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JP2003132822A - Panel display device and manufacturing method therefor - Google Patents

Panel display device and manufacturing method therefor

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Publication number
JP2003132822A
JP2003132822A JP2001325370A JP2001325370A JP2003132822A JP 2003132822 A JP2003132822 A JP 2003132822A JP 2001325370 A JP2001325370 A JP 2001325370A JP 2001325370 A JP2001325370 A JP 2001325370A JP 2003132822 A JP2003132822 A JP 2003132822A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
melting point
display device
sealing material
substrate
conductive member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001325370A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Yokota
昌広 横田
Takashi Enomoto
貴志 榎本
Akiyoshi Yamada
晃義 山田
Koji Nishimura
孝司 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2001325370A priority Critical patent/JP2003132822A/en
Priority to CNB028103106A priority patent/CN1306538C/en
Priority to KR10-2003-7013784A priority patent/KR20040015114A/en
Priority to PCT/JP2002/003994 priority patent/WO2002089169A1/en
Priority to EP02720557A priority patent/EP1389792A1/en
Publication of JP2003132822A publication Critical patent/JP2003132822A/en
Priority to US10/690,744 priority patent/US7247072B2/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a panel display device which enables easy and reliable sealing in vacuum, and to provide a manufacturing method therefor. SOLUTION: A hermetic envelope 10 for keeping vacuum in the panel display device is provided with a front substrate 11 and a rear substrate 12 being disposed oppositely each other, and a seal portion 30 sealing peripheral portions of the front substrate and the rear substrate. The seal portion is composed of a frame-shaped member 18 made of electrically conductive material having a high melting point, the first sealing material 32 and the second sealing material 34. The first sealing material has a lower melting point and a lower softening point than those of the second sealing material, and the material composing the frame-shaped member 18 has a higher melting point and a higher softening temperature than those of the first sealing material and the second sealing material. The frame-shaped member 18 is joined with the front board via the first sealing material and is joined with the rear board via the second sealing material.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、平坦な形状の平
面表示装置に係り、特に、多数の電子放出素子を用いた
平面表示装置、およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat display device having a flat shape, and more particularly to a flat display device using a large number of electron-emitting devices and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、陰極線管(以下、CRTと称す
る)に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置として様々
な平面表示装置が開発されている。このような平面表示
装置には、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液
晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズマ放
電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプ
レイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型電子
放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィー
ルドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称す
る)などがある。
2. Description of the Related Art In recent years, various flat display devices have been developed as next-generation lightweight and thin display devices which will replace cathode ray tubes (hereinafter referred to as CRTs). Such flat display devices include a liquid crystal display (hereinafter, referred to as LCD) that controls the intensity of light by utilizing the alignment of liquid crystals, a plasma display panel (hereinafter, referred to as PDP) that emits a phosphor by ultraviolet rays of plasma discharge. Field emission display (hereinafter referred to as FED) in which a phosphor is caused to emit light by an electron beam of a field emission electron-emitting device.

【0003】例えばFEDでは、一般に、所定の隙間を
置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、
これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周辺部同士を
互いに接合することにより真空の外囲器を構成してい
る。前面基板の内面には蛍光体スクリーンが形成され、
背面基板の内面には蛍光体を励起して発光させる電子放
出源として多数の電子放出素子が設けられている。
For example, an FED generally has a front substrate and a rear substrate which are opposed to each other with a predetermined gap,
These substrates form a vacuum envelope by bonding their peripheral portions to each other via a rectangular frame-shaped side wall. A phosphor screen is formed on the inner surface of the front substrate,
A large number of electron-emitting devices are provided on the inner surface of the back substrate as electron-emitting sources for exciting phosphors to emit light.

【0004】また、背面基板および前面基板に加わる大
気圧荷重を支えるために、これら基板の間には複数の支
持部材が配設されている。背面基板側の電位はほぼアー
ス電位であり、蛍光面にはアノード電圧が印加される。
そして、蛍光体スクリーンを構成する赤、緑、青の蛍光
体に多数の電子放出素子から放出された電子ビームを照
射し、蛍光体を発光させることによって画像を表示す
る。
Further, in order to support the atmospheric pressure load applied to the back substrate and the front substrate, a plurality of supporting members are arranged between these substrates. The potential on the rear substrate side is almost the ground potential, and the anode voltage is applied to the phosphor screen.
Then, the red, green, and blue phosphors forming the phosphor screen are irradiated with electron beams emitted from a large number of electron-emitting devices, and the phosphors emit light to display an image.

【0005】このような表示装置では、表示装置の厚さ
を数mm程度にまで薄くすることができ、現在のテレビ
やコンピュータのディスプレイとして使用されているC
RTと比較し、軽量化、薄型化を達成することができ
る。
In such a display device, the thickness of the display device can be reduced to about several millimeters, and C, which is currently used as a display for televisions and computers, is used.
Compared with RT, it is possible to achieve weight reduction and thickness reduction.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記のようなFEDで
は、外囲器の内部を真空にすることが必要となる。ま
た、PDPにおいても一度真空にしてから放電ガスを充
填する必要がある。
In the above FED, it is necessary to make the inside of the envelope vacuum. Further, also in the PDP, it is necessary to evacuate the PDP once and then fill the discharge gas.

【0007】外囲器を真空にする手段としては、まず外
囲器の構成部材である前面基板、背面基板、および側壁
を適当な封着材により大気中で加熱して接合し、その
後、前面基板または背面基板に設けた排気管から内部を
排気した後、排気管を真空封止する方法がある。しか
し、平面型の外囲器では排気管を介した排気速度が極め
て遅く、到達できる真空度も悪いため、量産性および特
性面に問題があった。
As a means for evacuating the envelope, first, the front substrate, the rear substrate, and the side walls, which are the constituent members of the envelope, are heated and joined in the atmosphere with an appropriate sealing material, and then the front face is joined. After exhausting the inside from an exhaust pipe provided on the substrate or the back substrate, there is a method of vacuum-sealing the exhaust pipe. However, in the flat type envelope, the exhaust rate through the exhaust pipe is extremely slow and the attainable vacuum degree is poor, so that there are problems in mass productivity and characteristics.

【0008】この問題を解決する方法として、例えば、
特開2001−229825号には、外囲器を構成する
前面基板と背面基板との最終組立を真空槽内にて行う方
法が示されている。
As a method for solving this problem, for example,
Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2001-229825 discloses a method of performing final assembly of a front substrate and a rear substrate that form an envelope in a vacuum chamber.

【0009】ここでは、最初に真空槽内に配置された前
面基板および背面基板を十分に加熱しておく。これは、
外囲器真空度を劣化させる主因となっている外囲器内壁
からのガス放出を軽減するためである。次に、前面基板
と背面基板が冷えて真空槽内の真空度が十分に向上した
ところで、外囲器真空度を改善、維持させるためのゲッ
タ膜を蛍光面スクリーン上に形成する。その後、封着材
が溶解する温度まで前面基板と背面基板とを再び加熱
し、前面基板および背面基板を所定の位置に組み合わせ
た状態で封着材が固化するまで冷却する。
Here, first, the front substrate and the rear substrate arranged in the vacuum chamber are sufficiently heated. this is,
This is to reduce gas emission from the inner wall of the envelope, which is the main cause of deterioration of the vacuum degree of the envelope. Then, when the front substrate and the rear substrate are cooled and the degree of vacuum in the vacuum chamber is sufficiently improved, a getter film for improving and maintaining the degree of vacuum of the envelope is formed on the phosphor screen. Then, the front substrate and the back substrate are heated again to a temperature at which the sealing material melts, and cooled until the sealing material is solidified with the front substrate and the back substrate combined in predetermined positions.

【0010】このような方法で作成された真空外囲器
は、封着工程および真空封止工程を兼ねるうえ、排気管
の排気に伴なう多大な時間が要らず、かつ、極めて良好
な真空度を得ることができる。
The vacuum envelope manufactured by such a method has both a sealing step and a vacuum sealing step, does not require a great amount of time for exhausting the exhaust pipe, and has an extremely good vacuum. You can get a degree.

【0011】しかしながら、上記の方法では、真空中で
行う封着工程が、加熱、位置合わせ、冷却と多岐に渡
り、かつ、封着材が溶解固化する間、長時間に亘って前
面基板と背面基板とを所定の位置に維持し続けなければ
ならない。また、封着時の加熱、冷却に伴い前面基板お
よび背面基板が熱膨張し、位置合わせ精度が劣化し易
い。更に、封着時の加熱によりゲッタ膜が劣化すること
など、封着に伴なう生産性、特性面での問題があった。
However, in the above method, the sealing process performed in vacuum includes heating, positioning, and cooling, and the front substrate and the back surface are covered for a long time while the sealing material is melted and solidified. The substrate and must be kept in place. In addition, the front substrate and the rear substrate thermally expand due to heating and cooling during sealing, and the alignment accuracy is likely to deteriorate. Further, there is a problem in productivity and characteristics associated with the sealing such that the getter film is deteriorated by heating during the sealing.

【0012】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、真空雰囲気中で容易に、かつ確実に封
着を行うことが可能な平面表示装置、およびその製造方
法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a flat display device capable of easily and reliably sealing in a vacuum atmosphere, and a manufacturing method thereof. It is in.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、この発明の態様に係る平面表示装置は、対向配置さ
れた前面基板および背面基板と、上記前面基板および上
記背面基板の周辺部を互いに封着した封着部と、を有し
た外囲器を備え、上記封着部は、枠状の高融点導電性部
材と第1および第2封着材とを含み、上記第1封着材は
上記第2封着材よりも低い融点あるいは軟化点を有し、
上記高融点導電性部材は上記第1および第2封着材より
も高い融点あるいは軟化点を有し、上記高融点導電性部
材は、第1封着材を介して上記前面基板および背面基板
の一方に接着され、第2封着材を介して上記前面基板お
よび背面基板の他方に接着されていることを特徴として
いる。
In order to solve the above problems, in a flat panel display device according to an aspect of the present invention, a front substrate and a rear substrate which are arranged to face each other, and a peripheral portion of the front substrate and the rear substrate which are opposite to each other are provided. An envelope having a sealed sealing portion, the sealing portion including a frame-shaped high-melting point conductive member and first and second sealing materials, and the first sealing material. Has a lower melting point or softening point than the second sealing material,
The high-melting-point conductive member has a melting point or softening point higher than that of the first and second sealing materials, and the high-melting-point conductive member is formed of the front substrate and the rear substrate via the first sealing material. It is characterized in that it is adhered to one side and is adhered to the other of the front substrate and the rear substrate through the second sealing material.

【0014】また、この発明の態様に係る平面表示装置
の製造方法は、対向配置された前面基板および背面基板
を有し、高融点導電性部材と第1および第2封着材とを
含む封着部により前面基板および背面基板の周辺部が互
いに封着された外囲器を備えた平面表示装置の製造方法
において、上記第1および第2封着材よりも高い融点あ
るいは軟化点を有した枠状の高融点導電性部材を用意
し、上記第1封着材よりも高い融点あるいは軟化点を有
した第2封着材により、上記高融点導電性部材を上記前
面基板および背面基板の一方の基板の周辺部に接着し、
上記高融点導電性部材が接着された上記一方の基板と、
他方の基板とを対向配置するとともに、上記高融点導電
性部材と上記他方の基板の周辺部との間に第1封着材を
配置し、上記高融点導電性部材に通電することで、上記
第1封着材を溶融あるいは軟化させて上記高融点導電性
部材と上記他方の基板とを接着すること特徴としてい
る。
Also, the method of manufacturing a flat panel display device according to the aspect of the present invention has a front substrate and a rear substrate which are arranged opposite to each other, and includes a high melting point conductive member and first and second sealing materials. In a method of manufacturing a flat panel display device including an envelope in which the peripheral portions of a front substrate and a rear substrate are sealed to each other by a bonding portion, the flat display device has a melting point or a softening point higher than those of the first and second sealing materials. A frame-shaped high-melting-point conductive member is prepared, and the high-melting-point conductive member is attached to one of the front substrate and the rear substrate by a second sealing material having a melting point or a softening point higher than that of the first sealing material. Glued to the periphery of the board
The one substrate to which the high melting point conductive member is adhered,
By arranging the other substrate to face each other and disposing a first sealing material between the high melting point conductive member and the peripheral portion of the other substrate, and energizing the high melting point conductive member, It is characterized in that the high melting point conductive member and the other substrate are adhered by melting or softening the first sealing material.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照ながら、この発
明に係る平面表示装置をFEDに適用した実施の形態に
ついて詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments in which a flat panel display device according to the present invention is applied to an FED will be described in detail with reference to the drawings.

【0016】図1ないし図3に示すように、このFED
は、絶縁基板としてそれぞれ矩形状のガラスからなる前
面基板11および背面基板12を備え、これらの基板は
例えば約1.6mmの隙間を置いて対向配置されてい
る。背面基板12の大きさは前面基板11よりも僅かに
大きく、その外周部には後述の映像信号を入力するため
の引き出し線(図示しない)が形成されている。そし
て、前面基板11および背面基板12は、ほぼ矩形枠状
の封着部30を介して周縁部同士が接合され、内部が真
空状態に維持された偏平な矩形状の真空外囲器10を構
成している。
As shown in FIGS. 1 to 3, this FED
Includes a front substrate 11 and a rear substrate 12 each made of rectangular glass as an insulating substrate, and these substrates are arranged to face each other with a gap of, for example, about 1.6 mm. The size of the rear substrate 12 is slightly larger than that of the front substrate 11, and a lead line (not shown) for inputting a video signal described later is formed on the outer peripheral portion thereof. Then, the front substrate 11 and the rear substrate 12 are joined together at their peripheral portions via a sealing portion 30 having a substantially rectangular frame shape, and constitute a flat rectangular vacuum envelope 10 whose inside is maintained in a vacuum state. is doing.

【0017】封着部30は、導電性を有した矩形枠状の
高融点導電性部材18と第1および第2封着材32、3
4を含んでいる。そして、高融点導電性部材18は、第
1封着材32を介して前面基板11の周辺部に接着さ
れ、また、第2封着材34を介して背面基板12の周辺
部に接着されている。
The sealing portion 30 has a conductive and rectangular frame-shaped high melting point conductive member 18 and first and second sealing materials 32 and 3.
Includes 4. The high melting point conductive member 18 is adhered to the peripheral portion of the front substrate 11 via the first sealing material 32, and is adhered to the peripheral portion of the rear substrate 12 via the second sealing material 34. There is.

【0018】高融点導電性部材18は、第1および第2
封着材32、34よりも高い融点または軟化点(すなわ
ち封着に適した温度)を有し、例えば、鉄−ニッケル合
金が用いられている。その他、導電性を有する高融点導
電性部材としては、Fe、Cr、Ni、Alのいずれか
を少なくとも含有した材料が用いられる。また、第1封
着材32としては、第2封着材よりも融点あるいは軟化
点の低い材料を用いている。ここでは、第1封着材とし
て、例えば、インジウムあるいはインジウム合金を用
い、また、第2封着材として、絶縁性を有したフリット
ガラスを用いている。
The high melting point conductive member 18 includes the first and second high melting point conductive members.
It has a higher melting point or softening point (that is, a temperature suitable for sealing) than the sealing materials 32 and 34, and, for example, an iron-nickel alloy is used. In addition, a material containing at least any one of Fe, Cr, Ni, and Al is used as the conductive high-melting point conductive member. As the first sealing material 32, a material having a lower melting point or softening point than the second sealing material is used. Here, for example, indium or an indium alloy is used as the first sealing material, and frit glass having an insulating property is used as the second sealing material.

【0019】例えば、高融点導電性部材18の融点ある
いは軟化点は500℃以上、第2封着材の融点または軟
化点は300℃以上、第1封着材の融点あるいは軟化点
は300℃未満に設定されている。
For example, the melting point or softening point of the high melting point conductive member 18 is 500 ° C. or more, the melting point or softening point of the second sealing material is 300 ° C. or more, and the melting point or softening point of the first sealing material is less than 300 ° C. Is set to.

【0020】図2および図3に示すように、真空外囲器
10の内部には、前面基板11および背面基板12に加
わる大気圧荷重を支えるため、複数の板状の支持部材1
4が設けられている。これらの支持部材14は、真空外
囲器10の短辺と平行な方向に配置されているととも
に、長辺と平行な方向に沿って所定の間隔を置いて配置
されている。なお、支持部材14の形状については、板
状に限定されるものではなく、例えば、柱状の支持部材
等を用いることもできる。
As shown in FIGS. 2 and 3, a plurality of plate-shaped support members 1 are provided inside the vacuum envelope 10 for supporting an atmospheric pressure load applied to the front substrate 11 and the rear substrate 12.
4 are provided. These support members 14 are arranged in a direction parallel to the short side of the vacuum envelope 10, and are arranged at predetermined intervals along the direction parallel to the long side. The shape of the support member 14 is not limited to the plate shape, and a columnar support member or the like may be used, for example.

【0021】前面基板11の内面上には、図3および図
4に示す蛍光体スクリーン16が形成されている。この
蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青のストライプ状の
蛍光体層、およびこれらの蛍光体層間に位置した非発光
部としてのストライプ状の黒色光吸収層20を並べて構
成されている。蛍光体層は、真空外囲器の短辺と平行な
方向に延在しているとともに、長辺と平行な方向に沿っ
て所定の間隔を置いて配置されている。なお、蛍光体ス
クリーン16上には、たとえばアルミニウム層からなる
メタルバック層17が蒸着されている。
The phosphor screen 16 shown in FIGS. 3 and 4 is formed on the inner surface of the front substrate 11. This phosphor screen 16 is configured by arranging red, green, and blue stripe-shaped phosphor layers, and a stripe-shaped black light absorption layer 20 as a non-light emitting portion located between these phosphor layers. The phosphor layer extends in a direction parallel to the short side of the vacuum envelope and is arranged at a predetermined interval along the direction parallel to the long side. A metal back layer 17 made of, for example, an aluminum layer is vapor-deposited on the phosphor screen 16.

【0022】また、図3に示すように、背面基板12の
内面上には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起す
る電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多
数の電子放出素子22が設けられている。これらの電子
放出素子22は、各画素毎に対応して複数列および複数
行に配列されている。詳細に述べると、背面基板12の
内面上には、導電性カソード層24が形成され、この導
電性カソード層上には多数のキャビティ25を有した二
酸化シリコン膜26が形成されている。二酸化シリコン
膜26上には、モリブデンやニオブ等からなるゲート電
極28が形成されている。そして、背面基板12の内面
上において各キャビティ25内にはモリブデンなどから
なるコーン状の電子放出素子22が設けられている。
Further, as shown in FIG. 3, on the inner surface of the rear substrate 12, a large number of electron-emitting devices 22 each emitting an electron beam as electron-emitting sources for exciting the phosphor layer of the phosphor screen 16 are provided. It is provided. These electron-emitting devices 22 are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows corresponding to each pixel. More specifically, a conductive cathode layer 24 is formed on the inner surface of the back substrate 12, and a silicon dioxide film 26 having a large number of cavities 25 is formed on the conductive cathode layer. A gate electrode 28 made of molybdenum, niobium, or the like is formed on the silicon dioxide film 26. A cone-shaped electron-emitting device 22 made of molybdenum or the like is provided in each cavity 25 on the inner surface of the back substrate 12.

【0023】上記のように構成されたFEDにおいて、
映像信号は、単純マトリックス方式に形成された電子放
出素子22とゲート電極28に入力される。電子放出素
子22を基準とした場合、最も輝度の高い状態の時、+
100Vのゲート電圧が印加される。また、蛍光体スク
リーン16には+10kVが印加される。これにより、
電子放出素子22から電子ビームが放出される。そし
て、電子放出素子22から放出される電子ビームの大き
さは、ゲート電極28の電圧によって変調され、この電
子ビームが蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起して
発光させることにより画像を表示する。
In the FED constructed as described above,
The video signal is input to the electron-emitting device 22 and the gate electrode 28 formed in a simple matrix method. When the electron-emitting device 22 is used as a reference, when the brightness is highest, +
A gate voltage of 100V is applied. Further, +10 kV is applied to the phosphor screen 16. This allows
An electron beam is emitted from the electron emitting element 22. The magnitude of the electron beam emitted from the electron-emitting device 22 is modulated by the voltage of the gate electrode 28, and the electron beam excites the phosphor layer of the phosphor screen 16 to emit light, thereby displaying an image. .

【0024】次に、上記のように構成されたFEDの製
造方法について詳細に説明する。まず、背面基板用の板
ガラスに電子放出素子22および種々の配線を形成す
る。続いて、大気中において、背面基板12上に板状の
支持部材14を低融点ガラスとしてフリットガラスによ
り封着する。同時に、第2封着材34として絶縁性を有
するフリットガラスにより、高融点導電性部材18を背
面基板12の周辺部上に接着する。この時、高融点導電
性部材18は、第2封着材34の融点あるいは軟化点ま
で加熱されるが、第2封着材よりも融点および軟化点が
高いため形状が変形することはない。なお、背面基板1
2上に形成された配線と高融点導電性部材18との間の
絶縁性を確保するため、第2封着材34は100μm以
上の厚さに形成されていることが望ましい。通常、この
加熱は背面基板12全体を周囲から暖める方法が取られ
るが、高融点導電性部材18に通電して封着領域のみを
局所的に加熱してもよい。
Next, a method of manufacturing the FED configured as above will be described in detail. First, the electron-emitting device 22 and various wirings are formed on the plate glass for the back substrate. Then, in the air, the plate-shaped support member 14 is sealed on the rear substrate 12 as frit glass as low-melting glass. At the same time, the high melting point conductive member 18 is adhered to the peripheral portion of the back substrate 12 by using frit glass having an insulating property as the second sealing material 34. At this time, the high melting point conductive member 18 is heated to the melting point or the softening point of the second sealing material 34, but since the melting point and the softening point are higher than those of the second sealing material, the shape is not deformed. The back substrate 1
The second sealing material 34 is preferably formed to a thickness of 100 μm or more in order to ensure the insulation between the wiring formed on the upper surface 2 and the high melting point conductive member 18. Normally, this heating is performed by warming the entire back substrate 12 from the surroundings, but the high melting point conductive member 18 may be energized to locally heat only the sealing region.

【0025】一方、前面基板11となる板ガラスに蛍光
体スクリーン16を形成する。これは、前面基板11と
同じ大きさの板ガラスを準備し、この板ガラスにプロッ
ターマシンで蛍光体層のストライプパターンを形成す
る。この蛍光体ストライプパターンが形成された板ガラ
スと前面基板用の板ガラスとを位置決め治具に載せて露
光台にセットすることにより、露光、現像して蛍光体ス
クリーン16を形成する。次に、蛍光体スクリーン16
に重ねて、アルミニウム膜からなるメタルバック層17
を形成する。
On the other hand, the phosphor screen 16 is formed on the plate glass which becomes the front substrate 11. For this, a plate glass having the same size as the front substrate 11 is prepared, and a stripe pattern of a phosphor layer is formed on the plate glass by a plotter machine. The plate glass on which the phosphor stripe pattern is formed and the plate glass for the front substrate are placed on a positioning jig and set on an exposure table, so that the phosphor screen 16 is formed by exposure and development. Next, the phosphor screen 16
And a metal back layer 17 made of an aluminum film.
To form.

【0026】上記のように支持部材14および高融点導
電性部材18が封着された背面基板12、および蛍光体
スクリーン16の形成された前面基板11の封着面に第
1封着材32としてインジウムを塗布する。ここでは、
例えば、高融点導電性部材18および前面基板11の周
辺部内面にインジウムを塗布する。その後、これらを所
定の隙間を置いて対向配置した状態で、真空処理装置1
00内に投入する。
As the first sealing material 32, the rear substrate 12 having the supporting member 14 and the high-melting-point conductive member 18 sealed as described above, and the front substrate 11 having the phosphor screen 16 formed thereon are sealed. Apply indium. here,
For example, indium is applied to the high melting point conductive member 18 and the inner surface of the peripheral portion of the front substrate 11. After that, in a state where they are opposed to each other with a predetermined gap, the vacuum processing apparatus 1
Put in 00.

【0027】図5に示すように、この真空処理装置10
0は、順に並んで設けられたロード室101、ベーキン
グ、電子線洗浄室102、冷却室103、ゲッタ膜の蒸
着室104、組立室105、冷却室106、およびアン
ロード室107を有している。これら各室は真空処理が
可能な処理室として構成され、FEDの製造時には全室
が真空排気されている。隣合う処理室間はゲートバルブ
等により接続されている。
As shown in FIG. 5, this vacuum processing apparatus 10
Reference numeral 0 has a load chamber 101, a baking chamber, an electron beam cleaning chamber 102, a cooling chamber 103, a getter film vapor deposition chamber 104, an assembly chamber 105, a cooling chamber 106, and an unload chamber 107, which are sequentially arranged. . Each of these chambers is configured as a processing chamber capable of vacuum processing, and all the chambers are evacuated when manufacturing the FED. The adjacent processing chambers are connected by a gate valve or the like.

【0028】上述した背面基板12および前面基板11
は、ロード室101に投入され、ロード室101内を真
空雰囲気とした後、ベーキング、電子線洗浄室102へ
送られる。べーキング、電子線洗浄室102では、上記
背面基板12および前面基板11を350℃の温度に加
熱し、各部材の表面吸着ガスを放出させる。
The above-mentioned rear substrate 12 and front substrate 11
Is put into the load chamber 101, the inside of the load chamber 101 is made into a vacuum atmosphere, and then sent to the baking and electron beam cleaning chamber 102. In the baking / electron beam cleaning chamber 102, the back substrate 12 and the front substrate 11 are heated to a temperature of 350 ° C. to release the surface adsorption gas of each member.

【0029】また、加熱と同時に、ベーキング、電子線
洗浄室102に取り付けられた図示しない電子線発生装
置から、前面基板11の蛍光体スクリーン面、および背
面基板12の電子放出素子面に電子線を照射する。この
電子線は、電子線発生装置外部に装着された偏向装置に
よって偏向走査されるため、蛍光体スクリーン面、およ
び電子放出素子面の全面を電子線洗浄することが可能と
なる。
Simultaneously with heating, an electron beam is applied to the phosphor screen surface of the front substrate 11 and the electron-emitting device surface of the rear substrate 12 from an electron beam generator (not shown) attached to the baking / electron beam cleaning chamber 102. Irradiate. Since this electron beam is deflected and scanned by the deflecting device mounted outside the electron beam generator, the entire surface of the phosphor screen surface and the electron-emitting device surface can be cleaned with the electron beam.

【0030】加熱、電子線洗浄後、上記背面基板12お
よび前面基板11は冷却室103に送られ、例えば約1
00℃の温度まで冷却される。続いて、上記背面基板1
2および前面基板11はゲッタ膜形成用の蒸着室104
へと送られ、ここで蛍光体スクリーンの外側にゲッタ膜
としてBa膜が蒸着形成される。
After the heating and the electron beam cleaning, the rear substrate 12 and the front substrate 11 are sent to the cooling chamber 103, for example, about 1
It is cooled to a temperature of 00 ° C. Then, the back substrate 1
2 and the front substrate 11 are a deposition chamber 104 for forming a getter film.
Where a Ba film is vapor-deposited and formed as a getter film on the outside of the phosphor screen.

【0031】続いて、背面基板12および前面基板11
は組立室105に送られる。この組立室105では、こ
れらの部材を例えば約130℃の温度とし、両基板を所
定の位置で重ね合わせる。その後、高融点導電性部材1
8に電極を接触させ、直流電流300Aを40秒通電す
る。すると、この電流は第1封着材32、つまり、イン
ジウムにも同時に流れ、高融点導電性部材18およびイ
ンジウムが発熱する。これにより、インジウムは160
〜200℃程度に加熱されて溶融あるいは軟化する。ま
た、この際、重ね合わせられた前面基板11および背面
基板12に約50kgfの加圧力を両側から印加する。
Subsequently, the back substrate 12 and the front substrate 11
Are sent to the assembly room 105. In this assembly chamber 105, these members are heated to, for example, about 130 ° C., and both substrates are superposed at a predetermined position. Then, the high melting point conductive member 1
The electrode is brought into contact with 8, and a direct current of 300 A is applied for 40 seconds. Then, this current also flows into the first sealing material 32, that is, indium, and the high melting point conductive member 18 and indium generate heat. As a result, indium is
It is melted or softened by being heated to about 200 ° C. At this time, a pressure of about 50 kgf is applied from both sides to the front substrate 11 and the rear substrate 12 which are overlapped.

【0032】このときの加熱は第2封着材34の溶融点
あるいは軟化点よりも低くいため、高融点導電性部材1
8を接着している第2封着材34が変形したりすること
はない。そして、第1封着材32が溶融または軟化した
時点で通電を停止し、速やかに高融点導電性部材18お
よびインジウムの熱を周りの前面基板11および背面基
板12に伝熱拡散させてインジウムを固化させる。これ
により、高融点導電性部材18、第1および第2封着材
32、34を介して前面基板11および背面基板12を
封着し、真空外囲器10を形成する。通電停止後、約6
0秒で封着された真空外囲器10を組立室105から搬
出する。そして、このようにして形成された真空外囲器
10は、冷却室106で常温まで冷却されて、アンロー
ド室107から取り出される。
Since the heating at this time is lower than the melting point or softening point of the second sealing material 34, the high melting point conductive member 1
The second sealing material 34 that adheres 8 is not deformed. Then, when the first sealing material 32 is melted or softened, the energization is stopped, and the heat of the high-melting-point conductive member 18 and indium is quickly transferred to the surrounding front substrate 11 and rear substrate 12 to diffuse indium. Let it solidify. Thereby, the front substrate 11 and the rear substrate 12 are sealed via the high-melting point conductive member 18 and the first and second sealing materials 32 and 34 to form the vacuum envelope 10. About 6 after stopping energization
The vacuum envelope 10 sealed in 0 seconds is carried out of the assembly chamber 105. The vacuum envelope 10 thus formed is cooled to room temperature in the cooling chamber 106 and taken out of the unload chamber 107.

【0033】ここで、高融点導電性部材18の断面積が
小さすぎると、十分な加熱速度が得られない場合や、高
融点導電性部材自体が断線することがある。従って、高
融点導電性部材の断面積は、少なくとも0.1mm
上であることが望ましい。ただし、断面積が大きすぎて
も加熱に必要な電流が増大する。
If the cross-sectional area of the high-melting point conductive member 18 is too small, a sufficient heating rate may not be obtained or the high-melting point conductive member itself may be broken. Therefore, it is desirable that the cross-sectional area of the high melting point conductive member is at least 0.1 mm 2 . However, if the cross-sectional area is too large, the current required for heating will increase.

【0034】また、高融点導電性部材18、第1および
第2封着材32、34は、基本的に背面基板および前面
基板とほぼ同じ熱膨張係数を有していることが望まし
い。ただし、高融点導電性部材は、基板に対して局所的
に加熱されるため、残留応力を考慮してやや低めの熱膨
張係数を選定することが望ましい。そこで、高融点導電
性部材18の熱膨張係数は、前面基板11、背面基板1
2のそれぞれの熱膨張係数の±20%の数値範囲の最大
値より低い値に設定されている。
Further, it is desirable that the high-melting-point conductive member 18 and the first and second sealing materials 32 and 34 have basically the same coefficient of thermal expansion as the rear substrate and the front substrate. However, since the high melting point conductive member is locally heated to the substrate, it is desirable to select a slightly lower coefficient of thermal expansion in consideration of residual stress. Therefore, the thermal expansion coefficient of the high-melting point conductive member 18 is determined by the front substrate 11 and the rear substrate 1.
It is set to a value lower than the maximum value in the numerical range of ± 20% of each thermal expansion coefficient of No. 2.

【0035】(実施例1)36インチサイズのTV用F
ED表示装置に適用する真空外囲器10を形成した。前
面基板11と背面基板12は、共に厚さ2.8mmのガ
ラス材で構成し、側壁を兼ねた高融点導電性部材18は
幅2mm、高さ1.5mmのNi−Fe合金で構成して
いる。そして、高融点導電性部材18は、第2封着材で
ある厚さ0.2mmのフリットガラスを介して背面基板
12に接着し、また、第1封着材である厚さ0.3mm
のインジウムを介して前面基板11に接着されている。
なお、フリットガラスおよびNi−Fe合金の線熱膨張
係数は、基板ガラス材の熱膨張係数に対してそれぞれ9
7%、95%である。
(Example 1) F for 36-inch TV
A vacuum envelope 10 applied to an ED display device was formed. Both the front substrate 11 and the rear substrate 12 are made of a glass material having a thickness of 2.8 mm, and the high melting point conductive member 18 also serving as a side wall is made of a Ni-Fe alloy having a width of 2 mm and a height of 1.5 mm. There is. Then, the high-melting-point conductive member 18 is bonded to the rear substrate 12 via the frit glass having a thickness of 0.2 mm which is the second sealing material, and the thickness of 0.3 mm which is the first sealing material.
Is bonded to the front substrate 11 via indium.
The coefficient of linear thermal expansion of the frit glass and the Ni-Fe alloy is 9 with respect to the coefficient of thermal expansion of the substrate glass material.
7% and 95%.

【0036】この真空外囲器は以下の方法で製造した。
まず、背面基板12または高融点導電性部材18のいず
れかにフリットガラスを充填し、仮焼成する。そして、
これら背面基板12および高融点導電性部材18を所定
の位置で重ね合わせ、大気中400℃で加熱して接合す
る。この時、フリットガラス層の厚さは、背面基板12
上の引き出し線と高融点導電性部材18との絶縁を安定
確保するため、0.2mmとしている。
This vacuum envelope was manufactured by the following method.
First, either the back substrate 12 or the high melting point conductive member 18 is filled with frit glass and pre-baked. And
The back substrate 12 and the high-melting-point conductive member 18 are superposed at a predetermined position and heated at 400 ° C. in the air to bond them. At this time, the frit glass layer has a thickness of the rear substrate 12
In order to ensure stable insulation between the upper lead wire and the high melting point conductive member 18, it is set to 0.2 mm.

【0037】次に、前面基板11と高融点導電性部材1
8と封着面にそれぞれインジウムを充填する。そして、
高融点導電性部材18が接合された背面基板12および
前面基板11を真空槽内に入れて加熱脱ガスさせた後、
前面基板11上にゲッタ膜を形成し、両者を所定の位置
で重ね合わせる。そして、高融点導電性部材18および
インジウムに直流電流300Aを40秒通電し、インジ
ウムを160〜180℃程度に加熱溶融させる。
Next, the front substrate 11 and the high melting point conductive member 1 are formed.
8 and the sealing surface are filled with indium respectively. And
After the back substrate 12 and the front substrate 11 to which the high melting point conductive member 18 is bonded are placed in a vacuum chamber to be heated and degassed,
A getter film is formed on the front substrate 11, and both are superposed at a predetermined position. Then, a direct current of 300 A is applied to the high melting point conductive member 18 and indium for 40 seconds to heat and melt indium at about 160 to 180 ° C.

【0038】この際、重ね合わせられた前面基板11お
よび背面基板12に約50kgfの加圧力を印加する。
これにより、前面基板11と背面基板12との間隔は支
持部材14の高さである2mmとなり、結果的にインジ
ウム層の厚さは0.3mmとなる。その後、通電を止
め、速やかに封着部の熱を前面基板および背面基板に伝
熱拡散させてインジウムを固化し、通電OFF後、約6
0秒で封着された外囲器を搬出する。
At this time, a pressure of about 50 kgf is applied to the front substrate 11 and the rear substrate 12 which are superposed on each other.
As a result, the distance between the front substrate 11 and the rear substrate 12 becomes 2 mm, which is the height of the supporting member 14, and as a result, the thickness of the indium layer becomes 0.3 mm. After that, the energization is stopped, and the heat of the sealing portion is quickly diffused to the front substrate and the rear substrate to solidify the indium.
The sealed envelope is taken out in 0 seconds.

【0039】このような実施例によれば、インジウムの
断線、気密性劣化、側壁位置のずれ、引き出し線のショ
ートを招くことなく通電加熱封着を行うことができ、量
産性の向上を図ることガでいた。なお、この実施例で
は、第1封着材にインジウム、第2封着材にフリットガ
ラスを用いたが、これらの材料については第1封着材の
溶融あるいは軟化温度が第2封着材の溶融あるいは軟化
温度よりも低い関係となる材料であれば、他の材料でも
よい。更に、通電する電流は直流に限るものではなく、
商用周波数あるいは高周波の交流を用いてもよい。
According to such an embodiment, energization heating sealing can be carried out without causing breakage of indium, deterioration of airtightness, deviation of side wall position, and short-circuiting of lead wires, and mass productivity can be improved. It was a moth. In this example, indium was used as the first sealing material and frit glass was used as the second sealing material. However, regarding these materials, the melting or softening temperature of the first sealing material is the same as that of the second sealing material. Other materials may be used as long as they are materials having a relationship lower than the melting or softening temperature. Furthermore, the current to be applied is not limited to direct current,
Commercial frequency or high frequency alternating current may be used.

【0040】(実施例2)本実施例では、図6に示すよ
うに、前面基板11と背面基板12との周辺部同士を封
着した封着部30は、ガラスで形成された矩形枠状の側
壁40を含んだ構成とした。
(Embodiment 2) In this embodiment, as shown in FIG. 6, the sealing portion 30 in which the peripheral portions of the front substrate 11 and the rear substrate 12 are sealed is a rectangular frame formed of glass. The side wall 40 of FIG.

【0041】すなわち、背面基板12の周辺部にはフリ
ットガラス42により側壁40が接着され、また、この
側壁40上にフリットガラス34を介して枠状の高融点
導電性部材18が接着されている。そして、高融点導電
性部材18はインジウム32を介して前面基板11の周
辺部に接着されている。
That is, the side wall 40 is adhered to the peripheral portion of the rear substrate 12 by the frit glass 42, and the frame-shaped high melting point conductive member 18 is adhered to the side wall 40 via the frit glass 34. . The high melting point conductive member 18 is adhered to the peripheral portion of the front substrate 11 via the indium 32.

【0042】側壁40を含んでいることから、高融点導
電性部材18は幅2mm、高さ0.2mmとしている。
そのため、高融点導電性部材18の断面積は0.4mm
となり、実施例1よりも小さくなっている。従って、
通電加熱に必要な電流を実施例1の300Aから80A
に軽減することができ、通電装置の発熱対策を簡易化す
ることができた。
Since the side wall 40 is included, the refractory conductive member 18 has a width of 2 mm and a height of 0.2 mm.
Therefore, the cross-sectional area of the high melting point conductive member 18 is 0.4 mm.
2 , which is smaller than that of the first embodiment. Therefore,
The current required for electric heating is set to 300 A to 80 A in the first embodiment.
Therefore, it was possible to reduce the heat generation of the current-carrying device.

【0043】以上のように構成されたFEDおよびその
製造方法によれば、背面基板および残面基板に対する高
融点導電性部材の封着を2回に分離して行うことがで
き、同時に、最終封着を量産性に優れた通電加熱封着と
することができる。また、予め高融点導電性部材を第2
封着材によって一方の基板に封着した後、通電加熱封着
により第1封着材を介して他方の基板に封着することに
より、封着部の厚さを均一に維持することができ、気密
性の高い封着部を得ることが可能となる。同時に、側壁
となる高融点導電性部材を所望の位置に正確に封着する
ことができる。
According to the FED and the method of manufacturing the FED configured as described above, the high melting point conductive member can be sealed to the back substrate and the remaining substrate in two steps, and at the same time, the final sealing is performed. The encapsulation can be energized heat sealing with excellent mass productivity. In addition, a high melting point conductive member is secondarily
By sealing one substrate with the sealing material and then sealing it with the other substrate through the first sealing material by energization heating sealing, the thickness of the sealing portion can be kept uniform. Thus, it is possible to obtain a highly airtight sealed part. At the same time, it is possible to accurately seal the high-melting-point conductive member to be the side wall at a desired position.

【0044】更に、第2封着材を絶縁性のものとするこ
とで、背面基板上の引き出し線と高融点導電性部材との
電気的絶縁も確保することができる。以上のことから、
気密性の劣化や引き出し線との絶縁の問題などを生じる
ことなく真空雰囲気中で容易に、かつ確実に封着を行う
ことが可能なFED、およびその製造方法を得ることが
できる。
Further, by making the second sealing material insulative, it is possible to ensure electrical insulation between the lead wire on the rear substrate and the high melting point conductive member. From the above,
It is possible to obtain an FED that can be easily and surely sealed in a vacuum atmosphere without causing a problem of deterioration of airtightness or insulation from a lead wire, and a manufacturing method thereof.

【0045】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、上述した実施の形態では、高融点導電性
部材と前面基板との両面に第1封着材を予め充填した
が、第1封着材の充填はいずれか一方でもよい。また、
第1封着材と基板との間などに適当な下地処理を施して
もよい。更に、高融点導電性部材を第1封着材を介して
背面基板に接着し、第2封着材を介して前面基板に接着
する構成としても良い。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but can be variously modified within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the first sealing material is preliminarily filled on both surfaces of the high-melting-point conductive member and the front substrate, but either one may be filled. Also,
Appropriate undercoating may be performed between the first sealing material and the substrate. Further, the high-melting-point conductive member may be adhered to the rear substrate via the first sealing material and may be adhered to the front substrate via the second sealing material.

【0046】この発明は、FEDやSEDなどの真空外
囲器を必要とする表示装置に限るものではなく、PDP
のように一度真空にしてから放電ガスを注入するような
他の表示装置にも有効である。
The present invention is not limited to a display device that requires a vacuum envelope such as an FED or SED, but may be a PDP.
It is also effective for other display devices in which the discharge gas is injected after the vacuum is once generated.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、真空雰囲気中で容易に、かつ確実に封着を行うこと
が可能な平面表示装置、およびその製造方法を提供する
ことができる。
As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide a flat display device capable of easily and reliably sealing in a vacuum atmosphere, and a manufacturing method thereof. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施の形態に係るFEDを示す斜視
図。
FIG. 1 is a perspective view showing an FED according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記FEDの前面基板を取り外した状態を示す
斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a front substrate of the FED is removed.

【図3】図1の線A−Aに沿った断面図。3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図4】上記FEDの蛍光体スクリーンを示す平面図。FIG. 4 is a plan view showing a phosphor screen of the FED.

【図5】上記FEDの製造に用いる真空処理装置を概略
的に示す図。
FIG. 5 is a diagram schematically showing a vacuum processing apparatus used for manufacturing the FED.

【図6】この発明の他の実施の形態に係るFEDを示す
断面図。
FIG. 6 is a sectional view showing an FED according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…真空外囲器 11…前面基板 12…背面基板 14…支持部材 16…蛍光体スクリーン 17…メタルバック層 18…高融点導電性部材 22…電子放出素子 30…封着部 32…第1封着材 34…第2封着材 40…側壁 42…フリットガラス 100…真空処理装置 10 ... Vacuum envelope 11 ... Front substrate 12 ... Rear substrate 14 ... Support member 16 ... Phosphor screen 17 ... Metal back layer 18 ... High melting point conductive member 22 ... Electron emitting device 30 ... Sealing part 32 ... First sealing material 34 ... Second sealing material 40 ... Side wall 42 ... Frit glass 100 ... Vacuum processing device

フロントページの続き (72)発明者 山田 晃義 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 西村 孝司 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 Fターム(参考) 5C012 AA05 BC03 5C032 AA01 BB01 5C036 EE14 EE15 EF01 EF06 EF09 EG02 EG06 EH11 Continued front page    (72) Inventor Akiyoshi Yamada             2 shares, 1-9-1 Harara-cho, Fukaya City, Saitama Prefecture             Company Toshiba Fukaya Factory (72) Inventor Koji Nishimura             2 shares, 1-9-1 Harara-cho, Fukaya City, Saitama Prefecture             Company Toshiba Fukaya Factory F-term (reference) 5C012 AA05 BC03                 5C032 AA01 BB01                 5C036 EE14 EE15 EF01 EF06 EF09                       EG02 EG06 EH11

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】対向配置された前面基板および背面基板
と、上記前面基板および上記背面基板の周辺部を互いに
封着した封着部と、を有した外囲器を備え、 上記封着部は、枠状の高融点導電性部材と第1および第
2封着材とを含み、 上記第1封着材は上記第2封着材よりも低い融点あるい
は軟化点を有し、上記高融点導電性部材は上記第1およ
び第2封着材よりも高い融点あるいは軟化点を有し、 上記高融点導電性部材は、第1封着材を介して上記前面
基板および背面基板の一方に接着され、第2封着材を介
して上記前面基板および背面基板の他方に接着されてい
ることを特徴とする平面表示装置。
1. An envelope having a front substrate and a rear substrate which are arranged opposite to each other, and a sealing portion which seals the peripheral portions of the front substrate and the rear substrate to each other, wherein the sealing portion is A frame-shaped high melting point conductive member and first and second sealing materials, wherein the first sealing material has a lower melting point or softening point than the second sealing material, and the high melting point conductive material The conductive member has a melting point or softening point higher than that of the first and second sealing materials, and the high melting point conductive member is bonded to one of the front substrate and the rear substrate via the first sealing material. A flat panel display device, characterized in that it is adhered to the other of the front substrate and the rear substrate via a second sealing material.
【請求項2】上記第2封着材は絶縁性の材料であること
を特徴とする請求項1に記載の平面表示装置。
2. The flat panel display device according to claim 1, wherein the second sealing material is an insulating material.
【請求項3】上記第2封着材はフリットガラスであるこ
とを特徴とする請求項1又は2に記載の平面表示装置。
3. The flat panel display device according to claim 1, wherein the second sealing material is frit glass.
【請求項4】上記第2封着材の融点または軟化点は30
0℃以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載
の平面表示装置。
4. The melting point or softening point of the second sealing material is 30.
It is 0 degreeC or more, The flat display apparatus of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
【請求項5】上記第2封着材の熱膨張係数は、接着する
上記前面基板あるいは背面基板の熱膨張係数の±20%
の範囲にあることを特徴とする請求項1又は2に記載の
平面表示装置。
5. The coefficient of thermal expansion of the second sealing material is ± 20% of the coefficient of thermal expansion of the front substrate or back substrate to be bonded.
3. The flat panel display device according to claim 1, wherein the flat panel display device is in the range.
【請求項6】上記第2封着材の厚さは100μm以上で
あることを特徴とする請求項1又は2に記載の平面表示
装置。
6. The flat panel display device according to claim 1, wherein the second sealing material has a thickness of 100 μm or more.
【請求項7】上記第1封着材は、導電性を有した材料で
あることを特徴とする請求項1に記載の平面表示装置。
7. The flat panel display device according to claim 1, wherein the first sealing material is a material having conductivity.
【請求項8】上記第1封着材は、インジウムまたはイン
ジウムを含む合金であることを特徴とする請求項1に記
載の平面表示装置。
8. The flat panel display device according to claim 1, wherein the first sealing material is indium or an alloy containing indium.
【請求項9】上記第1封着材の融点または軟化点は30
0℃未満であることを特徴とする請求項1に記載の平面
表示装置。
9. The melting point or softening point of the first sealing material is 30.
The flat display device according to claim 1, wherein the temperature is lower than 0 ° C.
【請求項10】上記高融点導電性部材は、少なくともF
e、Cr、Ni、Alのいずれか含有していることを特
徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の平面
表示装置。
10. The high melting point conductive member is at least F.
10. The flat panel display device according to claim 1, which contains any one of e, Cr, Ni, and Al.
【請求項11】上記高融点導電性部材の融点は500℃
以上であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれ
か1項に記載の平面表示装置。
11. The melting point of the high melting point conductive member is 500.degree.
The flat display device according to any one of claims 1 to 9, which is the above.
【請求項12】上記高融点導電性部材の熱膨張係数は、
上記前面基板、背面基板のそれぞれの熱膨張係数の±2
0%の数値範囲の最大値より低い値であることを特徴と
する請求項1ないし9のいずれか1項に記載の平面表示
装置。
12. The coefficient of thermal expansion of the high melting point conductive member is:
± 2 of the coefficient of thermal expansion of each of the front substrate and the rear substrate
10. The flat panel display device according to claim 1, wherein the flat display device has a value lower than the maximum value in the numerical range of 0%.
【請求項13】上記高融点導電性部材の断面積は、0.
1mm以上あることを特徴とする請求項1ないし9の
いずれか1項に記載の平面表示装置。
13. A cross-sectional area of the high melting point conductive member is 0.
10. The flat display device according to claim 1, wherein the flat display device has a size of 1 mm 2 or more.
【請求項14】上記前面基板と上記高融点導電性部材と
は、上記第1封着材を介して接着され、上記背面基板と
上記高融点導電性部材とは上記第2封着材を介して接着
されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれ
か1項に記載の平面表示装置。
14. The front substrate and the high melting point conductive member are adhered to each other via the first sealing material, and the rear substrate and the high melting point conductive member are bonded to each other via the second sealing material. 10. The flat panel display device according to claim 1, wherein the flat display device is bonded to the flat display device.
【請求項15】上記外囲器の内部に設けられた蛍光体お
よび上記蛍光体を励起する電子源を備え、上記外囲器の
内部は真空に維持されていることを特徴とする請求項1
ないし14のいずれか1項に記載の平面表示装置。
15. The interior of the envelope is provided with a phosphor and an electron source for exciting the phosphor, and the interior of the envelope is maintained in vacuum.
15. The flat panel display device according to claim 1.
【請求項16】対向配置された前面基板および背面基板
を有し、高融点導電性部材と第1および第2封着材とを
含む封着部により前面基板および背面基板の周辺部が互
いに封着された外囲器を備えた平面表示装置の製造方法
において、 上記第1および第2封着材よりも高い融点あるいは軟化
点を有した枠状の高融点導電性部材を用意し、 上記第1封着材よりも高い融点あるいは軟化点を有した
第2封着材により、上記高融点導電性部材を上記前面基
板および背面基板の一方の基板の周辺部に接着し、 上記高融点導電性部材が接着された上記一方の基板と、
他方の基板とを対向配置するとともに、上記高融点導電
性部材と上記他方の基板の周辺部との間に第1封着材を
配置し、 上記高融点導電性部材に通電することで、上記第1封着
材を溶融あるいは軟化させて上記高融点導電性部材と上
記他方の基板とを接着すること特徴とする平面表示装置
の製造方法。
16. A front substrate and a rear substrate which are arranged to face each other, and a peripheral portion of the front substrate and the rear substrate are sealed with each other by a sealing portion including a high melting point conductive member and first and second sealing materials. In a method for manufacturing a flat panel display device having an attached envelope, a frame-shaped high melting point conductive member having a melting point or a softening point higher than those of the first and second sealing materials is prepared, The second sealing material having a melting point or softening point higher than that of the first sealing material adheres the high melting point conductive member to the peripheral portion of one of the front substrate and the rear substrate, The above-mentioned one substrate to which the member is bonded,
By arranging the other substrate to face each other and disposing a first sealing material between the high melting point conductive member and a peripheral portion of the other substrate, and energizing the high melting point conductive member, A method of manufacturing a flat display device, characterized in that the first sealing material is melted or softened to bond the high melting point conductive member and the other substrate.
【請求項17】上記高融点導電性部材が接着された上記
一方の基板と、他方の基板とを真空雰囲気中に配置し、
上記前面基板および背面基板を位置決めした後、上記高
融点導電性部材に通電することを特徴とする請求項16
に記載の平面表示装置の製造方法。
17. The one substrate to which the high-melting-point conductive member is bonded and the other substrate are arranged in a vacuum atmosphere,
17. The high melting point conductive member is energized after the front substrate and the rear substrate are positioned.
A method of manufacturing the flat panel display device according to.
【請求項18】上記第1封着材はインジウムまたはイン
ジウムを含む合金であることを特徴とする請求項16又
は17に記載の平面表示装置の製造方法。
18. The method of manufacturing a flat panel display device according to claim 16, wherein the first sealing material is indium or an alloy containing indium.
【請求項19】上記高融点導電性部材は、少なくともF
e、Cr、Ni、Alのいずれかを含有していることを
特徴とする請求項16ないし17のいずれか1項に記載
の平面表示装置の製造方法。
19. The high melting point conductive member is at least F.
18. The method for manufacturing a flat panel display device according to claim 16, which contains any one of e, Cr, Ni, and Al.
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