JP2003197929A - 受光素子キャリアおよび光受信装置 - Google Patents
受光素子キャリアおよび光受信装置Info
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Abstract
高さとが異なりモジュール化した際の光受診装置の高さ
が増加してしまうという課題があった。 【解決手段】 底面と略平行な境界面を介して隣接する
S層〜P層が底面から順に積層されるとともに、R層が
Q層より長く、R層表面が一部テラス状に露出するテラ
ス9と、A面からB面までQ層を貫通する垂直給電VI
A17Aと、C面からB面までR層を貫通する垂直給電
VIA17Cと、A面に設けられ、高周波端子6Aと垂
直給電VIA17Aとを接続する垂直差動線路16A
と、C面に設けられ、高周波端子6Cと垂直給電VIA
17Cとを接続する垂直差動線路16Cと、B面に設け
られ、垂直給電VIA17Aに接続されるとともに、テ
ラス9に延在する差動線路7Aと、B面に設けられ、垂
直給電VIA17Cに接続されるとともに、テラス9に
延在する差動線路7Cとを備える。
Description
アンプ、高周波端子などを実装するための受光素子キャ
リアに係るものであり、またこの発明は、受光素子キャ
リアをモジュール化した光受信装置に係るものである。
示す斜視図であり、特開2000−58881号公報に
開示されている。図9において、101は受光素子、1
02はキャリア、103はプリアンプ、104はプリア
ンプ入出力パッド、105はプリアンプ出力パッド、1
06はプリアンプVccパッド、107はプリアンプV
eeパッド、108〜112はキャリア電極パターン、
115は受光素子−プリアンプ接続ボンディングワイア
である。
ァイバからの光信号は、不図示のレンズを介して受光素
子101へ入射し、受光素子101によって電気信号に
変換される。受光素子101で変換された電気信号は、
直方体のセラミック製のキャリア102に金属接着され
たプリアンプ103で増幅される。プリアンプ103で
増幅された電気信号はプリアンプ出力パッド105から
キャリア電極パターン110,111へと出力される。
また、プリアンプ103の電源は、キャリア102に設
けられたキャリア電極パターン109,112からプリ
アンプVccパッド106およびプリアンプVeeパッ
ド107へと供給される。
(C)に示すような課題があった。 (A) キャリア102をモジュール化して光受信装置
として実装した場合、不図示のレンズ、不図示の光ファ
イバを受光素子101の正面に設ける必要がある。とこ
ろが、光受信装置の電気出力端子は、プリアンプ出力パ
ッド105に接続されて直方体のキャリア102に這わ
せたキャリア電極パターン110,111と同一の高さ
に設ける必要がある。したがって、光ファイバの設置高
さと電気出力端子の設置高さとが異なることになり、光
受信装置の高さが増加してしまうという課題があった。
はセラミックが一般的に用いられる。このとき、プリア
ンプ103の発熱が大きい場合、光受信装置の筐体へ排
熱するためにはセラミックの中でも、熱伝導率が良く高
価な窒化アルミ(AlN)を用いるしかないため、安価
なアルミナ材を使用できずにコストが増加してしまうと
いう課題があった。
キャリア102上へ実装しているため、プリアンプ10
3の厚みの分だけ段差が生じている。つまり、プリアン
プ出力パッド105とキャリア電極パターン108〜1
12とが異なった高さに設けられるので、これらを接続
するワイア長が増加してプリアンプ出力パッド105の
反射特性が劣化してしまうという課題があった。
アは以上のように構成されているので、光ファイバの設
置高さと電気出力端子の設置高さとが異なってしまい、
モジュール化した際の高さが増加してしまうという課題
があった。
料として安価なアルミナ材を使用できないため、コスト
が増加してしまうという課題があった。
特性が劣化してしまうという課題があった。
めになされたもので、モジュール化した際の高さを抑制
することが可能な受光素子キャリアと、この受光素子キ
ャリアをモジュール化した光受信装置とを提供すること
を目的とする。
ャリアの材料として使用可能にし、コストを軽減するこ
とが可能な受光素子キャリアと、この受光素子キャリア
をモジュール化した光受信装置とを提供することを目的
とする。
善した受光素子キャリアと、この受光素子キャリアをモ
ジュール化した光受信装置とを提供することを目的とす
る。
キャリアは、底面と略直交するチップ実装面を有した四
角柱部分と、底面と略直交する方向へチップ実装面上に
実装された2つの入力端子とを備え、四角柱部分は、2
つの入力端子が実装された各々の位置と、2つの入力端
子の間の位置とに底面と略平行な3つの境界面を介して
積層された4つの層を有するとともに、境界面を延在す
る複数の線路と層を貫通する複数のVIAとを用いて、
チップ実装面の裏面まで2つの入力端子をそれぞれ接続
して、3つの境界面のうちの真中の境界面と裏面とが交
わる位置に2つの入力端子を電気的に露出させるように
したものである。
プ実装面を有した受光素子キャリアであって、このチッ
プ実装面に沿って積層された複数の層と、少なくとも、
第1の境界面と、第3の境界面と、この第1の境界面お
よび第3の境界面の間に位置する第2の境界面とを含む
複数の層における複数の境界面と、第1の境界面とチッ
プ実装面との交線上において、チップ実装面に設けられ
た第2の入力端子と、第2の境界面に設けられた第1の
出力線路および第2の出力線路と、第1の境界面および
第2の境界面の間に設けられた第1のVIAと、第1の
入力端子および第2の入力端子は、それぞれ第1のVI
Aおよび第2のVIAを介して、第1の出力線路および
第2の出力線路に接続されたようにしたものである。
プ実装面を有するキャリアと、チップ実装面に実装され
た受光素子と、受光素子に接続され、チップ実装面に実
装されたプリアンプと、プリアンプに接続され、チップ
実装面に実装された第1入力端子と、プリアンプに接続
され、第1入力端子の下方においてチップ実装面に実装
された第2入力端子と、第1入力端子にその一端が接続
されるとともに、キャリア内部を水平方向へ延在する第
1媒介線路と、第2入力端子にその一端が接続されると
ともに、キャリア内部を水平方向へ延在する第2媒介線
路と、第1媒介線路の他端にその一端が接続され、キャ
リア内部を下方へ延在するとともに、第1媒介線路と第
2媒介線路との間に想定される中間平面へその他端が至
る第1VIAと、第2媒介線路の他端にその一端が接続
され、キャリア内部を上方へ延在するとともに、中間平
面へその他端が至る第2VIAと、第1VIAの他端に
その一端が接続され、中間平面を水平方向へ延在すると
ともに、チップ実装面の裏面にその他端が露出する第1
出力線路と、第2VIAの他端にその一端が接続され、
中間平面を水平方向へ延在するとともに、チップ実装面
の裏面にその他端が露出する第2出力線路とを備えるよ
うにしたものである。
と略平行な境界面を介して隣接する第4層、第3層、第
2層および第1層が底面から順に積層されるとともに、
第3層が第2層より長く、第3層の表面が一部テラス状
に露出するテラス部と、第1層と第2層との間の第1境
界面から第2層と第3層との間の第2境界面まで第2層
を貫通する第1VIAと、第3層と第4層との間の第3
境界面から第2境界面まで第3層を貫通する第2VIA
と、第1境界面に設けられ、第1入力端子と第1VIA
とを接続する第1媒介線路と、第3境界面に設けられ、
第2入力端子と第2VIAとを接続する第2媒介線路
と、第2境界面に設けられ、第1VIAに接続されると
ともに、テラス部に延在する第1出力線路と、第2境界
面に設けられ、第2VIAに接続されるとともに、テラ
ス部に延在する第2出力線路とをキャリアが備えるよう
にしたものである。
から受光素子の光軸までの高さと、底面から第2境界面
までの高さとを略同一に形成するようにしたものであ
る。
の法線方向から底面に対する各投影面積が重複するよう
に第1媒介線路および第2媒介線路が配置されるように
したものである。
媒介線路および第2媒介線路は、チップ実装面と略平行
な方向へ所定の位置まで折り曲げられるとともに、所定
の位置からチップ実装面と略直交する方向へ折り曲げら
れるようにしたものである。
プ実装面とプリアンプとの間に設けられ、プリアンプを
キャリアに実装する排熱板をキャリアが備えるようにし
たものである。
プ実装面側の一部に段差を与える切欠部がキャリアに形
成されるようにしたものである。
素子およびプリアンプが切欠部に実装されるとともに、
チップ実装面の法線方向における第1入力端子および第
2入力端子の高さと、チップ実装面の法線方向における
受光素子の高さと、チップ実装面の法線方向におけるプ
リアンプの高さとを略同一になるように切欠部をキャリ
アに形成するようにしたものである。
ら請求項10のうちのいずれか1項記載の受光素子キャ
リアと、受光素子キャリアを内包するパッケージと、パ
ッケージに設置され、受光素子キャリアの受光素子へ光
信号を入力する光ファイバとを備えるようにしたもので
ある。
説明する。なお、各図における同一符号は同一または相
当する構成を示している。 実施の形態1.図1〜図4はこの発明の実施の形態1に
よる受光素子キャリア・光受信装置の構成・特徴を説明
するための図である。図1〜図4の各図には、互いに直
交するx軸、y軸、z軸を仮想的に図示している。
ャリアの構成を示す斜視概観図、図2(a)および図2
(b)は受光素子キャリアをモジュール化した光受信装
置のカバーを取り外した状態での上面図および断面図、
図3は受光素子キャリアの高周波線路の構成を示す斜視
透視図である。また、図4(a)〜図4(d)は図3の
A面上面図、B面上面図、C面上面図およびA,B,C
面透視上面図をそれぞれ表している。
ャリア、2は受光素子、3はプリアンプ、4は電源端
子、5はキャパシタ、6は高周波端子(入力端子)、7
は差動線路(出力線路)、8は電源線路、9はキャリア
1のテラス(テラス部)である。図1に示すように、電
源端子4,高周波端子6,差動線路7,電源線路8がキ
ャリア1に設けてある。また、受光素子2,プリアンプ
3,電源端子4,キャパシタ5,高周波端子6はキャリ
ア1の同一前面(チップ実装面1A)上に配置され、そ
れぞれ適切に配線されている。
パッケージ、11はカバー、12は先端部に先球レンズ
を設けた光ファイバ、13は電気出力端子としての高周
波リード端子、14は電源リード端子、15は金ワイア
である。図1の受光素子キャリアがパッケージ10内に
設けられており、光信号が受光素子2へ入力するように
光ファイバ12が設けられている。また、差動線路7は
金ワイア15によって高周波リード端子13に接続され
ており、電源端子4も同じく電源リード端子14に接続
されている。図2(b)の断面図を見ると分かるよう
に、この実施の形態1による受光素子キャリアは、光フ
ァイバ12の設置高さと高周波リード端子13の設置高
さとが略一致している。
て、16A,16Cはそれぞれ垂直差動線路(第1媒介
線路、第2媒介線路)、17A,17Cはそれぞれ垂直
給電VIA(第1VIA,第2VIA)である。また、
P層とQ層との間はA面(第1境界面)、Q層とR層と
の間はB面(第2境界面、中間平面)、R層とS層との
間はC面(第3境界面)である。垂直差動線路16Aは
A面上に、垂直差動線路16CはC面上に、差動線路
(第1出力線路、第2出力線路)7A,7CはB面上に
それぞれ形成されている。垂直給電VIA17AはA面
からB面までQ層を貫通しており、垂直給電VIA17
CはC面からB面までR層を貫通している。
も四角柱のS層(第4層)、R層(第3層)、Q層(第
2層)、P層(第1層)を底面から順にz軸方向へ積層
したものである。このキャリア1は以下のように構成さ
れている。つまり、x軸、y軸、z軸の3軸とそれぞれ
直交する6つの面からなる四角柱を考え、y軸と直交す
るチップ実装面1A上の高周波端子(第1入力端子)6
Aの高さ(z軸方向)、高周波端子(第2入力端子)6
Cの高さ(z軸方向)、高周波端子6Aと高周波端子6
Cとの略真中の高さ(z軸方向)で、x−y平面と平行
なA面〜C面によってこの四角柱を分離し、4つのP
層、Q層、R層、S層を構成している。
ているが、y軸方向の寸法はR層、S層と比べてP層、
Q層の方が短くなっている。したがって、チップ実装面
1Aが同一平面となるように4つのP層〜S層を積層す
ると、差動線路7A,7Cの露出するテラス9がチップ
実装面1A裏面側のB面上に形成され、図1〜図4のキ
ャリア1が構成される。なお、ここでいう四角柱とは、
その底面が長方形や台形であっても良く、底面の形状は
特に限定されるものではない。
んだ高周波端子6A,6Cが垂直差動線路16A,16
Cとそれぞれ接続されている。図4(a)のA面上面
図、図4(c)のC面上面図、図4(d)のA,B,C
面透視上面図を見ると分かるように、z軸方向から見た
垂直差動線路16A,16Cは、x軸方向へ互いに逆に
折れ曲がった折曲部分と重複部分とをそれぞれ有してい
る。垂直差動線路16Aの折曲部分の先端は垂直給電V
IA17AのA面側と接続され(図4(a)参照)、垂
直差動線路16Cの折曲部分の先端は垂直給電VIA1
7CのC面側と接続される(図4(c)参照)。そして
図4(b)のB面上面図に示すように、同一のB面上に
ある2本の差動線路7A,7Cの一端は、垂直給電VI
A17A,17Cの各B面側とそれぞれ接続されてい
る。
のz軸方向における位置(B面のz軸座標)は、各垂直
差動線路16A,16Cのz軸方向における各位置(A
面、C面の各z軸座標)の中央になるように配置されて
いるため、垂直給電VIA17A,17Cはそれぞれ等
しい長さになっている(つまりQ層とR層とはz軸方向
における厚さが等しい)。また、電源端子4と電源線路
8とはキャリア1内部で接続されている。
2から入力された光信号は光ファイバ12の先端部に設
けた先球レンズによって集光され、受光素子2によって
受光する。この受光強度に応じた電気信号が受光素子2
からプリアンプ3へ入力される。この電気信号は、プリ
アンプ3で増幅されると、高周波端子6A,6C,垂直
差動線路16A,16C,垂直給電VIA17A,17
C,差動線路7A,7Cを順次通過してキャリア1から
出力され、さらに金ワイア15を介して高周波リード端
子13へ出力される。受光素子2およびプリアンプ3を
駆動するためのバイアス電源電圧は、電源リード端子1
4,金ワイア15,電源線路8,電源端子4,キャパシ
タ5を通って受光素子2およびプリアンプ3へ供給され
ている。
信号は垂直差動線路16A,16Cを通って伝送され
る。ここで図4(d)のA,B,C面透視上面図に示す
ように、垂直差動線路16A,16Cを構成する線路対
の中心(x座標)と、差動線路7A,7Cを構成する線
路対の中心(x座標)とが略一致するように作られてい
るため、垂直給電VIA17A,17Cを波長に対して
十分短く、すなわち垂直差動線路16A,16Cを構成
する線路対の間隔を短くすれば、垂直差動線路16A,
16Cおよび差動線路7A,7Cをそれぞれ構成する各
線路対の対称性が保たれ、差動信号を伝播することが可
能となる。したがって、高周波端子6A,6Cの中心と
差動線路7A,7Cとはキャリア1底面から略同一高さ
(B面の高さに略一致)となる。
提に作られており、動作の対称性からプリアンプ3内の
回路も対称に作られている。そのため、受光素子2,プ
リアンプ3,高周波端子6A,6C,差動線路7A,7
Cのそれぞれの中心を略同じ高さに揃えられる。
ァイバ12から高周波リード端子13までの各部品中心
の設置高さは、光受信装置の底面から見て同一となり、
従来と比較して、光受信装置全体の高さを低く抑えるこ
とができる。また、高周波端子6から高周波リード端子
13までの配線も短くすることができるため、伝播損失
も抑制することが可能となる。
ば、チップ実装面1Aを有するキャリア1と、チップ実
装面1Aに実装された受光素子2と、受光素子2に接続
され、チップ実装面1Aに実装されたプリアンプ3と、
プリアンプ3に接続され、チップ実装面1Aに実装され
た高周波端子6Aと、プリアンプ3に接続され、高周波
端子6Aの下方においてチップ実装面1Aに実装された
高周波端子6Cと、高周波端子6Aにその一端が接続さ
れるとともに、キャリア1内部を水平方向へ延在する垂
直差動線路16Aと、高周波端子6Cにその一端が接続
されるとともに、キャリア1内部を水平方向へ延在する
垂直差動線路16Cと、垂直差動線路16Aの他端にそ
の一端が接続され、キャリア1内部を下方へ延在すると
ともに、垂直差動線路16Aと垂直差動線路16Cとの
間に想定されるB面へその他端が至る垂直給電VIA1
7Aと、垂直差動線路16Cの他端にその一端が接続さ
れ、キャリア1内部を上方へ延在するとともに、B面へ
その他端が至る垂直給電VIA17Cと、垂直給電VI
A17Aの他端にその一端が接続され、B面を水平方向
へ延在するとともに、チップ実装面1Aの裏面にその他
端が露出する差動線路7Aと、垂直給電VIA17Cの
他端にその一端が接続され、B面を水平方向へ延在する
とともに、チップ実装面1Aの裏面にその他端が露出す
る差動線路7Cとを備えるようにしたので、従来と比較
して、モジュール化した際の高さを抑制できるという効
果が得られる。また、伝播損失を抑制できるという効果
が得られる。
略平行な境界面を介して隣接するS層、R層、Q層およ
びP層が底面から順に積層されるとともに、R層がQ層
より長く、R層の表面が一部テラス状に露出するテラス
9と、P層とQ層との間のA面からQ層とR層との間の
B面までQ層を貫通する垂直給電VIA17Aと、R層
とS層との間のC面からB面までR層を貫通する垂直給
電VIA17Cと、A面に設けられ、高周波端子6Aと
垂直給電VIA17Aとを接続する垂直差動線路16A
と、C面に設けられ、高周波端子6Cと垂直給電VIA
17Cとを接続する垂直差動線路16Cと、B面に設け
られ、垂直給電VIA17Aに接続されるとともに、テ
ラス9に延在する差動線路7Aと、B面に設けられ、垂
直給電VIA17Cに接続されるとともに、テラス9に
延在する差動線路7Cとをキャリア1が備えるようにし
たので、従来と比較して、モジュール化した際の高さを
抑制できるという効果が得られる。また、伝播損失を抑
制できるという効果が得られる。
から受光素子2の光軸までの高さと、底面からB面まで
の高さとを略同一に形成するようにしたので、従来と比
較して、モジュール化した際の高さを抑制できるという
効果が得られる。また、伝播損失を抑制できるという効
果が得られる。
素子キャリアと、受光素子キャリアを内包するパッケー
ジ10と、パッケージ10に設置され、受光素子キャリ
アの受光素子2へ光信号を入力する光ファイバ12とを
備えるようにしたので、高さを抑制した光受信装置を提
供できるという効果が得られる。
(a)の上面図を見ると、キャリア1から出力されてい
る差動線路7の取り出し位置が光ファイバ12に対して
x軸方向へ偏っている。このため、光ファイバ12の中
心と高周波リード端子13の中心とを揃えたい場合など
では、パッケージ10内で差動線路を引き回す必要が出
てくる。この場合、差動線路なので線路を2本引き回す
必要があり、光受信装置の上面面積が増大してしまうこ
とになる。この実施の形態2では、この問題を解決する
手法について説明する。
る受光素子キャリアの構成・特徴を説明するための図で
ある。図5,図6の各図には、互いに直交するx軸、y
軸、z軸を仮想的に図示している。
成を示す透視斜視図、図6(a)〜図6(d)は図5の
A面上面図、B面上面図、C面上面図およびA,B,C
面透視上面図をそれぞれ表している。
の構成と基本的にほとんど同一である。唯一異なってい
る点が2本の垂直差動線路(第1媒介線路、第2媒介線
路)18A,18Cである。この垂直差動線路18A,
18Cの一部は、図6(a)のA面上面図、図6(c)
のC面上面図に示す通り、高周波端子6A,6Cの位置
よりもキャリア1の中心へ向ってx軸方向に折り曲げら
れ、キャリア1の中心からはテラス9側の方向へ向って
y軸方向に再度折り曲げられている。このようにして、
垂直差動線路18A,18Cは、垂直給電VIA17
A,17Cを介して高周波端子6A,6Cを差動線路7
A,7Cまで接続している。
(z軸方向)に重なって配置されているため、キャリア
1底面の法線方向に沿って垂直差動線路18A,18C
を底面へ投影して見ると、x−y平面に対する垂直差動
線路18A,18Cの投影面積は線路1本分のみに重複
している。キャリア1内部ではなくパッケージ10内で
差動線路を引き回すと線路2本分の投影面積が必要にな
ることと比べると、図5,図6の構成にすることで、任
意の位置(例えば上面から見たキャリア1の中央)へ差
動線路7A,7Cを移動しても、垂直作動線路18A,
18Cは線路1本分の面積でこの任意の位置まで引き回
すことが可能であり、パッケージ10内での差動線路の
引き回しを少なくすることができる。
い電気抵抗のタングステンである場合が多く、実施の形
態1で示した垂直差動線路16A,16Cの線路長に比
べて線路長の増加によって通過損失が増加する点はある
ものの、図5,図6のように構成することで、光受信装
置としてはパッケージ10内での引き回しを不要とする
ことができ、光受信装置の上面面積をさらに抑制するこ
とが可能となる。
ば、垂直差動線路18Aおよび垂直差動線路18Cは、
キャリア1の底面の法線方向からこの底面に対する各投
影面積が重複するように配置したので、パッケージ10
内での差動線路の引き回しを少なくでき、光受信装置の
上面面積を抑制できるという効果が得られる。
動線路18Aおよび垂直差動線路18Cは、チップ実装
面1Aと略平行な方向へ所定の位置まで折り曲げられる
とともに、所定の位置からチップ実装面1Aと略直交す
る方向へ折り曲げられるようにしたので、パッケージ1
0内での差動線路の引き回しを不要とすることができ、
光受信装置の上面面積をさらに抑制できるという効果が
得られる。
態3による受光素子キャリアの構成・特徴を示す斜視図
である。図7において、19は熱伝導率の良い銅タング
ステンやコパールなどのプリアンプ3排熱用の金属プレ
ート(排熱板)である。
られたプリアンプ3の下面部分に金属プレート19を設
けるようにしている。つまり、キャリア1のチップ実装
面1Aとプリアンプ3との間に設けられた金属プレート
19によって、キャリア1のチップ実装面1Aにプリア
ンプ3が設置されている。金属プレート19を設けるこ
とにより、プリアンプ3で発生した熱は金属プレート1
9を伝達してキャリア1が実装されたパッケージ10へ
と排熱される。
場合でも金属プレート19で排熱できるようになるた
め、キャリア1の材料として熱伝導率が良い反面、高価
な窒化アルミ材よりも安価なアルミナ材を用いることが
可能となり、受光素子キャリアのコストを軽減できる。
なお、この実施の形態3は実施の形態1,実施の形態2
に適用可能である。
ば、キャリア1のチップ実装面1Aとプリアンプ3との
間に設けられ、プリアンプ3をキャリア1に設置するプ
リアンプ3排熱用の金属プレート19を備えるようにし
たので、キャリア1の材料として安価なアルミナ材を用
いることが可能となり、受光素子キャリアのコストを軽
減できるという効果が得られる。
態4による受光素子キャリアの構成・特徴を示す斜視図
である。図8において、20は切欠付キャリア、21は
切欠付キャリア20のチップ実装面20Aに形成された
切欠部である。
のキャリア1からチップ実装面20Aを凹形状にしたも
のであり、高周波端子6,垂直差動線路16,垂直給電
VIA17,差動線路7は実施の形態1,2と同様に配
置されている。切欠付キャリア20に設けられた切欠部
21は、y−z平面と平行な境界面によって、チップ実
装面20Aの受光素子2,プリアンプ3,キャパシタ5
側をP層からS層まで段差を生じさせるようにしたもの
であり、このときの段差の深さ(y軸方向)は、受光素
子2およびプリアンプ3を実装したときに各々のチップ
実装面20Aの高さと高周波端子6の高さとが同一とな
るようにしている。
プリアンプ3の高さと、プリアンプ3および高周波端子
6の高さとをそれぞれ略同一にできるため、これらを接
続するワイア22をほとんど最短の長さで配線すること
が可能となる。したがって、高周波特性を向上できるよ
うになる。なお、この実施の形態4は実施の形態1〜実
施の形態3に適用可能である。
ば、チップ実装面20Aおよび底面と略直交する境界面
によって、P層、Q層、R層およびS層のチップ実装面
20A側の一部に段差を与える切欠部21が形成された
切欠付キャリア20を備えるようにしたので、受光素子
2,プリアンプ3,高周波端子6を接続するワイア22
を短くして配線できるようになり、高周波特性を向上で
きるという効果が得られる。
子2およびプリアンプ3がキャリア20の切欠部21に
実装されるとともに、チップ実装面20Aの法線方向に
おける高周波端子6Aおよび高周波端子6Cの高さと、
チップ実装面20Aの法線方向における受光素子2の高
さと、チップ実装面20Aの法線方向におけるプリアン
プ3の高さとが略同一になるように、切欠付キャリア2
0の切欠部21を形成するようにしたので、受光素子
2,プリアンプ3,高周波端子6を接続するワイア22
をほとんど最短の長さで配線できるようになり、高周波
特性を一層向上できるという効果が得られる。
ァイバの設置高さと高周波リード端子の設置高さとを略
一致できるようになり、従来と比較してモジュール化し
た際の高さを抑制できるという効果が得られる。
ャリアの材料として使用可能になり、従来と比較してコ
ストを軽減できるという効果が得られる。
プリアンプの高さと、プリアンプの高さおよび高周波端
子の高さとをいずれも略同一にできるようになり、これ
らを接続するワイア長を短くすることができ、反射特性
の劣化を改善できるという効果が得られる。
リア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図であ
る。
リア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図であ
る。
リア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図であ
る。
リア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図であ
る。
リアの構成・特徴を説明するための図である。
リアの構成・特徴を説明するための図である。
リアの構成・特徴を示す斜視図である。
リアの構成・特徴を示す斜視図である。
である。
プリアンプ、4 電源端子、5 キャパシタ、6,6
A,6C 高周波端子(第1入力端子、第2入力端
子)、7,7A,7C 差動線路(第1出力線路、第2
出力線路)、8 電源線路、9 テラス(テラス部)、
10 パッケージ、11 カバー、12 光ファイバ、
13 高周波リード端子、14 電源リード端子、15
金ワイア、16,16A,16C 垂直差動線路(第
1媒介線路、第2媒介線路)、17,17A,17C
垂直給電VIA(第1VIA,第2VIA),18A,
18C垂直差動線路(第1媒介線路、第2媒介線路)、
19 金属プレート(排熱板)、20 切欠付キャリ
ア、21 切欠部、22 ワイア。
5)
プ実装面を有した受光素子キャリアであって、このチッ
プ実装面に沿って積層された複数の層と、少なくとも、
第1の境界面と、第3の境界面と、この第1の境界面お
よび第3の境界面の間に位置する第2の境界面とを含む
複数の層における複数の境界面と、第1の境界面とチッ
プ実装面との交線上において、チップ実装面に設けられ
た第1の入力端子と、第3の境界面とチップ実装面との
交線上において、チップ実装面に設けられた第2の入力
端子と、第2の境界面に設けられた第1の出力線路およ
び第2の出力線路と、第1の境界面および第2の境界面
の間に設けられた第1のVIAと、第2の境界面および
第3の境界面の間に設けられた第2のVIAとを有し、
第1の入力端子および第2の入力端子は、それぞれ第1
のVIAおよび第2のVIAを介して、第1の出力線路
および第2の出力線路に接続されたようにしたものであ
る。
Claims (11)
- 【請求項1】 底面と略直交するチップ実装面を有した
四角柱部分と、上記底面と略直交する方向へ上記チップ
実装面上に実装された2つの入力端子とを備え、上記四
角柱部分は、上記2つの入力端子が実装された各々の位
置と、上記2つの入力端子の間の位置とに上記底面と略
平行な3つの境界面を介して積層された4つの層を有す
るとともに、上記境界面を延在する複数の線路と、上記
層を貫通する複数のVIAとを用いて、上記チップ実装
面の裏面まで上記2つの入力端子をそれぞれ接続して、
上記3つの境界面のうちの真中の上記境界面と上記裏面
とが交わる位置に上記2つの入力端子を電気的に露出さ
せることを特徴とする受光素子キャリア。 - 【請求項2】 チップ実装面を有した受光素子キャリア
であって、 このチップ実装面に沿って積層された複数の層と、 少なくとも、第1の境界面と、第3の境界面と、この第
1の境界面および第3の境界面の間に位置する第2の境
界面とを含む上記複数の層における複数の境界面と、 上記第1の境界面と上記チップ実装面との交線上におい
て、上記チップ実装面に設けられた第2の入力端子と、 上記第2の境界面に設けられた第1の出力線路および第
2の出力線路と、 上記第1の境界面および上記第2の境界面の間に設けら
れた第1のVIAと、 上記第1の入力端子および上記第2の入力端子は、それ
ぞれ上記第1のVIAおよび上記第2のVIAを介し
て、上記第1の出力線路および上記第2の出力線路に接
続されたことを特徴とする受光素子キャリア。 - 【請求項3】 チップ実装面を有するキャリアと、 上記チップ実装面に実装された受光素子と、 上記受光素子に接続され、上記チップ実装面に実装され
たプリアンプと、 上記プリアンプに接続され、上記チップ実装面に実装さ
れた第1入力端子と、 上記プリアンプに接続され、上記第1入力端子の下方に
おいて上記チップ実装面に実装された第2入力端子と、 上記第1入力端子にその一端が接続されるとともに、上
記キャリア内部を水平方向へ延在する第1媒介線路と、 上記第2入力端子にその一端が接続されるとともに、上
記キャリア内部を水平方向へ延在する第2媒介線路と、 上記第1媒介線路の他端にその一端が接続され、上記キ
ャリア内部を下方へ延在するとともに、上記第1媒介線
路と上記第2媒介線路との間に想定される中間平面へそ
の他端が至る第1VIAと、 上記第2媒介線路の他端にその一端が接続され、上記キ
ャリア内部を上方へ延在するとともに、上記中間平面へ
その他端が至る第2VIAと、 上記第1VIAの他端にその一端が接続され、上記中間
平面を水平方向へ延在するとともに、上記チップ実装面
の裏面にその他端が露出する第1出力線路と、 上記第2VIAの他端にその一端が接続され、上記中間
平面を水平方向へ延在するとともに、上記チップ実装面
の裏面にその他端が露出する第2出力線路とを備えるこ
とを特徴とする受光素子キャリア。 - 【請求項4】 底面と略直交するチップ実装面を有した
四角柱のキャリアと、光信号を電気信号に変換する受光
素子と、上記電気信号を増幅するプリアンプと、上記プ
リアンプで増幅された上記電気信号が入力される第1入
力端子および第2入力端子とを上記チップ実装面にそれ
ぞれ実装した受光素子キャリアにおいて、 上記キャリアは、 上記底面と略平行な境界面を介して隣接する第4層、第
3層、第2層および第1層が上記底面から順に積層され
るとともに、 上記第3層が上記第2層より長く、上記第3層の表面が
一部テラス状に露出するテラス部と、 上記第1層と上記第2層との間の第1境界面から上記第
2層と上記第3層との間の第2境界面まで上記第2層を
貫通する第1VIAと、 上記第3層と上記第4層との間の第3境界面から上記第
2境界面まで上記第3層を貫通する第2VIAと、 上記第1境界面に設けられ、上記第1入力端子と上記第
1VIAとを接続する第1媒介線路と、 上記第3境界面に設けられ、上記第2入力端子と上記第
2VIAとを接続する第2媒介線路と、 上記第2境界面に設けられ、上記第1VIAに接続され
るとともに、上記テラス部に延在する第1出力線路と、 上記第2境界面に設けられ、上記第2VIAに接続され
るとともに、上記テラス部に延在する第2出力線路とを
備えることを特徴とする受光素子キャリア。 - 【請求項5】 底面から受光素子の光軸までの高さと、
上記底面から第2境界面までの高さとを略同一に形成す
ることを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。 - 【請求項6】 第1媒介線路および第2媒介線路は、 底面の法線方向から上記底面に対する各投影面積が重複
するように配置されることを特徴とする請求項4記載の
受光素子キャリア。 - 【請求項7】 第1媒介線路および第2媒介線路は、 チップ実装面と略平行な方向へ所定の位置まで折り曲げ
られるとともに、上記所定の位置から上記チップ実装面
と略直交する方向へ折り曲げられることを特徴とする請
求項4記載の受光素子キャリア。 - 【請求項8】 キャリアは、 チップ実装面とプリアンプとの間に設けられ、上記プリ
アンプを上記キャリアに実装する排熱板を備えることを
特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。 - 【請求項9】 キャリアは、 チップ実装面側の一部に段差を与える切欠部が形成され
ることを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。 - 【請求項10】 キャリアは、 受光素子およびプリアンプが切欠部に実装されるととも
に、チップ実装面の法線方向における第1入力端子およ
び第2入力端子の高さと、上記チップ実装面の法線方向
における上記受光素子の高さと、上記チップ実装面の法
線方向における上記プリアンプの高さとを略同一になる
ように切欠部を形成することを特徴とする請求項9記載
の受光素子キャリア。 - 【請求項11】 請求項1から請求項10のうちのいず
れか1項記載の受光素子キャリアと、 上記受光素子キャリアを内包するパッケージと、 上記パッケージに設置され、上記受光素子キャリアの受
光素子へ光信号を入力する光ファイバとを備えることを
特徴とする光受信装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001397895A JP4001744B2 (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | 受光素子キャリアおよび光受信装置 |
US10/120,605 US7046936B2 (en) | 2001-12-27 | 2002-04-12 | Light receiving element carrier and optical receiver |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001397895A JP4001744B2 (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | 受光素子キャリアおよび光受信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003197929A true JP2003197929A (ja) | 2003-07-11 |
JP4001744B2 JP4001744B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=27603532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001397895A Expired - Lifetime JP4001744B2 (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | 受光素子キャリアおよび光受信装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7046936B2 (ja) |
JP (1) | JP4001744B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008186918A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Kyocera Corp | 回路基板ならびにそれを用いた差動電子回路部品収納用パッケージおよび差動電子回路装置 |
KR20140108437A (ko) * | 2013-02-27 | 2014-09-11 | 한국전자통신연구원 | 초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3977315B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2007-09-19 | ファイベスト株式会社 | 光通信器、光通信システムおよび光送受信器 |
JP2012129351A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Mitsubishi Electric Corp | 素子キャリアおよび受光モジュール |
JP5971843B2 (ja) * | 2011-05-18 | 2016-08-17 | 日本オクラロ株式会社 | アレイ型受光装置、光受信モジュール、及び光トランシーバ |
KR101864460B1 (ko) * | 2013-11-19 | 2018-06-05 | 한국전자통신연구원 | 다파장 광 수신장치 및 그 방법 |
JP5861724B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2016-02-16 | 住友大阪セメント株式会社 | 光デバイス |
JP2019015798A (ja) * | 2017-07-04 | 2019-01-31 | 住友電気工業株式会社 | 光通信モジュール |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63198380A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | Mitsubishi Electric Corp | チツプキヤリア型光半導体装置 |
JPH04141606A (ja) * | 1990-10-02 | 1992-05-15 | Hitachi Ltd | 光電子装置 |
JPH0951053A (ja) * | 1995-08-10 | 1997-02-18 | Nec Corp | チップキャリアとその製造方法および素子のマウント方法 |
JP2000058881A (ja) * | 1998-08-04 | 2000-02-25 | Nec Corp | 受光回路 |
JP2000174374A (ja) * | 1998-12-08 | 2000-06-23 | Rohm Co Ltd | レーザユニットおよび絶縁ブロック |
JP2001085706A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Kyocera Corp | 光半導体素子モジュール |
JP2001284606A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-12 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2001345456A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 広帯域光受信装置 |
JP2002231974A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光受信装置及びその実装構造及びその製造方法 |
JP2002299649A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 光半導体素子キャリア及びそれを用いた光デバイス |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3487283B2 (ja) | 2000-10-31 | 2004-01-13 | 三菱電機株式会社 | 差動ストリップ線路垂直変換器および光モジュール |
-
2001
- 2001-12-27 JP JP2001397895A patent/JP4001744B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-04-12 US US10/120,605 patent/US7046936B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63198380A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-17 | Mitsubishi Electric Corp | チツプキヤリア型光半導体装置 |
JPH04141606A (ja) * | 1990-10-02 | 1992-05-15 | Hitachi Ltd | 光電子装置 |
JPH0951053A (ja) * | 1995-08-10 | 1997-02-18 | Nec Corp | チップキャリアとその製造方法および素子のマウント方法 |
JP2000058881A (ja) * | 1998-08-04 | 2000-02-25 | Nec Corp | 受光回路 |
JP2000174374A (ja) * | 1998-12-08 | 2000-06-23 | Rohm Co Ltd | レーザユニットおよび絶縁ブロック |
JP2001085706A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Kyocera Corp | 光半導体素子モジュール |
JP2001284606A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-12 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2001345456A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 広帯域光受信装置 |
JP2002231974A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光受信装置及びその実装構造及びその製造方法 |
JP2002299649A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 光半導体素子キャリア及びそれを用いた光デバイス |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008186918A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Kyocera Corp | 回路基板ならびにそれを用いた差動電子回路部品収納用パッケージおよび差動電子回路装置 |
KR20140108437A (ko) * | 2013-02-27 | 2014-09-11 | 한국전자통신연구원 | 초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법 |
KR102091474B1 (ko) * | 2013-02-27 | 2020-03-23 | 한국전자통신연구원 | 초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7046936B2 (en) | 2006-05-16 |
US20040208653A1 (en) | 2004-10-21 |
JP4001744B2 (ja) | 2007-10-31 |
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