Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2002337262A - High gas barrier film and its manufacturing method - Google Patents

High gas barrier film and its manufacturing method

Info

Publication number
JP2002337262A
JP2002337262A JP2001152045A JP2001152045A JP2002337262A JP 2002337262 A JP2002337262 A JP 2002337262A JP 2001152045 A JP2001152045 A JP 2001152045A JP 2001152045 A JP2001152045 A JP 2001152045A JP 2002337262 A JP2002337262 A JP 2002337262A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas barrier
vapor
film
thin film
high gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001152045A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4110748B2 (en
Inventor
Hiroshi Suzuki
浩 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2001152045A priority Critical patent/JP4110748B2/en
Publication of JP2002337262A publication Critical patent/JP2002337262A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4110748B2 publication Critical patent/JP4110748B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film having high gas barrier properties by easily and stably forming a vapor-deposited thin film layer of a gradient metal oxide composition from a front surface of the film toward the outside of a thickness of the thin film at the time of forming the thin film layer on the front surface of a base film. SOLUTION: In a laminate in which a vapor-deposited thin film layer 2 of an aluminum oxide and a gas barrier coating layer 3 are sequentially laminated on at least one surface of the base film 1 made of a polymer material, the vapor-deposited thin film of the aluminum oxide is formed by a reactive vapor- depositing method of a metal vapor and an oxidative gas.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、食品、医薬品、精
密電子部品等の包装分野に用いられる透明なガスバリア
材に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transparent gas barrier material used in the field of packaging foods, pharmaceuticals, precision electronic parts and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、食品、医薬品、精密電子部品等の
包装に用いられる包装材料は、内容物の変質、とくに食
品においては蛋白質や油脂等の酸化、変質を抑制し、さ
らに味や鮮度を保持するために、またクリーン状態での
取扱いが必要とされる医薬品においては有効成分の変質
を抑制し、効能を維持するために、さらに精密電子部品
においては金属部分の腐食、絶縁不良等を防止するため
に、包装材料を透過する酸素、水蒸気、その他内容物を
変質させる気体による影響を防止する必要があり、これ
ら気体(ガス)を遮断するガスバリア性を備えることが
求められている。
2. Description of the Related Art In recent years, packaging materials used for packaging foods, pharmaceuticals, precision electronic parts, etc., suppress deterioration of contents, especially oxidation and deterioration of proteins and oils and fats in foods, and further improve taste and freshness. In pharmaceuticals that need to be retained and handled in a clean state, the deterioration of active ingredients is suppressed, and in order to maintain efficacy, corrosion of metal parts and insulation failure are prevented in precision electronic components. Therefore, it is necessary to prevent the influence of oxygen, water vapor, and other gases that alter the contents of the packaging material, and it is required to have a gas barrier property that blocks these gases (gas).

【0003】そのため、従来から塩化ビニリデン樹脂を
コートしたポリプロピレン(KOP)や塩化ビニリデン
樹脂をコートしたポリエチレンテレフタレート(KPE
T)あるいはエチレン・ビニルアルコール共重合体(E
VOH)など一般にガスバリア性が比較的高いと言われ
る高分子樹脂組成物をガスバリア材として包装材料に用
いた包装フイルムやアルミニウム(以下、Alとする)
などの金属からなる金属箔、高分子樹脂フイルムにAl
などの金属又は金属化合物を蒸着した金属蒸着フイルム
を用いた包装材料が一般的に使用されてきた。
[0003] Therefore, polypropylene (KOP) coated with a vinylidene chloride resin and polyethylene terephthalate (KPE) coated with a vinylidene chloride resin have been conventionally used.
T) or ethylene-vinyl alcohol copolymer (E
Packaging film or aluminum (hereinafter referred to as Al) using a polymer resin composition such as VOH), which is generally considered to have relatively high gas barrier properties, as a packaging material as a gas barrier material
Such as metal foil, polymer resin film and Al
Packaging materials using a metal-deposited film on which a metal or a metal compound such as the above is deposited have been generally used.

【0004】ところが、上述の高分子樹脂組成物をガス
バリア材として用いた包装材料は、Alなどの金属又は
金属化合物を用いた箔やこれらの蒸着層を形成した金属
蒸着フイルムに比べると温度・湿度の影響を受けてガス
バリア性が劣化する傾向がある。一方、Alなどの金属
又は金属化合物を用いた箔やこれらの蒸着層を形成した
金属蒸着フイルムは、温度・湿度などの影響を受けるこ
とは少なく、ガスバリア性に優れるが、包装体の内容物
を透視して確認することができない等の欠点を有してい
た。
However, the packaging material using the above-mentioned polymer resin composition as a gas barrier material has a higher temperature and humidity than a foil using a metal or a metal compound such as Al or a metal vapor-deposited film having these vapor-deposited layers formed thereon. Gas barrier properties tend to be degraded due to the influence of On the other hand, a foil using a metal or a metal compound such as Al or a metal vapor-deposited film formed with these vapor-deposited layers is less affected by temperature, humidity, etc., and is excellent in gas barrier properties. It has drawbacks such that it cannot be confirmed by seeing through.

【0005】そこで、これらの欠点を克服した包装用材
料として、最近ではセラミック薄膜を透明な高分子材料
からなる基材上に蒸着法などの形成手段により形成され
た蒸着フイルムが上市されている。
[0005] Therefore, as a packaging material which overcomes these drawbacks, a vapor deposition film formed by forming a ceramic thin film on a base made of a transparent polymer material by a vapor deposition method or the like has recently been put on the market.

【0006】前記セラミック薄膜の材料としては、酸化
アルミニウム(AlOX)、一酸化珪素(SiO)など
の珪素酸化物、酸化マグネシウム、酸化カルシウムなど
が安全性、原材料価格の点などで候補となりうる。しか
しながら珪素酸化物は材料特有の色があるため、高透明
にはなり得ず、また酸化マグネシウム、酸化カルシウム
は原材料の昇華温度が高く、そのために蒸着工程におけ
る蒸発速度が遅くなる。そのためガスバリア性を発現さ
せるのに十分な200Å程度の膜厚の薄膜を付着させよ
うとすると、製膜時間が長時間になり、高コストに繋が
るため商業的採算が合わないなどの欠点があった。
As the material of the ceramic thin film, silicon oxide such as aluminum oxide (AlO x ) and silicon monoxide (SiO), magnesium oxide, calcium oxide, and the like can be candidates in terms of safety, raw material price, and the like. However, silicon oxide cannot be made highly transparent because of its inherent color, and magnesium oxide and calcium oxide have a high sublimation temperature of the raw material, which results in a low evaporation rate in the vapor deposition step. For this reason, if a thin film having a thickness of about 200 mm, which is sufficient for exhibiting gas barrier properties, is to be deposited, there is a disadvantage in that the film formation time becomes long, leading to high cost, and commercial profitability is not met. .

【0007】上記理由から、酸化アルミニウムの蒸着薄
膜層を反応性蒸着法で形成させる方法が、原材料の安さ
と透明性の点から注目されるている。更に、この蒸着薄
膜層の上にポリビニルアルコールなどのコーティングを
行うことで、水蒸気バリア性が1g/m 2.24h程度
の高水蒸気バリアフイルムが得られる。
For the above reasons, a method of forming a vapor-deposited thin film layer of aluminum oxide by a reactive vapor deposition method has attracted attention from the viewpoints of low cost of raw materials and transparency. Further, by applying a coating such as polyvinyl alcohol on the vapor-deposited thin film layer, the water vapor barrier property is 1 g / m 2 . A high water vapor barrier film of about 24 hours can be obtained.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記酸
化アルミニウムの蒸着薄膜層を反応性蒸着法で形成させ
る場合、装置内でのアルミニウム蒸気と酸素ガスの反応
で形成される蒸着薄膜層は、反応させる時の酸素比率が
多すぎるとガスバリア性が劣化し、アルミニウム蒸気が
多すぎると透明性が低下するということで組成制御が非
常に難しい。アルミニウム蒸気に酸素ガスを混合し反応
させる際、従来法では図3に示す如く真空蒸着装置10
の真空チャンバー11内の冷却ドラム15の中央の下端
表面から酸素ガス供給口17までの長さ、つまりdの間
隔が150mmを超える位置より酸素ガスをアルミニウ
ム蒸気雰囲気中に供給し、アルミニウム蒸気と酸素ガス
を反応させて、酸化アルミニウムからなる蒸着薄膜層を
基材フイルム1上に形成させる方法で生産されていた。
However, when the above-mentioned thin film layer of aluminum oxide is formed by a reactive evaporation method, the thin film layer formed by the reaction between aluminum vapor and oxygen gas in the apparatus is reacted. When the oxygen ratio at the time is too large, the gas barrier property is deteriorated, and when the aluminum vapor is too large, the transparency is lowered, so that the composition control is very difficult. When oxygen gas is mixed and reacted with aluminum vapor, a vacuum evaporation apparatus 10 is conventionally used as shown in FIG.
Oxygen gas is supplied into the aluminum vapor atmosphere from the position from the center lower end surface of the cooling drum 15 in the vacuum chamber 11 to the oxygen gas supply port 17, that is, the position where the distance d exceeds 150 mm. It has been produced by a method in which a vapor-deposited thin film layer made of aluminum oxide is formed on the base film 1 by reacting a gas.

【0009】前述の如き位置から酸素ガスを供給する反
応性蒸着法では、ピンポイントの化学組成制御が必要と
なり、アルミニウム蒸気量の変化などによる組成変化に
十分対応できず理想的な酸化アルミニウム組成を得るこ
とが困難で、ガスバリア性低下の原因となっていた。
In the reactive vapor deposition method in which oxygen gas is supplied from the above-described position, it is necessary to control the chemical composition in a pinpoint manner. It is difficult to obtain, and this has caused a decrease in gas barrier properties.

【0010】さらに、従来法では蒸着薄膜層表面の酸化
アルミニウムが酸素元素過多になるために、他の成分と
の密着性に乏しい膜表面が形成され、その蒸着薄膜層の
上にさらに積層するガスバリア性被膜層の密着が不十分
になり、ガスバリア性低下の原因となっていた。これら
の理由により酸化アルミニウムを用いたガスバリア性フ
イルムでは、水蒸気バリア性が0.5g/m2.24h
以下の高ガスバリア性は発現されていなかった。
Further, in the conventional method, aluminum oxide on the surface of the vapor-deposited thin film layer becomes excessive in oxygen element, so that a film surface having poor adhesion to other components is formed, and a gas barrier layer further laminated on the vapor-deposited thin film layer is formed. Insufficient adhesion of the functional coating layer caused gas barrier properties to decrease. For these reasons, the gas barrier film using aluminum oxide has a water vapor barrier property of 0.5 g / m 2 . 24h
The following high gas barrier properties were not exhibited.

【0011】本発明の課題は、基材フイルムの表面に蒸
着薄膜層を形成させる時に、フイルム表面から蒸着薄膜
の膜厚の外側に向けて傾斜型の金属酸化物組成の蒸着薄
膜層を、容易に、かつ、安定して形成させることによ
り、高いガスバリア性を有するフイルムを提供するもの
である。
[0011] An object of the present invention is to form a vapor deposition thin film layer having a metal oxide composition inclined from the film surface to the outside of the thickness of the vapor deposition thin film when the vapor deposition thin film layer is formed on the surface of the base film. It is intended to provide a film having high gas barrier properties by being formed stably and stably.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
発明は、高分子材料からなる基材フイルムの少なくとも
一方の面に、酸化アルミニウムの蒸着薄膜層、ガスバリ
ア性被膜層を順次積層した積層体において、該酸化アル
ミニウムの蒸着薄膜が金属蒸気と酸化性ガスとの反応性
蒸着法で形成されたものからなることを特徴とする高ガ
スバリア性フイルムである。
According to a first aspect of the present invention, a thin film layer of aluminum oxide and a gas barrier film layer are sequentially laminated on at least one surface of a base film made of a polymer material. A high gas barrier film, wherein the deposited thin film of aluminum oxide in the laminate is formed by a reactive vapor deposition method of a metal vapor and an oxidizing gas.

【0013】次に、請求項2に係る発明は、上記請求項
1に係る発明において、前記金属蒸気がアルミニウム蒸
気であり、かつ、酸化性ガスが酸素ガスであることを特
徴とする高ガスバリア性フイルムである。
Next, a second aspect of the present invention is the high gas barrier property according to the first aspect, wherein the metal vapor is aluminum vapor and the oxidizing gas is oxygen gas. It is a film.

【0014】次に、請求項3に係る発明は、上記請求項
1又は請求項2に係る発明において、前記蒸着薄膜層の
厚さが50〜3000Åの範囲内であることを特徴とす
る高ガスバリア性フイルムである。
Next, a third aspect of the present invention is the high gas barrier according to the first or second aspect, wherein the thickness of the vapor-deposited thin film layer is in the range of 50 to 3000 °. It is a sex film.

【0015】次に、請求項4に係る発明は、上記請求項
1乃至請求項3のいずれか1項に係る発明において、前
記ガスバリア性被膜層が、水溶性高分子と、(a)1種
以上の金属アルコキシド及びその加水分解物又は(b)
塩化錫の少なくとも一方を含むものからなることを特徴
とする高ガスバリア性フイルムである。
Next, according to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the gas barrier coating layer comprises a water-soluble polymer and one of (a) The above metal alkoxide and its hydrolyzate or (b)
A high gas barrier film comprising at least one of tin chloride.

【0016】次に、請求項5に係る発明は、上記請求項
4に係る発明において、前記水溶性高分子がポリビニル
アルコールであることを特徴とする高ガスバリア性フイ
ルムである。
A fifth aspect of the present invention is the high gas barrier film according to the fourth aspect, wherein the water-soluble polymer is polyvinyl alcohol.

【0017】次に、請求項6に係る発明は、上記請求項
4又は請求項5に係る発明において、前記金属アルコキ
シドがテトラエトキシシランまたはトリイソプロポキシ
アルミニウムあるいはそれらの混合物であることを特徴
とする高ガスバリア性フイルムである。
Next, the invention according to claim 6 is characterized in that, in the invention according to claim 4 or 5, the metal alkoxide is tetraethoxysilane, triisopropoxyaluminum or a mixture thereof. It is a high gas barrier film.

【0018】次に、請求項7に係る発明は、上記請求項
1乃至請求項6のいずれか1項記載の高ガスバリア性フ
イルムの酸化アルミニウムの蒸着薄膜層を金属蒸気と酸
化性ガスの反応性蒸着法で形成させる時に、前記酸化性
ガスを真空蒸着装置内の冷却ドラムの基材巻き出し側の
表面より10mm以上150mm以下の位置の供給口か
ら導入することを特徴とする高ガスバリア性フイルムの
製造方法である。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the high gas barrier film according to any one of the first to sixth aspects, wherein the aluminum oxide deposited thin film layer is formed by reacting a metal vapor with an oxidizing gas. When forming by a vapor deposition method, a high gas barrier film characterized in that the oxidizing gas is introduced from a supply port at a position of 10 mm or more and 150 mm or less from the surface of the substrate unwinding side of the cooling drum in the vacuum evaporation apparatus. It is a manufacturing method.

【0019】[0019]

【作用】本発明によれば、基材フイルムの表面に近い側
に酸素元素の比率が大きい酸化アルミニウムを形成さ
せ、膜厚の外側方向に向けて順次アルミニウム元素の比
率が大きい傾斜組成の酸化アルミニウムの蒸着薄膜層を
形成させているので、より安定したガスバリア性が得ら
れると共に、得られた蒸着薄膜層の外側表面がアルミニ
ウム元素の比率が大きい金属酸化物になっているため、
その上に積層されるガスバリア性被膜層の密着性が向上
し、さらに高いガスバリア性が達成される。
According to the present invention, aluminum oxide having a large ratio of oxygen element is formed on the side close to the surface of the base film, and aluminum oxide having a gradient composition in which the ratio of aluminum element is gradually increased toward the outer side of the film thickness. Since the vapor-deposited thin film layer is formed, more stable gas barrier properties can be obtained, and the outer surface of the obtained vapor-deposited thin film layer is a metal oxide having a large aluminum element ratio,
The adhesion of the gas barrier coating layer laminated thereon is improved, and higher gas barrier properties are achieved.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】本発明の高ガスバリア性フイルム
を実施の形態に沿って以下に詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The high gas barrier film of the present invention will be described below in detail along with embodiments.

【0021】図1は本発明の一実施の形態を示す高ガス
バリア性フイルムの側断面図であり、フイルムの厚み方
向に順に、基材フイルム1、酸化アルミニウムの蒸着薄
膜層2、ガスバリア性被膜層3が形成されている。な
お、基材フイルム1に蒸着薄膜層2を積層したフイルム
を蒸着フイルム4としている。
FIG. 1 is a side sectional view of a high gas barrier film showing one embodiment of the present invention. In the thickness direction of the film, a base film 1, an aluminum oxide vapor-deposited thin film layer 2, a gas barrier film layer 3 are formed. Note that a film in which the deposited thin film layer 2 is laminated on the base film 1 is referred to as a deposited film 4.

【0022】前記基材フイルム1は透明性を有する高分
子材料であり、とくに無色透明であればよく、通常、包
装材料として用いられるものが好ましい。例えば、ポリ
エチレンテレフタレート(PET)、ポリプロピレン
(PP)、ナイロン(Ny)樹脂などの機械的強度、寸
法安定性を有するものが好ましく、これらをフイルム状
に加工、さらには二軸方向に延伸したものが用いられ
る。さらに表面平滑性が優れ、かつ添加剤の量が少ない
フイルムが好ましい。また、この基材フイルム1の表面
に蒸着薄膜層の密着性を良くするために、前処理として
コロナ処理、低温プラズマ処理、イオンボンバード処理
を施しておいてもよく、さらに薬品処理、溶剤処理など
を施してもよい。
The base film 1 is a polymer material having transparency, and it is sufficient that the base film 1 is colorless and transparent, and is preferably used as a packaging material. For example, those having mechanical strength and dimensional stability such as polyethylene terephthalate (PET), polypropylene (PP), and nylon (Ny) resin are preferable, and those obtained by processing these into a film shape and further stretching in biaxial directions are preferable. Used. Further, a film having excellent surface smoothness and having a small amount of additives is preferable. Further, in order to improve the adhesion of the deposited thin film layer to the surface of the base film 1, a corona treatment, a low-temperature plasma treatment, an ion bombardment treatment may be performed as a pretreatment, and a chemical treatment, a solvent treatment, etc. May be applied.

【0023】基材フイルム1の厚さは特に制限を受ける
ものではないが、包装材料としての適性、他のフイルム
を積層あるいは蒸着薄膜層を形成する場合の加工性等を
考慮すると、5〜100μmの範囲が好ましい。
Although the thickness of the base film 1 is not particularly limited, it is 5 to 100 μm in consideration of suitability as a packaging material and workability when laminating another film or forming a vapor-deposited thin film layer. Is preferable.

【0024】また、量産性を考慮すれば、連続的に蒸着
薄膜層を形成できるように長尺状フイルムとすることが
望ましい。
In consideration of mass productivity, it is desirable to use a long film so that a vapor-deposited thin film layer can be formed continuously.

【0025】前記蒸着薄膜層2は、アルミニウム金属を
蒸発原材料にして、酸素ガス、炭酸ガスと不活性ガスな
どとの混合ガスの存在下で薄膜形成を行う、いわゆる反
応性蒸着が生産性の点から望ましい。その他に、反応性
スパッタリング、反応性イオンプレーティングにより連
続的に金属酸化物の蒸着薄膜層を形成することも出来
る。
The deposited thin film layer 2 is formed by using aluminum metal as an evaporation raw material and forming a thin film in the presence of a mixed gas of oxygen gas, carbon dioxide gas and an inert gas. Desirable. In addition, a metal oxide deposited thin film layer can be continuously formed by reactive sputtering or reactive ion plating.

【0026】前記蒸着薄膜層2の厚さは、50〜300
0Åの範囲内であることが望ましく、その値は適宜選択
される。ただし、膜厚が50Å以下であると基材フイル
ム1の全面に均一な薄膜が形成されないことがあり、ガ
スバリア材としての機能を十分に果たすことができない
場合がある。また、膜厚が3000Åを超えた場合は蒸
着薄膜にフレキシビリティを保持させることができず、
成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、蒸
着薄膜に亀裂を生じる恐れがあるため良くない。
The thickness of the deposited thin film layer 2 is 50 to 300.
It is desirably within the range of 0 °, and the value is appropriately selected. However, if the film thickness is less than 50 °, a uniform thin film may not be formed on the entire surface of the base film 1 and the function as a gas barrier material may not be sufficiently achieved. On the other hand, if the film thickness exceeds 3000 °, flexibility cannot be maintained in the deposited thin film,
This is not preferable because the deposited thin film may be cracked by external factors such as bending and pulling after film formation.

【0027】前記ガスバリア性被膜層3は、高いガスバ
リア性を付与するために前記蒸着薄膜層2の上にさらに
積層されるものであり、その構成成分は水溶性高分子
と、(a)1種以上の金属アルコキシド及び加水分解物
または(b)塩化錫の少なくとも一方を含む水溶液ある
いは水/アルコール混合溶液を主剤とするコーティング
剤を塗布して形成する。水溶性高分子と塩化錫を水系
(水あるいは水/アルコール混合)溶媒で溶解させた溶
液、あるいはこれに金属アルコキシドを直接または予め
加水分解させるなど処理を行ったものを混合した溶液を
金属酸化物の蒸着薄膜層2上にコーティング、加熱乾燥
し形成したものである。
The gas barrier coating layer 3 is further laminated on the vapor-deposited thin film layer 2 in order to impart high gas barrier properties, and its constituent components are a water-soluble polymer and one of (a) An aqueous solution or a water / alcohol mixed solution containing at least one of the above metal alkoxide and hydrolyzate or (b) tin chloride is applied to form a coating agent. A solution prepared by dissolving a water-soluble polymer and tin chloride in an aqueous (water or water / alcohol mixture) solvent or a solution prepared by mixing a solution obtained by directly or previously hydrolyzing a metal alkoxide with a metal oxide Formed on the deposited thin film layer 2 by heating and drying.

【0028】前記ガスバリア性被膜層3に用いられる水
溶性高分子は、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロ
リドン、デンプン、メチルセルロース、カルボキシメチ
ルセルロース、アルギン酸ナトリウム等が挙げられる。
特にポリビニルアルコール(以下、PVAとする)を用
いた場合にガスバリア性が最も優れる。ここでいうPV
Aは、一般にポリ酢酸ビニルを鹸化して得られるもの
で、酢酸基が数十%残存している、いわゆる部分鹸化P
VAから酢酸基が数%しか残存していない完全鹸化PV
Aまでを含み、特に限定されない。
The water-soluble polymer used for the gas barrier coating layer 3 includes polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, starch, methylcellulose, carboxymethylcellulose, sodium alginate and the like.
In particular, when polyvinyl alcohol (hereinafter, referred to as PVA) is used, the gas barrier property is most excellent. PV here
A is generally obtained by saponifying polyvinyl acetate, and is a so-called partially saponified P in which several tens% of acetic acid groups remain.
Completely saponified PV in which only a few% of acetic acid groups remain from VA
A is not particularly limited.

【0029】また、前記塩化錫は塩化第一錫(SnCl
2)、塩化第二錫(SnCl4)あるいはこれらの混合物
であっても良く、無水物でも水和物でも良い。
Further, the tin chloride may be stannous chloride (SnCl).
2 ), stannic chloride (SnCl 4 ) or a mixture thereof, and may be an anhydride or a hydrate.

【0030】さらに、前記金属アルコキシドはテトラエ
トキシシラン又はトリイソプロポキシアルミニウムある
いはそれらの混合物が好ましい。
Further, the metal alkoxide is preferably tetraethoxysilane, triisopropoxyaluminum or a mixture thereof.

【0031】前記ガスバリア性被膜層3の塗布方法に
は、通常用いられるディッピング法、ロールコーティン
グ法、スクリーン印刷法、スプレー法などの従来公知の
手段を用いることができる。乾燥後の被膜厚さが0.0
1μm以上あればよいが、厚さが50μmを超えると膜
にクラックが生じ易くなるため、0.01〜50μmの
範囲が好ましい。
As the method of applying the gas barrier coating layer 3, conventionally known means such as a commonly used dipping method, roll coating method, screen printing method, spraying method and the like can be used. The coating thickness after drying is 0.0
The thickness may be 1 μm or more, but if the thickness exceeds 50 μm, cracks are likely to occur in the film, so the range is preferably 0.01 to 50 μm.

【0032】図2は本発明の高ガスバリア性フイルムの
蒸着薄膜層を反応性蒸着法で形成させる真空蒸着装置の
概略図である。基材フイルム1を真空蒸着装置10の巻
き出し部12に装着し、蒸着金属原材料20を、るつぼ
19に装填後、真空ポンプ18にて真空チャンバー11
内を真空度1.3×10-2〜13×10-2 Paの範囲
で真空にした後、基材フイルム1を巻き出し部12から
ガイドロール14を経て巻き取り部13に搬送しなが
ら、るつぼ19中の蒸着金属原材料20を電子線加熱方
式(図示せず)により加熱蒸発させ、同時に酸素ガス供
給口17から酸素ガスを供給する。酸素ガス供給口17
は、冷却ドラム15の基材フイルム1の巻き出し側の表
面からの空間、つまりdの間隔が10mm以上150m
m以下であることが好ましい。10mm以下では、溶融
金属の輻射熱などによる、酸素供給口の形状変化による
冷却ドラム15への接触が懸念され、150mmを超え
ると酸素の拡散が大きく、有効な傾斜型の金属酸化物薄
膜を作製出来ない。
FIG. 2 is a schematic view of a vacuum deposition apparatus for forming a deposited thin film layer of the high gas barrier film of the present invention by a reactive deposition method. The base film 1 is mounted on the unwinding section 12 of the vacuum vapor deposition apparatus 10, and the vapor-deposited metal raw material 20 is loaded on the crucible 19, and then the vacuum pump 18 is used to load the vacuum chamber 11.
After the inside is evacuated to a degree of vacuum of 1.3 × 10 −2 to 13 × 10 −2 Pa, the substrate film 1 is conveyed from the unwinding unit 12 to the winding unit 13 via the guide roll 14, The vapor deposition metal raw material 20 in the crucible 19 is heated and evaporated by an electron beam heating method (not shown), and at the same time, oxygen gas is supplied from the oxygen gas supply port 17. Oxygen gas supply port 17
Is the space from the surface of the cooling drum 15 on the unwinding side of the substrate film 1, that is, the distance d is 10 mm or more and 150 m
m or less. If the thickness is less than 10 mm, contact with the cooling drum 15 due to a change in the shape of the oxygen supply port due to the radiant heat of the molten metal or the like is concerned. Absent.

【0033】[0033]

【実施例】本発明の高ガスバリア性フイルムを具体的な
実施例を挙げて説明するが、本発明がこれらの実施例に
限定されるものではない。
EXAMPLES The high gas barrier film of the present invention will be described with reference to specific examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0034】〈ガスバリア性被膜層の塗布液の調整〉テ
トラエトキシシラン10.4gに0.1N塩酸を89.
6g加え、30分攪拌し加水分解させた固形分3重量%
(SiO2換算)の溶液とポリビニルアルコール3重量
%水/イソプロピルアルコール溶液(水/イソプロピル
アルコ−ルは重量%比で90/10)を重量%比で60
/40に混合し、塗布液を調整した。
<Preparation of coating solution for gas barrier coating layer> 0.1N hydrochloric acid was added to 10.4 g of tetraethoxysilane.
6 g was added and stirred for 30 minutes to hydrolyze the solid content of 3% by weight.
(In terms of SiO 2 ) and a polyvinyl alcohol 3% by weight water / isopropyl alcohol solution (water / isopropyl alcohol is 90/10 in terms of weight%) at 60% by weight.
/ 40 to prepare a coating solution.

【0035】〈実施例1〉基材フイルム1として厚さ1
2μmの二軸延伸ポリエステルフイルムを使用し、その
基材フイルム1を図2の真空蒸着装置10の巻き出し部
12に装着した後に、るつぼ19に蒸着金属原材料20
としてアルミニウムを装填し、電子線加熱方式で加熱蒸
発させ、酸素ガス供給口17から酸素ガスを供給し、基
材フイルム1を巻き出し部12から巻き取り部13方向
へ120m/minのスピードで搬送することにより、
厚さ200Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜層2を基材
フイルム1の上に形成した蒸着フイルム4を巻き取り部
13で巻き取った。さらに、前記蒸着フイルム4をグラ
ビアコーター機に装着し、前記蒸着薄膜層2の上にグラ
ビアコーティング法で前記ガスバリア性被膜層用塗布液
を塗布、乾燥し、厚さ0.5μmのガスバリア性被膜層
3を形成させ、本発明の高ガスバリア性フイルムを得
た。
<Example 1> A base film 1 having a thickness of 1
A 2 μm biaxially stretched polyester film is used. After mounting the base film 1 on the unwinding section 12 of the vacuum evaporation apparatus 10 shown in FIG.
Is loaded with aluminum, heated and evaporated by an electron beam heating method, oxygen gas is supplied from an oxygen gas supply port 17, and the base film 1 is conveyed from the unwinding section 12 to the winding section 13 at a speed of 120 m / min. By doing
A roll-up unit 13 winds up a vapor deposition film 4 in which a 200 ° -thick aluminum oxide vapor-deposited thin film layer 2 is formed on a base film 1. Further, the vapor-deposited film 4 is mounted on a gravure coater machine, and the gas-barrier film layer coating solution is applied on the vapor-deposited thin film layer 2 by a gravure coating method and dried, and the gas barrier film layer having a thickness of 0.5 μm is formed. Thus, a high gas barrier film of the present invention was obtained.

【0036】〈比較例1〉基材フイルム1として厚さ1
2μmの二軸延伸ポリエステルフイルムを使用し、その
基材フイルム1を図3の真空蒸着装置30の巻き出し部
12に装着した後に、るつぼ19に蒸着金属原材料20
としてアルミニウムを装填し、電子線加熱方式で加熱蒸
発させ、酸素ガス供給口17から酸素ガスを供給し、基
材フイルム1を巻き出し部12から巻き取り部13方向
へ120m/minのスピードで搬送することにより、
厚さ200Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜層2を基材
フイルム1の上に形成した蒸着フイルム4を巻き取り部
13で巻き取った。さらに、前記蒸着フイルム4をグラ
ビアコーター機に装着し、前記蒸着薄膜層2の上にグラ
ビアコーティング法で前記ガスバリア性被膜層用塗布液
を塗布、乾燥し、厚さ0.5μmのガスバリア性被膜層
3を形成させ、比較用のガスバリア性フイルムを得た。
<Comparative Example 1> A base film 1 having a thickness of 1
A 2 μm biaxially stretched polyester film is used. After mounting the base film 1 on the unwinding section 12 of the vacuum evaporation apparatus 30 shown in FIG.
Is loaded with aluminum, heated and evaporated by an electron beam heating method, oxygen gas is supplied from an oxygen gas supply port 17, and the base film 1 is conveyed from the unwinding section 12 to the winding section 13 at a speed of 120 m / min. By doing
A roll-up unit 13 winds up a vapor deposition film 4 in which a 200 ° -thick aluminum oxide vapor-deposited thin film layer 2 is formed on a base film 1. Further, the vapor-deposited film 4 is mounted on a gravure coater machine, and the gas-barrier film layer coating solution is applied on the vapor-deposited thin film layer 2 by a gravure coating method and dried, and the gas barrier film layer having a thickness of 0.5 μm is formed. 3 was obtained to obtain a gas barrier film for comparison.

【0037】〈評価〉実施例1及び比較例1のガスバリ
ア性フイルムの光線透過率、酸素透過率及び水蒸気透過
率を以下に示す測定方法で測定し、透明性及びガスバリ
ア性を評価した。その結果を表1に示す。 (1)光線透過率 基材フイルムに酸化アルミニウムの蒸着薄膜層及びガス
バリア性被膜層を順次積層した状態で、波長400nm
での光線透過率を分光光度計(島津製作所社製、UV−
3100)を用いて測定した。 (2)酸素透過率 基材フイルムに酸化アルミニウムの蒸着薄膜層を形成さ
せた状態及び前記蒸着薄膜層面の上にガスバリア性被膜
層を積層させた状態で、各々の酸素透過率をモダンコン
トロール社製(MOCON OXTRAN、10/50
A)を用いて25℃、100%RH雰囲気下で測定し
た。 (3)水蒸気透過率 基材フイルムに酸化アルミニウムの蒸着薄膜層を形成さ
せた状態及び前記蒸着薄膜層面の上にガスバリア性被膜
層を積層させた状態で、各々の水蒸気透過率をモダンコ
ントロール社製(MOCON PERMATRAN、W
6)を用いて、40℃、90%RH雰囲気下で測定し
た。
<Evaluation> The light transmittance, oxygen transmittance and water vapor transmittance of the gas barrier films of Example 1 and Comparative Example 1 were measured by the following measuring methods to evaluate the transparency and gas barrier properties. Table 1 shows the results. (1) Light transmittance A wavelength of 400 nm in a state in which a deposited thin film layer of aluminum oxide and a gas barrier coating layer are sequentially laminated on a base film.
The light transmittance of the spectrophotometer (manufactured by Shimadzu Corporation, UV-
3100). (2) Oxygen Permeability In a state where a vapor-deposited thin film layer of aluminum oxide is formed on a substrate film and a state where a gas barrier coating layer is laminated on the surface of the vapor-deposited thin film layer, each oxygen permeability is manufactured by Modern Control. (MOCON OXTRAN, 10/50
The measurement was performed at 25 ° C. in a 100% RH atmosphere using A). (3) Water Vapor Permeability In a state where a vapor-deposited thin film layer of aluminum oxide is formed on a substrate film and a gas barrier coating layer is laminated on the surface of the vapor-deposited thin film layer, each water vapor permeability is manufactured by Modern Control. (MOCON PERMATRAN, W
Using 6), the measurement was performed at 40 ° C. in a 90% RH atmosphere.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】表1の結果から、実施例1は透明性、酸素
ガスバリア性、水蒸気バリア性共に良好であるが、比較
例1は透明性、酸素ガスバリア性は良好であるが、水蒸
気バリア性が悪い。
From the results shown in Table 1, it can be seen that Example 1 has good transparency, oxygen gas barrier properties and water vapor barrier properties, while Comparative Example 1 has good transparency and oxygen gas barrier properties but has poor water vapor barrier property. .

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明の高ガスバリア性フイルムは、基
材フイルムに酸化アルミニウムの蒸着薄膜層を形成させ
る際に、フイルムの表面に近い側に酸素元素の比率が大
きい酸化アルミニウムの薄膜を形成させ、膜厚の外側に
向けてアルミニウム元素の比率が大きい酸化アルミニウ
ムからなる傾斜型組成の蒸着薄膜層を反応性蒸着法で形
成させているので、酸化アルミニウムの蒸着薄膜層のみ
を形成させた状態でも良好なガスバリア性を有してお
り、さらにその蒸着薄膜層の上にガスバリア性被膜層を
積層することにより、より一層高いガスバリア性を発現
させることができ、生産性が良く、透明で、かつ、高い
ガスバリア性フイルムを得ることができた。この高ガス
バリア性フイルムにシーラントフイルム等を積層するこ
とにより、広い用途でのガスバリア性包装材料として利
用出来る。
According to the high gas barrier film of the present invention, when a thin film layer of aluminum oxide is formed on a base film, a thin film of aluminum oxide having a high oxygen element ratio is formed on the side close to the surface of the film. Since the vapor deposition thin film layer of the gradient composition composed of aluminum oxide having a large ratio of the aluminum element toward the outside of the film thickness is formed by the reactive vapor deposition method, even in a state where only the vapor deposition thin film layer of aluminum oxide is formed. It has good gas barrier properties, and furthermore, by laminating a gas barrier property coating layer on the deposited thin film layer, it is possible to express even higher gas barrier properties, good productivity, good transparency, and A high gas barrier film could be obtained. By laminating a sealant film or the like on this high gas barrier film, it can be used as a gas barrier packaging material for a wide range of uses.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の高ガスバリア性フイルムの側断面図で
ある。
FIG. 1 is a side sectional view of a high gas barrier film of the present invention.

【図2】本発明の高ガスバリア性フイルムの蒸着薄膜層
を形成する真空蒸着装置の概略説明図である。
FIG. 2 is a schematic explanatory view of a vacuum deposition apparatus for forming a deposited thin film layer of a high gas barrier film of the present invention.

【図3】従来のガスバリア性フイルムの蒸着薄膜層を形
成する真空蒸着装置の概略説明図である。
FIG. 3 is a schematic explanatory view of a conventional vacuum evaporation apparatus for forming an evaporated thin film layer of a gas barrier film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…基材フイルム 2…蒸着薄膜層 3…ガスバリア性被膜層 4…蒸着フイルム 10,30…真空蒸着装置 11…真空チャンバー 12…巻き出し部 13…巻き取り部 14…ガイドロール 15…冷却ドラム 16…酸素供給部 17…酸素ガス供給口 18…真空ポンプ 19…るつぼ 20…蒸着金属原材料 d…冷却ドラム表面と酸素ガス供給口の長さ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base film 2 ... Deposition thin film layer 3 ... Gas barrier coating layer 4 ... Deposition film 10, 30 ... Vacuum deposition apparatus 11 ... Vacuum chamber 12 ... Unwinding part 13 ... Winding part 14 ... Guide roll 15 ... Cooling drum 16 ... Oxygen supply section 17 ... Oxygen gas supply port 18 ... Vacuum pump 19 ... Crucible 20 ... Evaporated metal raw material d ... Cooling drum surface and length of oxygen gas supply port

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4F100 AA05C AA19B AH02C AH06C AH08C AK01A AK01C AK21C AK42 AR00C AT00A BA10A BA10C EH46 EH66B EH662 EJ38 GB15 GB23 JA20B JB09C JD02C JD03 JD04 YY00B 4K029 AA11 BA44 BC00 BD00 CA02 DB03 EA01 GA03  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F-term (reference) 4F100 AA05C AA19B AH02C AH06C AH08C AK01A AK01C AK21C AK42 AR00C AT00A BA10A BA10C EH46 EH66B EH662 EJ38 GB15 GB23 JA20B JB09C JD02 AJ03B00 DB03

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】高分子材料からなる基材フイルムの少なく
とも一方の面に、酸化アルミニウムの蒸着薄膜層、ガス
バリア性被膜層を順次積層した積層体において、該酸化
アルミニウムの蒸着薄膜が金属蒸気と酸化性ガスとの反
応性蒸着法で形成されたものからなることを特徴とする
高ガスバリア性フイルム。
1. A laminate in which a deposited thin film layer of aluminum oxide and a gas barrier coating layer are sequentially laminated on at least one surface of a substrate film made of a polymer material, wherein the deposited thin film of aluminum oxide is formed of a metal vapor and an oxidized film. A high gas barrier film comprising a film formed by a reactive vapor deposition method with a reactive gas.
【請求項2】前記金属蒸気がアルミニウム蒸気であり、
かつ、酸化性ガスが酸素ガスであることを特徴とする請
求項1記載の高ガスバリア性フイルム。
2. The method according to claim 2, wherein said metal vapor is aluminum vapor.
2. The high gas barrier film according to claim 1, wherein the oxidizing gas is oxygen gas.
【請求項3】前記蒸着薄膜層の厚さが50〜3000Å
の範囲内であることを特徴とする請求項1又は請求項2
記載の高ガスバリア性フイルム。
3. The thickness of said vapor-deposited thin film layer is 50-3000Å.
3. The method according to claim 1, wherein
The high gas barrier film as described in the above.
【請求項4】前記ガスバリア性被膜層が、水溶性高分子
と、(a)1種以上の金属アルコキシド及びその加水分
解物又は(b)塩化錫の少なくとも一方を含むものから
なることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか
1項記載の高ガスバリア性フイルム。
4. A gas barrier coating layer comprising a water-soluble polymer and at least one of (a) at least one metal alkoxide and a hydrolyzate thereof and (b) tin chloride. The high gas barrier film according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】前記水溶性高分子が、ポリビニルアルコー
ルであることを特徴とする請求項4記載の高ガスバリア
性フイルム。
5. The high gas barrier film according to claim 4, wherein said water-soluble polymer is polyvinyl alcohol.
【請求項6】前記金属アルコキシドが、テトラエトキシ
シランまたはトリイソプロポキシアルミニウムあるいは
それらの混合物であることを特徴とする請求項4又は請
求項5記載の高ガスバリア性フイルム。
6. The high gas barrier film according to claim 4, wherein the metal alkoxide is tetraethoxysilane, triisopropoxyaluminum, or a mixture thereof.
【請求項7】前記請求項1乃至請求項6のいずれか1項
記載の高ガスバリア性フイルムの酸化アルミニウムの蒸
着薄膜層を金属蒸気と酸化性ガスの反応性蒸着法で形成
する時に、前記酸化性ガスを真空蒸着装置内の冷却ドラ
ムの基材巻き出し側の表面より10mm以上150mm
以下の位置の供給口から導入することを特徴とする高ガ
スバリア性フイルムの製造方法。
7. The method according to claim 1, wherein the vapor-deposited thin film layer of aluminum oxide of the high gas barrier film is formed by a reactive vapor deposition method of a metal vapor and an oxidizing gas. 10 mm or more and 150 mm from the surface on the substrate unwinding side of the cooling drum in the vacuum evaporation apparatus
A method for producing a high gas barrier film, wherein the film is introduced from a supply port at the following position.
JP2001152045A 2001-05-22 2001-05-22 Method for producing high gas barrier film Expired - Lifetime JP4110748B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001152045A JP4110748B2 (en) 2001-05-22 2001-05-22 Method for producing high gas barrier film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001152045A JP4110748B2 (en) 2001-05-22 2001-05-22 Method for producing high gas barrier film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002337262A true JP2002337262A (en) 2002-11-27
JP4110748B2 JP4110748B2 (en) 2008-07-02

Family

ID=18996777

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001152045A Expired - Lifetime JP4110748B2 (en) 2001-05-22 2001-05-22 Method for producing high gas barrier film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4110748B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7713373B2 (en) * 2003-04-18 2010-05-11 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Process for producing packaging laminate material
US9056331B2 (en) * 2008-07-23 2015-06-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin layer having composition gradient and production method thereof
CN112853307A (en) * 2021-02-25 2021-05-28 厦门海辰新能源科技有限公司 Film coating device, film coating system and using method thereof

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7713373B2 (en) * 2003-04-18 2010-05-11 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Process for producing packaging laminate material
US9056331B2 (en) * 2008-07-23 2015-06-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin layer having composition gradient and production method thereof
CN112853307A (en) * 2021-02-25 2021-05-28 厦门海辰新能源科技有限公司 Film coating device, film coating system and using method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP4110748B2 (en) 2008-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5298656B2 (en) Strong adhesion gas barrier film
JPH07164591A (en) Laminated film of gas barrier properties
WO2014156888A1 (en) Laminate and gas barrier film
WO1991002102A1 (en) Film based on silicon dioxide and production thereof
JP2007210262A (en) Transparent barrier film and its manufacturing method
JP4110748B2 (en) Method for producing high gas barrier film
JP4106931B2 (en) Transparent gas barrier thin film coating film
JP2008114444A (en) Forming method of transparent multi-layer film, transparent multi-layer film having gas barrier property and sealing film formed thereby
JP4649794B2 (en) Highly transparent barrier film and method for producing the same
JP5412745B2 (en) Release sheet
JP3956627B2 (en) High water vapor barrier film and method for producing the same
JP2000103001A (en) Laminated film having water vapor barrier characteristic
JPH1016150A (en) Gas barrier laminated film
JP3956623B2 (en) High water vapor barrier film
JP3119107B2 (en) Transparent laminate having gas barrier properties
JP2000202940A (en) Gas barrier material and its manufacture
JP5151037B2 (en) Transparent barrier film and method for producing the same
JP3438555B2 (en) Highly transparent silicon oxide deposited film
JP4552392B2 (en) Evaporated film laminate with moisture absorption function
JP2007244938A (en) Method of producing barrier type laminate
JP2009061711A (en) Gas-barrier film
JPH05294674A (en) Heat ray-sealing glass exhibiting low-electromagnetic wave reflectance
JP2003181973A (en) Transparent high water vapor barrier laminate
JP4617583B2 (en) Gas barrier film
JP4182723B2 (en) High barrier film

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050324

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070502

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070622

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080318

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080331

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4110748

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120418

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120418

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140418

Year of fee payment: 6