JP2003166669A - 流体圧バルブ - Google Patents
流体圧バルブInfo
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- JP2003166669A JP2003166669A JP2001366590A JP2001366590A JP2003166669A JP 2003166669 A JP2003166669 A JP 2003166669A JP 2001366590 A JP2001366590 A JP 2001366590A JP 2001366590 A JP2001366590 A JP 2001366590A JP 2003166669 A JP2003166669 A JP 2003166669A
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- pilot
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Abstract
(57)【要約】
【課題】チューブ部材の耐久性を向上させ、しかも良好
な応答特性を保持することが可能な流体圧バルブを提供
することにある。 【解決手段】バルブ駆動機構20は、室44内に導入さ
れる圧力流体の作用下に軸線方向に沿って収縮するゴム
製のチューブ部材36と、前記チューブ部材36に連動
して変位する弁体34と、前記チューブ部材36を囲繞
することにより連通路29を流通する圧力流体がチュー
ブ部材36側に向かって進入することを遮断する保護部
材40と、前記弁体34の変位に伴って撓曲し前記保護
部材40とチューブ部材36との間に形成された間隙内
に圧力流体が進入することを阻止するダイヤフラム42
とを有する。
な応答特性を保持することが可能な流体圧バルブを提供
することにある。 【解決手段】バルブ駆動機構20は、室44内に導入さ
れる圧力流体の作用下に軸線方向に沿って収縮するゴム
製のチューブ部材36と、前記チューブ部材36に連動
して変位する弁体34と、前記チューブ部材36を囲繞
することにより連通路29を流通する圧力流体がチュー
ブ部材36側に向かって進入することを遮断する保護部
材40と、前記弁体34の変位に伴って撓曲し前記保護
部材40とチューブ部材36との間に形成された間隙内
に圧力流体が進入することを阻止するダイヤフラム42
とを有する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、エアー等
の圧力流体によって作動する流体圧バルブに関する。
の圧力流体によって作動する流体圧バルブに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、ゴム人工筋等に用いられ、空
気圧アクチュエータとして機能するラバチュエータ(RU
BBERTUATOR)が知られている。このラバチュエータ1
は、図5に示されるように、略円柱状に形成されたゴム
チューブ2と、前記ゴムチューブ2を被覆する網状の繊
維コードからなるスリーブ3と、前記ゴムチューブ2の
端部を閉塞する一組の金具4a、4b(但し、図5中で
は、一方の金具4aの図示を省略している)とから構成
される。
気圧アクチュエータとして機能するラバチュエータ(RU
BBERTUATOR)が知られている。このラバチュエータ1
は、図5に示されるように、略円柱状に形成されたゴム
チューブ2と、前記ゴムチューブ2を被覆する網状の繊
維コードからなるスリーブ3と、前記ゴムチューブ2の
端部を閉塞する一組の金具4a、4b(但し、図5中で
は、一方の金具4aの図示を省略している)とから構成
される。
【0003】このラバチュエータ1の動作原理を概説す
ると、図6に示されるような初期状態(無加圧状態)に
おいて、一方の金具4aの図示しないポートから圧力流
体(圧縮空気)を供給してゴムチューブ2の内圧を上昇
させると、該ゴムチューブ2が半径外方向に向かって膨
張して拡径するとともに、軸線方向に沿った長さが短縮
する収縮力が発生する(図7参照)。
ると、図6に示されるような初期状態(無加圧状態)に
おいて、一方の金具4aの図示しないポートから圧力流
体(圧縮空気)を供給してゴムチューブ2の内圧を上昇
させると、該ゴムチューブ2が半径外方向に向かって膨
張して拡径するとともに、軸線方向に沿った長さが短縮
する収縮力が発生する(図7参照)。
【0004】一方、圧力流体の供給を停止して前記ゴム
チューブ2に対する内圧を減少させることにより、前記
ゴムチューブ2は、縮径するとともに軸線方向に沿った
長さが伸張して初期状態の形状に復帰する。
チューブ2に対する内圧を減少させることにより、前記
ゴムチューブ2は、縮径するとともに軸線方向に沿った
長さが伸張して初期状態の形状に復帰する。
【0005】このように、ラバチュエータ1は、ゴムチ
ューブ2内に付与される内圧によって発生する収縮力を
利用して空気圧エネルギを機械的エネルギに変換する空
気圧アクチュエータとして機能するものである。
ューブ2内に付与される内圧によって発生する収縮力を
利用して空気圧エネルギを機械的エネルギに変換する空
気圧アクチュエータとして機能するものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ラバチ
ュエータを、例えば、電磁弁等のバルブに適用してゴム
チューブに連結された弁体を開閉動作させた場合、バル
ブボデイに設けられた圧力流体供給ポートと圧力流体排
出ポートとを連通させる流体通路内を流通する圧力流体
(例えば、エアー、液体等)が前記流体通路に臨むゴム
チューブの外壁面に直接的に作用する。このため、ゴム
チューブの耐久性が劣化して早期交換が必要になるとと
もに、ゴムチューブの疲労により応答特性が悪化すると
いう問題がある。
ュエータを、例えば、電磁弁等のバルブに適用してゴム
チューブに連結された弁体を開閉動作させた場合、バル
ブボデイに設けられた圧力流体供給ポートと圧力流体排
出ポートとを連通させる流体通路内を流通する圧力流体
(例えば、エアー、液体等)が前記流体通路に臨むゴム
チューブの外壁面に直接的に作用する。このため、ゴム
チューブの耐久性が劣化して早期交換が必要になるとと
もに、ゴムチューブの疲労により応答特性が悪化すると
いう問題がある。
【0007】本発明は、前記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、チューブ部材の耐久性を向上させ、しかも
良好な応答特性を保持することが可能な流体圧バルブを
提供することを目的とする。
ものであり、チューブ部材の耐久性を向上させ、しかも
良好な応答特性を保持することが可能な流体圧バルブを
提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、圧力流体が導入される第1ポートと、
圧力流体が導出される第2ポートと、前記第1ポートと
第2ポートとを連通させる連通路とが設けられたバルブ
本体と、前記バルブ本体内に配設され、パイロットポー
トを介して導入される圧力流体の作用に軸線方向に沿っ
て収縮する弾性体からなるチューブ部材と前記チューブ
部材に連動して変位する弁体とを含むバルブ駆動機構
と、を備え、前記バルブ駆動機構は、前記チューブ部材
を囲繞することにより前記連通路を流通する圧力流体が
チューブ側に向かって進入することを遮断する保護部材
と、前記弁体の変位に伴って撓曲し前記保護部材とチュ
ーブ部材との間に形成された間隙内に圧力流体が進入す
ることを阻止する可撓性部材とが設けられることを特徴
とする。
めに、本発明は、圧力流体が導入される第1ポートと、
圧力流体が導出される第2ポートと、前記第1ポートと
第2ポートとを連通させる連通路とが設けられたバルブ
本体と、前記バルブ本体内に配設され、パイロットポー
トを介して導入される圧力流体の作用に軸線方向に沿っ
て収縮する弾性体からなるチューブ部材と前記チューブ
部材に連動して変位する弁体とを含むバルブ駆動機構
と、を備え、前記バルブ駆動機構は、前記チューブ部材
を囲繞することにより前記連通路を流通する圧力流体が
チューブ側に向かって進入することを遮断する保護部材
と、前記弁体の変位に伴って撓曲し前記保護部材とチュ
ーブ部材との間に形成された間隙内に圧力流体が進入す
ることを阻止する可撓性部材とが設けられることを特徴
とする。
【0009】この場合、前記バルブ駆動機構を、ハウジ
ング内に配設された単体で構成し、また、ハウジングの
室内の一方に配設された第1バルブ駆動機構と、ハウジ
ングの室内の他方に配設された第2バルブ駆動機構とに
よって構成するとよい。
ング内に配設された単体で構成し、また、ハウジングの
室内の一方に配設された第1バルブ駆動機構と、ハウジ
ングの室内の他方に配設された第2バルブ駆動機構とに
よって構成するとよい。
【0010】その際、前記第1バルブ駆動機構にパイロ
ット圧を供給する第1パイロット弁と、前記第2バルブ
駆動機構にパイロット圧を供給する第2パイロット弁と
をそれぞれ設け、前記第1および第2パイロット弁を、
それぞれ制御部から導出される制御信号(例えば、PW
M制御信号)によってオン・オフ制御するとよい。
ット圧を供給する第1パイロット弁と、前記第2バルブ
駆動機構にパイロット圧を供給する第2パイロット弁と
をそれぞれ設け、前記第1および第2パイロット弁を、
それぞれ制御部から導出される制御信号(例えば、PW
M制御信号)によってオン・オフ制御するとよい。
【0011】あるいは、前記第1バルブ駆動機構に第1
パイロット通路を介してパイロット圧を供給する第1パ
イロット弁と、前記第2バルブ駆動機構に第2パイロッ
ト通路を介してパイロット圧を供給する第2パイロット
弁と、前記第1パイロット通路から分岐する第1分岐通
路を介して接続される第3パイロット弁と、前記第2パ
イロット通路から分岐する第2分岐通路を介して接続さ
れる第4パイロット弁とをそれぞれ設け、前記第1乃至
第4パイロット弁を、それぞれ制御部から導出される制
御信号(例えば、PWM制御信号)によってオン・オフ
制御するとよい。
パイロット通路を介してパイロット圧を供給する第1パ
イロット弁と、前記第2バルブ駆動機構に第2パイロッ
ト通路を介してパイロット圧を供給する第2パイロット
弁と、前記第1パイロット通路から分岐する第1分岐通
路を介して接続される第3パイロット弁と、前記第2パ
イロット通路から分岐する第2分岐通路を介して接続さ
れる第4パイロット弁とをそれぞれ設け、前記第1乃至
第4パイロット弁を、それぞれ制御部から導出される制
御信号(例えば、PWM制御信号)によってオン・オフ
制御するとよい。
【0012】本発明によれば、バルブ本体の連通路を流
通する圧力流体が保護部材および可撓性部材によって遮
断されてチューブ部材側に向かって進入することが阻止
される。また、前記チューブ部材に連動する弁体の変位
に伴って可撓性部材が撓曲する。従って、バルブ本体の
連通路を流通する圧力流体がチューブ部材に直接的に作
用することが阻止されるため、該チューブ部材の耐久性
が向上する。
通する圧力流体が保護部材および可撓性部材によって遮
断されてチューブ部材側に向かって進入することが阻止
される。また、前記チューブ部材に連動する弁体の変位
に伴って可撓性部材が撓曲する。従って、バルブ本体の
連通路を流通する圧力流体がチューブ部材に直接的に作
用することが阻止されるため、該チューブ部材の耐久性
が向上する。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明に係る流体圧バルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。
【0014】図1において、参照数字10は、本発明の
第1の実施の形態に係る流体圧バルブの概略構成図であ
る。
第1の実施の形態に係る流体圧バルブの概略構成図であ
る。
【0015】この流体圧バルブ10は、第1ポート12
および第2ポート14が形成されたケーシング(バルブ
本体)16と、前記ケーシング16内に設けられたバル
ブ駆動機構20と、前記バルブ駆動機構20に圧力流体
(例えば、エアー)を供給する三方弁からなるパイロッ
ト弁22とから構成される。
および第2ポート14が形成されたケーシング(バルブ
本体)16と、前記ケーシング16内に設けられたバル
ブ駆動機構20と、前記バルブ駆動機構20に圧力流体
(例えば、エアー)を供給する三方弁からなるパイロッ
ト弁22とから構成される。
【0016】前記バルブ駆動機構20はハウジング24
を有し、前記ハウジング24には、第1ポート12に連
通して圧力流体が供給される圧力流体供給ポート26
と、第2ポート14に連通して外部に圧力流体が排出さ
れる圧力流体排出ポート28と、前記パイロット弁22
に連通してパイロット圧が供給されるパイロットポート
30とが設けられる。なお、前記ハウジング24の内部
には、前記圧力流体供給ポート26と前記圧力流体排出
ポート28とを連通させる連通路29が形成されてい
る。
を有し、前記ハウジング24には、第1ポート12に連
通して圧力流体が供給される圧力流体供給ポート26
と、第2ポート14に連通して外部に圧力流体が排出さ
れる圧力流体排出ポート28と、前記パイロット弁22
に連通してパイロット圧が供給されるパイロットポート
30とが設けられる。なお、前記ハウジング24の内部
には、前記圧力流体供給ポート26と前記圧力流体排出
ポート28とを連通させる連通路29が形成されてい
る。
【0017】また、前記バルブ駆動機構20は、圧力流
体供給ポート26に近接する部位に膨出形成された着座
部32に着座する弁体34と、軸線方向に沿った一端部
が前記弁体34に連結されその収縮力の作用下に該弁体
34を着座部32に対して進退動作させるチューブ部材
36と、前記チューブ部材36の外周面を被覆し、網状
の繊維コードからなるスリーブ部材38とを有する。
体供給ポート26に近接する部位に膨出形成された着座
部32に着座する弁体34と、軸線方向に沿った一端部
が前記弁体34に連結されその収縮力の作用下に該弁体
34を着座部32に対して進退動作させるチューブ部材
36と、前記チューブ部材36の外周面を被覆し、網状
の繊維コードからなるスリーブ部材38とを有する。
【0018】さらに、前記バルブ駆動機構20は、前記
チューブ部材36の外周面から所定間隔離間する略円筒
状に設けられ、軸線方向に沿った一端部がハウジング2
4の内壁面に固着された保護部材40と、前記弁体34
の上面とチューブ部材36の底面部との間に固着され、
その周縁部が保護部材40の軸線方向に沿った他端部に
固着されたダイヤフラム(可撓性部材)42とを含む。
チューブ部材36の外周面から所定間隔離間する略円筒
状に設けられ、軸線方向に沿った一端部がハウジング2
4の内壁面に固着された保護部材40と、前記弁体34
の上面とチューブ部材36の底面部との間に固着され、
その周縁部が保護部材40の軸線方向に沿った他端部に
固着されたダイヤフラム(可撓性部材)42とを含む。
【0019】前記弁体34およびチューブ部材36は、
例えば、ゴム等の弾性材料によって形成され、前記ダイ
ヤフラム42は、例えば、ゴムまたは合成樹脂等の可撓
性材料によって形成される。前記保護部材40は、例え
ば、金属等の剛性を有する材料によって形成されると好
適である。なお、弁体34とダイヤフラム42とを、例
えば、ゴムまたは樹脂製材料によって、それぞれ一体的
に形成してもよい。
例えば、ゴム等の弾性材料によって形成され、前記ダイ
ヤフラム42は、例えば、ゴムまたは合成樹脂等の可撓
性材料によって形成される。前記保護部材40は、例え
ば、金属等の剛性を有する材料によって形成されると好
適である。なお、弁体34とダイヤフラム42とを、例
えば、ゴムまたは樹脂製材料によって、それぞれ一体的
に形成してもよい。
【0020】チューブ部材36は、中空状の一端部が底
面部によって閉塞された有底筒状に形成され、内部には
パイロットポート30を介して圧力流体が供給される室
44が形成される。前記室44内に圧力流体が供給され
て該チューブ部材36の内壁面に内圧が付与されること
により、弾性材料によって形成されたチューブ部材36
の側周部が径方向に拡径するとともに、軸線方向に沿っ
て収縮するように設けられている。
面部によって閉塞された有底筒状に形成され、内部には
パイロットポート30を介して圧力流体が供給される室
44が形成される。前記室44内に圧力流体が供給され
て該チューブ部材36の内壁面に内圧が付与されること
により、弾性材料によって形成されたチューブ部材36
の側周部が径方向に拡径するとともに、軸線方向に沿っ
て収縮するように設けられている。
【0021】なお、スリーブ部材38によって被覆され
たチューブ部材36と保護部材40との間には間隙が形
成され、前記間隙は、ダイヤフラム42によって連通路
29から遮断されているとともに、ハウジング24に形
成された貫通する呼吸ポート46を介して外部と連通す
るように設けられている。この場合、前記呼吸ポート4
6を介して間隙内のエアーが出入自在に設けられてい
る。
たチューブ部材36と保護部材40との間には間隙が形
成され、前記間隙は、ダイヤフラム42によって連通路
29から遮断されているとともに、ハウジング24に形
成された貫通する呼吸ポート46を介して外部と連通す
るように設けられている。この場合、前記呼吸ポート4
6を介して間隙内のエアーが出入自在に設けられてい
る。
【0022】本発明の第1の実施の形態に係る流体圧バ
ルブ10は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
ルブ10は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0023】図1に示されるように、弁体34が着座部
32に着座する弁閉状態において、ソレノイドの励磁作
用下にパイロット弁22の弁位置をオフ位置からオン位
置に切り換える。パイロット弁22の弁位置がオン位置
に切り換わることにより、パイロット圧がパイロットポ
ート30を介してチューブ部材36の室44内に導入さ
れ、チューブ部材36が加圧される。前記チューブ部材
36は、径方向に向かって膨出して拡径するとともに、
軸線方向に沿った長さが短くなるように収縮する。
32に着座する弁閉状態において、ソレノイドの励磁作
用下にパイロット弁22の弁位置をオフ位置からオン位
置に切り換える。パイロット弁22の弁位置がオン位置
に切り換わることにより、パイロット圧がパイロットポ
ート30を介してチューブ部材36の室44内に導入さ
れ、チューブ部材36が加圧される。前記チューブ部材
36は、径方向に向かって膨出して拡径するとともに、
軸線方向に沿った長さが短くなるように収縮する。
【0024】従って、前記チューブ部材36の軸線方向
に沿って収縮力が発生することにより、該チューブ部材
36の軸線方向に沿った一端部に固着された弁体34が
上方に向かって変位して着座部32から離間し、連通路
29を介して圧力流体供給ポート26と圧力流体排出ポ
ート28とが連通する(図2参照)。この結果、ケーシ
ング16の第1ポート12から導入された圧力流体は、
ハウジング24の圧力流体供給ポート26と圧力流体排
出ポート28とを連通させる連通路29を介して第2ポ
ート14から排出される。
に沿って収縮力が発生することにより、該チューブ部材
36の軸線方向に沿った一端部に固着された弁体34が
上方に向かって変位して着座部32から離間し、連通路
29を介して圧力流体供給ポート26と圧力流体排出ポ
ート28とが連通する(図2参照)。この結果、ケーシ
ング16の第1ポート12から導入された圧力流体は、
ハウジング24の圧力流体供給ポート26と圧力流体排
出ポート28とを連通させる連通路29を介して第2ポ
ート14から排出される。
【0025】なお、パイロット弁22の弁位置をオン位
置からオフ位置に切り換えてパイロットポート30を大
気開放状態とすることにより、チューブ部材36の室4
4内に対するパイロット圧の供給が停止するとともに減
圧されて、該チューブ部材36が図1に示す原形状に復
帰する。
置からオフ位置に切り換えてパイロットポート30を大
気開放状態とすることにより、チューブ部材36の室4
4内に対するパイロット圧の供給が停止するとともに減
圧されて、該チューブ部材36が図1に示す原形状に復
帰する。
【0026】チューブ部材36の収縮作用下に弁体34
が上方に向かって変位する際、前記弁体34の変位動作
に対応してダイヤフラム42が撓曲(変形)するために
チューブ部材36と保護部材40との間隙に圧力流体が
進入することがなく、チューブ部材36に連動して弁体
34を円滑に変位させることができる。
が上方に向かって変位する際、前記弁体34の変位動作
に対応してダイヤフラム42が撓曲(変形)するために
チューブ部材36と保護部材40との間隙に圧力流体が
進入することがなく、チューブ部材36に連動して弁体
34を円滑に変位させることができる。
【0027】また、パイロット圧が供給されるチューブ
部材36の室44内における受圧面積を大きく設定する
ことができるため、チューブ部材36の収縮量を大きく
して弁体34の変位量を大きくすることができる。
部材36の室44内における受圧面積を大きく設定する
ことができるため、チューブ部材36の収縮量を大きく
して弁体34の変位量を大きくすることができる。
【0028】さらに、チューブ部材36の外周側に該チ
ューブ部材36の外周面を囲繞する保護部材40を設け
ることにより、連通路29を流通する圧力流体が剛性を
有する保護部材40によって遮断されているため、前記
圧力流体がチューブ部材36に直接的に作用することが
阻止される。この結果、チューブ部材36の耐久性を向
上させ、長期間使用した場合であっても良好な応答特性
を保持することができる。
ューブ部材36の外周面を囲繞する保護部材40を設け
ることにより、連通路29を流通する圧力流体が剛性を
有する保護部材40によって遮断されているため、前記
圧力流体がチューブ部材36に直接的に作用することが
阻止される。この結果、チューブ部材36の耐久性を向
上させ、長期間使用した場合であっても良好な応答特性
を保持することができる。
【0029】このように第1の実施の形態では、弁体3
4の変位量が大きく大流量の圧力流体を流通させること
ができるとともに、小型軽量な流体圧バルブ10を得る
ことができる。
4の変位量が大きく大流量の圧力流体を流通させること
ができるとともに、小型軽量な流体圧バルブ10を得る
ことができる。
【0030】次に、本発明の第2の実施の形態に係る流
体圧バルブ50を図3に示す。なお、以下の実施の形態
において、第1の実施の形態に係る流体圧バルブ10と
同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その詳細
な説明を省略する。
体圧バルブ50を図3に示す。なお、以下の実施の形態
において、第1の実施の形態に係る流体圧バルブ10と
同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その詳細
な説明を省略する。
【0031】この第2の実施の形態に係る流体圧バルブ
50では、圧力流体供給ポート26が形成されたハウジ
ング24の一方側に第1バルブ駆動機構20aを配設す
るとともに、排気ポート52が形成されたハウジング2
4の他方側に第2バルブ駆動機構20bを配設し、前記
圧力流体供給ポート26と排気ポート52との間に圧力
流体排出ポート28を設けている。
50では、圧力流体供給ポート26が形成されたハウジ
ング24の一方側に第1バルブ駆動機構20aを配設す
るとともに、排気ポート52が形成されたハウジング2
4の他方側に第2バルブ駆動機構20bを配設し、前記
圧力流体供給ポート26と排気ポート52との間に圧力
流体排出ポート28を設けている。
【0032】この場合、前記第1バルブ駆動機構20a
は給気弁として機能し、第2バルブ駆動機構20bは排
気弁として機能するものであり、前記第1バルブ駆動機
構20aおよび/または第2バルブ駆動機構20bをそ
れぞれ適宜付勢・滅勢してオン/オフ制御することによ
り、圧力流体排出ポート28から所望の圧力値からなる
圧力流体を導出することができる。
は給気弁として機能し、第2バルブ駆動機構20bは排
気弁として機能するものであり、前記第1バルブ駆動機
構20aおよび/または第2バルブ駆動機構20bをそ
れぞれ適宜付勢・滅勢してオン/オフ制御することによ
り、圧力流体排出ポート28から所望の圧力値からなる
圧力流体を導出することができる。
【0033】また、前記流体圧バルブ50では、第1バ
ルブ駆動機構20aのパイロットポート30aにパイロ
ット圧を供給する第1パイロット弁22aと、第2バル
ブ駆動機構20bのパイロットポート30bにパイロッ
ト圧を供給する第2パイロット弁22bとがそれぞれ配
設され、前記第1パイロット弁22aおよび第2パイロ
ット弁22bは、制御部54から導出される制御信号に
よって弁位置がそれぞれ切り換わるように設けられてい
る。
ルブ駆動機構20aのパイロットポート30aにパイロ
ット圧を供給する第1パイロット弁22aと、第2バル
ブ駆動機構20bのパイロットポート30bにパイロッ
ト圧を供給する第2パイロット弁22bとがそれぞれ配
設され、前記第1パイロット弁22aおよび第2パイロ
ット弁22bは、制御部54から導出される制御信号に
よって弁位置がそれぞれ切り換わるように設けられてい
る。
【0034】さらに、前記流体圧バルブ50では、ハウ
ジング24の内部に形成された室56内を流通する圧力
流体の圧力値を検出する圧力センサ58が設けられてい
る。前記圧力センサ58の検出信号は制御部54に導入
され、前記制御部54では、図示しない入力手段によっ
て設定された設定信号と検出信号とを比較し、その偏差
が零となるように第1および第2パイロット弁22a、
22bにそれぞれオン/オフ信号からなる制御信号を適
宜導出することにより、フィードバック制御がなされ
る。
ジング24の内部に形成された室56内を流通する圧力
流体の圧力値を検出する圧力センサ58が設けられてい
る。前記圧力センサ58の検出信号は制御部54に導入
され、前記制御部54では、図示しない入力手段によっ
て設定された設定信号と検出信号とを比較し、その偏差
が零となるように第1および第2パイロット弁22a、
22bにそれぞれオン/オフ信号からなる制御信号を適
宜導出することにより、フィードバック制御がなされ
る。
【0035】この結果、流体圧バルブ50では、設定信
号に比例して圧力値が制御された圧力流体を圧力流体排
出ポート28から導出することができる。
号に比例して圧力値が制御された圧力流体を圧力流体排
出ポート28から導出することができる。
【0036】次に、本発明の第3の実施の形態に係る流
体圧バルブ60を図4に示す。
体圧バルブ60を図4に示す。
【0037】この第3の実施の形態に係る流体圧バルブ
60では、ハウジング24の第1および第2パイロット
ポート30a、30bに連通する第1および第2パイロ
ット通路62a、62bを介して、第1および第2バル
ブ駆動機構20a、20bに対してパイロット圧を供給
する第1および第2パイロット弁64a、64bをそれ
ぞれ設け、前記第1および第2パイロット通路62a、
62bからそれぞれ分岐する第1および第2分岐通路6
6a、66bを介して第3および第4パイロット弁64
c、64dが設けられている。
60では、ハウジング24の第1および第2パイロット
ポート30a、30bに連通する第1および第2パイロ
ット通路62a、62bを介して、第1および第2バル
ブ駆動機構20a、20bに対してパイロット圧を供給
する第1および第2パイロット弁64a、64bをそれ
ぞれ設け、前記第1および第2パイロット通路62a、
62bからそれぞれ分岐する第1および第2分岐通路6
6a、66bを介して第3および第4パイロット弁64
c、64dが設けられている。
【0038】前記第1乃至第4パイロット弁64a〜6
4dは、それぞれ、同一構成からなる2ポートのオン/
オフ弁が採用され、制御部54から導出される制御信号
によってそれぞれオン/オフ動作するように設けられて
いる。第1および第2パイロット弁64a、64bに
は、それぞれ圧力流体供給源が接続され、第3および第
4パイロット弁64c、64dは、大気に接続されてい
る。
4dは、それぞれ、同一構成からなる2ポートのオン/
オフ弁が採用され、制御部54から導出される制御信号
によってそれぞれオン/オフ動作するように設けられて
いる。第1および第2パイロット弁64a、64bに
は、それぞれ圧力流体供給源が接続され、第3および第
4パイロット弁64c、64dは、大気に接続されてい
る。
【0039】このように第1乃至第4パイロット弁64
a〜64dから構成される4個のパイロット弁を用い、
前記第1乃至第4パイロット弁64a〜64dをそれぞ
れPWM制御することにより、チューブ部材36に連結
された弁体34の変位量を高精度に制御することができ
る。
a〜64dから構成される4個のパイロット弁を用い、
前記第1乃至第4パイロット弁64a〜64dをそれぞ
れPWM制御することにより、チューブ部材36に連結
された弁体34の変位量を高精度に制御することができ
る。
【0040】例えば、第1バルブ駆動機構20aの弁体
34を弁閉状態から弁開状態に切り換えるためには、第
3パイロット弁64cを何ら付勢することがなくオフ位
置に保持した状態において、制御部54からPWM制御
信号(パルス信号)を第1パイロット弁64aに対して
送給する。圧力流体供給源に接続された第1パイロット
弁64aは、パルス幅変調された周期に基づいてオン位
置とオフ位置とが相互に連続して繰り返されるオン/オ
フ制御により、所定のパイロット圧がチューブ部材36
の室44内に供給され、該チューブ部材36に所定の内
圧が付与される。従って、パイロット圧によってチュー
ブ部材36が軸線方向に収縮することにより弁体34が
着座部32から離間して弁閉状態から弁開状態に切り換
わる。
34を弁閉状態から弁開状態に切り換えるためには、第
3パイロット弁64cを何ら付勢することがなくオフ位
置に保持した状態において、制御部54からPWM制御
信号(パルス信号)を第1パイロット弁64aに対して
送給する。圧力流体供給源に接続された第1パイロット
弁64aは、パルス幅変調された周期に基づいてオン位
置とオフ位置とが相互に連続して繰り返されるオン/オ
フ制御により、所定のパイロット圧がチューブ部材36
の室44内に供給され、該チューブ部材36に所定の内
圧が付与される。従って、パイロット圧によってチュー
ブ部材36が軸線方向に収縮することにより弁体34が
着座部32から離間して弁閉状態から弁開状態に切り換
わる。
【0041】一方、第1バルブ駆動機構20aの弁体3
4を弁開状態から弁閉状態に切り換えるためには、第1
パイロット弁64aをオフ位置に保持した状態におい
て、制御部54からPWM制御信号(パルス信号)を第
3パイロット弁64cに対して送給する。第3パイロッ
ト弁64cでは、パルス幅変調された周期に基づいてオ
ン位置とオフ位置とが相互に連続して繰り返されるオン
/オフ制御により、大気開放状態と大気開放遮断状態と
が相互に連続して繰り返される。従って、チューブ部材
36内のパイロット圧が減少してチューブ部材36が軸
線方向に伸張することにより弁体34が変位して着座部
32に着座することによって、弁開状態から弁閉状態に
切り換わる。
4を弁開状態から弁閉状態に切り換えるためには、第1
パイロット弁64aをオフ位置に保持した状態におい
て、制御部54からPWM制御信号(パルス信号)を第
3パイロット弁64cに対して送給する。第3パイロッ
ト弁64cでは、パルス幅変調された周期に基づいてオ
ン位置とオフ位置とが相互に連続して繰り返されるオン
/オフ制御により、大気開放状態と大気開放遮断状態と
が相互に連続して繰り返される。従って、チューブ部材
36内のパイロット圧が減少してチューブ部材36が軸
線方向に伸張することにより弁体34が変位して着座部
32に着座することによって、弁開状態から弁閉状態に
切り換わる。
【0042】換言すると、第1および第2バルブ駆動機
構20a、20bをそれぞれ弁閉状態から弁開状態に切
り換えるために第1および第2パイロット弁64a、6
4bを使用し、一方、弁開状態から弁閉状態に切り換え
るために第3および第4パイロット弁64c、64dを
使用している。
構20a、20bをそれぞれ弁閉状態から弁開状態に切
り換えるために第1および第2パイロット弁64a、6
4bを使用し、一方、弁開状態から弁閉状態に切り換え
るために第3および第4パイロット弁64c、64dを
使用している。
【0043】このように、第3の実施の形態では、第1
乃至第4パイロット弁64a〜64dのオン位置とオフ
位置とをPWM制御した場合に、ある特定の周波数にお
いてチューブ部材36が追従して振動が発生することを
阻止することができる。
乃至第4パイロット弁64a〜64dのオン位置とオフ
位置とをPWM制御した場合に、ある特定の周波数にお
いてチューブ部材36が追従して振動が発生することを
阻止することができる。
【0044】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【0045】すなわち、バルブ本体の連通路を流通する
圧力流体が保護部材および可撓性部材によって遮断され
ることにより、バルブ本体の連通路を流通する圧力流体
がチューブ部材に直接的に作用することが阻止される。
この結果、チューブ部材の耐久性を向上させ、長期間使
用した場合であっても、良好な応答特性を保持すること
ができる。
圧力流体が保護部材および可撓性部材によって遮断され
ることにより、バルブ本体の連通路を流通する圧力流体
がチューブ部材に直接的に作用することが阻止される。
この結果、チューブ部材の耐久性を向上させ、長期間使
用した場合であっても、良好な応答特性を保持すること
ができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る流体圧バルブ
の概略構造図である。
の概略構造図である。
【図2】図1の弁閉状態から弁体が変位して弁開状態に
切り換わった状態を示す概略構造図である。
切り換わった状態を示す概略構造図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係る流体圧バルブ
の概略構造図である。
の概略構造図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態に係る流体圧バルブ
の概略構造図である。
の概略構造図である。
【図5】ラバチュエータの概略構成斜視図である。
【図6】図5に示すラバチュエータの通常状態の側面図
である。
である。
【図7】図5に示すラバチュエータの加圧状態の側面図
である。
である。
10、50、60…流体圧バルブ 16…ケーシング
20、20a、20b…バルブ駆動機構
22、22a、22b、64a〜64d…パイロット弁
24…ハウジング 26…圧力流体供
給ポート 28…圧力流体排出ポート 30、30a、30b…パイロットポート 34…弁体 36…チューブ部
材 38…スリーブ部材 40…保護部材 42…ダイヤフラム 44、56…室 52…排気ポート 54…制御部 58…圧力センサ 62a、62b…
パイロット通路
給ポート 28…圧力流体排出ポート 30、30a、30b…パイロットポート 34…弁体 36…チューブ部
材 38…スリーブ部材 40…保護部材 42…ダイヤフラム 44、56…室 52…排気ポート 54…制御部 58…圧力センサ 62a、62b…
パイロット通路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 3H002 BB05 BC02 BD01
3H056 AA02 BB37 CA07 CB03 CB07
CC02 CD04 EE06 GG16
3H067 AA32 BB08 BB14 CC22 DD07
DD13 DD33 FF30 GG25
3H081 AA15 AA18 BB01 BB03 CC24
Claims (4)
- 【請求項1】圧力流体が導入される第1ポートと、圧力
流体が導出される第2ポートと、前記第1ポートと第2
ポートとを連通させる連通路とが設けられたバルブ本体
と、 前記バルブ本体内に配設され、パイロットポートを介し
て導入される圧力流体の作用に軸線方向に沿って収縮す
る弾性体からなるチューブ部材と前記チューブ部材に連
動して変位する弁体とを含むバルブ駆動機構と、 を備え、前記バルブ駆動機構は、前記チューブ部材を囲
繞することにより前記連通路を流通する圧力流体がチュ
ーブ側に向かって進入することを遮断する保護部材と、
前記弁体の変位に伴って撓曲し前記保護部材とチューブ
部材との間に形成された間隙内に圧力流体が進入するこ
とを阻止する可撓性部材とが設けられることを特徴とす
る流体圧バルブ。 - 【請求項2】請求項1記載の流体圧バルブにおいて、 前記バルブ駆動機構は、ハウジング内に配設された単体
からなることを特徴とする流体圧バルブ。 - 【請求項3】請求項1記載の流体圧バルブにおいて、 前記バルブ駆動機構は、ハウジングの室内の一方に配設
された第1バルブ駆動機構と、ハウジングの室内の他方
に配設された第2バルブ駆動機構とからなり、前記第1
バルブ駆動機構にパイロット圧を供給する第1パイロッ
ト弁と、前記第2バルブ駆動機構にパイロット圧を供給
する第2パイロット弁とがそれぞれ設けられ、前記第1
および第2パイロット弁は、それぞれ制御部から導出さ
れる制御信号によってオン・オフ制御されることを特徴
とする流体圧バルブ。 - 【請求項4】請求項1記載の流体圧バルブにおいて、 前記バルブ駆動機構は、ハウジングの室内の一方に配設
された第1バルブ駆動機構と、ハウジングの室内の他方
に配設された第2バルブ駆動機構とからなり、前記第1
バルブ駆動機構に第1パイロット通路を介してパイロッ
ト圧を供給する第1パイロット弁と、前記第2バルブ駆
動機構に第2パイロット通路を介してパイロット圧を供
給する第2パイロット弁と、前記第1パイロット通路か
ら分岐する第1分岐通路を介して接続される第3パイロ
ット弁と、前記第2パイロット通路から分岐する第2分
岐通路を介して接続される第4パイロット弁とがそれぞ
れ設けられ、前記第1乃至第4パイロット弁は、それぞ
れ制御部から導出される制御信号によってオン・オフ制
御されることを特徴とする流体圧バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001366590A JP2003166669A (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 流体圧バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001366590A JP2003166669A (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 流体圧バルブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003166669A true JP2003166669A (ja) | 2003-06-13 |
Family
ID=19176464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001366590A Pending JP2003166669A (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 流体圧バルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003166669A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011055750A1 (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-12 | 株式会社キッツ | 回転アクチュエータ |
WO2021065453A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | ロボット装置および液体供給装置 |
-
2001
- 2001-11-30 JP JP2001366590A patent/JP2003166669A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011055750A1 (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-12 | 株式会社キッツ | 回転アクチュエータ |
CN102597537A (zh) * | 2009-11-09 | 2012-07-18 | 株式会社开滋 | 旋转致动器 |
WO2021065453A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | ロボット装置および液体供給装置 |
CN114364884A (zh) * | 2019-09-30 | 2022-04-15 | 株式会社爱信 | 机器人装置以及液体供给装置 |
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