JP2004307125A - 保管棚装置 - Google Patents
保管棚装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004307125A JP2004307125A JP2003101697A JP2003101697A JP2004307125A JP 2004307125 A JP2004307125 A JP 2004307125A JP 2003101697 A JP2003101697 A JP 2003101697A JP 2003101697 A JP2003101697 A JP 2003101697A JP 2004307125 A JP2004307125 A JP 2004307125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shelf
- storage
- unit
- passing
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現する。
【解決手段】収納容器1の保管径路20に4段等の複数の段数で配置され、収納容器1を保管する保管部21aと収納容器1を通過させる通過部21bとを備えた第1棚板部材21と、第1棚板部材21を回転させることにより保管部21aおよび通過部21bを保管径路20上に位置決め可能な第1棚板駆動機構23と、所定段の第1棚板部材21の保管部21aを保管径路20上に位置決めさせるときに、該所定段よりも保管径路20の上流側に配置された第1棚板部材21の通過部21bを保管径路20上に位置決めさせるように第1棚板駆動機構23を制御する保管棚コントローラ25とを有している。
【選択図】 図1
【解決手段】収納容器1の保管径路20に4段等の複数の段数で配置され、収納容器1を保管する保管部21aと収納容器1を通過させる通過部21bとを備えた第1棚板部材21と、第1棚板部材21を回転させることにより保管部21aおよび通過部21bを保管径路20上に位置決め可能な第1棚板駆動機構23と、所定段の第1棚板部材21の保管部21aを保管径路20上に位置決めさせるときに、該所定段よりも保管径路20の上流側に配置された第1棚板部材21の通過部21bを保管径路20上に位置決めさせるように第1棚板駆動機構23を制御する保管棚コントローラ25とを有している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送台車により搬送される荷物を一時的に保管する保管棚装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体基板等を工程内や工程間で搬送台車により搬送して処理を加えながら最終製品とする生産施設においては、処理を加えるまでに不定期間の待ち時間が発生する場合があるため、半導体基板等を中間品として一時的に保管する保管棚装置が設けられている。従来の保管棚装置は、半導体基板等を収納した収納容器を載置する載置台を多段に備えていると共に、各段の載置台に対して収納容器を搬送アームで支持しながら搬送して着脱する移載装置を備えている。また、載置台には、収納容器を通過させることはなく搬送アームのみを通過させる切欠部が形成されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
これにより、従来の構成によれば、搬送装置と各段の載置台との間における収納容器の受け渡しを移載装置を介して行なうことによって、立体的に収納容器を保管して製造施設のスペースを有効利用することが可能になっている。また、移載装置の搬送アームを切欠部を通過させるように移動させることによって、載置台に対して収納容器を円滑に着脱することが可能になっている。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−231785号公報(第3図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、移載装置が保管棚装置にとって必須であるため、移載装置により装置コストが高騰し易いという問題がある。また、スペースの有効利用を一層推し進めようとした場合に、移載装置を配置するスペースが障害になるという問題がある。
【0006】
そこで、本発明は、保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができる保管棚装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の発明は、荷物の保管径路方向に複数の段数で配置され、前記荷物を保管する保管部と前記荷物を通過させる通過部とを備えた棚板機構と、前記棚板機構を移動させることにより前記保管部および前記通過部を前記荷物の保管径路上に位置決め可能な棚板移動機構と、所定段の棚板機構の保管部を前記保管径路上に位置決めさせるときに、該所定段よりも前記保管径路の上流側に配置された棚板機構の通過部を前記保管径路上に位置決めさせるように前記棚板移動機構を制御する棚板制御装置とを有することを特徴としている。
【0008】
上記の構成によれば、移載装置が不要になるため、保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができる。
【0009】
請求項2の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部および通過部が円周状に配列された第1棚板部材を備えており 前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部が配列された円周軌跡の中心部が回転中心となるように前記第1棚板部材を回転させる第1棚板駆動機構と、前記第1棚板部材の回転角度を検出する回転角度検出手段とを有しており、前記棚板制御装置は、前記回転角度検出手段で検出された回転角度に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、回転角度に基づいて容易に位置決めを行なうことができる。
【0010】
請求項3の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部および通過部が一列状に配列された第2棚板部材を備えており、前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部の配列方向に前記棚板機構を進退移動させる第2棚板駆動機構と、前記第2棚板部材の移動量を検出する移動量検出器とを有しており、前記棚板制御装置は、前記移動量検出手段で検出された移動量に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、進退移動の移動距離に基づいて容易に位置決めを行なうことができる。
【0011】
請求項4の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部および通過部が複数列状に配列された第3棚板部材を備えており、前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部が配列された平面内で任意の方向に前記第3棚板部材を移動させる第3棚板駆動機構と、前記第3棚板部材の移動方向および移動量を検出する移動位置検出手段とを有しており、前記棚板制御装置は、前記移動位置検出手段で検出された移動方向および移動量に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、平面的に保管することにより保管数を容易に増やすことが可能になる。
【0012】
請求項5の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部が形成された複数の棚板保管部材と、前記通過部が形成された棚板通過部材とを備えており、前記棚板移動機構は、前記棚板保管部材および棚板通過部材を環状の移動軌跡に沿って案内するように支持する環状支持機構と、前記棚板保管部材および棚板通過部材を移動させる第4棚板駆動機構と、前記棚板保持部材および棚板通過部材の移動量を検出する移動位置検出手段とを有しており、前記棚板制御装置は、前記移動位置検出手段で検出された移動量に基づいて前記棚板保管部材および前記棚板通過部材の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、棚板保管部材の連結により容易に保管数の調整を行なうことができる。
【0013】
請求項6の発明は、請求項1ないし5の何れか1項に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構と前記棚板駆動機構とがユニット化されていることを特徴としている。これにより、ユニット化により段数の変更を容易に行なうことができる。
【0014】
請求項7の発明は、請求項1ないし6の何れか1項に記載の保管棚装置であって、前記保管径路を鉛直方向とした懸垂式昇降搬送装置により前記荷物を搬送する搬送システムを採用した施設に適用されることを特徴としている。
【0015】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)
本発明の第1の実施形態を図1ないし図4に基づいて以下に説明する。
第1の実施形態に係る保管棚装置は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を搬送台車で処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システムに好適に適用される。尚、以降の説明においては、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を収納容器に収納し、この収納容器を荷物として一時的に保管する場合について説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を一時的に保管する必要のある全業種の搬送システムに適用することができる。
【0016】
上記の搬送システムは、軌道上を走行する搬送台車により搬送するOHT(Over head Hoist Transport)やOHS(Over Head Shuttle)等の方式を採用している。具体的に説明すると、搬送システムは、図1に示すように、収納容器1(荷物)を搬送する搬送装置2と、収納容器1の搬送状況や保管状況を管理する図3のメインコントローラ3とを備えている。搬送装置2は、工程内や工程間に設けられ、リニアモータの二次側永久磁石を備えたレール機構4と、レール機構4を走行する搬送台車5とを備えている。レール機構4は、工場建屋の天井側に設けられている。また、レール機構4は、直線軌道や曲線軌道、分岐軌道を形成する各種のモジュールの組み合わせからなっている。そして、レール機構4は、処理装置や後述の保管棚装置6の上方を通過する搬送軌道を形成している。
【0017】
上記のレール機構4には、懸垂式昇降搬送装置である搬送台車5が走行可能に取り付けられている。搬送台車5は、リニアモータの一次側コイル7と搬送台車本体8と把持機構9とを有している。一次側コイル7は、レール機構4の二次側永久磁石に対向配置されている。一次側コイル7は、一次側鉄心コア(積層鉄心)と3相コイルとで構成されており、3相交流の電流が通電されることにより直線状に移動する進行磁界を発生するようになっている。これにより、一次側コイル7は、レール機構4の二次側永久磁石との間の磁気作用により搬送台車5を走行させる推進力を一次側鉄心コアに発生させるようになっている。
【0018】
上記の一次側コイル7は、搬送台車本体8に設けられている。搬送台車本体8は、図示しない位置決め機構と懸垂機構10とを有している。位置決め機構は、搬送台車本体8の位置をティーチングにより微調整するように構成されている。即ち、位置決め機構は、軌道方向に対して左右方向の移動と、ひねり(軌道方向に対する角度)との位置補正を行なうように構成されている。これにより、搬送台車5は、例えば収納容器1の保管径路20上の保管停止位置Aに対して数cmの範囲内で位置決めされる。
【0019】
また、懸垂機構10は、4本の懸垂ベルト11と図示しない懸垂駆動機構とを有している。懸垂駆動機構は、図3の懸垂モータ12と、懸垂モータ12により正逆回転可能にされた巻取リールとを有している。巻取リールには、懸垂ベルト11が巻回されている。そして、懸垂機構10は、懸垂モータ12の正逆回転により懸垂ベルト11の巻き出しおよび巻き取りを行なうことによって、収納容器1を鉛直方向に昇降させるようになっている。
【0020】
上記の懸垂ベルト11の下端部には、把持機構9が連結されている。把持機構9は、図3に示すように、収納容器1のフランジ部1aを保持可能にする把持用アクチュエータ13と、リミットスイッチ等からなる載置検知センサー14とを有している。尚、収納容器1は、一部が外部雰囲気に解放されたOC(open cassette)形式や、容器内部が密閉されたFOUP(front opening unified pod)形式のキャリアであり、内部にウエーハを収納するように構成されている。そして、図1に示すように、フランジ部1aは、収納容器1の上面に形成されている。
【0021】
上記の載置検知センサー14は、収納容器1の上面に対向するように、把持機構9の下面に設けられている。載置検知センサー14は、把持機構9と収納容器1との間に検出限界以上の隙間が形成されているときにオフ状態の検出信号を出力し、検出限界未満の隙間が形成されているときにオン状態の検出信号を出力するように設定されている。これにより、載置検知センサー14は、検出限界以上の隙間が形成される収納容器1の懸吊状態と、検出限界未満の隙間が形成される収納容器1の載置状態とを検出することが可能になっている。
【0022】
上記のように構成された搬送台車5は、図3に示すように、搬送台車コントローラ15と、搬送台車コントローラ15に接続された送受信部16とを有している。送受信部16は、無線通信によりデータ信号をメインコントローラ3および保管棚装置6との間で送受信可能にしている。
【0023】
搬送台車コントローラ15は、演算部や記憶部、入出力部等を備えている。入出力部には、上述の懸垂モータ12、把持用アクチュエータ13、一次側コイル7および載置検知センサー14が接続されている。入出力部は、懸垂モータ12と把持用アクチュエータ13と一次側コイル7とをそれぞれ任意のタイミングで作動させると共に、載置検知センサー14からの検出信号を取り込むようになっている。また、記憶部は、演算部で実行される図4の搬送台車制御ルーチン等のプログラムや、走行位置データ、自己を特定する台車番号データ等の各種のデータを記憶している。尚、走行位置データは、処理装置や保管棚装置6に対して収納容器1を着脱する位置や、軌道上の分岐部の位置等を示すデータである。また、台車番号データは、搬送軌道上に存在する全ての搬送台車5に個別に付与されたデータである。
【0024】
上記のように構成された搬送台車5は、図1に示すように、保管棚装置6の上方を通過可能にされている。保管棚装置6は、収納容器1の保管径路20方向に3段に配置された第1棚板部材21(棚板機構)と、最下段に配置された第1底部棚板部材22とを備えている。これらの第1棚板部材21と第1底部棚板部材22とは、回転中心軸が一致されている。また、各段の間隔は、収納容器1が上方の第1棚板部材21に接触しないように、収納容器1の全高よりも大きな長さに設定されている。尚、第1棚板部材21の段数は、1段であっても良いし、2段以上であっても良い。
【0025】
上記の第1棚板部材21は、円板形状に形成されている。第1棚板部材21は、収納容器1を保管する複数の保管部21aと、収納容器1を通過させる単数の通過部21bとを備えている。保管部21aと通過部21bとは、回転中心を中心部とした円周軌跡上に存在するように配列されている。また、円周軌跡は、保管径路20と交差するように設定されている。これにより、円周軌跡上に存在する保管部21aと通過部21bとは、第1棚板部材21の回転により保管径路20上に位置決め可能にされている。
【0026】
隣接する保管部21a・21aの間隔は、収納容器1・1同士が接触しないように設定されている。また、保管部21aと通過部21bとの間隔は、収納容器1が通過部21bを通過するときに、保管部21の収納容器1に接触しないように設定されている。また、通過部21bは、第1棚板部材21の端面から中心部側に切り欠くことにより形成されている。尚、通過部21bは、第1棚板部材21のサイズ(通過部21bの個数)に応じて複数箇所に配置されていても良い。
【0027】
一方、最下段に配置された第1底部棚板部材22は、第1棚板部材21と同様に円板形状に形成されている。第1底部棚板部材22の径は、第1棚板部材21の径と一致されている。第1底部棚板部材22は、複数の保管部22aを備えている。保管部22aは、回転中心を中心部とし、保管径路20と交差する円周軌跡上に存在するように配列されている。これにより、保管部22aは、第1底部棚板部材22の回転により保管径路20上に位置決め可能にされている。また、隣接する保管部22a・22aの間隔は、収納容器1同士が接触しないように設定されている。
【0028】
上記の第1棚板部材21および第1底部棚板部材22は、図2に示すように、第1棚板駆動機構23により回転可能に支持されていると共に、保管径路20に対して直交するように水平方向に支持されている。第1棚板駆動機構23は、棚板部材21・22の中心部(回転中心)を回転自在に支持する図示しない棚板支持部材と、棚板支持部材に回転自在に貫挿され、上面が棚板部材21・22の下面に連結された従動プーリ部材31と、従動プーリ部材31の側方に配置された駆動プーリ部材32と、駆動プーリ部材32に減速機35を介して連結された棚板駆動モータ33と、駆動プーリ部材32と棚板駆動モータ33とに掛け渡された駆動ベルト34とを有している。これにより、第1棚板駆動機構23は、棚板駆動モータ33の駆動力を駆動ベルト34を介して従動プーリ部材31に伝達することによって、棚板部材21・22を回転させることが可能になっている。
【0029】
また、第1棚板駆動機構23は、従動プーリ部材31に連結された回転角度検出器36を備えている。回転角度検出器36は、従動プーリ部材31の回転角度を検出することによって、棚板部材21・22の回転角度を検出可能にされている。そして、このように構成された第1棚板駆動機構23は、各棚板部材21・22に取り付けられることによりユニット化されている。これにより、保管棚装置6は、第1棚板部材21と第1棚板駆動機構23と回転角度検出器36とからなる棚ユニット24を増減することによって、段数を容易に変更することが可能になっている。
【0030】
上記の各棚ユニット24は、図3に示すように、保管棚コントローラ25により制御されている。保管棚コントローラ25は、送受信部26に接続されている。送受信部26は、無線通信によりデータ信号を保管棚装置6とメインコントローラ3と搬送台車5との間で送受信可能にしている。保管棚コントローラ25は、演算部や記憶部、入出力部等を備えている。入出力部は、上述の棚板駆動モータ33および回転角度検出器36に接続されている。入出力部は、棚板駆動モータ33を任意のタイミングで作動させると共に、回転角度検出器36からの検出信号(回転角度)を取り込むようになっている。また、記憶部は、演算部で実行される図4の棚制御ルーチン等のプログラムや、各棚ユニット24を特定する棚ユニット番号データ、各保管部21a・22aを特定する保管部番号データ、各保管部21a・22aおよび通過部21bの配置場所を特定するように決定された原点位置からの配置角度データ等を記憶している。尚、記憶部は、保管棚装置6が複数台存在する場合、各保管棚装置6を特定する棚番号データを記憶している。
【0031】
上記の構成において、保管棚装置6の動作を説明する。
【0032】
メインコントローラ3は、全ての収納容器1の保管状態や搬送先等を管理および監視していると共に、搬送軌道上に存在する全ての搬送台車5の搬送状態を管理および監視している。そして、収納容器1を処理装置に搬送する場合には、搬送対象となる収納容器1と、搬送に使用される搬送台車5と、搬送先である処理装置とを特定した後、これらの特定した内容を含んだ搬送指令信号を搬送台車5に送信する。また、収納容器1を保管する場合には、収納容器1の保管を指示する内容を含んだ棚着脱指令信号を搬送台車5に送信する。一方、保管棚装置6から収納容器1を取り出す場合には、収納容器1の取り出しを指示する内容を含んだ棚着脱指令信号を搬送台車5に送信する。
【0033】
また、収納容器1を保管する場合には、保管棚装置6における空状態の保管部21a・22aを選択する。一方、保管棚装置6から収納容器1を取り出す場合には、取出し対象の収納容器1を保管した保管部21a・22aを選択する。そして、選択した保管部21a・22aが存在する棚ユニット24の棚ユニット番号と保管部番号とを含む棚指令信号を保管棚装置6に送信する。
【0034】
上記のようにして信号が送信される搬送台車5と保管棚装置6とは、図4に示すように、搬送台車制御ルーチンと棚制御ルーチンとをそれぞれ実行している。
【0035】
保管棚装置6においては、メインコントローラ3からの棚指令信号を受信したか否かを判断し(T1)、搬送指令信号を受信しなければ(T1,NO)、T1を繰り返して実行することにより搬送指令信号の受信待ち状態を維持する。一方、棚指令信号を受信した場合には(T1,YES)、棚指令信号の信号内容を取り込む。そして、信号内容に含まれる棚ユニット番号および保管部番号を取得する(T2)。
【0036】
次に、棚ユニット番号および保管部番号に基づいて昇降スペース形成処理を実行する。例えば棚ユニット番号が4段目であるとすると、この4段目よりも上方に配置された1段目から3段目の棚ユニット24については、通過部21bを保管径路20に位置させるように作動する。また、4段目の棚ユニット24については、保管部番号に対応する保管部22aを保管径路20に位置させるように作動する(T4)。
【0037】
即ち、1段目から3段目の棚ユニット24においては、通過部21bに対応する配置角度を取得する。そして、図2に示すように、第1棚板駆動機構23の棚板駆動モータ33により第1棚板部材21を回転させる。また、このときに、回転角度検出器36により第1棚板部材21の回転角度を検出する。そして、第1棚板部材21の回転角度と通過部21bの配置角度とに基づいて、通過部21bが保管径路20に位置したときに回転を停止する。この結果、1段目から3段目の棚ユニット24における通過部21bは、保管径路20において上下方向に揃った状態となる。これにより、収納容器1を通過可能にする鉛直方向の通過スペースが保管径路20上に形成される。
【0038】
また、4段目の棚ユニット24は、保管部番号に対応する保管部22aの配置角度を取得する。そして、上述の1段目〜3段目の棚ユニット24の場合と同様に、第1底部棚板部材22を回転させ、回転角度と配置角度とに基づいて所望の保管部22aを保管径路20上に位置させる。これにより、図1に示すように、保管棚装置6は、搬送台車5の保管停止位置Aの真下に第1底部棚板部材22の保管部22aが露出した状態となる。
【0039】
尚、最下段と最上段との間に配置された例えば3段目の棚ユニット24の保管部21aを保管径路20上に位置させる場合には、この3段目の棚ユニット24の保管部22aと、この棚ユニット24よりも上方に配置された1段目および2段目の棚ユニット24の通過部21bとが保管径路20上に位置するように作動される。一方、4段目の棚ユニット24については、停止状態が維持される。また、1段目である最上段の棚ユニット24の保管部21aを保管径路20上に配置させる場合には、1段目の棚ユニット24のみを作動させる。
【0040】
以上の保管部設定処理は、収納容器1を保管する場合と収納容器1の取り出す場合とにおいて同様に実施される。そして、この保管部設定処理が完了すると、棚準備完了信号を搬送台車5に送信し、収納容器1の通過スペースが保管径路20上に確保された旨を報知する(T5)。この後、T1を再実行し、メインコントローラ3から送信される次の棚指令信号の受信待ち状態に移行する。
【0041】
一方、搬送台車5においては、メインコントローラ3からの搬送指令信号を受信したか否かを判断している(S1)。搬送指令信号を受信しなければ(S1,NO)、S1を繰り返して実行することにより搬送指令信号の受信待ち状態を維持する。一方、搬送指令信号を受信した場合には(S1,YES)、搬送指令信号の信号内容を取り込む。そして、信号内容に含まれる台車番号データに基づいて自己の搬送台車5に対する指令であることを確認した後、信号内容に含まれる指令の種類を読み取る(S2)。この後、読み取った指令が棚着脱指令であるか否かを判定し(S3)、棚着脱指令でない場合には(S3,NO)、収納容器1を処理装置等へ搬送する搬送処理を行なう(S4)。
【0042】
具体的には、搬送指令信号の信号内容に基づいて搬送先となる処理装置等の指定場所を認識し、この指定場所(走行位置データ)に到達するための走行ルートを決定する。尚、走行ルートは、メインコントローラ3からの搬送指令信号に含まれていても良い。そして、図1の一次側コイル7に3相交流電流を流すことにより直線状に移動する進行磁界を発生させ、搬送軌道の永久磁石との間の磁気作用で発生した推進力により走行を開始する。走行時においては、搬送軌道中に設けられたバーコード表示等による軌道位置データに基づいて走行ルートを確認する。指定場所に到達すると、搬送台車本体8の位置をティーチングにより微調整した後、収納容器1の着脱を行なう。
【0043】
また、読み取った指令が棚着脱指令である場合には(S3,YES)、保管棚装置6に到達するための走行ルートを決定する。尚、走行ルートは、メインコントローラ3からの搬送指令信号に含まれていても良い。そして、搬送処理の場合と同様に、リニアモータの推進力により走行する。図1に示すように、保管棚装置6の上方に到達すると、搬送台車本体8の位置をティーチングにより微調整することによって、保管径路20上の保管停止位置Aに対して数cmの範囲内で位置決めする(S5)。
【0044】
この後、保管棚装置6から棚準備完了信号を受信したか否かを判定し(S6,NO)、棚準備完了信号を受信しなければ(S6,NO)、S6を繰り返して実行することにより棚準備完了信号を受信するまで待機する。この後、棚準備完了信号を受信すると(S6,YES)、受信した旨を保管棚装置6に報知した後、キャリア着脱処理を実行する(S7)。
【0045】
即ち、例えば収納容器1を保管棚装置6に保管する場合には、図1に示すように、懸垂ベルト11を巻き出すことによって、把持機構9に保持された収納容器1を保管径路20に一致した状態で下降させる。この際、保管棚装置6において、例えば4段目の棚ユニット24の保管部22aに収納容器1を保管するものであるとすると、この棚ユニット24よりも上段(1段、2段、3段)の棚ユニット24は、通過部21bが保管径路20に位置決めされた状態になっている。これにより、1段〜3段の棚ユニット24は、保管径路20上に通過スペースを形成している。この結果、収納容器1は、下降途中に存在する各段の第1棚板部材21に接触および衝突することなく4段目の棚ユニット24まで下降し、第1底部棚板部材22の保管部22aに載置される。
【0046】
収納容器1の載置は、載置検知センサー14により検出される。そして、収納容器1の下降が停止された後、把持機構9による収納容器1の保持が解除される。この後、把持機構9のみが引き上げられることによって、収納容器1の保管が完了する。尚、収納容器1を保管棚装置6から取り出す場合には、上述の動作とは逆の動作が行なわれ、載置検知センサー14により把持機構9が収納容器1に到達したことを確認した後、把持機構9により収納容器1を保持しながら引き上げる。
【0047】
上記ようにしてキャリア着脱処理が完了すると、着脱処理完了信号をメインコントローラ3に送信する(S8)。この後、S1から再実行し、メインコントローラ3から送信される次の搬送指令信号の受信待ち状態に移行する。
【0048】
以上のように、本実施形態の保管棚装置は、収納容器1(荷物)の保管径路20に4段等の複数の段数で配置され、収納容器1を保管する保管部21aと収納容器1を通過させる通過部21bとを備えた第1棚板部材21(棚板機構)と、第1棚板部材21を回転(移動)させることにより保管部21aおよび通過部21bを保管径路20上に位置決め可能な第1棚板駆動機構23(棚板移動機構)と、所定段の第1棚板部材21の保管部21aを保管径路20上に位置決めさせるときに、該所定段よりも保管径路20の上流側に配置された第1棚板部材21の通過部21bを保管径路20上に位置決めさせるように第1棚板駆動機構23を制御する保管棚コントローラ25(棚板制御装置)とを有した構成にされている。これにより、移載装置が不要になるため、保管棚装置6を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができる。
【0049】
尚、本実施形態において、保管径路20が鉛直方向となる昇降方向に設定されているが、これに限定されることはなく、水平方向や斜め方向であっても良い。即ち、例えば床搬送式の搬送システムにより荷物を水平方向に移動させて保管する保管棚装置とすることもできる。また、本実施形態において、通過部21bが切欠きにより形成されているが、これに限定されるものでもなく、開口により形成されていても良い。また、通過部21bの形状は、収納容器1の外形に対応したものであることが好ましい。
【0050】
また、本実施形態における保管棚装置6は、第1棚板部材21と第1棚板駆動機構23とがユニット化されている。これにより、ユニット化により段数の変更を容易に行なうことができる。尚、第1棚板駆動機構23は、全第1棚板部材21を1台で移動させるように構成されていても良い。
【0051】
また、本実施形態において、第1棚板部材21は、保管部21aおよび通過部21bが円周状に配列されており、第1棚板駆動機構23は、保管部21aおよび通過部21bが配列された円周軌跡の中心部が回転中心となるように第1棚板部材21を回転させるように構成されていると共に、第1棚板部材21の回転角度を検出する回転角度検出器36(回転角度検出手段)を有しており、保管棚コントローラ25は、回転角度検出器36で検出された回転角度に基づいて保管部21aおよび通過部21bの位置決めを行なうように構成されている。これにより、第1棚板部材21を回転させるという単純な動作によって、保管部21aおよび通過部21bの位置決めを行なうことが可能になっている。尚、本実施形態における第1棚板部材21および第1底部棚板部材22は、円板形状に形成されているが、これに限定されるものではなく、多角形状や矩形状等であっても良い。
【0052】
以上のように、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、その趣旨を超えない範囲において変更が可能である。以下に、その変更例として実施形態2ないし実施形態5を説明するが、これに限定されるものではない。
【0053】
(実施形態2)
本発明の第2の実施形態を図5に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0054】
保管棚装置37は、2段等の棚ユニット34を備えている。最上段となる1段目の第1棚板部材31は、回転中心を中心部とした第1円周軌跡上に配列された複数の保管部31aおよび通過部31bを有している。さらに、この第1棚板部材31は、第1円周軌道よりも大きな半径の第2円周軌道上に配列された複数の保管部31aと通過部31bとを有している。尚、保管部31aおよび通過部31bは、3以上の円周軌道上に配列されていても良い。上記の通過部31bは、第1棚板部材31の周端から中心部側に形成されており、収納容器1の寸法の2倍以上の半径方向の長さとなるように形成されていている。尚、通過部31bは、各円周軌道に対応して形成された開口穴であっても良い。
【0055】
第1棚板部材31の下方(最下段)には、第1棚板部材31と回転中心を一致された底部棚板部材32が配置されている。底部棚板部材32は、第1棚板部材21と同一半径の第1円周軌道上および第2円周軌道上に保管部32aが配列されている。そして、これらの第1棚板部材31および底部棚板部材32は、図2の第1棚板駆動機構23により回転可能に指示されており、棚ユニット34をそれぞれ構成している。そして、このように構成された保管棚装置37は、棚板部材31・32の回転中心がレール機構4による搬送軌道の真下に位置するように配設されている。これにより、通過部31bの長手方向(半径方向)が搬送軌道の軌道方向に一致されている。また、搬送軌道の2箇所には、保管停止位置A・Bが設定されている。これらの保管停止位置A・Bの鉛直方向である保管径路20・20は、保管棚装置6の保管部31a・32aに一致するように設定されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。尚、保管停止位置A・Bは、保管部31a・32aが配列される円周軌道の数に応じて増減されるものである。
【0056】
上記の構成において、収納容器1を保管棚装置37に対して着脱する場合には、2箇所の保管停止位置A・Bを選択して搬送台車5を位置決めすることによって、収納容器1を棚板部材31・32の円周方向と半径方向との2方向で保管することができる。尚、位置決め動作や着脱動作は、実施形態1と同一である。これにより、棚板部材31・32の面全体を使用して保管することができるため、保管棚装置37の収容効率を高めることができる。
【0057】
(実施形態3)
本発明の第3の実施形態を図6に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0058】
本実施形態にかかる保管棚装置46は、一つの開口穴からなる通過部41bと複数の保管部41aとが一列状に配列された帯板形状の第2棚板部材41(棚板機構)を有している。尚、第2棚板部材41は、帯板形状であることが好ましいが、この形状に特に限定されるものではない。また、通過部41bは、開口穴であることが機械的強度の点で好ましいが、切欠により形成されていても良い。第2棚板部材41の下方には、第2底部棚板部材42が配置されている。第2底部棚板部材42は、保管部42aが一列状に配列されている。この配列方向は、上述の第2棚板部材41における保管部41aの配列方向と一致されている。
【0059】
上記の第2棚板部材41および第2底部棚板部材42は、第2棚板駆動機構45(棚板移動機構)により保管部41a・42aの配列方向に進退移動される。第2棚板駆動機構45は、各棚板部材41・42の側方に配置されたネジ軸部材47と、ネジ軸部材47に螺合されていると共に各棚板部材41・42に連結された雌ネジ部材49と、ネジ軸部材47の端部に連結されたネジ軸駆動機構48とを有している。ネジ軸駆動機構48は、減速機や駆動モータ等を備えており、ネジ軸部材47を正逆方向に回転させることにより雌ネジ部材49を介して各棚板部材41・42を進退移動させるようになっている。そして、この第2棚板駆動機構45と各棚板部材41・42とは、棚ユニット44を構成している。
【0060】
上記の第2棚板駆動機構45には、図示しないロータリーエンコーダ等の移動量検出器(移動量検出手段)が設けられている。移動量検出器は、ネジ軸部材47の回転角度および回転数を検出することによって、第2棚板部材41の移動量を検出する。移動量検出器は、図示しない棚板制御装置に接続されている。棚板制御装置は、移動量検出器で検出された移動量に基づいて保管部41a・42aおよび通過部41bの位置決めを行なうようになっている。
【0061】
上記のように構成された保管棚装置46は、レール機構4による搬送軌道の真下に配置されている。搬送軌道には、保管停止位置Aが設定されている。保管棚装置46は、保管停止位置Aから鉛直方向に垂下された保管径路20上に通過部41bを位置させることが可能に配置されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。
【0062】
上記の構成において、例えば最下段の棚ユニット44に対して収納容器1を保管する場合には、移動量を検出しながら第2棚板駆動機構45により棚板部材41・42をそれぞれ進退移動させる。そして、最下段の棚ユニット44(第2底部棚板部材42)においては、保管部42aを保管径路20上に位置させ、上段の棚ユニット44(第2棚板部材41)においては、通過部41bを保管径路20上に位置させる。この後、保管停止位置Aに搬送台車5を位置決めした後、収納容器1の保管を行なう。尚、位置決め動作や保管時、取り外し時の着脱動作は、実施形態1と同一である。
【0063】
(実施形態4)
本発明の第4の実施形態を図7に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0064】
本実施形態にかかる保管棚装置56は、図7に示すように、一つの保管部51aと開口穴からなる複数の通過部51bとがX軸方向およびY軸方向の複数列状に配列された第3棚板部材51(棚板機構)を有している。尚、通過部51bは、開口穴であることが機械的強度の点で好ましいが、切欠により形成されていても良い。また、第3棚板部材51の下方には、第3底部棚板部材52が配置されている。第3底部棚板部材52は、保管部52aがX軸方向およびY軸方向の複数列状に配列されている。これにより、第3棚板部材51と第3底部棚板部材52とは、配列方向が一致されている。
【0065】
上記の第3棚板部材51および第3底部棚板部材52は、第3棚板駆動機構55(棚板移動機構)により保管部51a・52aの配列方向、即ち、保管部51a・52aが配列されたX―Y軸平面内で任意の方向に進退移動される。第3棚板駆動機構55は、X軸方向駆動機構61とY軸方向駆動機構62とを有している。X軸方向駆動機構61は、各棚板部材51・52の側方に配置され、X軸方向にネジ軸が一致されたネジ軸部材57aと、ネジ軸部材57aに螺合されていると共に各棚板部材51・52に連結された雌ネジ部材59と、ネジ軸部材57aの端部に連結されたネジ軸駆動機構58とを有している。ネジ軸駆動機構58は、減速機や駆動モータ等を備えており、ネジ軸部材57aを正逆方向に回転させることにより雌ネジ部材59を介して各棚板部材51・52をX軸方向に進退移動させるようになっている。
【0066】
上記のY軸方向駆動機構62は、長方形状の平面部材63の上面に設けられている。平面部材63には、Y軸方向駆動機構62が連結されている。Y軸方向駆動機構62は、Y軸方向にネジ軸が一致されたネジ軸部材57bと、ネジ軸部材57bに螺合されていると共に平面部材63に連結された雌ネジ部材59と、ネジ軸部材57bの端部に連結されたネジ軸駆動機構58とを有している。ネジ軸駆動機構58は、減速機や駆動モータ等を備えており、ネジ軸部材57bを正逆方向に回転させることにより雌ネジ部材59を介して平面部材63をY軸方向に進退移動させるようになっている。そして、これらの第3棚板駆動機構55と棚板部材51・52とは、棚ユニット54を構成している。
【0067】
上記の第3棚板駆動機構55には、棚板部材51・52の移動方向および移動量を検出する移動位置検出器(移動位置検出手段)が設けられている。即ち、移動位置検出器は、X軸方向駆動機構61およびY軸方向駆動機構62にそれぞれ設けられた図示しないロータリーエンコーダからなっており、ネジ軸部材57の回転角度および回転数を検出することによって、棚板部材51・52の移動方向および移動量を検出する。移動位置検出器は、図示しない棚板制御装置に接続されている。棚板制御装置は、移動位置検出器で検出された移動方向および移動量に基づいて保管部51a・52aおよび通過部51bの位置決めを行なうようになっている。
【0068】
上記のように構成された保管棚装置56は、レール機構4による搬送軌道の真下に配置されている。搬送軌道には、保管停止位置Aが設定されている。保管棚装置56は、保管停止位置Aから鉛直方向に垂下された保管径路20上に通過部51bを位置させることが可能に配置されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。
【0069】
上記の構成において、例えば最下段の棚ユニット54に対して収納容器1を保管する場合には、第3棚板駆動機構55により各棚板部材51・52をX軸方向およびY軸方向に移動させる。そして、各各棚板部材51・52の移動方向および移動量を検出することによって、最下段の棚ユニット54(第3底部棚板部材52)においては、保管部52aを保管径路20上に位置させ、上段の棚ユニット54(第3棚板部材51)においては、通過部51bを保管径路20上に位置させる。この後、保管停止位置Aに搬送台車5を位置決めした後、収納容器1の保管を行なう。尚、位置決め動作や保管時、取り外し時の着脱動作は、実施形態1と同一である。
【0070】
(実施形態5)
本発明の第5の実施形態を図8に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0071】
本実施形態にかかる保管棚装置56は、図8に示すように、保管部71aが形成された複数の棚板保管部材71と、通過部72aが形成された棚板通過部材72とを備えた第4棚板機構73と、コンベア装置75とをユニット化した状態で上段に有している。また、下段には、保管部71aが形成された複数の棚板保管部材71を備えた第4底部棚板機構74と、コンベア装置75とがユニット化された状態で配置されている。
【0072】
上記のコンベア装置75は、棚板保管部材71および棚板通過部材72を環状の移動軌跡に沿って案内するように支持する環状支持機構と、棚板保管部材71および棚板通過部材72を移動させる第4棚板駆動機構とを有している。尚、環状の移動軌跡は、一列でも複数列でも良い。
【0073】
また、コンベア装置75には、棚板保管部材71および棚板通過部材72の移動量を検出する図示しない移動量検出器(移動量検出手段)が設けられている。そして、この移動量検出器は、棚板制御装置に接続されており、棚板制御装置は、移動量検出器で検出された移動量に基づいて棚板保管部材71および棚板通過部材72の位置決めを行なうようになっている。
【0074】
上記のように構成された保管棚装置76は、レール機構4による搬送軌道の真下に配置されている。搬送軌道には、保管停止位置Aが設定されている。保管棚装置76は、保管停止位置Aから鉛直方向に垂下された保管径路20上に通過部71bおよび保管部71aを位置させることが可能に配置されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。
【0075】
上記の構成において、例えば最下段の棚ユニットの第4底部棚板部材74に対して収納容器1を保管する場合には、コンベア装置75により棚板機構73・74を作動させる。そして、最下段の第4底部棚板機構74においては、保管部72aを保管径路20上に位置させ、上段の第4棚板機構73においては、通過部71bを保管径路20上に位置させる。この後、保管停止位置Aに搬送台車5を位置決めした後、収納容器1の保管を行なう。尚、位置決め動作や保管時、取り外し時の着脱動作は、実施形態1と同一である。
【0076】
【発明の効果】
本発明によれば、保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】保管棚装置の斜視図である。
【図2】保管棚装置の正面図である。
【図3】搬送システムのブロック図である。
【図4】棚制御ルーチンおよび搬送台車制御ルーチンのフローチャートである。
【図5】保管棚装置の斜視図である。
【図6】保管棚装置の斜視図である。
【図7】保管棚装置の斜視図である。
【図8】保管棚装置の斜視図である。
【符号の説明】
1 収納容器
2 搬送装置
3 メインコントローラ
4 レール機構
5 搬送台車
6 保管棚装置
7 一次側コイル
8 搬送台車本体
9 把持機構
10 懸垂機構
11 懸垂ベルト
12 懸垂モータ
13 把持用アクチュエータ
14 載置検知センサー
15 搬送台車コントローラ
16 送受信部
20 保管径路
21 第1棚板部材
21a 保管部
21b 通過部
22 底部棚板部材
22a 保管部
23 第1棚板駆動機構
24 棚ユニット
25 保管棚コントローラ
26 送受信部
31 従動プーリ部材
32 駆動プーリ部材
33 棚板駆動モータ
34 駆動ベルト
35 減速機
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送台車により搬送される荷物を一時的に保管する保管棚装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体基板等を工程内や工程間で搬送台車により搬送して処理を加えながら最終製品とする生産施設においては、処理を加えるまでに不定期間の待ち時間が発生する場合があるため、半導体基板等を中間品として一時的に保管する保管棚装置が設けられている。従来の保管棚装置は、半導体基板等を収納した収納容器を載置する載置台を多段に備えていると共に、各段の載置台に対して収納容器を搬送アームで支持しながら搬送して着脱する移載装置を備えている。また、載置台には、収納容器を通過させることはなく搬送アームのみを通過させる切欠部が形成されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
これにより、従来の構成によれば、搬送装置と各段の載置台との間における収納容器の受け渡しを移載装置を介して行なうことによって、立体的に収納容器を保管して製造施設のスペースを有効利用することが可能になっている。また、移載装置の搬送アームを切欠部を通過させるように移動させることによって、載置台に対して収納容器を円滑に着脱することが可能になっている。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−231785号公報(第3図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、移載装置が保管棚装置にとって必須であるため、移載装置により装置コストが高騰し易いという問題がある。また、スペースの有効利用を一層推し進めようとした場合に、移載装置を配置するスペースが障害になるという問題がある。
【0006】
そこで、本発明は、保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができる保管棚装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の発明は、荷物の保管径路方向に複数の段数で配置され、前記荷物を保管する保管部と前記荷物を通過させる通過部とを備えた棚板機構と、前記棚板機構を移動させることにより前記保管部および前記通過部を前記荷物の保管径路上に位置決め可能な棚板移動機構と、所定段の棚板機構の保管部を前記保管径路上に位置決めさせるときに、該所定段よりも前記保管径路の上流側に配置された棚板機構の通過部を前記保管径路上に位置決めさせるように前記棚板移動機構を制御する棚板制御装置とを有することを特徴としている。
【0008】
上記の構成によれば、移載装置が不要になるため、保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができる。
【0009】
請求項2の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部および通過部が円周状に配列された第1棚板部材を備えており 前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部が配列された円周軌跡の中心部が回転中心となるように前記第1棚板部材を回転させる第1棚板駆動機構と、前記第1棚板部材の回転角度を検出する回転角度検出手段とを有しており、前記棚板制御装置は、前記回転角度検出手段で検出された回転角度に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、回転角度に基づいて容易に位置決めを行なうことができる。
【0010】
請求項3の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部および通過部が一列状に配列された第2棚板部材を備えており、前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部の配列方向に前記棚板機構を進退移動させる第2棚板駆動機構と、前記第2棚板部材の移動量を検出する移動量検出器とを有しており、前記棚板制御装置は、前記移動量検出手段で検出された移動量に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、進退移動の移動距離に基づいて容易に位置決めを行なうことができる。
【0011】
請求項4の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部および通過部が複数列状に配列された第3棚板部材を備えており、前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部が配列された平面内で任意の方向に前記第3棚板部材を移動させる第3棚板駆動機構と、前記第3棚板部材の移動方向および移動量を検出する移動位置検出手段とを有しており、前記棚板制御装置は、前記移動位置検出手段で検出された移動方向および移動量に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、平面的に保管することにより保管数を容易に増やすことが可能になる。
【0012】
請求項5の発明は、請求項1に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構は、前記保管部が形成された複数の棚板保管部材と、前記通過部が形成された棚板通過部材とを備えており、前記棚板移動機構は、前記棚板保管部材および棚板通過部材を環状の移動軌跡に沿って案内するように支持する環状支持機構と、前記棚板保管部材および棚板通過部材を移動させる第4棚板駆動機構と、前記棚板保持部材および棚板通過部材の移動量を検出する移動位置検出手段とを有しており、前記棚板制御装置は、前記移動位置検出手段で検出された移動量に基づいて前記棚板保管部材および前記棚板通過部材の位置決めを行なうことを特徴としている。これにより、棚板保管部材の連結により容易に保管数の調整を行なうことができる。
【0013】
請求項6の発明は、請求項1ないし5の何れか1項に記載の保管棚装置であって、前記棚板機構と前記棚板駆動機構とがユニット化されていることを特徴としている。これにより、ユニット化により段数の変更を容易に行なうことができる。
【0014】
請求項7の発明は、請求項1ないし6の何れか1項に記載の保管棚装置であって、前記保管径路を鉛直方向とした懸垂式昇降搬送装置により前記荷物を搬送する搬送システムを採用した施設に適用されることを特徴としている。
【0015】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)
本発明の第1の実施形態を図1ないし図4に基づいて以下に説明する。
第1の実施形態に係る保管棚装置は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を搬送台車で処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システムに好適に適用される。尚、以降の説明においては、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を収納容器に収納し、この収納容器を荷物として一時的に保管する場合について説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を一時的に保管する必要のある全業種の搬送システムに適用することができる。
【0016】
上記の搬送システムは、軌道上を走行する搬送台車により搬送するOHT(Over head Hoist Transport)やOHS(Over Head Shuttle)等の方式を採用している。具体的に説明すると、搬送システムは、図1に示すように、収納容器1(荷物)を搬送する搬送装置2と、収納容器1の搬送状況や保管状況を管理する図3のメインコントローラ3とを備えている。搬送装置2は、工程内や工程間に設けられ、リニアモータの二次側永久磁石を備えたレール機構4と、レール機構4を走行する搬送台車5とを備えている。レール機構4は、工場建屋の天井側に設けられている。また、レール機構4は、直線軌道や曲線軌道、分岐軌道を形成する各種のモジュールの組み合わせからなっている。そして、レール機構4は、処理装置や後述の保管棚装置6の上方を通過する搬送軌道を形成している。
【0017】
上記のレール機構4には、懸垂式昇降搬送装置である搬送台車5が走行可能に取り付けられている。搬送台車5は、リニアモータの一次側コイル7と搬送台車本体8と把持機構9とを有している。一次側コイル7は、レール機構4の二次側永久磁石に対向配置されている。一次側コイル7は、一次側鉄心コア(積層鉄心)と3相コイルとで構成されており、3相交流の電流が通電されることにより直線状に移動する進行磁界を発生するようになっている。これにより、一次側コイル7は、レール機構4の二次側永久磁石との間の磁気作用により搬送台車5を走行させる推進力を一次側鉄心コアに発生させるようになっている。
【0018】
上記の一次側コイル7は、搬送台車本体8に設けられている。搬送台車本体8は、図示しない位置決め機構と懸垂機構10とを有している。位置決め機構は、搬送台車本体8の位置をティーチングにより微調整するように構成されている。即ち、位置決め機構は、軌道方向に対して左右方向の移動と、ひねり(軌道方向に対する角度)との位置補正を行なうように構成されている。これにより、搬送台車5は、例えば収納容器1の保管径路20上の保管停止位置Aに対して数cmの範囲内で位置決めされる。
【0019】
また、懸垂機構10は、4本の懸垂ベルト11と図示しない懸垂駆動機構とを有している。懸垂駆動機構は、図3の懸垂モータ12と、懸垂モータ12により正逆回転可能にされた巻取リールとを有している。巻取リールには、懸垂ベルト11が巻回されている。そして、懸垂機構10は、懸垂モータ12の正逆回転により懸垂ベルト11の巻き出しおよび巻き取りを行なうことによって、収納容器1を鉛直方向に昇降させるようになっている。
【0020】
上記の懸垂ベルト11の下端部には、把持機構9が連結されている。把持機構9は、図3に示すように、収納容器1のフランジ部1aを保持可能にする把持用アクチュエータ13と、リミットスイッチ等からなる載置検知センサー14とを有している。尚、収納容器1は、一部が外部雰囲気に解放されたOC(open cassette)形式や、容器内部が密閉されたFOUP(front opening unified pod)形式のキャリアであり、内部にウエーハを収納するように構成されている。そして、図1に示すように、フランジ部1aは、収納容器1の上面に形成されている。
【0021】
上記の載置検知センサー14は、収納容器1の上面に対向するように、把持機構9の下面に設けられている。載置検知センサー14は、把持機構9と収納容器1との間に検出限界以上の隙間が形成されているときにオフ状態の検出信号を出力し、検出限界未満の隙間が形成されているときにオン状態の検出信号を出力するように設定されている。これにより、載置検知センサー14は、検出限界以上の隙間が形成される収納容器1の懸吊状態と、検出限界未満の隙間が形成される収納容器1の載置状態とを検出することが可能になっている。
【0022】
上記のように構成された搬送台車5は、図3に示すように、搬送台車コントローラ15と、搬送台車コントローラ15に接続された送受信部16とを有している。送受信部16は、無線通信によりデータ信号をメインコントローラ3および保管棚装置6との間で送受信可能にしている。
【0023】
搬送台車コントローラ15は、演算部や記憶部、入出力部等を備えている。入出力部には、上述の懸垂モータ12、把持用アクチュエータ13、一次側コイル7および載置検知センサー14が接続されている。入出力部は、懸垂モータ12と把持用アクチュエータ13と一次側コイル7とをそれぞれ任意のタイミングで作動させると共に、載置検知センサー14からの検出信号を取り込むようになっている。また、記憶部は、演算部で実行される図4の搬送台車制御ルーチン等のプログラムや、走行位置データ、自己を特定する台車番号データ等の各種のデータを記憶している。尚、走行位置データは、処理装置や保管棚装置6に対して収納容器1を着脱する位置や、軌道上の分岐部の位置等を示すデータである。また、台車番号データは、搬送軌道上に存在する全ての搬送台車5に個別に付与されたデータである。
【0024】
上記のように構成された搬送台車5は、図1に示すように、保管棚装置6の上方を通過可能にされている。保管棚装置6は、収納容器1の保管径路20方向に3段に配置された第1棚板部材21(棚板機構)と、最下段に配置された第1底部棚板部材22とを備えている。これらの第1棚板部材21と第1底部棚板部材22とは、回転中心軸が一致されている。また、各段の間隔は、収納容器1が上方の第1棚板部材21に接触しないように、収納容器1の全高よりも大きな長さに設定されている。尚、第1棚板部材21の段数は、1段であっても良いし、2段以上であっても良い。
【0025】
上記の第1棚板部材21は、円板形状に形成されている。第1棚板部材21は、収納容器1を保管する複数の保管部21aと、収納容器1を通過させる単数の通過部21bとを備えている。保管部21aと通過部21bとは、回転中心を中心部とした円周軌跡上に存在するように配列されている。また、円周軌跡は、保管径路20と交差するように設定されている。これにより、円周軌跡上に存在する保管部21aと通過部21bとは、第1棚板部材21の回転により保管径路20上に位置決め可能にされている。
【0026】
隣接する保管部21a・21aの間隔は、収納容器1・1同士が接触しないように設定されている。また、保管部21aと通過部21bとの間隔は、収納容器1が通過部21bを通過するときに、保管部21の収納容器1に接触しないように設定されている。また、通過部21bは、第1棚板部材21の端面から中心部側に切り欠くことにより形成されている。尚、通過部21bは、第1棚板部材21のサイズ(通過部21bの個数)に応じて複数箇所に配置されていても良い。
【0027】
一方、最下段に配置された第1底部棚板部材22は、第1棚板部材21と同様に円板形状に形成されている。第1底部棚板部材22の径は、第1棚板部材21の径と一致されている。第1底部棚板部材22は、複数の保管部22aを備えている。保管部22aは、回転中心を中心部とし、保管径路20と交差する円周軌跡上に存在するように配列されている。これにより、保管部22aは、第1底部棚板部材22の回転により保管径路20上に位置決め可能にされている。また、隣接する保管部22a・22aの間隔は、収納容器1同士が接触しないように設定されている。
【0028】
上記の第1棚板部材21および第1底部棚板部材22は、図2に示すように、第1棚板駆動機構23により回転可能に支持されていると共に、保管径路20に対して直交するように水平方向に支持されている。第1棚板駆動機構23は、棚板部材21・22の中心部(回転中心)を回転自在に支持する図示しない棚板支持部材と、棚板支持部材に回転自在に貫挿され、上面が棚板部材21・22の下面に連結された従動プーリ部材31と、従動プーリ部材31の側方に配置された駆動プーリ部材32と、駆動プーリ部材32に減速機35を介して連結された棚板駆動モータ33と、駆動プーリ部材32と棚板駆動モータ33とに掛け渡された駆動ベルト34とを有している。これにより、第1棚板駆動機構23は、棚板駆動モータ33の駆動力を駆動ベルト34を介して従動プーリ部材31に伝達することによって、棚板部材21・22を回転させることが可能になっている。
【0029】
また、第1棚板駆動機構23は、従動プーリ部材31に連結された回転角度検出器36を備えている。回転角度検出器36は、従動プーリ部材31の回転角度を検出することによって、棚板部材21・22の回転角度を検出可能にされている。そして、このように構成された第1棚板駆動機構23は、各棚板部材21・22に取り付けられることによりユニット化されている。これにより、保管棚装置6は、第1棚板部材21と第1棚板駆動機構23と回転角度検出器36とからなる棚ユニット24を増減することによって、段数を容易に変更することが可能になっている。
【0030】
上記の各棚ユニット24は、図3に示すように、保管棚コントローラ25により制御されている。保管棚コントローラ25は、送受信部26に接続されている。送受信部26は、無線通信によりデータ信号を保管棚装置6とメインコントローラ3と搬送台車5との間で送受信可能にしている。保管棚コントローラ25は、演算部や記憶部、入出力部等を備えている。入出力部は、上述の棚板駆動モータ33および回転角度検出器36に接続されている。入出力部は、棚板駆動モータ33を任意のタイミングで作動させると共に、回転角度検出器36からの検出信号(回転角度)を取り込むようになっている。また、記憶部は、演算部で実行される図4の棚制御ルーチン等のプログラムや、各棚ユニット24を特定する棚ユニット番号データ、各保管部21a・22aを特定する保管部番号データ、各保管部21a・22aおよび通過部21bの配置場所を特定するように決定された原点位置からの配置角度データ等を記憶している。尚、記憶部は、保管棚装置6が複数台存在する場合、各保管棚装置6を特定する棚番号データを記憶している。
【0031】
上記の構成において、保管棚装置6の動作を説明する。
【0032】
メインコントローラ3は、全ての収納容器1の保管状態や搬送先等を管理および監視していると共に、搬送軌道上に存在する全ての搬送台車5の搬送状態を管理および監視している。そして、収納容器1を処理装置に搬送する場合には、搬送対象となる収納容器1と、搬送に使用される搬送台車5と、搬送先である処理装置とを特定した後、これらの特定した内容を含んだ搬送指令信号を搬送台車5に送信する。また、収納容器1を保管する場合には、収納容器1の保管を指示する内容を含んだ棚着脱指令信号を搬送台車5に送信する。一方、保管棚装置6から収納容器1を取り出す場合には、収納容器1の取り出しを指示する内容を含んだ棚着脱指令信号を搬送台車5に送信する。
【0033】
また、収納容器1を保管する場合には、保管棚装置6における空状態の保管部21a・22aを選択する。一方、保管棚装置6から収納容器1を取り出す場合には、取出し対象の収納容器1を保管した保管部21a・22aを選択する。そして、選択した保管部21a・22aが存在する棚ユニット24の棚ユニット番号と保管部番号とを含む棚指令信号を保管棚装置6に送信する。
【0034】
上記のようにして信号が送信される搬送台車5と保管棚装置6とは、図4に示すように、搬送台車制御ルーチンと棚制御ルーチンとをそれぞれ実行している。
【0035】
保管棚装置6においては、メインコントローラ3からの棚指令信号を受信したか否かを判断し(T1)、搬送指令信号を受信しなければ(T1,NO)、T1を繰り返して実行することにより搬送指令信号の受信待ち状態を維持する。一方、棚指令信号を受信した場合には(T1,YES)、棚指令信号の信号内容を取り込む。そして、信号内容に含まれる棚ユニット番号および保管部番号を取得する(T2)。
【0036】
次に、棚ユニット番号および保管部番号に基づいて昇降スペース形成処理を実行する。例えば棚ユニット番号が4段目であるとすると、この4段目よりも上方に配置された1段目から3段目の棚ユニット24については、通過部21bを保管径路20に位置させるように作動する。また、4段目の棚ユニット24については、保管部番号に対応する保管部22aを保管径路20に位置させるように作動する(T4)。
【0037】
即ち、1段目から3段目の棚ユニット24においては、通過部21bに対応する配置角度を取得する。そして、図2に示すように、第1棚板駆動機構23の棚板駆動モータ33により第1棚板部材21を回転させる。また、このときに、回転角度検出器36により第1棚板部材21の回転角度を検出する。そして、第1棚板部材21の回転角度と通過部21bの配置角度とに基づいて、通過部21bが保管径路20に位置したときに回転を停止する。この結果、1段目から3段目の棚ユニット24における通過部21bは、保管径路20において上下方向に揃った状態となる。これにより、収納容器1を通過可能にする鉛直方向の通過スペースが保管径路20上に形成される。
【0038】
また、4段目の棚ユニット24は、保管部番号に対応する保管部22aの配置角度を取得する。そして、上述の1段目〜3段目の棚ユニット24の場合と同様に、第1底部棚板部材22を回転させ、回転角度と配置角度とに基づいて所望の保管部22aを保管径路20上に位置させる。これにより、図1に示すように、保管棚装置6は、搬送台車5の保管停止位置Aの真下に第1底部棚板部材22の保管部22aが露出した状態となる。
【0039】
尚、最下段と最上段との間に配置された例えば3段目の棚ユニット24の保管部21aを保管径路20上に位置させる場合には、この3段目の棚ユニット24の保管部22aと、この棚ユニット24よりも上方に配置された1段目および2段目の棚ユニット24の通過部21bとが保管径路20上に位置するように作動される。一方、4段目の棚ユニット24については、停止状態が維持される。また、1段目である最上段の棚ユニット24の保管部21aを保管径路20上に配置させる場合には、1段目の棚ユニット24のみを作動させる。
【0040】
以上の保管部設定処理は、収納容器1を保管する場合と収納容器1の取り出す場合とにおいて同様に実施される。そして、この保管部設定処理が完了すると、棚準備完了信号を搬送台車5に送信し、収納容器1の通過スペースが保管径路20上に確保された旨を報知する(T5)。この後、T1を再実行し、メインコントローラ3から送信される次の棚指令信号の受信待ち状態に移行する。
【0041】
一方、搬送台車5においては、メインコントローラ3からの搬送指令信号を受信したか否かを判断している(S1)。搬送指令信号を受信しなければ(S1,NO)、S1を繰り返して実行することにより搬送指令信号の受信待ち状態を維持する。一方、搬送指令信号を受信した場合には(S1,YES)、搬送指令信号の信号内容を取り込む。そして、信号内容に含まれる台車番号データに基づいて自己の搬送台車5に対する指令であることを確認した後、信号内容に含まれる指令の種類を読み取る(S2)。この後、読み取った指令が棚着脱指令であるか否かを判定し(S3)、棚着脱指令でない場合には(S3,NO)、収納容器1を処理装置等へ搬送する搬送処理を行なう(S4)。
【0042】
具体的には、搬送指令信号の信号内容に基づいて搬送先となる処理装置等の指定場所を認識し、この指定場所(走行位置データ)に到達するための走行ルートを決定する。尚、走行ルートは、メインコントローラ3からの搬送指令信号に含まれていても良い。そして、図1の一次側コイル7に3相交流電流を流すことにより直線状に移動する進行磁界を発生させ、搬送軌道の永久磁石との間の磁気作用で発生した推進力により走行を開始する。走行時においては、搬送軌道中に設けられたバーコード表示等による軌道位置データに基づいて走行ルートを確認する。指定場所に到達すると、搬送台車本体8の位置をティーチングにより微調整した後、収納容器1の着脱を行なう。
【0043】
また、読み取った指令が棚着脱指令である場合には(S3,YES)、保管棚装置6に到達するための走行ルートを決定する。尚、走行ルートは、メインコントローラ3からの搬送指令信号に含まれていても良い。そして、搬送処理の場合と同様に、リニアモータの推進力により走行する。図1に示すように、保管棚装置6の上方に到達すると、搬送台車本体8の位置をティーチングにより微調整することによって、保管径路20上の保管停止位置Aに対して数cmの範囲内で位置決めする(S5)。
【0044】
この後、保管棚装置6から棚準備完了信号を受信したか否かを判定し(S6,NO)、棚準備完了信号を受信しなければ(S6,NO)、S6を繰り返して実行することにより棚準備完了信号を受信するまで待機する。この後、棚準備完了信号を受信すると(S6,YES)、受信した旨を保管棚装置6に報知した後、キャリア着脱処理を実行する(S7)。
【0045】
即ち、例えば収納容器1を保管棚装置6に保管する場合には、図1に示すように、懸垂ベルト11を巻き出すことによって、把持機構9に保持された収納容器1を保管径路20に一致した状態で下降させる。この際、保管棚装置6において、例えば4段目の棚ユニット24の保管部22aに収納容器1を保管するものであるとすると、この棚ユニット24よりも上段(1段、2段、3段)の棚ユニット24は、通過部21bが保管径路20に位置決めされた状態になっている。これにより、1段〜3段の棚ユニット24は、保管径路20上に通過スペースを形成している。この結果、収納容器1は、下降途中に存在する各段の第1棚板部材21に接触および衝突することなく4段目の棚ユニット24まで下降し、第1底部棚板部材22の保管部22aに載置される。
【0046】
収納容器1の載置は、載置検知センサー14により検出される。そして、収納容器1の下降が停止された後、把持機構9による収納容器1の保持が解除される。この後、把持機構9のみが引き上げられることによって、収納容器1の保管が完了する。尚、収納容器1を保管棚装置6から取り出す場合には、上述の動作とは逆の動作が行なわれ、載置検知センサー14により把持機構9が収納容器1に到達したことを確認した後、把持機構9により収納容器1を保持しながら引き上げる。
【0047】
上記ようにしてキャリア着脱処理が完了すると、着脱処理完了信号をメインコントローラ3に送信する(S8)。この後、S1から再実行し、メインコントローラ3から送信される次の搬送指令信号の受信待ち状態に移行する。
【0048】
以上のように、本実施形態の保管棚装置は、収納容器1(荷物)の保管径路20に4段等の複数の段数で配置され、収納容器1を保管する保管部21aと収納容器1を通過させる通過部21bとを備えた第1棚板部材21(棚板機構)と、第1棚板部材21を回転(移動)させることにより保管部21aおよび通過部21bを保管径路20上に位置決め可能な第1棚板駆動機構23(棚板移動機構)と、所定段の第1棚板部材21の保管部21aを保管径路20上に位置決めさせるときに、該所定段よりも保管径路20の上流側に配置された第1棚板部材21の通過部21bを保管径路20上に位置決めさせるように第1棚板駆動機構23を制御する保管棚コントローラ25(棚板制御装置)とを有した構成にされている。これにより、移載装置が不要になるため、保管棚装置6を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができる。
【0049】
尚、本実施形態において、保管径路20が鉛直方向となる昇降方向に設定されているが、これに限定されることはなく、水平方向や斜め方向であっても良い。即ち、例えば床搬送式の搬送システムにより荷物を水平方向に移動させて保管する保管棚装置とすることもできる。また、本実施形態において、通過部21bが切欠きにより形成されているが、これに限定されるものでもなく、開口により形成されていても良い。また、通過部21bの形状は、収納容器1の外形に対応したものであることが好ましい。
【0050】
また、本実施形態における保管棚装置6は、第1棚板部材21と第1棚板駆動機構23とがユニット化されている。これにより、ユニット化により段数の変更を容易に行なうことができる。尚、第1棚板駆動機構23は、全第1棚板部材21を1台で移動させるように構成されていても良い。
【0051】
また、本実施形態において、第1棚板部材21は、保管部21aおよび通過部21bが円周状に配列されており、第1棚板駆動機構23は、保管部21aおよび通過部21bが配列された円周軌跡の中心部が回転中心となるように第1棚板部材21を回転させるように構成されていると共に、第1棚板部材21の回転角度を検出する回転角度検出器36(回転角度検出手段)を有しており、保管棚コントローラ25は、回転角度検出器36で検出された回転角度に基づいて保管部21aおよび通過部21bの位置決めを行なうように構成されている。これにより、第1棚板部材21を回転させるという単純な動作によって、保管部21aおよび通過部21bの位置決めを行なうことが可能になっている。尚、本実施形態における第1棚板部材21および第1底部棚板部材22は、円板形状に形成されているが、これに限定されるものではなく、多角形状や矩形状等であっても良い。
【0052】
以上のように、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、その趣旨を超えない範囲において変更が可能である。以下に、その変更例として実施形態2ないし実施形態5を説明するが、これに限定されるものではない。
【0053】
(実施形態2)
本発明の第2の実施形態を図5に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0054】
保管棚装置37は、2段等の棚ユニット34を備えている。最上段となる1段目の第1棚板部材31は、回転中心を中心部とした第1円周軌跡上に配列された複数の保管部31aおよび通過部31bを有している。さらに、この第1棚板部材31は、第1円周軌道よりも大きな半径の第2円周軌道上に配列された複数の保管部31aと通過部31bとを有している。尚、保管部31aおよび通過部31bは、3以上の円周軌道上に配列されていても良い。上記の通過部31bは、第1棚板部材31の周端から中心部側に形成されており、収納容器1の寸法の2倍以上の半径方向の長さとなるように形成されていている。尚、通過部31bは、各円周軌道に対応して形成された開口穴であっても良い。
【0055】
第1棚板部材31の下方(最下段)には、第1棚板部材31と回転中心を一致された底部棚板部材32が配置されている。底部棚板部材32は、第1棚板部材21と同一半径の第1円周軌道上および第2円周軌道上に保管部32aが配列されている。そして、これらの第1棚板部材31および底部棚板部材32は、図2の第1棚板駆動機構23により回転可能に指示されており、棚ユニット34をそれぞれ構成している。そして、このように構成された保管棚装置37は、棚板部材31・32の回転中心がレール機構4による搬送軌道の真下に位置するように配設されている。これにより、通過部31bの長手方向(半径方向)が搬送軌道の軌道方向に一致されている。また、搬送軌道の2箇所には、保管停止位置A・Bが設定されている。これらの保管停止位置A・Bの鉛直方向である保管径路20・20は、保管棚装置6の保管部31a・32aに一致するように設定されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。尚、保管停止位置A・Bは、保管部31a・32aが配列される円周軌道の数に応じて増減されるものである。
【0056】
上記の構成において、収納容器1を保管棚装置37に対して着脱する場合には、2箇所の保管停止位置A・Bを選択して搬送台車5を位置決めすることによって、収納容器1を棚板部材31・32の円周方向と半径方向との2方向で保管することができる。尚、位置決め動作や着脱動作は、実施形態1と同一である。これにより、棚板部材31・32の面全体を使用して保管することができるため、保管棚装置37の収容効率を高めることができる。
【0057】
(実施形態3)
本発明の第3の実施形態を図6に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0058】
本実施形態にかかる保管棚装置46は、一つの開口穴からなる通過部41bと複数の保管部41aとが一列状に配列された帯板形状の第2棚板部材41(棚板機構)を有している。尚、第2棚板部材41は、帯板形状であることが好ましいが、この形状に特に限定されるものではない。また、通過部41bは、開口穴であることが機械的強度の点で好ましいが、切欠により形成されていても良い。第2棚板部材41の下方には、第2底部棚板部材42が配置されている。第2底部棚板部材42は、保管部42aが一列状に配列されている。この配列方向は、上述の第2棚板部材41における保管部41aの配列方向と一致されている。
【0059】
上記の第2棚板部材41および第2底部棚板部材42は、第2棚板駆動機構45(棚板移動機構)により保管部41a・42aの配列方向に進退移動される。第2棚板駆動機構45は、各棚板部材41・42の側方に配置されたネジ軸部材47と、ネジ軸部材47に螺合されていると共に各棚板部材41・42に連結された雌ネジ部材49と、ネジ軸部材47の端部に連結されたネジ軸駆動機構48とを有している。ネジ軸駆動機構48は、減速機や駆動モータ等を備えており、ネジ軸部材47を正逆方向に回転させることにより雌ネジ部材49を介して各棚板部材41・42を進退移動させるようになっている。そして、この第2棚板駆動機構45と各棚板部材41・42とは、棚ユニット44を構成している。
【0060】
上記の第2棚板駆動機構45には、図示しないロータリーエンコーダ等の移動量検出器(移動量検出手段)が設けられている。移動量検出器は、ネジ軸部材47の回転角度および回転数を検出することによって、第2棚板部材41の移動量を検出する。移動量検出器は、図示しない棚板制御装置に接続されている。棚板制御装置は、移動量検出器で検出された移動量に基づいて保管部41a・42aおよび通過部41bの位置決めを行なうようになっている。
【0061】
上記のように構成された保管棚装置46は、レール機構4による搬送軌道の真下に配置されている。搬送軌道には、保管停止位置Aが設定されている。保管棚装置46は、保管停止位置Aから鉛直方向に垂下された保管径路20上に通過部41bを位置させることが可能に配置されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。
【0062】
上記の構成において、例えば最下段の棚ユニット44に対して収納容器1を保管する場合には、移動量を検出しながら第2棚板駆動機構45により棚板部材41・42をそれぞれ進退移動させる。そして、最下段の棚ユニット44(第2底部棚板部材42)においては、保管部42aを保管径路20上に位置させ、上段の棚ユニット44(第2棚板部材41)においては、通過部41bを保管径路20上に位置させる。この後、保管停止位置Aに搬送台車5を位置決めした後、収納容器1の保管を行なう。尚、位置決め動作や保管時、取り外し時の着脱動作は、実施形態1と同一である。
【0063】
(実施形態4)
本発明の第4の実施形態を図7に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0064】
本実施形態にかかる保管棚装置56は、図7に示すように、一つの保管部51aと開口穴からなる複数の通過部51bとがX軸方向およびY軸方向の複数列状に配列された第3棚板部材51(棚板機構)を有している。尚、通過部51bは、開口穴であることが機械的強度の点で好ましいが、切欠により形成されていても良い。また、第3棚板部材51の下方には、第3底部棚板部材52が配置されている。第3底部棚板部材52は、保管部52aがX軸方向およびY軸方向の複数列状に配列されている。これにより、第3棚板部材51と第3底部棚板部材52とは、配列方向が一致されている。
【0065】
上記の第3棚板部材51および第3底部棚板部材52は、第3棚板駆動機構55(棚板移動機構)により保管部51a・52aの配列方向、即ち、保管部51a・52aが配列されたX―Y軸平面内で任意の方向に進退移動される。第3棚板駆動機構55は、X軸方向駆動機構61とY軸方向駆動機構62とを有している。X軸方向駆動機構61は、各棚板部材51・52の側方に配置され、X軸方向にネジ軸が一致されたネジ軸部材57aと、ネジ軸部材57aに螺合されていると共に各棚板部材51・52に連結された雌ネジ部材59と、ネジ軸部材57aの端部に連結されたネジ軸駆動機構58とを有している。ネジ軸駆動機構58は、減速機や駆動モータ等を備えており、ネジ軸部材57aを正逆方向に回転させることにより雌ネジ部材59を介して各棚板部材51・52をX軸方向に進退移動させるようになっている。
【0066】
上記のY軸方向駆動機構62は、長方形状の平面部材63の上面に設けられている。平面部材63には、Y軸方向駆動機構62が連結されている。Y軸方向駆動機構62は、Y軸方向にネジ軸が一致されたネジ軸部材57bと、ネジ軸部材57bに螺合されていると共に平面部材63に連結された雌ネジ部材59と、ネジ軸部材57bの端部に連結されたネジ軸駆動機構58とを有している。ネジ軸駆動機構58は、減速機や駆動モータ等を備えており、ネジ軸部材57bを正逆方向に回転させることにより雌ネジ部材59を介して平面部材63をY軸方向に進退移動させるようになっている。そして、これらの第3棚板駆動機構55と棚板部材51・52とは、棚ユニット54を構成している。
【0067】
上記の第3棚板駆動機構55には、棚板部材51・52の移動方向および移動量を検出する移動位置検出器(移動位置検出手段)が設けられている。即ち、移動位置検出器は、X軸方向駆動機構61およびY軸方向駆動機構62にそれぞれ設けられた図示しないロータリーエンコーダからなっており、ネジ軸部材57の回転角度および回転数を検出することによって、棚板部材51・52の移動方向および移動量を検出する。移動位置検出器は、図示しない棚板制御装置に接続されている。棚板制御装置は、移動位置検出器で検出された移動方向および移動量に基づいて保管部51a・52aおよび通過部51bの位置決めを行なうようになっている。
【0068】
上記のように構成された保管棚装置56は、レール機構4による搬送軌道の真下に配置されている。搬送軌道には、保管停止位置Aが設定されている。保管棚装置56は、保管停止位置Aから鉛直方向に垂下された保管径路20上に通過部51bを位置させることが可能に配置されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。
【0069】
上記の構成において、例えば最下段の棚ユニット54に対して収納容器1を保管する場合には、第3棚板駆動機構55により各棚板部材51・52をX軸方向およびY軸方向に移動させる。そして、各各棚板部材51・52の移動方向および移動量を検出することによって、最下段の棚ユニット54(第3底部棚板部材52)においては、保管部52aを保管径路20上に位置させ、上段の棚ユニット54(第3棚板部材51)においては、通過部51bを保管径路20上に位置させる。この後、保管停止位置Aに搬送台車5を位置決めした後、収納容器1の保管を行なう。尚、位置決め動作や保管時、取り外し時の着脱動作は、実施形態1と同一である。
【0070】
(実施形態5)
本発明の第5の実施形態を図8に基づいて以下に説明する。尚、第1の実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。
【0071】
本実施形態にかかる保管棚装置56は、図8に示すように、保管部71aが形成された複数の棚板保管部材71と、通過部72aが形成された棚板通過部材72とを備えた第4棚板機構73と、コンベア装置75とをユニット化した状態で上段に有している。また、下段には、保管部71aが形成された複数の棚板保管部材71を備えた第4底部棚板機構74と、コンベア装置75とがユニット化された状態で配置されている。
【0072】
上記のコンベア装置75は、棚板保管部材71および棚板通過部材72を環状の移動軌跡に沿って案内するように支持する環状支持機構と、棚板保管部材71および棚板通過部材72を移動させる第4棚板駆動機構とを有している。尚、環状の移動軌跡は、一列でも複数列でも良い。
【0073】
また、コンベア装置75には、棚板保管部材71および棚板通過部材72の移動量を検出する図示しない移動量検出器(移動量検出手段)が設けられている。そして、この移動量検出器は、棚板制御装置に接続されており、棚板制御装置は、移動量検出器で検出された移動量に基づいて棚板保管部材71および棚板通過部材72の位置決めを行なうようになっている。
【0074】
上記のように構成された保管棚装置76は、レール機構4による搬送軌道の真下に配置されている。搬送軌道には、保管停止位置Aが設定されている。保管棚装置76は、保管停止位置Aから鉛直方向に垂下された保管径路20上に通過部71bおよび保管部71aを位置させることが可能に配置されている。その他の構成は、実施形態1と同一である。
【0075】
上記の構成において、例えば最下段の棚ユニットの第4底部棚板部材74に対して収納容器1を保管する場合には、コンベア装置75により棚板機構73・74を作動させる。そして、最下段の第4底部棚板機構74においては、保管部72aを保管径路20上に位置させ、上段の第4棚板機構73においては、通過部71bを保管径路20上に位置させる。この後、保管停止位置Aに搬送台車5を位置決めした後、収納容器1の保管を行なう。尚、位置決め動作や保管時、取り外し時の着脱動作は、実施形態1と同一である。
【0076】
【発明の効果】
本発明によれば、保管棚装置を安価に構成することができると共に、保管数に対して装置を小型化することにより高いスペース効率を実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】保管棚装置の斜視図である。
【図2】保管棚装置の正面図である。
【図3】搬送システムのブロック図である。
【図4】棚制御ルーチンおよび搬送台車制御ルーチンのフローチャートである。
【図5】保管棚装置の斜視図である。
【図6】保管棚装置の斜視図である。
【図7】保管棚装置の斜視図である。
【図8】保管棚装置の斜視図である。
【符号の説明】
1 収納容器
2 搬送装置
3 メインコントローラ
4 レール機構
5 搬送台車
6 保管棚装置
7 一次側コイル
8 搬送台車本体
9 把持機構
10 懸垂機構
11 懸垂ベルト
12 懸垂モータ
13 把持用アクチュエータ
14 載置検知センサー
15 搬送台車コントローラ
16 送受信部
20 保管径路
21 第1棚板部材
21a 保管部
21b 通過部
22 底部棚板部材
22a 保管部
23 第1棚板駆動機構
24 棚ユニット
25 保管棚コントローラ
26 送受信部
31 従動プーリ部材
32 駆動プーリ部材
33 棚板駆動モータ
34 駆動ベルト
35 減速機
Claims (7)
- 荷物の保管径路方向に複数の段数で配置され、前記荷物を保管する保管部と前記荷物を通過させる通過部とを備えた棚板機構と、
前記棚板機構を移動させることにより前記保管部および前記通過部を前記荷物の保管径路上に位置決め可能な棚板移動機構と、
所定段の棚板機構の保管部を前記保管径路上に位置決めさせるときに、該所定段よりも前記保管径路の上流側に配置された棚板機構の通過部を前記保管径路上に位置決めさせるように前記棚板移動機構を制御する棚板制御装置と
を有することを特徴とする保管棚装置。 - 前記棚板機構は、前記保管部および通過部が円周状に配列された第1棚板部材を備えており
前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部が配列された円周軌跡の中心部が回転中心となるように前記第1棚板部材を回転させる第1棚板駆動機構と、前記第1棚板部材の回転角度を検出する回転角度検出手段とを有しており、
前記棚板制御装置は、前記回転角度検出手段で検出された回転角度に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴とする請求項1に記載の保管棚装置。 - 前記棚板機構は、前記保管部および通過部が一列状に配列された第2棚板部材を備えており、
前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部の配列方向に前記棚板機構を進退移動させる第2棚板駆動機構と、前記第2棚板部材の移動量を検出する移動量検出器とを有しており、
前記棚板制御装置は、前記移動量検出手段で検出された移動量に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴とする請求項1に記載の保管棚装置。 - 前記棚板機構は、前記保管部および通過部が複数列状に配列された第3棚板部材を備えており、
前記棚板移動機構は、前記保管部および通過部が配列された平面内で任意の方向に前記第3棚板部材を移動させる第3棚板駆動機構と、前記第3棚板部材の移動方向および移動量を検出する移動位置検出手段とを有しており、
前記棚板制御装置は、前記移動位置検出手段で検出された移動方向および移動量に基づいて前記保管部および前記通過部の位置決めを行なうことを特徴とする請求項1に記載の保管棚装置。 - 前記棚板機構は、前記保管部が形成された複数の棚板保管部材と、前記通過部が形成された棚板通過部材とを備えており、
前記棚板移動機構は、前記棚板保管部材および棚板通過部材を環状の移動軌跡に沿って案内するように支持する環状支持機構と、前記棚板保管部材および棚板通過部材を移動させる第4棚板駆動機構と、前記棚板保持部材および棚板通過部材の移動量を検出する移動量検出手段とを有しており、
前記棚板制御装置は、前記移動量検出手段で検出された移動量に基づいて前記棚板保管部材および前記棚板通過部材の位置決めを行なうことを特徴とする請求項1に記載の保管棚装置。 - 前記棚板機構と前記棚板駆動機構とがユニット化されていることを特徴とする請求項1ないし5の何れか1項に記載の保管棚装置。
- 前記保管径路を鉛直方向とした懸垂式昇降搬送装置により前記荷物を搬送する搬送システムを採用した施設に適用されることを特徴とする請求項1ないし6の何れか1項に記載の保管棚装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003101697A JP2004307125A (ja) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | 保管棚装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003101697A JP2004307125A (ja) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | 保管棚装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004307125A true JP2004307125A (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=33465405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003101697A Pending JP2004307125A (ja) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | 保管棚装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004307125A (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006324469A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
WO2007037397A1 (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Asyst Technologies Japan, Inc. | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 |
JP2008540299A (ja) * | 2005-05-16 | 2008-11-20 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 高処理量amhsのためのモジュール式ターミナル |
JP2009154983A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫及び入出庫方法 |
WO2010135202A3 (en) * | 2009-05-18 | 2011-02-24 | Crossing Automation, Inc. | Substrate container storage system |
WO2012029751A1 (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-08 | シャープ株式会社 | 仮置き装置 |
JP2012527775A (ja) * | 2009-05-18 | 2012-11-08 | クロッシング オートメーション インコーポレイテッド | 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム |
CN103026481A (zh) * | 2010-07-27 | 2013-04-03 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 用于在受控气氛中储存物品的设备 |
US8882433B2 (en) | 2009-05-18 | 2014-11-11 | Brooks Automation, Inc. | Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems |
JP2015000797A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 株式会社椿本チエイン | 低温保管システム |
JP2017530012A (ja) * | 2014-10-06 | 2017-10-12 | バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト | 曲げ加工プレス |
DE102018204612A1 (de) | 2018-03-27 | 2019-04-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Lagern einer Vielzahl von Objekten sowie zum vereinzelten Handhaben der Objekte |
KR101985618B1 (ko) * | 2018-04-28 | 2019-06-03 | 한남건 | 물품공급장치 |
CN110104360A (zh) * | 2019-05-11 | 2019-08-09 | 四川山立低温设备有限公司 | 一种在液氮罐内存储位上单个样本存取的液氮存储系统 |
CN111470287A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-31 | 广东溢达纺织有限公司 | 商标分码收纳设备及方法 |
KR20210001089A (ko) * | 2019-06-26 | 2021-01-06 | 김민규 | 스마트 신발장 |
WO2021197942A1 (en) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | Autostore Technology AS | Automated storage tower with carousel |
EP4126704A1 (en) * | 2020-03-31 | 2023-02-08 | Autostore Technology As | Automated storage and retrieval system |
EP4126705A1 (en) * | 2020-03-31 | 2023-02-08 | Autostore Technology AS | Automated storage tower with multiple rows |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0331105A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-08 | Daifuku Co Ltd | 吊下げ搬送装置使用の倉庫設備 |
JPH0613124Y2 (ja) * | 1988-04-07 | 1994-04-06 | 株式会社ダイフク | 棚設備 |
JPH07269168A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-10-17 | Fujitac:Kk | 自動搬送霊廟礼拝堂装置 |
JP2000260848A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | キャリアストッカ |
JP2002231785A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-08-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板受渡装置、基板処理装置および載置台 |
-
2003
- 2003-04-04 JP JP2003101697A patent/JP2004307125A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0613124Y2 (ja) * | 1988-04-07 | 1994-04-06 | 株式会社ダイフク | 棚設備 |
JPH0331105A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-08 | Daifuku Co Ltd | 吊下げ搬送装置使用の倉庫設備 |
JPH07269168A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-10-17 | Fujitac:Kk | 自動搬送霊廟礼拝堂装置 |
JP2000260848A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | キャリアストッカ |
JP2002231785A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-08-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板受渡装置、基板処理装置および載置台 |
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008540299A (ja) * | 2005-05-16 | 2008-11-20 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 高処理量amhsのためのモジュール式ターミナル |
JP2006324469A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP4538738B2 (ja) * | 2005-05-19 | 2010-09-08 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
WO2007037397A1 (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Asyst Technologies Japan, Inc. | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 |
JP2009154983A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫及び入出庫方法 |
JP2014221689A (ja) * | 2009-05-18 | 2014-11-27 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 貯蔵システム |
US8851820B2 (en) | 2009-05-18 | 2014-10-07 | Brooks Automation, Inc. | Substrate container storage system |
KR20120055493A (ko) * | 2009-05-18 | 2012-05-31 | 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드 | 기판 컨테이너 보관 시스템 |
JP2012527774A (ja) * | 2009-05-18 | 2012-11-08 | クロッシング オートメーション インコーポレイテッド | 基板用容器貯蔵システム |
JP2012527775A (ja) * | 2009-05-18 | 2012-11-08 | クロッシング オートメーション インコーポレイテッド | 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム |
CN102804355A (zh) * | 2009-05-18 | 2012-11-28 | 交叉自动控制公司 | 基片容器存储系统 |
KR101716524B1 (ko) * | 2009-05-18 | 2017-03-14 | 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드 | 기판 컨테이너 보관 시스템 |
US9842756B2 (en) | 2009-05-18 | 2017-12-12 | Brooks Automation, Inc. | Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems |
US8882433B2 (en) | 2009-05-18 | 2014-11-11 | Brooks Automation, Inc. | Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems |
WO2010135202A3 (en) * | 2009-05-18 | 2011-02-24 | Crossing Automation, Inc. | Substrate container storage system |
JP2015146447A (ja) * | 2009-05-18 | 2015-08-13 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム |
CN103026481A (zh) * | 2010-07-27 | 2013-04-03 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 用于在受控气氛中储存物品的设备 |
WO2012029751A1 (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-08 | シャープ株式会社 | 仮置き装置 |
JP2015000797A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 株式会社椿本チエイン | 低温保管システム |
JP2017530012A (ja) * | 2014-10-06 | 2017-10-12 | バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト | 曲げ加工プレス |
DE102018204612A1 (de) | 2018-03-27 | 2019-04-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Lagern einer Vielzahl von Objekten sowie zum vereinzelten Handhaben der Objekte |
DE102018204612B4 (de) * | 2018-03-27 | 2020-12-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Lagern einer Vielzahl von Objekten sowie zum vereinzelten Handhaben der Objekte |
KR101985618B1 (ko) * | 2018-04-28 | 2019-06-03 | 한남건 | 물품공급장치 |
CN110104360A (zh) * | 2019-05-11 | 2019-08-09 | 四川山立低温设备有限公司 | 一种在液氮罐内存储位上单个样本存取的液氮存储系统 |
KR20210001089A (ko) * | 2019-06-26 | 2021-01-06 | 김민규 | 스마트 신발장 |
KR102623634B1 (ko) | 2019-06-26 | 2024-01-09 | 김민규 | 스마트 신발장 |
CN111470287A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-31 | 广东溢达纺织有限公司 | 商标分码收纳设备及方法 |
WO2021197942A1 (en) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | Autostore Technology AS | Automated storage tower with carousel |
EP4126704A1 (en) * | 2020-03-31 | 2023-02-08 | Autostore Technology As | Automated storage and retrieval system |
EP4126705A1 (en) * | 2020-03-31 | 2023-02-08 | Autostore Technology AS | Automated storage tower with multiple rows |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004307125A (ja) | 保管棚装置 | |
EP3505416B1 (en) | Rail-guided trolley system, and rail-guided trolley | |
US7762754B2 (en) | Storage apparatus for transported object | |
US7591624B2 (en) | Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate | |
JP5316907B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
TWI722208B (zh) | 搬送系統 | |
KR100932812B1 (ko) | 밴드 대 밴드 이송 모듈용 방법 및 장치 | |
JP2005150129A (ja) | 移載装置及び移載システム | |
JP4436689B2 (ja) | ガラス基板の搬送システム | |
JP2008222346A (ja) | 懸垂式軌道搬送台車及び搬送システム | |
JP2007096140A (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
KR100351570B1 (ko) | 천정반송장치 및 천정반송차 | |
TWI760422B (zh) | 物品搬送車 | |
JP5517182B2 (ja) | 保管庫システム | |
JP4239748B2 (ja) | 搬送装置 | |
EP3875331B1 (en) | Vehicle system | |
JP2010013250A (ja) | 搬送システム及びコンピュータプログラム | |
WO2011125095A1 (ja) | 自動倉庫 | |
JP2005136294A (ja) | 移載装置 | |
JP2003243477A (ja) | 無人搬送車 | |
JP2005022791A (ja) | 懸垂搬送装置 | |
JPH0948521A (ja) | 移載装置及びその制御方法 | |
KR100950625B1 (ko) | 이송 스테이션용 장치 및 방법 | |
TW202210390A (zh) | 物品搬送車 | |
JP2000118607A (ja) | 搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070417 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070611 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070731 |