JP2003029191A - 光偏向器及びそれを用いた光学機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の光偏向器はミラーの回転角を大きく設
定できず、ミラーの駆動速度にも限界がある。 【解決手段】 一対の柱状部の一端側をヒンジ部１０２
で連結し、他端側の柱状部の間にアクチュエータ１０３
を有する変換機構１０１を構成する。また、変換機構１
０１のヒンジ部１０２の上方位置にミラー支持基板１０
６、弾性支持部１０５、ミラー部１０４を有する可動ミ
ラー部を配置し、この可動ミラー部は弾性支持部１０５
が変換機構１０１のヒンジ部１０２による回転軸上に配
置する。これにより、アクチュエータ１０３の伸縮運動
を変換機構１０１によりヒンジ部１０２を回転軸とする
ミラー部１０４の回転運動に変換する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、入射光を偏向して
光走査する光偏向器に関し、特に、大振幅動作が可能な
小型可動ミラーを有する光偏向器及びそれを用いた光学
機器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、レーザ光等の光ビームを偏向・走
査する装置（以下光偏向器）は、レーザービームプリン
タ、バーコードリーダ等の光学機器に広く用いられてい
る。また、小型の光偏向器としては、半導体製造技術を
応用して微小機械を半導体基板上に一体形成するマイク
ロマシニング技術を用いて作製した光偏向器がある。こ
れは、例えば、特開平７−１７５００５号公報、特開平
６−１８０４２８号公報等に開示されている。

【０００３】図８（ａ）は上記特開平６−１８０４２８
号公報に記載された光偏向器を示す平面図、図８（ｂ）
は断面図である。この光偏向器は静電力を利用して駆動
するところに特徴がある。即ち、駆動対象のミラーのす
ぐ下にわずかなギャップを空けて駆動電極が配置され、
導体からなるミラーとで一つのコンデンサが構成されて
いる。ミラーとこのミラーに対向する駆動電極間に電圧
を加えると静電力が生じるため、ミラーは駆動電極に引
き寄せられ、ミラーは回転軸を中心とした回転運動を起
こすというものである。

【０００４】具体的に説明すると、同公報の光偏向器
は、光を反射し、ｘ軸方向に変位可能なミラー３０１
と、ミラー３０１を両側から支持するｘ軸走査用の梁部
３０２と一体でその外側に形成され、ｘ軸方向と直交す
るｙ軸方向に変位可能な静電吸引部３０３と、静電吸引
部３０３を両側で支持するｙ軸走査用の梁部３０４と、
ミラー３０１と静電吸引部３０３の裏側に対向する位置
に配置されたｘ軸、ｙ軸方向駆動電極３０５，３０６
と、これらの駆動電極が形成された電極基板３０７と、
駆動電極３０５，３０６とミラー３０１の間に存在して
駆動電極３０５，３０６を絶縁するための絶縁膜３０８
と、ミラーの変位に対しミラーの撓みが生じないように
支持し、ミラーと駆動電極間のギャップをきめる支持ス
ペーサー部３０９とから構成されている。ミラー３０
１、ｘ軸、ｙ軸走査用の梁部３０２，３０４及び静電吸
引部３０３はシリコン基板によって形成されている。更
に、静電駆動電極３０５，３０６の配線部３１１は、静
電力がミラー３０１に作用しない平面上に形成されてい
る。

【０００５】上記従来の静電力を利用した光偏向器は、
静電力がミラーと駆動電極間距離の２乗に反比例するた
め、ミラーを駆動するのに十分な静電力を与えるために
はミラーに対向して狭いギャップを介して駆動電極を配
置することが必要である。そのため、ミラーの回転運動
は駆動電極との接触により制限され、ミラーの回転角を
大きく設定できないという課題があった。

【０００６】この課題の解決方法として、特開平１０−
１９７８１９号公報では可動ミラーと小型ミラーに並進
運動を加える圧電素子を用いる方法が提案されている。
この装置は、光を反射するための板状のミラーと、一直
線上に位置してミラーの両側を支持する一対の回転支持
部と、一対の回転支持部が接続され、ミラーの周囲を囲
む枠部と、枠部に並進運動を加える装置とを備え、回転
支持部を結ぶ直線上以外の場所にミラーの重心を位置さ
せている。

【０００７】図９は上記特開平１０−１９７８１９号公
報の光偏向器を示す斜視図である。同公報の光偏向器で
は、シリコンチップから形成されたマイクロミラー４０
１とマイクロミラーを非対称の質量分布を持つように配
分する、ｘ軸もしくはｙ軸と平行な軸線上に位置してマ
イクロミラーの両側を支持するｘ軸回転支持部４０２
と、ｘ軸回転支持部が接続されたマイクロミラーの周囲
を囲う枠部４０３とがシリコンチップより一体に形成さ
れている。枠部の裏には圧電素子４０４が接合されてい
る。圧電素子に電圧を加えると、圧電素子は伸縮を行い
ｚ軸方向（図示）に振動する。この振動は枠部へ伝達さ
れる。

【０００８】マイクロミラーは駆動された枠部に対して
相対運動を起こし、ｚ軸方向の振動成分がマイクロミラ
ーに伝えられると、マイクロミラーはｘ軸回転支持部で
成す軸線に対して左右非対称の質量分布を持つので、ｘ
軸回転支持部を中心にマイクロミラーに回転モーメント
が生じる。このようにして圧電素子によって枠部に加え
られた並進運動はｘ軸回転支持部を中心とした回転運動
に変換される。これにより、効率よく回転運動を起こす
ことができる。また、従来の静電力を利用したアクチュ
エータとは異なり、外部から加振するアクチュエータを
利用するので、静電力を用いた駆動方法に比較して非常
に大きな力を利用可能で、大振幅動作を容易に実現して
いる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図９の
光偏向器では、マイクロミラーに回転運動させるために
マイクロミラーを囲む枠部に並進運動が与えられてお
り、枠部の並進運動は結果としてマイクロミラー及び回
転支持部に回転運動だけでなく並進運動を生じさせてい
る。このマイクロミラー及び回転支持部の並進運動はマ
イクロミラーに入射する光のマイクロミラー上での、ス
ポット位置のズレを生じさせるため、マイクロミラーで
反射した光の走査線は不安定となる。また、マイクロミ
ラーの質量分布の非対称性が増すことにより、枠部に加
える並進運動を小さくすることが考えられるが、以下の
問題を更に生じる。 （Ｉ）マイクロミラーに設ける溝を大きくして非対称性
を増した場合、マイクロミラーが回転運動中に撓みを生
じる。特に高速駆動させる場合には撓みは大きく、ミラ
ーの破損の可能性が大きくなる。 （II）マイクロミラーの一部に重りをつけて非対称性を
増した場合、（Ｉ）と同様に撓みを生じ易い。また、ミ
ラーの慣性モーメントが大きくなりミラーの駆動速度に
制限を生じる。 （III)マイクロミラーに溝や重りを設けず、マイクロミ
ラーの支持位置を質量分布の非対称性が増すようにｙ軸
方向に更に移動させた場合、マイクロミラーの光を反射
する有効面積が減少する。このため、同じ有効面積を得
るためにはマイクロミラーを大きくする必要があり、そ
の場合（II）と同様の問題を生じる。

【００１０】このように上記従来の技術では、高速、大
変位角を実現する光偏向器として十分であるとはいえ
ず、更に高速で大変位角の光偏向器が望まれていた。

【００１１】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たもので、その目的は、軸ズレを抑え、高速、大振幅動
作が可能な小型可動ミラーを有する光偏向器及びそれを
用いた光学機器を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、２本の
柱状部の一端側が回転軸となるヒンジ部で連結され、他
端側には伸縮運動を発生するアクチュエータが設けられ
た変換機構を含み、前記変換機構のヒンジ部の上方位置
には、ミラー支持基板に対して両端部が弾性支持部で支
持され、かつ、前記弾性支持部の回転軸を中心に揺動可
能に支持されたミラー部を有する可動ミラー部が配置さ
れ、前記可動ミラー部は弾性支持部が前記ヒンジ部によ
る回転軸上に配置されており、前記アクチュエータの伸
縮運動を前記変換機構によりヒンジ部を回転軸とするミ
ラー部の所定変位角の回転運動に変換することによって
前記ミラー部に入射する入射光を偏向することを特徴と
する光偏向器によって達成される。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の光偏
向器の一実施形態の構成を示す斜視図、図２は図１の光
偏向器を各構成要素に分解した状態を示す分解斜視図で
ある。図中１０１は一対の柱状部の一端側がヒンジ部１
０２で連結された概略コの字状の変換機構である。ま
た、一対の柱状部の他端側の間には伸縮運動を行うアク
チュエータ１０３が固着されている。アクチュエータ１
０３としては、圧電アクチュエータ（圧電素子）を用い
ている。変換機構１０１は詳しく後述するようにアクチ
ュエータ１０３の伸縮運動をヒンジ部１０２を回転軸と
するミラー部の所定変位角の回転運動に変換するもので
ある。

【００１４】また、変換機構１０１には図２に示すよう
にヒンジ部１０２の上方位置に溝部１０７が形成され、
変換機構１０１の溝部１０７上にはミラー部１０４、弾
性支持部１０５、ミラー支持基板１０６を含むミラーチ
ップ部（可動ミラー部）が配置されている。図３はこれ
らのミラー部１０４、弾性支持部１０５、ミラー支持基
板１０６を含む可動ミラー部を詳細に示す斜視図であ
る。弾性支持部１０５はミラー部１０４に対して一直線
上に位置し、且つ、弾性支持部１０５を結ぶ直線上にミ
ラー部１０４の重心が位置して両側で支持するように設
けられ、両端がミラー支持基板１０６に固着されてい
る。

【００１５】弾性支持部１０５はミラー部１０４の所定
変位角の回転運動の回転軸中心となるもので、図１に示
すように弾性支持部１０５はヒンジ部１０２による回転
軸と一致するように変換機構１０１上に取り付けられて
いる。なお、溝部１０７はミラー部１０４の回転運動を
妨げないように形成されている。

【００１６】また、可動ミラー部としては、弾性支持部
１０５及びミラー部１０４はミラー支持基板１０６を除
去加工して一体形成することが好ましい。例えば、ミラ
ー支持基板１０６に単結晶シリコン基板を用いれば、半
導体プロセスを用いてシリコン基板の一部を除去加工す
ることで一体形成が可能で、ミラー部１０４と弾性支持
部１０５のアライメント精度を向上させることができ
る。

【００１７】一方、伸縮運動を発生するアクチュエータ
１０３は、弾性支持部１０５を含むミラー部１０４の共
振周波数と一致またはその付近の周波数を持つ伸縮運動
を発生するものである。アクチュエータ１０３の伸縮運
動を回転運動に変換する変換機構１０１は、アクチュエ
ータ１０３が伸縮運動する方向（図１に矢印で示す方
向）と直交してアクチュエータ１０３を保持するもので
あり、図１に示すように概略コの字状形状としている。

【００１８】この場合、アクチュエータ１０３は伸縮運
動する方向の両端がコの字型の変換機構１０１の柱状部
間で保持されており、変換機構１０１のヒンジ部１０２
はアクチュエータ１０３の伸縮運動により変換機構１０
１に加えられる力の力点と一致しない位置に設けられて
いる。このヒンジ部１０２が力点に対する支点となり、
変換機構１０１の回転運動の回転軸を形成するものであ
る。従って、ミラー部１０４はヒンジ部１０２（弾性支
持部１０５）を軸にして図１に矢印で示すように所定変
位角を回転し、ミラー部１０４に入射した光はミラー部
１０４の回転運動によって偏向される。

【００１９】ここで、伸縮運動を発生するアクチュエー
タ１０３の共振周波数が、弾性支持部１０５を含むミラ
ー部１０４の共振周波数と一致又は近いように構成する
と、より小さなアクチュエータ１０３の駆動力で大きな
ミラー部１０４の回転角を得ることが可能である。ま
た、変換機構１０１の材料としては、ミラー部１０４、
弾性支持部１０５、ミラー支持基板１０６と熱膨張係数
が近いものを用いることが好ましい。可動ミラー部の弾
性支持部１０５は変換機構１０１の回転軸上に配置され
ており、ミラー部１０４は駆動されたミラー支持基板１
０６に対して相対運動を起こす。

【００２０】この際、ミラー部１０４の回転軸が変換機
構１０１の回転軸上に配置されているので、ミラー部１
０４の回転軸の並進運動を抑えてミラー部１０４に回転
モーメントを与えることができる。なお、ミラー支持基
板１０６の下部の変換機構１０１には前述のように溝１
０７が形成されているので、ミラー部１０４の回転運動
を妨げることはない。

【００２１】また、ミラー支持基板１０６と変換機構１
０１のアライメント機構としては、図４に示すように変
換機構１０１の表面にミラー支持基板１０６の外形に対
応した凹部１０８を形成し、この凹部１０８にミラー支
持基板１０６を嵌合する形態としてもよい。更に、図５
に示すようにミラー支持基板１０６にアライメント用の
貫通穴１０９を設け、変換機構１０１には貫通穴１０９
に対応するピン１１０を立設し、ミラー支持基板１０６
を変換機構１０１に取り付ける際に貫通穴１０９をピン
１１０に嵌入する形態としてもよい。このように図４、
図５の形態とすることによって、容易に可動ミラー部の
弾性支持部１０５を変換機構１０１の回転軸上に位置決
めすることができる。

【００２２】

【実施例】次に、本願発明者は、実際に前述のような光
偏向器を作製し、評価実験を試みた。以下、これを実施
例１〜３として説明する。

【００２３】（実施例１）実施例１では図１に示す光偏
向器を作製した。具体的には、ミラー支持基板１０６と
して厚さ２００μｍの単結晶シリコン基板を用い、この
シリコン基板をＩＣＰ−ＲＩＥ装置（６０１Ｅ、ＡＬＣ
ＡＴＥＬ社製）を用いて垂直エッチングすることによ
り、ミラー部１０４、弾性支持部１０５、ミラー支持基
板１０６を一体形成した。弾性支持部１０５を含むミラ
ー部１０４の共振周波数は２０ＫＨｚである。また、溝
部１０７とヒンジ部１０２を有する変換機構１０１とし
てはＡｌのバルク材を機構加工し形成した。更に、伸縮
運動を発生するアクチュエータ１０３には積層型圧電素
子を用いた。アクチュエータ１０３と変換機構１０１、
変換機構１０１とミラー支持基板１０６の取り付け方法
としては、それぞれ接着剤を用いて接着し、ミラー部１
０４の弾性支持部１０５が変換機構１０１の回転軸とな
るヒンジ部１０２上に位置するように配置した。

【００２４】次に、圧電素子に電圧３Ｖｐｐ、２０ＫＨ
ｚを印加して伸縮運動を発生させ、ミラー部１０４の回
転運動を試みた。このミラー部１０４の回転角をレーザ
ードップラ振動計で計測したところ、±１０°の回転角
が得られた。また、回転運動を行うミラー部１０４にレ
ーザー光を照射して光走査を試みた。この時、ミラー部
１０４によって偏向された光走査を２次元ＰＳＤを用い
て計測したところ、安定した光走査を確認できた。

【００２５】本実施例の光偏向器では、圧電素子の駆動
周波数を弾性支持部１０５を含むミラー部１０４の共振
周波数に合わせることで、わずかな圧電素子の駆動力
で、ミラー部１０４の大きな回転角を得られることを確
認できた。また、ミラー部１０４の回転軸となる弾性支
持部１０５が変換機構１０１の回転軸上に配置されてい
るため、ミラー部１０４の回転運動の際にミラー部１０
４の回転軸が並進運動することが抑えられ、安定した光
走査を行えることを確認できた。

【００２６】（実施例２）実施例２では図４に示す光偏
向器を作製した。具体的には、変換機構１０１としてＡ
ｌのバルク材を機械加工し形成した。また、可動ミラー
部としては、実施例１と同様にシリコン基板を用いてエ
ッチング加工することにより一体に形成した。更に、可
動ミラー部のアライメント機構として図４に示す様にミ
ラー支持基板１０６を配置する変換機構１０１の表面に
ミラー支持基板１０６の外形に対応する凹部１０８を機
械加工により形成し、ミラー支持基板１０６をこの凹部
１０８に配置することで、弾性支持部１０５を変換機構
１０１の回転軸上に位置定めした。その他の構成は実施
例１と同様である。

【００２７】次に、実施例１と同様に圧電素子に電圧３
Ｖｐｐ、２０ＫＨｚを印加して伸縮運動を発生させ、ミ
ラー部１０４の回転運動を試みた。このミラー部１０４
の回転角をレーザードップラ振動計で計測したところ±
１０°の回転角が得られた。また、回転運動を行うミラ
ー部１０４にレーザー光を照射して光走査を試みた。ミ
ラー部１０４によって偏向された光走査を２次元ＰＳＤ
を用いて計測したところ、安定した光走査を確認でき
た。

【００２８】本実施例の光偏向器では、実施例１と同様
に圧電素子の駆動周波数を弾性支持部１０５を含むミラ
ー部１０４の共振周波数に合わせることで、わずかな圧
電素子の駆動力で、ミラー部１０４の大きな回転角を得
られた。また、アライメント機構により容易にミラー部
１０４の回転軸となる弾性支持部１０５を変換機構１０
１の回転軸上に配置できた。ミラー部１０４の回転軸と
なる弾性支持部１０５が変換機構１０１の回転軸上に配
置しているので、ミラー部１０４の回転運動の際にミラ
ー部１０４の回転軸が並進運動を発生することが抑えら
れ、安定した光走査を行うことができた。

【００２９】（実施例３）実施例３では図５に示す光偏
向器を作製した。具体的には、ミラー支持基板１０６と
して厚さ２００μｍの単結晶シリコン基板を用い、この
シリコン基板をＩＣＰ−ＲＩＥ装置（６０１Ｅ、ＡＬＣ
ＡＴＥＬ社製）を用いて垂直エッチングすることによ
り、ミラー部１０４、弾性支持部１０５、ミラー支持基
板１０６を一体形成した。この時、同時にアライメント
用の貫通穴１０９をミラー支持基板１０６に形成した。
弾性支持部１０５を含むミラー部１０４の共振周波数は
２０ＫＨｚである。変換機構１０１としてはＡｌのバル
ク材を機構加工し形成した。

【００３０】アライメント機構はミラー支持基板１０６
に形成されたアライメント用の貫通穴１０９とそれに対
応して変換機構１０１上に立設されたピン１１０であ
る。このピン１１０は変換機構１０１と一体でＡｌバル
ク材から機械加工により形成した。このミラー支持基板
１０６のアライメント用貫通穴１０９をピン１１０に嵌
入することで、弾性支持部１０５を変換機構１０１の回
転軸上に位置定めした。その他の構成は実施例１と同様
である。

【００３１】次に、実施例１、２と同様に圧電素子に電
圧３Ｖｐｐ、２０ＫＨｚを印加して伸縮運動を発生さ
せ、ミラー部１０４の回転運動を試みた。このミラー部
１０４の回転角をレーザードップラ振動計で計測したと
ころ、±１０°の回転角が得られた。また、回転運動を
行うミラー部１０４にレーザー光を照射して光走査を試
みた。ミラー部１０４によって偏向された光走査を２次
元ＰＳＤを用いて計測したところ、安定した光走査を確
認できた。

【００３２】本実施例の光偏向器では、実施例１、２と
同様に圧電素子の駆動周波数を弾性支持部１０５を含む
ミラー部１０４の共振周波数に合わせることで、わずか
な圧電素子の駆動力で、ミラー部１０４の大きな回転角
が得られた。また、アライメント機構により容易にミラ
ー部１０４の回転軸となる弾性支持部１０５を変換機構
１０１の回転軸上に位置定めできた。更に、ミラー部１
０４の回転軸となる弾性支持部１０５を変換機構１０１
の回転軸上に配置しているので、ミラー部１０４の回転
運動の際にミラー部１０４の回転軸が並進運動すること
が抑えられ、安定した光走査を行うことができた。

【００３３】次に、図１、図４、図５で説明した光偏向
器を用いた場合の光学機器について説明する。図６は光
学機器として画像表示装置の場合を例として示す図であ
る。図６において、６０１は図１、図４あるいは図５の
光偏向器を偏向方向が互いに直交するように２個配置し
た光偏向器群であり、この場合は水平・垂直方向に入射
光をラスタスキャンする光スキャナ装置として用いてい
る。６０２はレーザ光源である。６０３はレンズ或いは
レンズ群であり、６０４は書き込みレンズ又はレンズ
群、６０５は投影面である。レーザー光源６０２から入
射したレーザ光は光走査のタイミングと関係した所定の
強度変調を受けて、光偏向器群６０１により２次元的に
走査する。走査されたレーザ光は書き込みレンズ６０４
により投影面６０５上に画像を形成する。

【００３４】図７は本発明の光偏向器を画像形成装置に
用いた場合の例を示す図である。図７において、７０１
は図１、図４或いは図５に示された光偏向器であり、こ
の場合は入射光を１次元に走査する光スキャナ装置とし
て用いている。７０２はレーザ光源である。７０３はレ
ンズ或いはレンズ群であり、７０４は書き込みレンズ或
いはレンズ群、７０６は感光体である。レーザ光源から
射出されたレーザ光は光走査のタイミングと関係した所
定の強度変調を受けて、光偏向器７０１により１次元的
に走査する。走査されたレーザ光は書き込みレンズ７０
４により感光体７０６上へ画像を形成する。

【００３５】感光体７０６は図示しない帯電器により一
様に帯電されており、この上に光を走査することにより
静電潜像が形成される。次に、図示しない現像器により
静電潜像の画像部分にトナー像を形成し、これを例えば
図示しない用紙に転写・定着することで用紙上に可視像
が形成される。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ア
クチュエータの伸縮運動を変換機構によりミラー部の所
定変位角の回転運動に変換する構造としているので、ミ
ラー部の回転運動を軸ズレを生じることなくできると共
に、従来のようにミラー部に重りや溝を設ける必要がな
く、回転中のミラー部の撓みを低減できるため、高速駆
動を行うことができる。また、アクチュエータの共振周
波数と弾性支持部を含むミラー部の共振周波数を略一致
させることよりアクチュエータの小さな駆動力でミラー
部の大きな回転角を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光偏向器の一実施形態を示す斜視図で
ある。

【図２】図１の光偏向器を各構成要素に分解して示す分
解斜視図である。

【図３】図１の光偏向器に用いる可動ミラー部を詳細に
示す斜視図である。

【図４】本発明の他の実施形態を示す斜視図である。

【図５】本発明の更に他の実施形態を示す斜視図であ
る。

【図６】本発明の光学機器の一実施形態を示す図であ
る。

【図７】本発明の光学機器の他の実施形態を示す図であ
る。

【図８】従来例の光偏向器を示す図である。

【図９】他の従来例を示す図である。

【符号の説明】

１０１ 変換機構 １０２ ヒンジ部 １０３ アクチュエータ １０４ ミラー部 １０５ 弾性支持部 １０６ ミラー支持基板 １０７ 溝部 １０８ 凹部 １０９ 貫通穴 １１０ ピン

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２本の柱状部の一端側が回転軸となるヒ
   ンジ部で連結され、他端側には伸縮運動を発生するアク
   チュエータが設けられた変換機構を含み、前記変換機構
   のヒンジ部の上方位置には、ミラー支持基板に対して両
   端部が弾性支持部で支持され、かつ、前記弾性支持部の
   回転軸を中心に揺動可能に支持されたミラー部を有する
   可動ミラー部が配置され、前記可動ミラー部は弾性支持
   部が前記ヒンジ部による回転軸上に配置されており、前
   記アクチュエータの伸縮運動を前記変換機構によりヒン
   ジ部を回転軸とするミラー部の所定変位角の回転運動に
   変換することによって前記ミラー部に入射する入射光を
   偏向することを特徴とする光偏向器。
2. 【請求項２】 前記弾性支持部が前記ミラー部と一直線
   上に位置し、かつ、前記弾性支持部を結ぶ直線上にミラ
   ー部の重心を位置させていることを特徴とする請求項１
   に記載の光偏向器。
3. 【請求項３】 前記可動ミラー部と変換機構の間に前記
   ミラー部の回転運動を妨げないための一定のギャップが
   空けられていることを特徴とする請求項１〜２のいずれ
   か１項に記載の光偏向器。
4. 【請求項４】 前記アクチュエータは、圧電アクチュエ
   ータであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１
   項に記載の光偏向器。
5. 【請求項５】 前記アクチュエータの共振周波数と前記
   弾性支持部を含むミラー部の共振周波数は略一致してい
   ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載
   の光偏向器。
6. 【請求項６】 前記可動ミラー部は、単結晶シリコンよ
   り成ることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に
   記載の光偏向器。
7. 【請求項７】 更に、前記可動ミラー部の弾性支持部が
   前記変換機構の回転軸に一致するように位置合わせをす
   るためのアライメント機構を有することを特徴とする請
   求項１〜６のいずれか１項に記載の光偏向器。
8. 【請求項８】 前記アライメント機構は、前記変換機構
   に前記可動ミラー部のミラー支持基板の外形に対応して
   形成された凹部であることを特徴とする請求項７に記載
   の光偏向器。
9. 【請求項９】 前記アライメント機構は、前記ミラー支
   持基板に形成された貫通穴、前記変換機構に立設され、
   前記貫通穴に嵌合するピンより成ることを特徴とする請
   求項７に記載の光偏向器。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか１項に記載の
    光偏向器を有することを特徴とする光学機器。