JP2003217834A - 自己発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】長期にわたって安定した表示性能を維持するこ
とが可能であるとともに、薄型化が可能な構造であっ
て、製造歩留まりが高い低コストな表示装置及びその表
示装置の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】アレイ基板１００は、マトリクス状に配置
された画素毎に独立島状に形成された第１電極６０と、
第１電極６０に対向して配置され全画素に共通に形成さ
れた第２電極６６と、第１電極６０と第２電極６６との
間に保持された発光層６４と、によって構成された有機
ＥＬ素子４０を備えている。封止基板２００は、アレイ
基板１００に対向して配置され、アレイ基板１００との
間に形成される密閉空間内に有機ＥＬ素子４０を収納す
る。有機ＥＬ素子４０の表面には、密閉空間内を除湿す
るアルカリ金属またはアルカリ土類金属の酸化膜によっ
て形成された乾燥剤７０が配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、表示装置及びそ
の製造方法に係り、特に、画素毎にスイッチング素子が
設けられたアクティブマトリクス型自己発光表示装置及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、平面表示装置として、有機エレク
トロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置が注目されてい
る。この有機ＥＬ表示装置は、自発光性素子であること
から、視野角が広く、バックライトを必要とせず薄型化
が可能であり、消費電力が抑えられ、且つ応答速度が速
いといった特徴を有している。

【０００３】これらの特徴から、有機ＥＬ表示装置は、
液晶表示装置に代わる、次世代平面表示装置の有力候補
として注目を集めている。しかしながら、有機ＥＬ表示
装置の寿命τは、液晶表示装置と比較すると、現状は一
万時間程度で輝度が半減してしまい、まだ不満足なレベ
ルにある。

【０００４】この有機ＥＬ表示装置は、アレイ基板にア
ノード電極とカソード電極との間に発光機能を有する有
機化合物を含む有機発光層を挟持した有機ＥＬ素子をマ
トリックス状に配置することにより構成される。有機Ｅ
Ｌ素子から大気中に放射される光子数の絶対量Ｐは、有
機ＥＬ素子を流れる単位面積当りの電流密度をＪ、外部
量子効率をφ_ＥＸＴとすると、 Ｐ＝φ_ＥＸＴ・Ａ・Ｊ／ｅ …（１） で表される。なお、Ａは有機ＥＬ素子の有効面積、ｅは
電気素量である。

【０００５】寿命τは、電流密度Ｊが小さいほど伸びる
傾向にある。光子数Ｐは、輝度に比例することから、よ
り小さい駆動電流Ｉ（＝Ａ・Ｊ）で長寿命素子を得るに
は、外部量子効率φ_ＥＸＴを高めなければならない。外
部量子効率φ_ＥＸＴは、 φ_ＥＸＴ＝χ・φ_ＰＬ・φ_ＯＵＴ・φ_ＰＯＬ …（２） で表される。χは電子と正孔の注入バランス、φ_ＰＬは
発光層構成材料のＰＬ発光効率、φ_ＯＵＴは光取出し効
率、φ_ＰＯＬは偏光板（外光の反射を防止する目的で設
けられる）の透過率である。

【０００６】有機ＥＬ素子は、電流注入により駆動する
発光素子であり、発光層中において注入バランスχの確
率で電子・正孔対が形成され、効率φ_ＰＬで再結合発光
する。注入バランスχは、電極構造の改善により理論限
界に近いχ≒１が実現されている。

【０００７】しかしながら、この有機ＥＬ素子は、水分
に対して非常に敏感であり、外部から水分が侵入すると
電子と正孔との注入バランスが崩れる。また、ＰＬ発光
効率も水分の影響で低くなってしまう。これにより、表
示デバイスとしての十分な表示性能を維持できなくな
る。

【０００８】有機ＥＬ素子の長寿命化を実現するには、
有機ＥＬ素子を収納する密閉空間内の水分量を制御する
必要性があり、そのためには乾燥剤が必須となってい
る。例えば、乾燥剤を封止基板に配置する場合、封止基
板に乾燥剤を配置するためのスペースを確保する必要が
あり、特徴の一つである薄型化が阻害されるおそれがあ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、有機
ＥＬ表示装置においては、有機ＥＬ素子を収納している
密閉空間内に含まれる水分により発光素子が時間の経過
とともに劣化され、長期にわたって安定した表示性能を
維持することが困難であるといった問題を有している。

【００１０】また、乾燥剤を封止基板に配置する場合、
乾燥剤を配置するためのスペースを確保する必要があ
り、薄型化が阻害される。また、乾燥剤を配置するため
の別個の製造工程が必要となり、製造歩留まりの低下を
招くといった問題がある。また製造コストも上昇する。

【００１１】この発明は、上述した問題点に鑑みなされ
たものであって、その目的は、長期にわたって安定した
表示性能を維持することが可能な表示装置を提供するこ
とにある。また、薄型化が可能な構造であって、製造歩
留まりが高い低コストな表示装置及びその表示装置の製
造方法を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の様態に
よる表示装置は、第１基板と、前記第１基板の主表面上
にマトリクス状に配置され、独立島状に形成された第１
電極と、前記第１電極に対向して配置された第２電極
と、前記第１電極と前記第２電極との間に保持された発
光層と、によって構成された複数の表示素子と、前記表
示素子の最表面を連続して覆うように形成され、且つア
ルカリ金属またはアルカリ土類金属の酸化膜でなる乾燥
剤と、前記第１基板の主表面に対向して配置され、前記
第１基板との間に前記表示素子を収納する第２基板と、
を備えたことを特徴とする。

【００１３】この発明の第２の様態による表示装置の製
造方法は、第１基板上に、マトリクス状に配置された画
素毎に独立島状に形成された第１電極と、前記第１電極
に対向して配置された第２電極と、前記第１電極と前記
第２電極との間に保持された発光層と、によって構成さ
れた表示素子を形成する工程と、前記表示素子の表面に
アルカリ金属またはアルカリ土類金属の酸化膜によって
形成された乾燥剤を配置する工程と、前記第１基板に対
向して第２基板を配置して、前記第１基板との間に形成
される不活性ガス雰囲気中の密閉空間内に前記表示素子
を収納する工程と、を備えたことを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態に
係る表示装置及びその製造方法について図面を参照して
説明する。

【００１５】この実施の形態では、表示装置として、自
己発光型表示装置、例えば有機ＥＬ（エレクトロルミネ
ッセンス）表示装置を例にして説明する。

【００１６】すなわち、図１及び図２に示すように、有
機ＥＬ表示装置１は、表示素子としての有機ＥＬ素子を
マトリクス状に配置した第１基板としてのアレイ基板１
００と、アレイ基板１００を密封する第２基板としての
封止基板２００とを備えている。このアレイ基板１００
の画像を表示する表示エリア１０２には、赤、緑、青に
それぞれ発光する３種類の発光部すなわち有機ＥＬ素子
４０を備えて構成される。

【００１７】有機ＥＬ素子４０は、素子毎に独立島状に
形成される第１電極６０と、第１電極６０に対向して配
置され各素子に共通に連続して形成される第２電極６６
と、これら電極間に保持される発光層としての有機発光
層６４と、によって構成される。

【００１８】このアレイ基板１００は、表示エリア１０
２において、画素スイッチ１０及び駆動素子２０と、蓄
積容量素子３０と、有機ＥＬ素子４０とを備えている。
ここでは一例として、画素スイッチ１０はｎ型薄膜トラ
ンジスタ、駆動素子１０はｐ型薄膜トランジスタで構成
される。各有機ＥＬ素子４０は、画素スイッチ１０を介
して選択され、有機ＥＬ素子４０に対する励起電力は、
駆動素子２０により制御される。

【００１９】また、アレイ基板１００は、有機ＥＬ素子
４０の行方向に沿って配置された複数の走査線Ｙと、有
機ＥＬ素子４０の列方向に沿って配置された複数の信号
線Ｘと、有機ＥＬ素子４０の第１電極側に電源を供給す
るための電源供給線Ｐと、を備えている。さらに、アレ
イ基板１００は、その周辺エリアに、走査線Ｙに駆動信
号を供給する走査線駆動回路１０７と、信号線Ｘに駆動
信号を供給する信号線駆動回路１０８と、を備えてい
る。

【００２０】走査線Ｙは、走査線駆動回路１０７に接続
され、信号線Ｙは、信号線駆動回路１０８に接続されて
いる。画素スイッチ１０は、走査線Ｙと信号線Ｘとの交
差部近傍に配置されている。駆動素子２０は、有機ＥＬ
素子４０と直列に接続されている。また、蓄積容量素子
３０は、画素スイッチ１０と直列に、且つ駆動素子２０
と並列に接続されており、蓄積容量素子３０の両電極
は、駆動素子２０のゲート電極及びソース電極にそれぞ
れ接続されている。

【００２１】電源供給線Ｐは、表示エリア１０２の周囲
に配置された図示しない第１電極電源線に接続されてい
る。有機ＥＬ素子４０の第２電極側端は、表示エリア１
０２の周囲に配置されコモン電位ここでは接地電位を供
給する図示しない第２電極電源線に接続されている。

【００２２】より詳細に説明すると、画素スイッチ１０
のゲート電極は、走査線Ｙに接続され、ソース電極は信
号線Ｘに接続され、ドレイン電極は蓄積容量素子３０の
一端及び駆動素子２０のゲート電極に接続されている。
駆動素子２０のソース電極は、電源供給線Ｐに接続さ
れ、ドレイン電極は、有機ＥＬ素子４０の第１電極６０
に接続されている。蓄積容量素子３０の他端は、駆動素
子２０のソース電極に接続されている。

【００２３】画素スイッチ１０は、対応走査線Ｙを介し
て選択されたときに対応信号線Ｘの映像信号を蓄積容量
素子３０に書き込み、駆動素子２０の駆動を制御する。
映像信号に基づいて駆動素子２０のゲート電圧を調整
し、駆動素子２０のソース−ドレイン間電流を制御し、
有機ＥＬ素子４０に所望の駆動電流を供給する。

【００２４】図２は、有機ＥＬ表示装置の一部、駆動素
子２０及び有機ＥＬ素子４０部分の略断面図である。

【００２５】この駆動素子２０は、上述の通り例えばｐ
型薄膜トランジスタで構成され、ガラス基板などの光透
過性を有する絶縁性支持基板１２０上に配置されたポリ
シリコン半導体層２０Ｐと、ゲート絶縁膜５２を介して
配置されたゲート電極２０Ｇと、ゲート絶縁膜５２及び
層間絶縁膜５４を貫通するコンタクトホール９３を介し
てポリシリコン半導体層２０Ｐのソース領域２０ＰＳに
コンタクトしたソース電極２０Ｓと、ゲート絶縁膜５２
及び層間絶縁膜５４を貫通するコンタクトホール９４を
介してポリシリコン半導体層２０Ｐのドレイン領域２０
ＰＤにコンタクトしたドレイン電極２０Ｄと、を備えて
いる。

【００２６】有機ＥＬ素子４０は、層間絶縁膜５４上に
配置された絶縁膜５６上に配置されている。１画素分の
有機ＥＬ素子４０は、格子状に配置された隔壁１３０に
よって区画されている。この隔壁１３０は、例えば親水
性を有するＳｉＯ等の親水膜と、撥水性を有する樹脂レ
ジストによって形成されている。この有機ＥＬ素子４０
は、第１電極６０と、第１電極６０に対向配置される第
２電極６６との間に挟持された有機発光層６４を備えて
構成されている。

【００２７】すなわち、第１電極６０は、絶縁膜５６上
に配置され、絶縁膜５６を貫通するコンタクトホール９
５を介して駆動素子２０のドレイン電極２０Ｄに接続さ
れている。この第１電極６０は、ここでは陽極として機
能し、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎ Ｏｘｉｄｅ：イン
ジウム・ティン・オキサイド）やＩＺＯ（インジウム・
ジンク・オキサイド）などの光透過性導電部材によって
形成される。

【００２８】有機発光層６４は、各色共通に形成される
ホール輸送層、エレクトロン輸送層、及び各色毎に形成
される発光層の３層積層で構成されても良く、機能的に
複合された２層または単層で構成されても良い。例え
ば、ホール輸送層は、陽極と発光層間に配置され、芳香
族アミン誘導体やポリチオフェン誘導体、ポリアニリン
誘導体などの薄膜によって形成されている。発光層は、
陰極およびホール輸送層間に配置され、赤、緑、または
青に発光する有機化合物によって形成されている。この
発光層は、例えば高分子系材料を採用する場合には、Ｐ
ＰＶ（ポリパラフェニレンビニレン）やポリフルオレン
誘導体またはその前駆体などを積層して構成されてい
る。

【００２９】第２電極６６は、ここでは陰極として機能
し、有機発光層６４上に各有機ＥＬ素子４０に共通に連
続的に配置されている。この第２電極６６は、例えばＣ
ａ（カルシウム）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｂａ（バリ
ウム）、Ａｇ（銀）、ＢａＦ _２、ＬｉＦ_２などの光反射
性金属膜によって形成される。

【００３０】乾燥剤７０は、各有機ＥＬ素子４０の表面
に密着配置され、アレイ基板１００と封止基板２００と
の間に形成される密閉空間内の酸素及び水分を吸着す
る。すなわち、この乾燥剤７０は、アルカリ金属または
アルカリ土類金属の酸化膜、例えば酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）や酸化カルシウム（ＣａＯ）などによって形成され
ている。このような乾燥剤７０は、有機ＥＬ素子４０な
どから出てくる水分を吸収する。

【００３１】このように、有機ＥＬ素子４０と乾燥剤７
０とを密着配置するため、これらを離間して配置してい
た場合と比し、効果的に有機ＥＬ素子４０の劣化を抑制
することができる。

【００３２】このようなアレイ基板１００及び封止基板
２００は、シール材４００によって封止されている。こ
のシール材４００は、例えば紫外線硬化型樹脂によって
形成されている。アレイ基板１００と封止基板２００と
の間の所定ギャップに形成された密閉空間には、窒素ガ
スなどの不活性ガスが充填され、有機ＥＬ素子４０に悪
影響を与えない程度の乾燥状態に維持されている。

【００３３】例えば、乾燥剤７０を酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）によって形成した場合、酸化バリウムは、水と化学
反応して水酸化バリウム（Ｂａ（ＯＨ）_２）になる。こ
れにより、密閉空間内を迅速に除湿し、有機ＥＬ素子４
０の水分による破壊を防止することが可能となり、長期
にわたって確実に安定した表示性能を維持することが可
能となる。

【００３４】この実施の形態では、乾燥剤７０は、図３
に示すように、有機ＥＬ素子４０の最表面に配置された
第２電極６６上に配置されている。より詳細には、乾燥
剤７０は、第２電極６６の端部６６Ａを含む第２電極６
６全体を覆うように配置されている。このため、有機Ｅ
Ｌ素子４０を構成する第２電極６６が密閉空間内で露出
されることがなく、しかも、乾燥剤７０によって覆われ
ているため、水分の影響による第２電極６６の化学変化
を防止することが可能となり、長期にわたって安定した
表示性能を維持することができる。

【００３５】また、乾燥剤７０を有機ＥＬ素子４０の最
表面に密接配置したため、封止基板２００に乾燥剤７０
を配置するためのスペースを確保する必要がなくなり、
装置全体の薄型化を実現することができる。また、乾燥
剤７０は、真空チャンバ内において、蒸着などにより有
機ＥＬ素子４０の最表面に配置された第２電極を形成し
た後に連続して形成することが可能であるため、製造工
程数を大幅に増やすことがなく、製造コストを抑え、製
造歩留まりを向上することが可能となる。

【００３６】また、乾燥剤７０を有機ＥＬ素子４０に密
着配置するため、部品点数を削減することができ、また
デバイスとしての機械的強度を増大させることができ
る。

【００３７】このように構成された有機ＥＬ素子４０で
は、第１電極６２と第２電極６６との間に挟持された有
機発光層６４に電子及びホールを注入し、これらを再結
合させることにより励起子を生成し、この励起子の失活
時に生じる所定波長の光放出により発光する。このＥＬ
発光は、アレイ基板１００の下面側すなわち第１電極６
０側から出射される。

【００３８】次に、この有機ＥＬ表示装置の製造方法に
ついて説明する。

【００３９】すなわち、まず、金属膜及び絶縁膜の成
膜、パターニングなどの処理を繰り返してＴＦＴやキャ
パシタ等を形成し、第１基板１００に、画素スイッチ１
０、駆動素子２０、蓄積容量素子３０、走査線駆動回路
１０７、信号線駆動回路１０８などを絶縁性基板１２０
上に一体的に同一工程で形成する。また、信号線Ｘ、走
査線Ｙ、電源供給線Ｐ等の各種配線も形成する。そして
これらを被覆するよう絶縁膜５６を成膜する。

【００４０】続いて、エッチングにより、絶縁膜５６に
駆動素子２０のドレイン電極２０Ｄまで貫通するコンタ
クトホール９５を形成する。そして、絶縁膜５６上に各
画素毎に独立島状に透過性電極部材、例えばＩＴＯを配
置して第１電極６０を形成する。

【００４１】続いて、第１基板１００に、第１電極６０
の各々を分離する隔壁１３０を形成する。

【００４２】続いて、第１電極６０上に、例えばインク
ジェット方式により導電性高分子ＰＥＤＯＴ（ポリエチ
レンジオキシチオフェン）膜や高分子ＥＬ膜などを成膜
することにより、有機発光層６４を形成する。

【００４３】さらに、有機発光層６４上に、第２電極６
６を形成する。この実施の形態では、陰極材料としてバ
リウム（Ｂａ）を９０オングストロームの膜厚で蒸着し
た後、連続して保護膜としての銀（Ａｇ）を１５００オ
ングストロームの膜厚で蒸着する。これにより、有機Ｅ
Ｌ素子４０を形成する。

【００４４】隔壁１３０に囲まれた複数の表示素子４０
は、例えば列ごとに同一の色に発光する。

【００４５】さらに、続けて、有機ＥＬ素子４０の第２
電極６６上に、乾燥剤７０として酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）を５〜５０００オングストロームの膜厚で蒸着する
（補充願います）。

【００４６】この際、Ｂａの成膜レートを前半５オング
ストローム／ｓｅｃ、後半２０オングストローム／ｓｅ
ｃとし、さらにＡｇの成膜レートを５０オングストロー
ム／ｓｅｃに設定した。この結果、ＢａとＡｇとの２層
の界面では、ＢａとＡｇとの合金が形成された。また、
ＢａＯは、乾燥剤７０として有機ＥＬ素子４０に密着さ
せることができた。

【００４７】続いて、アレイ基板１００上の有機ＥＬ素
子４０を封止するために、封止基板２００の外周に沿っ
て紫外線硬化型のシール材４００を塗布し、窒素ガスな
どの不活性ガス雰囲気中において、アレイ基板１００と
封止基板２００とを貼り合わせる。これにより、有機Ｅ
Ｌ素子４０は、不活性ガス雰囲気の密閉空間内に封入さ
れる。その後、紫外線を照射して、シール材４００を硬
化する。

【００４８】このようにして形成したカラー表示型アク
ティブマトリクス有機ＥＬ表示装置では、有機ＥＬ素子
４０に流す駆動電流量を調整して初期輝度１００ｃｄ／
ｍ^２の条件でライフ試験を行った結果、この素子の輝度
が半減する寿命は約２０，０００時間であり、十分なラ
イフ特性が得られた。

【００４９】なお、この発明は、上述した実施の形態だ
けに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で様々に変形可能である。

【００５０】例えば、上述した実施の形態の場合と同様
なアレイ基板１００の第１電極６０上にホール接合材料
ＴＰＤ（Ｎ，Ｎ’ビフェニルＮ，Ｎ’ビスメチルフェニ
ル−ビフェニルジアミン）、ＥＬ材料Ａｌｑ_３（トリス
ヒドロキシキノンアルミニウム）を連続蒸着して有機発
光層６４を形成する。

【００５１】さらに、有機発光層６４上に、第２電極６
６を形成する。ここでは、陰極材料としてのカルシウム
（Ｃａ）を３５０オングストロームの膜厚で蒸着した
後、連続して保護膜としての銀（Ａｇ）を蒸着すること
で第２電極６６を形成する。さらに、銀に続いて、乾燥
剤７０として酸化カルシウム（ＣａＯ）を５〜５０００
オングストロームの膜厚で連続蒸着して成膜する。また
第２電極には、陰極材料としてＢａＦ_２を５〜１００オ
ングストローム蒸着した後、Ｃａ５０〜５００オングス
トローム、Ａｌ１５００〜３０００オングストロームを
順に蒸着してもよい。また、ＢａＦ_２の代わりにＬｉＦ
_２を同様な膜厚分だけ蒸着してもよい。

【００５２】このようにして形成した有機ＥＬ表示装置
では、上述した実施の形態と同様の条件でライフ試験を
行った結果、この素子の輝度が半減する寿命は約３０，
０００時間であり、十分なライフ特性が得られた。

【００５３】また、乾燥剤７０は、第２電極上に成膜さ
れたアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属を密閉空間
内に含まれる酸素と反応させ、酸化膜を形成してなるも
のであってもよい。

【００５４】なお、図４に示すように、乾燥剤７０は、
密閉空間内に露出されるアレイ基板１００の主表面の全
体を覆うように配置しても良い。すなわち、図４に示し
た構造では、隔壁１３０は、表示エリアの周囲に配置さ
れた駆動回路や各種配線などの配線部７００を覆うよう
に配置されている。第２電極６６は、隔壁１３０上に配
置されている。

【００５５】このような構造の場合、乾燥剤７０は、露
出されるアレイ基板１００の主表面、すなわち隔壁１３
０及び第２電極６６のそれぞれ端部を含む全体を覆うよ
うに配置される。これにより、有機ＥＬ素子４０をはじ
めとするアレイ基板上のすべての構成要素が乾燥剤７０
によって覆われる。したがって、有機ＥＬ素子４０が水
分の影響を受けることがなく、長期にわたって安定した
表示性能を維持することが可能となる。

【００５６】しかも、乾燥剤７０は、隔壁１３０を覆う
程度にシール材４００と第１基板１００との間に介在さ
れているのみであって、シール材４００と第１基板１０
０との間の全域に介在されることはない。換言すると、
シール材４００と第１基板１００とは、少なくとも一部
で乾燥剤７０を介在することなく直接密着している。し
たがって、シール材４００と第１基板１００との密着性
を阻害することはない。

【００５７】また、図５に示した構造では、隔壁１３０
は、表示エリアの周囲に配置された駆動回路や各種配線
などの配線部７００を覆うように配置されている。隔壁
１３０のさらに外周には、第２電極６６にコモン電位を
供給するための電源線８００が配置されている。第２電
極６６は、隔壁１３０上に配置され、さらに外周の電源
線８００にコンタクトしている。

【００５８】このような構造の場合、乾燥剤７０は、露
出されるアレイ基板１００の主表面、すなわち第２電極
６６及び電源線８００のそれぞれ端部を含む全体を覆う
ように配置される。これにより、有機ＥＬ素子４０をは
じめとするアレイ基板上のすべての構成要素が乾燥剤７
０によって覆われる。したがって、有機ＥＬ素子４０が
水分の影響を受けることがなく、長期にわたって安定し
た表示性能を維持することが可能となる。

【００５９】しかも、乾燥剤７０は、第２電極６６及び
電源線８００を覆う程度にシール材４００と第１基板１
００との間に介在されているのみであって、シール材４
００と第１基板１００との間の全域に介在されることは
ない。したがって、シール材４００と第１基板１００と
の密着性を阻害することはない。

【００６０】上述したように、この発明によれば、有機
ＥＬ素子の寿命を劣化させる水分を容易に除去すること
ができる構造を有し、且つ薄型化が可能である。また、
乾燥剤を配置するために特殊な形状をした基板を必要と
せず、プロセス的にも乾燥剤を有機ＥＬ素子の最表面に
配置する電極の蒸着の延長で行うことができるため、有
機ＥＬ表示装置の特徴の一つである薄型化に有利であ
り、製造歩留まりを向上することも可能である。

【００６１】尚、上述の実施形態では、第１電極側から
光を取り出す下面発光方式を例にとり説明したが、陰極
材料および乾燥剤が光透過性を有する場合には、第２電
極側から光と取り出す上面発光方式とすることも可能で
ある。例えば、陰極材料となるＢａを光透過性を有する
程度に薄く、例えば膜厚１０ｎｍ程度に成膜し、乾燥剤
としてＢａＯも薄く成膜することによって達成可能であ
る。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、長期にわたって安定した表示性能を維持することが
可能な表示装置を提供することができる。また、薄型化
が可能な構造であって、製造歩留まりが高い低コストな
表示装置及びその表示装置の製造方法を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施の形態にかかる有機
ＥＬ表示装置の構成を概略的に示す図である。

【図２】図２は、図１に示した有機ＥＬ表示装置の１画
素分の構造を概略的に示す断面図である。

【図３】図３は、図１に示した有機ＥＬ表示装置の周辺
部の構造を概略的に示す断面図である。

【図４】図４は、図１に示した有機ＥＬ表示装置の周辺
部の他の構造を概略的に示す断面図である。

【図５】図５は、図１に示した有機ＥＬ表示装置の周辺
部の他の構造を概略的に示す断面図である。

【符号の説明】

１…有機ＥＬ表示装置 １０…画素スイッチ ２０…駆動素子 ４０…有機ＥＬ素子 ６０…第１電極 ６４…有機発光層 ６６…第２電極 ７０…乾燥剤 １００…アレイ基板 １３０…隔壁 ２００…封止基板 ４００…シール材

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１基板と、 前記第１基板の主表面上にマトリクス状に配置され、独
   立島状に形成された第１電極と、前記第１電極に対向し
   て配置された第２電極と、前記第１電極と前記第２電極
   との間に保持された発光層と、によって構成された複数
   の表示素子と、 前記表示素子の最表面を連続して覆うように形成され、
   且つアルカリ金属またはアルカリ土類金属の酸化膜でな
   る乾燥剤と、 前記第１基板の主表面に対向して配置され、前記第１基
   板との間に前記表示素子を収納する第２基板と、 を備えたことを特徴とする自己発光表示装置。
2. 【請求項２】前記乾燥剤は酸化バリウムからなることを
   特徴とする請求項１に記載の自己発光表示装置。
3. 【請求項３】前記第２電極は複数の前記表示素子に連続
   して配置され、前記乾燥剤は、前記第２電極の端部を含
   む前記第２電極全体を覆うように配置されたことを特徴
   とする請求項１に記載の自己発光表示装置。
4. 【請求項４】前記自己発光表示装置は、前記表示素子が
   配置される表示領域の周辺領域に配線回路部とを前記第
   １基板と一体的に形成することを特徴とする請求項１に
   記載の自己発光表示装置。
5. 【請求項５】前記自己発光表示装置は、前記第１電極の
   各々を電気的に絶縁すると共に、前記配線回路部上に配
   置される隔壁を備え、 前記乾燥剤は、前記隔壁及び前記隔壁上に配置された前
   記第２電極全体を被覆することを特徴とする請求項４に
   記載の自己発光表示装置。
6. 【請求項６】前記乾燥剤は、前記配線回路部および前記
   第2電極全体を被覆することを特徴とする請求項４に記
   載の自己発光表示装置。
7. 【請求項７】第１基板上に、マトリクス状に配置された
   画素毎に独立島状に形成された第１電極と、前記第１電
   極に対向して配置された第２電極と、前記第１電極と前
   記第２電極との間に保持された発光層と、によって構成
   された表示素子を形成する工程と、 前記表示素子の表面にアルカリ金属またはアルカリ土類
   金属の酸化膜によって形成された乾燥剤を配置する工程
   と、 前記第１基板に対向して第２基板を配置して、前記第１
   基板との間に形成される不活性ガス雰囲気中の密閉空間
   内に前記表示素子を収納する工程と、 を備えたことを特徴とする自己発光表示装置の製造方
   法。