JP2003279944A - 液晶表示装置 - Google Patents
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
- G02F1/134363—Electrodes characterised by their geometrical arrangement for applying an electric field parallel to the substrate, i.e. in-plane switching [IPS]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゲート信号線に供給される走査信号の波形遅
延を低減させる。 【解決手段】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれ
た領域を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号に
よって作動されるスイッチング素子と、このスイッチン
グ素子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給さ
れる画素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電
極との間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記
対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行
方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を
介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号
線と同層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材
料からなる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積
層体から構成されているとともに、前記対向電圧信号線
の下方の前記無機材料からなる保護膜の一部に孔開けが
なされている。
延を低減させる。 【解決手段】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれ
た領域を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号に
よって作動されるスイッチング素子と、このスイッチン
グ素子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給さ
れる画素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電
極との間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記
対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行
方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を
介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号
線と同層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材
料からなる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積
層体から構成されているとともに、前記対向電圧信号線
の下方の前記無機材料からなる保護膜の一部に孔開けが
なされている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に係
り、特に、いわゆる横電界方式と称される液晶表示装置
に関する。
り、特に、いわゆる横電界方式と称される液晶表示装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】横電界方式と称される液晶表示装置は、
液晶を介して対向配置される各基板の一方の基板の液晶
側の面の画素領域に、画素電極とこの画素電極との間に
電界を発生せしめる対向電極とを備え、該電界のうち基
板とほぼ平行な成分によって液晶を挙動させる構成とな
っている。
液晶を介して対向配置される各基板の一方の基板の液晶
側の面の画素領域に、画素電極とこの画素電極との間に
電界を発生せしめる対向電極とを備え、該電界のうち基
板とほぼ平行な成分によって液晶を挙動させる構成とな
っている。
【0003】そして、このような構成をアクティブマト
リクス型のものに適用させたものは、まず、前記一方の
基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線と
これら各ゲート信号線と交差するようにして並設された
複数のドレイン信号線とで囲まれた各領域を前記画素領
域としている。
リクス型のものに適用させたものは、まず、前記一方の
基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線と
これら各ゲート信号線と交差するようにして並設された
複数のドレイン信号線とで囲まれた各領域を前記画素領
域としている。
【0004】そして、これら各画素領域に、ゲート信号
線からの走査信号によって作動する薄膜トランジスタ
と、この薄膜トランジスタを介してドレイン信号線から
の映像信号が供給される前記画素電極と、該映像信号に
対して基準となる信号が供給される前記対向電極とが備
えられている。
線からの走査信号によって作動する薄膜トランジスタ
と、この薄膜トランジスタを介してドレイン信号線から
の映像信号が供給される前記画素電極と、該映像信号に
対して基準となる信号が供給される前記対向電極とが備
えられている。
【0005】ここで、画素電極と対向電極はそれぞれ一
方向に延在する帯状のパターンとして形成され、それら
各電極は2個あるいはそれ以上の個数で形成して交互に
配置させるのが通常である。
方向に延在する帯状のパターンとして形成され、それら
各電極は2個あるいはそれ以上の個数で形成して交互に
配置させるのが通常である。
【0006】また、このような構成において、対向電極
をドレイン信号線をも被って形成される絶縁膜の上面に
形成させるとともに、該ドレイン信号線とその中心軸を
ほぼ一致させ該ドレイン信号線の幅よりも大きな幅を有
して該ドレイン信号線に沿って形成された構成のものも
知られている。
をドレイン信号線をも被って形成される絶縁膜の上面に
形成させるとともに、該ドレイン信号線とその中心軸を
ほぼ一致させ該ドレイン信号線の幅よりも大きな幅を有
して該ドレイン信号線に沿って形成された構成のものも
知られている。
【0007】ドレイン信号線からの電気力線がその上方
の対向電極に終端させやすくし、画素電極に終端させる
のを防止するためである。画素電極に該電気力線が終端
するとそれがノイズとなってしまうからである。
の対向電極に終端させやすくし、画素電極に終端させる
のを防止するためである。画素電極に該電気力線が終端
するとそれがノイズとなってしまうからである。
【0008】そして、前記各対向電極は、ゲート信号線
をも被って形成される絶縁膜の上面に形成された対向電
圧信号線と同層かつ一体に形成され、この対向電圧信号
線を介して該各対向電極に基準信号を供給するようにな
っている。
をも被って形成される絶縁膜の上面に形成された対向電
圧信号線と同層かつ一体に形成され、この対向電圧信号
線を介して該各対向電極に基準信号を供給するようにな
っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成からなる液晶表示装置は、ゲート信号線と対向
電圧信号線との間に寄生容量が発生し、この寄生容量に
よって、ゲート信号線に供給される走査信号に波形遅延
が生じることが指摘されるに至った。そして、液晶表示
装置の大型にともない、ゲート信号線の長さが大きくな
ってきている近年において、該走査信号の波形遅延をな
くすことが大きな課題となってきている。本発明は、こ
のような事情によってなされたもので、その目的は、ゲ
ート信号線に供給される走査信号の波形遅延をなくした
液晶表示装置を提供することにある。また、本発明の他
の目的は、ドレイン信号線に供給される映像信号の波形
遅延をなくした液晶表示装置を提供することにある。
うな構成からなる液晶表示装置は、ゲート信号線と対向
電圧信号線との間に寄生容量が発生し、この寄生容量に
よって、ゲート信号線に供給される走査信号に波形遅延
が生じることが指摘されるに至った。そして、液晶表示
装置の大型にともない、ゲート信号線の長さが大きくな
ってきている近年において、該走査信号の波形遅延をな
くすことが大きな課題となってきている。本発明は、こ
のような事情によってなされたもので、その目的は、ゲ
ート信号線に供給される走査信号の波形遅延をなくした
液晶表示装置を提供することにある。また、本発明の他
の目的は、ドレイン信号線に供給される映像信号の波形
遅延をなくした液晶表示装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。 手段1.本発明による液晶表示装置は、たとえば、液晶
を介して対向配置される各基板のうち一方の基板の液晶
側の面に、並設された複数のゲート信号線とこれらゲー
ト信号線に交差して並設された複数のドレイン信号線と
が形成され、これら信号線に囲まれた領域を画素領域と
し、ゲート信号線からの走査信号によって作動されるス
イッチング素子と、このスイッチング素子を介してドレ
イン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、対
向電圧信号線に接続され前記画素電極との間に電界を生
じせしめる対向電極とを備え、前記対向電極は、絶縁膜
を介して前記ドレイン信号線の走行方向に沿って重畳さ
れるものを含むとともに、絶縁膜を介して前記ゲート信
号線と重畳される前記対向電圧信号線と同層に形成さ
れ、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜
と有機材料からなる保護膜との順次積層体から構成され
ているとともに、前記対向電圧信号線の下方の前記無機
材料からなる保護膜の一部に孔開けがなされていること
を特徴とするものである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。 手段1.本発明による液晶表示装置は、たとえば、液晶
を介して対向配置される各基板のうち一方の基板の液晶
側の面に、並設された複数のゲート信号線とこれらゲー
ト信号線に交差して並設された複数のドレイン信号線と
が形成され、これら信号線に囲まれた領域を画素領域と
し、ゲート信号線からの走査信号によって作動されるス
イッチング素子と、このスイッチング素子を介してドレ
イン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、対
向電圧信号線に接続され前記画素電極との間に電界を生
じせしめる対向電極とを備え、前記対向電極は、絶縁膜
を介して前記ドレイン信号線の走行方向に沿って重畳さ
れるものを含むとともに、絶縁膜を介して前記ゲート信
号線と重畳される前記対向電圧信号線と同層に形成さ
れ、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜
と有機材料からなる保護膜との順次積層体から構成され
ているとともに、前記対向電圧信号線の下方の前記無機
材料からなる保護膜の一部に孔開けがなされていること
を特徴とするものである。
【0011】手段2.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされていることを特徴と
するものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされていることを特徴と
するものである。
【0012】手段3.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段2の構成を前提として、画素電極はドレイ
ン信号線の走行方向に延在された帯状のパターンをなす
とともに、前記対向電圧信号線に形成された孔に近接し
て配置される前記画素電極の一端はゲート信号線に重畳
されることなく該対向電圧信号線に重畳されていること
を特徴とするものである。
とえば、手段2の構成を前提として、画素電極はドレイ
ン信号線の走行方向に延在された帯状のパターンをなす
とともに、前記対向電圧信号線に形成された孔に近接し
て配置される前記画素電極の一端はゲート信号線に重畳
されることなく該対向電圧信号線に重畳されていること
を特徴とするものである。
【0013】手段4.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段2の構成を前提として、スイッチング素子
は薄膜トランジスタから構成され、ゲート信号線GLは
該薄膜トランジスタのゲート絶縁膜を兼ねる絶縁膜、無
機材料からなる保護膜、および有機材料からなる保護膜
との順次積層体によって形成されているとともに、無機
材料からなる前記保護膜に形成される孔はその下層の前
記絶縁膜に貫通して形成されていることを特徴とするも
のである。
とえば、手段2の構成を前提として、スイッチング素子
は薄膜トランジスタから構成され、ゲート信号線GLは
該薄膜トランジスタのゲート絶縁膜を兼ねる絶縁膜、無
機材料からなる保護膜、および有機材料からなる保護膜
との順次積層体によって形成されているとともに、無機
材料からなる前記保護膜に形成される孔はその下層の前
記絶縁膜に貫通して形成されていることを特徴とするも
のである。
【0014】手段5.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段4の構成を前提として、無機材料からなる
前記保護膜および絶縁膜に形成される孔はゲート信号線
の走行方向に平行な各辺部を露出させることなく形成さ
れていることを特徴とするものである。
とえば、手段4の構成を前提として、無機材料からなる
前記保護膜および絶縁膜に形成される孔はゲート信号線
の走行方向に平行な各辺部を露出させることなく形成さ
れていることを特徴とするものである。
【0015】手段6.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされ、かつ、前記基板の
うち他方の基板の液晶側の面に形成された支柱状のスペ
ーサの頂部が前記対向電圧信号線に形成された孔に対向
するようにして設けられているとともに、該スペーサは
前記液晶の誘電率より小さい誘電率の材料で構成されて
いることを特徴とするものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされ、かつ、前記基板の
うち他方の基板の液晶側の面に形成された支柱状のスペ
ーサの頂部が前記対向電圧信号線に形成された孔に対向
するようにして設けられているとともに、該スペーサは
前記液晶の誘電率より小さい誘電率の材料で構成されて
いることを特徴とするものである。
【0016】手段7.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされ、かつ、前記基板の
うち他方の基板の液晶側の面に少なくとも前記対向電圧
信号線と対向するブラックマトリクスが形成され、この
ブラックマトリクスの抵抗が108Ω・cm以下に設定
されていることを特徴とするものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされ、かつ、前記基板の
うち他方の基板の液晶側の面に少なくとも前記対向電圧
信号線と対向するブラックマトリクスが形成され、この
ブラックマトリクスの抵抗が108Ω・cm以下に設定
されていることを特徴とするものである。
【0017】手段8.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、前記絶縁膜は、
少なくとも無機材料からなる保護膜と有機材料からなる
保護膜との順次積層体から構成されているとともに、前
記ドレイン信号線の上方であって対向電極の下方の一部
に前記無機材料からなる保護膜の一部に孔開けがなされ
ていることを特徴とするものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、前記絶縁膜は、
少なくとも無機材料からなる保護膜と有機材料からなる
保護膜との順次積層体から構成されているとともに、前
記ドレイン信号線の上方であって対向電極の下方の一部
に前記無機材料からなる保護膜の一部に孔開けがなされ
ていることを特徴とするものである。
【0018】手段9.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされ、かつ、前記基板の
うち他方の基板の液晶側の面に形成された支柱状のスペ
ーサの頂部が前記対向電圧信号線に形成された孔部に対
向していることを特徴するものである。なお、本発明は
以上の構成に限定されず、本発明の技術思想を逸脱しな
い範囲で種々の変更が可能である。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設された複数のドレ
イン信号線とが形成され、これら信号線に囲まれた領域
を画素領域とし、ゲート信号線からの走査信号によって
作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素子
を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画
素電極と、対向電圧信号線に接続され前記画素電極との
間に電界を生じせしめる対向電極とを備え、前記対向電
極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の走行方向に
沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁膜を介して
前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧信号線と同
層に形成され、前記絶縁膜は、少なくとも無機材料から
なる保護膜と有機材料からなる保護膜との順次積層体か
ら構成され、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされているととも
に、該対向電圧信号線に前記孔の形成領域内に該孔より
小さな面積を有する孔開けがなされ、かつ、前記基板の
うち他方の基板の液晶側の面に形成された支柱状のスペ
ーサの頂部が前記対向電圧信号線に形成された孔部に対
向していることを特徴するものである。なお、本発明は
以上の構成に限定されず、本発明の技術思想を逸脱しな
い範囲で種々の変更が可能である。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明による液晶表示装置
の実施例を図面を用いて説明をする。 実施例1. 《全体の構成》図2は、本発明による液晶表示装置の一
実施例を示す構成図である。同図は等価回路図である
が、実際の幾何学的配置に対応させて描いている。同図
において、液晶を介して互いに対向配置される一対の透
明基板SUB1、SUB2があり、該液晶は一方の透明
基板SUB1に対する他方の透明基板SUB2の固定を
兼ねるシール材SLによって封入されている。
の実施例を図面を用いて説明をする。 実施例1. 《全体の構成》図2は、本発明による液晶表示装置の一
実施例を示す構成図である。同図は等価回路図である
が、実際の幾何学的配置に対応させて描いている。同図
において、液晶を介して互いに対向配置される一対の透
明基板SUB1、SUB2があり、該液晶は一方の透明
基板SUB1に対する他方の透明基板SUB2の固定を
兼ねるシール材SLによって封入されている。
【0020】シール材SLによって囲まれた前記一方の
透明基板SUB1の液晶側の面には、そのx方向に延在
しy方向に並設されたゲート信号線GLとy向に延在し
x方向に並設されたドレイン信号線DLとが形成されて
いる。
透明基板SUB1の液晶側の面には、そのx方向に延在
しy方向に並設されたゲート信号線GLとy向に延在し
x方向に並設されたドレイン信号線DLとが形成されて
いる。
【0021】各ゲート信号線GLと各ドレイン信号線D
Lとで囲まれた領域は画素領域を構成するとともに、こ
れら各画素領域のマトリクス状の集合体は液晶表示部A
Rを構成するようになっている。
Lとで囲まれた領域は画素領域を構成するとともに、こ
れら各画素領域のマトリクス状の集合体は液晶表示部A
Rを構成するようになっている。
【0022】また、x方向に並設される各画素領域のそ
れぞれにはそれら各画素領域内に走行された共通の対向
電圧信号線CLが形成されている。この対向電圧信号線
CLは各画素領域の後述する対向電極CTに映像信号に
対して基準となる電圧を供給するための信号線となるも
のである。
れぞれにはそれら各画素領域内に走行された共通の対向
電圧信号線CLが形成されている。この対向電圧信号線
CLは各画素領域の後述する対向電極CTに映像信号に
対して基準となる電圧を供給するための信号線となるも
のである。
【0023】各画素領域には、その片側のゲート信号線
GLからの走査信号によって作動される薄膜トランジス
タTFTと、この薄膜トランジスタTFTを介して片側
のドレイン信号線DLからの映像信号が供給される画素
電極PXが形成されている。この画素電極PXは、前記
対向電圧信号線CLと接続された対向電極CTとの間に
電界を発生させ、この電界によって液晶の光透過率を制
御させるようになっている。
GLからの走査信号によって作動される薄膜トランジス
タTFTと、この薄膜トランジスタTFTを介して片側
のドレイン信号線DLからの映像信号が供給される画素
電極PXが形成されている。この画素電極PXは、前記
対向電圧信号線CLと接続された対向電極CTとの間に
電界を発生させ、この電界によって液晶の光透過率を制
御させるようになっている。
【0024】前記ゲート信号線GLのそれぞれの一端は
前記シール材SLを超えて延在され、その延在端は垂直
走査駆動回路Vの出力端子が接続される端子を構成する
ようになっている。また、前記垂直走査駆動回路Vの入
力端子は液晶表示パネルの外部に配置されたプリント基
板からの信号が入力されるようになっている。
前記シール材SLを超えて延在され、その延在端は垂直
走査駆動回路Vの出力端子が接続される端子を構成する
ようになっている。また、前記垂直走査駆動回路Vの入
力端子は液晶表示パネルの外部に配置されたプリント基
板からの信号が入力されるようになっている。
【0025】垂直走査駆動回路Vは複数個の半導体装置
からなり、互いに隣接する複数のゲート信号線GLどお
しがグループ化され、これら各グループ毎に一個の半導
体装置があてがわれるようになっている。
からなり、互いに隣接する複数のゲート信号線GLどお
しがグループ化され、これら各グループ毎に一個の半導
体装置があてがわれるようになっている。
【0026】同様に、前記ドレイン信号線DLのそれぞ
れの一端は前記シール材SLを超えて延在され、その延
在端は映像信号駆動回路Heの出力端子が接続される端
子を構成するようになっている。また、前記映像信号駆
動回路Heの入力端子は液晶表示パネルの外部に配置さ
れたプリント基板からの信号が入力されるようになって
いる。
れの一端は前記シール材SLを超えて延在され、その延
在端は映像信号駆動回路Heの出力端子が接続される端
子を構成するようになっている。また、前記映像信号駆
動回路Heの入力端子は液晶表示パネルの外部に配置さ
れたプリント基板からの信号が入力されるようになって
いる。
【0027】この映像信号駆動回路Heも複数個の半導
体装置からなり、互いに隣接する複数のドレイン信号線
DLどおしがグループ化され、これら各グループ毎に一
個の半導体装置があてがわれるようになっている。
体装置からなり、互いに隣接する複数のドレイン信号線
DLどおしがグループ化され、これら各グループ毎に一
個の半導体装置があてがわれるようになっている。
【0028】また、前記対向電圧信号線CLは図中右側
の端部で共通に接続され、その接続線はシール材SLを
超えて延在され、その延在端において端子CLTを構成
している。この端子CLTからは映像信号に対して基準
となる電圧が供給されるようになっている。
の端部で共通に接続され、その接続線はシール材SLを
超えて延在され、その延在端において端子CLTを構成
している。この端子CLTからは映像信号に対して基準
となる電圧が供給されるようになっている。
【0029】前記各ゲート信号線GLは、垂直走査回路
Vからの走査信号によって、その一つが順次選択される
ようになっている。また、前記各ドレイン信号線DLの
それぞれには、映像信号駆動回路Heによって、前記ゲ
ート信号線GLの選択のタイミングに合わせて映像信号
が供給されるようになっている。
Vからの走査信号によって、その一つが順次選択される
ようになっている。また、前記各ドレイン信号線DLの
それぞれには、映像信号駆動回路Heによって、前記ゲ
ート信号線GLの選択のタイミングに合わせて映像信号
が供給されるようになっている。
【0030】なお、上述した実施例では、垂直走査駆動
回路Vおよび映像信号駆動回路Heは透明基板SUB1
に搭載された半導体装置を示したものであるが、たとえ
ば透明基板SUB1とプリント基板との間を跨って接続
されるいわゆるテープキャリア方式の半導体装置であっ
てもよく、さらに、前記薄膜トランジスタTFTの半導
体層が多結晶シリコン(p−Si)から構成される場
合、透明基板SUB1面に前記多結晶シリコンからなる
半導体素子を配線層とともに形成されたものであっても
よい。
回路Vおよび映像信号駆動回路Heは透明基板SUB1
に搭載された半導体装置を示したものであるが、たとえ
ば透明基板SUB1とプリント基板との間を跨って接続
されるいわゆるテープキャリア方式の半導体装置であっ
てもよく、さらに、前記薄膜トランジスタTFTの半導
体層が多結晶シリコン(p−Si)から構成される場
合、透明基板SUB1面に前記多結晶シリコンからなる
半導体素子を配線層とともに形成されたものであっても
よい。
【0031】《画素の構成》図1は、前記画素領域の構
成の一実施例を示し、図1(a)は平面図を、図1
(b)は図1(a)のb−b線における断面図を、図1
(c)は図1(a)のc−c線における断面図を示して
いる。
成の一実施例を示し、図1(a)は平面図を、図1
(b)は図1(a)のb−b線における断面図を、図1
(c)は図1(a)のc−c線における断面図を示して
いる。
【0032】各図において、透明基板SUB1の液晶側
の面に、まず、x方向に延在しy方向に並設される一対
のゲート信号線GLが形成されている。これらゲート信
号線GLは後述の一対のドレイン信号線DLとともに矩
形状の領域を囲むようになっており、この領域を画素領
域として構成するようになっている。
の面に、まず、x方向に延在しy方向に並設される一対
のゲート信号線GLが形成されている。これらゲート信
号線GLは後述の一対のドレイン信号線DLとともに矩
形状の領域を囲むようになっており、この領域を画素領
域として構成するようになっている。
【0033】また、前記各ゲート信号線GLの中央には
該ゲート信号線GLと平行に対向電圧信号線CL1が走
行して形成されている。この対向電圧信号線CL1はた
とえばゲート信号線GLの形成の際に同時に形成される
ようになっている。このようにゲート信号線GLおよび
対向電圧信号線CL1が形成された透明基板SUB1の
表面にはたとえばSiO2からなる絶縁膜GIが該ゲー
ト信号線GL等をも被って形成されている。
該ゲート信号線GLと平行に対向電圧信号線CL1が走
行して形成されている。この対向電圧信号線CL1はた
とえばゲート信号線GLの形成の際に同時に形成される
ようになっている。このようにゲート信号線GLおよび
対向電圧信号線CL1が形成された透明基板SUB1の
表面にはたとえばSiO2からなる絶縁膜GIが該ゲー
ト信号線GL等をも被って形成されている。
【0034】この絶縁膜GIは、後述のドレイン信号線
DLの形成領域においては前記ゲート信号線GLおよび
対向電圧信号線CL1に対する層間絶縁膜としての機能
を、後述の薄膜トランジスタTFTの形成領域において
はそのゲート絶縁膜としての機能等を有するようになっ
ている。
DLの形成領域においては前記ゲート信号線GLおよび
対向電圧信号線CL1に対する層間絶縁膜としての機能
を、後述の薄膜トランジスタTFTの形成領域において
はそのゲート絶縁膜としての機能等を有するようになっ
ている。
【0035】そして、この絶縁膜GIの表面であって、
前記ゲート信号線GLの一部に重畳するようにしてたと
えばアモルファスSiからなる半導体層ASが形成され
ている。この半導体層ASは、薄膜トランジスタTFT
のそれであって、その上面にドレイン電極SD1および
ソース電極SD2を形成することにより、ゲート信号線
の一部をゲート電極とする逆スタガ構造のMIS型トラ
ンジスタを構成することができる。
前記ゲート信号線GLの一部に重畳するようにしてたと
えばアモルファスSiからなる半導体層ASが形成され
ている。この半導体層ASは、薄膜トランジスタTFT
のそれであって、その上面にドレイン電極SD1および
ソース電極SD2を形成することにより、ゲート信号線
の一部をゲート電極とする逆スタガ構造のMIS型トラ
ンジスタを構成することができる。
【0036】ここで、前記ドイレン電極SD1およびソ
ース電極SD2はドレイン信号線DLの形成の際に同時
に形成されるようになっている。すなわち、y方向に延
在されx方向に並設されるドレイン信号線DLが形成さ
れ、その一部が前記半導体層ASの上面にまで延在され
てドレイン電極SD1が形成され、また、このドレイン
電極SD1と薄膜トランジスタTFTのチャネル長分だ
け離間されてソース電極SD2が形成されている。
ース電極SD2はドレイン信号線DLの形成の際に同時
に形成されるようになっている。すなわち、y方向に延
在されx方向に並設されるドレイン信号線DLが形成さ
れ、その一部が前記半導体層ASの上面にまで延在され
てドレイン電極SD1が形成され、また、このドレイン
電極SD1と薄膜トランジスタTFTのチャネル長分だ
け離間されてソース電極SD2が形成されている。
【0037】また、このソース電極SD2は画素領域内
に形成される画素電極PXと一体に形成されている。す
なわち、画素電極PXは画素領域内をそのy方向に延在
しx方向に並設された複数(図では2本)の電極群から
構成されている。このうちの一つの画素電極PXの一方
の端部は前記ソース電極SD2を兼ね、また、ほぼ中央
部の対向電圧信号線CL上では隣接する他の画素電極P
Xの対応する個所にて互いに電気的接続が図れるように
なっている。
に形成される画素電極PXと一体に形成されている。す
なわち、画素電極PXは画素領域内をそのy方向に延在
しx方向に並設された複数(図では2本)の電極群から
構成されている。このうちの一つの画素電極PXの一方
の端部は前記ソース電極SD2を兼ね、また、ほぼ中央
部の対向電圧信号線CL上では隣接する他の画素電極P
Xの対応する個所にて互いに電気的接続が図れるように
なっている。
【0038】このように薄膜トランジスタTFT、ドイ
レン信号線DL、ドレイン電極SD1、ソース電極SD
2、および画素電極PXが形成された透明基板SUB1
の表面には保護膜が形成されている。この保護膜は前記
薄膜トランジスタTFTの液晶との直接の接触を回避す
る膜で、該薄膜トランジスタTFTの特性劣化を防止せ
んとするようになっている。
レン信号線DL、ドレイン電極SD1、ソース電極SD
2、および画素電極PXが形成された透明基板SUB1
の表面には保護膜が形成されている。この保護膜は前記
薄膜トランジスタTFTの液晶との直接の接触を回避す
る膜で、該薄膜トランジスタTFTの特性劣化を防止せ
んとするようになっている。
【0039】なお、この保護膜は、たとえばSiNのよ
うな無機材料層からなる保護膜OPASと、たとえば樹
脂等の有機材料層からなる保護膜PASの順次積層体か
ら構成されている。このように保護膜として少なくとも
有機材料層を用いているのは保護膜それ自体の誘電率を
低減させることにある。
うな無機材料層からなる保護膜OPASと、たとえば樹
脂等の有機材料層からなる保護膜PASの順次積層体か
ら構成されている。このように保護膜として少なくとも
有機材料層を用いているのは保護膜それ自体の誘電率を
低減させることにある。
【0040】ここで、ゲート信号線GL上に形成される
保護膜PASにおいて、その一部に開口が形成され、保
護膜OPASはこの開口部を埋めるようにして積層され
ている。保護膜PASに形成された開口の機能について
は後に説明する。この場合、絶縁膜GIは、たとえばS
iO2で形成されていることから、前記保護膜PASの
孔開けの際のストッパとして機能するようになる。
保護膜PASにおいて、その一部に開口が形成され、保
護膜OPASはこの開口部を埋めるようにして積層され
ている。保護膜PASに形成された開口の機能について
は後に説明する。この場合、絶縁膜GIは、たとえばS
iO2で形成されていることから、前記保護膜PASの
孔開けの際のストッパとして機能するようになる。
【0041】保護膜OPASの上面には対向電極CTが
形成されている。この対向電極CTは前述の画素電極P
Xと同様にy方向に延在されx方向に並設された複数
(図では3本)の電極群から構成され、かつ、それら各
電極は、平面的に観た場合、前記画素電極PXを間に位
置付けるようにして配列されている。
形成されている。この対向電極CTは前述の画素電極P
Xと同様にy方向に延在されx方向に並設された複数
(図では3本)の電極群から構成され、かつ、それら各
電極は、平面的に観た場合、前記画素電極PXを間に位
置付けるようにして配列されている。
【0042】すなわち、対向電極CTと画素電極PX
は、一方の側のドレイン信号線DLから他方の側のドレ
イン信号線DLにかけて、対向電極CT、画素電極P
X、対向電極CT、画素電極PX、……、対向電極CT
の順にそれぞれ等間隔に配置されている。
は、一方の側のドレイン信号線DLから他方の側のドレ
イン信号線DLにかけて、対向電極CT、画素電極P
X、対向電極CT、画素電極PX、……、対向電極CT
の順にそれぞれ等間隔に配置されている。
【0043】ここで、画素領域の両側に位置づけられる
対向電極CTは、その一部がドレイン信号線DLに重畳
されて形成されているとともに、隣接する画素領域の対
応する対向電極CTと共通に形成されている。
対向電極CTは、その一部がドレイン信号線DLに重畳
されて形成されているとともに、隣接する画素領域の対
応する対向電極CTと共通に形成されている。
【0044】換言すれは、ドレイン信号線DL上には対
向電極CTがその中心軸をほぼ一致づけて重畳され、該
対向電極CTの幅はドレイン信号線DLのそれよりも大
きく形成されている。ドレイン信号線DLに対して左側
の対向電極CTは左側の画素領域の各対向電極CTの一
つを構成し、右側の対向電極CTは右側の画素領域の各
対向電極CTの一つを構成するようになっている。
向電極CTがその中心軸をほぼ一致づけて重畳され、該
対向電極CTの幅はドレイン信号線DLのそれよりも大
きく形成されている。ドレイン信号線DLに対して左側
の対向電極CTは左側の画素領域の各対向電極CTの一
つを構成し、右側の対向電極CTは右側の画素領域の各
対向電極CTの一つを構成するようになっている。
【0045】このようにドレイン信号線DLの上方にて
該ドレイン信号線DLよりも幅の広い対向電極CTを形
成することにより、該ドレイン信号線DLからの電気力
線が該対向電極CTに終端し画素電極PXに終端するこ
とを回避できるという効果を奏する。ドレイン信号線D
Lからの電気力線が画素電極PXに終端した場合、それ
がノイズとなってしまうからである。
該ドレイン信号線DLよりも幅の広い対向電極CTを形
成することにより、該ドレイン信号線DLからの電気力
線が該対向電極CTに終端し画素電極PXに終端するこ
とを回避できるという効果を奏する。ドレイン信号線D
Lからの電気力線が画素電極PXに終端した場合、それ
がノイズとなってしまうからである。
【0046】そして、このように複数からなる各対向電
極CTは、それと同層であって前記ゲート信号線GLを
充分に被って形成される同一の材料からなる材料層と一
体に形成されている。
極CTは、それと同層であって前記ゲート信号線GLを
充分に被って形成される同一の材料からなる材料層と一
体に形成されている。
【0047】ここで、該対向電極CTとそれに一体に形
成される材料層は、ITO(IndiumTin Oxide)、IT
ZO(Indium Tin Zinc Oxide)、IZO(Indium Zin
c Oxide)、SnO2(酸化スズ)、In2O3(酸化
インジウム)等の透光性の導電層で形成されている。
成される材料層は、ITO(IndiumTin Oxide)、IT
ZO(Indium Tin Zinc Oxide)、IZO(Indium Zin
c Oxide)、SnO2(酸化スズ)、In2O3(酸化
インジウム)等の透光性の導電層で形成されている。
【0048】これらの材料で構成された該対向電極CT
とそれに一体に形成される材料層は抵抗が比較的大きい
ことから、上述のようなパターンとするとともに、保護
膜OPAS、保護膜PAS、および絶縁膜GIを貫通し
て形成するスルーホールを通して前記対向電圧信号線C
L1に電気的に接続させている。各対向電極CTには該
対向電圧信号線CL1を介して基準信号が供給されるよ
うになっている。
とそれに一体に形成される材料層は抵抗が比較的大きい
ことから、上述のようなパターンとするとともに、保護
膜OPAS、保護膜PAS、および絶縁膜GIを貫通し
て形成するスルーホールを通して前記対向電圧信号線C
L1に電気的に接続させている。各対向電極CTには該
対向電圧信号線CL1を介して基準信号が供給されるよ
うになっている。
【0049】なお、前記各対向電極CTと一体に形成さ
れゲート信号線GLを充分に被って形成される材料層の
部分を以下の説明において対向電圧信号線CLと称す
る。この部分はゲート信号線GLと同層に形成される前
記対向電圧信号線CL1とともに、対向電極CTに基準
信号を供給するための信号線として機能するからであ
る。
れゲート信号線GLを充分に被って形成される材料層の
部分を以下の説明において対向電圧信号線CLと称す
る。この部分はゲート信号線GLと同層に形成される前
記対向電圧信号線CL1とともに、対向電極CTに基準
信号を供給するための信号線として機能するからであ
る。
【0050】ここで、上述したように、ゲート信号線G
Lの上方に形成された保護膜PASの一部には開口が形
成され、この開口部をも埋めるようにして有機材料層か
らなる保護膜OPASの上面に対向電極CTと一体の前
記材料層が形成されている。
Lの上方に形成された保護膜PASの一部には開口が形
成され、この開口部をも埋めるようにして有機材料層か
らなる保護膜OPASの上面に対向電極CTと一体の前
記材料層が形成されている。
【0051】すなわち、対向電極CTと一体の前記材料
層とゲート信号線GLとの間には、無機材料層からなる
保護膜PASが存在せず、その分だけ加算された膜厚の
有機材料層からなる保護膜OPASが形成される部分が
存在することになる。
層とゲート信号線GLとの間には、無機材料層からなる
保護膜PASが存在せず、その分だけ加算された膜厚の
有機材料層からなる保護膜OPASが形成される部分が
存在することになる。
【0052】このため、ゲート信号線GLと対向電極C
Tとの間の寄生容量Cgsが低減されることになり、該
ゲート信号線GLに供給される走査信号の波形遅延を低
減させる効果を奏する。
Tとの間の寄生容量Cgsが低減されることになり、該
ゲート信号線GLに供給される走査信号の波形遅延を低
減させる効果を奏する。
【0053】そして、ゲート信号線GLを充分に被って
形成される前記材料層は、そのゲート信号線GLからは
み出した部分において、前記各画素電極PXの端部が位
置づけられ、これにより、画素電極PXと対向電極CT
との間に保護膜PSV、保護膜OPASを誘電体膜とす
る容量素子Cstgが形成されている。この容量素子C
stgは、たとえば画素電極PXに供給された映像信号
を比較的長く蓄積させる等の機能をもたせるようになっ
ている。
形成される前記材料層は、そのゲート信号線GLからは
み出した部分において、前記各画素電極PXの端部が位
置づけられ、これにより、画素電極PXと対向電極CT
との間に保護膜PSV、保護膜OPASを誘電体膜とす
る容量素子Cstgが形成されている。この容量素子C
stgは、たとえば画素電極PXに供給された映像信号
を比較的長く蓄積させる等の機能をもたせるようになっ
ている。
【0054】そして、このように対向電極CTが形成さ
れた透明基板SUB1の上面には該対向電極CTをも被
って配向膜(図示せず)が形成されている。この配向膜
は液晶と直接に当接する膜で、その表面に形成されたラ
ビングによって該液晶の分子の初期配向方向を決定づけ
るようになっている。
れた透明基板SUB1の上面には該対向電極CTをも被
って配向膜(図示せず)が形成されている。この配向膜
は液晶と直接に当接する膜で、その表面に形成されたラ
ビングによって該液晶の分子の初期配向方向を決定づけ
るようになっている。
【0055】実施例2.図3は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す構成図で、図1(c)に対応し
た図となっている。図1(c)と比較して異なる構成
は、保護膜PASに孔を開けた部分において、それから
露出される絶縁膜GIをも孔を開けていることにある。
このようにした場合にも同様の効果を奏する。の場合、
絶縁膜GIの材料として保護膜PASの材料と同様のS
iNを用いてもよい。
装置の他の実施例を示す構成図で、図1(c)に対応し
た図となっている。図1(c)と比較して異なる構成
は、保護膜PASに孔を開けた部分において、それから
露出される絶縁膜GIをも孔を開けていることにある。
このようにした場合にも同様の効果を奏する。の場合、
絶縁膜GIの材料として保護膜PASの材料と同様のS
iNを用いてもよい。
【0056】実施例3.図4は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す構成図で、図3に対応した図と
なっている。図3と比較して異なる構成は、ゲート信号
線GLは、その材料としてAlあるいはTaが用いら
れ、それぞれ、その表面に陽極化成によるAl2O3、
Ta2O3の酸化膜が形成されたものとなっている。こ
のようにした場合にも同様の効果を奏する。
装置の他の実施例を示す構成図で、図3に対応した図と
なっている。図3と比較して異なる構成は、ゲート信号
線GLは、その材料としてAlあるいはTaが用いら
れ、それぞれ、その表面に陽極化成によるAl2O3、
Ta2O3の酸化膜が形成されたものとなっている。こ
のようにした場合にも同様の効果を奏する。
【0057】実施例4.図5は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す構成図で、図1に対応した図と
なっている。図1と比較して異なる構成は、まず、保護
膜PASに孔を開けた部分に重畳されて形成された対向
電圧信号線CLにおいても、該孔の領域内に前記孔より
も面積の小さな孔HOLを形成していることにある。
装置の他の実施例を示す構成図で、図1に対応した図と
なっている。図1と比較して異なる構成は、まず、保護
膜PASに孔を開けた部分に重畳されて形成された対向
電圧信号線CLにおいても、該孔の領域内に前記孔より
も面積の小さな孔HOLを形成していることにある。
【0058】この場合、図5(c)に示すように、画素
電極PXと対向電極CTの重畳する幅をA、ゲート信号
線GLと対向電極CTの重畳する幅をB、保護膜PAS
とゲート信号線GLの重畳する幅をC、ゲート信号線G
Lと画素電極PXの離間する幅をD、対向電圧信号線の
孔の幅をE、保護膜PASの孔の幅をFとした場合、そ
れらはいずれも0より大きいように設定されている。
電極PXと対向電極CTの重畳する幅をA、ゲート信号
線GLと対向電極CTの重畳する幅をB、保護膜PAS
とゲート信号線GLの重畳する幅をC、ゲート信号線G
Lと画素電極PXの離間する幅をD、対向電圧信号線の
孔の幅をE、保護膜PASの孔の幅をFとした場合、そ
れらはいずれも0より大きいように設定されている。
【0059】このように構成した液晶表示装置は、対向
電圧信号線CLに孔HOLを形成していることにより、
ゲート信号線GLとの間の寄生容量が低減するので、画
素電極PXの電位変動を抑制することができる。
電圧信号線CLに孔HOLを形成していることにより、
ゲート信号線GLとの間の寄生容量が低減するので、画
素電極PXの電位変動を抑制することができる。
【0060】また、薄膜トランジスタTFTがOFFの
際の定常状態では、画素電極PXと対向電圧信号線CL
の重畳する幅Aにおける容量Cscは容量素子Cstg
として機能するようになる。仮に、該対向電圧信号線C
Lが形成されていない場合には画素電極PXのゲート信
号線GLによる飛込み電圧が増大することになる。
際の定常状態では、画素電極PXと対向電圧信号線CL
の重畳する幅Aにおける容量Cscは容量素子Cstg
として機能するようになる。仮に、該対向電圧信号線C
Lが形成されていない場合には画素電極PXのゲート信
号線GLによる飛込み電圧が増大することになる。
【0061】そして、薄膜トランジスタTFTがOFF
の際の定常状態では、ゲート信号線GLと対向電極CT
の重畳する幅Bにおける容量Cgcと画素電極PXと対
向電極CTの重畳する幅Aにおける容量Cscとの経由
でゲート信号線GLの変動を最小化することができる。
仮に、対向電圧信号線CLに孔が形成されていない場合
には,ゲート信号線GLの電位変動によって対向電圧信
号線CLの電位が変動し、前記容量Cscによって画素
電極PXの電位が変動してしまうことになる。
の際の定常状態では、ゲート信号線GLと対向電極CT
の重畳する幅Bにおける容量Cgcと画素電極PXと対
向電極CTの重畳する幅Aにおける容量Cscとの経由
でゲート信号線GLの変動を最小化することができる。
仮に、対向電圧信号線CLに孔が形成されていない場合
には,ゲート信号線GLの電位変動によって対向電圧信
号線CLの電位が変動し、前記容量Cscによって画素
電極PXの電位が変動してしまうことになる。
【0062】なお、保護膜PASとゲート信号線GLの
重畳する幅Cを設けているのは、ゲート信号線GLの電
界強度は対向電圧信号線CLの存在によって、該ゲート
信号線GLの端辺で増大することから、少なくとも該ゲ
ート信号線GLの端辺を保護膜PASで被うことにより
該ゲート信号線GLの電蝕を防止している。さらに、ゲ
ート信号線GLと画素電極PXの離間する幅Dにより、
ゲート信号線GLと画素電極PXとの間の寄生容量Cg
sを低減させた構成としている。
重畳する幅Cを設けているのは、ゲート信号線GLの電
界強度は対向電圧信号線CLの存在によって、該ゲート
信号線GLの端辺で増大することから、少なくとも該ゲ
ート信号線GLの端辺を保護膜PASで被うことにより
該ゲート信号線GLの電蝕を防止している。さらに、ゲ
ート信号線GLと画素電極PXの離間する幅Dにより、
ゲート信号線GLと画素電極PXとの間の寄生容量Cg
sを低減させた構成としている。
【0063】実施例5.図6(a)は、本発明による液
晶表示装置の他の実施例を示す構成図で、図5(a)に
対応した図となっている。また、図6(b)は図6
(a)のb−b線における断面図を示している。図5
(a)と比較して異なる構成は、ゲート信号線GLに重
畳して形成される対向電圧信号線CLに形成される孔H
OLはその幅が該ゲート信号線GLの幅よりも大きく形
成されていることにある。これにより、ゲート信号線G
Lと対向電圧信号線CLとの間の寄生容量を大幅に低減
させることができ、ゲート信号線GLの波形遅延を低減
させることができる。
晶表示装置の他の実施例を示す構成図で、図5(a)に
対応した図となっている。また、図6(b)は図6
(a)のb−b線における断面図を示している。図5
(a)と比較して異なる構成は、ゲート信号線GLに重
畳して形成される対向電圧信号線CLに形成される孔H
OLはその幅が該ゲート信号線GLの幅よりも大きく形
成されていることにある。これにより、ゲート信号線G
Lと対向電圧信号線CLとの間の寄生容量を大幅に低減
させることができ、ゲート信号線GLの波形遅延を低減
させることができる。
【0064】実施例6.図7は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す構成図で、図6(a)に対応し
た図となっている。図6(a)と比較して異なる構成
は、ゲート信号線GLに重畳して形成される対向電圧信
号線CLに形成される孔HOLは該ゲート信号線GLの
走行方向に沿って複数個形成されていることにある。こ
のようにした場合にも、ゲート信号線GLと対向電圧信
号線CLとの間の寄生容量を大幅に低減させることがで
き、ゲート信号線GLの波形遅延を低減させることがで
きる。
装置の他の実施例を示す構成図で、図6(a)に対応し
た図となっている。図6(a)と比較して異なる構成
は、ゲート信号線GLに重畳して形成される対向電圧信
号線CLに形成される孔HOLは該ゲート信号線GLの
走行方向に沿って複数個形成されていることにある。こ
のようにした場合にも、ゲート信号線GLと対向電圧信
号線CLとの間の寄生容量を大幅に低減させることがで
き、ゲート信号線GLの波形遅延を低減させることがで
きる。
【0065】実施例7.図8は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す構成図で、図7に対応した図と
なっている。図7において、ゲート信号線GLに重畳し
て形成される対向電圧信号線CLに形成される孔HOL
はそのパターンを円形形状としたものであるが、図8に
おいては矩形状のパターンとし、この矩形状の孔はゲー
ト信号線GLの走行方向に対して若干の傾きを有するよ
うにして形成されている。ゲート信号線GLからの電界
が画素領域側へ漏洩するのを低減させるためである。
装置の他の実施例を示す構成図で、図7に対応した図と
なっている。図7において、ゲート信号線GLに重畳し
て形成される対向電圧信号線CLに形成される孔HOL
はそのパターンを円形形状としたものであるが、図8に
おいては矩形状のパターンとし、この矩形状の孔はゲー
ト信号線GLの走行方向に対して若干の傾きを有するよ
うにして形成されている。ゲート信号線GLからの電界
が画素領域側へ漏洩するのを低減させるためである。
【0066】実施例8.図9(a)は、本発明による液
晶表示装置の他の実施例を示す構成図で、図5(a)に
対応した図となっている。また、図9(a)のb−b線
における断面図を図9(b)に示している。この実施例
では、液晶表示部ARにおける透明基板SUB1と透明
基板SUB2との間のギャップを確保するスペーサを透
明基板SUB2側に形成した支柱状のスペーサSPとす
るとともに、その頂部を対向電圧信号線CLの前記孔H
OLの部分に位置づけられるようにしたものである。前
記支柱状のスペーサSPは透明基板SUB2側に形成し
たアクリル、ポリイミド等の樹脂膜をフォトリソグラフ
ィ技術による選択エッチングによって形成されるもの
で、その比誘電率は液晶のそれよりも小さく構成され
る。このため、ドレイン信号線DLとの間に生じる寄生
容量をさらに低減させることができるようになる。
晶表示装置の他の実施例を示す構成図で、図5(a)に
対応した図となっている。また、図9(a)のb−b線
における断面図を図9(b)に示している。この実施例
では、液晶表示部ARにおける透明基板SUB1と透明
基板SUB2との間のギャップを確保するスペーサを透
明基板SUB2側に形成した支柱状のスペーサSPとす
るとともに、その頂部を対向電圧信号線CLの前記孔H
OLの部分に位置づけられるようにしたものである。前
記支柱状のスペーサSPは透明基板SUB2側に形成し
たアクリル、ポリイミド等の樹脂膜をフォトリソグラフ
ィ技術による選択エッチングによって形成されるもの
で、その比誘電率は液晶のそれよりも小さく構成され
る。このため、ドレイン信号線DLとの間に生じる寄生
容量をさらに低減させることができるようになる。
【0067】実施例9.図10は、本発明による液晶表
示装置の他の実施例を示す構成図で、図9(b)に対応
した図となっている。透明基板SUB2の液晶側の面
に、少なくともゲート信号線GLと重ねられるようにブ
ラックマトリクスBMが形成され、このブラックマトリ
クスBMはたとえば108Ω・cmの樹脂層、あるいは
金属層から構成されている。これにより、ゲート信号線
GLからの漏洩電界を該ブラックマトリクスBMによっ
てシールドできる構成としている。また、このような構
成において、図11に示すように、該ブラックマトリク
スBMの表面に該ブラックマトリクスBMをも被って形
成るカラーフィルタCF、あるいは平坦化膜(図示せ
ず)等を低抵抗材料で形成することによって、さらなる
効果を奏することができる。
示装置の他の実施例を示す構成図で、図9(b)に対応
した図となっている。透明基板SUB2の液晶側の面
に、少なくともゲート信号線GLと重ねられるようにブ
ラックマトリクスBMが形成され、このブラックマトリ
クスBMはたとえば108Ω・cmの樹脂層、あるいは
金属層から構成されている。これにより、ゲート信号線
GLからの漏洩電界を該ブラックマトリクスBMによっ
てシールドできる構成としている。また、このような構
成において、図11に示すように、該ブラックマトリク
スBMの表面に該ブラックマトリクスBMをも被って形
成るカラーフィルタCF、あるいは平坦化膜(図示せ
ず)等を低抵抗材料で形成することによって、さらなる
効果を奏することができる。
【0068】実施例10.図12は、本発明による液晶
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図5に対応した
図となっている。図5と比較して異なる構成は、保護膜
PASに形成する孔はゲート信号線GL上のみならずド
レイン信号線DL上にも形成していることにある。ドレ
イン信号線DL上の保護膜PASに形成する孔HOL1
は該ドレイン信号線DLに沿って、しかも該ドレイン信
号線DLの走行方向に平行な各辺部を除く中央部を露出
させるようにして形成されている。これにより、ドレイ
ン信号線DLと対向電極CTとの間に介在される保護膜
は有機材料層からなる保護膜OPASのみとなり、該ド
レイン信号線DLと対向電極CTの間に形成される寄生
容量を低減でき、該ドレイン信号線DLおよび対向電極
CTのそれぞれに供給される各信号の波形遅延を低減で
きる効果を奏する。
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図5に対応した
図となっている。図5と比較して異なる構成は、保護膜
PASに形成する孔はゲート信号線GL上のみならずド
レイン信号線DL上にも形成していることにある。ドレ
イン信号線DL上の保護膜PASに形成する孔HOL1
は該ドレイン信号線DLに沿って、しかも該ドレイン信
号線DLの走行方向に平行な各辺部を除く中央部を露出
させるようにして形成されている。これにより、ドレイ
ン信号線DLと対向電極CTとの間に介在される保護膜
は有機材料層からなる保護膜OPASのみとなり、該ド
レイン信号線DLと対向電極CTの間に形成される寄生
容量を低減でき、該ドレイン信号線DLおよび対向電極
CTのそれぞれに供給される各信号の波形遅延を低減で
きる効果を奏する。
【0069】実施例11.図13は、本発明による液晶
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図12(c)に
対応した図となっている。図12(c)と比較して異な
る構成は、ドレイン信号線DLをその走行方向と平行な
各辺部をも露出させるようにして保護膜PASに孔HO
L1を開けていることにある。この場合、絶縁膜GIの
材料としてはSiO2を用いることが望ましい。保護膜
PASの穴あけによって該絶縁膜GIがストッパーの機
能を有するようになるからである。
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図12(c)に
対応した図となっている。図12(c)と比較して異な
る構成は、ドレイン信号線DLをその走行方向と平行な
各辺部をも露出させるようにして保護膜PASに孔HO
L1を開けていることにある。この場合、絶縁膜GIの
材料としてはSiO2を用いることが望ましい。保護膜
PASの穴あけによって該絶縁膜GIがストッパーの機
能を有するようになるからである。
【0070】実施例12.図14は、本発明による液晶
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図13に対応し
た図となっている。図13と比較して異なる構成は、絶
縁膜GIをたとえばSiNから構成するとともに、保護
膜PASの穴あけの際に同時に、ドレイン信号線DLを
マスクとして該絶縁膜GIにも孔あけがされるようにし
ている。
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図13に対応し
た図となっている。図13と比較して異なる構成は、絶
縁膜GIをたとえばSiNから構成するとともに、保護
膜PASの穴あけの際に同時に、ドレイン信号線DLを
マスクとして該絶縁膜GIにも孔あけがされるようにし
ている。
【0071】実施例13.図15は、本発明による液晶
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図9に対応した
図となっている。図9と比較して異なる構成は、透明基
板SUB2側に形成された支柱状のスペーサSPの頂部
は、対向電圧信号線CLに形成された孔HOLの内部に
位置づけられ、該対向電圧信号線CLと当接しないよう
になっている。このように構成することによって、画面
水平方向に圧力を加えた際(拭きずれ試験)に、拭きず
れを発生させにくい効果を奏する。
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図9に対応した
図となっている。図9と比較して異なる構成は、透明基
板SUB2側に形成された支柱状のスペーサSPの頂部
は、対向電圧信号線CLに形成された孔HOLの内部に
位置づけられ、該対向電圧信号線CLと当接しないよう
になっている。このように構成することによって、画面
水平方向に圧力を加えた際(拭きずれ試験)に、拭きず
れを発生させにくい効果を奏する。
【0072】実施例14.図16(a)は、本発明によ
る液晶表示装置の他の実施例を示す平面図である。ま
た、図16(b)は図16(a)のb−b線における断
面図である。同図は、いわゆる縦電界方式と称される画
素構造を示し、たとえば図1と比較して異なる構成は、
まず、画素電極PXにある。この画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTをも被って形成される無機材料から
なる保護膜PASと有機材料からなる保護膜OPASの
順次積層体の表面に、画素領域の全域を被って形成され
ている。
る液晶表示装置の他の実施例を示す平面図である。ま
た、図16(b)は図16(a)のb−b線における断
面図である。同図は、いわゆる縦電界方式と称される画
素構造を示し、たとえば図1と比較して異なる構成は、
まず、画素電極PXにある。この画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTをも被って形成される無機材料から
なる保護膜PASと有機材料からなる保護膜OPASの
順次積層体の表面に、画素領域の全域を被って形成され
ている。
【0073】そして、この画素電極PXは、たとえば、
ITO(Indium Tin Oxide)、ITZO(Indium Tin Z
inc Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、SnO2
(酸化スズ)、In2O3(酸化インジウム)等の透光
性の導電膜から構成されている。画素電極PXの周辺は
ドレイン信号線DLおよびゲート信号線GLに重畳する
ようにして形成され、画素の開口率の向上を図ってい
る。
ITO(Indium Tin Oxide)、ITZO(Indium Tin Z
inc Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、SnO2
(酸化スズ)、In2O3(酸化インジウム)等の透光
性の導電膜から構成されている。画素電極PXの周辺は
ドレイン信号線DLおよびゲート信号線GLに重畳する
ようにして形成され、画素の開口率の向上を図ってい
る。
【0074】画素電極PXとの間に電界を発生せしめる
対向電極は、他方の透明基板SUB2の液晶側の面に各
画素領域に共通に、たとえばITO等の透光性の導電膜
から構成されている。この場合、画素領域内の無機材料
からなる保護膜PASとその下層の絶縁膜GIにはそれ
らを貫通する孔HOL2が複数個形成されて構成されて
いる。
対向電極は、他方の透明基板SUB2の液晶側の面に各
画素領域に共通に、たとえばITO等の透光性の導電膜
から構成されている。この場合、画素領域内の無機材料
からなる保護膜PASとその下層の絶縁膜GIにはそれ
らを貫通する孔HOL2が複数個形成されて構成されて
いる。
【0075】このようにした場合、前記保護膜PASの
上面に形成される有機材料からなる保護膜OPASが該
孔HOL2に埋め込まれて形成され、該保護膜OPAS
のずれを防止できる効果を奏する。有機材料からなる保
護膜OPASは熱履歴によるずれが生じやすいことか
ら、このような対策を必要とする。
上面に形成される有機材料からなる保護膜OPASが該
孔HOL2に埋め込まれて形成され、該保護膜OPAS
のずれを防止できる効果を奏する。有機材料からなる保
護膜OPASは熱履歴によるずれが生じやすいことか
ら、このような対策を必要とする。
【0076】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示装置によれば、ゲート信号線に供
給される走査信号の波形遅延を低減させることができ
る。また、ドレイン信号線に供給される映像信号の波形
遅延を低減させることができる。
本発明による液晶表示装置によれば、ゲート信号線に供
給される走査信号の波形遅延を低減させることができ
る。また、ドレイン信号線に供給される映像信号の波形
遅延を低減させることができる。
【図1】 本発明による液晶表示装置の画素の一実施例
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図2】 本発明による液晶表示装置の一実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図3】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図4】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図5】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図6】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図7】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図8】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図9】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図10】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図11】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図12】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す構成図である。
施例を示す構成図である。
【図13】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図14】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図15】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す構成図である。
施例を示す構成図である。
【図16】 本発明による液晶表示装置の画素の他の実
施例を示す構成図である。
施例を示す構成図である。
SUB…透明基板、GL…ゲート信号線、DL…ドレイ
ン信号線、CL…対向電圧信号線、TFT…薄膜トラン
ジスタ、PX…画素電極、CT…対向電極、GI…絶縁
膜、PAS…保護膜(無機材料からなる)、OPAS…
保護膜(有機材料からなる)、HOL、HOL1、HO
L2…孔。
ン信号線、CL…対向電圧信号線、TFT…薄膜トラン
ジスタ、PX…画素電極、CT…対向電極、GI…絶縁
膜、PAS…保護膜(無機材料からなる)、OPAS…
保護膜(有機材料からなる)、HOL、HOL1、HO
L2…孔。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 柳川 和彦
千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立
製作所ディスプレイグループ内
Fターム(参考) 2H089 LA09 MA04 NA14 QA16 SA17
TA02
2H090 HA02 HB02X HB07X HD13
JA05 LA01
2H092 GA14 GA17 GA25 GA29 HA02
JA24 JA37 JA41 JB24 JB57
NA23 PA02
Claims (9)
- 【請求項1】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、 これら信号線に囲まれた領域を画素領域とし、ゲート信
号線からの走査信号によって作動されるスイッチング素
子と、このスイッチング素子を介してドレイン信号線か
らの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線
に接続され前記画素電極との間に電界を生じせしめる対
向電極とを備え、 前記対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の
走行方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁
膜を介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧
信号線と同層に形成され、 前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜と有
機材料からなる保護膜との順次積層体から構成されてい
るとともに、前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料
からなる保護膜の一部に孔開けがなされていることを特
徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、 これら信号線に囲まれた領域を画素領域とし、ゲート信
号線からの走査信号によって作動されるスイッチング素
子と、このスイッチング素子を介してドレイン信号線か
らの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線
に接続され前記画素電極との間に電界を生じせしめる対
向電極とを備え、 前記対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の
走行方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁
膜を介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧
信号線と同層に形成され、 前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜と有
機材料からなる保護膜との順次積層体から構成され、 前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料からなる保護
膜の一部に孔開けがなされているとともに、該対向電圧
信号線に前記孔の形成領域内に該孔より小さな面積を有
する孔開けがなされていることを特徴とする液晶表示装
置。 - 【請求項3】 画素電極はドレイン信号線の走行方向に
延在された帯状のパターンをなすとともに、前記対向電
圧信号線に形成された孔に近接して配置される前記画素
電極の一端はゲート信号線に重畳されることなく該対向
電圧信号線に重畳されていることを特徴とする請求項2
に記載の液晶表示装置。 - 【請求項4】 スイッチング素子は薄膜トランジスタか
ら構成され、ゲート信号線GLは該薄膜トランジスタの
ゲート絶縁膜を兼ねる絶縁膜、無機材料からなる保護
膜、および有機材料からなる保護膜との順次積層体によ
って形成されているとともに、無機材料からなる前記保
護膜に形成される孔はその下層の前記絶縁膜に貫通して
形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項5】 無機材料からなる前記保護膜および絶縁
膜に形成される孔はゲート信号線の走行方向に平行な各
辺部を露出させることなく形成されていることを特徴と
する請求項4に記載の液晶表示装置。 - 【請求項6】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、 これら信号線に囲まれた領域を画素領域とし、ゲート信
号線からの走査信号によって作動されるスイッチング素
子と、このスイッチング素子を介してドレイン信号線か
らの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線
に接続され前記画素電極との間に電界を生じせしめる対
向電極とを備え、 前記対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の
走行方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁
膜を介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧
信号線と同層に形成され、 前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜と有
機材料からなる保護膜との順次積層体から構成され、 前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料からなる保護
膜の一部に孔開けがなされているとともに、該対向電圧
信号線に前記孔の形成領域内に該孔より小さな面積を有
する孔開けがなされ、 かつ、前記基板のうち他方の基板の液晶側の面に形成さ
れた支柱状のスペーサの頂部が前記対向電圧信号線に形
成された孔に対向するようにして設けられているととも
に、該スペーサは前記液晶の誘電率より小さい誘電率の
材料で構成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項7】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、 これら信号線に囲まれた領域を画素領域とし、ゲート信
号線からの走査信号によって作動されるスイッチング素
子と、このスイッチング素子を介してドレイン信号線か
らの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線
に接続され前記画素電極との間に電界を生じせしめる対
向電極とを備え、 前記対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の
走行方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁
膜を介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧
信号線と同層に形成され、 前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜と有
機材料からなる保護膜との順次積層体から構成され、 前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料からなる保護
膜の一部に孔開けがなされているとともに、該対向電圧
信号線に前記孔の形成領域内に該孔より小さな面積を有
する孔開けがなされ、 かつ、前記基板のうち他方の基板の液晶側の面に少なく
とも前記対向電圧信号線と対向するブラックマトリクス
が形成され、このブラックマトリクスの抵抗が108Ω
・cm以下に設定されていることを特徴とする液晶表示
装置。 - 【請求項8】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、 これら信号線に囲まれた領域を画素領域とし、ゲート信
号線からの走査信号によって作動されるスイッチング素
子と、このスイッチング素子を介してドレイン信号線か
らの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線
に接続され前記画素電極との間に電界を生じせしめる対
向電極とを備え、 前記対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の
走行方向に沿って重畳されるものを含むとともに、 前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜と有
機材料からなる保護膜との順次積層体から構成されてい
るとともに、前記ドレイン信号線の上方であって対向電
極の下方の一部に前記無機材料からなる保護膜の一部に
孔開けがなされていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項9】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設された複数
のドレイン信号線とが形成され、 これら信号線に囲まれた領域を画素領域とし、ゲート信
号線からの走査信号によって作動されるスイッチング素
子と、このスイッチング素子を介してドレイン信号線か
らの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線
に接続され前記画素電極との間に電界を生じせしめる対
向電極とを備え、 前記対向電極は、絶縁膜を介して前記ドレイン信号線の
走行方向に沿って重畳されるものを含むとともに、絶縁
膜を介して前記ゲート信号線と重畳される前記対向電圧
信号線と同層に形成され、 前記絶縁膜は、少なくとも無機材料からなる保護膜と有
機材料からなる保護膜との順次積層体から構成され、 前記対向電圧信号線の下方の前記無機材料からなる保護
膜の一部に孔開けがなされているとともに、該対向電圧
信号線に前記孔の形成領域内に該孔より小さな面積を有
する孔開けがなされ、 かつ、前記基板のうち他方の基板の液晶側の面に形成さ
れた支柱状のスペーサの頂部が前記対向電圧信号線に形
成された孔部に対向していることを特徴する液晶表示装
置。
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