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JP2005141934A - Image display device, its manufacturing method, and electronic apparatus - Google Patents

Image display device, its manufacturing method, and electronic apparatus Download PDF

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JP2005141934A
JP2005141934A JP2003374448A JP2003374448A JP2005141934A JP 2005141934 A JP2005141934 A JP 2005141934A JP 2003374448 A JP2003374448 A JP 2003374448A JP 2003374448 A JP2003374448 A JP 2003374448A JP 2005141934 A JP2005141934 A JP 2005141934A
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Japan
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image display
fuel cell
display device
layer
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Yoshiharu Ajiki
嘉晴 安食
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Seiko Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image display device formed by disposing a plurality of electroluminescent elements on a transparent substrate, the power loss of which is reduced as far as possible by providing a fuel cell for every luminescent element as a power supply source, a manufacturing method of the image display device, and an electronic apparatus provided with the image display device. <P>SOLUTION: In this image display device, a plurality of the electroluminescent elements are formed on the transparent substrate, and an image is displayed by luminescence of the luminescent element, and at least one of a plurality of the luminescent elements is provided with a fuel cell as a power supply source. In this manufacturing method of the image display device, the fuel cell of the image display device is formed by a forming method including a process using a discharge device, and this electronic apparatus is provided with the image display device. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、基板上に発光素子が複数個形成されてなる画像表示装置であって、前記発光素子が電力供給源として燃料電池を備える画像表示装置に関する。   The present invention relates to an image display apparatus in which a plurality of light-emitting elements are formed on a substrate, and the light-emitting element includes a fuel cell as a power supply source.

近年、自発光型ディスプレイとして、陽極と陰極との間に有機物からなる発光層を設けた構造の発光素子(有機EL素子)を画素に対応させて備える有機ELディスプレイが、次世代ディスプレイとして脚光を浴びている。この有機ELディスプレイは、透明基板上に形成された複数の有機EL素子のマトリクスを用いてディスプレイパネルを構築し、このパネル上に、薄膜トランジスタ(TFT)を用いる駆動回路が一体的に設けられている。このような有機EL素子の駆動方式としては、個々の画素に薄膜トランジスタ(TFT)からなるスイッチング回路を設けるアクティブマトリクス方式が知られている。   In recent years, as a self-luminous display, an organic EL display including a light emitting element (organic EL element) having a structure in which a light emitting layer made of an organic material is provided between an anode and a cathode corresponding to a pixel has been attracting attention as a next generation display. I'm bathing. In this organic EL display, a display panel is constructed using a matrix of a plurality of organic EL elements formed on a transparent substrate, and a driving circuit using a thin film transistor (TFT) is integrally provided on the panel. . As an organic EL element driving method, an active matrix method in which a switching circuit including a thin film transistor (TFT) is provided in each pixel is known.

また、有機ELディスプレイの製造方法としては、有機ELディスプレイの正孔注入層及び発光層をインクジェット式の吐出装置を使用して形成するものが知られている(特許文献1〜3等参照)。   Further, as a method for producing an organic EL display, there is known a method in which a hole injection layer and a light emitting layer of an organic EL display are formed using an ink jet type ejection device (see Patent Documents 1 to 3, etc.).

従来のアクティブマトリクス方式の有機EL素子画素駆動回路の一例を図19に示す。図19中、Vddは電源を、Vdはデータ電圧信号を送る信号線を、Vsは選択電圧信号を送る走査線を、Cstは蓄積容量素子を、T1、T2は薄膜トランジスタ(TFT)を、OELDは有機EL素子をそれぞれ示す。この駆動回路では、T1において、VdとVsとからの電気信号により画素が選択され、T2において、T1からのデータ電圧信号を指定の輝度で有機EL素子を発光させるための駆動電流に変換される。データ電圧信号Vdからは画素が選択されていないときには、蓄積容量素子Cstに保存される。図19に示す駆動回路は一つの画素駆動回路を示しているが、Vdd、Vd及びVsは他の画素とマトリクス状に電気的に接続されており、マトリクス状に配線層が形成されている。   An example of a conventional active matrix type organic EL element pixel drive circuit is shown in FIG. In FIG. 19, Vdd is a power supply, Vd is a signal line for sending a data voltage signal, Vs is a scanning line for sending a selection voltage signal, Cst is a storage capacitor element, T1 and T2 are thin film transistors (TFTs), and OELD is Each of the organic EL elements is shown. In this drive circuit, a pixel is selected by an electrical signal from Vd and Vs at T1, and a data voltage signal from T1 is converted into a drive current for causing the organic EL element to emit light with a specified luminance at T2. . When no pixel is selected from the data voltage signal Vd, it is stored in the storage capacitor element Cst. The driver circuit shown in FIG. 19 shows one pixel driver circuit, but Vdd, Vd, and Vs are electrically connected to other pixels in a matrix, and a wiring layer is formed in a matrix.

ところで、近年の有機ELディスプレイにおいては、より高精細な表示機能が求められており、そのためには画素数を多くする必要がある。
しかしながら、アクティブマトリクス方式等の有機ELディスプレイにおいては、画素数が多くなると、各画素間を連結する配線が複雑になり、配線容量が増大し、電力損失が大きくなるという問題があった。
By the way, in recent organic EL displays, a higher-definition display function is required. For this purpose, it is necessary to increase the number of pixels.
However, in the organic EL display of the active matrix system or the like, when the number of pixels is increased, there is a problem that wiring for connecting the pixels becomes complicated, wiring capacity increases, and power loss increases.

特開平10−12377号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-12377 特開平10−153967号公報JP-A-10-153967 特開2003−260396号公報JP 2003-260396 A

本発明は、上記した従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、基板上に電界発光素子が複数形成されてなる画像表示装置であって、電力供給源として各発光素子毎にそれぞれ燃料電池を備えることにより、電力損失を極力少なくした画像表示装置、この画像表示装置の製造方法、及び前記画像表示装置を備える電子機器を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and is an image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate, each of which is a fuel cell as a power supply source for each light emitting element. It is an object of the present invention to provide an image display device that reduces power loss as much as possible, a method for manufacturing the image display device, and an electronic device including the image display device.

本発明者は、基板上に電界発光素子が複数形成され、該発光素子の発光によって画像を表示する画像表示装置について鋭意研究した。その結果、前記複数の発光素子のそれぞれに電力供給源として燃料電池を配置することにより、各画素間を連結する配線を少なくすることができ、電力消費量の少ない画像表示装置を得ることができること、また、このような構造の画像表示装置は、吐出装置を用いることにより効率よく製造することができることを見出し、本発明を完成するに至った。   The inventor has intensively studied an image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate and an image is displayed by light emission of the light emitting elements. As a result, by disposing a fuel cell as a power supply source in each of the plurality of light emitting elements, it is possible to reduce the number of wirings connecting the pixels and to obtain an image display device with low power consumption. In addition, the present inventors have found that an image display device having such a structure can be efficiently manufactured by using a discharge device, and has completed the present invention.

かくして本発明の第1によれば、基板上に電界発光素子が複数形成されてなる画像表示装置であって、前記複数の発光素子のうち少なくとも一つは、電力供給源として燃料電池を備えることを特徴とする画像表示装置が提供される。
本発明の画像表示装置においては、前記発光素子が、画素電極、反射電極及び前記画素電極と反射電極との間に設けられた発光層とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子であるのが好ましい。
Thus, according to the first aspect of the present invention, there is provided an image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate, wherein at least one of the plurality of light emitting elements includes a fuel cell as a power supply source. An image display device is provided.
In the image display device of the present invention, the light emitting element is preferably an organic electroluminescence element having a pixel electrode, a reflective electrode, and a light emitting layer provided between the pixel electrode and the reflective electrode.

本発明の画像表示装置は、基板上に電界発光素子が複数形成されてなる画像表示装置であって、前記基板上に形成された画素電極と、前記画素電極上に形成された正孔注入層と、前記正孔注入層上に形成された発光層と、前記発光層を挟んで前記画素電極と対向する位置に形成された反射電極と、前記画素電極と前記反射電極とに電気的に接続された燃料電池とを備えることを特徴とする画像表示装置であるのが好ましい。
本発明の画像表示装置においては、前記燃料電池を、前記画素電極及び反射電極の上部に、電力供給源として各発光素子毎にそれぞれ燃料電池を備えることを特徴とする画像表示装置であるのが好ましい。
The image display device of the present invention is an image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate, the pixel electrode formed on the substrate, and the hole injection layer formed on the pixel electrode And a light emitting layer formed on the hole injection layer, a reflective electrode formed at a position facing the pixel electrode across the light emitting layer, and electrically connected to the pixel electrode and the reflective electrode It is preferable that the image display device is provided with a fuel cell.
In the image display device of the present invention, the fuel cell is provided with a fuel cell for each light emitting element as a power supply source above the pixel electrode and the reflective electrode. preferable.

本発明の第2によれば、本発明の画像表示装置の製造方法であって、該画像表示装置の燃料電池を、吐出装置を用いる工程を含む形成方法により形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法が提供される。
本発明の第3によれば、本発明の画像表示装置を備えることを特徴とする電子機器が提供される。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an image display device manufacturing method according to the present invention, wherein the fuel cell of the image display device is formed by a forming method including a step of using a discharge device. A method of manufacturing a device is provided.
According to a third aspect of the present invention, there is provided an electronic apparatus comprising the image display device according to the present invention.

本発明の画像表示装置は、電界発光素子を発光させるための電力供給源として燃料電池を備えているので、電界発光素子に電力を供給するための複雑な配線が不要となる。したがって、画素数が増加しても、画素間を連結する配線数を少なくでき、配線容量が小さくなり、結果として電力損失を少なくすることができる。
本発明の画像表示装置の製造方法によれば、吐出装置を用いて燃料電池を形成するので、各燃料電池間で均一で出力ムラのない燃料電池を備える画像表示装置を低コストで製造することができる。
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えるので、消費電力が少なく、高精細な画像を得ることができる表示装置を備える電子機器である。
Since the image display apparatus of the present invention includes a fuel cell as a power supply source for causing the electroluminescent element to emit light, a complicated wiring for supplying electric power to the electroluminescent element becomes unnecessary. Therefore, even if the number of pixels increases, the number of wirings connecting the pixels can be reduced, wiring capacity can be reduced, and as a result, power loss can be reduced.
According to the method for manufacturing an image display device of the present invention, since the fuel cell is formed using the discharge device, an image display device including a fuel cell that is uniform between the fuel cells and has no output unevenness is manufactured at low cost. Can do.
Since the electronic device of the present invention includes the image display device of the present invention, the electronic device includes the display device that consumes less power and can obtain a high-definition image.

1)画像表示装置
本発明の画像表示装置は、基板上に電界発光素子が複数形成されてなる画像表示装置であって、前記複数の発光素子のうち少なくとも一つは電力供給源として燃料電池を備えることを特徴とする。
1) Image Display Device An image display device according to the present invention is an image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate, and at least one of the plurality of light emitting elements includes a fuel cell as a power supply source. It is characterized by providing.

本発明の画像表示装置としては、前記複数の発光素子のうち少なくとも一つは電力供給源として燃料電池を備えるものであればよく、例えば、(i)画像表示装置全体として一つの燃料電池を備えるもの、(ii)前記複数の発光素子の一定数毎(例えば、赤色(R)の発色層、緑色(G)の発色層、及び青色(B)の発色層をそれぞれ有する3種類の電界発光素子毎)に一つの燃料電池を備えるもの、(iii)前記複数の発光素子毎に燃料電池を備えるもの等が挙げられる。これらの中でも、配線数を減らすことにより、配線容量を減少させて、消費電力の少ない画像表示装置が得られることから、(ii)又は(iii)のタイプの画像表示装置が好ましい。   The image display device of the present invention may be any device as long as at least one of the plurality of light emitting elements includes a fuel cell as a power supply source. For example, (i) the entire image display device includes one fuel cell. And (ii) three types of electroluminescent elements each having a certain number of the light emitting elements (for example, a red (R) coloring layer, a green (G) coloring layer, and a blue (B) coloring layer). And (iii) those having a fuel cell for each of the plurality of light emitting elements. Among these, the image display device of the type (ii) or (iii) is preferable because an image display device with low power consumption can be obtained by reducing the wiring capacity by reducing the number of wires.

本発明の画像表示装置の一例を図1に示す。図1に示す画像表示装置は、発光領域(EA)が複数個配置されてなる。各発光領域(EA)は信号線(Vd)と走査線(Vs)とに連結されてなり、スイッチの役割を果す薄膜トランジスタ(TFT)を介して、燃料電池(FC)と接続されている。発光領域(EA)は、マトリクス上に配置された発光素子によって形成された領域であり、有効表示領域とも称される。図1に示す画像表示装置は、信号線(Vd)と走査線(Vs)からの信号に基づいて薄膜トランジスタ(TFT)がONになると、燃料電池(FC)が発電する電力により発光素子が発光して画像が表示される。   An example of the image display apparatus of the present invention is shown in FIG. The image display apparatus shown in FIG. 1 has a plurality of light emitting areas (EA). Each light emitting area (EA) is connected to a signal line (Vd) and a scanning line (Vs), and is connected to a fuel cell (FC) through a thin film transistor (TFT) that serves as a switch. The light emitting area (EA) is an area formed by light emitting elements arranged on a matrix, and is also referred to as an effective display area. In the image display device shown in FIG. 1, when the thin film transistor (TFT) is turned on based on signals from the signal line (Vd) and the scanning line (Vs), the light emitting element emits light by the power generated by the fuel cell (FC). Image is displayed.

電界発光素子は、エレクトロルミネッセンス(EL)素子とも称されるものである。基板上に形成された透明電極と金属電極との間に、エレクトロルミネッセンス発光体(EL発光体)が塗布された発光層を設けた構造を有する発光素子である。この発光素子は、発光層の上下に形成された電極により電界が印加されることで、励起されたEL発光体中の発光中心が元の状態に戻る際に発光する現象(エレクトロルミネッセンス)を利用するものである。   An electroluminescent element is also called an electroluminescence (EL) element. The light-emitting element has a structure in which a light-emitting layer coated with an electroluminescent light-emitting body (EL light-emitting body) is provided between a transparent electrode and a metal electrode formed on a substrate. This light-emitting element utilizes a phenomenon (electroluminescence) that emits light when an emission center in an excited EL light-emitting element returns to its original state by applying an electric field by electrodes formed above and below the light-emitting layer. To do.

電界発光素子としては、硫化亜鉛などの金属化合物を発光体として用いる無機EL素子、有機化合物を発光体として用いる有機EL素子等が挙げられるが、入手容易性、多様性及び軽量性などの観点から有機EL素子が好ましい。   Examples of the electroluminescent element include an inorganic EL element using a metal compound such as zinc sulfide as a light emitter, an organic EL element using an organic compound as a light emitter, and the like from the viewpoints of availability, diversity, and lightness. Organic EL elements are preferred.

図1に示す画像表示装置の画素駆動回路図を図2に示す。図2に示す回路においては、信号線(Vd)と走査線(Vs)との信号により、第1の薄膜トランジスタ(T1)及び第2の薄膜トランジスタ(T2)がともにONになると、燃料電池(FC)からの電流が有機EL素子(OELD)に流れ、有機EL素子(OELD)が発光するようになっている。また、第1の薄膜トランジスタ(T1)がONで、第2の薄膜トランジスタ(T2)がOFFの場合には、電流は蓄積容量素子(Cst)に蓄えられる。   FIG. 2 shows a pixel drive circuit diagram of the image display apparatus shown in FIG. In the circuit shown in FIG. 2, when both the first thin film transistor (T1) and the second thin film transistor (T2) are turned on by signals from the signal line (Vd) and the scanning line (Vs), the fuel cell (FC). Current flows through the organic EL element (OELD), and the organic EL element (OELD) emits light. Further, when the first thin film transistor (T1) is ON and the second thin film transistor (T2) is OFF, the current is stored in the storage capacitor element (Cst).

図1に示す画像表示装置の構造断面図を図3に示す。なお、図3では、説明を簡略化するべく、単一の画素についてのみ図示する。
図3に示す画像表示装置は、基板1上に形成された薄膜トランジスタ2と、薄膜トランジスタ2と接続された画素電極(陽極)4と、画素電極4上に形成された正孔注入層6と、正孔注入層6上に形成された発光層8と、発光層8上に形成された反射電極(陰極)9とを有する。また、反射電極9の上部には燃料電池(FC)が配置され、燃料電池の一方は、配線13を介して反射電極9と接続され、他方は配線11を介して画素電極4と接続されている。
FIG. 3 shows a sectional view of the structure of the image display device shown in FIG. In FIG. 3, only a single pixel is shown for the sake of simplicity.
3 includes a thin film transistor 2 formed on a substrate 1, a pixel electrode (anode) 4 connected to the thin film transistor 2, a hole injection layer 6 formed on the pixel electrode 4, and a positive electrode. It has a light emitting layer 8 formed on the hole injection layer 6 and a reflective electrode (cathode) 9 formed on the light emitting layer 8. A fuel cell (FC) is disposed above the reflective electrode 9. One of the fuel cells is connected to the reflective electrode 9 through the wiring 13, and the other is connected to the pixel electrode 4 through the wiring 11. Yes.

2)画像表示装置の製造方法
本発明の画像表示装置の製造方法は、本発明の画像表示装置を製造する方法であって、該画像表示装置の燃料電池を、吐出装置を用いる工程を含む形成方法により形成することを特徴とする。
2) Manufacturing method of image display device The manufacturing method of the image display device of the present invention is a method of manufacturing the image display device of the present invention, and the fuel cell of the image display device includes a step of using a discharge device. It is formed by a method.

本発明の画像表示装置を製造する際に用いられるインクジェット式の吐出装置20aの構成の概略を図4に示す。この吐出装置20aは、基板上に吐出物を吐出するインクジェットヘッド22を備えている。このインクジェットヘッド22は、ヘッド本体24及び吐出物を吐出する多数のノズルが形成されているノズル形成面26を備えている。また、吐出装置20aは、基板を載置するテーブル28を備えている。このテーブル28は、所定の方向、例えば、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能に設置されている。また、テーブル28は、図中矢印で示すようにX軸に沿った方向に移動することにより、搬送されてくる基板をテーブル28上に載置して吐出装置20a内に取り込む。   FIG. 4 shows an outline of the configuration of an ink jet type ejection device 20a used when manufacturing the image display device of the present invention. The ejection device 20a includes an inkjet head 22 that ejects an ejected material onto a substrate. The ink jet head 22 includes a head main body 24 and a nozzle forming surface 26 on which a large number of nozzles for discharging discharged matter are formed. Further, the ejection device 20a includes a table 28 on which a substrate is placed. The table 28 is installed to be movable in a predetermined direction, for example, the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. Further, the table 28 moves in the direction along the X axis as indicated by an arrow in the drawing, whereby the substrate to be conveyed is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20a.

インクジェットヘッド22には、ノズル形成面26に形成されているノズルから吐出される吐出物を収容するタンク30が接続されている。即ち、タンク30とインクジェットヘッド22とは、吐出物を搬送する吐出物搬送管32によって接続されている。また、この吐出物搬送管32は、吐出物搬送管32の流路内の帯電を防止するための吐出物流路部アース継手32aとヘッド部気泡排除弁32bとを備えている。   The inkjet head 22 is connected to a tank 30 that stores the discharge material discharged from the nozzles formed on the nozzle forming surface 26. In other words, the tank 30 and the inkjet head 22 are connected by a discharge material transport pipe 32 that transports the discharge material. In addition, the discharge material transport pipe 32 includes a discharge material flow path portion ground joint 32a and a head portion bubble elimination valve 32b for preventing charging in the flow path of the discharge material transport pipe 32.

ヘッド部気泡排除弁32bは、後述する吸引キャップ40により、インクジェットヘッド22内の吐出物を吸引する場合に用いられる。即ち、吸引キャップ40によりインクジェットヘッド22内の吐出物を吸引するときは、このヘッド部気泡排除弁32bを閉状態にし、タンク30側から吐出物が流入しない状態にする。そして、吸引キャップ40で吸引すると、吸引される吐出物の流速が上がり、インクジェットヘッド22内の気泡が速やかに排出されることになる。   The head part bubble elimination valve 32b is used when suctioning the discharged material in the inkjet head 22 by the suction cap 40 described later. That is, when sucking the discharged material in the ink jet head 22 by the suction cap 40, the head part bubble elimination valve 32b is closed so that the discharged material does not flow from the tank 30 side. Then, when suction is performed with the suction cap 40, the flow rate of the suctioned product is increased, and the bubbles in the inkjet head 22 are quickly discharged.

吐出装置20aは、タンク30内に収容されている吐出物の収容量、即ち、タンク30内に収容されている吐出物の液面34aの高さを制御するための液面制御センサ36を備えている。この液面制御センサ36は、インクジェットヘッド22が備えるノズル形成面26の先端部26aとタンク30内の液面34aとの高さの差h(以下、水頭値という)を所定の範囲内に保つ制御を行う。液面34aの高さを制御することで、タンク30内の吐出物34が所定の範囲内の圧力でインクジェットヘッド22に送られることになる。そして、所定の範囲内の圧力で吐出物34を送ることで、インクジェットヘッド22から安定的に吐出物34を吐出することができる。   The discharge device 20 a includes a liquid level control sensor 36 for controlling the amount of discharge material stored in the tank 30, that is, the height of the liquid level 34 a of the discharge material stored in the tank 30. ing. The liquid level control sensor 36 keeps the height difference h (hereinafter referred to as the water head value) between the tip end portion 26a of the nozzle forming surface 26 of the inkjet head 22 and the liquid level 34a in the tank 30 within a predetermined range. Take control. By controlling the height of the liquid level 34a, the discharge 34 in the tank 30 is sent to the inkjet head 22 with a pressure within a predetermined range. Then, the ejected material 34 can be stably ejected from the inkjet head 22 by sending the ejected material 34 at a pressure within a predetermined range.

インクジェットヘッド22のノズル形成面26に対向して一定の距離を隔てて、インクジェットヘッド22のノズル内の吐出物を吸引する吸引キャップ40が配置されている。この吸引キャップ40は、図4中に矢印で示すZ軸に沿った方向に移動可能に構成されており、ノズル形成面26に形成された複数のノズルを囲むようにノズル形成面26に密着し、ノズル形成面26との間に密閉空間を形成してノズルを外気から遮断できる構成となっている。なお、吸引キャップ40によるインクジェットヘッド22のノズル内の吐出物の吸引は、インクジェットヘッド22が吐出物34を吐出をしていない状態、例えば、インクジェットヘッド22が、退避位置等に退避しており、テーブル28が破線で示す位置に退避しているときに行われる。   A suction cap 40 that sucks the discharged material in the nozzles of the inkjet head 22 is disposed at a certain distance from the nozzle formation surface 26 of the inkjet head 22. The suction cap 40 is configured to be movable in the direction along the Z-axis indicated by an arrow in FIG. 4, and is in close contact with the nozzle forming surface 26 so as to surround a plurality of nozzles formed on the nozzle forming surface 26. In addition, a sealed space is formed between the nozzle forming surface 26 and the nozzle can be blocked from outside air. In addition, the suction of the ejected matter in the nozzle of the inkjet head 22 by the suction cap 40 is in a state where the inkjet head 22 is not ejecting the ejected material 34, for example, the inkjet head 22 is retracted to a retracted position or the like. This is performed when the table 28 is retracted to a position indicated by a broken line.

また、この吸引キャップ40の下方には、流路が設けられており、この流路には、吸引バルブ42、吸引異常を検出する吸引圧検出センサ44及びチューブポンプ等からなる吸引ポンプ46が配置されている。また、この吸引ポンプ46等で吸引され、流路を搬送されてきた吐出物34は、廃液タンク48内に収容される。   A flow path is provided below the suction cap 40, and a suction valve 42, a suction pressure detection sensor 44 for detecting a suction abnormality, and a suction pump 46 including a tube pump are disposed in the flow path. Has been. Further, the discharge 34 sucked by the suction pump 46 and transported through the flow path is accommodated in a waste liquid tank 48.

以下、図3に示す画像表示装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
以下に述べる画像表示装置の製造方法は、(1)画像表示装置本体を製造するステップと、(2)燃料電池を製造するステップと、(3)得られた燃料電池を画像表示装置本体に組み込むステップとからなり、(1)画像表示装置を製造するステップ、及び(2)燃料電池を製造するステップのいずれにおいても、インクジェット式の吐出装置を用いるものである。
A method for manufacturing the image display device shown in FIG. 3 will be described below with reference to the drawings.
The image display device manufacturing method described below includes (1) a step of manufacturing an image display device body, (2) a step of manufacturing a fuel cell, and (3) incorporating the obtained fuel cell into the image display device body. In any of (1) the step of manufacturing the image display device and (2) the step of manufacturing the fuel cell, an ink jet type discharge device is used.

(1)画像表示装置本体を製造するステップ
まず、基板を用意する。ここで、後述する発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。
発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特に安価なガラス基板が好適に用いられる。
(1) Step of manufacturing image display device main body First, a substrate is prepared. Here, light emitted from a light emitting layer to be described later can be extracted from the substrate side, and can be configured to be extracted from the side opposite to the substrate.
In the case where the emitted light is extracted from the substrate side, a transparent or translucent material such as glass, quartz, or resin is used as the substrate material, but a particularly inexpensive glass substrate is preferably used.

基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。また、基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。
本実施形態では、基板として透明ガラス基板1を用いる。
In the case where the emitted light is extracted from the opposite side of the substrate, the substrate may be opaque. In that case, a ceramic sheet such as alumina, a metal sheet such as stainless steel that has been subjected to insulation treatment such as surface oxidation, thermosetting Resins, thermoplastic resins, and the like can be used. Alternatively, a color filter film, a color conversion film containing a fluorescent material, or a dielectric reflection film may be disposed on the substrate to control the emission color.
In the present embodiment, the transparent glass substrate 1 is used as the substrate.

次に、図5(a)に示すように、透明ガラス基板1上の所定位置に、ポリシリコンを用いる公知の方法により薄膜トランジスタ(TFT)2を形成する。
次いで、図示を省略する層間絶縁膜を形成した後、コンタクトホールを形成し、これらコンタクトホール内に導電性物質を埋め込む。さらに、この層間絶縁膜上に、図示を省略する信号線及び走査線を形成する。
Next, as shown in FIG. 5A, a thin film transistor (TFT) 2 is formed at a predetermined position on the transparent glass substrate 1 by a known method using polysilicon.
Next, after forming an interlayer insulating film (not shown), contact holes are formed, and a conductive material is embedded in these contact holes. Further, signal lines and scanning lines (not shown) are formed on the interlayer insulating film.

そして、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜3を形成し、薄膜トランジスタ(TFT)2と電気的に接続するようにITO膜を形成し、さらにそのITO膜をパターニングして、図示を省略する信号線及び走査線に囲まれた所定位置に画素電極(陽極ともいう)4を形成する。さらに、後述する正孔注入層や発光層の形成場所以外の部分に、絶縁層5を形成する。以上のようにして、図5(b)に示す状態を得る。   Then, an interlayer insulating film 3 is formed so as to cover the upper surface of each wiring, an ITO film is formed so as to be electrically connected to the thin film transistor (TFT) 2, and the ITO film is patterned, and illustration is omitted. A pixel electrode (also referred to as an anode) 4 is formed at a predetermined position surrounded by the signal line and the scanning line. Furthermore, the insulating layer 5 is formed in a portion other than a place where a hole injection layer and a light emitting layer to be described later are formed. The state shown in FIG. 5B is obtained as described above.

次いで、正孔注入層及び発光層の形成場所を囲むように隔壁7を形成する。この隔壁7は仕切部材として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性の有機材料で形成するのが好ましい。隔壁7は、例えば1〜2μmの高さとなるように形成する。また、後述するように、正孔注入層及び発光層は吐出装置を使用して形成するが、隔壁7は、吐出装置から吐出される液状体に対して非親和性を示すものが好ましい。隔壁7に非親和性を発現させるためには、例えば隔壁7の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばCF、SF、CHFなどを用いることができる。また、隔壁7の表面処理方法として、プラズマ処理、UV照射処理などを採用することもできる。このような構成のもとに、正孔注入層や発光層の形成場所、すなわちこれらの形成材料の塗布位置とその周囲の隔壁7との間には、十分な高さの段差が形成される。 Next, the partition wall 7 is formed so as to surround the formation site of the hole injection layer and the light emitting layer. The partition 7 functions as a partition member and is preferably formed of an insulating organic material such as polyimide. The partition wall 7 is formed to have a height of 1 to 2 μm, for example. Further, as will be described later, the hole injection layer and the light emitting layer are formed by using a discharge device, and the partition wall 7 is preferably one that exhibits non-affinity with respect to the liquid material discharged from the discharge device. In order to make the partition wall 7 have non-affinity, for example, a method of surface-treating the surface of the partition wall 7 with a fluorine compound or the like is employed. As the fluorine compound, for example, CF 4 , SF 5 , CHF 3 or the like can be used. Further, as the surface treatment method of the partition walls 7, plasma treatment, UV irradiation treatment, or the like can be adopted. Under such a configuration, a sufficiently high step is formed between the hole injection layer and the light emitting layer forming place, that is, between the application position of these forming materials and the surrounding partition wall 7. .

次に、基板1の上面を上に向けた状態で、正孔注入層の形成材料を吐出装置により、隔壁7に囲まれた部分に選択的に塗布する。
正孔注入層の形成材料としては、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、1,1−ビス−(4−N,N−ジトリルアミノフェニル)シクロヘキサン、トリス(8−ヒドロキシキノリノール)アルミニウム等が挙げられる。このとき、液状の形成材料は、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁7が形成されているので、形成材料は隔壁7を越えてその外側に広がることが防止されている。
Next, with the upper surface of the substrate 1 facing upward, the hole injection layer forming material is selectively applied to a portion surrounded by the partition walls 7 by a discharge device.
As a material for forming the hole injection layer, polyphenylene vinylene whose polymer precursor is polytetrahydrothiophenylphenylene, 1,1-bis- (4-N, N-ditolylaminophenyl) cyclohexane, tris (8-hydroxyquinolinol) ) Aluminum and the like. At this time, the liquid forming material tends to spread in the horizontal direction because of its high fluidity. However, since the partition wall 7 is formed so as to surround the applied position, the forming material passes over the partition wall 7 and outside of the partition wall 7. Spreading is prevented.

次いで、加熱あるいは光照射により液状の前駆体の溶媒を蒸発させて、画素電極4上に正孔注入層6を形成する。さらに、基板1の上面を上に向けた状態で、吐出装置よりインクとして発光層の形成材料(発光材料)を正孔注入層6上に選択的に塗布する。   Next, the solvent of the liquid precursor is evaporated by heating or light irradiation, and the hole injection layer 6 is formed on the pixel electrode 4. Further, a light emitting layer forming material (light emitting material) is selectively applied onto the hole injection layer 6 as ink from the discharge device with the upper surface of the substrate 1 facing upward.

発光層の形成材料としては、例えば共役系高分子有機化合物の前駆体と、得られる発光層の発光特性を変化させるための蛍光色素とを含んでなるものが好適に用いられる。共役系高分子有機化合物の前駆体は、蛍光色素等とともに吐出装置から吐出されて薄膜に成形された後、加熱硬化することによって共役系高分子有機EL層となる発光層を生成し得るものをいう。例えば、前駆体のスルホニウム塩の場合、加熱処理されることによりスルホニウム基が脱離し、共役系高分子有機化合物となるもの等が挙げられる。   As a material for forming the light emitting layer, for example, a material containing a precursor of a conjugated polymer organic compound and a fluorescent dye for changing the light emitting characteristics of the light emitting layer to be obtained is preferably used. The precursor of the conjugated polymer organic compound is a material that can form a light emitting layer that becomes a conjugated polymer organic EL layer by being heated and cured after being discharged from a discharge device together with a fluorescent dye or the like into a thin film. Say. For example, in the case of a sulfonium salt as a precursor, there may be mentioned those in which a sulfonium group is eliminated by heat treatment to become a conjugated polymer organic compound.

このような共役系高分子有機化合物は固体で強い蛍光を持ち、均質な固体超薄膜を形成することができる。しかも形成能に富み透明電極との密着性も高い。さらに、このような化合物の前駆体は、硬化した後は強固な共役系高分子膜を形成することから、加熱硬化前においては、前駆体溶液を後述するインクジェットパターニングに適用可能な所望の粘度に調整することができ、簡便かつ短時間で最適条件の膜形成を行うことができる。   Such a conjugated polymer organic compound is solid and has strong fluorescence, and can form a homogeneous solid ultrathin film. In addition, it has high forming ability and high adhesion to the transparent electrode. Furthermore, since the precursor of such a compound forms a strong conjugated polymer film after curing, the precursor solution has a desired viscosity applicable to inkjet patterning described later before heat curing. The film can be formed under optimum conditions easily and in a short time.

このような前駆体としては、例えばPPV(ポリ(パラ−フェニレンビニレン))またはその誘導体の前駆体が好ましい。PPVまたはその誘導体の前駆体は、水あるいは有機溶媒に可溶であり、また、ポリマー化が可能であるため光学的にも高品質の薄膜を得ることができる。さらに、PPVは強い蛍光を持ち、また二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化している導電性高分子でもあるため、高性能の有機EL素子を得ることができる。   As such a precursor, for example, a precursor of PPV (poly (para-phenylene vinylene)) or a derivative thereof is preferable. A precursor of PPV or a derivative thereof is soluble in water or an organic solvent, and can be polymerized, so that a high-quality thin film can be obtained optically. Furthermore, since PPV has strong fluorescence and is also a conductive polymer in which double bond π electrons are non-polarized on the polymer chain, a high-performance organic EL device can be obtained.

このようなPPVまたはPPV誘導体の前駆体として、例えば、PPV(ポリ(パラ−フェニレンビニレン))前駆体、MO−PPV(ポリ(2,5−ジメトキシ−1,4−フェニレンビニレン))前駆体、CN−PPV(ポリ(2,5−ビスヘキシルオキシ−1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)))前駆体、MEH−PPV(ポリ[2−メトキシ−5−(2’−エチルヘキシルオキシ)]−パラ−フェニレンビニレン)前駆体等が挙げられる。   As precursors of such PPV or PPV derivatives, for example, PPV (poly (para-phenylene vinylene)) precursor, MO-PPV (poly (2,5-dimethoxy-1,4-phenylene vinylene)) precursor, CN-PPV (poly (2,5-bishexyloxy-1,4-phenylene- (1-cyanovinylene))) precursor, MEH-PPV (poly [2-methoxy-5- (2′-ethylhexyloxy)] -Para-phenylene vinylene) precursor and the like.

PPVまたはPPV誘導体の前駆体は、前述したように水に可溶であり、製膜後の加熱により高分子化してPPV層を形成する。前記PPV前駆体に代表される前駆体の含有量は、組成物全体に対して0.01〜10.0重量%が好ましく、0.1〜5.0重量%がさらに好ましい。前駆体の添加量が少な過ぎると共役系高分子膜を形成するのに不十分であり、多過ぎると組成物の粘度が高くなり、吐出装置を用いる方法(インクジェット法)による精度の高いパターニングに適さない場合がある。   The precursor of the PPV or PPV derivative is soluble in water as described above, and is polymerized by heating after film formation to form a PPV layer. The content of a precursor represented by the PPV precursor is preferably 0.01 to 10.0% by weight, more preferably 0.1 to 5.0% by weight, based on the entire composition. If the amount of the precursor added is too small, it will be insufficient to form a conjugated polymer film. If the amount is too large, the composition will have a high viscosity, which will result in high-precision patterning by a method using an ejection device (inkjet method). It may not be suitable.

また発光層の形成材料としては、少なくとも1種の蛍光色素を含むのが好ましい。これにより、発光層の発光特性を変化させることができ、例えば、発光層の発光効率の向上、または光吸収極大波長(発光色)を変えるための手段としても有効である。すなわち、蛍光色素は単に発光層材料としてではなく、発光機能そのものを担う色素材料として利用することができる。例えば、共役系高分子有機化合物分子上のキャリア再結合で生成したエキシトンのエネルギーをほとんど蛍光色素分子上に移すことができる。この場合、発光は蛍光量子効率が高い蛍光色素分子からのみ起こるため、発光層の電流量子効率も増加する。したがって、発光層の形成材料中に蛍光色素を加えることにより、同時に発光層の発光スペクトルも蛍光分子のものとなるので、発光色を変えるための手段としても有効となる。   Moreover, it is preferable that the material for forming the light emitting layer contains at least one fluorescent dye. Thereby, the light emission characteristics of the light emitting layer can be changed. For example, it is effective as a means for improving the light emission efficiency of the light emitting layer or changing the light absorption maximum wavelength (light emission color). That is, the fluorescent dye can be used not only as a light emitting layer material but also as a dye material having a light emitting function itself. For example, most of the exciton energy generated by carrier recombination on the conjugated macromolecular organic compound molecule can be transferred onto the fluorescent dye molecule. In this case, since light emission occurs only from fluorescent dye molecules having high fluorescence quantum efficiency, the current quantum efficiency of the light emitting layer is also increased. Therefore, by adding a fluorescent dye to the material for forming the light emitting layer, the emission spectrum of the light emitting layer simultaneously becomes that of the fluorescent molecule, which is effective as a means for changing the emission color.

なお、ここでいう電流量子効率とは、発光機能に基づいて発光性能を考察するための尺度であって、式:ηE=(放出されるフォトンのエネルギー/入力電気エネルギー)により定義される。そして、蛍光色素のドープによる光吸収極大波長の変換によって、例えば赤、青、緑の3原色を発光させることができ、その結果フルカラー表示体を得ることが可能となる。さらに蛍光色素をドーピングすることにより、EL素子の発光効率を大幅に向上させることができる。   Here, the current quantum efficiency is a scale for considering the light emission performance based on the light emission function, and is defined by the formula: ηE = (energy of photon emitted / input electric energy). Then, by converting the light absorption maximum wavelength by doping the fluorescent dye, for example, three primary colors of red, blue, and green can be emitted, and as a result, a full color display can be obtained. Furthermore, the luminous efficiency of the EL element can be greatly improved by doping with a fluorescent dye.

蛍光色素としては、赤色の発色光を発光する発光層を形成する場合、赤色の発色光を有するローダミンまたはローダミン誘導体を用いるのが好ましい。これらの蛍光色素は、低分子であるため水溶液に可溶であり、またPPVと相溶性がよく、均一で安定した発光層の形成が容易である。このような蛍光色素として具体的には、ローダミンB、ローダミンBベース、ローダミン6G、ローダミン101過塩素酸塩等が挙げられ、これらを2種以上混合したものであってもよい。   As the fluorescent dye, when forming a light emitting layer that emits red colored light, it is preferable to use rhodamine or a rhodamine derivative having red colored light. Since these fluorescent dyes are low in molecular weight, they are soluble in an aqueous solution, have good compatibility with PPV, and can easily form a uniform and stable light emitting layer. Specific examples of such fluorescent dyes include rhodamine B, rhodamine B base, rhodamine 6G, rhodamine 101 perchlorate and the like, and a mixture of two or more thereof may be used.

また、緑色の発色光を発光する発光層を形成する場合、緑色の発色光を有するキナクリドンおよびその誘導体を用いるのが好ましい。これらの蛍光色素は前記赤色蛍光色素と同様、低分子であるため水溶液に可溶であり、またPPVと相溶性がよく発光層の形成が容易である。   Moreover, when forming the light emitting layer which emits green colored light, it is preferable to use quinacridone and its derivatives having green colored light. These fluorescent dyes, like the red fluorescent dyes, are low in molecular weight and therefore soluble in aqueous solutions, and are compatible with PPV and can easily form a light emitting layer.

さらに、青色の発色光を発光する発光層を形成する場合、青色の発色光を有するジスチリルビフェニルおよびその誘導体を用いるのが好ましい。これらの蛍光色素は前記赤色蛍光色素と同様、低分子であるため、水・アルコール混合溶液に可溶であり、またPPVと相溶性がよく発光層の形成が容易である。   Furthermore, when forming a light emitting layer that emits blue colored light, it is preferable to use distyrylbiphenyl having a blue colored light and derivatives thereof. These fluorescent dyes, like the red fluorescent dyes, are low in molecular weight, so are soluble in a water / alcohol mixed solution, have good compatibility with PPV, and facilitate the formation of a light emitting layer.

また、青色の発色光を有する他の蛍光色素としては、クマリンおよびその誘導体を挙げることができる。これらの蛍光色素は、前記赤色蛍光色素と同様、低分子であるため水溶液に可溶であり、またPPVと相溶性がよく発光層の形成が容易である。   In addition, examples of other fluorescent dyes having blue colored light include coumarin and derivatives thereof. These fluorescent dyes, like the above-mentioned red fluorescent dyes, are low in molecular weight and therefore are soluble in aqueous solutions, and have good compatibility with PPV and facilitate the formation of a light emitting layer.

このような蛍光色素として具体的には、クマリン、クマリン−1、クマリン−6、クマリン−7、クマリン120、クマリン138等が挙げられる。蛍光色素は前記共役系高分子有機化合物の前駆体固型分に対し、0.5〜10重量%添加するのが好ましく、1.0〜5.0重量%添加するのがより好ましい。蛍光色素の添加量が多過ぎると発光層の耐候性および耐久性の維持が困難となり、一方、添加量が少な過ぎると、前述したような蛍光色素を加えることによる効果が十分に得られないからである。   Specific examples of such fluorescent dyes include coumarin, coumarin-1, coumarin-6, coumarin-7, coumarin 120, coumarin 138 and the like. The fluorescent dye is preferably added in an amount of 0.5 to 10% by weight, more preferably 1.0 to 5.0% by weight, based on the solid precursor of the conjugated polymer organic compound. If the amount of fluorescent dye added is too large, it will be difficult to maintain the weather resistance and durability of the light-emitting layer. On the other hand, if the amount added is too small, the effects of adding the fluorescent dye as described above cannot be obtained sufficiently. It is.

また、前記前駆体および蛍光色素については、極性溶媒に溶解または分散させてインクとし、このインクを吐出装置から吐出するのが好ましい。極性溶媒は、前記前駆体、蛍光色素等を容易に溶解または均一に分散させることができるため、吐出装置のノズル孔での発光層形成材料中の固型分が付着したり目詰りを起こすのを防止することができる。   The precursor and the fluorescent dye are preferably dissolved or dispersed in a polar solvent to form an ink, and the ink is preferably discharged from a discharge device. Since the polar solvent can easily dissolve or uniformly disperse the precursor, the fluorescent dye, etc., the solid component in the light emitting layer forming material in the nozzle hole of the discharge device may adhere or become clogged. Can be prevented.

このような極性溶媒として具体的には、水;メタノール、エタノール等の水と相溶性のあるアルコール;N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N−メチルピロリドン(NMP)、ジメチルイミダゾリン(DMI)、ジメチルスルホキシド(DMSO)等の有機溶媒または無機溶媒が挙げられ、これらの溶媒を2種以上適宜混合したものであってもよい。   Specific examples of such polar solvents include water; alcohols compatible with water such as methanol and ethanol; N, N-dimethylformamide (DMF), N-methylpyrrolidone (NMP), dimethylimidazoline (DMI), An organic solvent or an inorganic solvent such as dimethyl sulfoxide (DMSO) may be used, and two or more of these solvents may be appropriately mixed.

さらに、前記形成材料中に湿潤剤を添加しておくのが好ましい。これにより、形成材料が吐出装置のノズル孔で乾燥・凝固することを有効に防止することができる。かかる湿潤剤としては、例えばグリセリン、ジエチレングリコール等の多価アルコールが挙げられ、これらを2種以上混合したものであってもよい。この湿潤剤の添加量としては、形成材料の全体量に対し、5〜20重量%程度とするのが好ましい。なお、その他の添加剤、被膜安定化材料を添加してもよく、例えば、安定剤、粘度調整剤、老化防止剤、pH調整剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリング剤等を用いることができる。   Furthermore, it is preferable to add a wetting agent to the forming material. Thereby, it can prevent effectively that a forming material dries and solidifies in the nozzle hole of a discharge device. Examples of the wetting agent include polyhydric alcohols such as glycerin and diethylene glycol, and a mixture of two or more of these may be used. The amount of the wetting agent added is preferably about 5 to 20% by weight with respect to the total amount of the forming material. In addition, you may add another additive and a film stabilization material, For example, a stabilizer, a viscosity modifier, an anti-aging agent, a pH adjuster, an antiseptic | preservative, a resin emulsion, a leveling agent etc. can be used.

このような発光層の形成材料を吐出装置を用いて吐出すると、形成材料は隔壁7内の正孔注入層6上に塗布される。ここで、形成材料の吐出による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層の形成材料、青色の発色光を発光する発光層の形成材料を、それぞれ対応する画素に吐出し、塗布することによって行う。なお、各色に対応する画素は、これらが規則的な配置となるように予め決められている。   When such a light emitting layer forming material is discharged using a discharge device, the forming material is applied onto the hole injection layer 6 in the partition wall 7. Here, the formation of the light emitting layer by discharging the forming material includes the formation material of the light emitting layer that emits red colored light, the material of the light emitting layer that emits green colored light, and the light emitting layer that emits blue colored light. The forming material is discharged and applied to the corresponding pixels. Note that the pixels corresponding to each color are determined in advance so that they are regularly arranged.

各色の発光層形成材料を吐出し塗布したら、発光層形成材料中の溶媒を蒸発させることにより、正孔注入層6上に固形の発光層8を形成する。ここで、発光層形成材料中の溶媒の蒸発については、必要に応じて加熱あるいは減圧等の処理を行うが、発光層の形成材料は通常乾燥性が良好で速乾性であることから、特にこのような処理を行うことなく、したがって各色の発光層形成材料を順次吐出塗布することにより、その塗布順に各色の発光層8を形成することができる。   When the light emitting layer forming material of each color is discharged and applied, the solid light emitting layer 8 is formed on the hole injection layer 6 by evaporating the solvent in the light emitting layer forming material. Here, with respect to the evaporation of the solvent in the light emitting layer forming material, treatment such as heating or decompression is performed as necessary. However, since the light emitting layer forming material usually has good drying properties and quick drying properties, Therefore, the light emitting layer 8 of each color can be formed in the order of application by sequentially discharging and applying the light emitting layer forming material of each color without performing such a process.

その後、透明ガラス基板1の表面全体に、あるいはストライプ状に反射電極(陰極ともいう)9を形成し、有機EL素子を得る。以上のようにして、図6(d)に示す状態を得る。   Thereafter, the reflective electrode (also referred to as a cathode) 9 is formed on the entire surface of the transparent glass substrate 1 or in a stripe shape to obtain an organic EL element. The state shown in FIG. 6D is obtained as described above.

本実施形態の方法によれば、正孔注入層6や発光層8といった有機EL素子の構成要素となる薄膜を吐出装置によって形成していることから、正孔注入層6や発光層8の形成材料となるインクのロスを少なくし、さらに気泡に起因する吐出不良を防止することができる。   According to the method of the present embodiment, since the thin film which is a constituent element of the organic EL element such as the hole injection layer 6 and the light emitting layer 8 is formed by the discharge device, the formation of the hole injection layer 6 and the light emitting layer 8 is performed. It is possible to reduce the loss of ink as a material and to prevent ejection failure due to bubbles.

次に、全面に絶縁層10を形成した後、画素電極4と燃料電池とを電気的に接続するための引き出し線11を形成することで、図6(e)に示す状態を得る。
次いで、燃料電池を収容する部分に開口部Aを有する絶縁層12を形成し、反射電極9と燃料電池とを電気的に接続するための引き出し線13を形成することで、図6(f)に示す状態を得る。
Next, after the insulating layer 10 is formed on the entire surface, the lead-out line 11 for electrically connecting the pixel electrode 4 and the fuel cell is formed, thereby obtaining the state shown in FIG.
Next, the insulating layer 12 having the opening A is formed in the portion that accommodates the fuel cell, and the lead wire 13 for electrically connecting the reflective electrode 9 and the fuel cell is formed, so that FIG. The state shown in is obtained.

(2)燃料電池を製造するステップ
次に、図6(f)に示す画像表示装置本体に組み込む燃料電池を製造する。
図7は、実施の形態に係る燃料電池の製造工程を実行する燃料電池製造ラインの構成の一例を示す図である。図7に示すように、燃料電池製造ラインは、各工程においてそれぞれ用いられる吐出装置20a〜20m、吐出装置20a〜20kを接続するベルトコンベアBC1、吐出装置20l、20mを接続するベルトコンベアBC2、ベルトコンベアBC1、BC2を駆動させる駆動装置70、燃料電池の組み立てを行う組立装置72及び燃料電池製造ライン全体の制御を行う制御装置71により構成されている。
(2) Step of Manufacturing Fuel Cell Next, a fuel cell to be incorporated into the image display device main body shown in FIG.
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a configuration of a fuel cell production line that performs a fuel cell production process according to an embodiment. As shown in FIG. 7, the fuel cell production line includes a discharge device 20a to 20m used in each process, a belt conveyor BC1 connecting the discharge devices 20a to 20k, a belt conveyor BC2 connecting the discharge devices 20l and 20m, and a belt. The driving device 70 drives the conveyors BC1 and BC2, the assembling device 72 for assembling the fuel cell, and the control device 71 for controlling the entire fuel cell production line.

なお、吐出装置20b〜20mの構成は、吐出装置20aと同様の構成であるため説明を省略するが、以下の説明において、吐出装置20b〜20mの各構成には、吐出装置20aの説明において各構成に用いたのと同一の符号を用いて説明を行う。なお、吐出装置20b〜20mにそれぞれ備えられているタンク30には、各吐出装置20b〜20mにおいて行われる所定の処理に必要な吐出物が収容されている。例えば、吐出装置20b及び吐出装置20mのタンク30には、ガス流路を形成する際に行われるエッチング用の吐出物が、吐出装置20c及び吐出装置20kのタンク30には、支持用カーボンを形成するための吐出物が、吐出装置20d及び吐出装置20jのタンク30には、集電層を形成するための吐出物がそれぞれ収容されている。また、吐出装置20e及び吐出装置20iのタンク30には、ガス拡散層を形成するための吐出物が、吐出装置20f及び吐出装置20hのタンク30には、反応層を形成するための吐出物が、吐出装置20gのタンク30には、電解質膜を形成するための吐出物がそれぞれ収容されている。また、吐出装置20lのタンク30には、吐出装置20aのタンク30に収容されている基板に対してガス流路を形成するための吐出物と同様の吐出物が収容されている。   The configuration of the ejection devices 20b to 20m is the same as that of the ejection device 20a, and thus the description thereof will be omitted. However, in the following description, each configuration of the ejection devices 20b to 20m is different in the description of the ejection device 20a. The description will be made using the same reference numerals as those used in the configuration. In addition, in the tank 30 provided in each of the discharge devices 20b to 20m, a discharge material necessary for a predetermined process performed in each of the discharge devices 20b to 20m is accommodated. For example, the discharge material for etching performed when forming the gas flow path is formed in the tank 30 of the discharge device 20b and the discharge device 20m, and the supporting carbon is formed in the tank 30 of the discharge device 20c and the discharge device 20k. In the discharge device 20d and the tank 30 of the discharge device 20j, discharge materials for forming a current collecting layer are respectively stored. Further, the discharge material for forming the gas diffusion layer is in the tank 30 of the discharge device 20e and the discharge device 20i, and the discharge material for forming the reaction layer is in the tank 30 of the discharge device 20f and the discharge device 20h. In the tank 30 of the discharge device 20g, discharge materials for forming the electrolyte membrane are respectively stored. Further, in the tank 30 of the discharge device 20l, the same discharge material as the discharge material for forming a gas flow path with respect to the substrate stored in the tank 30 of the discharge device 20a is stored.

吐出装置20a〜20kは、ベルトコンベアBC1に沿って所定の間隔で一列に配置されており、吐出装置20l、20mはベルトコンベアBC2に沿って所定の間隔で一列に配置されている。また、制御装置71は、各吐出装置20a〜20k、駆動装置70及び組立装置72に接続されている。制御装置71からの制御信号に基づいてベルトコンベアBC1を駆動させ、燃料電池の基板(以下、単に「基板」とする。)を各吐出装置20a〜20kに搬送して各吐出装置20a〜20kにおける処理を行う。同様に、制御装置71からの制御信号に基づいてベルトコンベアBC2を駆動させ、基板を吐出装置20l、20mに搬送してこの吐出装置20l、20mにおける処理を行う。また、組立装置72においては、制御装置71からの制御信号に基づいてベルトコンベアBC1及びベルトコンベアBC2を介して搬入された基板により燃料電池の組み立てを行う。   The discharge devices 20a to 20k are arranged in a line at a predetermined interval along the belt conveyor BC1, and the discharge devices 20l and 20m are arranged in a line at a predetermined interval along the belt conveyor BC2. The control device 71 is connected to each of the discharge devices 20a to 20k, the drive device 70, and the assembly device 72. The belt conveyor BC1 is driven based on a control signal from the control device 71, and a substrate of the fuel cell (hereinafter simply referred to as “substrate”) is conveyed to each of the discharge devices 20a to 20k, and in each of the discharge devices 20a to 20k. Process. Similarly, the belt conveyor BC2 is driven based on a control signal from the control device 71, the substrate is conveyed to the discharge devices 20l and 20m, and processing in the discharge devices 20l and 20m is performed. Further, in the assembling apparatus 72, the fuel cell is assembled by the substrates carried in via the belt conveyor BC1 and the belt conveyor BC2 based on the control signal from the control apparatus 71.

この燃料電池製造ラインにおいては、吐出装置20aにおいて基板に対してガス流路を形成するためのレジスト溶液を塗布する処理が行われ、吐出装置20bにおいて、ガス流路を形成するためのエッチング処理が行われ、吐出装置20cにおいて、集電層を支持するための支持用カーボンを塗布する処理が行われる。吐出装置20dにおいて、集電層を形成する処理が行われ、吐出装置20eにおいて、ガス拡散層を形成する処理が行われ、吐出装置20fにおいて、反応層を形成する処理が行われ、吐出装置20gにおいて、電解質膜を形成する処理が行われる。更に、吐出装置20hにおいて、反応層を形成する処理が行われ、吐出装置20iにおいて、ガス拡散層を形成する処理が行われ、吐出装置20jにおいて、集電層を形成する処理が行われ、吐出装置20kにおいて、支持用カーボンを塗布する処理が行われる。また、吐出装置20lにおいて、基板に対してガス流路を形成するためのレジスト溶液を塗布する処理が行われ、吐出装置20mにおいて、ガス流路を形成するためのエッチング処理が行われる。なお、吐出装置20a〜20kにおいて第1の基板に対して処理を施す場合には、吐出装置20l、20mにおいては、第2の基板に対してガス流路を形成する処理が施される。   In this fuel cell production line, a process of applying a resist solution for forming a gas flow path to the substrate is performed in the discharge device 20a, and an etching process for forming the gas flow path is performed in the discharge device 20b. In the discharge device 20c, a process of applying a supporting carbon for supporting the current collecting layer is performed. The discharge device 20d performs a process for forming a current collecting layer, the discharge device 20e performs a process for forming a gas diffusion layer, the discharge device 20f performs a process for forming a reaction layer, and the discharge device 20g. In FIG. 5, a process for forming an electrolyte membrane is performed. Further, a process for forming a reaction layer is performed in the discharge device 20h, a process for forming a gas diffusion layer is performed in the discharge device 20i, and a process for forming a current collecting layer is performed in the discharge device 20j. In the apparatus 20k, a process of applying the supporting carbon is performed. Further, in the discharge device 20l, a process of applying a resist solution for forming a gas flow path to the substrate is performed, and in the discharge apparatus 20m, an etching process for forming the gas flow path is performed. When processing is performed on the first substrate in the discharge devices 20a to 20k, in the discharge devices 20l and 20m, processing for forming a gas flow path is performed on the second substrate.

次に、吐出装置20a〜20mを用いた燃料電池の製造方法について説明する。
まず、基板に反応ガスを供給するためのガス流路を形成する。即ち、まず、図8(a)に示すように矩形平板形状であって、例えば、シリコン素材の基板(第1の基板)52をベルトコンベアBC1により吐出装置20aまで搬送する。ベルトコンベアBC1により搬送された基板52は、吐出装置20aのテーブル28上に載置され、吐出装置20a内に取り込まれる。吐出装置20aにおいては、ノズル形成面26のノズルを介してタンク30内に収容されているレジスト溶液を吐出し、テーブル28上に載置されている基板52の上面の所定の位置に塗布する。ここで、レジスト溶液は、図8(b)に示すように、図中、手前方向から奥に向かって所定の間隔をおいて直線状に塗布される。即ち、基板52において、例えば、水素を含有する第1の反応ガスを供給するためのガス流路(第1のガス流路)を形成する部分を残して、それ以外の部分に対してのみレジスト溶液が塗布される。
Next, a method for manufacturing a fuel cell using the discharge devices 20a to 20m will be described.
First, a gas flow path for supplying a reaction gas to the substrate is formed. That is, first, a rectangular flat plate shape as shown in FIG. 8A, for example, a silicon substrate (first substrate) 52 is conveyed to the discharge device 20a by the belt conveyor BC1. The board | substrate 52 conveyed by belt conveyor BC1 is mounted on the table 28 of the discharge apparatus 20a, and is taken in in the discharge apparatus 20a. In the discharge device 20 a, the resist solution stored in the tank 30 is discharged through the nozzles of the nozzle formation surface 26 and applied to a predetermined position on the upper surface of the substrate 52 placed on the table 28. Here, as shown in FIG. 8B, the resist solution is applied linearly at a predetermined interval from the front direction to the back side in the figure. That is, in the substrate 52, for example, a portion for forming a gas flow path (first gas flow path) for supplying a first reaction gas containing hydrogen is left, and only the other portions are resisted. The solution is applied.

次に、所定の位置にレジスト溶液が塗布された基板52(図8(b)参照)は、ベルトコンベアBC1により吐出装置20bまで搬送され、吐出装置20bのテーブル28上に載置されて吐出装置20b内に取り込まれる。吐出装置20bにおいては、タンク30内に収容されているガス流路を形成するために行われるエッチング用の溶剤、例えば、フッ酸水溶液をノズル形成面26のノズルを介して吐出し、テーブル28上に載置されている基板52の上面の全体に塗布する。   Next, the substrate 52 (see FIG. 8B) on which the resist solution is applied at a predetermined position is conveyed to the discharge device 20b by the belt conveyor BC1, and is placed on the table 28 of the discharge device 20b to be discharged. 20b. In the discharge device 20b, an etching solvent, for example, a hydrofluoric acid aqueous solution, which is used to form a gas flow path accommodated in the tank 30, is discharged through the nozzles of the nozzle forming surface 26, and is then placed on the table It is applied to the entire top surface of the substrate 52 placed on the substrate.

ここで、基板52には、ガス流路を形成する部分以外の部分にレジスト溶液が塗布されているため、レジスト溶液が塗布されていない部分がフッ酸水溶液によりエッチングされ、図9(a)に示すように、ガス流路が形成される。即ち、基板52の一方の側面から他方の側面に延びる断面コ字形状のガス流路が形成される。また、図9(a)に示すようにガス流路が形成された基板52は、図示しない洗浄装置においてレジストの洗浄が行われる。そして、図9(b)に示すように、ガス流路が形成された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、ベルトコンベアBC1により吐出装置20cへ搬送される。   Here, since the resist solution is applied to the substrate 52 in a portion other than the portion that forms the gas flow path, the portion where the resist solution is not applied is etched with the hydrofluoric acid aqueous solution, as shown in FIG. As shown, a gas flow path is formed. That is, a gas flow path having a U-shaped cross section extending from one side surface of the substrate 52 to the other side surface is formed. Further, as shown in FIG. 9A, the substrate 52 on which the gas flow path is formed is subjected to resist cleaning in a cleaning apparatus (not shown). Then, as shown in FIG. 9B, the substrate 52 on which the gas flow path is formed is transferred from the table 28 to the belt conveyor BC1, and is conveyed to the discharge device 20c by the belt conveyor BC1.

次に、基板52に形成されたガス流路が集電層により塞がれるのを防止すべく、集電層を支持する支持用カーボン(第1の支持部材)をガス流路内に塗布する。即ち、まず、ベルトコンベアBC1により吐出装置20cまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20c内に取り込む。吐出装置20cにおいては、タンク30内に収容されている支持用カーボン54をノズル形成面26のノズルを介して吐出し、基板52に形成されているガス流路内に塗布する。ここで、支持用カーボン54として、所定の大きさ、例えば、直径1〜5ミクロン程度の粒子径の多孔質カーボンが用いられる。即ち、集電層によりガス流路が塞がれることを防止すると共に、反応ガスがガス流路内を確実に流れることができるように、支持用カーボン54として所定の大きさの多孔質カーボンが用いられる。   Next, in order to prevent the gas flow path formed in the substrate 52 from being blocked by the current collection layer, support carbon (first support member) that supports the current collection layer is applied to the gas flow path. . That is, first, the substrate 52 conveyed to the discharge device 20c by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20c. In the discharge device 20 c, the support carbon 54 accommodated in the tank 30 is discharged through the nozzles of the nozzle forming surface 26 and applied to the gas flow path formed in the substrate 52. Here, as the supporting carbon 54, porous carbon having a predetermined size, for example, a particle diameter of about 1 to 5 microns in diameter is used. That is, a porous carbon having a predetermined size is used as the supporting carbon 54 so that the gas flow path is prevented from being blocked by the current collecting layer, and the reaction gas can surely flow in the gas flow path. Used.

図10は、支持用カーボン54が塗布された基板52の端面図である。図10に示すように、支持用カーボン54がガス流路内に塗布されることにより、基板52上に形成される集電層のガス流路内への落下が防止される。なお、支持用カーボン54が塗布された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、ベルトコンベアBC1により吐出装置20dへ搬送される。   FIG. 10 is an end view of the substrate 52 coated with the supporting carbon 54. As shown in FIG. 10, the supporting carbon 54 is applied in the gas flow path, so that the current collecting layer formed on the substrate 52 is prevented from falling into the gas flow path. The substrate 52 coated with the supporting carbon 54 is transferred from the table 28 to the belt conveyor BC1, and is conveyed to the discharge device 20d by the belt conveyor BC1.

次に、基板52上に、反応ガスが反応することにより発生した電子を集めるための集電層(第1の集電層)を形成する。即ち、まず、ベルトコンベアBC1により吐出装置20dまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20d内に取り込む。吐出装置20dにおいては、タンク30内に収容されている集電層56を形成する材料、例えば、銅等の導電性物質をノズル形成面26のノズルを介してテーブル28上に載置されている基板52上に吐出する。このとき、導電性物質は、ガス流路に供給された反応ガスの拡散を妨げることがない形状に、例えば、網目形状等になるように吐出され集電層56が形成される。   Next, a current collecting layer (first current collecting layer) for collecting electrons generated by the reaction of the reaction gas is formed on the substrate 52. That is, first, the substrate 52 transported to the discharge device 20d by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20d. In the discharge device 20 d, a material for forming the current collecting layer 56 accommodated in the tank 30, for example, a conductive substance such as copper, is placed on the table 28 through the nozzles of the nozzle forming surface 26. Discharge onto the substrate 52. At this time, the conductive material is discharged into a shape that does not hinder diffusion of the reaction gas supplied to the gas flow path, for example, a mesh shape, and the current collection layer 56 is formed.

図11は、集電層56が形成された基板52の端面図である。図11に示すように、集電層56は、基板52上に形成されているガス流路内の支持用カーボン54により支持され、ガス流路内への落下が防止されている。なお、集電層56が形成された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、ベルトコンベアBC1により吐出装置20eへ搬送される。   FIG. 11 is an end view of the substrate 52 on which the current collecting layer 56 is formed. As shown in FIG. 11, the current collecting layer 56 is supported by the supporting carbon 54 in the gas channel formed on the substrate 52, and is prevented from falling into the gas channel. In addition, the board | substrate 52 with which the current collection layer 56 was formed is moved to the belt conveyor BC1 from the table 28, and is conveyed by the belt conveyor BC1 to the discharge apparatus 20e.

次に、集電層56の上に基板52に形成されたガス流路を介して供給される反応ガスを拡散させるためのガス拡散層を形成する。即ち、まず、ベルトコンベアBC1により吐出装置20eまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20e内に取り込む。吐出装置20eにおいては、タンク30内に収容されているガス拡散層58を形成するための材料、例えば、カーボンを集電層56上にノズル形成面26のノズルを介して吐出し、ガス流路を介して供給された反応ガス(第1の反応ガス)を拡散させるためのガス拡散層58を形成する。   Next, a gas diffusion layer for diffusing the reaction gas supplied through the gas flow path formed in the substrate 52 is formed on the current collecting layer 56. That is, first, the substrate 52 transported to the discharge device 20e by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20e. In the discharge device 20e, a material for forming the gas diffusion layer 58 accommodated in the tank 30, for example, carbon is discharged onto the current collecting layer 56 through the nozzles of the nozzle forming surface 26, and the gas flow path. A gas diffusion layer 58 for diffusing the reaction gas (first reaction gas) supplied via the gas is formed.

図12は、ガス拡散層58が形成された基板52の端面図である。図12に示すように、例えば、電極としての機能も有するカーボンを集電層56上に吐出し、反応ガスを拡散させるためのガス拡散層58が形成される。ここで、ガス拡散層58を構成するカーボンとしては、ガス流路を介して供給された反応ガスを十分に拡散させることができる程度の大きさであって、かつ、多孔質のカーボンが用いられる。例えば、支持用カーボン54よりも小さく、直径0.1〜1ミクロン程度の粒子径の多孔質カーボンが用いられる。なお、ガス拡散層58が形成された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、ベルトコンベアBC1により吐出装置20fへ搬送される。   FIG. 12 is an end view of the substrate 52 on which the gas diffusion layer 58 is formed. As shown in FIG. 12, for example, carbon that also functions as an electrode is discharged onto the current collecting layer 56 to form a gas diffusion layer 58 for diffusing the reaction gas. Here, as the carbon constituting the gas diffusion layer 58, porous carbon having such a size that the reaction gas supplied through the gas flow path can be sufficiently diffused is used. . For example, porous carbon which is smaller than the supporting carbon 54 and has a particle diameter of about 0.1 to 1 micron is used. The substrate 52 on which the gas diffusion layer 58 is formed is transferred from the table 28 to the belt conveyor BC1, and is conveyed to the discharge device 20f by the belt conveyor BC1.

次に、ガス拡散層58の上に基板52に形成されたガス流路を介して供給される反応ガスに基づいて反応する反応層(第1の反応層)を形成する。即ち、ベルトコンベアBC1により吐出装置20fまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20f内に取り込む。吐出装置20fにおいては、タンク30内に収容されている反応層を形成する材料、例えば、粒子径が数nm〜数十nmの触媒用の白金微粒子を担持したカーボンをガス拡散層58上に吐出して反応層60を形成する。ここで、白金微粒子を担持しているカーボンは、ガス拡散層58を構成するカーボンと同様のカーボン、即ち、同様の粒径であって、かつ、多孔質のカーボンが用いられる。なお、溶媒に分散剤を添加することにより白金微粒子を分散させてガス拡散層58上に塗布した後に、例えば、窒素雰囲気中で200℃に基板52を加熱することにより、分散剤を除去し、反応層60を形成するようにしてもよい。この場合には、ガス拡散層58を構成するカーボンの表面上に触媒として白金微粒子を付着させることによって反応層60が形成される。   Next, a reaction layer (first reaction layer) that reacts based on the reaction gas supplied via the gas flow path formed in the substrate 52 is formed on the gas diffusion layer 58. That is, the board | substrate 52 conveyed by the belt conveyor BC1 to the discharge apparatus 20f is mounted on the table 28, and is taken in in the discharge apparatus 20f. In the discharge device 20f, a material for forming a reaction layer accommodated in the tank 30, for example, carbon carrying platinum fine particles for a catalyst having a particle diameter of several nanometers to several tens of nanometers is discharged onto the gas diffusion layer 58. Thus, the reaction layer 60 is formed. Here, the carbon carrying the platinum fine particles is the same carbon as the carbon constituting the gas diffusion layer 58, that is, the same particle size and the porous carbon. In addition, after dispersing platinum fine particles by adding a dispersant to the solvent and applying the dispersion onto the gas diffusion layer 58, for example, by heating the substrate 52 to 200 ° C. in a nitrogen atmosphere, the dispersant is removed, The reaction layer 60 may be formed. In this case, the reaction layer 60 is formed by depositing platinum fine particles as a catalyst on the surface of carbon constituting the gas diffusion layer 58.

図13は、反応層60が形成された基板52の端面図である。図13に示すように、触媒としての白金微粒子を担持したカーボンがガス拡散層58上に塗布されることにより反応層60が形成される。なお、図13において、反応層60とガス拡散層58とを容易に識別することができるように、反応層60としては白金微粒子のみを示している。また、以下の図においても反応層は、図13と同様に示すものとする。反応層60が形成された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、ベルコトンベアBC1により吐出装置20gへ搬送される。   FIG. 13 is an end view of the substrate 52 on which the reaction layer 60 is formed. As shown in FIG. 13, the reaction layer 60 is formed by applying carbon carrying platinum fine particles as a catalyst onto the gas diffusion layer 58. In FIG. 13, only the platinum fine particles are shown as the reaction layer 60 so that the reaction layer 60 and the gas diffusion layer 58 can be easily identified. In the following figures, the reaction layer is shown in the same manner as in FIG. The substrate 52 on which the reaction layer 60 is formed is transferred from the table 28 to the belt conveyor BC1, and is conveyed to the discharge device 20g by the Belcoton bear BC1.

次に、反応層60上にイオン交換膜等の電解質膜を形成する。即ち、まず、ベルトコンベアBC1により吐出装置20gまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20g内に取り込む。吐出装置20gにおいては、タンク30内に収容されている電解質膜を形成する材料、例えば、Nafion(登録商標)、タングスト燐酸、モリブド燐酸等のセラミックス系固体電解質を所定の粘度に調整した材料を、ノズル形成面26のノズルを介して反応層60上に吐出して電解質膜62を形成する。   Next, an electrolyte membrane such as an ion exchange membrane is formed on the reaction layer 60. That is, first, the substrate 52 conveyed to the discharge device 20g by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20g. In the discharge device 20g, a material for forming an electrolyte membrane accommodated in the tank 30, for example, a material in which a ceramic solid electrolyte such as Nafion (registered trademark), tungstophosphoric acid, molybdophosphoric acid, etc. is adjusted to a predetermined viscosity, The electrolyte membrane 62 is formed by discharging onto the reaction layer 60 through the nozzle of the nozzle forming surface 26.

図14は、電解質膜62が形成された基板52の端面図である。図14に示すように、反応層60上に所定の厚さを有する電解質膜62が形成される。なお、電解質膜62が形成された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、ベルトコンベアBC1により吐出装置20hへ搬送される。   FIG. 14 is an end view of the substrate 52 on which the electrolyte membrane 62 is formed. As shown in FIG. 14, an electrolyte membrane 62 having a predetermined thickness is formed on the reaction layer 60. The substrate 52 on which the electrolyte membrane 62 is formed is transferred from the table 28 to the belt conveyor BC1, and is conveyed to the discharge device 20h by the belt conveyor BC1.

次に、電解質膜62上に反応層(第2の反応層)を形成する。即ち、ベルトコンベアBC1により吐出装置20hまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20h内に取り込む。吐出装置20hにおいては、吐出装置20fにおいて行われた処理と同様の処理により触媒としての白金微粒子を担持したカーボンを吐出し、反応層60’を形成する。   Next, a reaction layer (second reaction layer) is formed on the electrolyte membrane 62. That is, the substrate 52 transported to the discharge device 20h by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20h. In the discharge device 20h, carbon carrying platinum fine particles as a catalyst is discharged by a process similar to the process performed in the discharge device 20f to form a reaction layer 60 '.

図15は、電解質膜62上に反応層60’が形成された基板52の端面図である。図15に示すように、電解質膜62上に触媒としての白金微粒子を担持したカーボンが塗布されることによって、反応層60’が形成される。ここで、反応層60’は、第2の反応ガス、例えば、酸素を含有する反応ガスに基づいて反応する層である。   FIG. 15 is an end view of the substrate 52 in which the reaction layer 60 ′ is formed on the electrolyte membrane 62. As shown in FIG. 15, a reaction layer 60 ′ is formed by applying carbon carrying platinum fine particles as a catalyst onto the electrolyte membrane 62. Here, the reaction layer 60 ′ is a layer that reacts based on a second reaction gas, for example, a reaction gas containing oxygen.

次に、反応層60’上に反応ガス(第2の反応ガス)を拡散させるためのガス拡散層を形成する。即ち、反応層60’が形成された基板52は、ベルトコンベアBC1により吐出装置20iまで搬送され、吐出装置20iにおいて、吐出装置20eにおいて行われた処理と同様の処理により所定の粒径の多孔質のカーボンが塗布され、ガス拡散層58’が形成される。   Next, a gas diffusion layer for diffusing the reaction gas (second reaction gas) is formed on the reaction layer 60 '. That is, the substrate 52 on which the reaction layer 60 ′ is formed is conveyed to the discharge device 20i by the belt conveyor BC1, and the discharge device 20i is a porous member having a predetermined particle diameter by the same process as the process performed in the discharge device 20e. The carbon is applied to form a gas diffusion layer 58 ′.

図16は、反応層60’上にガス拡散層が形成された基板52の端面図である。図16に示すように、反応層60’上に多孔質のカーボンが塗布されることによって、ガス拡散層58’が形成される。   FIG. 16 is an end view of the substrate 52 in which a gas diffusion layer is formed on the reaction layer 60 ′. As shown in FIG. 16, by applying porous carbon on the reaction layer 60 ', a gas diffusion layer 58' is formed.

次に、ガス拡散層58’上に集電層(第2の集電層)を形成し、集電層上にこの集電層を支持するための支持用カーボン(第2の支持部材)を塗布する。即ち、ベルトコンベアBC1により吐出装置20jまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20j内に取り込み、吐出装置20dにおいて行われた処理と同様の処理により、集電層56’がガス拡散層58’上に形成される。また、ベルトコンベアBC1により吐出装置20kまで搬送された基板52を、テーブル28上に載置して吐出装置20k内に取り込み、吐出装置20cにおいて行われた処理と同様の処理により、支持用カーボン54’が塗布される。なお、支持用カーボン54’が塗布された基板52は、テーブル28からベルトコンベアBC1へと移され、組立装置72へ搬送される。   Next, a current collecting layer (second current collecting layer) is formed on the gas diffusion layer 58 ′, and supporting carbon (second supporting member) for supporting the current collecting layer is formed on the current collecting layer. Apply. That is, the substrate 52 transported to the discharge device 20j by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20j, and the current collecting layer 56 is processed by the same processing as that performed in the discharge device 20d. 'Is formed on the gas diffusion layer 58'. Further, the substrate 52 transported to the discharge device 20k by the belt conveyor BC1 is placed on the table 28 and taken into the discharge device 20k, and the supporting carbon 54 is obtained by the same processing as that performed in the discharge device 20c. 'Is applied. The substrate 52 coated with the supporting carbon 54 ′ is transferred from the table 28 to the belt conveyor BC 1 and conveyed to the assembling apparatus 72.

図17は、ガス拡散層58’上に集電層56’及び支持用カーボン54’が塗布された基板52の端面図である。図17に示すように、上述の処理により集電層56’が形成され、上述の処理により支持用カーボン54’が塗布される。ここで、支持用カーボン54’は、支持用カーボン54と同様に、即ち、基板52に形成されているガス流路に沿って塗布される。   FIG. 17 is an end view of the substrate 52 in which the current collecting layer 56 ′ and the supporting carbon 54 ′ are coated on the gas diffusion layer 58 ′. As shown in FIG. 17, the current collecting layer 56 'is formed by the above-described process, and the supporting carbon 54' is applied by the above-described process. Here, the supporting carbon 54 ′ is applied in the same manner as the supporting carbon 54, that is, along the gas flow path formed in the substrate 52.

次に、支持用カーボンが塗布された基板(第1の基板)上にガス流路が形成された基板(第2の基板)を配置することによって燃料電池を組み立てる。即ち、組立装置72において、ベルトコンベアBC1を介して搬入された基板52(第1の基板)上にベルトコンベアBC2を介して搬入された基板52’(第2の基板)を配置することにより、燃料電池の組立を行う。ここで、基板52’には、上述の処理とは別に、第2のガス流路が形成されている。即ち、吐出装置20l及び吐出装置20mにおいて、吐出装置20a及び吐出装置20bにより行われる処理と同様の処理により、第2のガス流路が形成されている。従って、基板52に形成されている一方の側面から他方の側面へと延びる断面コ字形状のガス流路と、基板52’に形成されている断面コ字形状のガス流路とが平行になるように基板52’を配置して燃料電池の組立を行う。   Next, the fuel cell is assembled by disposing a substrate (second substrate) on which a gas flow path is formed on a substrate (first substrate) coated with supporting carbon. That is, in the assembling apparatus 72, by placing the substrate 52 ′ (second substrate) carried in via the belt conveyor BC2 on the substrate 52 (first substrate) carried in via the belt conveyor BC1, Assemble the fuel cell. Here, a second gas flow path is formed in the substrate 52 ′ separately from the above processing. That is, in the discharge device 20l and the discharge device 20m, the second gas flow path is formed by the same process as the process performed by the discharge device 20a and the discharge device 20b. Therefore, the U-shaped gas channel extending from one side surface to the other side surface formed on the substrate 52 and the U-shaped gas channel formed on the substrate 52 ′ are parallel to each other. Thus, the fuel cell is assembled by arranging the substrate 52 ′.

図18は、製造された燃料電池の端面図である。図18に示すように、第2のガス流路が形成された基板52’を基板52の所定の位置に配置することによって第1の基板に形成された第1のガス流路を介して第1の反応ガスを供給し、第2の基板に形成された第2のガス流路を介して第2の反応ガスを供給する燃料電池の製造が完了する。   FIG. 18 is an end view of the manufactured fuel cell. As shown in FIG. 18, the substrate 52 ′ having the second gas flow path is disposed at a predetermined position on the substrate 52, and the first gas flow path formed on the first substrate is then passed through the first gas flow path. The production of a fuel cell that supplies one reactive gas and supplies the second reactive gas via the second gas flow path formed on the second substrate is completed.

この実施形態によれば、インクジェット式の吐出装置を用いて基板上にガス流路を形成し、燃料電池を製造している。従って、半導体プロセスに用いられるMEMS等の微細加工技術を利用することなく、基板上に微細なガス流路を形成することができるため、低コストで高性能な燃料電池を製造することができる。   According to this embodiment, a fuel cell is manufactured by forming a gas flow path on a substrate using an ink jet type ejection device. Therefore, since a fine gas flow path can be formed on the substrate without using a microfabrication technique such as MEMS used in a semiconductor process, a high-performance fuel cell can be manufactured at a low cost.

この実施形態によれば、インクジェット式の吐出装置を用いて反応層を形成して燃料電池を製造している。従って、触媒の材料として白金のように高価な物質を用いている場合であっても、必要な分量を所定の位置に正確に吐出することができ、不必要に触媒の使用量が増加することを防止して低コストで燃料電池の製造を行うことができる。また、インクジェット式の吐出装置を用いて触媒を塗布することにより、触媒をガス拡散層上に均一に塗布することができ、燃料電池の性能を向上させることができる。   According to this embodiment, a fuel cell is manufactured by forming a reaction layer using an ink jet type discharge device. Therefore, even when an expensive substance such as platinum is used as the material of the catalyst, the necessary amount can be accurately discharged to a predetermined position, and the usage amount of the catalyst is unnecessarily increased. Thus, the fuel cell can be manufactured at a low cost. Further, by applying the catalyst using an ink jet type discharge device, the catalyst can be uniformly applied on the gas diffusion layer, and the performance of the fuel cell can be improved.

また、この実施形態の燃料電池によれば、インクジェット式の吐出装置を用いて電解質膜を形成して燃料電池を製造している。従って、電解質膜を圧着する必要がなく、電解質膜の破損を防止することができる。また、反応層上に電解質膜を形成するための材料を塗布して電解質膜を形成しているため、簡易な作業工程により燃料電池を製造することができる。   Further, according to the fuel cell of this embodiment, the fuel cell is manufactured by forming the electrolyte membrane using the ink jet type discharge device. Therefore, it is not necessary to pressure-bond the electrolyte membrane, and damage to the electrolyte membrane can be prevented. Further, since the electrolyte membrane is formed by applying a material for forming the electrolyte membrane on the reaction layer, the fuel cell can be manufactured by a simple work process.

上述の実施形態においては、全ての工程においてインクジェット式の吐出装置を用いているが、燃料電池を製造する何れかの工程においてインクジェット式の吐出装置を用いて燃料電池を製造するようにしてもよい。例えば、インクジェット式の吐出装置を用いてガス流路を形成し、その他の工程においては従来と同様の工程により燃料電池を製造するようにしてもよい。この場合であっても、MEMSを用いることなくガス流路を形成することができるため、燃料電池の製造コストを低く抑えることができる。   In the above-described embodiment, the inkjet discharge device is used in all the steps. However, the fuel cell may be manufactured using the inkjet discharge device in any step of manufacturing the fuel cell. . For example, the gas flow path may be formed using an ink jet type discharge device, and the fuel cell may be manufactured by the same process as the conventional process in other processes. Even in this case, since the gas flow path can be formed without using MEMS, the manufacturing cost of the fuel cell can be kept low.

上述の実施の形態に係る燃料電池の製造方法においては、第1の反応ガスが供給される第1の基板側から製造を行っているが、第2の反応ガスが供給される第2の基板側から製造を行うようにしてもよい。即ち、酸素を含有する第2の反応ガスが供給される側の基板から燃料電池の製造を開始するようにしてもよい。   In the manufacturing method of the fuel cell according to the above-described embodiment, the manufacturing is performed from the first substrate side to which the first reaction gas is supplied, but the second substrate to which the second reaction gas is supplied. You may make it manufacture from the side. That is, the production of the fuel cell may be started from the substrate on the side supplied with the second reaction gas containing oxygen.

上述の実施の形態に係る燃料電池の製造方法においては、第2のガス流路を第1の基板に形成されている第1のガス流路と同様に第2の基板に形成しているが、第1のガス流路と交差するような方向に形成するようにしてもよい。即ち、レジスト溶液を、例えば、第1の基板に形成されているガス流路と直角に交差するように、例えば、図8(b)において図中右側面から左側面へと延びる方向に塗布するようにしてもよい。この場合には、第2の基板に形成されている第2のガス流路と、第1の基板に形成されている第1のガス流路とが、直角に交差するように第2の基板が配置される。   In the fuel cell manufacturing method according to the above-described embodiment, the second gas flow path is formed on the second substrate in the same manner as the first gas flow path formed on the first substrate. Alternatively, it may be formed in a direction that intersects the first gas flow path. That is, the resist solution is applied, for example, in a direction extending from the right side surface to the left side surface in FIG. 8B so as to intersect the gas flow path formed on the first substrate at a right angle. You may do it. In this case, the second substrate so that the second gas channel formed in the second substrate and the first gas channel formed in the first substrate intersect at right angles. Is placed.

上述の実施の形態に係る燃料電池の製造方法においては、ガス流路が形成された第1の基板上に集電層、反応層、電解質膜、反応層及び集電層を形成しているが、第1の基板と第2の基板のそれぞれに集電層、反応層及び電解質膜を形成するようにしてもよい。即ち、まず、第1の基板上に第1の反応ガスを供給するための第1のガス流路を形成し、第1のガス流路が形成された第1の基板上に第1の集電層を形成する。次に、第1の集電層上に第1の反応層を形成し、第1の反応層の上に電解質膜を形成する。また、第2の基板についても、第2のガス流路を形成して第2の集電層を形成し、第2の集電層上に第2の反応層を形成して、第2の反応層上に電解質膜を形成する。そして、第1のガス流路、第1の集電層、第1の反応層及び電解質膜が形成された第1の基板と、第2のガス流路、第2の集電層、第2の反応層及び電解質膜が形成された第2の基板とを、形成されている電解質膜を挟むようにして接合させ、燃料電池を製造するようにしてもよい。ここで、第1の基板に処理を施す第1製造ラインと第2の基板に処理を施す第2製造ラインとを設け、それぞれの製造ラインにおける処理を平行して行うようにしてもよい。この場合には、第1の基板への処理と第2の基板への処理を平行して行うことができるため、迅速に燃料電池を製造することができる。   In the fuel cell manufacturing method according to the above-described embodiment, the current collection layer, the reaction layer, the electrolyte membrane, the reaction layer, and the current collection layer are formed on the first substrate on which the gas flow path is formed. The current collecting layer, the reaction layer, and the electrolyte film may be formed on each of the first substrate and the second substrate. That is, first, a first gas flow path for supplying a first reaction gas is formed on the first substrate, and the first collection channel is formed on the first substrate on which the first gas flow path is formed. An electric layer is formed. Next, a first reaction layer is formed on the first current collection layer, and an electrolyte membrane is formed on the first reaction layer. Further, for the second substrate, the second gas flow path is formed to form the second current collecting layer, the second reaction layer is formed on the second current collecting layer, and the second substrate An electrolyte membrane is formed on the reaction layer. The first substrate on which the first gas flow path, the first current collecting layer, the first reaction layer, and the electrolyte film are formed, the second gas flow path, the second current collecting layer, the second The fuel cell may be manufactured by bonding the reaction layer and the second substrate on which the electrolyte membrane is formed with the electrolyte membrane formed therebetween. Here, a first manufacturing line for processing the first substrate and a second manufacturing line for processing the second substrate may be provided, and the processes in the respective manufacturing lines may be performed in parallel. In this case, since the process for the first substrate and the process for the second substrate can be performed in parallel, the fuel cell can be rapidly manufactured.

(3)燃料電池を組み込むステップ
次に、前記図6(f)に示した画像表示装置本体に、上記のようにして製造した燃料電池を組み込む。燃料電池の組み込みは、前記開口部A内に燃料電池を収容し、燃料電池の一方の電極を引き出し線11と接続し、他方の電極を引き出し線13と接続することにより行う。
以上のようにして、図3に示す構造の燃料電池付き画像表示装置を製造することができる。
(3) Step of incorporating fuel cell Next, the fuel cell manufactured as described above is incorporated into the main body of the image display device shown in FIG. The fuel cell is assembled by housing the fuel cell in the opening A, connecting one electrode of the fuel cell to the lead wire 11, and connecting the other electrode to the lead wire 13.
As described above, the fuel cell-equipped image display device having the structure shown in FIG. 3 can be manufactured.

なお、上述の実施の形態に係る画像表示装置の製造方法においては、図6(f)に示した画像表装置本体と燃料電池とを別々に製造し、前記画像表示装置本体に燃料電池を組み込むことにより製造しているが、前記画像表示装置本体の開口部Aに、ガス流路が形成された第1の基板52を設置し、この第1の基板上に集電層、反応層、電解質膜、反応層及び集電層を順次形成して、結果として燃料電池が組み込まれた画像表示装置を製造してもよい。この方法によれば、同一製造ラインに画像表示装置の本体の正孔注入層及び発光層を形成するための吐出装置、燃料電池を製造するための吐出装置を配置して、目的とする画像表示装置を連続生産することができる。   In the image display device manufacturing method according to the above-described embodiment, the image display device main body and the fuel cell shown in FIG. 6F are manufactured separately, and the fuel cell is incorporated in the image display device main body. The first substrate 52 in which a gas flow path is formed is installed in the opening A of the image display device body, and a current collecting layer, a reaction layer, and an electrolyte are formed on the first substrate. A film, a reaction layer, and a current collecting layer may be sequentially formed, and as a result, an image display device incorporating a fuel cell may be manufactured. According to this method, a discharge device for forming a hole injection layer and a light emitting layer of a main body of an image display device and a discharge device for manufacturing a fuel cell are arranged on the same production line, and a desired image display is performed. Equipment can be produced continuously.

3)電子機器
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えることを特徴とする。電子機器としては、携帯電話機、PHS、モバイル、ノート型パソコン、PDA(携帯情報端末)、携帯テレビ電話機などが挙げられる。また、本発明の電子機器は、例えば、ゲーム機能、データ通信機能、録音再生機能、辞書機能などの他の機能を有していてもよい。本発明の電子機器によれば、地球環境に適切に配慮したクリーンエネルギーを電力供給源として備えることができる。
3) Electronic device The electronic device of the present invention includes the image display device of the present invention. Examples of the electronic device include a mobile phone, a PHS, a mobile, a notebook personal computer, a PDA (personal digital assistant), and a mobile video phone. The electronic device of the present invention may have other functions such as a game function, a data communication function, a recording / playback function, and a dictionary function. According to the electronic device of the present invention, it is possible to provide clean energy appropriately taking into account the global environment as a power supply source.

実施の形態に係る画像表示装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the image display apparatus which concerns on embodiment. 実施の形態に係る画像表示装置の画素駆動回路図である。It is a pixel drive circuit diagram of the image display device according to the embodiment. 実施の形態に係る画像表示装置の端面図である。1 is an end view of an image display device according to an embodiment. 実施の形態に係るインクジェット式の吐出装置の概略図である。1 is a schematic view of an ink jet type ejection device according to an embodiment. 実施の形態に係る画像表示装置の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate in the manufacture process of the image display apparatus which concerns on embodiment. 実施の形態に係る画像表示装置の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate in the manufacture process of the image display apparatus which concerns on embodiment. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造ラインの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the manufacturing line of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 画像表示装置に組み込む燃料電池の製造過程の基板の端面図である。It is an end view of the board | substrate of the manufacture process of the fuel cell integrated in an image display apparatus. 従来の画像表示装置の画素駆動回路図である。It is a pixel drive circuit diagram of a conventional image display device.

符号の説明Explanation of symbols

1…透明ガラス基板、2…薄膜トランジスタ(TFT)、3,5,10,12…絶縁層、4…画素電極(透明電極)、6…正孔注入層、7…隔壁、8…発光層、9…反射電極(陰極)、11,13…引き出し線、52,52’…基板、54,54’…支持用カーボン、56,56’…集電層、58,58’…ガス拡散層、60,60’…反応層、62…電解質膜、20a〜20m…吐出装置、BC1、BC2…ベルトコンベア、EA…発光領域、Vd…信号線、Vs…走査線、Vdd…電源、T1,T2…薄膜トランジスタ、FC…燃料電池、OELD…有機EL素子、Cst…蓄積容量素子   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transparent glass substrate, 2 ... Thin-film transistor (TFT), 3, 5, 10, 12 ... Insulating layer, 4 ... Pixel electrode (transparent electrode), 6 ... Hole injection layer, 7 ... Partition, 8 ... Light emitting layer, 9 ... reflective electrode (cathode) 11, 13, ... lead wire, 52, 52 '... substrate, 54, 54' ... support carbon, 56, 56 '... current collecting layer, 58, 58' ... gas diffusion layer, 60, 60 '... reaction layer, 62 ... electrolyte membrane, 20a-20m ... discharge device, BC1, BC2 ... belt conveyor, EA ... light emitting area, Vd ... signal line, Vs ... scanning line, Vdd ... power source, T1, T2 ... thin film transistor, FC ... Fuel cell, OELD ... Organic EL element, Cst ... Storage capacitor element

Claims (6)

基板上に電界発光素子が複数形成されてなる画像表示装置であって、前記複数の発光素子のうち少なくとも一つは、電力供給源として燃料電池を備えることを特徴とする画像表示装置。   An image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate, wherein at least one of the plurality of light emitting elements includes a fuel cell as a power supply source. 前記発光素子が、画素電極、反射電極及び前記画素電極と反射電極との間に設けられた発光層とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein the light emitting element is an organic electroluminescence element having a pixel electrode, a reflective electrode, and a light emitting layer provided between the pixel electrode and the reflective electrode. 基板上に電界発光素子が複数形成されてなる画像表示装置であって、
前記基板上に形成された画素電極と、
前記画素電極上に形成された正孔注入層と、
前記正孔注入層上に形成された発光層と、
前記発光層を挟んで前記画素電極と対向する位置に形成された反射電極と、
前記画素電極と前記反射電極とに電気的に接続された燃料電池と
を備えることを特徴とする画像表示装置。
An image display device in which a plurality of electroluminescent elements are formed on a substrate,
A pixel electrode formed on the substrate;
A hole injection layer formed on the pixel electrode;
A light emitting layer formed on the hole injection layer;
A reflective electrode formed at a position facing the pixel electrode across the light emitting layer;
An image display device comprising: a fuel cell electrically connected to the pixel electrode and the reflective electrode.
前記燃料電池を、前記画素電極及び反射電極の上部に、電力供給源として各発光素子毎にそれぞれ燃料電池を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の画像表示装置。   The image display apparatus according to claim 1, wherein the fuel cell is provided on each of the light emitting elements as a power supply source above the pixel electrode and the reflective electrode. 請求項1〜4のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法であって、該画像表示装置の燃料電池を、吐出装置を用いる工程を含む形成方法により形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。   5. The method of manufacturing an image display device according to claim 1, wherein the fuel cell of the image display device is formed by a forming method including a step of using a discharge device. Manufacturing method. 請求項1〜4のいずれかに記載の画像表示装置を備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the image display device according to claim 1.
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