JP2005059173A - Suction device and chuck table - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、ワークなどの吸着対象物を真空吸着によって保持する吸着装置及びチャックテーブルに関するものである。 The present invention relates to a suction device and a chuck table that hold a suction target such as a workpiece by vacuum suction.
従来、この種の吸着装置は、ワークなどの吸着対象物を載せるテーブルに一以上の孔や溝を設け、これらの孔や溝の内部を、真空ポンプにより負圧にし又は正圧にすることで、吸着対象物をテーブル上に吸着し又は吸着状態から解放する構造になっている(例えば、特許文献1参照)。そして、吸着対象物を吸着固定した状態で、ダイシングや研削などの作業を行うものである。 Conventionally, this type of suction device is provided with one or more holes and grooves on a table on which an object to be sucked such as a workpiece is placed, and the inside of these holes and grooves is made negative or positive by a vacuum pump. The suction object is sucked on the table or released from the sucked state (see, for example, Patent Document 1). Then, operations such as dicing and grinding are performed in a state in which the object to be sucked is sucked and fixed.
しかしながら、上記した吸着装置では、次のような問題がある。
テーブルは、別体の装置本体部に取り付けて使用するようになっており、真空ポンプ,圧力切換器や制御器などはこの装置本体部に設けられている。このため、作業を行う都度、吸着対象物に対応したテーブルを装置本体部に組み込む作業が必要であり、無駄な準備作業を強いられていた。また、装置本体部はダイシングだけでなく、研削などの他作業にも使用可能な構造になっているため、大型でコストも高かった。装置本体部がかかる構造であるため、テーブル自体は孔などが設けられた単純な構造で足りるとされ、テーブルの取付及び取外や運搬などを配慮した工夫がなされていなかった。また、テーブルがアルミニウムやステンレスで形成されていたので、ダイシング作業時の切断粉などが付着し易いという問題もあった。さらに、孔や溝の内部を、負圧にして吸着対象物を吸着固定する構造であるので、吸着対象物に対する吸引力の偏りが発生し、吸着対象物を均一な吸引力で吸着固定することが困難であった。
However, the above-described adsorption device has the following problems.
The table is used by being attached to a separate apparatus main body, and a vacuum pump, a pressure switch, a controller, and the like are provided in the apparatus main body. For this reason, every time work is performed, a work for incorporating a table corresponding to the object to be sucked into the apparatus main body is required, and a wasteful preparation work is forced. Moreover, since the apparatus main body has a structure that can be used not only for dicing but also for other operations such as grinding, it is large and expensive. Since the apparatus main body has such a structure, the table itself is considered to be a simple structure provided with holes and the like, and no contrivance has been made in consideration of attachment, removal or transportation of the table. In addition, since the table is made of aluminum or stainless steel, there is a problem that cutting powder or the like at the time of dicing work tends to adhere. Furthermore, since the suction object is suction-fixed with negative pressure inside the hole or groove, the suction force is biased against the suction object, and the suction object is suction-fixed with a uniform suction force. It was difficult.
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、1台の装置に吸着対象物を吸着するための主な機構のほとんどを備え且つ小型で携帯性に優れ、しかも汚れの付着が少ない吸着装置及びチャックテーブルを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and is equipped with most of the main mechanisms for adsorbing an object to be adsorbed on one apparatus, is small and excellent in portability, and has dirt attached. An object of the present invention is to provide a small number of suction devices and chuck tables.
上記課題を解決するために、請求項1の発明は、吸着対象物を載せるための平坦な天壁を有した台座と、この台座内に収納され、外部から供給された空気を利用して、吸着対象物を天壁上に吸着し又は解放するための駆動機構とを備える吸着装置であって、台座は、天壁に穿設された吸引孔及び解放孔と、側壁に設けられた空気供給口及び空気排出口とを有し、駆動機構は、台座の空気供給口に連結された流入口,第1の流出口,及び解放孔に連結された第2の流出口を有し、側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、流入口を第1の流出口又は第2の流出口のいずれかに選択的に連通させることができる切換器と、この切換器の第1の流出口からの空気を空気排出口側に高速流出させることで、吸引孔内を負圧にする負圧発生器とを有する構成とした。
かかる構成により、吸着対象物を台座の天壁に載せ、空気を外部から空気供給口に供給している状態で、切換器の操作部を用いて流入口を第1の流出口に連通させると、第1の流出口からの空気が、負圧発生器によって空気排出口側に流出され、吸引孔内が負圧となる。この結果、吸着対象物が吸引孔の負圧作用によって、天壁上に吸着されることとなる。また、切換器の操作部を用いて、流入口と第1の流出口との連通状態から流入口と第2の流出口に連通状態に切り換えると、第2の流出口からの空気が解放孔から流出し、天壁上の吸着対象物を吸着状態から解放する。
In order to solve the above problems, the invention of
With this configuration, when the suction target is placed on the top wall of the pedestal and air is supplied from the outside to the air supply port, the inlet is communicated with the first outlet using the operation unit of the switch. The air from the first outlet flows out to the air outlet side by the negative pressure generator, and the suction hole becomes negative pressure. As a result, the object to be adsorbed is adsorbed on the top wall by the negative pressure action of the suction hole. Further, when the operation part of the switching device is used to switch the communication state between the inlet and the first outlet to the communication state between the inlet and the second outlet, the air from the second outlet is released into the release hole. The adsorption object on the top wall is released from the adsorption state.
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の吸着装置において、台座の天壁の上に、平坦な多孔質の載置板を設けた構成としてある。
かかる構成により、吸引孔内が負圧となると、多孔質の載置板が吸着対象物全体を均一な吸引力で吸い着ける。
特に、請求項3の発明は、請求項2に記載の吸着装置において、載置板は、セラミックポーラス又は金属焼結体のいずれかである構成とした。
The invention according to
With this configuration, when the suction hole has a negative pressure, the porous mounting plate can suck the entire object to be sucked with a uniform suction force.
In particular, the invention of
また、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の吸着装置において、台座をチタニウムによって形成した構成とし、請求項5の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の吸着装置において、台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた構成とした。 According to a fourth aspect of the present invention, in the adsorption apparatus according to any one of the first to third aspects, the pedestal is formed of titanium, and the fifth aspect of the invention is directed to the first aspect of the present invention. In any one of the suction devices, a wave-like swell corresponding to the fingertip is provided on the outer surface of the side wall of the pedestal.
また、別の技術的思想として、請求項6の発明は、吸着対象物を載せるための平坦な天壁を有した台座と、この台座内に収納され且つ吸着対象物を天壁上に吸着し又は解放するための真空ポンプとを備える吸着装置であって、台座は、天壁に穿設された小孔を有し、真空ポンプは、台座の外部に連通した第1の空気流出入口と小孔に連通した第2の空気流出入口とを有し、台座の側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができるものである構成とした。
As another technical idea, the invention of
そして、請求項7の発明は、請求項6に記載の吸着装置において、天壁の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた構成としてある。また、請求項8の発明は、請求項6または請求項7に記載の吸着装置において、台座をチタニウムによって形成した構成としてある。特に、請求項9の発明は、請求項6ないし請求項8のいずれかに記載の吸着装置において、台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた構成としてある。
The invention of
さらに、別の技術的思想として、請求項10の発明は、吸着対象物を載せるための平坦な天面と、この天面に開口した小孔に連通して天面以外の部位で開口する空気通路とを有し、全体がチタニウムによって形成されている構成としたチャックテーブルを開示する。 Furthermore, as another technical idea, the invention of claim 10 is directed to a flat top surface for placing an object to be adsorbed and air that opens at a portion other than the top surface in communication with a small hole opened in the top surface. Disclosed is a chuck table that includes a passage and is entirely formed of titanium.
また、請求項11の発明は、請求項10に記載のチャックテーブルにおいて、天面の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた構成とした。特に、請求項12の発明は、請求項10または請求項11に記載のチャックテーブルにおいて、チューブを空気通路の開口に連結し、このチューブを通じて小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができる真空ポンプを取り付けた構成としてある。 The invention according to claim 11 is the chuck table according to claim 10, wherein a flat porous mounting plate made of a ceramic porous material or a sintered metal body is provided on the top surface. did. In particular, the invention of claim 12 is the chuck table according to claim 10 or claim 11, wherein the tube is connected to the opening of the air passage, and air is sucked into the small hole through the tube or air into the small hole. It is set as the structure which attached the vacuum pump which can selectively supply.
以上のように、請求項1及び請求項6の発明によれば、吸着対象物を吸着及び解放する駆動機構を台座内に収納した構成としたので、1台で吸着対象物吸着機能と負圧発生機能と吸着/解放切換機能とを併せ持つ小型の吸着装置を提供することができるという優れた効果がある。 As described above, according to the first and sixth aspects of the present invention, since the drive mechanism for sucking and releasing the suction target object is housed in the pedestal, the suction target object suction function and the negative pressure can be achieved with one unit. There is an excellent effect that it is possible to provide a small-sized adsorption device having both the generation function and the adsorption / release switching function.
特に、請求項2,請求項3,請求項7及び請求項11の発明によれば、吸着対象物全体を均一な吸引力で載置板上に吸着するので、吸着対象物を強固且つ確実に固定することができる。この結果、吸着機能の高い吸着装置やチャックテーブルを提供することができるという効果がある。
In particular, according to the invention of
また、請求項4,請求項8及び請求項10の発明によれば、台座やチャックテーブルをチタニウムによって形成したので、吸着装置やチャックテーブルの軽量化を図ることができると共に、切削粉等の汚れの付着を防止することができる。さらに、請求項5及び請求項9の発明によれば、台座の側壁外面と波形状のうねりが設けられているので、指先がうねりにフィットし、吸着装置の取扱や持ち運びを容易且つ安全に行うことができる。
According to the inventions of
以下、この発明の実施例について図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は、この発明の第1の実施例に係る吸着装置の分解斜視図であり、図2は天壁を示す平面図であり、図3は台座の内部を底面側から見た底面図であり、図4は吸着装置の概略断面図である。
図1に示すように、吸着装置1は、台座2と、駆動機構3と、載置板としてのセラミックポーラス4とを備えている。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a suction device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a top wall, and FIG. 3 is a bottom view of the inside of a pedestal as viewed from the bottom side. FIG. 4 is a schematic sectional view of the adsorption device.
As shown in FIG. 1, the
台座2は、吸着対象物であるワークW(図5参照)を載置するための筒状体であり、天壁20と側壁24とで構成されている。
天壁20は、セラミックポーラス4を載せることができる平坦な円形部であり、その中心に吸引孔21が穿設され、吸引孔21の外側位置に解放孔22が穿設されている。また、天壁20の表面には、図2に示すように同心状の円形溝23a〜23cと、十字溝23dとが刻設されており、吸引孔21,解放孔22はこれらの溝23a〜23d上に位置する。
側壁24は、図1及び図3に示すように、天壁20と共に内部に駆動機構3の収納室を画成しており、その下部に、空気供給口25と空気排出口26とを有している。このような側壁24の外側には、図4にも示すように、指先に対応した波形状のうねり24aが形成されており、吸着装置の取扱や持ち運びを容易且つ安全に行うことができるようにしている。
上記の如き台座2は、全てチタニウムによって形成されており、その外径Dは170mm、天壁20の外径dは152mm、高さhは50mmに設定され、装置の軽量化と小型化とが図られている。
The
The
As shown in FIGS. 1 and 3, the
The
駆動機構3は、図1及び図3に示すように、台座2内に収納され、外部から供給された空気を利用して、ワークWを台座2上に吸着し又は解放するための機構である。
この駆動機構3は、切換器30と負圧発生器としての真空発生器31とを備えてなる。 具体的には、切換器30は、流入口30aと第1の流出口30bと第2の流出口30cとを有している。そして、流入口30aがチューブ32を介して台座2の空気供給口25に連結され、流出口30bがチューブ33を介して真空発生器31に連結され、流出口30cがチューブ34を介して台座2の解放孔22に連結されている。
このような切換器30は、側壁24外面に取り付けられた操作部としての摘み30eに回転軸30dを連結させた状態で、台座2内に固定されている。この切換器30の切換の選択は「VACCUM」,「OFF」,「BLOW」の3種類あり、摘み30eを「VACCUM」印に合わせると、流入口30aと流出口30bとが連通し、「OFF」印に合わせると、流入口30aは流出口30b,30cのいずれにも連通せず、「BLOW」印に合わせると、流入口30aと流出口30cとが連通するようになっている。
一方、真空発生器31は、その空気流出口がチューブ35を介して台座2の空気排出口26に連結され、吸引口31aがチューブ36を介して台座2の吸引孔21に連結されている。この真空発生器31は、公知の機器であり、チューブ33から流入した空気をチューブ35側に高速流出させることで、チューブ36及び吸引孔21内の空気を吸引し、吸引孔21内を負圧にする機能を有する。
As shown in FIGS. 1 and 3, the
The
Such a
On the other hand, the air outlet of the
セラミックポーラス4は、ワークWを載置するための平坦且つ多孔質の円板体であり、その外径は、天壁20の外径と略等しく設定されている。
The ceramic porous 4 is a flat and porous disk body on which the workpiece W is placed, and the outer diameter thereof is set to be approximately equal to the outer diameter of the
次に、この実施例の吸着装置1が示す作用及び効果について説明する。
図5は、エアポンプを吸着装置1に接続した状態を示す斜視図である。
例えば、ダイシングや研削作業を行う場合には、吸着装置1を所定の場所迄運搬し、セットする必要がある。この実施例の吸着装置1では、台座2の側壁24に、指先に対応した波形状のうねり24aが形成されているので、手で容易に持ち運ぶことができる。さらに、台座2全体がチタニウムで形成されているので、吸着装置1自体が軽量である。したがって、吸着装置1のセッティングも容易且つ正確に行うことができる。
吸着装置1をセットした後、ワークWを吸着装置1に固定する場合には、エアポンプ5のチューブ50を吸着装置1の空気供給口25に接続すると共に、ワークWに図示しない接着テープを貼って、そのワークWを吸着装置1のセラミックポーラス4上に載置する。
かかる状態で、エアポンプ5からエアを吸着装置1に送ると共に吸着装置1の摘み30eを「VACCUM」印に合わせる。
図6は、吸着装置1の吸着動作時におけるエアの流れを示す底面図であり、図7は、吸着装置1の吸着動作を示す部分拡大断面図である。
摘み30eを「VACCUM」印に合わせると、切換器30の流入口30aと流出口30bとが連通し、図6の矢印で示すように、エアポンプ5からチューブ50,空気供給口25,チューブ32を通じて切換器30の流入口30aに送り込まれたエアAは、流出口30bからチューブ33を通じて真空発生器31内に送出される。すると、真空発生器31の機能により、エアAがチューブ35側に高速流出されて空気排出口26から排出されると同時に、チューブ36及び吸引孔21内のエアAが吸引されて、吸引孔21内が負圧になる。すなわち、図7に示すように、セラミックポーラス4の孔,溝23a〜23d,吸引孔21,チューブ36内のエアAが吸引されて、これらの空間が負圧状態になる。この結果、ワークWがセラミックポーラス4上に吸着される。このとき、セラミックポーラス4が多孔質の円板体であるため、ワークW全体が均一な吸引力でセラミックポーラス4上に吸着固定されることとなる。
かかる状態で、図5に示すように、吸着装置1上に固定されたワークWに対して、ダイシングや研削作業を行うことができる。かかる作業においては、ワークWの切断粉や切削液が飛散し、吸着装置1に付着するおそれがある。しかし、台座2を全てチタニウムによって形成してあるので、切削粉などが台座2に付着することはほとんどない。さらに、チタニウムの熱膨張率はセラミックスの熱膨張率と近いため、天壁20やセラミックポーラス4の平面度が外気温度によって損なわれることなく、この結果、高精度の作業を行うことができる。
Next, the operation and effect of the
FIG. 5 is a perspective view showing a state where the air pump is connected to the
For example, when dicing or grinding work is performed, it is necessary to transport and set the
When the workpiece W is fixed to the
In this state, air is sent from the
FIG. 6 is a bottom view showing the air flow during the suction operation of the
When the
In this state, as shown in FIG. 5, dicing and grinding operations can be performed on the workpiece W fixed on the
作業終了後は、ワークWを固定状態から解放して取り外し、次のワークWの加工を行う。
かかる場合には、吸着装置1の摘み30eを「BLOW」印に合わせる。
図8は、吸着装置1の解放動作時におけるエアの流れを示す底面図であり、図9は、吸着装置1の解放動作を示す部分拡大断面図である。
摘み30eを「BLOW」印に合わせると、図8の矢印で示すように、切換器30において、流入口30aと流出口30bとの連通状態から流入口30aと流出口30cとの連通状態に切り換わる。すると、エアポンプ5から流入口30aに送り込まれたエアAは、流出口30cからチューブ34を通じて天壁20の解放孔22内に送出される。
この結果、図9に示すように、エアAが、解放孔22,溝23a〜23d,セラミックポーラス4の孔を通って、ワークWの裏面に至り、これらの空間を正圧状態にするので、ワークWが取外可能な解放状態になる。
After the work is completed, the workpiece W is released from the fixed state and removed, and the next workpiece W is processed.
In such a case, the
FIG. 8 is a bottom view showing the flow of air during the releasing operation of the
When the
As a result, as shown in FIG. 9, the air A passes through the release holes 22, the
以上のように、この実施例の吸着装置1は、1台の軽量且つ小型の装置で、ワークWに対する吸着機能と吸引孔21内への負圧発生機能と切換器30による吸着/解放切換機能とを併せ持つという優れた効果を有する。
As described above, the
次に、この発明の第2の実施例に係る吸着装置について説明する。
図10は、この発明の第2の実施例に係る吸着装置の分解斜視図である。なお、この図において、図1に示した部材と同一部材については同一符号を付して説明する。
図10に示すように、吸着装置1′は、天壁20′を有した台座2′とセラミックポーラス4とを備えている点で上記第1の実施例と同様であるが、駆動機構3の代わりに真空ポンプ6を適用した点が上記第1の実施例と異なる。
Next, an adsorption apparatus according to a second embodiment of the invention will be described.
FIG. 10 is an exploded perspective view of the adsorption device according to the second embodiment of the present invention. In this figure, the same members as those shown in FIG.
As shown in FIG. 10, the
台座2′は、第1の実施例とほぼ同構造であるが、セラミックポーラス4を載せる天壁20′は、中心の小孔21′のみを有している。すなわち、この小孔21′を通じてワークWの吸引だけでなくワークWの解放をも行う構造になっている。天壁20′表面には、円形溝23a〜23cと十字溝23dとが刻設され、側壁24の外側にはうねり24aが設けられている。そして、側壁24には空気給排口25′のみが設けられている。かかる台座2′は上記台座2と同様に、全てチタニウムによって形成されている。
The pedestal 2 'has substantially the same structure as that of the first embodiment, but the top wall 20' on which the ceramic porous 4 is placed has only a central small hole 21 '. That is, not only the work W is sucked but also the work W is released through the small hole 21 '.
真空ポンプ6は、ワークWを天壁20′上のセラミックポーラス4に吸着し又は解放するための公知のポンプであり、台座2′内に収納されている。
具体的には、真空ポンプ6は、第1の空気流出入口61と第2の空気流出入口62とを有している。そして、空気流出入口61がチューブ63を介して側壁24の空気給排口25′に連結され、空気流出入口62がチューブ64を介して天壁20′の小孔21′に連結されている。
このような真空ポンプ6は、電気スイッチ軸6bを操作部としての摘み6aに連結させた状態で、台座2′内に固定されている。この真空ポンプ6は電動式であり、内蔵された図示しないモータが、外部コンセントに接続されたプラグ65のコード66を通じて電気を入力する。この真空ポンプ6は、摘み6aを用いて、小孔21′の空気の吸引又は小孔21′内への空気の供給を選択的に行うことができる。すなわち、摘み6aを「VACCUM」印に合わせると、上記モータが正回転をして、小孔21′内の空気をチューブ64及び空気流出入口62を通じて吸引する。そして、空気流出入口61,チューブ63及び空気給排口25′を通じて、吸引空気を外部に排気することで、小孔21′内を負圧にする。また、摘み6aを「OFF」印に合わせると、モータは停止し、「BLOW」印に合わせると、モータが逆回転をして、外部の空気を、空気給排口25′,チューブ63,空気流出入口61,空気流出入口62及びチューブ64を通じて小孔21′内に供給し、小孔21′内を正圧にする。
その他の構成,作用及び効果は上記第1の実施例と同様であるので、その記載は省略する。
The
Specifically, the
Such a
Since other configurations, operations, and effects are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.
最後に、この発明の第3の実施例に係るチャックテーブルについて説明する。
図11は、この発明の第3の実施例に係るチャックテーブルを示す斜視図であり、図12は、このチャックテーブルの断面図である。なお、この図において、図1〜図10に示した部材と同一部材については同一符号を付して説明する。
図11及び図12に示すように、この実施例のチャックテーブル7は、平坦な天面70と空気通路71とを有し、チャックテーブル7全体がチタニウムによって形成されている。
Finally, a chuck table according to a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 11 is a perspective view showing a chuck table according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a cross-sectional view of the chuck table. In this figure, the same members as those shown in FIG. 1 to FIG.
As shown in FIGS. 11 and 12, the chuck table 7 of this embodiment has a flat
天面70は、セラミックポーラス4を載せるための部分であり、上記第2の実施例の天壁20′と同様に、天面70の中心に開口した小孔72のみを有し、この小孔72を通じてワークWの吸引及び解放をも行う。また、天面70には、円形溝23a〜23cと十字溝23dとが形成されている。
一方、空気通路71は、チャックテーブル7の内部に形成された中空路であり、そのほぼ中心部において、上記小孔72と連通している。また、この空気通路71は、天面70以外の部位であるチャックテーブル7の側面で開口している。
The
On the other hand, the
上記の如きチャックテーブル7には、上記真空ポンプ6と同機能の真空ポンプ6′が連結されている。
具体的には、真空ポンプ6は、チャックテーブル7の外部に置かれ、空気流出入口68から延出されたチューブ67が空気通路71の開口部71aに連結されている。なお、この真空ポンプ6′は、摘み69をその外側面に有している。
A
Specifically, the
かかる構成により、真空ポンプ6′の摘み69を「VACCUM」印に合わせると、真空ポンプ6′がチャックテーブル7の小孔72内の空気を空気通路71,チューブ67及び空気流出入口68を通じて吸引することで、小孔72内を負圧にする。また、摘み69を「BLOW」印に合わせると、外部の空気をチューブ67を通じて空気通路71内に供給し、小孔72内を正圧にする。すなわち、真空ポンプ6′によって小孔72の空気の吸引又は小孔72内への空気の供給を選択的に行うことができる。
その他の構成,作用及び効果は上記第1及び第2の実施例と同様であるので、その記載は省略する。
With this configuration, when the
Since other configurations, operations, and effects are the same as those in the first and second embodiments, description thereof is omitted.
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施例では、載置板として、セラミックポーラス4を用いたが、金属焼結体のような多孔質の平板を用いても同様の作用効果を得ることができることは勿論である。
また、上記実施例では、載置板を用いた例について説明したが、載置板を用いない吸着装置やチャックテーブルを発明の範囲から除外する意味ではない。かかる場合には、同材質で吸着面が構成されるため、天壁20,20′,天面70及び側壁24の全てにおいて熱膨張率、熱伝導率が同じとなり、外気温度変化に対する平坦精度が向上するものと考えられる。また、台座2,2′をチタニウムで形成した例について説明したが、台座2,2′をアルミニウムやステンレスで形成した吸着装置を発明の範囲から除外する意味ではない。
さらに、上記実施例では、ダイシングや研削作業に使用する場合を例にして説明したが、その使用態様はこれに限るものではない。非磁性体,磁気に弱いワークや負荷をかけると変形してしまうワーク等に使用することで、その機能をいかんなく発揮する。
In addition, this invention is not limited to the said Example, A various deformation | transformation and change are possible within the range of the summary of invention.
For example, in the above-described embodiment, the ceramic porous 4 is used as the mounting plate, but it is needless to say that the same effect can be obtained even if a porous flat plate such as a metal sintered body is used.
Moreover, although the example using the mounting plate has been described in the above embodiment, it does not mean that a suction device or a chuck table that does not use the mounting plate is excluded from the scope of the invention. In such a case, since the adsorption surface is made of the same material, the thermal expansion coefficient and thermal conductivity are the same in all of the
Furthermore, in the said Example, although demonstrated using the case where it uses for a dicing and grinding operation as an example, the use aspect is not restricted to this. By using it on non-magnetic materials, workpieces that are weak against magnetism, or workpieces that deform when a load is applied, the functions are fully demonstrated.
1,1′…吸着装置、 2,2′…台座、 3…駆動機構、 4…セラミックポーラス、 5…エアポンプ、 6,6′…真空ポンプ、 6a,69,30e…摘み、 7…チャックテーブル、 20,20′…天壁、 21…吸引孔、 21′,72…小孔、 22…解放孔、 23a〜23c…円形溝、 23d…十字溝、 24…側壁、 24a…うねり、 25…空気供給口、 25′…空気給排口、 26…空気排出口、 30…切換器、 30a…流入口、 30b,30c…流出口、 31…真空発生器、 32〜36,63,64,67…チューブ、 61,62,68…空気流出入口、 70…天面、 71…空気通路、 71a…開口部、 A…エア、 W…ワーク。
DESCRIPTION OF
Claims (12)
上記台座は、上記天壁に穿設された吸引孔及び解放孔と、側壁に設けられた空気供給口及び空気排出口とを有し、
上記駆動機構は、上記台座の空気供給口に連結された流入口,第1の流出口,及び上記解放孔に連結された第2の流出口を有し、上記側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、上記流入口を上記第1の流出口又は第2の流出口のいずれかに選択的に連通させることができる切換器と、この切換器の第1の流出口からの空気を上記空気排出口側に高速流出させることで、上記吸引孔内を負圧にする負圧発生器とを有する、
ことを特徴とする吸着装置。 In order to adsorb or release the adsorption object on the ceiling wall using a pedestal having a flat top wall for placing the adsorption object and air stored in the pedestal and supplied from the outside An adsorption device comprising:
The pedestal has a suction hole and a release hole formed in the top wall, an air supply port and an air discharge port provided in the side wall,
The drive mechanism has an inlet connected to the air supply port of the pedestal, a first outlet, and a second outlet connected to the release hole, and is attached to the outer surface of the side wall. And a switching device capable of selectively communicating the inlet with either the first outlet or the second outlet, and air from the first outlet of the switching device as described above. It has a negative pressure generator that makes the inside of the suction hole negative by letting it flow out to the air outlet side at a high speed,
An adsorption device characterized by that.
上記台座の天壁の上に、平坦な多孔質の載置板を設けた、
ことを特徴とする吸着装置。 The adsorption device according to claim 1,
On the top wall of the pedestal, a flat porous mounting plate was provided.
An adsorption device characterized by that.
上記載置板は、セラミックポーラス又は金属焼結体のいずれかである、
ことを特徴とする吸着装置。 The adsorption device according to claim 2,
The mounting plate described above is either ceramic porous or sintered metal,
An adsorption device characterized by that.
上記台座をチタニウムによって形成した、
ことを特徴とする吸着装置。 In the adsorption | suction apparatus in any one of Claim 1 thru | or 3,
The pedestal is made of titanium,
An adsorption device characterized by that.
上記台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた、
ことを特徴とする吸着装置。 In the adsorption | suction apparatus in any one of Claim 1 thru | or 4,
On the outer surface of the side wall of the pedestal, a wave-shaped swell corresponding to the fingertip was provided.
An adsorption device characterized by that.
上記台座は、上記天壁に穿設された小孔を有し、
上記真空ポンプは、上記台座の外部に連通した第1の空気流出入口と上記小孔に連通した第2の空気流出入口とを有し、台座の側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、上記小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができるものである、
ことを特徴とする吸着装置。 An adsorption device comprising a pedestal having a flat top wall for placing an adsorption object, and a vacuum pump stored in the pedestal and adsorbing or releasing the adsorption object on the ceiling wall ,
The pedestal has a small hole drilled in the top wall,
The vacuum pump has a first air outflow inlet that communicates with the outside of the pedestal and a second air outflow inlet that communicates with the small hole, and uses an operation unit attached to the outer surface of the side wall of the pedestal. The suction of air in the small hole or the supply of air into the small hole can be performed selectively.
An adsorption device characterized by that.
上記天壁の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた、
ことを特徴とする吸着装置。 The adsorption device according to claim 6,
On the top wall, a flat porous mounting plate made of a ceramic porous or metal sintered body is provided.
An adsorption device characterized by that.
上記台座をチタニウムによって形成した、
ことを特徴とする吸着装置。 The adsorption device according to claim 6 or 7,
The pedestal is made of titanium,
An adsorption device characterized by that.
上記台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた、
ことを特徴とする吸着装置。 In the adsorption | suction apparatus in any one of Claim 6 thru | or 8,
On the outer surface of the side wall of the pedestal, a wave-shaped swell corresponding to the fingertip was provided.
An adsorption device characterized by that.
ことを特徴とするチャックテーブル。 It has a flat top surface for placing the object to be adsorbed, and an air passage that communicates with a small hole opened on the top surface and opens at a portion other than the top surface, and is entirely formed of titanium.
A chuck table characterized by that.
上記天面の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた、
ことを特徴とするチャックテーブル。 The chuck table according to claim 10, wherein
On the top surface, provided with a flat porous mounting plate made of ceramic porous or sintered metal, etc.,
A chuck table characterized by that.
チューブを上記空気通路の上記開口に連結し、このチューブを通じて上記小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができる真空ポンプを取り付けた、
ことを特徴とするチャックテーブル。 The chuck table according to claim 10 or 11,
A tube was connected to the opening of the air passage, and a vacuum pump capable of selectively sucking air in the small hole or supplying air into the small hole through the tube was attached.
A chuck table characterized by that.
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