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JP2003248109A - Transfer material for reflection plate formation, its manufacturing method, reflection plate, as well as liquid crystal display device and its manufacturing method - Google Patents

Transfer material for reflection plate formation, its manufacturing method, reflection plate, as well as liquid crystal display device and its manufacturing method

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Publication number
JP2003248109A
JP2003248109A JP2002047214A JP2002047214A JP2003248109A JP 2003248109 A JP2003248109 A JP 2003248109A JP 2002047214 A JP2002047214 A JP 2002047214A JP 2002047214 A JP2002047214 A JP 2002047214A JP 2003248109 A JP2003248109 A JP 2003248109A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin layer
photosensitive resin
layer
substrate
liquid crystal
Prior art date
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Pending
Application number
JP2002047214A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsutoshi Tanaka
光利 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2002047214A priority Critical patent/JP2003248109A/en
Publication of JP2003248109A publication Critical patent/JP2003248109A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device excellent reflection characteristics in a simple process, and its manufacturing method, a transfer material for reflection plate formation used therefor, and its manufacturing method. <P>SOLUTION: In the transfer material for the reflection plate formation and its manufacturing method, at least one layer of applied layers and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided on a temporary support in this order. At least, one layer of the applied layers contains beads, and an interface of the temporary support side of the photosensitive resin layer is unevenly formed. The liquid crystal display device and its manufacturing method are provided with a first substrate in which a first electrode having a light reflection function is at least partially formed on a face opposite to a second substrate, the second substrate opposite to the first substrate, a liquid crystal layer sealed between the first and the second substrates, and a resin layer having unevenness on a surface formed in a process including transfer by using the transfer material for the reflection plate formation between the first substrate and the first electrode. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反射板形成用転写
材料及びその製造方法、反射板、並び液晶表示装置及び
その製造方法に関し、特に、OA機器、パーソナルコン
ピュータ、携帯型情報端末等に用いられる液晶表示装置
のうち室内照明や太陽光などの外光を利用する反射型液
晶表示装置及びその製造方法、反射板、並びにこれに用
いる反射板形成用転写材料及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer material for forming a reflection plate, a method for manufacturing the same, a reflection plate, a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, and particularly to OA equipment, personal computers, portable information terminals and the like. The present invention relates to a reflective liquid crystal display device that utilizes outside light such as room lighting and sunlight, and a manufacturing method thereof, a reflection plate, a transfer material for forming a reflection plate used therefor, and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、CRTに代わるフラットパネル型
表示装置として、現在最も広く使用ないし期待されてい
るのは液晶表示装置(LCD)である。中でも、薄膜ト
ランジスタ(TFT:Thin Film Transi
stor)方式のLCD(TFT−LCD)は、パーソ
ナルコンピュータ、ワープロ、OA機器、携帯テレビジ
ョン等への応用による市場の一層の拡大が期待されてい
る。特に、マルチメディア社会の進展に伴って、可搬性
のある情報ツールとしてのノート型パソコンや携帯型情
報端末の分野では、より薄型・軽量で且つ、装置の使用
可能時間を長くする目的で消費電力の少ない液晶表示装
置が求められている。反射型液晶表示装置は、室内照明
や太陽光などの外光を利用することから、バックライト
やフロントライトによる電力の消費が無いか、または少
なく、従来の透過型液晶表示装置に比較して消費電力を
低くすることが可能であり、薄型・軽量化が可能であ
る。
2. Description of the Related Art In recent years, a liquid crystal display device (LCD) has been most widely used or expected as a flat panel type display device replacing a CRT. Among them, thin film transistors (TFTs)
The LCD of the (stor) system (TFT-LCD) is expected to further expand the market by application to personal computers, word processors, OA devices, portable televisions and the like. Especially in the field of notebook type personal computers and portable information terminals as portable information tools with the progress of the multimedia society, power consumption is intended to be thinner and lighter and to prolong the usable time of the device. There is a demand for a liquid crystal display device with less power consumption. Since the reflective liquid crystal display device uses outside light such as indoor lighting and sunlight, it consumes less or less power due to the backlight and front light, and consumes less power than conventional transmissive liquid crystal display devices. It is possible to reduce electric power, and it is possible to reduce the thickness and weight.

【0003】このような反射型液晶表示装置には、従来
よりTN(ツイステッドネマティック)方式、STN
(スーパーツイステッドネマティック)方式、及び特開
平5−173158号公報に記載されているような相転
移型ゲストホスト方式等が使用されている。
In such a reflection type liquid crystal display device, a TN (twisted nematic) system, an STN has been conventionally used.
A (super twisted nematic) system and a phase transition type guest-host system as described in JP-A-5-173158 are used.

【0004】これら反射型液晶表示装置において、より
明るい表示を得るためには、あらゆる角度からの入射光
に対して表示画面に垂直な方向へ散乱する光強度を増加
させることが必要となってくる。このため、特開平6−
75237号公報には、絶縁性のガラス基板上に凹凸の
形状を制御して形成し、その上にAl、Ag等の金属膜
を形成した反射板を形成することが記載されている。上
記提案の反射板は、フォトリソグラフィー等により、ガ
ラス基板表面に高分子材料を用いた柱状の凸部分を形成
した後、加熱処理により柱状構造の上縁部分の角を熱的
に変形させて、上縁部分が丸くなるような形状を作製
し、更に高分子樹脂膜を積層することにより柱状構造の
隙間を埋め込み、連続した波状の表面形状を形成し、こ
の波状樹脂表面上にAl、Ag等の金属膜を成膜するこ
とにより連続した波状の表面を有する反射板を作製して
いる。
In order to obtain a brighter display in these reflection type liquid crystal display devices, it is necessary to increase the intensity of light scattered in a direction perpendicular to the display screen with respect to incident light from all angles. . For this reason, JP-A-6-
In Japanese Patent No. 75237, it is described that the uneven shape is controlled and formed on an insulating glass substrate, and a reflecting plate having a metal film such as Al or Ag formed thereon is formed thereon. The reflection plate of the above proposal, after forming a columnar convex portion using a polymer material on the glass substrate surface by photolithography or the like, and thermally deforming the corner of the upper edge portion of the columnar structure by heat treatment, A shape having a rounded upper edge is formed, and a polymer resin film is further laminated to fill the gaps in the columnar structure to form a continuous wavy surface shape. Al, Ag, etc. are formed on the wavy resin surface. By forming the metal film of 1), a reflector having a continuous wavy surface is manufactured.

【0005】しかしながら、上記提案による反射板の作
製においては、少なくとも3層の膜構造を形成する必要
があり、3回の成膜工程及び加工工程が必要となること
から、工程数が多くなるという欠点がある。さらに柱状
部分の上縁部を丸く、角のない形状にするために少なく
とも200℃以上の加熱工程が必要となる。このため、
液晶表示装置のさらなる薄型・軽量化を目的として、基
板に高分子樹脂基板を用いる場合、加熱時に基板の変
形、収縮等が発生することから、プロセスを行うことが
できず、使用できる材料が高耐熱樹脂等に限られてしま
うといった問題があった。
However, in the production of the reflecting plate according to the above proposal, it is necessary to form a film structure of at least three layers, and three film forming steps and processing steps are required. There are drawbacks. Furthermore, a heating step of at least 200 ° C. or higher is required in order to make the upper edge of the columnar portion into a rounded shape with no corners. For this reason,
When a polymer resin substrate is used as the substrate for the purpose of further thinning and weight reduction of the liquid crystal display device, the substrate may be deformed or contracted during heating, so that the process cannot be performed and the usable material is high. There was a problem that it was limited to heat-resistant resins and the like.

【0006】かかる課題を解決するため、特開平11−
153804号公報には、光硬化性樹脂の多重露光によ
り自己形成的に形成される凸形状を有し、熱処理などを
必要としない反射型液晶表示装置及びその製造方法が提
案されている。
In order to solve such a problem, Japanese Patent Laid-Open No. 11-
Japanese Patent No. 153804 proposes a reflective liquid crystal display device which has a convex shape formed by self-formation by multiple exposure of a photocurable resin and does not require heat treatment, and a manufacturing method thereof.

【0007】この自己形成的に形成される凸形状の制御
は、照射された光エネルギーに依存し、光照射時間又は
光照射エネルギーを制御することにより、2μm程度ま
での範囲で凸部分の高さをコントロールすることができ
る。
The control of the convex shape formed by this self-formation depends on the irradiated light energy, and the height of the convex portion can be controlled up to about 2 μm by controlling the light irradiation time or the light irradiation energy. Can be controlled.

【0008】しかしながら、前記光の照射エネルギー
は、例えば1.2J/cm〜1.5J/cm程度で
あり、照射時間は200秒前後必要である。このことか
ら、上記方法においては、製造ラインのタクトタイムが
3分以上と長くかかり、生産性が劣るという問題があ
る。
However, the irradiation energy of the light is, for example, about 1.2 J / cm 2 to 1.5 J / cm 2 , and the irradiation time requires about 200 seconds. For this reason, the above method has a problem that the takt time of the production line is as long as 3 minutes or more and the productivity is poor.

【0009】一方、半透過型液晶表示装置(半透過型L
CD)は、モバイル用途に最適なシステムとして普及し
始めている。このセル構造は、複雑であり、1画素内に
透過型LCD部分と反射型LCD部分を併設している。
これら2つの部分は同じ液晶厚で設計すると各々のスイ
ッチングが中途半端な調整しかできないので、透過型L
CD部分の液晶厚を反射型LCD部分の液晶厚の2倍に
するシステムが提案されている(特開平11−2422
26号公報、特開2000−187220号公報)。
On the other hand, a transflective liquid crystal display device (semitransmissive L
CD) has begun to spread as an optimal system for mobile applications. This cell structure is complicated, and a transmissive LCD part and a reflective LCD part are provided side by side within one pixel.
If these two parts are designed with the same liquid crystal thickness, each switching can be adjusted only halfway.
A system has been proposed in which the liquid crystal thickness of the CD portion is twice that of the reflective LCD portion (Japanese Patent Laid-Open No. 11-2422).
26, JP 2000-187220 A).

【0010】即ち、前記2重構造半透過型LCDは、基
板ガラスを貼り合せて形成するセルギャップは基本的に
透過型LCDのギャップd1に調整するが、反射型LC
D部分はセルギャップを半分にするため、略1/2d1
の厚さの絶縁膜をフォトリソグラフィーで形成する。こ
の絶縁膜上を乱反射する反射板にするために、絶縁膜を
2層構成の塗布膜にすることが特開2000−1872
20号公報などに開示されている。
That is, in the double structure transflective LCD, the cell gap formed by bonding the substrate glass is basically adjusted to the gap d1 of the transmissive LCD, but the reflective LC is used.
Since the cell gap is halved in the D portion, it is approximately 1 / 2d1.
An insulating film having a thickness of 1 is formed by photolithography. In order to form a reflector that diffusely reflects on the insulating film, the insulating film may be a coating film having a two-layer structure.
No. 20, for example.

【0011】しかしながら、この方法では、多段階の工
程を必要とし、その結果できあがったLCDのコストが
高くなってしまうという問題がある。
However, this method requires a multi-step process, resulting in a high cost of the LCD.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来におけ
る前記問題を解決し、以下の課題を解決することを目的
とする。即ち、本発明は、反射板形成用転写材料及びそ
の製造方法、この転写材料から製造した反射板、並び
に、簡略な工程により、良好な反射特性を有する反射電
極を有する液晶表示装置及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems in the prior art and to solve the following problems. That is, the present invention relates to a transfer material for forming a reflector and a method for manufacturing the same, a reflector manufactured from this transfer material, and a liquid crystal display device having a reflective electrode having good reflection characteristics by a simple process, and a method for manufacturing the same. The purpose is to provide.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段は、以下の通りである。即ち、 <1> 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層と、アル
カリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてなり、前記
塗布層の少なくとも1層がビーズを含有し、前記感光性
樹脂層の前記仮支持体側の界面が凹凸に形成されてなる
ことを特徴とする反射板形成用転写材料である。 <2> 仮支持体上に少なくとも1層の熱可塑性樹脂層
と、少なくとも1層の中間層と、アルカリ可溶な感光性
樹脂層とをこの順に設けてなり、前記熱可塑性樹脂層及
び/又は中間層がビーズを含有し、前記感光性樹脂層の
前記仮支持体側の界面が凹凸に形成されてなることを特
徴とする反射板形成用転写材料である。 <3> 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層と、アル
カリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてなり、前記
感光性樹脂層がビーズを含有し、該感光性樹脂層の前記
仮支持体側の界面が凹凸に形成されてなることを特徴と
する反射板形成用転写材料である。 <4> 仮支持体上に少なくとも1層の熱可塑性樹脂層
と、少なくとも1層の中間層と、アルカリ可溶な感光性
樹脂層とをこの順に設けてなり、前記感光性樹脂層がビ
ーズを含有し、該感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面
が凹凸に形成されてなることを特徴とする反射板形成用
転写材料である。 <5> 前記アルカリ可溶な感光性樹脂層が着色剤を含
まない前記<1>乃至<4>のいずれかに記載の反射板
形成用転写材料である。 <6> 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層と、アル
カリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてなる反射板
形成用転写材料の製造方法において、前記塗布層の少な
くとも1層にビーズを含有させて、該塗布層を塗布乾燥
させた上に前記感光性樹脂層を塗布し、該感光性樹脂層
の前記仮支持体側の界面に凹凸を形成することを特徴と
する反射板形成用転写材料の製造方法である。 <7> 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層と、アル
カリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてなる反射板
形成用転写材料の製造方法において、前記感光性樹脂層
にビーズを含有させて、該感光性樹脂層を塗布乾燥させ
た後、前記ビーズを現像液で除去し、該感光性樹脂層の
前記仮支持体側の界面に凹凸を形成することを特徴とす
る反射板形成用転写材料の製造方法である。 <8> 前記感光性樹脂層に含有したビーズがアルカリ
現像性、又はアルカリ現像性かつ重合禁止性である前記
<7>に記載の反射板形成用転写材料の製造方法であ
る。 <9> 前記感光性樹脂層が着色剤を含まない前記<6
>乃至<8>のいずれかに記載の反射板形成用転写材料
の製造方法である。 <10> 前記<1>乃至<5>のいずれかに記載の反
射板形成用転写材料を基板に転写し、露光を行い、現
像、ベークして形成される表面に凹凸を有する樹脂層上
に光反射機能材料層を形成してなる反射板である。 <11> 前記<10>に記載の反射板を一方の反射電
極として用いたことを特徴とする液晶表示装置である。 <12> 光反射機能を有する第1の電極が第2の基板
に対向する面に少なくとも一部形成されている第1の基
板と、該第1の基板に対向配置されている第2の基板
と、第1及び第2の基板の間に封入されている液晶層と
を備える液晶表示装置において、前記第1の基板と第1
の電極との間に、前記<1>乃至<5>のいずれかに記
載の反射板形成用転写材料を用いて転写を含む工程で形
成される表面に凹凸を有する樹脂層を備えたことを特徴
とする液晶表示装置である。 <13> 前記液晶表示装置が、カラーフィルタ・オン
・アレイ(COA)構造を有する前記<12>に記載の
液晶表示装置である。 <14> 前記液晶表示装置が、半透過型構造を有する
前記<12>に記載の液晶表示装置である。 <15> 前記液晶表示装置が、カラーフィルタ・オン
・アレイ(COA)構造及び半透過型構造を有する前記
<12>に記載の液晶表示装置である。 <16> 光反射機能を有する第1の電極が第2の基板
に対向する面に少なくとも一部形成されている第1の基
板と、該第1の基板に対向配置されている第2の基板
と、第1及び第2の基板の間に封入されている液晶層と
を備える液晶表示装置の製造方法において、前記第1の
基板と第1の電極との間に、前記<1>乃至<5>のい
ずれかに記載の反射板形成用転写材料を用い、転写を含
む工程で表面に凹凸を有する樹脂層を形成することを特
徴とする液晶表示装置の製造方法である。
Means for solving the problems Means for solving the above problems are as follows. That is, <1> At least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support, and at least one coating layer contains beads, The transfer material for forming a reflection plate is characterized in that an interface of the resin layer on the temporary support side is formed to be uneven. <2> At least one thermoplastic resin layer, at least one intermediate layer, and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support, and the thermoplastic resin layer and / or The transfer material for forming a reflection plate is characterized in that the intermediate layer contains beads, and the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side is formed to be uneven. <3> At least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support, and the photosensitive resin layer contains beads, and the photosensitive resin layer contains It is a transfer material for forming a reflection plate, characterized in that the interface on the temporary support side is formed to be uneven. <4> At least one thermoplastic resin layer, at least one intermediate layer, and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support, and the photosensitive resin layer comprises beads. It is a transfer material for forming a reflection plate, characterized in that the interface of the photosensitive resin layer on the side of the temporary support is unevenly formed. <5> The transfer material for forming a reflection plate according to any one of <1> to <4>, wherein the alkali-soluble photosensitive resin layer does not contain a colorant. <6> In a method for producing a transfer material for forming a reflection plate, which comprises at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer provided in this order on a temporary support, at least one coating layer is provided. Forming a reflection plate, characterized in that the coating layer is coated and dried by containing beads, and the photosensitive resin layer is coated to form irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side. It is a method of manufacturing a transfer material for use. <7> In the method for producing a transfer material for forming a reflection plate, which comprises at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer provided in this order on a temporary support, beads are added to the photosensitive resin layer. After forming and coating the photosensitive resin layer, the beads are removed with a developing solution to form irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side, thereby forming a reflection plate. It is a method of manufacturing a transfer material for use. <8> The method for producing a transfer material for forming a reflection plate according to <7>, wherein the beads contained in the photosensitive resin layer are alkali developable, or alkali developable and polymerization-inhibitory. <9> The above <6> in which the photosensitive resin layer does not contain a colorant.
The method for producing a transfer material for forming a reflection plate according to any one of <1> to <8>. <10> The reflection plate-forming transfer material according to any one of <1> to <5> is transferred onto a substrate, exposed, developed, and baked to form a resin layer having unevenness on the surface. It is a reflector formed by forming a light reflecting functional material layer. <11> A liquid crystal display device using the reflection plate according to <10> as one reflection electrode. <12> A first substrate on which at least a part of a first electrode having a light reflecting function is formed on a surface facing the second substrate, and a second substrate arranged to face the first substrate. And a liquid crystal layer encapsulated between the first and second substrates, the first substrate and the first substrate
And a resin layer having unevenness on the surface formed in a process including transfer using the reflection plate-forming transfer material according to any one of <1> to <5>. A characteristic liquid crystal display device. <13> The liquid crystal display device according to <12>, which has a color filter on array (COA) structure. <14> The liquid crystal display device is the liquid crystal display device according to <12>, which has a semi-transmissive structure. <15> The liquid crystal display device according to <12>, which has a color filter on array (COA) structure and a transflective structure. <16> A first substrate on which at least a part of a first electrode having a light reflecting function is formed on a surface facing the second substrate, and a second substrate arranged to face the first substrate. And a liquid crystal layer enclosed between a first substrate and a second substrate, the method <1> through <1> between the first substrate and the first electrode. 5> The method for manufacturing a liquid crystal display device, which comprises using the transfer material for forming a reflection plate according to any one of 5> to form a resin layer having irregularities on a surface in a process including transfer.

【0014】前記<1>から<5>のいずれかに記載の
反射板形成用転写材料によれば、塗布層、中間層、及び
感光性樹脂層のいずれかにビーズを含有させて、前記感
光性樹脂層の前記仮支持体側の界面に凹凸を形成するこ
とにより、簡略な工程により、良好な反射特性を有する
反射電極を効率良く製造することができる。
According to the reflection plate-forming transfer material described in any one of the above items <1> to <5>, beads are contained in any of the coating layer, the intermediate layer, and the photosensitive resin layer, and the photosensitive material is formed. By forming irregularities on the interface of the functional resin layer on the temporary support side, a reflective electrode having good reflective characteristics can be efficiently manufactured by a simple process.

【0015】従って、本発明によれば、簡略な工程によ
り、良好な反射特性を有する反射電極を有する、特に、
OA機器、パーソナルコンピュータ、携帯型情報端末等
に用いられる液晶表示装置のうち室内照明や太陽光など
の外光を利用する反射型液晶表示装置を効率よく安価に
製造することができる。
Therefore, according to the present invention, by a simple process, a reflective electrode having good reflective characteristics,
Among the liquid crystal display devices used for office automation equipment, personal computers, portable information terminals, etc., a reflective liquid crystal display device utilizing outside light such as room lighting or sunlight can be efficiently manufactured at low cost.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明について更に詳しく
説明する。 <反射板形成用転写材料>本発明の反射板形成用転写材
料の第1の態様は、仮支持体上に少なくとも1層の塗布
層と、アルカリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けて
なり、前記感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面が凹凸
に形成されてなる。この場合、前記感光性樹脂層に凹凸
を形成するため、前記塗布層の少なくとも1層、又は前
記感光性樹脂層にビーズを含有させる。なお、各層に含
有させるビーズについては後述する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in more detail below. <Transfer Material for Forming Reflector> In the first embodiment of the transfer material for reflector formation of the present invention, at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support. The interface of the photosensitive resin layer on the side of the temporary support is unevenly formed. In this case, in order to form irregularities on the photosensitive resin layer, at least one layer of the coating layer or the photosensitive resin layer contains beads. The beads contained in each layer will be described later.

【0017】本発明の反射板形成用転写材料の第2の態
様は、仮支持体上に少なくとも1層の熱可塑性樹脂層、
少なくとも1層の中間層、感光性樹脂層をこの順に設け
てなり、前記感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面が凹
凸に形成されてなる。この場合、前記感光性樹脂層に凹
凸を形成するため、前記熱可塑性樹脂層及び/又は中間
層、又は前記感光性樹脂層にビーズを含有させる。な
お、各層に含有させるビーズについては後述する。
A second aspect of the transfer material for forming a reflection plate of the present invention is to provide at least one thermoplastic resin layer on a temporary support,
At least one intermediate layer and a photosensitive resin layer are provided in this order, and the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side is formed to be uneven. In this case, beads are contained in the thermoplastic resin layer and / or the intermediate layer or the photosensitive resin layer in order to form irregularities in the photosensitive resin layer. The beads contained in each layer will be described later.

【0018】図1は、前記反射板形成用転写材料の一実
施形態を示す概略断面図であり、この反射板形成用転写
材料10は、仮支持体1上に熱可塑性樹脂層2、中間層
3、感光性樹脂層4をこの順に設けてなり、前記中間層
3にビーズ5が含有されている。これにより、感光性樹
脂層4の前記仮支持体側の界面に凹凸6が形成される。
なお、前記感光性樹脂層は着色剤を含まないことが、反
射板の下地、液晶セル内の反射電極の用途に用いる上で
好ましい。但し、迷光を除去する等の目的で感光性樹脂
層が着色される場合もある。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the reflection plate forming transfer material. The reflection plate forming transfer material 10 comprises a temporary support 1, a thermoplastic resin layer 2 and an intermediate layer. 3, a photosensitive resin layer 4 is provided in this order, and the intermediate layer 3 contains beads 5. As a result, the unevenness 6 is formed on the interface of the photosensitive resin layer 4 on the temporary support side.
In addition, it is preferable that the photosensitive resin layer does not contain a colorant in order to use it as a base of a reflection plate or a reflection electrode in a liquid crystal cell. However, the photosensitive resin layer may be colored for the purpose of removing stray light.

【0019】−凹凸の形状とサイズ及び個数− 前記凹凸の底面の形状には、特に制限はないが、正方
形、長方形、円形、楕円形などが好適である。凹凸の底
面の形状が正方形又は円形の場合には一辺(又は直径)
が、好ましくは1〜100μm、より好ましくは2〜5
0μm程度である。凹凸の底面の形状が長方形又は楕円
形の場合には短辺(又は短径)が、好ましくは1〜10
0μm、より好ましくは2〜50μm程度である。な
お、短辺(短径)が5μmであり、かつ長辺(長径)が
100μmである長方形又は楕円形は図形というよりは
線に近いが、本発明ではこのような形状の凹凸もすべて
含まれる。また、本発明では、凹凸のサイズ、形状など
をランダムに変化させて配置することで、回折による色
付きや縞の発生を防止することが好ましい。また、前記
凹凸の個数は、液晶表示装置の用途などに応じて異なる
が、画素当たり1〜1000個、より好ましくは10〜
300個である。前記凹凸は不規則に配置され、連続し
た波形状を有することが良好な反射特性を得ることがで
きる観点から望ましい。また、後述するように、反射板
形成用転写材料を反射板に形成した場合において、所定
のピッチ、PV値を有する。
-Shape and size and number of unevenness-The shape of the bottom surface of the unevenness is not particularly limited, but a square, a rectangle, a circle, an ellipse or the like is preferable. One side (or diameter) when the shape of the bottom surface of the unevenness is square or circular
Is preferably 1 to 100 μm, more preferably 2 to 5
It is about 0 μm. When the shape of the bottom surface of the unevenness is rectangular or elliptical, the short side (or short diameter) is preferably 1 to 10.
It is 0 μm, more preferably about 2 to 50 μm. Note that a rectangle or an ellipse having a short side (minor axis) of 5 μm and a long side (major axis) of 100 μm is closer to a line than a figure, but the present invention includes all such irregularities. . Further, in the present invention, it is preferable to prevent the occurrence of coloring or stripes due to diffraction by randomly arranging the sizes and shapes of the irregularities and arranging them. The number of the irregularities varies depending on the application of the liquid crystal display device, etc., but is 1 to 1000 per pixel, more preferably 10
It is 300. It is desirable that the irregularities are arranged irregularly and have a continuous wave shape from the viewpoint that good reflection characteristics can be obtained. Further, as will be described later, when the reflecting plate-forming transfer material is formed on the reflecting plate, it has a predetermined pitch and PV value.

【0020】前記感光性樹脂層の表面に形成される凹凸
は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選定されるが、
簡便かつ効率よく凹凸を形成する観点から、後述する反
射板形成用転写材料の製造方法により、前記感光性樹脂
層の前記仮支持体側の界面に凹凸が形成される。
The irregularities formed on the surface of the photosensitive resin layer are appropriately selected depending on the intended purpose without any restriction.
From the viewpoint of easily and efficiently forming unevenness, unevenness is formed at the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side by the method for producing a transfer material for forming a reflection plate described below.

【0021】前記反射板形成用転写材料は、仮支持体上
に少なくとも1層の塗布層と、アルカリ可溶な感光性樹
脂層とをこの順に設けてなり、前記塗布層としては、熱
可塑性樹脂層、中間層などが挙げられ、更に必要に応じ
て適宜選択したその他の層を有してなる。以下、反射板
形成用転写材料の各構成層及びこれらに含まれる構成成
分について説明する。
The reflection plate-forming transfer material comprises at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer provided in this order on a temporary support, and the coating layer is made of a thermoplastic resin. A layer, an intermediate layer, and the like are included, and further, other layers appropriately selected are included as necessary. Hereinafter, each constituent layer of the transfer material for forming a reflection plate and constituent components contained therein will be described.

【0022】−仮支持体− 前記仮支持体としては、熱可塑性樹脂層に対して転写に
支障とならない程度の剥離性を有するものが好ましく、
化学的、熱的に安定で可撓性のものが好ましい。具体的
には、テフロン(R)、ポリエチレンテレフタレート、
ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の
薄膜シート又はこれらの積層物が好適に挙げられる。
-Temporary support-The temporary support preferably has a releasability to the thermoplastic resin layer to such an extent that transfer is not hindered.
It is preferably chemically and thermally stable and flexible. Specifically, Teflon (R) , polyethylene terephthalate,
Preferable examples include thin film sheets of polycarbonate, polyethylene, polypropylene and the like, or laminates thereof.

【0023】前記仮支持体と熱可塑性樹脂との間に良好
な剥離性を確保するために、グロー放電等の表面処理は
施さず、またゼラチン等の下塗り層も設けないことが好
ましい。
In order to ensure good releasability between the temporary support and the thermoplastic resin, it is preferable that surface treatment such as glow discharge is not performed and an undercoat layer such as gelatin is not provided.

【0024】前記仮支持体の厚みとしては、5〜300
μmが適当であり、20〜150μmが好ましい。
The thickness of the temporary support is 5 to 300.
μm is suitable, and 20 to 150 μm is preferable.

【0025】−熱可塑性樹脂層− 前記熱可塑性樹脂層は、仮支持体上の第一層目として設
けられ、主として熱可塑性樹脂を含んでなり、必要に応
じて他の成分を含んでいてもよい。前記熱可塑性樹脂と
しては、転写後のアルカリ現像を可能とし、或いは転写
時の転写条件によっては熱可塑性樹脂が周囲にはみ出し
て被転写体である基板上を汚染してしまう場合に除去処
理を可能とする観点から、アルカリ性水溶液に可溶な樹
脂が好適である。更に、熱可塑性樹脂層は、被転写体で
ある基板の導電膜上に転写する際、導電パターン膜上に
存在する凹凸に起因して生じ得る転写不良を防止するク
ッション材としての機能をも発揮させる観点から、加熱
密着時に前記凹凸に応じて変形し得る十分な可塑性を有
するものが好ましい。
—Thermoplastic Resin Layer— The thermoplastic resin layer is provided as the first layer on the temporary support, mainly contains the thermoplastic resin, and may contain other components as necessary. Good. As the thermoplastic resin, alkali development after transfer is possible, or removal processing is possible when the thermoplastic resin overflows into the surrounding and contaminates the substrate to be transferred depending on the transfer conditions at the time of transfer. From the viewpoint of, a resin soluble in an alkaline aqueous solution is preferable. Furthermore, the thermoplastic resin layer also functions as a cushioning material that prevents transfer defects that may occur due to unevenness on the conductive pattern film when transferring onto the conductive film of the substrate that is the transfer target. In view of the above, a resin having sufficient plasticity that can be deformed in accordance with the unevenness at the time of heating and contacting is preferable.

【0026】また、前記反射板形成用転写材料は、仮支
持体上に熱可塑性樹脂層の他、後述する中間層、感光性
樹脂層を順次積層して構成される場合には、特に熱可塑
性樹脂層と仮支持体との間の接着強度を他の層間におけ
る接着強度より小さくすることが望ましく、これにより
転写後、仮支持体を容易かつ熱可塑性樹脂層の破壊を伴
うことなく除去することができるので、仮支持体除去後
の感光性樹脂層への露光を均一に行うことができる。
In addition, the transfer material for forming the reflection plate is particularly thermoplastic when it is formed by sequentially laminating a thermoplastic resin layer on the temporary support, an intermediate layer described later, and a photosensitive resin layer. It is desirable to make the adhesive strength between the resin layer and the temporary support smaller than the adhesive strength between the other layers, so that after the transfer, the temporary support can be removed easily and without destruction of the thermoplastic resin layer. Therefore, it is possible to uniformly expose the photosensitive resin layer after removing the temporary support.

【0027】上記の点から、前記熱可塑性樹脂として
は、アルカリ可溶性であって、実質的な軟化点が80℃
以下の樹脂が好ましい。軟化点が80℃以下の熱可塑性
樹脂としては、例えば、エチレンとアクリル酸エステル
共重合体とのケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸
エステル共重合体とのケン化物、ビニルトルエンと(メ
タ)アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ポリ
(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチ
ルと酢酸ビニル等との(メタ)アクリル酸エステル共重
合体等のケン化物等が挙げられ、一種単独よりなるもの
であっても、二種以上を併用したものであってもよい。
From the above points, the thermoplastic resin is alkali-soluble and has a substantial softening point of 80 ° C.
The following resins are preferred. Examples of the thermoplastic resin having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and an acrylic ester copolymer, saponified products of styrene and a (meth) acrylic ester copolymer, vinyltoluene and (meth). Saponified products such as acrylic acid ester copolymers, poly (meth) acrylic acid esters, and saponified products such as (meth) acrylic acid ester copolymers of butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, etc. It may be a single substance or a combination of two or more types.

【0028】更に、「プラスチック性能便覧」(日本プ
ラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合
会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発
行)に記載の、軟化点が約80℃以下の有機高分子のう
ち、アルカリ水溶液に可溶なものも使用できる。
Further, organic materials having a softening point of about 80 ° C. or less, as described in "Plastic Performance Handbook" (edited by Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Federation, published by Industrial Research Board, issued October 25, 1968) Among the polymers, those soluble in an aqueous alkaline solution can also be used.

【0029】また、軟化点80℃以上の有機高分子物質
であっても、その有機高分子物質中に該有機高分子物質
と相溶性のある各種可塑剤を添加することにより、実質
的な軟化点を80℃以下に下げて使用することもでき
る。前記可塑剤としては、既述の光硬化性組成物に使用
可能な可塑剤と同様のものが挙げられる。
Further, even if an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, it is substantially softened by adding various plasticizers compatible with the organic polymer substance into the organic polymer substance. The point can be lowered to 80 ° C. or lower for use. Examples of the plasticizer include the same plasticizers that can be used in the photocurable composition described above.

【0030】前記有機高分子物質を用いる場合、後述の
仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点
が80℃を超えない範囲で、各種ポリマー、過冷却物
質、密着改良剤、界面活性剤、離型剤等を加えることも
できる。
When the organic polymer material is used, various polymers, supercooling materials, and adhesion improving agents are used in order to control the adhesive force with a temporary support described later, within a range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. Agents, surfactants, release agents and the like can also be added.

【0031】前記熱可塑性樹脂層には、前記感光性樹脂
層の仮支持体側の界面に凹凸を形成する目的でビーズを
含有させることができる。熱可塑性樹脂層にビーズを含
有させて凸部を形成し、この熱可塑性樹脂層上に中間層
を塗布することにより扁平の凸部が形成され、この中間
層上に感光性樹脂層を塗布することにより、感光性樹脂
層に凹部が形成される。前記ビーズとしては、球状で、
アルカリ可溶性であり、現像液で溶解するものが好まし
い。また、ビーズの平均粒径が0.5〜50μmである
ことが好ましく、1〜30μmであることがより好まし
い。熱可塑性樹脂層にビーズを添加する場合には、中間
層に添加するビーズよりも大きめのサイズを用いること
が好ましい。
The thermoplastic resin layer may contain beads for the purpose of forming irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side. A bead is contained in a thermoplastic resin layer to form a convex portion, and a flat convex portion is formed by applying an intermediate layer on the thermoplastic resin layer, and a photosensitive resin layer is applied on the intermediate layer. As a result, a recess is formed in the photosensitive resin layer. The beads are spherical,
It is preferably alkali-soluble and soluble in a developing solution. The average particle size of the beads is preferably 0.5 to 50 μm, more preferably 1 to 30 μm. When beads are added to the thermoplastic resin layer, it is preferable to use a size larger than the beads added to the intermediate layer.

【0032】前記ビーズとしては、例えば、(i)「最
近の化学工業 特殊技術(1975年)」 丸善株式会
社発行の第93頁〜第109頁の「4.マイクロカプセ
ル技術」の欄に記載されている化学的技法、物理化学的
技法、その他の方法により作成されたマイクロカプセル
(粒子径0.5〜50μm)、(ii)同第112頁記
載の粒子のうち粒子径0.5〜50μmのもの、(ii
i)「合成樹脂エマルジョン(1978年)」 株式会
社高分子刊行会発行の第1頁〜184頁に記載のエマル
ジョンのうち粒子径0.5〜50μmのもの、(iv)
「最新マイクロカプセル−その製法・性質・応用(19
87年)」 三共出版株式会社発行の第1頁〜75頁に
記載のマイクロカプセルのうち粒子径0.5〜50μm
のもの、(v)「ケミパール」(ポリオレフィンディス
パージョン) 三井化学株式会社製、などが挙げられ
る。前記ビーズの添加量は、熱可塑性樹脂層組成物10
0質量部に対して1〜50質量部であることが好まし
く、5〜30質量部であることがより好ましい。
The beads are described in, for example, (i) "Recent Chemical Industry Special Technology (1975)", Maruzen Co., Ltd., pages 93 to 109, "4. Microcapsule Technology". Microcapsules (particle diameter 0.5 to 50 μm) prepared by a chemical technique, a physicochemical technique, or other methods described in (ii) Particles of 0.5 to 50 μm among the particles described on page 112. Stuff, (ii
i) "Synthetic Resin Emulsion (1978)" Among the emulsions described on pages 1 to 184 issued by Kobunshi Publishing Co., Ltd., those having a particle size of 0.5 to 50 µm, (iv)
"Latest microcapsules-its manufacturing method, properties and applications (19
1987) ”, among the microcapsules described on pages 1 to 75 of Sankyo Publishing Co., Ltd., having a particle diameter of 0.5 to 50 μm.
And (v) "Chemipearl" (polyolefin dispersion) manufactured by Mitsui Chemicals, Inc., and the like. The amount of the beads added is the thermoplastic resin layer composition 10
The amount is preferably 1 to 50 parts by mass, more preferably 5 to 30 parts by mass, relative to 0 parts by mass.

【0033】前記熱可塑性樹脂層は、前記熱可塑性樹脂
と必要に応じて他の成分を有機溶剤に溶解して塗布液
(熱可塑性樹脂層用塗布液)を調製し、例えば、スピン
コート法等の公知の塗布方法により仮支持体上に塗布等
して形成することができる。
The thermoplastic resin layer is prepared by dissolving the thermoplastic resin and, if necessary, other components in an organic solvent to prepare a coating solution (thermoplastic resin layer coating solution), for example, spin coating. It can be formed by coating or the like on the temporary support by any known coating method.

【0034】前記有機溶剤としては、例えば、メタノー
ル、エタノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン
等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレング
リコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモ
ノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;メチルセ
ロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等の
エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;ジ
エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレング
リコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエー
テル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエ
チレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレング
リコール類;プロピレングリコールメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテー
ト等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテー
ト類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチ
ルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−
4−メチル−2−ペンタノン等のケトン類;2−ヒドロ
キシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロ
ピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸
エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルブタン酸メチル、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキンプロピ
オン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−
エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル
等のエステル類;等が挙げられる。これらの有機溶剤
は、一種を単独で用いてもよいし、二種以上を組合わせ
て用いてもよい。
Examples of the organic solvent include alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether. Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate; diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether; Glycol methyl ether acetate, propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol ethyl ether acetate: toluene, xylene and the like aromatic hydrocarbons; methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy -
Ketones such as 4-methyl-2-pentanone; ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2 -Methyl hydroxy-2-methylbutanoate,
Methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoquinopropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-
Esters such as ethyl ethoxypropionate, ethyl acetate and butyl acetate; and the like. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

【0035】これらの中でも、各成分の溶解性、及び膜
形成性の点で、エチレングリコールジメチルエーテル等
のグリコールエステル類、エチルセロソルブアセテート
等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート
類、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシ
プロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル
等のエステル類、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル等のジエチレングリコール類が特に好適である。
Among these, in view of solubility of each component and film forming property, glycol esters such as ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, and 3 Particularly preferred are esters such as methyl methoxypropionate and ethyl 3-ethoxypropionate, and diethylene glycols such as diethylene glycol dimethyl ether.

【0036】更に、N−メチルホルムアミド、N,N−
ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N
−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベ
ンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニ
ルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1
−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコー
ル、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチ
ル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エ
チレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテー
ト等の高沸点溶剤を添加することもできる。
Further, N-methylformamide, N, N-
Dimethylformamide, N-methylformanilide, N
-Methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethyl sulfoxide, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonylacetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1
It is also possible to add a high boiling point solvent such as -octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate.

【0037】前記熱可塑性樹脂層の層厚としては、6〜
100μmが好ましく、6〜50μmがより好ましい。
前記層厚が、6μm未満であると、導電膜上の1μm以
上の凹凸を完全に吸収することができないことがあり、
一方、100μmを超えると、現像性、製造適性が低下
することがある。
The thickness of the thermoplastic resin layer is 6 to
100 μm is preferable, and 6 to 50 μm is more preferable.
If the layer thickness is less than 6 μm, the irregularities of 1 μm or more on the conductive film may not be completely absorbed,
On the other hand, when it exceeds 100 μm, developability and manufacturing suitability may be deteriorated.

【0038】−中間層− 前記中間層は、前記感光性樹脂層上に設けられ、前記反
射板形成用転写材料が熱可塑性樹脂層を有する場合には
該感光性樹脂層と該熱可塑性樹脂層との間に設けられ
る。前記感光性樹脂層と熱可塑性樹脂層との形成におい
ては有機溶剤を用いるため、該中間層がその間に位置す
ると、両層が互いに混ざり合うのを防止することができ
る。また、前記中間層は、その酸素遮断能が低下する
と、感光性樹脂層の重合感度が低下して、露光時の光量
をアップしたり、露光時間を長くする必要が生ずるばか
りか、解像度も低下することになるため、酸素透過性の
小さいことが好ましい。
-Intermediate Layer- The intermediate layer is provided on the photosensitive resin layer, and when the reflection plate-forming transfer material has a thermoplastic resin layer, the photosensitive resin layer and the thermoplastic resin layer. It is provided between and. Since an organic solvent is used in the formation of the photosensitive resin layer and the thermoplastic resin layer, when the intermediate layer is located between them, it is possible to prevent both layers from mixing with each other. Further, when the oxygen barrier ability of the intermediate layer is lowered, the polymerization sensitivity of the photosensitive resin layer is lowered, so that not only the amount of light at the time of exposure is increased or the exposure time is lengthened, but also the resolution is lowered. Therefore, it is preferable that the oxygen permeability is low.

【0039】前記中間層は、水又はアルカリ水溶液に分
散、溶解可能な樹脂成分を主に構成され、必要に応じ
て、界面活性剤等の他の成分を含んでいてもよい。前記
中間層を構成する樹脂成分としては、公知のものを使用
することができ、例えば、特開昭46−2121号公報
及び特公昭56−40824号公報に記載のポリビニル
エーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキル
セルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、
カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド類、
水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチ
ン、エチレンオキサイド重合体、各種澱粉及びその類似
物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重
合体、マレイネート樹脂、などが挙げられる。これら
は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用しても
よい。これらの中でも親水性高分子を使用するのが好ま
しく、該親水性高分子の中でも、少なくともポリビニル
アルコールを使用するのが好ましく、ポリビニルアルコ
ールとポリビニルピロリドンとの併用が特に好ましい。
The intermediate layer is mainly composed of a resin component which can be dispersed and dissolved in water or an aqueous alkali solution, and may contain other components such as a surfactant, if necessary. As the resin component constituting the intermediate layer, known ones can be used. For example, the polyvinyl ether / maleic anhydride polymer described in JP-A-46-2121 and JP-B-56-40824. , Water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers,
Water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, polyacrylamides,
Examples include water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, water-soluble salts of the group consisting of various starches and the like, styrene / maleic acid copolymers, maleate resins, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, it is preferable to use a hydrophilic polymer, and it is preferable to use at least polyvinyl alcohol among the hydrophilic polymers, and it is particularly preferable to use polyvinyl alcohol and polyvinylpyrrolidone in combination.

【0040】前記ポリビニルアルコールとしては、特に
制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる
が、その鹸化率が80%以上であるのが好ましい。前記
ポリビニルピロリドンを使用する場合、その含有量とし
ては、該中間層の固形分に対し、1〜75体積%である
のが好ましく、1〜60体積%であるのがより好まし
く、10〜50体積%であるのが特に好ましい。前記含
有量が、1体積%未満であると、前記感光性樹脂層との
十分な密着性が得られないことがあり、一方、75体積
%を超えると、酸素遮断能が低下することがあり、好ま
しくない。
The polyvinyl alcohol is appropriately selected depending on the intended purpose without any limitation, but the saponification rate is preferably 80% or more. When the polyvinylpyrrolidone is used, its content is preferably 1 to 75% by volume, more preferably 1 to 60% by volume, and preferably 10 to 50% by volume based on the solid content of the intermediate layer. % Is particularly preferred. If the content is less than 1% by volume, sufficient adhesiveness to the photosensitive resin layer may not be obtained, while if it exceeds 75% by volume, the oxygen barrier ability may be reduced. , Not preferable.

【0041】また、前記中間層には、前記感光性樹脂層
の仮支持体側の界面に凹凸を形成する目的でビーズを含
有することが好ましい。中間層にビーズを含有させて凸
部を形成し、この中間層上に感光性樹脂層を塗布、乾燥
させるとビーズの厚み方向の大きさが小さくなりレンズ
状になり、感光性樹脂層に凹部が形成される。前記ビー
スとしては、柔軟性を持ち、球状で、アルカリ可溶性で
あり、現像液で溶解するものが好ましい。また、ビーズ
の屈折率は中間層とほぼ同じであることが好ましい。前
記ビーズの平均粒径が0.5〜50μmであることが好
ましく、1〜30μmであることがより好ましい。
The intermediate layer preferably contains beads for the purpose of forming irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side. When beads are included in the intermediate layer to form a convex portion, and the photosensitive resin layer is applied and dried on the intermediate layer, the size of the beads in the thickness direction becomes small and becomes a lens shape, and the concave portion is formed in the photosensitive resin layer. Is formed. The beads are preferably flexible, spherical, alkali-soluble, and soluble in a developing solution. The refractive index of the beads is preferably almost the same as that of the intermediate layer. The average particle size of the beads is preferably 0.5 to 50 μm, more preferably 1 to 30 μm.

【0042】前記ビーズとしては、上記熱可塑性樹脂層
と同様のものを用いることができる。ビーズの添加量
は、中間層組成物100質量部に対して1〜50質量部
であることが好ましく、5〜30質量部であることがよ
り好ましい。
As the beads, those similar to the thermoplastic resin layer can be used. The addition amount of the beads is preferably 1 to 50 parts by mass, and more preferably 5 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the intermediate layer composition.

【0043】前記中間層は、前記樹脂成分等を水系溶媒
に溶解、分散して塗布液(中間層用塗布液)を調製し、
例えば、スピンコート法等の公知の塗布方法により前記
熱可塑性樹脂層上に塗布等して形成することができる。
前記水系溶媒としては、蒸留水等の水を主成分とし、所
望により本発明の効果を損なわない範囲でアルコール等
の水と親和性のある溶剤や塩等を添加した溶媒が挙げら
れる。
For the intermediate layer, the resin components and the like are dissolved and dispersed in an aqueous solvent to prepare a coating liquid (intermediate layer coating liquid),
For example, it can be formed by coating on the thermoplastic resin layer by a known coating method such as spin coating.
Examples of the water-based solvent include a solvent containing water such as distilled water as a main component, and if desired, a solvent having a compatibility with water such as alcohol or a salt added thereto within a range not impairing the effects of the present invention.

【0044】前記中間層の層厚としては、約0.1〜5
μmが好ましく、0.5〜2μmがより好ましい。前記
層厚が、約0.1μm未満であると、酸素透過性が高す
ぎて感光性樹脂層の重合感度が低下することがあり、一
方、約5μmを超えると、現像や中間層除去時に長時間
を要することがある。
The layer thickness of the intermediate layer is about 0.1-5.
μm is preferable, and 0.5 to 2 μm is more preferable. If the layer thickness is less than about 0.1 μm, the oxygen permeability may be too high and the sensitivity of polymerization of the photosensitive resin layer may be reduced, while if it exceeds about 5 μm, the layer may be long during development and removal of the intermediate layer. It may take time.

【0045】−感光性樹脂層− 前記感光性樹脂層は、下記に詳しく説明する感光性樹脂
組成物により好適に形成することができる。
-Photosensitive Resin Layer- The photosensitive resin layer can be preferably formed by the photosensitive resin composition described in detail below.

【0046】((感光性樹脂組成物))本発明の感光性樹脂
組成物は、重合性モノマーと(メタ)アクリル酸含有重
合体と重合開始剤とを含み、ネガ型の光重合系やポジ型
の光重合系のいずれも使用可能である。この樹脂組成物
は、少なくとも温度150℃以下で軟化若しくは粘着性
を有する熱可塑性の樹脂組成物であり、未照射部ではア
ルカリ溶液に対して易溶性を有し、着色剤を含むもので
ある。また、必要に応じて、熱可塑性の結合剤、相溶性
の可塑剤等のその他の成分を含んでなる。
((Photosensitive resin composition)) The photosensitive resin composition of the present invention contains a polymerizable monomer, a (meth) acrylic acid-containing polymer and a polymerization initiator, and contains a negative type photopolymerization system or a positive type photopolymerization system. Any type of photopolymerization system can be used. This resin composition is a thermoplastic resin composition having a softening property or an adhesive property at a temperature of 150 ° C. or lower, and is easily soluble in an alkaline solution in an unirradiated portion and contains a colorant. If necessary, it also contains other components such as a thermoplastic binder and a compatible plasticizer.

【0047】−重合性モノマー− 前記重合性モノマーは、エチレン性不飽和結合を少なく
とも2個有する付加重合可能な化合物であり、後述の
(メタ)アクリル酸含有重合体のアルカリ溶解性を損な
わず、光照射時に重合し、(メタ)アクリル酸含有重合
体と共にアルカリ水溶液に対する溶解性を減少させるも
のである。
—Polymerizable Monomer— The polymerizable monomer is an addition-polymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated bonds, and does not impair the alkali solubility of the (meth) acrylic acid-containing polymer described below. It is polymerized upon irradiation with light and reduces the solubility in an aqueous alkaline solution together with the (meth) acrylic acid-containing polymer.

【0048】前記重合性モノマーとしては、末端エチレ
ン性不飽和結合を1分子中に2個以上有する化合物の中
から適宜選択でき、例えば、モノマー、プレポリマー、
即ち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合
物、若しくはこれらの共重合体等の化学構造を持つもの
が含まれる。
The polymerizable monomer can be appropriately selected from compounds having two or more terminal ethylenically unsaturated bonds in one molecule, and examples thereof include monomers, prepolymers, and
That is, those having a chemical structure such as a dimer, a trimer and an oligomer, a mixture thereof, or a copolymer thereof are included.

【0049】具体的には、例えば、不飽和カルボン酸
(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ク
ロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)と脂肪族
多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸
と脂肪族多価アミン化合物とのアミドなどが挙げられ
る。
Specifically, for example, an ester of an unsaturated carboxylic acid (eg, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid) and an aliphatic polyhydric alcohol compound, an unsaturated carboxylic acid Examples thereof include amides of acids and aliphatic polyvalent amine compounds.

【0050】前記不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコ
ール化合物とのエステル(モノマー)としては、アクリ
ル酸エステル、メタクリル酸エステル、イタコン酸エス
テル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、
マレイン酸エステルなどが挙げられる。
As the ester (monomer) of the unsaturated carboxylic acid and the aliphatic polyhydric alcohol compound, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, itaconic acid ester, crotonic acid ester, isocrotonic acid ester,
Examples include maleic acid esters.

【0051】前記アクリル酸エステルとしては、例え
ば、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレン
グリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジ
アクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレー
ト、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンテ
ルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アク
リロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエ
タントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレー
ト、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、
テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリ
スリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリ
アクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソル
ビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアク
リレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシア
ヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマーなどが
挙げられる。
Examples of the acrylic acid ester include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, tetramethylene glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentel glycol diacrylate and triethylene glycol diacrylate. Methylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate,
Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (Acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer and the like can be mentioned.

【0052】前記メタクリル酸エステルとしては、例え
ば、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリ
エチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグ
リコールジメタクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリ
レート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3
−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオール
ジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペン
タエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリ
スリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレー
ト、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−
(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)
フェニル〕ジメチルメタン、ビス〔p−(メタクリルオ
キシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタンなどが挙げら
れる。
Examples of the methacrylic acid ester include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3.
-Butanediol dimethacrylate, hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p-
(3-methacryloxy-2-hydroxypropoxy)
Examples thereof include phenyl] dimethylmethane and bis [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethylmethane.

【0053】前記イタコン酸エステルとしては、例え
ば、エチレングリコールジイタコネート、プロピレング
リコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイ
タコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、
テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリ
スリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコ
ネートなどが挙げられる。
Examples of the itaconic acid ester include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate,
Examples thereof include tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate, and sorbitol tetriconate.

【0054】前記クロトン酸エステルとしては、例え
ば、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレ
ングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジ
クロトネート、ソルビトールテトラジクロトネートなど
が挙げられる。
Examples of the crotonic acid ester include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate and sorbitol tetradicrotonate.

【0055】前記イソクロトン酸エステルとして、例え
ば、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエ
リスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトラ
イソクロトネートなどが挙げられる。
Examples of the isocrotonic acid ester include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate and sorbitol tetraisocrotonate.

【0056】前記マレイン酸エステルとして、例えば、
エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコー
ルジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソル
ビトールテトラマレー卜などが挙げられる。なお、更
に、前述の各種エステルの混合物も挙げることができ
る。
As the maleic acid ester, for example,
Examples thereof include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramale. Furthermore, a mixture of the above-mentioned various esters can also be mentioned.

【0057】前記不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン
化合物とのアミド(モノマー)としては、例えば、メチ
レンビス−アクリルアミド、メチレシビス−メタクリル
アミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミ
ド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、
ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレ
ンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミ
ドなどが挙げられる。
Examples of the amide (monomer) of the unsaturated carboxylic acid and the aliphatic polyvalent amine compound include, for example, methylenebis-acrylamide, methylebisbis-methacrylamide, 1,6-hexamethylenebis-acrylamide, 1,6-hexa. Methylenebis-methacrylamide,
Diethylenetriamine tris acrylamide, xylylene bis acrylamide, xylylene bis methacrylamide, etc. are mentioned.

【0058】その他の例としては、特公昭48−417
08号公報に記載の、1分子に2個以上のイソシアネー
ト基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式
(I)で表される水酸基含有ビニルモノマーを付加せし
めた、1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有する
ビニルウレタン化合物などが挙げられる。 CH2=C(R)COOCH2CH(R)OH (I) 〔式中、R及びRは、H又はCH3を表す。〕
Another example is Japanese Examined Patent Publication No. 48-417.
No. 08, the polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups in one molecule is added with a hydroxyl group-containing vinyl monomer represented by the following general formula (I) to obtain two or more molecules in one molecule. Examples thereof include vinyl urethane compounds containing a polymerizable vinyl group. CH 2 = C (R) COOCH 2 CH (R 1) OH (I) [wherein, R and R 1 represents H or CH 3. ]

【0059】また、特開昭51−37193号公報に記
載のウレタンアクリレート類、特開昭48−64183
号、特公昭49−43191号、特公昭52−3049
0号等の各公報に記載の、ポリエステルアクリレート
類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエ
ポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタ
クリレートを挙げることができる。更に、日本接着協会
誌(vo1.20、No.7、p.300〜308(19
84年))に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹
介されているものも使用することができる。
Further, urethane acrylates described in JP-A-51-37193, JP-A-48-64183,
No. 4, Japanese Patent Publication No. 49-43191, Japanese Patent Publication No. 52-3049
Polyfunctional acrylates and methacrylates such as polyester acrylates, epoxy acrylates obtained by reacting an epoxy resin with (meth) acrylic acid, and the like described in each publication such as No. 0 can be mentioned. Furthermore, the Japan Adhesive Association magazine (vo1.20, No.7, p.300-308 (19
Those introduced as photo-curable monomers and oligomers in 1984)) can also be used.

【0060】前記重合性モノマーは、一種単独で用いて
もよいし、二種以上を併用してもよい。前記重合性モノ
マーの含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分の
10〜60質量%が好ましく、20〜50質量%がより
好ましい。
The polymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more. The content of the polymerizable monomer is preferably 10 to 60% by mass of the total solid content of the photosensitive resin composition, more preferably 20 to 50% by mass.

【0061】また、後述の(メタ)アクリル酸含有重合
体の総量に対する前記重合性モノマーの総量の質量比が
0.5〜0.9である。前記質量比が、0.5未満であ
ると、光重合による硬化が不十分で硬度が不足する。一
方、0.9を超えると、好ましい形状が得られない。
The mass ratio of the total amount of the polymerizable monomer to the total amount of the (meth) acrylic acid-containing polymer described later is 0.5 to 0.9. If the mass ratio is less than 0.5, curing by photopolymerization is insufficient and hardness is insufficient. On the other hand, if it exceeds 0.9, a preferable shape cannot be obtained.

【0062】−(メタ)アクリル酸含有重合体− 前記(メタ)アクリル酸含有重合体は、主にバインダー
成分として含有され、アルカリ溶液により現像可能なも
のである。前記(メタ)アクリル酸含有重合体として
は、一般に、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、例
えば、特開昭59−44615号公報、特公昭54−3
4327号公報、特公昭58−12577号公報、特公
昭54−25957号公報、特開昭59−53836号
公報、及び特開昭59−71048号公報に記載の、メ
タクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸
共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、
部分エステル化マレイン酸共重合体などが挙げられる。
また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も
挙げられる。
-(Meth) acrylic acid-containing polymer- The (meth) acrylic acid-containing polymer is contained mainly as a binder component and can be developed with an alkaline solution. The (meth) acrylic acid-containing polymer is generally a polymer having a carboxylic acid group in its side chain, for example, JP-A-59-44615 and JP-B-54-3.
4327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-59-71048, and a methacrylic acid copolymer and acrylic acid. Copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer,
Examples thereof include partially esterified maleic acid copolymers.
Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain is also mentioned.

【0063】上記のほか、水酸基を有するポリマーに環
状酸無水物を付加したものも好適に挙げられる。特に、
米国特許第4139391号明細書に記載の、ベンジル
(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸の共重合体
やベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸
と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができ
る。更に、アルコール可溶性ナイロンも挙げることがで
きる。また、複数の(メタ)アクリル酸含有重合体を組
合わせて使用してもよい。
In addition to the above, those obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are also preferable. In particular,
The copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid and the multi-component copolymer of benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers described in US Pat. No. 4,139,391 are listed. be able to. Furthermore, alcohol-soluble nylon can also be mentioned. Further, a plurality of (meth) acrylic acid-containing polymers may be used in combination.

【0064】前記(メタ)アクリル酸含有重合体は、通
常、50〜300mgKOH/1gの範囲の酸価と、1
000〜300000の範囲の質量平均分子量を有する
ものの中から適宜選択して使用される。前記酸価が、5
0mgKOH/1g未満であると、アルカリ現像性が大
きく低下することがあり、一方、300mgKOH/1
gを超えると、目標とする構造体が得られなくなること
がある。
The (meth) acrylic acid-containing polymer usually has an acid value in the range of 50 to 300 mgKOH / 1 g and 1
It is used by appropriately selecting from those having a mass average molecular weight in the range of 000 to 300,000. The acid value is 5
If it is less than 0 mgKOH / 1 g, the alkali developability may be significantly reduced, while on the other hand, 300 mgKOH / 1
If it exceeds g, the target structure may not be obtained.

【0065】前記(メタ)アクリル酸含有重合体の質量
平均分子量としては、上記の通り、1000〜3000
00が好ましく、中でも特に10000〜250000
が好ましい。前記質量平均分子量が、1000未満であ
ると、目標とする構造体が得られなくなることがあり、
一方、300000を超えると、現像性が極端に低下す
ることがある。なお、質量平均分子量は、GPC(ゲル
パーミエイションクロマトグラフィー)により測定した
ポリスチレン換算平均分子量である。
The mass average molecular weight of the (meth) acrylic acid-containing polymer is from 1,000 to 3,000 as described above.
00 is preferred, and particularly 10,000 to 250,000
Is preferred. If the mass average molecular weight is less than 1000, the target structure may not be obtained,
On the other hand, when it exceeds 300,000, the developability may be extremely lowered. The mass average molecular weight is a polystyrene equivalent average molecular weight measured by GPC (gel permeation chromatography).

【0066】前記(メタ)アクリル酸含有重合体の含有
量としては、感光性樹脂組成物の全固形分の20〜60
質量%が好ましく、30〜55質量%がより好ましい。
(メタ)アクリル酸含有重合体の含有量が、20質量%
未満であると、感光性樹脂組成物を支持体等上に塗布す
る際に膜形成が困難となることがあり、一方、60質量
%を超えると、重合性モノマーの含有比が少なくなり、
重合不良となることがある。
The content of the (meth) acrylic acid-containing polymer is 20 to 60 of the total solid content of the photosensitive resin composition.
Mass% is preferable, and 30 to 55 mass% is more preferable.
The content of the (meth) acrylic acid-containing polymer is 20% by mass.
If the amount is less than 60% by weight, it may be difficult to form a film when the photosensitive resin composition is applied onto a support, while if it exceeds 60% by mass, the content ratio of the polymerizable monomer decreases.
Polymerization may be poor.

【0067】−重合開始剤− 前記重合開始剤は、重合性モノマーの光重合を実質的に
開始させることのできるものであり、前記重合性モノマ
ーの重合反応を開始させる能力を持つ化合物は全て使用
可能である。中でも特に、約300〜500nmの波長
領域に、少なくとも約50の分子吸光係数を有する成分
を少なくとも1種を含有し、紫外線領域の光線に対して
感光性を有することが好ましい。
-Polymerization Initiator- The polymerization initiator is capable of substantially initiating the photopolymerization of the polymerizable monomer, and all compounds having the ability to initiate the polymerization reaction of the polymerizable monomer are used. It is possible. Among them, it is particularly preferable to contain at least one component having a molecular extinction coefficient of at least about 50 in the wavelength region of about 300 to 500 nm and have photosensitivity to light rays in the ultraviolet region.

【0068】前記重合開始剤としては、例えば、ハロゲ
ン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合
物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミ
ダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、
特開平2−48664号公報、特開平1−152449
号公報、特開平2−153353号公報に記載の、芳香
族ケトン類、ロフィン2量体、ベンゾイン、ベンゾイン
エーテル類、ポリハロゲン類、及びこれら2種以上の組
合せなどが挙げられる。
Examples of the polymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives, ketone compounds, ketoxime compounds, organic peroxides, thio compounds, hexaarylbiimidazole, aromatic onium salts, ketoxime ethers,
JP-A-2-48664, JP-A-1-152449
Aromatic ketones, lophine dimers, benzoins, benzoin ethers, polyhalogens, and combinations of two or more of these, and the like described in JP-A No. 2-153353.

【0069】これらの中でも、光感度、保存性、基板へ
の密着性等に優れる点で、トリアジン骨格を有するハロ
ゲン化炭化水素化合物、ケトオキシム化合物、ヘキサア
リールビイミダゾール、4,4'−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノンと2−(o−クロロフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール2量体の組合わせ、
2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N
−ジエトキシカルボニルメチルアミノ)−3−ブロモフ
ェニル]−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(エ
トキシカルボニルメチル)−2,6−ジ(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン〕を用いた系が好ましい。
Among these, halogenated hydrocarbon compounds having a triazine skeleton, ketoxime compounds, hexaarylbiimidazole, 4,4′-bis (diethylamino), in terms of excellent photosensitivity, storability, adhesion to substrates, etc. ) Benzophenone and 2- (o-chlorophenyl)-
A combination of 4,5-diphenylimidazole dimers,
2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4- (N, N
-Diethoxycarbonylmethylamino) -3-bromophenyl] -s-triazine, 4- [p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine] Preferred systems are preferred.

【0070】前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭
化水素化合物としては、例えば、Bull.Chem.
Soc.Japan,42、2924(若林ら著、19
69)に記載の化合物〔例えば、2−フェニル−4,6
−ビス(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−
(p−クロルフェニル)−4,6−ビス(トリクロルメ
チル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6
−ビス(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−
(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロル
メチル)−s−トリアジン、2−(2',4'−ジクロル
フェニル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−s−
トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロルメチル)
−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリク
ロルメチル)−s−トリアジン、2−n−ノニル−4,
6−ビス(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−
(α,α,β−トリクロルエチル)−4,6−ビス(ト
リクロルメチル)−s−トリアジン等〕;英国特許第1
388492号明細書に記載の化合物〔例えば、2−ス
チリル−4,6−ビス(トリクロルメチル)−s−トリ
アジン、2−(p−メチルスチリル)−4,6−ビス
(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−(p−メ
トキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)
−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4
−アミノ−6−トリクロルメチル−s−トリアジン
等〕;特開昭53−133428号公報に記載の化合物
〔例えば、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−
4,6−ビス−トリクロルメチル−s−トリアジン、2
−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス
(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−〔4−
(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6
−ビス(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−
(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−
ビス(トリクロルメチル)−s−トリアジン、2−(ア
セナフト−5−イル)−4,6−ビス(トリクロルメチ
ル)−s−トリアジン等〕;独国特許第3337024
号明細書に記載の化合物〔例えば、2−(4−スチリル
フェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、2−(4−p−メトキシスチリルフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(1−ナフチルビニレンフェニル)−4,6
−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ク
ロロスチリルフェニル−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(4−チオフェン−2−ビ
ニレンフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−(4−チオフェン−3−ビニレ
ンフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−(4−フラン−2−ビニレンフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(4−ベンゾフラン−2−ビニレンフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン等〕;J.Org.Chem.(F.C.Scha
efer等、29、1527(1964))に記載の化
合物〔例えば、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモ
メチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリ
ブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス
(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2−アミノ−4
−メチル−6−トリブロモメチル−s−トリアジン、2
−メトキシ−4−メチル−6−トリクロロメチル−s−
トリアジン等〕;特開昭62−58241号公報に記載
の化合物〔例えば、2−(4−フェニルアセチレンフェ
ニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、2−(4−ナフチル−1−アセチレンフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(4−p−トリルアセチレンフェニル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(4−p−メトキシフェニルアセチレンフェニル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(4−p−イソプロピルフェニルアセチレンフ
ェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、2−(4−p−エチルフェニルアセチレンフ
ェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン等〕;特開平5−281728号公報に記載の
化合物〔例えば、2−(4−トリフルオロメチルフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(2,6−ジフルオロフェニル)−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(2,6−ジクロロフェニル)−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2−(2,6−ジブロ
モフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン等〕、等を挙げることができる。
Examples of the halogenated hydrocarbon compound having a triazine skeleton include those described in Bull. Chem.
Soc. Japan, 42, 2924 (Wakabayashi et al., 19
69) [e.g., 2-phenyl-4,6]
-Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(P-Chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6
-Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(P-Methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (2 ', 4'-dichlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-
Triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl)
-S-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-nonyl-4,
6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(Α, α, β-Trichloroethyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like]; British Patent No. 1
Compounds described in Japanese Patent No. 388492 [for example, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methylstyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s- Triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)
-S-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4
-Amino-6-trichloromethyl-s-triazine, etc.]; Compounds described in JP-A-53-133428 [for example, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl)-
4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2
-(4-Ethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [4-
(2-Ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6
-Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(4,7-Dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-
Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (acenaphtho-5-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, etc.]; German Patent No. 3337024
Described in the specification of the present invention [for example, 2- (4-styrylphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-
Triazine, 2- (4-p-methoxystyrylphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (1-naphthylvinylenephenyl) -4,6
-Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-chlorostyrylphenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-thiophen-2-vinylenephenyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl)
-S-triazine, 2- (4-thiophen-3-vinylenephenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s
-Triazine, 2- (4-furan-2-vinylenephenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-benzofuran-2-vinylenephenyl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, etc.]; Org. Chem. (FC Scha
efer et al., 29, 1527 (1964)) [eg, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s. -Triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2-amino-4
-Methyl-6-tribromomethyl-s-triazine, 2
-Methoxy-4-methyl-6-trichloromethyl-s-
Triazine and the like]; Compounds described in JP-A-62-58241 [eg, 2- (4-phenylacetylenephenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-naphthyl- 1-acetylenephenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-p-tolylacetylenephenyl)-
4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,
2- (4-p-methoxyphenylacetylenephenyl)
-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-p-isopropylphenylacetylenephenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-p-ethyl) Phenylacetylenephenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine etc.]; Compounds described in JP-A-5-281728 [for example, 2- (4-trifluoromethylphenyl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (2,6-difluorophenyl) -4,6-
Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(2,6-Dichlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (2,6-dibromophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s
-Triazine and the like], and the like.

【0071】前記ケトオキシム化合物としては、例え
ば、下記一般式(II)で表される化合物が挙げられ
る。
Examples of the ketoxime compound include compounds represented by the following general formula (II).

【0072】[0072]

【化1】 [Chemical 1]

【0073】前記一般式(II)中、R及びRは、
それぞれ独立に、置換基を有していてもよく、不飽和結
合を有していてもよい炭化水素基、ヘテロ環基を表し、
互いに同一でも異なっていてもよい。R及びRは、
それぞれ独立に水素原子、置換基を有していてもよく、
不飽和結合を有していてもよい炭化水素基、ヘテロ環
基、ヒドロキシル基、置換オキシ基、メルカプト基、置
換チオ基を表し、互いに同一でも異なっていてもよい。
なお、R及びRは互いに結合して環を形成していて
もよく、この場合、該環が−O−、−NR−、−O−
CO−、−NH−CO−、−S−及び−SO−より選
択される少なくとも一種の2価の基を環の連結主鎖とし
て含んでいてもよい炭素数2〜8のアルキレン基を表
す。R及びRは、それぞれ独立に水素原子、置換基
を有していてもよく、不飽和結合を含んでいてもよい炭
化水素基、置換カルボニル基を表す。
In the general formula (II), R 2 and R 3 are
Each independently, may have a substituent, represents a hydrocarbon group optionally having an unsaturated bond, a heterocyclic group,
They may be the same or different from each other. R 4 and R 5 are
Each may independently have a hydrogen atom or a substituent,
It represents a hydrocarbon group which may have an unsaturated bond, a heterocyclic group, a hydroxyl group, a substituted oxy group, a mercapto group or a substituted thio group, which may be the same or different from each other.
In addition, R 4 and R 5 may be bonded to each other to form a ring, and in this case, the ring is —O—, —NR 6 —, —O—.
CO -, - NH-CO - , - represents at least one divalent group connecting backbone as which may contain an alkylene group having a carbon number of 2-8 ring selected from - S- and -SO 2 . R 6 and R 7 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group which may have a substituent, and may contain an unsaturated bond, or a substituted carbonyl group.

【0074】前記一般式(II)で表される化合物の具
体例を以下に示す。但し、本発明においては、これらに
限定されるものではない。例えば、p−メトキシフェニ
ル−2−N,N−ジメチルアミノプロピルケトンオキシ
ム−O−アリルエーテル、p−メチルチオフェニル−2
−モルフォリノプロピルケトンオキシム−O−アリルエ
ーテル、p−メチルチオフェニル−2−モルフォリノプ
ロピルケトンオキシム−O−ベンジルエーテル、p−メ
チルチオフェニル−2−モルフォリノプロピルケトンオ
キシム−O−n−ブチルエーテル、p−モルフォリノフ
ェニル−2−モルフォリノプロピルケトンオキシム−O
−アリルエーテル、p−メトキシフェニル−2−モルフ
ォリノプロピルケトンオキシム−O−n−ドデシルエー
テル、p−メチルチオフェニル−2−モルフォリノプロ
ピルケトンオキシム−O−メトキシエトキシエチルエー
テル、p−メチルチオフェニル−2−モルフォリノプロ
ピルケトンオキシム−O−p−メトキシカルボニルベン
ジルエーテル、p−メチルチオフェニル−2−モルフォ
リノプロピルケトンオキシム−O−メトキシカルボニル
メチルエーテル、p−メチルチオフェニル−2−モルフ
ォリノプロピルケトンオキシム−O−エトキシカルボニ
ルメチルエーテル、p−メチルチオフェニル−2−モル
フォリノプロピルケトンオキシム−O−4−ブトキシカ
ルボニルブチルエーテル、p−メチルチオフェニル−2
−モルフォリノプロピルケトンオキシム−O−2−エト
キシカルボニルエチルエーテル、p−メチルチオフェニ
ル−2−モルフォリノプロピルケトンオキシム−O−メ
トキシカルボエル−3−プロペニルエーテル、p−メチ
ルチオフェニル−2−モルフォリノプロピルケトンオキ
シム−O−ベンジルオキシカルボニルメチルエーテルな
どが挙げられる。
Specific examples of the compound represented by the general formula (II) are shown below. However, the present invention is not limited to these. For example, p-methoxyphenyl-2-N, N-dimethylaminopropyl ketone oxime-O-allyl ether, p-methylthiophenyl-2
-Morpholinopropyl ketone oxime-O-allyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O-benzyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O-n-butyl ether, p -Morpholinophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O
-Allyl ether, p-methoxyphenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-On-dodecyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O-methoxyethoxyethyl ether, p-methylthiophenyl-2 -Morpholinopropyl ketone oxime-O-p-methoxycarbonylbenzyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O-methoxycarbonylmethyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O -Ethoxycarbonyl methyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O-4-butoxycarbonylbutyl ether, p-methylthiophenyl-2
-Morpholinopropyl ketone oxime-O-2-ethoxycarbonyl ethyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl ketone oxime-O-methoxycarboyl-3-propenyl ether, p-methylthiophenyl-2-morpholinopropyl Ketone oxime-O-benzyloxy carbonyl methyl ether etc. are mentioned.

【0075】前記ヘキサアリールビイミダゾールとして
は、例えば、2,2'−ビス(o−クロロフェニル)−
4,4',5,5'−テトラフェニルビイミダゾール、
2,2'−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4',5,
5'−テトラフェニルビイミダゾール、2,2'−ビス
(o,p−ジクロロフェニル)−4,4',5,5'−テ
トラフェニルビイミダゾール、2,2'−ビス(o−ク
ロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラ(m−メト
キシフェニル)ビイミダゾール、2,2'−ビス(o,
o'ジクロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフ
ェニルビイミダゾール、2,2'−ビス(o−ニトロフ
ェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニルビイミダ
ゾール、2,2'−ビス(o−メチルフェニル)−4,
4',5,5'−テトラフェニルビイミダゾール、2,
2'−ビス(o−トリフルオロメチルフェニル)−4,
4',5,5'−テトラフェニルビイミダゾールなどが挙
げられる。これらのビイミダゾール類は、例えば、Bu
ll.Chem.Soc.Japan,33,565
(1960)及びJ.Org.Chem,36(16)
2262(1971)に記載の方法により容易に合成す
ることができる。
Examples of the hexaarylbiimidazole include 2,2'-bis (o-chlorophenyl)-
4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole,
2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4 ', 5
5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4 , 4 ′, 5,5′-tetra (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (o,
o'dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-nitrophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2, 2'-bis (o-methylphenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,
2'-bis (o-trifluoromethylphenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetraphenyl biimidazole etc. are mentioned. These biimidazoles are, for example, Bu
ll. Chem. Soc. Japan, 33, 565
(1960) and J. Org. Chem, 36 (16)
It can be easily synthesized by the method described in 2262 (1971).

【0076】前記ケトオキシムエーテルとしては、例え
ば、3−ベンゾイロキシイミノブタン−2−オン、3−
アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニル
オキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノ
ペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェ
ニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイロキシイミノ−
1−フェニルプロパン−1−オン、3−p−トルエンス
ルホニルオキシイミノブタン−2−オン、2−エトキシ
カルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−
オンなどが挙げられる。
Examples of the ketoxime ether include 3-benzoyloxyiminobutan-2-one, 3-
Acetoxyiminobutan-2-one, 3-propionyloxyiminobutan-2-one, 2-acetoxyiminopentan-3-one, 2-acetoxyimino-1-phenylpropan-1-one, 2-benzoyloxyimino-
1-phenylpropan-1-one, 3-p-toluenesulfonyloxyiminobutan-2-one, 2-ethoxycarbonyloxyimino-1-phenylpropan-1-
Examples include on.

【0077】前記重合開始剤は、一種単独で用いてもよ
いし、二種以上を併用してもよく、また異種間で数個の
化合物を併用することも可能である。前記重合開始剤の
含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分の0.1
〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好
ましい。
The above-mentioned polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more, and it is also possible to use several compounds of different kinds together. The content of the polymerization initiator is 0.1% of the total solid content of the photosensitive resin composition.
-50 mass% is preferred, and 0.5-30 mass% is more preferred.

【0078】また、前記感光性樹脂層には、この感光性
樹脂層の仮支持体側の界面に凹凸を形成する目的でビー
ズを含有することができる。前記ビースとしては、上記
熱可塑性樹脂層及び中間層と同様のものを用いることが
できる。これにより、感光性樹脂層に凸部が形成され
る。
The photosensitive resin layer may contain beads for the purpose of forming irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side. As the beads, those similar to the thermoplastic resin layer and the intermediate layer can be used. As a result, convex portions are formed on the photosensitive resin layer.

【0079】また、前記ビーズがアルカリ現像性、又は
アルカリ現像性かつ重合禁止性であることが現像時にビ
ーズを現像液で除去して、感光性樹脂層に凹部を形成す
ることができる点で好ましい。
The beads are preferably alkali-developable, or alkali-developable and polymerization-inhibitory in that the beads can be removed with a developing solution at the time of development to form recesses in the photosensitive resin layer. .

【0080】前記ビーズの添加量は、感光性樹脂層組成
物100質量部に対して1〜50質量部であることが好
ましく、5〜30質量部であることがより好ましい。
The amount of the beads added is preferably 1 to 50 parts by mass, and more preferably 5 to 30 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the photosensitive resin layer composition.

【0081】−染料、顔料等の着色剤− 本発明の反射板形成用転写材料を着色する場合には、感
光性樹脂層に有機顔料、無機顔料、又は染料等の着色剤
を含有させることができる。黄色顔料として、例えば、
C.I.ピグメントイエロー20,C.I.ピグメント
イエロー24,C.I.ピグメントイエロー83,C.
I.ピグメントイエロー86,C.I.ピグメントイエ
ロー93,C.I.ピグメントイエロー109,C.
I.ピグメントイエロー110,C.I.ピグメントイ
エロー117,C.I.ピグメントイエロー125,
C.I.ピグメントイエロー137,C.I. ピグメ
ントイエロー138,C.I.ピグメントイエロー13
9,C.I.ピグメントイエロー185,C.I.ピグ
メントイエロー147,C.I.ピグメントイエロー1
48,C.I.ピグメントイエロー153,C.I.ピ
グメントイエロー,C.I.ピグメントイエロー15
4,C.I.ピグメントイエロー166,C.I.ピグ
メントイエロー168,モノライト・イエローGT
(C.I.ピグメントイエロー12),パーマネント・
イエローGR(C.I.ピグメントイエロー17)など
が挙げられる。
-Colorants such as dyes and pigments-When the transfer material for forming a reflector of the present invention is colored, the photosensitive resin layer may contain colorants such as organic pigments, inorganic pigments or dyes. it can. As a yellow pigment, for example,
C. I. Pigment Yellow 20, C.I. I. Pigment Yellow 24, C.I. I. Pigment Yellow 83, C.I.
I. Pigment Yellow 86, C.I. I. Pigment Yellow 93, C.I. I. Pigment Yellow 109, C.I.
I. Pigment Yellow 110, C.I. I. Pigment Yellow 117, C.I. I. Pigment Yellow 125,
C. I. Pigment Yellow 137, C.I. I. Pigment Yellow 138, C.I. I. Pigment Yellow 13
9, C.I. I. Pigment Yellow 185, C.I. I. Pigment Yellow 147, C.I. I. Pigment Yellow 1
48, C.I. I. Pigment Yellow 153, C.I. I. Pigment Yellow, C.I. I. Pigment Yellow 15
4, C.I. I. Pigment Yellow 166, C.I. I. Pigment Yellow 168, Monolight Yellow GT
(C.I. Pigment Yellow 12), Permanent
Yellow GR (CI Pigment Yellow 17) and the like.

【0082】オレンジ色顔料として、例えば、C.I.
ピグメントオレンジ36,C.I.ピグメントオレンジ
43,C.I.ピグメントオレンジ51,C.I.ピグ
メントオレンジ55,C.I.ピグメントオレンジ5
9,C.I.ピグメントオレンジ61などが挙げられ
る。
Examples of orange pigments include C.I. I.
Pigment Orange 36, C.I. I. Pigment Orange 43, C.I. I. Pigment Orange 51, C.I. I. Pigment Orange 55, C.I. I. Pigment Orange 5
9, C.I. I. Pigment Orange 61 and the like.

【0083】赤色顔料として、例えば、C.I.ピグメ
ントレッド9,C.I.ピグメントレッド97,C.
I.ピグメントレッド122,C.I.ピグメントレッ
ド123,C.I.ピグメントレッド149,C.I.
ピグメントレッド168,C.I.ピグメントレッド1
77,C.I.ピグメントレッド180,C.I.ピグ
メントレッド192,C.I.ピグメントレッド20
9,C.I.ピグメントレッド215,C.I.ピグメ
ントレド216,C.I.ピグメントレッド217,
C.I.ピグメントレッド220,C.I.ピグメント
レッド223,C.I.ピグメントレッド224,C.
I.ピグメントレッド226,C.I.ピグメントレッ
ド227,C.I.ピグメントレッド228,C.I.
ピグメントレッド240,C.I.ピグメントレッド4
8:1,パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグ
メントレッド146),パーマネント・ルビーFBH
(C.I.ピグメントレッド11),ファステル・ピン
クBスプラ(C.I.ピグメント・レッド81)などが
挙げられる。
Examples of red pigments include C.I. I. Pigment Red 9, C.I. I. Pigment Red 97, C.I.
I. Pigment Red 122, C.I. I. Pigment Red 123, C.I. I. Pigment Red 149, C.I. I.
Pigment Red 168, C.I. I. Pigment Red 1
77, C.I. I. Pigment Red 180, C.I. I. Pigment Red 192, C.I. I. Pigment Red 20
9, C.I. I. Pigment Red 215, C.I. I. Pigment Red 216, C.I. I. Pigment Red 217,
C. I. Pigment Red 220, C.I. I. Pigment Red 223, C.I. I. Pigment Red 224, C.I.
I. Pigment Red 226, C.I. I. Pigment Red 227, C.I. I. Pigment Red 228, C.I. I.
Pigment Red 240, C.I. I. Pigment Red 4
8: 1, Permanent Carmin FBB (CI Pigment Red 146), Permanent Ruby FBH
(C. I. Pigment Red 11), Fastel Pink B Spla (C. I. Pigment Red 81) and the like.

【0084】バイオレット顔料として、例えば、C.
I.ピグメントバイオレット19,C.I.ピグメント
バイオレット23,C.I.ピグメントバイオレット2
9,C.I.ピグメントバイオレット30,C.I.ピ
グメントバイオレット37,C.I.ピグメントバイオ
レット40,C.I.ピグメントバイオレット50など
が挙げられる。
Examples of violet pigments include C.I.
I. Pigment Violet 19, C.I. I. Pigment Violet 23, C.I. I. Pigment Violet 2
9, C.I. I. Pigment Violet 30, C.I. I. Pigment Violet 37, C.I. I. Pigment Violet 40, C.I. I. Pigment Violet 50 and the like.

【0085】青色顔料として、例えば、C.I.ピグメ
ントブルー15,C.I.ピグメント・ブルー15:
1,C.I.ピグメント・ブルー15:4,C.I.ピ
グメントブルー15:6,C.I.ピグメントブルー2
2,C.I.ピグメントブルー60,C.I.ピグメン
トブルー64,ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.
I.42595)などが挙げられる。
As the blue pigment, for example, C.I. I. Pigment Blue 15, C.I. I. Pigment Blue 15:
1, C.I. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I. Pigment Blue 15: 6, C.I. I. Pigment Blue 2
2, C.I. I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pigment Blue 64, Victoria Pure Blue BO (C.
I. 42595) and the like.

【0086】緑色顔料として、例えば、C.I.ピグメ
ントグリーン7,C.I.ピグメントグリーン36など
が挙げられる。
Examples of green pigments include C.I. I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36 and the like.

【0087】ブラウン顔料として、例えば、C.I.ピ
グメントブラウン23,C.I.ピグメントブラウン2
5,C.I.ピグメントブラウン26などが挙げられ
る。
Examples of brown pigments include C.I. I. Pigment Brown 23, C.I. I. Pigment Brown 2
5, C.I. I. Pigment Brown 26 and the like.

【0088】また、黒色顔料として、例えば、モノライ
ト・ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブ
ラック1),C.I.ピグメントブラック7,ファット
・ブラックHB(C.I.26150)などが挙げられ
る。
As the black pigment, for example, Monolight First Black B (CI Pigment Black 1), C.I. I. Pigment Black 7 and Fat Black HB (C.I.26150).

【0089】その他、カーボンブラック、オーラミン
(C.I.41000)などを挙げることができる。な
お、上記有機顔料、無機顔料、又は染料等の着色剤は1
種を単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて
用いることもできる。
Other examples include carbon black and auramine (C.I.41000). The colorant such as the above organic pigment, inorganic pigment, or dye is 1
The species may be used alone, or two or more species may be used in combination.

【0090】上記のような着色剤を用いる場合、顔料又
は染料の粒径は、5μm以下であることが好ましく、1
μm以下であることがより好ましい。感光性樹脂層は薄
膜な層であるため、顔料等の粒径が上記の範囲にない場
合には、樹脂層中に均一に分散することができず、好ま
しくない。
When the above colorant is used, the particle size of the pigment or dye is preferably 5 μm or less, 1
More preferably, it is less than or equal to μm. Since the photosensitive resin layer is a thin layer, if the particle size of the pigment or the like is not within the above range, it cannot be uniformly dispersed in the resin layer, which is not preferable.

【0091】前記染料又は顔料等の着色剤の添加量とし
ては、感光性樹脂組成物の全固形分の0.01〜30質
量%が好ましい。
The amount of the coloring agent such as the dye or pigment added is preferably 0.01 to 30% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

【0092】−他の成分− 前記感光性樹脂組成物には、他の成分として、熱可塑性
の結合剤、相溶性の可塑剤等の成分を含有してもよい。
-Other Components- The photosensitive resin composition may contain other components such as a thermoplastic binder and a compatible plasticizer.

【0093】前記熱可塑性の結合剤としては、例えば、
エチレン性不飽和化合物等の公知の結合剤が挙げられ
る。
Examples of the thermoplastic binder include, for example,
Known binders such as ethylenically unsaturated compounds may be mentioned.

【0094】前記相溶性の可塑剤としては、例えば、ポ
リプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジ
オクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチル
フタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジ
フェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフ
ェートなどが挙げられる。前記結合剤及び可塑剤の添加
量としては、本発明の効果を損なわない範囲で加えるこ
とができる。
Examples of the compatible plasticizer include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate and the like. The binder and the plasticizer may be added in an amount that does not impair the effects of the present invention.

【0095】前記感光性樹脂層は、前記各成分を必要に
応じて有機溶剤に溶解して塗布液(感光性樹脂層塗布用
塗布液)を調製し、公知の塗布方法により、仮支持体、
中間層などを含む層の上に塗布等して形成することがで
きる。前記有機溶剤としては、特に制限はなく、前記熱
可塑性樹脂層用塗布液の調製に使用可能なものと同様の
ものを用いることができる。
The photosensitive resin layer is prepared by dissolving each of the above components in an organic solvent as necessary to prepare a coating solution (coating solution for coating the photosensitive resin layer), and using a known coating method, a temporary support,
It can be formed by coating on a layer including an intermediate layer. The organic solvent is not particularly limited and may be the same as that which can be used for preparing the coating liquid for the thermoplastic resin layer.

【0096】前記感光性樹脂層の層厚(凹凸を有さない
部分)としては、0.5〜10μmが好ましく、1〜6
μmがより好ましい。前記感光性樹脂層の層厚が、0.
5μm未満であると、感光性樹脂層用塗布液の塗布時に
ピンホールが発生しやすく、製造適性が低下することが
あり、一方、10μmを超えると、現像時に未露光部を
除去するのに長時間を要することがある。また、感光性
樹脂層の加熱硬化時(ベーク時)の体積収縮率が50〜
90%であることが好ましく、70〜90%であること
がより好ましい。これにより最終的に得られる樹脂層に
表面粗さ(凹凸)が反射板として有効な表面形状を形成
することができる。
The layer thickness of the photosensitive resin layer (portion having no unevenness) is preferably 0.5 to 10 μm, and 1 to 6
μm is more preferable. The thickness of the photosensitive resin layer is 0.
If it is less than 5 μm, pinholes are likely to occur during the application of the coating solution for the photosensitive resin layer, which may lower the production suitability. On the other hand, if it exceeds 10 μm, it may take a long time to remove the unexposed portion during development. It may take time. Further, the volumetric shrinkage rate of the photosensitive resin layer during heat curing (at the time of baking) is 50 to
It is preferably 90%, more preferably 70 to 90%. As a result, it is possible to form a surface shape in which the resin layer finally obtained has a surface roughness (unevenness) effective as a reflection plate.

【0097】−カバーフィルム 前記感光性樹脂層上には、保管等の際の汚れや損傷から
保護する目的で、カバーフィルムを設けることが好まし
い。カバーフィルムは、感光性樹脂層から容易に剥離可
能なものの中から選択でき、前記仮支持体と同一又は類
似の材料からなるものであってもよい。具体的には、シ
リコーン紙、ポリオレフィン又はポリテトラフルオロエ
チレンシート等が好ましく、中でも、ポリエチレン、ポ
リプロピレンフィルムがより好ましい。
-Cover Film A cover film is preferably provided on the photosensitive resin layer for the purpose of protecting it from dirt and damage during storage. The cover film can be selected from those that can be easily peeled from the photosensitive resin layer, and may be made of the same or similar material as the temporary support. Specifically, silicone paper, polyolefin, polytetrafluoroethylene sheet and the like are preferable, and polyethylene and polypropylene film are more preferable.

【0098】前記カバーフィルムの厚みとしては、約5
〜100μmが好ましく、10〜30μmがより好まし
い。
The thickness of the cover film is about 5
˜100 μm is preferable, and 10˜30 μm is more preferable.

【0099】<反射板形成用転写材料の製造方法>本発
明の反射板形成用転写材料の製造方法は、第1の態様と
して、仮支持体上に少なくとも1層の塗布層と、アルカ
リ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてなる反射板形
成用転写材料の製造方法において、前記塗布層の少なく
とも1層にビーズを含有させて、該塗布層を塗布乾燥さ
せた上に前記感光性樹脂層を塗布し、該感光性樹脂層の
前記仮支持体側の界面に凹凸を形成するものである。
<Method of Manufacturing Transfer Material for Forming Reflector> In the first embodiment of the method for manufacturing the transfer material for forming reflector, at least one coating layer and an alkali-soluble material are provided on the temporary support. In the method for producing a transfer material for forming a reflection plate comprising a photosensitive resin layer in this order, at least one of the coating layers contains beads, and the coating layer is coated and dried, and then the photosensitive layer is formed. A resin layer is applied to form irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side.

【0100】本発明の反射板形成用転写材料の製造方法
は、第2の態様として、仮支持体上に少なくとも1層の
塗布層と、アルカリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設
けてなる反射板形成用転写材料の製造方法において、前
記感光性樹脂層にビーズを含有させて、該感光性樹脂層
を塗布乾燥させた後、前記ビーズを現像液で除去し、該
感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面に凹凸を形成する
ものである。この場合、前記感光性樹脂層に含有したビ
ーズがアルカリ現像性、又はアルカリ現像性かつ重合禁
止性であることが好ましい。
In a second embodiment of the method for producing a transfer material for forming a reflector of the present invention, at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support. In the method for producing a transfer material for forming a reflection plate, the photosensitive resin layer is made to contain beads, the photosensitive resin layer is applied and dried, and then the beads are removed with a developing solution to obtain the photosensitive resin layer. The unevenness is formed on the interface on the temporary support side. In this case, the beads contained in the photosensitive resin layer are preferably alkali developable, or alkali developable and polymerization-inhibiting.

【0101】なお、本発明の第1,2の態様の反射板形
成用転写材料の製造方法は、上記の点以外は、公知方法
により製造することができる。
The manufacturing method of the transfer material for forming a reflecting plate according to the first and second aspects of the present invention can be manufactured by a known method except for the above points.

【0102】具体的には、前記仮支持体上に、まず、熱
可塑性樹脂を溶剤に溶解し調製した塗布液(熱可塑性樹
脂層用塗布液)を塗布、乾燥して熱可塑性樹脂層を設
け、続いて該熱可塑性樹脂層上に、熱可塑性樹脂層を溶
解しない溶媒を用いてなる塗布液(中間層用塗布液)を
塗布、乾燥して中間層を設け、この中間層上に、前記感
光性樹脂組成物を中間層を溶解しない溶剤に溶解し調製
した塗布液を塗布、乾燥して感光性樹脂層を設けること
により形成することができる。又は、前記カバーフィル
ム上に感光性樹脂層を設け、一方、仮支持体上に熱可塑
性樹脂層と中間層とを設け、それぞれを中間層と感光性
樹脂層とが接するように貼り合わせることにより、或い
は、前記カバーフィルム上に感光性樹脂層と中間層とを
設け、一方、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設け、それ
ぞれを上記同様、中間層と感光性樹脂層とが接するよう
に貼り合わせることにより、本発明の反射板形成用転写
材料を製造することができる。
Specifically, first, a coating solution prepared by dissolving a thermoplastic resin in a solvent (coating solution for a thermoplastic resin layer) is applied onto the temporary support and dried to form a thermoplastic resin layer. Then, a coating solution (a coating solution for the intermediate layer) formed by using a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer is applied on the thermoplastic resin layer, and the intermediate layer is provided by drying, and the intermediate layer is formed on the intermediate layer. It can be formed by dissolving the photosensitive resin composition in a solvent that does not dissolve the intermediate layer, applying a prepared coating solution, and drying the coating solution to form the photosensitive resin layer. Alternatively, a photosensitive resin layer is provided on the cover film, while a thermoplastic resin layer and an intermediate layer are provided on the temporary support, and they are attached so that the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. Alternatively, a photosensitive resin layer and an intermediate layer are provided on the cover film, while a thermoplastic resin layer is provided on the temporary support so that the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other in the same manner as above. By laminating, the transfer material for forming a reflection plate of the present invention can be manufactured.

【0103】後述のように、転写材料を被転写体である
基板上に密着させ、転写材料の仮支持体を剥離する過程
では、仮支持体や基板等が帯電する結果、周囲のゴミ等
を引き寄せ、剥離後の感光性樹脂層上にゴミ等が付着し
て、その後の露光過程で未露光部ができ、その部分がピ
ンホールを形成する要因となることから、帯電を防止す
る目的で、仮支持体の少なくとも一方の表面に導電性層
を設けたり、或いは導電性を付与した仮支持体を用いる
ことにより、その表面電気抵抗を1013Ω以下に下げ
ることが好ましい。
As will be described later, in the process in which the transfer material is brought into close contact with the substrate which is the transfer target and the temporary support of the transfer material is peeled off, the temporary support and the substrate are charged, and as a result, the surrounding dust and the like are removed. Dust and the like are attached to the photosensitive resin layer after attracting and peeling, and an unexposed portion is formed in the subsequent exposure process, and that portion becomes a factor of forming a pinhole, so for the purpose of preventing charging, It is preferable to reduce the surface electric resistance to 10 13 Ω or less by providing a conductive layer on at least one surface of the temporary support or using a temporary support having conductivity.

【0104】仮支持体に導電性を付与するには、仮支持
体中に導電性物質を含有させればよい。例えば、金属酸
化物の微粒子や帯電防止剤を予め練り込んでおく方法が
好適である。前記金属酸化物としては、酸化亜鉛、酸化
チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、
酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリ
ブデン等の結晶性金属酸化物、及び/又は、その複合酸
化物の微粒子が挙げられる。
To give conductivity to the temporary support, a conductive substance may be contained in the temporary support. For example, a method of previously kneading fine particles of a metal oxide and an antistatic agent is suitable. Examples of the metal oxide include zinc oxide, titanium oxide, tin oxide, aluminum oxide, indium oxide,
Examples thereof include fine particles of a crystalline metal oxide such as silicon oxide, magnesium oxide, barium oxide, molybdenum oxide, and / or a composite oxide thereof.

【0105】前記帯電防止剤としては、エレクトロスト
リッパーA(花王(株)製)、エレノンNo.19(第
一工業製薬(株)製)等のアルキル燐酸塩系アニオン界
面活性剤;アモーゲンK(第一工業製薬(株)製)等の
ベタイン系両性界面活性剤;ニッサンノニオンL(日本
油脂(株)製)等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル
系非イオン界面活性剤;エマルゲン106、120、1
47、420、220、905、910(花王(株)
製)やニッサンノニオンE(日本油脂(株)製)等のポ
リオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性
剤、等が好適である。その他、非イオン界面活性剤とし
て、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル
系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチ
レンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレン
アルキルアミン系等のものが挙げられる。
Examples of the antistatic agent include Electrostripper A (manufactured by Kao Corporation), Elenon No. 19 (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) and the like, alkylphosphate-based anionic surfactants; amogen K (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) and other amphoteric surfactants; Nissan Nonion L (Nippon Yushi and Polyoxyethylene fatty acid ester-based nonionic surface active agents; Emulgen 106, 120, 1
47, 420, 220, 905, 910 (Kao Corporation)
(Manufactured by Nippon Oil & Fat Co., Ltd.) and polyoxyethylene alkyl ether-based nonionic surfactants are preferable. Other nonionic surfactants include polyoxyethylene alkylphenol ether-based, polyhydric alcohol fatty acid ester-based, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester-based, and polyoxyethylene alkylamine-based surfactants.

【0106】仮支持体上に導電性層を設ける場合には、
導電性層としては公知のものの中から、適宜選択して用
いることができる。導電性層に用いる導電性物質とし
て、ZnO、TiO、SnO、Al、In
、SiO、MgO、BaO、MoO等から選ば
れる少なくとも1種の結晶性金属酸化物、及び/又は、
その複合酸化物の微粒子等が挙げられる。これらを含有
させて用いる方法が湿度環境に影響されない、安定した
導電効果を有する点で好ましい。
When a conductive layer is provided on the temporary support,
The conductive layer can be appropriately selected and used from known ones. As the conductive material used for the conductive layer, ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Al 2 O 3 , In 2
At least one crystalline metal oxide selected from O 3 , SiO 2 , MgO, BaO, MoO 3 and / or the like, and / or
Examples thereof include fine particles of the composite oxide. The method of incorporating these is preferable in that it is not affected by the humidity environment and has a stable conductive effect.

【0107】前記結晶性金属酸化物又はその複合酸化物
の微粒子の体積抵抗値としては、10Ω・cm以下が
好ましく、10Ω・cm以下がより好ましい。また、
その粒子径としては、0.01〜0.7μmが好まし
く、0.02〜0.5μmがより好ましい。
The volume resistance value of the fine particles of the crystalline metal oxide or the composite oxide thereof is preferably 10 7 Ω · cm or less, more preferably 10 5 Ω · cm or less. Also,
The particle diameter is preferably 0.01 to 0.7 μm, more preferably 0.02 to 0.5 μm.

【0108】上記結晶性金属酸化物及びその複合酸化物
の微粒子の製造方法は、特開昭56−143430号公
報に詳細に記載されている。即ち、第1に、金属酸化物
微粒子を焼成により作製し、導電性を向上させる異種原
子の存在下で熱処理する方法、第2に、焼成により金属
酸化物微粒子を製造する際に導電性を向上させるための
異種原子を共存させる方法、第3に、焼成により金属微
粒子を製造する際に雰囲気中の酸素濃度を下げて、酸素
欠陥を導入する方法等が記載されている。異種原子を含
む具体例としては、ZnOに対してAl、In等、Ti
に対してNb、Ta等、SnOに対してSb、N
b、ハロゲン元素等を存在させることが挙げられる。
The method for producing fine particles of the above-mentioned crystalline metal oxide and its composite oxide is described in detail in JP-A-56-143430. That is, first, a method in which metal oxide fine particles are produced by firing and heat treatment is performed in the presence of a heteroatom for improving conductivity, and secondly, conductivity is improved when producing metal oxide fine particles by firing. Thirdly, a method of allowing different atoms to coexist, and a third method of introducing oxygen defects by lowering the oxygen concentration in the atmosphere when producing the metal fine particles by firing are described. As a specific example including a heteroatom, Zn, Al, In, Ti, etc.
Nb, Ta, etc. for O 2 , Sb, N for SnO 2
b, the presence of a halogen element, etc. may be mentioned.

【0109】異種原子の添加量としては、0.01〜3
0mol%が好ましく、0.1〜10mol%がより好
ましい。導電性粒子の使用量としては、0.05〜20
g/mが好ましく、0.1〜10g/mがより好ま
しい。
The addition amount of the heteroatom is 0.01 to 3.
0 mol% is preferable, and 0.1-10 mol% is more preferable. The amount of conductive particles used is 0.05 to 20.
preferably g / m 2, 0.1~10g / m 2 is more preferable.

【0110】転写材料に設ける導電性層には、バインダ
ーとして、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルロ
ーストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロ
ースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロ
ピオネート等のセルロースエステル;塩化ビニリデン、
塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニ
ル、炭素数1〜4のアルキルアクリレート、ビニルピロ
リドン等を含むホモポリマー又は共重合体;可溶性ポリ
エステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド等を使
用することができる。
In the conductive layer provided on the transfer material, as a binder, a cellulose ester such as gelatin, cellulose nitrate, cellulose triacetate, cellulose diacetate, cellulose acetate butyrate or cellulose acetate propionate; vinylidene chloride,
A homopolymer or copolymer containing vinyl chloride, styrene, acrylonitrile, vinyl acetate, an alkyl acrylate having 1 to 4 carbon atoms, vinylpyrrolidone or the like; soluble polyester, polycarbonate, soluble polyamide or the like can be used.

【0111】これらのバインダー中に導電性粒子を分散
する場合、チタン系分散剤又はシラン系分散剤等の分散
液を添加してもよい。また、必要に応じて、バインダー
架橋剤等を添加することもできる。
When the conductive particles are dispersed in these binders, a dispersion liquid such as a titanium-based dispersant or a silane-based dispersant may be added. Further, a binder cross-linking agent or the like can be added if necessary.

【0112】前記チタン系分散剤としては、例えば、米
国特許第4,069,192号公報、同第4,080,
353号公報等に記載の、チタネート系カップリング
剤、プレンアクト(味の素(株)製)などが挙げられ
る。前記シラン系分散剤としては、例えば、ビニルトリ
クロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ
ス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロ
ピルトリメトキシシラン等が挙げられ、「シランカップ
リング剤」(信越化学工業(株)製)として市販されて
いる。前記バインダー架橋剤としては、例えば、エポキ
シ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架
橋剤、エポキシ系架橋剤などが挙げられる。
Examples of the titanium-based dispersant include, for example, US Pat. Nos. 4,069,192 and 4,080,
Examples thereof include titanate coupling agents and Planeact (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) described in JP-A No. 353. Examples of the silane-based dispersant include vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane. , "Silane coupling agent" (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Examples of the binder crosslinking agent include epoxy crosslinking agents, isocyanate crosslinking agents, aziridine crosslinking agents, and epoxy crosslinking agents.

【0113】前記導電性層は、導電性微粒子をバインダ
ー中に分散させて仮支持体上に塗設したり、又は仮支持
体上に下引処理(例えば、下塗り層等)を施した上に導
電性微粒子を付着させることにより設けることができ
る。
The conductive layer may be prepared by dispersing conductive fine particles in a binder and coating it on a temporary support, or by subjecting the temporary support to an undercoating treatment (for example, an undercoat layer). It can be provided by attaching conductive fine particles.

【0114】前記導電性層は、仮支持体の感光性樹脂層
を塗設した面とは反対の表面上に設けてもよく、この場
合には、十分な耐傷性を確保する目的で、導電性層上に
更に疎水性重合体層を設けることが好ましい。この疎水
性重合体層は、疎水性重合体を有機溶剤に溶解した状態
又は水性ラテックスの状態で塗布すればよく、その塗布
量としては、乾燥質量で0.05〜1g/m程度が好
ましい。
The conductive layer may be provided on the surface of the temporary support which is opposite to the surface coated with the photosensitive resin layer. In this case, in order to secure sufficient scratch resistance, the conductive layer is formed. It is preferable to further provide a hydrophobic polymer layer on the functional layer. The hydrophobic polymer layer may be applied in a state where the hydrophobic polymer is dissolved in an organic solvent or in the state of an aqueous latex, and the application amount thereof is preferably about 0.05 to 1 g / m 2 in dry mass. .

【0115】前記疎水性重合体としては、例えば、ニト
ロセルロース、セルロースアセテート等のセルロースエ
ステル;塩化ビニル、塩化ビニリデン、ビニルアクリレ
ート等を含むビニル系ポリマー;有機溶剤可溶性ポリア
ミド、ポリエステル等のポリマーを挙げることができ
る。
Examples of the hydrophobic polymer include cellulose esters such as nitrocellulose and cellulose acetate; vinyl-based polymers containing vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl acrylate and the like; polymers such as organic solvent-soluble polyamide and polyester. You can

【0116】前記疎水性重合体層には、スベリ性を付与
する目的で、例えば、特開昭55−79435号公報に
記載の有機カルボン酸アミド等のスベリ剤を使用するこ
とができる。また、必要に応じて、マット剤等を使用す
ることもできる。このような疎水性重合体層を設けて
も、導電性層の効果は実質的に影響を受けない。
For the purpose of imparting a slip property to the hydrophobic polymer layer, a slip agent such as an organic carboxylic acid amide described in JP-A-55-79435 can be used. Also, a matting agent or the like can be used if necessary. Even if such a hydrophobic polymer layer is provided, the effect of the conductive layer is not substantially affected.

【0117】下塗り層を設ける場合、特開昭51−13
5526号公報、米国特許第3,143,421号公
報、同第3,586,508号公報、同第2,698,
235号公報、同第3,567,452号公報等に記載
の塩化ビニリデン系共重合体、特開昭51−11412
0号公報、米国特許第3,615,556号公報等に記
載のブタジエン等のジオレフイン系共重合体、特開昭5
1−58469号公報等に記載のグリシジルアクリレー
ト又はグリシジルメタアクリレート含有共重合体、特開
昭48−24923号公報等に記載のポリアミド・エピ
クロルヒドリン樹脂、特開昭50−39536号公報に
記載の無水マレイン酸含有共重合体等を用いることがで
きる。
When an undercoat layer is provided, it is disclosed in JP-A-51-13.
5526, U.S. Pat. Nos. 3,143,421, 3,586,508, and 2,698.
235 and 3,567,452, and the like, vinylidene chloride copolymers, JP-A-51-11412
No. 0, U.S. Pat. No. 3,615,556, and other diolefin-based copolymers such as butadiene;
Glycidyl acrylate- or glycidyl methacrylate-containing copolymers described in JP-A-58469, polyamide / epichlorohydrin resins described in JP-A-48-24923, and maleic anhydride described in JP-A-50-39536. An acid-containing copolymer or the like can be used.

【0118】本発明においては、特開昭56−8250
4号公報、特開昭56−143443号公報、特開昭5
7−104931号公報、特開昭57−118242号
公報、特開昭58−62647号公報、特開昭60−2
58541号公報等に記載の導電性層も必要に応じて用
いることができる。
In the present invention, JP-A-56-8250 is used.
4, JP-A-56-143443, JP-A-5
7-104931, JP-A-57-118242, JP-A-58-62647, and JP-A-60-2.
The conductive layer described in Japanese Patent No. 58541 can also be used if necessary.

【0119】仮支持体上に、導電性層を塗布する場合、
ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコート、
バーコート、カーテンコート等の公知の方法により塗布
することができる。十分な帯電防止効果を得るために
は、導電性層又は導電性を付与した仮支持体の表面電気
抵抗値を、1013Ω以下とすることが好ましく、10
12Ω以下とすることがより好ましい。
When a conductive layer is coated on the temporary support,
Roller coat, air knife coat, gravure coat,
Application by known methods such as bar coating and curtain coating
can do. To obtain sufficient antistatic effect
Is the surface electricity of the conductive layer or the temporary support having conductivity.
Resistance value is 10ThirteenΩ or less is preferable and 10
12It is more preferably Ω or less.

【0120】また、感光性樹脂層の仮支持体との強固な
接着を防止するため、仮支持体面に公知の微粒子を含有
する滑り剤組成物、シリコーン化合物を含有する離型剤
組成物等を塗布することもできる。
Further, in order to prevent strong adhesion of the photosensitive resin layer to the temporary support, a lubricant composition containing known fine particles on the surface of the temporary support, a release agent composition containing a silicone compound and the like are used. It can also be applied.

【0121】仮支持体の熱可塑性樹脂層を設けない側の
表面に導電性層を設ける場合には、熱可塑性樹脂層と仮
支持体との接着性を向上する目的で、仮支持体に、例え
ば、グロー放電処理、コロナ処理、紫外線照射処理等の
表面処理、フェノール性物質、ポリ塩化ビニリデン樹
脂、スチレンブタジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理
又はこれらの処理を組み合わせた処理を施すことができ
る。
When a conductive layer is provided on the surface of the temporary support on the side where the thermoplastic resin layer is not provided, the temporary support is provided with the purpose of improving the adhesiveness between the thermoplastic resin layer and the temporary support. For example, surface treatment such as glow discharge treatment, corona treatment, and ultraviolet irradiation treatment, undercoating treatment with a phenolic substance, polyvinylidene chloride resin, styrene butadiene rubber, gelatin, or a combination of these treatments can be performed.

【0122】仮支持体用のフィルムは押し出し形成によ
り形成することが可能であるが、導電性物質又は導電性
層を仮支持体と同一又は異質のプラスチック原料に含有
させ、前記フィルムと同時に押し出し形成した場合に
は、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得ること
ができる。この場合、前記疎水性重合体層や下塗り層を
設ける必要はなく、転写材料を構成する導電性付与仮支
持体として最も好ましい実施形態である。本発明の反射
板形成用転写材料の主な用途としては、反射板の下地
層、液晶セル内の反射電極形成用樹脂層など用途が好適
である。
The film for the temporary support can be formed by extrusion, but the conductive material or the conductive layer is contained in the same or different plastic raw material as the temporary support, and the film is extruded simultaneously with the film. In that case, a conductive layer having excellent adhesiveness and scratch resistance can be easily obtained. In this case, it is not necessary to provide the hydrophobic polymer layer or the undercoat layer, and this is the most preferable embodiment as the conductivity-imparting temporary support that constitutes the transfer material. The main application of the transfer material for forming a reflector of the present invention is preferably an underlayer of a reflector or a resin layer for forming a reflective electrode in a liquid crystal cell.

【0123】<反射板>次に、本発明の反射板は、前記
反射板形成用転写材料を基板に転写し、露光を行い、現
像、ベークして形成される表面に凹凸を有する樹脂層上
に光反射機能材料を形成してなる。
<Reflector> Next, the reflector of the present invention is formed by transferring the above-mentioned transfer material for forming a reflector to a substrate, exposing it, developing it, and baking it on a resin layer having irregularities on the surface. A light-reflecting functional material is formed on the.

【0124】まず、反射板形成用転写材料のカバーフィ
ルムを取り除き、感光性樹脂層を加圧、加熱下で被転写
体である基体上に貼り合わせる。貼り合わせには、従来
公知のラミネーター、真空ラミネーター等を使用するこ
とができ、より生産性を高めるためには、オートカット
ラミネーターも使用することができる。その後、仮支持
体を剥がし、所定のマスク、熱可塑性樹脂層及び中間層
を介して感光性樹脂層を露光し、次いで現像する。現像
は、公知の方法により行うことができ、溶剤若しくは水
性の現像液、特に、アルカリ水溶液等を用いて、露光後
の基体を浸漬するか、スプレー等により噴霧し、更にブ
ラシ等で擦ったり、或いは、超音波を照射しながら処理
することで行われる。
First, the cover film of the reflection plate-forming transfer material is removed, and the photosensitive resin layer is attached to the substrate that is the transfer target under pressure and heating. A conventionally known laminator, a vacuum laminator, or the like can be used for bonding, and an auto-cut laminator can also be used to further improve productivity. After that, the temporary support is peeled off, the photosensitive resin layer is exposed through a predetermined mask, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, and then developed. The development can be carried out by a known method, using a solvent or an aqueous developing solution, particularly an alkaline aqueous solution or the like, immersing the substrate after exposure or spraying with a spray or the like, and further rubbing with a brush or the like, Alternatively, it is performed by processing while irradiating ultrasonic waves.

【0125】前記反射板形成用転写材料の感光性樹脂層
と被転写体である基体とを貼り合わせた後、仮支持体を
熱可塑性樹脂層との界面で剥がし取り、該熱可塑性樹脂
層の上方から熱可塑性樹脂層及び中間層を通して感光性
樹脂層をパターン状に露光(パターニング)する。前記
露光は、300〜500nmの波長光の照射により行
え、光源としては、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀
灯、メタルハライドランプ、Hg−Xeランプ等が挙げ
られる。
After the photosensitive resin layer of the reflection plate-forming transfer material and the substrate that is the transfer target are bonded together, the temporary support is peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer, and the thermoplastic resin layer The photosensitive resin layer is patternwise exposed (patterned) from above through the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. The exposure can be performed by irradiation with light having a wavelength of 300 to 500 nm, and examples of the light source include a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a Hg-Xe lamp.

【0126】また、前記パターニングの方法としては、
例えば、フォトリソグラフィ法による方法、熱可塑
性樹脂層の上方に露光マスクを配置し、該マスク介して
パターン状に露光する方法、密着型のプロキシミティ
露光装置等の露光手段を用いる方法等が挙げられる。前
記方法によるパターニングでは、その露光量として
は、感光性樹脂組成物が重合硬化を起こす最小露光量の
3〜10倍が好ましく、プロキシミティ量としては、4
0〜150μmが好ましい。
Further, as the patterning method,
For example, a method by a photolithography method, a method of arranging an exposure mask above the thermoplastic resin layer and exposing in a pattern through the mask, a method of using an exposure means such as a contact type proximity exposure device, and the like can be mentioned. . In patterning by the above method, the exposure amount is preferably 3 to 10 times the minimum exposure amount at which the photosensitive resin composition causes polymerization and curing, and the proximity amount is 4
0 to 150 μm is preferable.

【0127】前記露光の後、現像処理して、熱可塑性樹
脂層、アルカリ可溶な中間層、及び不要部(未硬化部
分)の感光性樹脂層を除去する。
After the exposure, a development process is carried out to remove the thermoplastic resin layer, the alkali-soluble intermediate layer, and the unnecessary portion (uncured portion) of the photosensitive resin layer.

【0128】前記現像は、公知の方法により行え、溶剤
若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液等を用い
て、例えば、(a)露光後の基板自体を現像浴中に浸漬
する、(b)露光後の基板にスプレー等により噴霧する
等して、更に必要に応じて、溶解性を高める目的で、回
転ブラシや湿潤スポンジ等で擦ったり、超音波を照射し
ながら行うことができる。
The development can be carried out by a known method. For example, (a) the exposed substrate itself is immersed in a developing bath using a solvent or an aqueous developing solution, especially an alkaline aqueous solution, and (b) exposure. This can be carried out by spraying a substrate afterwards with a spray or the like, and if necessary, rubbing with a rotating brush or a wet sponge or irradiating with ultrasonic waves for the purpose of enhancing the solubility.

【0129】前記アルカリ水溶液としては、アルカリ性
物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機
溶剤を少量添加したものも好適に使用することができ
る。前記アルカリ性物質としては、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物類、炭酸ナト
リウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩類、炭酸
水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属重
炭酸塩類、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のアル
カリ金属ケイ酸塩類、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ
酸カリウム等のアルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールア
ミン、モルホリン、テトラメチルアンモニウムヒドロキ
シド等のテトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド
類、燐酸三ナトリウム等が挙げられる。
As the alkaline aqueous solution, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is preferable, and a solution to which a small amount of a water-miscible organic solvent is added can also be suitably used. As the alkaline substance, sodium hydroxide,
Alkali metal hydroxides such as potassium hydroxide, alkali metal carbonates such as sodium carbonate and potassium carbonate, alkali metal bicarbonates such as sodium hydrogen carbonate and potassium hydrogen carbonate, alkali metal such as sodium silicate and potassium silicate Alkali metal metasilicates such as silicates, sodium metasilicate, potassium metasilicate, etc., triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides such as tetramethylammonium hydroxide, trisodium phosphate, etc. Is mentioned.

【0130】アルカリ水溶液中のアルカリ性物質の濃度
としては、0.01〜30質量%が好ましく、更にpH
としては、8〜14が好ましい。
The concentration of the alkaline substance in the aqueous alkaline solution is preferably 0.01 to 30% by mass,
Is preferably 8 to 14.

【0131】前記水混和性を有する有機溶剤としては、
メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロ
パノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチ
ルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、
γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチル
アセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチ
ル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロ
リドン等が挙げられる。この有機溶剤の添加量として
は、0.1〜30質量%が好ましい。
As the water-miscible organic solvent,
Methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone,
γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like can be mentioned. The amount of the organic solvent added is preferably 0.1 to 30% by mass.

【0132】また、アルカリ水溶液には、公知の種々の
界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の濃度
としては、0.01〜10質量%が好ましい。現像時の
温度としては、通常、室温付近〜40℃が好ましい。更
に、現像処理した後に、水洗処理する工程を入れること
もできる。なお、現像処理した後、更に200〜260
℃下でベークする。
Various known surfactants may be added to the alkaline aqueous solution. The concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass. The temperature during development is usually preferably around room temperature to 40 ° C. Furthermore, a step of washing with water may be added after the development processing. After the development processing, 200 to 260 is further added.
Bake at ℃.

【0133】このようにして、表面に凹凸を有する樹脂
層が基板上に形成される。次に、この凹凸に光反射機能
材料層を形成する。前記光反射機能材料としては、光反
射性を有すれば特に制限されないが、反射電極を形成す
る観点から、Al,Ag等の金属材料が好適である。こ
のような金属膜の形成は、スパッタ法などにより行うこ
とができる。前記反射板を一方の反射電極として用いる
ことにより液晶表示装置を形成することができる。
In this way, the resin layer having irregularities on the surface is formed on the substrate. Next, a light-reflecting functional material layer is formed on the irregularities. The light reflecting functional material is not particularly limited as long as it has light reflectivity, but a metal material such as Al or Ag is preferable from the viewpoint of forming the reflective electrode. The formation of such a metal film can be performed by a sputtering method or the like. A liquid crystal display device can be formed by using the reflection plate as one reflection electrode.

【0134】前記反射板20に形成される凹凸は、図2
に示したように、不規則に大小の凸部10が形成された
り、図3に示したように、山部11と谷部12とを交互
に有する波状に形成されたり、図4に示したように、山
部11と谷部12とが交互に蒲鉾状に形成されたもので
あっても構わない。この場合、直交する2方向(図2〜
4においてXY方向)の少なくともいずれか1つの凹凸
のピッチ(図5参照)が3〜50μmであることが好ま
しく、10〜30μmであることがより好ましい。ま
た、PV値(図5参照)が0.1〜2.0μmであるこ
とが好ましく、0.2〜0.8μmであることがより好
ましい。なお、凹凸の測定は表面粗さ計を用い、平均値
で表される。
The unevenness formed on the reflection plate 20 is shown in FIG.
As shown in FIG. 4, irregularly large and small convex portions 10 are formed, or as shown in FIG. 3, it is formed in a wave shape having alternating peaks 11 and valleys 12, or as shown in FIG. As described above, the peaks 11 and the valleys 12 may be alternately formed in a semi-cylindrical shape. In this case, two orthogonal directions (Fig.
4, the pitch (see FIG. 5) of at least one of the irregularities in the XY direction) is preferably 3 to 50 μm, and more preferably 10 to 30 μm. The PV value (see FIG. 5) is preferably 0.1 to 2.0 μm, more preferably 0.2 to 0.8 μm. In addition, the unevenness is measured by using a surface roughness meter and is represented by an average value.

【0135】<液晶表示装置及びその製造方法>本発明
の液晶表示装置は、光反射機能を有する第1の電極が第
2の基板に対向する面に少なくとも一部形成されている
第1の基板と、この第1の基板に対向配置されている第
2の基板と、第1及び第2の基板の間に封入されている
液晶層とを備え、前記第1の基板と第1の電極との間
に、前記本発明の反射板形成用転写材料を用いて転写を
含む工程で形成される表面に凹凸を有する樹脂層を備え
ている。前記第1及び第2の電極はそれぞれマトリクス
状に形成されていても良い。また第1の電極は画素ごと
にパターニングされ、第2の電極はベタ状に形成されて
も良い。
<Liquid Crystal Display Device and Manufacturing Method Thereof> In the liquid crystal display device of the present invention, at least a part of the first substrate having the light reflecting function is formed on the surface facing the second substrate. And a second substrate facing the first substrate, and a liquid crystal layer sealed between the first and second substrates, the first substrate and the first electrode. In between, a resin layer having irregularities on the surface formed in a process including transfer using the transfer material for forming a reflection plate of the present invention is provided. The first and second electrodes may each be formed in a matrix. Further, the first electrode may be patterned for each pixel, and the second electrode may be formed in a solid shape.

【0136】前記樹脂層は、前記本発明反射板形成用転
写材料を用いて、転写を含む工程により形成された凹凸
を表面に有しており、この凹凸は連続的に波状の形状を
有していることが、広い領域にわたって良好な反射特性
を得ることができる上で好ましい。前記凹凸は、直径
0.7〜30μm(円又は楕円)、高さ0.1〜1.5
μmの凸部、又は凹凸が多数形成される。この形状は、
該液晶表示装置の用途により、適切な範囲が違う。完全
にパーソナルユースの場合、直径5μm、高さ0.5μ
mの、凹凸を、画素面積の7割程度に敷き詰めた構成が
良い。また、凹凸は略円形や円形のほか、楕円でも良
い。またこれらの径は、ランダムに変化させて配置し、
モアレの発生を防止する。また、凹凸は、円錐や角錐状
であることもある。
The resin layer has unevenness formed on the surface by using the above-mentioned transfer material for forming a reflector of the present invention by a process including transfer, and the unevenness has a continuous wavy shape. It is preferable that good reflection characteristics can be obtained over a wide area. The unevenness has a diameter of 0.7 to 30 μm (circle or ellipse) and a height of 0.1 to 1.5.
A large number of μm convex portions or irregularities are formed. This shape is
The appropriate range varies depending on the application of the liquid crystal display device. For completely personal use, diameter 5 μm, height 0.5 μ
It is preferable that the unevenness of m is spread over about 70% of the pixel area. Further, the unevenness may be an elliptical shape as well as a substantially circular shape or a circular shape. Also, these diameters are randomly changed and arranged,
Prevent moiré. In addition, the irregularities may be in the shape of a cone or a pyramid.

【0137】前記スイッチング素子を有する基板とし
て、TFTアクティブマトリックス基板を用いることが
好ましい。前記TFTアクティブマトリックス基板とし
ては、常用のものを制限なく使用することができる。例
えば、アクティブマトリクス基板(アレイ基板)に、ゲ
ート信号線と付加容量電極を形成し、この上にゲート絶
縁膜を形成した後、半導体層及びチャネル保護層を形成
し、更にTFTのソース及びドレインとなるn+Si層
を形成し、次に金属層及びITO膜をスパッタリング法
によって形成し、これらをパターニングすることによ
り、ドレイン信号線及びソース信号線を形成する等によ
って作製することができる。
A TFT active matrix substrate is preferably used as the substrate having the switching element. As the TFT active matrix substrate, a commonly used TFT active matrix substrate can be used without limitation. For example, a gate signal line and an additional capacitance electrode are formed on an active matrix substrate (array substrate), a gate insulating film is formed thereon, and then a semiconductor layer and a channel protective layer are formed, and further, a source and a drain of a TFT are formed. Then, a metal layer and an ITO film are formed by a sputtering method, and these are patterned to form a drain signal line and a source signal line.

【0138】前記TFT(薄膜トランジスター)アクテ
ィブマトリックス層が、アモルファスシリコン又は低温
ポリシリコン基材、コンティニュアスグレインシリコン
基材で形成されているものが好ましい。
It is preferable that the TFT (thin film transistor) active matrix layer is formed of amorphous silicon, a low temperature polysilicon base material, or a continuous grain silicon base material.

【0139】本発明の液晶表示装置の製造方法は、光反
射機能を有する第1の電極が第2の基板に対向する面に
少なくとも一部形成されている第1の基板と、この第1
の基板に対向配置されている第2の基板と、第1及び第
2の基板の間に封入されている液晶層とを備える液晶表
示装置の製造方法において、前記第1の基板と第1の電
極との間に、前記本発明の反射板形成用転写材料を用
い、転写を含む工程で表面に凹凸を有する樹脂層を形成
するものである。更に、具体的には、まず、ガラスから
成る絶縁性基板上に複数の配線が設けられ、表面処理等
を行った後、絶縁膜、半導体膜等を形成しアレイ状にス
イッチング素子が形成される。
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises: a first substrate having a first electrode having a light reflecting function, at least a part of which is formed on a surface facing the second substrate;
In the method of manufacturing a liquid crystal display device, the method further includes: a second substrate disposed to face the first substrate; and a liquid crystal layer sealed between the first and second substrates. The above-mentioned transfer material for forming a reflection plate of the present invention is used between an electrode and an electrode to form a resin layer having unevenness on the surface in a process including transfer. Further, specifically, first, a plurality of wirings are provided on an insulating substrate made of glass, and after performing a surface treatment or the like, an insulating film, a semiconductor film, etc. are formed to form switching elements in an array. .

【0140】次に、該基板のスイッチング素子が形成さ
れている側のほぼ全面を覆うように、本発明の反射板形
成用転写材料が転写される。この転写はラミネーターに
よって行われ、必要に応じて、基板表面はシランカップ
リングなどの前処理が施される。その後、所定の露光マ
スクを用い、露光した後、TMAH水溶液などの現像液
で現像し、コンタクトホールやアライメントマーク部分
の樹脂層を除去する。この段階で該樹脂層の表面は凹凸
に形成されている。また、ここで行う露光は20mJ/
cm程度で良く、露光時間としては、30秒より充分
短く、製造ラインのタクトタイムは1分以下、30前後
に設定が可能である。これを更にポスト露光および又は
ポストベークにより硬化させた後、その上にAl及び又
はAg等から成る反射層が形成される。この時、コンタ
クトホールを介してスイッチング素子と接続されてい
る。更にこの反射層をパターンエッチングし、画素ごと
に独立し、画素ごとにスイッチング素子に接続された反
射電極が形成される。この上に配向膜を形成し、ラビン
グ処理等を施す。
Then, the reflection plate-forming transfer material of the present invention is transferred so as to cover almost the entire surface of the substrate on which the switching elements are formed. This transfer is performed by a laminator, and if necessary, the surface of the substrate is subjected to pretreatment such as silane coupling. Then, after exposure using a predetermined exposure mask, development is performed with a developing solution such as a TMAH aqueous solution to remove the resin layer in the contact holes and alignment mark portions. At this stage, the surface of the resin layer is uneven. The exposure performed here is 20 mJ /
cm 2 is sufficient, the exposure time is sufficiently shorter than 30 seconds, and the tact time of the manufacturing line can be set to about 1 minute or less, about 30. After this is further cured by post exposure and / or post bake, a reflective layer made of Al and / or Ag or the like is formed thereon. At this time, it is connected to the switching element through the contact hole. Further, the reflective layer is pattern-etched to form a reflective electrode that is independent for each pixel and is connected to the switching element for each pixel. An alignment film is formed on this, and rubbing treatment or the like is performed.

【0141】他方の基板上には、反射電極に対向する部
分にカラーフィルタが形成され、(必要に応じてブラッ
クマトリクスを形成)、ITO(Indium Tin
Oxide)からなる透明電極が形成されている。両
基板は前記反射電極とカラーフィルタが一致するように
対向して貼り合わされ、間に液晶が注入され、反射型液
晶表示装置が製造される。
On the other substrate, a color filter is formed in a portion facing the reflective electrode (a black matrix is formed if necessary), ITO (Indium Tin).
Oxide) is formed on the transparent electrode. The two substrates are laminated so that the reflective electrode and the color filter are opposed to each other, and liquid crystal is injected between them to manufacture a reflective liquid crystal display device.

【0142】前記液晶表示装置としては、上記構成のも
の以外にも、カラーフィルタ・オン・アレイ(COA)
構造及び半透過型構造のいずれか又は両方を有するもの
を好適に用いることができる。
As the liquid crystal display device, a color filter on array (COA) other than the above-mentioned one is used.
Those having either or both of the structure and the semi-transmissive structure can be preferably used.

【0143】前記COA構造は、例えば、特開平10−
206888号公報などに記載されているように、カラ
ーフィルタが前記駆動側基板に直接形成されたカラーフ
ィルタ一体型駆動基板と、対向電極(導電層)を備える
対向基板とをスペーサーを介在させて対向配置し、その
間隙部に液晶材料を封入して構成されるものであり、カ
ラーフィルタを反射電極の上に形成し、高精細時に貼り
合わせマージンを広くして歩留まりや開口率を向上させ
ることができる。
The COA structure is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 10-
As described in JP-A-206888 and the like, a color filter-integrated drive substrate in which a color filter is directly formed on the drive side substrate and a counter substrate provided with a counter electrode (conductive layer) are opposed to each other with a spacer interposed therebetween. It is configured by arranging and arranging a liquid crystal material in the gap portion, and by forming a color filter on the reflective electrode, it is possible to widen the bonding margin at the time of high definition and improve the yield and the aperture ratio. it can.

【0144】前記半透過型構造とは、正面からの光を反
射して表示させる機能と、背面からの光を透過して表示
させる機能を併せ持った反射型液晶表示装置の一種であ
る。光を反射するために設けられている反射層を薄膜化
する等の方法で背面からの光も透過できるように構成し
た「ハーフミラー型」、と、1画素内に、光を反射する
領域と、光を透過する領域とを兼ね備えた「画素内分割
型」とがある。
The semi-transmissive structure is a type of reflective liquid crystal display device having both the function of reflecting light from the front for display and the function of transmitting light from the back for display. "Half mirror type" configured so that light from the back surface can also be transmitted by a method such as thinning the reflection layer provided for reflecting light, and a region that reflects light within one pixel , "In-pixel division type" that also has a region that transmits light.

【0145】前記ハーフミラー型は、例えば、特開20
01−100197号公報などに記述されている。構造
がシンプルだが、光学濃度が低い反射用のカラーフィル
タにバックライトの透過光を透過させるため、表示され
る色が薄い。
The half mirror type is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
No. 01-100197 and the like. Although the structure is simple, the transmitted color of the backlight is transmitted through the color filter for reflection, which has a low optical density, so the displayed color is pale.

【0146】前記「画素内分割型」は、図6に示したよ
うに、例えば、特開2001−174797号公報など
に記述されている。反射機能を有す画素内部分に対応す
るカラーフィルタを光学濃度が低い反射用のカラーフィ
ルタに、透過機能を有す画素内部分に対応するカラーフ
ィルタを光学濃度が高い透過用のカラーフィルタとする
ことで、反射型の場合、透過型の場合共に、良い色再現
性を得ることができる。なお、図6中30は感光性樹脂
層、31は基板である。更に、前記「画素内分割型」で
は、反射機能を有す画素内部分に対応する液晶層が薄
く、透過機能を有す画素内部分に対応する液晶層が厚く
なるよう、TFT基板側の絶縁膜の厚さや、カラーフィ
ルタ厚さ、オーバーコート厚さなどを設定し、反射の場
合、透過の場合共に、良いコントラストを得ることがで
きる。
The "in-pixel division type" is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2001-174797, as shown in FIG. The color filter corresponding to the pixel portion having the reflection function is used as the reflection color filter having low optical density, and the color filter corresponding to the pixel portion having the transmission function is used as the transmission color filter having high optical density. As a result, good color reproducibility can be obtained in both the reflective type and the transmissive type. In FIG. 6, 30 is a photosensitive resin layer and 31 is a substrate. Further, in the "divided type within a pixel", insulation on the TFT substrate side is performed so that the liquid crystal layer corresponding to the pixel portion having the reflection function is thin and the liquid crystal layer corresponding to the pixel portion having the transmission function is thick. By setting the thickness of the film, the thickness of the color filter, the thickness of the overcoat, and the like, good contrast can be obtained in both reflection and transmission.

【0147】[0147]

【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明を更に
具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限
定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0148】〔実施例1〕 −転写用樹脂フィルムの作成− 厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮
支持体に下記の処方H1の塗布液を塗布して乾燥膜厚1
4μmの熱可塑性樹脂層を形成した。 <熱可塑性樹脂層処方H1:> ・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =55/30/10/5、質量平均分子量=10万、Tg≒70℃) 7質量部 ・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=65/35、 質量平均分子量=1万、Tg≒100℃) 7質量部 ・ビスフェノールAにオクタエチレングリコールモノメタクリレートを2当量脱 水縮合した化合物(新中村化学(株)製BPE−500) 7質量部 ・メチルエチルケトン 50質量部
[Example 1] -Preparation of resin film for transfer-A coating solution of the following formulation H1 was applied to a polyethylene terephthalate film temporary support having a thickness of 75 μm to give a dry film thickness of 1
A 4 μm thermoplastic resin layer was formed. <Thermoplastic resin layer formulation H1:>-Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55/30/10/5, mass average molecular weight = 100,000) , Tg≈70 ° C.) 7 parts by mass / styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 65/35, mass average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 7 parts by mass / in bisphenol A Compound obtained by dehydration condensation of 2 equivalents of octaethylene glycol monomethacrylate (BPE-500 manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 7 parts by mass / methyl ethyl ketone 50 parts by mass

【0149】次に、上記熱可塑性樹脂層上に、下記組成
の中間層用塗布液P1を塗布した後、100℃で2分間
乾燥して厚さ1.6μmの中間層を形成した。この際、
中間層用塗布液にはビーズが含有させており、このビー
ズはしなやかなので乾燥中に扁平に潰れ、中間層の表面
に凹凸が形成された。 <中間層処方P1:> ・ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 100質量部 ・ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製PVP、K−90) 50質量部 ・樹脂製ビーズ(平均粒子径5μm) 20質量部 (芯材として菜種油を、壁材として脂肪族イソシアネートを用いたマイクロカプ セル) ・蒸留水 4000質量部
Next, an intermediate layer coating solution P1 having the following composition was applied onto the thermoplastic resin layer and dried at 100 ° C. for 2 minutes to form an intermediate layer having a thickness of 1.6 μm. On this occasion,
Beads were contained in the coating liquid for the intermediate layer, and since the beads were supple, they were flattened during the drying, and irregularities were formed on the surface of the intermediate layer. <Intermediate layer formulation P1:> 100 parts by mass of polyvinyl alcohol (PVA 205 manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification rate = 80%) 50 parts by mass of polyvinylpyrrolidone (PVP manufactured by GAF Corporation, K-90) Resin beads (average) Particle size 5 μm) 20 parts by mass (microcapsules using rapeseed oil as core material and aliphatic isocyanate as wall material) -Distilled water 4000 parts by mass

【0150】次に、下記感光性樹脂層溶液C1を塗り付
け乾燥させて乾燥膜厚3.3μmの感光性樹脂層を設
け、保護フィルムでカバーし、転写用樹脂フィルムを作
成した。この転写用樹脂フィルムの表面は平滑である
が、転写、現像後(後述)の表面にはSEM観察によ
り、ピッチ10〜40μm、PV値0.1〜0.5μm
の凹凸が形成されていた。 <感光性樹脂層溶液C1> ・ポリマー溶液 240質量部 スチレン/マレイン酸共重合体ベンジルアミン変性物=68/32(モル比) ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 200質量部 ・シクロヘキサノン 730質量部 ・光重合開始剤 IRG184(CAS947−19−3) 10質量部 (メチルエチルケトンを適宜添加)
Next, the following photosensitive resin layer solution C1 was applied and dried to provide a photosensitive resin layer having a dry film thickness of 3.3 μm, which was covered with a protective film to prepare a transfer resin film. The surface of this transfer resin film is smooth, but the surface after transfer and development (described later) was observed by SEM to have a pitch of 10 to 40 μm and a PV value of 0.1 to 0.5 μm.
Unevenness was formed. <Photosensitive resin layer solution C1> -Polymer solution 240 parts by mass Styrene / maleic acid copolymer benzylamine modified product = 68/32 (molar ratio) -Dipentaerythritol hexaacrylate 200 parts by mass-Cyclohexanone 730 parts by mass-Photopolymerization Initiator IRG184 (CAS 947-19-3) 10 parts by mass (methyl ethyl ketone is appropriately added)

【0151】<基板の洗浄>縦320mm×横400m
mのTFT基板を、室温の超純水中で超音波洗浄1分
後、エアーブローで水切り後、乾燥した。
<Substrate cleaning> 320 mm long × 400 m wide
The m-th TFT substrate was ultrasonically cleaned in ultrapure water at room temperature for 1 minute, drained by air blow, and then dried.

【0152】<樹脂層の形成>前記転写用樹脂フィルム
の保護フィルムを剥離後、温度130℃、線圧100N
/cm、搬送速度3.0m/分でラミネートした。仮支
持体を剥離後、超高圧水銀灯で20mJ/cmのパタ
ーン露光した。この際の露光時間は3秒であった。
<Formation of Resin Layer> After peeling off the protective film of the transfer resin film, the temperature is 130 ° C. and the linear pressure is 100 N.
/ Cm, and the transport speed was 3.0 m / min. After peeling off the temporary support, pattern exposure of 20 mJ / cm 2 was performed with an ultra-high pressure mercury lamp. The exposure time at this time was 3 seconds.

【0153】次に、下記組成の現像液D1にて38℃で
35秒シャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層を除去
した。 <現像液D1の組成> ・超純水 97質量部 ・トリエタノールアミン 3質量部 (アルカリ金属濃度 50ppb)
Next, a developer D1 having the following composition was shower-developed at 38 ° C. for 35 seconds to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. <Composition of developer D1> -Ultrapure water 97 parts by mass-Triethanolamine 3 parts by mass (alkali metal concentration 50 ppb)

【0154】引き続き、下記組成の現像液D2にて33
℃で26秒シャワー現像し、感光性樹脂層を現像し、コ
ンタクトホール部分(後述のAl層とTFTを接続する
ための穴)と、透過部分を除去したパターン画像を得
た。 <現像液D2> ・モノエタノールアミン 0.2mole/L ・酢酸 0.1mole/L ・ジポリオキシエチレンアルキルアミン 1質量% (アルカリ金属濃度 50ppb)
Subsequently, with a developer D2 having the following composition, 33
Shower development was performed at 26 ° C. for 26 seconds, the photosensitive resin layer was developed, and a pattern image was obtained in which contact hole portions (holes for connecting an Al layer and a TFT described below) and transparent portions were removed. <Developer D2> -monoethanolamine 0.2 mole / L-acetic acid 0.1 mole / L-dipolyoxyethylene alkylamine 1 mass% (alkali metal concentration 50 ppb)

【0155】次に、光反射機能を有する第1の電極を形
成するため、Al層をスパッタ法により形成した。この
時、Al層の膜厚は0.5μmであり、成膜条件は基板
温度100℃、Ar圧力0.5Pa、RFパワー3.4
W/cmであった。つづいて、フォトリソグラフィー
及びエッチングにより、所定の形状にAl層をパターン
ニングし光反射機能を有する第1の電極を形成した。こ
の光反射機能を有する第1の電極は、上記感光性樹脂層
(C1層)の表面に形成されている凹凸形状を反映する
ことにより、凹凸を有する反射電極が得られた。
Next, in order to form a first electrode having a light reflecting function, an Al layer was formed by sputtering. At this time, the film thickness of the Al layer is 0.5 μm, and the film forming conditions are a substrate temperature of 100 ° C., an Ar pressure of 0.5 Pa, and an RF power of 3.4.
It was W / cm 2 . Subsequently, the Al layer was patterned into a predetermined shape by photolithography and etching to form a first electrode having a light reflecting function. The first electrode having the light reflecting function reflected the uneven shape formed on the surface of the photosensitive resin layer (C1 layer) to obtain a reflective electrode having unevenness.

【0156】次に、基板全面にポリイミドからなる配向
膜(図示せず)を塗布し、150℃で2時間で焼成を行
った後、ラビング処理を行った。次いで、対向側基板と
して、ガラス基板上に該反射電極に対向する位置にカラ
ーフィルタ及びITOから成る透明電極を形成した対向
側基板を作成し、配向膜塗布、焼成、ラビングを行っ
た。これら二つの基板を所定のセル厚になるようスペー
サーを介して対向させ(図示せず)、シール部により貼
り合わせた。つづいて、基板間に液晶を注入・封止し
て、液晶表示装置を作製した。
Next, an alignment film (not shown) made of polyimide was applied on the entire surface of the substrate, baked at 150 ° C. for 2 hours, and then rubbed. Next, as a counter side substrate, a counter side substrate was prepared in which a color filter and a transparent electrode made of ITO were formed on a glass substrate at a position facing the reflective electrode, and application of an alignment film, firing, and rubbing were performed. These two substrates were made to face each other via a spacer so as to have a predetermined cell thickness (not shown), and were bonded together by a seal portion. Subsequently, liquid crystal was injected and sealed between the substrates to manufacture a liquid crystal display device.

【0157】〔実施例2〕実施例1において、中間層処
方P1から樹脂性ビーズを除いて塗布し、感光性樹脂層
溶液C1の代わりに下記の処方の感光性樹脂層溶液C2
を塗り付け乾燥させて乾燥膜厚3.3μmの感光性樹脂
層を設けた以外は実施例1と同様にして。転写用樹脂フ
ィルムを作成した。この転写用樹脂フィルムの表面は平
滑であるが、転写、現像後の表面にはSEM観察によ
り、ピッチ10〜40μm、PV値0.1〜0.5μm
の凹凸が形成されていた。 <感光性樹脂層溶液C2> ・ポリマー溶液 240質量部 スチレン/マレイン酸共重合体ベンジルアミン変性物=68/32(モル比) ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 200質量部 ・シクロヘキサノン 730質量部 ・光重合開始剤 IRG184(CAS947−19−3) 10質量部 ・樹脂製ビーズ(平均粒子径5μm) 20質量部 (芯材として重合禁止フェノチアジンを添加した菜種油を、壁材として脂肪族イ ソシアネートを用いたマイクロカプセル) (メチルエチルケトンを適宜添加)
Example 2 The procedure of Example 1 was repeated except that the resin beads were removed from the intermediate layer formulation P1 and the photosensitive resin layer solution C2 having the following formulation was used instead of the photosensitive resin layer solution C1.
Was applied and dried to form a photosensitive resin layer having a dry film thickness of 3.3 μm in the same manner as in Example 1. A transfer resin film was prepared. The surface of this resin film for transfer is smooth, but the surface after transfer and development was observed by SEM to have a pitch of 10 to 40 μm and a PV value of 0.1 to 0.5 μm.
Unevenness was formed. <Photosensitive resin layer solution C2> -Polymer solution 240 parts by mass Styrene / maleic acid copolymer benzylamine modified product = 68/32 (molar ratio) -Dipentaerythritol hexaacrylate 200 parts by mass-Cyclohexanone 730 parts by mass-Photopolymerization Initiator IRG184 (CAS947-19-3) 10 parts by mass Resin beads (average particle size 5 μm) 20 parts by mass (microcapsules using rapeseed oil to which polymerization-inhibited phenothiazine was added as a core material and aliphatic isocyanate as a wall material) ) (Add methyl ethyl ketone as appropriate)

【0158】この転写用樹脂フィルムの保護フィルムを
剥離後、温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度
3.0m/分でラミネートした。仮支持体を剥離後、超
高圧水銀灯で20mJ/cmのパターン露光した。こ
の際の露光時間は3秒であった。次いで、実施例1と同
様にして液晶表示装置を組み立てた。
After peeling off the protective film of the transfer resin film, it was laminated at a temperature of 130 ° C., a linear pressure of 100 N / cm and a conveying speed of 3.0 m / min. After peeling off the temporary support, pattern exposure of 20 mJ / cm 2 was performed with an ultra-high pressure mercury lamp. The exposure time at this time was 3 seconds. Then, a liquid crystal display device was assembled in the same manner as in Example 1.

【0159】[比較例1]TFT基板に形成する凹凸を
有する樹脂層を特開平11−153804号公報の記載
に基づいて下記のように形成した以外は、実施例1と同
様にして液晶表示装置を作製した。
[Comparative Example 1] A liquid crystal display device was prepared in the same manner as in Example 1 except that the resin layer having irregularities to be formed on the TFT substrate was formed as follows based on the description of JP-A-11-153804. Was produced.

【0160】基板全面に光重合性オリゴマー、光重合性
モノマー、光重合開始材を主成分とする光硬化性樹脂を
塗布した。光重合性オリゴマーとしてはエステルアクリ
レートであるペンタエリスリトールと、光重合性モノマ
ーとしてはネオペンチルグリコールジアクリレートを用
い、これに2質量%の光重合開始剤を加えた。これを膜
厚3μmで基板全面に塗布した。露光マスクの透過部分
の光透過率を部分的に変化させた半透過型マスクを用い
凸部を形成した。この時の照射エネルギーは1200m
J/cm〜1500mJ/cmであった。この際、
露光時間は240秒を要した。
A photo-curable resin containing a photo-polymerizable oligomer, a photo-polymerizable monomer and a photo-polymerization initiator as main components was applied to the entire surface of the substrate. Pentaerythritol, which is an ester acrylate, was used as the photopolymerizable oligomer, and neopentyl glycol diacrylate was used as the photopolymerizable monomer. To this, 2% by mass of a photopolymerization initiator was added. This was applied to the entire surface of the substrate so as to have a film thickness of 3 μm. The convex portions were formed using a semi-transmissive mask in which the light transmittance of the transparent portion of the exposure mask was partially changed. The irradiation energy at this time is 1200 m
It was J / cm 2 ~1500mJ / cm 2 . On this occasion,
The exposure time required 240 seconds.

【0161】実施例1,2と比較例1とを対比すると、
実施例1,2では凹凸を形成するための露光時間は3秒
であるのに対して、比較例1では240秒もかかり、製
造ラインのタクトタイムが3分以上と長くかかり、生産
性が劣ることが明らかである。
Comparing Examples 1 and 2 with Comparative Example 1,
In Examples 1 and 2, the exposure time for forming unevenness is 3 seconds, whereas in Comparative Example 1, it takes 240 seconds, and the tact time of the manufacturing line is as long as 3 minutes or more, resulting in poor productivity. It is clear.

【0162】[0162]

【発明の効果】本発明によれば、前記問題を解決するこ
とができ、簡略な工程により、良好な反射特性を有する
反射電極を有する、特に、OA機器、パーソナルコンピ
ュータ、携帯型情報端末等に用いられる液晶表示装置の
うち室内照明や太陽光などの外光を利用する反射型液晶
表示装置を効率よく安価に製造することができる。
According to the present invention, it is possible to solve the above-mentioned problems and to provide a reflective electrode having a good reflective property by a simple process, particularly in OA equipment, personal computers, portable information terminals and the like. Among the liquid crystal display devices used, it is possible to efficiently and inexpensively manufacture a reflective liquid crystal display device that utilizes room lighting or external light such as sunlight.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明の一例に係る反射板形成用転写
材料を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a transfer material for forming a reflection plate according to an example of the present invention.

【図2】図2は、凹凸の一例を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of unevenness.

【図3】図3は、凹凸の一例を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing an example of unevenness.

【図4】図4は、凹凸の一例を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing an example of unevenness.

【図5】図5は、凹凸のピッチ及びPV値を示す説明図
である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a pitch of unevenness and a PV value.

【図6】図6は、画素内分割型の半透過型LCDを示す
概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an intra-pixel division type transflective LCD.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 仮支持体 2 熱可塑性樹脂層 3 中間層 4 感光性樹脂層 5 ビーズ 6 凹凸 10 反射板形成用転写材料 1 temporary support 2 Thermoplastic resin layer 3 Middle class 4 Photosensitive resin layer 5 beads 6 unevenness 10 Transfer material for reflector formation

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H042 AA02 AA04 AA26 BA02 BA03 BA12 BA15 BA20 DA11 DA17 DA21 DA22 2H091 FA02Y FA16Y FB02 FB11 FC10 FC23 FC26 FD17 GA01 GA02 GA13 LA12    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 2H042 AA02 AA04 AA26 BA02 BA03                       BA12 BA15 BA20 DA11 DA17                       DA21 DA22                 2H091 FA02Y FA16Y FB02 FB11                       FC10 FC23 FC26 FD17 GA01                       GA02 GA13 LA12

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層
と、アルカリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてな
り、前記塗布層の少なくとも1層がビーズを含有し、前
記感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面が凹凸に形成さ
れてなることを特徴とする反射板形成用転写材料。
1. A temporary support, on which at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order, and at least one coating layer contains beads, A reflection plate-forming transfer material, characterized in that an interface of the resin layer on the side of the temporary support is formed to be uneven.
【請求項2】 仮支持体上に少なくとも1層の熱可塑性
樹脂層と、少なくとも1層の中間層と、アルカリ可溶な
感光性樹脂層とをこの順に設けてなり、前記熱可塑性樹
脂層及び/又は中間層がビーズを含有し、前記感光性樹
脂層の前記仮支持体側の界面が凹凸に形成されてなるこ
とを特徴とする反射板形成用転写材料。
2. A temporary support, on which at least one thermoplastic resin layer, at least one intermediate layer, and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order, and the thermoplastic resin layer and / Or the intermediate layer contains beads, and the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side is formed to be uneven, and a transfer material for forming a reflection plate.
【請求項3】 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層
と、アルカリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてな
り、前記感光性樹脂層がビーズを含有し、該感光性樹脂
層の前記仮支持体側の界面が凹凸に形成されてなること
を特徴とする反射板形成用転写材料。
3. A temporary support, on which at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order, the photosensitive resin layer containing beads, and the photosensitive resin layer. 2. The transfer material for forming a reflection plate, wherein the interface on the side of the temporary support is formed to be uneven.
【請求項4】 仮支持体上に少なくとも1層の熱可塑性
樹脂層と、少なくとも1層の中間層と、アルカリ可溶な
感光性樹脂層とをこの順に設けてなり、前記感光性樹脂
層がビーズを含有し、該感光性樹脂層の前記仮支持体側
の界面が凹凸に形成されてなることを特徴とする反射板
形成用転写材料。
4. A temporary support, on which at least one thermoplastic resin layer, at least one intermediate layer, and an alkali-soluble photosensitive resin layer are provided in this order, and the photosensitive resin layer is A transfer material for forming a reflection plate, which comprises beads, and the interface of the photosensitive resin layer on the side of the temporary support is unevenly formed.
【請求項5】 前記アルカリ可溶な感光性樹脂層が着色
剤を含まない請求項1乃至4のいずれかに記載の反射板
形成用転写材料。
5. The transfer material for forming a reflection plate according to claim 1, wherein the alkali-soluble photosensitive resin layer does not contain a coloring agent.
【請求項6】 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層
と、アルカリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてな
る反射板形成用転写材料の製造方法において、 前記塗布層の少なくとも1層にビーズを含有させて、該
塗布層を塗布乾燥させた上に前記感光性樹脂層を塗布
し、該感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面に凹凸を形
成することを特徴とする反射板形成用転写材料の製造方
法。
6. A method of manufacturing a transfer material for forming a reflection plate, comprising a temporary support and at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer provided in this order on the temporary support. Reflection characterized by containing beads in a layer, coating and drying the coating layer, and then coating the photosensitive resin layer to form irregularities on the interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side. A method of manufacturing a transfer material for plate formation.
【請求項7】 仮支持体上に少なくとも1層の塗布層
と、アルカリ可溶な感光性樹脂層とをこの順に設けてな
る反射板形成用転写材料の製造方法において、 前記感光性樹脂層にビーズを含有させて、該感光性樹脂
層を塗布乾燥させた後、前記ビーズを現像液で除去し、
該感光性樹脂層の前記仮支持体側の界面に凹凸を形成す
ることを特徴とする反射板形成用転写材料の製造方法。
7. A method of manufacturing a transfer material for forming a reflection plate, comprising a temporary support and at least one coating layer and an alkali-soluble photosensitive resin layer, which are provided in this order on the temporary resin. After the beads are contained and the photosensitive resin layer is applied and dried, the beads are removed with a developer,
A method for producing a transfer material for forming a reflection plate, comprising forming irregularities on an interface of the photosensitive resin layer on the temporary support side.
【請求項8】 前記感光性樹脂層に含有したビーズがア
ルカリ現像性、又はアルカリ現像性かつ重合禁止性であ
る請求項7に記載の反射板形成用転写材料の製造方法。
8. The method for producing a transfer material for forming a reflection plate according to claim 7, wherein the beads contained in the photosensitive resin layer are alkali developable, or alkali developable and polymerization inhibiting.
【請求項9】 前記感光性樹脂層が着色剤を含まない請
求項6乃至8のいずれかに記載の反射板形成用転写材料
の製造方法。
9. The method for producing a transfer material for forming a reflection plate according to claim 6, wherein the photosensitive resin layer does not contain a coloring agent.
【請求項10】 請求項1乃至5のいずれかに記載の反
射板形成用転写材料を基板に転写し、露光を行い、現
像、ベークして形成される表面に凹凸を有する樹脂層上
に光反射機能材料層を形成してなる反射板。
10. The light-transmitting light on a resin layer having unevenness on the surface formed by transferring the reflection plate-forming transfer material according to claim 1 onto a substrate, exposing, developing and baking. A reflective plate formed by forming a reflective functional material layer.
【請求項11】 請求項10記載の反射板を一方の反射
電極として用いたことを特徴とする液晶表示装置。
11. A liquid crystal display device using the reflection plate according to claim 10 as one reflection electrode.
【請求項12】 光反射機能を有する第1の電極が第2
の基板に対向する面に少なくとも一部形成されている第
1の基板と、該第1の基板に対向配置されている第2の
基板と、第1及び第2の基板の間に封入されている液晶
層とを備える液晶表示装置において、 前記第1の基板と第1の電極との間に、請求項1乃至5
のいずれかに記載の反射板形成用転写材料を用いて転写
を含む工程で形成される表面に凹凸を有する樹脂層を備
えたことを特徴とする液晶表示装置。
12. The first electrode having a light reflecting function is the second electrode.
A first substrate formed at least partially on a surface facing the first substrate, a second substrate facing the first substrate, and a first substrate and a second substrate. A liquid crystal display device including a liquid crystal layer, wherein the first substrate and the first electrode are provided between the first substrate and the first electrode.
A liquid crystal display device comprising a resin layer having irregularities on a surface formed in a process including transfer using the reflection plate-forming transfer material described in any one of 1.
【請求項13】 前記液晶表示装置が、カラーフィルタ
・オン・アレイ(COA)構造を有する請求項12に記
載の液晶表示装置。
13. The liquid crystal display device according to claim 12, wherein the liquid crystal display device has a color filter on array (COA) structure.
【請求項14】 前記液晶表示装置が、半透過型構造を
有する請求項12に記載の液晶表示装置。
14. The liquid crystal display device according to claim 12, wherein the liquid crystal display device has a semi-transmissive structure.
【請求項15】 前記液晶表示装置が、カラーフィルタ
・オン・アレイ(COA)構造及び半透過型構造を有す
る請求項12に記載の液晶表示装置。
15. The liquid crystal display device according to claim 12, wherein the liquid crystal display device has a color filter on array (COA) structure and a transflective structure.
【請求項16】 光反射機能を有する第1の電極が第2
の基板に対向する面に少なくとも一部形成されている第
1の基板と、該第1の基板に対向配置されている第2の
基板と、第1及び第2の基板の間に封入されている液晶
層とを備える液晶表示装置の製造方法において、 前記第1の基板と第1の電極との間に、請求項1乃至5
のいずれかに記載の反射板形成用転写材料を用い、転写
を含む工程で表面に凹凸を有する樹脂層を形成すること
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
16. The first electrode having a light reflecting function is the second electrode.
A first substrate formed at least partially on a surface facing the first substrate, a second substrate facing the first substrate, and a first substrate and a second substrate. 7. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a liquid crystal layer that is provided between the first substrate and the first electrode.
A method for manufacturing a liquid crystal display device, which comprises forming the resin layer having unevenness on the surface in a step including transfer using the transfer material for forming a reflection plate described in any one of 1.
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