JP2004323342A - カーボンナノチューブの配向方法および組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくともカーボンナノチューブとイオン性液体からなるゲル状組成物に電場を加えることにより前記ゲル組成物中のカーボンナノチューブを配向させる方法であり、また少なくともカーボンナノチューブとイオン性液体からなるゲル状組成物であり、電界を印加することによりカーボンナノチューブを配向させることを特徴とするカーボンナノチューブの配向方法である。
【選択図】 なし
Description
例えば、半導体ICは飛躍的に高性能化が進められてきたものの、現状ではリソグラフィー技術の限界が見え始め、リソグラフィー技術の限界を破った微細化した配線構造を形成することができる新たな技術が望まれている。そこで、カーボンナノチューブの約1nmといった極細の径を利用した研究が多く行われているが(特開平2002-329723号等)、逆にカーボンナノチューブのその細さ故、加工性が非常に悪くまだ実用化にはほど遠い。しかし、本発明によればカーボンナノチューブを含んだゲル状組成物を塗布し、電界を所望の方向に印加しながらカーボンナノチューブを基板上に接着もしくは固着することでナノ配線を行うことができる。
またこの配向による抵抗値の変化を利用したスイッチング素子やメモリへの応用が可能である。
[PR5xH4-x]+ ・・(IV)
上記の式(I)〜(IV)において、R2〜R5はそれぞれ独立で炭素数10以下のアルキル基またはエーテル結合を含み、炭素と酸素の合計数が10以下のアルキル基を表す。式(I)においてR1は炭素数1〜4のアルキル基または水素原子を表し、炭素数1のメチル基がより好ましい。また式(I)において、R2とR1は同一ではないことが好ましい。式(III)及び(IV)において、Xは1〜4の整数である。
カーボンナノチューブの配向変化を電気抵抗値の変化としてモニターするために図6に示すような測定用セルを作成した。まず、4端子法により電気抵抗値を測定するために、ガラス基板上に、金を蒸着により、電極の幅1mm、電極間の間隔幅2mm、中央の間隔幅は1mmとなるように4本の線状の電極を形成した。これら4本の電極全てをまたがるようにカーボンナノチューブゲルを塗布した。電界を印加する方法としては、図7に示すように電気抵抗値の測定方向に対して平行方向に配置できるようにした。
3 ガラス製治具
4 金属電極
5 凹部
6 直流電源
7 黒色ゲル
8 単層カーボンナノチューブ
9 金属電極
10 黒色ゲル
11 ガラス製治具
13 カーボンナノチューブ
14 カーボンナノチューブアレイ
Claims (4)
- 少なくともカーボンナノチューブを含んだ材料に電界を印加することにより、カーボンナノチューブを配向させることを特徴とするカーボンナノチューブの配向方法。
- 少なくともカーボンナノチューブとイオン性液体からなるゲル状組成物に電界を印加することにより、カーボンナノチューブを配向させることを特徴とするカーボンナノチューブの配向方法。
- 前記記載のカーボンナノチューブの配向方法において、電界を印加しながらカーボンナノチューブ以外の成分を除去しカーボンナノチューブを濃縮することを特徴とする請求項1または2に記載のカーボンナノチューブの配向方法。
- カーボンナノチューブとイオン性液体からなるゲル状組成物であり、カーボンナノチューブが配向していることを特徴とするゲル状組成物。
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