas ejection nozzle 9 or substantially only the gas and foreign matter etc. can be sucked into the vacuum nozzle 5, so that the surrounding dirty air, dust, etc. are removed from the vacuum nozzle 5. Inhalation into the inside can be prevented. Other functions and effects are the same as those in the first embodiment.

図3(a)は、本発明の第3実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図3(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。なお、図3(a)、(b)に基づくこの第3実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第1実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。   FIG. 3A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. In the description of the inkjet head wiping device according to the third embodiment based on FIGS. 3A and 3B, the same reference numerals are used for the same constituent elements as those in the first embodiment, and the details thereof are used. The detailed explanation is omitted.

図3(a)、(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置は、洗浄移動ユニット4が矢印Yで示すように横方向に移動するように構成されており、その関係上、洗浄移動ユニット4の縦方向寸法が、インクジェットヘッド1の縦方向寸法と略同一または僅かにそれよりも長尺とされている。そして、この洗浄移動ユニット4に設けられている真空ノズル5の吸引口7は、横方向が短尺側とされ、且つ縦方向がインクジェットヘッド1の全ての液状材料噴出口3の配列領域と略同一又はそれよりも僅かに長い長尺側とされたスリット状の形成されている。なお、この吸引口7には、邪魔部が形成されていない。   As shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the inkjet head wiping device is configured such that the cleaning movement unit 4 moves in the lateral direction as indicated by the arrow Y, and the cleaning movement is related to this. The vertical dimension of the unit 4 is substantially the same as or slightly longer than the vertical dimension of the inkjet head 1. The suction port 7 of the vacuum nozzle 5 provided in the cleaning moving unit 4 has a lateral direction on the short side and a longitudinal direction substantially the same as the arrangement region of all the liquid material ejection ports 3 of the inkjet head 1. Alternatively, it is formed in a slit shape slightly longer than that. The suction port 7 is not formed with a baffle.

したがって、この第3実施形態の洗浄移動ユニット4の詳細な構成は、図3(b)に示す側面図については、図1(a)に示す正面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明と同一であり、また図3(a)に示す正面図については、図1(b)に示す側面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明(邪魔部8の説明を除く)と同一である。   Therefore, the detailed configuration of the cleaning and moving unit 4 of the third embodiment is as follows. For the side view shown in FIG. 3B, the “vertical direction” and “lateral direction” in the front view shown in FIG. 3 is the same as that described above, and for the front view shown in FIG. 3 (a), “vertical direction” and “lateral direction” in the side view shown in FIG. This is the same as the above description (excluding the description of the baffle unit 8) in the case of mutual conversion.

この第3実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド1の一端面2(液状材料噴出口3及びその周辺)に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット4の真空ノズル5から作用する負圧によって真空ノズル5内に吸引され、洗浄作業が行われる。そして、この洗浄移動ユニット4は、このような動作を行ないつつ、矢印Yで示す横方向に移動していくことにより、インクジェットヘッド1の一端面(ノズル面)2の全域又は略全域の洗浄が行われる。   According to the configuration of the third embodiment, foreign substances such as solidified film material and dust adhering to the one end surface 2 (liquid material ejection port 3 and its surroundings) of the inkjet head 1 are removed from the cleaning movement unit 4. The vacuum nozzle 5 is sucked into the vacuum nozzle 5 by a negative pressure acting on it, and a cleaning operation is performed. And this washing | cleaning movement unit 4 is carrying out such an operation | movement, and is moving to the horizontal direction shown by the arrow Y, By this, the washing | cleaning of the whole area of the one end surface (nozzle surface) 2 of the inkjet head 1 is carried out. Done.

この場合、洗浄移動ユニット4が矢印Yで示す横方向に移動している途中において、真空ノズル5の吸引口7とインクジェットヘッド1の液状材料噴出口3とが対面した時点では、真空ノズル5による吸引が一時的に停止される。これにより、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3に対しては、真空ノズル5の吸引口7から直接的に負圧による吸引力が作用しなくなって、真空ノズル5による吸引力が、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、及びこれに起因して液状材料の噴出ノズルの内部に空気が混入することが回避される。なお、真空ノズル5による吸引力を、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定しておけば、上記の一時停止を行なわなくてもよい。その他の作用効果については、上述の第1実施形態と同一である。   In this case, at the time when the suction port 7 of the vacuum nozzle 5 and the liquid material jet port 3 of the inkjet head 1 face each other while the cleaning moving unit 4 is moving in the lateral direction indicated by the arrow Y, the vacuum nozzle 5 Suction is temporarily stopped. Thereby, the suction force due to the negative pressure does not directly act on the liquid material ejection port 3 of the inkjet head 1 from the suction port 7 of the vacuum nozzle 5, and the suction force by the vacuum nozzle 5 is applied to the liquid material ejection port. An improper influence is exerted on the internal pressure of the liquid material in the outlet 3 through the outlet 3, and air is prevented from being mixed into the liquid material jet nozzle due to this. In addition, if the suction force by the vacuum nozzle 5 is set to a strength that does not affect the internal pressure of the liquid material inside the liquid material ejection port 3, it is not necessary to perform the temporary stop. Good. Other functions and effects are the same as those in the first embodiment.

図4(a)は、本発明の第4実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図4(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。なお、図4(a)、(b)に基づくこの第4実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第2実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。   FIG. 4A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. In the description of the inkjet head wiping apparatus according to the fourth embodiment based on FIGS. 4A and 4B, the same reference numerals are used for the same constituent elements as those in the second embodiment, and the details thereof are used. The detailed explanation is omitted.

図4(a)、(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置も、洗浄移動ユニット4が矢印Yで示すように横方向に移動するように構成されており、その関係上、洗浄移動ユニット4の縦方向寸法が、インクジェットヘッド1の縦方向寸法と略同一または僅かにそれよりも長尺とされている。そして、この洗浄移動ユニット4に設けられている真空ノズル5の吸引口7は、横方向が短尺側とされ、且つ縦方向がインクジェットヘッド1の全ての液状材料噴出口3の配列領域と略同一又はそれよりも僅かに長い長尺側とされたスリット状に形成されている。なお、この吸引口7には、邪魔部が形成されていない。   As shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), this inkjet head wiping device is also configured so that the cleaning movement unit 4 moves in the lateral direction as shown by the arrow Y, and the cleaning movement is related to this. The vertical dimension of the unit 4 is substantially the same as or slightly longer than the vertical dimension of the inkjet head 1. The suction port 7 of the vacuum nozzle 5 provided in the cleaning moving unit 4 has a lateral direction on the short side and a longitudinal direction substantially the same as the arrangement region of all the liquid material ejection ports 3 of the inkjet head 1. Or it is formed in the slit shape made into the long side slightly longer than it. The suction port 7 is not formed with a baffle.

更に、この洗浄移動ユニット4は、真空ノズル5に加えて、空気や窒素等の気体をインクジェットヘッド1の一端面2に噴射供給するための気体噴射ノズル9を有している。そして、インクジェットヘッド1の一端面2における気体噴射ノズル9による気体噴射領域と真空ノズル5による吸引領域とは略一致しており、詳しくは、気体噴射領域は吸引領域の全てを包含している。気体噴射ノズル9の気体噴射口10は、横方向に短尺で且つ縦方向に長尺なスリット状に形成され、且つ、単一の吸引口7を中心してその横方向両側に2つの気体噴射口10が形成されている。なお、この真空ノズル5の吸引口7にも、邪魔部は形成されていない。   In addition to the vacuum nozzle 5, the cleaning / moving unit 4 has a gas injection nozzle 9 for supplying a gas such as air or nitrogen to the one end surface 2 of the inkjet head 1. The gas injection region by the gas injection nozzle 9 and the suction region by the vacuum nozzle 5 on the one end surface 2 of the ink jet head 1 substantially coincide with each other. Specifically, the gas injection region includes the entire suction region. The gas injection port 10 of the gas injection nozzle 9 is formed in a slit shape that is short in the horizontal direction and long in the vertical direction, and has two gas injection ports on both sides in the horizontal direction around the single suction port 7. 10 is formed. It should be noted that no disturbing portion is formed in the suction port 7 of the vacuum nozzle 5.

そして、この第4実施形態の洗浄移動ユニット4の詳細な構成は、図4(b)に示す側面図については、図2(a)に示す正面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明と同一であり、また図4(a)に示す正面図については、図2(b)に示す側面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明(邪魔部8の説明を除く)と同一である。   And the detailed structure of the washing | cleaning movement unit 4 of this 4th Embodiment is "vertical direction" and "lateral direction" in the front view shown to Fig.2 (a) about the side view shown in FIG.4 (b). 4 is the same as described above, and for the front view shown in FIG. 4 (a), “vertical direction” and “lateral direction” in the side view shown in FIG. This is the same as the above description (excluding the description of the baffle unit 8) in the case of mutual conversion.

この第4実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド1の一端面2つまり液状材料噴出口3及びその周辺に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット4の気体噴射ノズル9から噴射される気体によって、それらの異物等の剥離が促進されつつ、真空ノズル5から作用する負圧によって、それらの異物等が真空ノズル5内に吸引される。そして、この洗浄移動ユニット4が、このような動作を行ないつつ、矢印Yで示す横方向に移動していくことにより、インクジェットヘッド1の一端面(ノズル面)2の全域又は略全域の洗浄が行われる。   According to the configuration of the fourth embodiment, one end surface 2 of the ink jet head 1, that is, the liquid material ejection port 3 and foreign matters such as solidified film material and dust adhering to the periphery of the liquid are discharged from the cleaning moving unit 4. While the exfoliation of these foreign matters and the like is promoted by the gas injected from the injection nozzle 9, the foreign matters and the like are sucked into the vacuum nozzle 5 by the negative pressure acting from the vacuum nozzle 5. Then, the cleaning moving unit 4 performs the above operation while moving in the lateral direction indicated by the arrow Y, thereby cleaning the entire area or substantially the entire area of the one end surface (nozzle surface) 2 of the inkjet head 1. Done.

この場合、洗浄移動ユニット4が矢印Yで示す横方向に移動している途中において、真空ノズル5の吸引口7及び気体噴射ノズル9の気体噴射口10と、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3とが対面した時点では、真空ノズル5による吸引及び気体噴射ノズル9による噴射が一時的に停止される。これによる利点は、真空ノズル5に関しては既に述べた通りであるが、気体噴射ノズル9に関しては、インクジェットヘッド1の液状材料噴出口3に対して、気体噴射口10から直接的に気体が噴射供給されなくなることにより、気体噴射口10から噴射供給された気体が、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、或いは液状材料を飛散させることを回避できることになる。なお、真空ノズル5による吸引力を、液状材料噴出口3を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定しておけば、真空ノズル5の吸引については、上記の一時停止を行なわなくてもよい。その他の作用効果については、上述の第2実施形態と同一である。   In this case, while the cleaning movement unit 4 is moving in the lateral direction indicated by the arrow Y, the suction port 7 of the vacuum nozzle 5, the gas injection port 10 of the gas injection nozzle 9, and the liquid material injection port 3 of the inkjet head 1. At the time of facing, suction by the vacuum nozzle 5 and injection by the gas injection nozzle 9 are temporarily stopped. The advantages of this are as already described for the vacuum nozzle 5, but for the gas injection nozzle 9, gas is directly supplied from the gas injection port 10 to the liquid material injection port 3 of the inkjet head 1. By not being performed, it is possible to avoid that the gas injected and supplied from the gas injection port 10 has an undue influence on the internal pressure of the liquid material inside the liquid material injection port 3 or the liquid material is scattered. . In addition, if the suction force by the vacuum nozzle 5 is set to a strength that does not affect the internal pressure of the liquid material inside the liquid material ejection port 3, the suction of the vacuum nozzle 5 is as described above. There is no need to temporarily stop. Other functions and effects are the same as those of the second embodiment described above.

図5(a)は、本発明の第5実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略平面図、図5(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図5(c)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。この第5実施形態は、複数個のインクジェットヘッド1を縦方向に千鳥状に配設してなる大型プリンタ或いは大型配向膜形成装置に係るものである。なお、図5(a)、(b)、(c)に基づくこの第5実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第1実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。   FIG. 5A is a schematic plan view showing an inkjet head wiping apparatus according to a fifth embodiment of the present invention, FIG. 5B is a schematic front view showing the inkjet head wiping apparatus, and FIG. It is a schematic side view which shows the inkjet head wiping apparatus. The fifth embodiment relates to a large printer or a large alignment film forming apparatus in which a plurality of inkjet heads 1 are arranged in a staggered pattern in the vertical direction. In the description of the inkjet head wiping device according to the fifth embodiment based on FIGS. 5 (a), (b), and (c), the same reference numerals are used for the same constituent elements as those in the first embodiment. Detailed description thereof will be omitted.

図5(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置は、矢印Xで示すように縦方向に移動可能な洗浄移動ユニット4を備え、この洗浄移動ユニット4に設けられている真空ノズル5の正面視形態については、図1(a)の正面図に基づいて既に説明した内容と同一である。そして、この第5実施形態では、図5(a)、(c)に示すように、洗浄移動ユニット4が2列のインクジェットヘッド1に跨るように配置されると共に、この洗浄移動ユニット4には、インクジェットヘッド1の2列配列に伴って、2つの真空ノズル5が並列に設けられている。この場合、2つの真空ノズル5は、1本の吸引通路6に合流された上で図外の負圧源に通じている。そして、個々の真空ノズル5の吸引口7の構成、及びこれらと各列毎のインクジェットヘッド1との相対関係については、既述の第1実施形態と同一である。   As shown in FIG. 5 (b), the inkjet head wiping apparatus includes a cleaning movement unit 4 that can move in the vertical direction as indicated by an arrow X, and the vacuum nozzle 5 provided in the cleaning movement unit 4. About the front view form, it is the same as the content already demonstrated based on the front view of Fig.1 (a). In the fifth embodiment, as shown in FIGS. 5A and 5C, the cleaning movement unit 4 is disposed so as to straddle the two rows of inkjet heads 1, and the cleaning movement unit 4 includes The two vacuum nozzles 5 are provided in parallel with the two-row arrangement of the inkjet heads 1. In this case, the two vacuum nozzles 5 are joined to one suction passage 6 and then communicated with a negative pressure source (not shown). The configuration of the suction ports 7 of the individual vacuum nozzles 5 and the relative relationship between these and the inkjet heads 1 for each column are the same as those in the first embodiment described above.

この第5実施形態の構成によれば、2列に配列された複数のインクジェットヘッド1に対して、単一の洗浄移動ユニット4を矢印Xで示す縦方向に移動させるだけで、全てのインクジェットヘッド1の一端面2に対する負圧吸引による洗浄を一挙に行なうことが可能となる。なお、この場合には、単一の洗浄移動ユニット4を縦方向Xに移動させていく間に、洗浄移動ユニット4とインクジェットヘッド1とが対面しない箇所が交互に出現する関係上、2つの真空ノズル5による吸引を交互に一時停止させることが好ましい。その他の作用効果については、既述の第1実施形態と同様である。   According to the configuration of the fifth embodiment, all the inkjet heads can be obtained simply by moving the single cleaning movement unit 4 in the vertical direction indicated by the arrow X with respect to the plurality of inkjet heads 1 arranged in two rows. It is possible to perform cleaning by negative pressure suction on one end surface 2 of 1 at a time. Note that in this case, two vacuums are used because locations where the cleaning moving unit 4 and the inkjet head 1 do not face each other appear alternately while the single cleaning moving unit 4 is moved in the vertical direction X. It is preferable to temporarily stop the suction by the nozzles 5 alternately. Other functions and effects are the same as those of the first embodiment described above.

なお、この第5実施形態では、洗浄移動ユニット4に、真空ノズル5のみを並列に2つ設ける構成としたが、図2に示す構成を利用して、真空ノズル5と気体噴射ノズル9とを並列に2セットずつ設けるようにしてもよい。そして、2列に千鳥状に配列された複数のインクジェットヘッド1のそれぞれに対して、図1または図2に示す洗浄移動ユニット4を個別に配設して洗浄をするように構成してもよい。   In addition, in this 5th Embodiment, it was set as the structure which provides only two vacuum nozzles 5 in parallel in the washing | cleaning movement unit 4, However, The vacuum nozzle 5 and the gas injection nozzle 9 are utilized using the structure shown in FIG. Two sets may be provided in parallel. Then, each of the plurality of inkjet heads 1 arranged in a staggered pattern in two rows may be configured to be cleaned by separately disposing the cleaning moving unit 4 shown in FIG. 1 or FIG. .

図1(a)は、本発明の第1実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図1(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。FIG. 1A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. 図2(a)は、本発明の第2実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図2(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。FIG. 2A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. 図3(a)は、本発明の第3実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図3(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。FIG. 3A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. 図4(a)は、本発明の第4実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図4(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。FIG. 4A is a schematic front view showing an inkjet head wiping apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a schematic side view showing the inkjet head wiping apparatus. 図5(a)は、本発明の第5実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略平面図、図5(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図5(c)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。FIG. 5A is a schematic plan view showing an inkjet head wiping apparatus according to a fifth embodiment of the present invention, FIG. 5B is a schematic front view showing the inkjet head wiping apparatus, and FIG. It is a schematic side view which shows the inkjet head wiping apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 インクジェットヘッド
2 一端面(ノズル面)
3 液状材料噴出口
4 洗浄移動ユニット
5 真空ノズル
7 吸引口
9 気体噴射ノズル
10 気体噴射口
1 Inkjet head 2 One end surface (nozzle surface)
3 Liquid material jet 4 Cleaning and moving unit 5 Vacuum nozzle 7 Suction port 9 Gas jet nozzle
10 Gas injection port

Claims (5)

インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び/又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、
前記液状材料噴出口及び/又はその周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドから完全に分離して非接触に維持されるように構成したことを特徴とするインクジェットヘッドワイピング装置。
In an inkjet head wiping apparatus for cleaning a liquid material jetting port of an inkjet head and / or its periphery,
A cleaning / moving unit having a vacuum nozzle that generates a suction force due to negative pressure around the liquid material ejection port and / or its periphery, and all the components of the cleaning / moving unit being completely movable from the inkjet head. An ink-jet head wiping apparatus characterized by being configured to be separated and maintained in a non-contact state.
インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び/又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、
前記液状材料噴出口及び/又はその周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルと前記液状材料噴出口及び/又はその周辺に気体を噴射供給する気体噴射ノズルとを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドワイピング装置。
In an inkjet head wiping apparatus for cleaning a liquid material jetting port of an inkjet head and / or its periphery,
A vacuum nozzle that generates a suction force due to negative pressure around the liquid material jet outlet and / or its periphery, and a gas jet nozzle that jets gas to the liquid material jet outlet and / or its periphery, and for the inkjet head An inkjet head wiping apparatus comprising a cleaning movement unit that is relatively movable.
前記真空ノズルと気体噴射ノズルとを有する洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成したことを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドワイピング装置。   The inkjet head wiping apparatus according to claim 2, wherein the cleaning and moving unit having the vacuum nozzle and the gas jet nozzle is configured such that all the components thereof are maintained in contact with the inkjet head. 前記気体噴射ノズルの気体噴射口を、前記インクジェットヘッドの液状材料噴出口に対面する位置から偏倚した位置に配置させるように構成したことを特徴とする請求項2または3に記載のインクジェットヘッドワイピング装置。   The inkjet head wiping device according to claim 2 or 3, wherein the gas ejection port of the gas ejection nozzle is arranged at a position deviated from a position facing the liquid material ejection port of the inkjet head. . 請求項1〜4の何れかに記載のインクジェットヘッドワイピング装置が、基板上に配向膜を形成するためのインクジェットヘッドに設けられるものであることを特徴とする配向膜形成装置のインクジェットヘッドワイピング装置。   An inkjet head wiping apparatus for an alignment film forming apparatus, wherein the inkjet head wiping apparatus according to claim 1 is provided in an inkjet head for forming an alignment film on a substrate.
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