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JP2004148199A - Sprayer - Google Patents

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JP2004148199A
JP2004148199A JP2002316190A JP2002316190A JP2004148199A JP 2004148199 A JP2004148199 A JP 2004148199A JP 2002316190 A JP2002316190 A JP 2002316190A JP 2002316190 A JP2002316190 A JP 2002316190A JP 2004148199 A JP2004148199 A JP 2004148199A
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JP
Japan
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spray
spray processing
carry
seal chamber
air
Prior art date
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Pending
Application number
JP2002316190A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eishiro Kawana
永四郎 川名
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KEMITORON KK
Original Assignee
KEMITORON KK
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the leakage of a sprayed treatment liquid outside a sprayer in spraying and to prevent a treated plate from being hurt the both of that have occurred in the conventional sprayer. <P>SOLUTION: The sprayer has a conveyance means for conveying the plate and a spry means for spraying the treatment liquid on the upper and lower surfaces of the conveyed plate. The sprayer is divided into at least a carrying-in side spray seal chamber, a main spray chamber, and a carrying-out side spray seal chamber. By installing the spray means of the carrying-in side spray seal chamber and the carrying-out side spray seal chamber while being slanted to the side of the main spray chamber, the leakage of the sprayed treatment liquid outside the sprayer is reduced, and the plate is made preventable from being hurt. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、金属板またはプリント配線基板等の板状体にスプレー処理をする際に、スプレー液が装置の外部に漏れ出すことを低減させるようにしたスプレー処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
金属板またはプリント配線基板等の板状体に、塗装剤、絶縁材、感光剤、現像液、エッチング液、剥離剤または水洗水等の処理液でスプレー処理をする装置としては、例えば、上部スプレーノズルをプリント配線板の搬送位置に対して近接配設すると共に、下部スプレーノズルをプリント配線板の搬送位置に対して離間配設したプリント配線板のエッチング装置がある(特許文献1参照)。
【0003】
この特許文献1の従来技術においては、エッチング装置に配設された搬送ローラを回転させることによって、プリント配線板を搬送し、その際に、エッチング液をプリント配線板の上下からスプレーすることによって、該プリント配線板のエッチングを行うものである。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−231155号公報(請求項1、図1)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来技術においては、エッチング装置内の上下に配設したスプレーノズルからスプレーしたエッチング液が、プリント配線板等に当たって反射し、前記エッチング装置の外部に漏れ出すという問題点がある。
【0006】
また、このエッチング装置の外部にエッチング液が漏れ出すことを防止するために、該エッチング装置の搬入側と搬出側とに、ビニール製等の仕切りを配設させた場合には、プリント配線板の搬入がしづらくなると共に、前記仕切りに該プリント配線板が擦られるため、傷つくことがある。
【0007】
従って、従来のスプレー処理装置においては、スプレー処理する際に、スプレーした処理液がスプレー処理装置の外部に漏れ出すことを低減させると共に、スプレー処理される板状体が傷つくことを防ぐということに解決しなければならないという課題を有している。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記した従来例の課題を解決する具体的手段として本発明に係る発明は、板状体を搬送する搬送手段と、該搬送される板状体の上下面に処理液をスプレーするスプレー処理手段とを備えたスプレー処理装置であって、前記スプレー処理装置内を、少なくとも搬入側スプレーシール室と、主スプレー処理室と、搬出側スプレーシール室とに区画し、該搬入側スプレーシール室と搬出側スプレーシール室との前記スプレー処理手段をそれぞれ主スプレー処理室側に傾斜させて配設したことを特徴とするスプレー処理装置を提供するものである。
【0009】
この発明において、前記スプレー処理装置内には、搬入側エアーシール室と搬出側エアーシール室とを形成し、それぞれにエアー吹き付け手段を配設して、該エアー吹き付け手段を前記主スプレー処理室側に傾斜させたこと;スプレー処理装置内のエアーを吸い込んで、該空気に含有される処理液を除去した後、前記エアー吹き付け手段に前記エアーを導入させて、前記スプレー処理装置内のエアーを循環させること;前記板状体は、金属板またはプリント配線基板であること;前記処理液は、塗装剤、絶縁材、感光剤、現像液、エッチング液、剥離剤または水洗水のいずれかであること;を付加的な要件として含むものである。
【0010】
本発明に係るスプレー処理装置は、スプレー処理装置内を、少なくとも搬入側スプレーシール室と、主スプレー処理室と、搬出側スプレーシール室とに区画し、該搬入側スプレーシール室と搬出側スプレーシール室との前記スプレー処理手段をそれぞれ主スプレー処理室側に傾斜させて配設したことによって、スプレー処理する際に、主スプレー処理室側に傾斜させた搬入側スプレーシール室と搬出側スプレーシール室との前記スプレー処理手段がスプレーシールとなるため、スプレーした処理液がスプレー処理装置の外部に漏れ出すことを低減でき、また、仕切りを配設させる必要がないため、スプレー処理される板状体が傷つくことがないのである。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を具体的な実施の形態に基づいて詳しく説明する。
本発明の第1の実施の形態に係るスプレー処理装置を略示的に示した断面図を図1の示す。スプレー処理装置1のハウジング2の内部には、金属板またはプリント配線基板等の板状体3を搬送する搬送装置4が配設されている。この搬送装置4としては、例えば、L支持コンベアまたはロールを使用したコンベア等を使用することができる。
【0012】
スプレー処理装置1の内部には、区画用の壁5a、5bが形成されており、該区画用の壁5a、5bによって、前記スプレー処理装置1の内部は、搬入側スプレーシール室7と、主スプレー処理室8と、搬出側スプレーシール室9とに区画されている。
【0013】
板状体3は、搬入口10から搬入させて、搬送装置4によって搬送させることができ、その搬送される板状体3は、搬入側スプレーシール室7と、主スプレー処理室8と、搬出側スプレーシール室9とを通って、搬出口11から取り出すことができる。
【0014】
これら搬入側スプレーシール室7と、主スプレー処理室8と、搬出側スプレーシール室9とには、それぞれスプレー処理手段12a、12b、12cが搬送装置4のハウジング2の上下側または図示していない上下のフレーム等に配設されており、板状体3の上下面に処理液がスプレーされる。
【0015】
このスプレー処理液としては、塗装剤、絶縁材、感光剤、現像液、エッチング液、剥離剤または水洗水等うちのいずれかを使用することができ、これによって、搬送される板状体3の上下面は、塗装、絶縁、感光、現像、エッチング、剥離または水洗等の処理がなされることになる。
【0016】
また、搬入側スプレーシール室7と、搬出側スプレーシール室9とに配設されたスプレー処理手段12a、12cは、それぞれ主スプレー処理室8側、即ち、スプレー処理装置1の内側方向に所定角度傾斜させて配設されている。
【0017】
このように、スプレー処理手段12a、12cをそれぞれ主スプレー処理室8側に傾斜させて配設させたことによって、該スプレー処理手段12a、12cのスプレーが主スプレー処理室8側にスプレーされ、該スプレーがスプレーシールとして働くため、スプレー処理手段12a、12b、12cからスプレーされた処理液がスプレー処理装置1の外部に漏れ出すことを低減でき、また、仕切りを配設させる必要がないため、スプレー処理される板状体3が傷つくことはないのである。
【0018】
本発明の第2の実施の形態に係るスプレー処理装置を略示的に示した断面図を図2の示す。この第2の実施の形態においては、前記第1の実施の形態のスプレー処理装置内で搬入側スプレーシール室7と、搬出側スプレーシール室9との外側に搬入側エアーシール室と搬出側エアーシール室とを形成させ、それぞれにエアー吹き付け手段を配設したものであり、その他の構成については、前記第1の実施の形態と同様であり、説明が重複するため、前記第1の実施の形態と同様のものについては、同一の符号を付し、その詳細な説明については省略する。
【0019】
この第2の実施の形態においては、スプレー処理装置21内で搬入側スプレーシール室7と、搬出側スプレーシール室9との外側に区画用の壁25a、25bを形成して、搬入側エアーシール室23と搬出側エアーシール室24とを形成させたものである。
【0020】
搬入側エアーシール室23と、搬出側エアーシール室24とには、それぞれエアー吹き付け手段22a、22bを配設させ、該エアー吹き付け手段22a、22bをそれぞれ主スプレー処理室8側、即ち、スプレー処理装置21の内側方向に所定角度傾斜させて配設している。
【0021】
このように、搬入側スプレーシール室7と、搬出側スプレーシール室9とに配設したスプレー処理手段12a、12cをそれぞれ主スプレー処理室8側に傾斜させて配設させると共に、搬入側エアーシール室23と、搬出側エアーシール室24とに配設したエアー吹き付け手段22a、22bもそれぞれ主スプレー処理室8側に傾斜させて配設させることによって、前記スプレー処理手段12a、12cのスプレーが主スプレー処理室8側にスプレーされ、該スプレーがスプレーシールとして働くと共に、前記エアー吹き付け手段22a、22bから主スプレー処理室8側に吹き付けたエアーもエアーシールとして働くため、スプレー処理手段12a、12b、12cからスプレーされた処理液がスプレー処理装置21の外部に漏れ出すことをより一層低減でき、また、仕切りを配設させる必要がないため、スプレー処理される板状体3が傷つくことはないのである。
【0022】
このエアー吹き付け手段22a、22bから吹き出させるエアーは、例えば、ブロワー26等により、スプレー処理装置21の外部の空気を吹き出させても良いが、図3に示してあるように、搬入側エアーシール室23と、搬出側エアーシール室24との空気、または、搬入側スプレーシール室7と、搬出側スプレーシール室9と、搬入側エアーシール室23と、搬出側エアーシール室24との空気を吸い込み、該空気に含まれるミストをミスト分離器27により分離させ、該ミストを分離させた空気をブロワー26等によってエアー吹き付け手段22a、22bに送り込み、該エアー吹き付け手段22a、22bから吹き出させて、循環させることが好ましい。
【0023】
このように、スプレー処理装置21内部の空気を循環させる構成にすることによって、該スプレー処理装置21から排出される空気が少なくなるため、スプレー処理装置21を設置した室内の空気が汚れることを軽減できるのである。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るスプレー処理装置は、板状体を搬送する搬送手段と、該搬送される板状体の上下面に処理液をスプレーするスプレー処理手段とを備えたスプレー処理装置であって、前記スプレー処理装置内を、少なくとも搬入側スプレーシール室と、主スプレー処理室と、搬出側スプレーシール室とに区画し、該搬入側スプレーシール室と搬出側スプレーシール室との前記スプレー処理手段をそれぞれ主スプレー処理室側に傾斜させて配設したことにより、該スプレー処理手段のスプレーが主スプレー処理室側にスプレーされ、該スプレーがスプレーシールとして働くため、それぞれのスプレー処理手段からスプレーされた処理液がスプレー処理装置の外部に漏れ出すことを低減でき、また、仕切りを配設させる必要がないため、スプレー処理される板状体が傷つくことがないという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るスプレー処理装置を略示的に示した断面図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態に係るスプレー処理装置を略示的に示した断面図である。
【図3】同スプレー処理装置のエアーを循環させる構成を示した説明図である。
【符号の説明】
1、21 スプレー処理装置
2 ハウジング
3 板状体
4 搬送装置
5a、5b、25a、25b 区画用の壁
7 搬入側スプレーシール室
8 主スプレー処理室
9 搬出側スプレーシール室
10 搬入口
11 搬出口
12a、12b、12c スプレー処理手段
22a、22b エアー吹き付け手段
23 搬入側エアーシール室
24 搬出側エアーシール室
26 ブロワー
27 ミスト分離器
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spray processing apparatus that reduces leakage of a spray liquid to the outside of an apparatus when performing spray processing on a plate-like body such as a metal plate or a printed wiring board.
[0002]
[Prior art]
As an apparatus for spraying a plate-like body such as a metal plate or a printed wiring board with a treatment liquid such as a coating agent, an insulating material, a photosensitive agent, a developing solution, an etching solution, a release agent or washing water, for example, an upper spray There is a printed wiring board etching apparatus in which a nozzle is disposed close to a transfer position of a printed wiring board and a lower spray nozzle is disposed separately from the transfer position of the printed wiring board (see Patent Document 1).
[0003]
In the prior art of Patent Document 1, a printed wiring board is transported by rotating a transport roller provided in an etching apparatus, and at that time, an etching solution is sprayed from above and below the printed wiring board, The printed wiring board is etched.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-7-231155 (Claim 1, FIG. 1)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional technique has a problem in that an etching solution sprayed from spray nozzles disposed above and below the etching device reflects on a printed wiring board or the like and leaks out of the etching device.
[0006]
Further, in order to prevent the etching solution from leaking out of the etching apparatus, if partitions made of vinyl or the like are provided on the carry-in side and the carry-out side of the etching apparatus, the printed circuit board is not provided. In addition, it is difficult to carry the printed wiring board, and the printed wiring board is rubbed against the partition, so that the printed wiring board may be damaged.
[0007]
Therefore, in the conventional spray processing apparatus, it is possible to reduce the leakage of the sprayed processing liquid to the outside of the spray processing apparatus during the spray processing and to prevent the plate-like body to be spray-treated from being damaged. There is a problem that must be solved.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to the present invention as a specific means for solving the above-mentioned problems of the conventional example includes a conveying means for conveying a plate-like body, and a spray processing means for spraying a processing liquid on upper and lower surfaces of the conveyed plate-like body. A spray processing apparatus comprising: a spray processing apparatus, wherein the inside of the spray processing apparatus is divided into at least a carry-in side spray seal chamber, a main spray processing chamber, and a carry-out side spray seal chamber, and the carry-in side spray seal chamber and the carry-out side It is another object of the present invention to provide a spray processing apparatus characterized in that the spray processing means for the spray seal chamber and the spray processing means are respectively inclined to the main spray processing chamber.
[0009]
In the present invention, a carry-in side air seal chamber and a carry-out side air seal chamber are formed in the spray processing apparatus, and air blowing means is provided for each of them, and the air blowing means is provided on the main spray processing chamber side. After suctioning air in the spray processing device to remove the processing liquid contained in the air, introducing the air into the air blowing means to circulate the air in the spray processing device. The plate is a metal plate or a printed wiring board; and the treatment liquid is any of a coating agent, an insulating material, a photosensitive agent, a developing solution, an etching solution, a stripping agent, and washing water. ; As an additional requirement.
[0010]
The spray processing apparatus according to the present invention divides the interior of the spray processing apparatus into at least a carry-in side spray seal chamber, a main spray treatment chamber, and a carry-out side spray seal chamber, and the carry-in side spray seal chamber and the carry-out side spray seal chamber. When the spray processing is performed, the carry-in side spray seal chamber and the carry-out side spray seal chamber that are inclined to the main spray processing chamber side when the spray processing is performed by arranging the spray processing means and the spray processing means to be inclined to the main spray processing chamber side, respectively. Since the spray processing means is a spray seal, it is possible to reduce the leakage of the sprayed processing liquid to the outside of the spray processing apparatus, and it is not necessary to arrange a partition, so that the plate-like body to be spray-processed is not required. Is not hurt.
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, the present invention will be described in detail based on specific embodiments.
FIG. 1 is a sectional view schematically showing the spray processing apparatus according to the first embodiment of the present invention. Inside the housing 2 of the spray processing apparatus 1, a transfer device 4 for transferring a plate 3 such as a metal plate or a printed wiring board is provided. As the transporting device 4, for example, an L-supporting conveyor or a conveyor using rolls can be used.
[0012]
Partition walls 5a and 5b are formed inside the spray processing apparatus 1, and the interior of the spray processing apparatus 1 is mainly connected to the carry-in side spray seal chamber 7 by the partition walls 5a and 5b. It is divided into a spray processing chamber 8 and a discharge side spray seal chamber 9.
[0013]
The plate-like body 3 can be carried in from the carry-in entrance 10 and carried by the carrying device 4, and the carried plate-like body 3 has a carry-in side spray seal chamber 7, a main spray processing chamber 8, and a carry-out side. It can be taken out of the outlet 11 through the side spray seal chamber 9.
[0014]
In the carry-in side spray seal chamber 7, the main spray processing chamber 8, and the carry-out side spray seal chamber 9, the spray processing means 12a, 12b, and 12c are respectively provided with upper and lower sides of the housing 2 of the transport device 4 or not shown. The processing liquid is sprayed on the upper and lower surfaces of the plate-like body 3, which are disposed on upper and lower frames and the like.
[0015]
As the spray processing liquid, any one of a coating agent, an insulating material, a photosensitive agent, a developing solution, an etching solution, a release agent, and washing water can be used. The upper and lower surfaces are subjected to processing such as painting, insulation, exposure to light, development, etching, peeling, or washing with water.
[0016]
Further, the spray processing means 12a and 12c provided in the carry-in side spray seal chamber 7 and the carry-out side spray seal chamber 9 respectively have a predetermined angle toward the main spray processing chamber 8, that is, inward of the spray processing apparatus 1. It is arranged at an angle.
[0017]
In this way, by arranging the spray processing means 12a and 12c so as to be inclined toward the main spray processing chamber 8, respectively, the spray of the spray processing means 12a and 12c is sprayed toward the main spray processing chamber 8 and Since the spray works as a spray seal, the processing liquid sprayed from the spray processing means 12a, 12b, and 12c can be prevented from leaking out of the spray processing apparatus 1, and there is no need to arrange a partition. The plate 3 to be processed is not damaged.
[0018]
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a spray processing apparatus according to a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the carry-in side air seal chamber and the carry-out side air seal chamber are provided outside the carry-in side spray seal chamber 7 and the carry-out side spray seal chamber 9 in the spray processing apparatus of the first embodiment. A seal chamber is formed, and air blowing means is provided for each of the seal chambers. The other configurations are the same as those in the first embodiment, and the description will be repeated. The same components as those in the embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
[0019]
In the second embodiment, partition walls 25a and 25b are formed outside the carry-in side spray seal chamber 7 and the carry-out side spray seal chamber 9 in the spray processing device 21, and the carry-in side air seal is formed. A chamber 23 and a carry-out side air seal chamber 24 are formed.
[0020]
Air blowing means 22a and 22b are provided in the carry-in side air seal chamber 23 and the carry-out side air seal chamber 24, respectively, and the air blow means 22a and 22b are respectively provided in the main spray processing chamber 8 side, that is, in the spray processing. It is arranged at a predetermined angle inward of the device 21.
[0021]
As described above, the spray processing means 12a and 12c provided in the carry-in side spray seal chamber 7 and the carry-out side spray seal chamber 9 are respectively arranged to be inclined toward the main spray processing chamber 8, and the carry-in side air seal is provided. The air spraying means 22a and 22b provided in the chamber 23 and the carry-out side air seal chamber 24 are also arranged to be inclined toward the main spray processing chamber 8, respectively, so that the sprays of the spray processing means 12a and 12c are mainly provided. The spray is sprayed to the spray processing chamber 8 side, and the spray works as a spray seal, and the air blown from the air blowing means 22a, 22b to the main spray processing chamber 8 also works as an air seal, so that the spray processing means 12a, 12b, Leakage of the processing liquid sprayed from 12c to the outside of the spray processing apparatus 21 More can be further reduced, also, it is not necessary to dispose the partition, it's not that the plate-like member 3 to be sprayed hurt.
[0022]
The air blown from the air blowing means 22a and 22b may blow air outside the spray processing device 21 by, for example, a blower 26 or the like, but as shown in FIG. 23, and the air in the carry-out side air seal chamber 24, or the air in the carry-in side spray seal chamber 7, the carry-out side spray seal chamber 9, the carry-in side air seal chamber 23, and the carry-out side air seal chamber 24 are sucked. The mist contained in the air is separated by a mist separator 27, and the air separated from the mist is sent to the air blowing means 22a, 22b by a blower 26 or the like, and is blown out from the air blowing means 22a, 22b to circulate. Preferably.
[0023]
By circulating the air inside the spray processing device 21 in this manner, the amount of air discharged from the spray processing device 21 is reduced, and thus the air in the room where the spray processing device 21 is installed is reduced. You can.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, the spray processing apparatus according to the present invention is a spray processing apparatus that includes a transport unit that transports a plate-shaped body, and a spray processing unit that sprays a processing liquid onto the upper and lower surfaces of the transported plate-shaped body. An apparatus, wherein the inside of the spray processing device is divided into at least a carry-in side spray seal chamber, a main spray treatment chamber, and a carry-out side spray seal chamber, and the carry-in side spray seal chamber and the carry-out side spray seal chamber are separated. By disposing the spray processing means at an angle to the main spray processing chamber side, the spray of the spray processing means is sprayed to the main spray processing chamber side, and the spray acts as a spray seal. It is possible to reduce the leakage of the processing liquid sprayed from the means to the outside of the spray processing apparatus, and it is not necessary to provide a partition. Therefore, an excellent effect that is not plate-shaped body to be sprayed is damaged.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a spray processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view schematically showing a spray processing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an explanatory view showing a configuration of circulating air of the spray processing apparatus.
[Explanation of symbols]
1, 21 spray processing device 2 housing 3 plate-like body 4 transport device 5a, 5b, 25a, 25b partitioning wall 7 carry-in side spray seal room 8 main spray processing room 9 carry-out side spray seal room 10 carry-in port 11 carry-out port 12a , 12b, 12c Spray processing means 22a, 22b Air blowing means 23 Loading air seal chamber 24 Loading air seal chamber 26 Blower 27 Mist separator

Claims (5)

板状体を搬送する搬送手段と、該搬送される板状体の上下面に処理液をスプレーするスプレー処理手段とを備えたスプレー処理装置であって、
前記スプレー処理装置内を、少なくとも搬入側スプレーシール室と、主スプレー処理室と、搬出側スプレーシール室とに区画し、
該搬入側スプレーシール室と搬出側スプレーシール室との前記スプレー処理手段をそれぞれ主スプレー処理室側に傾斜させて配設したこと
を特徴とするスプレー処理装置。
A conveying device for conveying the plate-like body, and a spray processing apparatus including spray processing means for spraying a processing liquid on the upper and lower surfaces of the conveyed plate-like body,
The spray processing device is divided into at least a carry-in side spray seal chamber, a main spray treatment chamber, and a carry-out side spray seal chamber,
A spray processing apparatus, wherein the spray processing means of the carry-in side spray seal chamber and the carry-out side spray seal chamber are disposed so as to be inclined toward the main spray processing chamber.
前記スプレー処理装置内には、搬入側エアーシール室と搬出側エアーシール室とを形成し、それぞれにエアー吹き付け手段を配設して、該エアー吹き付け手段を前記主スプレー処理室側に傾斜させたこと
を特徴とする請求項1に記載のスプレー処理装置。
In the spray processing device, a carry-in side air seal chamber and a carry-out side air seal chamber were formed, and air spraying means was provided in each of them, and the air spraying means was inclined toward the main spray processing chamber. The spray processing apparatus according to claim 1, wherein:
スプレー処理装置内のエアーを吸い込んで、該空気に含有される処理液を除去した後、前記エアー吹き付け手段に前記エアーを導入させて、前記スプレー処理装置内のエアーを循環させること
を特徴とする請求項2に記載のスプレー処理装置。
After sucking air in the spray processing device and removing the processing liquid contained in the air, the air is introduced into the air spraying means to circulate the air in the spray processing device. The spray processing device according to claim 2.
前記板状体は、
金属板またはプリント配線基板であること
を特徴とする請求項1に記載のスプレー処理装置。
The plate-like body,
The spray processing apparatus according to claim 1, wherein the spray processing apparatus is a metal plate or a printed wiring board.
前記処理液は、
塗装剤、絶縁材、感光剤、現像液、エッチング液、剥離剤または水洗水のいずれかであること
を特徴とする請求項1に記載のスプレー処理装置。
The treatment liquid is
The spray processing apparatus according to claim 1, wherein the spray processing apparatus is any one of a coating agent, an insulating material, a photosensitive agent, a developing solution, an etching solution, a stripping agent, and washing water.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100839876B1 (en) * 2005-09-29 2008-06-19 아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Apparatus and method for cleaning of thin substrate
JP2012253206A (en) * 2011-06-03 2012-12-20 Dainippon Printing Co Ltd Etching processing device
KR101876673B1 (en) * 2017-03-29 2018-07-13 (주)삼성금속 Auto painting machine for shape steelbeam and aluminum sash
CN110841823A (en) * 2019-10-04 2020-02-28 衢州光明电力投资集团有限公司 Paint spraying device suitable for concave-convex sheet metal part

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100839876B1 (en) * 2005-09-29 2008-06-19 아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Apparatus and method for cleaning of thin substrate
JP2012253206A (en) * 2011-06-03 2012-12-20 Dainippon Printing Co Ltd Etching processing device
KR101876673B1 (en) * 2017-03-29 2018-07-13 (주)삼성금속 Auto painting machine for shape steelbeam and aluminum sash
CN110841823A (en) * 2019-10-04 2020-02-28 衢州光明电力投资集团有限公司 Paint spraying device suitable for concave-convex sheet metal part

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