JP2004020617A

JP2004020617A - シート状基板の保持具

Info

Publication number: JP2004020617A
Application number: JP2002171709A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Kubota; 久保田　哲哉
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 2002-06-12
Filing date: 2002-06-12
Publication date: 2004-01-22

Abstract

【課題】シート状基板の保管、移動、及び洗浄時などに利用される保持具を提供する。
【解決手段】略四方形シート状基板の保持具であって、該基板の左右両側端辺を嵌合保持する左右一対の両側部嵌合溝と、基板の上下側端辺の少なくとも一方を嵌合保持する嵌合溝を備え、且つ、該嵌合溝の両面から対状に突起した複数の支点を有し、該支点間に基板を挿入して保持できる構造を有することを特徴とする基板の保持具。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート状基板を輸送、保存、洗浄等を行う際に用いる保持具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シート状基板を保持する場合、クリップ等で挟み保持する方法、一対の板で形成された隙間に保持する方法、Ｖ字形等に加工した溝に挿入し保持する方法、シート状基板を湾曲させ隙間や溝に挿入する方法などが知られている（特開平６−１３８４２７号、特開平１１−２７１７０１号など）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、クリップ等で挟む場合、基板に挟み跡が残る問題がある。
また、基板を溶剤等で洗浄した場合、挟んだ部分の洗浄が十分出来ない問題がある。
更に、一対の板で形成された隙間に挿入し保持する方法では、溶剤等で洗浄した場合に隙間を形成する板と基板の間に入った洗浄液とその他の部分に付着した洗浄液との間に乾燥時間のズレが生じ、保持部やその境界部に洗浄跡が残る原因となる問題がある。
一方、Ｖ字形の溝に挿入し保持する場合や基板を湾曲させ隙間や溝に挿入する方法では、基板の撓みより溝から外れることもあり、一方、Ｖ字形溝の間隔を狭くすると先に挙げた洗浄跡の問題が生じる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために達成されたものであり、その要旨は、略四方形シート状基板の保持具であって、該基板の左右両側端辺を嵌合保持する左右一対の両側部嵌合溝と、基板の上下側端辺の少なくとも一方を嵌合保持する嵌合溝を備え、且つ、該嵌合溝の両面から対状に突起した複数の支点を有し、該支点間に基板を挿入して保持できる構造を有することを特徴とする基板の保持具に存する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について更に詳細に説明する。
本発明の保持具の保持対象となるシート状基板（以下、基板という）は、その大きさは特に限定はないが、例えば、Ａ４サイズ程度の長方形形状のものが例示できる。該基板は、その短辺の一方を下端とし下端の両端を同方向に約１０〜３０ｍｍ湾曲させて基板を倒立させた時に、該基板の上端部が自重により倒れることなく、倒立状態を保持できる程度の硬質性のものである。具体的には、液晶表示用、光デイスク用、フォトマスク用などで用いる樹脂基板、金属基板ないしガラス基板であり、該基板の厚さは、通常０．１〜１．０ｍｍ程度である。
【０００６】
以下、本発明に関する上記基板の保持具につき、図面を用いて説明する。
本発明の保持具は、基板を一枚保持する構造を基本単位とするものであるが、通常、図１に示すように、保持枠（１）に複数の勘合溝（４）を設け、複数の基板（２）を嵌合保持して固定できる構成を有する。勘合溝（４）は、基板（２）の左右両側端辺を嵌合保持する左右一対の両側部と、基板（２）の上下側端辺の少なくとも一方に存在し、基板（２）を嵌合保持できるようになっている。なお、保持枠（１）には、洗浄液等が対流や液切れしやすいように穴を開けてもよい。
そして、本発明の保持具では、該嵌合溝の両面から対状に突起した複数の支点（３）を有し、該支点間に基板（３）を挿入して保持できる構造を有することを特徴とする。
【０００７】
基板を保持する勘合溝（４）は、通常、基板の厚み面部を下にし立てた鉛直方向の２辺及び下部の１辺を保持することが好ましいが、基板が保持具から脱落しない構造であれば特に規定するものではない。一枚の基板を保持する場合、基板３辺を挿入できるように、例えば、コ型あるいはＶ型に加工した勘合溝（４）を保持枠（１）の３辺に設置する。
また、シート状基板の厚み面部を下にし立てた鉛直方向の２辺及び下部の１辺を保持する方法では、保持を補助する目的のための保持具を上面に設置してもよい。かかる補助用の保持具の形態、設置位置、個数は特に限定されないが、基板を洗浄工程に供する場合は本発明の保持具と同様な支点方式のものが好ましい。また、補助用保持具の支点の配置位置として、上辺の中央部付近が好ましい。
なお、以上の保持枠（１）、勘合溝（４）の材質は特に規定しないが、洗浄等に用いる溶剤等に容易に変形等を起こさない材質、また保持、保管、移動等で容易に変形を起こさない材質の物であれば特に規定するものではない。例えば、金属、フッ素系樹脂、ナイロン樹脂、これらの複合等が挙げられる。
【０００８】
基板を保持する一対の支点を構成する形態は、例えば、支点設置部に、ピン状の支点を固定する形態（図２）、針金等を用いて連続的に波状に加工した物を波状の山部が基板に対向する様固定する形態（図３）、またこれらの複合形態、あるいは、歯ブラシのように細い糸状の支持体を複数束ねた物を支点とし対向させる形態、円柱状物を対向ささせた形態等が考えられるが、基板を一対の支点間で保持する目的を満たすものであれば特に限定されない。なお、一対の支点の対向位置は、例えば、ピン状の支点の基板に対向する頂点の中心が同一線上にある場合が好ましいが、同一線上からずれていてもよい。
なお、上記支点を構成する材質は、基板を傷つけず、また、基板の洗浄等に使う溶剤等に影響を受けない材質の物であれば、特に限定されるものではないが、例えば、フッ素系樹脂、金属、ナイロン樹脂、シリコン系樹脂、シリコンゴム等が挙げられる。
【０００９】
本発明の保持具は、以上のような嵌合溝の両面から対状に突起した複数の支点間に基板を挿入して保持できる構造である必要がある。そのためには、保持具の支点部の断面を示す図４における嵌合溝における対状支点の間隔（５）が、基板の厚さより通常１〜３ｍｍ大きい程度であることが好ましい。支点間間隔が狭すぎれば基板の挿入が難しくなり、また、支点間間隔が広すぎると、基板移動時などでの基板の脱落が問題となる恐れがある。
【００１０】
また、図４において、保持部に挿入した基板の端部から最近傍の対状支点までの間隔（６）を通常４ｍｍ以上程度設けることが好ましい。更に、図４において、基板端部と勘合溝（４）の端部との間隔（７）は、間隔（６）よりも短いことが好ましく、通常１〜２ｍｍ程度である。かかる範囲を外れた場合、基板の移動時等に、基板がずれて脱落する可能性が増大する。
【００１１】
以上の保持具における一対の支点配置位置間隔及び配置数は、挿入する辺の長さを設置する支点数で割った距離に均等に配置することが好ましい。配置数においては、例えば、辺の長さ３００ｍｍの場合には、支点数は通常２〜６０、好ましくは３〜２０の間隔で、支点設置位置間隔は通常５〜１５０ｍｍ、好ましくは１０〜５０ｍｍである。かかる支点の配置位置、間隔のバランスがくずれると、基板の保持安定性に支障をきたすので好ましくない。
また、基板の左右両側端辺を嵌合保持する左右の両側部嵌合溝については、基板の保持安定性を高める意味で、その支点の位置の少なくとも一つは上部近傍に、例えば、上部端より通常５〜１５ｍｍに設置するとよい。
【００１２】
【発明の効果】
本発明の保持具によれば、基板を確実に保持できるとともに、基板の洗浄や保管、移動時に保持具からの脱落を防止し、生産時の歩留まりを向上させるすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の保持持具の斜景図、及び、上部から見た図である。
【図２】本発明の保持具の支点部の構造の一例を示す図ある。
【図３】本発明の保持具の支点部の構造の別の例を示す図ある。
【図４】本発明の保持具の支点部の断面を示す図である。
【符号の説明】
１：　保持枠
２　　シート状基板
３　　支点
４　　支点設置部
５　　支点間隔
６　　支点設置位置
７　　挿入したシート状基板端部から壁までの距離

Claims

略四方形シート状基板の保持具であって、該基板の左右両側端辺を嵌合保持する左右一対の両側部嵌合溝と、基板の上下側端辺の少なくとも一方を嵌合保持する嵌合溝を備え、且つ、該嵌合溝の両面から対状に突起した複数の支点を有し、該支点間に基板を挿入して保持できる構造を有することを特徴とする基板の保持具。
シート状基板の厚さが０．１〜１．０ｍｍである請求項１の基板の保持具。
嵌合溝における対状支点の間隔が、シート状基板の厚さより１〜３ｍｍ大きい請求項１又は２の基板の保持具。
シート状基板端部から最近傍の対状支点までの間隔が４ｍｍ以上である請求項１〜３のいずれかの基板の保持具。