JP2003208719A

JP2003208719A - 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパ及び光学記録再生装置

Info

Publication number: JP2003208719A
Application number: JP2002119740A
Authority: JP
Inventors: Somei Endo; 惣銘遠藤; Katsuhiko Otomo; 勝彦大友; Yasuhiro Shiyuuda; 育弘秀田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-11-12
Filing date: 2002-04-22
Publication date: 2003-07-25

Abstract

(57)【要約】【課題】記録再生特性の変動を生じることなく、また
安定したトラッキングサーボを行うためにピット部にお
いてもプッシュプル信号振幅が十分得られる実用的な高
記録密度の光学記録再生媒体を提供する。【解決手段】記録情報に対応するピットが記録トラッ
クに沿って形成された光学記録再生媒体にあって、ピッ
ト３の記録フォーマットを、ピットポジション検出フォ
ーマットの凹凸を逆にしたフォーマットとし、ピットの
トラックピッチを、光学記録再生媒体の記録情報を再生
する再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数ＮＡに対
応するカットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上
３／２以下として構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録情報に対応す
るピットが記録トラックに沿って形成された光学記録再
生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパ及び光学記録
再生装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】光学記録再生媒体として、円盤状に形成
されて成り、光学的に記録及び／又は再生が行われる光
ディスクが各種実用化されている。このような光ディス
クには、データに対応したエンボスピットがディスク基
板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光
学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスク
や、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変
化型光ディスクなどがある。

【０００３】これら光ディスクのうち、光磁気ディスク
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成されるいわゆる案内溝であり、グルー
ブとグルーブの開口端間をランドと称す。

【０００４】そしてグルーブが形成されて成る光ディス
クでは、通常、グルーブで反射回折された光から得られ
るプッシュプル信号に基づくトラッキングエラー信号に
よって、トラッキングサーボがなされる。ここで、プッ
シュプル信号は、グルーブで反射回折された光を、トラ
ック中心に対して対称に配置された２つの光検出器によ
り検出し、それら２つの光検出器からの出力の差をとる
ことにより得られる。

【０００５】ところで、従来、これらの光ディスクで
は、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能
を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、
光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数
ＮＡを大きくしたりすることにより、光学的に実現させ
てきた。

【０００６】従来、ＣＤ（Compact Disc）の追記型のい
わゆるＣＤ−Ｒや光磁気ディスクの書換え型のＭＤ（Mi
ni Disc ）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）の追記
型のＤＶＤ−ＲやＤＶＤ＋Ｒ、又はＤＶＤの書換え可能
型のいわゆるＤＶＤ＋ＲＷ或いはＤＶＤ−ＲＷ（いずれ
も光ディスクの登録商標）の各フォーマットでは、グル
ーブに記録するグルーブ記録フォーマットが提案されて
いる。ＩＳＯ系の光磁気ディスクの各フォーマットで
は、ランドに記録するランド記録フォーマットが提案さ
れている。

【０００７】一方ＤＶＤ−ＲＡＭ（Random Access Memo
ry）等においては、光ディスクの高密度化を実現する一
つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録する
ことにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化
をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案され
ている。

【０００８】また、近年次世代光ディスクとして開発が
進められているＤＶＲ（Digital Video Recorable ）
や、ＭＤが小型化されたμ−Ｄｉｓｃ等の高密度光ディ
スクにおいても、ランドグルーブ記録方式が検討されて
おり、これにより高記録密度化がはかられている。

【０００９】しかしながら、ＤＶＤ−ＲＡＭ等において
ランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグル
ーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそ
れぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないこ
とから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。

【００１０】また、"ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
neration And Conduction On Land/Groove Disc"におい
て、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記
録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなよ
うに、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを
均一化することは困難であり、同一の光学記録再生媒体
において、記録再生特性の異なる領域が存在するという
問題がある。

【００１１】更にまた、ＤＶＲ等の高密度光ディスクに
おいて、読み取り面に近い方、即ちＤＶＲの場合は、光
照射側に近いランド上の記録再生特性は良好であるが、
読み取り面から遠い方、即ちＤＶＲの場合光照射側から
遠いグルーブでの記録再生特性を良好に保持することは
困難な結果を得ている。

【００１２】ＤＶＲ−ＲＯＭ（Read Only Memory）ディ
スク等において、このようなランドグルーブ記録方式の
フォーマットで信号を直接記録することは現状では可能
であるが、ランド上の記録とグルーブ上の記録とで記録
再生特性を良好で且つ均一にすることが望まれている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、ＤＶ
Ｒ等の高密度光ディスクにおいて、グルーブ部は読み取
り面に遠い方であり、このグルーブ部での記録再生特性
を良好にすることは困難である。

【００１４】これに対し、光学記録再生媒体の製造工程
において、基板に形成する凹凸パターンを反転して製造
する方法が考えられる。すなわち、通常の光学記録再生
媒体の製造過程においては、フォトリソグラフィ等によ
ってガラス原盤上の感光層に微細な凹凸パターンを形成
した後、メッキ等によって例えばＮｉより成るマスター
スタンパを形成する。

【００１５】そしてこのマスタースタンパを金型等に載
置して樹脂を射出する射出成形法、または、基板上に、
例えば紫外線硬化樹脂を塗布し、この樹脂層にこのスタ
ンパーを押圧して、目的とする凹凸パターンを形成す
る、いわゆる２Ｐ（Photo-Polymerization）法によっ
て、表面に所定の微細な凹凸パターンが形成された光学
記録再生媒体の基板を形成することができる。

【００１６】従って、上述したように、グルーブ部が読
み取り光から遠い側に設けられて記録再生特性が良好に
保持できない場合は、上述のマスタースタンパの複製ス
タンパ、即ちいわゆるマザースタンパを、電気メッキ法
等によって転写形成することにより、凹凸パターンを逆
にして、基板上のグルーブパターンを、読み取り光に近
い側に設ける構成として、記録再生特性の向上をはかる
ことができる。

【００１７】しかしながら、グルーブ記録又はランド記
録フォーマットを採る場合は、ランドグルーブ記録フォ
ーマットを採る場合と同様の高記録密度を達成しようと
すると、ランドグルーブ記録フォーマットを採る場合の
２倍のトラック密度にすること、即ちトラックピッチを
半分とする必要があり、プッシュプル信号等のトラッキ
ングサーボ信号の振幅量が小さくなり、安定にトラッキ
ングすることや、ウォブル信号の再生が難しくなる。

【００１８】例えば、ランドグルーブ記録フォーマット
は、トラックピッチが０．６０μｍ、即ちランド幅が
０．３０μｍ、グルーブ幅が０．３０μｍとされてお
り、プッシュプル信号振幅は９０％程度である。

【００１９】しかし、グルーブ記録フォーマットで同様
の記録密度を達成する場合は、トラックピッチを０．３
２μｍとすると、プッシュプル信号振幅は１８％程度で
ある。

【００２０】従来の光ディスクにおいて、トラックピッ
チは、再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数の
トラックピッチの２倍〜３／２程度とされている。ここ
で、カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ０とな
る周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ
光の波長をλとし、光ディスク上にレーザ光を集光する
対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、２ＮＡ／λで表
される。

【００２１】上述のＤＶＲの場合、開口数ＮＡ＝０．８
５、再生光の波長λ＝４０６ｎｍであるから、カットオ
フ周波数（２ＮＡ／λ）は、４１８７本／ｍｍであり、
この場合のトラックピッチは０．２３９μｍである。

【００２２】ＤＶＲのトラックピッチを０．３２μｍと
すると、カットオフ周波数に対応するトラックピッチ
（０．２３９μｍ）の４／３（０．３２／０．２３９＝
１．３３９）程度となる。

【００２３】通常トラックピッチがカットオフ周波数に
対応するトラックピッチの２倍〜３／２程度とされるの
は、安定したトラッキングサーボや安定したウォブル信
号の再生を実現するために、トラッキングサーボ信号振
幅を充分なレベルにて得られるようにする必要があるか
らである。

【００２４】近年の高密度光ディスクでは、トラッキン
グエラー信号としてプッシュプル信号が用いられている
が、トラッキングサーボを安定に行うには、プッシュプ
ル信号振幅比が０．１５程度以上である必要がある。更
に、ウォブル信号の再生を安定に行うようにすることが
望まれている。

【００２５】また一方、グルーブ上の記録とは別に、ピ
ットとしてＴＯＣ（Table Of Contents ）等の情報を記
録するフォーマットが提案されている。しかし、ピット
はグルーブに比べて円周方向の密度が約半分であるた
め、トラッキングサーボ信号振幅（プッシュプル信号振
幅）が半分になる欠点があった。

【００２６】つまり、上述のＤＶＲのトラックピッチを
０．３２μｍとして高密度化をはかると、ピットのプッ
シュプル信号振幅は９％（１８％／２）程度となってし
まい、トラッキングサーボが困難となる。

【００２７】尚、本出願人の出願に係る特開平９−３０
６０３４号公開公報において、記録トラックにピットが
形成される光学式記録媒体において、その基板の屈折率
をｎ、再生に使用される光の波長をλとしたとき、ピッ
トの深さをλ／（４ｎ）〜λ／（２ｎ）とし、ピットの
幅を０．３μｍ〜０．６μｍとし、ピットが形成された
記録トラック上においてピットが形成された領域の方
が、ピットが形成されていない領域よりも多くする構成
を提案している。

【００２８】しかしながらこの場合、上述のＤＶＲ等に
おけるような、カットオフ周波数に対応するトラックピ
ッチの４／３程度のトラックピッチとされた高記録密度
の光学記録再生媒体において適用するには、ピットの記
録トラック方向に沿う方向の密度や、ピットの深さ及び
幅を考慮する必要があり、良好な記録再生特性を確実に
保持することのできる高密度の光学記録再生媒体の実現
が望まれていた。

【００２９】本発明は、上述したような問題を解決し、
記録再生特性の変動を生じることなく、また安定したト
ラッキングサーボを行うためにピット部においてもプッ
シュプル信号振幅が十分得られる実用的な高記録密度の
光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパ、
更に光学記録再生装置を提供することを目的とする。

【００３０】

【課題を解決するための手段】本発明は、記録情報に対
応するピットが記録トラックに沿って形成された光学記
録再生媒体にあって、ピットの記録フォーマットを、ピ
ットポジション検出フォーマットの凹凸を逆にしたフォ
ーマットとして構成し、ピットのトラックピッチを、光
学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ
及び対物レンズの開口数ＮＡに対応するカットオフ周波
数のトラックピッチの４／３以上３／２以下として構成
する。

【００３１】更に本発明は、記録情報に対応するピット
が記録トラックに沿って形成された光学記録再生媒体を
製造するための光学記録再生媒体製造用スタンパにあっ
て、ピットに対応するピットパターンの記録フォーマッ
トを、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆に
したフォーマットとして構成し、ピットパターンのトラ
ックピッチを、光学記録再生媒体の記録情報を再生する
再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数ＮＡに対応す
るカットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／
２以下として構成する。

【００３２】また更に本発明は、上述の構成における光
学記録再生媒体を用いて光学記録再生装置を構成する。
即ち、記録情報に対応するピットが記録トラックに沿っ
て形成された光学記録再生媒体を用いる光学記録再生装
置にあって、光学記録再生媒体のピットの記録フォーマ
ットを、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆
にしたフォーマットとして構成し、光学記録再生媒体の
ピットのトラックピッチを、光学記録再生媒体の記録情
報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数
ＮＡに対応するカットオフ周波数のトラックピッチの４
／３以上３／２以下として構成する。

【００３３】上述したように、本発明においては、ピッ
トの記録フォーマットを、ピットポジション検出フォー
マットの凹凸を逆にしたスペースポジション検出フォー
マットとして構成すると共に、ピットのトラックピッチ
を、光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の
波長λ及び対物レンズの開口数に対応するカットオフ周
波数にもとづいたトラックピッチの４／３以上３／２以
下とする高密度構成とすることによって、記録トラック
の延長方向に沿う方向、例えばディスク状媒体における
円周方向のピットの密度即ちピットデューティを５０％
よりも増加させることとなる。これにより、高密度構成
の光学記録再生媒体において、プッシュプル信号振幅の
増大化をはかって確実に良好なトラッキングサーボ特性
を得ることができる。

【００３４】ピットポジション検出方式は、現在一般的
に用いられているエッジ検出方式よりピットの円周方向
即ち記録トラックの延長方向に沿う方向の密度、いわゆ
るピットデューティが低い。

【００３５】例えば、２−７変調方式（３Ｔ−８Ｔ）の
場合、３Ｔのピットデューティは３３．３％であり、８
Ｔのピットデューティは１２．５％である。２−７変調
のピットポジション検出の場合、平均のピットデューテ
ィは２２．７％になり、プッシュプル信号振幅は減少
し、安定なトラッキングサーボが困難になる。

【００３６】これに対し、本発明においては、ピットポ
ジション検出フォーマットの凹凸を逆にしたスペースポ
ジション検出フォーマットとして構成する。このスペー
スポジション検出フォーマットは、ピットポジション検
出方式の凹凸が逆であるから、そのピットデューティは
７７．３％になり、プッシュプル信号振幅の減少は少な
く、安定なトラッキングサーボが可能になる。

【００３７】更に、ピットポジション検出フォーマット
のピット長を例えば０．５Ｔマーク長程度とした場合を
想定し、その凹凸を変換したスペースポジション検出フ
ォーマットを採用することによって、更にピットデュー
ティを向上させることができ、８９．４％程度とするこ
とができる。

【００３８】従って、本発明構成を、狭トラックピッチ
の高記録密度光学記録再生媒体に適用する場合には、充
分なプッシュプル信号振幅を安定に得ることができて、
記録再生特性の劣化を回避することができる。

【００３９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明するが、本発明は以下の例に限定
されることなく、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の
構成を採り得ることはいうまでもない。

【００４０】上述したように、本発明においては、記録
情報に対応するピットが記録トラックに沿って形成さ
れ、そのフォーマットを、ピットポジション検出方式の
凹凸を逆にしたスペースポジション検出方式とする。

【００４１】図１Ａにおいて、Ｓはスペースポジション
検出方式によるスペースポジション変調信号の一例を示
し、３はこの信号Ｓに対応するピットの形状を模式的に
示したものである。また、図１Ｂにおいては、上記スペ
ースポジション変調信号に対応するピットエッジポジシ
ョン検出方式による変調信号Ｓ₁と、この信号Ｓ₁に対
応するピット３の形状を模式的に示す。図１Ｂにおい
て、信号Ｓ₁に部分的に矢印３Ｔ_M、３Ｔ_S、８Ｔ_M、
８Ｔ_s、４Ｔ_Mを付して示す領域は、それぞれ３Ｔマー
ク、３Ｔスペース、８Ｔマーク、８Ｔスペース、４Ｔマ
ークを示す。

【００４２】更に、図１Ｃにおいては、上記スペースポ
ジション変調信号及びエッジポジション変調信号に対応
するピットポジション検出方式による変調信号Ｓ₂を、
そのピット長を１Ｔマークと同程度の長さとした場合
と、この信号Ｓ₂に対応するピット３の形状を模式的に
示す。

【００４３】また、図１Ｄにおいては、ピットポジショ
ン検出方式による変調信号Ｓ₂を、そのピット長を１Ｔ
マークの半分の長さ即ち０．５Ｔ相当の長さとした場合
の変調信号Ｓ₃と、これに対応するピット３を示し、図
１Ｅにおいては、この変調信号Ｓ₃の凹凸を反転したス
ペースポジション変調信号Ｓ₄及びこれに対応するピッ
ト３を示す。図１Ｅにおいて、スペースポジション変調
信号Ｓ₄の各ピット３のスペースは０．５Ｔ相当の長さ
となる。

【００４４】これらを比較して明らかなように、図１Ａ
に示すスペースポジション検出方式を採る場合は、ピッ
トデューティがピットエッジ検出方式及びピットポジシ
ョン検出方式と比較して格段に向上し、図１Ｅに示すス
ペースを更に短くしたスペースポジション検出方式で
は、ピットデューティが更に向上することがわかる。

【００４５】図２は上述のスペースポジション検出方式
によって、ピット３を記録し、また光学記録再生媒体に
グルーブ４、この場合ウォブルグルーブを設けた場合の
模式的な平面構成を示す。

【００４６】本発明構成においては、光学記録再生媒体
の記録情報を再生する再生用光の波長をλ、この光学記
録再生媒体の再生用光の入射側からピットに至る媒質の
屈折率をｎとしたときに、ピットの位相深さｘを、 λ／１３．７１ｎ≦ｘ≦λ／５．１８ｎ（１）とし、またピットの幅ｗと、このピットのトラックピッ
チｐとの比を、０．４０６≦ｗ／ｐ≦０．５３１ ‥‥（２）として構成する。

【００４７】即ち例えば図３にその一例の模式的な断面
図を示すように、基板１の上に、光入射面に近い側に、
即ち図示の例では上側に突出する凸部形状のピット３及
びグルーブ４が形成されて成り、この上に例えば反射層
５、第１の誘電体層６、記録層７、第２の誘電体層８及
び光透過性の保護層９を順次積層形成して光学記録再生
媒体１０を構成する。

【００４８】５４は対物レンズ等の光ピックアップを示
し、レーザ光等の再生用入射光Ｌがピット３上に照射さ
れる。この場合は、保護層９が上述の光入射面からピッ
トに至る媒質となり、その屈折率をｎとし、また、再生
用入射光Ｌの波長をλとして、前述の式（１）と（２）
とを用いる。図３においてｗはピットの幅、ｐはピット
のトラックピッチを示す。

【００４９】尚、図１において説明したスペースポジシ
ョン検出方式の変調方式は２−７変調の例を示したが、
その他１−７変調方式又はＥＦＭ変調方式による場合に
も本発明を適用することができる。

【００５０】次に、このような光学記録再生媒体の製造
工程の一例を図４Ａ〜Ｃの製造工程図を参照して説明す
る。

【００５１】図４Ａにおいて、１１はガラス等より成る
原盤用基板を示す。この原盤用基板１１の表面に、フォ
トレジスト等より成る感光層１２が被着形成され、後述
する光学記録装置によって所定のパターン露光及び現像
によって、記録情報に対応するパターンのピットパター
ン１３及びグルーブパターン１４が、例えば原盤用基板
１１の表面を露出するように、即ち感光層１２が除去さ
れたいわば凹状パターンとして形成される。

【００５２】その後、図示しないが、このパターニング
された感光層１２上を覆って、全面的に無電界メッキ法
等により、ニッケル被膜等より成る導電化膜を被着した
後、導電化膜が被着された原盤用基板１１を電鋳装置に
取り付け、電気メッキ法により導電化膜層上に例えば３
００±５μｍ程度の厚さになるようにニッケルメッキ層
を形成する。

【００５３】続いて、ニッケルメッキ層が厚く被着され
た原盤用基板１１から、ニッケルメッキ層をカッター等
で剥離し、凹凸パターンが形成された感光層をアセトン
等を用いて洗浄して、図４Ｂに示すように、原盤１１上
でのピットパターン１３が反転したパターンの反転ピッ
トパターン１３ｎ及びグルーブパターン１４が反転した
パターンの反転グルーブパターン１４ｎが形成されたス
タンパ１５、即ちいわゆるマスタースタンパが形成され
る。

【００５４】その後、このスタンパ１５の凹凸パターン
が形成された面上に例えば離型剤を塗布した後、例えば
電気メッキ法により、図４Ｃに示すように、スタンパ１
５の凹凸パターンを転写したマザースタンパ１６を形成
する。

【００５５】このマザースタンパ１６は、図４Ａにおい
て説明した原盤用基板１１上の感光層１２のパターンと
同様に、所定のピットパターン１３及びグルーブパター
ン１４が凹状に形成されて成る。従って、このマザース
タンパ１６から射出成形等によって形成した基板上のグ
ルーブは、基板から突出したパターンとされ、そのグル
ーブ面は、再生用光の入射側に近い側とすることができ
る。

【００５６】これらスタンパ１５乃至はマザースタンパ
１６のピットパターンの深さ、幅及びトラックピッチ
も、上述の光学記録再生媒体と同様に選定する。

【００５７】即ち、光学記録再生媒体の光入射面からピ
ットに至る媒質の屈折率をｎ、ピットの記録情報を再生
する再生用の入射光の波長をλ、ピットパターン１３の
位相深さをｘ’としたときに、 λ／１３．７１ｎ≦ｘ’≦λ／５．１８ｎとなるように構成する。

【００５８】また図４Ｃにおいてその一例を示すよう
に、ピットパターン１３の幅をｗ’、トラックピッチを
ｐ’としたときに、０．４０６≦ｗ’／ｐ’≦０．５３１とする。

【００５９】次に、上述の図４Ａにおいて説明した、原
盤１１の上の感光層１２に対する具体的な露光工程を、
光学記録装置の構成例と共に詳細に説明する。

【００６０】先ず、この光学記録装置の構成について説
明する。上述のパターン露光工程においては、レーザビ
ームを対物レンズで集光し、原盤用基板の上のフォトレ
ジストを露光する方法が一般的に採られている。このよ
うな光学記録装置の一例を図５に示す。

【００６１】図５において、２０は気体レーザ等の光源
を示す。光源としては、特に限定されるものではなく、
適宜選択して用いることができるが、この例において
は、Ｋｒレーザ（波長λ＝３５１ｎｍ）の記録用レーザ
光を発振するレーザ源を用いた。

【００６２】光源２０から出射されたレーザ光は、電気
光学変調器（ＥＯＭ）２１、検光子２２を通過した後、
ビームスプリッターＢＳ２及びビームスプリッターＢＳ
１によって一部反射される。ビームスプリッターＢＳ２
及びＢＳ１を透過したレーザ光は、フォトディテクター
（ＰＤ）２４によって検出され、図示しないが、記録光
パワー制御回路等の制御部において、比較電圧と比較し
て変調器２１にフィードバックされる。

【００６３】ビームスプリッターＢＳ１、ＢＳ２で反射
されたレーザ光ＬＢ₁及びＬＢ₂は、変調光学系ＯＭ１
及びＯＭ２に導かれる。変調光学系ＯＭ１において、レ
ーザ光をレンズＬ１１で集光し、その焦点面上にＡＯＭ
１（Acousto-Optic Modulator;音響光学変調器）を配置
する。

【００６４】このＡＯＭ１には、記録信号に対応する超
音波がドライバ２５から入力され、この超音波に基づい
てレーザ光の強度が強度変調される。レーザ光は、ＡＯ
Ｍ１の回折格子により回折され、その回折光のうち１次
回折光のみがスリットを透過するようになされる。

【００６５】強度変調を受けた１次回折光は、レンズＬ
１２によって集光された後、ミラーＭ１により反射され
て進行方向が９０°曲げられた上で、λ／２波長板ＨＷ
Ｐを介して移動光学テーブル４０に水平に且つ光軸に沿
って導入され、偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射す
る。

【００６６】同様に、変調光学系ＯＭ２において、レー
ザ光はレンズＬ２１で集光され、その焦点面上に配置さ
れたＡＯＭ２に入射され、ドライバ２６から入力される
記録信号に対応する超音波に基づいてレーザ光が強度変
調される。発散したレーザ光は同様にレンズＬ２２によ
って集光された後、ミラーＭ２によって反射されて進行
方向が９０°曲げられて、移動光学テーブル４０に水平
に且つ光軸に沿って導入される。

【００６７】レーザ光ＬＢ₂によってグルーブを形成
し、かつこのグルーブをウォブルグルーブとする場合
は、移動光学テーブル４０上の偏向光学系ＯＤにおいて
光学偏向が施された上で、ミラーＭ４によって反射され
て再び進行方向が９０°曲げられて、偏光ビームスプリ
ッタＰＢＳに入射する。

【００６８】そして、偏光ビームスプリッタＰＢＳを透
過したレーザ光ＬＢ₁及び偏光ビームスプリッタＰＢＳ
によって再度９０°進行方向が曲げられたレーザ光ＬＢ
₂は、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた
上でミラーＭ５によって反射されて対物レンズ５２へと
導かれ、この対物レンズ５２によって、原盤用基板１１
の上の感光層１２に集光される。原盤用基板１１は、図
示しないが回転駆動手段により矢印ａで示すように回転
される。一点鎖線ｃは、基板１１の中心軸を示す。

【００６９】記録用のレーザ光ＬＢ₁及びＬＢ₂は、移
動光学テーブル４０によって平行移動される。これによ
り、レーザ光の照射軌跡に応じた凹凸パターンに対応す
る潜像が、感光層１２の全面にわたって形成されること
となる。

【００７０】ここで、偏向光学系ＯＤは、ウェッジプリ
ズム４７、音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Optical
Deflector)４８、ウェッジプリズム４９により構成され
る。レーザ光ＬＢ₂は、ウェッジプリズム４７を介して
音響光学偏向器４８に入射し、この音響光学偏向器４８
によって、所望する露光パターンに対応するように光学
偏向が施される。

【００７１】この音響光学偏向器４８に使用される音響
光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ₂）か
ら成る音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏
向器４８によって光学偏向が施されたレーザ光ＬＢ
₂は、ウェッジプリズム４９を介して偏向光学系ＯＤか
ら出射される。

【００７２】尚、ウェッジプリズム４７、４９は、音響
光学偏向器４８の音響光学素子の格子面に対してブラッ
グ条件を満たすようにレーザ光ＬＢ₂が入射すると共
に、音響光学偏向器４８によってレーザ光ＬＢ₂に対し
て光学偏向を施しても、ビームの水平高さが変わらない
ようにする機能を持つ。換言すれば、これらウェッジプ
リズム４７、４９と音響光学偏向器４８は、音響光学偏
向器４８の音響光学素子の格子面がレーザ光ＬＢ₂に対
してブラッグ条件を満たし、且つ偏向光学系ＯＤから出
射されたときのレーザ光の水平高さが変わらないように
配置される。

【００７３】また、音響光学偏向器４８には、この音響
光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０が
取り付けられており、この駆動用ドライバ５０には、電
圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscillato
r)５１からの高周波信号が、正弦波で変調され供給され
る。そして、感光層の露光の際には、所望する露光パタ
ーンに応じた信号が電圧制御発振器５１から駆動用ドラ
イバ５０に入力され、この信号に応じて駆動用ドライバ
５０によって音響光学偏向器４８が駆動され、これによ
り、レーザ光ＬＢ₂に対して所望のウォブリングに対応
した光学偏向が施される。

【００７４】具体的には、例えば、周波数１９４．１ｋ
Ｈｚにてグルーブをウォブリングさせることにより、グ
ルーブにアドレス情報を付加するような場合には、例え
ば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数１９
４．１ｋＨｚの制御信号にて正弦波信号を電圧制御発振
器５１から駆動用ドライバ５０に供給する。

【００７５】そして、この信号に応じて、駆動用ドライ
バ５０によって音響光学偏向器４８を駆動し、この音響
光学偏向器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化さ
せ、これにより、周波数１９４．１ｋＨｚのウォブリン
グに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施
す。これにより、感光層上に集光されるレーザ光のスポ
ット位置が、周波数１９４．１ｋＨｚ、振幅±９ｎｍに
て、原盤用基板１１の半径方向に振動するように光学偏
向を行った。

【００７６】ここで、偏光ビームスプリッタＰＢＳは、
Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされ、光学
偏向されたレーザ光ＬＢ₂はＳ偏光であり、ＰＢＳにお
いて反射するようになされる。

【００７７】また、第１の変調光学系ＯＭ１から出射さ
れたレーザ光ＬＢ₁は、λ／２波長板ＨＷＰを通過する
ことにより偏光方向が９０°回転させられているのでＰ
偏光となっており、ＰＢＳを透過する。

【００７８】後述する実施例においては、対物レンズの
開口数ＮＡを０．９とした。ＡＯＭ１及びＡＯＭ２の音
響光学素子としては、酸化テルル（ＴｅＯ₂）を用い
た。入力端子からドライバ２５及び２６を介して供給さ
れる信号は、ピットを形成する場合は、２−７変調のス
ペースポジション信号とし、グルーブを形成する場合は
一定レベルのＤＣ（直流）信号である。

【００７９】またこの例では、変調光学系ＯＭ１及びＯ
Ｍ２の光学レンズとしては、集光レンズＬ１１及びＬ２
１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ１２及び
Ｌ２２の焦点距離を１００ｍｍとし、また移動光学テー
ブル４０の拡大レンズＬ３の焦点距離を５０ｍｍとし
た。

【００８０】上述の構成による光学記録装置における露
光条件は、ウォブルグルーブに対しレーザパワー０．３
０ｍＪ／ｍとし、ピットはレーザパワー０．２５ｍＪ／
ｍ程度として、第１の変調光学系ＯＭ１によって、ピッ
ト変調即ち２−７変調スペースポジション信号、また第
２の変調光学系ＯＭ２によってＤＣ変調信号を、トラッ
クピッチ０．３２μｍとして、原盤用基板１１上の感光
層１２にスパイラル状にパターン露光を行った。

【００８１】前述の図１Ａ〜Ｃにおいて説明したよう
に、通常、２−７変調はピットエッジ検出方式の場合、
ピットの記録トラックに沿う方向、ディスク状の媒体の
場合円周方向の密度（ピットデューティ）は５０％であ
る。プッシュプル信号振幅比はピットデューティに比例
する。つまり、ピットデューティが５０％のピットエッ
ジ検出の場合はプッシュプル信号振幅はグルーブの５０
％に減少する。ピットポジション検出はピットデューテ
ィが２２．７％になり、プッシュプル信号振幅は更に減
少し２２．７％になる。

【００８２】しかしながら、本発明においては、上述し
たように、スペースポジション検出方式によりピット３
を形成することにより、２−７変調方式の場合、平均の
ピットデューティは７７．８％になり、プッシュプル信
号振幅は７７．３％に保持することができる。

【００８３】更に、前述の図１Ｅにおいて説明したよう
に、スペースポジション検出方式のスペース長を０．５
Ｔスペース長とする場合、平均のピットデューティは８
４．２〜８９．４％となる。スペース長を１Ｔ〜０．５
Ｔの適切な値に選定することにより、実質的にピットデ
ューティを、６８．３〜８９．４％の広い範囲にするこ
とができ、トラッキングサーボ及びスペースポジション
検出の安定な再生が可能となる。

【００８４】そして、上述のパターン露光を行った後、
原盤用基板１１を感光層１２が上部になるように現像機
のターンテーブルに載置して、この原盤用基板１１の表
面が水平面となるようにして回転させる。この状態で、
感光層１２上に現像液を滴下して、感光層１２の現像処
理を行い、信号形成領域に、記録信号に基づく凹凸パタ
ーンが形成され、上述の図４Ａにおいて説明した光学記
録再生媒体製造用の原盤を形成する。

【００８５】そしてこの後、上述の図４Ｂ〜Ｃにおいて
説明した製造工程によって、上述の光学記録装置による
パターン露光と現像工程によって作製した凹凸パターン
とは反転する凹凸パターンが形成された光学記録再生媒
体製造用スタンパ、この場合いわゆるマザースタンパを
形成し、更にこのマザースタンパから射出成形法又は２
Ｐ法等によって、後述の実施例においては射出成形によ
りポリカーボネート等の光透過性樹脂より成る光学記録
再生媒体用の基板を成形する。

【００８６】そして、成形した基板の厚さを１．１ｍｍ
とし、その信号形成面に、Ａｌ合金等から成る反射層
５、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂等より成る第１の誘電体層６、Ｇ
ｅＳｂＴｅ合金等より成る相変化材料より成る記録層
７、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂等より成る第２の誘電体層８を順
次スパッタリング等によって成膜する。その後、第２の
誘電体層５の上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法によ
り塗布し、この紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し
硬化させることによって、厚さ０．１ｍｍの保護層９を
形成する。

【００８７】このような製造工程を経て、図１及び図２
において説明した、本発明構成によるスペースポジショ
ン検出方式によるピットとウォブリンググルーブの形成
された例えばＤＶＲフォーマットの光学記録再生媒体が
形成される。

【００８８】このようにして形成した光学記録再生媒体
の凹凸パターンの再生特性の評価を、波長λ＝４０６ｎ
ｍ、開口数ＮＡ＝０．８５の光学系を備えた光学記録再
生装置を用いて行う。この装置の模式的な構成を図６に
示す。

【００８９】図６において、６１は波長λ＝４０６ｎｍ
の半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレ
ーザビームは、コリメートレンズ６２で平行光とされ、
グレーティング６３によって、０次光（主ビーム）及び
±１次光（副ビーム）の３つのビームに分けられる。こ
れらの３つのビーム（Ｐ偏光）は、偏光ビームスプリッ
タ６４、１／４波長板６５を円偏光として透過して、前
述の図３において説明したように、開口数ＮＡ＝０．８
５の対物レンズよりなる光ピックアップ６６によって、
光学記録再生媒体１０の所定の記録トラック上に集光さ
れる。主ビームの中央のスポットは記録情報の記録再生
に用いられ、副ビームの光スポットはトラッキングエラ
ーの検出用に用いられる。６８は光学記録再生媒体１０
を矢印ｂで示すように回転させる回転手段を示す。実線
ｄは、光学記録再生媒体１０の回転軸を示す。

【００９０】そして、光学記録再生媒体１０からの反射
光は、光ピックアップ６６、１／４波長板６５を再び経
由して円偏光はＳ偏光になり偏光ビームスプリッタ６４
に反射され、組み合わせレンズ７１とレンズ７４とに入
射させる。

【００９１】組み合わせレンズ７１に入射されたレーザ
光は、レーザビームに非点収差を与えるレンズを介して
フォトダイオード７２に入射され、ビームの強度に応じ
た電気信号に変換され、サーボ信号（フォーカスエラー
信号及びトラッキングエラー信号）として、サーボ回路
に出力される。フォトダイオード７２は分割されたディ
テクタ７３（Ａ〜Ｈ）を有する。主ビームの戻り光はデ
ィテクタ７３の中央部に位置する４分割ディテクタのＡ
〜Ｄに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ７３の両
側部に位置するＥ〜Ｈに入射する。

【００９２】また、偏光ビームスプリッタ７０で反射さ
れたレーザ光は、レンズ７４を介してもう一方のフォト
ダイオード７５に入射される。フォトダイオード７５は
ディテクタ７６（Ｇ）を有し、偏光ビームスプリッタ７
０において反射されたレーザ光が検出される。

【００９３】ディテクタ７３のＡ〜Ｈにより出力される
信号Ａ〜Ｈが、図示しないが所定の回路系において、以
下のように加算減算処理されて所定の信号が出力され
る。この例においては、所定の間隔に配置して照射した
上記３本のレーザ光を利用した差動プッシュプル（ＤＰ
Ｐ：Differntial Push-Pull)方式によりトラッキングサ
ーボ信号を得た。即ち、光学記録再生媒体の再生信号＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）ピット再生信号（例えばＥＦＭ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）プッシュプル信号＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ）差動プッシュプル（トラッキングサーボ）信号＝（Ｂ＋
Ｃ）−（Ａ＋Ｄ）−ｋ（Ｅ−Ｆ）＋（Ｇ−Ｈ）（ｋは所定の定数）とする。このような構成による光学
記録再生装置により、以下の実施例において、上述の本
発明構成による光学記録再生媒体の評価を行った。

【００９４】〔実施例〕以下の例においては、スペース
ポジション検出方式においてスペース長を１Ｔとした場
合とした例を示し、フォトレジストより成る感光層の厚
さを変えることにより、ピットの深さｄを１７、２３、
３４、４７、５５ｎｍとして光学記録再生媒体Ａ〜Ｅを
作製した。更に、各々の光学記録再生媒体のカッティン
グ露光パワー、即ち上述の図５において説明した変調光
学系ＯＭ１における露光パワーを変えることにより、ピ
ットの幅ｗを１３０、１５５、１７０、１９０ｎｍとし
変化させた。トラックピッチｐは、上述したように３２
０ｎｍとした。以下の表１に、各例におけるピット信号
量を示す。位相深さｘ（＝λ／ｄ・ｎ）を求める場合に
用いた屈折率ｎは１．４８（上記図３において示す保護
層９の材料の屈折率）、再生用入射光の波長λは上述の
通り４０６ｎｍである。

【００９５】

【表１】

【００９６】この表１から明らかなように、光学記録再
生媒体Ａ、Ｅにおいては安定なトラッキングサーボを行
うことができなかった。しかしながら、光学記録再生媒
体Ｂ、Ｃ、Ｄの全面において、安定なトラッキングサー
ボを行うことができた。

【００９７】更にこの２−７変調のスペースポジション
検出のピット信号を安定に再生できる領域は、光学記録
再生媒体Ｂ、Ｃ、Ｄのピットの幅が１３０ｎｍ以上１７
０ｎｍ以下の範囲であった。ピットの幅が１９０ｎｍの
領域は隣接トラックのクロストーク等の影響でスペース
ポジション検出によるピットの記録信号を安定に再生で
きなかった。即ちこの場合は、ピットの位相深さをλ／
１１．９３ｎ以上λ／５．８４ｎ以下とし、ピットの幅
とトラックピッチとの比を、０．４０６以上０．５９４
以下とする場合に良好に信号の再生を行うことができる
ことがわかる。

【００９８】次に、スペースポジション検出方式におい
てスペース長を０．５Ｔ相当とした場合について、同様
にフォトレジストの深さを変えることによって、ピット
深さを１７ｎｍ、２０ｎｍ、２３ｎｍ、３４ｎｍ、４７
ｎｍ、５３ｎｍの光学記録再生媒体Ｆ〜Ｋを製造した。
更に各光学記録再生媒体のカッティング露光パワー、即
ち上述の図５において説明した変調光学系ＯＭ１におけ
る露光パワーを変えることにより、ピットの幅ｗを１３
０、１５５、１７０、１９０ｎｍとし変化させた。トラ
ックピッチｐは、上述したように３２０ｎｍとした。以
下の表２に、各例におけるピット信号量を示す。位相深
さｘ（＝λ／ｄ・ｎ）を求める場合に用いた屈折率ｎは
１．４８（上記図３において示す保護層９の材料の屈折
率）、再生用入射光の波長λは上述の通り４０６ｎｍで
ある。

【００９９】

【表２】

【０１００】上述の表２において、光学記録再生媒体Ｆ
は、安定なトラッキングサーボを得ることができなかっ
た。光学記録再生媒体Ｇ〜Ｋの全面において、安定なト
ラッキングサーボを得ることができた。更に、２−７変
調のスペースポジション検出を安定に再生できる領域
は、光学記録再生媒体Ｇ〜Ｋの、ピット幅が１３０ｎｍ
以上１７０ｎｍ以下であった。ピット幅が１９０ｎｍの
領域は、隣接トラックのクロストーク等の影響で、スペ
ースポジション検出を安定に再生できなかった。即ち、
この場合においては、ピットの位相深さはλ／１３．７
１ｎ以上λ／５．１８ｎ以下とし、ピットの幅とトラッ
クピッチとの比を、０．４０６以上０．５３１以下とす
る場合に良好に再生信号を得ることができることがわか
る。

【０１０１】前述したように、ＤＶＲのトラックピッチ
０．３２μｍは、カットオフ周波数のトラックピッチ
（０２３９μｍ）の４／３程度しかなく、従来必要とさ
れた３／２未満（０．３２／０．２３９＝１．３３９）
であり、充分なトラッキングサーボ信号振幅（プッシュ
プル信号振幅）が得られない。

【０１０２】しかしながら、上述したように、狭トラッ
クピッチとされても、スペースポジション検出によっ
て、スペース長を１Ｔ相当としてピットを記録した光学
記録再生媒体において、ピットの深さが２３ｎｍ以上４
７ｎｍ以下、即ち位相深さｘを、 λ／１１．９３ｎ≦ｘ≦λ／５．８４ｎとし、且つピットの幅ｗとトラックピッチｐの比を、０．４０６≦ｗ／ｐ≦０．５３１とする最適なピット形状とする場合に、良好なピット信
号の再生特性を実現できた。

【０１０３】更に、１−７変調のスペースポジション検
出（ピットデューティ６８．３％）、ＥＦＭ変調のスペ
ースポジション検出（ピットデューティ７８．８％）の
各方式によるピットを上述のピット形状において行い、
良好なピット信号の再生特性を実現できた。

【０１０４】更に、スペースポジション検出において、
スペース長を０．５Ｔ相当としてピットを記録した光学
記録再生媒体において、位相深さｘを λ／１３．７１ｎ≦ｘ≦５．１８ｎとし、ピットの幅ｗとトラックピッチｐとの比を、０．４０６≦ｗ／ｐ≦０．５３１とすることによって、良好なピット信号の再生特性を実
現できた。

【０１０５】更にこの場合に、１−７変調のスペースポ
ジション検出（ピットデューティ８４．２％）、ＥＦＭ
変調のスペースポジション検出（ピットデューティ８
９．４％）の各方式によるピットを上述のピット形状に
おいて行い、良好なピット信号の再生特性を実現でき
た。

【０１０６】つまり、スペースポジション検出方式にお
いて、スペース長を１Ｔ相当とする場合、即ちピットデ
ューティを６８．３〜７８．８％とする場合も、更にス
ペース長を０．５Ｔ相当として、ピットデューティを８
４．２〜８９．４％とする場合においても、安定したト
ラッキングサーボ及びスペースポジション検出の再生が
可能となることがわかる。ピットデューティが７８．８
％を越え８４．２％未満の領域は、スペースポジション
検出方式においてスペース長を０．５Ｔ〜１Ｔ相当の適
切な値に選定することによって、同様に安定な再生信号
を得ることができる。

【０１０７】更に、スペース長を１Ｔから０．５Ｔとし
たときに、良好なピット信号の再生を行い得るピットの
位相深さｘの範囲が、上述したように、λ／１１．９３
ｎ≦ｘ≦λ／５．８４ｎから、λ／１３．７１ｎ≦ｘ≦
５．１８ｎとなり、最適な位相深さの範囲が広がってい
ることがわかる。つまり、スペース長を１Ｔ〜０．５Ｔ
の間に選定する場合は、安定な再生特性が得られる最適
なピット位相深さの範囲は、スペース長を小さくする程
徐々に広がるものと思われる。従って、スペース長を１
Ｔ〜０．５Ｔの範囲とするとき、ピットの位相深さをλ
／１３．７１ｎ≦ｘ≦λ／５．１８ｎの範囲で適切に選
定することによって、安定な再生信号を得ることができ
ることがわかる。

【０１０８】また、特願２００１−１９９３０３号出願
に示すように、ウォブルグルーブのアドレス情報を安定
に再生できる領域、即ち光学記録再生媒体Ｂ、Ｃ、Ｄ、
Ｇ、Ｈ、Ｉのグルーブ幅が１３０ｎｍ以上１９０ｎｍ以
下のウォブルグルーブ部、この場合再生用光の入射側に
近い面に、１−７変調で記録再生を行い、ディスク全面
においてジッター１０％以下の再生ができ、良好な記録
再生特性を実現できた。

【０１０９】また、図２において説明した例において、
ＤＶＲのＰＩＣ（Permanent Information and Control
Data）領域、即ち一般にはＴＯＣと同様に規定される領
域に、スペースポジション検出方式のピットを設ける構
成とすることもできる。また、狭トラックピッチのスペ
ースポジション検出のピットのみを形成する場合にも、
同様に良好な記録再生特性を得ることができた。

【０１１０】更に、ピットとグルーブが混在するフォー
マットに用いることもできる。尚、トラックピッチをカ
ットオフ周波数に対応するトラックピッチの３／２倍以
上とするときは、ピットのフォーマットが前述のエッジ
検出フォーマット等による場合においても充分なプッシ
ュプル信号が得られることから、本発明においては、カ
ットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／２以
下のトラックピッチとするものである。

【０１１１】上述したように、本発明においては、ラン
ドグルーブ記録方式を採る場合と同様に、トラック密度
を従来の２倍に高密度化をはかり、ピット信号の良好な
再生特性を実現できた。読み取り面に近い側にグルーブ
をピットと混在して形成し、フォーカス点を変えること
なく良好なピット信号の再生特性とグルーブの記録再生
特性を両立できる光学記録再生媒体を提供することがで
きる。

【０１１２】以上本発明の実施の形態と実施例の各例を
説明したが、本発明は上述の実施例に限定されることな
く、相変化材料による記録層等の各層の材料構成を変更
するとか、またその他例えば記録層として光磁気記録
層、色素材料層を用いる場合や基板材料や構成等、本発
明構成を逸脱しない範囲で種々の変形変更が可能である
ことはいうまでもない。

【０１１３】また、情報としては記録情報に限定される
ことなく、信号の記録再生や或いは情報及び信号の記録
再生両方の機能を有する光学記録再生媒体、光学記録再
生媒体製造用スタンパ及び光学記録再生装置にも適用す
ることができる。

【０１１４】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、ピッ
トをスペースポジション検出により記録することによっ
て、ピット部におけるトラッキングサーボ信号振幅（プ
ッシュプル信号振幅）の半減を回避することができ、Ｄ
ＶＲ−ＲＯＭ等の、高記録密度化に伴い０．３２μｍ程
度に狭トラックピッチ化された光学記録再生媒体におい
ても、充分なトラッキングサーボ信号振幅が得られ、良
好なピット情報の記録再生特性を保持することができ
る。

【０１１５】また、スペースポジション検出方式は、光
学記録再生媒体を製造する際に、感光層をパターン露光
する信号を制御するのみの簡単な方法で形成することが
できることから、その製造にあたって煩雑な作業を含む
ことなく、従来構成の光学記録装置によって良好な生産
性をもって製造することができる。

【０１１６】更に本発明によれば、ピットとグルーブと
を混在させるフォーマットであり、且つピットとグルー
ブとが同一のトラックピッチで形成される光学記録再生
媒体またはこれを用いた光学記録再生装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ピットの記録方式の説明図である。

【図２】光学記録再生媒体の一例の説明図である。

【図３】光学記録再生媒体の一例の略線的拡大断面図で
ある。

【図４】Ａは光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の
製造工程図である。Ｂは光学記録再生媒体製造用スタン
パの一例の製造工程図である。Ｃは光学記録再生媒体製
造用スタンパの一例の製造工程図である。

【図５】光学記録装置の一例の構成図である。

【図６】光学記録再生装置の一例の構成図である。

【符号の説明】

１基板、３ピット、４グルーブ、５反射層、６
第１の誘電体層、７記録層、８第２の誘電体層、９
保護層、１０光学記録再生媒体、１１原盤用基
板、１２感光層、１３ピットパターン、１３ｎ反
転ピットパターン、１４グルーブパターン、１４ｎ
反転グルーブパターン、１５スタンパ、１６マザー
スタンパ、２０光源、２１電気光学変調器、２２
検光子、２４フォトディテクタ、２５、駆動用ドライ
バ、２６駆動用ドライバ、４０移動光学テーブル、４
７ウェッジプリズム、４８音響光学偏向器、４９
ウェッジプリズム、５０駆動用ドライバ、５１電圧
制御発振器、５２対物レンズ、５４光ピックアップ
６１光源、６２コリメートレンズ、６３グレー
ティング、６４偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、６
５１／４波長板、６６光ピックアップ、６７磁気
ヘッド、６８回転手段、７０偏光ビームスプリッ
タ、７１組み合わせレンズ、７２フォトダイオー
ド、７３ディテクタ、７４レンズ、７５フォトダ
イオード、７６ディテクタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ 11/105 ５２１ 11/105 ５２１Ｆ５２１Ｈ５４６５４６Ｄ (72)発明者秀田育弘宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野境 30番地ソニー宮城株式会社内Ｆターム(参考） 5D029 WA02 WA26 WB11 WB17 WD01 WD10 5D075 AA03 CC21 EE03 FG18 GG06 GG14 5D090 AA01 BB05 BB07 BB10 CC14 FF15 GG02 GG03 5D121 CA03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】記録情報に対応するピットが記録トラッ
クに沿って形成された光学記録再生媒体にあって、上記ピットの記録フォーマットが、ピットポジション検
出フォーマットの凹凸を逆にしたフォーマットとされて
成り、上記ピットのトラックピッチが、上記光学記録再生媒体
の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズ
の開口数ＮＡに対応するカットオフ周波数のトラックピ
ッチの４／３以上３／２以下とされて成ることを特徴と
する光学記録再生媒体。
【請求項２】上記光学記録再生媒体の記録情報を再生
する再生用光の波長をλ、上記光学記録再生媒体の再生
用光の入射側から上記ピットに至る媒質の屈折率をｎと
したときに、上記ピットの位相深さｘが、 λ／１３．７１ｎ≦ｘ≦λ／５．１８ｎとされ、また上記ピットの幅ｗと、上記ピットのトラッ
クピッチｐとの比が、０．４０６≦ｗ／ｐ≦０．５３１とされて成ることを特徴とする請求項１に記載の光学記
録再生媒体。
【請求項３】上記ピットの変調方式が、１−７変調方
式、２−７変調方式又はＥＦＭ変調方式のうちのどれか
１つの方式とされて成ることを特徴とする請求項１又は
２に記載の光学記録再生媒体。
【請求項４】上記ピットの上記記録トラックの延長方
向に沿う方向の密度が、６８．３％以上８９．４％以下
とされて成ることを特徴とする請求項１又は２に記載の
光学記録再生媒体。
【請求項５】上記光学記録再生媒体が、成形された基
板上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成り、上記基板にはグルーブが形成され、上記光学記録再生媒
体の記録情報を再生する再生用光の入射側に近い面が上
記グルーブのグルーブ面とされ、上記グルーブ面のみに
記録情報が記録されて成ることを特徴とする請求項１、
２、３又は４に記載の光学記録再生媒体。
【請求項６】上記グルーブがウォブルグルーブとされ
て成ることを特徴とする請求項５に記載の光学記録再生
媒体。
【請求項７】上記グルーブのトラックピッチが上記ピ
ットのトラックピッチと同一とされて成ることを特徴と
する請求項５又は６に記載の光学記録再生媒体。
【請求項８】上記ピット及び上記グルーブが形成され
る記録トラックが、スパイラル状の軌跡を描いて形成さ
れて成ることを特徴とする請求項５、６又は７に記載の
光学記録再生媒体。
【請求項９】上記ピットと上記グルーブが混在して形
成されて成ることを特徴とする請求項５、６、７又は８
に記載の光学記録再生媒体。
【請求項１０】記録情報に対応するピットが記録トラ
ックに沿って形成された光学記録再生媒体を製造するた
めの光学記録再生媒体製造用スタンパにあって、上記ピットに対応するピットパターンの記録フォーマッ
トが、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆に
したフォーマットとされて成り、上記ピットパターンのトラックピッチが、上記光学記録
再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対
物レンズの開口数ＮＡに対応するカットオフ周波数のト
ラックピッチの４／３以上３／２以下とされて成ること
を特徴とする光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１１】上記光学記録再生媒体の記録情報を再
生する再生用光の波長をλ、上記光学記録再生媒体の再
生用光の入射側から上記ピットに至る媒質の屈折率をｎ
としたときに、上記ピットパターンの位相深さｘ’が、 λ／１３．７１ｎ≦ｘ’≦λ／５．１８ｎとされ、また上記ピットパターンの幅ｗ’と、上記ピッ
トパターンのトラックピッチｐ’との比が、０．４０６≦ｗ’／ｐ’≦０．５３１とされて成ることを特徴とする請求項１０に記載の光学
記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１２】上記ピットの変調方式が、１−７変調
方式、２−７変調方式又はＥＦＭ変調方式のうちのどれ
か１つの方式とされて成ることを特徴とする請求項１０
又は１１に記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１３】上記ピットパターンの上記記録トラッ
クの延長方向に沿う方向の密度が、６８．３％以上８
９．４％以下とされて成ることを特徴とする上記請求項
１０又は１１に記載の光学記録再生媒体製造用スタン
パ。
【請求項１４】上記スタンパにグルーブパターンが形
成されて成ることを特徴とする請求項１０、１１、１２
又は１３に記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１５】上記グルーブパターンがウォブルグル
ーブパターンとされて成ることを特徴とする請求項１４
に記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１６】上記グルーブパターンのトラックピッ
チが上記ピットパターンのトラックピッチと同一とされ
て成ることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の光
学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１７】上記ピットパターン及び上記グルーブ
パターンが、スパイラル状の軌跡を描いて形成されて成
ることを特徴とする請求項１４、１５又は１６に記載の
光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１８】上記ピットパターンと上記グルーブパ
ターンが混在して形成されて成ることを特徴とする請求
項１４、１５、１６又は１７に記載の光学記録再生媒体
製造用スタンパ。
【請求項１９】記録情報に対応するピットが記録トラ
ックに沿って形成された光学記録再生媒体を用いる光学
記録再生装置にあって、上記光学記録再生媒体の上記ピットの記録フォーマット
が、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆にし
たフォーマットとされて成り、上記光学記録再生媒体の上記ピットのトラックピッチ
が、上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用
光の波長λ及び対物レンズの開口数ＮＡに対応するカッ
トオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／２以下
とされて成ることを特徴とする光学記録再生装置。
【請求項２０】上記光学記録再生媒体の記録情報を再
生する再生用光の波長をλ、上記光学記録再生媒体の再
生用光の入射側から上記ピットに至る媒質の屈折率をｎ
としたときに、上記ピットの位相深さｘが、 λ／１３．７１ｎ≦ｘ≦λ／５．１８ｎとされ、また上記ピットの幅ｗと、上記ピットのトラッ
クピッチｐとの比が、０．４０６≦ｗ／ｐ≦０．５３１とされて成ることを特徴とする請求項１９に記載の光学
記録再生装置。
【請求項２１】上記光学記録再生媒体の上記ピットの
変調方式が、１−７変調方式、２−７変調方式又はＥＦ
Ｍ変調方式のうちのどれか１つの方式とされて成ること
を特徴とする請求項１９又は２０に記載の光学記録再生
装置。
【請求項２２】上記光学記録再生媒体の上記ピットの
上記記録トラックの延長方向に沿う方向の密度が、６
８．３％以上８９．４％以下とされて成ることを特徴と
する請求項１９又は２０に記載の光学記録再生装置。
【請求項２３】上記光学記録再生媒体が、成形された
基板上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成
り、上記基板にはグルーブが形成され、上記光学記録再生媒
体の記録情報を再生する再生用光の入射側に近い面が上
記グルーブのグルーブ面とされ、上記グルーブ面のみに
記録情報が記録されて成ることを特徴とする請求項１
９、２０、２１又は２２に記載の光学記録再生装置。
【請求項２４】上記光学記録再生媒体の上記グルーブ
がウォブルグルーブとされて成ることを特徴とする請求
項２３に記載の光学記録再生装置。
【請求項２５】上記光学記録再生媒体の上記グルーブ
のトラックピッチが上記ピットのトラックピッチと同一
とされて成ることを特徴とする請求項２３又は２４に記
載の光学記録再生装置。
【請求項２６】上記光学記録再生媒体の上記ピット及
び上記グルーブが形成される記録トラックが、スパイラ
ル状の軌跡を描いて形成されて成ることを特徴とする請
求項２３、２４又は２５に記載の光学記録再生装置。
【請求項２７】上記光学記録再生媒体の上記ピットと
上記グルーブが混在して形成されて成ることを特徴とす
る請求項２３、２４、２５又は２６に記載の光学記録再
生装置。