JP2003344819A - Method for manufacturing color liquid crystal display device - Google Patents
Method for manufacturing color liquid crystal display deviceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、好適なカラー液晶
表示装置の製造方法に関する。特に、一つの大きい基板
に複数の表示素子がレイアウトされた場合の製造方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a suitable color liquid crystal display device. In particular, it relates to a manufacturing method when a plurality of display elements are laid out on one large substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】カラー液晶表示素子には、非常に高価な
部材であるカラーフィルタが用いられている。カラー液
晶表示素子の概略の断面構成を図8に示す。図示するよ
うに、基板26上にカラーフィルタが形成されている。
カラーフィルタは、複数の着色部で形成されている。本
図では、カラーフィルタはR、G、Bの3色の着色部と
ブラックマトリックスで構成されているが、カラーフィ
ルタの仕様に応じて色々な構成をとりうる。カラーフィ
ルタの上には透明樹脂層6が設けられている。さらにそ
の上には液晶28に電圧を印加するための透明電極7が
形成されている。基板26はシール材27により一定の
間隙を持って対向基板36と接合されている。この一定
の間隙に液晶28が封入されている。対向基板36にも
透明電極が設けられている。2. Description of the Related Art A color filter, which is a very expensive member, is used in a color liquid crystal display device. FIG. 8 shows a schematic sectional structure of the color liquid crystal display element. As shown, a color filter is formed on the substrate 26.
The color filter is formed of a plurality of colored portions. In this figure, the color filter is composed of three colored portions of R, G, and B and a black matrix, but various structures can be adopted according to the specifications of the color filter. A transparent resin layer 6 is provided on the color filter. Further, a transparent electrode 7 for applying a voltage to the liquid crystal 28 is formed thereon. The substrate 26 is joined to the counter substrate 36 by a seal material 27 with a certain gap. The liquid crystal 28 is enclosed in this fixed gap. A transparent electrode is also provided on the counter substrate 36.
【0003】このような構成の表示素子は、単個ずつ個
別に形成されるとは限らない。特に中・小型のカラー液
晶表示素子を製造する場合、一つの基板に100個を超
える複数の表示素子用のパターン(カラーフィルタ、透
明電極)が一つの大きな基板にレイアウトされることに
なる。そして、大きな基板のままの状態で複数の表示素
子が一括して組み立てられ、その後、分離されて一つの
表示素子となる。すなわち、まず複数のカラーフィルタ
が配置されたカラーフィルタ基板を形成する。次に、各
カラーフィルタに対応するように透明樹脂層を形成す
る。この透明樹脂層上に透明導電膜を設け、パターニン
グして表示電極を形成する。このように、カラーフィル
タ基板には、複数の表示素子に対応するように、カラー
フィルタ、透明樹脂層、表示電極が積層され、レイアウ
トされている。一方、カラーフィルタ基板と対向する対
向基板にもカラーフィルタ基板の各表示素子の表示電極
と対応するように透明電極が設けられている。そして、
カラーフィルタ基板と対向基板をシール材によって一定
の間隔を持って接合する。その後、個々の表示素子に分
離して、この間隙に液晶を注入する。The display elements having such a structure are not always individually formed. In particular, when manufacturing a medium- or small-sized color liquid crystal display device, more than 100 patterns (color filters, transparent electrodes) for a plurality of display devices are laid out on one large substrate. Then, a plurality of display elements are collectively assembled in the state of the large substrate, and then separated to form one display element. That is, first, a color filter substrate on which a plurality of color filters are arranged is formed. Next, a transparent resin layer is formed so as to correspond to each color filter. A transparent conductive film is provided on this transparent resin layer and patterned to form a display electrode. In this way, the color filter substrate, the color filter, the transparent resin layer, and the display electrode are laminated and laid out so as to correspond to the plurality of display elements. On the other hand, transparent electrodes are provided on the counter substrate facing the color filter substrate so as to correspond to the display electrodes of the display elements of the color filter substrate. And
The color filter substrate and the counter substrate are bonded together with a sealant at a fixed interval. After that, the display element is separated into individual display elements, and liquid crystal is injected into the gap.
【0004】このような各工程のうち、必要な工程で検
査工程が加えられる。例えば、複数のカラーフィルタを
基板上に形成したあとで、各カラーフィルタに不良があ
るか検査し、不良のカラーフィルタエリアを特定してお
く必要がある。なぜなら、カラーフィルタ基板の検査を
行って不良パターンを特定しない場合、何らかの欠陥を
有するパターンエリアが後工程へ流出してしまい、検査
工程等において選別が必要になり、生産性が低下するか
らである。さらに、不良パターンエリアを用いて製造さ
れたカラー液晶表示パネルに無用な回路部品等の組立て
実装が行われることにより損失コストが増大するからで
ある。そこで、個々のパターンエリアに識別番号を割り
当て、該パターンエリアが設けられているカラーフィル
タ基板のパターンエリア外にその識別番号を描き、不良
パターンエリアが発見された際に該不良パターンエリア
に対応する識別番号にマーキングを施すという手法が用
いられていた。Of these steps, an inspection step is added at a necessary step. For example, after forming a plurality of color filters on a substrate, it is necessary to inspect each color filter for a defect and specify the defective color filter area. This is because if the color filter substrate is not inspected to identify a defective pattern, a pattern area having some defect will flow out to a subsequent process, which requires sorting in the inspection process and the like, resulting in reduced productivity. . Further, the cost of loss is increased by assembling and mounting unnecessary circuit components on the color liquid crystal display panel manufactured using the defective pattern area. Therefore, an identification number is assigned to each pattern area, the identification number is drawn outside the pattern area of the color filter substrate on which the pattern area is provided, and when the defective pattern area is found, the defective pattern area is dealt with. A method of marking the identification number was used.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た方法では、一つのカラーフィルタ基板から複数のパタ
ーンを分離して製造する場合、分離したら表示素子が良
品か不良品か判断できなくなる。仮に、パターンエリア
内にも識別番号を記入しても、エリアが限られているた
め大きく記入できず、さらに、表面に後工程で各種薄膜
が設けられる場合もあり、極めて判別し難い。あるい
は、各カラーフィルタパターンに異物の存在等に起因す
る欠陥があった場合に、各パターンエリアに割り当てら
れた識別番号を記録して良・不良を管理する方法では、
以降の液晶表示装置の製造工程を通して継続的に対応さ
せなければならず、非常に困難であった。However, in the above-mentioned method, when a plurality of patterns are separately manufactured from one color filter substrate, it is impossible to judge whether the display element is a good product or a defective product after the separation. Even if an identification number is written in the pattern area, it cannot be written large because the area is limited, and various thin films may be provided on the surface in a post process, which makes it very difficult to distinguish. Alternatively, in the case where each color filter pattern has a defect caused by the presence of a foreign substance or the like, the method of recording the identification number assigned to each pattern area and managing the quality is
This has been extremely difficult because it must be continuously dealt with through the subsequent manufacturing process of the liquid crystal display device.
【0006】そこで、上述した問題点を技術的に解決す
る手法の出現が望まれていた。Therefore, the advent of a method for technically solving the above-mentioned problems has been desired.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】カラーフィルタ基板の中
に設けられた複数個の表示装置用パターンエリアの、少
なくとも1ヶ所以上にマーキングを設ける製造方法を用
いる。このようにすると、カラーフィルタ基板の不良パ
ターンエリアが容易に認識できるようになり、後工程へ
の流出を防止できる。A manufacturing method is used in which markings are provided at least at one or more positions in a plurality of display device pattern areas provided in a color filter substrate. By doing so, the defective pattern area of the color filter substrate can be easily recognized, and the outflow to the subsequent process can be prevented.
【0008】またマーキングは、インクジェット法、レ
ーザー装置を用いた方法あるいはスタンピングなどによ
って形成が可能である。The marking can be formed by an ink jet method, a method using a laser device, stamping, or the like.
【0009】このマーキングは、カラーフィルタ基板の
製造工程のうち着色層形成後、透明樹脂層形成後、透明
電極形成後、透明電極のパターニング後、あるいは、透
明電極のパターニング後に行うパターン検査と同時等、
のタイミングで行うことが可能である。This marking is performed at the same time as a pattern inspection which is performed in the manufacturing process of the color filter substrate after the formation of the colored layer, the formation of the transparent resin layer, the formation of the transparent electrode, the patterning of the transparent electrode, or the patterning of the transparent electrode. ,
Can be performed at the timing of.
【0010】すなわち、本発明のカラー液晶表示装置の
製造方法は、基板上に複数のカラーフィルタパターンを
含む表示素子用パターンを形成する第一工程と、基板と
対向基板を対向させて接合することにより、複数のカラ
ー液晶表示素子を一対の基板により形成する第二工程
と、複数のカラー液晶表示素子を、個々のカラー液晶表
示素子に分離する第三工程と、を備え、第一工程におい
て、不良のカラーフィルタパターンを有する表示素子用
パターンエリアに、任意の形状および任意の大きさでマ
ーキングを形成する工程を設けた。That is, according to the method of manufacturing a color liquid crystal display device of the present invention, the first step of forming a display element pattern including a plurality of color filter patterns on a substrate and the substrate and the counter substrate are joined to face each other. Thus, a second step of forming a plurality of color liquid crystal display elements by a pair of substrates, and a third step of separating the plurality of color liquid crystal display elements into individual color liquid crystal display elements, the first step, A step of forming a marking with an arbitrary shape and an arbitrary size was provided in the display element pattern area having a defective color filter pattern.
【0011】さらに、何らかの欠陥を有する表示素子用
パターンのエリアにマーキングを設けることとした。こ
のマーキングを、インクジェット、レーザー、スタンピ
ングによって形成することとした。Further, the marking is provided in the area of the display element pattern having some defect. This marking was formed by inkjet, laser, and stamping.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の製造方法につい
て説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The manufacturing method of the present invention will be described below.
【0013】本発明におけるカラー液晶表示装置の製造
方法は、上述のように表示装置用パターンエリアの少な
くとも1ヶ所にマーキングを設ける工程を備えている。The method for manufacturing a color liquid crystal display device according to the present invention includes the step of providing a marking on at least one position of the display device pattern area as described above.
【0014】このマーキングはインクジェット印刷によ
ってカラーフィルタ基板表面の任意の場所に設けること
ができる。この方法では記録ヘッドから吐出されたイン
ク液によってマーキングが設けられるため、カラーフィ
ルタ基板表面に触れることなく実施が可能である。した
がって、不良パターンエリアの周囲にある良品パターン
エリアに触れることによって新たな不良を発生させる心
配がない。This marking can be provided at any place on the surface of the color filter substrate by ink jet printing. In this method, since the marking is provided by the ink liquid ejected from the recording head, the marking can be performed without touching the surface of the color filter substrate. Therefore, there is no concern that a new defect will be generated by touching the non-defective pattern area around the defective pattern area.
【0015】また、マーキングの形状や大きさにも制約
が無い。したがって、最も見易い大きさと形状を選択す
れば良い。Also, there is no restriction on the shape or size of the marking. Therefore, it is only necessary to select the size and shape that are most visible.
【0016】好ましくは、全ての表示装置用パターンエ
リアの特定位置にマーキングを設けるように決めておく
のが良い。このようにすると、不良パターンエリアの認
識が容易になる。It is preferable that the marking is provided at a specific position of all the display device pattern areas. This makes it easy to recognize the defective pattern area.
【0017】好ましくは、インクは速乾性のものを用い
るのが良い。あるいは紫外線照射により素早く固化させ
る方法やエアーを吹きかけて乾燥させる方法を用いるの
が良い。このようにすると、洗浄などの後工程に素早く
移行することができるとともに、インクが流れてカラー
フィルタ基板を汚染することもない。It is preferable to use a quick-drying ink. Alternatively, it is preferable to use a method of rapidly solidifying by irradiation of ultraviolet rays or a method of drying by blowing air. By doing so, it is possible to quickly shift to a subsequent process such as cleaning, and ink does not flow to contaminate the color filter substrate.
【0018】カラーフィルタ基板のパターンエリアにマ
ーキングを設ける方法として、インクジェット印刷以外
にも種々の方法がある。それらについて以下に述べるこ
ととする。There are various methods other than ink jet printing as methods for providing markings on the pattern area of the color filter substrate. These will be described below.
【0019】マーキングは、パターンエリアにレーザー
照射することによっても形成が可能である。この方法も
直接カラーフィルタ基板表面に触れることが無いので、
表面に触ることによって新たな不良を発生させる心配は
ない。また、インクジェット印刷と同様、マーキングを
設けるタイミングおよびマーキングの形状に制約が無
い。The marking can also be formed by irradiating the pattern area with a laser. Since this method also does not touch the surface of the color filter substrate directly,
There is no concern that new defects will be generated by touching the surface. Further, similarly to the inkjet printing, there is no restriction on the timing of providing the marking and the shape of the marking.
【0020】表示装置用パターンエリアの特定位置にマ
ーキングを設けるように決めておくことが好ましい。こ
のようにすると、不良面の認識がより一層容易になる。
さらに、マーキングを設ける際に発生するカラーフィル
タ基板構成材料の飛散物が隣接するパターンエリアに影
響しないような場所を選択することが好ましい。すなわ
ち、隣接するパターンエリアから離れている場所、例え
ばパターンエリアの中心部にマーキングを設けるのが良
い。It is preferable that the marking is provided at a specific position of the display device pattern area. This makes it easier to recognize the defective surface.
Further, it is preferable to select a place where scattered matter of the color filter substrate constituent material generated when the marking is provided does not affect the adjacent pattern area. That is, it is preferable to provide the marking at a place distant from the adjacent pattern area, for example, at the center of the pattern area.
【0021】また、飛散物によってカラーフィルタ基板
表面が汚染されるのを防止するために、レーザー照射部
のごく近傍に排気装置を取り付けると良い。Further, in order to prevent the surface of the color filter substrate from being contaminated by scattered substances, it is advisable to install an exhaust device in the immediate vicinity of the laser irradiation portion.
【0022】マーキングの深さはガラス基板を傷つけな
い程度とするのが好ましい。すなわち、深くともカラー
フィルタ基板のブラックマトリックス部あるいは着色層
部、その下に金属膜が存在する場合には該金属膜部分ま
でを削り取るだけの出力に調整しておくのが良い。この
ようにするとガラス基板にひびが入ったり、ガラス基板
が割れたりするのを防止できる。The marking depth is preferably such that the glass substrate is not damaged. That is, it is advisable to adjust the output so that the black matrix portion or the colored layer portion of the color filter substrate and the metal film thereunder, even if the metal film portion is deep, are scraped off. In this way, it is possible to prevent the glass substrate from cracking and the glass substrate from breaking.
【0023】マーキングは、パターンエリアにスタンプ
することによっても形成が可能である。この場合も好ま
しくは、速乾性のインクを用いるのが良い。この方法に
おいてもマーキングを設けるタイミングやマーキングの
形状に制約が無い。The marking can also be formed by stamping on the pattern area. Also in this case, it is preferable to use a quick-drying ink. Also in this method, there is no restriction on the timing of providing the marking or the shape of the marking.
【0024】上記の方法と同様に全ての表示装置用パタ
ーンエリアの特定位置にマーキングを設けるように決め
ておくことが好ましい。このようにすると、より一層不
良面の認識が容易になる。Similar to the above method, it is preferable to determine that the marking is provided at a specific position in all the display device pattern areas. This makes it easier to recognize the defective surface.
【0025】なお、マーキングは後で確認することが可
能であれば如何なる形態でも良いので、上記方法に限定
されるものではない。さらに、マーキングを設けるタイ
ミングとして上にいくつか述べたが、マーキングは、対
象となるパターンエリアが決定されれば如何なる工程に
於いても形成が可能であるため、上記のタイミングに限
定されるものではない。The marking is not limited to the above method, as it may take any form as long as it can be confirmed later. Furthermore, although some of the timings for providing the markings have been described above, the markings can be formed in any process as long as the target pattern area is determined, and thus the markings are not limited to the above timings. Absent.
【0026】[0026]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。なお、各図は本発明が理解できる程度に、
各構成成分の形状、大きさおよび配置関係を概略的に示
してあるに過ぎず、そのため本発明を図示例に限定する
ものではない。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, each figure is to the extent that the present invention can be understood,
The shapes, sizes, and arrangement relationships of the respective constituents are only schematically shown, and the present invention is not limited to the illustrated examples.
【0027】以下に、本発明による実施例の各種マーキ
ング方法について説明する。Various marking methods according to the embodiments of the present invention will be described below.
【0028】(実施例1)図3に、インクジェット印刷
による方法を実施するためのマーキング装置11の概要
を示す。本装置は、カラーフィルタ基板12に向かって
インクを吐出する記録ヘッド13と、この記録ヘッド1
3とカラーフィルタ基板12を相対移動させてマーキン
グを可能とする搬送機構とを主な構成としている。(Embodiment 1) FIG. 3 shows an outline of a marking device 11 for carrying out a method by ink jet printing. This apparatus includes a recording head 13 that ejects ink toward a color filter substrate 12, and the recording head 1.
3 and a transport mechanism that enables marking by moving the color filter substrate 12 relative to each other.
【0029】図3を参照して本マーキング装置11の内
部構成を説明する。タイミングベルト14を介してキャ
リッジ15がパルスモータ16と接続されており、装置
内で往復運動できるようになっている。また、カラーフ
ィルタ基板12を搬送する駆動テーブル17はモータ1
8の回転駆動力を利用し、キャリッジ15移動方向と直
角方向に移動が可能になっている。搬送機構については
記録ヘッド13を固定しておき、駆動テーブル17を平
面上の任意の位置に移動できるようにしても良い。The internal structure of the marking device 11 will be described with reference to FIG. The carriage 15 is connected to the pulse motor 16 via the timing belt 14 so that the carriage 15 can reciprocate in the apparatus. Further, the drive table 17 that conveys the color filter substrate 12 is the motor 1
By utilizing the rotational driving force of 8, the carriage 15 can move in a direction perpendicular to the moving direction. With respect to the transport mechanism, the recording head 13 may be fixed and the drive table 17 may be movable to any position on the plane.
【0030】キャリッジ15のカラーフィルタ基板12
と対向する面には記録ヘッド13が取り付けられてお
り、ここからインクを吐出することによりカラーフィル
タ基板12にマーキングを設けていく。Color filter substrate 12 of carriage 15
A recording head 13 is attached to the surface opposite to, and ink is ejected from the recording head 13 to provide markings on the color filter substrate 12.
【0031】なお、用いるインクは例えば、水、アルコ
ール、トルエン、メチルエチルケトン等の溶媒に、紫外
線硬化樹脂、染料や顔料、エチレングリコール等の界面
活性剤等を溶解あるいは分散させることにより調製され
る。The ink to be used is prepared, for example, by dissolving or dispersing an ultraviolet curable resin, a dye or pigment, a surfactant such as ethylene glycol or the like in a solvent such as water, alcohol, toluene or methyl ethyl ketone.
【0032】記録ヘッド13の概要を図4に示す。記録
ヘッド13には複数のノズル19が設けられており、各
ノズル19の開口は全て圧力発生室20に繋がってい
る。この圧力発生室20に圧力を発生させ、この圧力発
生室20の一壁面となっている弾性変形可能な振動板2
1を変形させることにより圧力発生室20を収縮させ
て、ノズル19の開口からインクを吐出させる。振動板
21を変形させるためにピエゾ素子等の圧電振動子PZ
Tが備えられている。The outline of the recording head 13 is shown in FIG. The recording head 13 is provided with a plurality of nozzles 19, and the openings of the nozzles 19 are all connected to the pressure generating chamber 20. An elastically deformable diaphragm 2 which is a wall surface of the pressure generating chamber 20 is generated by generating pressure in the pressure generating chamber 20.
The pressure generating chamber 20 is contracted by deforming 1 and ink is ejected from the opening of the nozzle 19. A piezoelectric vibrator PZ such as a piezo element for deforming the vibration plate 21.
T is provided.
【0033】圧電振動子PZTが収縮して振動板21が
上方に変形し圧力発生室20が膨張すると、インクタン
ク22から圧力発生室20へインクが流れ込む。その
後、圧電振動子PZTが伸張して振動板21が元に戻り
圧力発生室20中のインクが圧縮されると、ノズル19
の開口からインクが吐出する。この時、どのノズル19
を使用するかによってマーキングの形状を変化させるこ
とが可能である。When the piezoelectric vibrator PZT contracts, the vibrating plate 21 deforms upward, and the pressure generating chamber 20 expands, ink flows from the ink tank 22 into the pressure generating chamber 20. After that, when the piezoelectric vibrator PZT expands and the vibrating plate 21 returns to its original state and the ink in the pressure generating chamber 20 is compressed, the nozzle 19
Ink is ejected from the opening. At this time, which nozzle 19
It is possible to change the shape of the marking depending on whether or not to use.
【0034】図5を参照して、本マーキング装置11の
制御系および駆動系について説明する。まず制御系51
にカラーフィルタ基板12上のマーキングを行いたい場
所の位置座標を入力する。制御系51はこの入力信号を
受けて、駆動電圧発生回路52および記録ヘッド選択回
路53から成る記録ヘッド駆動回路54とともに、駆動
テーブル制御回路55やキャリッジ駆動回路56等も制
御し、マーキング作業を実施する。The control system and drive system of the marking device 11 will be described with reference to FIG. First, the control system 51
Input the position coordinates of the place on the color filter substrate 12 where marking is desired. Upon receipt of this input signal, the control system 51 controls the drive table control circuit 55, the carriage drive circuit 56, and the like together with the print head drive circuit 54 including the drive voltage generation circuit 52 and the print head selection circuit 53 to carry out the marking work. To do.
【0035】駆動電圧発生回路52はノズル19の開口
からインクを吐出させるのに必要な電圧を発生させるよ
うに構成されている。記録ヘッド選択回路53は、各ノ
ズル19に構成されたトランジスタTを制御し、複数の
圧電振動子PZTのうちマーキング形状に対応する圧電
振動子に駆動電圧発生回路52の駆動電圧を選択的に印
加するようになっている。駆動テーブル制御回路55は
モータ等を制御して駆動テーブルを移送する。また、キ
ャリッジ駆動回路56はキャリッジを駆動するパルスモ
ータ等の駆動手段58を制御する。The drive voltage generating circuit 52 is configured to generate a voltage necessary for ejecting ink from the opening of the nozzle 19. The recording head selection circuit 53 controls the transistor T formed in each nozzle 19 to selectively apply the drive voltage of the drive voltage generation circuit 52 to the piezoelectric vibrator corresponding to the marking shape among the plurality of piezoelectric vibrators PZT. It is supposed to do. The drive table control circuit 55 controls a motor or the like to transfer the drive table. Further, the carriage drive circuit 56 controls a drive means 58 such as a pulse motor for driving the carriage.
【0036】(実施例2)レーザーマーキングによる方
法を実施するためのマーキング装置の概要を図6に示
す。このマーキング装置23の主な構成は、カラーフィ
ルタ基板12に向かってレーザーを照射するレーザーヘ
ッド24と、このレーザーヘッド24とカラーフィルタ
基板12を相対移動させてマーキングを可能とする搬送
機構から成る。駆動系統については前述のインクジェッ
ト印刷の装置と同様の構造で良い。以下ではレーザーヘ
ッド24を固定して、駆動テーブル17を移動する方法
を説明する。使用できるレーザーの種類は、ブラックマ
トリックス、着色層、透明樹脂あるいは金属膜が除去で
きるものであり、CO2 レーザー、YAGレーザー、X
eレーザー、希ガスレーザーやエキシマーレーザー等が
適している。なお、マーキングの形状は円形をはじめ楕
円形、三角形や四角形などの各種多角形、文字や数字な
ど任意の形状とすることができ、大きさについても制約
は無い。(Embodiment 2) FIG. 6 shows an outline of a marking device for carrying out the method by laser marking. The main configuration of the marking device 23 includes a laser head 24 that irradiates the color filter substrate 12 with a laser, and a transport mechanism that relatively moves the laser head 24 and the color filter substrate 12 to enable marking. The drive system may have the same structure as that of the inkjet printing apparatus described above. Hereinafter, a method of fixing the laser head 24 and moving the drive table 17 will be described. The types of lasers that can be used are those that can remove the black matrix, colored layer, transparent resin or metal film, such as CO 2 laser, YAG laser, X
An e-laser, a rare gas laser, an excimer laser, etc. are suitable. The shape of the marking can be any shape such as a circle, an ellipse, various polygons such as a triangle and a quadrangle, and letters and numbers, and there is no restriction on the size.
【0037】本マーキング装置23の制御系および駆動
系について説明する。まず、制御系にマーキングを設け
たいカラーフィルタ基板12上の位置座標についての情
報を入力する。この情報を受けて駆動テーブル17が、
レーザー照射部にマーキングを設けたい部分がくるよう
にカラーフィルタ基板12を移動させ、レーザー照射に
よりマーキングを設ける。The control system and drive system of the marking device 23 will be described. First, information about the position coordinates on the color filter substrate 12 where marking is to be provided in the control system is input. Upon receiving this information, the drive table 17
The color filter substrate 12 is moved so that the portion where the marking is to be provided comes to the laser irradiation portion, and the marking is provided by the laser irradiation.
【0038】また、レーザー照射により発生するカラー
フィルタ基板構成材料の飛散物がカラーフィルタ基板1
2を汚染するのを防止するために、レーザー照射部のご
く近傍に排気装置25を取り付けるのが良い。レーザー
ヘッド24を移動させる駆動方法の場合には排気装置2
5をレーザーヘッド24と一体化することにより、常に
レーザー照射部のごく近傍に排気機能を配置できること
となるので、カラーフィルタ基板12の汚染を常に防止
できる。Also, scattered matter of the color filter substrate constituent material generated by laser irradiation is the color filter substrate 1.
In order to prevent the pollutant 2 from being contaminated, it is preferable to mount the exhaust device 25 in the vicinity of the laser irradiation portion. In the case of the driving method of moving the laser head 24, the exhaust device 2
By integrating 5 with the laser head 24, it is possible to always arrange the exhaust function in the immediate vicinity of the laser irradiation portion, so that the color filter substrate 12 can be always prevented from being contaminated.
【0039】また、種々の工程でマーキングを設けたカ
ラー液晶表示装置の構成例を図1に示す。図1(A)は
着色層(4R、4G、4B)形成後、図1(B)は透明
樹脂層6形成後、図1(C)、図1(D)および図1
(E)は透明電極7形成後あるいは、その後のパターン
検査時に、マーキングを行った場合のカラー液晶表示装
置の断面構成を模式的に示している。図1(C)と図1
(D)のようにレーザーの出力を調整することによっ
て、マーキングの深さをコントロールすることができ
る。いずれの場合においても、カラー液晶表示装置用パ
ターンエリア10が形成されているガラス基板26を傷
つけない程度のレーザー出力に調整しておくことが望ま
しい。ガラス基板26を傷つけると後工程において破損
し、周囲の良品にまで悪影響を及ぼす危険がある。FIG. 1 shows a structural example of a color liquid crystal display device provided with markings in various steps. FIG. 1 (A) is after forming the colored layers (4R, 4G, 4B), FIG. 1 (B) is after forming the transparent resin layer 6, and FIG. 1 (C), FIG. 1 (D) and FIG.
(E) schematically shows a cross-sectional structure of the color liquid crystal display device when marking is performed after the transparent electrode 7 is formed or at the time of pattern inspection thereafter. FIG. 1 (C) and FIG.
The marking depth can be controlled by adjusting the laser output as in (D). In any case, it is desirable to adjust the laser output so that the glass substrate 26 on which the color liquid crystal display device pattern area 10 is formed is not damaged. If the glass substrate 26 is scratched, it may be damaged in a later process, which may adversely affect the surrounding good products.
【0040】複数個のパターンエリアが設けられたカラ
ーフィルタ基板12のいくつかのパターンエリアにマー
キングMがなされた状態を図1(G)に模式的に示す。
このようなカラーフィルタ基板を用いてカラー表示装置
を形成し、その後、分離して形成された個々のカラー表
示装置の外観を図1(F)に示す。図示するように、不
良のカラー表示装置にマーキングMが設けられている。
このように、カラーフィルタ基板12からカラー液晶表
示装置に至るまで、継続的な不良面の認識が可能であ
る。FIG. 1G schematically shows a state in which the markings M are made on some pattern areas of the color filter substrate 12 provided with a plurality of pattern areas.
A color display device is formed by using such a color filter substrate, and then an external view of each color display device which is separately formed is shown in FIG. As shown in the drawing, the marking M is provided on the defective color display device.
In this way, it is possible to continuously recognize defective surfaces from the color filter substrate 12 to the color liquid crystal display device.
【0041】(実施例3)本実施例では、カラーフィル
タ基板にスタンピングによるマーキングを行うスタンプ
装置の構成を説明する。このスタンピング機構カラーフ
ィルタ基板を相対移動させてマーキングを可能とする搬
送機構を備えている。マーキングをスタンピングによっ
て設けること以外は上述のインクジェット印刷によるマ
ーキング方法と何ら変わらないので、装置の構成は上記
インクジェット印刷のものと同様で良い。マーキングの
形状は、スタンプ部を変更することで任意の形状および
大きさとすることができる。好ましくは、本方法におい
てもインクジェット法の場合と同様に、インクは速乾性
のものを用いるのが良い。あるいは紫外線照射により素
早く固化させる、またはエアーを吹きかけ乾燥させる等
の方法を用いるのが良い。このようにすると、洗浄など
の後工程に素早く移行することができるとともに、イン
クが流れることによってカラーフィルタ基板を汚染する
こともない。また、本方法は直接カラーフィルタ基板に
スタンプが触れるので、周囲の良品パターンエリアに悪
影響が及ばない様に、マーキングを設ける場所やマーキ
ングの大きさを調整しておくことが望ましい。(Embodiment 3) In this embodiment, the construction of a stamping device for marking a color filter substrate by stamping will be described. This stamping mechanism is provided with a transport mechanism that enables marking by moving the color filter substrate relatively. Since the marking method is the same as the marking method by inkjet printing except that the marking is provided by stamping, the device configuration may be the same as that of the inkjet printing. The marking can have any shape and size by changing the stamp portion. Preferably, in this method as well, as in the case of the inkjet method, it is good to use a quick-drying ink. Alternatively, it is preferable to use a method of rapidly solidifying by irradiating with ultraviolet rays, or blowing air to dry. By doing so, it is possible to quickly shift to a subsequent process such as cleaning, and the color filter substrate is not contaminated by the flowing of the ink. Further, in this method, since the stamp directly contacts the color filter substrate, it is desirable to adjust the place where the marking is provided and the size of the marking so that the surrounding good product pattern area is not adversely affected.
【0042】上述したマーキング方法を用いてカラーフ
ィルタ基板を製造する方法に関して以下に説明する。カ
ラーフィルタ基板の製造方法の一例を図2に示す。ここ
では赤(R)、緑(G)および青(B)の3色を含むカ
ラーフィルタ基板の製造方法について述べる。図2
(A)に示すように、ガラス基板1上に、スパッタ法な
どにより、金属膜2を1000〜1500Å程度の厚さ
で形成する。続いて、フォトリソグラフ法によって、ブ
ラックマトリックス3を形成する。まずガラス基板1上
に後工程でブラックマトリックス3となる金属クローム
(Cr)を、スパッタ法によって膜厚が0.1〜0.1
5μm程度になるように形成する。なお、ブラックマト
リックス3の材料として、他にも酸化クローム(CrO
x)や樹脂などを用いることもできる。そして、露光・
現像工程を経て、図2(B)に示すように、島状のブラ
ックマトリックス3を形成する。A method of manufacturing a color filter substrate using the above-described marking method will be described below. An example of a method of manufacturing a color filter substrate is shown in FIG. Here, a method for manufacturing a color filter substrate containing three colors of red (R), green (G) and blue (B) will be described. Figure 2
As shown in (A), the metal film 2 is formed on the glass substrate 1 by a sputtering method or the like to a thickness of about 1000 to 1500 Å. Then, the black matrix 3 is formed by the photolithography method. First, metal chrome (Cr), which will become the black matrix 3 in a later step, is formed on the glass substrate 1 by sputtering to a film thickness of 0.1 to 0.1.
It is formed to have a thickness of about 5 μm. Other materials for the black matrix 3 include chromium oxide (CrO).
x) or resin can also be used. And exposure
After the developing process, an island-shaped black matrix 3 is formed as shown in FIG.
【0043】次に、図2(C)に示すように、このブラ
ックマトリックス3の隙間を埋めるように、感光性の赤
色着色材料4R、緑色着色材料4G、または、青色着色
材料4Bのうち任意の1色(ここでは赤色着色材料4
G)を、膜厚1〜2μm程度の範囲内で塗布する。次
に、図2(D)に示すように、好適なフォトマスク5を
使用して露光を行い、続いて現像工程を行う。これによ
り図2(E)に示すように着色層4Rを形成する。Next, as shown in FIG. 2C, any of the photosensitive red coloring material 4R, the green coloring material 4G, or the blue coloring material 4B is filled so as to fill the gap of the black matrix 3. 1 color (here red coloring material 4
G) is applied within a range of a film thickness of about 1 to 2 μm. Next, as shown in FIG. 2D, exposure is performed using a suitable photomask 5, and then a developing process is performed. As a result, the colored layer 4R is formed as shown in FIG.
【0044】そして、さらに図2(C)〜(E)の工程
を他の2色の材料(ここでは緑色着色材料4Gおよび青
色着色材料4B)についても繰り返し行い、3色の着色
材料で着色層を形成する。これにより、図2(F)に示
すように、第一構造体8が得られる。Then, the steps of FIGS. 2C to 2E are repeated for the other two color materials (here, the green coloring material 4G and the blue coloring material 4B), and the coloring layer is formed with the three coloring materials. To form. As a result, the first structure 8 is obtained as shown in FIG.
【0045】次に、上述したマーキング方法により不良
パターンエリアを特定するマーキングを形成する。続い
て、図2(G)に示すように、この着色層全面に平滑化
と耐性のための平坦化膜、いわゆるトップコート膜6
(オーバーコート膜と呼ばれる場合もある)を形成す
る。このトップコート膜6として、例えば感光性硬化樹
脂膜を2μm程の膜厚で形成し第二構造体9を得る。Next, the marking for specifying the defective pattern area is formed by the above-described marking method. Subsequently, as shown in FIG. 2G, a flattening film for smoothing and resistance, that is, a so-called top coat film 6 is formed on the entire surface of the colored layer.
(Sometimes called an overcoat film) is formed. As the top coat film 6, for example, a photosensitive cured resin film is formed with a film thickness of about 2 μm to obtain the second structure 9.
【0046】さらに、図2(H)に示すように、トップ
コート膜6上に透明電極7を形成する。この透明電極7
の材料として、酸化スズが不純物として混合された酸化
インジウム膜(Indium Tin Oxide膜:ITO膜)を0.
1〜0.15μm程度の膜厚でスパッタ法などにより形
成しカラー液晶表示装置用パターンエリア10を得る。Further, as shown in FIG. 2H, a transparent electrode 7 is formed on the top coat film 6. This transparent electrode 7
Indium oxide film (Indium Tin Oxide film: ITO film) mixed with tin oxide as an impurity is used as the
A pattern area 10 for a color liquid crystal display device is obtained by forming the film with a film thickness of about 1 to 0.15 μm by sputtering or the like.
【0047】ここでは、図2(F)に示した第一構造体
8にマーキングを行うこととして説明したが、図2
(G)に示したトップコート層が形成された第二構造体
9や、図2(H)に示したカラー液晶表示装置用パター
ンエリア10に対してマーキングを行っても良い。Here, the description has been made assuming that the first structure 8 shown in FIG. 2F is marked.
Marking may be performed on the second structure 9 having the topcoat layer shown in (G) or the pattern area 10 for the color liquid crystal display device shown in FIG. 2 (H).
【0048】このようにして形成されたカラーフィルタ
基板を用いてカラー液晶表示装置を製造する方法の概要
を示すフローチャートを図7に示す。まず、図2(H)
で設けた透明電極7すなわちITO膜をパターニングす
る工程がある。図2で説明したカラーフィルタ基板の製
造工程内で前述のマーキングが行われていない場合に
は、このパターニング工程後に行われる透明電極のパタ
ーン検査と同時にカラーフィルタの検査を行ってマーキ
ングを設ける。このようにマーキングすると、検査と同
時に行われるので生産性が低下することも無い。FIG. 7 is a flow chart showing an outline of a method of manufacturing a color liquid crystal display device using the color filter substrate thus formed. First, FIG. 2 (H)
There is a step of patterning the transparent electrode 7 provided in step 2, that is, the ITO film. If the marking is not performed in the manufacturing process of the color filter substrate described with reference to FIG. 2, the color filter is inspected simultaneously with the pattern inspection of the transparent electrode performed after the patterning process to provide the marking. When marking is performed in this manner, productivity is not reduced because the inspection is performed at the same time.
【0049】パターン検査後、配向膜の形成、シール剤
印刷、組立て・圧着および一次スクライブ・分離を行う
ことにより、重ね合わされた基板を短冊状にする。その
後、液晶注入、二次スクライブ・分離(個々のカラー液
晶表示装置用パターンを分離する)、検査を行い、不良
品の除去を行った後、回路部品等を取り付ける回路部品
実装工程を経てカラー液晶表示装置が製造される。After the pattern inspection, an alignment film is formed, a sealant is printed, assembling / pressing and primary scribing / separating are performed to make the stacked substrates into a strip shape. After that, liquid crystal injection, secondary scribing / separation (separating individual color liquid crystal display device patterns), inspection, and removal of defective products are performed. A display device is manufactured.
【0050】検査工程では以下のような検査が行われ
る。In the inspection process, the following inspection is performed.
【0051】(1)外観検査を行う。(1) A visual inspection is performed.
【0052】(2)導電ゴム等を用いて透明電極の全ラ
インに電圧を印加し、表示エリアを全面点灯させた上
で、コントラスト等の表示特性を検査する。(2) A conductive rubber or the like is used to apply a voltage to all the lines of the transparent electrode to illuminate the entire display area, and then display characteristics such as contrast are inspected.
【0053】(3)偏光板を貼り、より製品に近い形で
の検査を行う。(3) A polarizing plate is attached, and an inspection in a form closer to the product is performed.
【0054】従来は上述の各種検査を通して不良パター
ンエリアを選別・除去していたが、本発明のマーキング
を設けたカラーフィルタ基板を用いることにより、
(1)の外観検査の時点で全ての不良パターンエリアを
除去可能である。Conventionally, the defective pattern area was selected and removed through the various inspections described above, but by using the color filter substrate provided with the marking of the present invention,
At the time of the appearance inspection of (1), all the defective pattern areas can be removed.
【0055】さらに早い段階、すなわち検査が行われる
前の二次スクライブ・分離が終了した時点においても不
良品の除去が可能である。It is possible to remove defective products at an earlier stage, that is, at the time when the secondary scribing / separation before the inspection is completed.
【0056】以上、マーキングを設けるタイミングとし
て種々の工程を挙げたが、マーキングを設けたいカラー
液晶表示装置用パターンエリア10が決定されれば、ど
の工程においても実施できるため、上述したタイミング
に限定されない。Although various steps have been described as the timing for providing the markings, the steps are not limited to the above-mentioned timings since they can be performed in any step if the pattern area 10 for the color liquid crystal display device to be provided with the markings is determined. .
【0057】[0057]
【発明の効果】以上述べてきたように、不良を有するカ
ラー液晶表示装置用パターンエリア10にマーキングを
設けてカラー液晶表示装置の製造を行うことによって、
容易に不良パターンエリアを識別することが可能になっ
た。As described above, by providing markings in the defective color liquid crystal display device pattern area 10 to manufacture the color liquid crystal display device,
It has become possible to easily identify the defective pattern area.
【0058】これにより、不良パターンエリアを用いた
カラー液晶表示パネルが偏光板貼りや回路部品実装等の
後工程へ流出するのを防止できるようになり、それに伴
って生産性の向上および損失コストの低減を実現でき
た。As a result, it is possible to prevent the color liquid crystal display panel using the defective pattern area from flowing out to the subsequent steps such as the polarization plate attachment and the circuit component mounting, and accordingly, the productivity is improved and the loss cost is reduced. Reduction was realized.
【図1】マーキングされたカラー液晶表示素子の例を説
明する模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of a marked color liquid crystal display element.
【図2】カラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す模
式図である。FIG. 2 is a schematic view showing an example of a method for manufacturing a color filter substrate.
【図3】インクジェット印刷マーキング装置の概要を表
わす外観図である。FIG. 3 is an external view showing an outline of an inkjet printing marking device.
【図4】記録ヘッド部の内部構造を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing an internal structure of a recording head unit.
【図5】インクジェット印刷マーキング装置の概略構成
を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a schematic configuration of an inkjet printing marking device.
【図6】レーザーマーキング装置の概要を表わす外観図
である。FIG. 6 is an external view showing an outline of a laser marking device.
【図7】液晶表示装置の製造方法の概要を示すフロー図
である。FIG. 7 is a flowchart showing an outline of a method of manufacturing a liquid crystal display device.
【図8】従来のカラー液晶表示装置の概略構成を示す断
面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a conventional color liquid crystal display device.
1 ガラス基板 2 金属膜 3 ブラックマトリックス 4R、4G、4B 感光性着色材料 5 フォトマスク 6 トップコート膜 7 透明電極 8 第一構造体 9 第二構造体 10 カラー液晶表示装置用パターンエリア 11 インクジェット印刷機 12 カラーフィルタ基板 1 glass substrate 2 metal film 3 Black Matrix 4R, 4G, 4B Photosensitive coloring material 5 photo mask 6 Top coat film 7 Transparent electrode 8 First structure 9 Second structure 10 Color liquid crystal display pattern area 11 Inkjet printing machine 12 Color filter substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H048 BA02 BA11 BA45 BB02 BB42 2H088 FA14 FA18 HA12 HA14 MA20 2H091 FA02Y FA34Y FC01 FC30 LA12 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F-term (reference) 2H048 BA02 BA11 BA45 BB02 BB42 2H088 FA14 FA18 HA12 HA14 MA20 2H091 FA02Y FA34Y FC01 FC30 LA12
Claims (6)
を含む表示素子用パターンを形成する第一工程と、 前記基板と対向基板を対向させて接合することにより、
複数のカラー液晶表示素子を一対の基板により形成する
第二工程と、 前記複数のカラー液晶表示素子を、個々のカラー液晶表
示素子に分離する第三工程と、を備え、 前記第一工程において、不良のカラーフィルタパターン
を有する表示素子用パターンエリアに、任意の形状およ
び任意の大きさでマーキングを形成する工程を設けたこ
とを特徴とするカラー液晶表示装置の製造方法。1. A first step of forming a display element pattern including a plurality of color filter patterns on a substrate, and the substrate and a counter substrate facing each other and bonded to each other,
A second step of forming a plurality of color liquid crystal display elements by a pair of substrates, and a third step of separating the plurality of color liquid crystal display elements into individual color liquid crystal display elements, the first step, A method for manufacturing a color liquid crystal display device, comprising the step of forming a marking in an arbitrary shape and an arbitrary size in a display element pattern area having a defective color filter pattern.
る前記表示素子用パターンのエリアに設けられることを
特徴とする請求項1に記載のカラー液晶表示装置の製造
方法。2. The method for manufacturing a color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the marking is provided in an area of the display element pattern having some defect.
より形成されることを特徴とする請求項1または2に記
載のカラー液晶表示装置の製造方法。3. The method for manufacturing a color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the marking is formed by an inkjet method.
成されることを特徴とする請求項1または2に記載のカ
ラー液晶表示装置の製造方法。4. The method of manufacturing a color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the marking is formed by using a laser.
て形成されることを特徴とする請求項1または2に記載
のカラー液晶表示装置の製造方法。5. The method of manufacturing a color liquid crystal display device according to claim 1, wherein the marking is formed by stamping.
タパターンを形成する工程と、前記カラーフィルタパタ
ーン上に透明樹脂層を形成する工程と、前記透明樹脂層
上に透明電極をパターニング形成する工程と、透明電極
パターンのパターニング検査をする工程と、を備え、 前記透明電極のパターンニング検査と同時に、前記マー
キングが形成されることを特徴とする請求項1〜5のい
ずれか一項に記載のカラー液晶表示装置の製造方法。6. The first step comprises: forming a color filter pattern on a substrate; forming a transparent resin layer on the color filter pattern; and patterning a transparent electrode on the transparent resin layer. 6. The method according to claim 1, further comprising a step and a step of performing a patterning inspection of the transparent electrode pattern, wherein the marking is formed at the same time as the patterning inspection of the transparent electrode. Of manufacturing a color liquid crystal display device of.
Priority Applications (1)
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JP2002156883A JP2003344819A (en) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | Method for manufacturing color liquid crystal display device |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008062121A (en) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Shibaura Mechatronics Corp | Solution applicator |
-
2002
- 2002-05-30 JP JP2002156883A patent/JP2003344819A/en active Pending
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