JP2003051631A - 熱交換器の製作方法及び該熱交換器を用いたレーザ装置 - Google Patents
熱交換器の製作方法及び該熱交換器を用いたレーザ装置Info
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- JP2003051631A JP2003051631A JP2001237330A JP2001237330A JP2003051631A JP 2003051631 A JP2003051631 A JP 2003051631A JP 2001237330 A JP2001237330 A JP 2001237330A JP 2001237330 A JP2001237330 A JP 2001237330A JP 2003051631 A JP2003051631 A JP 2003051631A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱交換能力を高めることが可能な熱交換器を
容易に作成できる熱交換器の作成方法、及び該方法によ
って得られた熱交換器を備えるレーザ装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光を発振するレーザ共振器を備え
るレーザ装置において、熱伝導部材からなる熱交換器で
あって、冷却液を流通させるための流通路がネジ切り工
具にて形成されたネジ溝を持つ熱交換器と、流通路に流
通させる冷却液を所定温度に維持する恒温手段とを有
し、熱交換器を前記レーザ共振器の発熱部材に当接させ
ることによりその発熱部材の冷却を行う。
容易に作成できる熱交換器の作成方法、及び該方法によ
って得られた熱交換器を備えるレーザ装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光を発振するレーザ共振器を備え
るレーザ装置において、熱伝導部材からなる熱交換器で
あって、冷却液を流通させるための流通路がネジ切り工
具にて形成されたネジ溝を持つ熱交換器と、流通路に流
通させる冷却液を所定温度に維持する恒温手段とを有
し、熱交換器を前記レーザ共振器の発熱部材に当接させ
ることによりその発熱部材の冷却を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は冷却機構を有するレ
ーザ装置、及びレーザ装置に使用する熱交換器の制作方
法に関する。
ーザ装置、及びレーザ装置に使用する熱交換器の制作方
法に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、レーザ光を安定して効率よく出力さ
せるために、励起光源やレーザ共振器等から発振、出射
時に生じる熱の発生を抑えるための熱交換器を備えたレ
ーザ装置が知られている。このようなレーザ装置に使用
される熱交換器は励起光源やレーザ共振器の発熱部位に
接触させることによって熱を吸収し、励起光源やレーザ
共振器自体の温度上昇を抑えている。特に励起光源とし
て使用される半導体レーザ（以下、ＬＤと記す）は高出
力にて使用すると高熱を発するため、冷却のため熱交換
器を用いることが必要不可欠となる。
せるために、励起光源やレーザ共振器等から発振、出射
時に生じる熱の発生を抑えるための熱交換器を備えたレ
ーザ装置が知られている。このようなレーザ装置に使用
される熱交換器は励起光源やレーザ共振器の発熱部位に
接触させることによって熱を吸収し、励起光源やレーザ
共振器自体の温度上昇を抑えている。特に励起光源とし
て使用される半導体レーザ（以下、ＬＤと記す）は高出
力にて使用すると高熱を発するため、冷却のため熱交換
器を用いることが必要不可欠となる。
【０００３】一般に熱交換器は十分な冷却効果を引き出
すため、内部に水等の冷却液を流通させるための流通路
（管）が設けられており、そこに冷却液を通すことによ
って熱交換器全体を冷やす水冷式のものが知られてい
る。
すため、内部に水等の冷却液を流通させるための流通路
（管）が設けられており、そこに冷却液を通すことによ
って熱交換器全体を冷やす水冷式のものが知られてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】水冷式の熱交換器にお
いては、熱交換器自体の熱交換能力を高めるために、流
通路の内壁を凹凸状にしたり、流通路の長さを長くする
等の工夫がなされているが、そのために追加の部品が必
要であったり、加工が難しい等の問題点があった。特に
レーザ装置に用いる熱交換器は装置自体の小型、軽量化
の上からもなるべく小さいものが好ましい。このため小
型の熱交換器における流通路の形状を工夫することはさ
らに困難である。
いては、熱交換器自体の熱交換能力を高めるために、流
通路の内壁を凹凸状にしたり、流通路の長さを長くする
等の工夫がなされているが、そのために追加の部品が必
要であったり、加工が難しい等の問題点があった。特に
レーザ装置に用いる熱交換器は装置自体の小型、軽量化
の上からもなるべく小さいものが好ましい。このため小
型の熱交換器における流通路の形状を工夫することはさ
らに困難である。
【０００５】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、
熱交換能力を高めることが可能な熱交換器を容易に作成
できる熱交換器の作成方法、及び該方法によって得られ
た熱交換器を備えるレーザ装置を提供することを技術課
題とする。
熱交換能力を高めることが可能な熱交換器を容易に作成
できる熱交換器の作成方法、及び該方法によって得られ
た熱交換器を備えるレーザ装置を提供することを技術課
題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
【０００７】（１） レーザ光を発振するレーザ共振器
を備えるレーザ装置において、熱伝導部材からなる熱交
換器であって、冷却液を流通させるための流通路がネジ
切り工具にて形成されたネジ溝を持つ熱交換器と、前記
流通路に流通させる冷却液を所定温度に維持する恒温手
段とを有し、前記熱交換器を前記レーザ共振器の発熱部
材に当接させることによりその発熱部材の冷却を行う構
成としたことを特徴とする。 （２） （１）の発熱部材とは励起光源であることを特
徴とする。 （３） レーザ発振器の発熱部材を冷却する水冷式の熱
交換器の製作方法において、穴あけ手段により孔を開け
た後、ネジ切り工具を用いてネジ溝を形成することによ
り冷却液を流通させるための流通路を形成することを特
徴とする。
を備えるレーザ装置において、熱伝導部材からなる熱交
換器であって、冷却液を流通させるための流通路がネジ
切り工具にて形成されたネジ溝を持つ熱交換器と、前記
流通路に流通させる冷却液を所定温度に維持する恒温手
段とを有し、前記熱交換器を前記レーザ共振器の発熱部
材に当接させることによりその発熱部材の冷却を行う構
成としたことを特徴とする。 （２） （１）の発熱部材とは励起光源であることを特
徴とする。 （３） レーザ発振器の発熱部材を冷却する水冷式の熱
交換器の製作方法において、穴あけ手段により孔を開け
た後、ネジ切り工具を用いてネジ溝を形成することによ
り冷却液を流通させるための流通路を形成することを特
徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明に係るレーザ装置に
使用されるレーザ発振器の概略図である。
に基づいて説明する。図１は本発明に係るレーザ装置に
使用されるレーザ発振器の概略図である。
【０００９】１はレーザ発振器であり、内部には固体レ
ーザ媒質であるＮｄ：ＹＡＧ結晶（以下、単にロッドと
もいう）２、励起光源である半導体レーザ（以下、単に
ＬＤ（Laser Diode）ともいう）３、波長変換器である
非線形結晶（以下、単にＮＬＣ（Non Linear Crystal）
ともいう）４、全反射ミラー（以下、単にＨＲ（HighRe
flector）ともいう）５ａ，５ｂ、出力ミラー６が備え
られている。なお、非線形結晶としては、ＫＴＰ結晶、
ＬＢＯ結晶、ＢＢＯ結晶等が使用可能であり、本実施形
態ではＫＴＰ結晶を使用している。
ーザ媒質であるＮｄ：ＹＡＧ結晶（以下、単にロッドと
もいう）２、励起光源である半導体レーザ（以下、単に
ＬＤ（Laser Diode）ともいう）３、波長変換器である
非線形結晶（以下、単にＮＬＣ（Non Linear Crystal）
ともいう）４、全反射ミラー（以下、単にＨＲ（HighRe
flector）ともいう）５ａ，５ｂ、出力ミラー６が備え
られている。なお、非線形結晶としては、ＫＴＰ結晶、
ＬＢＯ結晶、ＢＢＯ結晶等が使用可能であり、本実施形
態ではＫＴＰ結晶を使用している。
【００１０】Ｎｄ：ＹＡＧ結晶は半導体レーザ３からの
励起光により、近赤外域の複数の発振線（ピーク波長）
を持つ光を放出する。そこで、本実施形態の装置では、
約１０６４ｎｍ、発振線における第二高調波を、非線形
結晶を利用して発生させることにより、約５３２ｎｍ
（緑）のレーザ光を出射させる。
励起光により、近赤外域の複数の発振線（ピーク波長）
を持つ光を放出する。そこで、本実施形態の装置では、
約１０６４ｎｍ、発振線における第二高調波を、非線形
結晶を利用して発生させることにより、約５３２ｎｍ
（緑）のレーザ光を出射させる。
【００１１】ロッド２が配置される光軸Ｌ１の光路の一
端にはＨＲ５ａが設けられ、他端には出力ミラー６が所
定角度だけ傾けて設けられている。ＨＲ５ａは１０６４
ｎｍの波長に対して全反射の特性を持つものである。出
力ミラー１５は１０６４ｎｍの波長を全反射するととも
に、５３２ｎｍの波長を透過する特性を持つ。出力ミラ
ー６の反射方向の光軸Ｌ２上には、ＮＬＣ４とＨＲ５ｂ
が固定されて設けられている。ＮＬＣ４は１０６４ｎｍ
の波長に対して、その第二高調波である５３２ｎｍの波
長を発生させるように配置されている。ＨＲ５ｂはＨＲ
５ａと同様に１０６４ｎｍ及び５３２ｎｍに対して全反
射の特性を持つ。
端にはＨＲ５ａが設けられ、他端には出力ミラー６が所
定角度だけ傾けて設けられている。ＨＲ５ａは１０６４
ｎｍの波長に対して全反射の特性を持つものである。出
力ミラー１５は１０６４ｎｍの波長を全反射するととも
に、５３２ｎｍの波長を透過する特性を持つ。出力ミラ
ー６の反射方向の光軸Ｌ２上には、ＮＬＣ４とＨＲ５ｂ
が固定されて設けられている。ＮＬＣ４は１０６４ｎｍ
の波長に対して、その第二高調波である５３２ｎｍの波
長を発生させるように配置されている。ＨＲ５ｂはＨＲ
５ａと同様に１０６４ｎｍ及び５３２ｎｍに対して全反
射の特性を持つ。
【００１２】１０は熱交換を行うための冷却マウントで
ある。冷却マウント１０は平板状の金属板からなり、そ
の上面はＬＤ３の底面部に当接され、ＬＤ３にて発する
熱を吸収するようになっている。また、ＬＤ３は冷却マ
ウント１０上面に接着により固定されている。本実施の
形態ではＬＤ３接着にて冷却マウント１０に固定されて
いるが、これに限るものではなく、ＬＤ３が冷却マウン
トに固定され、ＬＤ３の発熱部分が冷却マウント１０に
当接されていればよい。例えばビス等によって固定ＬＤ
３を冷却マウント１０上に固定するようにしてもよい。
また、冷却マウント１０に使用する材質は、例えばアル
ミや銅等、熱伝導率のよい材質のものが使用される。
ある。冷却マウント１０は平板状の金属板からなり、そ
の上面はＬＤ３の底面部に当接され、ＬＤ３にて発する
熱を吸収するようになっている。また、ＬＤ３は冷却マ
ウント１０上面に接着により固定されている。本実施の
形態ではＬＤ３接着にて冷却マウント１０に固定されて
いるが、これに限るものではなく、ＬＤ３が冷却マウン
トに固定され、ＬＤ３の発熱部分が冷却マウント１０に
当接されていればよい。例えばビス等によって固定ＬＤ
３を冷却マウント１０上に固定するようにしてもよい。
また、冷却マウント１０に使用する材質は、例えばアル
ミや銅等、熱伝導率のよい材質のものが使用される。
【００１３】冷却マウント１０内部には外部から送られ
てくる冷却用の媒体（例えば水やエチレングリコール
等）を冷却マウント１０内に通し、循環させるための流
通路２０が設けられている。冷却マウント１０内部から
外部につながる流通路２０の出入口（２ヶ所）には各々
管１２が接続され、その先には冷却液を一定温度に保つ
ための恒温器１１が取り付けられている。
てくる冷却用の媒体（例えば水やエチレングリコール
等）を冷却マウント１０内に通し、循環させるための流
通路２０が設けられている。冷却マウント１０内部から
外部につながる流通路２０の出入口（２ヶ所）には各々
管１２が接続され、その先には冷却液を一定温度に保つ
ための恒温器１１が取り付けられている。
【００１４】恒温器１１内で一定温度（例えば２５℃）
に保たれた冷却液は、一方の管１２から冷却マウント１
０内部の流通路２０を通り、もう一方の管１２を経て再
び恒温器１１内へ戻るようになっている。
に保たれた冷却液は、一方の管１２から冷却マウント１
０内部の流通路２０を通り、もう一方の管１２を経て再
び恒温器１１内へ戻るようになっている。
【００１５】図２は冷却マウントの詳細を示す図であ
る。図に示すように冷却マウント１０内に形成された流
通路２０は、紙面縦方向に延び冷却マウント１０の外部
への開口を持つ２本の流通路２０ａ，２０ｂと、紙面横
方向に延び冷却マウント１０内部にて流通路２０ａ，２
０ｂにつながる流通路２０ｃとからなる。流通路２０
ａ、２０ｂは冷却マウントを貫通しないだけの長さにて
ドリル等の穴あけ手段にて孔を開けておき、その後タッ
プ等のネジ切り用の手段を用いてネジ溝を形成してお
く。また、流通路２０ｃは流通路２０ａ，２０ｂの先端
に位置するように横方向からドリル等にて孔を開けてお
き、その後タップ等にてネジ溝を形成しておく。ドリル
等にて開いた開口はシーリングされた雄ネジ２１にて、
締めておくことにより、冷却液の漏れを防ぐようになっ
ている。
る。図に示すように冷却マウント１０内に形成された流
通路２０は、紙面縦方向に延び冷却マウント１０の外部
への開口を持つ２本の流通路２０ａ，２０ｂと、紙面横
方向に延び冷却マウント１０内部にて流通路２０ａ，２
０ｂにつながる流通路２０ｃとからなる。流通路２０
ａ、２０ｂは冷却マウントを貫通しないだけの長さにて
ドリル等の穴あけ手段にて孔を開けておき、その後タッ
プ等のネジ切り用の手段を用いてネジ溝を形成してお
く。また、流通路２０ｃは流通路２０ａ，２０ｂの先端
に位置するように横方向からドリル等にて孔を開けてお
き、その後タップ等にてネジ溝を形成しておく。ドリル
等にて開いた開口はシーリングされた雄ネジ２１にて、
締めておくことにより、冷却液の漏れを防ぐようになっ
ている。
【００１６】本実施の形態では流通路２０の形成は、ド
リル等の穴あけにて形成するものとしているが、これに
限るものではない。２枚の金属片の各々に半割筒状の流
通路を設けておき、これを合わせることによって円筒状
の流通路を形成することもできる。その後、タップ等に
てネジ溝を切れるところまで切っておくことにより、流
通路に部分的に凹凸状の壁面を形成させておくことがで
きる。
リル等の穴あけにて形成するものとしているが、これに
限るものではない。２枚の金属片の各々に半割筒状の流
通路を設けておき、これを合わせることによって円筒状
の流通路を形成することもできる。その後、タップ等に
てネジ溝を切れるところまで切っておくことにより、流
通路に部分的に凹凸状の壁面を形成させておくことがで
きる。
【００１７】このように各流通路２０ａ〜２０ｃにネジ
溝を設けることにより、流通路２０内の壁面が凹凸状
（螺状）に形成されることとなる。流通路２０壁面に形
成された凹凸形状は、循環する冷却媒体と流通路２０と
の接触面積を増やすことができるとともに、冷却溶媒の
流通路中での乱流の発生を促すため、冷却マウント１０
を効率よく冷却する（熱交換する）ことが可能となる。
溝を設けることにより、流通路２０内の壁面が凹凸状
（螺状）に形成されることとなる。流通路２０壁面に形
成された凹凸形状は、循環する冷却媒体と流通路２０と
の接触面積を増やすことができるとともに、冷却溶媒の
流通路中での乱流の発生を促すため、冷却マウント１０
を効率よく冷却する（熱交換する）ことが可能となる。
【００１８】また、レーザ装置を小型、軽量化する上で
半導体レーザ（ＬＤ）等の大きさに合わせて冷却マウン
ト１０の大きさをできるだけ小さなものとする場合であ
っても、上記に記したようにタップ等で流通路２０にネ
ジ溝を切ることにより、非常に簡単に流通路２０の壁面
を凹凸状に形成することができる。
半導体レーザ（ＬＤ）等の大きさに合わせて冷却マウン
ト１０の大きさをできるだけ小さなものとする場合であ
っても、上記に記したようにタップ等で流通路２０にネ
ジ溝を切ることにより、非常に簡単に流通路２０の壁面
を凹凸状に形成することができる。
【００１９】以上の実施の形態では、平板状の金属板に
冷却媒体を循環させるための流通路を設けたものとして
いるが、本発明の適用は平板状の金属板に設けられた流
通路のみに限るものではなく、ネジ溝が切れるような流
通路であれば適用することができる。ここで図３はさら
にレーザ光の出射効率を高めるためのレーザ共振器の１
構成を示したものである。図３において図１と同符号を
示すものは同機能を有するものであり、詳細な説明は省
略する。
冷却媒体を循環させるための流通路を設けたものとして
いるが、本発明の適用は平板状の金属板に設けられた流
通路のみに限るものではなく、ネジ溝が切れるような流
通路であれば適用することができる。ここで図３はさら
にレーザ光の出射効率を高めるためのレーザ共振器の１
構成を示したものである。図３において図１と同符号を
示すものは同機能を有するものであり、詳細な説明は省
略する。
【００２０】図３では、円筒状の金属筒３０の中心部に
ロッド２を固定配置しておき、ロッド３の周囲（上下左
右方向に）に各々ＬＤ３を設けてある。本実施の形態で
はロッド２を冷却させずに使用するものとしているが、
これに限るものではない。例えば、ロッド２冷却するた
めにガラスチューブ内にロッド２を固定配置しておき、
ガラスチューブ内に冷却水を通すことによってロッド２
を冷やし、さらに効率の良いレーザ発振を行うようにし
てもよい。
ロッド２を固定配置しておき、ロッド３の周囲（上下左
右方向に）に各々ＬＤ３を設けてある。本実施の形態で
はロッド２を冷却させずに使用するものとしているが、
これに限るものではない。例えば、ロッド２冷却するた
めにガラスチューブ内にロッド２を固定配置しておき、
ガラスチューブ内に冷却水を通すことによってロッド２
を冷やし、さらに効率の良いレーザ発振を行うようにし
てもよい。
【００２１】一方、励起光源ＬＤ３を所定温度内に維持
させる（冷却する）ために、金属筒３０に設置されたＬ
Ｄ３に対して外周側に複数の流通路２０が中心軸Ｌ３に
対して平行に設けられている。この流通路２０もまた図
１，２で示した流通路２０と同様に、タップ等にてネジ
溝が形成されている。また、図１同様に流通路２０は管
１２を介して恒温器１１（図示しない）と接合されてい
る。
させる（冷却する）ために、金属筒３０に設置されたＬ
Ｄ３に対して外周側に複数の流通路２０が中心軸Ｌ３に
対して平行に設けられている。この流通路２０もまた図
１，２で示した流通路２０と同様に、タップ等にてネジ
溝が形成されている。また、図１同様に流通路２０は管
１２を介して恒温器１１（図示しない）と接合されてい
る。
【００２２】このような円筒状の金属筒３０に設けられ
る流通路２０の壁面を凹凸状にすることは手間が掛かっ
てしまうが、タップ等にてねじ切りを行うことにより、
簡単に壁面を凹凸上にすることができる。前述したよう
に流通路２０内を凹凸状にすることによって内部を流れ
る冷却媒体との接触面積を増やすことができるととも
に、冷却媒体の流れに乱流を発生させることができるた
め、金属筒３０を効率よく冷やすことができる。
る流通路２０の壁面を凹凸状にすることは手間が掛かっ
てしまうが、タップ等にてねじ切りを行うことにより、
簡単に壁面を凹凸上にすることができる。前述したよう
に流通路２０内を凹凸状にすることによって内部を流れ
る冷却媒体との接触面積を増やすことができるととも
に、冷却媒体の流れに乱流を発生させることができるた
め、金属筒３０を効率よく冷やすことができる。
【００２３】また、本実施の形態では励起光源から発生
する熱の上昇を抑えるための熱交換方法を示したが、こ
れに限るものではなく、冷却媒体を通すことによって熱
交換を行うものであれば、例えばロッドや共振器自体を
冷却するための熱交換方法にも適用できる。
する熱の上昇を抑えるための熱交換方法を示したが、こ
れに限るものではなく、冷却媒体を通すことによって熱
交換を行うものであれば、例えばロッドや共振器自体を
冷却するための熱交換方法にも適用できる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明は冷却媒体を通す
流通路内にネジ切りを行い、ネジ溝を形成させることに
より、簡単に流通路内の壁面を凹凸状にすることができ
る。壁面を凹凸状にすることによって冷却媒体と流通路
内の壁面との接触面積の増加、及び乱流の発生を促すこ
とができ、効率よく熱交換を行うことができる。
流通路内にネジ切りを行い、ネジ溝を形成させることに
より、簡単に流通路内の壁面を凹凸状にすることができ
る。壁面を凹凸状にすることによって冷却媒体と流通路
内の壁面との接触面積の増加、及び乱流の発生を促すこ
とができ、効率よく熱交換を行うことができる。
【図１】本発明を適用したレーザ共振器周辺の構成を示
した図である。
した図である。
【図２】冷却マウントの内部構成を示した図である。
【図３】本発明の変容例を示した図である。
１ レーザ発振器
２ ロッド
３ ＬＤ
４ ＮＬＣ
５ａ，５ｂ 全反射ミラー
６ 出力ミラー
１０ 冷却マウント
１１ 恒温器
１２ 管
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光を発振するレーザ共振器を備え
るレーザ装置において、熱伝導部材からなる熱交換器で
あって、冷却液を流通させるための流通路がネジ切り工
具にて形成されたネジ溝を持つ熱交換器と、前記流通路
に流通させる冷却液を所定温度に維持する恒温手段とを
有し、前記熱交換器を前記レーザ共振器の発熱部材に当
接させることによりその発熱部材の冷却を行う構成とし
たことを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】 請求項１の発熱部材とは励起光源である
ことを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項３】 レーザ発振器の発熱部材を冷却する水冷
式の熱交換器の製作方法において、穴あけ手段により孔
を開けた後、ネジ切り工具を用いてネジ溝を形成するこ
とにより冷却液を流通させるための流通路を形成するこ
とを特徴とする熱交換器の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001237330A JP2003051631A (ja) | 2001-08-06 | 2001-08-06 | 熱交換器の製作方法及び該熱交換器を用いたレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001237330A JP2003051631A (ja) | 2001-08-06 | 2001-08-06 | 熱交換器の製作方法及び該熱交換器を用いたレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003051631A true JP2003051631A (ja) | 2003-02-21 |
Family
ID=19068428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001237330A Ceased JP2003051631A (ja) | 2001-08-06 | 2001-08-06 | 熱交換器の製作方法及び該熱交換器を用いたレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003051631A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH118486A (ja) * | 1997-06-16 | 1999-01-12 | Nec Corp | 光モジュール用液体冷却装置 |
| JPH11504767A (ja) * | 1996-02-24 | 1999-04-27 | ダイムラー−ベンツ アクチエンゲゼルシャフト | パワー素子を冷却するための冷却体 |
| JPH11274611A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Komatsu Ltd | 放電励起型レーザの放電電極 |
| JP2001177170A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| JP2001237486A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-31 | Nec Corp | 半導体レーザの冷却装置 |
-
2001
- 2001-08-06 JP JP2001237330A patent/JP2003051631A/ja not_active Ceased
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