JP2002321146A - 回折光学素子用金型加工方法 - Google Patents
回折光学素子用金型加工方法Info
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- JP2002321146A JP2002321146A JP2001125207A JP2001125207A JP2002321146A JP 2002321146 A JP2002321146 A JP 2002321146A JP 2001125207 A JP2001125207 A JP 2001125207A JP 2001125207 A JP2001125207 A JP 2001125207A JP 2002321146 A JP2002321146 A JP 2002321146A
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- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 研削加工によって、正確で表面状態の良好な
回折格子形状を金型に形成する。 【解決手段】 回折格子形状の最外周の輪帯から内周方
向へ砥石１を送りながら、各輪帯の斜面の目標傾斜角度
θn と同じ傾斜角度の斜面創成面１ａと垂直面創成面１
ｂを斜面創成用砥石１１と垂直面創成用砥石１２によっ
てそれぞれ形成しながら金型素材Ｗ1 の研削加工を行な
う。各輪帯ごとに目標傾斜角度の斜面創成面１ａで研削
するいわゆる総型の砥石による加工であるため、回折格
子形状が正確で表面粗さも良好である。
回折格子形状を金型に形成する。 【解決手段】 回折格子形状の最外周の輪帯から内周方
向へ砥石１を送りながら、各輪帯の斜面の目標傾斜角度
θn と同じ傾斜角度の斜面創成面１ａと垂直面創成面１
ｂを斜面創成用砥石１１と垂直面創成用砥石１２によっ
てそれぞれ形成しながら金型素材Ｗ1 の研削加工を行な
う。各輪帯ごとに目標傾斜角度の斜面創成面１ａで研削
するいわゆる総型の砥石による加工であるため、回折格
子形状が正確で表面粗さも良好である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回折光学素子の製
造に用いる成形用の金型を研削加工によって製作するた
めの回折光学素子用金型加工方法に関するものである。
造に用いる成形用の金型を研削加工によって製作するた
めの回折光学素子用金型加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超硬合金、セラミックス等の硬質材料の
金型素材に、各輪帯により斜面の傾斜角度の異なる回折
面形状を創成する研削加工においては、シャープエッジ
を持つレジンボンドダイヤモンド砥石等を回転させなが
ら、目標とする回折面形状に倣って並進させる研削方法
が知られている。
金型素材に、各輪帯により斜面の傾斜角度の異なる回折
面形状を創成する研削加工においては、シャープエッジ
を持つレジンボンドダイヤモンド砥石等を回転させなが
ら、目標とする回折面形状に倣って並進させる研削方法
が知られている。
【０００３】図４は一従来例による回折光学素子用金型
加工方法を説明するもので、円錐状に形状創成された加
工面１０１ａを有するダイヤモンド砥石等の砥石１０１
を軸Ｏ1 のまわりに回転させながら、軸Ｏ2 のまわりに
回転する金型素材Ｗ0 の上面に切り込み、矢印Ｒ1 〜Ｒ
n で示す方向に所定の速度で砥石１０１を移動させるこ
とで、回折格子形状を研削・創成する。
加工方法を説明するもので、円錐状に形状創成された加
工面１０１ａを有するダイヤモンド砥石等の砥石１０１
を軸Ｏ1 のまわりに回転させながら、軸Ｏ2 のまわりに
回転する金型素材Ｗ0 の上面に切り込み、矢印Ｒ1 〜Ｒ
n で示す方向に所定の速度で砥石１０１を移動させるこ
とで、回折格子形状を研削・創成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法では、ダイヤモンド砥石等の砥石のエッジ部の摩
耗が大きいため、回折面形状を正確に創成するのが難し
く、また、良好な表面粗さを得ることも困難であるとい
う未解決の課題があった。
の方法では、ダイヤモンド砥石等の砥石のエッジ部の摩
耗が大きいため、回折面形状を正確に創成するのが難し
く、また、良好な表面粗さを得ることも困難であるとい
う未解決の課題があった。
【０００５】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、超硬合金、セラミッ
クス等の硬質材料の金型素材に、所望の回折格子形状を
良好な表面粗さで正確に創成することのできる回折光学
素子用金型加工方法を提供することを目的とするもので
ある。
課題に鑑みてなされたものであり、超硬合金、セラミッ
クス等の硬質材料の金型素材に、所望の回折格子形状を
良好な表面粗さで正確に創成することのできる回折光学
素子用金型加工方法を提供することを目的とするもので
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の回折光学素子用金型加工方法は、研削加工
によって金型素材に回折格子形状を創成する工程を有
し、前記回折格子形状の各斜面ごとに、該斜面の目標傾
斜角度と同じ傾斜角度を有する斜面創成面を備えた総型
の砥石によって研削することを特徴とする。
め、本発明の回折光学素子用金型加工方法は、研削加工
によって金型素材に回折格子形状を創成する工程を有
し、前記回折格子形状の各斜面ごとに、該斜面の目標傾
斜角度と同じ傾斜角度を有する斜面創成面を備えた総型
の砥石によって研削することを特徴とする。
【０００７】また、研削加工によって金型素材に回折格
子形状を創成する工程を有し、前段の斜面を研削した砥
石の斜面創成面を後段の斜面の目標傾斜角度と同じ傾斜
角度に工具創成手段によって創成しながら、前記砥石に
よって前記後段の斜面を研削することを特徴としてもよ
い。
子形状を創成する工程を有し、前段の斜面を研削した砥
石の斜面創成面を後段の斜面の目標傾斜角度と同じ傾斜
角度に工具創成手段によって創成しながら、前記砥石に
よって前記後段の斜面を研削することを特徴としてもよ
い。
【０００８】工具創成手段が、回転軸の傾斜角度を変更
自在である工具斜面創成用の砥石を有するとよい。
自在である工具斜面創成用の砥石を有するとよい。
【０００９】砥石の斜面創成面の創成と同時に、前記砥
石の垂直面創成面の創成を行なうとよい。
石の垂直面創成面の創成を行なうとよい。
【００１０】砥石の斜面創成面の創成と垂直面創成面の
創成を、２つの工具創成手段によって個別に行なうとよ
い。
創成を、２つの工具創成手段によって個別に行なうとよ
い。
【００１１】
【作用】回折格子形状の各斜面ごとに目標傾斜角度と同
じ傾斜角度を有する斜面創成面を備えた総型の砥石を用
いて研削することで、回折格子形状の溝底部の形状や表
面粗さを劣化させることなく正確で良好な溝形状創成を
行なうことができる。
じ傾斜角度を有する斜面創成面を備えた総型の砥石を用
いて研削することで、回折格子形状の溝底部の形状や表
面粗さを劣化させることなく正確で良好な溝形状創成を
行なうことができる。
【００１２】同じ砥石を用いて、各斜面ごとに前記砥石
の斜面創成面を研削し、後段の斜面の目標傾斜角度と同
じ傾斜角度に創成しながら金型の回折格子形状の研削を
行なうことで、回折光学素子の製造工程を大幅に簡略化
かつ効率化できる。
の斜面創成面を研削し、後段の斜面の目標傾斜角度と同
じ傾斜角度に創成しながら金型の回折格子形状の研削を
行なうことで、回折光学素子の製造工程を大幅に簡略化
かつ効率化できる。
【００１３】回折格子形状を創成する砥石に、その斜面
創成面を創成するための工具斜面創成用の砥石や垂直面
創成用の砥石を組み合わせて用いることにより、装置お
よび制御の簡略化を促進できる。
創成面を創成するための工具斜面創成用の砥石や垂直面
創成用の砥石を組み合わせて用いることにより、装置お
よび制御の簡略化を促進できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１５】図１は一実施の形態による回折光学素子用
金型加工方法を示す。これは、例えば、格子高さが１０
μｍ、同心円状で２０輪帯、最外周の輪帯半径が４ｍ
ｍ、輪帯間隔は最外周が最も狭く５０μｍ、最内周が最
も広く２００μｍである回折光学素子用金型を研削加工
するためのものである（図３参照）。
金型加工方法を示す。これは、例えば、格子高さが１０
μｍ、同心円状で２０輪帯、最外周の輪帯半径が４ｍ
ｍ、輪帯間隔は最外周が最も狭く５０μｍ、最内周が最
も広く２００μｍである回折光学素子用金型を研削加工
するためのものである（図３参照）。
【００１６】加工に先だって、形状誤差１μｍ以下に格
子加工面を平面形状に前加工することで、格子加工時の
砥石の最大切り込み量を１５μｍ以下にした。
子加工面を平面形状に前加工することで、格子加工時の
砥石の最大切り込み量を１５μｍ以下にした。
【００１７】図１の装置において、円錐状に形状創成さ
れた斜面創成面１ａを有するダイヤモンド砥石等の砥石
１を軸Ｏ1 のまわりに回転させながら、軸Ｏ2 のまわり
に回転する金型素材Ｗ1 の上面に切り込み、軸Ｏ1 と平
行に所定の速度で移動させることで、回折格子形状を研
削・創成する。
れた斜面創成面１ａを有するダイヤモンド砥石等の砥石
１を軸Ｏ1 のまわりに回転させながら、軸Ｏ2 のまわり
に回転する金型素材Ｗ1 の上面に切り込み、軸Ｏ1 と平
行に所定の速度で移動させることで、回折格子形状を研
削・創成する。
【００１８】例えば、砥石１として、粒径＃１５００の
レジンボンドダイヤモンド砥石で外径φ８０ｍｍのもの
を用いて、回転軸Ｏ1 を中心に１０００ｒ．ｐ．ｍで回
転させながら、回転軸Ｏ2 を中心に２０００ｒ．ｐ．ｍ
で回転する超硬合金製の金型素材Ｗ1 に所望量切り込
み、回折格子形状を創成する。
レジンボンドダイヤモンド砥石で外径φ８０ｍｍのもの
を用いて、回転軸Ｏ1 を中心に１０００ｒ．ｐ．ｍで回
転させながら、回転軸Ｏ2 を中心に２０００ｒ．ｐ．ｍ
で回転する超硬合金製の金型素材Ｗ1 に所望量切り込
み、回折格子形状を創成する。
【００１９】砥石１の円錐状の加工面である斜面創成面
１ａと平面状の加工面である垂直面創成面１ｂは、上記
の回折格子形状を研削・創成する工程において、回折格
子形状の各輪帯ごとに、以下のように目標傾斜角度に同
時創成される。
１ａと平面状の加工面である垂直面創成面１ｂは、上記
の回折格子形状を研削・創成する工程において、回折格
子形状の各輪帯ごとに、以下のように目標傾斜角度に同
時創成される。
【００２０】工具創成手段である円筒形の斜面創成用砥
石１１および垂直面創成用砥石１２（粒径＃５００のダ
イヤモンド砥石）により、金型加工中に砥石１の斜面創
成面１ａと垂直面創成面１ｂをそれぞれ総型の砥石に研
削・創成する。まず、工具斜面創成用の砥石である斜面
創成用砥石１１の回転軸と砥石１の回転軸Ｏ1 の間の角
度を回折格子形状の最外周部の輪帯の目標傾斜角度θ1
に等しくした状態で、斜面創成用砥石１１を１００００
ｒ．ｐ．ｍで回転させるとともに、砥石１の斜面創成面
１ａと平行に移動させながら斜面創成面１ａを加工す
る。同時に、垂直面創成用砥石１２を１００００ｒ．
ｐ．ｍで回転させるとともに、砥石１の垂直面創成面１
ｂと平行に移動させながら垂直面創成面１ｂを加工す
る。このようにして最外周部の格子溝形状に対応した砥
石１の加工面形状が創成される。
石１１および垂直面創成用砥石１２（粒径＃５００のダ
イヤモンド砥石）により、金型加工中に砥石１の斜面創
成面１ａと垂直面創成面１ｂをそれぞれ総型の砥石に研
削・創成する。まず、工具斜面創成用の砥石である斜面
創成用砥石１１の回転軸と砥石１の回転軸Ｏ1 の間の角
度を回折格子形状の最外周部の輪帯の目標傾斜角度θ1
に等しくした状態で、斜面創成用砥石１１を１００００
ｒ．ｐ．ｍで回転させるとともに、砥石１の斜面創成面
１ａと平行に移動させながら斜面創成面１ａを加工す
る。同時に、垂直面創成用砥石１２を１００００ｒ．
ｐ．ｍで回転させるとともに、砥石１の垂直面創成面１
ｂと平行に移動させながら垂直面創成面１ｂを加工す
る。このようにして最外周部の格子溝形状に対応した砥
石１の加工面形状が創成される。
【００２１】上記のように形状創成される総型の砥石１
の回転軸Ｏ1 と金型素材Ｗ1 の回転軸Ｏ2 が垂直な状態
で砥石１を金型素材Ｗ1 に所望量の１４μｍ、型１回転
あたり０．０５μｍの速度で切り込むことにより所望の
回折格子形状が金型素材Ｗ1に形成される。この時、砥
石１の総型加工を行なう工具創成用砥石１１および１２
は、前述の形状創成を行なっている状態で砥石１ととも
に移動する。一輪帯の回折格子を加工するごとに、斜面
創成用砥石１１の回転軸と砥石１の回転軸Ｏ1で作られ
る角度を、加工する回折格子形状の目標傾斜角度θn と
等しくなるように変化させ、上記と同様の方法で砥石１
の形状創成を行ない、同時に、第ｎ番目の回折格子輪帯
を加工する。
の回転軸Ｏ1 と金型素材Ｗ1 の回転軸Ｏ2 が垂直な状態
で砥石１を金型素材Ｗ1 に所望量の１４μｍ、型１回転
あたり０．０５μｍの速度で切り込むことにより所望の
回折格子形状が金型素材Ｗ1に形成される。この時、砥
石１の総型加工を行なう工具創成用砥石１１および１２
は、前述の形状創成を行なっている状態で砥石１ととも
に移動する。一輪帯の回折格子を加工するごとに、斜面
創成用砥石１１の回転軸と砥石１の回転軸Ｏ1で作られ
る角度を、加工する回折格子形状の目標傾斜角度θn と
等しくなるように変化させ、上記と同様の方法で砥石１
の形状創成を行ない、同時に、第ｎ番目の回折格子輪帯
を加工する。
【００２２】それぞれの回折格子輪帯の目標傾斜角度に
等しくなるような砥石の同時形状創成と金型素材Ｗ1 の
溝加工を繰り返すことにより、所望の回折格子形状を金
型素材Ｗ1 上に創成できる。
等しくなるような砥石の同時形状創成と金型素材Ｗ1 の
溝加工を繰り返すことにより、所望の回折格子形状を金
型素材Ｗ1 上に創成できる。
【００２３】ここで、砥石１の総型加工を行なう工具創
成用砥石１１および１２は、図２に示すように互いに干
渉しない位置に配置されており、回折格子形状の１番目
輪帯における砥石１の形状創成と金型素材Ｗ1 の溝加工
から、第ｎ番目の輪帯における砥石１の形状創成と金型
素材Ｗ1 の溝加工までの一連の加工は、加工機の停止も
しくは金型素材Ｗ1 や砥石１等を取り外すことなく、回
折面形状の創成完了まで連続して行なわれる。
成用砥石１１および１２は、図２に示すように互いに干
渉しない位置に配置されており、回折格子形状の１番目
輪帯における砥石１の形状創成と金型素材Ｗ1 の溝加工
から、第ｎ番目の輪帯における砥石１の形状創成と金型
素材Ｗ1 の溝加工までの一連の加工は、加工機の停止も
しくは金型素材Ｗ1 や砥石１等を取り外すことなく、回
折面形状の創成完了まで連続して行なわれる。
【００２４】上記の方法で回折格子形状を研削・創成し
た回折光学素子用金型と、図４の従来例によって加工さ
れた回折光学素子用金型を比較した実験の結果を末尾の
表１に示す。
た回折光学素子用金型と、図４の従来例によって加工さ
れた回折光学素子用金型を比較した実験の結果を末尾の
表１に示す。
【００２５】図４の装置において、砥石１０１は、粒径
＃１５００のレジンボンドダイヤモンド砥石、外径φ８
０ｍｍであり、回転軸Ｏ1 を中心に１０００ｒ．ｐ．ｍ
で回転しながら、回転軸Ｏ2 を中心に２０００ｒ．ｐ．
ｍで回転する超硬合金製の金型素材Ｗ0 に所望量切り込
むとともに、所望の形状に倣って矢印Ｒ1 〜Ｒn の方向
に毎分０．２ｍｍの速度で移動して、回折格子形状を創
成した。
＃１５００のレジンボンドダイヤモンド砥石、外径φ８
０ｍｍであり、回転軸Ｏ1 を中心に１０００ｒ．ｐ．ｍ
で回転しながら、回転軸Ｏ2 を中心に２０００ｒ．ｐ．
ｍで回転する超硬合金製の金型素材Ｗ0 に所望量切り込
むとともに、所望の形状に倣って矢印Ｒ1 〜Ｒn の方向
に毎分０．２ｍｍの速度で移動して、回折格子形状を創
成した。
【００２６】表１に示した測定項目は、図５に示す斜面
粗さ（Ａ）、溝底部はずれ量（Ｂ）、格子高さ（Ｃ）で
ある。ここで、溝底部はずれ量（Ｂ）は、溝エッジ部の
所望形状からはずれた部分の幅を示す。溝底部の形状
は、砥石のエッジ部の損耗状態により、図５の（ａ）に
示すような丸みを帯びた形状や、同図の（ｂ）に示すよ
うなカギザキ状の形状になる。
粗さ（Ａ）、溝底部はずれ量（Ｂ）、格子高さ（Ｃ）で
ある。ここで、溝底部はずれ量（Ｂ）は、溝エッジ部の
所望形状からはずれた部分の幅を示す。溝底部の形状
は、砥石のエッジ部の損耗状態により、図５の（ａ）に
示すような丸みを帯びた形状や、同図の（ｂ）に示すよ
うなカギザキ状の形状になる。
【００２７】表１から分かるように、本発明の加工方法
では、各ピッチ（輪帯）毎に加工用砥石の形状創成をし
て砥石形状を金型素材に転写するいわゆる総形加工であ
るため、中心近傍、外周近傍に関係なく型に格子全面に
わたってその斜面粗さ、形状精度に大きな差異は認めら
れず良好な値を示した。
では、各ピッチ（輪帯）毎に加工用砥石の形状創成をし
て砥石形状を金型素材に転写するいわゆる総形加工であ
るため、中心近傍、外周近傍に関係なく型に格子全面に
わたってその斜面粗さ、形状精度に大きな差異は認めら
れず良好な値を示した。
【００２８】しかしながら、従来例の方法では、加工初
期の外周近傍の格子溝の斜面粗さ、形状は良好である
が、中心部に近づくに従って斜面粗さ、形状が劣化し
た。従来例の方法では、砥石の先端で回折格子形状を創
成するために大きな負荷がかかり摩耗が発生する。その
結果、砥石のシャープエッジで加工される溝底部のエッ
ジ形状が所望形状より大きくずれるとともに、格子高さ
不足、斜面粗さ劣化も発生すると考えられる。
期の外周近傍の格子溝の斜面粗さ、形状は良好である
が、中心部に近づくに従って斜面粗さ、形状が劣化し
た。従来例の方法では、砥石の先端で回折格子形状を創
成するために大きな負荷がかかり摩耗が発生する。その
結果、砥石のシャープエッジで加工される溝底部のエッ
ジ形状が所望形状より大きくずれるとともに、格子高さ
不足、斜面粗さ劣化も発生すると考えられる。
【００２９】特に中心部の格子では、本発明の方法によ
れば、斜面粗さと、溝底部はずれ量、格子高さがそれぞ
れ１．０ｎｍ、３．２μｍ、９．９μｍであったが、従
来の方法ではそれらの値が２．５ｎｍ、１０．５μｍ、
８．９μｍであり、本発明の方法が格段にすぐれている
ことが分かる。
れば、斜面粗さと、溝底部はずれ量、格子高さがそれぞ
れ１．０ｎｍ、３．２μｍ、９．９μｍであったが、従
来の方法ではそれらの値が２．５ｎｍ、１０．５μｍ、
８．９μｍであり、本発明の方法が格段にすぐれている
ことが分かる。
【００３０】
【表１】
【００３１】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００３２】硬質材料の金型素材に、所望の回折格子形
状を正確に良好な表面粗さで効率的に創成することがで
きる。これによって、回折光学素子の低価格化と高品質
化に貢献できる。
状を正確に良好な表面粗さで効率的に創成することがで
きる。これによって、回折光学素子の低価格化と高品質
化に貢献できる。
【図１】一実施の形態による回折光学素子用金型加工方
法を説明する図である。
法を説明する図である。
【図２】図１の装置を図示右方向からみた図である。
【図３】一具体例による回折格子形状を説明する図であ
る。
る。
【図４】一従来例を説明する図である。
【図５】格子溝形状を拡大して説明する図である。
１ 砥石 １ａ 斜面創成面 １ｂ 垂直面創成面 １１ 斜面創成用砥石 １２ 垂直面創成用砥石
Claims (8)
- 【請求項１】 研削加工によって金型素材に回折格子形
状を創成する工程を有し、前記回折格子形状の各斜面ご
とに、該斜面の目標傾斜角度と同じ傾斜角度を有する斜
面創成面を備えた総型の砥石によって研削することを特
徴とする回折光学素子用金型加工方法。 - 【請求項２】 研削加工によって金型素材に回折格子形
状を創成する工程を有し、前段の斜面を研削した砥石の
斜面創成面を後段の斜面の目標傾斜角度と同じ傾斜角度
に工具創成手段によって創成しながら、前記砥石によっ
て前記後段の斜面を研削することを特徴とする回折光学
素子用金型加工方法。 - 【請求項３】 工具創成手段が、回転軸の傾斜角度を変
更自在である工具斜面創成用の砥石を有することを特徴
とする請求項２記載の回折光学素子用金型加工方法。 - 【請求項４】 砥石の斜面創成面の創成と同時に、前記
砥石の垂直面創成面の創成を行なうことを特徴とする請
求項２または３記載の回折光学素子用金型加工方法。 - 【請求項５】 砥石の斜面創成面の創成と垂直面創成面
の創成を、２つの工具創成手段によって個別に行なうこ
とを特徴とする請求項４記載の回折光学素子用金型加工
方法。 - 【請求項６】 工具創成手段が、回折格子形状を創成す
る砥石とともに送り方向に移動することを特徴とする請
求項２ないし５いずれか１項記載の回折光学素子用金型
加工方法。 - 【請求項７】 金型素材の材料が、超硬合金またはセラ
ミック材料を含むことを特徴とする請求項１ないし６い
ずれか１項記載の回折光学素子用金型加工方法。 - 【請求項８】 砥石が、ダイヤモンド砥石であることを
特徴とする請求項１ないし７いずれか１項記載の回折光
学素子用金型加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001125207A JP3762248B2 (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 回折光学素子用金型加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001125207A JP3762248B2 (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 回折光学素子用金型加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002321146A true JP2002321146A (ja) | 2002-11-05 |
| JP3762248B2 JP3762248B2 (ja) | 2006-04-05 |
Family
ID=18974466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001125207A Expired - Fee Related JP3762248B2 (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 回折光学素子用金型加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3762248B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485921B1 (ko) * | 2001-11-13 | 2005-04-29 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 회절격자부재 및 그 제조방법 |
| KR100485920B1 (ko) * | 2001-11-13 | 2005-04-29 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 회절격자부재 및 그 제조방법 |
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